JP2019009099A - プラズマ処理装置 - Google Patents
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Abstract
Description
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Claims (20)
- 第1不平衡端子、第2不平衡端子、第1平衡端子および第2平衡端子を有するバランと、
接地された真空容器と、
前記第1平衡端子に電気的に接続された第1電極と、
前記第2平衡端子に電気的に接続された第2電極と、
インピーダンス整合回路と、
前記インピーダンス整合回路を介して前記バランに接続され、前記インピーダンス整合回路および前記バランを介して前記第1電極に高周波を供給する第1電源と、
ローパスフィルタと、
前記ローパスフィルタを介して前記第1電極に電圧を供給する第2電源と、
を備えることを特徴とするプラズマ処理装置。 - 前記第1電極はターゲットを保持し、前記第2電極は基板を保持する、
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記バランは、前記第1不平衡端子と前記第1平衡端子とを接続する第1コイルと、前記第2不平衡端子と前記第2平衡端子とを接続する第2コイルとを有する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。 - 前記バランは、前記第1平衡端子と前記第2平衡端子との間に接続された第3コイルおよび第4コイルを更に有し、前記第3コイルおよび前記第4コイルは、前記第3コイルと前記第4コイルとの接続ノードの電圧を前記第1平衡端子の電圧と前記第2平衡端子の電圧との中点とするように構成されている、
ことを特徴とする請求項3に記載のプラズマ処理装置。 - 前記接続ノードは、前記真空容器に接続されている、
ことを特徴とする請求項4に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2電源は、交流電源を含み、
前記交流電源が前記第1電極に供給する電圧の周波数は、前記周波数よりも低い、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1電極が絶縁体を介して前記真空容器によって支持されている、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2電極と前記真空容器との間に絶縁体が配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2電極を昇降させる機構および前記第2電極を回転させる機構の少なくとも一方を更に備える、
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1電極は基板を保持し、前記プラズマ処理装置は、エッチング装置として構成されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1電極はターゲットを保持し、前記第2電極は前記第1電極の周囲に配置されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 複数の高周波供給部を備え、前記複数の高周波供給部の各々が前記バラン、前記第1電極および前記第2電極を含み、
前記複数の高周波供給部の各々の前記第1電極がターゲットを保持し、前記複数の高周波供給部の各々において、前記第2電極が前記第1電極の周囲に配置されている、
ことを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1電極および前記第2電極が絶縁体を介して前記真空容器によって支持されている、
ことを特徴とする請求項11又は12に記載のプラズマ処理装置。 - 基板を保持する第3電極と、
第2インピーダンス整合回路を介して前記第3電極に高周波を供給する第2高周波電源と、
を更に備えることを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 第2ローパスフィルタを介して前記第3電極に直流電圧を供給する第2直流電源を更に備えることを特徴とする請求項14に記載のプラズマ処理装置。
- 前記第3電極と前記真空容器との間に絶縁体が配置されている、
ことを特徴とする請求項14又は15に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第3電極を昇降させる機構および前記第3電極を回転させる機構の少なくとも一方を更に備える、
ことを特徴とする請求項14乃至16のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1平衡端子と前記第1電極とがブロッキングキャパシタを介して電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項1乃至17のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第2平衡端子と前記第2電極とがブロッキングキャパシタを介して電気的に接続されている、
ことを特徴とする請求項1乃至18のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。 - 前記第1平衡端子および前記第2平衡端子の側から前記第1電極および前記第2電極の側を見たときの前記第1平衡端子と前記第2平衡端子との間の抵抗成分をRpとし、前記第1不平衡端子と前記第1平衡端子との間のインダクタンスをXとしたときに、1.5≦X/Rp≦5000を満たす、
ことを特徴とする請求項1乃至19のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02156081A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-15 | Tokuda Seisakusho Ltd | スパッタ装置 |
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JP2014049541A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄膜製造装置及びその電極電圧調整方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02156081A (ja) * | 1988-12-09 | 1990-06-15 | Tokuda Seisakusho Ltd | スパッタ装置 |
JPH11307299A (ja) * | 1998-04-27 | 1999-11-05 | Nichimen Denshi Koken Kk | プラズマ処理装置 |
WO2010041679A1 (ja) * | 2008-10-10 | 2010-04-15 | Murata Masayoshi | 高周波プラズマcvd装置と高周波プラズマcvd法及び半導体薄膜製造法 |
JP2009302566A (ja) * | 2009-09-16 | 2009-12-24 | Masayoshi Murata | トランス型平衡不平衡変換装置を備えたプラズマ表面処理装置 |
JP2014049541A (ja) * | 2012-08-30 | 2014-03-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 薄膜製造装置及びその電極電圧調整方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPWO2019003309A1 (ja) * | 2017-06-27 | 2019-06-27 | キヤノンアネルバ株式会社 | スパッタリング装置 |
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