JP2019008247A - 光配向用偏光光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】並んで配置される偏光素子の冷却構造を簡便化すること。
【解決手段】光配向用偏光光照射装置１は、光源１０と、フィルタ２０と、偏光素子３０とを具備する。線状の光源１０は、紫外線を照射する。フィルタ２０は、所定波長の紫外線を透過させる。偏光素子３０は、光源１０の軸方向に沿って配置され、紫外線を偏光させる。また、光配向用偏光光照射装置１は、光源１０と、フィルタ２０と、偏光素子３０との順にそれぞれ間隔をあけて配置される。そして、フィルタ２０と偏光素子３０との間の空間に、光源１０の軸方向に沿って第１冷却風Ｃ１を流す第１冷却流路Ｆ１が形成される。
【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、光配向用偏光光照射装置に関する。

液晶パネルの製造工程では、液晶パネルに配向処理をするために光配向用偏光光照射装置が用いられている。かかる光配向用偏光光照射装置としては、直線状の紫外線ランプから照射された光を、紫外線ランプの長手方向に沿って配列された複数の偏光素子によって所望の光に偏光し、偏光された光を液晶パネルの照射面に照射する構成が知られている。また、この光配向用偏光光照射装置では、紫外線ランプの軸方向と垂直な向きの冷却風を複数の偏光素子それぞれに向けて送ることにより、すべての偏光素子を冷却している。

特許第５５９０５７８号公報

しかしながら、紫外線ランプの軸方向と垂直な向きの冷却風を、並んで配置される偏光素子それぞれに向けて送ろうとした場合、冷却風の流入口および流出口を複数個並べて形成する必要がある。したがって、偏光素子の冷却構造が複雑になるという問題があった。

本発明が解決しようとする課題は、並んで配置される偏光素子の冷却構造を簡便化することができる光配向用偏光光照射装置を提供することを目的とする。

実施形態に係る光配向用偏光光照射装置は、光源と、フィルタと、偏光素子とを具備する。線状の前記光源は、紫外線を照射する。前記フィルタは、所定波長の紫外線を透過させる。前記偏光素子は、前記光源の軸方向に沿って配置され、紫外線を偏光させる。また、前記光源と、前記フィルタと、前記偏光素子との順にそれぞれ間隔をあけて配置される。そして、前記フィルタと前記偏光素子との間の空間に、前記光源の軸方向に沿って第１冷却風を流す第１冷却流路が形成される。

本発明によれば、並んで配置される偏光素子の冷却構造を簡便化することができる。

実施形態に係る光配向用偏光光照射装置の一断面図である。 実施形態に係る光配向用偏光光照射装置の別の断面図である。 実施形態に係る偏光素子の断面図である。 実施形態の変形例１に係る光配向用偏光光照射装置の一断面図である。 実施形態の変形例１に係る光配向用偏光光照射装置の別の断面図である。 参考例および変形例１における複数の偏光素子の温度分布を示した図である。 実施形態の変形例２に係る光配向用偏光光照射装置の拡大斜視図である。 実施形態の変形例３に係る防風カバーを説明するための図である。 実施形態の変形例３に係る光配向用偏光光照射装置の拡大斜視図である。 実施形態の変形例４に係る光配向用偏光光照射装置の拡大斜視図である。

以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１は、光源１０と、フィルタ２０と、偏光素子３０とを具備する。線状の光源１０は、紫外線を照射する。フィルタ２０は、所定波長の紫外線を透過させる。偏光素子３０は、光源１０の軸方向に沿って配置され、紫外線を偏光させる。また、光配向用偏光光照射装置１は、光源１０と、フィルタ２０と、偏光素子３０との順にそれぞれ間隔をあけて配置される。そして、フィルタ２０と偏光素子３０との間の空間に、光源１０の軸方向に沿って第１冷却風Ｃ１を流す第１冷却流路Ｆ１が形成される。

また、以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１は、窓材４０をさらに具備する。窓材４０は、紫外線を透過させる。また、光配向用偏光光照射装置１は、光源１０と、フィルタ２０と、偏光素子３０と、窓材４０との順にそれぞれ間隔をあけて配置される。そして、偏光素子３０と窓材４０との間の空間に、光源１０の軸方向かつ第１冷却風Ｃ１と逆方向に沿って第２冷却風Ｃ２を流す第２冷却流路Ｆ２が形成される。

また、以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１は、偏光素子フレーム３１と、調整用ネジ３２とをさらに具備する。偏光素子フレーム３１は、偏光素子３０を回動可能に支持する。調整用ネジ３２は、偏光素子フレーム３１に螺合され、第１冷却流路Ｆ１に少なくとも一部が露出し、回転させることにより偏光素子３０の向きを調整する。そして、調整用ネジ３２が第１冷却流路Ｆ１に対して露出する領域のうち、もっとも速い第１冷却風Ｃ１が流れる領域において、調整用ネジ３２を締め付ける回転方向Ｒ１と、第１冷却風Ｃ１の流れる方向とが同じ向きである。

また、以下で説明する実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１は、偏光素子フレーム３１と、調整用ネジ３２と、防風カバー３６とをさらに具備する。偏光素子フレーム３１は、偏光素子３０を回動可能に支持する。調整用ネジ３２は、偏光素子フレーム３１に螺合され、第１冷却流路Ｆ１に少なくとも一部が露出し、回転させることにより偏光素子３０の向きを調整する。防風カバー３６は、調整用ネジ３２が第１冷却流路Ｆ１に対して露出する領域を覆うように配置される。

以下、図面を参照して、実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１について説明する。なお、実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。また、図面は模式的なものであり、各要素の寸法の関係、各要素の比率などは、現実と異なる場合があることに留意する必要がある。さらに、図面の相互間においても、互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれている場合がある。

＜実施形態＞
最初に、実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１について、図１および図２を参照しながら説明する。図１は、実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１の一断面図であり、図２は、実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１の別の断面図である。具体的には、図１は、光源１０が延びる方向と垂直に切断した場合の断面図であり、図２は、光源１０が延びる方向と平行に切断した場合の断面図である。

光配向用偏光光照射装置１は、たとえば、液晶パネルの配向膜材料に偏光光を照射して配向膜を得る光配向工程などに用いられる。光配向用偏光光照射装置１は、たとえば、液晶パネルの配向膜や視野角補償フィルムの配向膜などの製造に用いられ、被処理物であるワークＷに対して紫外線の偏光光を照射する。

以下、説明の便宜上、ワークＷの長手方向をＸ軸方向とし、Ｘ軸方向に直交し、且つ、ワークＷの幅方向をＹ軸方向とし、Ｙ軸方向及びＸ軸方向に直交する方向をＺ軸方向とする。他の図面においても、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸方向を同様に示す。

実施形態に係る光配向用偏光光照射装置１は、光源１０と、フィルタ２０と、複数の偏光素子３０と、窓材４０とを備える。

光源１０は、軸心がＸ軸方向に沿って延びる直線状の光源である。光源１０は、たとえば、水銀ランプやメタルハライドランプなどの直線状の放電ランプ、複数のＬＥＤ（Light Emitting Diode）が基板上に設けられた直線状のＬＥＤランプなどである。なお、実施形態では、光源１０が１つの光源で構成されるが、たとえば、複数の光源がＸ軸方向に沿うように直線状に並んで配列されてもよい。

光源１０は、筐体１１内における所定の位置に配置され、周囲に反射部材１２が設けられる。また、筐体１１の上部には、筐体１１内を排気する排気ファン１３が設けられる。なお、排気ファン１３の位置は、筐体１１内に限定されない。例えば、排気ファン１３が図示しない筐体１１の外部に設けられたブロアであってもよい。

反射部材１２は、光源１０と対向する面に、光源１０から照射される光を反射する反射面を有する。かかる反射面は、直線状に配置される光源１０の軸心に沿った方向（以下、光源１０の軸方向とも呼称する。）に見た場合に、楕円の一部が開口した形状になっている。すなわち、反射部材１２は、いわゆる楕円ミラーである。

そして、反射部材１２は、反射面を形成する楕円における２つの焦点のうち、一方の焦点の位置に光源１０の軸心が位置するように設けられており、他方の焦点側が開口している。これにより、反射部材１２は、一方の焦点の位置に光源１０を配置した際に、光源１０から放出された光を他方の焦点付近に集光させることができる。

また、反射部材１２は、Ｚ軸負方向に開口する向きで配設される。なお、反射部材１２の形状は上記に限定されず、たとえば放物線の一部が開口した形状や、平板形状などであってもよい。

反射部材１２は、直線状に形成される光源１０に沿って、上述の形状で光源１０に沿って平行に延びる。さらに、反射部材１２には、反射面の楕円が開口する側の反対側の部分で、楕円の曲率が最大になる部分付近に、空隙部１２ａが形成される。すなわち、空隙部１２ａは、光源１０から見て、反射面の楕円が開口する側の反対側に形成される。

反射部材１２は、かかる空隙部１２ａで、楕円の内側と外側との空間を連通させている。ここで、排気ファン１３により、特に光源１０近傍の高温になった空気を楕円の内側から排気することができることから、温度が高くなり過ぎることなく、光源１０を発光させることができる。

反射部材１２は、たとえば、ガラス基板上に積層される多層膜で反射面が構成されるダイクロイックミラーである。反射部材１２の反射面は、たとえば、紫外線を９５％の反射率で反射する一方、波長５００ｎｍ以上の可視光および赤外光を透過する。

フィルタ２０は、たとえば、光源１０から照射される光のうち、特定の波長域の光のみを透過するバンドパスフィルタである。フィルタ２０は、光源１０から照射される光のうち、たとえば、２５４ｎｍや３１３ｎｍ、３６５ｎｍなどの所定の波長域の紫外線を透過し、他の波長域の光が透過することを規制することができる。

フィルタ２０は、Ｚ軸方向において、反射部材１２における反射面の楕円が開口している側に配設される。かかるフィルタ２０は、支持部材２１を用いて、後述する偏光素子フレーム３１に支持される。

偏光素子３０は、入射する紫外線を偏光光として出射する。偏光素子３０は、フィルタ２０と同様に、Ｚ軸方向において、反射部材１２における反射面の楕円が開口する側に配設される。たとえば、反射面の楕円における他方の焦点の位置に偏光素子３０を設けることにより、反射部材１２で反射した光を偏光素子３０に向けて集光させることができる。なお、偏光素子３０は焦点の位置に限定されない。例えば、変更素子３０の位置は、反射面の楕円における他方の焦点よりも光源１０側であってもよいし、反射面の楕円における他方の焦点よりも光源１０から遠ざかる側であってもよい。

図２に示すように、複数の偏光素子３０が光源１０の軸方向に沿って並んで配置される。また、偏光素子３０は、ＸＹ平面上における周囲が、偏光素子フレーム３１で囲まれるとともに、図１に示すように、かかる偏光素子フレーム３１に螺合される調整用ネジ３２と、偏光素子フレーム３１に固定される支柱３３とにより挟持される。これにより、偏光素子３０は、偏光素子フレーム３１に支持される。調整用ネジ３２および支柱３３の詳細については後述する。

偏光素子３０は、光源１０から照射され、フィルタ２０と通過する紫外線のうち、所定の基準方向に平行ではない偏光軸の紫外線を反射または吸収する。一方で、偏光素子３０は、所定の基準方向に平行な偏光軸の紫外線を通過させ、ワークＷに向けて出射する。

すなわち、偏光素子３０は、フィルタ２０を通過した様々な方向に振動する偏光軸の紫外線から、基準方向にのみ振動した偏光軸の紫外線を偏光光として取り出すことができる。なお、基準方向のみに振動した偏光軸の光を、一般に直線偏光という。また、偏光軸とは、光の電場及び磁場の振動方向である。

図３は、実施形態に係る偏光素子３０の断面図であり、具体的には、偏光素子３０において偏光光を取り出す部位である偏光素子体３０ａを、光源１０の軸方向と平行な方向に切断した場合の断面図である。

図３に示すように、偏光素子体３０ａは、たとえば、石英ガラスなどの基板３０ａ１上に、複数の直線状の電気導体３０ａ２を等間隔に平行に配置したワイヤーグリッド偏光素子である。電気導体３０ａ２は、たとえば、クロムやアルミニウム合金、モリブデンシリコン合金、アモルファスシリコンなどで構成され、電気導体３０ａ２の長手方向は、所定の基準方向（実施形態ではＹ軸方向）と平行である。

これにより、偏光素子体３０ａは、Ｙ軸方向と平行な偏光軸の紫外線を通過させる。なお、電気導体３０ａ２のピッチは、光源１０から放出される紫外線の波長の１／３以下であるのが望ましい。

図１および図２の説明に戻る。窓材４０は、紫外線を透過させる材料（たとえば、合成石英ガラスなど）で構成され、窓材フレーム４１に支持され、偏光素子３０を通過した偏光光を透過させる。そして、窓材４０を通過した紫外線の偏光光が、ワークＷに照射される。なお、ワークＷの表面に照射される紫外線の偏光軸の基準方向は、ワークＷの構造、用途、または、要求される仕様に応じて適宜設定される。

ここまで説明したように、光配向用偏光光照射装置１では、光源１０と、フィルタ２０と、複数の偏光素子３０と、窓材４０とが、かかる記載の順に、それぞれ間隔をあけて配置される。そして、光源１０から照射される光は、フィルタ２０と、複数の偏光素子３０と、窓材４０との順に通過して、所望の偏光光がワークＷに照射される。

ここで、実施形態では、フィルタ２０と複数の偏光素子３０との間に形成され、偏光素子フレーム３１に囲まれる空間に、偏光素子３０を冷却する第１冷却風Ｃ１を流すための第１冷却流路Ｆ１が形成される。具体的には、図２に示すように、光源１０の軸方向における偏光素子フレーム３１の一端側（図ではＸ軸負方向側）に流入口３４が形成され、他端側（図ではＸ軸正方向側）に流出口３５が形成される。

そして、流入口３４から第１冷却風Ｃ１を流入させ、かかる第１冷却風Ｃ１を光源１０の軸方向と平行な向き（図ではＸ軸正方向）に流して、流出口３５から流出させる。これにより、並んで配置される偏光素子３０をすべて冷却する第１冷却流路Ｆ１が形成される。

すなわち、実施形態では、流入口３４および流出口３５を一組形成するだけで、並んで配置される偏光素子３０をすべて冷却することができる。したがって、実施形態によれば、並んで配置される偏光素子３０の冷却構造を簡便化することができる。

実施形態では、第１冷却風Ｃ１として、圧縮された高圧空気を流してもよいし、冷却空気を循環して流してもよい。

＜変形例＞
つづいて、実施形態にかかる光配向用偏光光照射装置１の各種変形例について説明する。図４は、実施形態の変形例１に係る光配向用偏光光照射装置１の一断面図であり、図５は、実施形態の変形例１に係る光配向用偏光光照射装置１の別の断面図である。なお、図４は、実施形態における図１に対応する図面であり、図５は、実施形態における図２に対応する図面である。

図４および図５に示すように、変形例１では、複数の偏光素子３０と窓材４０との間に形成され、窓材フレーム４１および偏光素子フレーム３１に囲まれる空間に、偏光素子３０を冷却する第２冷却風Ｃ２を流すための第２冷却流路Ｆ２が形成される。

具体的には、図５に示すように、光源１０の軸方向における窓材フレーム４１の一端側（図ではＸ軸正方向側）に流入口４２が形成され、他端側（図ではＸ軸負方向側）に流出口４３が形成される。なお、かかる流入口４２および流出口４３は、第１冷却流路Ｆ１を形成する流入口３４および流出口３５とはそれぞれ逆の位置に形成される。すなわち、流入口４２は流出口３５の近傍に形成され、流出口４３は流入口３４の近傍に形成される。

そして、流入口４２から第２冷却風Ｃ２を流入させ、かかる第２冷却風Ｃ２を光源１０の軸方向と平行な向き、かつ第１冷却風Ｃ１とは逆方向（図ではＸ軸負方向）に流して、流出口４３から流出させる。これにより、偏光素子３０をすべて冷却する第２冷却流路Ｆ２が形成される。

上述の実施形態では、光源１０からの紫外線によって偏光素子３０が高温になる場合、第１冷却流路Ｆ１における上流側の偏光素子３０に比べて、下流側の偏光素子３０の冷却効率が低下する場合がある。なぜなら、上流側にある高温の偏光素子３０を冷却すると、第１冷却風Ｃ１の温度が大きく上昇するため、下流側における第１冷却風Ｃ１と偏光素子３０との温度差が小さくなるからである。

しかしながら、第１冷却流路Ｆ１とは逆向きの第２冷却流路Ｆ２を形成することにより、第１冷却流路Ｆ１における下流側の偏光素子３０が、第２冷却流路Ｆ２では上流側になることから、かかる偏光素子３０を優先的に冷却することができる。したがって、変形例１によれば、並んで配置される偏光素子３０を均等に冷却することができる。

図６は、参考例および変形例１における複数の偏光素子３０の温度分布を示した図である。ここで、図６は、光源１０から光が照射されている場合において、１０個並んで配置される偏光素子３０それぞれの温度を配列順に示している。また、参考例は、複数の偏光素子３０と窓材４０との間の空間に、第１冷却風Ｃ１と同じ向きの第２冷却風Ｃ２を流した場合の例である。図６において、縦軸は温度［℃］、横軸は偏光素子の番号を示す。

図６に示すように、第１冷却風Ｃ１と逆向きの第２冷却風Ｃ２を流す変形例１では、並んで配置される偏光素子３０の温度分布が均等になるように、偏光素子３０を冷却することができる。

なお、変形例１では、室温と同等の温度の第２冷却風Ｃ２を第２冷却流路Ｆ２に流してもよいし、冷却器により室温より低い温度に冷却された第２冷却風Ｃ２を第２冷却流路Ｆ２に流してもよい。

図７は、実施形態の変形例２に係る光配向用偏光光照射装置１の拡大斜視図であり、具体的には、第１冷却流路Ｆ１の周囲に設けられる偏光素子３０と、偏光素子フレーム３１と、調整用ネジ３２と支柱３３とについて示した図である。

ここで、偏光素子３０を支持する構造の詳細について、図７を参照しながら説明する。偏光素子３０は、上述の偏光素子体３０ａと、かかる偏光素子体３０ａを保持する保持部３０ｂとで構成される。かかる構成を有する偏光素子３０は、一方側（図ではＹ軸正方向側）において円柱状の支柱３３を基点に、ＸＹ平面上で回動可能に係止される。また、偏光素子３０は、他方側（図ではＹ軸負方向側）において一対の調整用ネジ３２で押圧される。すなわち、偏光素子３０は、支柱３３と調整用ネジ３２とにより挟持される。

さらに、一対の調整用ネジ３２のねじ込み量をそれぞれ適宜調整することにより、支柱３３を基点に偏光素子３０を回動させて、偏光素子３０のＸＹ平面上における向きを適宜調整することができる。これにより、偏光素子体３０ａの基準方向を、所望の向きに調整することができることから、光配向用偏光光照射装置１から出射される光の偏光軸を調整することができる。

たとえば、一対の調整用ネジ３２の一方には偏光素子３０を挟持する機能を主に担わせ、もう一方には偏光素子３０の向きを調整する機能を主に担わせればよい。

ここで、変形例２では、図７に示すように、調整用ネジ３２が第１冷却流路Ｆ１に対して露出する領域のうち、もっとも速い第１冷却風Ｃ１が流れる領域において、調整用ネジ３２を締めつける回転方向Ｒ１と、第１冷却風Ｃ１の流れる方向とを同じ向きにするとよい。

たとえば、変形例２では、調整用ネジ３２が第１冷却流路Ｆ１に露出する領域のうち、下側に比べて上側のほうが流路面積が大きいことから、第１冷却風Ｃ１の流れが速い。したがって、変形例２において「もっとも速い第１冷却風Ｃ１が流れる領域」とは、調整用ネジ３２の上側の領域となる。

もし仮に、調整用ネジ３２を締めつける回転方向Ｒ１と、第１冷却風Ｃ１の流れる方向とが反対向きであるとすると、調整用ネジ３２を緩ませる回転方向と、第１冷却風Ｃ１の流れる方向とが同じ向きになる。したがって、調整用ネジ３２には、かかる調整用ネジ３２が緩む方向に第１冷却風Ｃ１の流れが加わることから、次第に調整用ネジ３２が緩み、調整用ネジ３２のねじ込み量が変化してしまう恐れがある。

一方で、変形例２では、調整用ネジ３２を締めつける回転方向Ｒ１と、第１冷却風Ｃ１の流れる方向とを同じ向きにしている。これにより、第１冷却風Ｃ１の流れで調整用ネジ３２が緩むことを抑制することができる。したがって、第１冷却風Ｃ１によって調整用ネジ３２のねじ込み量が変化することを抑制することができることから、光配向用偏光光照射装置１から出射される光の偏光軸を安定させることができる。

なお、図７の例では、１つの偏光素子３０に対して１つの支柱３３と一対の調整用ネジ３２とが設けられているが、支柱３３や調整用ネジ３２の数や配置についてはかかる例に限られない。

図８は、実施形態の変形例３に係る防風カバー３６を説明するための図であり、図９は、実施形態の変形例３に係る光配向用偏光光照射装置１の拡大斜視図である。図８および図９で示すように、変形例３では、調整用ネジ３２が第１冷却流路Ｆ１に対して露出する領域を覆うように、防風カバー３６が設けられる。

かかる防風カバー３６は、たとえば、図８に示すように、略Ｕ字状であり、偏光素子３０に当接する二対以上（図では三対）の調整用ネジ３２の上側をまとめて覆うように配置される。これにより、図９に示すように、第１冷却流路Ｆ１に第１冷却風Ｃ１が流れる場合でも、かかる第１冷却風Ｃ１の流れに調整用ネジ３２がさらされることを抑制することができる。

したがって、変形例３によれば、変形例２と同様に、第１冷却風Ｃ１によって調整用ネジ３２のねじ込み量が変化することを抑制することができることから、光配向用偏光光照射装置１から出射される光の偏光軸を安定させることができる。

さらに、変形例３では、調整用ネジ３２が第１冷却流路Ｆ１に対して露出することで増大していた流路抵抗を、防風カバー３６で覆うことにより低減させることができる。したがって、第１冷却風Ｃ１による偏光素子３０の冷却効率を向上させることができる。

なお、防風カバー３６の配置は上述の例に限られない。たとえば、図１０に示すように、偏光素子３０に当接する一対の調整用ネジ３２の上側をそれぞれ覆うように、複数の防風カバー３６を配置してもよい。図１０は、実施形態の変形例４に係る光配向用偏光光照射装置１の拡大斜視図である。

また、防風カバー３６の形状は略Ｕ字状に限られず、調整用ネジ３２が第１冷却流路Ｆ１に露出する領域を覆うように形成されていれば、どのような形状であってもよい。

上記実施形態では、第１冷却風Ｃ１として圧縮された高圧空気を流し、第２冷却風Ｃ２として室温より低い温度に冷却された冷却風を流した例について示したが、第１冷却風Ｃ１は圧縮された高圧空気に限られず、また第２冷却風Ｃ２は室温以下の冷却風に限られない。たとえば、第１冷却風Ｃ１を室温以下の冷却風にしてもよく、第２冷却風Ｃ２を圧縮された高圧空気にしてもよい。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると同様に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。

１ 光配向用偏光光照射装置
１０ 光源
２０ フィルタ
３０ 偏光素子
３１ 偏光素子フレーム
３２ 調整用ネジ
３６ 防風カバー
４０ 窓材
Ｃ１ 第１冷却風
Ｆ１ 第１冷却流路
Ｃ２ 第２冷却風
Ｆ２ 第２冷却流路

Claims (4)

1. 紫外線を照射する線状の光源と；
   所定波長の紫外線を透過させるフィルタと；
   前記光源の軸方向に沿って配置され、紫外線を偏光させる偏光素子と；
   を具備し、
   前記光源と、前記フィルタと、前記偏光素子との順にそれぞれ間隔をあけて配置され、
   前記フィルタと前記偏光素子との間の空間に、前記光源の軸方向に沿って第１冷却風を流す第１冷却流路が形成される
   光配向用偏光光照射装置。
2. 紫外線を透過させる窓材をさらに具備し、
   前記光源と、前記フィルタと、前記偏光素子と、前記窓材との順にそれぞれ間隔をあけて配置され、
   前記偏光素子と前記窓材との間の空間に、前記光源の軸方向かつ前記第１冷却風と逆方向に沿って第２冷却風を流す第２冷却流路が形成される
   請求項１に記載の光配向用偏光光照射装置。
3. 前記偏光素子を回動可能に支持する偏光素子フレームと；
   前記偏光素子フレームに螺合され、前記第１冷却流路に少なくとも一部が露出し、回転させることにより前記偏光素子の向きを調整する調整用ネジと；
   をさらに具備し、
   前記調整用ネジが前記第１冷却流路に対して露出する領域のうち、もっとも速い前記第１冷却風が流れる領域において、前記調整用ネジを締め付ける回転方向と、前記第１冷却風の流れる方向とが同じ向きである
   請求項１または２に記載の光配向用偏光光照射装置。
4. 前記偏光素子を回動可能に支持する偏光素子フレームと；
   前記偏光素子フレームに螺合され、前記第１冷却流路に少なくとも一部が露出し、回転させることにより前記偏光素子の向きを調整する調整用ネジと；
   前記調整用ネジが前記第１冷却流路に対して露出する領域を覆うように配置される防風カバーと；
   をさらに具備する
   請求項１または２に記載の光配向用偏光光照射装置。

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