JP2018534559A - 走査プローブ・センサおよび走査プローブ顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】走査プローブ・センサは、強磁性流体を有するプローブ探針と、強磁性流体に作用する磁場を発生させるように適合される磁場発生器とを含む。さらにまた、センサ・コントローラが、用意され、磁場発生器の1つまたは複数のパラメータを制御し、それにより、流体の形状を制御するように構成される。
【選択図】図1
Description
ただし、B=磁場強度、Bom=磁気結合数(magnetic bond number)(約25)、μ0=真空透磁率(4π×10−7H/m)、γ=表面張力(例えば、水性強磁性流体に対して、43mN/m)、χ(B)=磁気感受率(0.75)、および、Ro=初期滴半径(例えば、1mm)である。
Claims (20)
- 走査プローブ顕微鏡に対する走査プローブ・センサであって、
強磁性流体を備えるプローブ探針と、
前記強磁性流体に作用する磁場を発生させるように適合される磁場発生器と、
前記磁場発生器の1つまたは複数のパラメータを制御し、それにより、前記流体の形状を制御するように構成されるセンサ・コントローラと
を含む、走査プローブ・センサ。 - 前記センサ・コントローラは、前記流体と試料との間の相互作用に依存して、前記流体の前記形状を制御するように構成される、請求項1に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記センサ・コントローラは、前記磁場の強度を制御するように構成される、請求項1または2に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記センサ・コントローラは、前記磁場の1つまたは複数の方向を制御するように構成される、請求項1ないし3のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記プローブ探針は、前記強磁性流体により包囲される固体コアを備える、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記プローブ探針は、前記強磁性流体に対する流路を含む固体キャリア構造を備える、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記プローブ探針は、前記強磁性流体からなる、請求項1ないし4のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記走査プローブ・センサは、
前記強磁性流体のためのリザーバと、
前記強磁性流体を、前記リザーバから前記プローブ探針にポンピングするためのポンプと
を含む、請求項1ないし7のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。 - 前記走査プローブ・センサは、非接触走査モードで動作するように構成される、請求項1ないし8のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記センサ・コントローラは、前記流体の前記形状が周期的に変化するよう、前記磁場発生器の前記1つまたは複数のパラメータを制御するように構成される、請求項9に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記走査プローブ・センサは、接触走査モードで動作するように構成される、請求項1ないし8のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記センサ・コントローラは、前記流体と試料との間の接触域のサイズが動的に適合されるよう、前記磁場発生器の前記1つまたは複数のパラメータを制御するように構成される、請求項11に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記強磁性流体は導電性であり、前記走査プローブ・センサは、前記流体の中の電子輸送に関係付けられる電気的測定を実行するように構成される、請求項1ないし12のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記センサ・コントローラは、複数のあらかじめ規定された探針形状が提供されるべく、前記磁場発生器の前記1つまたは複数のパラメータを制御するように構成される、請求項1ないし13のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記走査プローブ・センサは、カンチレバーを備え、前記プローブ探針は、前記カンチレバーに接して配置構成される、請求項1ないし14のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 前記走査プローブ・センサは、チューニング・フォークを備え、前記プローブ探針は、前記チューニング・フォークに接して配置構成される、請求項1ないし14のいずれか一項に記載の走査プローブ・センサ。
- 強磁性流体を備えるプローブ探針と、前記強磁性流体に作用する磁場を発生させるように適合される磁場発生器と、前記磁場発生器の1つまたは複数のパラメータを制御し、それにより、前記流体の形状を制御するように構成されるセンサ・コントローラとを備える、走査プローブ・センサと、
試料を前記走査プローブ・センサとの関係で位置決めするように構成される試料位置決め器と、
前記試料位置決め器および前記走査プローブ・センサを制御するように構成されるシステム・コントローラと
を含む、走査プローブ顕微鏡。 - 前記センサ・コントローラは、前記流体と試料との間の相互作用に依存して、前記流体の前記形状を制御するように構成される、請求項17に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記センサ・コントローラは、前記磁場の強度を制御するように構成される、請求項17または18に記載の走査プローブ顕微鏡。
- 前記センサ・コントローラは、前記磁場の1つまたは複数の方向を制御するように構成される、請求項17ないし19のいずれか一項に記載の走査プローブ顕微鏡。
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