JP2018533748A - 単一画像検出 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (36)
- 標本上の欠陥を検出するよう構成されたシステムであって、
標本の画像を生成するよう構成されたイメージングサブシステムであり、その標本にエネルギを差し向けるよう構成された少なくとも1個のエネルギ源並びにその標本からのエネルギを検出するよう構成された少なくとも1個の検出器を有するイメージングサブシステムと、
上記イメージングサブシステムに結合された1個又は複数個のコンピュータサブシステムであり、上記標本の構成部分に関しそのイメージングサブシステムにより生成された単一のテスト画像を捕捉するよう構成されている1個又は複数個のコンピュータサブシステムと、
上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムにより実行される1個又は複数個のコンポーネントと、
を備え、
上記1個又は複数個のコンポーネントが生成モデルを含み、その生成モデルが、入力フィーチャマップボリュームを構成する画素のブロックをラベルにマッピングするよう構成された非線形ネットワークを有し、それらラベルがそれらブロックの一通り又は複数通りの欠陥関連特性を示すものであり、
上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記単一のテスト画像を上記生成モデルに入力するよう構成されており、
上記生成モデルが、
上記単一のテスト画像を複数個の画素ブロックに分割するよう、
上記複数個の画素ブロックのうち少なくとも1個に関し、それら複数個のブロックのうち当該少なくとも1個に属する画素のみに基づき、当該複数個のブロックのうち当該少なくとも1個に備わるフィーチャを判別するよう、且つ
判別されたフィーチャと、上記入力フィーチャマップボリュームを構成する画素ブロックをラベルにマッピングした結果とに基づき、上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に係るラベルのうち1個を選択するよう、
構成されており、
上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に関し選択されたラベルに基づき上記標本構成部分内の欠陥を検出するよう、構成されているシステム。 - 請求項1に記載のシステムであって、上記生成モデルが深層生成モデルであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記生成モデルが機械学習モデルであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記生成モデルが畳み込みニューラルネットワークであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記欠陥検出が他画像に対する上記単一のテスト画像の整列を含まないシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記欠陥検出が他画像に対する上記単一のテスト画像の比較を含まないシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記欠陥検出が統計式欠陥検出を含まないシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記ラベルが、上記入力フィーチャマップボリューム内の入力フィーチャが欠陥に係るものであるのか欠陥に係るものでないのかを示すものであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記ラベルが、上記入力フィーチャマップボリューム内の入力フィーチャに係る欠陥の種別を示すものであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に関し選択されたラベルに基づき上記標本構成部分内の欠陥の種別を判別するよう、構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に係るラベルのうち1個の選択にて、それら複数個のブロックの組合せに係るラベルのうち1個のみの選択が行われるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、生成モデル訓練用の訓練データセットを生成するよう構成されており、その訓練データセットが、上記標本に係るデザイン情報の構成部分と、そのデザイン情報構成部分に関し生成された画像と、の対の集合を含むシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記集合に属する対のうち少なくとも1個が、上記標本上又は他標本上で検出された欠陥に関し生成されるシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記集合に属する対のうち少なくとも1個が合成欠陥に関し生成されるシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記集合に属する対のうち少なくとも1個が模擬欠陥に関し生成されるシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記集合に属する対のうち少なくとも1個が、プロセスウィンドウ検定により検出された欠陥に関し生成されるシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記デザイン情報がデザインデータを含むシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記デザイン情報が、デザインデータから生成された模擬画像を含むシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記対をなす画像のうち少なくとも1個が、上記イメージングサブシステムにより上記標本又は他標本につき生成された実画像を含むシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記対をなす画像のうち少なくとも1個が、1)当該少なくとも1個の画像に係るデザイン情報、並びに2)他標本に関し上記イメージングサブシステムにより生成された他画像、に基づき生成された合成画像を含むシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記対をなす画像のうち少なくとも1個が、1)当該少なくとも1個の画像に係るデザイン情報、並びに2)上記イメージングサブシステムの一通り又は複数通りの特性、に基づき生成された模擬画像を含むシステム。
- 請求項12に記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記集合において上記対をなす画像内の他欠陥を検出し、当該他欠陥の検出結果に対応する画像内画素にラベルを関連付けるよう、構成されているシステム。
- 請求項22に記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記対をなす画像に関し上記生成モデルによって判別されたフィーチャがそれら画像内の画素に係るラベルにマッピングされるに至るまでその生成モデルのパラメタを漸次修正することにより、その生成モデルの教師付訓練を実行するよう、構成されているシステム。
- 請求項23に記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記集合に新たな対を追加することで上記訓練データセットを修正し、当該新たな対をなす画像内の1個又は複数個の更なる欠陥を検出し、当該1個又は複数個の更なる欠陥の検出結果に対応する画像内画素に1個又は複数個の更なるラベルを関連付け、そして、上記対及び当該新たな対をなす画像に関し上記生成モデルによって判別されたフィーチャが当該対及び当該新たな対をなす画像内の画素に係るラベルにマッピングされるに至るまで上記パラメタを漸次修正することにより上記教師付訓練を再実行するよう、構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記単一のテスト画像の複数個のパースペクティブを生成するよう構成されており、当該単一のテスト画像として当該1個又は複数個のコンピュータサブシステムにより上記生成モデルに入力されるものに、当該単一のテスト画像の複数個のパースペクティブが含まれるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記選択されたラベルに基づき且つ上記標本に係るデザイン情報を併用し欠陥を検出するよう構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムが、更に、上記選択されたラベルに基づき且つ上記標本に係るデザイン情報無しで欠陥を検出するよう構成されているシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記イメージングサブシステムが電子ビーム式イメージングサブシステムであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記イメージングサブシステムが光学式イメージングサブシステムであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記イメージングサブシステムが検査サブシステムであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記イメージングサブシステムが欠陥レビューサブシステムであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記イメージングサブシステムが計量サブシステムであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記標本がウェハであるシステム。
- 請求項1に記載のシステムであって、上記標本がレティクルであるシステム。
- 標本上の欠陥を検出するためのコンピュータ実施方法を実行すべく、コンピュータシステム上で実行可能なプログラム命令が格納されている非一時的コンピュータ可読媒体であり、そのコンピュータ実施方法が、
標本の構成部分に関しイメージングサブシステムによって生成された単一のテスト画像を複数個の画素ブロックに分割するステップと、
上記複数個の画素ブロックのうち少なくとも1個に関し、それら複数個のブロックのうち当該少なくとも1個に属する画素のみに基づき、当該複数個のブロックのうち当該少なくとも1個に備わるフィーチャを判別するステップであり、上記分割とこの判別とが、1個又は複数個のコンピュータサブシステムにより実行される1個又は複数個のコンポーネントに組み込まれた生成モデルによって実行され、その生成モデルが、入力フィーチャマップボリュームを構成する画素ブロックをラベルにマッピングするよう構成された非線形ネットワークを有し、それらラベルがそれらブロックの一通り又は複数通りの欠陥関連特性を示すものであるステップと、
判別されたフィーチャと、上記入力フィーチャマップボリュームを構成する画素ブロックをラベルにマッピングした結果とに基づき、上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に係るラベルのうち1個を選択するステップと、
上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に関し選択されたラベルに基づき上記標本構成部分内の欠陥を検出するステップであり、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムがその検出を実行するステップと、
を有する非一時的コンピュータ可読媒体。 - 標本上の欠陥を検出するためのコンピュータ実施方法であって、
標本の構成部分に関しイメージングサブシステムによって生成された単一のテスト画像を複数個の画素ブロックに分割するステップと、
上記複数個の画素ブロックのうち少なくとも1個に関し、それら複数個のブロックのうち当該少なくとも1個に属する画素のみに基づき、当該複数個のブロックのうち当該少なくとも1個に備わるフィーチャを判別するステップであり、上記分割とこの判別とが、1個又は複数個のコンピュータサブシステムにより実行される1個又は複数個のコンポーネントに組み込まれた生成モデルによって実行され、その生成モデルが、入力フィーチャマップボリュームを構成する画素ブロックをラベルにマッピングするよう構成された非線形ネットワークを有し、それらラベルがそれらブロックの一通り又は複数通りの欠陥関連特性を示すものであるステップと、
判別されたフィーチャと、上記入力フィーチャマップボリュームを構成する画素ブロックをラベルにマッピングした結果とに基づき、上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に係るラベルのうち1個を選択するステップと、
上記複数個のブロックのうち上記少なくとも1個に関し選択されたラベルに基づき上記標本構成部分内の欠陥を検出するステップであり、上記1個又は複数個のコンピュータサブシステムがその検出を実行するステップと、
を有する方法。
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