JP2018515706A5 - - Google Patents

Claims (20)

1. 電気モータを有する真空ポンプをモニタするためのポンプモニタ装置であって、
   前記ポンプモニタ装置は、
   前記電気モータの電流を測定して時間ベースの信号を発生させるための少なくとも１つのセンサと、
   前記時間ベースの信号を周波数ベースの信号に変換し、かつ
   前記周波数ベースの信号を解析してポンプ故障条件を表す信号パターンを識別する、
   ように構成された少なくとも１つの電子プロセッサと、
   を含むことを特徴とするポンプモニタ装置。
2. 前記信号パターンは、前記周波数ベースの信号内に少なくとも１つの信号ピークを含むことを特徴とする請求項１に記載のポンプモニタ装置。
3. 前記信号パターンは、事前定義周波数で又は前記周波数ベースの信号内の事前定義周波数範囲内で発生する少なくとも１つの信号ピークを含むことを特徴とする請求項２に記載のポンプモニタ装置。
4. 前記信号パターンは、前記少なくとも１つの信号ピークに対する振幅を含むことを特徴とする請求項２又は請求項３に記載のポンプモニタ装置。
5. 前記信号パターンは、事前定義されており、かつ公知のポンプ故障条件を表すことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のポンプモニタ装置。
6. 故障診断が、前記事前定義された信号パターンに関連付けられることを特徴とする請求項５に記載のポンプモニタ装置。
7. 前記周波数ベースの信号内で識別された前記信号パターンに関連付けられた前記故障診断を出力することを含むことを特徴とする請求項６に記載のポンプモニタ装置。
8. 前記ポンプの１又は２以上の作動パラメータを測定するための１又は２以上のポンプモニタセンサを含み、
   前記少なくとも１つのプロセッサは、前記ポンプ故障条件を前記１又は２以上の作動パラメータと相関させるように構成される、
   ことを特徴とする請求項５、請求項６、又は請求項７のいずれか１項に記載のポンプモニタ装置。
9. 電気モータに電流を供給するためのインバータであって、
   請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のポンプモニタ装置、
   を含むことを特徴とするインバータ。
10. インバータ制御ユニットを含み、
    少なくとも１つの電子プロセッサが、前記インバータ制御ユニット内に一体化される、
    ことを特徴とする請求項９に記載のインバータ。
11. 請求項１から請求項８のいずれか１項に記載のポンプモニタ装置、
    を含むことを特徴とするポンプ装置。
12. 電気モータに接続されたインバータを含み、
    時間ベースの信号を周波数ベースの信号に変換するように構成された少なくとも１つの電子プロセッサが、前記インバータに配置される、
    ことを特徴とする請求項１１に記載のポンプ装置。
13. 電気モータを有する真空ポンプをモニタする方法であって、
    電前記気モータの電流を測定して時間ベースの信号を発生させる段階と、
    前記時間ベースの信号を周波数ベースの信号に変換する段階と、
    前記周波数ベースの信号を処理してポンプ故障条件を表す信号パターンを識別する段階と、
    を含むことを特徴とする方法。
14. 前記信号パターンは、前記周波数ベースの信号内に少なくとも１つの信号ピークを含むことを特徴とする請求項１３に記載の方法。
15. 前記信号パターンは、事前定義周波数で又は前記周波数ベースの信号内の事前定義周波数範囲内で発生する少なくとも１つの信号ピークを含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
16. 前記信号パターンは、前記少なくとも１つの信号ピークに対する振幅を含むことを特徴とする請求項１４又は請求項１５に記載の方法。
17. 前記信号パターンは、事前定義され、から公知のポンプ故障条件を表すことを特徴とする請求項１３から請求項１６のいずれか１項に記載の方法。
18. 故障診断が、前記事前定義された信号パターンに関連付けられることを特徴とする請求項１７に記載の方法。
19. 前記周波数ベースの信号内で識別された前記信号パターンに関連付けられた前記故障診断を出力する段階を含むことを特徴とする請求項１８に記載の方法。
20. 前記ポンプの１又は２以上の作動パラメータを測定する段階と、前記公知のポンプ故障条件を該１又は２以上の作動パラメータと相関させる段階とを含むことを特徴とする請求項１７、請求項１８、又は請求項１９のうずれか１項に記載の方法。