JP2018500529A5 - - Google Patents

Claims (18)

1. 製造工程ツールからの流出ガスストリームを処理するための放射バーナーであって、
   焼結金属繊維スリーブであって、該焼結金属繊維スリーブの内側燃焼面に近接した燃焼のために燃焼材料が通過する前記焼結金属繊維スリーブと、
   前記焼結金属繊維シートを取り囲み、かつ前記燃焼材料が通過する絶縁スリーブと、
   を含むことを特徴とする放射バーナー。
2. 前記焼結金属繊維スリーブは、８０％−９０％の孔隙率、１５０−３００ｃｃ／ｍｉｎ／ｃｍ²の空気透過率、及び６９０−１１１０ｋｇ／ｍ³の密度のうちの少なくとも１つを有することを特徴とする請求項１に記載の放射バーナー。
3. 前記絶縁スリーブは、セラミック繊維ブランケットであることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の放射バーナー。
4. 前記絶縁スリーブは、１００−１５０ｋｇ／ｍ³の密度と前記燃焼材料がそれを通過する時に４０−６０Ｐａ圧力低下をもたらす密度とのうちの少なくとも一方を有することを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の放射バーナー。
5. 前記焼結金属繊維スリーブは、前記絶縁スリーブ内で同心的に保持されることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の放射バーナー。
6. 前記焼結金属繊維スリーブと前記絶縁スリーブとを保持するように作動可能な支持体を含むことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の放射バーナー。
7. 前記絶縁スリーブは、前記支持体内で同心的に保持されることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の放射バーナー。
8. 前記焼結金属繊維スリーブは、周方向に延びるプリーツを含むことを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の放射バーナー。
9. 前記焼結金属繊維スリーブと熱的に結合され、かつ該焼結金属繊維スリーブの温度の表示を与えるように作動可能な温度センサを含むことを特徴とする請求項１から請求項８のいずれか１項に記載の放射バーナー。
10. 前記温度センサは、外面上で前記焼結金属繊維スリーブと熱的に結合されることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の放射バーナー。
11. 前記温度に応答して選択された複数の混合比のうちの１つで前記燃焼材料を供給するように作動可能な供給源を含むことを特徴とする請求項１０に記載の放射バーナー。
12. 前記供給源は、前記焼結金属繊維スリーブの前記温度が作動温度を超えることができない時に実質的に量論的混合比で前記燃焼材料を供給するように作動可能であることを特徴とする請求項１１に記載の放射バーナー。
13. 前記供給源は、前記焼結金属繊維スリーブの前記温度が作動温度を超える時に実質的に希薄な混合比で前記燃焼材料を供給するように作動可能であることを特徴とする請求項１１又は請求項１２に記載の放射バーナー。
14. 製造工程ツールからの流出ガスストリームを処理するための放射バーナーを作動させる方法であって、
    前記放射バーナーの焼結金属繊維スリーブの外面の温度を決定する段階であって、燃焼材料が、該焼結金属繊維スリーブの内側燃焼面に近接した燃焼のために該焼結金属繊維スリーブを通過する前記決定する段階と、
    前記温度に応答して選択された複数の混合比のうちの１つで前記燃焼材料を供給する段階と、
    を含むことを特徴とする方法。
15. 前記供給する段階は、前記焼結金属繊維スリーブの前記温度が作動温度を超えることができない時に実質的に量論的混合比で前記燃焼材料を供給する段階を含むことを特徴とする請求項１４に記載の方法。
16. 前記供給する段階は、前記焼結金属繊維スリーブの前記温度が作動温度を超える時に実質的に希薄な混合比で前記燃焼材料を供給する段階を含むことを特徴とする請求項１４又は請求項１５に記載の方法。
17. 前記供給する段階は、選択された期間にわたって実質的に量論的混合比で前記燃焼材料を供給する段階を含むことを特徴とする請求項１４から請求項１６のいずれか１項に記載の方法。
18. 前記供給する段階は、選択された期間の満了時に前記実質的に希薄な混合比で前記燃焼材料を供給する段階を含むことを特徴とする請求項１４から請求項１７のいずれか１項に記載の方法。