JP2018206596A - 試料冷却装置 - Google Patents
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(1)閉サイクル冷凍機と、該閉サイクル冷凍機のコールドエンドに取り付けられる伝熱手段と、該伝熱手段へ外部からのラディエーションを遮断すべきシールド手段と、該伝熱手段に熱的に接触し、試料を特定の面内に回転可能に保持する試料保持手段と、前記伝熱手段、シールド手段、及び試料保持手段を真空中に維持可能な真空槽と、を備える試料冷却装置において、
前記試料保持手段は、前記特定の面内において回転可能な回転部材と、該回転部材を回転可能に受ける受け手段と、該回転部材に保持される前記試料を少なくとも前記真空槽又はシールド手段又は伝熱手段から電気的に絶縁可能である、高熱伝導性電気的絶縁部材と、及び、前記回転部材に電気絶縁的に係合して、前記特定の面内の回転運動を伝えるものであって、当該試料保持手段の外部からの回転駆動力を受けて回転させられる受動回転手段と、を含み、
当該試料冷却装置は、更に、前記伝熱手段に熱的に接続され、前記電気的絶縁部材に密着して、該電気的絶縁部材から前記伝熱手段へと熱の移動を可能にする、フレキシブルな伝熱継手と、及び、前記受動回転手段に係合して駆動させる外部駆動手段と、を含む、試料冷却装置。
(2)前記閉サイクル冷凍機は、GM冷凍機を含むことを特徴とする上記(1)に記載の試料冷却装置。
(3)前記伝熱手段は、伝熱棒を含むことを特徴とする上記(1)又は(2)に記載の試料冷却装置。
(4)前記シールド手段は、ラディエーションチューブを含むことを特徴とする上記(1)から(3)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(5)前記回転部材は、サンプルステージを含むことを特徴とする上記(1)から(4)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(6)前記受け手段は、ベアリングを含むことを特徴とする上記(1)から(5)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(7)前記高熱伝導性電気的絶縁部材は、サファイアプレートを含むことを特徴とする上記(1)から(6)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(8)前記受動回転手段は、前記回転部材との共通する軸に、電気的絶縁材料を介して結合するものであって、前記外部駆動手段の係合凸部若しくは凹部に係合して、駆動力を伝達できる伝達部材であることを特徴とする上記(1)から(7)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(9)前記フレキシブルな伝熱継手は、銅編み線を含むことを特徴とする上記(1)から(8)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(10)前記外部駆動手段は、駆動シャフトを含むことを特徴とする上記(1)から(9)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(11)前記真空槽には、必要に応じてベーキング用のヒータが備えられることを特徴とする上記(1)から(10)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(12)更に、装置移動機構を備え、前記試料保持手段を前記真空槽内において適切な位置に移動させることができることを特徴とする上記(1)から(11)のいずれかに記載の試料冷却装置
(13)前記試料保持手段は、前記伝熱手段の先端に備えられ、前記シールド手段は、前記伝熱手段を覆うラディエーションチューブ、及び、前記試料保持手段を覆うラディエーションシールドカバー、を含むことを特徴とする上記(1)から(12)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(14)前記ラディエーションシールドカバーは、少なくとも試料の一部を露出させる開口を備えるシャッターを含むことを特徴とする上記(13)に記載の試料冷却装置。
(15)前記シャッターは、ヒンジにより前記ラディエーションシールドカバーに回動可能に取り付けられ、前記真空槽の外側からの駆動力が前記ラディエーションチューブの外側に沿うように延びる開閉用駆動シャフトにより、前記シャッターが開閉すべく、前記ヒンジにおいて回動させられることを特徴とする上記(14)に記載の試料冷却装置。
(16)前記GM冷凍機は、そのヘッド部から延びる円筒形状のファーストステージ、及び、そのファーストステージの端部から延びる円筒形状のセカンドステージを含み、前記ファーストステージは、前記セカンドステージより大きい口径を備え、前記セカンドステージの外側の前記ファーストステージの端部に、前記シールド手段が取り付けられ、前記セカンドステージの先端から延びる前記伝熱手段がロッド形状であり、前記シールド手段は、前記伝熱手段を外部からのラディエーションを遮蔽すべく、前記伝熱手段を覆うことを特徴とする上記(2)に記載の試料冷却装置。
(17)前記外部駆動手段は、駆動シャフトを含み、該駆動シャフトは、前記シールド手段の外側に沿って延び、前記シールド手段の外側に固定される少なくとも1つの軸受を通ることを特徴とする上記(1)から(12)のいずれかに記載の試料冷却装置。
(18)前記駆動シャフトは、少なくとも1つのユニバーサルジョイントにより接続されることを特徴とする上記(17)に記載の試料冷却装置。
(19)前記駆動シャフトは、前記真空槽の外側の駆動装置により駆動されることを特徴とする上記(18)に記載の試料冷却装置。
(20)更に、真空ポンプを備える上記(1)から(19)のいずれかに記載の試料冷却装置。
図1は、本発明の実施例である冷却装置の一例を示す模式図である。本発明の試料冷却装置10は、GM冷凍機のヘッド12、これにヘリウムガスを供給するチューブ14及びこれからヘリウムガスを排出するチューブ16、ヘリウムガスを圧縮するヘリウムガスコンプレッサー18からなるGM冷凍機と、GM冷凍機のヘッド12の下側にある装置移動機構20と、この装置移動機構20の槽内の移動機構を槽外から操作可能に接続するフランジ22、必要に応じてベーキング用ヒータ24を着脱可能に備える真空槽26(図1では、手前側を透明にしている。)、及びバルブ28で接続される真空ポンプ30からなる真空槽系と、ファーストステージ32を備えるGM冷凍機のヘッド12の先端のセカンドステージ(コールドエンド)34の下端に接続される中間ロッド36、ファーストステージ32の下端に接続されて中間ロッド36を覆うラディエーションチューブ38、及びそれらの下側に位置する試料部40からなる試料保持システムと、真空槽26の下方部で試料部40に高さを合わせてゲートバルブ42を備えるサンプルトランスファー機構44と、を含む。このサンプルトランスファー機構44は、真空ポンプ49で排気される真空槽の外部から操作可能な操作部46にマグネットカップリングで接続されるサンプルトランスファー装置48を備える。GM冷凍機は、比較的安価な液体ヘリウムフリーの冷凍機であり、市販のものを利用できる。上記装置移動機構20は、フランジ22に対して高さ方向以外(水平方向若しくはXY方向)が固定されたXYステージ20aと、このXYステージのフレームを固定する中間フランジの高さ方向(Z方向)を調整可能なZ軸調節機構20bと、及び、XY方向及びZ方向の動きを可能にするベローズ20cと、を備える。これにより、試料部40の真空槽26内の位置を微調整できる。真空ポンプ30、49としては、例えば、市販のターボ分子ポンプを用いることができる。磁気浮上型が好ましい。
図1に示す試料冷却装置10により、以下のような確認実験を行った。室温状態にある試料冷却装置10のGM冷凍機のスイッチを入れ、試料を付けることなく予備試験として、冷却を開始した。その結果として、図22に、冷却開始からの経過時間と、中間ロッド36及びサンプルステージ52の温度との関係を示す。このグラフにおいては、シリコンダイオード温度センサーで測定された中間ロッド36及びサンプルステージ52のそれぞれの各温度と、冷却開始からの経過時間が示されている。冷却開始後、4時間以内に、中間ロッド36及びサンプルステージ52のそれぞれの温度が一定の値を示すようになり、互いにそれぞれの最低温度に到達したといえる。このときのセカンドステージ34の最低到達温度は、10.0Kであった。
(1)200℃程度のベーキングに耐え、超高真空(10−8 Pa以下)が得られること。
(2)真空を破らずに試料交換が可能なこと。
(3)表面観測のために様々なビームの入射・出射が可能なこと。
(4)ビームの試料電流が測定できるように試料は電気的に絶縁されていること。
(5)試料表面清浄化のために、電子衝撃加熱により1000K以上の加熱が可能なこと。
(6)試料表面の最低到達温度が15K以下であること。
(6)試料を面内方向に±90度の範囲で、精度0.5度以下の精度で回転可能なこと。
12 GM冷凍機のヘッド
14 ヘリウムガスを供給するチューブ
16 ヘリウムガスを排出するチューブ
18 ヘリウムガスコンプレッサー
20 装置移動機構
20a XYZステージ
20b 回転ステージ
22 23 フランジ
24 ベーキング用ヒータ
26 真空槽
28 バルブ
30 49 真空ポンプ
32 ファーストステージ
34 セカンドステージ(コールドエンド)
36 中間ロッド
38 ラディエーションチューブ
40 試料部
42 ゲートバルブ
44 サンプルトランスファー機構
46 操作部
48 サンプルトランスファー装置
50 サンプルホルダー
52 サンプルステージ
56 試料
58 リヤプレート
59 スリ割りボルト
60 ホルダーネジ
61 碍子
62 サンプルトランスファー
64 サンプルトランスファー治具
66 面内回転用ギア
68 下部基材
70 高電圧印加用端子
72 タングステン(W)フィラメント
74 タングステンフィラメント用配線
76 ボート部材
77 トップ面
78 デッキ
80 銅編み線
81 銅編み線端子
82 温度センサ
84 上部カバー
85 バックアップ基材
86 サファイアプレート
88 ベアリング
90 ナット
92 中空円筒軸
93 カップリング
94 最終シャフト
96 傘歯車
98 ユニバーサルジョイント
100 面内回転用回転導入器
102 軸受
104 駆動シャフト
107 ステッピングモータ
108 ラディエーションシールドカバー用回転導入器
110 温度センサ及び低温コントロールヒータ用電流導入端子
112 試料高電圧印加用端子
114 低温コントロールヒータ
116 駆動シャフト
118 ラディエーションシールドカバー
120 接続部
122 長四角の開口部
124 回転軸受
126 ヒンジ
128 ラディエーションシールドカバー部シャッター
130 ヒンジ側屈曲部
132 留め金側屈曲部
133 フロント部
134 スリット
136 上枠
138 下枠
140 上板
142 下板
144 右横枠
Claims (20)
- 閉サイクルヘリウム冷凍機と、
該閉サイクルヘリウム冷凍機のコールドエンドに取り付けられる伝熱手段と、
該伝熱手段へ外部からのラディエーションを遮断すべきシールド手段と、
該伝熱手段に熱的に接触し、試料を特定の面内に回転可能に保持する試料保持手段と、
前記伝熱手段、シールド手段、及び試料保持手段を真空中に維持可能な真空槽と、
を備える試料冷却装置において、
前記試料保持手段は、
前記特定の面内において回転可能な回転部材と、
該回転部材を回転可能に受ける受け手段と、
該回転部材に保持される前記試料を少なくとも前記真空槽又はシールド手段又は伝熱手段から電気的に絶縁可能である、高熱伝導性電気的絶縁部材と、及び
前記回転部材に電気絶縁的に係合して、前記特定の面内の回転運動を伝えるものであって、当該試料保持手段の外部からの回転駆動力を受けて回転させられる受動回転手段と、
を含み、
更に、前記伝熱手段に熱的に接続され、前記電気的絶縁部材に密着して、該電気的絶縁部材から前記伝熱手段へと熱の移動を可能にする、フレキシブルな伝熱継手と、及び
前記受動回転手段に係合して駆動させる外部駆動手段と、
を含む、試料冷却装置。 - 前記閉サイクルヘリウム冷凍機は、GM冷凍機を含むことを特徴とする請求項1に記載の試料冷却装置。
- 前記伝熱手段は、伝熱棒を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の試料冷却装置。
- 前記シールド手段は、ラディエーションチューブを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の試料冷却装置。
- 前記回転部材は、サンプルステージを含むことを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の試料冷却装置。
- 前記受け手段は、ベアリングを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の試料冷却装置。
- 前記高熱伝導性電気的絶縁部材は、サファイアプレートを含むことを特徴とする請求項1から6のいずれかに記載の試料冷却装置。
- 前記受動回転手段は、前記回転部材との共通する軸に、電気的絶縁材料を介して結合するものであって、前記外部駆動手段の係合凸部若しくは凹部に係合して、駆動力を伝達できる伝達部材であることを特徴とする請求項1から7のいずれかに記載の試料冷却装置。
- 前記フレキシブルな伝熱継手は、銅編み線を含むことを特徴とする請求項1から8のいずれかに記載の試料冷却装置。
- 前記外部駆動手段は、駆動シャフトを含むことを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の試料冷却装置。
- 前記真空槽には、必要に応じてベーキング用のヒータが備えられることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の試料冷却装置。
- 更に、装置移動機構を備え、前記試料保持手段を前記真空槽内において適切な位置に移動させることができることを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の試料冷却装置
- 前記試料保持手段は、前記伝熱手段の先端に備えられ、
前記シールド手段は、前記伝熱手段を覆うラディエーションチューブ、及び、前記試料保持手段を覆うラディエーションシールドカバー、を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の試料冷却装置。 - 前記ラディエーションシールドカバーは、少なくとも試料の一部を露出させる開口を備えるシャッターを含むことを特徴とする請求項13に記載の試料冷却装置。
- 前記シャッターは、ヒンジにより前記ラディエーションシールドカバーに回動可能に取り付けられ、
前記真空槽の外側からの駆動力が前記ラディエーションチューブの外側に沿うように延びる開閉用駆動シャフトにより、前記シャッターが開閉すべく、前記ヒンジにおいて回動させられることを特徴とする請求項14に記載の試料冷却装置。 - 前記GM冷凍機は、そのヘッド部から延びる円筒形状のファーストステージ、及び、そのファーストステージの端部から延びる円筒形状のセカンドステージを含み、
前記ファーストステージは、前記セカンドステージより大きい口径を備え、
前記セカンドステージの外側の前記ファーストステージの端部に、前記シールド手段が取り付けられ、
前記セカンドステージの先端から延びる前記伝熱手段がロッド形状であり、
前記シールド手段は、前記伝熱手段を外部からのラディエーションを遮蔽すべく、前記伝熱手段を覆うことを特徴とする請求項2に記載の試料冷却装置。 - 前記外部駆動手段は、駆動シャフトを含み、
該駆動シャフトは、前記シールド手段の外側に沿って延び、前記シールド手段の外側に固定される少なくとも1つの軸受を通ることを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の試料冷却装置。 - 前記駆動シャフトは、少なくとも1つのユニバーサルジョイントにより接続されることを特徴とする請求項17に記載の試料冷却装置。
- 前記駆動シャフトは、前記真空槽の外側の駆動装置により駆動されることを特徴とする請求項18に記載の試料冷却装置。
- 更に、真空ポンプを備える請求項1から19のいずれかに記載の試料冷却装置。
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