JP2018190844A - モールドおよび物品製造方法 - Google Patents
モールドおよび物品製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018190844A JP2018190844A JP2017092564A JP2017092564A JP2018190844A JP 2018190844 A JP2018190844 A JP 2018190844A JP 2017092564 A JP2017092564 A JP 2017092564A JP 2017092564 A JP2017092564 A JP 2017092564A JP 2018190844 A JP2018190844 A JP 2018190844A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diaphragm
- mold
- pattern
- thickness
- mold according
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Shaping Of Tube Ends By Bending Or Straightening (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【課題】モールドのパターン部の変形制御における自由度を向上させるために有利な技術を提供する。
【解決手段】基板の上にインプリント材の硬化物からなるパターンを形成するためのモールドは、互いに反対側の面である第1面および第2面を有する隔膜部と、前記第1面から突出するように前記第1面に設けられたパターン部と、前記隔膜部の周囲を支持する支持部と、を含み、前記隔膜部は、第1の厚さを有する部分と、前記第1の厚さとは異なる第2の厚さを有する部分とを含む。
【選択図】図1
【解決手段】基板の上にインプリント材の硬化物からなるパターンを形成するためのモールドは、互いに反対側の面である第1面および第2面を有する隔膜部と、前記第1面から突出するように前記第1面に設けられたパターン部と、前記隔膜部の周囲を支持する支持部と、を含み、前記隔膜部は、第1の厚さを有する部分と、前記第1の厚さとは異なる第2の厚さを有する部分とを含む。
【選択図】図1
Description
本発明は、モールドおよび物品製造方法に関する。
インプリント装置では、基板の上に配置されたインプリント材にモールドのパターン部を接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることによって硬化させる。これによって、硬化したインプリント材からなるパターンが基板の上に形成される。基板の上のインプリント材にモールドのパターン部を接触させる際に、まず、パターン部の中央部をインプリント材に接触させ、その後に、インプリント材とパターン部との接触部分の面積を徐々に拡大させる方法が採られうる。この方法を実現するために、パターン部を板状部材(以下、隔膜部)の中央部に配置し、隔膜部に圧力を加えることによって隔膜部を凸状に変形させ、これによってパターン部を基板に対して凸状に変形させる技術がある(特許文献1参照)。
従来、隔膜部は、厚さが均一な板状部材で構成されてきており、変形させたときの隔膜部の形状は、もっぱら隔膜部に与える圧力の大きさによって調整されていた。しかし、変形させたときの隔膜部の形状は、パターン部に形成された溝へのインプリント材の充填に対して大きな影響を及ぼしうる。パターン部の溝へのインプリント材の充填は、溝内の気泡がインプリント材によって吸収されるか、凝縮することによって完了する。パターン部の溝へのインプリント材の充填に要する時間を短くすることは、スループットの向上において重要である。
基板の上のインプリント材とパターン部との接触は、パターン部の中央部において開始されるので、パターン部の周辺部とインプリント材との接触時間は、パターン部の中央部とインプリント材との接触時間より短い。よって、パターン部の中央部よりもパターン部の周辺部における充填を速やかに終了させることがスループットの向上に寄与しうる。しかし、パターン部の中央部をインプリント材に接触させた後、即座にパターン部の周辺部をインプリント材に接触させようとすると、中央部に大きな気泡が形成される可能性があり、この気泡を消滅させるために長時間を要することになりうる。したがって、インプリント材へのパターン部の接触開始時およびその後におけるパターン部の形状の精密な制御が重要である。
一方、溝へのインプリント材の充填に要する時間は、溝の寸法、面積、ピッチ、密度等の種々の仕様に依存しうる。また、溝の仕様は、パターン部の全域において一様ではない。例えば、メモリおよびイメージセンサ等のように素子のアレイ部および周辺回路部を有する半導体装置では、アレイ部における溝の密度が周辺回路部における溝の密度より高いかもしれない。よって、アレイ部が配置された中央部の方が、周辺回路部が配置された周辺部よりも溝へのインプリント材の充填に長時間を要しうる。よって、中央部においてインプリント材にパターン部を接触させた後におけるインプリント材とパターン部との接触領域の拡大を緩やかにしても良いかもしれない。また、論理回路を主とする半導体装置では、溝の密度は、アレイ部を有する半導体装置に比べて一様であるかもしれない。溝の密度が一様な半導体装置に関しては、周辺部における充填の完了を早くしたいとの要求が強いかもしれない。
あるいは、インプリント材の種類、基板の上に形成すべきパターンの厚さ、基板の表面状態、基板(インプリント材)とモールドとの間の空間の雰囲気などの種々の条件によって、パターン部の最適な形状制御は変化しうる。
以上を考慮すると、隔膜部を厚さが均一な板状部材で構成し、変形時の隔膜部およびパターン部の形状を圧力のみによって制御しようとする方法では柔軟性が低いことが分かる。
本発明は、上記のような課題認識を契機としてなされたものであり、モールドのパターン部の変形制御における自由度を向上させるために有利な技術を提供することを目的とする。
本発明の1つの側面は、基板の上にインプリント材の硬化物からなるパターンを形成するためのモールドに係り、前記モールドは、互いに反対側の面である第1面および第2面を有する隔膜部と、前記第1面から突出するように前記第1面に設けられたパターン部と、前記隔膜部の周囲を支持する支持部と、を含み、前記隔膜部は、第1の厚さを有する部分と、前記第1の厚さとは異なる第2の厚さを有する部分とを含む。
本発明によれば、モールドのパターン部の変形制御における自由度を向上させるために有利な技術が提供される。
以下、添付図面を参照しながら本発明をその例示的な実施形態を通して説明する。
まず、図1を参照しながら本発明の一実施形態のモールド100の構成を例示的に説明する。モールド100は、基板の上にインプリント材の硬化物からなるパターンを形成するためのインプリント処理において使用される。モールド100は、インプリント材を硬化させるためのエネルギ(例えば、紫外線)を透過する材料(例えば、石英)で構成されうる。
モールド100は、互いに反対側の面である第1面111および第2面112を有する隔膜部110と、第1面111から突出するように第1面111に設けられたパターン部120(メサ部)と、隔膜部110の周囲を支持する支持部130とを含む。隔膜部110は、第1の厚さt1を有する部分P1と、第1の厚さt1とは異なる第2の厚さt2を有する部分P2とを含む。このような隔膜部110を有するモールド100は、パターン部120の変形制御における自由度の向上に寄与するものであり、従来のような均一な厚さを有する隔膜部を有するモールドとは区別される。パターン部120は、第1面111に加わる圧力と第2面112に加わる圧力とに差を設けることによって隔膜部110を変形させることによって変形されうる。例えば、第1面111に大気圧が加わった状態で、第2面112に対して大気圧より高い圧力を加えることによって隔膜部110が変形し、これによってパターン部120が変形する。
パターン部120は、隔膜部110の中央部に配置されうる。モールド100は、図1に模式的に示されるような断面において線対称な構造を有しうる。あるいは、モールド100は、モールド100を第1面111の側または第2面112の側から見た平面図において、対称性を有する構造(例えば、線対称な構造、点対称な構造、回転対称な構造の少なくとも1つを満たす構造)を有しうる。
隔膜部110の第1面111は、隔膜部110が変形していない状態において平面でありうる。第1面111は、モールド100が配置された空間に対して露出した露出面1211と、パターン部120の表面121(パターン面)と第2面112との間に位置する非露出面1212とで構成されうる。ここで、非露出面1212は、露出面1211の包絡面でありうる。露出面1211が平面の一部分で構成される場合、非露出面1212は当該平面の他の一部分によって構成されうる。非露出面1212は、典型的には、仮想的な面であり、物理的に存在する面ではない。非露出面1212は、隔膜部110とパターン部120との境界として定義されうる。パターン部120の表面121には、基板の上のインプリント材に転写すべきパターンを構成する溝が形成されうる。モールド100は、基板の上のインプリント材に転写すべきパターンを有しないモールド(ブランクモールド)であってもよいし、基板の上のインプリント材に転写すべきパターンを有するモールドであってもよい。
隔膜部110の第1面111と支持部130の一部分である第3面131とは、連続的な面を構成しうる。支持部130は、隔膜部110の第2面112が面する空間の側方を取り囲む第4面133(内側面)を有しうる。第4面133は、柱面(例えば、円筒面)を構成しうる。また、支持部130は、第3面131の反対側の面である第5面132を有しうる。第5面132は、モールド100を保持するモールド保持部によって保持される面でありうる。第4面133が属する柱面は、隔膜部110と支持部130との境界として定義されうる。
隔膜部110、パターン部120および支持部130は、相互に物理的な境界を有しない部材として構成されうる。例えば、隔膜部110、パターン部120および支持部130は、1つの塊を削ることによって構成されうる。あるいは、モールド100は、複数の部材を結合することによって構成されうる。例えば、隔膜部110、パターン部120および支持部130のうちの少なくとも2つが相互に結合されることによってモールド100が製造されうる。
図2を参照しながら、モールド100を使用して基板4の上にパターンを形成するインプリント装置1の構成例を説明する。インプリント装置1は、基板4の上に配置されたインプリント材IMにモールド100のパターン部120の表面121を接触させ、表面121に形成された溝にインプリント材IMが充填された後にインプリント材IMに対して硬化用のエネルギーを与える。これによってインプリント材IMが硬化し、硬化したインプリント材IMからなるパターンが基板4の上に形成(転写)される。
インプリント材としては、硬化用のエネルギーが与えられることにより硬化する硬化性組成物(未硬化状態の樹脂と呼ぶこともある)が用いられる。硬化用のエネルギーとしては、電磁波、熱等が用いられうる。電磁波は、例えば、その波長が10nm以上1mm以下の範囲から選択される光、例えば、赤外線、可視光線、紫外線などでありうる。硬化性組成物は、光の照射により、あるいは、加熱により硬化する組成物でありうる。これらのうち、光の照射により硬化する光硬化性組成物は、少なくとも重合性化合物と光重合開始剤とを含有し、必要に応じて非重合性化合物または溶剤を更に含有してもよい。非重合性化合物は、増感剤、水素供与体、内添型離型剤、界面活性剤、酸化防止剤、ポリマー成分などの群から選択される少なくとも一種である。インプリント材は、液滴状、或いは複数の液滴が繋がってできた島状又は膜状となって基板上に配置されうる。インプリント材の粘度(25℃における粘度)は、例えば、1mPa・s以上100mPa・s以下でありうる。基板の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス、金属、半導体、樹脂等が用いられうる。必要に応じて、基板の表面に、基板とは別の材料からなる部材が設けられてもよい。基板は、例えば、シリコンウエハ、化合物半導体ウエハ、石英ガラスである。
インプリント装置1は、基板4を保持する基板保持部5と、基板保持部5を駆動することによって基板4を駆動する基板駆動機構3と、モールド100を保持し駆動するモールド駆動機構6と備えうる。モールド駆動機構6は、モールド100の隔膜部110の第2面112に対して圧力を加えるための空間Cを規定する窓部材9を有しうる。窓部材9は、インプリント材IMを硬化させるためのエネルギーを透過する材料で構成されうる。インプリント装置1は、空間Cの圧力を調整することによって隔膜部110(パターン部120)の形状を制御する形状制御部12を備えうる。形状制御部12が空間Cに対して大気圧より高い圧力を与えることによって、隔膜部110は、第1面111が面している空間側(基板側)に膨らんだ凸形状(凸レンズ形状)に変形しうる。また、隔膜部110の変形にならってパターン部120も凸形状に変形しうる。
インプリント装置1は、更に、窓部材9およびモールド100を介してインプリント材IMに硬化用のエネルギーを供給する硬化部11を備えうる。硬化部11は、例えば、波長フィルタ13を介して、硬化用のエネルギーとしての紫外線をインプリント材IMに供給するように構成されうる。インプリント装置1は、更に、基板4の上のインプリント材IMとモールド100のパターン部120との接触状態を観察するためのカメラ14を備えうる。インプリント装置1は、更に、基板4の上にインプリント材IMを配置するディスペンサ15を備えうる。ただし、インプリント材IMは、インプリント装置1の外部装置において基板4の上に配置されてもよい。その他、インプリント装置1は、基板駆動機構3、モールド駆動機構6、形状制御部12、硬化部11、カメラ14およびディスペンサ15を制御する制御部10を備えうる。
インプリント装置1は、形状制御部12が空間Cに対して大気圧より高い圧力を与えることによって、図3に模式的に示されるように、モールド100の隔膜部110およびパターン部120を凸形状に変形させる。そして、この状態でインプリント装置1は、モールド駆動機構6によってモールド100を下降させることにてよって、基板4の上に配置されたインプリント材IMにモールド100のパターン部120の中央部を接触させる。その後、インプリント装置1は、パターン部120の全域がインプリント材IMに接触するように、インプリント材IMとパターン部120との接触部分の面積を徐々に拡大させる。インプリント材IMとパターン部120との接触によって、パターン部120の表面121に形成された溝に対するインプリント材IMの充填が開始される。パターン部120の全域において溝に対するインプリント材IMの充填が終了した後に、インプリント装置1は、硬化部11からインプリント材IMに硬化用のエネルギーを供給することによってインプリント材IMを硬化せる。これによって、硬化したインプリント材IMからなるパターンが基板4の上に形成(転写)される。
図4(a)、(b)には、第1構成例のモールド100の構成が示されている。図4(a)モールド100の断面図であり、図4(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第1構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、第1構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において連続的に変化している。更に具体的には、第1構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部から隔膜部110の周辺部に向けて徐々に大きくなっている。第1構成例は、隔膜部110の凸形状の変形を中央部に集中させ、パターン部120の変形量を大きくするために有利である。また、第1構成例は、インプリント材IMとパターン部120(の表面121)との接触領域とその外側の非接触領域の境界における表面121の角度(水平面(XY面)に対する角度)(以下、境界角度)を大きくしうる。このような構成は、インプリント材IMとパターン部120との間の気泡を外側方向に追い出し充填時間を短縮するために有利である。図13には、境界角度αが模式的に示されている。境界角度αは、インプリント材IMとパターン部120(の表面121)との接触領域CRとその外側の非接触領域NCRとの境界Bにおける表面121の角度(水平面(XY面)に対する角度)である。
隔膜部110は、隔膜部110は、同一厚さを有する点を結んだ線(等高線)41が円形となる部分、または、同一厚さを有する点を結んだ線(等高線)42がパターン部120の外形の少なくとも一部に平行な部分を含みうる。
図5(a)、(b)には、第2構成例のモールド100の構成が示されている。図5(a)モールド100の断面図であり、図5(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第2構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、第2構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において連続的に変化している。更に具体的には、第2構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部から隔膜部110の周辺部に向けて徐々に小さくなっている。第2構成例は、パターン部120の周辺部における境界角度を大きくするために有利である。これは、パターン部120の角部分(パターン部120の中心から最も遠い部分)において気泡を外側方向に追い出し、角部分における充填時間(結果として全体の充填時間)を短縮するために有利である。
隔膜部110は、隔膜部110は、同一厚さを有する点を結んだ線(等高線)51が円形となる部分、または、同一厚さを有する点を結んだ線(等高線)52がパターン部120の外形の少なくとも一部に平行な部分を含みうる。
図6(a)、(b)には、第3構成例のモールド100の構成が示されている。図6(a)モールド100の断面図であり、図6(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第3構成例は、第2構成例の改良例として理解されうる。第3構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、第2構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において連続的に変化している。更に具体的には、第2構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部から隔膜部110の周辺部に向けて徐々に小さくなった後に徐々に大きくなって支持部130に至っている。このような構成によれば、隔膜部110と支持部130との境界部において厚さが急激に変化することによって該境界部に応力が集中し破損することが抑制されうる。
隔膜部110は、隔膜部110は、同一厚さを有する点を結んだ線(等高線)61が円形となる部分、または、同一厚さを有する点を結んだ線(等高線)62がパターン部120の外形の少なくとも一部に平行な部分を含みうる。
図7(a)、(b)には、第4構成例のモールド100の構成が示されている。図7(a)モールド100の断面図であり、図7(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第4構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、第4構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部から隔膜部110の周辺部に向けて段階的に変化している。更に具体的には、第4構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部から隔膜部110の周辺部に向けて段階的に大きくなっている。また、第4構成例では、隔膜部110は、厚さが異なる2つの領域の境界71が円形である。第4構成例は、隔膜部110の凸形状の変形を中央部に集中させ、パターン部120の変形量を大きくするために有利である。また、第4構成例は、境界角度を大きくするために有利である。
図8(a)、(b)には、第5構成例のモールド100の構成が示されている。図8(a)モールド100の断面図であり、図8(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第5構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、第5構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部から隔膜部110の周辺部に向けて段階的に変化している。更に具体的には、第5構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部から隔膜部110の周辺部に向けて段階的に大きくなっている。また、第5構成例では、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界81は、パターン部120の外形の少なくとも一部に平行な部分を含む。第5構成例は、隔膜部110の凸形状の変形を中央部に集中させ、パターン部120の変形量を大きくするために有利である。また、第5構成例は、境界角度を大きくするために有利である。
図9(a)、(b)には、第6構成例のモールド100の構成が示されている。図9(a)モールド100の断面図であり、図9(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第6構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、隔膜部110は、第2面112が隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間に1又は複数の段差を有するように、隔膜部110の厚さが隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。第6構成例では、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界91、92は、円形である。
第6構成例は、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界の位置の設定によって、境界角度を大きくすべき部分を調整することができる。例えば、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界の位置をパターン部120の外側にした構成は、パターン部120の周辺部における境界角度を大きくするために有利である。これは、パターン部120の角部分(パターン部120の中心から最も遠い部分)において気泡を外側方向に追い出し、角部分における充填時間(結果として全体の充填時間)を短縮するために有利である。
図10(a)、(b)には、第7構成例のモールド100の構成が示されている。図10(a)モールド100の断面図であり、図10(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第7構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、隔膜部110は、第2面112が隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間に1又は複数の段差を有するように、隔膜部110の厚さが隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。第7構成例では、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界93、94は、パターン部120の外形の少なくとも一部に平行な部分を含む。
第7構成例は、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界の位置の設定によって、境界角度を大きくする部分を調整することができる。例えば、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界の位置をパターン部120の外側にした構成は、パターン部120の周辺部における境界角度を大きくするために有利である。これは、パターン部120の角部分(パターン部120の中心から最も遠い部分)において気泡を外側方向に追い出し、角部分における充填時間(結果として全体の充填時間)を短縮するために有利である。
図11(a)、(b)には、第8構成例のモールド100の構成が示されている。図11(a)モールド100の断面図であり、図11(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第8構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、隔膜部110は、第2面112が隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間に1又は複数の段差を有するように、隔膜部110の厚さが隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。第8構成例では、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界96は円形であり、隔膜部110における厚さが異なる他の2つの領域の境界95はパターン部120の外形の少なくとも一部に平行な部分を含む。
第8構成例は、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界の位置の設定によって、境界角度を大きくする部分を調整することができる。例えば、隔膜部110における厚さが異なる2つの領域の境界の位置をパターン部120の外側にした構成は、パターン部120の周辺部における境界角度を大きくするために有利である。これは、パターン部120の角部分(パターン部120の中心から最も遠い部分)において気泡を外側方向に追い出し、角部分における充填時間(結果として全体の充填時間)を短縮するために有利である。
図12(a)、(b)には、第9構成例のモールド100の構成が示されている。図12(a)モールド100の断面図であり、図12(b)は、モールド100を隔膜部110の第2面112の側から見た図である。第9構成例では、隔膜部110の厚さは、隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。具体的には、隔膜部110は、第2面112が隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間に複数の段差を有するように、隔膜部110の厚さが隔膜部110の中央部と隔膜部110の周辺部との間において変化している。第9構成例では、隔膜部110における厚さが異なる領域の境界が複数の存在し、該境界は円形である。ただし、該境界の全部または一部がパターン部120の外形の少なくとも一部に平行な部分を含むように変更されてもよい。
インプリント装置を用いて形成した硬化物のパターンは、各種物品の少なくとも一部に恒久的に、或いは各種物品を製造する際に一時的に、用いられる。物品とは、電気回路素子、光学素子、MEMS、記録素子、センサ、或いは、型等である。電気回路素子としては、DRAM、SRAM、フラッシュメモリ、MRAMのような、揮発性或いは不揮発性の半導体メモリや、LSI、CCD、イメージセンサ、FPGAのような半導体素子等が挙げられる。型としては、インプリント用のモールド等が挙げられる。
硬化物のパターンは、上記物品の少なくとも一部の構成部材として、そのまま用いられるか、或いは、レジストマスクとして一時的に用いられる。基板の加工工程においてエッチング又はイオン注入等が行われた後、レジストマスクは除去される。
次に、インプリント装置1によって基板にパターンを形成し、該パターンが形成された基板を処理し、該処理が行われた基板から物品を製造する物品製造方法について説明する。図14(a)に示すように、絶縁体等の被加工材2zが表面に形成されたシリコンウエハ等の基板1zを用意し、続いて、インクジェット法等により、被加工材2zの表面にインプリント材3zを付与する。ここでは、複数の液滴状になったインプリント材3zが基板上に付与された様子を示している。
図14(b)に示すように、インプリント用の型4zを、その凹凸パターンが形成された側を基板上のインプリント材3zに向け、対向させる。図14(c)に示すように、インプリント材3zが付与された基板1と型4zとを接触させ、圧力を加える。インプリント材3zは型4zと被加工材2zとの隙間に充填される。この状態で硬化用のエネルギーとして光を型4zを透して照射すると、インプリント材3zは硬化する。
図14(d)に示すように、インプリント材3zを硬化させた後、型4zと基板1zを引き離すと、基板1z上にインプリント材3zの硬化物のパターンが形成される。この硬化物のパターンは、型の凹部が硬化物の凸部に、型の凹部が硬化物の凸部に対応した形状になっており、即ち、インプリント材3zに型4zの凹凸パターンが転写されたことになる。
図14(e)に示すように、硬化物のパターンを耐エッチングマスクとしてエッチングを行うと、被加工材2zの表面のうち、硬化物が無いか或いは薄く残存した部分が除去され、溝5zとなる。図14(f)に示すように、硬化物のパターンを除去すると、被加工材2zの表面に溝5zが形成された物品を得ることができる。ここでは硬化物のパターンを除去したが、加工後も除去せずに、例えば、半導体素子等に含まれる層間絶縁用の膜、つまり、物品の構成部材として利用してもよい。
100:モールド、110:隔膜部、111:第1面、112:第2面、120:パターン部(メサ部)、130:支持部、131:第3面、132:第5面、133:第4面、1211:露出面、1212:被露出面
Claims (18)
- 基板の上にインプリント材の硬化物からなるパターンを形成するためのモールドであって、
互いに反対側の面である第1面および第2面を有する隔膜部と、前記第1面から突出するように前記第1面に設けられたパターン部と、前記隔膜部の周囲を支持する支持部と、を含み、
前記隔膜部は、第1の厚さを有する部分と、前記第1の厚さとは異なる第2の厚さを有する部分とを含む、
ことを特徴とするモールド。 - 前記隔膜部の厚さは、前記隔膜部の中央部と前記隔膜部の周辺部との間において変化している、
ことを特徴とする請求項1に記載のモールド。 - 前記隔膜部の厚さは、前記隔膜部の中央部と前記隔膜部の周辺部との間において連続的に変化している、
ことを特徴とする請求項1に記載のモールド。 - 前記隔膜部の厚さは、前記隔膜部の中央部から前記隔膜部の周辺部に向けて徐々に大きくなっている、
ことを特徴とする請求項1に記載のモールド。 - 前記隔膜部の厚さは、前記隔膜部の中央部から前記隔膜部の周辺部に向けて徐々に小さくなっている、
ことを特徴とする請求項1に記載のモールド。 - 前記隔膜部の厚さは、前記隔膜部の中央部から前記隔膜部の周辺部に向けて、徐々に小さくなった後に徐々に大きくなって前記支持部に至っている、
ことを特徴とする請求項1に記載のモールド。 - 前記隔膜部は、同一厚さを有する点を結んだ線が円形である部分を含む、
ことを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項に記載のモールド。 - 前記隔膜部は、同一厚さを有する点を結んだ線が前記パターン部の外形の少なくとも一部に平行な部分を含む、
ことを特徴とする請求項2乃至6のいずれか1項に記載のモールド。 - 前記隔膜部の厚さは、前記隔膜部の中央部から前記隔膜部の周辺部に向けて段階的に変化している、
ことを特徴とする請求項1に記載のモールド。 - 前記隔膜部の厚さは、前記隔膜部の中央部から前記隔膜部の周辺部に向けて段階的に大きくなっている、
ことを特徴とする請求項1に記載のモールド。 - 前記隔膜部の前記第2面は、1又は複数の段差を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載のモールド。 - 前記隔膜部における厚さが異なる2つの領域の境界が円形である、
ことを特徴とする請求項9乃至11のいずれか1項に記載のモールド。 - 前記隔膜部は、前記隔膜部における厚さが異なる2つの領域の境界が前記パターン部の外形の少なくとも一部に平行な部分を含む、
ことを特徴とする請求項9乃至12のいずれか1項に記載のモールド。 - 前記隔膜部が変形していない状態において前記第1面が平面である、
ことを特徴とする請求項1乃至13のいずれか1項に記載のモールド。 - 前記第1面は、前記モールドが配置された空間に対して露出した露出面と、前記パターン部の表面と前記第2面との間に位置する非露出面とで構成され、前記非露出面は、前記露出面の包絡面である、
ことを特徴とする請求項1乃至14のいずれか1項に記載のモールド。 - 前記第1面と前記支持部の一部分とが連続的な面を構成する。
ことを特徴とする請求項1乃至15のいずれか1項に記載のモールド。 - 前記支持部は、前記第2面が面する空間の側方を取り囲む内側面を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至16のいずれか1項に記載のモールド。 - 基板の上にインプリント材を配置し、前記インプリント材に請求項1乃至17のいずれか1項に記載のモールドを接触させ、前記インプリント材を硬化させることによって、硬化した前記インプリント材からなるパターンを形成する工程と、
前記パターンが形成された前記基板を加工して物品を得る工程と、
を含むことを特徴とする物品製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017092564A JP2018190844A (ja) | 2017-05-08 | 2017-05-08 | モールドおよび物品製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017092564A JP2018190844A (ja) | 2017-05-08 | 2017-05-08 | モールドおよび物品製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018190844A true JP2018190844A (ja) | 2018-11-29 |
Family
ID=64478863
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017092564A Pending JP2018190844A (ja) | 2017-05-08 | 2017-05-08 | モールドおよび物品製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018190844A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11372328B2 (en) | 2019-08-19 | 2022-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Mold, imprinting apparatus, and method for manufacturing article |
-
2017
- 2017-05-08 JP JP2017092564A patent/JP2018190844A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11372328B2 (en) | 2019-08-19 | 2022-06-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Mold, imprinting apparatus, and method for manufacturing article |
TWI803764B (zh) * | 2019-08-19 | 2023-06-01 | 日商佳能股份有限公司 | 模具、壓印設備、及製造物品的方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102295262B1 (ko) | 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
CN105892230B (zh) | 模具、压印设备和制造物品的方法 | |
JP2018093122A (ja) | インプリント装置、及び物品製造方法 | |
KR102602905B1 (ko) | 성형 장치 및 물품 제조 방법 | |
CN110554564B (zh) | 压印装置、压印方法和物品制造方法 | |
KR102501452B1 (ko) | 몰드에 의해 기판 상의 조성물을 성형하는 성형 장치 및 물품 제조 방법 | |
JP6887279B2 (ja) | インプリント装置および物品製造方法 | |
US11841616B2 (en) | Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article | |
JP2018190844A (ja) | モールドおよび物品製造方法 | |
JP2020088286A (ja) | 成形装置、成形方法、および物品の製造方法 | |
JP2019121694A (ja) | インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法 | |
JP7148284B2 (ja) | インプリント装置及び物品の製造方法 | |
TW201817569A (zh) | 壓印裝置、壓印方法及物品製造方法 | |
KR102367025B1 (ko) | 형틀을 사용하여 기판 상의 조성물을 성형하는 성형 장치 및 물품의 제조 방법 | |
JP2019102606A (ja) | インプリント方法、インプリント装置及び物品の製造方法 | |
JP2019165091A (ja) | インプリント装置、および、物品の製造方法 | |
JP7362429B2 (ja) | 成形装置、成形方法、および物品の製造方法 | |
JP7407579B2 (ja) | インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 | |
JP2021068849A (ja) | モールド、成形装置、および物品の製造方法 | |
US20220324158A1 (en) | Imprint apparatus, imprint method, method of manufacturing article, determination method, and non-transitory computer-readable storage medium | |
US20230091051A1 (en) | Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method | |
JP2019047002A (ja) | インプリント装置および物品製造方法 | |
KR20240020673A (ko) | 임프린트 방법, 임프린트 장치 및 물품 제조 방법 | |
JP2019117844A (ja) | モールド、レプリカモールド、インプリント装置、および物品製造方法 | |
JP2024090241A (ja) | インプリント方法、インプリント装置、および物品の製造方法 |