JP2018172759A - Surface treatment liquid and use thereof - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a surface treatment liquid that has improved adhesion between a metal unroughened or slightly roughened and an insulation resin layer, has improved chemical resistance to an agent such as plating solution, to suppress haloing.SOLUTION: A surface treatment liquid containing a specific azole silane compound and a specific azole compound is brought into contact with a metal surface, to solve the problem.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、金属の表面処理液及びその利用に関する。   The present invention relates to a metal surface treatment liquid and use thereof.

近年、プリント配線板の高周波化に対応するために、金属回路(例えば、銅回路)を無粗化処理(粗化処理をしない)又は低粗化処理することがなされている。このようなプリント配線板においては、金属回路と絶縁樹脂層との間の接着性の確保が課題となっている。
また、電子機器・電子部品の小型化・薄型化のために多層プリント配線板を薄型化するには層間の絶縁樹脂層(例えば、ソルダーレジストやプリプレグなどの絶縁樹脂からなる層)の薄膜化が考えられるが、絶縁樹脂層が薄くなると酸素の透過性が増大し、樹脂の加熱硬化時に金属配線層(例えば、銅又は銅合金などの金属からなる導電部)の回路(導電パターン)の表面に酸化物が形成され、めっき処理時に該酸化物が溶解されるので、ハローイング(金属配線層と絶縁樹脂層との間の酸化物が浸食されて空隙が発生する)が発生しやすくなる。
In recent years, in order to cope with the higher frequency of printed wiring boards, metal circuits (for example, copper circuits) have been subjected to no roughening treatment (no roughening treatment) or low roughening treatment. In such a printed wiring board, ensuring the adhesion between the metal circuit and the insulating resin layer is a problem.
In addition, in order to reduce the thickness of multilayer printed wiring boards in order to reduce the size and thickness of electronic devices and electronic parts, it is necessary to reduce the thickness of insulating resin layers between layers (for example, layers made of insulating resins such as solder resist and prepreg). It is conceivable that when the insulating resin layer becomes thinner, the oxygen permeability increases, and when the resin is heated and cured, the surface of the circuit (conductive pattern) of the metal wiring layer (for example, a conductive part made of metal such as copper or copper alloy) is formed. Since the oxide is formed and dissolved during the plating process, haloing (the oxide between the metal wiring layer and the insulating resin layer is eroded to generate a void) is likely to occur.

特許文献1〜4には、金属の表面と樹脂材料との接着性を高めるための表面処理剤に関する発明が記載されている。これらの文献には、金属表面に新規なアゾールシラン化合物を含有する表面処理剤を接触させ、該処理剤から形成される化成皮膜を介して絶縁樹脂層を形成する技術が提案されている。   Patent Documents 1 to 4 describe inventions related to a surface treatment agent for improving the adhesion between a metal surface and a resin material. In these documents, a technique is proposed in which a surface treatment agent containing a novel azolesilane compound is brought into contact with a metal surface, and an insulating resin layer is formed through a chemical conversion film formed from the treatment agent.

特開2015−92020号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-92020 特開2015−143395号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-143395 特開2016−56449号公報JP, 2006-56449, A 特開2016−125143号公報JP, 2006-125143, A

しかし、これらの技術では、金属と樹脂との接着性は向上するものの、絶縁樹脂層の薄膜化により、ハローイングが発生するという問題点があった。   However, although these techniques improve the adhesion between the metal and the resin, there is a problem that haloing occurs due to the thinning of the insulating resin layer.

そこで、本発明は、無粗化処理(粗化処理をしない)又は低粗化処理される金属と絶縁樹脂層との接着性を高めると共に、めっき液等の薬剤の影響を受けることなく、即ち、ハローイングを抑制することのできる表面処理液を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention improves the adhesion between the metal to be subjected to no roughening treatment (no roughening treatment) or low roughening treatment and the insulating resin layer, and is not affected by chemicals such as a plating solution, that is, An object of the present invention is to provide a surface treatment liquid capable of suppressing haloing.

本発明者らは、前記の課題を解決するために鋭意研究を重ねた結果、特定のアゾールシラン化合物と特定のアゾール化合物の両者を含有する表面処理液により金属表面を処理することで、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to solve the above-mentioned problems, the present inventors have treated the metal surface with a surface treatment liquid containing both a specific azolesilane compound and a specific azole compound. As a result, the present invention has been completed.

すなわち、本発明は以下の<1>〜<14>の通りである。
<1>下記化学式(I)で示されるアゾールシラン化合物を少なくとも1種と、化学式(II)〜(XIV)で示されるアゾール化合物からなる群から選択される少なくとも1種を含有することを特徴とする金属の表面処理液。
That is, the present invention is as described in the following <1> to <14>.
<1> characterized in that it contains at least one azole silane compound represented by the following chemical formula (I) and at least one selected from the group consisting of azole compounds represented by chemical formulas (II) to (XIV). Metal surface treatment liquid.

Figure 2018172759
Figure 2018172759

(式(I)中、Xは水素原子、−CH、−NH、−SH又は−SCHを表す。Yは−NH−又は−S−を表す。Rは−CH又は−CHCHを表す。mは1〜12の整数を表し、nは0又は1〜3の整数を表す。) (In the formula (I), X represents a hydrogen atom, —CH 3 , —NH 2 , —SH or —SCH 3. Y represents —NH— or —S—. R represents —CH 3 or —CH 2. CH represents 3. m represents an integer of 1 to 12, and n represents an integer of 0 or 1 to 3).

Figure 2018172759
Figure 2018172759

(式(II)〜(XIV)中、X〜X43は、それぞれ独立して、水素原子、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルキルチオ基を表す。) (In formulas (II) to (XIV), X 1 to X 43 each independently represents a hydrogen atom, an amino group, a mercapto group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkylthio group having 1 to 3 carbon atoms. Represents.)

<2>前記アゾールシラン化合物を0.0001〜5質量%含有することを特徴とする前記<1>に記載の金属の表面処理液。
<3>前記アゾール化合物を0.0001〜5質量%含有することを特徴とする前記<1>又は<2>に記載の金属の表面処理液。
<4>さらに、酸、アルカリ及び有機溶剤からなる群から選択される少なくとも1種を含有することを特徴とする前記<1>〜<3>のいずれか1つに記載の金属の表面処理液。
<5>前記金属が、銅又は銅合金であることを特徴とする前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の金属の表面処理液。
<2> The metal surface treatment solution according to <1>, containing 0.0001 to 5% by mass of the azolesilane compound.
<3> The metal surface treatment solution according to <1> or <2>, wherein the azole compound is contained in an amount of 0.0001 to 5% by mass.
<4> The metal surface treatment solution according to any one of <1> to <3>, further comprising at least one selected from the group consisting of an acid, an alkali, and an organic solvent. .
<5> The metal surface treatment solution according to any one of <1> to <4>, wherein the metal is copper or a copper alloy.

<6>前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の金属の表面処理液を、金属の表面に接触させることを特徴とする金属の処理方法。
<7>前記金属が、銅又は銅合金であることを特徴とする前記<6>に記載の金属の処理方法。
<6> A metal treatment method, wherein the metal surface treatment solution according to any one of <1> to <4> is brought into contact with a metal surface.
<7> The metal processing method according to <6>, wherein the metal is copper or a copper alloy.

<8>金属の表面に、前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の金属の表面処理液を接触させて、化成皮膜を形成する工程を含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法。
<9>前記金属が、銅又は銅合金であることを特徴とする前記<8>に記載のプリント配線板の製造方法。
<8> A printed wiring board comprising a step of bringing a metal surface treatment liquid according to any one of <1> to <4> into contact with a metal surface to form a chemical conversion film. Manufacturing method.
<9> The method for producing a printed wiring board according to <8>, wherein the metal is copper or a copper alloy.

<10>金属と樹脂材料との接着方法であって、前記金属の表面に、前記<1>〜<4>のいずれか1つに記載の金属の表面処理液を接触させて化成皮膜を形成し、前記金属と前記樹脂材料とを前記化成皮膜を介して接着させることを特徴とする金属と樹脂材料との接着方法。
<11>前記金属が、銅又は銅合金であることを特徴とする前記<10>に記載の金属と樹脂材料との接着方法。
<10> A method for adhering a metal and a resin material, wherein a chemical conversion film is formed by bringing the metal surface treatment liquid according to any one of <1> to <4> into contact with the surface of the metal. And the said metal and the said resin material are adhere | attached through the said chemical film, The adhesion method of the metal and resin material characterized by the above-mentioned.
<11> The method for adhering a metal and a resin material according to <10>, wherein the metal is copper or a copper alloy.

<12>金属配線層と樹脂材料からなる絶縁樹脂層とを備えたプリント配線板であって、前記金属配線層と前記絶縁樹脂層との間に、下記化学式(I)で示されるアゾールシラン化合物の少なくとも1種と、下記化学式(II)〜(XIV)で示されるアゾール化合物からなる群から選択される少なくとも1種に由来する化成皮膜が存在することを特徴とするプリント配線板。 <12> A printed wiring board including a metal wiring layer and an insulating resin layer made of a resin material, and an azolesilane compound represented by the following chemical formula (I) between the metal wiring layer and the insulating resin layer And a chemical conversion film derived from at least one selected from the group consisting of azole compounds represented by the following chemical formulas (II) to (XIV):

Figure 2018172759
Figure 2018172759

(式(I)中、Xは水素原子、−CH、−NH、−SH又は−SCHを表す。Yは−NH−又は−S−を表す。Rは−CH又は−CHCHを表す。mは1〜12の整数を表し、nは0又は1〜3の整数を表す。) (In the formula (I), X represents a hydrogen atom, —CH 3 , —NH 2 , —SH or —SCH 3. Y represents —NH— or —S—. R represents —CH 3 or —CH 2. CH represents 3. m represents an integer of 1 to 12, and n represents an integer of 0 or 1 to 3).

Figure 2018172759
Figure 2018172759

(式(II)〜(XIV)中、X〜X43は、それぞれ独立して、水素原子、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルキルチオ基を表す。) (In formulas (II) to (XIV), X 1 to X 43 each independently represents a hydrogen atom, an amino group, a mercapto group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkylthio group having 1 to 3 carbon atoms. Represents.)

<13>金属配線層と樹脂材料からなる絶縁樹脂層とを備えたプリント配線板であって、前記金属配線層を構成する金属と、前記樹脂材料が、前記<10>又は<11>に記載の金属と樹脂材料との接着方法により接着されたことを特徴とするプリント配線板。 <13> A printed wiring board including a metal wiring layer and an insulating resin layer made of a resin material, wherein the metal constituting the metal wiring layer and the resin material are described in <10> or <11>. A printed wiring board, which is bonded by a bonding method between a metal and a resin material.

<14>前記<12>又は<13>に記載のプリント配線板を備えたことを特徴とする電子デバイス。 <14> An electronic device comprising the printed wiring board according to <12> or <13>.

本発明の表面処理液は、前記のアゾールシラン化合物とアゾール化合物の両者を含有することで、金属の表面を粗化しないか又は低粗化処理される金属配線層と絶縁樹脂層との接着性を損なうことなく、めっき液等の薬剤に対する金属配線層の耐薬品性を向上させて、ハローイングを抑制することができる。よって、特にファインパターン化された金属回路を絶縁樹脂層と接着する際の処理液として好適に用いることができる。   The surface treatment liquid of the present invention contains both the azole silane compound and the azole compound, so that the surface of the metal is not roughened or the adhesion between the metal wiring layer and the insulating resin layer that is subjected to low roughening treatment. The chemical resistance of the metal wiring layer against chemicals such as a plating solution can be improved and haloing can be suppressed without impairing the resistance. Therefore, the finely patterned metal circuit can be suitably used as a treatment liquid when adhering to the insulating resin layer.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

本発明の金属の表面処理液(以下、単に「表面処理液」ともいう。)は、後述する化学式(I)で示されるアゾールシラン化合物の少なくとも1種と、後述する化学式(II)〜(XIV)で示されるアゾール化合物からなる群から選択される少なくとも1種を表面処理液の成分として含有する。   The metal surface treatment liquid of the present invention (hereinafter also simply referred to as “surface treatment liquid”) includes at least one azolesilane compound represented by the following chemical formula (I) and chemical formulas (II) to (XIV) described later. And at least one selected from the group consisting of azole compounds represented by) as a component of the surface treatment liquid.

(アゾールシラン化合物)
本発明の金属の表面処理液に含有するアゾールシラン化合物は下記化学式(I)で示されるアゾールシラン化合物(以下、「特定アゾールシラン化合物」ともいう。)である。この特定アゾールシラン化合物は、1種を単独で含有してもよく、2種以上を組み合わせて含有してもよい。
(Azole silane compound)
The azole silane compound contained in the metal surface treatment liquid of the present invention is an azole silane compound represented by the following chemical formula (I) (hereinafter also referred to as “specific azole silane compound”). This specific azole silane compound may contain 1 type individually, and may contain it in combination of 2 or more type.

Figure 2018172759
Figure 2018172759

(式(I)中、Xは水素原子、−CH、−NH、−SH又は−SCHを表す。Yは−NH−又は−S−を表す。Rは−CH又は−CHCHを表す。mは1〜12の整数を表し、nは0又は1〜3の整数を表す。) (In the formula (I), X represents a hydrogen atom, —CH 3 , —NH 2 , —SH or —SCH 3. Y represents —NH— or —S—. R represents —CH 3 or —CH 2. CH represents 3. m represents an integer of 1 to 12, and n represents an integer of 0 or 1 to 3).

特定アゾールシラン化合物は、アゾール環を有する物質であるので、アゾール化合物の特徴である金属の防錆機能を有すると共に、シラン化合物の特徴である材質の異なる材料間の接着性を高める機能を有するため、金属と樹脂材料との接着機能を発揮する。   Since the specific azole silane compound is a substance having an azole ring, it has a metal rust prevention function that is a characteristic of the azole compound, and also has a function to enhance adhesion between different materials that are the characteristics of the silane compound. , Demonstrate the adhesion function between metal and resin material.

化学式(I)で示されるアゾールシラン化合物(特定アゾールシラン化合物)は、化学式(I−1)〜(I−4)で示されるアゾールシラン化合物を包含する。   The azole silane compound (specific azole silane compound) represented by the chemical formula (I) includes azole silane compounds represented by the chemical formulas (I-1) to (I-4).

Figure 2018172759
Figure 2018172759

(式(I−1)〜(I−4)中、X、Y、R及びmは、前記と同様である。) (In formulas (I-1) to (I-4), X, Y, R and m are the same as described above.)

即ち、化学式(I−1)で示されるアゾールシラン化合物(以下、アゾールシラン化合物(I−1)ともいう。)は、前記の化学式(I)においてnが0である場合のアゾールシラン化合物(トリアルコキシ体)である。
同様に、化学式(I−2)で示されるアゾールシラン化合物(以下、アゾールシラン化合物(I−2)ともいう。)は、nが1である場合のアゾールシラン化合物であり、化学式(I−3)で示されるアゾールシラン化合物(以下、アゾールシラン化合物(I−3)ともいう。)は、nが2である場合のアゾールシラン化合物であり、化学式(I−4)で示されるアゾールシラン化合物(以下、アゾールシラン化合物(I−4)ともいう。)は、nが3である場合のアゾールシラン化合物である。
That is, the azole silane compound represented by the chemical formula (I-1) (hereinafter also referred to as azole silane compound (I-1)) is an azole silane compound (tri) in which n is 0 in the chemical formula (I). Alkoxy).
Similarly, an azole silane compound represented by the chemical formula (I-2) (hereinafter also referred to as an azole silane compound (I-2)) is an azole silane compound when n is 1, and the chemical formula (I-3) ) (Hereinafter also referred to as azole silane compound (I-3)) is an azole silane compound in the case where n is 2, an azole silane compound (I-4) ( Hereinafter, the azole silane compound (I-4) is also an azole silane compound when n is 3.

アゾールシラン化合物(I−2)〜(I−4)は、表面処理液中に存在するアゾールシラン化合物(I−1)が、加水分解されて生成する種であり、これらは、トリアルコキシ体のアゾールシラン化合物(I−1)と共に、シランカップリング剤の成分として好適なものである。また、アゾールシラン化合物(I−2)〜(I−4)は、例えば、表面処理液から揮発分を除去することにより該表面処理液から抽出して用いることができる。   The azole silane compounds (I-2) to (I-4) are species produced by hydrolysis of the azole silane compound (I-1) present in the surface treatment liquid. Together with the azole silane compound (I-1), it is suitable as a component of the silane coupling agent. Further, the azole silane compounds (I-2) to (I-4) can be used by being extracted from the surface treatment liquid by removing volatile components from the surface treatment liquid, for example.

本発明の実施においては、表面処理液を調製する際の原料として、アゾールシラン化合物(I−1)を用いることが好ましい。
このアゾールシラン化合物(I−1)の例としては、例えば、
3−トリメトキシシリルメチルチオ−1,2,4−トリアゾール、3−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−[3−(トリエトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−[6−(トリエトキシシリル)ヘキシルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−[12−(トリメトキシシリル)ドデシルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メチル−5−[2−(トリエトキシシリル)エチルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メチル−5−[4−(トリメトキシシリル)ブチルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メチル−5−[10−(トリメトキシシリル)デシルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−トリエトキシシリルメチルチオ−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−[6−(トリメトキシシリル)ヘキシルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−[12−(トリメトキシシリル)ドデシルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−[3−(トリエトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−5−[2−(トリメトキシシリル)エチルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−5−[5−(トリメトキシシリル)ペンチルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−5−[8−(トリメトキシシリル)オクチルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メチルチオ−5−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メチルチオ−5−[10−(トリメトキシシリル)デシルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メチルチオ−5−[4−(トリエトキシシリル)ブチルチオ]−1,2,4−トリアゾール(以上、Yが−NH−の場合)や、
2−トリメトキシシリルメチルチオ−1,3,4−チアジアゾール、2−[6−(トリメトキシシリル)ヘキシルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−[8−(トリエトキシシリル)オクチルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、5−メチル−2−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、5−メチル−2−[5−(トリメトキシシリル)ペンチルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、5−メチル−2−[12−(トリエトキシシリル)ドデシルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−アミノ−5−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−アミノ−5−[8−(トリメトキシシリル)オクチルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−アミノ−5−[2−(トリエトキシシリル)エチルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−アミノ−5−[3−(トリエトキシシリル)プロピルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−5−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−5−[5−(トリメトキシシリル)ペンチルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−5−[3−(トリエトキシシリル)プロピルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−メルカプト−5−[10−(トリエトキシシリル)デシルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−メチルチオ−5−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−メチルチオ−5−[4−(トリメトキシシリル)ブチルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、2−メチルチオ−5−[3−(トリエトキシシリル)プロピルチオ]−1,3,4−チアジアゾール、及び2−メチルチオ−5−[8−(トリエトキシシリル)オクチルチオ]−1,3,4−チアジアゾール(以上、Yが−S−の場合)
等を挙げることができる。
In the practice of the present invention, it is preferable to use the azolesilane compound (I-1) as a raw material when preparing the surface treatment liquid.
Examples of the azole silane compound (I-1) include, for example,
3-trimethoxysilylmethylthio-1,2,4-triazole, 3- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,2,4-triazole, 3- [3- (triethoxysilyl) propylthio] -1 , 2,4-triazole, 3- [6- (triethoxysilyl) hexylthio] -1,2,4-triazole, 3- [12- (trimethoxysilyl) dodecylthio] -1,2,4-triazole, 3, -Methyl-5- [2- (triethoxysilyl) ethylthio] -1,2,4-triazole, 3-methyl-5- [4- (trimethoxysilyl) butylthio] -1,2,4-triazole, 3 -Methyl-5- [10- (trimethoxysilyl) decylthio] -1,2,4-triazole, 3-amino-5-triethoxysilylmethylthio-1,2, -Triazole, 3-amino-5- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,2,4-triazole, 3-amino-5- [6- (trimethoxysilyl) hexylthio] -1,2,4 -Triazole, 3-amino-5- [12- (trimethoxysilyl) dodecylthio] -1,2,4-triazole, 3-amino-5- [3- (triethoxysilyl) propylthio] -1,2,4 -Triazole, 3-mercapto-5- [2- (trimethoxysilyl) ethylthio] -1,2,4-triazole, 3-mercapto-5- [5- (trimethoxysilyl) pentylthio] -1,2,4 -Triazole, 3-mercapto-5- [8- (trimethoxysilyl) octylthio] -1,2,4-triazole, 3-methylthio-5- [3- (trime Xylyl) propylthio] -1,2,4-triazole, 3-methylthio-5- [10- (trimethoxysilyl) decylthio] -1,2,4-triazole, 3-methylthio-5- [4- (triethoxy) Silyl) butylthio] -1,2,4-triazole (when Y is —NH—),
2-trimethoxysilylmethylthio-1,3,4-thiadiazole, 2- [6- (trimethoxysilyl) hexylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2- [8- (triethoxysilyl) octylthio] -1 , 3,4-thiadiazole, 5-methyl-2- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,3,4-thiadiazole, 5-methyl-2- [5- (trimethoxysilyl) pentylthio] -1 , 3,4-thiadiazole, 5-methyl-2- [12- (triethoxysilyl) dodecylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-amino-5- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1 , 3,4-thiadiazole, 2-amino-5- [8- (trimethoxysilyl) octylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-amino 5- [2- (triethoxysilyl) ethylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-amino-5- [3- (triethoxysilyl) propylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto- 5- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-5- [5- (trimethoxysilyl) pentylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto- 5- [3- (triethoxysilyl) propylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-mercapto-5- [10- (triethoxysilyl) decylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-methylthio- 5- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-methylthio-5- [4- (trimethoxysilane) L) butylthio] -1,3,4-thiadiazole, 2-methylthio-5- [3- (triethoxysilyl) propylthio] -1,3,4-thiadiazole, and 2-methylthio-5- [8- (tri Ethoxysilyl) octylthio] -1,3,4-thiadiazole (when Y is —S—)
Etc.

アゾールシラン化合物(I−1)は、例えば、特開2016−56449号公報に記載の方法により合成することができる。   The azole silane compound (I-1) can be synthesized, for example, by the method described in JP-A-2006-56449.

本発明の実施において使用する特定アゾールシラン化合物は、上記した中でも、3−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−[3−(トリエトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−[3−(トリエトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール、3−メチルチオ−5−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾールが好ましい。   The specific azole silane compound used in the practice of the present invention is, among the above, 3- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,2,4-triazole, 3- [3- (triethoxysilyl) propylthio]. -1,2,4-triazole, 3-amino-5- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,2,4-triazole, 3-amino-5- [3- (triethoxysilyl) propylthio] Preferred are -1,2,4-triazole and 3-methylthio-5- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,2,4-triazole.

<アゾールシラン化合物の加水分解>
アゾールシラン化合物(I−1)は、前述のとおり、水と接触すると加水分解されるが、この加水分解の態様をスキーム(A)に示す。
このスキーム(A)においては、前記のアゾールシラン化合物(I−1)〜(I−3)の有するシリル基が加水分解される態様、即ち、トリアルコキシシリル基が、漸次、ジアルコキシヒドロキシシリル基、ジヒドロキシアルコキシシリル基、トリヒドロキシシリル基に変化する様が示される。なお、化学式(e)で示される基のXは繰り返し単位の数を表す整数である。
<Hydrolysis of azole silane compound>
As described above, the azolesilane compound (I-1) is hydrolyzed when contacted with water, and this hydrolysis mode is shown in Scheme (A).
In this scheme (A), the silyl group of the azole silane compounds (I-1) to (I-3) is hydrolyzed, that is, the trialkoxysilyl group is gradually dialkoxyhydroxysilyl group. , Dihydroxyalkoxysilyl groups, and trihydroxysilyl groups are shown. In addition, X of group shown by Chemical formula (e) is an integer showing the number of repeating units.

Figure 2018172759
Figure 2018172759

一般に、分子中にアルコキシシリル基を有する物質は、シランカップリング剤として作用することが知られている。
例えば、銅と樹脂材料との接着を例に挙げると、本発明の実施において用いるアゾールシラン化合物は、分子中にアゾール環とアルコキシシリル基(−Si−OR)を有しており、アゾール環は、樹脂及び銅と相互作用し、化学結合を形成する。
また、アルコキシシリル基は加水分解を受けて、ヒドロキシシリル基(−Si−OH)に変換され、このヒドロキシシリル基は銅の表面に点在する酸化銅と化学結合する。
従って、銅と本発明の表面処理液を接触させることにより、該銅の表面にはアゾール環やヒドロキシシリル基との結合により、化学式(I)で示されるアゾールシラン化合物に由来する化成皮膜が形成されて、この化成皮膜の表面に樹脂材料からなる絶縁樹脂層を形成させた場合には、銅の表面に直に絶縁樹脂層を形成させる場合に比べて、銅と樹脂材料との接着性を高めることができる。
In general, it is known that a substance having an alkoxysilyl group in the molecule acts as a silane coupling agent.
For example, taking adhesion between copper and a resin material as an example, the azole silane compound used in the practice of the present invention has an azole ring and an alkoxysilyl group (—Si—OR) in the molecule, and the azole ring is Interacts with resin and copper to form chemical bonds.
In addition, the alkoxysilyl group is hydrolyzed and converted to a hydroxysilyl group (—Si—OH), and this hydroxysilyl group chemically bonds with copper oxide scattered on the surface of copper.
Therefore, when the surface treatment liquid of the present invention is brought into contact with copper, a chemical conversion film derived from the azole silane compound represented by the chemical formula (I) is formed on the surface of the copper by bonding with an azole ring or a hydroxysilyl group. Thus, when an insulating resin layer made of a resin material is formed on the surface of this chemical conversion film, the adhesion between copper and the resin material is improved compared to the case where an insulating resin layer is formed directly on the surface of copper. Can be increased.

本発明においては、表面処理液中における特定アゾールシラン化合物の濃度は、0.0001〜5質量%であることが好ましい。なお、特定アゾールシラン化合物の濃度はトリアルコキシ体のアゾールシラン化合物(I−1)の濃度に換算したものである。特定アゾールシラン化合物の濃度が0.0001質量%以上であると、金属と樹脂材料との接着性の向上効果が得られ、この濃度が5質量%を超える場合には、接着性の向上効果がほぼ頭打ちとなり、特定アゾールシラン化合物の使用量が増えるばかりで経済的ではないため、5質量%を上限とすることが好ましい。特定アゾールシラン化合物の含有量は、表面処理液中、0.001質量%以上であることがより好ましく、0.01質量%以上が更に好ましく、また、4質量%以下であることがより好ましく、3質量%以下が更に好ましい。   In this invention, it is preferable that the density | concentration of the specific azole silane compound in a surface treatment liquid is 0.0001-5 mass%. In addition, the density | concentration of a specific azole silane compound is converted into the density | concentration of the trialkoxy azole silane compound (I-1). When the concentration of the specific azolesilane compound is 0.0001% by mass or more, an effect of improving the adhesion between the metal and the resin material is obtained. When the concentration exceeds 5% by mass, the effect of improving the adhesiveness is obtained. Since it is almost flat and the amount of the specific azolesilane compound used is increased, it is not economical. The content of the specific azolesilane compound is more preferably 0.001% by mass or more, more preferably 0.01% by mass or more, and more preferably 4% by mass or less in the surface treatment liquid. 3 mass% or less is still more preferable.

(アゾール化合物)
本発明の金属の表面処理液に含有するアゾール化合物は下記化学式(II)〜(XIV)で示されるアゾール化合物(以下、「特定アゾール化合物」ともいう。)からなる群から選択される少なくとも1種のアゾール化合物である。この特定アゾール化合物は、1種を単独で含有してもよく、2種以上を組み合わせて含有してもよい。
(Azole compound)
The azole compound contained in the metal surface treatment solution of the present invention is at least one selected from the group consisting of azole compounds represented by the following chemical formulas (II) to (XIV) (hereinafter also referred to as “specific azole compounds”). The azole compound. This specific azole compound may contain 1 type independently, and may contain it in combination of 2 or more type.

Figure 2018172759
Figure 2018172759

(式(II)〜(XIV)中、X〜X43は、それぞれ独立して、水素原子、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルキルチオ基を表す。) (In formulas (II) to (XIV), X 1 to X 43 each independently represents a hydrogen atom, an amino group, a mercapto group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkylthio group having 1 to 3 carbon atoms. Represents.)

特定アゾール化合物は、アゾール環を有する物質であるため、特定アゾールシラン化合物と共に表面処理液中に含有させることで、該表面処理液により金属を処理した際に緻密な化成皮膜を形成することができ、これにより金属表面の防錆性が高まり、ハローイングを抑制できると共に、無粗化処理又は低粗化処理された金属であっても金属と樹脂材料(例えば、絶縁樹脂層)との接着性を高めることができる。   Since the specific azole compound is a substance having an azole ring, it can be formed in a surface treatment solution together with the specific azole silane compound to form a dense chemical conversion film when a metal is treated with the surface treatment solution. This increases the rust prevention property of the metal surface and suppresses haloing, and the adhesion between the metal and the resin material (for example, an insulating resin layer) even if the metal has been subjected to no roughening treatment or low roughening treatment. Can be increased.

化学式(II)〜(XIV)で示されるアゾール化合物について説明する。
<化学式(II)で示されるアゾール化合物(ピロール化合物)>
表題のピロール化合物としては、例えば、ピロール、1−メチルピロール、2−エチルピロール、3−プロピルピロール、2,4−ジメチルピロール、2,5−ジメチルピロール、1,3,5−トリメチルピロール、1−アミノピロール、2−アミノピロール、3−アミノピロール、2−メルカプトピロール、2−(メチルチオ)ピロール、3−(エチルチオ)ピロール、3−(イソプロピルチオ)ピロール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、ピロール、1−アミノピロール、2−アミノピロール、3−アミノピロール、2−メルカプトピロールを用いることが好ましい。
The azole compound represented by the chemical formulas (II) to (XIV) will be described.
<Azole compound (pyrrole compound) represented by chemical formula (II)>
Examples of the title pyrrole compound include pyrrole, 1-methylpyrrole, 2-ethylpyrrole, 3-propylpyrrole, 2,4-dimethylpyrrole, 2,5-dimethylpyrrole, 1,3,5-trimethylpyrrole, -Aminopyrrole, 2-aminopyrrole, 3-aminopyrrole, 2-mercaptopyrrole, 2- (methylthio) pyrrole, 3- (ethylthio) pyrrole, 3- (isopropylthio) pyrrole and the like.
Among these, it is preferable to use pyrrole, 1-aminopyrrole, 2-aminopyrrole, 3-aminopyrrole, and 2-mercaptopyrrole from the viewpoint of the haloing suppression effect.

<化学式(III)で示されるアゾール化合物(ピラゾール化合物)>
表題のピラゾール化合物としては、例えば、ピラゾール、1−メチルピラゾール、1−エチルピラゾール、1−イソプロピルピラゾール、3−メチルピラゾール、4−エチルピラゾール、4−プロピルピラゾール、1,3−ジメチルピラゾール、3,5−ジメチルピラゾール、1−アミノピラゾール、3−アミノピラゾール、3−アミノ−5−メチルピラゾール、1,5−ジアミノピラゾール、3−アミノ−5−メチルピラゾール、3−メルカプト−1−メチルピラゾール、3−メルカプト−5−メチルピラゾール、3−アミノ−5−(メチルチオ)ピラゾール、4−メルカプトピラゾール、4−(メチルチオ)ピラゾール、4−(イソプロピルチオ)ピラゾール、4−メルカプト−1−プロピルピラゾール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、ピラゾール、1−アミノピラゾール、3−アミノピラゾール、3−アミノ−5−メチルピラゾール、1,5−ジアミノピラゾール、3−アミノ−5−メチルピラゾール、3−メルカプト−1−メチルピラゾール、3−メルカプト−5−メチルピラゾールを用いることが好ましい。
<Azole compound represented by chemical formula (III) (pyrazole compound)>
Examples of the title pyrazole compound include pyrazole, 1-methylpyrazole, 1-ethylpyrazole, 1-isopropylpyrazole, 3-methylpyrazole, 4-ethylpyrazole, 4-propylpyrazole, 1,3-dimethylpyrazole, 3, 5-dimethylpyrazole, 1-aminopyrazole, 3-aminopyrazole, 3-amino-5-methylpyrazole, 1,5-diaminopyrazole, 3-amino-5-methylpyrazole, 3-mercapto-1-methylpyrazole, 3 -Mercapto-5-methylpyrazole, 3-amino-5- (methylthio) pyrazole, 4-mercaptopyrazole, 4- (methylthio) pyrazole, 4- (isopropylthio) pyrazole, 4-mercapto-1-propylpyrazole and the like It is done.
Among these, from the viewpoint of the haloing suppression effect, pyrazole, 1-aminopyrazole, 3-aminopyrazole, 3-amino-5-methylpyrazole, 1,5-diaminopyrazole, 3-amino-5-methylpyrazole, 3 It is preferable to use -mercapto-1-methylpyrazole or 3-mercapto-5-methylpyrazole.

<化学式(IV)で示されるアゾール化合物(イミダゾール化合物)>
表題のイミダゾール化合物としては、例えば、イミダゾール、1−メチルイミダゾール、1−エチルイミダゾール、1−プロピルイミダゾール、1−イソプロピルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−プロピルイミダゾール、2−イソプロピルイミダゾール、1,2−ジメチルイミダゾール、2,4−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、4,5−ジメチルイミダゾール、2,4,5−トリメチルイミダゾール、1−アミノイミダゾール、2−アミノイミダゾール、2−アミノ−4−メチルイミダゾール、4−アミノイミダゾール、4−アミノ−2−エチルイミダゾール、2−メルカプトイミダゾール、2−(メチルチオ)イミダゾール、2−(エチルチオ)イミダゾール、2−(プロピルチオ)イミダゾール、2−(イソプロピルチオ)イミダゾール、4−メルカプトイミダゾール、4−メルカプト−2−メチルイミダゾール、4−(メチルチオ)イミダゾール、4−アミノ−5−メルカプトイミダゾール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、イミダゾール、2−メルカプトイミダゾール、4−メルカプトイミダゾール、4−メルカプト−2−メチルイミダゾール、4−(メチルチオ)イミダゾール、4−アミノ−5−メルカプトイミダゾール、2−アミノイミダゾール、2−アミノ−4−メチルイミダゾール、4−アミノイミダゾールを用いることが好ましい。
<Azole compound (imidazole compound) represented by chemical formula (IV)>
Examples of the title imidazole compound include imidazole, 1-methylimidazole, 1-ethylimidazole, 1-propylimidazole, 1-isopropylimidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-propylimidazole, and 2-isopropylimidazole. 1,2-dimethylimidazole, 2,4-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 4,5-dimethylimidazole, 2,4,5-trimethylimidazole, 1-aminoimidazole, 2-aminoimidazole, 2-amino-4-methylimidazole, 4-aminoimidazole, 4-amino-2-ethylimidazole, 2-mercaptoimidazole, 2- (methylthio) imidazole, 2- (ethylthio) imidazole, 2- Propylthio) imidazole, 2- (isopropylthio) imidazole, 4-mercapto-imidazole, 4-mercapto-2-methylimidazole, 4- (methylthio) imidazole, 4-amino-5-mercapto-imidazole, and the like.
Among these, from the viewpoint of the haloing suppression effect, imidazole, 2-mercaptoimidazole, 4-mercaptoimidazole, 4-mercapto-2-methylimidazole, 4- (methylthio) imidazole, 4-amino-5-mercaptoimidazole, 2 It is preferable to use -aminoimidazole, 2-amino-4-methylimidazole, 4-aminoimidazole.

<化学式(V)又は化学式(VI)で示されるアゾール化合物(1,2,4−トリアゾール化合物)>
表題の1,2,4−トリアゾール化合物としては、例えば、1,2,4−トリアゾール、1−メチル−1,2,4−トリアゾール、1−エチル−1,2,4−トリアゾール、1−プロピル−1,2,4−トリアゾール、1−イソプロピル−1,2,4−トリアゾール、3−メチル−1,2,4−トリアゾール、3−エチル−1,2,4−トリアゾール、3−プロピル−1,2,4−トリアゾール、3−イソプロピル−1,2,4−トリアゾール、1,3−ジメチル−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジメチル−1,2,4−トリアゾール、3−エチル−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジエチル−1,2,4−トリアゾール、3−メチル−5−プロピル−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジイソプロピル−1,2,4−トリアゾール、1−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−エチル−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−プロピル−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−イソプロピル−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1−メチル−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1−エチル−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1−プロピル−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1−イソプロピル−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、5−エチル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、5−プロピル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、5−イソプロピル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1−メチル−1,2,4−トリアゾール、1−エチル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−4−メチル−1,2,4−トリアゾール、4−エチル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−4−プロピル−1,2,4−トリアゾール、4−イソプロピル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジメルカプト−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジメルカプト−1−メチル−1,2,4−トリアゾール、3−(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−(エチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−(プロピルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−(イソプロピルチオ)−1,2,4−トリアゾール、1−メチル−3−(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−5−(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3,5−ビス(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3,5−ビス(エチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、5−アミノ−3−メルカプト−1−メチル−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−(エチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−(プロピルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−(イソプロピルチオ)−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1−メチル−5−(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−5−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−3−メルカプト−5−メチル−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−5−エチル−3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−3−(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−3−(エチルチオ)−1,2,4−トリアゾール、4−アミノ−3−メチル−5−(メチルチオ)−1,2,4−トリアゾール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、1,2,4−トリアゾール、3−
アミノ−5−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジメルカプト−1,2,
4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1,2,
4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1,2,4−トリアゾールを用いることが好まし
い。
<Azole compound represented by chemical formula (V) or chemical formula (VI) (1,2,4-triazole compound)>
Examples of the title 1,2,4-triazole compound include 1,2,4-triazole, 1-methyl-1,2,4-triazole, 1-ethyl-1,2,4-triazole, and 1-propyl. -1,2,4-triazole, 1-isopropyl-1,2,4-triazole, 3-methyl-1,2,4-triazole, 3-ethyl-1,2,4-triazole, 3-propyl-1 , 2,4-triazole, 3-isopropyl-1,2,4-triazole, 1,3-dimethyl-1,2,4-triazole, 3,5-dimethyl-1,2,4-triazole, 3-ethyl -5-methyl-1,2,4-triazole, 3,5-diethyl-1,2,4-triazole, 3-methyl-5-propyl-1,2,4-triazole, 3,5-diisopropyl-1 , 2, -Triazole, 1-amino-1,2,4-triazole, 3-amino-1,2,4-triazole, 4-amino-1,2,4-triazole, 3-amino-5-methyl-1,2 , 4-triazole, 3-amino-5-ethyl-1,2,4-triazole, 3-amino-5-propyl-1,2,4-triazole, 3-amino-5-isopropyl-1,2,4 -Triazole, 3,5-diamino-1,2,4-triazole, 3,5-diamino-1-methyl-1,2,4-triazole, 3,5-diamino-1-ethyl-1,2,4 -Triazole, 3,5-diamino-1-propyl-1,2,4-triazole, 3,5-diamino-1-isopropyl-1,2,4-triazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole , 3-Mel Pto-5-methyl-1,2,4-triazole, 5-ethyl-3-mercapto-1,2,4-triazole, 5-propyl-3-mercapto-1,2,4-triazole, 5-isopropyl- 3-mercapto-1,2,4-triazole, 3-mercapto-1-methyl-1,2,4-triazole, 1-ethyl-3-mercapto-1,2,4-triazole, 3-mercapto-4- Methyl-1,2,4-triazole, 4-ethyl-3-mercapto-1,2,4-triazole, 3-mercapto-4-propyl-1,2,4-triazole, 4-isopropyl-3-mercapto- 1,2,4-triazole, 3,5-dimercapto-1,2,4-triazole, 3,5-dimercapto-1-methyl-1,2,4-triazole, 3- (methyl Thio) -1,2,4-triazole, 3- (ethylthio) -1,2,4-triazole, 3- (propylthio) -1,2,4-triazole, 3- (isopropylthio) -1,2, 4-triazole, 1-methyl-3- (methylthio) -1,2,4-triazole, 3-mercapto-5- (methylthio) -1,2,4-triazole, 3,5-bis (methylthio) -1 , 2,4-triazole, 3,5-bis (ethylthio) -1,2,4-triazole, 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole, 5-amino-3-mercapto-1- Methyl-1,2,4-triazole, 3-amino-5- (methylthio) -1,2,4-triazole, 3-amino-5- (ethylthio) -1,2,4-triazole, 3-amino- 5- (Pro Ruthio) -1,2,4-triazole, 3-amino-5- (isopropylthio) -1,2,4-triazole, 3-amino-1-methyl-5- (methylthio) -1,2,4- Triazole, 4-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole, 4-amino-3-mercapto-5-methyl-1,2,4-triazole, 4-amino-5-ethyl-3-mercapto- 1,2,4-triazole, 4-amino-3- (methylthio) -1,2,4-triazole, 4-amino-3- (ethylthio) -1,2,4-triazole, 4-amino-3- And methyl-5- (methylthio) -1,2,4-triazole.
Among these, 1,2,4-triazole, 3-
Amino-5-mercapto-1,2,4-triazole, 3,5-dimercapto-1,2,
4-triazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 3-amino-1,2,
It is preferable to use 4-triazole or 3,5-diamino-1,2,4-triazole.

<化学式(VII)で示されるアゾール化合物(1,2,3−トリアゾール化合物)>
表題の1,2,3−トリアゾール化合物としては、例えば、1,2,3−トリアゾール、1−メチル−1,2,3−トリアゾール、1−エチル−1,2,3−トリアゾール、1−プロピル−1,2,3−トリアゾール、1−イソプロピル−1,2,3−トリアゾール、4−メチル−1,2,3−トリアゾール、4−エチル−1,2,3−トリアゾール、4−プロピル−1,2,3−トリアゾール、4−イソプロピル−1,2,3−トリアゾール、1,4−ジメチル−1,2,3−トリアゾール、4−エチル−1−メチル−1,2,3−トリアゾール、4,5−ジメチル−1,2,3−トリアゾール、4,5−ジエチル−1,2,3−トリアゾール、4−エチル−5−プロピル−1,2,3−トリアゾール、1−アミノ−1,2,3−トリアゾール、1−アミノ−5−メチル−1,2,3−トリアゾール、1−アミノ−5−エチル−1,2,3−トリアゾール、1−アミノ−5−プロピル−1,2,3−トリアゾール、1−アミノ−5−イソプロピル−1,2,3−トリアゾール、1−アミノ−4,5−ジメチル−1,2,3−トリアゾール、4−アミノ−1,2,3−トリアゾール、4−アミノ−5−メチル−1,2,3−トリアゾール、4−アミノ−1−メチル−1,2,3−トリアゾール、4−アミノ−1−エチル−1,2,3−トリアゾール、4−アミノ−1−プロピル−1,2,3−トリアゾール、4−アミノ−1−イソプロピル−1,2,3−トリアゾール、4−メルカプト−1,2,3−トリアゾール、5−メルカプト−4−メチル−1,2,3−トリアゾール、4−(メチルチオ)−1,2,3−トリアゾール、4−(エチルチオ)−1,2,3−トリアゾール、4−(プロピルチオ)−1,2,3−トリアゾール、4−(イソプロピルチオ)−1,2,3−トリアゾール、4−(エチルチオ)−5−メチル−1,2,3−トリアゾール、4−アミノ−5−メルカプト−1,2,3−トリアゾール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、1,2,3−トリアゾール、4−
メルカプト−1,2,3−トリアゾールを用いることが好ましい。
<Azole compound represented by chemical formula (VII) (1,2,3-triazole compound)>
Examples of the title 1,2,3-triazole compound include 1,2,3-triazole, 1-methyl-1,2,3-triazole, 1-ethyl-1,2,3-triazole, and 1-propyl. -1,2,3-triazole, 1-isopropyl-1,2,3-triazole, 4-methyl-1,2,3-triazole, 4-ethyl-1,2,3-triazole, 4-propyl-1 , 2,3-triazole, 4-isopropyl-1,2,3-triazole, 1,4-dimethyl-1,2,3-triazole, 4-ethyl-1-methyl-1,2,3-triazole, 4, , 5-dimethyl-1,2,3-triazole, 4,5-diethyl-1,2,3-triazole, 4-ethyl-5-propyl-1,2,3-triazole, 1-amino-1,2 , 3-Triazo 1-amino-5-methyl-1,2,3-triazole, 1-amino-5-ethyl-1,2,3-triazole, 1-amino-5-propyl-1,2,3-triazole, 1-amino-5-isopropyl-1,2,3-triazole, 1-amino-4,5-dimethyl-1,2,3-triazole, 4-amino-1,2,3-triazole, 4-amino- 5-methyl-1,2,3-triazole, 4-amino-1-methyl-1,2,3-triazole, 4-amino-1-ethyl-1,2,3-triazole, 4-amino-1- Propyl-1,2,3-triazole, 4-amino-1-isopropyl-1,2,3-triazole, 4-mercapto-1,2,3-triazole, 5-mercapto-4-methyl-1,2, 3-triazole, 4- Methylthio) -1,2,3-triazole, 4- (ethylthio) -1,2,3-triazole, 4- (propylthio) -1,2,3-triazole, 4- (isopropylthio) -1,2, Examples include 3-triazole, 4- (ethylthio) -5-methyl-1,2,3-triazole, 4-amino-5-mercapto-1,2,3-triazole and the like.
Among these, 1,2,3-triazole, 4-
Mercapto-1,2,3-triazole is preferably used.

<化学式(VIII)で示されるアゾール化合物(1H−テトラゾール化合物)>
表題の1H−テトラゾール化合物としては、例えば、1H−テトラゾール、1−メチルテトラゾール、1−エチルテトラゾール、1−プロピルテトラゾール、1−イソプロピルテトラゾール、5−メチルテトラゾール、5−エチルテトラゾール、5−プロピルテトラゾール、5−イソプロピルテトラゾール、1,5−ジメチルテトラゾール、5−エチル−1−メチルテトラゾール、5−プロピル−1−メチルテトラゾール、5−イソプロピル−1−メチルテトラゾール、1,5−ジエチルテトラゾール、1−アミノテトラゾール、1−アミノ−5−メチルテトラゾール、1−アミノ−5−エチルテトラゾール、1−アミノ−5−プロピルテトラゾール、1−アミノ−5−イソプロピルテトラゾール、5−アミノテトラゾール、5−アミノ−1−メチルテトラゾール、5−アミノ−1−エチルテトラゾール、5−アミノ−1−プロピルテトラゾール、5−アミノ−1−イソプロピルテトラゾール、5−メルカプトテトラゾール、5−メルカプト−1−メチルテトラゾール、1−エチル−5−メルカプトテトラゾール、5−メルカプト−1−プロピルテトラゾール、1−イソプロピル−5−メルカプトテトラゾール、5−(メチルチオ)テトラゾール、5−(エチルチオ)テトラゾール、5−(プロピルチオ)テトラゾール、5−(イソプロピルチオ)テトラゾール、1−メチル−5−(メチルチオ)テトラゾール、1−メチル−5−(エチルチオ)テトラゾール、1−アミノ−5−メルカプトテトラゾール、2H−テトラゾール、2−メチルテトラゾール、2−エチルテトラゾール、2−イソプロピルテトラゾール、5−アミノ−2−メチルテトラゾール、5−アミノ−2−エチルテトラゾール、5−メルカプト−2−メチルテトラゾール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、1H−テトラゾール、5−アミノ
テトラゾールを用いることが好ましい。
<Azole compound (1H-tetrazole compound) represented by chemical formula (VIII)>
Examples of the title 1H-tetrazole compound include 1H-tetrazole, 1-methyltetrazole, 1-ethyltetrazole, 1-propyltetrazole, 1-isopropyltetrazole, 5-methyltetrazole, 5-ethyltetrazole, 5-propyltetrazole, 5-isopropyltetrazole, 1,5-dimethyltetrazole, 5-ethyl-1-methyltetrazole, 5-propyl-1-methyltetrazole, 5-isopropyl-1-methyltetrazole, 1,5-diethyltetrazole, 1-aminotetrazole 1-amino-5-methyltetrazole, 1-amino-5-ethyltetrazole, 1-amino-5-propyltetrazole, 1-amino-5-isopropyltetrazole, 5-aminotetrazole, 5-amino-1 Methyltetrazole, 5-amino-1-ethyltetrazole, 5-amino-1-propyltetrazole, 5-amino-1-isopropyltetrazole, 5-mercaptotetrazole, 5-mercapto-1-methyltetrazole, 1-ethyl-5 Mercaptotetrazole, 5-mercapto-1-propyltetrazole, 1-isopropyl-5-mercaptotetrazole, 5- (methylthio) tetrazole, 5- (ethylthio) tetrazole, 5- (propylthio) tetrazole, 5- (isopropylthio) tetrazole, 1-methyl-5- (methylthio) tetrazole, 1-methyl-5- (ethylthio) tetrazole, 1-amino-5-mercaptotetrazole, 2H-tetrazole, 2-methyltetrazole, 2-ethyltetrazole, - isopropyl tetrazole, 5-amino-2-methyl tetrazole, 5-amino-2-ethyl tetrazole, 5-mercapto-2-methyl-tetrazole, and the like.
Among these, it is preferable to use 1H-tetrazole and 5-aminotetrazole from the viewpoint of the haloing suppression effect.

<化学式(IX)で示されるアゾール化合物(インドール化合物)>
表題のインドール化合物としては、例えば、インドール、1−メチルインドール、1−エチルインドール、1−プロピルインドール、1−イソプロピルインドール、2−メチルインドール、3−メチルインドール、4−メチルインドール、5−メチルインドール、6−メチルインドール、1,2−ジメチルインドール、2,5−ジメチルインドール、1−アミノインドール、2−アミノインドール、3−アミノインドール、4−アミノインドール、6−アミノインドール、5−アミノ−2−メチルインドール、2−メルカプトインドール、2−(メチルチオ)インドール、2−(エチルチオ)インドール、2−(プロピルチオ)インドール、3−メルカプトインドール、3−(メチルチオ)インドール、3−(エチルチオ)インドール、4−メルカプトインドール、4−(メチルチオ)インドール、4−(エチルチオ)インドール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、インドール、2−メルカプトインドール、3−メルカプトインドール、2−アミノインドール、3−アミノインドール、4−アミノインドール、1−アミノインドール、6−アミノインドール、5−アミノ−2−メチルインドールを用いることが好ましい。
<Azole compound represented by chemical formula (IX) (indole compound)>
Examples of the indole compound include indole, 1-methylindole, 1-ethylindole, 1-propylindole, 1-isopropylindole, 2-methylindole, 3-methylindole, 4-methylindole, and 5-methylindole. 6-methylindole, 1,2-dimethylindole, 2,5-dimethylindole, 1-aminoindole, 2-aminoindole, 3-aminoindole, 4-aminoindole, 6-aminoindole, 5-amino-2 -Methylindole, 2-mercaptoindole, 2- (methylthio) indole, 2- (ethylthio) indole, 2- (propylthio) indole, 3-mercaptoindole, 3- (methylthio) indole, 3- (ethylthio) indole, 4 − Mercaptoethyloleates indole, 4- (methylthio) indole, 4- (ethylthio) indole, and the like.
Of these, indole, 2-mercaptoindole, 3-mercaptoindole, 2-aminoindole, 3-aminoindole, 4-aminoindole, 1-aminoindole, 6-aminoindole, 5 It is preferred to use -amino-2-methylindole.

<化学式(X)で示されるアゾール化合物(イソインドール化合物)>
表題のイソインドール化合物としては、例えば、イソインドール、2−メチルイソインドール、2−エチルイソインドール、2−プロピルイソインドール、1,3−ジメチルイソインドール、1−アミノイソインドール、2−アミノイソインドール、1−(エチルチオ)−2−メチルイソインドール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、イソインドール、1−アミノイソインドール、2−アミノイソインドールを用いることが好ましい。
<Azole compound represented by chemical formula (X) (isoindole compound)>
Examples of the title isoindole compound include isoindole, 2-methylisoindole, 2-ethylisoindole, 2-propylisoindole, 1,3-dimethylisoindole, 1-aminoisoindole, and 2-aminoisoindole. 1- (ethylthio) -2-methylisoindole and the like.
Among these, it is preferable to use isoindole, 1-aminoisoindole, and 2-aminoisoindole from the viewpoint of the haloing suppression effect.

<化学式(XI)および化学式(XII)で示されるアゾール化合物(インダゾール化合物)>
表題のインダゾール化合物としては、例えば、インダゾール、1−メチルインダゾール、1−エチルインダゾール、1−プロピルインダゾール、1−イソプロピルインダゾール、2−メチルインダゾール、2−エチルインダゾール、2−プロピルインダゾール、2−イソプロピルインダゾール、4−メチルインダゾール、5−メチルインダゾール、7−メチルインダゾール、1−アミノインダゾール、3−アミノインダゾール、5−アミノインダゾール、6−アミノインダゾール、4−アミノ−1−メチルインダゾール、5−アミノ−6−メチルインダゾール、7−アミノ−4−メチルインダゾール、3−メルカプトインダゾール、5−メルカプトインダゾール、3−(メチルチオ)インダゾール、5−アミノ−6−メルカプトインダゾール、5−アミノ−6−(エチルチオ)インダゾール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、インダゾール、1−アミノインダゾール、3−アミノインダゾール、5−アミノインダゾール、6−アミノインダゾール、4−アミノ−1−メチルインダゾール、5−アミノ−6−メチルインダゾール、7−アミノ−4−メチルインダゾール、3−メルカプトインダゾール、5−メルカプトインダゾールを用いることが好ましい。
<Azole Compound (Indazole Compound) Represented by Chemical Formula (XI) and Chemical Formula (XII)>
Examples of the title indazole compound include indazole, 1-methylindazole, 1-ethylindazole, 1-propylindazole, 1-isopropylindazole, 2-methylindazole, 2-ethylindazole, 2-propylindazole, and 2-isopropylindazole. 4-methylindazole, 5-methylindazole, 7-methylindazole, 1-aminoindazole, 3-aminoindazole, 5-aminoindazole, 6-aminoindazole, 4-amino-1-methylindazole, 5-amino-6 -Methylindazole, 7-amino-4-methylindazole, 3-mercaptoindazole, 5-mercaptoindazole, 3- (methylthio) indazole, 5-amino-6-mercaptoindazole 5-Amino-6- (ethylthio) indazole, and the like.
Among these, indazole, 1-aminoindazole, 3-aminoindazole, 5-aminoindazole, 6-aminoindazole, 4-amino-1-methylindazole, 5-amino-6-methyl from the viewpoint of haloing suppression effect Indazole, 7-amino-4-methylindazole, 3-mercaptoindazole, and 5-mercaptoindazole are preferably used.

<化学式(XIII)で示されるアゾール化合物(ベンズイミダゾール化合物)>
表題のベンズイミダゾール化合物としては、例えば、ベンズイミダゾール、1−メチルベンズイミダゾール、1−エチルベンズイミダゾール、1−プロピルベンズイミダゾール、1−イソプロピルベンズイミダゾール、2−メチルベンズイミダゾール、2−エチルベンズイミダゾール、2−プロピルベンズイミダゾール、2−イソプロピルベンズイミダゾール、1,2−ジメチルベンズイミダゾール、5,6−ジメチルベンズイミダゾール、1−アミノベンズイミダゾール、2−アミノベンズイミダゾール、5−アミノベンズイミダゾール、2−メルカプトベンズイミダゾール、2−メルカプト−5−メチルベンズイミダゾール、2−(メチルチオ)ベンズイミダゾール、2−(エチルチオ)ベンズイミダゾール、2−(プロピルチオ)ベンズイミダゾール、2−(イソプロピルチオ)ベンズイミダゾール、5−アミノ−2−メルカプトベンズイミダゾール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、ベンズイミダゾール、1−アミノベンズイミダゾール、2−アミノベンズイミダゾール、5−アミノベンズイミダゾール、2−メルカプトベンズイミダゾール、2−メルカプト−5−メチルベンズイミダゾール、5−アミノ−2−メルカプトベンズイミダゾールを用いることが好ましい。
<Azole compound represented by chemical formula (XIII) (benzimidazole compound)>
Examples of the title benzimidazole compound include benzimidazole, 1-methylbenzimidazole, 1-ethylbenzimidazole, 1-propylbenzimidazole, 1-isopropylbenzimidazole, 2-methylbenzimidazole, 2-ethylbenzimidazole, 2 -Propylbenzimidazole, 2-isopropylbenzimidazole, 1,2-dimethylbenzimidazole, 5,6-dimethylbenzimidazole, 1-aminobenzimidazole, 2-aminobenzimidazole, 5-aminobenzimidazole, 2-mercaptobenzimidazole 2-mercapto-5-methylbenzimidazole, 2- (methylthio) benzimidazole, 2- (ethylthio) benzimidazole, 2- (propylthio) benzen Imidazole, 2- (isopropylthio) benzimidazole, 5-amino-2-mercaptobenzimidazole and the like.
Among these, from the viewpoint of the haloing suppression effect, benzimidazole, 1-aminobenzimidazole, 2-aminobenzimidazole, 5-aminobenzimidazole, 2-mercaptobenzimidazole, 2-mercapto-5-methylbenzimidazole, 5 It is preferable to use -amino-2-mercaptobenzimidazole.

<化学式(XIV)で示されるアゾール化合物(ベンゾトリアゾール化合物)>
表題のベンゾトリアゾール化合物としては、例えば、ベンゾトリアゾール、1−メチルベンゾトリアゾール、1−エチルベンゾトリアゾール、1−プロピルベンゾトリアゾール、1−イソプロピルベンゾトリアゾール、2−メチルベンゾトリアゾール、2−エチルベンゾトリアゾール、2−プロピルベンゾトリアゾール、2−イソプロピルベンゾトリアゾール、4−メチルベンゾトリアゾール、5−メチルベンゾトリアゾール、5,6−ジメチルベンゾトリアゾール、1−アミノベンゾトリアゾール、2−アミノベンゾトリアゾール、4−アミノベンゾトリアゾール、5−アミノベンゾトリアゾール、5−メルカプトベンゾトリアゾール、5−(メチルチオ)ベンゾトリアゾール、5−(プロピルチオ)ベンゾトリアゾール等が挙げられる。
これらの中でも、ハローイング抑制効果の観点から、ベンゾトリアゾール、1−アミノベンゾトリアゾール、2−アミノベンゾトリアゾール、4−アミノベンゾトリアゾール、5−アミノベンゾトリアゾール、5−メルカプトベンゾトリアゾールを用いることが好ましい。
<Azole compound represented by chemical formula (XIV) (benzotriazole compound)>
Examples of the title benzotriazole compound include benzotriazole, 1-methylbenzotriazole, 1-ethylbenzotriazole, 1-propylbenzotriazole, 1-isopropylbenzotriazole, 2-methylbenzotriazole, 2-ethylbenzotriazole, 2 -Propylbenzotriazole, 2-isopropylbenzotriazole, 4-methylbenzotriazole, 5-methylbenzotriazole, 5,6-dimethylbenzotriazole, 1-aminobenzotriazole, 2-aminobenzotriazole, 4-aminobenzotriazole, 5 -Aminobenzotriazole, 5-mercaptobenzotriazole, 5- (methylthio) benzotriazole, 5- (propylthio) benzotriazole and the like.
Among these, it is preferable to use benzotriazole, 1-aminobenzotriazole, 2-aminobenzotriazole, 4-aminobenzotriazole, 5-aminobenzotriazole, and 5-mercaptobenzotriazole from the viewpoint of the haloing suppression effect.

化学式(II)で示されるアゾール化合物は、例えば、Science of Synthesis,9巻,441頁(2000年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(III)で示されるアゾール化合物は、例えば、Science of Synthesis,12巻,15頁(2002年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(IV)で示されるアゾール化合物は、例えば、Science of Synthesis,12巻,325頁(2002年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(V)で示されるアゾール化合物は、例えば、国際公開第92/02853号に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(VI)で示されるアゾール化合物は、例えば、Molecules,9巻,204頁(2004年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(VII)で示されるアゾール化合物は、例えば、米国特許第7,550,601号明細書に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(VIII)で示されるアゾール化合物は、例えば、Journal of the Chemical Society,Dalton Transactions,3373頁(2001年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(IX)で示されるアゾール化合物は、例えば、Science of Synthesis,10巻,361頁(2000年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(X)で示されるアゾール化合物は、例えば、Science of Synthesis,10巻,653頁(2000年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(XI)及び(XII)で示されるアゾール化合物は、例えば、Science of Synthesis,12巻,227頁(2002年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(XIII)で示されるアゾール化合物は、例えば、Science of Synthesis,12巻,529頁(2002年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
化学式(XIV)で示されるアゾール化合物は、例えば、Science of Synthesis,13巻,540頁(2003年)に記載された方法に準拠して合成することができる。
また、市販のものを使用することもでき、例えば、化学式(V)に含まれる3−アミノ−1,2,4−トリアゾールとして和光純薬工業社製の試薬、化学式(VI)に含まれる4−アミノ−1,2,4−トリアゾールとして東京化成工業社製の試薬、化学式(VII)に含まれる1,2,3−トリアゾールとして東京化成工業社製の試薬、化学式(VIII)に含まれる1H−テトラゾールとして東京化成工業社製の試薬が挙げられる。
The azole compound represented by the chemical formula (II) can be synthesized, for example, according to the method described in Science of Synthesis, Vol. 9, page 441 (2000).
The azole compound represented by the chemical formula (III) can be synthesized, for example, according to the method described in Science of Synthesis, Vol. 12, page 15 (2002).
The azole compound represented by the chemical formula (IV) can be synthesized in accordance with, for example, the method described in Science of Synthesis, Vol. 12, 325 (2002).
The azole compound represented by the chemical formula (V) can be synthesized, for example, according to the method described in International Publication No. 92/02853.
The azole compound represented by the chemical formula (VI) can be synthesized, for example, according to the method described in Molecules, Vol. 9, page 204 (2004).
The azole compound represented by the chemical formula (VII) can be synthesized, for example, according to the method described in US Pat. No. 7,550,601.
The azole compound represented by the chemical formula (VIII) can be synthesized, for example, according to the method described in Journal of the Chemical Society, Dalton Transactions, page 3373 (2001).
The azole compound represented by the chemical formula (IX) can be synthesized in accordance with, for example, the method described in Science of Synthesis, Vol. 10, page 361 (2000).
The azole compound represented by the chemical formula (X) can be synthesized, for example, according to the method described in Science of Synthesis, Vol. 10, page 653 (2000).
The azole compounds represented by the chemical formulas (XI) and (XII) can be synthesized in accordance with, for example, the method described in Science of Synthesis, Vol. 12, 227 (2002).
The azole compound represented by the chemical formula (XIII) can be synthesized, for example, according to the method described in Science of Synthesis, Vol. 12, 529 (2002).
The azole compound represented by the chemical formula (XIV) can be synthesized in accordance with, for example, the method described in Science of Synthesis, Vol. 13, 540 (2003).
Moreover, a commercially available thing can also be used, for example, a reagent made from Wako Pure Chemical Industries, Ltd. as 3-amino-1,2,4-triazole contained in chemical formula (V), 4 contained in chemical formula (VI). -Amino-1,2,4-triazole as a reagent manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., as a 1,2,3-triazole contained as a reagent manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd., 1H included in Chemical Formula (VIII) -Reagents manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd. may be mentioned as tetrazole.

本発明の実施において使用する特定アゾール化合物は、上記した中でも、化学式(IV)〜(VIII)、(XIII)、(XIV)で示される化合物が好ましく、具体的に、イミダゾール、2−メルカプトイミダゾール、2−アミノイミダゾール、2−アミノ−4−メチルイミダゾール、1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジメルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1,2,4−トリアゾール、1,2,3−トリアゾール、4−メルカプト−1,2,3−トリアゾール、1H−テトラゾール、5−アミノテトラゾール、ベンズイミダゾール、2−アミノベンズイミダゾール、2−メルカプトベンズイミダゾール、ベンゾトリアゾール、5−アミノベンゾトリアゾール、5−メルカプトベンゾトリアゾールがより好ましい。   Among the above-mentioned specific azole compounds used in the practice of the present invention, compounds represented by the chemical formulas (IV) to (VIII), (XIII), and (XIV) are preferable, and specifically, imidazole, 2-mercaptoimidazole, 2-aminoimidazole, 2-amino-4-methylimidazole, 1,2,4-triazole, 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole, 3,5-dimercapto-1,2,4- Triazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 3-amino-1,2,4-triazole, 3,5-diamino-1,2,4-triazole, 1,2,3-triazole, 4- Mercapto-1,2,3-triazole, 1H-tetrazole, 5-aminotetrazole, benzimidazole, 2-aminobenzimidazole Lumpur, 2-mercaptobenzimidazole, benzotriazole, 5-amino benzotriazole, 5-mercaptobenzothiazole is more preferred.

本発明の表面処理液中の特定アゾール化合物の含有量は、0.0001〜5質量%であることが好ましい。特定アゾール化合物の含有量が0.0001質量%以上であると、本発明の表面処理液を金属表面に処理することにより、優れた防錆性(金属表面の酸化を防ぐ)が得られ、ハローイングを抑制することができる。また、5質量%を超えて含有しても防錆性の効果が飽和し、含有量に見合う効果が期待できないこと、含有量が多すぎると特定アゾール化合物が溶解しきれない惧れがあることから、5質量%を上限とすることが好ましい。特定アゾール化合物の含有量は、表面処理液中、0.01質量%以上であることがより好ましく、0.05質%以上が更に好ましく、また、3質量%以下であることがより好ましく、2質量%以下が更に好ましい。   The content of the specific azole compound in the surface treatment liquid of the present invention is preferably 0.0001 to 5% by mass. When the content of the specific azole compound is 0.0001% by mass or more, the surface treatment liquid of the present invention is treated on the metal surface, thereby providing excellent rust prevention (preventing oxidation of the metal surface) and halo. Ing can be suppressed. Moreover, even if it contains more than 5% by mass, the effect of rust prevention is saturated, the effect commensurate with the content cannot be expected, and if the content is too much, the specific azole compound may not be completely dissolved Therefore, the upper limit is preferably 5% by mass. The content of the specific azole compound is more preferably 0.01% by mass or more, further preferably 0.05% by mass or more, and more preferably 3% by mass or less in the surface treatment liquid. A mass% or less is more preferable.

本発明の表面処理液は、前記の特定アゾールシラン化合物と、前記の特定アゾール化合物と、水を混合することにより調製される。
表面処理液の調製に用いられる水としては、水道水、イオン交換水、蒸留水、精製水等が挙げられ、イオン交換水や蒸留水等の純水を用いることが好ましい。
The surface treatment liquid of the present invention is prepared by mixing the specific azole silane compound, the specific azole compound, and water.
Examples of the water used for the preparation of the surface treatment liquid include tap water, ion exchange water, distilled water, purified water, and the like, and it is preferable to use pure water such as ion exchange water or distilled water.

ところで、表面処理液中に生成したヒドロキシシリル基を有するアゾールシラン化合物(I−2)〜(I−4)は、徐々に、互いに反応して脱水縮合し、ヒドロキシシリル基がシロキサン結合(Si−O−Si)を形成し(上記スキーム(A)参照)、水に溶け難いシランオリゴマー(スキーム(A)中の化学式(e)で示される基を有するアゾールシラン化合物)に変換される。   By the way, the azole silane compounds (I-2) to (I-4) having a hydroxysilyl group generated in the surface treatment liquid gradually react with each other to undergo dehydration condensation, and the hydroxysilyl group has a siloxane bond (Si— O-Si) (see the above-mentioned scheme (A)) and converted into a silane oligomer (an azole silane compound having a group represented by the chemical formula (e) in the scheme (A)) that is hardly soluble in water.

表面処理液中におけるシランオリゴマーの生成量が多くなると、不溶解分が析出して(表面処理液が白濁し)、処理槽や処理槽に接続された配管、表面処理液中に浸漬されて該処理液の温度や液面を検出するためのセンサー類に付着し、円滑な表面処理が阻害される惧れがある。   When the amount of silane oligomer produced in the surface treatment liquid increases, the insoluble matter precipitates (the surface treatment liquid becomes cloudy) and is immersed in the treatment tank, piping connected to the treatment tank, or the surface treatment liquid. There is a risk that the surface treatment may be hindered due to adhesion to sensors for detecting the temperature and level of the treatment liquid.

これを避けるために、表面処理液の調製には、水に難溶性であるシランオリゴマーの可溶化剤として、有機溶剤を表面処理液中に含有させることが好ましい。また、表面処理液の調製においては、特定アゾールシラン化合物や特定アゾール化合物の溶解を促進させる為に、酸やアルカリを含有させることが好ましい。なお、前記の有機溶剤は、特定アゾールシラン化合物と特定アゾール化合物の溶解性を高める機能も有しているから、本発明の表面処理液には、可溶化剤として、酸、アルカリ、有機溶剤からなる群から選択される少なくとも1種を含有させることが好ましい。   In order to avoid this, it is preferable that an organic solvent is contained in the surface treatment liquid as a solubilizer for the silane oligomer that is hardly soluble in water. In preparation of the surface treatment liquid, it is preferable to contain an acid or an alkali in order to promote dissolution of the specific azole silane compound or the specific azole compound. In addition, since the said organic solvent also has the function to improve the solubility of a specific azole silane compound and a specific azole compound, the surface treatment liquid of the present invention includes an acid, an alkali, and an organic solvent as a solubilizer. It is preferable to contain at least one selected from the group consisting of:

前記の酸としては、例えば、塩酸、硫酸、硝酸等の鉱酸や、ギ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、グリコール酸、乳酸、グルコン酸、グリセリン酸、マロン酸、コハク酸、レブリン酸、安息香酸、シュウ酸、酒石酸、リンゴ酸、アミノ酸等の有機酸等が挙げられる。これらの酸は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を併用して用いてもよい。   Examples of the acid include mineral acids such as hydrochloric acid, sulfuric acid and nitric acid, formic acid, acetic acid, propionic acid, butyric acid, glycolic acid, lactic acid, gluconic acid, glyceric acid, malonic acid, succinic acid, levulinic acid and benzoic acid. And organic acids such as oxalic acid, tartaric acid, malic acid and amino acids. These acids may be used alone or in combination of two or more.

前記のアルカリとしては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属の水酸化物や、アンモニア、メチルアミン、ジメチルアミン、トリメチルアミン、エチルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、プロピルアミン、イソプロピルアミン、ブチルアミン、アリルアミン、エチレンジアミン、ジエチレントリアミン、トリエチレンテトラミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミン、モノイソプロパノールアミン、ジイソプロパノールアミン、トリイソプロパノールアミン、1−アミノ−2−プロパノール、3−アミノ−1−プロパノール、2−アミノ−1−プロパノール、N,N−ジメチルエタノールアミン、シクロヘキシルアミン、アニリン、ピロリジン、ピペリジン、ピペラジン、ピリジン等のアミン類等が挙げられる。これらのアルカリは、1種を単独で使用してもよく、2種以上を併用して用いてもよい。   Examples of the alkali include hydroxides of alkali metals such as sodium hydroxide and potassium hydroxide, ammonia, methylamine, dimethylamine, trimethylamine, ethylamine, diethylamine, triethylamine, propylamine, isopropylamine, butylamine, allylamine, and ethylenediamine. , Diethylenetriamine, triethylenetetramine, monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monopropanolamine, dipropanolamine, tripropanolamine, monoisopropanolamine, diisopropanolamine, triisopropanolamine, 1-amino-2-propanol, 3 -Amino-1-propanol, 2-amino-1-propanol, N, N-dimethylethanolamine, cycl Hexylamine, aniline, pyrrolidine, piperidine, piperazine, amines such as pyridine and the like. These alkalis may be used alone or in combination of two or more.

前記の有機溶剤としては、例えば、メタノール、エタノール、1−プロパノール、2−プロパノール、ブタノール、tert−ブチルアルコール、1−メトキシ−2−プロパノール、1−エトキシ−2−プロパノール、1−ブトキシ−2−プロパノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリン、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、トリエチレングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフルフリルアルコール、フルフリルアルコール、アセトン、テトラヒドロフラン、ジオキサン、アセトニトリル、2−ピロリドン、ホルムアミド、ジメチルホルムアミド、ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、スルホラン、炭酸ジメチル、エチレンカーボネート、N−メチルピロリドン、γ−ブチロラクトン、1,3−ジメチル−2−イミダゾリジノン等が挙げられる。これらの有機溶剤は、1種を単独で使用してもよく、2種以上を併用して用いてもよい。   Examples of the organic solvent include methanol, ethanol, 1-propanol, 2-propanol, butanol, tert-butyl alcohol, 1-methoxy-2-propanol, 1-ethoxy-2-propanol, and 1-butoxy-2- Propanol, ethylene glycol, propylene glycol, glycerin, diethylene glycol, triethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl Ether, propylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monomethyl ether Ter, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, triethylene glycol dimethyl ether, triethylene glycol diethyl ether, tetrahydrofurfuryl alcohol, furfuryl alcohol, acetone, tetrahydrofuran, dioxane, acetonitrile, 2-pyrrolidone, Examples include formamide, dimethylformamide, dimethylacetamide, dimethyl sulfoxide, sulfolane, dimethyl carbonate, ethylene carbonate, N-methylpyrrolidone, γ-butyrolactone, 1,3-dimethyl-2-imidazolidinone and the like. These organic solvents may be used alone or in combination of two or more.

可溶化剤の含有量としては、表面処理液中0.1〜50質量%であることが好ましい。可溶化剤の含有量が0.1質量%以上であると、表面処理液中での特定アゾールシラン化合物と特定アゾール化合物の溶解性を高める作用が顕著である。また、50質量%を超えると経済的ではないため、50質量%を上限とすることが好ましい。可溶化剤の含有量は、表面処理液中、0.5質量%以上であることがより好ましく、1質量%以上が更に好ましく、また、30質量%以下であることがより好ましく、15質量%以下が更に好ましい。   The content of the solubilizer is preferably 0.1 to 50% by mass in the surface treatment liquid. When the content of the solubilizer is 0.1% by mass or more, the effect of increasing the solubility of the specific azole silane compound and the specific azole compound in the surface treatment liquid is remarkable. Moreover, since it is not economical when it exceeds 50 mass%, it is preferable to make 50 mass% into an upper limit. The content of the solubilizer is more preferably 0.5% by mass or more in the surface treatment solution, further preferably 1% by mass or more, and more preferably 30% by mass or less, and 15% by mass. The following is more preferable.

なお、表面処理液の調製に際しては、特定アゾールシラン化合物と特定アゾール化合物と水を混合した後に可溶化剤を加えてもよいし、特定アゾールシラン化合物と特定アゾール化合物に、水および可溶化剤の混合液を加えてもよいし、特定アゾールシラン化合物、特定アゾール化合物及び可溶化剤を混合した後に水を加えてもよい。   In preparation of the surface treatment liquid, a solubilizer may be added after mixing the specific azole silane compound, the specific azole compound and water, or water and a solubilizer may be added to the specific azole silane compound and the specific azole compound. A mixed solution may be added, or water may be added after mixing the specific azole silane compound, the specific azole compound and the solubilizer.

また、表面処理液の安定性や形成される化成皮膜の均一性を高めるために、塩素イオン、臭素イオン、沃素イオン等のハロゲンイオンや銅イオン、鉄イオン、亜鉛イオンなどの金属イオンを生成する物質を含有させてもよい。   In addition, in order to improve the stability of the surface treatment solution and the uniformity of the formed chemical film, halogen ions such as chlorine ions, bromine ions and iodine ions, and metal ions such as copper ions, iron ions and zinc ions are generated. A substance may be included.

また、本発明の効果を損なわない範囲において、公知のカップリング剤を表面処理液に含有させてもよい。公知のカップリング剤としては、チオール基(メルカプト基)、ビニル基、エポキシ基、(メタ)アクリル基、アミノ基、クロロプロピル基等を有するシラン系カップリング剤が挙げられる。   In addition, a known coupling agent may be included in the surface treatment liquid as long as the effects of the present invention are not impaired. Known coupling agents include silane coupling agents having a thiol group (mercapto group), vinyl group, epoxy group, (meth) acryl group, amino group, chloropropyl group, and the like.

このようなシラン系カップリング剤の例としては、例えば、
3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、
3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン等のメルカプトシラン化合物、
ビニルトリクロルシラン、
ビニルトリメトキシシラン、
ビニルトリエトキシシラン等のビニルシラン化合物、
p−スチリルトリメトキシシラン等のスチリルシラン化合物、
2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、
3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、
3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、
3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシシラン化合物、
3−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリロキシシラン化合物、
メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、
メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、
メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン、
メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン等のメタクリロキシシラン化合物、
N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、
N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、
N−2−(アミノエチル)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、
3−アミノプロピルトリメトキシシラン、
3−アミノプロピルトリエトキシシラン、
3−トリエトキシシリル−N−(1,3−ジメチル−ブチリデン)プロピルアミン、
N−フェニル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、
N−(ビニルベンジル)−2−アミノエチル−3−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン化合物、
3−ウレイドプロピルトリエトキシシラン等のウレイドシラン化合物、
3−クロロプロピルトリメトキシシラン等のクロロプロピルシラン化合物、
ビス(トリエトキシシリルプロピル)テトラスルフィド等のスルフィドシラン化合物及び
3−イソシアナトプロピルトリエトキシシラン等のイソシアナトシラン化合物
等を挙げることができる。
その他、アルミニウム系カップリング剤、チタン系カップリング剤、ジルコニウム系カップリング剤等も挙げることができる。これらのカップリング剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用して用いてもよい。
Examples of such silane coupling agents include:
3-mercaptopropyltrimethoxysilane,
Mercaptosilane compounds such as 3-mercaptopropylmethyldimethoxysilane,
Vinyltrichlorosilane,
Vinyltrimethoxysilane,
Vinylsilane compounds such as vinyltriethoxysilane,
styrylsilane compounds such as p-styryltrimethoxysilane,
2- (3,4-epoxycyclohexyl) ethyltrimethoxysilane,
3-glycidoxypropyltrimethoxysilane,
3-glycidoxypropylmethyldiethoxysilane,
Epoxy silane compounds such as 3-glycidoxypropyltriethoxysilane,
Acryloxysilane compounds such as 3-acryloxypropyltrimethoxysilane,
Methacryloxypropylmethyldimethoxysilane,
Methacryloxypropyltrimethoxysilane,
Methacryloxypropylmethyldiethoxysilane,
Methacryloxysilane compounds such as methacryloxypropyltriethoxysilane,
N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane,
N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane,
N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyltriethoxysilane,
3-aminopropyltrimethoxysilane,
3-aminopropyltriethoxysilane,
3-triethoxysilyl-N- (1,3-dimethyl-butylidene) propylamine,
N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane,
Aminosilane compounds such as N- (vinylbenzyl) -2-aminoethyl-3-aminopropyltrimethoxysilane;
Ureidosilane compounds such as 3-ureidopropyltriethoxysilane,
Chloropropylsilane compounds such as 3-chloropropyltrimethoxysilane,
Examples thereof include sulfide silane compounds such as bis (triethoxysilylpropyl) tetrasulfide and isocyanatosilane compounds such as 3-isocyanatopropyltriethoxysilane.
In addition, an aluminum coupling agent, a titanium coupling agent, a zirconium coupling agent, and the like can also be exemplified. These coupling agents may be used alone or in combination of two or more.

(処理方法)
本発明の表面処理液を用いて金属を処理する方法としては、表面処理液と金属の表面を接触させることができれば特に制限はされない。表面処理液と金属の表面を接触させる方法としては、例えば、スプレー、浸漬や塗布等の手段を採用することができる。
(Processing method)
The method for treating metal using the surface treatment liquid of the present invention is not particularly limited as long as the surface treatment liquid and the metal surface can be brought into contact with each other. As a method for bringing the surface treatment liquid into contact with the metal surface, for example, means such as spraying, dipping or coating can be employed.

本発明の表面処理液と金属の表面を接触させる時間(処理時間)については、1秒〜10分とすることが好ましく、5秒〜3分とすることがより好ましい。処理時間が1秒以上であれば、金属表面に特定アゾールシラン化合物と特定アゾール化合物に由来する化成皮膜を十分に形成させることができ、所望の防錆効果を得ることができると共に、金属と絶縁樹脂層とを接着する場合の接着力も十分に得ることができる。また、処理時間を10分より長くしても、化成皮膜の膜厚に大差はないため接着力の増加が期待できず、生産性の観点からも10分以下で処理することが好ましい。   The time (treatment time) for bringing the surface treatment liquid of the present invention into contact with the metal surface is preferably 1 second to 10 minutes, and more preferably 5 seconds to 3 minutes. If the treatment time is 1 second or longer, a specific azole silane compound and a chemical conversion film derived from the specific azole compound can be sufficiently formed on the metal surface, and a desired rust preventive effect can be obtained, and the metal and the insulation can be obtained. Adhesive strength when the resin layer is bonded can also be sufficiently obtained. Further, even if the treatment time is longer than 10 minutes, there is no great difference in the film thickness of the chemical conversion film, so that an increase in adhesive force cannot be expected. From the viewpoint of productivity, the treatment is preferably carried out in 10 minutes or less.

表面処理液を金属の表面に接着させる際の表面処理液の温度については、5〜50℃とすることが好ましいが、前記の処理時間との関係において、適宜設定すればよい。   The temperature of the surface treatment liquid when adhering the surface treatment liquid to the metal surface is preferably 5 to 50 ° C., but may be set as appropriate in relation to the treatment time.

金属の表面に表面処理液を接触させた後は、必要により水洗を行い、その後は金属の表面を乾燥させることが好ましい。
乾燥は、室温〜150℃の温度、好ましくは60〜120℃の温度で、1秒〜10分、好ましくは10秒〜3分程度の時間とすることが好ましい。
なお、水洗に用いる水としては、イオン交換水や蒸留水等の純水が好ましいが、水洗の方法や時間には特に制限なく、スプレーや浸漬等の手段による適宜の時間で構わない。
After bringing the surface treatment liquid into contact with the metal surface, it is preferable to wash with water if necessary, and then dry the metal surface.
The drying is preferably performed at a temperature of room temperature to 150 ° C., preferably 60 to 120 ° C. for 1 second to 10 minutes, and preferably about 10 seconds to 3 minutes.
The water used for washing is preferably pure water such as ion-exchanged water or distilled water, but the washing method and time are not particularly limited, and may be an appropriate time by means such as spraying or dipping.

本発明において、乾燥後の化成皮膜に対し、プラズマ、レーザー、イオンビーム、オゾン、加熱、加湿等の処理を行い、化成皮膜の表面を改質させてもよい。あるいは、プラズマ、レーザー、イオンビーム、パーミス・ブラシなどの機械研磨やドリル等加工方法を用いて、金属表面の樹脂・イオン残渣除去を目的とした洗浄を行ってもよい。   In the present invention, the surface of the chemical conversion film may be modified by performing treatments such as plasma, laser, ion beam, ozone, heating, and humidification on the chemical conversion film after drying. Alternatively, cleaning for the purpose of removing the resin / ion residue on the metal surface may be performed by using a mechanical polishing method such as plasma, laser, ion beam, permis brush, or a drilling method.

なお、金属が銅又は銅合金である場合、表面処理液を銅又は銅合金の表面に接触させる前に、銅イオンを含有する水溶液を前記銅又は銅合金の表面に接触させてもよい。銅イオンを含有する水溶液の銅イオン源としては、水に溶解する銅塩であれば特に限定されず、硫酸銅、硝酸銅、塩化銅、ギ酸銅、酢酸銅などの銅塩が挙げられる。銅塩を水に可溶化するために、アンモニアや塩酸などを添加してもよい。   In addition, when a metal is copper or a copper alloy, before making a surface treatment liquid contact the surface of copper or a copper alloy, you may make the aqueous solution containing a copper ion contact the surface of the said copper or copper alloy. The copper ion source of the aqueous solution containing copper ions is not particularly limited as long as it is a copper salt that dissolves in water, and examples thereof include copper salts such as copper sulfate, copper nitrate, copper chloride, copper formate, and copper acetate. In order to solubilize the copper salt in water, ammonia or hydrochloric acid may be added.

表面処理液を銅又は銅合金の表面に接触させた後に、酸性あるいはアルカリ性の水溶液を前記銅又は銅合金の表面に接触させてもよい。酸性水溶液及びアルカリ性水溶液は、特に限定されないが、酸性水溶液としては、硫酸、硝酸、塩酸等の鉱酸を含有する水溶液や、ギ酸、酢酸、乳酸、グリコール酸、アミノ酸などの有機酸を含む水溶液等が挙げられる。アルカリ性水溶液としては、水酸化ナトリウム、水酸化カリウムなどのアルカリ金属の水酸化物や、アンモニア、エタノールアミン、モノプロパノールアミン等のアミン類などを含有する水溶液が挙げられる。   After the surface treatment liquid is brought into contact with the surface of copper or a copper alloy, an acidic or alkaline aqueous solution may be brought into contact with the surface of the copper or copper alloy. The acidic aqueous solution and the alkaline aqueous solution are not particularly limited. Examples of the acidic aqueous solution include an aqueous solution containing a mineral acid such as sulfuric acid, nitric acid, and hydrochloric acid, and an aqueous solution containing an organic acid such as formic acid, acetic acid, lactic acid, glycolic acid, and amino acid. Is mentioned. Examples of the alkaline aqueous solution include aqueous solutions containing hydroxides of alkali metals such as sodium hydroxide and potassium hydroxide, amines such as ammonia, ethanolamine and monopropanolamine.

上記のように処理することにより、金属の表面に表面処理液中の特定アゾールシラン化合物と特定アゾール化合物に由来する化成皮膜を形成させることができ、特定アゾール化合物が金属表面に作用し、金属の酸化を抑制することができると共に、特定アゾールシラン化合物が金属表面と樹脂材料との接着性を高めることができる。よって、金属配線層と絶縁樹脂層とを備えたプリント配線板等において、特に粗化処理を行うことなく金属配線層(金属回路)と絶縁樹脂層(樹脂材料)との接着性を高めると共に、金属の酸化物の形成を低減させて、ハローイングを抑制することができる。   By performing the treatment as described above, a specific azole silane compound in the surface treatment liquid and a chemical conversion film derived from the specific azole compound can be formed on the surface of the metal, the specific azole compound acts on the metal surface, While being able to suppress oxidation, the specific azole silane compound can enhance the adhesion between the metal surface and the resin material. Therefore, in a printed wiring board provided with a metal wiring layer and an insulating resin layer, etc., while improving the adhesion between the metal wiring layer (metal circuit) and the insulating resin layer (resin material) without particularly roughening treatment, The formation of metal oxides can be reduced to suppress haloing.

本発明において、処理する金属としては、例えば、銅、アルミニウム、チタン、ニッケル、錫、鉄、銀、金及びこれらの合金等が挙げられる。
前記合金の具体例としては、銅合金では、銅を含む合金であれば特に限定されず、例えば、Cu−Ag系、Cu−Te系、Cu−Mg系、Cu−Sn系、Cu−Si系、Cu−Mn系、Cu−Be−Co系、Cu−Ti系、Cu−Ni−Si系、Cu−Zn−Ni系、Cu−Cr系、Cu−Zr系、Cu−Fe系、Cu−Al系、Cu−Zn系、Cu−Co系等の合金が挙げられる。
また、その他の合金では、アルミニウム合金(Al−Si合金)、ニッケル合金(Ni−Cr合金)、鉄合金(Fe−Ni合金、ステンレス)等が挙げられる。
これらの金属の中では、銅及び銅合金が好ましい。
In the present invention, examples of the metal to be treated include copper, aluminum, titanium, nickel, tin, iron, silver, gold, and alloys thereof.
As a specific example of the alloy, a copper alloy is not particularly limited as long as it is an alloy containing copper. For example, Cu-Ag, Cu-Te, Cu-Mg, Cu-Sn, and Cu-Si Cu-Mn, Cu-Be-Co, Cu-Ti, Cu-Ni-Si, Cu-Zn-Ni, Cu-Cr, Cu-Zr, Cu-Fe, Cu-Al Alloy of Cu type, Cu-Zn type, Cu-Co type and the like.
Other alloys include aluminum alloy (Al—Si alloy), nickel alloy (Ni—Cr alloy), iron alloy (Fe—Ni alloy, stainless steel) and the like.
Of these metals, copper and copper alloys are preferred.

また、樹脂材料としては、例えば、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ビスマレイミド樹脂、マレイミド樹脂、シアネート樹脂、ポリフェニレンエーテル樹脂、ポリフェニレンオキサイド樹脂、オレフィン樹脂、フッ素含有樹脂、ポリエーテルイミド樹脂、ポリエーテルエーテルケトン樹脂、液晶樹脂等が挙げられ、これらを混合したり、互いに変性したりして、組み合わせたものであってもよい。
これらの樹脂材料の中では、アクリレート樹脂、エポキシ樹脂及びポリイミド樹脂が好ましい。
Examples of the resin material include acrylate resin, epoxy resin, polyimide resin, bismaleimide resin, maleimide resin, cyanate resin, polyphenylene ether resin, polyphenylene oxide resin, olefin resin, fluorine-containing resin, polyetherimide resin, and polyether. Examples include ether ketone resins, liquid crystal resins, and the like, which may be mixed or modified with each other.
Among these resin materials, acrylate resins, epoxy resins, and polyimide resins are preferable.

(接着方法)
金属と樹脂材料との接着方法としては、特に限定されず公知の方法により行うことができる。金属の表面に本発明の表面処理液を接触させて金属の表面に化成皮膜を形成し、次いで、該化成皮膜を介して、金属の表面に樹脂材料からなる基材を接着させるに当って、例えば、形成された化成皮膜の一部又は全体に、樹脂材料を塗布、圧着、混合等の手段や、接着剤、接着シート(フィルム)の利用あるいはこれらの手段を組合わせて接着することができる。
(Adhesion method)
The method for bonding the metal and the resin material is not particularly limited, and can be performed by a known method. In contacting the surface of the metal with the surface treatment liquid of the present invention to form a chemical conversion film on the surface of the metal, and then bonding a base material made of a resin material to the metal surface through the chemical conversion film, For example, a part or the whole of the formed chemical conversion film can be bonded by a means such as applying, pressing, and mixing a resin material, using an adhesive, an adhesive sheet (film), or a combination of these means. .

(プリント配線板)
また、本発明は、上記接着方法を用いたプリント配線板の製造方法も提供するものである。すなわち、本発明のプリント配線板の製造方法は、金属の表面に、本発明の表面処理液を接触させて、化成皮膜を形成する工程を含む。
(Printed wiring board)
Moreover, this invention also provides the manufacturing method of the printed wiring board using the said adhesion | attachment method. That is, the manufacturing method of the printed wiring board of this invention includes the process of making the surface treatment liquid of this invention contact the surface of a metal, and forming a chemical conversion film.

本発明の表面処理液を用いて金属の表面に特定アゾールシラン化合物と特定アゾール化合物に由来する化成皮膜を形成することで、樹脂材料との接着性を高めることができるので、金属と樹脂材料が複合化された各種電気・電子部品やプリント配線板等を備えた電子デバイスに好適に利用することができる。   By using the surface treatment liquid of the present invention to form a chemical conversion film derived from the specific azole silane compound and the specific azole compound on the surface of the metal, the adhesion with the resin material can be improved, so that the metal and the resin material are It can be suitably used for an electronic device provided with various composite electric / electronic parts, printed wiring boards, and the like.

なお、本発明において、特に銅又は銅合金から形成される基材に対して、本発明の表面処理液を好適に用いることができる。例えば、銅回路(銅配線層)と、プリプレグやソルダーレジスト(絶縁樹脂層)との間の接着性(密着性)を高めることを目的とする銅又は銅合金の表面処理に好適であり、銅配線層に接して絶縁樹脂層を有するプリント配線板において、銅配線層と絶縁樹脂層との間の接着性を高めることができる。   In the present invention, the surface treatment liquid of the present invention can be suitably used particularly for a substrate formed of copper or a copper alloy. For example, it is suitable for surface treatment of copper or copper alloy for the purpose of enhancing the adhesion (adhesion) between the copper circuit (copper wiring layer) and the prepreg or solder resist (insulating resin layer) In a printed wiring board having an insulating resin layer in contact with the wiring layer, the adhesion between the copper wiring layer and the insulating resin layer can be enhanced.

具体的に、前記のプリント配線板は、本発明の表面処理液を銅配線層の表面に接触させて、その後必要により水洗し、続いて乾燥を行った後、銅配線層表面に絶縁樹脂層を形成させて、作製することができる。この接触の方法については、前述のとおりであり、表面処理液中への銅配線層の浸漬又は該処理液による銅配線層へのスプレー等が簡便かつ確実であり好ましい。
また、前記の水洗の方法についても特に制限はないが、洗浄水中への銅配線層の浸漬又は洗浄水による銅配線層表面へのスプレーが簡便かつ確実であり好ましい。
前記の絶縁樹脂層の形成には、公知の方法、例えば半硬化の樹脂材料を貼り付ける方法や溶剤を含む液状の樹脂材料を塗布する手段等を採用することができる。次いで、上下の配線を導通させる為に、ビアホールを形成する。このプロセスを繰り返すことにより、多層プリント配線板を作製できる。
Specifically, the printed wiring board is obtained by bringing the surface treatment liquid of the present invention into contact with the surface of the copper wiring layer, and then washing with water if necessary, followed by drying, and then an insulating resin layer on the surface of the copper wiring layer. Can be formed. About this contact method, it is as above-mentioned, and immersion of the copper wiring layer in a surface treatment liquid or the spraying to a copper wiring layer by this processing liquid is simple and reliable, and is preferable.
Moreover, there is no restriction | limiting in particular also about the method of the said water washing, but the immersion to the copper wiring layer in washing | cleaning water or the spray to the copper wiring layer surface by washing water is simple and reliable, and preferable.
For the formation of the insulating resin layer, a known method such as a method of attaching a semi-cured resin material or a means of applying a liquid resin material containing a solvent can be employed. Next, a via hole is formed to connect the upper and lower wirings. By repeating this process, a multilayer printed wiring board can be produced.

前記の銅配線層については、無電解メッキ法、電解メッキ法、蒸着法、スパッタ法、ダマシン法等どのような方法で作製されたものでもよく、インナービアホール、スルーホール、接続端子等を含んだものでもよい。   The copper wiring layer may be formed by any method such as electroless plating, electrolytic plating, vapor deposition, sputtering, damascene, and includes inner via holes, through holes, connection terminals, and the like. It may be a thing.

また、本発明に係る「銅」とは、プリント配線板、リードフレーム等の電子デバイス、装飾品、建材等に用いられる箔(電解銅箔、圧延銅箔)、めっき膜(無電解銅めっき膜、電解銅めっき膜)、線、棒、管、板等の用途・形態において用いられるものである。なお、近年の高周波の電気信号が流れる銅配線層の場合には、銅の表面は平均粗さが0.1μm以下の平滑面であることが好ましい。   In addition, “copper” according to the present invention is a foil (electrolytic copper foil, rolled copper foil), plating film (electroless copper plating film) used for electronic devices such as printed wiring boards and lead frames, ornaments, and building materials. , Electrolytic copper plating film), wire, rod, tube, plate and the like. In the case of a copper wiring layer through which a high-frequency electric signal flows in recent years, the copper surface is preferably a smooth surface having an average roughness of 0.1 μm or less.

(防錆処理液との併用)
本発明において、本発明の表面処理液により金属を処理する前又は処理した後に、防錆処理液により処理することもできる。
前記防錆処理液を、本発明の表面処理液により処理する前又は本発明の表面処理液により処理した後に金属の表面に接触させることで、金属と樹脂材料との接着性を損なうことなく、処理された金属の酸化が更に抑えられ、耐薬品性が向上するので、めっき工程でのハローイングの発生を更に抑制することができる。
(Combination with rust prevention liquid)
In this invention, it can also process with a rust prevention liquid before or after processing a metal with the surface treatment liquid of this invention.
By contacting the surface of the metal before treating with the surface treatment liquid of the present invention or after treating with the surface treatment liquid of the present invention, without damaging the adhesion between the metal and the resin material, Since the oxidation of the treated metal is further suppressed and the chemical resistance is improved, the occurrence of haloing in the plating process can be further suppressed.

前記の好ましい防錆処理液は、有効成分として、下記化学式(V)〜(VIII)で示されるアゾール化合物からなる群から選択される少なくとも1種のアゾール化合物(以下、「アゾール化合物(V)〜(VIII)」ともいう。)を含有する。   The preferable rust prevention liquid is an active ingredient having at least one azole compound selected from the group consisting of azole compounds represented by the following chemical formulas (V) to (VIII) (hereinafter referred to as “azole compound (V) ˜). (VIII) ").

Figure 2018172759
Figure 2018172759

(式(V)〜(VIII)中、X14〜X24は、それぞれ独立して、水素原子、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルキルチオ基を表す。) (In formulas (V) to (VIII), X 14 to X 24 each independently represents a hydrogen atom, an amino group, a mercapto group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkylthio group having 1 to 3 carbon atoms. Represents.)

化学式(V)又は化学式(VI)で示されるアゾール化合物(1,2,4−トリアゾール化合物)としては、前記で例示した化合物が挙げられ、ハローイング抑制効果の観点から、1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−5−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジメルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−メルカプト−1,2,4−トリアゾール、3−アミノ−1,2,4−トリアゾール、3,5−ジアミノ−1,2,4−トリアゾールを用いることが好ましい。   Examples of the azole compound (1,2,4-triazole compound) represented by the chemical formula (V) or the chemical formula (VI) include the compounds exemplified above. From the viewpoint of the haloing suppression effect, 1,2,4- Triazole, 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole, 3,5-dimercapto-1,2,4-triazole, 3-mercapto-1,2,4-triazole, 3-amino-1, It is preferable to use 2,4-triazole and 3,5-diamino-1,2,4-triazole.

化学式(VII)で示されるアゾール化合物(1,2,3−トリアゾール化合物)としては、前記で例示した化合物が挙げられ、ハローイング抑制効果の観点から、1,2,3−トリアゾール、4−メルカプト−1,2,3−トリアゾールを用いることが好ましい。   Examples of the azole compound (1,2,3-triazole compound) represented by the chemical formula (VII) include the compounds exemplified above, and 1,2,3-triazole, 4-mercapto from the viewpoint of the haloing suppression effect. It is preferable to use -1,2,3-triazole.

化学式(VIII)で示されるアゾール化合物(1H−テトラゾール化合物)としては、前記で例示した化合物が挙げられ、ハローイング抑制効果の観点から、1H−テトラゾール、5−アミノテトラゾールを用いることが好ましい。   Examples of the azole compound (1H-tetrazole compound) represented by the chemical formula (VIII) include the compounds exemplified above, and 1H-tetrazole and 5-aminotetrazole are preferably used from the viewpoint of the haloing suppression effect.

防錆処理液中のアゾール化合物(V)〜(VIII)の含有量は、0.0001〜5質量%であることが好ましい。アゾール化合物(V)〜(VIII)の含有量が0.0001質量%以上であると、本発明の表面処理液と併用して金属表面に処理することにより、優れた防錆性(金属表面の酸化を防ぐ)が得られ、ハローイングを抑制することができる。また、5質量%を超えて含有しても防錆性の効果が飽和し、含有量に見合う効果が期待できないこと、含有量が多すぎるとアゾール化合物(V)〜(VIII)が溶解しきれない惧れがあることから、5質量%を上限とすることが望ましい。アゾール化合物(V)〜(VIII)の含有量は、防錆処理液中、0.01質量%以上であることがより好ましく、0.05質%以上が更に好ましく、また、3質量%以下であることがより好ましく、2質量%以下が更に好ましい。   The content of the azole compounds (V) to (VIII) in the rust prevention treatment liquid is preferably 0.0001 to 5% by mass. When the content of the azole compounds (V) to (VIII) is 0.0001% by mass or more, the metal surface is treated in combination with the surface treatment liquid of the present invention, so that excellent rust prevention property (of the metal surface) Oxidization is prevented, and haloing can be suppressed. Moreover, even if it contains exceeding 5 mass%, the effect of rust prevention is saturated and the effect corresponding to content cannot be expected, and if there is too much content, azole compounds (V)-(VIII) can be dissolved completely. Since there is a fear, it is desirable that the upper limit is 5 mass%. The content of the azole compounds (V) to (VIII) is more preferably 0.01% by mass or more, further preferably 0.05% by mass or more, and further 3% by mass or less in the rust prevention treatment liquid. More preferably, it is more preferably 2% by mass or less.

防錆処理液は、アゾール化合物(V)〜(VIII)を水に溶解させることにより調製される。
水としては、水道水、イオン交換水、蒸留水、精製水等が挙げられ、イオン交換水や蒸留水等の純水を用いることが好ましい。
The antirust treatment liquid is prepared by dissolving the azole compounds (V) to (VIII) in water.
Examples of water include tap water, ion exchange water, distilled water, purified water, and the like, and it is preferable to use pure water such as ion exchange water or distilled water.

防錆処理液には、アゾール化合物(V)〜(VIII)の溶解性を高めるために可溶化剤を含有することができる。可溶化剤としては、例えば、酸、アルカリ、有機溶剤等が挙げられ、使用できる具体例は、前述の本発明の表面処理液に含有できるものと同様である。   The antirust treatment liquid may contain a solubilizer in order to increase the solubility of the azole compounds (V) to (VIII). Examples of the solubilizer include acids, alkalis, organic solvents, and the like. Specific examples that can be used are the same as those that can be contained in the above-described surface treatment liquid of the present invention.

可溶化剤の含有量としては、防錆処理液中、0.1〜50質量%であることが好ましい。可溶化剤の含有量が0.1質量%以上であると、防錆処理液中でのアゾール化合物(V)〜(VIII)の溶解性を高める作用が顕著である。また、50質量%を超えると経済的ではないため、50質量%を上限とすることが好ましい。可溶化剤の含有量は、防錆処理液中、0.5質量%以上であることがより好ましく、1質量%以上が更に好ましく、また、30質量%以下であることがより好ましく、15質量%以下が更に好ましい。   As content of a solubilizer, it is preferable that it is 0.1-50 mass% in a rust prevention liquid. When the content of the solubilizer is 0.1% by mass or more, the effect of increasing the solubility of the azole compounds (V) to (VIII) in the antirust treatment liquid is remarkable. Moreover, since it is not economical when it exceeds 50 mass%, it is preferable to make 50 mass% into an upper limit. The content of the solubilizer is more preferably 0.5% by mass or more, more preferably 1% by mass or more, and more preferably 30% by mass or less in the rust preventive treatment liquid, and 15% by mass. % Or less is more preferable.

また、前記の防錆処理液には、該処理液の安定性や造膜性を制御するためにpH調整剤を含有させることができる。防錆膜(化成皮膜)の造膜性の観点から、防錆処理液のpHを2〜11とすることが好ましく、前記範囲のpHに調整するためにpH調整剤を用いる。
例えば、酸に溶解しやすいアゾール化合物(V)〜(VIII)を含有する防錆処理液については、可溶化剤として酸を用いて溶解させて水溶液にした後、アルカリ性のpH調整剤を用いて造膜性を調整することができる。また、アルカリに溶解しやすいアゾール化合物(V)〜(VIII)の場合については、可溶化剤としてアルカリを用いて溶解させて水溶液にした後、酸性のpH調整剤を用いて造膜性を調整することができる。酸性のpH調整剤としては、例えば、硫酸、硝酸、塩酸等の鉱酸や、ギ酸、酢酸、乳酸、グリコール酸、アミノ酸などの有機酸等が挙げられ、アルカリ性のpH調整剤としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム等のアルカリ金属の水酸化物や、アンモニア、エタノールアミン等のアミン類等が挙げられる。
The rust preventive treatment liquid may contain a pH adjuster in order to control the stability and film forming property of the treatment liquid. From the viewpoint of the film forming property of the rust preventive film (chemical conversion film), the pH of the rust preventive treatment liquid is preferably 2 to 11, and a pH adjuster is used to adjust the pH to the above range.
For example, about the rust prevention liquid containing the azole compounds (V) to (VIII) that are easily dissolved in an acid, the solution is dissolved with an acid as a solubilizer to form an aqueous solution, and then an alkaline pH adjuster is used. The film forming property can be adjusted. In addition, in the case of azole compounds (V) to (VIII) that are easily dissolved in an alkali, the solution is dissolved using an alkali as a solubilizing agent to form an aqueous solution, and then the film forming property is adjusted using an acidic pH adjusting agent. can do. Examples of acidic pH adjusters include mineral acids such as sulfuric acid, nitric acid, hydrochloric acid, and organic acids such as formic acid, acetic acid, lactic acid, glycolic acid, and amino acids. Examples of alkaline pH adjusters include Examples include alkali metal hydroxides such as sodium hydroxide and potassium hydroxide, and amines such as ammonia and ethanolamine.

また、防錆処理液の安定性や形成される防錆膜の均一性を高めるために、塩素イオン、臭素イオン等のハロゲンイオンや銅イオン、鉄イオン、亜鉛イオン等の金属イオンを生成する物質を含有させることもできる。   In addition, substances that generate halogen ions such as chlorine ions and bromine ions, and metal ions such as copper ions, iron ions, and zinc ions in order to improve the stability of the anticorrosive treatment liquid and the uniformity of the formed antirust film Can also be included.

また、本発明の効果を損なわない範囲において、公知のカップリング剤を防錆処理液に含有させてもよい。この公知のカップリング剤としては、前述の公知のカップリング剤と同様である。   Moreover, in the range which does not impair the effect of this invention, you may make a rust prevention liquid contain a well-known coupling agent. The known coupling agent is the same as the aforementioned known coupling agent.

防錆処理液の処理方法としては、本発明の表面処理液と併用し、金属の表面を処理できれば特に制限はされない。金属の表面を処理する方法としては、例えば、スプレー、浸漬や塗布等の手段により、防錆処理液と金属を接触させればよい。   The treatment method of the antirust treatment liquid is not particularly limited as long as it can be used in combination with the surface treatment liquid of the present invention and the metal surface can be treated. As a method for treating the surface of the metal, for example, the antirust treatment liquid and the metal may be brought into contact with each other by means such as spraying, dipping or coating.

防錆処理液と金属の表面を接触させる時間(処理時間)については、1秒〜10分とすることが好ましく、5秒〜3分とすることがより好ましい。処理時間が1秒以上であれば、金属表面にアゾール化合物(V)〜(VIII)に由来する化成皮膜を十分に形成させることができ、所望の防錆効果を得ることができる。また、処理時間を10分より長くしても、化成皮膜の膜厚に大差はないため、生産性の観点から10分以下で処理することが好ましい。   The time (treatment time) for contacting the rust preventive treatment liquid and the metal surface is preferably 1 second to 10 minutes, and more preferably 5 seconds to 3 minutes. When the treatment time is 1 second or longer, a chemical conversion film derived from the azole compounds (V) to (VIII) can be sufficiently formed on the metal surface, and a desired rust prevention effect can be obtained. In addition, even if the treatment time is longer than 10 minutes, there is no great difference in the film thickness of the chemical conversion film, so it is preferable to treat in 10 minutes or less from the viewpoint of productivity.

防錆処理液を金属の表面に接着させる際の防錆処理液の温度については、5〜50℃とすることが好ましいが、前記の処理時間との関係において、適宜設定すればよい。   The temperature of the antirust treatment liquid when the antirust treatment liquid is adhered to the metal surface is preferably 5 to 50 ° C., but may be set as appropriate in relation to the treatment time.

金属の表面に防錆処理液を接触させた後は、必要により水洗を行い、金属の表面を乾燥させることが好ましい。
乾燥は、室温〜150℃の温度、好ましくは60〜120℃の温度で、1秒〜10分、好ましくは10秒〜3分程度の時間とすることが好ましい。
なお、水洗に用いる水としては、イオン交換水や蒸留水等の純水が好ましいが、水洗の方法や時間には特に制限なく、スプレーや浸漬等の手段による適宜の時間で構わない。
After bringing the antirust treatment liquid into contact with the metal surface, it is preferable to wash with water if necessary and dry the metal surface.
The drying is preferably performed at a temperature of room temperature to 150 ° C., preferably 60 to 120 ° C. for 1 second to 10 minutes, and preferably about 10 seconds to 3 minutes.
The water used for washing is preferably pure water such as ion-exchanged water or distilled water, but the washing method and time are not particularly limited, and may be an appropriate time by means such as spraying or dipping.

以下、本発明を実施例及び比較例によって具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example and a comparative example demonstrate this invention concretely, this invention is not limited to these.

以下の実施例、比較例で使用したアゾールシラン化合物又はシラン化合物とアゾール化合物は、以下のとおりである。
<アゾールシラン化合物又はシラン化合物>
アゾールシラン化合物A:3−アミノ−5−[3−(トリメトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール(特開2015−10079号公報に記載された方法に準拠して合成した。)
アゾールシラン化合物B:3−アミノ−5−[3−(トリエトキシシリル)プロピルチオ]−1,2,4−トリアゾール(同上)
アゾールシラン化合物C:3−アミノ−5−[3−(トリメトキシシリル)ヘキシルチオ]−1,2,4−トリアゾール(同上)
アゾールシラン化合物D:イミダゾールシラン化合物(特開平5−186479号公報に記載された方法に準拠して合成した。下記化学式(XV−1)〜(XV−3)の混合物である。
シラン化合物E:γ−アミノプロピルトリエトキシシラン(信越化学工業社製、商品名「KBM−903」)
The azole silane compounds or silane compounds and azole compounds used in the following examples and comparative examples are as follows.
<Azole silane compound or silane compound>
Azole silane compound A: 3-amino-5- [3- (trimethoxysilyl) propylthio] -1,2,4-triazole (synthesized according to the method described in JP-A-2015-10079)
Azole silane compound B: 3-amino-5- [3- (triethoxysilyl) propylthio] -1,2,4-triazole (same as above)
Azole silane compound C: 3-amino-5- [3- (trimethoxysilyl) hexylthio] -1,2,4-triazole (same as above)
Azole silane compound D: imidazole silane compound (synthesized according to the method described in JP-A-5-186479. A mixture of the following chemical formulas (XV-1) to (XV-3).
Silane compound E: γ-aminopropyltriethoxysilane (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., trade name “KBM-903”)

Figure 2018172759
Figure 2018172759

<アゾール化合物>
アゾール化合物a:ピロール(和光純薬工業社製)
アゾール化合物b:ピラゾール(同上)
アゾール化合物c:イミダゾール(同上)
アゾール化合物d:3−アミノ−1,2,4−トリアゾール(同上)
アゾール化合物e:1,2,4−トリアゾール(東京化成工業社製)
アゾール化合物f:1,2,3−トリアゾール(同上)
アゾール化合物g:5−アミノテトラゾール(同上)
アゾール化合物h:インドール(和光純薬工業社製)
アゾール化合物i:イソインドール(Science of Synthesis,10巻,653頁(2000年)に記載された方法に準拠して合成した。)
アゾール化合物j:1−メチルインダゾール(和光純薬工業社製)
アゾール化合物k:2−メチルインダゾール(同上)
アゾール化合物l:ベンズイミダゾール(東京化成工業社製)
アゾール化合物m:ベンゾトリアゾール(和光純薬工業社製)
<Azole compound>
Azole compound a: pyrrole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
Azole compound b: pyrazole (same as above)
Azole compound c: Imidazole (same as above)
Azole compound d: 3-amino-1,2,4-triazole (same as above)
Azole compound e: 1,2,4-triazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
Azole compound f: 1,2,3-triazole (same as above)
Azole compound g: 5-aminotetrazole (same as above)
Azole compound h: Indole (Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
Azole compound i: isoindole (synthesized according to the method described in Science of Synthesis, Vol. 10, page 653 (2000))
Azole compound j: 1-methylindazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)
Azole compound k: 2-methylindazole (same as above)
Azole compound l: benzimidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
Azole compound m: benzotriazole (manufactured by Wako Pure Chemical Industries, Ltd.)

(実施例1)
アゾールシラン化合物A 10g、アゾール化合物m 1gを測り取り、エチレングリコールモノブチルエーテル 200gを加え、続いて水 789gを加えて、室温にて2時間撹拌し、表面処理液を調製した。
この処理液について、アゾールシラン化合物のメトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認した。
Example 1
10 g of azole silane compound A and 1 g of azole compound m were measured, 200 g of ethylene glycol monobutyl ether was added, 789 g of water was subsequently added, and the mixture was stirred at room temperature for 2 hours to prepare a surface treatment solution.
About this process liquid, it confirmed that the methoxy silyl group of the azole silane compound was hydrolyzed to the hydroxy silyl group.

(実施例2〜15、比較例1〜19)
アゾールシラン化合物又はシラン化合物とアゾール化合物とを、表2、3に記載の組合せに変更した以外は実施例1と同様にして表面処理液を調製した。
これらの処理液について、当該アゾールシラン化合物又はシラン化合物のメトキシシリル基及びエトキシシリル基が、ヒドロキシシリル基に加水分解されていることを確認した。
(Examples 2-15, Comparative Examples 1-19)
A surface treatment solution was prepared in the same manner as in Example 1 except that the azole silane compound or the silane compound and the azole compound were changed to the combinations shown in Tables 2 and 3.
About these process liquids, it confirmed that the methoxy silyl group and ethoxy silyl group of the said azole silane compound or a silane compound were hydrolyzed to the hydroxy silyl group.

実施例、比較例で調製した表面処理液を用いて、下記の接着性の評価試験(a)〜(c)及びハローイングの評価試験(d)を行った。   Using the surface treatment solutions prepared in Examples and Comparative Examples, the following adhesive evaluation tests (a) to (c) and a haloing evaluation test (d) were performed.

<接着性の評価試験>
[接着性の評価試験(a)]
(1)試験片
試験片として、電解銅箔(厚み:18μm)を用いた。
(2)試験片の処理
以下の工程i〜iiに従って試験片の処理を行った。ただし、比較例1については、表面処理液で処理を行わなかった。
i. 酸清浄/1分間(室温)、水洗、乾燥/1分(100℃)
ii. 表面処理液に浸漬/1分(室温)、水洗、乾燥/1分(100℃)
(3)試験片と樹脂の接着
処理した試験片のS面(光沢面)に、ガラス布エポキシ樹脂含浸プリプレグ(FR−4グレード)を積層プレスし、試験片と樹脂を接着してプリント配線板を作製した。
(4)接着性の評価
このプリント配線板から、「JIS C6481(1996)」に従って、幅10mmの試験片を作製し、プレッシャークッカー処理(121℃/湿度100%/100時間)した後、銅箔の引き剥がし強さ(kN/m)を測定した。
<Adhesion evaluation test>
[Adhesion Evaluation Test (a)]
(1) Test piece As a test piece, electrolytic copper foil (thickness: 18 μm) was used.
(2) Treatment of test piece The test piece was treated according to the following steps i to ii. However, in Comparative Example 1, no treatment was performed with the surface treatment liquid.
i. Acid cleaning / 1 minute (room temperature), water washing, drying / 1 minute (100 ° C)
ii. Immersion in surface treatment solution / 1 minute (room temperature), water washing, drying / 1 minute (100 ° C.)
(3) Adhesion between test piece and resin A printed wiring board is prepared by laminating and pressing a glass cloth epoxy resin-impregnated prepreg (FR-4 grade) on the S side (glossy side) of the treated test piece. Was made.
(4) Evaluation of adhesiveness From this printed wiring board, a test piece having a width of 10 mm was prepared according to “JIS C6481 (1996)” and subjected to a pressure cooker treatment (121 ° C./humidity 100% / 100 hours), and then a copper foil. The peel strength (kN / m) was measured.

[接着性の評価試験(b)]
試験片のS面(光沢面)に、「ガラス布エポキシ樹脂含浸プリプレグ(FR−4グレード)を積層プレス」する代わりに、「ビルドアップ配線板用樹脂(味の素ファインテクノ社製、品名「GX−13」)をラミネート」した以外は、評価試験(a)と同様の手順で、銅と樹脂の接着性を評価した。
[Adhesion Evaluation Test (b)]
Instead of “laminate press of glass cloth epoxy resin impregnated prepreg (FR-4 grade)” on the S side (glossy side) of the test piece, “build-up wiring board resin (manufactured by Ajinomoto Fine Techno Co., Ltd., product name“ GX- ”) The adhesiveness between copper and resin was evaluated in the same procedure as in the evaluation test (a) except that “13”) was laminated.

[接着性の評価試験(c)]
(1)試験片
プリント配線板の試験片として、電解銅メッキ(メッキ厚:20μm)を施した両面銅張積層板(基材:FR4,板厚:1.0mm,銅箔厚:18μm,縦120mm×横110mm)を用いた。
(2)試験片の処理
以下の工程i〜iiに従って試験片の処理を行った。ただし、比較例1については、表面処理液で処理を行わなかった。
i. 酸清浄/1分間(室温)、水洗、乾燥/1分(100℃)
ii. 表面処理液に浸漬/1分(室温)、水洗、乾燥/1分(100℃)
(3)試験片への絶縁樹脂層の形成
処理した試験片に、ソルダーレジスト(太陽インキ製造社製、商品名「PSR−4000AUS308」)を塗布した後、乾燥(80℃/30分)、ポストキュア(150℃/60分)を行って、13μm厚の絶縁樹脂層(塗膜)を形成させた。
(4)接着性の評価
「JIS K5400−8.5(1990)」に従って、試験片に形成した塗膜を1mm×1mmの碁盤目にクロスカット(100マス)し、プレッシャークッカー処理(121℃/湿度100%/100時間)した後、テープピールテストを行い、塗膜が剥離しないマス目の数を計測した。また、塗膜の傷み具合を目視にて観察した。
なお、接着性の判定基準は、表1に示したとおりである。
[Adhesion Evaluation Test (c)]
(1) Test piece As a test piece of a printed wiring board, a double-sided copper-clad laminate (base material: FR4, plate thickness: 1.0 mm, copper foil thickness: 18 μm, vertical) subjected to electrolytic copper plating (plating thickness: 20 μm) 120 mm × 110 mm wide) was used.
(2) Treatment of test piece The test piece was treated according to the following steps i to ii. However, in Comparative Example 1, no treatment was performed with the surface treatment liquid.
i. Acid cleaning / 1 minute (room temperature), water washing, drying / 1 minute (100 ° C)
ii. Immersion in surface treatment solution / 1 minute (room temperature), water washing, drying / 1 minute (100 ° C.)
(3) Formation of insulating resin layer on test piece After applying a solder resist (trade name “PSR-4000AUS308”, manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) to the treated test piece, drying (80 ° C./30 minutes), post Cure (150 ° C./60 minutes) was performed to form an insulating resin layer (coating film) having a thickness of 13 μm.
(4) Evaluation of adhesiveness According to “JIS K5400-8.5 (1990)”, the coating film formed on the test piece was cross-cut (100 squares) on a 1 mm × 1 mm grid, and pressure cooker treatment (121 ° C. / After a humidity of 100% / 100 hours, a tape peel test was performed to measure the number of squares where the coating film did not peel off. Moreover, the damage condition of the coating film was observed visually.
The criteria for determining adhesiveness are as shown in Table 1.

Figure 2018172759
Figure 2018172759

<ハローイングの評価試験(d)>
(1)試験片
試験片として、銅張積層板(銅厚み35μm、板厚1.0mm)を用いた。
(2)試験片の処理
以下の工程i〜iiに従って試験片の処理を行った。ただし、比較例1については、表面処理液で処理を行わなかった。
i. 酸洗浄/1分間(室温)、水洗
ii. 表面処理液に浸漬/1分間(30℃)、水洗、乾燥/1分間(100℃)
(3)プリント配線板の作製
試験片の銅表面にソルダーレジスト(太陽インキ製造社製、商品名「PSR−4000AUS308」)を塗布した後、以下の工程iii〜ivを行って、銅開口部(開口径150μm、5穴)を有するソルダーレジストの硬化物と試験片(銅張積層板)が接着したプリント配線板を作製した。
iii.露光工程(420mJ/cm、オーク製作所社製HMW−680使用)、現像工程(1質量%炭酸ソーダ水溶液/90秒間(30℃))
iv. 乾燥(80℃/30分間)、ポストキュア(150℃/60分間)
(4)めっき処理
プリント配線板の銅開口部について、めっき液としてパラジウム触媒(奥野製薬工業社製、商品名「ICPニコロン アクセラ」、ニッケルめっき(奥野製薬工業社製、商品名「ICPニコロンGM」と金めっき(小島化学薬品社製、商品名「オーエルII」)を用いて、以下の工程vを行って、金めっき処理を行った。
v. ソフトエッチング/1分間(30℃)、水洗、パラジウム触媒/2分間(室温)、ニッケルめっき/35分間(75℃)、金めっき/5分間(80℃)
(5)ハローイング性の評価
得られたプリント配線板の金めっきした銅開口部(開口径150μm)について、薬液のもぐりこみによるハローイング(ソルダーレジスト剥がれ)の幅(単位:μm)を光学顕微鏡SZ−61(OLYMPUS社製)により測定した。なお測定は5穴について行い、それらの平均値を算出した。
<Haloing Evaluation Test (d)>
(1) Test piece A copper-clad laminate (copper thickness 35 μm, plate thickness 1.0 mm) was used as a test piece.
(2) Treatment of test piece The test piece was treated according to the following steps i to ii. However, in Comparative Example 1, no treatment was performed with the surface treatment liquid.
i. Acid wash / 1 minute (room temperature), water wash ii. Immersion in surface treatment solution / 1 minute (30 ° C), water washing, drying / 1 minute (100 ° C)
(3) Production of Printed Wiring Board After applying a solder resist (trade name “PSR-4000AUS308”, manufactured by Taiyo Ink Manufacturing Co., Ltd.) to the copper surface of the test piece, the following steps iii to iv are performed to obtain a copper opening ( A printed wiring board was prepared in which a cured product of a solder resist having an opening diameter of 150 μm and 5 holes) and a test piece (copper-clad laminate) were bonded.
iii. Exposure process (420 mJ / cm 2 , using HMW-680 manufactured by Oak Seisakusho Co., Ltd.), development process (1% by mass sodium carbonate aqueous solution / 90 seconds (30 ° C.))
iv. Dry (80 ° C / 30 minutes), Post cure (150 ° C / 60 minutes)
(4) Plating treatment For the copper opening of the printed wiring board, a palladium catalyst (made by Okuno Seiyaku Kogyo Co., Ltd., trade name “ICP Nicolon Axela”, nickel plating (made by Okuno Seiyaku Kogyo Co., Ltd., trade name “ICP Nicolon GM”) And gold plating (trade name “Oell II” manufactured by Kojima Chemical Co., Ltd.) was used to perform the following step v to perform gold plating.
v. Soft etching / 1 minute (30 ° C.), water washing, palladium catalyst / 2 minutes (room temperature), nickel plating / 35 minutes (75 ° C.), gold plating / 5 minutes (80 ° C.)
(5) Evaluation of haloing property The width (unit: μm) of the haloing (solder resist peeling) due to the penetration of the chemical solution is measured with the optical microscope SZ for the gold-plated copper opening (opening diameter 150 μm) of the obtained printed wiring board. It measured by -61 (made by OLYMPUS). In addition, the measurement was performed about 5 holes and those average values were computed.

上記接着性の評価試験(a)〜(c)及びハローイングの評価試験(d)の結果を表2及び表3に示す。   Tables 2 and 3 show the results of the adhesive evaluation tests (a) to (c) and the haloing evaluation test (d).

Figure 2018172759
Figure 2018172759

Figure 2018172759
Figure 2018172759

表2、3の結果より、本発明の表面処理液により金属表面を処理した実施例1〜15は、金属と樹脂材料との接着性が向上し、また、ハローイングの幅が比較例1〜19に比べて小さく、優れたハローイング抑制効果が発揮されていることがわかった。   From the results of Tables 2 and 3, in Examples 1 to 15 in which the metal surface was treated with the surface treatment liquid of the present invention, the adhesion between the metal and the resin material was improved, and the width of haloing was Comparative Examples 1 to 1. It was found to be smaller than 19 and exhibit an excellent haloing suppression effect.

Claims (14)

下記化学式(I)で示されるアゾールシラン化合物を少なくとも1種と、化学式(II)〜(XIV)で示されるアゾール化合物からなる群から選択される少なくとも1種を含有することを特徴とする金属の表面処理液。
Figure 2018172759
(式(I)中、Xは水素原子、−CH、−NH、−SH又は−SCHを表す。Yは−NH−又は−S−を表す。Rは−CH又は−CHCHを表す。mは1〜12の整数を表し、nは0又は1〜3の整数を表す。)
Figure 2018172759
(式(II)〜(XIV)中、X〜X43は、それぞれ独立して、水素原子、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルキルチオ基を表す。)
A metal comprising at least one azolesilane compound represented by the following chemical formula (I) and at least one selected from the group consisting of azole compounds represented by chemical formulas (II) to (XIV): Surface treatment liquid.
Figure 2018172759
(In the formula (I), X represents a hydrogen atom, —CH 3 , —NH 2 , —SH or —SCH 3. Y represents —NH— or —S—. R represents —CH 3 or —CH 2. CH represents 3. m represents an integer of 1 to 12, and n represents an integer of 0 or 1 to 3).
Figure 2018172759
(In formulas (II) to (XIV), X 1 to X 43 each independently represents a hydrogen atom, an amino group, a mercapto group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkylthio group having 1 to 3 carbon atoms. Represents.)
前記アゾールシラン化合物を0.0001〜5質量%含有することを特徴とする請求項1に記載の金属の表面処理液。   The metal surface treatment solution according to claim 1, comprising 0.0001 to 5 mass% of the azolesilane compound. 前記アゾール化合物を0.0001〜5質量%含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の金属の表面処理液。   The metal surface treatment solution according to claim 1 or 2, wherein the azole compound is contained in an amount of 0.0001 to 5 mass%. さらに、酸、アルカリ及び有機溶剤からなる群から選択される少なくとも1種を含有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の金属の表面処理液。   Furthermore, at least 1 sort (s) selected from the group which consists of an acid, an alkali, and an organic solvent is contained, The metal surface treatment liquid of any one of Claims 1-3 characterized by the above-mentioned. 前記金属が、銅又は銅合金であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の金属の表面処理液。   The metal surface treatment solution according to any one of claims 1 to 4, wherein the metal is copper or a copper alloy. 請求項1〜4のいずれか1項に記載の金属の表面処理液を、金属の表面に接触させることを特徴とする金属の処理方法。   A metal surface treatment solution according to any one of claims 1 to 4 is brought into contact with the metal surface. 前記金属が、銅又は銅合金であることを特徴とする請求項6に記載の金属の処理方法。   The metal treatment method according to claim 6, wherein the metal is copper or a copper alloy. 金属の表面に、請求項1〜4のいずれか1項に記載の金属の表面処理液を接触させて、化成皮膜を形成する工程を含むことを特徴とするプリント配線板の製造方法。   The manufacturing method of the printed wiring board characterized by including the process of making the surface of a metal contact the metal surface treatment liquid of any one of Claims 1-4, and forming a chemical conversion film. 前記金属が、銅又は銅合金であることを特徴とする請求項8に記載のプリント配線板の製造方法。   The method for manufacturing a printed wiring board according to claim 8, wherein the metal is copper or a copper alloy. 金属と樹脂材料との接着方法であって、前記金属の表面に、請求項1〜4のいずれか1項に記載の金属の表面処理液を接触させて化成皮膜を形成し、前記金属と前記樹脂材料とを前記化成皮膜を介して接着させることを特徴とする金属と樹脂材料との接着方法。   It is the adhesion method of a metal and a resin material, Comprising: The surface treatment liquid of the metal of any one of Claims 1-4 is made to contact the surface of the said metal, a chemical conversion film is formed, The said metal and the said A method for adhering a metal and a resin material, comprising adhering a resin material via the chemical conversion film. 前記金属が、銅又は銅合金であることを特徴とする請求項10に記載の金属と樹脂材料との接着方法。   The method for adhering a metal and a resin material according to claim 10, wherein the metal is copper or a copper alloy. 金属配線層と樹脂材料からなる絶縁樹脂層とを備えたプリント配線板であって、前記金属配線層と前記絶縁樹脂層との間に、下記化学式(I)で示されるアゾールシラン化合物の少なくとも1種と、下記化学式(II)〜(XIV)で示されるアゾール化合物からなる群から選択される少なくとも1種に由来する化成皮膜が存在することを特徴とするプリント配線板。
Figure 2018172759
(式(I)中、Xは水素原子、−CH、−NH、−SH又は−SCHを表す。Yは−NH−又は−S−を表す。Rは−CH又は−CHCHを表す。mは1〜12の整数を表し、nは0又は1〜3の整数を表す。)
Figure 2018172759
(式(II)〜(XIV)中、X〜X43は、それぞれ独立して、水素原子、アミノ基、メルカプト基、炭素数1〜3のアルキル基又は炭素数1〜3のアルキルチオ基を表す。)
A printed wiring board comprising a metal wiring layer and an insulating resin layer made of a resin material, wherein at least one azolesilane compound represented by the following chemical formula (I) is interposed between the metal wiring layer and the insulating resin layer: A printed wiring board comprising a chemical conversion film derived from at least one selected from the group consisting of a seed and an azole compound represented by the following chemical formulas (II) to (XIV):
Figure 2018172759
(In the formula (I), X represents a hydrogen atom, —CH 3 , —NH 2 , —SH or —SCH 3. Y represents —NH— or —S—. R represents —CH 3 or —CH 2. CH represents 3. m represents an integer of 1 to 12, and n represents an integer of 0 or 1 to 3).
Figure 2018172759
(In formulas (II) to (XIV), X 1 to X 43 each independently represents a hydrogen atom, an amino group, a mercapto group, an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, or an alkylthio group having 1 to 3 carbon atoms. Represents.)
金属配線層と樹脂材料からなる絶縁樹脂層とを備えたプリント配線板であって、前記金属配線層を構成する金属と、前記樹脂材料が、請求項10又は11に記載の金属と樹脂材料との接着方法により接着されたことを特徴とするプリント配線板。   It is a printed wiring board provided with the metal wiring layer and the insulating resin layer which consists of resin materials, Comprising: The metal which comprises the said metal wiring layer, and the said resin material are the metal and resin material of Claim 10 or 11 A printed wiring board, which is bonded by the bonding method. 請求項12又は13に記載のプリント配線板を備えたことを特徴とする電子デバイス。
An electronic device comprising the printed wiring board according to claim 12.
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