JP2018166154A - 固体撮像素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
光膜としての厚さは、0.1μmオーダーであると想定される。
個々の光電変換素子に隣接する画素からの光が遮蔽されるように、隣接する光電変換素子との間に樹脂ブラックからなるブラックマトリクスを備えてなることを特徴とする固体撮像素子である。
ブラックマトリクス形成工程が、黒色感光性レジストを使用したフォトリソ工程であることを特徴とする固体撮像素子の製造方法である。
<固体撮像素子>
本発明の固体撮像素子2は、固体撮像素子の各画素に対応して、光電変換素子7と、ブラックマトリクス4と、平坦化層6と、カラーフィルタ層3と、マイクロレンズ層5と、をこの順に備えた固体撮像素子2である。
個々の光電変換素子7に隣接する画素からの光が遮蔽されるように、隣接する光電変換素子7との間に樹脂ブラックからなるブラックマトリクス4による隔壁を備えている。
本発明の固体撮像素子2の製造方法は、固体撮像素子のチップを多面付けして形成したシリコンウェハ上に、ブラックマトリクス形成工程と、平坦化層形成工程と、カラーフィルタ層形成工程と、マイクロレンズ層形成工程と、をこの順に備えている。
本発明の固体撮像素子2の製造方法の特徴は、ブラックマトリクス形成工程が、黒色感光性レジストを使用したフォトリソ工程であることである。
ブラックマトリクス4は、光電変換素子7と1対1で対応する各色の画素となる位置の周囲に遮光性の材料で、ウェハ加工済のシリコンウェハ上に直接形成される。あるいは、直接形成する代わりに透明なアクリル樹脂材料を含む塗液を塗布、乾燥、熱処理することによってウェハ表面の凹凸を平坦化しても良い。
平坦化層6に使用する材料は、透明な樹脂材料を含む塗液を、スピンコート法などを使用して塗布できる材料が好ましい。平坦化効果がある、例えば平均分子量5000〜10000のアクリル樹脂やフッ素系アクリル樹脂などの塗液がより好ましい。使用可能な樹脂としては、アクリル系樹脂の他、エポキシ樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂、スチレン樹脂、フェノール樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂およびこれらの共重合体を挙げることができる。低屈折率化のため、シリコン基やフッ素基を導入した材料としても良い。このような樹脂を含有する塗液を塗布後、乾燥、加熱処理などを施すことにより、平坦化層6を形成することができる。
本発明の固体撮像素子2で使用するカラーフィルタ層3としては、図1に例示した様な緑色カラーフィルタ層3G、赤色カラーフィルタ層3R、青色カラーフィルタ層3Bとする他に、シアン、イエロー、マゼンタ、ブラックの4色あるいは、透明、イエロー、赤、ブラックとしても良い。
マイクロレンズ層5に使用する材料は、透明であり、且つ集光のための屈折率差をとることができれば、有機材料、無機材料およびそれらを組み合わせた材料のいずれも使用することができる。SiO2(二酸化ケイ素)やSiNx(窒化ケイ素)をCVD法などの成膜手段を用いて形成し、それをドライエッチングなどの加工手段を用いてマイクロレンズとして形成することができる。低屈折率化のため、シリコン基やフッ素基を導入した材料としても良い。
例えば、アスペクト比が0.14以下、厚み2.0μm、レンズ径0.3μm未満の薄いマイクロレンズ層では、レンズの断面形状が半球形になり難く、台形となりやすい。
逆に、アスペクト比が0.40以上の場合、熱リフロー時に外形が太り易く、0.3μm前後の狭いギャップのマイクロレンズ層を形成するのが困難であり、隣接するマイクロレンズ同士が融着して不良品となり易くなる。
なお、ここでアスペクト比とは、マイクロレンズの高さをマイクロレンズの直径で除した値を指す。
以上の様なことから本発明の固体撮像素子は、混色の発生を抑制する機能が高い固体撮像素子とすることができる。
2・・・固体撮像素子
3・・・カラーフィルタ層
3G・・・緑色カラーフィルタ層
3R・・・赤色カラーフィルタ層
3B・・・青色カラーフィルタ層
4・・・ブラックマトリクス
5・・・マイクロレンズ層
6・・・平坦化層
Claims (2)
- 固体撮像素子の各画素に対応して、光電変換素子と、ブラックマトリクスと、平坦化層と、カラーフィルタ層と、マイクロレンズ層と、をこの順に備えた固体撮像素子において、
個々の光電変換素子に隣接する画素からの光が遮蔽されるように、隣接する光電変換素子との間に樹脂ブラックからなるブラックマトリクスを備えてなることを特徴とする固体撮像素子。 - 固体撮像素子のチップを多面付けして形成したシリコンウェハ上に、ブラックマトリクス形成工程と、平坦化層形成工程と、カラーフィルタ層形成工程と、マイクロレンズ層形成工程と、をこの順に備えた固体撮像素子の製造方法において、
ブラックマトリクス形成工程が、黒色感光性レジストを使用したフォトリソ工程であることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
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