JP2018164048A - 圧電積層体 - Google Patents
圧電積層体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018164048A JP2018164048A JP2017061569A JP2017061569A JP2018164048A JP 2018164048 A JP2018164048 A JP 2018164048A JP 2017061569 A JP2017061569 A JP 2017061569A JP 2017061569 A JP2017061569 A JP 2017061569A JP 2018164048 A JP2018164048 A JP 2018164048A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric
- electrode
- layer
- electrode layer
- vinylidene fluoride
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 1,1-Difluoroethene Chemical compound FC(F)=C BQCIDUSAKPWEOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 27
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 24
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 24
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 claims description 23
- MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 1,1,2-trifluoroethene Chemical group FC=C(F)F MIZLGWKEZAPEFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical group FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 125000002573 ethenylidene group Chemical group [*]=C=C([H])[H] 0.000 claims description 6
- 239000002033 PVDF binder Substances 0.000 claims description 4
- 229920002981 polyvinylidene fluoride Polymers 0.000 claims description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 abstract description 12
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 159
- 239000000463 material Substances 0.000 description 19
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052809 inorganic oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 4
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 4
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 3
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 3
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001940 conductive polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000007733 ion plating Methods 0.000 description 2
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- BZPCMSSQHRAJCC-UHFFFAOYSA-N 1,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoro-1-(1,2,3,3,4,4,5,5,5-nonafluoropent-1-enoxy)pent-1-ene Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)=C(F)OC(F)=C(F)C(F)(F)C(F)(F)C(F)(F)F BZPCMSSQHRAJCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UXDMBDOSKSPLDU-UHFFFAOYSA-N 8-chloro-2,3,3,4,5,5,6,6,7,7,8,9,9,10,11,11-hexadecafluoro-2,4-bis(trifluoromethyl)-oxacycloundecane Chemical compound FC1C(F)(F)OC(C(C(C(C(C(C(C1(F)F)(F)Cl)(F)F)(F)F)(F)F)(C(F)(F)F)F)(F)F)(C(F)(F)F)F UXDMBDOSKSPLDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 229920001609 Poly(3,4-ethylenedioxythiophene) Polymers 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 229920002396 Polyurea Polymers 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GVFOJDIFWSDNOY-UHFFFAOYSA-N antimony tin Chemical compound [Sn].[Sb] GVFOJDIFWSDNOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012461 cellulose resin Substances 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002178 crystalline material Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229920001519 homopolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N indium tin Chemical compound [In].[Sn] RHZWSUVWRRXEJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N indium zinc Chemical compound [Zn].[In] NJWNEWQMQCGRDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N indium(iii) oxide Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[In+3].[In+3] PJXISJQVUVHSOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 239000000113 methacrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N palladium Substances [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000747 poly(lactic acid) Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 1
- 229920001230 polyarylate Polymers 0.000 description 1
- 229920001707 polybutylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 229920005668 polycarbonate resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004431 polycarbonate resin Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000004626 polylactic acid Substances 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920000193 polymethacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920005672 polyolefin resin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 description 1
- 229920005990 polystyrene resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000131 polyvinylidene Polymers 0.000 description 1
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000010944 silver (metal) Substances 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000859 α-Fe Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
図1A〜図1Bは、本発明の圧電積層体の一実施形態を示す。図1A〜図1Bに示す圧電積層体1は、基材フィルム2と、基材フィルム2の上側(厚み方向一方側)に配置される圧電層3と、圧電層3の上側に配置される第1電極層4と、基材フィルム2の下側(厚み方向他方側)に配置される第2電極層5とを備える。具体的には、圧電積層体1は、第2電極層5と、基材フィルム2と、圧電層3と、第1電極層4とをこの順に備える。好ましくは、圧電積層体1は、第2電極層5、基材フィルム2、圧電層3および第1電極層4のみからなる。以下、各層を詳述する。
基材フィルム2は、圧電積層体1の機械強度を確保する基材である。基材フィルム2は、圧電層3、第1電極層4および第2電極層5を支持している。
圧電層3は、圧電積層体1に圧力が印加された際に、電圧を生じさせるための層である。
第1電極層4は、電圧が生じた圧電層3から電流を取り出すための層である。
第2電極層5は、第1電極層4と対をなし、電圧が生じた圧電層3から電流を取り出すための層である。
圧電積層体1の製造方法は、例えば、第2電極層5、基材フィルム2、圧電層3および第1電極層4を備える非パターン積層体を用意する用意工程と、第1電極層4、圧電層3および第2電極層5をパターニングするパターニング工程とを備える。
圧電積層体1は、圧電層3と、圧電層3の上側に配置される第1電極層4と、圧電層3の下側に配置される第2電極層5とを備えている。また、第1電極層4が、複数の独立した第1電極部7を有しており、圧電層3が、複数の第1電極部7に対応して、複数の独立した圧電部6を有している。
次に、一実施形態の変形例を示す。なお、以降の各図において、上記と同様の部材には同一の符号を付し、その説明を省略する。
2 基材フィルム
3 圧電層
4 第1電極層
5 第2電極層
6 圧電部
7 第1電極部
8 第2電極部
Claims (11)
- 圧電層と、
前記圧電層の厚み方向一方側に配置される第1電極層と、
前記圧電層の厚み方向他方側に配置される第2電極層と
を備え、
前記第1電極層が、複数の独立した第1電極部を有しており、
前記圧電層が、前記複数の第1電極部に対応して、複数の独立した圧電部を有していることを特徴とする、圧電積層体。 - 前記圧電層と前記第2電極層との間に配置される基材フィルムをさらに備えることを特徴とする、請求項1に記載の圧電積層体。
- 前記第2電極層は、前記複数の第1電極部に対応して、複数の独立した第2電極部を有していることを特徴とする、請求項1または2に記載の圧電積層体。
- 前記第1電極部は、厚み方向に投影したときに、前記圧電部と一致するか、または、前記圧電部に含まれることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の圧電積層体。
- 前記第1電極層および前記第2電極層が、透明電極層であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の圧電積層体。
- 前記圧電層が、樹脂層であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の圧電積層体。
- 前記樹脂層が、フッ素樹脂を含有することを特徴とする、請求項6に記載の圧電積層体。
- 前記フッ素樹脂が、フッ化ビニリデン系樹脂であることを特徴とする、請求項7に記載の圧電積層体。
- 前記フッ化ビニリデン系樹脂が、ポリフッ化ビニリデンであるか、または、
フッ化ビニリデンと、トリフルオロエチレンおよびクロロトリフルオロエチレンのうちの少なくとも1種との共重合体であることを特徴とする、請求項8に記載の圧電積層体。 - 前記フッ化ビニリデン系樹脂が、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン共重合体であり、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとのモル比が、全体を100として、(50〜85):(50〜15)であることを特徴とする、請求項9に記載の圧電積層体。
- 前記フッ化ビニリデン系樹脂が、フッ化ビニリデン−トリフルオロエチレン−クロロトリフルオロエチレン共重合体であり、フッ化ビニリデンとトリフルオロエチレンとクロロトリフルオロエチレンとのモル比が、全体を100として、(63〜65):(27〜29):(6〜10)であることを特徴とする、請求項9に記載の圧電積層体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017061569A JP6842331B2 (ja) | 2017-03-27 | 2017-03-27 | 圧電積層体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017061569A JP6842331B2 (ja) | 2017-03-27 | 2017-03-27 | 圧電積層体 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018164048A true JP2018164048A (ja) | 2018-10-18 |
JP6842331B2 JP6842331B2 (ja) | 2021-03-17 |
Family
ID=63859295
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017061569A Active JP6842331B2 (ja) | 2017-03-27 | 2017-03-27 | 圧電積層体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6842331B2 (ja) |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1038736A (ja) * | 1996-07-25 | 1998-02-13 | Toray Ind Inc | 高分子圧電体、高分子圧電素子および圧力センサ |
US20080081195A1 (en) * | 2006-10-03 | 2008-04-03 | Tze-Chiang Chung | Chain end functionalized fluoropolymers having good electrical properties and good chemical reactivity |
WO2010131394A1 (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 超音波探触子および超音波診断装置 |
EP2381340A2 (en) * | 2010-04-23 | 2011-10-26 | Immersion Corporation | Transparent piezoelectric combined touch sensor and haptic actuator |
WO2014196359A1 (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-11 | 日本写真印刷株式会社 | 圧電センサおよび圧力検出装置 |
JP2014235134A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 日本写真印刷株式会社 | 圧電センサおよび圧力検出装置 |
JP2017031283A (ja) * | 2015-07-30 | 2017-02-09 | 株式会社日立製作所 | 傾斜機能層形成品および傾斜機能層形成品の製造方法 |
-
2017
- 2017-03-27 JP JP2017061569A patent/JP6842331B2/ja active Active
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1038736A (ja) * | 1996-07-25 | 1998-02-13 | Toray Ind Inc | 高分子圧電体、高分子圧電素子および圧力センサ |
US20080081195A1 (en) * | 2006-10-03 | 2008-04-03 | Tze-Chiang Chung | Chain end functionalized fluoropolymers having good electrical properties and good chemical reactivity |
WO2008041998A1 (en) * | 2006-10-03 | 2008-04-10 | The Penn State Research Foundation | Chain end functionalized fluoropolymers having good electrical properties and good chemical reactivity |
JP2010505995A (ja) * | 2006-10-03 | 2010-02-25 | ザ・ペン・ステート・リサーチ・ファウンデイション | 良好な電気特性および良好な化学的反応性を有する鎖末端官能基化フルオロポリマー |
WO2010131394A1 (ja) * | 2009-05-11 | 2010-11-18 | コニカミノルタエムジー株式会社 | 超音波探触子および超音波診断装置 |
EP2381340A2 (en) * | 2010-04-23 | 2011-10-26 | Immersion Corporation | Transparent piezoelectric combined touch sensor and haptic actuator |
US20110261021A1 (en) * | 2010-04-23 | 2011-10-27 | Immersion Corporation | Transparent composite piezoelectric combined touch sensor and haptic actuator |
JP2011242386A (ja) * | 2010-04-23 | 2011-12-01 | Immersion Corp | 接触センサと触覚アクチュエータとの透明複合圧電材結合体 |
WO2014196359A1 (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-11 | 日本写真印刷株式会社 | 圧電センサおよび圧力検出装置 |
JP2014235134A (ja) * | 2013-06-04 | 2014-12-15 | 日本写真印刷株式会社 | 圧電センサおよび圧力検出装置 |
US20160124560A1 (en) * | 2013-06-04 | 2016-05-05 | Nissha Printing Co., Ltd. | Piezoelectric sensor and pressure detection apparatus |
JP2017031283A (ja) * | 2015-07-30 | 2017-02-09 | 株式会社日立製作所 | 傾斜機能層形成品および傾斜機能層形成品の製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6842331B2 (ja) | 2021-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI509477B (zh) | 觸控面板及其製造方法 | |
KR101993503B1 (ko) | 인쇄된 압전기 압력 감지 포일 | |
JP5897055B2 (ja) | 感圧センサ及びタッチパネル | |
JP5797692B2 (ja) | 圧電センサおよび圧力検出装置 | |
KR20120104326A (ko) | 광학적 및 전기적 성능이 개선된 다층 전극을 구비한 터치 감응 장치 | |
KR20190013777A (ko) | 투명 전극 형성 압전 필름 및 압력 센서 | |
CN110716667B (zh) | 具有定位和压力检测功能的柔性传感器及其制作方法 | |
CN102279660B (zh) | 一种触控面板制造方法 | |
KR20190103872A (ko) | 터치센서 일체형 디지타이저 및 이를 포함하는 표시 장치 | |
KR20140035991A (ko) | 다층 전극 및 기초층이 있는 터치 감지 장치를 만드는 방법 | |
KR20190015188A (ko) | 압전 필름 | |
US10104770B2 (en) | Touch panel, preparing method thereof, and Ag—Pd—Nd alloy for touch panel | |
KR101103536B1 (ko) | 강화유리 일면에 두 층의 투명도전막을 갖는 정전용량방식 터치패널 및 그 제조방법 | |
KR101199138B1 (ko) | 터치 패널 | |
CN108089742B (zh) | 触摸输入装置 | |
JP6842331B2 (ja) | 圧電積層体 | |
US9342171B2 (en) | Touch panel with first and second electrodes extending in the same direction but on opposite surfaces of a substrate | |
KR101496250B1 (ko) | 터치 패널 및 이의 제조 방법 | |
US8987625B2 (en) | Capacitive touch panel structure | |
CN102279675B (zh) | 触控面板的制造方法 | |
KR101911643B1 (ko) | 터치 센서 소자 및 그 제조 방법 | |
CN102289315A (zh) | 基于电荷转移的传感器结构 | |
TWI607359B (zh) | 三維觸控總成 | |
TWI503728B (zh) | 觸控結構及其製造方法 | |
KR20150054613A (ko) | 한 장의 필름을 이용한 터치 센서를 구현하는 터치 패널 및 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20191217 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20201030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20201110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20201224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210219 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6842331 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |