JP2018160571A - Manufacturing method of individual substrate, manufacturing method of assembly, and manufacturing method of optical device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an individual substrate capable of managing the accuracy of a width dimension of an individual substrate regardless of the positional accuracy of a cut formed in a large substrate, a manufacturing method of an assembly, and a manufacturing method of an optical device.SOLUTION: In a cutting step, a connecting piece connecting a unit substrate and another substrate in the width direction of the unit substrate is cut, and the cutting edge is set as the outermost in the width direction of the unit substrate.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、個片基板の製造方法、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing an individual substrate, a method for manufacturing an assembly, and a method for manufacturing an optical device.

特許文献1に記載の個片基板の製造方法は、複数の長尺な基板が短手方向に並べられ、隣接する基板が長手方向の複数ヶ所の第1連結部で連結され、短手方向から見て、単位長さ当たりの連結部の長さが長い第1部位と短い第2部位を有する基板群を準備する工程と、第1部位となる基板の表面に部品を実装する工程と、基板の裏面に発光素子を実装する工程と、複数の連結部を切断する工程と、を含んでいる。   In the method of manufacturing an individual substrate described in Patent Document 1, a plurality of long substrates are arranged in the short direction, and adjacent substrates are connected by a plurality of first connecting portions in the longitudinal direction. A step of preparing a substrate group having a first portion and a short second portion where the length of the connecting portion per unit length is long; a step of mounting components on the surface of the substrate that is the first portion; The process of mounting a light emitting element on the back surface of this and the process of cut | disconnecting a some connection part are included.

特開2015-66793号公報JP2015-66793A

個片基板(単位基板)の外形を画定する複数の切込みが形成されている大型基板から、個片基板を切り出す場合に、大型基板の外縁と切込みとの間の連結片、又は隣り合う切込みの間の連結片を打ち抜くことで個片基板を切り出す。そして、切込みを構成していた部分が、個片基板の幅方向において、個片基板の最外部を構成すると、個片基板の幅の寸法精度が、大型基板に形成されていた切込みの位置精度に依存してしまう。   When a single substrate is cut out from a large substrate in which a plurality of cuts defining the outer shape of the single substrate (unit substrate) are formed, a connecting piece between the outer edge of the large substrate and the cut, or adjacent cuts The individual substrates are cut out by punching the connecting pieces between them. And if the part which constituted the cut constitutes the outermost part of the individual substrate in the width direction of the individual substrate, the dimensional accuracy of the width of the individual substrate is the positional accuracy of the cut formed on the large substrate. It depends on.

本発明の課題は、大型基板に形成された切込みの位置精度に依存することなく、個片基板の幅寸法の精度を管理することである。   The subject of this invention is managing the precision of the width dimension of an individual board | substrate, without being dependent on the positional accuracy of the notch formed in the large sized board | substrate.

本発明の請求項1に係る個片基板の製造方法は、単位基板と他の基板とが前記単位基板の幅方向で連結片によって連結されている大型基板を準備する準備工程と、前記連結片を切断し、切断された切断縁を前記単位基板の幅方向の最外部とする切断工程と、を備えることを特徴とする。   According to a first aspect of the present invention, there is provided a manufacturing method of an individual substrate, a preparation step of preparing a large substrate in which a unit substrate and another substrate are connected by a connecting piece in a width direction of the unit substrate, and the connecting piece. And a cutting step in which the cut edge is the outermost part in the width direction of the unit substrate.

本発明の請求項2に係る個片基板の製造方法は、請求項1に記載の個片基板の製造方法において、前記連結片は、前記幅方向に対して交差する交差方向に並んで複数形成されており、前記切断工程では、前記単位基板の板厚方向から見て、前記切断縁が直線上に配置されるように、複数の前記連結片を切断することを特徴とする。   According to claim 2 of the present invention, in the method of manufacturing an individual substrate according to claim 1, a plurality of the connecting pieces are formed side by side in the intersecting direction intersecting the width direction. In the cutting step, the plurality of connecting pieces are cut so that the cutting edges are arranged on a straight line when viewed from the thickness direction of the unit substrate.

本発明の請求項3に係る個片基板の製造方法は、請求項1又は2に記載の個片基板の製造方法において、前記切断工程では、前記幅方向に対して交差する交差方向において、前記切断縁の合計長さが、前記切断縁以外の部分の合計長さと比して短くなるように前記連結片を切断することを特徴とする。   The method for manufacturing an individual substrate according to claim 3 of the present invention is the method for manufacturing an individual substrate according to claim 1 or 2, wherein, in the cutting step, in the intersecting direction intersecting the width direction, The connecting piece is cut so that a total length of the cutting edges is shorter than a total length of portions other than the cutting edges.

本発明の請求項4に係る個片基板の製造方法は、請求項1から3の何れか1項に記載の個片基板の製造方法において、前記準備工程では、前記幅方向に対して交差する交差方向において、前記単位基板の両端部のみに前記連結片が形成されている前記大型基板を準備することを特徴とする。   The method for manufacturing an individual substrate according to claim 4 of the present invention is the method for manufacturing an individual substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein the preparatory step intersects the width direction. In the crossing direction, the large substrate having the connecting pieces formed only at both ends of the unit substrate is prepared.

本発明の請求項5に係る個片基板の製造方法は、請求項1から3の何れか1項に記載の個片基板の製造方法において、前記連結片は、前記幅方向に対して交差する交差方向に並んで3個以上形成されており、前記切断工程では、前記交差方向において、前記連結片の並び方向の両端部の前記連結片の切断縁が、前記単位基板の幅方向の最外部を構成するように前記連結片を切断することを特徴とする。   The method for manufacturing an individual substrate according to claim 5 of the present invention is the method for manufacturing an individual substrate according to any one of claims 1 to 3, wherein the connecting piece intersects the width direction. Three or more are formed side by side in the intersecting direction. In the cutting step, the cut edges of the connecting pieces at both ends in the arranging direction of the connecting pieces are the outermost portions in the width direction of the unit substrate in the intersecting direction. The connecting piece is cut so as to form the structure.

本発明の請求項6に係る個片基板の製造方法は、請求項1から5の何れか1項に記載の個片基板の製造方法において、前記準備工程では、前記単位基板の前記幅方向の両側に、前記連結片が形成されている前記大型基板を準備することを特徴とする。   The method for manufacturing an individual substrate according to claim 6 of the present invention is the method for manufacturing an individual substrate according to any one of claims 1 to 5, wherein in the preparation step, the unit substrate in the width direction is provided. The large substrate having the connecting piece formed on both sides is prepared.

本発明の請求項7に係る個片基板の製造方法は、請求項1から6の何れか1項に記載の個片基板の製造方法において、前記準備工程と、前記切断工程との間には、発光素子又は受光素子を前記単位基板に実装する実装工程を備えることを特徴とする。   The method for manufacturing an individual substrate according to claim 7 of the present invention is the method for manufacturing an individual substrate according to any one of claims 1 to 6, wherein the step is performed between the preparation step and the cutting step. And a mounting step of mounting the light emitting element or the light receiving element on the unit substrate.

本発明の請求項8に係る組立体の製造方法は、請求項1から7の何れか1項に記載の個片基板の製造方法で製造された個片基板の切断縁を筐体に接触させることで、前記筐体に前記個片基板を位置決めする位置決め工程と、位置決め状態の前記個片基板を前記筐体に取り付ける取付工程と、を備えることを特徴とする。   According to an eighth aspect of the present invention, there is provided an assembly manufacturing method in which a cutting edge of an individual substrate manufactured by the individual substrate manufacturing method according to any one of claims 1 to 7 is brought into contact with a housing. Thus, the method includes a positioning step of positioning the individual substrate on the housing and an attaching step of attaching the individual substrate in a positioned state to the housing.

本発明の請求項9に係る露光装置の製造方法は、請求項7に記載の個片基板の製造方法で製造された個片基板の切断縁を筐体に接触させることで、前記筐体に前記個片基板を位置決めする第一位置決め工程と、位置決め状態の前記個片基板を前記筐体に取り付ける第一取付工程と、前記第一位置決め工程で位置決めされる前記発光素子又は前記受光素子と、光学部品とが対向するように前記筐体に前記光学部品を位置決めする第二位置決め工程と、位置決め状態の前記光学部品を前記筐体に取り付ける第二取付工程と、を備えることを特徴とする。   According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a method of manufacturing an exposure apparatus, wherein the cutting edge of an individual substrate manufactured by the method of manufacturing an individual substrate according to claim 7 is brought into contact with the housing, thereby A first positioning step of positioning the individual substrate, a first attachment step of attaching the individual substrate in a positioning state to the housing, the light emitting element or the light receiving element positioned in the first positioning step, And a second positioning step of positioning the optical component on the housing so as to face the optical component, and a second mounting step of attaching the optical component in a positioned state to the housing.

本発明の請求項1の個片基板の製造方法によれば、大型基板に形成された切込みの位置精度に依存することなく、個片基板の幅寸法の精度を管理することができる。   According to the method for manufacturing an individual substrate of claim 1 of the present invention, the accuracy of the width dimension of the individual substrate can be managed without depending on the positional accuracy of the cut formed in the large substrate.

本発明の請求項2の個片基板の製造方法によれば、連結片が幅方向に対して交差する交差方向に1個形成されている場合と比して、個片基板の位置決め対象物に対する位置決め精度を向上させることができる。   According to the manufacturing method of the individual substrate of claim 2 of the present invention, compared to the case where one connecting piece is formed in the intersecting direction intersecting the width direction, the individual substrate is positioned relative to the positioning object. Positioning accuracy can be improved.

本発明の請求項3の個片基板の製造方法によれば、交差方向において、切断縁の合計長さが切断縁以外の部分の合計長さに対して長くなる大型基板を準備する場合と比して、個片基板の幅寸法の精度を向上させることができる。   According to the method for manufacturing an individual substrate of claim 3 of the present invention, compared with the case of preparing a large substrate in which the total length of the cutting edges is longer than the total length of the portions other than the cutting edges in the crossing direction. Thus, the accuracy of the width dimension of the individual substrate can be improved.

本発明の請求項4の個片基板の製造方法によれば、連結片が交差方向において、単位基板の中央部のみに形成されている場合と比して、個片基板の位置決め対象物に対する位置決め精度を向上させることができる。   According to the manufacturing method of the individual substrate of claim 4 of the present invention, the positioning of the individual substrate with respect to the positioning object is more than in the case where the connecting piece is formed only in the central portion of the unit substrate in the crossing direction. Accuracy can be improved.

本発明の請求項5の個片基板の製造方法によれば、3個以上の全ての切断縁が、単位基板の幅方向の最外部を構成し、かつ、幅方向において最外部の位置がばらついてしまう場合と比して、切断工程の前の単位基板の曲げ剛性を同等とした上で、個片基板の位置決め対象物に対する位置決め精度を向上させることができる。   According to the method for manufacturing a single substrate according to claim 5 of the present invention, all three or more cutting edges constitute the outermost portion in the width direction of the unit substrate, and the outermost position varies in the width direction. In comparison with the case where the unit substrate is bent, it is possible to improve the positioning accuracy of the individual substrate with respect to the positioning target object while equalizing the bending rigidity of the unit substrate before the cutting step.

本発明の請求項6の個片基板の製造方法によれば、単位基板の幅方向の片側のみに、連結片が形成されている場合と比して、個片基板の幅寸法の精度を効果的に向上させることができる。   According to the method for manufacturing an individual substrate of claim 6 of the present invention, the accuracy of the width dimension of the individual substrate is effective as compared with the case where the connecting piece is formed only on one side in the width direction of the unit substrate. Can be improved.

本発明の請求項7の個片基板の製造方法によれば、個片基板を光学装置に用いることができる。   According to the method for manufacturing an individual substrate of claim 7 of the present invention, the individual substrate can be used for an optical device.

本発明の請求項8の組立体の製造方法によれば、請求項1から7の何れか1項に記載の個片基板の製造方法で製造された個片基板を用いない場合と比して、個片基板を筐体に精度良く位置決めすることができる。   According to the method for manufacturing an assembly of claim 8 of the present invention, as compared with the case where the individual substrate manufactured by the method for manufacturing an individual substrate according to any one of claims 1 to 7 is not used. The individual substrate can be accurately positioned on the housing.

本発明の請求項9の露光装置の製造方法によれば、請求項7に記載の個片基板の製造方法で製造された個片基板を用いない場合と比して、光学部品に対して、発光素子又は受光素子を精度良く位置決めすることができる。   According to the method for manufacturing an exposure apparatus of claim 9 of the present invention, as compared with the case where the individual substrate manufactured by the method for manufacturing an individual substrate according to claim 7 is not used, The light emitting element or the light receiving element can be accurately positioned.

本発明の第1実施形態に係る個片基板の製造方法によって製造された個片基板を示した平面図である。It is the top view which showed the piece board manufactured by the manufacturing method of the piece board which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る個片基板の製造方法に用いる大型基板の一部を示した平面図である。It is the top view which showed a part of large sized board | substrate used for the manufacturing method of the separate board | substrate which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る個片基板の製造方法に用いる大型基板の連結片を示した平面図である。It is the top view which showed the connection piece of the large sized board used for the manufacturing method of the separate board | substrate which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る個片基板の製造方法に用いる大型基板の全体を示した平面図である。It is the top view which showed the whole large sized board | substrate used for the manufacturing method of the separate board | substrate which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る個片基板の製造方法に用いる大型基板の全体を示した平面図である。It is the top view which showed the whole large sized board | substrate used for the manufacturing method of the separate board | substrate which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態に係る組立体の製造方法、光学装置の製造方法によって製造された露光装置を示した断面図である。It is sectional drawing which showed the exposure apparatus manufactured by the manufacturing method of the assembly which concerns on 1st Embodiment of this invention, and the manufacturing method of an optical apparatus. 本発明の第1実施形態に係る組立体の製造方法、光学装置の製造方法によって製造された露光装置を示した分解斜視図である。1 is an exploded perspective view showing an exposure apparatus manufactured by an assembly manufacturing method and an optical device manufacturing method according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第2実施形態に係る個片基板の製造方法によって製造された個片基板を示した平面図である。It is the top view which showed the separate board | substrate manufactured by the manufacturing method of the separate board | substrate which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係る個片基板の製造方法によって製造された個片基板を示した平面図である。It is the top view which showed the separate board | substrate manufactured by the manufacturing method of the separate board | substrate which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態に係る個片基板の製造方法に用いる大型基板の一部を示した平面図である。It is the top view which showed a part of large sized board | substrate used for the manufacturing method of the separate substrate which concerns on 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態に係る個片基板の製造方法によって製造された個片基板を示した平面図である。It is the top view which showed the separate board | substrate manufactured by the manufacturing method of the separate board | substrate which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4実施形態に係る個片基板の製造方法に用いる大型基板の全体を示した平面図である。It is the top view which showed the whole large sized board | substrate used for the manufacturing method of the separate substrate which concerns on 4th Embodiment of this invention. 本発明の第5実施形態に係る個片基板の製造方法によって製造された個片基板を示した平面図である。It is the top view which showed the individual board manufactured by the manufacturing method of the individual board which concerns on 5th Embodiment of this invention. 本発明の第5実施形態に係る個片基板の製造方法に用いる大型基板の全体を示した平面図である。It is the top view which showed the whole large sized board | substrate used for the manufacturing method of the separate substrate which concerns on 5th Embodiment of this invention.

<第1実施形態>
本発明の第1実施形態に係る個片基板の製造方法、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法の一例を図1〜図7に従って説明する。
<First Embodiment>
An example of a method for manufacturing an individual substrate, a method for manufacturing an assembly, and a method for manufacturing an optical device according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

先ず、本実施形態の光学装置の製造方法によって製造される露光装置について説明する。次に、個片基板の製造方法、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法について説明する。   First, an exposure apparatus manufactured by the method for manufacturing an optical apparatus according to the present embodiment will be described. Next, a method for manufacturing an individual substrate, a method for manufacturing an assembly, and a method for manufacturing an optical device will be described.

(露光装置)
露光装置10については、図1、図6、図7に従って説明する。なお、各図に示す矢印Hは装置上下方向(鉛直方向)を示し、矢印Wは装置幅方向(水平方向)を示し、矢印Dは装置奥行方向(水平方向)を示す。露光装置10は、光学装置の一例である。
(Exposure equipment)
The exposure apparatus 10 will be described with reference to FIGS. In addition, the arrow H shown to each figure shows an apparatus up-down direction (vertical direction), the arrow W shows an apparatus width direction (horizontal direction), and the arrow D shows an apparatus depth direction (horizontal direction). The exposure apparatus 10 is an example of an optical apparatus.

露光装置10は、図6に示されるように、画像形成装置(図示省略)を構成する感光体ドラム12に対して下方に配置されている。そして、露光装置10は、個片基板20、筐体30、及びレンズアレイ40を含んで構成されている。   As shown in FIG. 6, the exposure device 10 is disposed below the photosensitive drum 12 constituting the image forming device (not shown). The exposure apparatus 10 includes an individual substrate 20, a housing 30, and a lens array 40.

〔個片基板〕
個片基板20は、板面が感光体ドラム12と対向するように配置されている。そして、個片基板20は、図7に示されるように、装置奥行方向に延びる単位基板22と、単位基板22の表面に実装されている複数のLEDアレイ24とを含んで構成されている。LEDアレイ24は、発光素子の一例である。
[Individual substrate]
The individual substrate 20 is disposed so that the plate surface faces the photosensitive drum 12. As illustrated in FIG. 7, the individual substrate 20 includes a unit substrate 22 extending in the apparatus depth direction and a plurality of LED arrays 24 mounted on the surface of the unit substrate 22. The LED array 24 is an example of a light emitting element.

単位基板22は、図1に示されるように、上方から見て、装置奥行方向に延びる矩形状とされている。本実施形態では、単位基板22の装置奥行方向(後述する「基板長手方向」)の長さ(図1のL3)は、300〔mm〕であって、単位基板22の装置幅方向(後述する「基板幅方向」)の長さ(図1のL4)は、7〔mm〕である。   As shown in FIG. 1, the unit substrate 22 has a rectangular shape extending in the apparatus depth direction when viewed from above. In this embodiment, the length (L3 in FIG. 1) of the unit substrate 22 in the apparatus depth direction (“substrate longitudinal direction” described later) is 300 [mm], and the unit substrate 22 in the apparatus width direction (described later). The length of “substrate width direction”) (L4 in FIG. 1) is 7 [mm].

さらに、単位基板22には、装置奥行方向に延びる配線パターン26が形成され、単位基板22の長手方向の両端部には、装置幅方向に延びる長孔28が夫々形成されている。また、単位基板22の外周には、複数の凸部62、64が形成されている。   Furthermore, a wiring pattern 26 extending in the apparatus depth direction is formed in the unit substrate 22, and long holes 28 extending in the apparatus width direction are formed at both ends in the longitudinal direction of the unit substrate 22. A plurality of convex portions 62 and 64 are formed on the outer periphery of the unit substrate 22.

具体的には、単位基板22を形成する一対の長辺22Aには、凸部62が夫々4個形成されており、短辺22Bには、凸部64が夫々2個形成されている。   Specifically, four protrusions 62 are formed on each of the pair of long sides 22A forming the unit substrate 22, and two protrusions 64 are formed on each of the short sides 22B.

凸部62は、装置奥行方向において間隔を空けて配置されており、装置奥行方向において最も奥側(図中上側)に形成されている凸部62は、単位基板22の装置奥行方向の一端部に形成されている。さらに、装置奥行方向において最も手前側(図中下側)に形成されている凸部62は、単位基板22の装置奥行方向の他端部に形成されている。なお、「単位基板22の一端部」とは、装置奥行方向における単位基板22の長さL3を100〔%〕とした場合に、単位基板22の一端から20〔%〕までの範囲であって、「単位基板22の他端部」とは、単位基板22の他端から20〔%〕までの範囲である。   The protrusions 62 are arranged at intervals in the apparatus depth direction, and the protrusion 62 formed on the innermost side (upper side in the drawing) in the apparatus depth direction is one end of the unit substrate 22 in the apparatus depth direction. Is formed. Further, the convex portion 62 formed on the most front side (lower side in the drawing) in the apparatus depth direction is formed on the other end portion of the unit substrate 22 in the apparatus depth direction. The “one end portion of the unit substrate 22” is a range from one end of the unit substrate 22 to 20 [%] when the length L3 of the unit substrate 22 in the apparatus depth direction is 100 [%]. The “other end portion of the unit substrate 22” is a range from the other end of the unit substrate 22 to 20%.

さらに、長辺22Aに形成された凸部62において、装置幅方向(後述する基板幅方向)の外側の縁62Aは、単位基板22(個片基板20)の幅方向の最外部を構成している。また、縁62Aは、上方(板厚方向)から見て、直線上に配置されている。縁62Aは、切断縁の一例である。   Further, in the convex portion 62 formed on the long side 22A, the outer edge 62A in the apparatus width direction (substrate width direction to be described later) constitutes the outermost portion in the width direction of the unit substrate 22 (individual substrate 20). Yes. Further, the edge 62A is arranged on a straight line when viewed from above (plate thickness direction). The edge 62A is an example of a cutting edge.

さらに、夫々の長辺22Aにおいて、縁62Aの合計長さは、縁62A以外の部分の合計長さと比して短くされている。具体的には、縁62Aの合計長さT1は、1個の縁62Aの長さをM1とし、縁62Aの個数をN1個とすると、M1×N1である。これに対して、縁62A以外の部分の合計長T2は、前述した単位基板22の長さL3からT1を減じた値である。   Further, in each long side 22A, the total length of the edge 62A is shorter than the total length of the portion other than the edge 62A. Specifically, the total length T1 of the edge 62A is M1 × N1, where the length of one edge 62A is M1 and the number of edges 62A is N1. On the other hand, the total length T2 of the portion other than the edge 62A is a value obtained by subtracting T1 from the length L3 of the unit substrate 22 described above.

さらに、夫々のLEDアレイ24は、装置奥行方向に延びる長尺とされ、単位基板22の長手方向に沿って千鳥状に配置されている。また、夫々のLEDアレイ24は、その長手方向に並ぶ複数のLED24A(Light Emitting Diode)を備えている。   Further, each LED array 24 is elongated in the apparatus depth direction, and is arranged in a staggered manner along the longitudinal direction of the unit substrate 22. Each LED array 24 includes a plurality of LEDs 24A (Light Emitting Diode) arranged in the longitudinal direction.

〔レンズアレイ〕
レンズアレイ40は、光学部品の一例であって、図6、図7に示されるように、個片基板20と感光体ドラム12との間に配置され、装置奥行方向に延びる直方体状とされている。
[Lens Array]
The lens array 40 is an example of an optical component. As shown in FIGS. 6 and 7, the lens array 40 is disposed between the individual substrate 20 and the photosensitive drum 12 and has a rectangular parallelepiped shape extending in the apparatus depth direction. Yes.

〔筐体〕
筐体30は、感光体ドラム12に対向して配置され、装置奥行方向から見て、台形形状とされ、装置奥行方向に延びている。
[Case]
The housing 30 is disposed so as to face the photosensitive drum 12, has a trapezoidal shape when viewed from the apparatus depth direction, and extends in the apparatus depth direction.

また、筐体30には、図6、図7に示されるように、装置上下方向に貫通し、装置奥行方向に延びる孔32が形成されている。そして、孔32において感光体ドラム12側の部分で、レンズアレイ40を装置幅方向から挟み込むことで、筐体30は、レンズアレイ40を支持している。   Further, as shown in FIGS. 6 and 7, a hole 32 that penetrates in the vertical direction of the apparatus and extends in the depth direction of the apparatus is formed in the housing 30. The housing 30 supports the lens array 40 by sandwiching the lens array 40 from the device width direction at the portion of the hole 32 on the photosensitive drum 12 side.

具体的には、孔32を構成すると共に、装置幅方向に対向する一対の側面30Aと、レンズアレイ40において装置幅方向を向く一対の側面40Aとを接触させることで、レンズアレイ40は、筐体30に位置決めされ、挟み込まれるようになっている。   Specifically, the lens array 40 is formed by contacting the pair of side surfaces 30A facing the device width direction and the pair of side surfaces 40A facing the device width direction in the lens array 40 while forming the holes 32. The body 30 is positioned and sandwiched.

さらに、筐体30において感光体ドラム12とは反対側の部分には、凹状の凹部34が形成されている。そして、この凹部34で、個片基板20を挟み込むことで、筐体30は、個片基板20を支持している。本実施例では、筐体30の凹部34の装置幅方向の長さL7は、単位基板22の装置幅方向の長さL4(図1参照)と同様とされている。   Further, a concave portion 34 is formed in a portion of the housing 30 opposite to the photosensitive drum 12. The casing 30 supports the individual substrate 20 by sandwiching the individual substrate 20 with the recess 34. In this embodiment, the length L7 of the recess 34 of the housing 30 in the device width direction is the same as the length L4 of the unit substrate 22 in the device width direction (see FIG. 1).

具体的には、凹部34を構成すると共に、装置幅方向に対向する一対の側面34Aと、個片基板20を構成する単位基板22の凸部62の縁62Aとを接触させることで、装置幅方向において、個片基板20は、筐体30に位置決めされ、挟み込まれるようになっている(詳細は後述する)。   Specifically, the width of the device is determined by contacting the pair of side surfaces 34A facing the device width direction with the edge 62A of the convex portion 62 of the unit substrate 22 constituting the individual substrate 20 while forming the recess 34. In the direction, the individual substrate 20 is positioned and sandwiched by the housing 30 (details will be described later).

この状態で、個片基板20のLEDアレイ24と、感光体ドラム12との間に、レンズアレイ40が配置されている。   In this state, the lens array 40 is disposed between the LED array 24 of the individual substrate 20 and the photosensitive drum 12.

(露光装置の作用)
次に、露光装置10の作用について説明する。
(Operation of exposure equipment)
Next, the operation of the exposure apparatus 10 will be described.

露光装置10のLEDアレイ24は、外部から入力された画像データに基づいて、図6に示されるように、レンズアレイ40に向けて、レーザ光を出射する。そして、レンズアレイ40は、LEDアレイ24から出射されたレーザ光を透過し、帯電した感光体ドラム12上に結像する。これにより、感光体ドラム12上には、画像データに基づいた静電潜像が形成される。   The LED array 24 of the exposure apparatus 10 emits laser light toward the lens array 40 as shown in FIG. 6 based on image data input from the outside. The lens array 40 transmits the laser light emitted from the LED array 24 and forms an image on the charged photosensitive drum 12. As a result, an electrostatic latent image based on the image data is formed on the photosensitive drum 12.

(製造方法)
次に、個片基板の製造方法、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法について説明する。なお、図1〜図5に示す矢印Xは、各基板(後述する大型基板90、及び単位基板22)の基板長手方向、矢印Yは、各基板の基板幅方向を示す。また、単位基板22を説明する場合の基板長手方向は、露光装置10を説明する場合に用いた装置奥行方向(矢印D)に相当し、単位基板22を説明する場合の基板幅方向は、露光装置10を説明する場合に用いた装置幅方向(矢印W)に相当する。
(Production method)
Next, a method for manufacturing an individual substrate, a method for manufacturing an assembly, and a method for manufacturing an optical device will be described. In addition, the arrow X shown in FIGS. 1-5 shows the board | substrate longitudinal direction of each board | substrate (The large sized board | substrate 90 mentioned later and the unit board | substrate 22), and the arrow Y shows the board | substrate width direction of each board | substrate. The substrate longitudinal direction when describing the unit substrate 22 corresponds to the apparatus depth direction (arrow D) used when describing the exposure apparatus 10, and the substrate width direction when describing the unit substrate 22 is exposure. This corresponds to the apparatus width direction (arrow W) used when the apparatus 10 is described.

〔個片基板の製造方法〕
先ず、大型基板90を用いて、個片基板20(図7参照)を製造する方法について説明する。個片基板20は、準備工程と、実装工程と、切断工程とを含んだ工程によって製造される。
[Manufacturing method of individual substrate]
First, a method for manufacturing the individual substrate 20 (see FIG. 7) using the large substrate 90 will be described. The individual substrate 20 is manufactured by a process including a preparation process, a mounting process, and a cutting process.

[準備工程]
準備工程では、図5に示されるように、単位基板22を画定する複数のスリット92が形成された大型基板90を準備する。以下、具体的に大型基板90について説明する。
[Preparation process]
In the preparation step, as shown in FIG. 5, a large substrate 90 in which a plurality of slits 92 that define the unit substrate 22 is formed is prepared. Hereinafter, the large substrate 90 will be specifically described.

大型基板90は、複数の単位基板22(図1参照)が形成されている基板であって、板厚方向から見て、基板長手方向に延びる矩形状とされている。なお、本実施形態では、一例として、大型基板90の基板長手方向の長さ(図5のL1)は、320〔mm〕であって、大型基板90の基板幅方向の長さ(図5のL2)は、95〔mm〕である。   The large substrate 90 is a substrate on which a plurality of unit substrates 22 (see FIG. 1) are formed, and has a rectangular shape extending in the longitudinal direction of the substrate when viewed from the thickness direction. In the present embodiment, as an example, the length of the large substrate 90 in the substrate longitudinal direction (L1 in FIG. 5) is 320 [mm], and the length of the large substrate 90 in the substrate width direction (in FIG. 5). L2) is 95 [mm].

そして、大型基板90には、夫々の単位基板22の外形を画定する複数のスリット92と、夫々の単位基板22に形成された配線パターン26と、LEDアレイ24を単位基板22に実装するときに基準となる長孔28とが形成されている。また、大型基板90の外周部分で、複数の単位基板22を囲む部分は、捨て基板96とされている。   When mounting the LED array 24 on the unit substrate 22, the plurality of slits 92 defining the outer shape of each unit substrate 22, the wiring pattern 26 formed on each unit substrate 22, and the LED array 24 are mounted on the large substrate 90. A reference long hole 28 is formed. A portion surrounding the plurality of unit substrates 22 in the outer peripheral portion of the large substrate 90 is a discarded substrate 96.

さらに、大型基板90の捨て基板96において、基板長手方向の他方(図中下方)の部分で、基板幅方向の両端部には、円形の孔98が形成されている。   Further, in the discarded substrate 96 of the large substrate 90, circular holes 98 are formed at both ends in the substrate width direction on the other side (downward in the drawing) in the substrate longitudinal direction.

また、スリット92は、単位基板22の基板幅方向を画定する、基板長手方向に延びたスリット92Aと、単位基板22の基板長手方向を画定する、基板幅方向に延びたスリット92Bとに分けられる。スリット92Aは、切込みの一例である。   The slit 92 is divided into a slit 92A extending in the substrate longitudinal direction that defines the substrate width direction of the unit substrate 22, and a slit 92B extending in the substrate width direction that defines the substrate longitudinal direction of the unit substrate 22. . The slit 92A is an example of a cut.

このスリット92Aは、基板長手方向に間隔を空けて複数形成されている。さらに、基板長手方向に間隔を空けて形成されたスリット92Aが、基板幅方向に間隔を空けて複数形成されている。スリット92Bは、単位基板22の長手方向の一辺を画定する一対のスリット92Aの間に形成されている。   A plurality of slits 92A are formed at intervals in the longitudinal direction of the substrate. Further, a plurality of slits 92A formed at intervals in the substrate longitudinal direction are formed at intervals in the substrate width direction. The slit 92B is formed between a pair of slits 92A that define one side of the unit substrate 22 in the longitudinal direction.

そして、夫々のスリット92Aとスリット92Aとの間が、隣り合う単位基板22を連結する連結片94A、又は単位基板22と捨て基板96とを連結する連結片94Aとされている。換言すれば、単位基板22と他の基板とが、基板幅方向で連結片94Aによって連結されている。ここで、「他の基板」とは、単位基板として使用される基板や、単位基板とは異なる用途で使われる基板、また基板として使用されずに破棄される基板である。   Between each of the slits 92 </ b> A, a connecting piece 94 </ b> A that connects the adjacent unit substrates 22 or a connecting piece 94 </ b> A that connects the unit substrate 22 and the discard substrate 96 is used. In other words, the unit substrate 22 and the other substrate are connected by the connecting piece 94A in the substrate width direction. Here, the “other substrate” is a substrate used as a unit substrate, a substrate used in a different application from the unit substrate, or a substrate discarded without being used as a substrate.

さらに、スリット92Aとスリット92Bとの間が、単位基板22と捨て基板96とを連結する連結片94Bとされている。なお、大型基板90に形成されたスリット92Aの幅(図2のL5)は、0.8〔mm〕であって、隣り合うスリット92Aの間の連結片94Aの長さ(図2のL6)は、0.8〔mm〕である。   Further, a connecting piece 94B that connects the unit substrate 22 and the discard substrate 96 is formed between the slit 92A and the slit 92B. The width of the slit 92A formed in the large substrate 90 (L5 in FIG. 2) is 0.8 [mm], and the length of the connecting piece 94A between the adjacent slits 92A (L6 in FIG. 2). Is 0.8 [mm].

ここで、スリット92Aは、複数形成されている。これによって、連結片94Aは、基板長手方向に間隔を空けて並んで、複数形成されている。本実施形態では、連結片94Aは、基板長手方向に間隔を空けて並んで、4個形成されている。   Here, a plurality of slits 92A are formed. As a result, a plurality of connecting pieces 94A are formed side by side in the longitudinal direction of the substrate at intervals. In the present embodiment, four connecting pieces 94A are formed side by side in the longitudinal direction of the substrate at intervals.

また、基板長手方向において最も一方側(図中上側)に形成されている連結片94Aは、基板長手方向において、単位基板22の一端部に形成されている。さらに、基板長手方向において最も他方側(図中下側)に形成されている連結片94Aは、基板長手方向において、単位基板22の他端部に形成されている。   Further, the connecting piece 94A formed on the most one side (upper side in the figure) in the substrate longitudinal direction is formed at one end of the unit substrate 22 in the substrate longitudinal direction. Furthermore, the connecting piece 94A formed on the other side (lower side in the drawing) in the substrate longitudinal direction is formed at the other end of the unit substrate 22 in the substrate longitudinal direction.

また、連結片94Aを後述する切断工程で切断することで、単位基板22の基板幅方向の端部に凸部62(図1参照)が形成されるようになっている。そして、前述したように、凸部62の縁62Aの合計長さが、縁62A以外の部分の合計長さと比して短くされるように、スリット92A、及び連結片94Aの基板長手方向の長さが決められている。   Further, by cutting the connecting piece 94A in a cutting process described later, a convex portion 62 (see FIG. 1) is formed at the end of the unit substrate 22 in the substrate width direction. As described above, the length of the slit 92A and the connecting piece 94A in the substrate longitudinal direction is such that the total length of the edge 62A of the convex portion 62 is shorter than the total length of the portion other than the edge 62A. Is decided.

また、配線パターン26は、単位基板22に夫々形成されており、基板長手方向に延びている。さらに、長孔28は、夫々の配線パターン26を基板長手方向から挟むように、夫々の単位基板22に対して2個形成されている。   The wiring patterns 26 are respectively formed on the unit substrate 22 and extend in the substrate longitudinal direction. Further, two long holes 28 are formed on each unit substrate 22 so as to sandwich each wiring pattern 26 from the longitudinal direction of the substrate.

[実装工程]
実装工程では、大型基板90に形成されているN個の単位基板22に、図4に示されるように、複数のLEDアレイ24を夫々実装する。
[Mounting process]
In the mounting process, a plurality of LED arrays 24 are mounted on N unit substrates 22 formed on the large substrate 90, as shown in FIG.

具体的には、夫々の単位基板22に形成された長孔28を基準に、夫々の単位基板22にLEDアレイ24を実装する。例えば、撮像装置によって撮像された長孔28を含む画像から、1個の単位基板22に形成された2個の長孔28の中心位置を夫々検出する。そして、2個の長孔28の中心位置を基準にして、基準とされた長孔28が形成された単位基板22に、LEDアレイ24を千鳥状に実装する。   Specifically, the LED array 24 is mounted on each unit substrate 22 with reference to the long hole 28 formed in each unit substrate 22. For example, the center positions of the two long holes 28 formed in one unit substrate 22 are detected from an image including the long holes 28 imaged by the imaging device. Then, with reference to the center position of the two long holes 28, the LED arrays 24 are mounted in a staggered manner on the unit substrate 22 on which the long holes 28 are formed as a reference.

前述したように、大型基板90には、N個の単位基板22が形成されている。このため、2個の長孔28の中心位置をN回検出し、検出する毎に、基準とされた長孔28が形成された単位基板22に、LEDアレイ24を実装する。   As described above, the N unit substrates 22 are formed on the large substrate 90. For this reason, the center position of the two long holes 28 is detected N times, and each time it is detected, the LED array 24 is mounted on the unit substrate 22 on which the reference long holes 28 are formed.

[切断工程]
切断工程では、所謂打ち抜き工法によって、連結片94A、94Bを打ち抜き、N個の個片基板20を大型基板90から切り出す(図1参照)。
[Cutting process]
In the cutting step, the connecting pieces 94A and 94B are punched out by a so-called punching method, and N pieces of the substrate 20 are cut out from the large substrate 90 (see FIG. 1).

先ず、大型基板90に形成された2個の孔98(図4参照)にパンチ台に固定されたピンを夫々差し込んで、大型基板90をパンチ台に載せる。このように、孔98を用いて、大型基板90をパンチ台に位置決めする。   First, the pins fixed to the punch table are respectively inserted into the two holes 98 (see FIG. 4) formed in the large substrate 90, and the large substrate 90 is placed on the punch table. In this way, the large substrate 90 is positioned on the punch base using the hole 98.

さらに、図3に示されるように、連結片94Aにおいて、スリット92Aの中心線Cを中心に幅0.4〔mm〕の部分(図中斜線部分)を、パンチで打ち抜く。   Further, as shown in FIG. 3, in the connecting piece 94A, a portion having a width of 0.4 [mm] centered on the center line C of the slit 92A (shaded portion in the figure) is punched out.

これにより、図1、図2に示されるように、単位基板22を形成する一対の長辺22Aには、凸部62が夫々4個形成され、短辺22Bには、凸部64が夫々2個形成される。   Accordingly, as shown in FIGS. 1 and 2, four convex portions 62 are formed on each of the pair of long sides 22A forming the unit substrate 22, and two convex portions 64 are formed on each of the short sides 22B. Individually formed.

そして、前述したように、基板長手方向において最も一端側に形成されている凸部62は、単位基板22の基板長手方向の一端部に形成されている。また、基板長手方向において最も他端側に形成されている凸部62は、単位基板22の基板長手方向の他端部に形成されている。   As described above, the convex portion 62 formed on the most end side in the substrate longitudinal direction is formed on one end portion of the unit substrate 22 in the substrate longitudinal direction. Further, the convex portion 62 formed on the most other end side in the substrate longitudinal direction is formed on the other end portion of the unit substrate 22 in the substrate longitudinal direction.

さらに、前述したように、長辺22Aに形成された凸部62の縁62Aは、単位基板22(個片基板20)の基板幅方向の最外部を構成している。また、基板長手方向に並ぶ凸部62の縁62Aは、上方(板厚方向)から見て、直線上に配置されている。   Furthermore, as described above, the edge 62A of the convex portion 62 formed on the long side 22A constitutes the outermost part in the substrate width direction of the unit substrate 22 (the individual substrate 20). Further, the edges 62A of the convex portions 62 arranged in the longitudinal direction of the substrate are arranged on a straight line when viewed from above (the plate thickness direction).

さらに、前述したように、夫々の長辺22Aにおいて、縁62Aの合計長さは、縁62A以外の部分の合計長さと比して短くされている。   Furthermore, as described above, in each long side 22A, the total length of the edge 62A is shorter than the total length of the portion other than the edge 62A.

このようにして、大型基板90から個片基板20が製造される。   In this way, the individual substrate 20 is manufactured from the large substrate 90.

〔組立体の製造方法、光学装置の製造方法〕
次に、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法について、個片基板20を用いて露光装置10(図6参照)を製造する工程によって説明する。露光装置10は、第一位置決め工程と、第一取付工程と、第二位置決め工程と、第二取付工程とによって製造される。
[Manufacturing method of assembly, manufacturing method of optical device]
Next, an assembly manufacturing method and an optical device manufacturing method will be described with reference to a process of manufacturing the exposure apparatus 10 (see FIG. 6) using the individual substrate 20. The exposure apparatus 10 is manufactured by a first positioning process, a first mounting process, a second positioning process, and a second mounting process.

[第一位置決め工程]
第一位置決め工程では、図6に示されるように、筐体30に形成された凹部34に個片基板20を位置決めする。具体的には、凹部34を構成する一対の側面34Aに、単位基板22の一対の長辺22A(図1参照)に形成された凸部62の縁62Aを夫々突き当てる(接触させる)。そして、凹部34に個片基板20を嵌め込み、個片基板20の板面を、凹部34の底面34Bに接触させる。
[First positioning process]
In the first positioning step, as shown in FIG. 6, the individual substrate 20 is positioned in the recess 34 formed in the housing 30. Specifically, the edges 62 </ b> A of the convex portions 62 formed on the pair of long sides 22 </ b> A (see FIG. 1) of the unit substrate 22 are abutted (contacted) with the pair of side surfaces 34 </ b> A constituting the concave portion 34. Then, the individual substrate 20 is fitted into the recess 34, and the plate surface of the individual substrate 20 is brought into contact with the bottom surface 34 </ b> B of the recess 34.

このようにして、個片基板20を筐体30に位置決めする。   In this way, the individual substrate 20 is positioned on the housing 30.

[第一取付工程]
第一取付工程では、筐体30に位置決めされた個片基板20の周縁と、凹部34の側面34Aとに接着剤(図示省略)を塗布し、個片基板20を筐体30に取り付ける。
[First installation process]
In the first attachment step, an adhesive (not shown) is applied to the peripheral edge of the individual substrate 20 positioned in the housing 30 and the side surface 34 </ b> A of the recess 34, and the individual substrate 20 is attached to the housing 30.

[第二位置決め工程]
第二位置決め工程では、筐体30に形成された孔32において、装置上下方向の上方側の部分で、レンズアレイ40を装置幅方向から挟み込む。
[Second positioning process]
In the second positioning step, the lens array 40 is sandwiched from the device width direction in the upper portion of the device vertical direction in the hole 32 formed in the housing 30.

具体的には、筐体30において装置幅方向を向く一対の側面30Aと、レンズアレイ40において装置幅方向を向く一対の側面40Aとを接触させる。これにより、個片基板20のLEDアレイ24と、レンズアレイ40とを対向させる。   Specifically, a pair of side surfaces 30A facing the device width direction in the housing 30 and a pair of side surfaces 40A facing the device width direction in the lens array 40 are brought into contact with each other. As a result, the LED array 24 of the individual substrate 20 and the lens array 40 are made to face each other.

このようにして、レンズアレイ40を筐体30に位置決めする。   In this way, the lens array 40 is positioned on the housing 30.

[第二取付工程]
第二取付工程では、レンズアレイ40の周縁と、筐体30とに接着剤(図示省略)を塗布し、レンズアレイ40を筐体30に取り付ける。
[Second mounting process]
In the second attachment step, an adhesive (not shown) is applied to the periphery of the lens array 40 and the housing 30 to attach the lens array 40 to the housing 30.

(まとめ)
以上説明したように、切断工程では、連結片94A、94Bを打ち抜くことで、単位基板22を形成する一対の長辺22Aには、凸部62が夫々4個形成される。そして、長辺22Aに形成された凸部62の縁62Aは、単位基板22(個片基板20)の基板幅方向の最外部を構成している。これにより、大型基板90に形成されたスリット92Aの位置精度に依存することなく、個片基板20の幅寸法(図1のL4)の精度が管理される。
(Summary)
As described above, in the cutting step, four protrusions 62 are formed on each of the pair of long sides 22A forming the unit substrate 22 by punching the connecting pieces 94A and 94B. And the edge 62A of the convex part 62 formed in 22 A of long sides comprises the outermost part of the board | substrate width direction of the unit board | substrate 22 (individual board | substrate 20). Thus, the accuracy of the width dimension (L4 in FIG. 1) of the individual substrate 20 is managed without depending on the positional accuracy of the slit 92A formed in the large substrate 90.

また、切断工程では、連結片94A、94Bを打ち抜くことで、単位基板22の一個の長辺22Aに形成されている4個の凸部の縁62Aは、上方(板厚方向)から見て、直線上に配置される。これにより、一個の長辺に1個の凸部が形成されている場合と比して、上方から見て、個片基板20が凹部34の側面34Aに対して傾くのが抑制され、個片基板20の筐体30に対する位置決め精度が向上する。   Further, in the cutting step, by cutting out the connecting pieces 94A and 94B, the four protrusion edges 62A formed on one long side 22A of the unit substrate 22 are viewed from above (in the plate thickness direction). Arranged on a straight line. Thereby, compared with the case where one convex part is formed in one long side, it is suppressed that the piece board | substrate 20 inclines with respect to the side surface 34A of the recessed part 34 seeing from upper direction, and a piece. The positioning accuracy of the substrate 20 with respect to the housing 30 is improved.

また、切断工程では、連結片94A、94Bを打ち抜くことで、夫々の長辺22Aにおいて、縁62Aの合計長さは、縁62A以外の部分の合計長さと比して短くなる。このため、縁62Aの合計長さが縁62A以外の部分の合計長さに対して長い場合と比して、個片基板20の幅寸法の精度が向上する。   In the cutting step, the connecting pieces 94A and 94B are punched out so that the total length of the edge 62A is shorter than the total length of the portions other than the edge 62A in each of the long sides 22A. For this reason, compared with the case where the total length of edge 62A is long with respect to the total length of parts other than edge 62A, the precision of the width dimension of the board | substrate 20 improves.

また、準備工程では、単位基板22の基板幅方向の両側に、連結片94Aが形成されている大型基板90を準備し、切断工程では、単位基板22の基板幅方向の両側の連結片94Aを打ち抜く。これにより、単位基板22の基板幅方向の両側の凸部62が、単位基板22の基板幅方向の最外部を構成する。このため、例えば、単位基板22の基板幅方向の片側のみに、連結片94Aが形成されている場合と比して、切断工程での連結片94Aの打ち抜き精度を向上させることで単位基板22(個片基板20)の幅寸法の精度が効果的に向上する。   In the preparation step, large substrates 90 having connection pieces 94A formed on both sides of the unit substrate 22 in the substrate width direction are prepared. In the cutting step, connection pieces 94A on both sides of the unit substrate 22 in the substrate width direction are prepared. Punch out. Thus, the convex portions 62 on both sides of the unit substrate 22 in the substrate width direction constitute the outermost part of the unit substrate 22 in the substrate width direction. For this reason, for example, compared with the case where the connection piece 94A is formed only on one side of the unit substrate 22 in the substrate width direction, the unit substrate 22 ( The accuracy of the width dimension of the individual substrate 20) is effectively improved.

組立体の製造方法としては、個片基板20を用いることで、個片基板20が筐体30に精度良く位置決めされる。   As an assembly manufacturing method, by using the individual substrate 20, the individual substrate 20 is accurately positioned on the housing 30.

光学装置の製造方法としては、個片基板20を用いることで、個片基板20が筐体30を介してレンズアレイ40に精度良く位置決めされる。   As an optical device manufacturing method, the individual substrate 20 is used, and the individual substrate 20 is accurately positioned on the lens array 40 via the housing 30.

<第2実施形態>
本発明の第2実施形態に係る個片基板の製造方法、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法の一例を図8に従って説明する。なお、第2実施形態については、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。
Second Embodiment
An example of a method for manufacturing an individual substrate, a method for manufacturing an assembly, and a method for manufacturing an optical device according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about 2nd Embodiment, a different part from 1st Embodiment is mainly demonstrated.

準備工程では、第1実施形態と同様の大型基板90(図5参照)を準備する。   In the preparation step, a large substrate 90 (see FIG. 5) similar to that of the first embodiment is prepared.

また、切断工程では、第1実施形態とは異なるパンチ型を用いて連結片94A、94Bを打ち抜くことで、図8に示されるように、個片基板120を構成する単位基板122の一対の長辺122Aに、凸部62と、凸部66とが夫々2個ずつ形成される。   Further, in the cutting process, the connecting pieces 94A and 94B are punched out by using a punch die different from that of the first embodiment, so that a pair of lengths of the unit substrate 122 constituting the individual substrate 120 is obtained as shown in FIG. Two projections 62 and two projections 66 are formed on each side 122A.

凸部62及び凸部66は、基板長手方向に間隔を空けて配置されており、単位基板122の基板長手方向の両端部には、凸部62が形成されている。そして、単位基板122の両端部に形成された凸部62に挟まれるように、2個の凸部66が基板長手方向に間隔を空けて配置されている。   The convex part 62 and the convex part 66 are arranged at intervals in the substrate longitudinal direction, and the convex part 62 is formed at both ends of the unit substrate 122 in the substrate longitudinal direction. And the two convex parts 66 are arrange | positioned at intervals in the board | substrate longitudinal direction so that it may be pinched | interposed into the convex part 62 formed in the both ends of the unit board | substrate 122. FIG.

さらに、凸部66において基板幅方向の外側の縁66Aは、凸部62の縁62Aと比して、基板幅方向の内側に位置している。つまり、長辺122Aに形成された凸部62の縁62Aが、単位基板122の基板幅方向の最外部を構成している。   Furthermore, the outer edge 66 </ b> A in the substrate width direction of the convex portion 66 is located on the inner side in the substrate width direction as compared with the edge 62 </ b> A of the convex portion 62. That is, the edge 62A of the convex part 62 formed on the long side 122A constitutes the outermost part of the unit substrate 122 in the substrate width direction.

以上説明したように、準備工程では、第1実施形態と同様の大型基板90を準備する。つまり、切断工程の前において、単位基板122の曲げ剛性は、第1実施形態の単位基板22の曲げ剛性と比して、同等となっている。   As described above, in the preparation step, the same large substrate 90 as that in the first embodiment is prepared. That is, before the cutting step, the bending rigidity of the unit substrate 122 is equal to the bending rigidity of the unit substrate 22 of the first embodiment.

また、単位基板122の基板長手方向の両端部のみに、単位基板122の基板幅方向の最外部を構成している凸部62が形成されている。このため、長辺122Aに形成された凸部が、全て基板幅方向の最外部を構成している単位基板22と比して、基板幅方向における最外部の位置ばらつき等で、基板長手方向の中央側の凸部が、基板幅方向の最外部となってしまうのが抑制される。   In addition, convex portions 62 constituting the outermost part of the unit substrate 122 in the substrate width direction are formed only at both ends of the unit substrate 122 in the substrate longitudinal direction. For this reason, the convex portions formed on the long side 122A are all in the substrate longitudinal direction due to positional variations of the outermost portion in the substrate width direction as compared with the unit substrate 22 that constitutes the outermost portion in the substrate width direction. It is suppressed that the central convex portion becomes the outermost part in the substrate width direction.

また、基板長手方向の中央側の凸部が、基板幅方向の最外部となってしまうのが抑制されることで、個片基板120が凹部34の側面34Aに対して傾くのが抑制され、個片基板120の筐体30に対する位置決め精度が向上する。   Further, by suppressing the convex portion on the center side in the substrate longitudinal direction from becoming the outermost part in the substrate width direction, the individual substrate 120 is suppressed from being inclined with respect to the side surface 34A of the concave portion 34, The positioning accuracy of the individual substrate 120 with respect to the housing 30 is improved.

換言すると、第2実施形態に係る個片基板の製造方法では、長辺22Aに形成された凸部が、全て基板幅方向の最外部を構成し、かつ、基板幅方向において最外部の位置がばらついてしまう場合と比して、切断工程の前の単位基板122の曲げ剛性を同等とした上で、筐体30に対する位置決め精度が向上する。   In other words, in the individual substrate manufacturing method according to the second embodiment, all the convex portions formed on the long side 22A constitute the outermost part in the substrate width direction, and the outermost position in the substrate width direction is Compared with the case where it varies, the positioning accuracy with respect to the housing 30 is improved while the bending rigidity of the unit substrate 122 before the cutting step is made equal.

他の作用については、第1実施形態と同様である。   Other operations are the same as those in the first embodiment.

<第3実施形態>
本発明の第3実施形態に係る個片基板の製造方法、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法の一例を図9、図10に従って説明する。なお、第3実施形態については、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。
<Third Embodiment>
An example of a method for manufacturing an individual substrate, a method for manufacturing an assembly, and a method for manufacturing an optical device according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about 3rd Embodiment, a different part from 1st Embodiment is mainly demonstrated.

準備工程では、図10に示されるように、連結片94Aが、単位基板172の基板長手方向の両端部のみに形成されている大型基板190を準備する。つまり、大型基板190において、基板長手方向に延びたスリット192Aの個数は、第1実施形態の大型基板90のスリット92Aの個数と比して少ない。   In the preparation step, as shown in FIG. 10, a large substrate 190 is prepared in which connecting pieces 94 </ b> A are formed only at both ends of the unit substrate 172 in the substrate longitudinal direction. That is, in the large substrate 190, the number of slits 192A extending in the longitudinal direction of the substrate is smaller than the number of slits 92A in the large substrate 90 of the first embodiment.

また、切断工程では、連結片94A、94Bを打ち抜くことで、図9に示されるように、個片基板170を構成する単位基板172の一対の長辺172Aに、凸部62が夫々2個ずつ形成される。そして、凸部62は、単位基板172の基板長手方向の両端部のみに形成される。   Further, in the cutting step, by cutting out the connecting pieces 94A and 94B, two protrusions 62 are provided on each of the pair of long sides 172A of the unit substrate 172 constituting the individual substrate 170 as shown in FIG. It is formed. And the convex part 62 is formed only in the both ends of the board | substrate longitudinal direction of the unit board | substrate 172. FIG.

以上説明したように、凸部62は基板長手方向において、単位基板172の両端部のみに形成されている。このため、例えば、凸部が基板長手方向において、単位基板の中央部のみに形成されている場合と比して、個片基板170が凹部34の側面34Aに対して傾くのが抑制され、個片基板170の筐体30に対する位置決め精度が向上する。   As described above, the protrusions 62 are formed only at both ends of the unit substrate 172 in the substrate longitudinal direction. For this reason, for example, as compared with the case where the convex portion is formed only in the central portion of the unit substrate in the longitudinal direction of the substrate, the individual substrate 170 is suppressed from being inclined with respect to the side surface 34A of the concave portion 34. The positioning accuracy of the single substrate 170 with respect to the housing 30 is improved.

他の作用については、第1実施形態と同様である。   Other operations are the same as those in the first embodiment.

<第4実施形態>
本発明の第4実施形態に係る個片基板の製造方法、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法の一例を図11、図12に従って説明する。なお、第4実施形態については、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。
<Fourth embodiment>
An example of a method for manufacturing an individual substrate, a method for manufacturing an assembly, and a method for manufacturing an optical device according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about 4th Embodiment, a different part from 1st Embodiment is mainly demonstrated.

準備工程では、図12に示されるように、単位基板222が1個のみ形成されている大型基板240を準備する。   In the preparation step, as shown in FIG. 12, a large substrate 240 on which only one unit substrate 222 is formed is prepared.

大型基板240は、基板長手方向に延びる矩形状とされており、基板長手方向に延びる一対の外縁240Aと、基板幅方向に延びる一対の外縁240Bとを有している。そして、大型基板240には、単位基板222の基板幅方向を画定する、基板長手方向に延びたスリット192Aが、単位基板222の両側に、1個ずつ形成されている。スリット192Aは、切込みの一例である。   The large substrate 240 has a rectangular shape extending in the substrate longitudinal direction, and has a pair of outer edges 240A extending in the substrate longitudinal direction and a pair of outer edges 240B extending in the substrate width direction. In the large substrate 240, slits 192 </ b> A that define the substrate width direction of the unit substrate 222 and extend in the substrate longitudinal direction are formed on each side of the unit substrate 222. The slit 192A is an example of a cut.

また、夫々のスリット192Aと夫々の外縁240Bとの間が、捨て基板196と単位基板222を連結する連結片194とされている。   Further, a connecting piece 194 that connects the discarded substrate 196 and the unit substrate 222 is formed between each slit 192A and each outer edge 240B.

さらに、切断工程では、連結片194を打ち抜くことで、図11に示されるように、個片基板220を構成する単位基板222の一対の長辺222Aには、凸部262が夫々2個ずつ形成される。   Further, in the cutting step, by cutting out the connecting piece 194, two convex portions 262 are formed on each of the pair of long sides 222A of the unit substrate 222 constituting the individual substrate 220 as shown in FIG. Is done.

この凸部262は、単位基板222の基板長手方向の両端のみに形成されている。そして、凸部262において、基板幅方向の外側の縁262Aは、基板長手方向に延びる直線上とされ、単位基板222の幅方向の最外部を構成している。縁262Aは、切断縁の一例である。   The convex portions 262 are formed only at both ends of the unit substrate 222 in the longitudinal direction of the substrate. In the convex portion 262, an outer edge 262A in the substrate width direction is a straight line extending in the substrate longitudinal direction, and constitutes the outermost portion of the unit substrate 222 in the width direction. The edge 262A is an example of a cutting edge.

作用については、第1実施形態と同様である。   About an effect | action, it is the same as that of 1st Embodiment.

<第5実施形態>
本発明の第5実施形態に係る個片基板の製造方法、組立体の製造方法、及び光学装置の製造方法の一例を図13、図14に従って説明する。なお、第5実施形態については、第1実施形態と異なる部分を主に説明する。
<Fifth Embodiment>
An example of the individual substrate manufacturing method, the assembly manufacturing method, and the optical device manufacturing method according to the fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about 5th Embodiment, a different part from 1st Embodiment is mainly demonstrated.

準備工程では、図14に示されるように、単位基板272が1個のみ形成されている大型基板290を準備する。   In the preparation step, as shown in FIG. 14, a large substrate 290 on which only one unit substrate 272 is formed is prepared.

大型基板290は、基板長手方向に延びる矩形状とされており、基板長手方向に延びる一対の外縁290Aと、基板幅方向に延びる一対の外縁290Bとを有している。そして、大型基板290には、単位基板272の基板幅方向を画定する、基板長手方向に延びたスリット242Aが、単位基板222の基板幅方向の一方側(図中右側)のみに形成されている。スリット242Aは、切込みの一例である。   The large substrate 290 has a rectangular shape extending in the substrate longitudinal direction, and has a pair of outer edges 290A extending in the substrate longitudinal direction and a pair of outer edges 290B extending in the substrate width direction. In the large substrate 290, a slit 242A extending in the substrate longitudinal direction for defining the substrate width direction of the unit substrate 272 is formed only on one side (right side in the figure) of the unit substrate 222 in the substrate width direction. . The slit 242A is an example of a cut.

また、スリット242Aと夫々の外縁290Bとの間が、捨て基板246と単位基板272を連結する連結片244とされている。   Further, a connecting piece 244 that connects the discard substrate 246 and the unit substrate 272 is formed between the slit 242A and each outer edge 290B.

さらに、切断工程では、連結片244を打ち抜くことで、図13に示されるように、個片基板270を構成する単位基板272の基板幅方向の一方側の長辺272Aには、凸部312が2個形成される。   Further, in the cutting step, the protrusions 312 are formed on the long side 272A on one side in the substrate width direction of the unit substrate 272 constituting the individual substrate 270 by punching the connecting piece 244, as shown in FIG. Two are formed.

この凸部312は、単位基板272の長辺272Aにおいて基板長手方向の両端のみに形成されている。さらに、凸部312において、基板幅方向の外側の縁312Aは、基板長手方向に延びる直線上とされ、単位基板272の幅方向の最外部を構成している。   The convex portions 312 are formed only at both ends of the long side 272A of the unit substrate 272 in the substrate longitudinal direction. Further, in the convex portion 312, the outer edge 312 </ b> A in the substrate width direction is a straight line extending in the substrate longitudinal direction and constitutes the outermost portion in the width direction of the unit substrate 272.

また、単位基板272の基板幅方向の他方側の長辺は、大型基板290の外縁290Aで構成されている。   The long side on the other side of the unit substrate 272 in the substrate width direction is configured by an outer edge 290 </ b> A of the large substrate 290.

作用については、単位基板の基板幅方向の両側に凸部が形成されることで生じる作用以外の第1実施形態の作用と同様である。   The operation is the same as that of the first embodiment other than the operation that occurs when the convex portions are formed on both sides of the unit substrate in the substrate width direction.

なお、本発明を特定の実施形態について詳細に説明したが、本発明は係る実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内にて他の種々の実施形態をとることが可能であることは当業者にとって明らかである。例えば、上記実施形態では、スリット92A、192A、242Aは、基板の板厚方向から見て、一方向に延びていたが、スリットの形状については、他の形状であってもよく、例えば、円形状、楕円形状、多角形状等でもよい。   Although the present invention has been described in detail with respect to specific embodiments, the present invention is not limited to such embodiments, and various other embodiments can be taken within the scope of the present invention. This will be apparent to those skilled in the art. For example, in the above-described embodiment, the slits 92A, 192A, and 242A extend in one direction when viewed from the thickness direction of the substrate. However, the slit may have another shape, for example, a circle. A shape, an elliptical shape, a polygonal shape, etc. may be sufficient.

また、上記第1実施形態では、1個の長辺22Aに、基板長手方向に並ぶ連結片94Aが4個形成されたが、4個以外の数の連結片が形成されてもよい。   In the first embodiment, four connecting pieces 94A arranged in the longitudinal direction of the substrate are formed on one long side 22A. However, a number of connecting pieces other than four may be formed.

また、上記実施形態では、個片基板には発光素子が実装されていたが、例えば、個片基板を露光装置(光学装置)に用いない場合等には、発光素子を実装しなくてもよい。例えば、個片基板を露光装置に用いない一例として、発光素子以外の機能部品が実装された個片基板を演算装置や計測装置等の他の電子装置に用いてもよい。機能部品としてはコネクタ等の電子部品や位置決めピンなどの構造部品が含まれる。なお、個片基板に発光素子が実装されている場合は、上記実施形態の個片基板を筐体に位置決めすることで、筐体に対する発光素子の位置精度が高まる。また、個片基板に発光素子以外の機能部品が搭載されている場合は、筐体に対する機能部品の位置精度が高まる。   In the above embodiment, the light emitting element is mounted on the individual substrate. However, for example, when the individual substrate is not used in the exposure apparatus (optical device), the light emitting element may not be mounted. . For example, as an example in which an individual substrate is not used in an exposure apparatus, an individual substrate on which functional components other than light emitting elements are mounted may be used in another electronic device such as an arithmetic device or a measurement device. The functional parts include electronic parts such as connectors and structural parts such as positioning pins. In addition, when the light emitting element is mounted on the individual substrate, the positional accuracy of the light emitting element with respect to the housing is increased by positioning the individual substrate of the above embodiment on the housing. In addition, when a functional component other than the light emitting element is mounted on the individual substrate, the positional accuracy of the functional component with respect to the housing is increased.

また、上記実施形態では、特に説明しなかったが、組立体の製造方法としては、レンズアレイ40を筐体30に取り付けなくてもよく、個片基板20の幅方向の両端部を筐体に接触させることで、個片基板を筐体に位置決めして、取り付ければよい。   Although not specifically described in the above embodiment, as a method for manufacturing an assembly, the lens array 40 may not be attached to the housing 30, and both end portions in the width direction of the individual substrate 20 are used as the housing. The individual substrates may be positioned and attached to the housing by contacting them.

また、上記実施形態では、連結片94A、94B、194、244を所謂打ち抜き工法によって切断したが、例えば、レーザ等の他の方法によって切断してもよい。   Moreover, in the said embodiment, although connection piece 94A, 94B, 194, 244 was cut | disconnected by what is called a punching method, you may cut | disconnect by other methods, such as a laser, for example.

また、上記実施形態では、光学装置の製造方法で露光装置10を製造したが、個片基板に受光素子を実装することで、光学装置の製造方法で読取ユニット(例えば、Contact Image Sensor)を製造してもよい。   In the above embodiment, the exposure apparatus 10 is manufactured by the manufacturing method of the optical device. However, the reading unit (for example, Contact Image Sensor) is manufactured by the manufacturing method of the optical device by mounting the light receiving element on the individual substrate. May be.

また、上記実施形態の光学装置の製造方法では、筐体30に個片基板20を取り付けた後に、筐体30にレンズアレイ40を取り付けたが、筐体30にレンズアレイ40を取り付けた後に、筐体30に個片基板20を取り付けてもよい。つまり、第二位置決め工程、及び第二取付工程の後に、第一位置決め工程、及び第一取付工程を行ってもよい。   Further, in the method of manufacturing an optical device according to the above embodiment, the lens array 40 is attached to the housing 30 after the individual substrate 20 is attached to the housing 30, but after the lens array 40 is attached to the housing 30, The individual substrate 20 may be attached to the housing 30. That is, you may perform a 1st positioning process and a 1st attachment process after a 2nd positioning process and a 2nd attachment process.

10 露光装置(光学装置の一例)
20 個片基板
22 単位基板
24 LEDアレイ(発光素子の一例)
30 筐体
40 レンズアレイ(光学部品の一例)
62A 縁(切断縁の一例)
90 大型基板
92A スリット(切込みの一例)
94A 連結片
120 個片基板
122 単位基板
170 個片基板
172 単位基板
190 大型基板
192A スリット(切込みの一例)
194 連結片
220 個片基板
222 単位基板
240 大型基板
242A スリット(切込みの一例)
244 連結片
262A 縁(切断縁の一例)
270 個片基板
272 単位基板
290 大型基板
312A 縁(切断縁の一例)
10 Exposure device (an example of an optical device)
20 pieces of substrate 22 unit substrate 24 LED array (an example of light emitting element)
30 Housing 40 Lens array (an example of an optical component)
62A edge (an example of a cutting edge)
90 Large substrate 92A Slit (an example of cut)
94A Connecting piece 120 Individual substrate 122 Unit substrate 170 Individual substrate 172 Unit substrate 190 Large substrate 192A Slit (an example of cut)
194 Connection piece 220 Single substrate 222 Unit substrate 240 Large substrate 242A Slit (an example of cut)
244 connecting piece 262A edge (an example of a cutting edge)
270 Single substrate 272 Unit substrate 290 Large substrate 312A Edge (an example of a cutting edge)

Claims (9)

単位基板と他の基板とが前記単位基板の幅方向で連結片によって連結されている大型基板を準備する準備工程と、
前記連結片を切断し、切断された切断縁を前記単位基板の幅方向の最外部とする切断工程と、
を備える個片基板の製造方法。
A preparation step of preparing a large substrate in which a unit substrate and another substrate are connected by a connecting piece in the width direction of the unit substrate;
A cutting step of cutting the connecting piece and setting the cut cutting edge as the outermost part in the width direction of the unit substrate;
A method of manufacturing an individual substrate comprising:
前記連結片は、前記幅方向に対して交差する交差方向に並んで複数形成されており、
前記切断工程では、前記単位基板の板厚方向から見て、前記切断縁が直線上に配置されるように、複数の前記連結片を切断する請求項1に記載の個片基板の製造方法。
A plurality of the connecting pieces are formed side by side in the intersecting direction intersecting the width direction,
2. The method of manufacturing an individual substrate according to claim 1, wherein in the cutting step, the plurality of connecting pieces are cut such that the cutting edges are arranged on a straight line when viewed from the thickness direction of the unit substrate.
前記切断工程では、前記幅方向に対して交差する交差方向において、前記切断縁の合計長さが、前記切断縁以外の部分の合計長さと比して短くなるように前記連結片を切断する請求項1又は2に記載の個片基板の製造方法。   In the cutting step, the connecting piece is cut so that a total length of the cutting edges is shorter than a total length of portions other than the cutting edges in a crossing direction intersecting the width direction. Item 3. A method for producing an individual substrate according to Item 1 or 2. 前記準備工程では、前記幅方向に対して交差する交差方向において、前記単位基板の両端部のみに前記連結片が形成されている前記大型基板を準備する請求項1〜3の何れか1項に記載の個片基板の製造方法。   In the said preparation process, the said large sized board in which the said connection piece is formed only in the both ends of the said unit board | substrate in the crossing direction which cross | intersects with respect to the said width direction is prepared. The manufacturing method of the separate board | substrate of description. 前記連結片は、前記幅方向に対して交差する交差方向に並んで3個以上形成されており、
前記切断工程では、前記交差方向において、前記連結片の並び方向の両端部の前記連結片の切断縁が、前記単位基板の幅方向の最外部を構成するように前記連結片を切断する請求項1〜3の何れか1項に記載の個片基板の製造方法。
Three or more of the connecting pieces are formed side by side in the intersecting direction intersecting the width direction,
In the cutting step, in the intersecting direction, the connecting pieces are cut so that cutting edges of the connecting pieces at both ends in the arrangement direction of the connecting pieces constitute the outermost part in the width direction of the unit substrate. The manufacturing method of the separate board | substrate of any one of 1-3.
前記準備工程では、前記単位基板の前記幅方向の両側に、前記連結片が形成されている前記大型基板を準備する請求項1から5の何れか1項に記載の個片基板の製造方法。   6. The method for manufacturing an individual substrate according to claim 1, wherein, in the preparation step, the large substrate on which the connecting pieces are formed on both sides of the unit substrate in the width direction is prepared. 前記準備工程と、前記切断工程との間には、発光素子又は受光素子を前記単位基板に実装する実装工程を備える請求項1から6の何れか1項に記載の個片基板の製造方法。   The method for manufacturing an individual substrate according to any one of claims 1 to 6, further comprising a mounting step of mounting a light emitting element or a light receiving element on the unit substrate between the preparation step and the cutting step. 請求項1から7の何れか1項に記載の個片基板の製造方法で製造された個片基板の切断縁を筐体に接触させることで、前記筐体に前記個片基板を位置決めする位置決め工程と、
位置決め状態の前記個片基板を前記筐体に取り付ける取付工程と、
を備える組立体の製造方法。
Positioning for positioning the individual substrate on the housing by bringing a cutting edge of the individual substrate manufactured by the method for manufacturing an individual substrate according to any one of claims 1 to 7 into contact with the housing. Process,
An attaching step for attaching the individual substrate in a positioned state to the housing;
A method of manufacturing an assembly comprising:
請求項7に記載の個片基板の製造方法で製造された個片基板の切断縁を筐体に接触させることで、前記筐体に前記個片基板を位置決めする第一位置決め工程と、
位置決め状態の前記個片基板を前記筐体に取り付ける第一取付工程と、
前記第一位置決め工程で位置決めされる前記発光素子又は前記受光素子と、光学部品とが対向するように前記筐体に前記光学部品を位置決めする第二位置決め工程と、
位置決め状態の前記光学部品を前記筐体に取り付ける第二取付工程と、
を備える光学装置の製造方法。
A first positioning step of positioning the individual substrate on the housing by bringing a cutting edge of the individual substrate manufactured by the method of manufacturing an individual substrate according to claim 7 into contact with the housing;
A first attachment step of attaching the individual substrate in a positioning state to the housing;
A second positioning step of positioning the optical component in the housing such that the light emitting element or the light receiving element positioned in the first positioning step and the optical component face each other;
A second attachment step of attaching the optical component in a positioning state to the housing;
An optical device manufacturing method comprising:
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