JP2018146430A - ガス漏れ試験装置およびその方法 - Google Patents
ガス漏れ試験装置およびその方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2018146430A JP2018146430A JP2017042708A JP2017042708A JP2018146430A JP 2018146430 A JP2018146430 A JP 2018146430A JP 2017042708 A JP2017042708 A JP 2017042708A JP 2017042708 A JP2017042708 A JP 2017042708A JP 2018146430 A JP2018146430 A JP 2018146430A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sniffer probe
- gas
- movement
- gas leak
- follower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
【課題】公知先行例のスニファープローブを用いてガス漏れ試験を行う場合、スニファープローブを欠陥部に近接させる必要がないため、プローブの動作を簡略化可能であるが、検出距離に限界があるため、欠陥部の位置が、被試験体の構造上検出距離以上であると、スニファープローブを被試験体の形状に沿って動作させる必要がある。
【解決手段】スニファープローブを用いたガス漏れ試験装置において、スニファープローブと、被試験体に沿って動作するローラフォロアと、ローラフォロアに連結されたスニファープローブを所望の距離直線的に移動できるリンク機構と、スニファープローブとローラフォロアとリンク機構を備えたベースプレートと、被試験体に対して直線的に移動できる機構を備えた構成にすると、被試験体の形状に沿わずにガス漏れ試験が可能である。
【選択図】図3
【解決手段】スニファープローブを用いたガス漏れ試験装置において、スニファープローブと、被試験体に沿って動作するローラフォロアと、ローラフォロアに連結されたスニファープローブを所望の距離直線的に移動できるリンク機構と、スニファープローブとローラフォロアとリンク機構を備えたベースプレートと、被試験体に対して直線的に移動できる機構を備えた構成にすると、被試験体の形状に沿わずにガス漏れ試験が可能である。
【選択図】図3
Description
この発明は、スニファープローブを用いた冷媒管等のガス漏れを試験するガス漏れ試験装置に関するものである。
従来のスニファープローブを用いたガス漏れ試験装置では、スニファープローブと欠陥部の距離が離れていても検出できるようにするため、スニファープローブ吸い込み部を囲むカバーを取り付けて検出精度を向上させている(例えば、特許文献1)。
上記特許文献1に示されたスニファープローブを用いたガス漏れ試験装置では、カバー部分が邪魔になり、被試験体が奥まった場所にある場合、欠陥個所近傍にプローブ先端を持っていくことが難しい、また、離れた位置から検出できるようにカバーを付けているが、離れた位置からだと欠陥個所の特定が難しいという課題がある。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、確実にそして簡単に被試験体近傍までスニファープローブ先端を近づけることができるガス漏れ試験装置を得ることを目的としている。
この発明に係るガス漏れ試験装置は、複数列に配列された複数個の被試験体からのガス漏れの試験をするガス漏れ試験装置であって、前記複数列の行方向に移動可能な移動機構と、該移動機構に取り付けられ前記複数列の列方向に往復運動可能な保持機構と、該保持機構に取り付けられ前記被試験体近傍の気体を吸引する吸気機構と、前記移動機構に取り付けられ前記複数列の列方向に往復運動可能な支持機構と、該支持機構に取り付けられ前記移動機構の移動に伴い、前記被試験体に接触しながら動かされる追従機構と、該追従機構の動きを前記支持機構及び前記保持機構を介して前記吸気機構に伝達するリンク機構とを設けたものである。
この発明によれば、複数個の被試験体からのガス漏れ箇所を精度よく容易に特定できる。
実施の形態1.
次に、図面を用いて、この発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
次に、図面を用いて、この発明の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には、同一又は類似の符号を付している。但し、図面は模式的なものであり、各寸法の比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な寸法等は以下の説明を参酌して判断すべきものである。また、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論である。
図1は、この発明の実施の形態1における検査対象である熱交換器を示す正面図である。図において、熱交換器100は、チューブ式の熱交換器であって、チューブ1と、枝チューブ2と、チューブ1及び枝チューブ2を接続するジョイント3とを含み構成される。チューブ1は、複数本並列に配置される。また、チューブ1の断面形状は、楕円を含む円形状のものや、扁平状のものとか様々である。
チューブ1とジョイント3、枝チューブ2とジョイント3はそれぞれろう付けによって接合される。ろう付けは、バーナーにより人が一箇所ずつ行う方法や、バーナーや高周波加熱装置、或いは赤外線加熱装置を熱源とした自動ろう付け装置によって一括で行う方法などがある。また、電気炉に投入することで行う方法もある。さらには、接着剤による接合方法もあるが、本発明は、どのような接続方法であっても適用可能である。
本発明のスニファープローブを用いたガス漏れ試験装置での検査箇所は、主にチューブ1とジョイント3の接続箇所である接続部113、及び、枝チューブ2とジョイント3の接続箇所である接続部123である。ガス漏れが発生するのは接続部113または接続部123に限られず、チューブ1、枝チューブ2、及び、ジョイント3の本体部分でもありうるが、可能性はかなり低い。ここで、被試験体としては、チューブ1、枝チューブ2、及び、ジョイント3、または、それらのそれぞれということになるが、以下、わかりやすく説明するため、被試験体としてジョイント3を例にとり説明する。なお、正確には、ジョイント3の接続部113及び123のガス漏れが主な試験対象ということになる。
図2は、この発明の実施の形態1における検査対象である熱交換器を示す上面図である。図に示すように、被試験体であるジョイント3は、列毎に配置された被試験体の行方向、つまり、列に平行な方向であるx方向に隣接するジョイント3との間隔がAの略等ピッチで直線状かつ複数列に配置されている。また、一の列の行方向に配置されたジョイント3は、複数列の列方向、つまり、列に垂直な方向yで隣接する他の列のジョイント3が重なり合わないように、ずれた位置に配置されている。図は、もっともわかりやすい配置例として、一の列の隣り合うジョイント3のほぼ中央に、隣接する他の列のジョイント3が配置される千鳥配列を示している。
なお、ここでは、簡単のため、2列の例を取り説明するが、3列であっても4列であっても、それ以上であっても、反対方向から試験したり、ジョイントの位置を高さ方向で変え、段違いとする等により、試験可能であることはいうまでもない。また、ここでは、被試験体が千鳥配列をとる場合を例にとり説明するが、図9で示すように、一部が列方向に重なり合う形で配列された場合でも、また、図10で示すように、全部が列方向に重なり合う形で配列された場合であっても、奥のジョイントとスニファープローブの先端とが対峙した位置で試験することは難しいが、奥のジョイントにもっとも接近した位置までスニファープローブの先端を移動させることができ、ガス漏れ位置をほぼ特定でき、本発明の効果は享受できる。
通常、スニファープローブを用いたガス漏れ試験は、吸い込み口と被試験体の距離を3mm以下にして行うことが望ましい。一般的にチューブ1は、直径が10mm程度あるいはそれ以上あるため、被試験体であるジョイント3が千鳥配列をとり交互に並んでいると、スニファープローブを奥まった2列目のジョイント3近傍まで近づける必要がある。従来、この作業は手作業で行われており、熟練した技術と正確な操作が求められていた。
一方、スニファープローブの吸引量を大きくすれば、スニファープローブが奥まった2列目のジョイント3近傍まで近づけなくてもガス漏れが検出可能であるが、高感度な検出が求められる微小なガス漏れに対しては、吸引量を小さくしなければならない。スニファープローブの吸引量と検出可能最小値、つまり感度は互いに相反する項目で、吸引量を増大させると検出可能最小値が大きくなり、検出可能最小値を小さくしたい場合は、吸引量を小さくせざるを得ないからである。また、吸引量を大きくすれば、広範囲なガス漏れを検出することが可能となるが、反面、ガス漏れ箇所の特定は難しくなる。
図3は、この発明の実施の形態1におけるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、行方向、つまり、列に平行な方向に移動可能な移動機構であるベースプレート50には、スニファープローブ10と、ローラフォロア20が列方向、つまり、列に垂直な方向に稼働可能に取り付けられている。
スニファープローブ10には、スニファープローブ10の一部を構成するガス吸い込み管101の先端には、ガス吸い込み口11が設けられている。ガス吸い込み管101の基端部側には、ディテクタ本体(ここでは図示を省略する)に接続される配線12が取り付けられる。スニファープローブ10は、スニファープローブ10を保持するために設けられた保持機構であるスニファープローブ保持機構14に固定され、スニファープローブ保持機構14は、2本のレールから構成されたスライダ15上を複数列の列方向、つまり、列に対して垂直な方向に往復運動(移動)可能である。なお、ここでは、スライダ15がレールから構成された例について説明したが、ベアリングを用いたもの、凹部の溝部と嵌合する凸部を備えたものなど、直線状を往復運動可能な構造であれば、レールに限るわけではない。
ローラフォロア20は、円筒形状を有し、中心軸27に沿って回転可能にブラケット部28に取り付けられている。ローラフォロア20、中心軸27、及び、ブラケット部28は、一の直線状に配置されたジョイント3にローラフォロア20が押しつけられる形で接触しながら移動する追従機構を構成する。ブラケット部28は、追従機構を支持するために設けられた支持機構である棒状のロッド22の一方に取り付けられている。ロッド22の他方は、ロッド接続点24を介して、支点31を中心に所定の範囲内で回動可能に支持されたリンク30に取り付けられる。
ベースプレート50には、固定板23が取り付けられ、ロッド22は固定板23に設けられた空間、例えば穴を通過するように配置されている。ブラケット部28と固定板23の間には、弾性体であるばね21が取り付けられ、被試験体にローラフォロア20を押しつける構造になっている。なお、ここでは、ローラフォロアを例にとり説明したが、回転することは必須ではなく、摩擦が少なく滑りやすい特性を持った球体などでも良い。もちろん、ボール形状でもかまわない。また、弾性体としてばねを例にとり説明したが、ばねに限られず、ゴムでも樹脂でもかまわない。また、ロッドが、空気圧とか油圧で稼働するシリンダ構造を有していてもかまわない。
スニファープローブ10とリンク30とは、スニファープローブ接続点13で接続されている。支点31は、スニファープローブ接続点13とロッド接続点24との間に設けられている。リンク30には、スニファープローブ接続点13及びロッド接続点24のそれぞれがリンク30の回転に併せて往復するように略長方形の第一ガイド穴43及び第二ガイド穴44が設けられている。スニファープローブ接続点13及びロッド接続点24が、それぞれの第一ガイド穴43、第二ガイド穴44内を移動することで、スニファープローブ10及びローラフォロア20が往復運動する。
すなわち、ローラフォロア20の動きとスニファープローブ10の動きとを連係させるリンク機構であるリンク30は、支持機構の動きを保持機構に伝達する働きを有し、つまりは、ローラフォロア20の動きをスニファープローブ10に伝達する働きを有する。なお、図では、スニファープローブ接続点13は、ガス吸い込み管101に設けられているが、スニファープローブ接続点13は、リンク30の回転運動をスニファープローブ保持機構14がスライダ15上を往復移動する動きに変えるためのものであり、スニファープローブ保持機構14上に直接設けられても、スニファープローブ保持機構14に固定されたガス吸い込み管101などに設けられても役割は果たす。
また、スニファープローブ10のガス吸い込み口11とローラフォロア20の中心との水平距離Lは、
L=(2n−1)A/2 (n=1,2,3・・・。nは自然数)
である。図3は、n=2の場合を示している。n=1の場合は、スニファープローブ10のガス吸い込み口11とローラフォロア20の位置が近接し、構成が難しくなるができないわけではない。逆に、nが大きい場合には、スニファープローブ10のガス吸い込み口11とローラフォロア20の位置が離れすぎていて、大きな装置が必要となり現実的ではない。隣接するジョイント3との間隔Aの値にもよるが、n=2又は3が望ましい。
L=(2n−1)A/2 (n=1,2,3・・・。nは自然数)
である。図3は、n=2の場合を示している。n=1の場合は、スニファープローブ10のガス吸い込み口11とローラフォロア20の位置が近接し、構成が難しくなるができないわけではない。逆に、nが大きい場合には、スニファープローブ10のガス吸い込み口11とローラフォロア20の位置が離れすぎていて、大きな装置が必要となり現実的ではない。隣接するジョイント3との間隔Aの値にもよるが、n=2又は3が望ましい。
次に、移動機構であるベースプレート50の動きに対するスニファープローブ10の動作について説明する。図3において、STAGE1は、スニファープローブが手前の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。一方、STAGE2は、スニファープローブが手前から2番目の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。ベースプレート50を横方向(行方向)に移動させると、ローラフォロア20は、ジョイント3の配置に沿って、中心軸27が波を描くように移動する。なお、ここでは、ローラフォロア20がジョイント3に接触しながら移動する例を説明したが、チューブ1あるいは枝チューブ2に接触しながら移動しても良い。なお、ジョイント3に接触しながら移動する場合であっても、チューブ1あるいは枝チューブ2に接触しながら移動する場合であっても、強度面を勘案し、ばねの弾性力を調整したり、ローラフォロア径を設定したり、適宜設計する必要がある。
移動機構であるベースプレート50の直線的な横方向の動きに対し、スニファープローブ10及びローラフォロア20は、列方向、つまり、列に対して垂直な方向に往復運動可能な保持機構であるスニファープローブ保持機構14及び支持機構である棒状のロッド22の動きに連動し、ベースプレート50の移動方向に対し垂直な方向(列方向)で往復運動を行う。すなわち、スニファープローブ10及びローラフォロア20は、ベースプレート50の横方向の動きと、スニファープローブ保持機構14及びロッド22の列方向(縦方向)の動きとが合わさり、波状の軌道を描くように動く。
ローラフォロア20は、ロッド22を介してロッド接続点24でリンク30に接続している。ローラフォロア20がジョイント3の表面に接触しながら移動すると、ばね21がジョイント3の配置に合わせて伸縮を繰り返すと、ロッド22が往復運動をする。ロッド22が往復運動をすると、ロッド接続点24がその動きに合わせて往復運動する。リンク30は、支点31を中心に回動可能に取り付けられているため、ロッド接続点24がリンク30に設けられた第二ガイド穴44に沿う形で往復運動すると、その向きとは逆向きにスニファープローブ接続点13がリンク30に設けられた第一ガイド穴43に沿う形で往復運動をする。スニファープローブ接続点13の往復運動に併せて、スニファープローブ10のガス吸い込み口11がジョイント3に近づいたり離れたりしながら横方向に移動する。第一ガイド穴43及び第二ガイド穴44は略長方形形状であるが、だ円形状、長丸形状であっても、その他の形状であっても往復運動が回転運動に変わるようなにガイドするような機構であれば、本発明の目的を達成しうることはいうまでもない。
ここで、ローラフォロア20が手前のジョイント3に押され、ベースプレート50にもっとも近づく位置、すなわち、ばね21が最も縮んだ位置で、ガス吸い込み口11が奥のジョイント3にもっとも近づくよう構成すれば、ローラフォロア20の移動に伴い、奥のジョイント3で発生したガス漏れを検出できる。また、ローラフォロア20が手前の隣接するジョイント3の間に挟まり、ベースプレート50からもっとも離れた位置、すなわち、ばね21が最も伸びた位置で、ガス吸い込み口11が手前のジョイント3にもっとも近づくよう構成すれば、ローラフォロア20の移動に伴い、手前のジョイント3で発生したガス漏れを検出できる。
なお、ローラフォロア20及びスニファープローブ10の往復運動の大きさは、スニファープローブ接続点13とロッド接続点24との距離、すなわち、Lで簡単に設定することができ、ローラフォロア20及びスニファープローブ10の往復運動の大きさの比率は、支点31の位置で簡単に設定することができる。また、スニファープローブ10におけるスニファープローブ接続点13の位置、又は、ローラフォロア20におけるロッド22の長さによっても簡単に設定することができる。これら、スニファープローブ10をどれだけ近づけるか、ローラフォロア20をどのように移動させるかについては、ガス漏れ試験装置を設計する上での設計事項に過ぎず、当業者であれば、当然に設定可能である。
従って、ベースプレート50を横方向に直線的に移動させていくだけで、スニファープローブ10のガス吸い込み口11は、ベースプレート50の手前側のジョイント3と奥側のジョイント3とに交互に近接しながら舐めるように移動する。
以上説明したように、この発明の実施の形態1によるガス漏れ試験装置は、奥側のジョイントでガス漏れが発生していた場合であっても、スニファープローブのガス吸い込み口を奥側のジョイントに近づけることができ、吸引量一定で感度良くガス漏れを検知することができる。
また、ベースプレートを横方向に直線的に移動させていくだけなので、ガス漏れ検査を簡単に早く行うことができる。また、スニファープローブのガス吸い込み口とジョイントとの位置関係を全ての検査対象に対してほぼ一定にすることが可能となり、ばらつきのない正確な検査を行うことができる。
図4は、この発明の実施の形態1によるガス漏れ試験装置を示した斜視図である。図において、熱交換器100は、チューブ式の熱交換器であって、主に、チューブ1と、枝チューブ2と、これらを接続するジョイント3を含んで構成される。一般的には、これらが数十個段違いに並んで連続的に配置される。
架台62上には直動機構61が設置され、直動機構61にはベースプレート50が取り付けられている。ベースプレート50の位置は、モータ60によって制御される。
このような構成によれば、モータ60と直動機構61によって直線的にベースプレート50を移動させることができ、ローラフォロア20の往復運動により、スニファープローブ10のガス吸い込み口11が、ローラフォロア20が接している側のジョイント3と、接していない側のジョイント3に交互に近接する。
以上説明したように、ベースプレート50に、被試験体に沿って移動し往復運動を行うローラフォロア20と、スニファープローブ10と、これらを直接的または間接的に接続するリンク30とを設けたことにより、ベースプレート50を一軸のみに動作させるだけで、スニファープローブ10先端が交互に並んだジョイント3に近接可能である。
以上のような構成にすれば、例えば、ガス漏れ試験を自動化する場合、駆動軸が一軸のみの簡単な構造で実施できる。
次に、この発明の実施の形態1におけるガス漏れ試験装置を用いたヘリウムガスリークディテクタによるヘリウムガス漏れ試験方法について簡単に説明する。ヘリウムガス漏れ試験方法は、JIS Z2331「ヘリウム洩れ試験方法」に準じて行われる。ヘリウムガスが被試験体の内部に導入され、加圧される。ヘリウムガスが被試験体から外部に漏れた場合、そのガス漏れが発生した箇所に、スニファープローブを近接させれば、漏れたヘリウムガスを吸引し、ヘリウムガスリークディテクタでヘリウムガスを検出することができる。検出方法については、一般に知られているように、リークディテクタの質量分析管に到達したヘリウムガスは、イオンチャンバ内でフィラメントからの電子ビームによってイオン化される。放出されたヘリウムイオンは、質量、磁気強度、及び、飛行速度で決まる円軌道に沿って飛行する。ヘリウムイオンの飛行する軌道に合わせて設置されたイオンコレクタに、ヘリウムイオンだけが集められ、更にイオン電流増幅器で増幅して電流の形で検出される。
実施の形態2.
上記実施の形態1では、スニファープローブとローラフォロアとをリンク機構で接続する構成について説明したが、図5に示したように、歯車を介して接続する構成にしてもよい。図5は、この発明の実施の形態2によるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、上記実施の形態1で説明した構成と同一の番号が付された構成については、同様な機能をしめすものであり、ここでは詳細な説明を省略する。
上記実施の形態1では、スニファープローブとローラフォロアとをリンク機構で接続する構成について説明したが、図5に示したように、歯車を介して接続する構成にしてもよい。図5は、この発明の実施の形態2によるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、上記実施の形態1で説明した構成と同一の番号が付された構成については、同様な機能をしめすものであり、ここでは詳細な説明を省略する。
図において、STAGE1は、スニファープローブが手前の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。一方、STAGE2は、スニファープローブが手前から2番目の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。スニファープローブ10は、第一ラック機構45を備えたスニファープローブ保持機構16に固定されており、スライダ15によって往復運動が行えるようになっている。ローラフォロア20は、中心軸27に沿って回転可能にブラケット部28に取り付けられている。ブラケット部28は、第二ラック機構46を備えた棒状のロッド25に取り付けられている。
第一ラック機構45には、歯車34がかみ合う形で設けられ、第二ラック機構46には、歯車33がかみ合う形で設けられている。歯車34と歯車33との間には、両歯車に噛み合う歯車32が設けられている。ローラフォロア20がベースプレート51側に移動すると、歯車33が第二ラック機構46の動きに合わせて時計回りに回転する。歯車33が時計回りに回転すると、歯車32が反時計回りに回転する。歯車32が反時計回りに回転すると、その動きが歯車34に伝えられ、歯車34が時計回りに回転する。歯車34が時計回りに回転すると、その動きが第一ラック機構45に伝わり、スニファープローブ10をベースプレート51から遠ざける方向に動かす。なお、その逆の動きについては、自明であることから説明を省略する。
なお、ここでの移動量については、歯車のピッチと大きさによって自由に設定できることはいうまでもない。また、ここでは、通常の歯車を3つ設けた場合を例にとり説明したが、歯車の選択次第では、その数に限られたものではない。大きな歯車1個を用いた場合でも、はすば歯車、かさば歯車等を用いて実現することも可能である。どのように実現するかは設計事項であり、特に3個に規定するものではない。
このような構成によれば、上記実施の形態1ではリンクが支点を中心に回転運動を行うため、スニファープローブ接続点やロッド接続点の位置調整が難しいのに対し、本実施の形態では、ロッドとスニファープローブ保持機構は歯車によって直線的にしか移動しないため、位置調整が容易となる。
実施の形態3.
上記実施の形態1では、スニファープローブとローラフォロアとをリンク機構で接続する構成について説明したが、図6に示したように、エアシリンダを用いる構成としても良い。図6は、この発明の実施の形態3によるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、上記実施の形態で説明した構成と同一の番号が付された構成については、同様な機能をしめすものであり、ここでは詳細な説明を省略する。
上記実施の形態1では、スニファープローブとローラフォロアとをリンク機構で接続する構成について説明したが、図6に示したように、エアシリンダを用いる構成としても良い。図6は、この発明の実施の形態3によるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、上記実施の形態で説明した構成と同一の番号が付された構成については、同様な機能をしめすものであり、ここでは詳細な説明を省略する。
図において、STAGE1は、スニファープローブが手前の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。一方、STAGE2は、スニファープローブが手前から2番目の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。スニファープローブ10は、スニファープローブ保持機構17に取り付けられている。スニファープローブ保持機構17は、エアシリンダ35に取り付けられたロッド18に接続されており、空気の挿入排出に伴いロッド18が出たり入ったりするのに伴い、往復運動をする。ローラフォロア20は、中心軸27に沿って回転可能にブラケット部28に取り付けられている。ブラケット部28は、エアシリンダ36に取り付けられたロッド26に接続されており、ローラフォロア20がジョイント3に沿って移動するのに伴い往復運動をすると、ロッド26が出たり入ったりして空気の挿入排出が行われる。
エアシリンダ35とエアシリンダ36とは、ベースプレート52に取り付けられており、エアシリンダ35の配管37とエアシリンダ36の配管38とは、弁40に接続されている。弁40は、空気の供給元につながる配管39に接続されている。まず、最初に所定の圧力の空気を配管39から供給する。次に、エアシリンダ35の配管37とエアシリンダ36の配管38のみが接続された状態となるよう弁40を切り替える。このような状態では、ローラフォロア20がジョイント3に沿って移動しロッド26が押されると、エアシリンダ36から空気が排出される。この排出された空気は、配管38、弁40、及び配管37を通じてエアシリンダ35に送られる。エアシリンダ35は、ロッド18を押して、スニファープローブ10先端を奥のジョイント3近傍まで移動させる。逆に、ローラフォロア20がジョイント3に沿って移動しロッド26がばね21の力により伸ばされると、エアシリンダ36に空気が注入される。以下の動作については、ロッド26が押される場合の逆になることは自明であるため、ここでは説明を省略する。
配管37及び配管38の径、スニファープローブ10及びローラフォロア20の初期位置、並びに、空気の注入量については、ジョイント3の配置、及び、スニファープローブ10の性能等に応じて調整すべき事項である。これらは、容易に調整可能であり、ローラフォロア20につながるロッド26が最短となる位置で、スニファープローブ10のガス吸い込み口11が、ローラフォロア20と接していない奥側のジョイント3に近接するよう設定すればよい。その他の動作については、上記実施の形態で説明した内容と同様であるため、ここでは説明を省略する。
このような構成によれば、スニファープローブ10を動作させる推力が空気であり、例えば不具合が発生して被試験体にスニファープローブ10が衝突したとしても、空気の緩衝作用により、スニファープローブ10の破損を防止できる。なお、ここでは、空気を例にとり説明したが、空気以外、例えば窒素ガスなどの気体であってもかまわない。窒素ガスの場合には、気温変化による膨張収縮が少ないため、寒暖差による位置調整が少なくて済む。また、気体に限られず、液体、たとえば油であってもかまわない。油の場合は、空気と違い、緩衝作用による衝撃吸収作用は期待できないが、膨張収縮の影響がなく、より正確な位置合わせが可能となる。なお、この構成では、エアによる弾性力が働くので、ばね21を省くこともできる。
実施の形態4.
上記実施の形態1では、スニファープローブがむき出しの構成について説明したが、図7に示したように、スニファープローブに円筒状カバーを設けるような構成としても良い。図7は、この発明の実施の形態4によるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、上記実施の形態で説明した構成と同一の番号が付された構成については、同様な機能をしめすものであり、ここでは詳細な説明を省略する。
上記実施の形態1では、スニファープローブがむき出しの構成について説明したが、図7に示したように、スニファープローブに円筒状カバーを設けるような構成としても良い。図7は、この発明の実施の形態4によるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、上記実施の形態で説明した構成と同一の番号が付された構成については、同様な機能をしめすものであり、ここでは詳細な説明を省略する。
図において、STAGE1は、スニファープローブが手前の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。一方、STAGE2は、スニファープローブが手前から2番目の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。図に示すように、スニファープローブ10は、ベースプレート53にカバー41とともに取り付けられた円筒状カバー19で囲まれている。カバー41は、往復運動されるスニファープローブ保持機構14などとの干渉を避けるため、さらに、円筒状カバー19を一定の長さにするためのスペーサ―の役割がある。
円筒状カバー19をスニファープローブ10のガス吸い込み口11付近に設置する構造によって、被試験体の欠陥部から漏れ出るガスを円筒状カバー19に集めることができるので、ガス漏れ検出能力をより向上させることができる。従って、より信頼性のあるガス漏れ試験ができる。なお、円筒状カバーは、円筒状に限定されるものではなく、角柱形状、又は、先端拡径の円錐状カバー等を用いてもよい。
実施の形態5.
上記実施の形態1では、スニファープローブとローラフォロアとの配置が変わらなかったのに対し、図8に示したように、スニファープローブとローラフォロアとの配置が逆になるような回転機構を設けたような構成としても良い。図8は、この発明の実施の形態5によるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、上記実施の形態で説明した構成と同一の番号が付された構成については、同様な機能をしめすものであり、ここでは詳細な説明を省略する。
上記実施の形態1では、スニファープローブとローラフォロアとの配置が変わらなかったのに対し、図8に示したように、スニファープローブとローラフォロアとの配置が逆になるような回転機構を設けたような構成としても良い。図8は、この発明の実施の形態5によるガス漏れ試験装置を示す上面図である。図において、上記実施の形態で説明した構成と同一の番号が付された構成については、同様な機能をしめすものであり、ここでは詳細な説明を省略する。
図において、STAGE1は、スニファープローブが手前の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示している。一方、STAGE3は、同じく、スニファープローブが手前の列に配置された被試験体であるジョイントのうちの一つのガス漏れを試験している場合を示しているが、スニファープローブとローラフォロアとの配置が入れ換わった場合を示している。つまり、回転機構により180度回転させた結果、ベースプレートが裏返り、スニファープローブとローラフォロアとの配置が逆になっている。
ベースプレート54は、回転機構42に取り付けられており、スライダ15のスライド方向で支点31を通る軸を回転軸として360度回転させることができる。例えば、スニファープローブ10とローラフォロア20の配置を逆にしたい場合には、回転機構42により、ベースプレート54を180度回転させればよい。このように構成することで、上記実施の形態1では、交互に並んだジョイントの列に対し、ローラフォロアの側の端部付近に配置されたジョイントについては、試験ができなかったのに対し、本実施の形態では、スニファープローブとローラフォロアとの配置を逆にすることで、交互に並んだジョイントの列の両端部で容易に試験ができるようになる。なお、ここでは、上記実施の形態1との関係で、スライダのスライド方向で支点を通る軸を回転軸として360度回転させる構成について説明したが、同一平面上でスニファープローブとローラフォロアとの配置を逆にすることができるよう回転することができれば、回転軸の位置については特にこれに限られるものではない。
なお、前記実施の形態では、ばねが最も縮んだ位置で、ガス吸い込み口が奥のジョイントにもっとも近づく構成について説明したが、例えば、スニファープローブのスニファープローブ保持機構とローラフォロアと連動するロッドを直結した場合、歯車2つでつなげた場合、リンクが回転運動ではなく直線運動をする場合、又は、エアシリンダを個別に制御した場合など、ばねが最も伸びた位置で、ガス吸い込み口が奥のジョイントにもっとも近づく構成とすることも可能である。つまり、スニファープローブがローラフォロアの動きに連動して動くことで、複数列に配置された被試験体のそれぞれに近接する動きが取れれば、本発明の目的は達成できる。
なお、スニファープローブを用いたガス漏れ検査では、被試験体の欠陥部にガス漏れを検知した場合、確認のため数回欠陥部に近接させる場合が多い。以上のような構成にすれば、被試験体の欠陥部にガス漏れを検知し、確認のために欠陥部に数回近接させる場合、回転させて往復しながらの検査が可能であるため、移動距離を短縮でき、ガス漏れ検査時間を短縮できる。
なお、回転させる場合には、一旦ジョイントから離した状態で回転させ、配置が逆になった状態でジョイントに再び接触させるようにすれば、ジョイント、及び、スニファープローブ等の破損を引き起こす心配がない。
1 チューブ、2 枝チューブ、3 ジョイント、10 スニファープローブ、11 ガス吸い込み口、12 配線、13 スニファープローブ接続点、14 スニファープローブ保持機構、15 スライダ、16 スニファープローブ保持機構、17 スニファープローブ保持機構、18 ロッド、19 円筒状カバー、20 ローラフォロア、21 ばね、22 ロッド、23 固定板、24 ロッド接続点、25 ロッド、26 ロッド、27 中心軸、28 ブラケット部、30 リンク、31 支点、32 歯車、33 歯車、34 歯車、35 エアシリンダ、36 エアシリンダ、37 配管、38 配管、39 配管、40 弁、41 カバー、42 回転機構、43 第一ガイド穴、44 第二ガイド穴、45 第一ラック機構、46 第二ラック機構、50 ベースプレート、51 ベースプレート、52 ベースプレート、53 ベースプレート、54 ベースプレート、60 モータ、61 直動機構、62 架台、100 熱交換器、101 ガス吸い込み管、113 接続部、123 接続部。
Claims (10)
- 複数列に配列された複数個の被試験体からのガス漏れの試験をするガス漏れ試験装置であって、
前記複数列の行方向に移動可能な移動機構と、
該移動機構に取り付けられ前記複数列の列方向に往復運動可能な保持機構と、
該保持機構に取り付けられ前記被試験体近傍の気体を吸引する吸気機構と、
前記移動機構に取り付けられ前記複数列の列方向に往復運動可能な支持機構と、
該支持機構に取り付けられ前記移動機構の移動に伴い、前記被試験体に接触しながら動かされる追従機構と、
該追従機構の動きを、前記支持機構及び前記保持機構の動きを介して前記吸気機構に伝達するリンク機構と、
を備えたガス漏れ試験装置。 - 前記複数列に配列された複数個の被試験体は、一の列の行方向に配置された被試験体と、隣接する他の列の行方向に配置された被試験体とが、前記複数列の列方向でずれた位置に配置されていることを特徴とする請求項1記載のガス漏れ試験装置。
- 前記吸気機構は、前記追従機構の前記複数列の行方向の動きに連動して、前記追従機構が移動する方向に移動し、前記追従機構の前記複数列の列方向の動きに連動して、前記追従機構が移動する方向とは逆の方向に移動することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のガス漏れ試験装置。
- 前記吸気機構は、前記追従機構の前記複数列の行方向の動きに連動して、前記追従機構が移動する方向に移動し、前記追従機構の前記複数列の列方向の動きに連動して、前記追従機構が移動する方向に移動することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載のガス漏れ試験装置。
- 前記リンク機構は、前記支持機構と前記保持機構との間に設けられた棒状体または板状体であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のガス漏れ試験装置。
- 前記リンク機構は、前記支持機構と前記保持機構との間に設けられた歯車から構成されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のガス漏れ試験装置。
- 前記保持機構及び前記支持機構は、シリンダ構造を有し、
前記リンク機構は、前記支持機構と前記保持機構との間に設けられ、空気圧または油圧を利用したものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のガス漏れ試験装置。 - 前記移動機構は、前記複数列の列方向に回転軸をとり、該回転軸に沿って回転可能に構成されたことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載のガス漏れ試験装置。
- 前記吸気機構は、スニファープローブを含んで構成され、
前記追従機構は、ローラフォロアを含んで構成されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載のガス漏れ試験装置。 - 複数列に配列された複数個の被試験体からのガス漏れの試験をするガス漏れ試験方法であって、
移動機構が、前記複数列の行方向に移動する工程と、
前記移動機構に支持機構を介して取り付けられた追従機構が、前記移動機構の移動に伴い、前記被試験体に接触しながら動く工程と、
リンク機構が、前記移動機構に保持機構を介して取り付けられた吸気機構に前記追従機構の動きを伝達する工程と、
前記吸気機構が、前記被試験体近傍の気体を吸引する工程と、
を含むガス漏れ試験方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017042708A JP2018146430A (ja) | 2017-03-07 | 2017-03-07 | ガス漏れ試験装置およびその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2017042708A JP2018146430A (ja) | 2017-03-07 | 2017-03-07 | ガス漏れ試験装置およびその方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018146430A true JP2018146430A (ja) | 2018-09-20 |
Family
ID=63591128
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017042708A Pending JP2018146430A (ja) | 2017-03-07 | 2017-03-07 | ガス漏れ試験装置およびその方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2018146430A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115290261A (zh) * | 2022-09-26 | 2022-11-04 | 常州华数锦明智能装备技术研究院有限公司 | 浮动式气密性测试装置 |
CN117109823A (zh) * | 2023-07-25 | 2023-11-24 | 盛吉盛智能装备(江苏)有限公司 | 芯片真空测试装置 |
-
2017
- 2017-03-07 JP JP2017042708A patent/JP2018146430A/ja active Pending
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115290261A (zh) * | 2022-09-26 | 2022-11-04 | 常州华数锦明智能装备技术研究院有限公司 | 浮动式气密性测试装置 |
CN115290261B (zh) * | 2022-09-26 | 2023-01-10 | 常州华数锦明智能装备技术研究院有限公司 | 浮动式气密性测试装置 |
CN117109823A (zh) * | 2023-07-25 | 2023-11-24 | 盛吉盛智能装备(江苏)有限公司 | 芯片真空测试装置 |
CN117109823B (zh) * | 2023-07-25 | 2024-05-31 | 盛吉盛智能装备(江苏)有限公司 | 芯片真空测试装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN103453848B (zh) | 用于测量机器元件的形状、位置和规格特征的设备和方法 | |
US7458143B2 (en) | System for centering a workpiece on the central axis of a cylindrical bore | |
JP2018146430A (ja) | ガス漏れ試験装置およびその方法 | |
KR101732749B1 (ko) | 볼나사축의 누적 리드 오차 측정 장치 및 측정 방법 | |
CN107339955B (zh) | 一种高精度透镜中心偏检测仪器及其测量方法 | |
CN108318509B (zh) | 用于射线检测的双向对焦方法及对焦装置 | |
KR20170135899A (ko) | 기판 보지 방법, 기판 보지 장치, 처리 방법 및 처리 장치 | |
US20230089588A1 (en) | Test device for simulating sealing performance of one-way valve | |
CN108535129A (zh) | 显微组件下大行程低温漂的低温微纳米压痕测试系统 | |
CN112240908A (zh) | 一种用于小径管焊缝的相控阵超声检测装置及其工作方法 | |
CN110231002A (zh) | 卧式孔检测仪 | |
CN107462185B (zh) | 实现超大口径平面镜面形检测的装置 | |
US9217855B1 (en) | Multi-magnification high sensitivity optical system for probing electronic devices | |
US20130104623A1 (en) | System and method for testing shock-resistance of an object | |
KR20100023387A (ko) | 내경구 측정 장치 | |
CN110174087A (zh) | 核反应柱安装测量总成及测量方法 | |
JP2010271280A (ja) | 外径測定装置 | |
JP4336781B2 (ja) | 平面度測定装置 | |
JP2015114333A (ja) | ガスタービンの減衰コーンの内径を測定する方法および装置 | |
CN109870124A (zh) | 一种管类零件内孔直线度检测装置 | |
CN103624776A (zh) | 控制测试头在xy平面内精确运动定位的机械手臂 | |
CN207816860U (zh) | 用于射线检测的对焦装置 | |
CN107219236B (zh) | 一种应用于内窥镜及涡流检测的机械传导装置及检测方法 | |
JP2023016281A (ja) | 材料試験機 | |
CN207379402U (zh) | 锥面检测装置 |