JP2018132418A - Float type flowmeter - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、各種装置に液体を供給する供給路に使用されるフロート式流量計に関する。 The present invention relates to a float type flow meter used in a supply path for supplying a liquid to various apparatuses.
半導体でなるウェーハを加工してＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを含むデバイスチップを形成する工程には、該ウェーハの裏面を研削して該ウェーハを所定の厚さに薄化する研削工程や、ウェーハを所定の分割予定ラインで切削して分割する分割工程が含まれる。これらの工程では、研削装置や切削装置等の各種の加工装置が用いられる。 In the process of processing a semiconductor wafer to form a device chip including devices such as IC and LSI, a grinding process for grinding the back surface of the wafer to thin the wafer to a predetermined thickness, A dividing step of cutting and dividing at a predetermined dividing line is included. In these processes, various processing devices such as a grinding device and a cutting device are used.
各種の加工装置で加工が実施される際、加工装置に取り付けられた加工工具や被加工物には純水等の液体が供給される。加工装置には該液体を供給するための供給路が設けられる。液体の各供給路には、所定の流量で液体を供給するために、例えば、フロート式流量計（特許文献１及び２参照）が設けられる。加工装置のオペレータは、該フロート式流量計を確認しながら各供給路で供給される液体の流量を調節する。 When processing is performed with various processing apparatuses, a liquid such as pure water is supplied to a processing tool or a workpiece attached to the processing apparatus. The processing apparatus is provided with a supply path for supplying the liquid. In order to supply the liquid at a predetermined flow rate, for example, a float type flow meter (see Patent Documents 1 and 2) is provided in each liquid supply path. The operator of the processing apparatus adjusts the flow rate of the liquid supplied through each supply path while checking the float type flow meter.
加工装置が備える供給路により供給される液体は、例えば、純水である。しかし、不純物等を取り除いて作製された純水は、水道水（市水）と比較して高価である。そのため、純水を使用する必要のない工程には水道水が使用される。また、加工装置の各種の構成を冷却するための冷却水として水道水が使用される。このように、加工装置が備える該供給路には水道水が流される場合も多い。 The liquid supplied through the supply path provided in the processing apparatus is, for example, pure water. However, pure water produced by removing impurities and the like is more expensive than tap water (city water). Therefore, tap water is used for processes that do not require the use of pure water. Further, tap water is used as cooling water for cooling various components of the processing apparatus. As described above, tap water is often caused to flow through the supply path of the processing apparatus.
供給路に水道水が流れると該供給路に設けられるフロート式流量計には、水道水に僅かに含まれる藻類が付着する。フロート式流量計の本体は、一般的に、液体の流れにより浮遊する浮き子（フロート）を外部から視認できるように透明である。そのため、フロート式流量計に光が当たると付着した該藻類が成長して、浮き子や該浮き子を収容する管が汚れてしまう。 When tap water flows through the supply path, algae slightly contained in the tap water adheres to the float flow meter provided in the supply path. The main body of the float type flow meter is generally transparent so that a float that floats due to the flow of liquid can be visually recognized from the outside. For this reason, when the float flow meter is exposed to light, the attached algae grows and the float and the tube containing the float become dirty.
すると、例えば、フロート式流量計の使用開始から約３か月で浮き子（フロート）が正常に動作しなくなり、また、流量計の目盛りが読み取りにくくなる等の問題を生じるようになる。そのため、フロート式流量計を定期的に分解して清掃する必要があるが、清掃の間は加工装置の稼働を停止させなければならないため、加工装置の稼働率が低下して生産性が低下するとの問題を生じる。 Then, for example, the float does not operate normally in about three months from the start of use of the float type flow meter, and problems such as difficulty in reading the scale of the flow meter occur. Therefore, it is necessary to periodically disassemble and clean the float type flow meter, but since the operation of the processing device must be stopped during cleaning, if the operation rate of the processing device decreases and productivity decreases Cause problems.
本発明はかかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、藻類の成長を抑制できるフロート式流量計を提供することである。 This invention is made | formed in view of this problem, The place made into the objective is to provide the float type flow meter which can suppress the growth of algae.
本発明の一態様によれば、液体の流量を調節するためのフロート式流量計であって、下方から液体を導入する液体導入部と、上方から液体を導出する液体導出部と、を備え垂直方向に立設する透明な管と、該管の中の液体の流れにより上下動する浮き子と、を有し、該管の外周面に、藻の成長を促進させる波長の光を遮断する部材が配設された、ことを特徴とするフロート式流量計が提供される。 According to one aspect of the present invention, there is provided a float type flow meter for adjusting a flow rate of a liquid, comprising a liquid introduction unit that introduces a liquid from below and a liquid extraction unit that derives a liquid from above. A transparent tube standing in a direction and a float that moves up and down by the flow of liquid in the tube, and a member that blocks light of a wavelength that promotes algae growth on the outer peripheral surface of the tube A float type flow meter is provided.
本発明の一態様に係るフロート式流量計によると、垂直方向に立設する管の外周面に、藻の成長を促進させる波長の光を遮断する部材が配設される。そのため、該管の内部に流れる水道水等の液体に含まれる藻が該フロート式流量計に付着しても、藻を成長させる波長の光が藻に到達しないため、藻の成長が抑制される。 According to the float type flow meter according to one aspect of the present invention, a member that blocks light having a wavelength that promotes the growth of algae is disposed on the outer peripheral surface of a pipe that is vertically provided. Therefore, even if algae contained in a liquid such as tap water flowing inside the pipe adheres to the float flow meter, the light having a wavelength for growing the algae does not reach the algae, so that the growth of the algae is suppressed. .
藻の成長が抑制されてフロート式流量計が汚れにくくなるため、フロート式流量計の清掃の頻度を低減できる。すると、加工装置の稼働率を上げることができるため、加工装置の生産性も向上する。 Since the growth of the algae is suppressed and the float type flow meter is less likely to become dirty, the frequency of cleaning the float type flow meter can be reduced. Then, since the operation rate of the processing apparatus can be increased, the productivity of the processing apparatus is also improved.
したがって、本発明の一態様により、藻類の成長を抑制できるフロート式流量計が提供される。 Therefore, according to one embodiment of the present invention, a float flow meter that can suppress algae growth is provided.
本発明に係る実施形態について説明する。図１は、加工装置の液体の供給路に配設されるフロート式流量計２と、配管ブロック２６と、を模式的に示す斜視図である。図２は、加工装置の液体の供給路に配設されるフロート式流量計２と、配管ブロック２６と、を模式的に示す側面図である。いずれの図においても、一部の内部構造が破線で示される。 Embodiments according to the present invention will be described. FIG. 1 is a perspective view schematically showing a float type flow meter 2 and a piping block 26 disposed in a liquid supply path of a processing apparatus. FIG. 2 is a side view schematically showing the float flow meter 2 and the piping block 26 arranged in the liquid supply path of the processing apparatus. In any of the drawings, a part of the internal structure is indicated by a broken line.
本実施形態に係るフロート式流量計（面積式流量計）２は、配管ブロック２６に取り付けられて使用される。フロート式流量計２は、流量計本体４と、流量計本体４の背面側に固定された固定プレート６と、から構成される。流量計本体４の正面には、液体の流量を読み取るための目盛り８が設けられている。 A float type flow meter (area type flow meter) 2 according to the present embodiment is used by being attached to a piping block 26. The float type flow meter 2 includes a flow meter main body 4 and a fixed plate 6 fixed to the back side of the flow meter main body 4. A scale 8 for reading the flow rate of the liquid is provided on the front surface of the flow meter body 4.
流量計本体４の背面には、固定プレート６を貫通して水平方向に後方に向けて突出する下部接続部１０及び上部接続部１２が設けられている。配管ブロック２６の正面には、流量計本体４の該下部接続部１０に対応する径の下部接続穴２８と、該上部接続部１２に対応する径の上部接続穴３０と、が形成されている。該下部接続穴２８及び上部接続穴３０は、該下部接続部１０及び該上部接続部１２の位置にそれぞれ合わせて形成されており、それぞれ、該下部接続部１０と、該上部接続部１２と、に接続される。 On the back surface of the flow meter main body 4, a lower connection portion 10 and an upper connection portion 12 that pass through the fixed plate 6 and protrude rearward in the horizontal direction are provided. A lower connection hole 28 having a diameter corresponding to the lower connection portion 10 of the flow meter body 4 and an upper connection hole 30 having a diameter corresponding to the upper connection portion 12 are formed on the front surface of the piping block 26. . The lower connection hole 28 and the upper connection hole 30 are formed in accordance with the positions of the lower connection part 10 and the upper connection part 12, respectively, and the lower connection part 10, the upper connection part 12, Connected to.
図２に示す通り、流量計本体４の内部には管４ｂが形成されている。管４ｂを水平に切断した断面の形状は略円形であり、管４ｂはこの断面の径が上側に向かって広がるテーパー形状である。管４ｂの下方には下部接続部１０に接続される液体導入部１４が形成され、管４ｂの上方には上部接続部１２に接続される液体導出部１６が形成されている。管４ｂの内側には、浮き子（フロート）１８が入れられている。流量計本体４の正面の下部には、管４ｂを流れる液体の流量を調節する調節つまみ２０が設けられている。 As shown in FIG. 2, a pipe 4 b is formed inside the flow meter main body 4. The shape of the cross section obtained by horizontally cutting the tube 4b is substantially circular, and the tube 4b has a tapered shape in which the diameter of the cross section extends toward the upper side. A liquid introduction part 14 connected to the lower connection part 10 is formed below the pipe 4b, and a liquid outlet part 16 connected to the upper connection part 12 is formed above the pipe 4b. A float 18 is placed inside the tube 4b. An adjustment knob 20 for adjusting the flow rate of the liquid flowing through the pipe 4b is provided at the lower part of the front surface of the flow meter body 4.
固定プレート６の流量計本体４とは重ならない上側と、下側と、には、ボルト２４を通すための穴２２が形成されている。配管ブロック２６の正面には、該穴２２に対応する位置にねじ穴３２が設けられている。 Holes 22 for passing bolts 24 are formed on the upper side and the lower side of the fixed plate 6 that do not overlap the flow meter body 4. A screw hole 32 is provided on the front surface of the piping block 26 at a position corresponding to the hole 22.
フロート式流量計２は、固定プレート６の穴２２がねじ穴３２の位置に合うように配管ブロック２６の正面の固定プレート６の取り付け位置３４に位置付けられ、穴２２を通してボルト２４がねじ穴３２に締め込まれることにより、配管ブロック２６に固定される。このようにフロート式流量計２が配管ブロック２６に固定されると、フロート式流量計２の下部接続部１０及び上部接続部１２がそれぞれ配管ブロック２６の下部接続穴２８及び上部接続穴３０に接続される。 The float type flow meter 2 is positioned at the mounting position 34 of the fixing plate 6 on the front face of the piping block 26 so that the hole 22 of the fixing plate 6 is aligned with the position of the screw hole 32, and the bolt 24 passes through the hole 22 to the screw hole 32. By being tightened, the pipe block 26 is fixed. When the float type flow meter 2 is thus fixed to the piping block 26, the lower connection portion 10 and the upper connection portion 12 of the float flow meter 2 are connected to the lower connection hole 28 and the upper connection hole 30 of the piping block 26, respectively. Is done.
配管ブロック２６の下部接続穴２８は、液体の供給源（不図示）から液体が供給される供給配管３６に接続されている。また、配管ブロック２６の上部接続穴３０は、送出配管３８に接続されている。なお、送出配管３８には配管ブロック２６の上面に突き出るバルブ４０が設けられている。該バルブ４０により、加工装置への液体の送出と、その停止と、を制御できる。 The lower connection hole 28 of the pipe block 26 is connected to a supply pipe 36 to which liquid is supplied from a liquid supply source (not shown). Further, the upper connection hole 30 of the piping block 26 is connected to the delivery piping 38. The delivery pipe 38 is provided with a valve 40 protruding from the upper surface of the pipe block 26. With the valve 40, it is possible to control the delivery of the liquid to the processing apparatus and the stop thereof.
配管ブロック２６は３組の送出配管３８を有しており、それぞれに流れる流量を計測する３つのフロート式流量計が配管ブロック２６の正面に配設される。そして、配管ブロック２６には、３組の送出配管３８に対応するバルブ、下部接続穴、及び、上部接続穴等が設けられている。 The pipe block 26 has three sets of delivery pipes 38, and three float type flow meters that measure the flow rate flowing through each pipe block 26 are arranged in front of the pipe block 26. The piping block 26 is provided with valves, lower connection holes, upper connection holes, and the like corresponding to the three sets of delivery pipes 38.
本実施形態に係るフロート式流量計２の外周には、流量計本体４の内部の管４ｂを覆うように部材４２が設けられる。該部材４２は、水道水等の液体に含まれる藻の成長を促進する波長の光を遮る機能を有する。藻の成長を促進する光の主要な波長は５００ｎｍ以下であるから、部材４２には５００ｎｍ以下の波長領域に吸収帯を有する部材を用いる。一部のＵＶカットフィルムは５００ｎｍ以下の波長の光を遮るため、部材４２には、例えば、該ＵＶカットフィルムを用いてもよい。また、部材４２は該光を反射してもよい。 A member 42 is provided on the outer periphery of the float type flow meter 2 according to the present embodiment so as to cover the pipe 4 b inside the flow meter main body 4. The member 42 has a function of blocking light having a wavelength that promotes the growth of algae contained in a liquid such as tap water. Since the main wavelength of light that promotes the growth of algae is 500 nm or less, a member having an absorption band in the wavelength region of 500 nm or less is used as the member 42. Since some UV cut films block light having a wavelength of 500 nm or less, for example, the UV cut film may be used as the member 42. The member 42 may reflect the light.
なお、該部材４２は、藻の成長を促進する光のすべての波長領域に渡って吸収帯を有していなくてもよい。また、流量計本体４の正面に設けられた目盛り８を該部材４２を通して視認できるように、該部材４２は一部の波長の可視光が透過可能でなければならない。 In addition, this member 42 does not need to have an absorption band over all the wavelength ranges of the light which promotes the growth of algae. In addition, the member 42 must be able to transmit visible light having some wavelengths so that the scale 8 provided on the front surface of the flow meter body 4 can be visually recognized through the member 42.
次に、本実施形態に係るフロート式流量計２の使用態様について説明する。該フロート式流量計２には、液体の供給源（不図示）から配管ブロック２６の下部接続穴２８を通して、例えば、水道水（市水）が供給される。フロート式流量計２の管４ｂに液体導入部１４から水道水が供給されると、その流量に応じた高さに管４ｂに入れられた浮き子（フロート）１８が浮上する。 Next, the usage aspect of the float type flow meter 2 which concerns on this embodiment is demonstrated. For example, tap water (city water) is supplied to the float flow meter 2 from a liquid supply source (not shown) through the lower connection hole 28 of the piping block 26. When tap water is supplied from the liquid introduction part 14 to the pipe 4b of the float flow meter 2, a float 18 floated in the pipe 4b rises to a height corresponding to the flow rate.
管４ｂはテーパー形状であるため、浮き子１８と、管４ｂの内壁と、の間の水道水が通過可能な領域の断面積は浮き子１８の高さに応じて変化する。水道水の流量に対して該断面積が小さすぎる場合、浮き子１８には上向きの力がかかり、浮き子１８が浮上して該断面積が増える。該断面積が増えると該上向きの力が変化する。 Since the pipe 4b has a tapered shape, the cross-sectional area of the region through which tap water can pass between the float 18 and the inner wall of the pipe 4b varies depending on the height of the float 18. When the cross-sectional area is too small with respect to the flow rate of tap water, an upward force is applied to the float 18, and the float 18 rises and the cross-sectional area increases. As the cross-sectional area increases, the upward force changes.
したがって、浮き子１８は、浮き子１８にかかる重力等の力と、該上向きの該力と、が釣り合う高さに浮上するから、目盛り８を用いて浮き子１８の浮上高さから水道水の流量を測定できる。そして、調節つまみ２０を操作して、水道水の流量が所定の値となるように水道水の流量を調節する。 Accordingly, the float 18 floats to a height at which the force such as gravity applied to the float 18 and the upward force balance with each other. The flow rate can be measured. Then, the adjustment knob 20 is operated to adjust the flow rate of tap water so that the flow rate of tap water becomes a predetermined value.
管４ｂの内部に流れる水道水には、微量ながら藻等が含まれている場合があり、水道水に含まれる該藻が浮き子１８や管４ｂの内壁に付着する場合がある。管４ｂは、内部に入れられた浮き子１８が視認可能となるように、一般的に光を透過する。そのため、藻を成長させる波長の光も透過する。部材４２が設けられていない場合、浮き子１８や管４ｂの内壁に付着する藻は成長する。 The tap water flowing inside the pipe 4b may contain a small amount of algae, and the algae contained in the tap water may adhere to the float 18 or the inner wall of the pipe 4b. The tube 4b generally transmits light so that the float 18 placed inside is visible. Therefore, the light of the wavelength which grows algae also permeate | transmits. When the member 42 is not provided, the algae attached to the float 18 and the inner wall of the tube 4b grow.
該藻が成長すると、管４ｂの内部が部分的に藻で占められて浮き子１８が正常な高さに浮上しない場合がある。また、藻が成長すると、管４ｂの内壁が汚れて内部の浮き子１８を外部から視認しにくくなる場合がある。成長した藻を除去するために、例えば、３か月程度の周期でフロート式流量計を分解して清掃しなければならない。しかし、清掃の間は加工装置の稼働を停止させなければならず、加工装置の稼働率が低下して生産性が低下するとの問題を生じる。 When the algae grows, the inside of the tube 4b may be partially occupied by algae, and the float 18 may not rise to a normal height. In addition, when algae grows, the inner wall of the tube 4b may become dirty, making it difficult to visually recognize the internal float 18 from the outside. In order to remove the grown algae, for example, the float type flow meter must be disassembled and cleaned at a cycle of about three months. However, the operation of the processing apparatus must be stopped during the cleaning, which causes a problem that the operation rate of the processing apparatus decreases and the productivity decreases.
本実施形態に係るフロート式流量計２の外周には、流量計本体４の内部の管４ｂを覆うように部材４２が設けられるため、藻の成長を抑制でき、清掃の頻度を下げることができる。すると、加工装置の稼働率を上げて生産性を向上できる。 Since the member 42 is provided on the outer periphery of the float type flow meter 2 according to the present embodiment so as to cover the pipe 4b inside the flow meter main body 4, the growth of algae can be suppressed and the frequency of cleaning can be reduced. . Then, the operating rate of the processing apparatus can be increased and productivity can be improved.
フロート式流量計２により所定の流量に調節された水道水等の液体は、管４ｂの上部の液体導出部１６から配管ブロック２６の上部接続穴２８を通り、送出配管３８を経て加工装置の所定の箇所に供給される。送出配管３８にはバルブ４０が設けられており、該バルブ４０を開閉することで、フロート式流量計２により調節された水道水等の液体の流量を保ちながら該液体の供給と、停止と、を切り替えることができる。 A liquid such as tap water adjusted to a predetermined flow rate by the float flow meter 2 passes through the upper connection hole 28 of the pipe block 26 from the liquid outlet 16 at the upper part of the pipe 4b, passes through the delivery pipe 38, and passes through a predetermined pipe of the processing apparatus. Supplied to The delivery pipe 38 is provided with a valve 40. By opening and closing the valve 40, supplying and stopping the liquid while maintaining the flow rate of the liquid such as tap water adjusted by the float flow meter 2, Can be switched.
なお、本発明は、上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記の実施形態では、流量計本体４の内部の管４ｂを覆うように部材４２を設けるが、本発明はこれに限定されない。例えば、管４ｂを形成する流量計本体４を構成する部材に藻の成長を促進する波長の光を遮断する材料を用いてもよい。 In addition, this invention is not limited to description of the said embodiment, A various change can be implemented. For example, in the above embodiment, the member 42 is provided so as to cover the pipe 4b inside the flow meter main body 4, but the present invention is not limited to this. For example, you may use the material which interrupts | blocks the light of the wavelength which promotes the growth of algae for the member which comprises the flowmeter main body 4 which forms the pipe | tube 4b.
その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。 In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the object of the present invention.
２ フロート式流量計（面積式流量計）
４ 流量計本体
４ｂ 管
６ 固定プレート
８ 目盛り
１０ 下部接続部
１２ 上部接続部
１４ 液体導入部
１６ 液体導出部
１８ 浮き子（フロート）
２０ 調節つまみ
２２ 穴
２４ ボルト
２６ 配管ブロック
２８，２８ａ，２８ｂ 下部接続穴
３０，３０ａ，３０ｂ 上部接続穴
３２ ねじ穴
３４ 固定ブロックの取り付け位置
３６ 供給配管
３８ 送出配管
４０，４０ａ，４０ｂ バルブ
４２ 部材
2 Float type flow meter (Area type flow meter)
4 Flow meter body 4b Tube 6 Fixed plate 8 Scale 10 Lower connection part 12 Upper connection part 14 Liquid introduction part 16 Liquid outlet part 18 Float (float)
20 Adjustment knob 22 Hole 24 Bolt 26 Piping block 28, 28a, 28b Lower connection hole 30, 30a, 30b Upper connection hole 32 Screw hole 34 Fixing block mounting position 36 Supply piping 38 Delivery piping 40, 40a, 40b Valve 42 Member
Claims (1)
下方から液体を導入する液体導入部と、上方から液体を導出する液体導出部と、を備え垂直方向に立設する透明な管と、
該管の中の液体の流れにより上下動する浮き子と、を有し、
該管の外周に、藻の成長を促進させる波長の光を遮断する部材が配設された、
ことを特徴とするフロート式流量計。 A float flow meter for adjusting the flow rate of liquid,
A transparent pipe that is provided with a liquid introduction part that introduces a liquid from below and a liquid lead-out part that draws out the liquid from above, and stands in a vertical direction;
A float that moves up and down by the flow of liquid in the tube,
A member that blocks light having a wavelength that promotes the growth of algae was disposed on the outer periphery of the tube.
Float type flow meter characterized by that.
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