KR20180094488A - Float type flowmeter - Google Patents

Float type flowmeter Download PDF

Info

Publication number
KR20180094488A
KR20180094488A KR1020180017537A KR20180017537A KR20180094488A KR 20180094488 A KR20180094488 A KR 20180094488A KR 1020180017537 A KR1020180017537 A KR 1020180017537A KR 20180017537 A KR20180017537 A KR 20180017537A KR 20180094488 A KR20180094488 A KR 20180094488A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
liquid
float
pipe
flow meter
type flow
Prior art date
Application number
KR1020180017537A
Other languages
Korean (ko)
Inventor
다로 요코야마
Original Assignee
가부시기가이샤 디스코
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시기가이샤 디스코 filed Critical 가부시기가이샤 디스코
Publication of KR20180094488A publication Critical patent/KR20180094488A/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/20—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow
    • G01F1/22—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by detection of dynamic effects of the flow by variable-area meters, e.g. rotameters
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
    • G01F1/52—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring the height of the fluid level due to the lifting power of the fluid flow
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
    • G01F15/18—Supports or connecting means for meters

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measuring Volume Flow (AREA)

Abstract

Provided is a float type flowmeter for restricting the growth of algae and, more specifically, the float type flowmeter for adjusting a flow rate of fluids. The flowmeter comprises: a transparent pipe having a liquid inlet portion introducing liquids from the bottom and a liquid outlet portion discharging liquids from the top and standing in the vertical direction; and a buoy moving in the vertical direction due to the flow of the liquids in the pipe. Moreover, a member blocking light of a wavelength for promoting the algae is formed on the outer circumference of the pipe.

Description

플로트식 유량계{FLOAT TYPE FLOWMETER}[0001] FLOAT TYPE FLOWMETER [0002]

본 발명은 각종 장치에 액체를 공급하는 공급로에 사용되는 플로트식 유량계에 관한 것이다.The present invention relates to a float type flow meter used in a supply path for supplying liquid to various devices.

반도체로 이루어지는 웨이퍼를 가공하여 IC, LSI 등의 디바이스를 포함하는 디바이스 칩을 형성하는 공정에는, 그 웨이퍼의 이면을 연삭하여 그 웨이퍼를 소정의 두께로 박화하는 연삭 공정이나, 웨이퍼를 소정의 분할 예정 라인으로 절삭하여 분할하는 분할 공정이 포함된다. 이들 공정에서는, 연삭 장치나 절삭 장치 등의 각종 가공 장치가 사용된다.In the process of forming a device chip including devices such as IC and LSI by processing a semiconductor wafer, there are a grinding process for grinding the back surface of the wafer and thinning the wafer to a predetermined thickness, And a dividing step of cutting and dividing into lines. In these processes, various processing apparatuses such as a grinding apparatus and a cutting apparatus are used.

각종 가공 장치로 가공이 실시될 때, 가공 장치에 부착된 가공 공구나 피가공물에는 순수 등의 액체가 공급된다. 가공 장치에는 그 액체를 공급하기 위한 공급로가 형성된다. 액체의 각 공급로에는, 소정의 유량으로 액체를 공급하기 위해, 예를 들어, 플로트식 유량계 (특허문헌 1 및 2 참조) 가 형성된다. 가공 장치의 오퍼레이터는, 그 플로트식 유량계를 확인하면서 각 공급로에 의해 공급되는 액체의 유량을 조절한다.When processing is performed by various processing apparatuses, liquid such as pure water is supplied to a processing tool and a workpiece attached to the processing apparatus. The processing apparatus is provided with a supply path for supplying the liquid. For example, a float type flow meter (see Patent Documents 1 and 2) is formed in each supply path of the liquid to supply the liquid at a predetermined flow rate. The operator of the processing apparatus adjusts the flow rate of the liquid supplied by each supply path while checking the float type flow meter.

일본 공개특허공보 평7-4998호Japanese Patent Application Laid-Open No. 7-4998 일본 공개특허공보 2008-45885호Japanese Laid-Open Patent Publication No. 2008-45885

가공 장치가 구비하는 공급로에 의해 공급되는 액체는, 예를 들어, 순수이다. 그러나, 불순물 등을 제거하고 제조된 순수는, 수돗물 (시수 (市水)) 과 비교하여 고가이다. 그 때문에, 순수를 사용할 필요가 없는 공정에는 수돗물이 사용된다. 또, 가공 장치의 각종 구성을 냉각시키기 위한 냉각수로서 수돗물이 사용된다. 이와 같이, 가공 장치가 구비하는 그 공급로에는 수돗물이 흐르게 되는 경우도 많다.The liquid supplied by the supply path provided in the processing apparatus is, for example, pure water. However, pure water produced by removing impurities and the like is expensive compared with tap water (city water). For this reason, tap water is used in a process in which pure water is not required to be used. In addition, tap water is used as cooling water for cooling various components of the processing apparatus. Thus, in many cases, tap water flows through the supply path provided in the processing apparatus.

공급로에 수돗물이 흐르면 그 공급로에 형성되는 플로트식 유량계에는, 수돗물에 약간 함유되는 조류 (藻類) 가 부착된다. 플로트식 유량계의 본체는, 일반적으로, 액체의 흐름에 의해 부유하는 부표 (플로트) 를 외부로부터 시인할 수 있도록 투명하다. 그 때문에, 플로트식 유량계에 광이 닿으면 부착된 그 조류가 성장하여, 부표나 그 부표를 수용하는 관이 오염된다.When the tap water flows into the supply path, algae contained in the tap water adhere to the float-type flow meter formed in the supply path. The body of the float-type flowmeter is generally transparent so that a buoy (float) floated by the flow of liquid can be visually recognized from the outside. Therefore, when the float-type flow meter touches the light, the attached bird grows, and the buoy or the pipe accommodating the buoy is contaminated.

그러면, 예를 들어, 플로트식 유량계의 사용 개시로부터 약 3 개월에 부표 (플로트) 가 정상적으로 동작하지 않게 되고, 또, 유량계의 눈금을 판독하기 어려워지는 등의 문제를 일으키게 된다. 그 때문에, 플로트식 유량계를 정기적으로 분해하여 청소할 필요가 있지만, 청소할 동안은 가공 장치의 가동을 정지시켜야 하기 때문에, 가공 장치의 가동률이 저하되어 생산성이 저하된다는 문제를 일으킨다.Then, for example, the float (float) does not operate normally in about three months from the start of use of the float-type flowmeter, and it becomes difficult to read the scale of the flowmeter. Therefore, it is necessary to disassemble and clean the float-type flowmeter periodically. However, since the operation of the working device must be stopped during the cleaning, the operating rate of the working device is lowered and the productivity is lowered.

본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 그 목적으로 하는 바는, 조류의 성장을 억제할 수 있는 플로트식 유량계를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a float-type flow meter capable of suppressing the growth of algae.

본 발명의 일 양태에 의하면, 액체의 유량을 조절하기 위한 플로트식 유량계로서, 하방으로부터 액체를 도입하는 액체 도입부와, 상방으로부터 액체를 도출하는 액체 도출부를 구비하고 수직 방향으로 세워 형성하는 투명한 관과, 그 관 안의 액체의 흐름에 의해 상하동하는 부표를 갖고, 그 관의 외주면에, 말 (藻) 의 성장을 촉진시키는 파장의 광을 차단하는 부재가 배치 형성된 것을 특징으로 하는 플로트식 유량계가 제공된다.According to one aspect of the present invention, there is provided a float-type flow meter for controlling a flow rate of a liquid, comprising: a transparent tube having a liquid inlet portion for introducing liquid from below and a liquid outlet portion for introducing liquid from above, And a member for blocking the light having a wavelength that promotes the growth of algae is disposed on the outer circumferential surface of the tube, the bucket vertically moving by the flow of the liquid in the tube is provided .

본 발명의 일 양태에 관련된 플로트식 유량계에 의하면, 수직 방향으로 세워 형성하는 관의 외주면에, 말의 성장을 촉진시키는 파장의 광을 차단하는 부재가 배치 형성된다. 그 때문에, 그 관의 내부에 흐르는 수돗물 등의 액체에 함유되는 말이 그 플로트식 유량계에 부착되어도, 말을 성장시키는 파장의 광이 말에 도달하지 않기 때문에, 말의 성장이 억제된다.According to the float-type flow meter according to one aspect of the present invention, a member for blocking light of a wavelength that promotes the growth of horses is disposed on the outer peripheral surface of a tube vertically formed and formed. Therefore, even if a horse contained in a liquid such as tap water flowing in the tube adheres to the float-type flow meter, the light of the wavelength for growing the horse does not reach the horse, and the growth of horses is suppressed.

말의 성장이 억제되어 플로트식 유량계가 잘 오염되지 않기 때문에, 플로트식 유량계의 청소의 빈도를 저감시킬 수 있다. 그러면, 가공 장치의 가동률을 높일 수 있기 때문에, 가공 장치의 생산성도 향상된다.Since the growth of horses is suppressed and the float type flow meter is not well contaminated, the frequency of cleaning the float type flow meter can be reduced. Then, since the operating rate of the machining apparatus can be increased, the productivity of the machining apparatus is also improved.

따라서, 본 발명의 일 양태에 의해, 조류의 성장을 억제할 수 있는 플로트식 유량계가 제공된다.Therefore, according to one aspect of the present invention, there is provided a float type flow meter capable of suppressing the growth of algae.

도 1 은 가공 장치의 액체의 공급로에 배치 형성되는 플로트식 유량계와, 배관 블록을 모식적으로 나타내는 사시도이다.
도 2 는 가공 장치의 액체의 공급로에 배치 형성되는 플로트식 유량계와, 배관 블록을 모식적으로 나타내는 측면도이다.1 is a perspective view schematically showing a float-type flowmeter and a piping block arranged in a liquid supply path of a machining apparatus;
Fig. 2 is a side view schematically showing a float-type flowmeter and a piping block arranged in a liquid supply path of a machining apparatus; Fig.

본 발명에 관련된 실시형태에 대하여 설명한다. 도 1 은, 가공 장치의 액체의 공급로에 배치 형성되는 플로트식 유량계 (2) 와, 배관 블록 (26) 을 모식적으로 나타내는 사시도이다. 도 2 는, 가공 장치의 액체의 공급로에 배치 형성되는 플로트식 유량계 (2) 와, 배관 블록 (26) 을 모식적으로 나타내는 측면도이다. 어느 도면에 있어서도, 일부의 내부 구조가 파선으로 나타난다.DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described. Fig. 1 is a perspective view schematically showing a float-type flow meter 2 and a piping block 26 arranged in a liquid supply passage of a processing apparatus. 2 is a side view schematically showing the float type flow meter 2 and the piping block 26 arranged in the liquid supply path of the processing apparatus. In any of the drawings, a part of the internal structure is indicated by a broken line.

본 실시형태에 관련된 플로트식 유량계 (면적식 유량계) (2) 는, 배관 블록 (26) 에 부착되어 사용된다. 플로트식 유량계 (2) 는, 유량계 본체 (4) 와, 유량계 본체 (4) 의 배면측에 고정된 고정 플레이트 (6) 로 구성된다. 유량계 본체 (4) 의 정면에는, 액체의 유량을 판독하기 위한 눈금 (8) 이 형성되어 있다.The float type flow meter (area type flow meter) 2 according to the present embodiment is attached to the piping block 26 and used. The float type flow meter 2 comprises a flow meter main body 4 and a fixing plate 6 fixed to the back side of the flowmeter main body 4. [ A scale 8 for reading the flow rate of the liquid is formed on the front surface of the flowmeter main body 4.

유량계 본체 (4) 의 배면에는, 고정 플레이트 (6) 를 관통하여 수평 방향으로 후방을 향하여 돌출되는 하부 접속부 (10) 및 상부 접속부 (12) 가 형성되어 있다. 배관 블록 (26) 의 정면에는, 유량계 본체 (4) 의 그 하부 접속부 (10) 에 대응하는 직경의 하부 접속공 (28) 과, 그 상부 접속부 (12) 에 대응하는 직경의 상부 접속공 (30) 이 형성되어 있다. 그 하부 접속공 (28) 및 상부 접속공 (30) 은, 그 하부 접속부 (10) 및 그 상부 접속부 (12) 의 위치에 각각 맞춰 형성되어 있고, 각각 그 하부 접속부 (10) 와 그 상부 접속부 (12) 에 접속된다.A lower connection portion 10 and an upper connection portion 12 protruding rearward in the horizontal direction through the fixing plate 6 are formed on the back surface of the flowmeter main body 4. A lower connection hole 28 having a diameter corresponding to the lower connection portion 10 of the flowmeter main body 4 and an upper connection hole 30 having a diameter corresponding to the upper connection portion 12 are formed on the front surface of the piping block 26 Is formed. The lower connection hole 28 and the upper connection hole 30 are formed so as to correspond to the positions of the lower connection portion 10 and the upper connection portion 12, respectively. The lower connection portion 10 and the upper connection portion 12.

도 2 에 나타내는 바와 같이, 유량계 본체 (4) 의 내부에는 관 (4b) 이 형성되어 있다. 관 (4b) 을 수평하게 절단한 단면의 형상은 대략 원형이고, 관 (4b) 은 이 단면의 직경이 상측을 향하여 확장되는 테이퍼 형상이다. 관 (4b) 의 하방에는 하부 접속부 (10) 에 접속되는 액체 도입부 (14) 가 형성되고, 관 (4b) 의 상방에는 상부 접속부 (12) 에 접속되는 액체 도출부 (16) 가 형성되어 있다. 관 (4b) 의 내측에는, 부표 (플로트) (18) 가 들어가 있다. 유량계 본체 (4) 의 정면의 하부에는, 관 (4b) 을 흐르는 액체의 유량을 조절하는 조절 손잡이 (20) 가 형성되어 있다.As shown in Fig. 2, a tube 4b is formed inside the flowmeter main body 4. As shown in Fig. The cross section of the tube 4b cut horizontally is substantially circular, and the tube 4b has a tapered shape in which the diameter of the cross section extends upward. A liquid introduction portion 14 connected to the lower connection portion 10 is formed below the pipe 4b and a liquid lead portion 16 connected to the upper connection portion 12 is formed above the pipe 4b. On the inside of the pipe 4b, a float (float) 18 is inserted. A regulating knob 20 for regulating the flow rate of the liquid flowing through the pipe 4b is formed in a lower portion of the front surface of the flowmeter main body 4.

고정 플레이트 (6) 의 유량계 본체 (4) 와는 겹치지 않는 상측과, 하측에는, 볼트 (24) 를 통과시키기 위한 구멍 (22) 이 형성되어 있다. 배관 블록 (26) 의 정면에는, 그 구멍 (22) 에 대응하는 위치에 나사공 (32) 이 형성되어 있다.Holes 22 for passing the bolts 24 are formed on the upper side and the lower side of the fixed plate 6 which do not overlap with the flowmeter main body 4. A screw hole 32 is formed in the front surface of the pipe block 26 at a position corresponding to the hole 22. [

플로트식 유량계 (2) 는, 고정 플레이트 (6) 의 구멍 (22) 이 나사공 (32) 의 위치에 맞도록 배관 블록 (26) 의 정면의 고정 플레이트 (6) 의 부착 위치 (34) 에 위치지워지고, 구멍 (22) 을 통하여 볼트 (24) 가 나사공 (32) 으로 조여 들어감으로써, 배관 블록 (26) 에 고정된다. 이와 같이 플로트식 유량계 (2) 가 배관 블록 (26) 에 고정되면, 플로트식 유량계 (2) 의 하부 접속부 (10) 및 상부 접속부 (12) 가 각각 배관 블록 (26) 의 하부 접속공 (28) 및 상부 접속공 (30) 에 접속된다.The float type flow meter 2 is positioned at the attachment position 34 of the fixing plate 6 on the front face of the pipe block 26 so that the hole 22 of the fixing plate 6 is aligned with the position of the screw hole 32 And is fixed to the pipe block 26 by fastening the bolt 24 to the screw hole 32 through the hole 22. When the float-type flow meter 2 is fixed to the piping block 26, the lower connection portion 10 and the upper connection portion 12 of the float-type flow meter 2 are connected to the lower connection hole 28 of the piping block 26, And the upper connection hole 30, respectively.

배관 블록 (26) 의 하부 접속공 (28) 은, 액체의 공급원 (도시 생략) 으로부터 액체가 공급되는 공급 배관 (36) 에 접속되어 있다. 또, 배관 블록 (26) 의 상부 접속공 (30) 은, 송출 배관 (38) 에 접속되어 있다. 또한, 송출 배관 (38) 에는 배관 블록 (26) 의 상면으로 돌출되는 밸브 (40) 가 형성되어 있다. 그 밸브 (40) 에 의해, 가공 장치로의 액체의 송출과, 그 정지를 제어할 수 있다.The lower connection hole 28 of the piping block 26 is connected to a supply piping 36 through which liquid is supplied from a liquid supply source (not shown). The upper connection hole 30 of the piping block 26 is connected to the delivery piping 38. A valve 40 protruding from the upper surface of the piping block 26 is formed in the delivery pipe 38. With the valve 40, it is possible to control the delivery and stop of the liquid to the processing apparatus.

배관 블록 (26) 은 3 세트의 송출 배관 (38) 을 가지고 있으며, 각각에 흐르는 유량을 계측하는 3 개의 플로트식 유량계가 배관 블록 (26) 의 정면에 배치 형성된다. 그리고, 배관 블록 (26) 에는, 3 세트의 송출 배관 (38) 에 대응하는 밸브, 하부 접속공, 및 상부 접속공 등이 형성되어 있다.The piping block 26 has three sets of delivery pipes 38, and three float-type flow meters for measuring the flow rate of each flow are arranged on the front surface of the piping block 26. The piping block 26 is provided with a valve, a lower connection hole, and an upper connection hole corresponding to the three sets of the delivery pipes 38, and the like.

본 실시형태에 관련된 플로트식 유량계 (2) 의 외주에는, 유량계 본체 (4) 의 내부의 관 (4b) 를 덮도록 부재 (42) 가 형성된다. 그 부재 (42) 는, 수돗물 등의 액체에 함유되는 말의 성장을 촉진시키는 파장의 광을 차단하는 기능을 갖는다. 말의 성장을 촉진시키는 광의 주요한 파장은 500 ㎚ 이하이기 때문에, 부재 (42) 에는 500 ㎚ 이하의 파장 영역에 흡수대를 갖는 부재를 사용한다. 일부의 UV 컷 필름은 500 ㎚ 이하의 파장의 광을 차단하기 때문에, 부재 (42) 에는, 예를 들어, 그 UV 컷 필름을 사용해도 된다. 또, 부재 (42) 는 그 광을 반사시켜도 된다.A member 42 is formed on the outer periphery of the float-type flow meter 2 according to the present embodiment so as to cover the pipe 4b inside the flow meter body 4. The member 42 has a function of shielding light having a wavelength that promotes growth of horses contained in liquid such as tap water. Since the main wavelength of light for promoting the growth of horses is 500 nm or less, a member having an absorption band in a wavelength range of 500 nm or less is used for the member 42. Since some of the UV cut films block light having a wavelength of 500 nm or less, the member 42 may be, for example, a UV cut film. The member 42 may reflect the light.

또한, 그 부재 (42) 는, 말의 성장을 촉진시키는 광의 모든 파장 영역에 걸쳐 흡수대를 갖고 있지 않아도 된다. 또, 유량계 본체 (4) 의 정면에 형성된 눈금 (8) 을 그 부재 (42) 를 통하여 시인할 수 있도록, 그 부재 (42) 는 일부의 파장의 가시광이 투과 가능해야 한다.Further, the member 42 does not need to have an absorption band over all the wavelength regions of light for promoting horse growth. The member 42 should be capable of transmitting visible light of a part of the wavelength so that the scale 8 formed on the front surface of the flowmeter main body 4 can be visually recognized through the member 42. [

다음으로, 본 실시형태에 관련된 플로트식 유량계 (2) 의 사용 양태에 대하여 설명한다. 그 플로트식 유량계 (2) 에는, 액체의 공급원 (도시 생략) 으로부터 배관 블록 (26) 의 하부 접속공 (28) 을 통하여, 예를 들어, 수돗물 (시수) 이 공급된다. 플로트식 유량계 (2) 의 관 (4b) 에 액체 도입부 (14) 로부터 수돗물이 공급되면, 그 유량에 따른 높이로 관 (4b) 에 들어 있는 부표 (플로트) (18) 가 부상한다.Next, the use of the float-type flow meter 2 according to the present embodiment will be described. Tap water is supplied to the float type flow meter 2 from a liquid supply source (not shown) through the lower connection hole 28 of the piping block 26. When tap water is supplied to the pipe 4b of the float-type flow meter 2 from the liquid-introducing portion 14, the float 18 contained in the pipe 4b floats at a height corresponding to the flow rate.

관 (4b) 은 테이퍼 형상이기 때문에, 부표 (18) 와, 관 (4b) 의 내벽 사이의 수돗물이 통과 가능한 영역의 단면적은 부표 (18) 의 높이에 따라 변화한다. 수돗물의 유량에 대해 그 단면적이 지나치게 작은 경우, 부표 (18) 에는 상향의 힘이 가해져, 부표 (18) 가 부상하여 그 단면적이 증가한다. 그 단면적이 증가하면 그 상향의 힘이 변화한다.The sectional area of the area through which the tap water can pass between the buoys 18 and the inner wall of the pipe 4b varies with the height of the buoys 18 because the pipes 4b are tapered. When the sectional area of the water is too small with respect to the flow rate of the tap water, an upward force is applied to the buoy 18, and the buoy 18 floats and its sectional area increases. As the cross-sectional area increases, the upward force changes.

따라서, 부표 (18) 는, 부표 (18) 에 가해지는 중력 등의 힘과, 그 상향의 그 힘이 균형이 잡힌 높이로 부상하기 때문에, 눈금 (8) 을 사용하여 부표 (18) 의 부상 높이로부터 수돗물의 유량을 측정할 수 있다. 그리고, 조절 손잡이 (20) 를 조작하여, 수돗물의 유량이 소정의 값이 되도록 수돗물의 유량을 조절한다.Therefore, the buoy 18 floats at a height balanced with the force of gravity or the like applied to the buoy 18 and the upward force of the buoy 18. The lifting height of the buoy 18 The flow rate of the tap water can be measured. Then, the control handle 20 is operated to adjust the flow rate of the tap water so that the flow rate of the tap water becomes a predetermined value.

관 (4b) 의 내부에 흐르는 수돗물에는, 미량이면서 말 등이 함유되어 있는 경우가 있고, 수돗물에 함유되는 그 말이 부표 (18) 나 관 (4b) 의 내벽에 부착되는 경우가 있다. 관 (4b) 은, 내부에 들어 있는 부표 (18) 가 시인 가능해지도록 일반적으로 광을 투과한다. 그 때문에, 말을 성장시키는 파장의 광도 투과한다. 부재 (42) 가 형성되어 있지 않은 경우, 부표 (18) 나 관 (4b) 의 내벽에 부착되는 말은 성장한다.The tap water flowing into the pipe 4b may contain a small amount of horse or the like and the horse contained in the tap water sometimes adheres to the inner wall of the buoy 18 or the pipe 4b. The pipe 4b generally transmits light so that the buoys 18 contained therein can be visually recognized. Therefore, light of a wavelength for growing a horse is also transmitted. When the member 42 is not formed, the horse attached to the inner wall of the buoy 18 or the pipe 4b grows.

그 말이 성장하면, 관 (4b) 의 내부를 부분적으로 말이 차지하여 부표 (18) 가 정상적인 높이로 부상하지 않는 경우가 있다. 또, 말이 성장하면, 관 (4b) 의 내벽이 오염되어 내부의 부표 (18) 를 외부로부터 시인하기 어려워지는 경우가 있다. 성장한 말을 제거하기 위해, 예를 들어, 3 개월 정도의 주기로 플로트식 유량계를 분해하여 청소해야 한다. 그러나, 청소할 동안은 가공 장치의 가동을 정지시켜야 하여, 가공 장치의 가동률이 저하되어 생산성이 저하된다는 문제를 일으킨다.If the word grows, the inside of the pipe 4b may partially occupy the horse, and the buoy 18 may not float to a normal height. In addition, if the horse grows, the inner wall of the pipe 4b may become dirty, making it difficult for the inside of the buoys 18 to be visually recognized from the outside. In order to remove the growing horse, for example, the float type flow meter should be disassembled and cleaned at a period of about three months. However, during the cleaning, the operation of the machining apparatus must be stopped, so that the operating rate of the machining apparatus is lowered and the productivity is lowered.

본 실시형태에 관련된 플로트식 유량계 (2) 의 외주에는, 유량계 본체 (4) 의 내부의 관 (4b) 을 덮도록 부재 (42) 가 형성되기 때문에, 말의 성장을 억제할 수 있어, 청소의 빈도를 낮출 수 있다. 그러면, 가공 장치의 가동률을 높여 생산성을 향상시킬 수 있다.Since the member 42 is formed on the outer periphery of the float-type flow meter 2 according to the present embodiment so as to cover the pipe 4b inside the flowmeter main body 4, the growth of horses can be suppressed, The frequency can be lowered. Then, the productivity of the processing apparatus can be improved by increasing the operating rate.

플로트식 유량계 (2) 에 의해 소정의 유량으로 조절된 수돗물 등의 액체는, 관 (4b) 의 상부의 액체 도출부 (16) 로부터 배관 블록 (26) 의 상부 접속공 (30) 을 통과하고, 송출 배관 (38) 을 거쳐 가공 장치의 소정의 지점에 공급된다. 송출 배관 (38) 에는 밸브 (40) 가 형성되어 있고, 그 밸브 (40) 를 개폐함으로써, 플로트식 유량계 (2) 에 의해 조절된 수돗물 등의 액체의 유량을 유지하면서 그 액체의 공급과 정지를 전환할 수 있다.Liquid such as tap water adjusted to a predetermined flow rate by the float type flow meter 2 passes through the upper connection hole 30 of the piping block 26 from the liquid lead-out portion 16 at the upper portion of the pipe 4b, And is supplied to a predetermined point of the processing apparatus via the delivery pipe 38. A valve 40 is formed in the delivery pipe 38. The valve 40 is opened and closed to supply and stop the liquid while maintaining the flow rate of the liquid such as tap water controlled by the float type flow meter 2 You can switch.

또한, 본 발명은 상기 실시형태의 기재에 한정되지 않고, 여러 가지 변경하여 실시할 수 있다. 예를 들어, 상기 실시형태에서는, 유량계 본체 (4) 의 내부의 관 (4b) 을 덮도록 부재 (42) 를 형성하지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 예를 들어, 관 (4b) 을 형성하는 유량계 본체 (4) 를 구성하는 부재에 말의 성장을 촉진시키는 파장의 광을 차단하는 재료를 사용해도 된다.The present invention is not limited to the description of the above embodiments, but can be variously modified. For example, in the above embodiment, the member 42 is formed so as to cover the pipe 4b inside the flowmeter main body 4, but the present invention is not limited to this. For example, a material for blocking light of a wavelength that promotes horse growth may be used for a member constituting the flowmeter main body 4 forming the pipe 4b.

그 밖에, 상기 실시형태에 관련된 구조, 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한 적절히 변경하여 실시할 수 있다.In addition, the structures, methods, and the like related to the above-described embodiments can be appropriately changed without departing from the scope of the present invention.

2 : 플로트식 유량계 (면적식 유량계)
4 : 유량계 본체
4b : 관
6 : 고정 플레이트
8 : 눈금
10 : 하부 접속부
12 : 상부 접속부
14 : 액체 도입부
16 : 액체 도출부
18 : 부표 (플로트)
20 : 조절 손잡이
22 : 구멍
24 : 볼트
26 : 배관 블록
28, 28a, 28b : 하부 접속공
30, 30a, 30b : 상부 접속공
32 : 나사공
34 : 고정 블록의 부착 위치
36 : 공급 배관
38 : 송출 배관
40, 40a, 40b : 밸브
42 : 부재2: Float type flow meter (area type flow meter)
4: Flow meter body
4b: tube
6: Fixing plate
8: graduation
10:
12: upper connection
14: liquid introduction part
16: liquid lead-
18: Buoy (float)
20: Adjustable handle
22: hole
24: Bolt
26: Piping block
28, 28a, 28b:
30, 30a, 30b: upper connection hole
32:
34: Mounting position of fixed block
36: Supply piping
38: delivery piping
40, 40a, 40b: valve
42: absence

Claims (1)

액체의 유량을 조절하기 위한 플로트식 유량계로서,
하방으로부터 액체를 도입하는 액체 도입부와, 상방으로부터 액체를 도출하는 액체 도출부를 구비하고 수직 방향으로 세워 형성하는 투명한 관과,
그 관 안의 액체의 흐름에 의해 상하동하는 부표를 갖고,
그 관의 외주에, 말의 성장을 촉진시키는 파장의 광을 차단하는 부재가 배치 형성된 것을 특징으로 하는 플로트식 유량계.A float-type flow meter for controlling the flow rate of a liquid,
A transparent tube having a liquid introducing portion for introducing liquid from below and a liquid lead-out portion for introducing liquid from above,
Having buoys moving up and down by the flow of liquid in the pipe,
And a member for blocking light having a wavelength that promotes the growth of horses is disposed on the outer periphery of the tube.
KR1020180017537A 2017-02-15 2018-02-13 Float type flowmeter KR20180094488A (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2017-026167 2017-02-15
JP2017026167A JP2018132418A (en) 2017-02-15 2017-02-15 Float type flowmeter

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20180094488A true KR20180094488A (en) 2018-08-23

Family

ID=63156674

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020180017537A KR20180094488A (en) 2017-02-15 2018-02-13 Float type flowmeter

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP2018132418A (en)
KR (1) KR20180094488A (en)
CN (1) CN108426617A (en)
TW (1) TW201831865A (en)

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008045885A (en) 2006-08-10 2008-02-28 Nippon Flow Cell Kk Valve-equipped area flow meter

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3894433A (en) * 1974-02-13 1975-07-15 Fischer & Porter Co Rotameter system with electrical read-out
US4459859A (en) * 1982-07-12 1984-07-17 Price Kenneth E Flowmeter
JPS59132340A (en) * 1983-01-19 1984-07-30 Nippon Furnace Kogyo Kaisha Ltd Device for making density viewable in water stream model
JPH081454Y2 (en) * 1990-11-29 1996-01-17 武田薬品工業株式会社 Algae adhesion prevention float type flow meter
JP2001153697A (en) * 1999-11-29 2001-06-08 Tokyo Flow Meter Kenkyusho:Kk Area type flowmeter
CN2401875Y (en) * 1999-12-10 2000-10-18 巴陵石化岳阳石油化工总厂 Light shading cover for hydraulic rotator flowmeter
JP5089563B2 (en) * 2008-12-03 2012-12-05 中国電力株式会社 How to clean piping structure
CN102141419A (en) * 2010-01-28 2011-08-03 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 Filter flowmeter

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008045885A (en) 2006-08-10 2008-02-28 Nippon Flow Cell Kk Valve-equipped area flow meter

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
일본 공개특허공보 평7-4998호

Also Published As

Publication number Publication date
JP2018132418A (en) 2018-08-23
TW201831865A (en) 2018-09-01
CN108426617A (en) 2018-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
ES2944586T3 (en) Lateral Flow Foam Control and Monitoring System
TW445168B (en) Slow sand filter for use with intermittently flowing water supply and method of use thereof
CN100552880C (en) The method for regulating temperature of low flow rate liquid and system thereof
GB2552989B (en) Test apparatus for a waste water treatment system
JP7395105B2 (en) Coolant quality management system and coolant quality detection unit
KR20180094488A (en) Float type flowmeter
US5875899A (en) Apparatus for classifying objects by sedimentation
KR20070114680A (en) Hellix flow, multiple cell type waste and grit remover
JP4742004B2 (en) Plastic fluid valves and valve brackets
JP6333097B2 (en) Filter cleaning equipment with flow path cleaning device
JP2000121628A (en) Water quality measuring device
CN209925342U (en) Pure, constant-pressure and accurate-flow-regulation oil source treatment system
KR102134269B1 (en) Automatic Cleaning System of Water Tank for Water Quality Measuring Instrument
JP4744289B2 (en) Water quality measuring device
US2042383A (en) Proportional liquid feed apparatus
KR101490765B1 (en) Dirty water blocking valve
JP4951473B2 (en) Filtration device
US932265A (en) Washing apparatus for photographic prints or the like.
KR101524078B1 (en) Floating mambrane and filterling method using the same
JP2005262129A (en) Liquid mixing apparatus
CN213148733U (en) Turbidity meter preprocessing device
JP2006275897A (en) Adjusting method of water discharging rate of faucet and open type flowmeter
CN219682467U (en) Visual dropwise add jar for reation kettle
JP6246537B2 (en) Sampling mechanism
CN107774018A (en) Rotational flow grit chamber draining sand method and sand-removing system

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E601 Decision to refuse application