JP2018132272A - Drying apparatus and method for producing dried body - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce variation of temperatures while drying an object to be dried containing a plurality of substances.SOLUTION: A drying apparatus includes: a furnace; a conveyor belt for conveys an object 34 to be dried, to a transportation direction thereof (longitudinal direction thereof) in an interior space of the furnace; one or more infrared heater 40 capable of emitting infrared radiation to the object 34 being conveyed in the interior space of the furnace; and a shielding member 52. The shielding member 52 shields the infrared radiation emitted from the infrared heater 40, so that a plurality of intervals 55 where the object 34 is exposed to the infrared radiation emitted from the infrared heater 40 and a plurality of intervals 56 where the object 34 is not exposed thereto exist alternately along the transportation direction in the interior space of the furnace.SELECTED DRAWING: Figure 4

Description

本発明は、乾燥装置及び乾燥体の製造方法に関する。   The present invention relates to a drying apparatus and a method for producing a dried body.

従来より、赤外線を用いて被乾燥物を乾燥する乾燥装置が知られている(例えば、特許文献1を参照)。特許文献1に記載の乾燥装置は、炉内に配置された赤外線パネルヒータを用いて塗膜を乾燥させている。   Conventionally, a drying apparatus for drying an object to be dried using infrared rays is known (see, for example, Patent Document 1). The drying apparatus described in Patent Document 1 dries the coating film using an infrared panel heater disposed in a furnace.

特許3897456号公報Japanese Patent No. 3897456

ところで、被乾燥物が複数種の物質を含む場合、複数種の物質間の赤外線の吸収率の相違によって、複数種の物質間で赤外線による加熱のされやすさが異なることがある。この場合、例えば被乾燥物中で加熱されやすい物質が多く偏在している箇所は高温になりやすいなど、赤外線の照射により被乾燥物中の温度がばらつく場合があった。温度がばらつくと乾燥速度がばらつくことから、例えば乾燥後の被乾燥物の厚さが不均一になるなどの不具合が生じる場合があった。   By the way, when a to-be-dried substance contains multiple types of substance, the easiness of the heating by infrared rays may differ between multiple types of substances by the difference in the infrared absorption factor between multiple types of substances. In this case, for example, there are cases where the temperature in the material to be dried varies due to the irradiation of infrared rays, for example, the portion where many substances that are easily heated in the material to be dried are unevenly distributed tends to become high temperature. When the temperature varies, the drying speed varies, and thus there may be a problem such as non-uniform thickness of the material to be dried after drying.

本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、複数種の物質を含む被乾燥物の乾燥時の温度のばらつきを低減することを主目的とする。   The present invention has been made in order to solve such a problem, and a main object thereof is to reduce temperature variations during drying of an object to be dried containing a plurality of types of substances.

本発明は、上述した主目的を達成するために以下の手段を採った。   The present invention employs the following means in order to achieve the main object described above.

本発明の乾燥装置は、
被乾燥物を乾燥する乾燥装置であって、
炉体と、
前記被乾燥物を前記炉体の内部空間で搬送方向に搬送する搬送手段と、
前記炉体の内部空間を搬送される被乾燥物に赤外線を放射可能な1以上の赤外線ヒータと、
前記炉体の内部空間において、前記赤外線ヒータから放出される赤外線が前記被乾燥物に照射される照射区間と前記被乾燥物に照射されない非照射区間とが、前記搬送方向に沿って交互にそれぞれ複数存在するように、該赤外線ヒータからの赤外線を遮蔽する遮蔽部材と、
を備えたものである。
The drying device of the present invention comprises:
A drying device for drying an object to be dried,
A furnace body;
Transport means for transporting the material to be dried in the transport direction in the internal space of the furnace body;
One or more infrared heaters capable of radiating infrared rays to an object to be dried conveyed through the internal space of the furnace body;
In the internal space of the furnace body, an irradiation section in which infrared rays emitted from the infrared heater are irradiated on the object to be dried and a non-irradiation section in which the object to be dried is not irradiated are alternately arranged along the transport direction. A shielding member for shielding infrared rays from the infrared heater,
It is equipped with.

この乾燥装置では、赤外線ヒータからの赤外線が遮蔽部材によって遮蔽されることで、炉体の内部空間には照射区間と非照射区間とが被乾燥物の搬送方向に沿って交互に存在し、且つ照射区間と非照射区間とがそれぞれ複数存在している。そのため、この炉体の内部空間を被乾燥物が搬送されていくと、被乾燥物は照射区間と非照射区間とを交互にそれぞれ複数回通過しながら乾燥されていく。ここで、被乾燥物が複数種の物質を含むとき、被乾燥物が照射区間を通過する間は、上述したように赤外線の照射により被乾燥物中の温度にばらつきが生じ局所的な温度差が広がっていく場合がある。これに対し、被乾燥物が非照射区間を通過する間は、熱伝導によって被乾燥物中の温度のばらつきが小さくなっていく。そのため、本発明の乾燥装置は、照射区間と非照射区間とが交互に存在することで、例えば非照射区間が存在しない場合と比較して、被乾燥物の乾燥時の温度のばらつきを低減できる。   In this drying apparatus, the infrared rays from the infrared heater are shielded by the shielding member, so that the irradiation section and the non-irradiation section alternately exist in the inner space of the furnace body along the conveyance direction of the object to be dried, and There are a plurality of irradiation sections and non-irradiation sections. Therefore, when an object to be dried is transported through the internal space of the furnace body, the object to be dried is dried while passing through the irradiation section and the non-irradiation section alternately a plurality of times. Here, when the object to be dried includes a plurality of types of substances, while the object to be dried passes through the irradiation section, as described above, the temperature in the object to be dried varies due to the irradiation of infrared rays, and thus a local temperature difference. May spread. On the other hand, while the material to be dried passes through the non-irradiated section, the temperature variation in the material to be dried decreases due to heat conduction. Therefore, the drying apparatus of the present invention can reduce variation in temperature when drying an object to be dried, for example, as compared with a case where there is no non-irradiation section because the irradiation section and non-irradiation section exist alternately. .

ここで、「照射区間」は、赤外線ヒータの発熱体からの赤外線が反射することなく直線的に被乾燥物に到達できる区間、すなわち発熱体と被乾燥物との間の直線上に遮蔽部材が存在しない区間とする。また、「非照射区間」は、赤外線ヒータの発熱体からの赤外線が反射することなく直線的に被乾燥物に到達できない区間、すなわち発熱体と被乾燥物との間の直線上に遮蔽部材が存在する区間とする。   Here, the “irradiation section” is a section where the infrared rays from the heating element of the infrared heater can reach the object to be dried without reflection, that is, the shielding member is on a straight line between the heating element and the object to be dried. The section does not exist. In addition, the “non-irradiation section” is a section where the infrared rays from the heating element of the infrared heater are not reflected and cannot reach the object to be dried linearly, that is, the shielding member is on a straight line between the heating element and the object to be dried. An existing section is assumed.

本発明の乾燥装置は、
前記炉体の内部空間を搬送される被乾燥物と前記1以上の赤外線ヒータとの間に配置された隔壁、を備え、前記遮蔽部材は、前記隔壁の一部を構成しており、前記隔壁は、前記遮蔽部材が存在しない部分を塞ぐように配設され前記赤外線ヒータからの赤外線を透過して前記照射区間への赤外線の照射を許容する透過部材を有していてもよい。この場合において、前記隔壁は前記炉体の内部空間を仕切っていてもよい。また、前記透過部材は前記炉体の内部空間を仕切っていてもよい。こうすれば、遮蔽部材を、炉体の内部空間を仕切る隔壁の一部に兼用することができる。また、前記遮蔽部材は、赤外線を反射してもよい。こうすれば、例えば遮蔽部材が赤外線を吸収する場合と比較して隔壁の過熱を抑制できる。
The drying device of the present invention comprises:
A partition disposed between an object to be dried transported in the internal space of the furnace body and the one or more infrared heaters, and the shielding member constitutes a part of the partition, and the partition May have a transmitting member that is disposed so as to block the portion where the shielding member does not exist and transmits infrared rays from the infrared heater and allows infrared irradiation to the irradiation section. In this case, the partition may partition the internal space of the furnace body. Further, the transmission member may partition the internal space of the furnace body. If it carries out like this, a shielding member can be used also as a part of partition which partitions off the internal space of a furnace body. The shielding member may reflect infrared rays. If it carries out like this, overheating of a partition can be suppressed compared with the case where a shielding member absorbs infrared rays, for example.

本発明の乾燥装置において、前記赤外線ヒータは、前記搬送方向に沿って複数配置されており、前記遮蔽部材は、複数の前記赤外線ヒータの各々について、周囲の一部のみを覆うように配設されていてもよい。この場合において、前記赤外線ヒータは、加熱されると赤外線を放射する発熱体と、該発熱体の周囲を囲み前記発熱体からの赤外線を透過する透過管と、を有しており、前記遮蔽部材は、前記透過管の表面に配設されていてもよい。   In the drying apparatus of the present invention, a plurality of the infrared heaters are arranged along the transport direction, and the shielding member is disposed so as to cover only a part of the periphery of each of the plurality of infrared heaters. It may be. In this case, the infrared heater includes a heating element that emits infrared rays when heated, and a transmission tube that surrounds the periphery of the heating element and transmits infrared rays from the heating element. May be disposed on the surface of the permeation tube.

赤外線ヒータの各々について遮蔽部材が配設されている態様の本発明の乾燥装置において、前記遮蔽部材は、赤外線を反射してもよい。こうすれば、遮蔽部材による反射後の赤外線が発熱体の加熱と被乾燥物の加熱との少なくとも一方に利用されやすくなるため、エネルギー効率が向上する。   In the drying apparatus of the present invention in which a shielding member is provided for each of the infrared heaters, the shielding member may reflect infrared rays. If it carries out like this, since the infrared rays after reflection by a shielding member will become easy to be utilized for at least one of the heating of a heat generating body, and the heating of a to-be-dried object, energy efficiency improves.

本発明の乾燥体の製造方法は、
被乾燥物を、赤外線が被乾燥物に照射される照射区間と該被乾燥物に照射されない非照射区間とを交互にそれぞれ複数回通過するように搬送することによって、該被乾燥物を乾燥する乾燥工程、
を含むものである。
The method for producing a dry body of the present invention comprises:
Drying the object to be dried by transporting the object to be dried so as to pass through an irradiation section where infrared rays are irradiated to the object to be dried and a non-irradiation section where the object to be dried is not irradiated alternately alternately several times. Drying process,
Is included.

この乾燥体の製造方法では、被乾燥物が照射区間と非照射区間とを交互にそれぞれ複数回通過するように搬送しつつ乾燥を行うため、上述した本発明の乾燥装置と同様に、照射区間で生じた被乾燥物中の温度のばらつきの大きさを、非照射区間において小さくすることができる。そのため、複数種の物質を含む被乾燥物の乾燥工程中の温度のばらつきを低減できる。また、これにより、例えば乾燥体の厚さが不均一になるなどの、温度のばらつきに起因した不具合を抑制できる。なお、この乾燥工程を行うことで被乾燥物を乾燥体にしてもよいし、この乾燥工程の後にさらに別の工程(例えば熱風による乾燥)を行うことで被乾燥物を乾燥体にしてもよい。本発明の乾燥体の製造方法は、例えば上述した本発明の乾燥装置を用いて行うことができる。   In this dry body manufacturing method, the drying object is dried while being conveyed so as to pass through the irradiation section and the non-irradiation section alternately multiple times, so that the irradiation section is similar to the above-described drying apparatus of the present invention. The magnitude of the temperature variation in the to-be-dried material generated in step 1 can be reduced in the non-irradiated section. Therefore, variation in temperature during the drying process of an object to be dried containing a plurality of types of substances can be reduced. This also makes it possible to suppress problems caused by temperature variations such as non-uniform thickness of the dried body. In addition, you may make a to-be-dried body by performing this drying process, and you may make a to-be-dried body by performing another process (for example, drying by a hot air) after this drying process. . The method for producing a dry body of the present invention can be performed using, for example, the above-described drying apparatus of the present invention.

乾燥装置1の概略断面図。1 is a schematic sectional view of a drying device 1. FIG. 図1のA−A断面図。AA sectional drawing of FIG. 図2のB−B断面の部分断面図。The fragmentary sectional view of the BB cross section of FIG. 照射区間55及び非照射区間56の説明図。Explanatory drawing of the irradiation area 55 and the non-irradiation area 56. FIG. 変形例の遮蔽部材152を備えた赤外線ヒータ140の説明図。Explanatory drawing of the infrared heater 140 provided with the shielding member 152 of the modification. 変形例の遮蔽部材252を備えた赤外線ヒータ240の説明図。Explanatory drawing of the infrared heater 240 provided with the shielding member 252 of a modification. 変形例の遮蔽部材352の説明図。Explanatory drawing of the shielding member 352 of a modification.

次に、本発明の実施形態について、図面を用いて説明する。図1は、本発明の一実施形態である乾燥装置1の概略断面図である。図2は、図1のA−A断面図である。図3は、図2のB−B断面の部分断面図である。図4は、図1の一部の拡大図であり、照射区間55及び非照射区間56の説明図である。なお、図2ではノズル60及びガイドロール30は図示を省略している。なお、本実施形態において、上下方向,左右方向及び前後方向は、図1〜3に示した通りとする。乾燥装置1は、ベルトコンベヤ20のベルト22上に載置された被乾燥物34(図2参照)を搬送方向に搬送しながら被乾燥物34の乾燥を行う装置である。搬送方向は、本実施形態では前方から後方に向かう方向とした。この乾燥装置1は、赤外線乾燥炉1aと、熱風乾燥炉1bと、ベルトコンベヤ20と、制御装置90と、を備えている。なお、乾燥装置1は熱風乾燥炉1bを備えなくてもよい。   Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a drying apparatus 1 according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. FIG. 3 is a partial cross-sectional view taken along the line BB in FIG. FIG. 4 is an enlarged view of a part of FIG. In FIG. 2, the nozzle 60 and the guide roll 30 are not shown. In the present embodiment, the vertical direction, the horizontal direction, and the front-back direction are as shown in FIGS. The drying device 1 is a device that dries the material to be dried 34 while transporting the material to be dried 34 (see FIG. 2) placed on the belt 22 of the belt conveyor 20 in the transport direction. In this embodiment, the transport direction is a direction from the front to the rear. The drying apparatus 1 includes an infrared drying furnace 1a, a hot air drying furnace 1b, a belt conveyor 20, and a control device 90. The drying device 1 may not include the hot air drying furnace 1b.

被乾燥物34は、複数種の物質を含むものである。被乾燥物34は、例えば、原料粒子(例えばセラミック粒子又は金属粒子の少なくとも一方)と、バインダと、溶剤とを含んでいてもよい。本実施形態では、被乾燥物34は、これらの物質を含むスラリーの成形体であって、前後左右方向に延びる膜状体とした。この被乾燥物34がこの乾燥装置1を用いた乾燥工程に供されることによって、被乾燥物34内の溶剤が揮発・除去されて被乾燥物34が乾燥させられる。乾燥させられた被乾燥物34すなわち乾燥体は、その後焼成されることで例えばバインダが揮発・除去されて、最終的な製品(焼成体)となる。このような被乾燥物34を用いて得られる製品としては、例えば電子部品又はセンサ素子などが挙げられる。被乾燥物34は、乾燥後の膜厚が0.05mm以上3mm以下としてもよい。   The material to be dried 34 includes a plurality of types of substances. For example, the material to be dried 34 may include raw material particles (for example, at least one of ceramic particles and metal particles), a binder, and a solvent. In the present embodiment, the material to be dried 34 is a molded body of a slurry containing these substances, and is a film-like body extending in the front-rear and left-right directions. By subjecting the material to be dried 34 to a drying process using the drying device 1, the solvent in the material to be dried 34 is volatilized and removed, and the material to be dried 34 is dried. The dried material 34 to be dried, that is, the dried body is then fired, for example, the binder is volatilized and removed, and the final product (baked body) is obtained. Examples of the product obtained using such an object to be dried 34 include an electronic component or a sensor element. The to-be-dried object 34 is good also as the film thickness after drying being 0.05 mm or more and 3 mm or less.

赤外線乾燥炉1aは、赤外線を用いて被乾燥物34を乾燥する装置であり、炉体10と、赤外線ヒータ40と、隔壁50と、ノズル60と、ノズル70と、を備える。炉体10は、略直方体に形成された構造体であり、図1に示すように、前後方向の両端部には、搬入口11と搬出口12とがそれぞれ設けられている。図1,2に示すように、炉体10の内部空間は、隔壁50及びベルトコンベヤ20のベルト22によって区切られている。炉体10の内部空間のうち、隔壁50よりも上方の空間を空間S2と称する。また、炉体10の内部空間のうち隔壁50よりも下方の空間は、ベルト22によってさらに上下に仕切られており、隔壁50とベルト22との間の空間を空間S1と称し、ベルト22よりも下方の空間を空間S3と称する。搬入口11及び搬出口12は、いずれも空間S1と連通している。ベルト22上に載置された被乾燥物34は、搬入口11から空間S1内に搬入され、空間S1を搬送方向に進行し、搬出口12から搬出される。   The infrared drying furnace 1 a is a device that dries the object to be dried 34 using infrared rays, and includes a furnace body 10, an infrared heater 40, a partition wall 50, a nozzle 60, and a nozzle 70. The furnace body 10 is a structure formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and as shown in FIG. 1, a carry-in port 11 and a carry-out port 12 are provided at both ends in the front-rear direction. As shown in FIGS. 1 and 2, the internal space of the furnace body 10 is partitioned by a partition wall 50 and a belt 22 of the belt conveyor 20. Of the internal space of the furnace body 10, the space above the partition wall 50 is referred to as a space S2. The space below the partition wall 50 in the internal space of the furnace body 10 is further partitioned vertically by the belt 22, and the space between the partition wall 50 and the belt 22 is referred to as a space S <b> 1. The lower space is referred to as space S3. The carry-in port 11 and the carry-out port 12 both communicate with the space S1. The object to be dried 34 placed on the belt 22 is carried into the space S1 from the carry-in port 11, travels in the space S1 in the carrying direction, and is carried out from the carry-out port 12.

赤外線ヒータ40は、空間S1内を通過する被乾燥物34に赤外線を照射する装置であり、空間S2内に1以上取り付けられている。本実施形態では、赤外線ヒータ40は、被乾燥物34の搬送方向に沿って空間S2内に略均等に複数本(本実施形態では9本)配置されている。この複数の赤外線ヒータ40は、いずれも同様の構成を有しており、いずれも長手方向が搬送方向と直交するように取り付けられている。以下、1つの赤外線ヒータ40の構成について説明する。   The infrared heater 40 is a device that irradiates the object to be dried 34 that passes through the space S1 with infrared rays, and one or more infrared heaters 40 are attached in the space S2. In the present embodiment, a plurality of (9 in this embodiment) infrared heaters 40 are arranged substantially evenly in the space S <b> 2 along the conveyance direction of the object to be dried 34. The plurality of infrared heaters 40 have the same configuration, and are attached so that the longitudinal direction is orthogonal to the transport direction. Hereinafter, the configuration of one infrared heater 40 will be described.

赤外線ヒータ40は、図2及び図4の拡大図に示すように、発熱体であるフィラメント41を内管42(透過管)が囲むように形成されたヒータ本体43と、このヒータ本体43の外側に設けられ内管42を囲むように形成された外管44(透過管)と、を備えている。また、赤外線ヒータ40は、内管42及び外管44の間の空間であり冷媒が流通可能な冷媒流路46と、外管44の左右両端に気密に嵌め込まれた一対の有底筒状のキャップ48と、を備えている。   As shown in the enlarged views of FIGS. 2 and 4, the infrared heater 40 includes a heater body 43 formed so that a filament 41 as a heating element is surrounded by an inner tube 42 (transmission tube), and an outer side of the heater body 43. And an outer tube 44 (permeation tube) formed so as to surround the inner tube 42. The infrared heater 40 is a space between the inner tube 42 and the outer tube 44, a refrigerant flow path 46 through which refrigerant can flow, and a pair of bottomed cylindrical shapes fitted airtightly at both left and right ends of the outer tube 44. A cap 48.

フィラメント41は、加熱すると赤外線を放射する発熱体であり、本実施形態ではW(タングステン)製とした。なおフィラメント41の材料としては、他にNi−Cr合金,Mo,Ta,及びFe−Cr−Al合金などを挙げることができる。フィラメント41の両端には、図示しない電力供給源から電力が供給される。内管42及び外管44は、円筒状の管であり、フィラメント41からの赤外線の少なくとも一部を透過する赤外線透過材料で構成されている。本実施形態では、内管42及び外管44の材質はいずれも石英ガラスとした。内管42の内部は、アルゴンガスにハロゲンガスを添加した雰囲気となっている。冷媒流路46は、例えば空気などの流体が冷媒として流通可能となっている。冷媒流路46を流通する冷媒は、赤外線ヒータ40の外面である外管44の温度を下げたり、任意の温度に調整したりする役割を果たす。キャップ48は、図示しない取付部材により炉体10内に固定されており、ヒータ本体43及び外管44を保持している。キャップ48には、図示しない配線引出部や冷媒出入口が設けられており、これらを介して炉体10の外部からフィラメント41への電力の供給や炉体10の外部と冷媒流路46との間の冷媒の流出入が可能となっている。赤外線ヒータ40は、種々の波長の赤外線を発生可能であるが、例えば、ピーク波長が6μm程度以下の赤外線(近赤外線)を発生するようになっている。   The filament 41 is a heating element that emits infrared rays when heated, and is made of W (tungsten) in this embodiment. In addition, examples of the material of the filament 41 include Ni—Cr alloy, Mo, Ta, and Fe—Cr—Al alloy. Electric power is supplied to both ends of the filament 41 from a power supply source (not shown). The inner tube 42 and the outer tube 44 are cylindrical tubes and are made of an infrared transmitting material that transmits at least part of the infrared rays from the filament 41. In this embodiment, the inner tube 42 and the outer tube 44 are both made of quartz glass. The inside of the inner tube 42 is an atmosphere in which halogen gas is added to argon gas. In the refrigerant flow path 46, for example, a fluid such as air can flow as a refrigerant. The refrigerant flowing through the refrigerant flow path 46 serves to lower the temperature of the outer tube 44 that is the outer surface of the infrared heater 40 or to adjust the temperature to an arbitrary temperature. The cap 48 is fixed in the furnace body 10 by a mounting member (not shown), and holds the heater body 43 and the outer tube 44. The cap 48 is provided with an unillustrated wiring lead-out portion and a refrigerant inlet / outlet, through which power is supplied from the outside of the furnace body 10 to the filament 41 and between the outside of the furnace body 10 and the refrigerant flow path 46. The refrigerant can flow in and out. The infrared heater 40 can generate infrared rays having various wavelengths. For example, the infrared heater 40 generates infrared rays (near infrared rays) having a peak wavelength of about 6 μm or less.

隔壁50は、上下方向で炉体10の内部空間を搬送される被乾燥物34と複数の赤外線ヒータ40との上下の間に配置されて、炉体の空間S1と空間S2とを仕切っている。隔壁50は、赤外線(特に、近赤外線)を透過する材料で構成された透過部材51と、赤外線(特に、近赤外線)を遮蔽する(透過しない)材料で構成された遮蔽部材52と、を備えている。   The partition wall 50 is disposed between the upper and lower parts of the object to be dried 34 and the plurality of infrared heaters 40 that are transported in the interior space of the furnace body 10 in the vertical direction, and partitions the space S1 and the space S2 of the furnace body. . The partition wall 50 includes a transmissive member 51 made of a material that transmits infrared rays (particularly near infrared rays) and a shielding member 52 made of a material that blocks (does not transmit) infrared rays (particularly near infrared rays). ing.

図1〜図3に示すように、遮蔽部材52は、前後方向に水平に延びるともに、左右方向の中央部が上方に向けて矩形状に突出する形状をしている。遮蔽部材52における矩形状に突出する部分の頂面(遮蔽部材52の上端面)には、前後方向に沿って複数の開口部が配置されている。この複数の開口部の各々を塞ぐように、複数の透過部材51の各々が遮蔽部材52の上端面上に配置されている。本実施形態では、遮蔽部材52の開口部及び透過部材51の形状は、上面視で矩形状とした。また、透過部材51は板状の部材とした。遮蔽部材52の複数の開口部は、図4に示すように各々が赤外線ヒータ40の真下に位置しており、赤外線ヒータ40と1対1に対応している。   As shown in FIGS. 1 to 3, the shielding member 52 extends horizontally in the front-rear direction and has a shape in which a central portion in the left-right direction protrudes in a rectangular shape upward. A plurality of openings are arranged along the front-rear direction on the top surface of the shielding member 52 that protrudes in a rectangular shape (the upper end surface of the shielding member 52). Each of the plurality of transmission members 51 is disposed on the upper end surface of the shielding member 52 so as to close each of the plurality of openings. In the present embodiment, the opening of the shielding member 52 and the shape of the transmission member 51 are rectangular when viewed from above. The transmitting member 51 is a plate-like member. As shown in FIG. 4, each of the plurality of openings of the shielding member 52 is positioned directly below the infrared heater 40 and corresponds to the infrared heater 40 on a one-to-one basis.

赤外線ヒータ40からの赤外線は、この遮蔽部材52が存在することによって、被乾燥物34に照射される領域が制限されている。より具体的には、赤外線ヒータ40のフィラメント41から放射されたの赤外線のうち、透過部材51及び遮蔽部材52の開口部を透過した赤外線が、被乾燥物34に到達するようになっている。すなわち、図4に示すように、赤外線ヒータ40の各々から被乾燥物34に照射される赤外線の照射角αが、遮蔽部材52によって所定の値に制限されている。これにより、図4に示すように、空間S1内には、赤外線ヒータ40から放出される赤外線が被乾燥物34に照射される照射区間55と、被乾燥物34に照射されない非照射区間56とが存在している。照射区間55及び非照射区間56はそれぞれ複数存在し、被乾燥物34の搬送方向に沿って交互に配置されている。   Due to the presence of the shielding member 52, the region irradiated with the infrared ray from the infrared heater 40 is limited. More specifically, of the infrared rays radiated from the filament 41 of the infrared heater 40, the infrared rays that have passed through the openings of the transmission member 51 and the shielding member 52 reach the material to be dried 34. That is, as shown in FIG. 4, the irradiation angle α of the infrared rays irradiated to the material to be dried 34 from each of the infrared heaters 40 is limited to a predetermined value by the shielding member 52. As a result, as shown in FIG. 4, in the space S <b> 1, an irradiation section 55 where the infrared ray emitted from the infrared heater 40 is irradiated to the object to be dried 34, and a non-irradiation section 56 where the object to be dried 34 is not irradiated. Is present. There are a plurality of irradiation sections 55 and non-irradiation sections 56, and they are alternately arranged along the conveyance direction of the material to be dried 34.

なお、照射区間55は、フィラメント41からの赤外線が反射することなく直線的に被乾燥物34に到達できる区間、すなわちフィラメント41と被乾燥物34との間の直線上に遮蔽部材52が存在しない区間とする。非照射区間56は、フィラメント41からの赤外線が反射することなく直線的に被乾燥物34に到達できない区間、すなわちフィラメント41と被乾燥物34との間の直線上に遮蔽部材が存在する区間とする。なお、図4の拡大図に示した照射角αの範囲を規定する2本の破線は、遮蔽部材52とフィラメント41との接線である。図4に示すように、被乾燥物34における赤外線の照射面(ここでは上面)のうち、この2本の破線の間の領域が、照射区間55となり、隣り合う照射区間55の間の領域が非照射区間56となる。   In the irradiation section 55, the shielding member 52 does not exist on the section where the infrared rays from the filament 41 can reach the object to be dried 34 without being reflected, that is, on the straight line between the filament 41 and the object to be dried 34. Interval. The non-irradiation section 56 is a section where the infrared rays from the filament 41 are not reflected and cannot reach the dried object 34 linearly, that is, a section where a shielding member is present on a straight line between the filament 41 and the dried object 34. To do. The two broken lines that define the range of the irradiation angle α shown in the enlarged view of FIG. 4 are tangents between the shielding member 52 and the filament 41. As shown in FIG. 4, the area between the two broken lines in the infrared irradiation surface (here, the upper surface) of the object to be dried 34 is an irradiation section 55, and the area between adjacent irradiation sections 55 is A non-irradiation section 56 is obtained.

なお、照射区間55は、遮蔽部材52が存在しない領域(ここでは遮蔽部材52の開口部)と、その領域に対応する赤外線ヒータ40との間の位置関係で定まる領域とする。例えば、本実施形態では、遮蔽部材52の複数の開口部と赤外線ヒータ40とは1対1に対応しているため、ある1つの赤外線ヒータ40から自身の真下に位置する開口部を通って被乾燥物34に赤外線が照射される区間のみを照射区間55とする。これに対し、ある1つの赤外線ヒータ40からの赤外線は、その赤外線ヒータ40の真下以外に位置する開口部を通って被乾燥物34に到達することも可能であるが、そのように赤外線が到達する区間は、照射区間55には含めない。なお、赤外線ヒータ40からの赤外線が、「遮蔽部材52が存在しない領域」のうちその赤外線ヒータ40に対応する領域以外の領域を通って被乾燥物34に到達(反射することなく直線的に到達)できないように、赤外線ヒータ40と遮蔽部材52との位置関係,赤外線ヒータ40の形状,及び遮蔽部材52の形状のうち少なくとも1以上を調整しておくことが好ましい。   The irradiation section 55 is an area determined by the positional relationship between the area where the shielding member 52 does not exist (here, the opening of the shielding member 52) and the infrared heater 40 corresponding to the area. For example, in the present embodiment, since the plurality of openings of the shielding member 52 and the infrared heater 40 correspond one-to-one, the cover is passed from one infrared heater 40 through the opening located directly below itself. Only a section in which the dried product 34 is irradiated with infrared rays is defined as an irradiation section 55. On the other hand, infrared rays from a certain infrared heater 40 can reach the material to be dried 34 through an opening located at a position other than directly below the infrared heater 40. The section to be performed is not included in the irradiation section 55. The infrared rays from the infrared heater 40 reach the object to be dried 34 through a region other than the region corresponding to the infrared heater 40 in the “region where the shielding member 52 does not exist” (linearly reaches without being reflected). It is preferable to adjust at least one of the positional relationship between the infrared heater 40 and the shielding member 52, the shape of the infrared heater 40, and the shape of the shielding member 52 so as not to be possible.

なお、本実施形態では、図2に示すように、遮蔽部材52のうち左右方向の両側の下面と、ベルト22の上面の両端部と、が接触している。これによって、上述したように隔壁50よりも下方の空間は、空間S1と空間S3とに仕切られている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 2, the lower surface on both sides in the left-right direction of the shielding member 52 and both end portions of the upper surface of the belt 22 are in contact with each other. Thus, as described above, the space below the partition wall 50 is partitioned into the space S1 and the space S3.

透過部材51の材料としては、石英ガラスが挙げられる。石英ガラスは、3.5μm以下の波長の赤外線(近赤外線)を高い透過率で透過する特性を有する。遮蔽部材52の材料としては、ステンレス又はアルミニウムが挙げられる。ステンレスは、6μm程度以下の波長の赤外線を透過しない特性を有するため、遮蔽部材52に適している。また、遮蔽部材52は、赤外線を反射することが好ましい。アルミニウムは、6μm程度以下の波長の赤外線を透過しない特性を有するのみならず、ステンレスと比べて赤外線の反射率が高いため、遮蔽部材52により適している。遮蔽部材52が赤外線を反射すると、隔壁50の過熱を抑制できる。   An example of the material of the transmission member 51 is quartz glass. Quartz glass has a characteristic of transmitting infrared rays (near infrared rays) having a wavelength of 3.5 μm or less with high transmittance. Examples of the material of the shielding member 52 include stainless steel and aluminum. Stainless steel is suitable for the shielding member 52 because it has a characteristic of not transmitting infrared rays having a wavelength of about 6 μm or less. Moreover, it is preferable that the shielding member 52 reflects infrared rays. Aluminum not only has the property of not transmitting infrared rays having a wavelength of about 6 μm or less, but also has a higher infrared reflectance than stainless steel, and thus is more suitable for the shielding member 52. When the shielding member 52 reflects infrared rays, overheating of the partition wall 50 can be suppressed.

ノズル60は、図1に示すように、炉体10の空間S2内における各赤外線ヒータ40の上方に、前後方向に所定の間隔を空けて複数配置されている。各ノズル60からは、温度が調整された空気が下方に向けてそれぞれ吐出されるようになっている(細い矢印を参照)。このように吐出された空気が隔壁50に当たることによって、隔壁50の温度が調整されるようになっている。このように吐出された空気は、炉体10の上面に設けられた排気口13を介して外部に排出されるようになっている(細い矢印を参照)。   As shown in FIG. 1, a plurality of nozzles 60 are arranged above each infrared heater 40 in the space S <b> 2 of the furnace body 10 with a predetermined interval in the front-rear direction. From each nozzle 60, the temperature-adjusted air is discharged downward (see thin arrows). The temperature of the partition 50 is adjusted by the air thus discharged striking the partition 50. The air thus discharged is discharged to the outside through an exhaust port 13 provided on the upper surface of the furnace body 10 (see thin arrows).

同様に、炉体10の空間S3内には、給気口14及び排気口15が形成されている。給気口14からは、温度が調整された空気が後方に向けて吐出されるようになっている(細い矢印を参照)。このように吐出された空気がベルト22に当たることによって、ベルト22の温度が調整されるようになっている。給気口14から吐出された空気は、排気口15を介して外部に排出されるようになっている(細い矢印を参照)。   Similarly, an air supply port 14 and an exhaust port 15 are formed in the space S3 of the furnace body 10. The air whose temperature is adjusted is discharged from the air supply port 14 toward the rear (see thin arrows). The temperature of the belt 22 is adjusted by the air thus discharged hitting the belt 22. The air discharged from the air supply port 14 is discharged to the outside through the exhaust port 15 (see thin arrows).

ノズル70は、窒素ガス(N2ガス)の吐出用のノズルであり、図1に示すように、炉体10の外側の搬入口11の近傍に配置されている。ノズル70からは、温度及び湿度が調整された窒素ガスが、空間S1の内部に向けて搬送方向に吐出されるようになっている(太い白矢印を参照)。このように、窒素ガスが空間S1を搬送方向に流れることによって、被乾燥物34から蒸発した溶剤を含むガスの温度及び溶剤濃度が、被乾燥物34の表面近傍領域においてできるだけ均一とされるようになっている。空間S1を通過した窒素ガスは、搬出口12を介して、後述する炉体80の内部空間S4に排出されるようになっている(太い白矢印を参照)。なお、ノズル70から吐出するガスは、窒素ガスに限らず不活性ガスであればよく、例えばアルゴンであってもよい。 The nozzle 70 is a nozzle for discharging nitrogen gas (N 2 gas), and is disposed in the vicinity of the carry-in port 11 outside the furnace body 10 as shown in FIG. From the nozzle 70, nitrogen gas whose temperature and humidity are adjusted is discharged in the transport direction toward the inside of the space S <b> 1 (see the thick white arrow). As described above, when the nitrogen gas flows in the transport direction in the space S1, the temperature and the solvent concentration of the gas containing the solvent evaporated from the object to be dried 34 are made as uniform as possible in the region near the surface of the object to be dried 34. It has become. The nitrogen gas that has passed through the space S1 is discharged to the internal space S4 of the furnace body 80 described later via the carry-out port 12 (see a thick white arrow). The gas discharged from the nozzle 70 is not limited to nitrogen gas, but may be any inert gas, for example, argon.

熱風乾燥炉1bは、熱風を用いて被乾燥物34を乾燥する装置であり、図1に示すように、炉体80と、ノズル85と、を備える。炉体80は、炉体10の後端に接続されている。炉体80の内部は、一つの空間S4で構成されている。上述した炉体10の搬出口12は、炉体80の搬入口を兼ねている。また、炉体80の後端部には、搬出口81が設けられている。ベルト22上に載置されて炉体10の搬出口12を通過した被乾燥物34は、空間S4を搬送方向に進行し、搬出口81から搬出される。   The hot air drying furnace 1b is an apparatus that dries the material to be dried 34 using hot air, and includes a furnace body 80 and a nozzle 85 as shown in FIG. The furnace body 80 is connected to the rear end of the furnace body 10. The interior of the furnace body 80 is configured by one space S4. The carry-out port 12 of the furnace body 10 described above also serves as a carry-in port for the furnace body 80. A carry-out port 81 is provided at the rear end of the furnace body 80. The material to be dried 34 placed on the belt 22 and passed through the carry-out port 12 of the furnace body 10 proceeds in the transport direction in the space S4 and is carried out from the carry-out port 81.

炉体80の空間S4内のベルト22よりも下方には、炉体10の給気口14及び排気口15と同様に、給気口83及び排気口84が形成されている。給気口83からは、温度が調整された空気が後方に向けて吐出されるようになっている(細い矢印を参照)。このように給気口83から吐出された空気は、空間S4内の被乾燥物34を下方から加熱したり温度を調整したりする。これにより、被乾燥物34の温度を一定に保ちやすくしている。   An air supply port 83 and an exhaust port 84 are formed below the belt 22 in the space S <b> 4 of the furnace body 80, similarly to the air supply port 14 and the exhaust port 15 of the furnace body 10. From the air supply port 83, the air whose temperature has been adjusted is discharged rearward (see thin arrows). Thus, the air discharged from the air supply port 83 heats the material to be dried 34 in the space S4 from below or adjusts the temperature. Thereby, it is easy to keep the temperature of the material to be dried 34 constant.

ノズル85は、図1に示すように、炉体80の空間S4内における上方に、前後方向に所定の間隔を空けて複数配置されている。各ノズル85からは、高温に調整された空気(熱風)が下方に向けてそれぞれ吐出されるようになっている(細い矢印を参照)。このように吐出された空気(熱風)が被乾燥物34に当たることによって、被乾燥物34の乾燥がより一層進行するようになっている。このように吐出された空気(熱風)は、炉体80の上面に設けられた排気口82を介して外部に排出されるようになっている(細い矢印を参照)。なお、この排気口82からは、空間S1から空間S4内に流入してきた窒素ガス及び被乾燥物34から蒸発した溶剤も外部に排出される。   As shown in FIG. 1, a plurality of nozzles 85 are arranged above the furnace body 80 in the space S4 with a predetermined interval in the front-rear direction. From each nozzle 85, air (hot air) adjusted to a high temperature is discharged downward (see thin arrows). The air (hot air) thus discharged hits the object to be dried 34, so that the object to be dried 34 is further dried. The air (hot air) discharged in this way is discharged to the outside through an exhaust port 82 provided on the upper surface of the furnace body 80 (see thin arrows). From this exhaust port 82, the nitrogen gas flowing into the space S4 from the space S1 and the solvent evaporated from the material to be dried 34 are also discharged to the outside.

ベルトコンベヤ20(搬送手段)は、被乾燥物34を搬送方向(ここでは前後方向)に搬送する機構であり、ベルト22と、複数のガイドロール30とを備えている。ベルト22は、周知のベルト駆動機構(図示せず)によって搬送方向に移動し、赤外線乾燥炉1aの炉体10の空間S1内,及び熱風乾燥炉1bの炉体80の空間S4内をこの順に通過する。ベルト22が移動することで、ベルト22上の被乾燥物34が搬送方向に搬送される。ガイドロール30は、炉体10の空間S3内及び炉体80の空間S4内に搬送方向に沿って複数配置され、移動するベルト22を案内する。なお、本実施形態では、ベルト22の上面にPETフィルム32が載置され、PETフィルム32の上面に被乾燥物34が載置されるものとした。PETフィルム32は、被乾燥物34の取り扱いを容易にする目的で使用される(図2,4参照)。   The belt conveyor 20 (conveying means) is a mechanism for conveying the material to be dried 34 in the conveying direction (here, the front-rear direction), and includes a belt 22 and a plurality of guide rolls 30. The belt 22 is moved in the transport direction by a known belt drive mechanism (not shown), and in this order in the space S1 of the furnace body 10 of the infrared drying furnace 1a and in the space S4 of the furnace body 80 of the hot air drying furnace 1b. pass. As the belt 22 moves, the material to be dried 34 on the belt 22 is transported in the transport direction. A plurality of guide rolls 30 are arranged along the transport direction in the space S3 of the furnace body 10 and in the space S4 of the furnace body 80, and guide the moving belt 22. In the present embodiment, the PET film 32 is placed on the upper surface of the belt 22, and the material to be dried 34 is placed on the upper surface of the PET film 32. The PET film 32 is used for the purpose of facilitating the handling of the material to be dried 34 (see FIGS. 2 and 4).

制御装置90は、例えばCPUを中心とするマイクロプロセッサーとして構成されている。制御装置90は、ベルトコンベヤ20のベルト駆動機構を制御して、ベルト22の移動速度を制御する。制御装置90は、フィラメント41の図示しない電力供給源に制御信号を出力して、フィラメント41のヒータ出力(消費電力)を制御し、これによりフィラメント41の温度や赤外線の放射強度を制御する。制御装置90は、給気口14,ノズル60,70,85から吐出される各気体の温度や流量を制御する。また、制御装置90は、ノズル70から吐出される窒素ガスの湿度も制御する。また、制御装置90は、図示しないタッチパネルなどの表示操作部を備えており、作業者からの指示を入力したり作業者に情報を出力したりする。   The control device 90 is configured as a microprocessor centered on a CPU, for example. The control device 90 controls the belt driving mechanism of the belt conveyor 20 to control the moving speed of the belt 22. The control device 90 outputs a control signal to a power supply source (not shown) of the filament 41 to control the heater output (power consumption) of the filament 41, thereby controlling the temperature of the filament 41 and the infrared radiation intensity. The control device 90 controls the temperature and flow rate of each gas discharged from the air supply port 14 and the nozzles 60, 70, and 85. The control device 90 also controls the humidity of the nitrogen gas discharged from the nozzle 70. In addition, the control device 90 includes a display operation unit such as a touch panel (not shown), and inputs an instruction from the worker or outputs information to the worker.

次に、こうして構成された乾燥装置1が被乾燥物34を乾燥する様子について説明する。乾燥装置1は、被乾燥物34が照射区間55と非照射区間56とを交互にそれぞれ複数回通過するように搬送することによって被乾燥物34を乾燥する乾燥工程を含む処理を行って、被乾燥物34を乾燥させて乾燥体を製造する。まず、制御装置90は、例えば作業者からの処理開始指示を入力すると、フィラメント41に通電して赤外線を放射させると共に、給気口14,ノズル60,70,85から吐出される各気体の温度や流量などを制御する。これにより、制御装置90は空間S1内が所定の状態になるよう調整する。次に、制御装置90はベルト22を所定速度で移動させて被乾燥物34の搬送を開始する。被乾燥物34は、赤外線乾燥炉1aの空間S1を通過する間に、照射区間55において赤外線ヒータ40からの赤外線が照射され、これにより溶剤などの成分が蒸発して乾燥される。また、被乾燥物34は、熱風乾燥炉1bの空間S4を通過する間に、ノズル85からの熱風によってさらに乾燥される。そして、被乾燥物34は乾燥されて乾燥体となり、搬出口81から搬出される。その後、乾燥体はPETフィルム32から剥離され、焼成されることで焼成体となる。   Next, how the drying apparatus 1 configured in this manner dries the object to be dried 34 will be described. The drying apparatus 1 performs a process including a drying step of drying the material to be dried 34 by conveying the material to be dried 34 alternately passing through the irradiation section 55 and the non-irradiation section 56 multiple times. The dried product 34 is dried to produce a dried product. First, for example, when a processing start instruction is input from an operator, the control device 90 energizes the filament 41 to emit infrared rays, and at the same time, the temperature of each gas discharged from the air supply port 14 and the nozzles 60, 70, 85. And control the flow rate. Thereby, the control apparatus 90 adjusts so that the inside of space S1 may be in a predetermined state. Next, the control device 90 starts the conveyance of the material to be dried 34 by moving the belt 22 at a predetermined speed. The object to be dried 34 is irradiated with infrared rays from the infrared heater 40 in the irradiation section 55 while passing through the space S1 of the infrared drying furnace 1a, whereby components such as a solvent are evaporated and dried. Further, the material to be dried 34 is further dried by the hot air from the nozzle 85 while passing through the space S4 of the hot air drying furnace 1b. And the to-be-dried object 34 is dried, it becomes a dry body, and is carried out from the carrying-out port 81. FIG. Thereafter, the dried body is peeled from the PET film 32 and baked to form a baked body.

以上詳述した本実施形態の乾燥装置1は、遮蔽部材52が存在することで、空間S2には照射区間55と非照射区間56とが被乾燥物34の搬送方向に沿って交互にそれぞれ複数存在している。そのため、この空間S1を被乾燥物34が搬送されていく際には、被乾燥物34は照射区間55と非照射区間56とを交互にそれぞれ複数回通過しながら乾燥されていく。これにより、乾燥装置1は、赤外線による被乾燥物34の乾燥時の温度のばらつきを低減できる。この理由について説明する。まず、被乾燥物34が複数種の物質を含む場合、複数種の物質間の赤外線の吸収率の相違によって、複数種の物質間で赤外線による加熱のされやすさが異なることがある。この場合、例えば被乾燥物34中で加熱されやすい物質が多く偏在している箇所は高温になりやすいなど、赤外線の照射により被乾燥物34中の温度がばらつく場合がある。そのため、被乾燥物34が照射区間55を通過する間は、赤外線の照射により被乾燥物34中の温度にばらつきが生じ局所的な温度差が広がっていく場合がある。しかし、被乾燥物34が非照射区間56を通過する間は、被乾燥物34は赤外線による加熱が生じにくく、熱伝導によって被乾燥物34中の温度のばらつきが小さくなっていく。そのため、照射区間55と非照射区間56とが交互に存在することで、例えば非照射区間56が存在せず赤外線を連続的に照射し続ける場合と比較して、被乾燥物34の乾燥時の温度のばらつきを低減できる。なお、被乾燥物34の温度がばらつくと乾燥速度がばらつくことから、例えば乾燥後の被乾燥物34(乾燥体)の厚さが不均一になるなどの不具合が生じる場合がある。本実施形態の乾燥装置1は、被乾燥物34の乾燥時の温度のばらつきを低減することで、このような乾燥体の不具合を抑制できる。なお、照射区間55における被乾燥物34中の温度のばらつきは、前後方向,左右方向,上下方向(厚み方向)のいずれの方向でも起こりうるが、いずれの方向についても、非照射区間56が存在することで温度のばらつきを小さくすることができる。また、非照射区間56が存在せず赤外線を連続的に照射し続けると、被乾燥物34の温度が急上昇して過乾燥になる場合がある。本実施形態の乾燥装置1は、非照射区間56が存在することでこのような過乾燥を抑制することもできる。   In the drying apparatus 1 of the present embodiment described in detail above, since the shielding member 52 is present, there are a plurality of irradiation sections 55 and non-irradiation sections 56 alternately in the transport direction of the object to be dried 34 in the space S2. Existing. For this reason, when the object to be dried 34 is transported through the space S1, the object to be dried 34 is dried while alternately passing through the irradiation section 55 and the non-irradiation section 56 a plurality of times. Thereby, the drying apparatus 1 can reduce the variation in the temperature at the time of drying the to-be-dried object 34 by infrared rays. The reason for this will be described. First, when the material to be dried 34 includes a plurality of types of substances, the easiness of heating by the infrared rays may be different among the plurality of types of substances due to the difference in the infrared absorption rate among the plurality of types of substances. In this case, the temperature in the material to be dried 34 may vary due to irradiation with infrared rays, for example, a portion where many substances that are easily heated in the material to be dried 34 are unevenly distributed tends to become high temperature. Therefore, while the material to be dried 34 passes through the irradiation section 55, the temperature in the material to be dried 34 may vary due to infrared irradiation, and the local temperature difference may spread. However, while the object to be dried 34 passes through the non-irradiated section 56, the object to be dried 34 is hardly heated by infrared rays, and the temperature variation in the object to be dried 34 is reduced by heat conduction. For this reason, the irradiation sections 55 and the non-irradiation sections 56 are alternately present, so that, for example, the non-irradiation section 56 does not exist and the infrared ray is continuously irradiated. Variation in temperature can be reduced. In addition, since the drying speed varies when the temperature of the material to be dried 34 varies, there may be a problem such as non-uniform thickness of the material to be dried 34 (dry body) after drying. The drying apparatus 1 of the present embodiment can suppress such a problem of the dried body by reducing the variation in temperature when the object to be dried 34 is dried. In addition, although the dispersion | variation in the temperature in the to-be-dried material 34 in the irradiation area 55 can occur in any direction of the front-back direction, the left-right direction, and the up-down direction (thickness direction), the non-irradiation area 56 exists also in any direction. By doing so, the variation in temperature can be reduced. Moreover, if the non-irradiation section 56 does not exist and the infrared ray is continuously irradiated, the temperature of the material to be dried 34 may rise rapidly and become overdried. The drying apparatus 1 of the present embodiment can suppress such overdrying by the presence of the non-irradiation section 56.

なお、赤外線乾燥炉1aでは、熱風を用いずに乾燥を行うため、被乾燥物34の表面が他よりも高温になることを抑制できる。そのため、厚さ方向の温度のばらつきをより低減できる。また、熱風を用いることで被乾燥物34の表面が他よりも高温になると、表面付近の溶剤がより多く蒸発することで被乾燥物34の表面付近にバインダが析出する場合がある。そして、析出したバインダと原料粒子とが被乾燥物34の表面付近で蓋のように働き、溶剤の蒸発を阻害する場合がある。これに対し赤外線乾燥炉1aは、熱風を用いずに乾燥を行うことで、バインダの析出を抑制して溶剤の蒸発の阻害を抑制することもできる。なお、熱風乾燥炉1bでは熱風を用いているが、赤外線乾燥炉1aにおいて被乾燥物34の乾燥が十分進んでいるため、被乾燥物34の表面が他よりも高温になることによる上記の問題は生じにくい。   In addition, in the infrared drying furnace 1a, since it dries without using hot air, it can suppress that the surface of the to-be-dried object 34 becomes higher temperature than others. Therefore, variation in temperature in the thickness direction can be further reduced. In addition, when the surface of the object to be dried 34 becomes hotter than the others by using hot air, the solvent near the surface evaporates more, so that the binder may be deposited near the surface of the object to be dried 34. Then, the precipitated binder and raw material particles may act like a lid near the surface of the material to be dried 34 to inhibit the evaporation of the solvent. On the other hand, the infrared drying furnace 1a can also suppress the evaporation of the solvent by suppressing the precipitation of the binder by performing the drying without using hot air. In addition, although hot air is used in the hot air drying furnace 1b, since the drying of the material to be dried 34 is sufficiently advanced in the infrared drying furnace 1a, the above-described problem due to the surface of the material to be dried 34 having a higher temperature than the others. Is unlikely to occur.

また、乾燥装置1は、炉体10の内部空間を搬送される被乾燥物34と複数の赤外線ヒータ40との間に配置された隔壁50を備えている。そして、遮蔽部材52は、隔壁50の一部を構成している。さらに、隔壁50は、遮蔽部材52が存在しない部分すなわち開口部を塞ぐように配設され赤外線ヒータ40からの赤外線を透過して照射区間55への赤外線の照射を許容する透過部材51を有している。さらに、隔壁50は炉体10の内部空間を仕切っており、透過部材51は炉体10の内部空間を仕切っている。これにより、遮蔽部材52を隔壁50の一部に兼用することができる。   Further, the drying apparatus 1 includes a partition wall 50 disposed between an object to be dried 34 conveyed through the internal space of the furnace body 10 and the plurality of infrared heaters 40. The shielding member 52 constitutes a part of the partition wall 50. Further, the partition wall 50 includes a transmitting member 51 that is disposed so as to block the portion where the shielding member 52 does not exist, that is, the opening, and transmits infrared rays from the infrared heater 40 and allows irradiation of the irradiation section 55 with infrared rays. ing. Further, the partition wall 50 partitions the internal space of the furnace body 10, and the transmission member 51 partitions the internal space of the furnace body 10. Thereby, the shielding member 52 can be used as a part of the partition wall 50.

なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。   It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that the present invention can be implemented in various modes as long as it belongs to the technical scope of the present invention.

例えば、上述した実施形態では、遮蔽部材52を隔壁50の一部に兼用したが、これに限られない。遮蔽部材52は、炉体10の内部空間に照射区間55と非照射区間56とが被乾燥物34の搬送方向に沿って交互にそれぞれ複数存在するように赤外線ヒータ40からの赤外線を遮蔽できれば、どのように配置してもよい。例えば、乾燥装置1が隔壁と遮蔽部材とを別々に有していてもよいし、乾燥装置1が隔壁を有さず遮蔽部材を有していてもよい。乾燥装置1は、遮蔽部材52に加えて又は代えて、赤外線ヒータ40の各々に対して配置された遮蔽部材を備えていてもよい。図5は、変形例の遮蔽部材152を備えた赤外線ヒータ140の説明図である。この赤外線ヒータ140は、フィラメント41の周囲の一部のみを覆うように配設された遮蔽部材152を備えている。遮蔽部材152は、赤外線ヒータ140の外表面(ここでは外管44の外表面)に配設されている。赤外線ヒータ140のフィラメント41からの赤外線は、この遮蔽部材152が存在することによって一部遮蔽されて、被乾燥物34に照射される赤外線の照射角αが所定の値に制限される。乾燥装置1が備える複数の赤外線ヒータ140の各々がこの遮蔽部材152を有している場合も、上述した実施形態と同様に照射区間55と非照射区間56とを交互に存在させることができ、上述した実施形態と同様の効果が得られる。なお、遮蔽部材152は、外管44の外表面に接着され外管44とは独立した部材であってもよいし、外管44の表面に塗布,スパッタリング,CVD,又は溶射といった成膜方法を用いて成膜された遮蔽層であってもよい。例えば、外管44の外表面を金又はアルミニウムでコーティングすることで遮蔽部材152を形成してもよい。   For example, in the above-described embodiment, the shielding member 52 is also used as a part of the partition wall 50, but is not limited thereto. If the shielding member 52 can shield the infrared rays from the infrared heater 40 so that there are a plurality of irradiation sections 55 and non-irradiation sections 56 alternately along the conveying direction of the object to be dried 34 in the internal space of the furnace body 10, Any arrangement may be used. For example, the drying apparatus 1 may have a partition and a shielding member separately, and the drying apparatus 1 may have a shielding member without a partition. The drying apparatus 1 may include a shielding member arranged for each of the infrared heaters 40 in addition to or instead of the shielding member 52. FIG. 5 is an explanatory diagram of an infrared heater 140 including a shielding member 152 according to a modification. The infrared heater 140 includes a shielding member 152 disposed so as to cover only a part around the filament 41. The shielding member 152 is disposed on the outer surface of the infrared heater 140 (here, the outer surface of the outer tube 44). The infrared rays from the filament 41 of the infrared heater 140 are partially shielded by the presence of the shielding member 152, and the irradiation angle α of the infrared rays irradiated to the object to be dried 34 is limited to a predetermined value. Even when each of the plurality of infrared heaters 140 included in the drying apparatus 1 includes the shielding member 152, the irradiation sections 55 and the non-irradiation sections 56 can be alternately present as in the above-described embodiment, The same effect as the above-described embodiment can be obtained. The shielding member 152 may be a member bonded to the outer surface of the outer tube 44 and independent of the outer tube 44, or a film forming method such as coating, sputtering, CVD, or thermal spraying on the surface of the outer tube 44. It may be a shielding layer formed by using. For example, the shielding member 152 may be formed by coating the outer surface of the outer tube 44 with gold or aluminum.

また、遮蔽部材152に加えて又は代えて、図6の変形例の遮蔽部材252のように、赤外線ヒータ240の外表面(ここでは外管44の外表面)から離れた位置に遮蔽部材を配置してもよい。乾燥装置1が備える複数の赤外線ヒータ240の各々がこの遮蔽部材252を有している場合も、上述した実施形態と同様に照射区間55と非照射区間56とを交互に存在させることができ、上述した実施形態と同様の効果が得られる。ただし、遮蔽部材を含む赤外線ヒータ240全体を小型化しやすいため、遮蔽部材252を配設せず図5のように外管44の表面に遮蔽部材152を配設することが好ましい。   Further, in addition to or instead of the shielding member 152, a shielding member is disposed at a position away from the outer surface of the infrared heater 240 (here, the outer surface of the outer tube 44), such as the shielding member 252 of the modification of FIG. May be. Even when each of the plurality of infrared heaters 240 included in the drying apparatus 1 includes the shielding member 252, the irradiation sections 55 and the non-irradiation sections 56 can alternately exist as in the above-described embodiment. The same effect as the above-described embodiment can be obtained. However, since the entire infrared heater 240 including the shielding member can be easily reduced in size, it is preferable to dispose the shielding member 152 on the surface of the outer tube 44 as shown in FIG.

なお、遮蔽部材152,252は、遮蔽部材52と同様に、赤外線を反射することが好ましい。こうすれば、遮蔽部材による反射後の赤外線がフィラメント41の加熱と被乾燥物34の加熱との少なくとも一方に利用されやすくなるため、エネルギー効率が向上する。例えば遮蔽部材152,252の内周面の断面(図5,6に示す断面)の形状を円弧状として、その円弧を含む円の中心にフィラメント41が位置するようにすれば、遮蔽部材152,252で反射された赤外線をフィラメント41の加熱に効率よく利用できる。また、例えば遮蔽部材252の内周面の断面(図6に示す断面)の形状を放物線状として、その焦点にフィラメント41が位置するようにすれば、遮蔽部材252で反射された赤外線を被乾燥物34の加熱に効率よく利用できる。   Note that, like the shielding member 52, the shielding members 152 and 252 preferably reflect infrared rays. If it carries out like this, since the infrared rays after reflection by a shielding member will become easy to be utilized for at least one of the heating of the filament 41, and the heating of the to-be-dried object 34, energy efficiency improves. For example, if the shape of the cross section (the cross section shown in FIGS. 5 and 6) of the inner peripheral surfaces of the shielding members 152 and 252 is an arc, and the filament 41 is positioned at the center of a circle including the arc, the shielding members 152 and 252 Infrared rays reflected at 252 can be efficiently used for heating the filament 41. Further, for example, if the shape of the cross section (the cross section shown in FIG. 6) of the inner peripheral surface of the shielding member 252 is a parabolic shape and the filament 41 is positioned at the focal point, the infrared rays reflected by the shielding member 252 are dried. It can be efficiently used for heating the object 34.

上述した実施形態において、空間S1と空間S2とを完全に分離しなくともよい場合には、透過部材51を省略してもよい。こうしても、上述した実施形態と同様に照射区間55と非照射区間56とを交互にそれぞれ複数存在させることはできる。   In the embodiment described above, the transmission member 51 may be omitted when the space S1 and the space S2 do not have to be completely separated. Even in this case, a plurality of irradiation sections 55 and non-irradiation sections 56 can be alternately present as in the above-described embodiment.

上述した実施形態では、赤外線ヒータ40のフィラメント41は線状発熱体としたが、特にこれに限られない。例えば、乾燥装置1が面状発熱体を有する赤外線ヒータを備えていてもよい。   In the embodiment described above, the filament 41 of the infrared heater 40 is a linear heating element, but is not limited thereto. For example, the drying device 1 may include an infrared heater having a planar heating element.

上述した実施形態では、乾燥装置1は複数の赤外線ヒータ40を備えていたが、1以上の赤外線ヒータ40を備えていればよい。例えば乾燥装置1が赤外線ヒータ40を1つのみ有する場合でも、赤外線ヒータ40に対応する遮蔽部材52の開口部が複数存在すれば、照射区間55と非照射区間56とを交互にそれぞれ複数存在させることはできる。   In the embodiment described above, the drying apparatus 1 includes the plurality of infrared heaters 40, but it is only necessary to include one or more infrared heaters 40. For example, even when the drying apparatus 1 has only one infrared heater 40, if there are a plurality of openings of the shielding member 52 corresponding to the infrared heater 40, a plurality of irradiation sections 55 and non-irradiation sections 56 exist alternately. I can.

上述した実施形態では、赤外線ヒータ40は炉体10の内部に配置されていたが、特にこれに限られない。例えば、赤外線ヒータ40が炉体10の外側に配置されていてもよい。この場合、赤外線ヒータ40からの赤外線が炉体10の内部に到達できるように炉体10の一部を赤外線透過材料で構成してもよい。また、赤外線ヒータ40が炉体10の外側に配置されている場合、隔壁50は炉体10の内部空間を仕切る内部隔壁である必要はなく、炉体10の内部空間を搬送される被乾燥物34と赤外線ヒータ40との間に隔壁50が配置されていればよい。例えば、炉体10の外側の上方に赤外線ヒータ40が配置されており、炉体10の天井部分が隔壁50と同様に透過部材51と遮蔽部材52とで構成されていてもよい。すなわち遮蔽部材及び透過部材を炉体10の一部に兼用してもよい。この場合、炉体10の天井部分が、「前記炉体の内部空間を搬送される被乾燥物と前記1以上の赤外線ヒータとの間に配置された隔壁」に相当する。   In the above-described embodiment, the infrared heater 40 is disposed inside the furnace body 10, but is not limited thereto. For example, the infrared heater 40 may be disposed outside the furnace body 10. In this case, you may comprise a part of furnace body 10 with an infrared rays transmissive material so that the infrared rays from the infrared heater 40 can reach the inside of the furnace body 10. Further, when the infrared heater 40 is disposed outside the furnace body 10, the partition wall 50 does not need to be an internal partition wall that partitions the interior space of the furnace body 10, and an object to be dried conveyed in the interior space of the furnace body 10. It is only necessary that the partition wall 50 be disposed between 34 and the infrared heater 40. For example, the infrared heater 40 may be disposed above the outside of the furnace body 10, and the ceiling portion of the furnace body 10 may be configured by the transmissive member 51 and the shielding member 52, similarly to the partition wall 50. That is, the shielding member and the transmission member may be used as a part of the furnace body 10. In this case, the ceiling portion of the furnace body 10 corresponds to “a partition wall disposed between an object to be dried conveyed in the internal space of the furnace body and the one or more infrared heaters”.

上述した実施形態では、複数の透過部材51の各々が遮蔽部材52の複数の開口部の各々を塞ぐように配置されていたが、これに限られない。例えば、遮蔽部材52の上端面全体を覆うように透過部材51を1つ配置して、1つの透過部材51で複数の開口部を塞いでもよい。   In the above-described embodiment, each of the plurality of transmission members 51 is disposed so as to close each of the plurality of openings of the shielding member 52, but is not limited thereto. For example, one transmissive member 51 may be disposed so as to cover the entire upper end surface of the shielding member 52, and the plurality of openings may be closed by the single transmissive member 51.

上述した実施形態では、隔壁50よりも下方の空間がベルト22によって空間S1と空間S3とに仕切られていたが、空間S1と空間S3とが連通していてもよい。   In the embodiment described above, the space below the partition wall 50 is partitioned into the space S1 and the space S3 by the belt 22, but the space S1 and the space S3 may communicate with each other.

上述した実施形態において、遮蔽部材52が、開口部に対応する赤外線ヒータ40以外からの赤外線の通過を妨げるように開口部の周囲に設けられた、上下に延びる立設部を有していてもよい。図7は、変形例の遮蔽部材352の説明図である。図7に示すように、遮蔽部材352は、図4に示した遮蔽部材52と同様の本体部352aと、本体部352aの開口部の周囲に配設され本体部352aから上方に延びる立設部352bと、を備えている。立設部352bは、平板状の部材であり、本体部352aの開口部の各々に対して、開口部の前後に1つずつ配設されている。立設部352bは、例えば本体部352bと同様の材質で構成されている。立設部352bは、赤外線ヒータ40からその赤外線ヒータ40に対応する開口部(図7では赤外線ヒータ40の真下の開口部)及び照射区間55への赤外線の到達を妨げないように位置している。一方で、この立設部352bは、上下の長さが適切に調整されることで、本体部352aの開口部に対応する赤外線ヒータ40以外の赤外線ヒータ40(図7では開口部の真上以外に位置する赤外線ヒータ40)からの赤外線が反射することなく直線的にその開口部に到達できないようになっている。   In the embodiment described above, the shielding member 52 may have a vertically extending portion provided around the opening so as to prevent the passage of infrared rays from other than the infrared heater 40 corresponding to the opening. Good. FIG. 7 is an explanatory diagram of a shielding member 352 according to a modification. As shown in FIG. 7, the shielding member 352 has a main body 352a similar to the shielding member 52 shown in FIG. 4, and a standing portion that is disposed around the opening of the main body 352a and extends upward from the main body 352a. 352b. The standing portion 352b is a flat plate-like member, and is provided one before and after the opening portion with respect to each opening portion of the main body portion 352a. The standing portion 352b is made of the same material as the main body portion 352b, for example. The standing portion 352b is positioned so as not to prevent infrared rays from reaching the irradiation portion 55 and the opening corresponding to the infrared heater 40 from the infrared heater 40 (in FIG. 7, the opening directly below the infrared heater 40). . On the other hand, the upright portion 352b is appropriately adjusted in the vertical length so that the infrared heater 40 other than the infrared heater 40 corresponding to the opening of the main body 352a (in FIG. 7, other than directly above the opening) Infrared rays from the infrared heater 40) located at the position cannot be linearly reached without being reflected.

1 乾燥装置、1a 赤外線乾燥炉、1b 熱風乾燥炉、10 炉体、11 搬入口、12 搬出口、13 排気口、14 給気口、15 排気口、20 ベルトコンベヤ、22 ベルト、30 ガイドロール、32 PETフィルム、34 被乾燥物、40,140,240 赤外線ヒータ、41 フィラメント、42 内管、43 ヒータ本体、44 外管、46 冷媒流路、48 キャップ、50 隔壁、51 透過部材、52,152,252,352 遮蔽部材、55 照射区間、56 非照射区間、60 ノズル、70 ノズル、80 炉体、81 搬出口、82 排気口、83 給気口、84 排気口、85 ノズル、90 制御装置、352a 本体部、352b 立設部、S1〜S4 空間。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Drying apparatus, 1a Infrared drying furnace, 1b Hot air drying furnace, 10 Furnace body, 11 Carrying in port, 12 Carrying out port, 13 Exhaust port, 14 Air supply port, 15 Exhaust port, 20 Belt conveyor, 22 Belt, 30 Guide roll, 32 PET film, 34 Dried object, 40, 140, 240 Infrared heater, 41 Filament, 42 Inner tube, 43 Heater body, 44 Outer tube, 46 Refrigerant flow path, 48 Cap, 50 Bulkhead, 51 Transmission member, 52, 152 , 252, 352 shielding member, 55 irradiation section, 56 non-irradiation section, 60 nozzles, 70 nozzles, 80 furnace body, 81 carry-out port, 82 exhaust port, 83 air supply port, 84 exhaust port, 85 nozzle, 90 control device, 352a Body part, 352b Standing part, S1-S4 space.

Claims (6)

被乾燥物を乾燥する乾燥装置であって、
炉体と、
前記被乾燥物を前記炉体の内部空間で搬送方向に搬送する搬送手段と、
前記炉体の内部空間を搬送される被乾燥物に赤外線を放射可能な1以上の赤外線ヒータと、
前記炉体の内部空間において、前記赤外線ヒータから放出される赤外線が前記被乾燥物に照射される照射区間と前記被乾燥物に照射されない非照射区間とが、前記搬送方向に沿って交互にそれぞれ複数存在するように、該赤外線ヒータからの赤外線を遮蔽する遮蔽部材と、
を備えた乾燥装置。
A drying device for drying an object to be dried,
A furnace body;
Transport means for transporting the material to be dried in the transport direction in the internal space of the furnace body;
One or more infrared heaters capable of radiating infrared rays to an object to be dried conveyed through the internal space of the furnace body;
In the internal space of the furnace body, an irradiation section in which infrared rays emitted from the infrared heater are irradiated on the object to be dried and a non-irradiation section in which the object to be dried is not irradiated are alternately arranged along the transport direction. A shielding member for shielding infrared rays from the infrared heater,
Drying device equipped with.
請求項1に記載の乾燥装置であって、
前記炉体の内部空間を搬送される被乾燥物と前記1以上の赤外線ヒータとの間に配置された隔壁、
を備え、
前記遮蔽部材は、前記隔壁の一部を構成しており、
前記隔壁は、前記遮蔽部材が存在しない部分を塞ぐように配設され前記赤外線ヒータからの赤外線を透過して前記照射区間への赤外線の照射を許容する透過部材を有している、
乾燥装置。
The drying apparatus according to claim 1,
A partition wall disposed between an object to be dried and the one or more infrared heaters conveyed through the internal space of the furnace body;
With
The shielding member constitutes a part of the partition;
The partition wall is provided so as to close a portion where the shielding member does not exist, and has a transmission member that transmits infrared light from the infrared heater and allows infrared irradiation to the irradiation section.
Drying equipment.
前記赤外線ヒータは、前記搬送方向に沿って複数配置されており、
前記遮蔽部材は、複数の前記赤外線ヒータの各々について、周囲の一部のみを覆うように配設されている、
請求項1に記載の乾燥装置。
A plurality of the infrared heaters are arranged along the transport direction,
The shielding member is disposed so as to cover only a part of the periphery of each of the plurality of infrared heaters.
The drying apparatus according to claim 1.
前記赤外線ヒータは、加熱されると赤外線を放射する発熱体と、該発熱体の周囲を囲み前記発熱体からの赤外線を透過する透過管と、を有しており、
前記遮蔽部材は、前記透過管の表面に配設されている、
請求項3に記載の乾燥装置。
The infrared heater includes a heating element that emits infrared rays when heated, and a transmission tube that surrounds the heating element and transmits infrared rays from the heating element,
The shielding member is disposed on the surface of the transmission tube.
The drying apparatus according to claim 3.
前記遮蔽部材は、赤外線を反射する、
請求項3又は4に記載の乾燥装置。
The shielding member reflects infrared rays;
The drying apparatus according to claim 3 or 4.
被乾燥物を、赤外線が被乾燥物に照射される照射区間と該被乾燥物に照射されない非照射区間とを交互にそれぞれ複数回通過するように搬送することによって、該被乾燥物を乾燥する乾燥工程、
を含む乾燥体の製造方法。
Drying the object to be dried by transporting the object to be dried so as to pass through an irradiation section where infrared rays are irradiated to the object to be dried and a non-irradiation section where the object to be dried is not irradiated alternately alternately several times. Drying process,
The manufacturing method of the dry body containing this.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0277588U (en) * 1988-11-30 1990-06-14
WO2014073289A1 (en) * 2012-11-07 2014-05-15 日本碍子株式会社 Infrared heating device and drying furnace
WO2014129072A1 (en) * 2013-02-20 2014-08-28 日本碍子株式会社 Heater provided with nozzle and drying furnace
WO2014132952A1 (en) * 2013-02-26 2014-09-04 日本碍子株式会社 Drying device
JP2016103408A (en) * 2014-11-28 2016-06-02 日本碍子株式会社 Infrared ray processing device and infrared heater

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0277588U (en) * 1988-11-30 1990-06-14
WO2014073289A1 (en) * 2012-11-07 2014-05-15 日本碍子株式会社 Infrared heating device and drying furnace
WO2014129072A1 (en) * 2013-02-20 2014-08-28 日本碍子株式会社 Heater provided with nozzle and drying furnace
WO2014132952A1 (en) * 2013-02-26 2014-09-04 日本碍子株式会社 Drying device
JP2016103408A (en) * 2014-11-28 2016-06-02 日本碍子株式会社 Infrared ray processing device and infrared heater

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