JP2014035086A - Drying furnace - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、乾燥炉に関する。 The present invention relates to a drying furnace.
従来、被加熱物を加熱する加熱装置として、被加熱物を加熱する加熱本体部と、加熱本体部へ、又は加熱本体部から被加熱物を搬送する搬送路と、を備えたものが知られている(例えば、特許文献1)。この加熱装置では、加熱本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜し内部に空洞が形成されている外気流入阻止部を搬送路に設けている。この外気流入阻止部を設けることで、外気より温度の高い加熱本体部内の気体が速やかに外気流入阻止部の隔壁に沿って流れ、外気の流入を抑制することができるとしている。また、外気への気体の流出を抑制する効果もあるとされている。 Conventionally, as a heating device for heating an object to be heated, a heating apparatus including a heating main body part for heating the object to be heated and a conveyance path for conveying the object to be heated to or from the heating main body part is known. (For example, Patent Document 1). In this heating apparatus, an outside air inflow prevention portion that is inclined in a direction away from the heating main body portion and has a cavity formed therein is provided in the conveyance path. By providing this outside air inflow prevention part, it is said that the gas in the heating main body part having a temperature higher than that of the outside air can flow promptly along the partition walls of the outside air inflow prevention part and the inflow of outside air can be suppressed. It is also said that there is an effect of suppressing the outflow of gas to the outside air.
また、従来、乾燥対象となる塗膜が表面に形成されたフィルムなどのシートを連続的に搬送して乾燥を行う乾燥炉が知られている(例えば、特許文献2)。この乾燥炉では、セラミック粉末や金属粉末と有機バインダーと有機溶剤とを含む塗膜をベースフィルムの表面に形成し、これを乾燥炉に連続的に搬送して乾燥を行っている。また、赤外線ヒーターによる赤外線の照射と塗膜への冷却風の送風とを共に行うことで、乾燥によるベースフィルムの熱膨張やその後の収縮を抑制して、塗膜の応力による変形を抑制するとしている。 Conventionally, a drying furnace is known in which a sheet such as a film on which a coating film to be dried is formed is continuously conveyed and dried (for example, Patent Document 2). In this drying furnace, a coating film containing ceramic powder, metal powder, an organic binder, and an organic solvent is formed on the surface of the base film, and this is continuously conveyed to the drying furnace for drying. In addition, by performing both infrared irradiation with an infrared heater and cooling air blowing to the coating film, the thermal expansion and subsequent contraction of the base film due to drying are suppressed, and deformation due to the stress of the coating film is suppressed. Yes.
ところで、特許文献2のような乾燥炉においては、シートが連続的に炉内に搬送されるため、このシートの出入口を完全に塞ぐことはできない。そのため、乾燥により塗膜から揮発した有機溶剤を含む雰囲気ガスがシートの上面に沿って出入口から炉外に流出してしまい、炉外の環境を悪化させるなどの問題があった。また、有機溶剤に限らず、乾燥により塗膜から発生するガスをそのまま炉外へ流出することは好ましくない場合が多いため、雰囲気ガスの炉外への流出を抑制したいという要望があった。ここで、特許文献1に記載の外気流入阻止部を乾燥炉の出入口等に設けて、雰囲気ガスの流出を抑制することも考えられる。しかし、特許文献1に記載の外気流入阻止部は外気の流入を阻止することが主目的であり、外部への雰囲気ガスの流出を抑制する効果は十分ではなかった。 By the way, in a drying furnace like patent document 2, since a sheet | seat is continuously conveyed in a furnace, the entrance and exit of this sheet | seat cannot be blocked completely. For this reason, there has been a problem that the atmospheric gas containing the organic solvent volatilized from the coating film by drying flows out of the furnace from the entrance / exit along the upper surface of the sheet, thereby deteriorating the environment outside the furnace. In addition, there is a demand for suppressing the outflow of atmospheric gas to the outside of the furnace because there are many cases where it is not preferable to flow the gas generated from the coating film by drying to the outside of the furnace. Here, it is also conceivable to provide the outside air inflow prevention portion described in Patent Document 1 at the entrance and the like of the drying furnace to suppress the outflow of the atmospheric gas. However, the main purpose of the outside air inflow prevention part described in Patent Document 1 is to prevent outside air from flowing in, and the effect of suppressing the outflow of atmospheric gas to the outside is not sufficient.
本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することのできる乾燥炉を提供することを主目的とする。 The present invention has been made to solve such a problem, and has as its main object to provide a drying furnace that can further suppress the outflow of atmospheric gas to the outside.
本発明の乾燥炉は、
乾燥対象となる膜が上面に形成されたシートを連続的に搬送して乾燥を行う乾燥炉であって、
前記膜を乾燥させる乾燥本体部と、
前記シートを外部から前記乾燥本体部の開口部に搬入するか又は該開口部から外部へ搬出する搬送路と、
前記搬送路内に開口して設けられ、前記シートの上方に位置し、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間を有する内気流出阻止部と、
前記開口部内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として前記搬送路に供給する流入風供給手段と、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記乾燥炉本体部に流入する方向に前記搬送路を流れ、且つ前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方へ流れるように前記流入風を供給する、
ものである。
The drying furnace of the present invention is
A drying furnace that continuously transports a sheet on which a film to be dried is formed on the upper surface and performs drying,
A drying body for drying the membrane;
A conveyance path for carrying the sheet from the outside into the opening of the drying main body or carrying it out from the opening;
An inside air outflow prevention unit provided with an opening in the conveyance path, located above the sheet, and having an inclined space inclined in a direction in which an upper part is away from the drying main body unit;
Inflow air supply means for supplying a fluid having a temperature lower than the atmospheric gas in the opening to the transport path as inflow air;
With
The inflow air supply means supplies the inflow air so as to flow through the conveyance path in a direction of flowing into the drying furnace main body, and to flow under the inside air outflow prevention unit along the upper surface of the sheet.
Is.
この本発明の乾燥炉では、シートを外部から乾燥本体部の開口部に搬入するか又は開口部から外部へ搬出する搬送路に、内気流出阻止部が設けられている。この内気流出阻止部は、シートの上方に位置し、乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間を有している。そして、搬送路に対して、開口部内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として搬送路に供給する。この流入風は、乾燥炉本体部に流入する方向に搬送路を流れ、且つシートの上面に沿って内気流出阻止部の下方へ流れるように供給される。こうすることで、開口部からシートの上面に沿って搬送路に流出する雰囲気ガスがある場合に、より低温の流入風が内気流出阻止部の下方で雰囲気ガスの下側に潜りこむ。その結果、流入風は雰囲気ガスをシートの上面からはぎ取るようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部へ押し上げる。これにより、雰囲気ガスが搬送路を通過するのを抑制できる。すなわち、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。この場合において、前記内気流出阻止部の前記傾斜空間内の流体の排気を行う排気手段を備えるものとしてもよい。こうすれば、内気流出阻止部内の雰囲気ガスを排気することができるため、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。また、膜は、セラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤又は水と、を含むものとしてもよい。シートは、PETフィルムとしてもよい。また、雰囲気ガスとしては、特に限定するものではないが、例えば空気や不活性ガス(窒素など)が挙げられる。 In the drying furnace according to the present invention, the inside air outflow prevention unit is provided in the conveyance path for carrying the sheet from the outside into the opening of the drying main body or carrying it out from the opening. The inside air outflow prevention portion is located above the seat and has an inclined space inclined in a direction in which the upper portion is away from the drying main body portion. Then, a fluid having a temperature lower than that of the atmospheric gas in the opening is supplied to the transport path as an inflow air. The inflow air is supplied so as to flow through the conveyance path in the direction of flowing into the drying furnace main body, and to flow below the inside air outflow prevention unit along the upper surface of the sheet. In this way, when there is an atmospheric gas flowing out from the opening along the upper surface of the sheet to the conveyance path, a cooler inflow air is submerged below the atmospheric gas below the inside air outflow prevention unit. As a result, the inflow air pushes up the atmospheric gas to the inside air outflow prevention portion so as to strip off the atmospheric gas from the upper surface of the sheet. Thereby, it can suppress that atmospheric gas passes a conveyance path. That is, the outflow of atmospheric gas to the outside can be further suppressed. In this case, an exhaust unit that exhausts the fluid in the inclined space of the internal air outflow prevention unit may be provided. In this way, the atmospheric gas in the internal air outflow prevention unit can be exhausted, so that the outflow of the atmospheric gas to the outside can be further suppressed. Further, the film may include ceramic powder or metal powder, an organic binder, and an organic solvent or water. The sheet may be a PET film. The atmosphere gas is not particularly limited, and examples thereof include air and an inert gas (such as nitrogen).
この本発明の乾燥炉において、前記流入風供給手段は、前記内気流出阻止部の下方を通過するように前記流入風を供給するものとしてもよい。こうすれば、流入風が雰囲気ガスをはぎ取り内気流出阻止部に向けて押し上げる力が強くなるため、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。 In the drying furnace of the present invention, the inflow air supply means may supply the inflow air so as to pass below the inside air outflow prevention portion. In this way, the force of the inflowing air stripping off the atmospheric gas and pushing it up toward the inside air outflow prevention portion becomes stronger, so that the outflow of the atmospheric gas to the outside can be further suppressed.
この本発明の乾燥炉において、前記乾燥本体部内に設けられた赤外線ヒーター、を備え、前記流入風供給手段は、前記内気流出阻止部の下方を通過して前記開口部から前記乾燥本体部内に到達するように前記流入風を供給して前記シートの上面を冷却するものとしてもよい。こうすれば、赤外線ヒーターからの赤外線により膜を乾燥させつつ、流入風で膜やシートを冷却して高温化を抑制できる。これにより、シートの乾燥時の熱膨張やその後の収縮を抑制して、膜が応力により変形するのを抑制することができる。このように、流入風が外部への雰囲気ガスの流出をより抑制する役割と膜を冷却する役割とを兼ねることができる。なお、赤外線ヒーターは、ピーク波長が近赤外線領域(例えば、波長が0.7〜3.5μmの領域)にある電磁波を用いて膜の乾燥を行うものとしてもよい。近赤外線は、被加熱物中の水,溶剤などの分子中の水素結合を効率よく切断できるため、乾燥対象を効率よく乾燥することができる。また、シートがPETフィルムからなる場合、PETフィルムは波長が3.5μm以下の赤外線によってはほとんど加熱されないため、PETフィルムを加熱することなく膜を乾燥することができる。こうした赤外線ヒーターとしては、例えば、フィラメントの外周が3.5μmを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する複数の管によって同心円状に覆われ、これらの複数の管の間に赤外線ヒーターの表面温度の上昇を抑制する冷却流体の流路を形成したもの(特許第4790092号参照)を用いてもよい。 The drying furnace of the present invention includes an infrared heater provided in the drying main body, and the inflow air supply means passes under the inside air outflow prevention portion and reaches the drying main body from the opening. Alternatively, the inflow air may be supplied to cool the upper surface of the sheet. If it carries out like this, while drying a film | membrane with the infrared rays from an infrared heater, a film | membrane and a sheet | seat can be cooled with an inflow wind, and high temperature can be suppressed. Thereby, the thermal expansion at the time of drying of a sheet | seat and subsequent contraction can be suppressed, and it can suppress that a film | membrane deform | transforms with stress. Thus, the inflow air can serve both as a role of further suppressing the outflow of the atmospheric gas to the outside and a role of cooling the film. Note that the infrared heater may dry the film using electromagnetic waves having a peak wavelength in the near infrared region (for example, a region having a wavelength of 0.7 to 3.5 μm). Near-infrared rays can efficiently cut hydrogen bonds in molecules such as water and solvents in the object to be heated, so that the object to be dried can be efficiently dried. Moreover, when a sheet | seat consists of PET films, since a PET film is hardly heated with the infrared rays whose wavelength is 3.5 micrometers or less, a film | membrane can be dried, without heating a PET film. As such an infrared heater, for example, the outer circumference of the filament is concentrically covered by a plurality of tubes functioning as a filter that absorbs infrared rays having a wavelength exceeding 3.5 μm, and the surface temperature of the infrared heater is between these tubes. In this case, a cooling fluid flow path that suppresses the increase in the temperature (see Japanese Patent No. 4790092) may be used.
この場合において、前記乾燥本体部における前記シートの搬入側又は搬出側の一方から他方に向けて、前記シートの前記上面に沿った内部風を供給して前記シートの上面を冷却する内部風供給手段、を備え、前記流入風供給手段は、前記内部風と逆向きに前記流入風を前記乾燥本体部内に供給するものとしてもよい。こうすることで、内部風によっても膜やシートを冷却することができ、より膜の変形を抑制することができる。そして、内部風と逆向きに流入風を供給するため、例えば向きが同じである場合と比べて、内部風による外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。なお、内部風は、例えば常温や50℃以下の冷風を供給してもよい。 In this case, the internal air supply means for supplying the internal air along the upper surface of the sheet from one of the carry-in side or the carry-out side of the sheet to the other in the drying main body portion to cool the upper surface of the sheet The inflowing air supply means may supply the inflowing air into the drying main body in a direction opposite to the internal airflow. By doing so, the film or sheet can be cooled by the internal wind, and deformation of the film can be further suppressed. And since inflow air is supplied in the direction opposite to internal wind, compared with the case where direction is the same, the outflow of atmospheric gas to the exterior by internal wind can be suppressed more, for example. In addition, you may supply internal air, for example, normal temperature or cold air of 50 degrees C or less.
この場合において、前記内部風供給手段は、前記シートの搬出側から搬入側に向けて前記内部風を供給し、前記内気流出阻止部は、前記シートを外部から前記乾燥本体部に搬入する搬入路に設けられ、前記流入風供給手段は、前記乾燥炉本体部に流入する方向に前記搬入路を流れ、且つ前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方を通過して前記乾燥本体部内に到達するように前記流入風を供給するものとしてもよい。こうすれば、シートの搬送方向と逆向きに内部風が供給されるため、内部風のシートに対する相対速度が増し、シートの上面の冷却効果が高まる。 In this case, the internal air supply means supplies the internal air from the carry-out side of the sheet toward the carry-in side, and the internal air outflow prevention unit carries the sheet from the outside into the drying main body unit. And the inflow air supply means flows in the carry-in path in a direction to flow into the drying furnace main body, and passes under the inside air outflow prevention portion along the upper surface of the sheet to enter the inside of the drying main body. It is good also as what supplies the said inflow wind so that it may reach | attain. By so doing, the internal wind is supplied in the direction opposite to the sheet conveyance direction, so that the relative speed of the internal wind with respect to the sheet increases and the cooling effect on the upper surface of the sheet is enhanced.
この本発明の乾燥炉において、前記流入風供給手段は、前記搬送路内を前記シートの搬送方向に対して傾斜して前記シートの上面に向かうように流れ、その後前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方へ流れるように前記流入風を供給するものとしてもよい。こうすれば、搬送路内の内気流出阻止部よりも外部側で、流入風が上から下に向かう流れを有することになる。そのため、流入風で搬送路を塞ぐことができ、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。 In the drying furnace of the present invention, the inflow air supply means flows in the conveyance path so as to be inclined toward the upper surface of the sheet with respect to the conveyance direction of the sheet, and then along the upper surface of the sheet. The inflow air may be supplied so as to flow downward of the inside air outflow prevention unit. If it carries out like this, inflow will have the flow which goes to the down from the upper side in the outside rather than the inside air outflow prevention part in a conveyance path. Therefore, the conveyance path can be blocked by the inflow air, and the outflow of the atmospheric gas to the outside can be further suppressed.
この場合において、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した区画空間を前記シートの搬送方向に沿って複数有する区画構造体、を備え、前記流入風供給手段は、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜経路を有し、該傾斜経路を通過させることで前記流入風が前記搬送路内を前記シートの搬送方向に対して傾斜して前記シートの上面に向かう流れを発生させ、前記区画構造体は、前記複数の区画空間のうち前記乾燥本体部側の1以上が前記内気流出阻止部の前記傾斜空間となり、前記複数の区画空間のうち乾燥本体部とは反対側の1以上が前記流入風供給手段の前記傾斜経路となっているものとしてもよい。こうすれば、内気流出阻止部の傾斜空間と流入風供給手段の傾斜経路とを1つの区画構造体にまとめることができる。そのため、内気流出阻止部や流入風供給手段を備えた乾燥炉をより容易に製造できる。 In this case, a partition structure having a plurality of partition spaces inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body along the sheet conveying direction is provided, and the inflow air supply means is provided in the drying main body. In contrast, the passage has an inclined path that is inclined in a direction away from the upper portion, and the inflow air flows through the inclined path toward the upper surface of the sheet while being inclined in the conveying path with respect to the conveying direction of the sheet. In the partition structure, one or more of the plurality of partition spaces on the drying main body side is the inclined space of the inside air outflow prevention unit, and the plurality of partition spaces are opposite to the drying main body unit. One or more of the sides may be the inclined path of the inflow air supply means. If it carries out like this, the inclination space of an inside air outflow prevention part and the inclination path | route of an inflow wind supply means can be put together into one division structure. Therefore, the drying furnace provided with the inside air outflow prevention part and the inflow air supply means can be manufactured more easily.
本発明の乾燥炉において、前記流入風供給手段は、前記搬送路における前記乾燥本体部とは反対側の端部から前記シートの上面に沿って水平に流れて前記乾燥本体部に向かうように前記流入風を供給するものとしてもよい。 In the drying furnace of the present invention, the inflow air supply means flows horizontally along the upper surface of the sheet from the end opposite to the drying main body portion in the conveyance path so as to go to the drying main body portion. The inflow air may be supplied.
次に、本発明の好適な一実施形態について、図面を用いて説明する。図1は乾燥炉10の縦断面図である。乾燥炉10は、シート50上に塗布された塗膜52の乾燥を赤外線及び冷風を用いて行うものであり、乾燥本体部14と、搬入路19と、内部風供給装置20と、内部風吸気装置25と、赤外線ヒーター30と、コントローラー60と、を備えている。また、乾燥炉10は、区画構造体70と、内気流出阻止部80と、排気装置81と、流入風供給装置90と、を備えている。乾燥炉10は、搬入路19の左側に設けられたロール54と、乾燥本体部14の右側に設けられたロール56と、を備えている。乾燥炉10は、乾燥対象となる塗膜52が上面に形成されたシート50を、ロール54,56により連続的に搬送して乾燥を行う、いわゆるロールトゥロール方式の乾燥炉として構成されている。 Next, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a longitudinal sectional view of the drying furnace 10. The drying furnace 10 performs drying of the coating film 52 applied on the sheet 50 using infrared rays and cold air. The drying main body 14, the carry-in path 19, the internal air supply device 20, and internal air intake air. The apparatus 25, the infrared heater 30, and the controller 60 are provided. Further, the drying furnace 10 includes a partition structure 70, an inside air outflow prevention unit 80, an exhaust device 81, and an inflow air supply device 90. The drying furnace 10 includes a roll 54 provided on the left side of the carry-in path 19 and a roll 56 provided on the right side of the drying main body 14. The drying furnace 10 is configured as a so-called roll-to-roll type drying furnace in which a sheet 50 having a coating film 52 to be dried formed thereon is continuously transported by rolls 54 and 56 and dried. .
乾燥本体部14は、略直方体に形成された断熱構造体であり、前端面15及び後端面16にそれぞれ開口17,18を有している。開口17は、シート50を外部から搬入路19を介して乾燥本体部14内に搬入する際の開口部となっている。この乾燥本体部14は、前端面15から後端面16までの長さが例えば1m〜6mである。 The drying main body 14 is a heat insulating structure formed in a substantially rectangular parallelepiped shape, and has openings 17 and 18 on the front end face 15 and the rear end face 16, respectively. The opening 17 is an opening when the sheet 50 is carried into the drying main body 14 from the outside via the carry-in path 19. The drying main body 14 has a length from the front end face 15 to the rear end face 16 of, for example, 1 m to 6 m.
搬入路19は、シート50を外部から乾燥本体部14の開口17に搬入するための搬送路であり、管路として構成されている。片面に塗膜52が塗布されたシート50は、塗膜52が塗布された面を上にして、この搬入路19のうち乾燥本体部14とは反対側の搬入口19aから搬入される。続いて、シート50は搬入路19を通過して開口17に至り、開口17から乾燥本体部14内に搬入される。そして、シート50は、乾燥本体部14の内部を水平方向に進行し、開口18から搬出される。 The carry-in path 19 is a conveyance path for carrying the sheet 50 from the outside into the opening 17 of the drying main body 14 and is configured as a pipe line. The sheet 50 coated with the coating film 52 on one side is loaded from the loading port 19a on the opposite side of the drying main body 14 in the loading path 19 with the surface coated with the coating film 52 facing up. Subsequently, the sheet 50 passes through the carry-in path 19, reaches the opening 17, and is carried into the drying main body 14 from the opening 17. Then, the sheet 50 proceeds in the horizontal direction inside the drying main body 14 and is carried out from the opening 18.
内部風供給装置20は、冷風である内部風を送風して乾燥本体部14内を通過する塗膜52を冷却させる装置である。内部風供給装置20は、給気ファン21と、パイプ構造体22と、給気ノズル23と、を備えている。給気ファン21は、パイプ構造体22に取り付けられており、内部風をパイプ構造体22の内部へ供給するものである。内部風は、例えば常温や50℃以下の空気である。給気ファン21は、発生させる内部風の風量の調節が可能となっている。冷風の風量は、特に限定するものではないが、例えば5Nm3/h〜100Nm3/hの範囲で調節可能である。パイプ構造体22は、給気ファン21からの内部風の通路となるものである。パイプ構造体22は、給気ファン21から乾燥本体部14の天井を貫通して乾燥本体部14の内部までの通路を形成している。給気ノズル23は、給気ファン21からの内部風の供給口となるものである。この給気ノズル23は、乾燥本体部14のうちシート50の搬出側である開口18側の端部に設けられ、搬入側である開口17側に向けて開口している。これにより、内部風供給装置20は、シート50の搬出側から搬入側に(図1の左方向に)向けて内部風を供給する。内部風は、図1の乾燥本体部14内の塗りつぶし矢印に示すように、シート50の上面に沿って流れていき、シート50の上面を冷却する。 The internal air supply device 20 is a device that cools the coating film 52 that passes through the inside of the drying main body portion 14 by blowing internal air that is cold air. The internal wind supply device 20 includes an air supply fan 21, a pipe structure 22, and an air supply nozzle 23. The air supply fan 21 is attached to the pipe structure 22 and supplies the internal wind to the inside of the pipe structure 22. The internal wind is, for example, room temperature or air of 50 ° C. or lower. The air supply fan 21 can adjust the air volume of the generated internal wind. Air volume of cold air is not particularly limited and can be adjusted in the range of, for example, 5Nm 3 / h~100Nm 3 / h. The pipe structure 22 serves as an internal wind passage from the air supply fan 21. The pipe structure 22 forms a passage from the air supply fan 21 through the ceiling of the drying main body 14 to the inside of the drying main body 14. The air supply nozzle 23 serves as a supply port for internal air from the air supply fan 21. The air supply nozzle 23 is provided at an end of the drying main body 14 on the opening 18 side which is the carry-out side of the sheet 50 and opens toward the opening 17 side which is the carry-in side. Thereby, the internal wind supply device 20 supplies the internal wind from the carry-out side of the sheet 50 toward the carry-in side (to the left in FIG. 1). The internal wind flows along the upper surface of the sheet 50 and cools the upper surface of the sheet 50, as indicated by the filled arrows in the drying main body 14 in FIG.
内部風吸気装置25は、乾燥本体部14内の雰囲気ガスを排出する装置である。内部風吸気装置25は、排気ファン26と、パイプ構造体27と、排気ノズル28と、を備えている。排気ノズル28は、内部風供給装置20からの内部風の排気口となるものである。この排気ノズル28は、乾燥本体部14のうちシート50の搬入側である開口17側の端部に設けられ、搬出側である開口18側に向けて開口している。排気ノズル28はパイプ構造体27に取り付けられており、乾燥本体部14内の雰囲気ガス(主にシート50を乾燥した後の内部風)を吸気してパイプ構造体27内に導く。パイプ構造体27は、排気ノズル28から排気ファン26への雰囲気ガスの流路となるものである。パイプ構造体27は、排気ノズル28から乾燥本体部14の天井を貫通して乾燥本体部14の外部の排気ファン26までの通路を形成している。排気ファン26は、パイプ構造体27に取り付けられており、パイプ構造体27内部の雰囲気ガスを排気する。なお、排気ファン26は、例えば図示しない排気用の配管に接続されており、乾燥本体部14内の雰囲気ガスに含まれる揮発した有機溶剤などの成分を除去するなど、適切な処理を行ってから乾燥炉10外に雰囲気ガスを排気する。また、排気ファン26は、パイプ構造体27内の雰囲気ガスを乾燥炉10外に排気せず、給気ファン21の吸気として循環させてもよい。 The internal wind intake device 25 is a device that discharges the atmospheric gas in the drying main body 14. The internal wind intake device 25 includes an exhaust fan 26, a pipe structure 27, and an exhaust nozzle 28. The exhaust nozzle 28 serves as an exhaust port for internal wind from the internal wind supply device 20. The exhaust nozzle 28 is provided at an end of the drying main body 14 on the opening 17 side that is the carry-in side of the sheet 50, and opens toward the opening 18 that is the carry-out side. The exhaust nozzle 28 is attached to the pipe structure 27, and sucks atmospheric gas (mainly internal air after drying the sheet 50) in the drying main body 14 and guides it into the pipe structure 27. The pipe structure 27 serves as a flow path for the atmospheric gas from the exhaust nozzle 28 to the exhaust fan 26. The pipe structure 27 forms a passage from the exhaust nozzle 28 through the ceiling of the drying main body 14 to the exhaust fan 26 outside the drying main body 14. The exhaust fan 26 is attached to the pipe structure 27 and exhausts the atmospheric gas inside the pipe structure 27. The exhaust fan 26 is connected to an exhaust pipe (not shown), for example, and after performing an appropriate process such as removing a component such as a volatilized organic solvent contained in the atmospheric gas in the drying main body 14. The atmosphere gas is exhausted outside the drying furnace 10. Further, the exhaust fan 26 may circulate the atmospheric gas in the pipe structure 27 as the intake air of the air supply fan 21 without exhausting it outside the drying furnace 10.
赤外線ヒーター30は、赤外線を照射して乾燥炉10内を通過する塗膜52を乾燥させる装置であり、乾燥本体部14の天井近くに複数取り付けられている。図2は、赤外線ヒーター30の縦断面図であり、図3は図2のA−A断面図である。赤外線ヒーター30は、図2及び図3に示すように、フィラメント32を内管36が囲むように形成されたヒーター本体38と、このヒーター本体38を囲むように形成された外管40と、外管40の両端に気密に嵌め込まれた有底筒状のキャップ42と、ヒーター本体38と外管40との間に形成され冷却流体が流通可能な流路48と、外管40の表面温度を検出する温度センサ37と、を備えている。フィラメント32は、電力供給源62から電力が供給されて、例えば700〜1500℃に通電加熱され、波長が3.5μm以下(例えば3μm付近)にピークを持つ赤外線を放射する。このフィラメント32に接続された電気配線34は、キャップ42に設けられた配線引出部44を介して気密に外部へ引き出され、電力供給源62に接続されている。内管36は、石英ガラスやホウ珪酸クラウンガラスなどで作製されており、3.5μm以下の波長の赤外線を通過し、3.5μmを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する。ヒーター本体38は、両端がキャップ42の内部に配置されたホルダー49に支持されている。外管40は、内管36と同様、石英ガラスやホウ珪酸クラウンガラスなどで作製されており、3.5μm以下の波長の赤外線を通過し、3.5μmを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する。各キャップ42は、流体出入口46を有している。流路48は、冷却流体供給源64から供給された冷却流体が、一方の流体出入口46から他方の流体出入口46へ冷却流体が流れるようになっている。流路48を流れる冷却流体は、例えば空気や不活性ガスなどであり、内管36と外管40に接触して熱を奪うことにより各管36,40を冷却する。こうした赤外線ヒーター30は、フィラメント32から波長が3.5μm以下にピークを持つ赤外線が放射されると、そのうち3.5μm以下の波長の赤外線は内管36や外管40を通過して搬送通路を通過するシート50の塗膜52に照射される。この波長の赤外線は、シート50の塗膜52に含まれる溶剤の水素結合を切断する能力に優れるといわれており、効率的に溶剤を蒸発させることができる。一方、内管36や外管40は、3.5μmを超える波長の赤外線を吸収するが、流路48を流れる冷却流体によって冷却されるため、塗膜52から蒸発する溶剤の着火点未満の温度(例えば200℃以下など)に維持することが可能である。 The infrared heater 30 is a device that irradiates infrared rays and dries the coating film 52 that passes through the drying furnace 10, and a plurality of infrared heaters 30 are attached near the ceiling of the drying main body 14. FIG. 2 is a longitudinal sectional view of the infrared heater 30, and FIG. 3 is a sectional view taken along the line AA of FIG. As shown in FIGS. 2 and 3, the infrared heater 30 includes a heater body 38 formed so that the inner tube 36 surrounds the filament 32, an outer tube 40 formed so as to surround the heater body 38, and an outer tube 40. A bottomed cylindrical cap 42 that is airtightly fitted to both ends of the tube 40, a flow path 48 that is formed between the heater body 38 and the outer tube 40, and through which the cooling fluid can flow, and a surface temperature of the outer tube 40. And a temperature sensor 37 for detection. The filament 32 is supplied with electric power from the electric power supply source 62 and is electrically heated to, for example, 700 to 1500 ° C., and emits infrared rays having a peak at a wavelength of 3.5 μm or less (for example, around 3 μm). The electric wiring 34 connected to the filament 32 is drawn out to the outside airtightly through a wiring drawing portion 44 provided in the cap 42, and is connected to the power supply source 62. The inner tube 36 is made of quartz glass, borosilicate crown glass, or the like, and functions as a filter that passes infrared rays having a wavelength of 3.5 μm or less and absorbs infrared rays having a wavelength exceeding 3.5 μm. The heater body 38 is supported at both ends by holders 49 disposed inside the cap 42. As with the inner tube 36, the outer tube 40 is made of quartz glass, borosilicate crown glass, or the like, and passes through infrared rays having a wavelength of 3.5 μm or less and absorbs infrared rays having a wavelength exceeding 3.5 μm. Function. Each cap 42 has a fluid inlet / outlet 46. In the channel 48, the cooling fluid supplied from the cooling fluid supply source 64 flows from one fluid inlet / outlet 46 to the other fluid inlet / outlet 46. The cooling fluid flowing through the flow path 48 is, for example, air or an inert gas, and cools the tubes 36 and 40 by contacting the inner tube 36 and the outer tube 40 and taking heat away. In the infrared heater 30, when infrared rays having a peak at a wavelength of 3.5 μm or less are radiated from the filament 32, infrared rays having a wavelength of 3.5 μm or less pass through the inner tube 36 and the outer tube 40 and pass through the conveyance path. The coating film 52 of the passing sheet 50 is irradiated. Infrared light having this wavelength is said to be excellent in the ability to break the hydrogen bond of the solvent contained in the coating film 52 of the sheet 50, and can efficiently evaporate the solvent. On the other hand, the inner tube 36 and the outer tube 40 absorb infrared rays having a wavelength exceeding 3.5 μm, but are cooled by the cooling fluid flowing through the flow path 48, and therefore, have a temperature below the ignition point of the solvent evaporating from the coating film 52 ( For example, it can be maintained at 200 ° C. or lower.
区画構造体70は、図1に示すように、外壁72と内壁74とを有している。外壁72は、区画構造体70の乾燥本体部14側の面、搬入口19a側の面、及び上側の面を構成している。外壁72のうち乾燥本体部14側の面及び搬入口19a側の面は、乾燥本体部14に対して上部が遠ざかる方向に傾斜している。内壁74は、シート50の搬送方向に沿って複数(図1では3つ)配置され、いずれも乾燥本体部14に対して上部が遠ざかる方向に傾斜している。この区画構造体70は、3つの内壁74によって外壁72内の空間が区画された第1〜第4区画空間76〜79を有する。第1〜第4区画空間76〜79は、シート50の搬送方向に沿って配置され、乾燥本体部14に近い側から第1区画空間76,第2区画空間77,第3区画空間78,第4区画空間79となっている。第1〜第4区画空間76〜79は、それぞれ、乾燥本体部14に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した空間となっており、いずれも同じ角度θだけ傾斜している。傾斜の角度θは0°超過〜90°未満であればよい。特に限定するものではないが、例えば角度θを30〜60°としてもよい。第1〜第4区画空間76〜79は、それぞれ上方及び下方が開口している。第1〜第4区画空間76〜79の下方は搬入路19内に開口している。また、第1〜第3区画空間76〜78の上方は、パイプ構造体83内に開口している。第4区画空間79の上方は、パイプ構造体92内に開口している。 As shown in FIG. 1, the partition structure 70 has an outer wall 72 and an inner wall 74. The outer wall 72 constitutes a surface on the drying main body 14 side, a surface on the carry-in port 19a side, and an upper surface of the partition structure 70. Of the outer wall 72, the surface on the drying main body 14 side and the surface on the carry-in entrance 19 a are inclined in a direction in which the upper portion is away from the drying main body 14. A plurality (three in FIG. 1) of inner walls 74 are arranged along the conveyance direction of the sheet 50, and all of them are inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body 14. The partition structure 70 has first to fourth partition spaces 76 to 79 in which a space in the outer wall 72 is partitioned by three inner walls 74. The first to fourth partition spaces 76 to 79 are arranged along the conveyance direction of the sheet 50, and the first partition space 76, the second partition space 77, the third partition space 78, the first partition space 76 from the side close to the drying main body 14. A four-compartment space 79 is provided. Each of the first to fourth partition spaces 76 to 79 is a space that is inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body portion 14, and is inclined by the same angle θ. The inclination angle θ may be greater than 0 ° and less than 90 °. Although not particularly limited, for example, the angle θ may be 30 to 60 °. As for the 1st-4th division space 76-79, the upper direction and the downward direction are respectively open. Below the first to fourth partition spaces 76 to 79 are opened in the carry-in path 19. Further, the pipe structures 83 are opened above the first to third partition spaces 76 to 78. An upper portion of the fourth partition space 79 opens into the pipe structure 92.
内気流出阻止部80は、搬送路19内に開口して設けられ、シート50の上方に位置し、乾燥本体部14に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間を有するものである。本実施形態では、内気流出阻止部80の傾斜空間は、第1〜第3区画空間76〜78で構成されている。すなわち、区画構造体70の第1〜第4区画空間76〜79のうち、乾燥本体部14側の3つが内気流出阻止部80の傾斜空間となっている。 The inside air outflow prevention unit 80 is provided so as to be opened in the conveyance path 19, is located above the sheet 50, and has an inclined space that is inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body unit 14. In the present embodiment, the inclined space of the inside air outflow prevention unit 80 is configured by first to third partition spaces 76 to 78. That is, among the first to fourth partition spaces 76 to 79 of the partition structure 70, three on the drying main body 14 side are inclined spaces of the inside air outflow prevention unit 80.
排気装置81は、内気流出阻止部80内の雰囲気ガスを排出する装置である。排気装置81は、排気ファン82と、パイプ構造体83とを備えている。パイプ構造体83は、排気ファン82から第1〜第3区画空間76〜78に向かって3つに分岐している。パイプ構造体83は、内気流出阻止部80の上方の開口すなわち第1〜第3区画空間76〜78の上方の開口に取り付けられて、排気ファン82と第1〜第3区画空間76〜78との間の雰囲気ガスの流路となっている。排気ファン82は、排気ファン26と同様のものであり、パイプ構造体83を介して内気流出阻止部80内の雰囲気ガスを排出する。 The exhaust device 81 is a device that exhausts the atmospheric gas in the inside air outflow prevention unit 80. The exhaust device 81 includes an exhaust fan 82 and a pipe structure 83. The pipe structure 83 is branched into three from the exhaust fan 82 toward the first to third partition spaces 76 to 78. The pipe structure 83 is attached to the upper opening of the inside air outflow prevention unit 80, that is, the upper opening of the first to third partition spaces 76 to 78, and the exhaust fan 82 and the first to third partition spaces 76 to 78 are connected. It becomes the flow path of the atmospheric gas between. The exhaust fan 82 is the same as the exhaust fan 26, and discharges the atmospheric gas in the inside air outflow prevention unit 80 through the pipe structure 83.
流入風供給装置90は、開口17内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として搬送路19に供給する装置である。流入風供給装置90は、給気ファン91と、パイプ構造体92と、乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜経路としての第4区画空間79と、を備えている。すなわち、区画構造体70の第1〜第4区画空間76〜79のうち、乾燥本体部14とは反対側の1つが流入風供給装置90の傾斜経路となっている。給気ファン91は、パイプ構造体92に取り付けられており、流入風をパイプ構造体92の内部へ供給するものである。流入風は、シート50を乾燥する際の開口17内の雰囲気ガスよりも低温であればよく、例えば常温の空気である。給気ファン91は、発生させる流入風の風量の調節が可能となっている。流入風の風量は、特に限定するものではないが、例えば5Nm3/h〜100Nm3/hの範囲で調節可能である。パイプ構造体92は、給気ファン91から第4区画空間79の上部の開口までの流入風の通路を形成している。流入風供給装置90の傾斜経路である第4区画空間79は、上述したように乾燥本体部14に対して上部が遠ざかる方向に傾斜しており、傾斜角は角度θである。給気ファン91からの流入風は、第4区画空間79を通過することにより、搬送路19内でシート50の搬送方向に対して傾斜してシート50の上面に向かって供給される。その後、流入風はシート50の上面に沿って内気流出阻止部70の下方へ流れていく。そして、流入風は、内気流出阻止部80の下方を通過して開口17から乾燥本体部14内に到達し、乾燥本体部14内でシート50の上面を冷却する。図1では流入風の流れを白抜き矢印で示した。なお、図示するように、流入風の向きは内部風の向きと逆向きになっている。 The inflow air supply device 90 is a device that supplies a fluid having a temperature lower than the atmospheric gas in the opening 17 to the transport path 19 as inflow air. The inflow air supply device 90 includes an air supply fan 91, a pipe structure 92, and a fourth partition space 79 as an inclined path that is inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body. That is, one of the first to fourth partition spaces 76 to 79 of the partition structure 70 on the side opposite to the drying main body 14 is an inclined path of the inflow air supply device 90. The air supply fan 91 is attached to the pipe structure 92 and supplies the inflow air into the pipe structure 92. The inflow air may be at a temperature lower than the atmospheric gas in the opening 17 when the sheet 50 is dried, for example, air at normal temperature. The supply fan 91 is capable of adjusting the amount of inflow air to be generated. Flow rate of inlet airflow is not particularly limited and can be adjusted in the range of, for example, 5Nm 3 / h~100Nm 3 / h. The pipe structure 92 forms a passage of inflow air from the air supply fan 91 to the upper opening of the fourth partition space 79. As described above, the fourth partitioned space 79, which is the inclined path of the inflow air supply device 90, is inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body 14, and the inclination angle is an angle θ. The inflow air from the air supply fan 91 passes through the fourth partition space 79, and is supplied toward the upper surface of the sheet 50 while being inclined with respect to the conveyance direction of the sheet 50 in the conveyance path 19. Thereafter, the inflow air flows along the upper surface of the seat 50 to below the inside air outflow prevention unit 70. The inflow air passes below the inside air outflow prevention unit 80 and reaches the drying main body 14 from the opening 17 to cool the upper surface of the sheet 50 in the drying main body 14. In FIG. 1, the flow of the incoming air is indicated by white arrows. As shown in the figure, the direction of the incoming air is opposite to the direction of the internal air.
コントローラー60は、CPUを中心とするマイクロプロセッサーとして構成されている。このコントローラー60は、内部風供給装置20の給気ファン21や流入風供給装置90の給気ファン91に制御信号を出力して、内部風や流入風の風量を個別に制御する。また、コントローラー60は、内部風吸気装置25の排気ファン26や排気装置81の排気ファン82に制御信号を出力して、排気量を個別に制御する。コントローラー60は、熱電対である温度センサ37が検出した外管40の温度を入力したり、冷却流体供給源64と流体出入口46とを接続する配管の途中に設けられた開閉弁66及び流量調整弁68に制御信号を出力したりして、赤外線ヒーター30の流路48を流れる冷却流体の流量を個別に制御する。更に、コントローラー60は、電力供給源62からフィラメント32へ供給される電力の大きさを調整するための制御信号を電力供給源62へ出力して、赤外線ヒーター30のフィラメント温度を個別に制御する。また、コントローラー60は、ロール54,56の回転速度を制御することで乾燥本体部14内の塗膜52の通過時間を調整することができる。 The controller 60 is configured as a microprocessor centered on a CPU. The controller 60 outputs control signals to the air supply fan 21 of the internal air supply device 20 and the air supply fan 91 of the inflow air supply device 90 to individually control the air volume of the internal air and the inflow air. The controller 60 outputs control signals to the exhaust fan 26 of the internal wind intake device 25 and the exhaust fan 82 of the exhaust device 81 to individually control the exhaust amount. The controller 60 inputs the temperature of the outer pipe 40 detected by the temperature sensor 37 which is a thermocouple, and the on-off valve 66 and the flow rate adjustment provided in the middle of the pipe connecting the cooling fluid supply source 64 and the fluid inlet / outlet 46. A control signal is output to the valve 68 to individually control the flow rate of the cooling fluid flowing through the flow path 48 of the infrared heater 30. Furthermore, the controller 60 outputs a control signal for adjusting the magnitude of the power supplied from the power supply source 62 to the filament 32 to the power supply source 62 to individually control the filament temperature of the infrared heater 30. Further, the controller 60 can adjust the passage time of the coating film 52 in the drying main body 14 by controlling the rotation speed of the rolls 54 and 56.
シート50は、特に限定するものではないが、例えば、PETフィルムなどの強度に優れたフィルム状のものである。シート50の厚みは、特に限定するものではないが、10〜100μmである。また、塗膜52は、シート50の上面に塗布されたものであり、乾燥後にMLCC(積層セラミックコンデンサ)用の薄膜として用いられるものである。塗膜52は、例えばセラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものである。 Although the sheet | seat 50 is not specifically limited, For example, it is a film-form thing excellent in intensity | strength, such as PET film. The thickness of the sheet 50 is not particularly limited, but is 10 to 100 μm. The coating film 52 is applied to the upper surface of the sheet 50, and is used as a thin film for MLCC (multilayer ceramic capacitor) after drying. The coating film 52 contains, for example, ceramic powder or metal powder, an organic binder, and an organic solvent.
次に、こうして構成された乾燥炉10を用いて塗膜52を乾燥する様子について説明する。まず、コントローラー60がロール54,ロール56を回転させ、シート50の搬送を開始する。すると、乾燥炉10の左端に配置されたロール54からシート50が巻き外される。また、シート50は搬入口19aから搬入路19内に搬入される直前に図示しないコーターによって上面に塗膜52が塗布される。そして、シート50は、搬入路19内へ搬入され、搬入路19内の区画構造体70の下方を通過して開口17から乾燥本体部14内へ搬入される。また、コントローラー60は、内部風供給装置20,内部風吸気装置25,赤外線ヒーター30,排気装置81,流入風供給装置90を制御する。これにより、シート50が乾燥本体部14内を通過する間に、シート50の上面に形成された塗膜52は、赤外線ヒーター30からの赤外線が照射されることによって乾燥される。また、これと同時に、内部風供給装置20からの内部風や流入風供給装置90からの流入風によって冷却される。コントローラー60は、シート50の温度が所定値(例えば60°、50°、45°など)以下となるように内部風や流入風の流量を制御する。この流量はあらかじめ定められているものとしてもよい。あるいは、例えばシート50上や乾燥本体部14内に設けられた温度センサが検出した温度に基づいてシート50の温度が所定値以下に保たれるように流量を調整するものとしてもよい。こうして、シート50が所定値以下に保たれたままで塗膜52が乾燥されて薄膜となり、開口18から搬出される。搬出された薄膜(塗膜52)は、乾燥本体部14の右端に設置されたロール56にシート50とともに巻き取られる。その後、薄膜はシート50から剥離され、所定形状に切断されて積層され、MLCCが製造される。 Next, how the coating film 52 is dried using the thus configured drying furnace 10 will be described. First, the controller 60 rotates the rolls 54 and 56 to start conveying the sheet 50. Then, the sheet 50 is unwound from the roll 54 disposed at the left end of the drying furnace 10. Also, the coating film 52 is applied to the upper surface of the sheet 50 by a coater (not shown) immediately before being fed into the carry-in path 19 from the carry-in port 19a. Then, the sheet 50 is carried into the carry-in path 19, passes under the partition structure 70 in the carry-in path 19, and is carried into the drying main body 14 from the opening 17. Further, the controller 60 controls the internal wind supply device 20, the internal wind intake device 25, the infrared heater 30, the exhaust device 81, and the inflow air supply device 90. Thereby, while the sheet 50 passes through the drying main body portion 14, the coating film 52 formed on the upper surface of the sheet 50 is dried by being irradiated with infrared rays from the infrared heater 30. At the same time, the cooling is performed by the internal wind from the internal wind supply device 20 or the inflow air from the inflow air supply device 90. The controller 60 controls the flow rate of the internal wind and the inflow air so that the temperature of the seat 50 becomes a predetermined value (for example, 60 °, 50 °, 45 °, etc.) or less. This flow rate may be determined in advance. Alternatively, for example, the flow rate may be adjusted so that the temperature of the sheet 50 is kept below a predetermined value based on the temperature detected by a temperature sensor provided on the sheet 50 or in the drying main body 14. In this way, the coating film 52 is dried to form a thin film while the sheet 50 is kept at a predetermined value or less, and is transported from the opening 18. The unloaded thin film (coating film 52) is taken up together with the sheet 50 on a roll 56 installed at the right end of the drying main body 14. Thereafter, the thin film is peeled off from the sheet 50, cut into a predetermined shape and laminated, and an MLCC is manufactured.
ここで、乾燥中における乾燥本体部14内の雰囲気ガスの流れ及び流入風の流れについて説明する。図1では、内部風を含む乾燥本体部14の雰囲気ガスの流れを塗りつぶし矢印で示し、流入風の流れを白抜き矢印で示している。内部風供給装置20の給気ノズル23から供給される内部風は、図1の塗りつぶし矢印で示したように、シート50の搬出側から搬入側に向けてシート50の上面に沿って流れていき、シート50の上面を冷却する。そして、内部風やそれにともなう雰囲気ガスの流れは、基本的には排気ノズル28により吸気されて排気ファン26を通して排出される。しかし、乾燥本体部14内の雰囲気ガスの一部が、開口17から搬入路19内に到達し搬出口19aに向かって流れ出す場合がある。しかし、本実施形態では、給気ファン91からの流入風が、第4区画空間79の下方の開口部から、搬送路19内を図1における右下方向に向かって傾斜した向きでシート50の上面に向かうように流れる。そして、その後シート50の上面に沿って前記内気流出阻止部80の下方(内気流出阻止部80とシート50との間)へ流れていく。ここで、流入風は常温であり、塗膜52の温度の影響を受けた開口17内の雰囲気ガスよりも低温である。そのため、流入風が内気流出阻止部80の下方で乾燥本体部14からの雰囲気ガスの下側に潜りこむ。その結果、流入風は雰囲気ガスをシート50の上面からはぎ取るようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部80へ押し上げる。これにより、乾燥本体部14からの雰囲気ガスは搬入口19aではなく内気流出阻止部80の第1〜第3区画空間76〜78内に向かって流れる。しかも、内気流出阻止部80の第1〜第3区画空間76〜78は乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜しているから、流入風により押し上げられた後の雰囲気ガスの流れる方向(図1における左上方向)と第1〜第3区画空間76〜78の傾斜とが一致する。そのため、内気流出阻止部80内に雰囲気ガスを導きやすい。そして、内気流出阻止部80内の雰囲気ガスは、排気ファン82により速やかに排出される。このように、本実施形態の乾燥炉10では、乾燥本体部14内の雰囲気ガスが搬出口19aから外部へ流出するのを内気流出阻止部80と流入風とにより抑制するのである。 Here, the flow of the atmospheric gas and the flow of the inflow air in the drying main body 14 during drying will be described. In FIG. 1, the flow of the atmospheric gas in the drying main body 14 including the internal wind is indicated by solid arrows, and the flow of the inflow air is indicated by white arrows. The internal wind supplied from the air supply nozzle 23 of the internal wind supply device 20 flows along the upper surface of the sheet 50 from the carry-out side of the sheet 50 toward the carry-in side, as indicated by the solid arrows in FIG. Then, the upper surface of the sheet 50 is cooled. The internal wind and the flow of atmospheric gas accompanying it are basically sucked by the exhaust nozzle 28 and exhausted through the exhaust fan 26. However, part of the atmospheric gas in the drying main body 14 may reach the carry-in path 19 from the opening 17 and flow out toward the carry-out port 19a. However, in the present embodiment, the inflow air from the air supply fan 91 is inclined from the opening below the fourth partition space 79 in the conveyance path 19 toward the lower right direction in FIG. Flows toward the top. Then, the air flows along the upper surface of the seat 50 to below the inside air outflow prevention portion 80 (between the inside air outflow prevention portion 80 and the seat 50). Here, the inflow air is normal temperature, and is lower than the atmospheric gas in the opening 17 affected by the temperature of the coating film 52. Therefore, the inflow air enters under the atmospheric gas from the drying main body 14 below the inside air outflow prevention unit 80. As a result, the inflow air pushes up the atmospheric gas to the internal air outflow prevention unit 80 so as to peel off the atmospheric gas from the upper surface of the sheet 50. Thereby, the atmospheric gas from the drying main body 14 flows not into the carry-in port 19a but into the first to third partition spaces 76 to 78 of the inside air outflow prevention unit 80. Moreover, since the first to third partition spaces 76 to 78 of the inside air outflow prevention unit 80 are inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body unit, the direction in which the atmospheric gas flows after being pushed up by the inflow air ( The upper left direction in FIG. 1 and the inclinations of the first to third partitioned spaces 76 to 78 coincide with each other. Therefore, it is easy to guide the atmospheric gas into the inside air outflow prevention unit 80. Then, the atmospheric gas in the inside air outflow prevention unit 80 is quickly exhausted by the exhaust fan 82. As described above, in the drying furnace 10 of the present embodiment, the atmospheric gas in the drying main body portion 14 is prevented from flowing out from the carry-out port 19a by the inside air outflow prevention portion 80 and the inflow air.
以上説明した本実施形態の乾燥炉10によれば、シート50を外部から乾燥本体部14の開口17に搬入する搬入路19に、内気流出阻止部80が設けられている。この内気流出阻止部80は、シート50の上方に位置し、乾燥本体部14に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間としての第1〜第3区画空間76〜78を有している。そして、搬入路19に対して、開口17内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として搬入路19に供給する。この流入風は、乾燥炉本体部14に流入する方向に搬入路19を流れ、且つシート50の上面に沿って内気流出阻止部80の下方へ流れるように供給される。こうすることで、開口17からシート50の上面に沿って搬入路19に流出する雰囲気ガスが外部へ流出するのをより抑制することができる。なお、塗膜52には有機溶剤が含まれており、乾燥本体部14内の雰囲気ガス中にも乾燥により揮発した有機溶剤が含まれることになる。そのため、このような有機溶剤を含む雰囲気ガスが乾燥炉10の外部に流出するのを抑制する意義が高い。 According to the drying furnace 10 of the present embodiment described above, the inside air outflow prevention unit 80 is provided in the carry-in path 19 through which the sheet 50 is carried into the opening 17 of the drying main body unit 14 from the outside. The inside air outflow prevention portion 80 is located above the seat 50 and has first to third partition spaces 76 to 78 as inclined spaces inclined in a direction in which the upper portion is away from the drying main body portion 14. Then, a fluid having a temperature lower than the atmospheric gas in the opening 17 is supplied to the carry-in path 19 as an inflow air. The inflow air is supplied so as to flow in the carry-in path 19 in the direction of flowing into the drying furnace main body 14 and to flow below the inside air outflow prevention unit 80 along the upper surface of the sheet 50. By doing so, it is possible to further suppress the atmospheric gas flowing out from the opening 17 along the upper surface of the sheet 50 to the carry-in path 19 from flowing out. In addition, the organic solvent is contained in the coating film 52, and the organic solvent volatilized by drying is also contained in the atmospheric gas in the dry main body part. Therefore, it is highly significant to suppress the atmospheric gas containing such an organic solvent from flowing out of the drying furnace 10.
また、流入風供給装置90は、内気流出阻止部80の下方を通過するように流入風を供給する。そのため、流入風が雰囲気ガスをはぎ取り内気流出阻止部80に向けて押し上げる力が強くなる。 The inflow air supply device 90 supplies the inflow air so as to pass below the inside air outflow prevention unit 80. Therefore, the force by which the inflow air strips off the atmospheric gas and pushes it up toward the inside air outflow prevention unit 80 becomes stronger.
さらに、乾燥本体部14内に設けられた赤外線ヒーター30を備え、流入風供給装置90は、内気流出阻止部80の下方を通過して開口17から乾燥本体部14内に到達するように流入風を供給してシート50の上面を冷却する。そのため、赤外線ヒーター30からの赤外線により塗膜52を乾燥させつつ、流入風で塗膜52やシート50を冷却して高温化を抑制できる。これにより、シート50の乾燥時の熱膨張やその後の収縮を抑制して、塗膜52が応力により変形するのを抑制することができる。そして、流入風が外部への雰囲気ガスの流出をより抑制する役割と塗膜52を冷却する役割とを兼ねることができる。 Furthermore, an infrared heater 30 provided in the drying main body portion 14 is provided, and the inflow air supply device 90 passes under the inside air outflow prevention portion 80 and reaches the inside of the drying main body portion 14 from the opening 17. To cool the upper surface of the sheet 50. Therefore, while the coating film 52 is dried by infrared rays from the infrared heater 30, the coating film 52 and the sheet 50 can be cooled with the inflow air to suppress the increase in temperature. Thereby, the thermal expansion at the time of drying of the sheet | seat 50 and subsequent shrinkage | contraction can be suppressed, and it can suppress that the coating film 52 deform | transforms with stress. Further, the inflow air can serve both as a role of further suppressing the outflow of the atmospheric gas to the outside and a role of cooling the coating film 52.
さらにまた、内部風供給装置20が、乾燥本体部14におけるシート50の搬出側から搬入側に向けて、前記シート50の上面に沿った内部風を供給してシート50の上面を冷却する。そして、流入風供給装置90は、内部風と逆向きに流入風を乾燥本体部14内に供給する。こうすることで、内部風によっても塗膜52やシート50を冷却することができ、塗膜52の変形を抑制することができる。そして、内部風と逆向きに流入風を供給するため、例えば向きが同じである場合と比べて、内部風による外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。また、シート50の搬送方向と逆向きに内部風が供給されるため、内部風のシート50に対する相対速度が増し、シート50の上面の冷却効果が高まる。なお、内部風が搬出側から供給されることで、内部風が搬入側に到達した頃には、内部風の温度が上昇して冷却効果が低くなりやすい。しかし、流入風が乾燥本体部14における内部風とは反対側から供給されるため、そのような冷却効果の低くなった部分を効率的に流入風により冷却することができる。このように、内部風と流入風とを互いに逆向きに供給することにより、乾燥本体部14内のシート50の一部が高温になることを抑制でき、シート50の温度を低温に保ちやすい。 Furthermore, the internal air supply device 20 supplies internal air along the upper surface of the sheet 50 from the carry-out side of the sheet 50 to the carry-in side of the drying main body 14 to cool the upper surface of the sheet 50. The inflow air supply device 90 supplies the inflow air into the drying main body 14 in the direction opposite to the internal air. By carrying out like this, the coating film 52 and the sheet | seat 50 can be cooled also by internal wind, and the deformation | transformation of the coating film 52 can be suppressed. And since inflow air is supplied in the direction opposite to internal wind, compared with the case where direction is the same, the outflow of atmospheric gas to the exterior by internal wind can be suppressed more, for example. Further, since the internal wind is supplied in the direction opposite to the conveyance direction of the sheet 50, the relative speed of the internal wind with respect to the sheet 50 is increased, and the cooling effect on the upper surface of the sheet 50 is enhanced. When the internal wind is supplied from the carry-out side, when the internal wind reaches the carry-in side, the temperature of the internal wind rises and the cooling effect tends to be low. However, since the inflow air is supplied from the side opposite to the internal air in the drying main body 14, such a portion having a low cooling effect can be efficiently cooled by the inflow air. In this way, by supplying the internal air and the inflow air in opposite directions, it is possible to suppress a part of the sheet 50 in the drying main body 14 from becoming high temperature, and it is easy to keep the temperature of the sheet 50 low.
そしてまた、流入風供給装置90は、搬入路19内をシート50の搬送方向に対して傾斜してシート50の上面に向かうように流れ、その後シート50の上面に沿って内気流出阻止部80の下方へ流れるように流入風を供給する。そのため、搬入路19内の内気流出阻止部80よりも搬出口19a側で、流入風が上から下に向かう流れを有することになる。これにより、流入風で搬送路19を塞ぐことができ、外部への雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。 Further, the inflow air supply device 90 flows in the carry-in path 19 so as to be inclined toward the upper surface of the sheet 50 with respect to the conveyance direction of the sheet 50, and then, along the upper surface of the sheet 50, the inside air outflow prevention unit 80. Inflow air is supplied to flow downward. Therefore, the inflow air has a flow from the top to the bottom on the side of the carry-out outlet 19a with respect to the inside air outflow prevention portion 80 in the carry-in path 19. Thereby, the conveyance path 19 can be blocked by the inflow air, and the outflow of the atmospheric gas to the outside can be further suppressed.
そしてまた、乾燥炉10は、乾燥本体部14に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した第1〜第4区画空間76〜79をシート50の搬送方向に沿って有する区画構造体70を備えている。そして、区画構造体70は、複数の区画空間のうち乾燥本体部14側の1以上が内気流出阻止部80の傾斜空間となり、複数の区画空間のうち乾燥本体部14とは反対側の1以上が流入風供給装置90の傾斜経路となっている。これにより、内気流出阻止部80の傾斜空間と流入風供給装置90傾斜経路とを1つの区画構造体70にまとめることができる。そのため、内気流出阻止部80や流入風供給装置90を備えた乾燥炉10をより容易に製造できる。 Moreover, the drying furnace 10 includes a partition structure 70 having first to fourth partition spaces 76 to 79 that are inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body 14 along the transport direction of the sheet 50. . In the partition structure 70, one or more of the plurality of partition spaces on the side of the drying main body 14 is an inclined space of the inside air outflow prevention unit 80, and one or more of the plurality of partition spaces on the side opposite to the drying main body 14. Is an inclined path of the inflow air supply device 90. Accordingly, the inclined space of the inside air outflow prevention unit 80 and the inflow air supply device 90 inclined path can be combined into one partition structure 70. Therefore, the drying furnace 10 provided with the inside air outflow prevention unit 80 and the inflow air supply device 90 can be manufactured more easily.
なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。 It should be noted that the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that the present invention can be implemented in various modes as long as it belongs to the technical scope of the present invention.
例えば、上述した実施形態では、第1〜第3区画空間76〜78を内気流出阻止部80の傾斜空間とし、第4区画空間79を流入風供給装置90の傾斜経路として、これらを1つの区画構造体70にまとめるものとしたが、これに限られない。例えば第1〜第2区画空間76〜77を内気流出阻止部80の傾斜空間とし第3〜第4区画空間78〜79を流入風供給装置90傾斜経路とするなどとしてもよい。また、内気流出阻止部80の傾斜空間と流入風供給装置90の傾斜経路とを別々に設けてもよい。 For example, in the above-described embodiment, the first to third partition spaces 76 to 78 are the inclined spaces of the inside air outflow prevention unit 80, and the fourth partition space 79 is the inclined path of the inflow air supply device 90. The structure 70 is collected, but is not limited thereto. For example, the first to second partition spaces 76 to 77 may be the inclined space of the inside air outflow prevention unit 80, and the third to fourth partition spaces 78 to 79 may be the inlet air supply device 90 inclined path. Further, the inclined space of the inside air outflow prevention unit 80 and the inclined path of the inflow air supply device 90 may be provided separately.
上述した実施形態では、流入風供給装置90は傾斜経路として第4区画空間79を有しているものとしたが、これに限られない。例えば、流入風供給装置90は、搬入路19における乾燥本体部14とは反対側の端部である搬入口19aからシート50の上面に沿って水平に流れて乾燥本体部14に向かうように流入風を供給するものとしてもよい。図4は、この場合の変形例の乾燥炉110の縦断面図である。なお、図4では、図1と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図示するように、乾燥炉110では、区画構造体70は第1〜第3区画空間76〜78のみを有しており、区画構造体70がそのまま内気流出阻止部80となっている。また、流入風供給装置90は、給気ファン91と、パイプ構造体92と、給気ノズル193と、を備えている。給気ノズル193は、パイプ構造体92を介して給気ファン91からの流入風を搬入路19内に供給するものである。この給気ノズル193は、搬入路19における搬入口19a側の端部に設けられ、搬入口19a側から開口17に向けて水平に開口している。この乾燥炉110では、給気ノズル193から供給される流入風は、搬入口19a側からシート50の上面に沿って水平に流れて乾燥本体部14に向かって流れる。このように流入風を供給しても、本実施形態と同様に、流入風が乾燥本体部14からの雰囲気ガスの下側に潜り込むようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部80内へ押し上げる。そのため、乾燥本体部14からの雰囲気ガスの流出をより抑制することができる。なお、給気ノズル193を搬入路19の外側に設け、外部から搬入口19a内に向かいシート50の上面に沿って水平に流れるように流入風を供給してもよい。 In the embodiment described above, the inflow air supply device 90 has the fourth partition space 79 as the inclined path, but is not limited thereto. For example, the inflow air supply device 90 flows horizontally along the upper surface of the sheet 50 from the carry-in port 19 a, which is the end of the carry-in path 19 opposite to the drying main body 14, and flows into the drying main body 14. It is good also as what supplies a wind. FIG. 4 is a longitudinal sectional view of a drying furnace 110 according to a modification in this case. In FIG. 4, the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. As shown in the figure, in the drying furnace 110, the partition structure 70 has only the first to third partition spaces 76 to 78, and the partition structure 70 serves as the inside air outflow prevention unit 80 as it is. The inflow air supply device 90 includes an air supply fan 91, a pipe structure 92, and an air supply nozzle 193. The air supply nozzle 193 supplies the inflow air from the air supply fan 91 into the carry-in path 19 via the pipe structure 92. The air supply nozzle 193 is provided at an end of the carry-in path 19 on the carry-in port 19 a side, and opens horizontally from the carry-in port 19 a toward the opening 17. In the drying furnace 110, the inflow air supplied from the air supply nozzle 193 flows horizontally along the upper surface of the sheet 50 from the carry-in port 19 a side and flows toward the drying main body 14. Even if the inflow air is supplied in this manner, the atmosphere gas is pushed up into the inside air outflow prevention unit 80 so that the inflow air enters the lower side of the atmosphere gas from the drying main body portion 14 as in the present embodiment. Therefore, the outflow of the atmospheric gas from the drying main body 14 can be further suppressed. Note that the air supply nozzle 193 may be provided outside the carry-in path 19 and the inflow air may be supplied from the outside into the carry-in entrance 19a so as to flow horizontally along the upper surface of the sheet 50.
上述した実施形態では、流入風は、内気流出阻止部80の下方を通過して開口17から乾燥本体部14内に到達し、乾燥本体部14内でシート50の上面を冷却するものとしたが、これに限られない。例えば、流入風がシート50の上面を冷却しないものとしてもよい。また、流入風が内気流出阻止部80の下方を通過するが、乾燥本体部14内までは到達しないものとしてもよい。あるいは、流入風が内気流出阻止部80の下方を通過せず、内気流出阻止部80の下方までしか到達しないものとしてもよい。これらのようにしても、乾燥本体部14からの雰囲気ガスの流出を流入風により抑制することはできる。 In the embodiment described above, the inflow air passes under the inside air outflow prevention unit 80 and reaches the drying main body 14 from the opening 17, and cools the upper surface of the sheet 50 in the drying main body 14. Not limited to this. For example, the inflow air may not cool the upper surface of the sheet 50. The inflow air may pass under the inside air outflow prevention unit 80 but may not reach the inside of the drying main body unit 14. Alternatively, the inflow air may not pass below the inside air outflow prevention unit 80 and reach only below the inside air outflow prevention unit 80. Even in such a case, the outflow of the atmospheric gas from the drying main body 14 can be suppressed by the inflow air.
上述した実施形態では、開口17側に搬入路19,区画構造体70,内気流出阻止部80,排気装置81,流入風供給装置90を備えるものとしたが、同様の構成を開口18側にも備えるものとしてもよい。図5は、この場合の変形例の乾燥炉210の縦断面図である。なお、図5では、図1と同じ構成要素については同じ符号を付して、詳細な説明を省略する。図5に示すように、乾燥炉210では、開口18側に搬入路19と同様の構成の搬出路219を備えており、搬出路219の右端の搬出口219aから搬出されたシート50がロール56に巻き取られるようになっている。また、搬入路219の上方には、区画構造体270,内気流出阻止部280,排気装置281,流入風供給装置290が設けられている。これらは、それぞれ搬出路19,区画構造体70,内気流出阻止部80,排気装置81,流入風供給装置90と図5における左右対称に形成されている点以外は同様の構成を有している。この乾燥炉210では、開口18内の雰囲気ガスよりも低温の流入風を流入風供給装置290から供給する。このため、開口18からシート50の上面に沿って搬出路219に流出する雰囲気ガスがある場合に、流入風供給装置290からの流入風が内気流出阻止部280の下方で雰囲気ガスの下側に潜りこむ。その結果、流入風は雰囲気ガスをシート50の上面からはぎ取るようにして雰囲気ガスを内気流出阻止部290へ押し上げる。これにより、雰囲気ガスが搬出路219を通って搬出口219aから外部へ流出するのをより抑制することができる。なお、乾燥炉210において搬入路19,区画構造体70,内気流出阻止部80,排気装置81,流入風供給装置90を省略するものとしてもよい。こうしても、雰囲気ガスが搬出口219aから外部へ流出するのを抑制することはできる。ただし、内部風供給装置20からの内部風の向きと逆向きの流入風を供給して雰囲気ガスの流出を抑制することができるため、省略しないことが好ましい。なお、搬入路219,区画構造体270,内気流出阻止部280,排気装置281,流入風供給装置290は、それぞれ搬入路19,区画構造体70,内気流出阻止部80,排気装置81,流入風供給装置90と左右対称に形成されていなくともよい。 In the above-described embodiment, the carry-in path 19, the partition structure 70, the inside air outflow prevention unit 80, the exhaust device 81, and the inflow air supply device 90 are provided on the opening 17 side. It may be provided. FIG. 5 is a longitudinal sectional view of a drying furnace 210 according to a modification in this case. In FIG. 5, the same components as those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals, and detailed description thereof is omitted. As shown in FIG. 5, the drying furnace 210 is provided with a carry-out path 219 having the same configuration as the carry-in path 19 on the opening 18 side, and the sheet 50 carried out from the carry-out outlet 219 a at the right end of the carry-out path 219 is rolled 56. It is designed to be wound up by In addition, a partition structure 270, an inside air outflow prevention unit 280, an exhaust device 281, and an inflow air supply device 290 are provided above the carry-in path 219. These have the same configuration except that they are formed symmetrically with the carry-out path 19, the partition structure 70, the inside air outflow prevention unit 80, the exhaust device 81, and the inflow air supply device 90, respectively, in FIG. . In the drying furnace 210, inflow air having a temperature lower than that of the atmospheric gas in the opening 18 is supplied from the inflow air supply device 290. For this reason, when there is an atmospheric gas flowing out from the opening 18 along the upper surface of the sheet 50 to the carry-out path 219, the inflow air from the inflow air supply device 290 is below the inside air outflow prevention unit 280 and below the atmospheric gas. Dive in. As a result, the inflow air pushes up the atmospheric gas to the inside air outflow prevention unit 290 so as to peel off the atmospheric gas from the upper surface of the sheet 50. Thereby, it is possible to further suppress the atmospheric gas from flowing out from the carry-out port 219a through the carry-out path 219. In the drying furnace 210, the carry-in path 19, the partition structure 70, the inside air outflow prevention unit 80, the exhaust device 81, and the inflow air supply device 90 may be omitted. Even in this case, it is possible to suppress the atmospheric gas from flowing out from the carry-out port 219a. However, since it is possible to suppress the outflow of the atmospheric gas by supplying the inflow air in the direction opposite to the direction of the internal air from the internal air supply device 20, it is preferable not to omit it. The carry-in path 219, the compartment structure 270, the inside air outflow prevention unit 280, the exhaust device 281 and the inflow air supply device 290 are respectively the carry-in path 19, the compartment structure 70, the inside air outflow prevention unit 80, the exhaust device 81, and the inflow air. It may not be formed symmetrically with the supply device 90.
上述した実施形態では、内部風供給装置20からの内部風はシート50の搬送方向と逆向きであるものとしたが、同方向としてもよい。この場合、内部風供給装置20からの内部風の向きと逆向きの流入風を供給して雰囲気ガスの流出を抑制することができるため、図5に示した搬入路219,区画構造体270,内気流出阻止部280,排気装置281,流入風供給装置290を備えることが好ましい。 In the above-described embodiment, the internal wind from the internal wind supply device 20 is opposite to the conveyance direction of the sheet 50, but may be the same direction. In this case, since the inflow air in the direction opposite to the direction of the internal air from the internal air supply device 20 can be supplied to suppress the outflow of the atmospheric gas, the carry-in path 219, the partition structure 270, and the like shown in FIG. It is preferable to include an inside air outflow prevention unit 280, an exhaust device 281 and an inflow air supply device 290.
上述した実施形態では、内部風吸気装置25が乾燥本体部14内の雰囲気ガスを排気するものとしたが、内部風吸気装置25を省略してもよい。この場合でも、排気装置81により乾燥本体部14内の雰囲気ガスを外部に流出させずに排気することはできる。 In the above-described embodiment, the internal wind intake device 25 exhausts the atmospheric gas in the drying main body 14, but the internal wind intake device 25 may be omitted. Even in this case, the exhaust device 81 can exhaust the atmospheric gas in the dry main body 14 without flowing out.
上述した実施形態において、乾燥本体部14内のシート50の下面側にも、内部風供給装置20及び内部風吸気装置25と同様の装置を設けてもよい。こうすれば、この装置からの内部風によってもシート50を冷却することができる。 In the above-described embodiment, devices similar to the internal wind supply device 20 and the internal wind intake device 25 may be provided on the lower surface side of the sheet 50 in the drying main body 14. If it carries out like this, the sheet | seat 50 can be cooled also with the internal wind from this apparatus.
上述した実施形態において、搬入路19のうちシート50の下面側に流入風の供給口を設けて、搬入口19aから乾燥本体部14に向かう方向に流れる流入風も供給するものとしてもよい。 In the above-described embodiment, an inflow air supply port may be provided on the lower surface side of the sheet 50 in the carry-in path 19 to supply inflow air flowing in the direction from the carry-in port 19 a toward the drying main body 14.
上述した実施形態において、赤外線ヒーター30の本数や配置は図1と異なるものとしてもよい。また、乾燥本体部14内において赤外線ヒーター30をシート50の下面側にも設けるものとしてもよい。あるいは、赤外線ヒーター30を備えず、内部風供給装置20からの内部風により塗膜52を乾燥させるものとしてもよい。その場合、内部風は冷風ではなく熱風(例えば60〜150℃)としてもよい。 In the embodiment described above, the number and arrangement of the infrared heaters 30 may be different from those in FIG. Further, the infrared heater 30 may be provided on the lower surface side of the sheet 50 in the drying main body 14. Alternatively, the infrared heater 30 may not be provided, and the coating film 52 may be dried by the internal wind from the internal wind supply device 20. In that case, the internal air may be hot air (for example, 60 to 150 ° C.) instead of cold air.
上述した実施形態において、搬入路19内や乾燥本体部14内には、シート50を下方から支える支持ローラを数個設けてもよい。こうすれば、重力によってシート50が撓むのを防止することができる。 In the embodiment described above, several support rollers for supporting the sheet 50 from below may be provided in the carry-in path 19 or the drying main body 14. In this way, it is possible to prevent the sheet 50 from being bent by gravity.
上述した実施形態では、内部風吸気装置25が排気ファン26を備え、排気装置81が排気ファン82を備えるものとしたが、これに限られない。例えば排気ファン26と排気ファン82といずれか一方のみ備えるものとし、パイプ構造体27及びパイプ構造体83がともにこの排気ファンに接続されているものとしてもよい。こうしても、乾燥本体部14内及び内気流出阻止部80内の雰囲気ガスを排出することができる。 In the above-described embodiment, the internal wind intake device 25 includes the exhaust fan 26 and the exhaust device 81 includes the exhaust fan 82. However, the present invention is not limited to this. For example, only one of the exhaust fan 26 and the exhaust fan 82 may be provided, and both the pipe structure 27 and the pipe structure 83 may be connected to the exhaust fan. Even in this case, the atmospheric gas in the drying main body 14 and the inside air outflow prevention unit 80 can be discharged.
上述した実施形態では、赤外線ヒーター30として、フィラメント32の外周が3.5μmを超える波長の赤外線を吸収するフィルタとして機能する複数の管36,40によって同心円状に覆われ、これらの複数の管36,40の間に赤外線ヒーター30の表面温度の上昇を抑制する冷却流体の流路48を形成したものを用いたが、その他の赤外線ヒーターを用いても構わない。 In the above-described embodiment, the outer periphery of the filament 32 is concentrically covered by the plurality of tubes 36 and 40 that function as an infrared ray absorbing filter having a wavelength exceeding 3.5 μm as the infrared heater 30. , 40 in which a cooling fluid channel 48 that suppresses an increase in the surface temperature of the infrared heater 30 is used, but other infrared heaters may be used.
上述した実施形態では、各乾燥炉10の雰囲気ガスとして空気を用いたが、空気の代わりに窒素などの不活性ガスを用いてもよい。 In the embodiment described above, air is used as the atmospheric gas of each drying furnace 10, but an inert gas such as nitrogen may be used instead of air.
上述した実施形態では、塗膜52はセラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤とを含むものとしたが、これに限られない。例えば、有機溶剤の代わりに水を用いるものとしてもよい。この場合、乾燥本体部14内の雰囲気ガス中には乾燥により蒸発した水気が含まれることになる。そのため、このような水気を含む雰囲気ガスが乾燥炉10の外部に流出するのを抑制する意義が高い。なお、有機溶剤や水に限らず、乾燥により塗膜52から発生するガスをそのまま乾燥炉10の外部へ流出することは好ましくない場合が多い。そのため、塗膜52の成分に関わらず雰囲気ガスの炉外への流出を抑制する意義はある。 In the above-described embodiment, the coating film 52 includes ceramic powder or metal powder, an organic binder, and an organic solvent, but is not limited thereto. For example, water may be used instead of the organic solvent. In this case, the atmospheric gas in the drying main body portion 14 contains moisture evaporated by drying. Therefore, it is highly significant to suppress such atmospheric gas containing water from flowing out of the drying furnace 10. In addition to the organic solvent and water, it is often not preferable that the gas generated from the coating film 52 by drying flows out of the drying furnace 10 as it is. Therefore, it is meaningful to suppress the outflow of the atmospheric gas to the outside of the furnace regardless of the components of the coating film 52.
上述した実施形態では、塗膜52はMLCC用の薄膜として用いられるものとしたが、これに限られない。例えば、LTCC(低温焼成セラミックス)やその他のグリーンシート用の薄膜として用いるものとしてもよい。また、塗膜52はコーターによってシート50上に塗布されるものとしたが、他の方法によりシート50の上面に膜を形成してもよい。 In the embodiment described above, the coating film 52 is used as a thin film for MLCC, but is not limited thereto. For example, it may be used as a thin film for LTCC (low temperature fired ceramics) or other green sheets. Moreover, although the coating film 52 shall be apply | coated on the sheet | seat 50 with a coater, you may form a film | membrane on the upper surface of the sheet | seat 50 by another method.
本発明は、膜が上面に形成されたシートを乾燥する必要のある産業、例えばPETフィルムからなるシートの上面に、セラミック粉末又は金属粉末と、有機バインダーと、有機溶剤又は水と、を含む膜を形成し、この膜を乾燥させて積層してMLCCを製造する産業などに利用可能である。 The present invention relates to an industry in which a sheet having a film formed thereon is required to be dried, for example, a film containing ceramic powder or metal powder, an organic binder, and an organic solvent or water on the upper surface of a sheet made of PET film. And this film is dried and laminated to be used in the industry for manufacturing MLCC.
10,110,210 乾燥炉、14 乾燥本体部、15 前端面、16 後端面、17,18 開口、19 搬入路、19a 搬入口、20 内部風供給装置、21 給気ファン、22 パイプ構造体、23 給気ノズル、25 内部風吸気装置、26 排気ファン、27 パイプ構造体、28 排気ノズル、30 赤外線ヒーター、32 フィラメント、34 電気配線、36 内管、37 温度センサ、38 ヒーター本体、40 外管、42 キャップ、44 配線引出部、46 流体出入口、48 流路、49 ホルダー、50 シート、52 塗膜、54,56 ロール、60 コントローラー、62 電力供給源、64 冷却流体供給源、66 開閉弁、68 流量調整弁、70,270 区画構造体、72 外壁、74 内壁、76〜79 第1〜第4区画空間、80,280 内気流出阻止部、81,281 排気装置、82 排気ファン、83 パイプ構造体、90,290 流入風供給装置、91 給気ファン、92 パイプ構造体、193 給気ノズル、219 搬出路、219a 搬出口。 10, 110, 210 Drying furnace, 14 Drying main body, 15 Front end surface, 16 Rear end surface, 17, 18 Opening, 19 Carry-in path, 19a Carry-in port, 20 Internal air supply device, 21 Air supply fan, 22 Pipe structure, 23 Air supply nozzle, 25 Internal air intake device, 26 Exhaust fan, 27 Pipe structure, 28 Exhaust nozzle, 30 Infrared heater, 32 Filament, 34 Electrical wiring, 36 Inner pipe, 37 Temperature sensor, 38 Heater body, 40 Outer pipe , 42 cap, 44 wiring outlet, 46 fluid inlet / outlet, 48 flow path, 49 holder, 50 sheet, 52 coating film, 54, 56 roll, 60 controller, 62 power supply source, 64 cooling fluid supply source, 66 on-off valve, 68 Flow control valve, 70, 270 Compartment structure, 72 Outer wall, 74 Inner wall, 76-79 First to fourth Image space, 80,280 Inside air outflow prevention unit, 81,281 Exhaust device, 82 Exhaust fan, 83 Pipe structure, 90,290 Inflow air supply device, 91 Supply air fan, 92 Pipe structure, 193 Supply air nozzle, 219 Unloading path, 219a Unloading exit.
Claims (7)
前記膜を乾燥させる乾燥本体部と、
前記シートを外部から前記乾燥本体部の開口部に搬入するか又は該開口部から外部へ搬出する搬送路と、
前記搬送路内に開口して設けられ、前記シートの上方に位置し、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜空間を有する内気流出阻止部と、
前記開口部内の雰囲気ガスよりも低温の流体を流入風として前記搬送路に供給する流入風供給手段と、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記乾燥炉本体部に流入する方向に前記搬送路を流れ、且つ前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方へ流れるように前記流入風を供給する、
乾燥炉。 A drying furnace that continuously transports a sheet on which a film to be dried is formed on the upper surface and performs drying,
A drying body for drying the membrane;
A conveyance path for carrying the sheet from the outside into the opening of the drying main body or carrying it out from the opening;
An inside air outflow prevention unit provided with an opening in the conveyance path, located above the sheet, and having an inclined space inclined in a direction in which an upper part is away from the drying main body unit;
Inflow air supply means for supplying a fluid having a temperature lower than the atmospheric gas in the opening to the transport path as inflow air;
With
The inflow air supply means supplies the inflow air so as to flow through the conveyance path in a direction of flowing into the drying furnace main body, and to flow under the inside air outflow prevention unit along the upper surface of the sheet.
drying furnace.
請求項1に記載の乾燥炉。 The inflow air supply means supplies the inflow air so as to pass below the inside air outflow prevention unit;
The drying furnace according to claim 1.
前記乾燥本体部内に設けられた赤外線ヒーター、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記内気流出阻止部の下方を通過して前記開口部から前記乾燥本体部内に到達するように前記流入風を供給して前記シートの上面を冷却する、
乾燥炉。 A drying furnace according to claim 2,
An infrared heater provided in the drying body,
With
The inflow air supply means cools the upper surface of the sheet by supplying the inflow air so as to pass under the inside air outflow prevention portion and reach the drying main body portion from the opening.
drying furnace.
前記乾燥本体部における前記シートの搬入側又は搬出側の一方から他方に向けて、前記シートの前記上面に沿った内部風を供給して前記シートの上面を冷却する内部風供給手段、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記内部風と逆向きに前記流入風を前記乾燥本体部内に供給する、
乾燥炉。 A drying furnace according to claim 3,
An internal air supply means for supplying an internal air along the upper surface of the sheet and cooling the upper surface of the sheet from one side of the carrying-in side or the carrying-out side of the sheet to the other side in the drying main body,
With
The inflow air supply means supplies the inflow air into the drying main body in a direction opposite to the internal air;
drying furnace.
前記内気流出阻止部は、前記シートを外部から前記乾燥本体部に搬入する搬入路に設けられ、
前記流入風供給手段は、前記乾燥炉本体部に流入する方向に前記搬入路を流れ、且つ前記シートの上面に沿って前記内気流出阻止部の下方を通過して前記乾燥本体部内に到達するように前記流入風を供給する、
請求項4に記載の乾燥炉。 The internal wind supply means supplies the internal wind from the carry-out side of the sheet toward the carry-in side,
The inside air outflow prevention part is provided in a carry-in path for carrying the sheet from the outside into the drying main body part,
The inflow air supply means flows in the carry-in path in a direction to flow into the drying furnace main body, and passes under the inside air outflow prevention portion along the upper surface of the sheet to reach the drying main body. Supplying the inflow air to
The drying furnace according to claim 4.
請求項1〜5のいずれか1項に記載の乾燥炉。 The inflow air supply means flows in the conveyance path so as to incline with respect to the conveyance direction of the sheet toward the upper surface of the sheet, and then flows below the inside air outflow prevention unit along the upper surface of the sheet. So as to supply the inflow air,
The drying furnace according to any one of claims 1 to 5.
前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した区画空間を前記シートの搬送方向に沿って複数有する区画構造体、
を備え、
前記流入風供給手段は、前記乾燥本体部に対して上部が遠ざかる方向に傾斜した傾斜経路を有し、該傾斜経路を通過させることで前記流入風が前記搬送路内を前記シートの搬送方向に対して傾斜して前記シートの上面に向かう流れを発生させ、
前記区画構造体は、前記複数の区画空間のうち前記乾燥本体部側の1以上が前記内気流出阻止部の前記傾斜空間となり、前記複数の区画空間のうち乾燥本体部とは反対側の1以上が前記流入風供給手段の前記傾斜経路となっている、
乾燥炉。 A drying furnace according to claim 6,
A partition structure having a plurality of partition spaces inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body along the sheet conveyance direction;
With
The inflow air supply means has an inclined path that is inclined in a direction in which the upper part is away from the drying main body, and the inflow air passes through the inclination path in the conveyance direction of the sheet. Inclining to generate a flow toward the upper surface of the sheet,
In the partitioned structure, at least one of the plurality of partitioned spaces on the side of the drying main body becomes the inclined space of the inside air outflow prevention unit, and one or more of the plurality of partitioned spaces on the side opposite to the drying body portion. Is the inclined path of the inflow air supply means,
drying furnace.
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019163931A (en) * | 2015-03-26 | 2019-09-26 | 日本碍子株式会社 | Drying method, manufacturing method of ceramic component, and drying system |
-
2012
- 2012-08-07 JP JP2012174750A patent/JP2014035086A/en active Pending
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