JP2018119958A - Optical transmission body, appearance inspection device, and appearance inspection method - Google Patents

Optical transmission body, appearance inspection device, and appearance inspection method Download PDF

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Teruhiko Sugimori
輝彦 杉森
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical transmission body, an appearance inspection device, and an appearance inspection method, which restricts contact with a sample and enables downsizing of the appearance inspection device.SOLUTION: An optical transmission body 1 used in an appearance inspection device 7, includes a plurality of columnar lenses 2 extending in a first direction and arranged adjacent to a direction intersecting with the first direction, and a light block part 3 provided between the plurality of columnar lenses 2. In the first direction, both end portions 21, 22 of the columnar lens 2 have protruding curve surfaces.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法に関する。   The present invention relates to an optical transmission body, an appearance inspection apparatus, and an appearance inspection method.

従来、フィルム等の欠陥を検査する装置として、フィルムの幅方向（Ｘ方向）を一度に検査できる外観検査装置が用いられる。外観検査装置の検出精度を向上させるため、例えば特許文献１では、信頼性の高い外観検査システムが開示されている。また、例えば特許文献２では、１つの検出手段で可能にするピンホール検査方法等が開示されている。   Conventionally, as an apparatus for inspecting defects such as a film, an appearance inspection apparatus capable of inspecting the width direction (X direction) of the film at a time is used. In order to improve the detection accuracy of the appearance inspection apparatus, for example, Patent Document 1 discloses a highly reliable appearance inspection system. Further, for example, Patent Document 2 discloses a pinhole inspection method that can be performed by one detection means.

特許文献１では、１方向に長いライン照明を行うライン照明装置において、１又は２以上の発光部を有する光源部と、この光源部から出射した光を平行光に変換する前段光学部と、この前段光学部から出射した平行光を複数のライン状の小光源部に変換して多光源化する多光源化部と、各小光源部から出射した各光を集光し、ライン照明に変換して照射対象面に照射する後段光学系とを備える旨が開示されている。   In Patent Document 1, in a line illumination device that performs long line illumination in one direction, a light source unit having one or more light emitting units, a front-stage optical unit that converts light emitted from the light source unit into parallel light, A multi-light source unit that converts parallel light emitted from the front stage optical unit into a plurality of line-shaped small light source units to produce multiple light sources, and each light emitted from each small light source unit is condensed and converted into line illumination. And a post-stage optical system for irradiating the irradiation target surface.

特許文献２では、被検査物である遮光性フィルムに光を照射する光照射工程と、前記光照射工程にて、複数のセグメントに分割された光源から、セグメント毎に異なる単色光が照射された結果、前記遮光性フィルムのどこかで光が透過した場合に、ロッドレンズアレイによって集光される集光工程と、前記集光工程にて、集光された光が検出部の全ての分光手段に入射され、前記分光手段に備えられた光センサによって検出される検出工程と、前記検出工程にて、どのセグメントで光が検出されたかを判定し、ピンホールの位置を特定する位置特定工程とからなり、前記光照射工程から前記位置特定工程までの全ての工程が同時に実施されることを特徴とするピンホール検査方法が開示されている。   In patent document 2, the light irradiation process which irradiates light to the light-shielding film which is a to-be-inspected object, and the monochromatic light different for every segment was irradiated from the light source divided | segmented into the several segment in the said light irradiation process. As a result, when light is transmitted somewhere in the light-shielding film, a condensing step of condensing by the rod lens array, and the light collected in the condensing step is all the spectroscopic means of the detection unit And a detection step that is detected by an optical sensor provided in the spectroscopic means, a position specifying step that determines in which segment light is detected in the detection step, and specifies a pinhole position; A pinhole inspection method is disclosed in which all steps from the light irradiation step to the position specifying step are performed simultaneously.

特開２０１６−６５７７１号公報JP, 2006-65771, A 特開２０１３−１７４５２６号公報JP2013-174526A

ここで、外観検査装置特有の課題として、装置の小型化が挙げられる。例えば、特許文献１のように、外観検査装置の受光部側には、凸型レンズ等の球面レンズを用いることがある。この場合、外観検査用試料から像面までの距離（共役長）の確保等の問題により、外観検査装置の小型化が困難とされている。   Here, as a problem peculiar to the appearance inspection apparatus, there is a downsizing of the apparatus. For example, as in Patent Document 1, a spherical lens such as a convex lens may be used on the light receiving unit side of the appearance inspection apparatus. In this case, it is difficult to reduce the size of the appearance inspection apparatus due to problems such as securing the distance (conjugate length) from the appearance inspection sample to the image plane.

この点、特許文献２では、受光部側の光伝送体には、小型のロッドレンズが用いられている。このため、凸型レンズに比べて、共役長を極めて短くでき、外観検査装置の小型化を実施できる。しかしながら、ロッドレンズを用いた場合、共役長が短すぎるため、ロッドレンズが試料と接触し、キズ等の欠陥を発生させる懸念が挙げられる。特に、例えばフィルム等を搬送するような製造ライン上に外観検査装置が設けられた場合、フィルムのわずかな変動に伴い、フィルムがロッドレンズと接触する恐れがある。上記により、試料との接触を抑制し、外観検査装置を小型化できる光伝送体の実現が望まれている。   In this regard, in Patent Document 2, a small rod lens is used for the optical transmission body on the light receiving unit side. For this reason, the conjugate length can be made extremely shorter than that of the convex lens, and the appearance inspection apparatus can be downsized. However, when a rod lens is used, since the conjugate length is too short, there is a concern that the rod lens may come into contact with the sample and cause defects such as scratches. In particular, when an appearance inspection apparatus is provided on a production line that conveys a film or the like, for example, the film may come into contact with the rod lens due to slight fluctuations in the film. As described above, it is desired to realize an optical transmission body that can suppress contact with a sample and can downsize an appearance inspection apparatus.

そこで本発明は、上述した問題点に鑑みて案出されたものであり、その目的とするところは、試料との接触を抑制し、外観検査装置の小型化を可能とする光伝送体、外観検査装置、及び外観検査方法を提供することにある。   Accordingly, the present invention has been devised in view of the above-described problems, and an object of the present invention is to provide an optical transmission body and an external appearance that suppresses contact with a sample and enables downsizing of an appearance inspection apparatus. To provide an inspection apparatus and an appearance inspection method.

第１発明に係る光伝送体は、外観検査装置に用いられる光伝送体であって、第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、を備え、前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有することを特徴とする。   An optical transmission body according to a first invention is an optical transmission body used in an appearance inspection apparatus, and extends in a first direction and is arranged adjacent to a direction intersecting the first direction, A light-shielding portion provided between the plurality of columnar lenses, wherein both end portions of the columnar lens have protruding curved surfaces in the first direction.

第２発明に係る光伝送体は、第１発明において、前記両端部は、凸状及びシリンドリカル状の何れかであることを特徴とする。   The optical transmission body according to a second aspect of the present invention is characterized in that, in the first aspect, the both end portions are either a convex shape or a cylindrical shape.

第３発明に係る光伝送体は、第１発明又は第２発明において、前記柱状レンズの形状は、角柱状であることを特徴とする。   An optical transmission body according to a third invention is characterized in that, in the first invention or the second invention, the columnar lens has a prismatic shape.

第４発明に係る光伝送体は、第１発明〜第３発明の何れかにおいて、前記複数の柱状レンズは、前記第１方向に離間して配置された複数の第１柱状レンズ及び複数の第２柱状レンズを有することを特徴とする。   According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the plurality of columnar lenses are a plurality of first columnar lenses and a plurality of first columnar lenses spaced apart in the first direction. It has two columnar lenses.

第５発明に係る光伝送体は、第４発明において、前記遮光部は、前記複数の第１柱状レンズの間に設けられた第１遮光部と、前記複数の第２柱状レンズの間に設けられた第２遮光部と、を有することを特徴とする。   According to a fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the light-shielding portion is provided between the first light-shielding portion provided between the plurality of first columnar lenses and the plurality of second columnar lenses. And a second light shielding portion.

第６発明に係る外観検査装置は、光を放射する光源部と、外観検査用試料を反射又は透過した前記光を伝送する光伝送体と、前記光伝送体から伝送された前記光を受光する受光部と、を備え、前記光伝送体は、第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、を有し、前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有することを特徴とする。   A visual inspection apparatus according to a sixth aspect of the invention receives a light source that emits light, an optical transmission body that transmits the light reflected or transmitted through the visual inspection sample, and the light transmitted from the optical transmission body. A light receiving portion, and the optical transmission body is provided between the plurality of columnar lenses extending in the first direction and arranged adjacent to the direction intersecting the first direction. And both end portions of the columnar lens have protruding curved surfaces in the first direction.

第７発明に係る外観検査装置は、第６発明において、前記受光部は、複数の受光素子を有し、前記第１方向において、前記複数の柱状レンズのそれぞれは、前記外観検査用試料と、少なくとも１つの前記受光素子との間に設けられることを特徴とする。   According to a seventh aspect of the present invention, in the sixth aspect, the light receiving unit includes a plurality of light receiving elements, and in the first direction, each of the plurality of columnar lenses includes the sample for appearance inspection, It is provided between at least one of the light receiving elements.

第８発明に係る外観検査方法は、光源部から光を放射する放射工程と、外観検査用試料を反射又は透過した前記光を、光伝送体を介して伝送させる光伝送工程と、前記光伝送体から伝送された前記光を、受光部に受光させる受光工程と、を備え、前記光伝送体は、第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、を有し、前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有することを特徴とする。   An appearance inspection method according to an eighth aspect of the invention includes a radiation step of emitting light from a light source unit, a light transmission step of transmitting the light reflected or transmitted through the sample for appearance inspection via an optical transmission body, and the light transmission. A light receiving step for causing the light transmitted from the body to receive light, and the light transmission body extends in a first direction and is arranged in a plurality of columnar shapes adjacent to each other in a direction intersecting the first direction. And a light-shielding portion provided between the plurality of columnar lenses, wherein both end portions of the columnar lens have protruding curved surfaces in the first direction.

第１発明〜第５発明によれば、柱状レンズは、第１方向（Ｚ方向）の両端部に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズの共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料と接触しない程度の共役長を保持でき、光伝送体を用いた外観検査装置の小型化が可能である。   According to the first to fifth inventions, the columnar lens has curved surfaces protruding at both end portions in the first direction (Z direction). For this reason, the conjugate length of the columnar lens can be made longer than the conjugate length of the rod lens. Thus, a conjugate length that does not come into contact with the sample can be maintained, and the appearance inspection apparatus using the optical transmission body can be downsized.

また、第１発明〜第５発明によれば、遮光部が、複数の柱状レンズの間に設けられる。このため、各柱状レンズの一端から入射した光は、隣接する柱状レンズに入射せずに、他端から出射する。これにより、柱状レンズ間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。   Further, according to the first to fifth inventions, the light shielding portion is provided between the plurality of columnar lenses. For this reason, the light incident from one end of each columnar lens is emitted from the other end without entering the adjacent columnar lens. Thereby, interference of light between the columnar lenses can be suppressed, and the accuracy of light transmission can be improved.

特に、第２発明及び第３発明によれば、柱状レンズの両端部は、凸状及びシリンドリカル状の何れかである。このため、ロッドレンズに比べて、光学設計の自由度を高くすることができる。これにより、外観検査用試料の種類等に応じて、柔軟に対応できる光伝送体を提供することが可能である。   In particular, according to the second and third inventions, both end portions of the columnar lens are either convex or cylindrical. For this reason, the freedom degree of an optical design can be made high compared with a rod lens. Accordingly, it is possible to provide an optical transmission body that can flexibly respond to the type of the sample for appearance inspection.

特に、第３発明によれば、柱状レンズは、角柱状である。このため、柱状レンズ間の距離を短くでき、柱状レンズに入射しない光を最小限に抑えることができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能である。   In particular, according to the third invention, the columnar lens has a prismatic shape. For this reason, the distance between the columnar lenses can be shortened, and light that does not enter the columnar lenses can be minimized. Thereby, it is possible to further improve the accuracy of optical transmission.

特に、第４発明によれば、複数の柱状レンズは、複数の第１柱状レンズ及び複数の第２柱状レンズを有する。このため、第１柱状レンズ及び第２柱状レンズを介して、試料に対して正立像を形成する光を受光部等に入射させることができる。これにより、外観検査装置における設計の自由度を向上させることが可能である。   In particular, according to the fourth invention, the plurality of columnar lenses include a plurality of first columnar lenses and a plurality of second columnar lenses. For this reason, the light which forms an erect image with respect to a sample can be incident on a light-receiving part etc. via a 1st columnar lens and a 2nd columnar lens. Thereby, it is possible to improve the design freedom in the appearance inspection apparatus.

特に、第５発明によれば、遮光部は、第１遮光部と、第２遮光部とを有する。このため、各第１柱状レンズの間及び各第２柱状レンズの間における光の干渉を抑制できる。これにより、光伝達の精度をさらに向上させることが可能である。   In particular, according to the fifth aspect, the light shielding part includes the first light shielding part and the second light shielding part. For this reason, the interference of the light between each 1st columnar lens and between each 2nd columnar lens can be suppressed. Thereby, it is possible to further improve the accuracy of light transmission.

特に、第６発明及び第７発明によれば、柱状レンズは、Ｚ方向の両端部に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズの共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料と接触しない程度の共役長を保持でき、外観検査装置の小型化が可能である。   In particular, according to the sixth and seventh inventions, the columnar lens has curved surfaces protruding at both ends in the Z direction. For this reason, the conjugate length of the columnar lens can be made longer than the conjugate length of the rod lens. As a result, a conjugate length that does not come into contact with the sample can be maintained, and the appearance inspection apparatus can be miniaturized.

特に、第６発明及び第７発明によれば、遮光部が、複数の柱状レンズの間に設けられる。このため、各柱状レンズの一端から入射した光は、隣接する柱状レンズに入射せずに、他端から出射する。これにより、柱状レンズ間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。   In particular, according to the sixth and seventh inventions, the light shielding portion is provided between the plurality of columnar lenses. For this reason, the light incident from one end of each columnar lens is emitted from the other end without entering the adjacent columnar lens. Thereby, interference of light between the columnar lenses can be suppressed, and the accuracy of light transmission can be improved.

特に、第７発明によれば、柱状レンズは、外観検査用試料と、少なくとも１つの受光素子との間に設けられる。このため、試料を介して各柱状レンズに入射した光を少なくとも１つの受光素子に受光させることができる。これにより、各受光素子には、試料の所定位置に対応した光を受光させることができ、外観検査装置の検出精度を向上させることが可能である。また、１つの柱状レンズに対して複数の受光素子を配置することもできる。これにより、検出精度をさらに向上させることが可能である。   In particular, according to the seventh invention, the columnar lens is provided between the appearance inspection sample and at least one light receiving element. For this reason, the light incident on each columnar lens through the sample can be received by at least one light receiving element. Thus, each light receiving element can receive light corresponding to a predetermined position of the sample, and the detection accuracy of the appearance inspection apparatus can be improved. Also, a plurality of light receiving elements can be arranged for one columnar lens. Thereby, it is possible to further improve the detection accuracy.

特に、第８発明によれば、柱状レンズは、Ｚ方向の両端部に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズの共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料と接触しない程度の共役長を保持でき、外観検査装置を小型化した外観検査方法が実現できる。   In particular, according to the eighth invention, the columnar lens has curved surfaces protruding at both ends in the Z direction. For this reason, the conjugate length of the columnar lens can be made longer than the conjugate length of the rod lens. As a result, a conjugate length that does not contact the sample can be maintained, and an appearance inspection method in which the appearance inspection apparatus is downsized can be realized.

本実施形態における外観検査装置の一例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows an example of the external appearance inspection apparatus in this embodiment. 図２（ａ）は、本実施形態における光伝送体の一例を示す模式斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）の２Ｂ−２Ｂ線に対応する模式断面図であり、図２（ｃ）は、本実施形態における柱状レンズ及び遮光部の一例を示す模式斜視図である。FIG. 2A is a schematic perspective view showing an example of an optical transmission body in the present embodiment, and FIG. 2B is a schematic cross-sectional view corresponding to the line 2B-2B in FIG. FIG. 2C is a schematic perspective view illustrating an example of a columnar lens and a light shielding portion in the present embodiment. 図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本実施形態における光伝送体の他の例を示す模式斜視図である。FIG. 3A and FIG. 3B are schematic perspective views showing other examples of the optical transmission body in the present embodiment. 本実施形態における外観検査方法の一例を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows an example of the external appearance inspection method in this embodiment. 本実施形態における外観検査装置の変形例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the modification of the external appearance inspection apparatus in this embodiment. 本実施形態における光伝送体の変形例を示す模式断面図である。It is a schematic cross section which shows the modification of the optical transmission body in this embodiment.

以下、本実施形態における光伝送体及び外観検査装置の一例について説明する。   Hereinafter, an example of the optical transmission body and the appearance inspection apparatus in the present embodiment will be described.

図１は、本実施形態における外観検査装置７の一例を示す模式断面図である。図１以降では、外観検査用試料６（例えばフィルム：以下試料６とする）の幅方向をＸ方向とし、試料６の長さ方向をＹ方向とし、Ｘ方向及びＹ方向と交わる方向をＺ方向（第１方向）とする。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of an appearance inspection apparatus 7 in the present embodiment. In FIG. 1 and subsequent figures, the width direction of the appearance inspection sample 6 (eg, film: hereinafter referred to as sample 6) is the X direction, the length direction of the sample 6 is the Y direction, and the direction intersecting the X direction and the Y direction is the Z direction. (First direction).

図１に示すように、光伝送体１は、外観検査装置７内に設けられる。外観検査装置７は、試料６上に設けられ、試料６のＸ方向に延びる。外観検査装置７は、例えば光源部７１と、受光部７２とを備える他、例えば図示しない制御部等、入力部、及び出力部を備えてもよい。   As shown in FIG. 1, the optical transmission body 1 is provided in the appearance inspection apparatus 7. The appearance inspection device 7 is provided on the sample 6 and extends in the X direction of the sample 6. The appearance inspection apparatus 7 may include an input unit and an output unit, such as a control unit (not shown), for example, in addition to the light source unit 71 and the light receiving unit 72.

光源部７１は、光を放射する。光源部７１は、試料６上に設けられる他、試料６下に設けられてもよい。光源部７１は、光を放射する任意の構成を備え、例えば複数のＬＥＤ素子を有する。光源部７１から放射される光の有する波長は任意であり、例えば３６０ｎｍ〜８３０ｎｍ程度の可視光領域の波長を有する。   The light source unit 71 emits light. In addition to being provided on the sample 6, the light source unit 71 may be provided below the sample 6. The light source unit 71 includes an arbitrary configuration that emits light, and includes, for example, a plurality of LED elements. The wavelength which the light radiated | emitted from the light source part 71 has is arbitrary, for example, has a wavelength of the visible light region about 360 nm-830 nm.

受光部７２は、光伝送体１から伝送された光を受光する。受光部７２は、試料６上に設けられ、複数の受光素子７２ａを有する。受光素子７２ａとして、光を受光する任意の構成を備え、例えばＣＣＤが用いられる。   The light receiving unit 72 receives light transmitted from the optical transmission body 1. The light receiving unit 72 is provided on the sample 6 and includes a plurality of light receiving elements 72a. As the light receiving element 72a, an arbitrary configuration for receiving light is provided. For example, a CCD is used.

光伝送体１は、試料６を反射又は透過した光を伝送する。光伝送体１は、試料６と、受光部７２との間に設けられ、複数の柱状レンズ２を備える。Ｚ方向において、複数の柱状レンズ２のそれぞれは、試料６と、少なくとも１つの受光素子７２ａとの間に設けられる。複数の柱状レンズ２は、Ｘ方向に隣接して複数配置される。   The optical transmission body 1 transmits light reflected or transmitted through the sample 6. The optical transmission body 1 is provided between the sample 6 and the light receiving unit 72 and includes a plurality of columnar lenses 2. In the Z direction, each of the plurality of columnar lenses 2 is provided between the sample 6 and at least one light receiving element 72a. A plurality of columnar lenses 2 are arranged adjacent to each other in the X direction.

外観検査装置７は、試料６の表面（外観）に形成された欠陥等を検出し、出力部等に出力する。外観検査装置７は、Ｘ方向における試料６の外観を同時に検査することができる。外観検査装置７は、例えば試料６をＹ方向に搬送するライン上に設けられ、Ｙ方向における試料６の外観を連続的に検査することができる。   The appearance inspection apparatus 7 detects a defect or the like formed on the surface (appearance) of the sample 6 and outputs it to an output unit or the like. The appearance inspection device 7 can simultaneously inspect the appearance of the sample 6 in the X direction. The appearance inspection device 7 is provided, for example, on a line that transports the sample 6 in the Y direction, and can continuously inspect the appearance of the sample 6 in the Y direction.

図２（ａ）は、本実施形態における光伝送体１の一例を示す模式斜視図であり、図２（ｂ）は、図２（ａ）の２Ｂ−２Ｂ線に対応する模式断面図であり、図２（ｃ）は、本実施形態における柱状レンズ２及び遮光部３の一例を示す模式斜視図である。なお、図２（ｃ）では、各構成をわかり易くするため、柱状レンズ２と遮光部３とを離間させて示す。   FIG. 2A is a schematic perspective view showing an example of the optical transmission body 1 in the present embodiment, and FIG. 2B is a schematic cross-sectional view corresponding to the line 2B-2B in FIG. FIG. 2C is a schematic perspective view showing an example of the columnar lens 2 and the light shielding part 3 in the present embodiment. In FIG. 2C, the columnar lens 2 and the light-shielding portion 3 are shown separated from each other for easy understanding of each configuration.

図２（ａ）〜図２（ｃ）に示すように、光伝送体１は、複数の柱状レンズ２の間に設けられた遮光部３を備える。光伝送体１は、例えば複数の柱状レンズ２を囲む保持部４を有する。   As shown in FIGS. 2A to 2C, the optical transmission body 1 includes a light shielding portion 3 provided between a plurality of columnar lenses 2. The optical transmission body 1 includes, for example, a holding unit 4 that surrounds a plurality of columnar lenses 2.

柱状レンズ２は、Ｚ方向に両端部（一端２１、他端２２）を有する。両端部２１、２２は、突出した曲面を有し、例えばＸ方向に曲面を有するシリンドリカル状である。柱状レンズ２の形状は、例えば角柱状である。柱状レンズ２として、試料６を介した光を透過できる材料が用いられ、例えばアクリル樹脂等の合成樹脂や、無機ガラスが用いられる。柱状レンズ２の大きさは、外観検査装置７や試料６に応じて任意に設定でき、例えばＺ方向における高さが１５ｍｍ程度、ＸＹ平面における幅が１０ｍｍ程度である。   The columnar lens 2 has both end portions (one end 21 and the other end 22) in the Z direction. Both end portions 21 and 22 have protruding curved surfaces, for example, cylindrical shapes having curved surfaces in the X direction. The shape of the columnar lens 2 is, for example, a prismatic shape. As the columnar lens 2, a material that can transmit light through the sample 6 is used. For example, a synthetic resin such as an acrylic resin or inorganic glass is used. The size of the columnar lens 2 can be arbitrarily set according to the appearance inspection device 7 and the sample 6. For example, the height in the Z direction is about 15 mm and the width in the XY plane is about 10 mm.

柱状レンズ２は、一端２１から入射した光を伝送して他端２２に放射するとき、例えば試料６に対して等倍率で倒立像を形成する光を出射する。柱状レンズ２から出射される光の倍率は、例えば柱状レンズ２のＺ方向の長さ、両端部２１、２２の曲率半径、試料６と一端２１との間の距離、及び他端２２と受光素子７２ａとの間の距離により、任意に制御できる。   When the columnar lens 2 transmits the light incident from the one end 21 and radiates it to the other end 22, for example, the columnar lens 2 emits light that forms an inverted image at an equal magnification with respect to the sample 6. The magnification of the light emitted from the columnar lens 2 is, for example, the length of the columnar lens 2 in the Z direction, the radius of curvature of both end portions 21 and 22, the distance between the sample 6 and the one end 21, and the other end 22 and the light receiving element. It can be arbitrarily controlled by the distance to 72a.

遮光部３は、例えば両端部２１、２２を除いた柱状レンズ２の側面に接し、Ｚ方向に延びる。遮光部３は、薄膜状の他、例えば柱状レンズ２の側面に塗布法や蒸着法等により形成されてもよい。遮光部３として、柱状レンズ２に入射した光を遮光する材料が用いられる。遮光部３は、例えば光吸収剤、光反射剤、光散乱剤等を有する樹脂を含むほか、例えばアルミニウム等の材料を用いて形成されてもよい。   For example, the light shielding portion 3 is in contact with the side surface of the columnar lens 2 excluding both end portions 21 and 22 and extends in the Z direction. In addition to the thin film shape, the light shielding portion 3 may be formed on the side surface of the columnar lens 2 by, for example, a coating method or a vapor deposition method. A material that shields light incident on the columnar lens 2 is used as the light shielding portion 3. The light shielding portion 3 includes, for example, a resin having a light absorbing agent, a light reflecting agent, a light scattering agent, or the like, and may be formed using a material such as aluminum.

保持部４は、柱状レンズ２及び遮光部３の配置状態を保持する。保持部４として、例えば柱状レンズ２に入射した光を遮光する材料が用いられる。保持部４は、例えば光吸収剤、光反射剤、光散乱剤等を有する樹脂を含む。   The holding unit 4 holds the arrangement state of the columnar lens 2 and the light shielding unit 3. For example, a material that blocks light incident on the columnar lens 2 is used as the holding unit 4. The holding unit 4 includes, for example, a resin having a light absorber, a light reflector, a light scattering agent, and the like.

図３（ａ）及び図３（ｂ）は、本実施形態における光伝送体１の他の例を示す模式斜視図である。   FIG. 3A and FIG. 3B are schematic perspective views showing other examples of the optical transmission body 1 in the present embodiment.

図３（ａ）に示すように、柱状レンズ２は、例えばＸ方向に加えてＹ方向にも複数配置されてもよい。この場合、遮光部３は、Ｙ方向に配置された柱状レンズ２の間にも設けられる。この構成により、試料６上に形成され、Ｙ方向に延びるスジ状の欠陥等を容易に検出することが可能となる。なお、Ｘ方向及びＹ方向に柱状レンズ２を配置する数は、任意である。   As shown in FIG. 3A, a plurality of columnar lenses 2 may be arranged in the Y direction in addition to the X direction, for example. In this case, the light shielding unit 3 is also provided between the columnar lenses 2 arranged in the Y direction. With this configuration, it becomes possible to easily detect streaky defects formed on the sample 6 and extending in the Y direction. Note that the number of the columnar lenses 2 arranged in the X direction and the Y direction is arbitrary.

図３（ｂ）に示すように、柱状レンズ２の形状は、例えば円柱状でもよい。この場合、両端部２１、２２は、凸状である。例えば、円柱状の柱状レンズ２は、ＸＹ平面上において千鳥格子状に配置されてもよい。   As shown in FIG. 3B, the columnar lens 2 may have a cylindrical shape, for example. In this case, both end portions 21 and 22 are convex. For example, the cylindrical columnar lenses 2 may be arranged in a staggered pattern on the XY plane.

次に、図４を参照して、本実施形態における外観検査方法の一例について説明する。図４は、本実施形態における外観検査方法の一例を示すフローチャートである。   Next, an example of an appearance inspection method according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a flowchart showing an example of an appearance inspection method in the present embodiment.

先ず、外観検査装置７は、制御部等からの制御により、光源部７１から光を放射する（放射工程：ステップＳ１１０）。放射された光は試料６に達し、試料６を反射する。   First, the appearance inspection apparatus 7 emits light from the light source unit 71 under the control of the control unit or the like (emission process: step S110). The emitted light reaches the sample 6 and reflects the sample 6.

次に、試料６を反射した光は、柱状レンズ２に入射し、受光部側に伝送される（光伝送工程：ステップＳ１２０）。試料６を反射した光は、一端２１に入射し、柱状レンズ２内を伝送し、他端２２から放射される。   Next, the light reflected from the sample 6 enters the columnar lens 2 and is transmitted to the light receiving unit side (light transmission step: step S120). The light reflected from the sample 6 is incident on one end 21, transmitted through the columnar lens 2, and radiated from the other end 22.

次に、柱状レンズ２内で伝送された光は、受光素子７２ａに達し、受光される（受光工程：ステップＳ１３０）。受光部７２は、受光素子７２ａに達した光に対応する信号を、制御部等に送信する。これにより、制御部等に送信された信号に基づき、試料６の外観の状態を検出し、外観検査を行うことができる。   Next, the light transmitted in the columnar lens 2 reaches the light receiving element 72a and is received (light receiving step: step S130). The light receiving unit 72 transmits a signal corresponding to the light reaching the light receiving element 72a to the control unit or the like. Thereby, based on the signal transmitted to the control unit or the like, the appearance state of the sample 6 can be detected and the appearance inspection can be performed.

なお、外観検査装置７は、試料６を反射した光に基づいた外観検査の他、例えば試料６を透過した光に基づいた検査も行うことができる。この場合、光源部７１は、試料６下に設けられる。   The appearance inspection apparatus 7 can perform an inspection based on light transmitted through the sample 6, for example, in addition to an appearance inspection based on the light reflected from the sample 6. In this case, the light source unit 71 is provided under the sample 6.

本実施形態における光伝送体１によれば、柱状レンズ２は、Ｚ方向の両端部２１、２２に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズ２の共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料６と接触しない程度の共役長を保持でき、光伝送体１を用いた外観検査装置７の小型化が可能である。   According to the optical transmission body 1 in the present embodiment, the columnar lens 2 has curved surfaces that protrude from both end portions 21 and 22 in the Z direction. For this reason, the conjugate length of the columnar lens 2 can be made longer than the conjugate length of the rod lens. As a result, a conjugate length that does not contact the sample 6 can be maintained, and the appearance inspection device 7 using the optical transmission body 1 can be downsized.

また、本実施形態における光伝送体１によれば、遮光部３が、複数の柱状レンズ２の間に設けられる。このため、各柱状レンズ２の一端２１から入射した光は、隣接する柱状レンズ２に入射せずに、他端２２から出射する。これにより、柱状レンズ２間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。   Further, according to the optical transmission body 1 in the present embodiment, the light shielding portion 3 is provided between the plurality of columnar lenses 2. For this reason, light incident from one end 21 of each columnar lens 2 is emitted from the other end 22 without entering the adjacent columnar lens 2. Thereby, interference of light between the columnar lenses 2 can be suppressed, and the accuracy of light transmission can be improved.

特に、本実施形態における光伝送体１によれば、柱状レンズ２の両端部は、凸状及びシリンドリカル状の何れかである。このため、ロッドレンズに比べて、光学設計の自由度を高くすることができる。これにより、試料６の種類等に応じて、柔軟に対応できる光伝送体１を提供することが可能である。   In particular, according to the optical transmission body 1 in the present embodiment, both end portions of the columnar lens 2 are either a convex shape or a cylindrical shape. For this reason, the freedom degree of an optical design can be made high compared with a rod lens. Thereby, it is possible to provide the optical transmission body 1 which can respond flexibly according to the kind etc. of the sample 6. FIG.

特に、本実施形態における光伝送体１によれば、柱状レンズ２は、角柱状である。このため、柱状レンズ２間の距離を短くでき、柱状レンズ２に入射しない光を最小限に抑えることができる。これにより、光伝送の精度をさらに向上させることが可能である。   In particular, according to the optical transmission body 1 in the present embodiment, the columnar lens 2 has a prismatic shape. For this reason, the distance between the columnar lenses 2 can be shortened, and the light not incident on the columnar lenses 2 can be minimized. Thereby, it is possible to further improve the accuracy of optical transmission.

特に、本実施形態における外観検査装置７によれば、柱状レンズ２は、Ｚ方向の両端部２１、２２に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズ２の共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料６と接触しない程度の共役長を保持でき、外観検査装置７の小型化が可能である。   In particular, according to the appearance inspection apparatus 7 in the present embodiment, the columnar lens 2 has curved surfaces that protrude from both end portions 21 and 22 in the Z direction. For this reason, the conjugate length of the columnar lens 2 can be made longer than the conjugate length of the rod lens. As a result, a conjugate length that does not contact the sample 6 can be maintained, and the appearance inspection apparatus 7 can be downsized.

特に、本実施形態における外観検査装置７によれば、遮光部３が、複数の柱状レンズ２の間に設けられる。このため、各柱状レンズ２の一端２１から入射した光は、隣接する柱状レンズ２に入射せずに、他端２２から出射する。これにより、柱状レンズ２間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。   In particular, according to the appearance inspection apparatus 7 in the present embodiment, the light shielding unit 3 is provided between the plurality of columnar lenses 2. For this reason, light incident from one end 21 of each columnar lens 2 is emitted from the other end 22 without entering the adjacent columnar lens 2. Thereby, interference of light between the columnar lenses 2 can be suppressed, and the accuracy of light transmission can be improved.

特に、本実施形態における外観検査装置７によれば、柱状レンズ２は、試料６と、少なくとも１つの受光素子７２ａとの間に設けられる。このため、試料６を介して各柱状レンズ２に入射した光を少なくとも１つの受光素子７２ａに受光させることができる。これにより、各受光素子７２ａには、試料６の所定位置に対応した光を受光させることができ、外観検査装置７の検出精度を向上させることが可能である。また、１つの柱状レンズ２に対して複数の受光素子７２ａを配置することもできる。これにより、検出精度をさらに向上させることが可能である。   In particular, according to the appearance inspection apparatus 7 in the present embodiment, the columnar lens 2 is provided between the sample 6 and at least one light receiving element 72a. Therefore, the light incident on each columnar lens 2 via the sample 6 can be received by at least one light receiving element 72a. Thereby, each light receiving element 72a can receive light corresponding to a predetermined position of the sample 6, and the detection accuracy of the appearance inspection apparatus 7 can be improved. In addition, a plurality of light receiving elements 72 a can be arranged for one columnar lens 2. Thereby, it is possible to further improve the detection accuracy.

特に、本実施形態における外観検査方法によれば、柱状レンズ２は、Ｚ方向の両端部２１、２２に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズ２の共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料６と接触しない程度の共役長を保持でき、外観検査装置７を小型化した外観検査方法が実現できる。   In particular, according to the appearance inspection method in the present embodiment, the columnar lens 2 has curved surfaces that protrude from both end portions 21 and 22 in the Z direction. For this reason, the conjugate length of the columnar lens 2 can be made longer than the conjugate length of the rod lens. As a result, a conjugate length that does not come into contact with the sample 6 can be maintained, and an appearance inspection method in which the appearance inspection apparatus 7 is downsized can be realized.

次に、図５及び図６を参照して、本実施形態における光伝送体１及び外観検査装置７の変形例について説明する。図５は、本実施形態における外観検査装置７の変形例を示す模式断面図である。図６は、本実施形態における光伝送体１の変形例を示す模式断面図である。   Next, modified examples of the optical transmission body 1 and the appearance inspection apparatus 7 in this embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a modification of the appearance inspection apparatus 7 in the present embodiment. FIG. 6 is a schematic cross-sectional view showing a modification of the optical transmission body 1 in the present embodiment.

上述した光伝送体１及び外観検査装置７と、変形例との違いは、柱状レンズ２が第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂを有する点である。なお、上述した説明と等しい構成については、説明を省略する。   The difference between the optical transmission body 1 and the appearance inspection apparatus 7 described above and the modification is that the columnar lens 2 includes a first columnar lens 2a and a second columnar lens 2b. Note that a description of the same configuration as that described above will be omitted.

図５に示すように、複数の柱状レンズ２は、Ｚ方向に離間して配置された複数の第１柱状レンズ２ａ及び複数の第２柱状レンズ２ｂを有する。第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂは、図２（ａ）で示した柱状レンズ２と同様に、Ｚ方向に両端部を有し、試料６を介した光を透過できる材料によって形成される。複数の第１柱状レンズ２ａ及び複数の第２柱状レンズ２ｂは、例えば筐体内に配置される。各第１柱状レンズ２ａの一端、及び各第２柱状レンズ２ｂの他端は、例えば筐体から露出してもよいほか、例えば筐体に形成された孔に隣接して配置されてもよい。   As illustrated in FIG. 5, the plurality of columnar lenses 2 include a plurality of first columnar lenses 2 a and a plurality of second columnar lenses 2 b that are spaced apart in the Z direction. Like the columnar lens 2 shown in FIG. 2A, the first columnar lens 2a and the second columnar lens 2b are formed of a material having both ends in the Z direction and capable of transmitting light through the sample 6. The The plurality of first columnar lenses 2a and the plurality of second columnar lenses 2b are disposed, for example, in a housing. One end of each first columnar lens 2a and the other end of each second columnar lens 2b may be exposed from the housing, for example, or may be disposed adjacent to a hole formed in the housing, for example.

第１柱状レンズ２ａには、例えば試料６を介した光が入射する。第１柱状レンズ２ａは、例えば一端から入射した光を伝送して他端に放射するとき、試料６に対して倒立像を形成する光を放射する。   For example, light through the sample 6 is incident on the first columnar lens 2a. For example, the first columnar lens 2 a emits light that forms an inverted image with respect to the sample 6 when transmitting light incident from one end and radiating it to the other end.

第２柱状レンズ２ｂには、第１柱状レンズ２ａから出射した光が入射する。第２柱状レンズ２ｂは、例えば一端から入射した光を伝送して他端に放射するとき、試料６に対して正立像を形成する光を放射する。このため、受光部７２には、試料６に対して正立像を形成する光を入射させることができる。   The light emitted from the first columnar lens 2a is incident on the second columnar lens 2b. For example, the second columnar lens 2b emits light that forms an erect image on the sample 6 when transmitting light incident from one end and radiating it to the other end. Therefore, light that forms an erect image with respect to the sample 6 can be incident on the light receiving unit 72.

図６に示すように、遮光部３は、第１遮光部３ａと、第２遮光部３ｂと、第３遮光部３ｃとを有する。第１遮光部３ａ、第２遮光部３ｂ、及び第３遮光部３ｃは、それぞれ複数設けられる。   As shown in FIG. 6, the light shielding part 3 includes a first light shielding part 3a, a second light shielding part 3b, and a third light shielding part 3c. A plurality of first light shielding portions 3a, second light shielding portions 3b, and third light shielding portions 3c are provided.

第１遮光部３ａは、複数の第１柱状レンズ２ａの間に設けられ、各第１柱状レンズ２ａの側面に接する。第２遮光部３ｂは、複数の第２柱状レンズ２ｂの間に設けられ、各第２柱状レンズ２ｂの側面に接する。   The first light shielding portion 3a is provided between the plurality of first columnar lenses 2a and is in contact with the side surface of each first columnar lens 2a. The second light shielding portion 3b is provided between the plurality of second columnar lenses 2b and is in contact with the side surface of each second columnar lens 2b.

第３遮光部３ｃは、第１遮光部３ａと第２遮光部３ｂとの間に設けられる。第３遮光部３ｃは、第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂと離間して設けられるほか、例えば第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂの少なくとも何れかと接して設けられてもよい。第３遮光部３ｃの厚さや形状は、任意であり、例えば第３遮光部３ｃとして、アルミニウム等の材料が用いられてもよい。   The third light shielding part 3c is provided between the first light shielding part 3a and the second light shielding part 3b. The third light-shielding portion 3c is provided apart from the first columnar lens 2a and the second columnar lens 2b, and may be provided in contact with at least one of the first columnar lens 2a and the second columnar lens 2b, for example. The thickness and shape of the third light shielding part 3c are arbitrary, and for example, a material such as aluminum may be used as the third light shielding part 3c.

第３遮光部３ｃは、各第１柱状レンズ２ａの他端から出射した光を各第２柱状レンズ２ｂの一端に入射させるとき、隣接する第１柱状レンズ２ａの他端から出射した光との干渉を抑制することができる。すなわち、第３遮光部３ｃは、第１柱状レンズ２ａの他端から出射した光を、Ｚ方向に配置された１つの第２柱状レンズ２ｂのみに入射させることができる。   When the third light-shielding portion 3c causes light emitted from the other end of each first columnar lens 2a to enter one end of each second columnar lens 2b, the third light-shielding portion 3c communicates with the light emitted from the other end of the adjacent first columnar lens 2a. Interference can be suppressed. That is, the third light-shielding portion 3c can cause the light emitted from the other end of the first columnar lens 2a to enter only one second columnar lens 2b arranged in the Z direction.

本変形例における光伝送体１によれば、上述した実施形態と同様に、柱状レンズ２は、Ｚ方向の両端部２１、２２に突出した曲面を有する。このため、柱状レンズ２の共役長は、ロッドレンズの共役長よりも長くすることができる。これにより、試料６と接触しない程度の共役長を保持でき、光伝送体１を用いた外観検査装置７の小型化が可能である。   According to the optical transmission body 1 in this modified example, the columnar lens 2 has curved surfaces that protrude from both end portions 21 and 22 in the Z direction, as in the above-described embodiment. For this reason, the conjugate length of the columnar lens 2 can be made longer than the conjugate length of the rod lens. As a result, a conjugate length that does not contact the sample 6 can be maintained, and the appearance inspection device 7 using the optical transmission body 1 can be downsized.

また、本変形例における光伝送体１によれば、上述した実施形態と同様に、遮光部３が、複数の柱状レンズ２の間に設けられる。このため、各柱状レンズ２の一端２１から入射した光は、隣接する柱状レンズ２に入射せずに、他端２２から出射する。これにより、柱状レンズ２間における光の干渉を抑制でき、光伝送の精度を向上させることが可能である。   Moreover, according to the optical transmission body 1 in the present modification, the light shielding portion 3 is provided between the plurality of columnar lenses 2 as in the above-described embodiment. For this reason, light incident from one end 21 of each columnar lens 2 is emitted from the other end 22 without entering the adjacent columnar lens 2. Thereby, interference of light between the columnar lenses 2 can be suppressed, and the accuracy of light transmission can be improved.

また、本変形例における光伝送体１によれば、複数の柱状レンズ２は、複数の第１柱状レンズ２ａ及び複数の第２柱状レンズ２ｂを有する。このため、第１柱状レンズ２ａ及び第２柱状レンズ２ｂを介して、試料６に対して正立像を形成する光を受光部７２等に入射させることができる。これにより、外観検査装置７における設計の自由度を向上させることが可能である。   Moreover, according to the optical transmission body 1 in the present modification, the plurality of columnar lenses 2 include a plurality of first columnar lenses 2a and a plurality of second columnar lenses 2b. For this reason, the light which forms an erect image with respect to the sample 6 can enter into the light-receiving part 72 grade | etc., Via the 1st columnar lens 2a and the 2nd columnar lens 2b. Thereby, it is possible to improve the design freedom in the appearance inspection apparatus 7.

また、本変形例における光伝送体１によれば、遮光部３は、第１遮光部３ａと、第２遮光部３ｂとを有する。このため、各第１柱状レンズ２ａの間及び各第２柱状レンズ２ｂの間における光の干渉を抑制できる。これにより、光伝達の精度をさらに向上させることが可能である。   Moreover, according to the optical transmission body 1 in the present modification, the light shielding unit 3 includes the first light shielding unit 3a and the second light shielding unit 3b. For this reason, the interference of the light between each 1st columnar lens 2a and between each 2nd columnar lens 2b can be suppressed. Thereby, it is possible to further improve the accuracy of light transmission.

また、本変形例における光伝送体１によれば、遮光部３は、第１遮光部３ａと、第２遮光部３ｂとの間に設けられた第３遮光部３ｃを有してもよい。このため、各第１柱状レンズ２ａの一端から出射した光を各第２柱状レンズ２ｂの一端に入射させるとき、隣接する第１柱状レンズ２ａの一端から出射した光との干渉を抑制することができる。これにより、光伝達の精度をさらに向上させることが可能である。   Moreover, according to the optical transmission body 1 in this modification, the light shielding unit 3 may include the third light shielding unit 3c provided between the first light shielding unit 3a and the second light shielding unit 3b. For this reason, when light emitted from one end of each first columnar lens 2a is incident on one end of each second columnar lens 2b, interference with light emitted from one end of the adjacent first columnar lens 2a is suppressed. it can. Thereby, it is possible to further improve the accuracy of light transmission.

本発明の実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。   Although the embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented as examples, and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

１…光伝送体、
２…柱状レンズ、
２ａ…第１柱状レンズ、
２ｂ…第２柱状レンズ、
２１…一端、
２２…他端、
３…遮光部、
３ａ…第１遮光部、
３ｂ…第２遮光部、
３ｃ…第３遮光部、
４…保持部、
６…試料、
７…外観検査装置、
７１…光源部、
７２…受光部、
７２ａ…受光素子 1 ... optical transmission body,
2 ... Columnar lens,
2a ... 1st columnar lens,
2b ... the second columnar lens,
21 ... one end,
22 ... the other end,
3 ... light shielding part,
3a ... 1st light-shielding part,
3b ... second light-shielding part,
3c ... third light-shielding part,
4 ... holding part,
6 ... Sample,
7 ... Appearance inspection device,
71: Light source unit,
72. Light receiving part,
72a ... Light receiving element

Claims (8)

外観検査装置に用いられる光伝送体であって、
第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、
前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、
を備え、
前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有すること
を特徴とする光伝送体。 An optical transmission body used in an appearance inspection apparatus,
A plurality of columnar lenses extending in a first direction and arranged adjacent to each other in a direction intersecting the first direction;
A light blocking portion provided between the plurality of columnar lenses;
With
In the first direction, both end portions of the columnar lens have protruding curved surfaces. 前記両端部は、凸状及びシリンドリカル状の何れかであること
を特徴とする請求項１記載の光伝送体。 The optical transmission body according to claim 1, wherein the both end portions are either a convex shape or a cylindrical shape. 前記柱状レンズの形状は、角柱状であること
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の光伝送体。 The optical transmission body according to claim 1, wherein the columnar lens has a prismatic shape. 前記複数の柱状レンズは、前記第１方向に離間して配置された複数の第１柱状レンズ及び複数の第２柱状レンズを有すること
を特徴とする請求項１〜３の何れか１項記載の光伝送体。 The plurality of columnar lenses include a plurality of first columnar lenses and a plurality of second columnar lenses that are spaced apart from each other in the first direction. Optical transmission body. 前記遮光部は、
前記複数の第１柱状レンズの間に設けられた第１遮光部と、
前記複数の第２柱状レンズの間に設けられた第２遮光部と、
を有すること
を特徴とする請求項４記載の光伝送体。 The shading part is
A first light shielding part provided between the plurality of first columnar lenses;
A second light shielding part provided between the plurality of second columnar lenses;
The optical transmission body according to claim 4, comprising: 光を放射する光源部と、
外観検査用試料を反射又は透過した前記光を伝送する光伝送体と、
前記光伝送体から伝送された前記光を受光する受光部と、
を備え、
前記光伝送体は、
第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、
前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、
を有し、
前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有すること
を特徴とする外観検査装置。 A light source that emits light;
An optical transmission body for transmitting the light reflected or transmitted through the sample for appearance inspection;
A light receiving unit for receiving the light transmitted from the light transmitter;
With
The optical transmission body is:
A plurality of columnar lenses extending in a first direction and arranged adjacent to each other in a direction intersecting the first direction;
A light blocking portion provided between the plurality of columnar lenses;
Have
In the first direction, both end portions of the columnar lens have protruding curved surfaces. 前記受光部は、複数の受光素子を有し、
前記第１方向において、前記複数の柱状レンズのそれぞれは、前記外観検査用試料と、少なくとも１つの前記受光素子との間に設けられること
を特徴とする請求項６記載の外観検査装置。 The light receiving unit has a plurality of light receiving elements,
The visual inspection apparatus according to claim 6, wherein each of the plurality of columnar lenses is provided between the visual inspection sample and at least one of the light receiving elements in the first direction. 光源部から光を放射する放射工程と、
外観検査用試料を反射又は透過した前記光を、光伝送体を介して伝送させる光伝送工程と、
前記光伝送体から伝送された前記光を、受光部に受光させる受光工程と、
を備え、
前記光伝送体は、
第１方向に延び、前記第１方向と交わる方向に隣接して配置された複数の柱状レンズと、
前記複数の柱状レンズの間に設けられた遮光部と、
を有し、
前記第１方向において、前記柱状レンズの両端部は、突出した曲面を有すること
を特徴とする外観検査方法。 A radiation process for emitting light from the light source unit;
An optical transmission step of transmitting the light reflected or transmitted through the appearance inspection sample through an optical transmission body;
A light receiving step of causing the light receiving unit to receive the light transmitted from the light transmitter;
With
The optical transmission body is:
A plurality of columnar lenses extending in a first direction and arranged adjacent to each other in a direction intersecting the first direction;
A light blocking portion provided between the plurality of columnar lenses;
Have
In the first direction, both end portions of the columnar lens have protruding curved surfaces.
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