JP2018119110A - Resin composition, resin sheet, printed board and semiconductor device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition that can improve heat resistance and plating adhesion while having sufficient coating properties and developability, and a resin sheet, a printed wiring board, and a semiconductor device using the same.SOLUTION: A resin composition contains an epoxy (meth) acrylate compound of formula (1) (A), and, as a photocuring initiator, a phosphine oxide compound (B) (as one example, phenylbis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phosphine oxide). The resin composition may further contain an ethylenic unsaturated compound other than the epoxy (meth) acrylate compound (A). The resin composition may further contain a maleimide compound (C).SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、樹脂組成物、それを用いた樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置に関する。   The present invention relates to a resin composition, a resin sheet using the resin composition, a printed wiring board, and a semiconductor device.

近年、電子機器や通信機、パーソナルコンピューター等に広く用いられている半導体装置の高集積化・微細化はますます加速し、情報通信において用いられるデータ通信の高速化及び大容量化も進んでいる。かかる状況下、プリント配線板の小型化及び高密度化に応えるべく、多層プリント配線板に用いられるビルドアップ層が複層化され、配線自体の微細化及び高密度化が求められている。そのため、ビルドアップ層に用いられる樹脂組成物には、微細加工が容易でかつ安価なフォトリソグラフィ法を用いてフォトビアを含むパターン形成が可能な感光性に加え、十分な塗膜性及び現像性が要求されている。このような感光性材料として、例えば、特許文献1及び2には、所定の成分を含有する感光性樹脂組成物が記載されている。   In recent years, higher integration and miniaturization of semiconductor devices widely used in electronic devices, communication devices, personal computers, and the like have been accelerated, and data communication used in information communication has been increased in speed and capacity. . Under such circumstances, in order to respond to the miniaturization and high density of the printed wiring board, the build-up layer used for the multilayer printed wiring board is made into multiple layers, and miniaturization and high density of the wiring itself are required. Therefore, the resin composition used for the build-up layer has sufficient coatability and developability in addition to the photosensitivity capable of forming a pattern including a photovia using a photolithographic method that is easy to process finely and inexpensively. It is requested. As such a photosensitive material, for example, Patent Documents 1 and 2 describe a photosensitive resin composition containing a predetermined component.

特開2014−74764号公報JP 2014-74764 A 特開2009−251451号公報JP 2009-251451 A

一方、プリント配線板に用いられる積層板に求められる諸特性(例えば、低吸水性、吸湿耐熱性、難燃性、低誘電率、低誘電正接、低熱膨張率、耐熱性、耐薬品性、塗膜性、現像性、めっき密着性、高めっきピール強度等)もますます厳しいものとなってきている。また、半導体素子(チップ)とプリント配線板との熱膨張率の差に起因して生じる半導体プラスチックパッケージの反りを十分に抑制することも重要な課題となっており、そのために、プリント配線板用積層板自体の反りを十分に低減することも要求されている。   On the other hand, various characteristics (for example, low water absorption, moisture absorption heat resistance, flame retardancy, low dielectric constant, low dielectric loss tangent, low thermal expansion coefficient, heat resistance, chemical resistance, coating required for laminated boards used for printed wiring boards. Film properties, developability, plating adhesion, high plating peel strength, etc.) are becoming increasingly severe. In addition, it is also important to sufficiently suppress the warpage of the semiconductor plastic package caused by the difference in thermal expansion coefficient between the semiconductor element (chip) and the printed wiring board. It is also required to sufficiently reduce the warpage of the laminate itself.

しかしながら、本発明者らの詳細な検討によれば、上記従来の感光性樹脂組成物では、十分な塗膜性及び現像性を有しつつ、プリント配線板用積層板自体の反りを抑止するための耐熱性(高いガラス転移温度(高Tg))を実現し、かつ、めっき密着性を十分に高めることは、未だ困難であり、これらの諸特性の更なる改良が望まれている。   However, according to the detailed study of the present inventors, the conventional photosensitive resin composition has sufficient coating properties and developability, and suppresses the warp of the laminated board for a printed wiring board itself. However, it is still difficult to realize the heat resistance (high glass transition temperature (high Tg)) and sufficiently increase the plating adhesion, and further improvements in these properties are desired.

そこで、本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、十分な塗膜性及び現像性を有しつつ、耐熱性及びめっき密着性を改善することができる樹脂組成物、それを用いた樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置を提供することを目的とする。   Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and has a resin composition capable of improving heat resistance and plating adhesion while having sufficient coating properties and developability, and uses the same. An object of the present invention is to provide a resin sheet, a printed wiring board, and a semiconductor device.

本発明者らは、特定のエポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)と、特定のホスフィンオキシド化合物(B)を含有する樹脂組成物を用いることにより、上記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。   The present inventors have found that the above problems can be solved by using a resin composition containing a specific epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) and a specific phosphine oxide compound (B). It came to complete.

すなわち、本発明は以下の内容を含む。
〔1〕
下記式(1)で表されるエポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)と、
下記式(4)で表されるホスフィンオキシド化合物(B)と、
を含有する樹脂組成物。
That is, the present invention includes the following contents.
[1]
An epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) represented by the following formula (1);
A phosphine oxide compound (B) represented by the following formula (4);
Containing a resin composition.

(式(1)中、複数のR1は、各々独立に、水素原子又はメチル基を示し、複数のR2は、各々独立に、水素原子又はメチル基を示し、複数のR3は、各々独立に、下記式(2)で表される置換基、下記式(3)で表される置換基又はヒドロキシ基を示す。) (In Formula (1), each of R 1 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, each of R 2 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and each of R 3 represents Independently, a substituent represented by the following formula (2), a substituent represented by the following formula (3) or a hydroxy group is shown.

(式(3)中、R4は、水素原子又はメチル基を示す。) (In formula (3), R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group.)

(式(4)中、R5〜R10は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、R11は、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数6〜20のアリール基を示す。) (In Formula (4), R < 5 > -R < 10 > shows a hydrogen atom or a C1-C4 alkyl group each independently, and R < 11 > is a C1-C20 alkyl group or C6-C20. An aryl group of

〔2〕
前記ホスフィンオキシド化合物(B)が、下記式(5)で表される化合物である、
〔1〕に記載の樹脂組成物。
[2]
The phosphine oxide compound (B) is a compound represented by the following formula (5).
[1] The resin composition according to [1].

〔3〕
マレイミド化合物(C)を更に含有する、
〔1〕又は〔2〕に記載の樹脂組成物。
[3]
Further containing a maleimide compound (C),
The resin composition as described in [1] or [2].

〔4〕
充填材(D)を更に含有する、
〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
[4]
Further containing a filler (D),
The resin composition according to any one of [1] to [3].

〔5〕
前記エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(E)を更に含有する、
〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
[5]
Further containing a compound (E) having an ethylenically unsaturated group other than the epoxy (meth) acrylate compound (A),
The resin composition according to any one of [1] to [4].

〔6〕
エポキシ樹脂、シアン酸エステル化合物、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、及びベンゾオキサジン化合物から選択される群のうち、いずれか1種以上の化合物(F)を更に含有する、
〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
[6]
Further containing at least one compound (F) from the group selected from an epoxy resin, a cyanate ester compound, a phenol resin, an oxetane resin, and a benzoxazine compound,
The resin composition according to any one of [1] to [5].

〔7〕
前記エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)の酸価が、30〜120mgKOH/gである、
〔1〕〜〔6〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
[7]
The acid value of the epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) is 30 to 120 mgKOH / g,
The resin composition according to any one of [1] to [6].

〔8〕
前記エチレン性不飽和基を有する化合物(E)が、(メタ)アクリロイル基を有する化合物及び/又はビニル基を有する化合物である、
〔5〕〜〔7〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
[8]
The compound (E) having an ethylenically unsaturated group is a compound having a (meth) acryloyl group and / or a compound having a vinyl group.
The resin composition according to any one of [5] to [7].

〔9〕
前記充填材(D)が、シリカ、ベーマイト、硫酸バリウム、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムからなる群より選択されるいずれか1種以上である、
〔4〕〜〔8〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
[9]
The filler (D) is made of silica, boehmite, barium sulfate, silicone powder, fluorine resin filler, urethane resin filler, acrylic resin filler, polyethylene filler, styrene / butadiene rubber and silicone rubber. Any one or more selected from the group,
[4] The resin composition according to any one of [8].

〔10〕
熱硬化促進剤(G)を更に含有する、
〔1〕〜〔9〕のいずれかに記載の樹脂組成物。
[10]
Further containing a thermosetting accelerator (G),
The resin composition according to any one of [1] to [9].

〔11〕
〔1〕〜〔10〕のいずれかに記載の樹脂組成物を含有する樹脂シート。
[11]
The resin sheet containing the resin composition in any one of [1]-[10].

〔12〕
〔1〕〜〔10〕のいずれかに記載の樹脂組成物を含有するプリント配線板。
[12]
[1] A printed wiring board containing the resin composition according to any one of [10].

〔13〕
〔1〕〜〔10〕のいずれかに記載の樹脂組成物を含有する半導体装置。
[13]
[1] A semiconductor device containing the resin composition according to any one of [10].

本発明によれば、十分な塗膜性及び現像性を有しつつ、耐熱性及びめっき密着性を改善することができる樹脂組成物、それを用いた樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置を提供することができる。   According to the present invention, there are provided a resin composition capable of improving heat resistance and plating adhesion while having sufficient coating properties and developability, a resin sheet, a printed wiring board and a semiconductor device using the same. can do.

以下、本発明を実施するための形態(以下、「本実施形態」という。)について詳細に説明する。以下の本実施形態は、本発明を説明するための例示であり、本発明を以下の内容に限定する趣旨ではない。本発明は、その要旨の範囲内で、適宜に変形して実施できる。なお、本明細書における「(メタ)アクリロイル基」とは、「アクリロイル基」及びそれに対応する「メタクリロイル基」の両方を意味し、「(メタ)アクリレート」とは、「アクリレート」及びそれに対応する「メタクリレート」の両方を意味し、「(メタ)アクリル酸」とは、「アクリル酸」及びそれに対応する「メタクリル酸」の両方を意味する。また、本実施形態において、「樹脂固形分」とは、特に断りのない限り、樹脂組成物における、溶剤及び充填材(D)を除いた成分をいい、「樹脂固形分100質量部」とは、樹脂組成物における溶剤及び充填材(D)を除いた成分の合計が100質量部であることをいうものとする。   Hereinafter, a mode for carrying out the present invention (hereinafter referred to as “the present embodiment”) will be described in detail. The following embodiments are examples for explaining the present invention, and are not intended to limit the present invention to the following contents. The present invention can be implemented with appropriate modifications within the scope of the gist. In this specification, “(meth) acryloyl group” means both “acryloyl group” and “methacryloyl group” corresponding thereto, and “(meth) acrylate” means “acrylate” and corresponding to it. “Methacrylate” means both, and “(meth) acrylic acid” means both “acrylic acid” and the corresponding “methacrylic acid”. In the present embodiment, “resin solid content” means a component in the resin composition excluding the solvent and filler (D) unless otherwise specified, and “resin solid content 100 parts by mass” The total of the components excluding the solvent and filler (D) in the resin composition is 100 parts by mass.

本実施形態の樹脂組成物は、特定のエポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)と、特定のホスフィンオキシド化合物(B)を含有する。   The resin composition of this embodiment contains a specific epoxy (meth) acrylic ester compound (A) and a specific phosphine oxide compound (B).

<エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)>
本実施形態で使用するエポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)は、活性エネルギー線硬化性(光硬化性)樹脂であり、下記式(1)で表されるものであり、1種単独で用いてもよく、構造異性体及び立体異性体等の異性体を含んでいてもよく、互いに構造が異なる化合物を2種以上適宜組み合わせて用いてもよい。
<Epoxy (meth) acrylic ester compound (A)>
The epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) used in the present embodiment is an active energy ray-curable (photo-curable) resin, and is represented by the following formula (1). It may be used, may include isomers such as structural isomers and stereoisomers, and two or more compounds having different structures may be used in appropriate combination.

ここで、式(1)中、複数のR1は、各々独立に、水素原子又はメチル基を示し、その中でも、光硬化反応の反応性を向上させる観点から水素原子を含むことが好ましく、より好ましくはR1の全てが水素原子である。 Here, in Formula (1), several R < 1 > shows a hydrogen atom or a methyl group each independently, and it is preferable to contain a hydrogen atom from a viewpoint of improving the reactivity of photocuring reaction among these, Preferably, all of R 1 are hydrogen atoms.

複数のR2は、各々独立に、水素原子又はメチル基を示し、その中でも、硬化物の耐熱性を向上させる観点からメチル基を含むことが好ましく、より好ましくはR2の全てがメチル基である。 Several R < 2 > shows a hydrogen atom or a methyl group each independently, It is preferable that a methyl group is included from a viewpoint of improving the heat resistance of hardened | cured material among these, More preferably, all of R < 2 > is a methyl group. is there.

複数のR3は、各々独立に、下記式(2)で表される置換基、下記式(3)で表される置換基又はヒドロキシ基を示し、その中でも、耐熱性を向上させる観点から、ヒドロキシル基を含むことが好ましい。また、本実施形形態では、複数のR3のうち、式(2)で表される置換基を含むエポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)を用いることも、現像性を向上させる観点から、好ましい。本実施形形態では、複数のR3のうち、式(3)で表される置換基を含むエポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)を用いることも、耐熱性を向上させる観点から、好ましい。また、式(3)中、R4は、水素原子又はメチル基を示し、その中でも、光硬化反応の反応性を向上させる観点から、水素原子であることが好ましい。 A plurality of R 3 each independently represent a substituent represented by the following formula (2), a substituent represented by the following formula (3) or a hydroxy group, and among them, from the viewpoint of improving heat resistance, It preferably contains a hydroxyl group. Moreover, in this embodiment, it is also from the viewpoint of improving developability to use the epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) containing the substituent represented by Formula (2) among several R < 3 >. ,preferable. In the present embodiment, it is also preferable to use an epoxy (meth) acrylate compound (A) containing a substituent represented by the formula (3) among a plurality of R 3 from the viewpoint of improving heat resistance. . Moreover, in Formula (3), R < 4 > shows a hydrogen atom or a methyl group, and it is preferable that it is a hydrogen atom from a viewpoint of improving the reactivity of photocuring reaction among these.

また、複数のR3は、現像性を向上させる観点から、全てのR3の置換基のうち、式(2)で表される置換基の比率が20%以上85%以下、式(3)で表される置換基の比率が5%以上70%以下、ヒドロキシ基の比率が10%以上75%以下であることが好ましい。 Further, from the viewpoint of improving developability, a plurality of R 3 has a ratio of the substituent represented by the formula (2) among all the substituents of R 3 of 20% or more and 85% or less, and the formula (3) Is preferably 5% to 70%, and the hydroxy group is preferably 10% to 75%.

エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)としては、以下の化合物(A1)〜(A5)のいずれか一種以上を含むことが、光硬化反応の反応性、硬化物の耐熱性及び現像性を向上させることができるため好ましく、少なくとも化合物(A1)を含むことがより好ましく、化合物(A1)〜(A5)のいずれか2種以上を含むこともより好ましく、化合物(A1)及び化合物(A2)〜(A5)のいずれか1種以上を含むことが更に好ましい。エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)としては、少なくとも化合物(A2)及び(A3)を含むことも好ましい。   As an epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A), including at least one of the following compounds (A1) to (A5) can improve the reactivity of the photocuring reaction, the heat resistance and developability of the cured product. It is preferable because it can be improved, it is more preferable that at least the compound (A1) is contained, more preferably any two or more of the compounds (A1) to (A5), and the compound (A1) and the compound (A2). More preferably, any one or more of (A5) is included. As an epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A), it is also preferable to contain a compound (A2) and (A3) at least.

このようなエポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)は、市販品を利用することもでき、例えばKAYARAD(登録商標)ZCR−6001H、KAYARAD(登録商標)ZCR−6002H、KAYARAD(登録商標)ZCR−6006H、KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H(以上、日本化薬(株)製)等が挙げられる。   Such epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) may be a commercially available product, such as KAYARAD (registered trademark) ZCR-6001H, KAYARAD (registered trademark) ZCR-6002H, KAYARAD (registered trademark) ZCR. -6006H, KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and the like.

エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)の含有量は、特に限定されず、樹脂組成物を活性エネルギー線で硬化させるという観点から、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは1質量部以上であり、より好ましくは2質量部以上であり、更に好ましくは3質量部以上である。また、活性エネルギー線で十分に硬化させ、耐熱性を向上させるという観点から、樹脂固形分100質量部に対し、好ましくは99質量部以下であり、より好ましくは98質量部以下であり、更に好ましくは97質量部以下である。   Content of an epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) is not specifically limited, From a viewpoint of hardening a resin composition with an active energy ray, Preferably it is 1 mass part with respect to 100 mass parts of resin solid content. It is above, More preferably, it is 2 mass parts or more, More preferably, it is 3 mass parts or more. Further, from the viewpoint of sufficiently curing with active energy rays and improving heat resistance, the amount is preferably 99 parts by mass or less, more preferably 98 parts by mass or less, and still more preferably 100 parts by mass of the resin solid content. Is 97 parts by mass or less.

また、エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)の酸価は、特に限定されず、現像性を向上させる観点から好ましくは30mgKOH/g以上であり、より好ましくは50mgKOH/g以上である。また、活性エネルギー線で硬化させた後に現像液による溶解を防止する観点から、好ましくは120mgKOH/g以下であり、より好ましくは110mgKOH/g以下である。なお、本実施形態における「酸価」は、JISK 0070:1992に準じた方法で測定される値を示す。   Moreover, the acid value of an epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) is not specifically limited, From a viewpoint of improving developability, Preferably it is 30 mgKOH / g or more, More preferably, it is 50 mgKOH / g or more. In addition, from the viewpoint of preventing dissolution by a developer after curing with active energy rays, it is preferably 120 mgKOH / g or less, more preferably 110 mgKOH / g or less. The “acid value” in the present embodiment indicates a value measured by a method according to JISK 0070: 1992.

<ホスフィンオキシド化合物(B)>
本実施形態で使用するホスフィンオキシド化合物(B)は、エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)の光硬化性を向上させるための活性エネルギー線重合開始剤(光硬化開始剤)であり、下記式(4)で表されるものである。
<Phosphine oxide compound (B)>
The phosphine oxide compound (B) used in the present embodiment is an active energy ray polymerization initiator (photocuring initiator) for improving the photocurability of the epoxy (meth) acrylate compound (A). It is represented by Formula (4).

ここで、式(4)中、R5〜R10は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、R11は、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数6〜20のアリール基を示す。 Here, in formula (4), R 5 to R 10 each independently represent a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R 11 represents an alkyl group having 1 to 20 carbon atoms or 6 carbon atoms. Represents an aryl group of ˜20.

このようなホスフィンオキシド化合物(B)は、市販品を使用してもよく、常法により合成してもよい。かかる市販品としては、下記式(5)で表される化合物(フェニルビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)ホスフィンオキシド:BASFジャパン(株)製のIrgacure(登録商標)819)等が挙げられる。これらのホスフィンオキシド化合物(B)は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   A commercial item may be used for such a phosphine oxide compound (B), and you may synthesize | combine by a conventional method. Examples of such commercially available products include compounds represented by the following formula (5) (phenylbis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phosphine oxide: Irgacure (registered trademark) 819 manufactured by BASF Japan Ltd.) and the like. . These phosphine oxide compounds (B) can be used alone or in combination of two or more.

ホスフィンオキシド化合物(B)の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜30質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜25質量部であり、更に好ましくは0.3質量部〜20質量部である。ホスフィンオキシド化合物(B)の含有量が上記範囲内であることにより、感光性樹脂組成物としての塗膜性及び現像性に優れ、かつ、得られる硬化物のガラス転移温度(Tg)及びめっき密着性が更に一層向上する傾向にある。   The content of the phosphine oxide compound (B) is not particularly limited, and is preferably 0.1 to 30 parts by mass, more preferably 0.2 to 25 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. It is a mass part, More preferably, it is 0.3 mass part-20 mass parts. When the content of the phosphine oxide compound (B) is within the above range, the coating property and developability as a photosensitive resin composition are excellent, and the glass transition temperature (Tg) and plating adhesion of the resulting cured product are excellent. There is a tendency for the properties to further improve.

<マレイミド化合物(C)>
本実施形態の樹脂組成物は、マレイミド化合物(C)を更に含有していてもよい。マレイミド化合物(C)としては、分子中に一個以上のマレイミド基を有する化合物であれば、特に限定されるものではない。その具体例としては、例えば、N−フェニルマレイミド、N−ヒドロキシフェニルマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、2,2−ビス{4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル}プロパン、4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、ビス(3,5−ジメチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3,5−ジエチル−4−マレイミドフェニル)メタン、フェニルメタンマレイミド、o−フェニレンビスマレイミド、m−フェニレンビスマレイミド、p−フェニレンビスマレイミド、o−フェニレンビスシトラコンイミド、m−フェニレンビスシトラコンイミド、p−フェニレンビスシトラコンイミド、2,2−ビス(4−(4−マレイミドフェノキシ)−フェニル)プロパン、3,3−ジメチル−5,5−ジエチル−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、4−メチル−1,3−フェニレンビスマレイミド、1,6−ビスマレイミド−(2,2,4−トリメチル)ヘキサン、4,4−ジフェニルエーテルビスマレイミド、4,4−ジフェニルスルフォンビスマレイミド、1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、4,4−ジフェニルメタンビスシトラコンイミド、2,2−ビス[4−(4−シトラコンイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、ビス(3,5−ジメチル−4−シトラコンイミドフェニル)メタン、ビス(3−エチル−5−メチル−4−シトラコンイミドフェニル)メタン、ビス(3,5−ジエチル−4−シトラコンイミドフェニル)メタン、ポリフェニルメタンマレイミド、ノボラック型マレイミド化合物、ビフェニルアラルキル型マレイミド化合物、下記式(10)で表されるマレイミド化合物、下記式(11)で表されるマレイミド化合物、及びこれらマレイミド化合物のプレポリマー、又はマレイミド化合物とアミン化合物のプレポリマー等が挙げられる。
<Maleimide compound (C)>
The resin composition of this embodiment may further contain a maleimide compound (C). The maleimide compound (C) is not particularly limited as long as it is a compound having one or more maleimide groups in the molecule. Specific examples thereof include N-phenylmaleimide, N-hydroxyphenylmaleimide, bis (4-maleimidophenyl) methane, 2,2-bis {4- (4-maleimidophenoxy) -phenyl} propane, 4,4. -Diphenylmethane bismaleimide, bis (3,5-dimethyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (3-ethyl-5-methyl-4-maleimidophenyl) methane, bis (3,5-diethyl-4-maleimidophenyl) Methane, phenylmethanemaleimide, o-phenylene bismaleimide, m-phenylene bismaleimide, p-phenylene bismaleimide, o-phenylene biscitraconimide, m-phenylene biscitraconimide, p-phenylene biscitraconimide, 2,2-bis (4- (4-Maleimidov Noxy) -phenyl) propane, 3,3-dimethyl-5,5-diethyl-4,4-diphenylmethane bismaleimide, 4-methyl-1,3-phenylenebismaleimide, 1,6-bismaleimide- (2,2 , 4-trimethyl) hexane, 4,4-diphenyl ether bismaleimide, 4,4-diphenylsulfone bismaleimide, 1,3-bis (3-maleimidophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-maleimidophenoxy) benzene, 4,4-diphenylmethane biscitraconimide, 2,2-bis [4- (4-citraconimidophenoxy) phenyl] propane, bis (3,5-dimethyl-4-citraconimidophenyl) methane, bis (3-ethyl- 5-methyl-4-citraconimidophenyl) methane, bis (3,5-die Ru-4-citraconimidophenyl) methane, polyphenylmethanemaleimide, novolac-type maleimide compound, biphenylaralkyl-type maleimide compound, maleimide compound represented by the following formula (10), maleimide compound represented by the following formula (11), And prepolymers of these maleimide compounds, or prepolymers of maleimide compounds and amine compounds.

式(10)中、複数のR5は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。n1は、1以上の整数を表し、好ましくは1〜10の整数を表し、より好ましくは1〜5の整数を表す。 In formula (10), several R < 5 > represents a hydrogen atom or a methyl group each independently. n 1 represents an integer of 1 or more, preferably an integer of 1 to 10, more preferably an integer of 1 to 5.

式(10)中、複数のR6は、各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。n2は、1以上の整数を表し、好ましくは1〜5の整数を表す。 In formula (10), several R < 6 > represents a hydrogen atom or a methyl group each independently. n 2 represents an integer of 1 or more, preferably an integer of 1 to 5.

これらのマレイミド化合は1種単独又は2種以上を適宜混合して使用することも可能である。この中でも、耐熱性に優れるという観点から、前記式(10)で表されるマレイミド化合物、及び前記式(11)で表される化合物が好ましく、前記式(10)で表されるマレイミド化合物がより好ましい。前記式(10)で表されるマレイミド化合物としては、市販品を利用することもでき、例えば、BMI−2300(大和化成工業(株)社製)が挙げられる。前記式(11)で表されるマレイミド化合物としては、市販品を利用することもでき、例えば、MIR−3000(日本化薬(株)社製)が挙げられる。   These maleimide compounds can be used singly or in appropriate combination of two or more. Among these, from the viewpoint of excellent heat resistance, the maleimide compound represented by the formula (10) and the compound represented by the formula (11) are preferable, and the maleimide compound represented by the formula (10) is more preferable. preferable. A commercially available product may be used as the maleimide compound represented by the formula (10), and examples thereof include BMI-2300 (manufactured by Daiwa Kasei Kogyo Co., Ltd.). A commercially available product may be used as the maleimide compound represented by the formula (11), and examples thereof include MIR-3000 (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).

マレイミド化合物(C)の含有量は、特に制限されず、樹脂組成物中の樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.01質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.02質量部〜45質量部であり、更に好ましくは0.03質量部〜20質量部であり、更により好ましくは0.1質量部〜10質量部であり、より更により好ましくは1質量部〜7質量部である。マレイミド化合物(C)の含有量が上記範囲内であることにより、硬化物の耐熱性がより向上する傾向にある。   Content of a maleimide compound (C) is not restrict | limited in particular, Preferably it is 0.01 mass part-50 mass parts with respect to 100 mass parts of resin solid content in a resin composition, More preferably, it is 0.02. Mass parts to 45 parts by mass, more preferably 0.03 parts by mass to 20 parts by mass, still more preferably 0.1 parts by mass to 10 parts by mass, and even more preferably 1 part by mass to 7 parts by mass. Part by mass. When the content of the maleimide compound (C) is within the above range, the heat resistance of the cured product tends to be further improved.

<充填材(D)>
本実施形態の樹脂組成物は、充填材(D)を更に含有していてもよい。充填材(D)としては、絶縁性を有するものであれば、特に限定されず、例えば、天然シリカ、溶融シリカ、合成シリカ、アモルファスシリカ、アエロジル、中空シリカ等のシリカ類、ホワイトカーボン、チタンホワイト、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ジルコニウム等の酸化物、窒化ホウ素、凝集窒化ホウ素、窒化ケイ素、窒化アルミニウム、硫酸バリウム、水酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム加熱処理品(水酸化アルミニウムを加熱処理し、結晶水の一部を減じたもの)、ベーマイト、水酸化マグネシウム等の金属水和物、酸化モリブデンやモリブデン酸亜鉛等のモリブデン化合物、ホウ酸亜鉛、錫酸亜鉛、アルミナ、クレー、カオリン、タルク、焼成クレー、焼成カオリン、焼成タルク、マイカ、E−ガラス、A−ガラス、NE−ガラス、C−ガラス、L−ガラス、D−ガラス、S−ガラス、M−ガラスG20、ガラス短繊維(Eガラス、Tガラス、Dガラス、Sガラス、Qガラス等のガラス微粉末類を含む。)、中空ガラス、球状ガラス等の無機系の充填材の他、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム、シリコーンゴム等の有機系の充填材が挙げられる。これらのなかでも、シリカ、ベーマイト、硫酸バリウム、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム、及びシリコーンゴムからなる群より選択される1種以上であることが好ましい。
<Filler (D)>
The resin composition of the present embodiment may further contain a filler (D). The filler (D) is not particularly limited as long as it has insulating properties. For example, natural silica, fused silica, synthetic silica, amorphous silica, aerosil, hollow silica and other silicas, white carbon, titanium white , Oxides such as zinc oxide, magnesium oxide, zirconium oxide, boron nitride, agglomerated boron nitride, silicon nitride, aluminum nitride, barium sulfate, aluminum hydroxide, aluminum hydroxide heat treated products (heat treated aluminum hydroxide, crystal Water with reduced water), boehmite, magnesium hydroxide and other metal hydrates, molybdenum compounds such as molybdenum oxide and zinc molybdate, zinc borate, zinc stannate, alumina, clay, kaolin, talc, calcined Clay, calcined kaolin, calcined talc, mica, E-glass, A-glass, E-glass, C-glass, L-glass, D-glass, S-glass, M-glass G20, short glass fibers (glass fine powders such as E glass, T glass, D glass, S glass, Q glass, etc. In addition to inorganic fillers such as hollow glass and spherical glass, silicone powder, fluororesin filler, urethane resin filler, acrylic resin filler, polyethylene filler, styrene / butadiene rubber, Organic fillers such as silicone rubber can be used. Among these, from the group consisting of silica, boehmite, barium sulfate, silicone powder, fluorine resin filler, urethane resin filler, acrylic resin filler, polyethylene filler, styrene-butadiene rubber, and silicone rubber It is preferable that it is 1 or more types selected.

また、無機系の充填材のなかでは、特に、硬化物の耐熱性が更に向上する観点から、シリカが好ましく、溶融シリカが殊に好ましい。シリカの具体例としては、デンカ(株)製のSFP−130MC等、(株)アドマテックス製のSC2050―MB、SC2050―MNU、SC1050−MLE、YA010C−MFN、YA050C−MJA等が挙げられる。   Among inorganic fillers, silica is particularly preferable and fused silica is particularly preferable from the viewpoint of further improving the heat resistance of the cured product. Specific examples of silica include SFP-130MC manufactured by Denka Corporation, SC2050-MB, SC2050-MNU, SC1050-MLE, YA010C-MFN, YA050C-MJA manufactured by Admatechs Corporation.

さらに、有機系の充填材のなかでは、フッ素樹脂系充填材が好ましく、特に、配線埋め込み性及び配線埋め込み後の吸湿耐熱性を良好にすることができる観点から、シリカを表面に付着させたフッ素樹脂系充填材が殊に好ましい。フッ素樹脂系充填材に用いられるフッ素樹脂粒子としては、特に限定されず、ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)、四フッ化エチレン・パーフルオロアルコキシエチレン共重合体(PFA)、四フッ化エチレン・六フッ化プロピレン共重合体(FEP)、エチレン・クロロトリフルオロエチレン共重合体(PCTFE)、エチレン・四フッ化エチレン共重合体(ETFE)、ポリフッ化ビニリデン(PVDF)等が挙げられる。これらのなかでも、電気特性に優れる観点から、PTFEが殊に好ましい。   Further, among organic fillers, fluororesin fillers are preferable, and in particular, fluorine with silica attached to the surface from the viewpoint of improving wiring embedding property and moisture absorption heat resistance after wiring embedding. Resin-based fillers are particularly preferred. The fluororesin particles used in the fluororesin-based filler are not particularly limited, and are polytetrafluoroethylene (PTFE), tetrafluoroethylene / perfluoroalkoxyethylene copolymer (PFA), tetrafluoroethylene / hexafluoroethylene. And propylene fluoride copolymer (FEP), ethylene / chlorotrifluoroethylene copolymer (PCTFE), ethylene / tetrafluoroethylene copolymer (ETFE), and polyvinylidene fluoride (PVDF). Among these, PTFE is particularly preferable from the viewpoint of excellent electrical characteristics.

充填材(D)の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは5質量部〜400質量部であり、より好ましくは10質量部〜350質量部であり、更に好ましくは15質量部〜300質量部である。充填材(D)の含有量が上記範囲内であることにより、硬化物の熱膨張係数がより低下し、かつ、耐熱性がより向上する傾向にある。   Content of a filler (D) is not restrict | limited in particular, Preferably it is 5 mass parts-400 mass parts with respect to 100 mass parts of resin solid content, More preferably, they are 10 mass parts-350 mass parts, More preferably, it is 15 mass parts-300 mass parts. When content of a filler (D) exists in the said range, it exists in the tendency for the thermal expansion coefficient of hardened | cured material to fall more and for heat resistance to improve more.

<エチレン性不飽和基を有する化合物(E)>
本実施形態の樹脂組成物は、活性エネルギー線による硬化性(例えば紫外線による光硬化性等)を高めるために、上記エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(E)を更に含有していてもよい。かかるエチレン性不飽和基を有する化合物(E)は、分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(但し、上記エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)を除く)であれば、特に限定されず、好ましい具体例としては、例えば、(メタ)アクリロイル基を有する化合物及び/又はビニル基を有する化合物等が挙げられる。
<Compound (E) having an ethylenically unsaturated group>
The resin composition of this embodiment has an ethylenically unsaturated group other than the epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) in order to enhance curability by active energy rays (for example, photocurability by ultraviolet rays). The compound (E) may further be contained. The compound (E) having an ethylenically unsaturated group is a compound having one or more ethylenically unsaturated groups in the molecule (provided that the epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) is excluded). Although not particularly limited, preferred specific examples include a compound having a (meth) acryloyl group and / or a compound having a vinyl group.

(メタ)アクリロイル基を有する化合物としては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコール(メタ)アクリレートモノメチルエーテル、フェニルエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、ブタンジオールジ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、グリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレンジ(メタ)アクリレート、ポリエチレングリコールジ(メタ) アクリレート、トリス(メタ)アクリロイルオキシエチルイソシアヌレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、アジピン酸エポキシジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールエチレンオキサイドジ(メタ)アクリレート、水素化ビスフェノールエチレンオキサイド(メタ)アクリレート、ビスフェノールジ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性ヒドロキシピバリン酸ネオペングリコールジ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ε−カプロラクトン変性ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールポリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリエチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、及びそのエチレンオキサイド付加物、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、及びそのエチレンオキサイド付加物、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、及びそのエチレンオキサイド付加物等が挙げられる。   As a compound having a (meth) acryloyl group, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylate, polyethylene glycol (meth) acrylate monomethyl ether , Phenylethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, butanediol di (meth) acrylate, hexanediol di (meth) acrylate, Neopentyl glycol di (meth) acrylate, nonanediol di (meth) acrylate, glycol di (meth) acrylate, diethylene di (meth) acrylate Rate, polyethylene glycol di (meth) acrylate, tris (meth) acryloyloxyethyl isocyanurate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, adipic acid epoxy di (meth) acrylate, bisphenol ethylene oxide di (meth) acrylate, hydrogenated bisphenol ethylene oxide (Meth) acrylate, bisphenol di (meth) acrylate, ε-caprolactone modified hydroxypivalic acid neopent glycol di (meth) acrylate, ε-caprolactone modified dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ε-caprolactone modified dipentaerythritol poly ( (Meth) acrylate, dipentaerythritol poly (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate Relate, triethylolpropane tri (meth) acrylate, and its ethylene oxide adduct, pentaerythritol tri (meth) acrylate, and its ethylene oxide adduct, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, And ethylene oxide adducts thereof.

この他にも、(メタ)アクリロイル基とウレタン結合を同一分子内に併せ持つウレタン(メタ)アクリレート類、同様に(メタ)アクリロイル基とエステル結合を同一分子内に併せ持つポリエステル(メタ)アクリレート、エポキシ樹脂から誘導され、(メタ)アクリロイル基を併せ持つエポキシ(メタ)アクリレート類、これらの結合が複合的に用いられている反応性オリゴマー等も挙げられる。   In addition, urethane (meth) acrylates that have (meth) acryloyl groups and urethane bonds in the same molecule, polyester (meth) acrylates that have (meth) acryloyl groups and ester bonds in the same molecule, and epoxy resins Epoxy (meth) acrylates derived from the above and having a (meth) acryloyl group, and reactive oligomers in which these bonds are used in combination.

上記ウレタン(メタ)アクリレート類とは、水酸基含有(メタ)アクリレートとポリイソシアネート、必要に応じて用いられるその他アルコール類との反応物である。例えば、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類、グリセリンモノ(メタ)アクリレート、グリセリンジ(メタ)アクリレート等のグリセリン(メタ)アクリレート類、ペンタエリスリトールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート等の糖アルコール(メタ)アクリレート類と、トルエンジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、ノルボルネンジイソシアネート、キシレンジイソシアネート、水添キシレンジイソシアネート、ジシクロヘキサンメチレンジイソシアネート、及びそれらのイソシアヌレート、ビュレット反応物等のポリイソシアネート等を反応させ、ウレタン(メタ)アクリレート類となる。   The urethane (meth) acrylates are a reaction product of a hydroxyl group-containing (meth) acrylate, a polyisocyanate, and other alcohols used as necessary. For example, hydroxyalkyl (meth) acrylates such as hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxybutyl (meth) acrylate, glycerin (meta) such as glycerin mono (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, etc. ) Sugar alcohol (meth) acrylates such as acrylates, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, toluene diisocyanate, hexamethylene diisocyanate, trimethylhexamethylene diisocyanate , Isophorone diisocyanate, norbornene diisocyanate, xylene diisocyanate, hydrogenated xylene diisocyanate Dicyclohexane diisocyanate, and their isocyanurate, by reacting polyisocyanates such as buret reactants, the urethane (meth) acrylates.

上記エポキシ(メタ)アクリレート類とは、エポキシ基を有する化合物と(メタ)アクリル酸とのカルボキシレート化合物である。例えば、フェノールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、トリスヒドロキシフェニルメタン型エポキシ(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエンフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールF型エポキシ(メタ)アクリレート、ビフェノール型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、ナフタレン骨格含有エポキシ(メタ)アクリレート、グリオキサール型エポキシ(メタ)アクリレート、複素環式エポキシ(メタ)アクリレート、及びこれらの酸無水物変性エポキシ(メタ)アクリレート等が挙げられる。   The epoxy (meth) acrylates are carboxylate compounds of a compound having an epoxy group and (meth) acrylic acid. For example, phenol novolac type epoxy (meth) acrylate, cresol novolac type epoxy (meth) acrylate, trishydroxyphenylmethane type epoxy (meth) acrylate, dicyclopentadienephenol type epoxy (meth) acrylate, bisphenol A type epoxy (meth) acrylate Bisphenol F type epoxy (meth) acrylate, biphenol type epoxy (meth) acrylate, bisphenol A novolak type epoxy (meth) acrylate, naphthalene skeleton-containing epoxy (meth) acrylate, glyoxal type epoxy (meth) acrylate, heterocyclic epoxy ( And meth) acrylates and their anhydride-modified epoxy (meth) acrylates.

ビニル基を有する化合物としては、エチルビニルエーテル、プロピルビニルエーテル、ヒドロキシエチルビニルエーテル、エチレングリコールジビニルエーテル等のビニルエーテル類が挙げられる。スチレン類としては、スチレン、メチルスチレン、エチルスチレン、ジビニルベンゼン、α−メチルスチレン、及びこれらのオリゴマー等が挙げられる。その他ビニル化合物としてはトリアリルイソシアヌレート、トリメタアリルイソシアヌレート、ビスアリルナジイミド等が挙げられる。   Examples of the compound having a vinyl group include vinyl ethers such as ethyl vinyl ether, propyl vinyl ether, hydroxyethyl vinyl ether, and ethylene glycol divinyl ether. Examples of styrenes include styrene, methyl styrene, ethyl styrene, divinyl benzene, α-methyl styrene, and oligomers thereof. Other vinyl compounds include triallyl isocyanurate, trimethallyl isocyanurate, bisallyl nadiimide and the like.

これらのエチレン性不飽和基を有する化合物(E)は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。また、これらのなかでも、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、クレゾールノボラック型エポキシ(メタ)アクリレート、ビスフェノールA型エポキシ(メタ)アクリレート、ナフタレン骨格含有エポキシ(メタ)アクリレート、ビスアリルナジイミドからなる群より選択される1種以上であることが好ましい。このような種類のエチレン性不飽和基を有する化合物(E)を含むことにより、得られる硬化物の耐熱性がより向上する傾向にある。   These compounds (E) having an ethylenically unsaturated group can be used singly or in combination of two or more. Among these, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, cresol novolac type epoxy (meth) acrylate, bisphenol A type epoxy (meth) acrylate, naphthalene skeleton-containing epoxy (meth) acrylate And at least one selected from the group consisting of bisallylnadiimide. By including the compound (E) having such kind of ethylenically unsaturated group, the heat resistance of the obtained cured product tends to be further improved.

<その他の成分としての化合物(F)>
本実施形態の樹脂組成物は、上記各成分の他、必要に応じて、更なる他の成分としての化合物(F)を含有していてもよい。かかる化合物(F)としては、特に限定されず、例えば、エポキシ樹脂、シアン酸エステル化合物、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、及びベンゾオキサジン化合物から選択される群のうち、いずれか1種以上が挙げられる。
<Compound (F) as other component>
The resin composition of the present embodiment may contain a compound (F) as another component, if necessary, in addition to the above components. Such a compound (F) is not particularly limited, and examples thereof include one or more selected from the group selected from an epoxy resin, a cyanate ester compound, a phenol resin, an oxetane resin, and a benzoxazine compound.

〔エポキシ樹脂〕
エポキシ樹脂としては、分子中に2個以上のエポキシ基を有する化合物であれば、特に限定されず、具体例としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールE型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールAノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、キシレンノボラック型エポキシ樹脂、多官能フェノール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ナフタレン骨格変性ノボラック型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、フェノールアラルキル型エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、3官能フェノール型エポキシ樹脂、4官能フェノール型エポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート、グリシジルエステル型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルノボラック型エポキシ樹脂、フェノールアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキルノボラック型エポキシ樹脂、アラルキルノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフトールアラルキル型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ポリオール型エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、グリシジルアミン、ブタジエン等の二重結合をエポキシ化した化合物、水酸基含有シリコーン樹脂類とエピクロルヒドリンとの反応により得られる化合物、及びこれらのハロゲン化物等が挙げられる。これらのエポキシ樹脂は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。また、これらのなかでも、硬化物の難燃性及び耐熱性がより向上する観点から、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、ナフチレンエーテル型エポキシ樹脂、多官能フェノール型エポキシ樹脂、及びナフタレン型エポキシ樹脂がより好ましい。
〔Epoxy resin〕
The epoxy resin is not particularly limited as long as it is a compound having two or more epoxy groups in the molecule. Specific examples thereof include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol E type epoxy resin, and bisphenol F type epoxy resin. Bisphenol S type epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin, cresol novolak type epoxy resin, xylene novolak type epoxy resin, polyfunctional phenol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, naphthalene Skeletal modified novolac type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, phenol aralkyl type epoxy resin, anthracene type epoxy resin, trifunctional phenol type epoxy resin, tetrafunctional phenol type Poxy resin, triglycidyl isocyanurate, glycidyl ester type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, dicyclopentadiene novolac type epoxy resin, biphenyl novolac type epoxy resin, phenol aralkyl novolak type epoxy resin, naphthol aralkyl novolak type epoxy resin, aralkyl novolak Type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, naphthol aralkyl type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, polyol type epoxy resin, phosphorus-containing epoxy resin, glycidyl amine, butadiene epoxidized compound, hydroxyl group-containing Examples thereof include compounds obtained by a reaction between silicone resins and epichlorohydrin, and halides thereof. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more. Among these, from the viewpoint of further improving the flame retardancy and heat resistance of the cured product, dicyclopentadiene novolac type epoxy resin, biphenyl aralkyl type epoxy resin, naphthylene ether type epoxy resin, polyfunctional phenol type epoxy resin And naphthalene type epoxy resins are more preferred.

エポキシ樹脂の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜45質量部であり、更に好ましくは0.3質量部〜40質量部である。エポキシ樹脂の含有量が上記範囲内であることにより、硬化物の耐熱性と耐薬品性がより向上する傾向にある。   The content of the epoxy resin is not particularly limited, and is preferably 0.1 to 50 parts by mass, more preferably 0.2 to 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. More preferably, it is 0.3 to 40 parts by mass. When the content of the epoxy resin is within the above range, the heat resistance and chemical resistance of the cured product tend to be further improved.

〔シアン酸エステル化合物〕
シアン酸エステル化合物としては、シアナト基(シアン酸エステル基)が少なくとも1個置換された芳香族部分を分子内に有する樹脂であれば特に限定されない。
[Cyanate ester compound]
The cyanate ester compound is not particularly limited as long as it is a resin having in its molecule an aromatic moiety substituted with at least one cyanate group (cyanate ester group).

かかるシアン酸エステル化合物としては、例えば式(6)で表されるものが挙げられる。   Examples of the cyanate ester compound include those represented by the formula (6).

ここで、式(6)中、Ar1は、ベンゼン環、ナフタレン環又は2つのベンゼン環が単結合したものを表す。複数ある場合は互いに同一であっても異なっていてもよい。Raは各々独立に水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数1〜4のアルコキシル基、炭素数1〜6のアルキル基と炭素数6〜12のアリール基とが結合された基を示す。Raにおける芳香環は置換基を有していてもよく、Ar1及びRaにおける置換基は任意の位置を選択できる。pはAr1に結合するシアナト基の数を示し、各々独立に1〜3の整数である。qはAr1に結合するRaの数を示し、Ar1がベンゼン環の時は4−p、ナフタレン環の時は6−p、2つのベンゼン環が単結合したものの時は8−pである。tは平均繰り返し数を示し、0〜50の整数であり、他のシアン酸エステル化合物(C)は、tが異なる化合物の混合物であってもよい。Xは、複数ある場合は各々独立に、単結合、炭素数1〜50の2価の有機基(水素原子がヘテロ原子に置換されていてもよい。)、窒素数1〜10の2価の有機基(例えば−N−R−N−(ここでRは有機基を示す。))、カルボニル基(−CO−)、カルボキシ基(−C(=O)O−)、カルボニルジオキサイド基(−OC(=O)O−)、スルホニル基(−SO2−)、2価の硫黄原子又は2価の酸素原子のいずれかを示す。 Here, in Formula (6), Ar 1 represents a single bond of a benzene ring, a naphthalene ring or two benzene rings. When there are a plurality, they may be the same or different. Each Ra is independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms and an alkyl group having 6 to 12 carbon atoms. A group to which an aryl group is bonded is shown. The aromatic ring in Ra may have a substituent, and the substituent in Ar 1 and Ra can be selected at any position. p is a number of cyanate groups bonded to Ar 1, is an integer of 1 to 3 independently. q indicates the number of Ra bonded to Ar 1, and 4-p when Ar 1 is a benzene ring, 6-p when Ar 1 is a naphthalene ring, and 8-p when two benzene rings are a single bond. . t represents an average number of repetitions and is an integer of 0 to 50, and the other cyanate compound (C) may be a mixture of compounds having different t. When there are a plurality of Xs, each independently represents a single bond, a divalent organic group having 1 to 50 carbon atoms (a hydrogen atom may be substituted with a hetero atom), or a divalent group having 1 to 10 nitrogen atoms. An organic group (for example, —N—R—N— (wherein R represents an organic group)), a carbonyl group (—CO—), a carboxy group (—C (═O) O—), a carbonyl dioxide group ( —OC (═O) O—), a sulfonyl group (—SO 2 —), a divalent sulfur atom, or a divalent oxygen atom.

式(6)のRaにおけるアルキル基は、直鎖又は分枝の鎖状構造、及び、環状構造(例えばシクロアルキル基等)いずれを有していてもよい。   The alkyl group in Ra of Formula (6) may have any of a linear or branched chain structure and a cyclic structure (for example, a cycloalkyl group).

また、式(6)におけるアルキル基及びRaにおけるアリール基中の水素原子は、フッ素原子、塩素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、フェノキシ基等のアルコキシル基、又はシアノ基等で置換されていてもよい。   In addition, the hydrogen atom in the alkyl group in Formula (6) and the aryl group in Ra may be substituted with a halogen atom such as a fluorine atom or a chlorine atom, an alkoxyl group such as a methoxy group or a phenoxy group, or a cyano group. Good.

アルキル基の具体例としては、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、tert−ブチル基、n−ペンチル基、1−エチルプロピル基、2,2−ジメチルプロピル基、シクロペンチル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基、及びトリフルオロメチル基等が挙げられる。   Specific examples of the alkyl group include methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, tert-butyl group, n-pentyl group, 1-ethylpropyl group, 2,2-dimethylpropyl group. Group, cyclopentyl group, hexyl group, cyclohexyl group, trifluoromethyl group and the like.

アリール基の具体例としては、フェニル基、キシリル基、メシチル基、ナフチル基、フェノキシフェニル基、エチルフェニル基、o−,m−又はp−フルオロフェニル基、ジクロロフェニル基、ジシアノフェニル基、トリフルオロフェニル基、メトキシフェニル基、及びo−,m−又はp−トリル基等が挙げられる。更にアルコキシル基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、n−ブトキシ基、イソブトキシ基、及びtert−ブトキシ基等が挙げられる。   Specific examples of the aryl group include phenyl group, xylyl group, mesityl group, naphthyl group, phenoxyphenyl group, ethylphenyl group, o-, m- or p-fluorophenyl group, dichlorophenyl group, dicyanophenyl group, trifluorophenyl. A group, a methoxyphenyl group, and an o-, m- or p-tolyl group. Furthermore, examples of the alkoxyl group include a methoxy group, an ethoxy group, a propoxy group, an isopropoxy group, an n-butoxy group, an isobutoxy group, and a tert-butoxy group.

式(6)のXにおける炭素数1〜50の2価の有機基の具体例としては、メチレン基、エチレン基、トリメチレン基、シクロペンチレン基、シクロヘキシレン基、トリメチルシクロヘキシレン基、ビフェニルイルメチレン基、ジメチルメチレン−フェニレン−ジメチルメチレン基、フルオレンジイル基、及びフタリドジイル基等が挙げられる。該2価の有機基中の水素原子は、フッ素原子、塩素原子等のハロゲン原子、メトキシ基、フェノキシ基等のアルコキシル基、シアノ基等で置換されていてもよい。   Specific examples of the divalent organic group having 1 to 50 carbon atoms in X in the formula (6) include a methylene group, an ethylene group, a trimethylene group, a cyclopentylene group, a cyclohexylene group, a trimethylcyclohexylene group, and a biphenylylmethylene group. Group, dimethylmethylene-phenylene-dimethylmethylene group, fluorenediyl group, phthalidodiyl group and the like. The hydrogen atom in the divalent organic group may be substituted with a halogen atom such as a fluorine atom or a chlorine atom, an alkoxyl group such as a methoxy group or a phenoxy group, a cyano group, or the like.

式(6)のXにおける窒素数1〜10の2価の有機基としては、イミノ基、ポリイミド基等が挙げられる。   Examples of the divalent organic group having 1 to 10 nitrogen atoms in X of formula (6) include an imino group and a polyimide group.

また、式(6)中のXの有機基として、例えば、下記式(7)又は下記式(8)で表される構造であるものが挙げられる。   Moreover, as an organic group of X in Formula (6), what is a structure represented by following formula (7) or following formula (8) is mentioned, for example.

ここで、式(7)中、Ar2はベンゼンテトライル基、ナフタレンテトライル基又はビフェニルテトライル基を示し、uが2以上の場合、互いに同一であっても異なっていてもよい。Rb、Rc、Rf、及びRgは各々独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、トリフルオロメチル基、又はフェノール性ヒドロキシ基を少なくとも1個有するアリール基を示す。Rd及び、Reは各々独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、炭素数1〜4のアルコキシル基、又はヒドロキシ基のいずれか1種から選択される。uは0〜5の整数を示す。 Here, in formula (7), Ar 2 represents a benzenetetrayl group, a naphthalenetetrayl group or a biphenyltetrayl group, and when u is 2 or more, they may be the same or different. Rb, Rc, Rf and Rg are each independently an aryl having at least one hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, a trifluoromethyl group, or a phenolic hydroxy group. Indicates a group. Rd and Re are each independently selected from any one of a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, and a hydroxy group. The u represents an integer of 0 to 5.

ここで、式(8)中、Ar3はベンゼンテトライル基、ナフタレンテトライル基又はビフェニルテトライル基を示し、vが2以上の場合、互いに同一であっても異なっていてもよい。Ri、及びRjは各々独立に、水素原子、炭素数1〜6のアルキル基、炭素数6〜12のアリール基、ベンジル基、炭素数1〜4のアルコキシル基、ヒドロキシ基、トリフルオロメチル基、又はシアナト基が少なくとも1個置換されたアリール基を示す。vは0〜5の整数を示すが、vが異なる化合物の混合物であってもよい。 Here, in the formula (8), Ar 3 represents a benzenetetrayl group, a naphthalenetetrayl group or a biphenyltetrayl group, and when v is 2 or more, they may be the same or different. Ri and Rj are each independently a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, an aryl group having 6 to 12 carbon atoms, a benzyl group, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, a hydroxy group, a trifluoromethyl group, Or an aryl group substituted with at least one cyanato group. v represents an integer of 0 to 5, but may be a mixture of compounds having different v.

さらに、式(6)中のXとしては、下記式で表される2価の基が挙げられる。   Furthermore, as X in Formula (6), the bivalent group represented by a following formula is mentioned.

ここで、式中、zは4〜7の整数を示す。Rkは各々独立に、水素原子又は炭素数1〜6のアルキル基を示す。   Here, in the formula, z represents an integer of 4 to 7. Rk each independently represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms.

式(7)のAr2及び式(8)のAr3の具体例としては、式(7)に示す2個の炭素原子、又は式(8)に示す2個の酸素原子が、1,4位又は1,3位に結合するベンゼンテトライル基、上記2個の炭素原子又は2個の酸素原子が4,4’位、2,4’位、2,2’位、2,3’位、3,3’位、又は3,4’位に結合するビフェニルテトライル基、及び、上記2個の炭素原子又は2個の酸素原子が、2,6位、1,5位、1,6位、1,8位、1,3位、1,4位、又は2,7位に結合するナフタレンテトライル基が挙げられる。 Specific examples of Ar 2 in formula (7) and Ar 3 in formula (8) include two carbon atoms represented by formula (7) or two oxygen atoms represented by formula (8) having 1, 4 Benzenetetrayl group bonded to position or 1,3 position, the above two carbon atoms or two oxygen atoms are 4,4 ′ position, 2,4 ′ position, 2,2 ′ position, 2,3 ′ position , 3, 3′-position, or 3,4′-position, and the above two carbon atoms or two oxygen atoms are 2, 6-position, 1, 5-position, 1, 6 Naphthalenetetrayl group bonded to the 1-position, 1,8-position, 1,3-position, 1,4-position, or 2,7-position.

式(7)のRb、Rc、Rd、Re、Rf及びRg、並びに式(8)のRi、Rjにおけるアルキル基及びアリール基は、上記式(6)におけるものと同義である。   Rb, Rc, Rd, Re, Rf and Rg in formula (7), and the alkyl group and aryl group in Ri and Rj in formula (8) have the same meanings as in formula (6) above.

上記式(6)で表されるシアナト置換芳香族化合物の具体例としては、シアナトベンゼン、1−シアナト−2−,1−シアナト−3−,又は1−シアナト−4−メチルベンゼン、1−シアナト−2−,1−シアナト−3−,又は1−シアナト−4−メトキシベンゼン、1−シアナト−2,3−,1−シアナト−2,4−,1−シアナト−2,5−,1−シアナト−2,6−,1−シアナト−3,4−又は1−シアナト−3,5−ジメチルベンゼン、シアナトエチルベンゼン、シアナトブチルベンゼン、シアナトオクチルベンゼン、シアナトノニルベンゼン、2−(4−シアナフェニル)−2−フェニルプロパン(4−α−クミルフェノールのシアネート)、1−シアナト−4−シクロヘキシルベンゼン、1−シアナト−4−ビニルベンゼン、1−シアナト−2−又は1−シアナト−3−クロロベンゼン、1−シアナト−2,6−ジクロロベンゼン、1−シアナト−2−メチル−3−クロロベンゼン、シアナトニトロベンゼン、1−シアナト−4−ニトロ−2−エチルベンゼン、1−シアナト−2−メトキシ−4−アリルベンゼン(オイゲノールのシアネート)、メチル(4−シアナトフェニル)スルフィド、1−シアナト−3−トリフルオロメチルベンゼン、4−シアナトビフェニル、1−シアナト−2−又は1−シアナト−4−アセチルベンゼン、4−シアナトベンズアルデヒド、4−シアナト安息香酸メチルエステル、4−シアナト安息香酸フェニルエステル、1−シアナト−4−アセトアミノベンゼン、4−シアナトベンゾフェノン、1−シアナト−2,6−ジ−tert−ブチルベンゼン、1,2−ジシアナトベンゼン、1,3−ジシアナトベンゼン、1,4−ジシアナトベンゼン、1,4−ジシアナト−2−tert−ブチルベンゼン、1,4−ジシアナト−2,4−ジメチルベンゼン、1,4−ジシアナト−2,3,4−ジメチルベンゼン、1,3−ジシアナト−2,4,6−トリメチルベンゼン、1,3−ジシアナト−5−メチルベンゼン、1−シアナト又は2−シアナトナフタレン、1−シアナト4−メトキシナフタレン、2−シアナト−6−メチルナフタレン、2−シアナト−7−メトキシナフタレン、2,2’−ジシアナト−1,1’−ビナフチル、1,3−,1,4−,1,5−,1,6−,1,7−,2,3−,2,6−又は2,7−ジシアナトシナフタレン、2,2’−又は4,4’−ジシアナトビフェニル、4,4’−ジシアナトオクタフルオロビフェニル、2,4’−又は4,4’−ジシアナトジフェニルメタン、ビス(4−シアナト−3,5−ジメチルフェニル)メタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)エタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−シアナト−3−メチルフェニル)プロパン、2,2−ビス(2−シアナト−5−ビフェニルイル)プロパン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス(4−シアナト−3,5−ジメチルフェニル)プロパン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)ブタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)イソブタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)ペンタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−3−メチルブタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−2−メチルブタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−2,2−ジメチルプロパン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)ブタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)ペンタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)ヘキサン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−3−メチルブタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−4−メチルペンタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−3,3−ジメチルブタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)ヘキサン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)ヘプタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)オクタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2−メチルペンタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2−メチルヘキサン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2,2−ジメチルペンタン、4,4−ビス(4−シアナトフェニル)−3−メチルヘプタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2−メチルヘプタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2,2−ジメチルヘキサン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2,4−ジメチルヘキサン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2,2,4−トリメチルペンタン、2,2−ビス(4−シアナトフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、ビス(4−シアナトフェニル)フェニルメタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−1−フェニルエタン、ビス(4−シアナトフェニル)ビフェニルメタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)シクロペンタン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)シクロヘキサン、2,2−ビス(4−シアナト−3−イソプロピルフェニル)プロパン、1,1−ビス(3−シクロヘキシル−4−シアナトフェニル)シクロヘキサン、ビス(4−シアナトフェニル)ジフェニルメタン、ビス(4−シアナトフェニル)−2,2−ジクロロエチレン、1,3−ビス[2−(4−シアナトフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、1,4−ビス[2−(4−シアナトフェニル)−2−プロピル]ベンゼン、1,1−ビス(4−シアナトフェニル)−3,3,5−トリメチルシクロヘキサン、4−[ビス(4−シアナトフェニル)メチル]ビフェニル、4,4−ジシアナトベンゾフェノン、1,3−ビス(4−シアナトフェニル)−2−プロペン−1−オン、ビス(4−シアナトフェニル)エーテル、ビス(4−シアナトフェニル)スルフィド、ビス(4−シアナトフェニル)スルホン、4−シアナト安息香酸−4−シアナトフェニルエステル(4−シアナトフェニル−4−シアナトベンゾエート)、ビス−(4−シアナトフェニル)カーボネート、1,3−ビス(4−シアナトフェニル)アダマンタン、1,3−ビス(4−シアナトフェニル)−5,7−ジメチルアダマンタン、3,3−ビス(4−シアナトフェニル)イソベンゾフラン−1(3H)−オン(フェノールフタレインのシアネート)、3,3−ビス(4−シアナト−3−メチルフェニル)イソベンゾフラン−1(3H)−オン(o−クレゾールフタレインのシアネート)、9,9’−ビス(4−シアナトフェニル)フルオレン、9,9−ビス(4−シアナト−3−メチルフェニル)フルオレン、9,9−ビス(2−シアナト−5−ビフェニルイル)フルオレン、トリス(4−シアナトフェニル)メタン、1,1,1−トリス(4−シアナトフェニル)エタン、1,1,3−トリス(4−シアナトフェニル)プロパン、α,α,α’−トリス(4−シアナトフェニル)−1−エチル−4−イソプロピルベンゼン、1,1,2,2−テトラキス(4−シアナトフェニル)エタン、テトラキス(4−シアナトフェニル)メタン、2,4,6−トリス(N−メチル−4−シアナトアニリノ)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(N−メチル−4−シアナトアニリノ)−6−(N−メチルアニリノ)−1,3,5−トリアジン、ビス(N−4−シアナト−2−メチルフェニル)−4,4’−オキシジフタルイミド、ビス(N−3−シアナト−4−メチルフェニル)−4,4’−オキシジフタルイミド、ビス(N−4−シアナトフェニル)−4,4’−オキシジフタルイミド、ビス(N−4−シアナト−2−メチルフェニル)−4,4’−(ヘキサフルオロイソプロピリデン)ジフタルイミド、トリス(3,5−ジメチル−4−シアナトベンジル)イソシアヌレート、2−フェニル−3,3−ビス(4−シアナトフェニル)フタルイミジン、2−(4−メチルフェニル)−3,3−ビス(4−シアナトフェニル)フタルイミジン、2−フェニル−3,3−ビス(4−シアナト−3−メチルフェニル)フタルイミジン、1−メチル−3,3−ビス(4−シアナトフェニル)インドリン−2−オン、及び、2−フェニル−3,3−ビス(4−シアナトフェニル)インドリン−2−オンが挙げられる。   Specific examples of the cyanato-substituted aromatic compound represented by the above formula (6) include cyanatobenzene, 1-cyanato-2-, 1-cyanato-3-, or 1-cyanato-4-methylbenzene, 1- Cyanato-2-, 1-cyanato-3-, or 1-cyanato-4-methoxybenzene, 1-cyanato-2,3-, 1-cyanato-2,4-, 1-cyanato-2,5-, 1 -Cyanato-2,6-, 1-cyanato-3,4- or 1-cyanato-3,5-dimethylbenzene, cyanatoethylbenzene, cyanatobutylbenzene, cyanatooctylbenzene, cyanatononylbenzene, 2- ( 4-cyanphenyl) -2-phenylpropane (cyanate of 4-α-cumylphenol), 1-cyanato-4-cyclohexylbenzene, 1-cyanato-4-vinylbenzene, -Cyanato-2- or 1-cyanato-3-chlorobenzene, 1-cyanato-2,6-dichlorobenzene, 1-cyanato-2-methyl-3-chlorobenzene, cyanatonitrobenzene, 1-cyanato-4-nitro-2 -Ethylbenzene, 1-cyanato-2-methoxy-4-allylbenzene (eugenol cyanate), methyl (4-cyanatophenyl) sulfide, 1-cyanato-3-trifluoromethylbenzene, 4-cyanatobiphenyl, 1- Cyanato-2- or 1-cyanato-4-acetylbenzene, 4-cyanatobenzaldehyde, 4-cyanatobenzoic acid methyl ester, 4-cyanatobenzoic acid phenyl ester, 1-cyanato-4-acetaminobenzene, 4-cyanato Benzophenone, 1-cyanato-2,6-di-tert-butyl Tylbenzene, 1,2-dicyanatobenzene, 1,3-dicyanatobenzene, 1,4-dicyanatobenzene, 1,4-dicyanato-2-tert-butylbenzene, 1,4-dicyanato-2,4-dimethyl Benzene, 1,4-dicyanato-2,3,4-dimethylbenzene, 1,3-dicyanato-2,4,6-trimethylbenzene, 1,3-dicyanato-5-methylbenzene, 1-cyanato or 2-si Anatonaphthalene, 1-cyanato-4-methoxynaphthalene, 2-cyanato-6-methylnaphthalene, 2-cyanato-7-methoxynaphthalene, 2,2′-dicyanato-1,1′-binaphthyl, 1,3-, 1, 4-, 1,5-, 1,6-, 1,7-, 2,3-, 2,6- or 2,7-dicyanatosinaphthalene, 2,2'- or 4,4'-dicyanana Biphenyl, 4,4′-dicyanatooctafluorobiphenyl, 2,4′- or 4,4′-dicyanatodiphenylmethane, bis (4-cyanato-3,5-dimethylphenyl) methane, 1,1-bis (4 -Cyanatophenyl) ethane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) propane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) propane, 2,2-bis (4-cyanato-3-methylphenyl) Propane, 2,2-bis (2-cyanato-5-biphenylyl) propane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) hexafluoropropane, 2,2-bis (4-cyanato-3,5-dimethyl) Phenyl) propane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) butane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) isobutane, 1,1-bis (4-cyanatopheny) ) Pentane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) -3-methylbutane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) -2-methylbutane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl)- 2,2-dimethylpropane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) butane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) pentane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) hexane, 2 , 2-bis (4-cyanatophenyl) -3-methylbutane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) -4-methylpentane, 2,2-bis (4-cyanatophenyl) -3,3 -Dimethylbutane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) hexane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) heptane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) octane, 3,3- Bis (4-Cyanatov Enyl) -2-methylpentane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2-methylhexane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2,2-dimethylpentane, 4,4- Bis (4-cyanatophenyl) -3-methylheptane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2-methylheptane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2,2-dimethyl Hexane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2,4-dimethylhexane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) -2,2,4-trimethylpentane, 2,2-bis ( 4-Cyanatophenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane, bis (4-cyanatophenyl) phenylmethane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) -1-phenyl Ethane, bis (4-si Natophenyl) biphenylmethane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) cyclopentane, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) cyclohexane, 2,2-bis (4-cyanato-3-isopropylphenyl) propane 1,1-bis (3-cyclohexyl-4-cyanatophenyl) cyclohexane, bis (4-cyanatophenyl) diphenylmethane, bis (4-cyanatophenyl) -2,2-dichloroethylene, 1,3-bis [ 2- (4-Cyanatophenyl) -2-propyl] benzene, 1,4-bis [2- (4-cyanatophenyl) -2-propyl] benzene, 1,1-bis (4-cyanatophenyl) -3,3,5-trimethylcyclohexane, 4- [bis (4-cyanatophenyl) methyl] biphenyl, 4,4-dicyanatobenzo Enone, 1,3-bis (4-cyanatophenyl) -2-propen-1-one, bis (4-cyanatophenyl) ether, bis (4-cyanatophenyl) sulfide, bis (4-cyanatophenyl) ) Sulfone, 4-cyanatobenzoic acid-4-cyanatophenyl ester (4-cyanatophenyl-4-cyanatobenzoate), bis- (4-cyanatophenyl) carbonate, 1,3-bis (4-cyanato) Phenyl) adamantane, 1,3-bis (4-cyanatophenyl) -5,7-dimethyladamantane, 3,3-bis (4-cyanatophenyl) isobenzofuran-1 (3H) -one (for phenolphthalein) Cyanate), 3,3-bis (4-cyanato-3-methylphenyl) isobenzofuran-1 (3H) -one (o-cresolphthalein) Cyanate), 9,9′-bis (4-cyanatophenyl) fluorene, 9,9-bis (4-cyanato-3-methylphenyl) fluorene, 9,9-bis (2-cyanato-5-biphenylyl) ) Fluorene, tris (4-cyanatophenyl) methane, 1,1,1-tris (4-cyanatophenyl) ethane, 1,1,3-tris (4-cyanatophenyl) propane, α, α, α '-Tris (4-cyanatophenyl) -1-ethyl-4-isopropylbenzene, 1,1,2,2-tetrakis (4-cyanatophenyl) ethane, tetrakis (4-cyanatophenyl) methane, 2, 4,6-tris (N-methyl-4-cyanatoanilino) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (N-methyl-4-cyanatoanilino) -6- (N-methylanilino)- , 3,5-triazine, bis (N-4-cyanato-2-methylphenyl) -4,4′-oxydiphthalimide, bis (N-3-cyanato-4-methylphenyl) -4,4′-oxy Diphthalimide, bis (N-4-cyanatophenyl) -4,4′-oxydiphthalimide, bis (N-4-cyanato-2-methylphenyl) -4,4 ′-(hexafluoroisopropylidene) diphthalimide , Tris (3,5-dimethyl-4-cyanatobenzyl) isocyanurate, 2-phenyl-3,3-bis (4-cyanatophenyl) phthalimidine, 2- (4-methylphenyl) -3,3-bis (4-Cyanatophenyl) phthalimidine, 2-phenyl-3,3-bis (4-cyanato-3-methylphenyl) phthalimidine, 1-methyl-3,3-bis 4-cyanatophenyl) indolin-2-one, and 2-phenyl-3,3-bis (4-cyanatophenyl) include indolin-2-one.

また、上記式(6)で表される化合物の別の具体例としては、フェノールノボラック樹脂及びクレゾールノボラック樹脂(公知の方法により、フェノール、アルキル置換フェノール又はハロゲン置換フェノールと、ホルマリンやパラホルムアルデヒド等のホルムアルデヒド化合物とを、酸性溶液中で反応させたもの)、トリスフェノールノボラック樹脂(ヒドロキシベンズアルデヒドとフェノールとを酸性触媒の存在下に反応させたもの)、フルオレンノボラック樹脂(フルオレノン化合物と9,9−ビス(ヒドロキシアリール)フルオレン類を酸性触媒の存在下に反応させたもの)、フェノールアラルキル樹脂、クレゾールアラルキル樹脂、ナフトールアラルキル樹脂及びビフェニルアラルキル樹脂(公知の方法により、Ar4−(CH2Y)2(Ar4はフェニル基を示し、Yはハロゲン原子を示す。以下、この段落において同様。)で表されるようなビスハロゲノメチル化合物とフェノール化合物とを酸性触媒若しくは無触媒で反応させたもの、Ar4−(CH2OR)2で表されるようなビス(アルコキシメチル)化合物とフェノール化合物とを酸性触媒の存在下に反応させたもの、又は、Ar4−(CH2OH)2で表されるようなビス(ヒドロキシメチル)化合物とフェノール化合物を酸性触媒の存在下に反応させたもの、あるいは、芳香族アルデヒド化合物とアラルキル化合物とフェノール化合物とを重縮合させたもの)、フェノール変性キシレンホルムアルデヒド樹脂(公知の方法により、キシレンホルムアルデヒド樹脂とフェノール化合物とを酸性触媒の存在下に反応させたもの)、変性ナフタレンホルムアルデヒド樹脂(公知の方法により、ナフタレンホルムアルデヒド樹脂とヒドロキシ置換芳香族化合物を酸性触媒の存在下に反応させたもの)、フェノール変性ジシクロペンタジエン樹脂、ポリナフチレンエーテル構造を有するフェノール樹脂(公知の方法により、フェノール性ヒドロキシ基を1分子中に2つ以上有する多価ヒドロキシナフタレン化合物を、塩基性触媒の存在下に脱水縮合させたもの)等のフェノール樹脂を、上述と同様の方法によりシアネート化したもの等、並びにこれらのプレポリマー等が挙げられる。これらは、特に制限されるものではない。これらの他のシアン酸エステル化合物は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。 Moreover, as another specific example of the compound represented by the above formula (6), phenol novolak resin and cresol novolak resin (phenol, alkyl-substituted phenol or halogen-substituted phenol, formalin, paraformaldehyde, etc. Formaldehyde compound reacted in an acidic solution), trisphenol novolak resin (reacted hydroxybenzaldehyde and phenol in the presence of an acidic catalyst), fluorene novolak resin (fluorenone compound and 9,9-bis) (hydroxyaryl) fluorenes those reacted in the presence of an acid catalyst), phenol aralkyl resins, cresol aralkyl resin, a naphthol aralkyl resin and a biphenyl aralkyl resin (a known method, Ar 4 - (CH 2 ) 2 (Ar 4 represents a phenyl group, Y represents a halogen atom. Hereinafter, the same.) A bishalogenomethyl compound and a phenol compound such as represented by is reacted with an acid catalyst or no catalyst in this paragraph A compound obtained by reacting a bis (alkoxymethyl) compound and a phenol compound represented by Ar 4 — (CH 2 OR) 2 in the presence of an acidic catalyst, or Ar 4 — (CH 2 OH) 2 A bis (hydroxymethyl) compound and a phenol compound represented by the above formula in the presence of an acidic catalyst, or a polycondensation of an aromatic aldehyde compound, an aralkyl compound and a phenol compound), phenol modification Xylene formaldehyde resin (by a known method, xylene formaldehyde resin and phenolic compound in the presence of acidic catalyst Modified naphthalene formaldehyde resin (reacted naphthalene formaldehyde resin and hydroxy-substituted aromatic compound in the presence of an acidic catalyst by a known method), phenol-modified dicyclopentadiene resin, polynaphthylene ether structure Phenol resins such as phenol resins (which are obtained by dehydrating and condensing polyhydric hydroxynaphthalene compounds having two or more phenolic hydroxy groups in one molecule in the presence of a basic catalyst by a known method) And the like, as well as those prepolymers thereof. These are not particularly limited. These other cyanate ester compounds can be used singly or in combination of two or more.

これらのなかでも、フェノールノボラック型シアン酸エステル化合物、ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物、ビフェニルアラルキル型シアン酸エステル化合物、ナフチレンエーテル型シアン酸エステル化合物、キシレン樹脂型シアン酸エステル化合物、アダマンタン骨格型シアン酸エステル化合物が好ましく、ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物が特に好ましい。   Among these, phenol novolak cyanate ester compounds, naphthol aralkyl cyanate ester compounds, biphenyl aralkyl cyanate ester compounds, naphthylene ether type cyanate ester compounds, xylene resin type cyanate ester compounds, adamantane skeleton type cyanide Acid ester compounds are preferred, and naphthol aralkyl cyanate ester compounds are particularly preferred.

これらのシアン酸エステル化合物を用いた樹脂硬化物は、ガラス転移温度(Tg)、低熱膨張性、めっき密着性等に優れた特性を有する。   The cured resin using these cyanate ester compounds has excellent properties such as glass transition temperature (Tg), low thermal expansion, plating adhesion and the like.

これらのシアン酸エステル化合物の製造方法としては、特に限定されず、公知の方法を用いることができる。かかる製法の例としては、所望の骨格を有するヒドロキシ基含有化合物を入手又は合成し、当該ヒドロキシ基を公知の手法により修飾してシアネート化する方法が挙げられる。ヒドロキシ基をシアネート化する手法としては、例えば、Ian Hamerton,“Chemistry and Technology of Cyanate Ester Resins,”Blackie Academic & Professionalに記載の手法が挙げられる。   The method for producing these cyanate ester compounds is not particularly limited, and a known method can be used. Examples of such production methods include a method of obtaining or synthesizing a hydroxy group-containing compound having a desired skeleton, and modifying the hydroxy group by a known method to form cyanate. Examples of the method for cyanating a hydroxy group include the method described in Ian Hamerton, “Chemistry and Technology of Cyanate Esters Resins,” “Blackie Academic & Professional”.

シアン酸エステル化合物の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜45質量部であり、更に好ましくは0.3質量部〜40質量部である。シアン酸エステル化合物の含有量が上記範囲内であることにより、硬化物の耐熱性と耐薬品性がより向上する傾向にある。   The content of the cyanate ester compound is not particularly limited, and is preferably 0.1 to 50 parts by mass, more preferably 0.2 to 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. More preferably, it is 0.3 to 40 parts by mass. When the content of the cyanate ester compound is within the above range, the heat resistance and chemical resistance of the cured product tend to be further improved.

〔フェノール樹脂〕
フェノール樹脂としては、分子中に2個以上のヒドロキシル基を有するフェノール樹脂であれば、特に限定されず、具体例としては、例えば、ビスフェノールA型フェノール樹脂、ビスフェノールE型フェノール樹脂、ビスフェノールF型フェノール樹脂、ビスフェノールS型フェノール樹脂、フェノールノボラック樹脂、ビスフェノールAノボラック型フェノール樹脂、グリシジルエステル型フェノール樹脂、アラルキルノボラック型フェノール樹脂、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、クレゾールノボラック型フェノール樹脂、多官能フェノール樹脂、ナフトール樹脂、ナフトールノボラック樹脂、多官能ナフトール樹脂、アントラセン型フェノール樹脂、ナフタレン骨格変性ノボラック型フェノール樹脂、フェノールアラルキル型フェノール樹脂、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂、ジシクロペンタジエン型フェノール樹脂、ビフェニル型フェノール樹脂、脂環式フェノール樹脂、ポリオール型フェノール樹脂、リン含有フェノール樹脂、重合性不飽和炭化水素基含有フェノール樹脂及び水酸基含有シリコーン樹脂類等が挙げられる。これらのフェノール樹脂は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。これらのなかでも、硬化物の難燃性がより向上する観点から、ビフェニルアラルキル型フェノール樹脂、ナフトールアラルキル型フェノール樹脂、リン含有フェノール樹脂、水酸基含有シリコーン樹脂がより好ましい。
[Phenolic resin]
The phenol resin is not particularly limited as long as it is a phenol resin having two or more hydroxyl groups in the molecule. Specific examples thereof include, for example, bisphenol A type phenol resin, bisphenol E type phenol resin, and bisphenol F type phenol. Resin, bisphenol S type phenol resin, phenol novolac resin, bisphenol A novolac type phenol resin, glycidyl ester type phenol resin, aralkyl novolac type phenol resin, biphenyl aralkyl type phenol resin, cresol novolac type phenol resin, polyfunctional phenol resin, naphthol resin , Naphthol novolak resin, polyfunctional naphthol resin, anthracene type phenol resin, naphthalene skeleton modified novolak type phenol resin, phenol aralkyl Phenol resin, naphthol aralkyl type phenol resin, dicyclopentadiene type phenol resin, biphenyl type phenol resin, alicyclic phenol resin, polyol type phenol resin, phosphorus-containing phenol resin, polymerizable unsaturated hydrocarbon group-containing phenol resin and hydroxyl group-containing Examples thereof include silicone resins. These phenol resins can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. Among these, from the viewpoint of further improving the flame retardancy of the cured product, biphenyl aralkyl type phenol resins, naphthol aralkyl type phenol resins, phosphorus-containing phenol resins, and hydroxyl group-containing silicone resins are more preferable.

フェノール樹脂の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜45質量部であり、更に好ましくは0.3質量部〜40質量部である。フェノール樹脂の含有量が上記範囲内であることにより、硬化物の耐熱性と耐薬品性がより向上する傾向にある。   The content of the phenol resin is not particularly limited, and is preferably 0.1 to 50 parts by mass, more preferably 0.2 to 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. More preferably, it is 0.3 to 40 parts by mass. When the content of the phenol resin is within the above range, the heat resistance and chemical resistance of the cured product tend to be further improved.

〔オキセタン樹脂〕
オキセタン樹脂としては、一般に公知のものを使用でき、具体例としては、例えば、オキセタン、2−メチルオキセタン、2,2−ジメチルオキセタン、3−メチルオキセタン、3,3−ジメチルオキセタン等のアルキルオキセタン、3−メチル−3−メトキシメチルオキセタン、3,3−ジ(トリフルオロメチル)パーフルオキセタン、2−クロロメチルオキセタン、3,3−ビス(クロロメチル)オキセタン、ビフェニル型オキセタン、OXT−101(東亞合成製商品名)、OXT−121(東亞合成製商品名)等が挙げられる。これらのオキセタン樹脂は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
[Oxetane resin]
As the oxetane resin, generally known ones can be used. Specific examples thereof include alkyl oxetane such as oxetane, 2-methyloxetane, 2,2-dimethyloxetane, 3-methyloxetane, and 3,3-dimethyloxetane, 3-methyl-3-methoxymethyloxetane, 3,3-di (trifluoromethyl) perfluoxetane, 2-chloromethyloxetane, 3,3-bis (chloromethyl) oxetane, biphenyl-type oxetane, OXT-101 (Toho Synthetic product name), OXT-121 (Toagosei product name), and the like. These oxetane resins can be used singly or in combination of two or more.

オキセタン樹脂の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜45質量部であり、更に好ましくは0.3質量部〜40質量部である。オキセタン樹脂の含有量が上記範囲内であることにより、硬化物の耐熱性と耐薬品性がより向上する傾向にある。   The content of the oxetane resin is not particularly limited, and is preferably 0.1 to 50 parts by mass, more preferably 0.2 to 45 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin solid content. More preferably, it is 0.3 to 40 parts by mass. When the content of the oxetane resin is within the above range, the heat resistance and chemical resistance of the cured product tend to be further improved.

〔ベンゾオキサジン化合物〕
ベンゾオキサジン化合物としては、分子中に2個以上のジヒドロベンゾオキサジン環を有する化合物であれば、特に限定されず、具体例としては、例えば、ビスフェノールA型ベンゾオキサジンBA−BXZ(小西化学製商品名)、ビスフェノールF型ベンゾオキサジンBF−BXZ(小西化学製商品名)、ビスフェノールS型ベンゾオキサジンBS−BXZ(小西化学製商品名)、フェノールフタレイン型ベンゾオキサジン等が挙げられる。これらのベンゾオキサジン化合物は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
[Benzoxazine compound]
The benzoxazine compound is not particularly limited as long as it has two or more dihydrobenzoxazine rings in the molecule. Specific examples thereof include, for example, bisphenol A type benzoxazine BA-BXZ (trade name, manufactured by Konishi Chemical). ), Bisphenol F-type benzoxazine BF-BXZ (trade name, manufactured by Konishi Chemical), bisphenol S-type benzoxazine BS-BXZ (trade name, manufactured by Konishi Chemical), and phenolphthalein-type benzoxazine. These benzoxazine compounds can be used alone or in combination of two or more.

ベンゾオキサジン化合物の含有量は、特に制限されず、樹脂固形分100質量部に対して、好ましくは0.1質量部〜50質量部であり、より好ましくは0.2質量部〜45質量部であり、更に好ましくは0.3質量部〜40質量部である。ベンゾオキサジン化合物の含有量が上記範囲内であることにより、硬化物の耐熱性と耐薬品性がより向上する傾向にある。   Content in particular of a benzoxazine compound is not restrict | limited, Preferably it is 0.1 mass part-50 mass parts with respect to 100 mass parts of resin solid content, More preferably, it is 0.2 mass part-45 mass parts. Yes, and more preferably 0.3 to 40 parts by mass. When the content of the benzoxazine compound is within the above range, the heat resistance and chemical resistance of the cured product tend to be further improved.

<熱硬化促進剤(G)>
本実施形態の樹脂組成物は、熱硬化促進剤(G)を更に含んでもよい。熱硬化促進剤(G)としては、特に限定されず、例えば、過酸化ベンゾイル、ラウロイルパーオキサイド、アセチルパーオキサイド、パラクロロベンゾイルパーオキサイド、ジ−tert−ブチル−ジ−パーフタレート等で例示される有機過酸化物;アゾビスニトリル等のアゾ化合物;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、N,N−ジメチルベンジルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン、N,N−ジメチルアニリン、N,N−ジメチルトルイジン、N,N−ジメチルピリジン、2−N−エチルアニリノエタノール、トリ−n−ブチルアミン、ピリジン、キノリン、N−メチルモルホリン、トリエタノールアミン、トリエチレンジアミン、テトラメチルブタンジアミン、N−メチルピペリジン等のアミン化合物;フェノール、キシレノール、クレゾール、レゾルシン、カテコール等のフェノール類;ナフテン酸鉛、ステアリン酸鉛、ナフテン酸亜鉛、オクチル酸亜鉛、オレイン酸錫、ジブチル錫マレート、ナフテン酸マンガン、ナフテン酸コバルト、アセチルアセトン鉄等の有機金属塩;これら有機金属塩をフェノール、ビスフェノール等の水酸基含有化合物に溶解してなるもの;塩化錫、塩化亜鉛、塩化アルミニウム等の無機金属塩;ジオクチル錫オキサイド、その他のアルキル錫、アルキル錫オキサイド等の有機錫化合物;1,2−ジメチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、1−ベンジル−2−フェニルイミダゾール、2,4,5−トリフェニルイミダゾール等のイミダゾール化合物等が挙げられる。これらの熱硬化促進剤(G)は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
<Thermosetting accelerator (G)>
The resin composition of this embodiment may further contain a thermosetting accelerator (G). The thermosetting accelerator (G) is not particularly limited, and examples thereof include benzoyl peroxide, lauroyl peroxide, acetyl peroxide, parachlorobenzoyl peroxide, and di-tert-butyl-di-perphthalate. Organic peroxides; azo compounds such as azobisnitrile; dicyandiamide, benzyldimethylamine, N, N-dimethylbenzylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N- Dimethylbenzylamine, 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine, N, N-dimethylaniline, N, N-dimethyltoluidine, N, N-dimethylpyridine, 2-N-ethylanilinoethanol, tri-n- Butylamine, pyridine, quinoline, N-methylmorpholine, triethano Amine compounds such as ruamine, triethylenediamine, tetramethylbutanediamine, N-methylpiperidine; phenols such as phenol, xylenol, cresol, resorcin, catechol; lead naphthenate, lead stearate, zinc naphthenate, zinc octylate, olein Organic metal salts such as tin oxide, dibutyltin malate, manganese naphthenate, cobalt naphthenate, and acetylacetone iron; those obtained by dissolving these organic metal salts in hydroxyl-containing compounds such as phenol and bisphenol; tin chloride, zinc chloride, chloride Inorganic metal salts such as aluminum; dioctyl tin oxide, other organic tin compounds such as alkyl tin and alkyl tin oxide; 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-phenylimidazole , 2,4,5-imidazole compounds such as triphenyl imidazole. These thermosetting accelerators (G) can be used alone or in combination of two or more.

<シランカップリング剤及び湿潤分散剤>
本実施形態の樹脂組成物は、充填材(D)の分散性、樹脂と充填材(D)の接着強度等を向上させる観点から、シランカップリング剤や湿潤分散剤を更に含有していてもよい。
<Silane coupling agent and wetting and dispersing agent>
The resin composition of this embodiment may further contain a silane coupling agent or a wetting dispersant from the viewpoint of improving the dispersibility of the filler (D), the adhesive strength between the resin and the filler (D), and the like. Good.

シランカップリング剤としては、一般に充填材の表面処理に使用されているシランカップリング剤であれば、特に限定されず、具体例としては、例えば、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−β−(アミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等のアミノシラン系;γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン等のエポキシシラン系;γ−アクリロキシプロピルトリメトキシシラン等のアクリルシラン系;N−β−(N−ビニルベンジルアミノエチル)−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン塩酸塩等のカチオニックシラン系;フェニルシラン系のシランカップリング剤等が挙げられる。これらのシランカップリング剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   The silane coupling agent is not particularly limited as long as it is a silane coupling agent generally used for surface treatment of fillers. Specific examples include, for example, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-β- (Aminoethyl) -amino silanes such as γ-aminopropyltrimethoxysilane; epoxy silanes such as γ-glycidoxypropyl trimethoxysilane; acrylic silanes such as γ-acryloxypropyltrimethoxysilane; N-β- Cationic silanes such as (N-vinylbenzylaminoethyl) -γ-aminopropyltrimethoxysilane hydrochloride; phenylsilane-based silane coupling agents and the like. These silane coupling agents can be used alone or in combination of two or more.

湿潤分散剤としては、塗料用に使用されている分散安定剤であれば、特に限定されず、具体例としては、例えば、ビッグケミー・ジャパン(株)製のDISPERBYK−110、111、118、180、161、BYK−W996、W9010、W903等の湿潤分散剤が挙げられる。これらの湿潤分散剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。   The wetting dispersant is not particularly limited as long as it is a dispersion stabilizer used for paints. Specific examples include, for example, DISPERBYK-110, 111, 118, 180 manufactured by Big Chemie Japan Co., Ltd. 161, BYK-W996, W9010, W903, and the like. These wet dispersing agents can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

<難燃剤>
本実施形態の樹脂組成物は、硬化物の難燃性、耐熱性、熱膨張特性等を更に向上させる観点から、難燃剤を更に含有していてもよい。難燃剤としては、絶縁性を有するものであれば、特に限定されず、具体例としては、例えば、デカブロモジフェニルエタン、4,4−ジブロモビフェニル、エチレンビステトラブロモフタルイミド等の臭素化有機化合物が挙げられる。これらの難燃剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
<Flame Retardant>
The resin composition of the present embodiment may further contain a flame retardant from the viewpoint of further improving the flame retardancy, heat resistance, thermal expansion characteristics, and the like of the cured product. The flame retardant is not particularly limited as long as it has insulating properties. Specific examples thereof include brominated organic compounds such as decabromodiphenylethane, 4,4-dibromobiphenyl, and ethylenebistetrabromophthalimide. Can be mentioned. These flame retardants can be used singly or in combination of two or more.

<溶剤>
本実施形態の樹脂組成物は、樹脂組成物の調製時における粘度を所望に調整し易くすることができる観点から、溶剤を更に含有していてもよい。溶剤としては、樹脂組成物中の樹脂の一部又は全部を溶解可能なものであれば、特に限定されず、具体例としては、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルセルソルブ等のケトン類;トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;ジメチルホルムアミド等のアミド類;プロピレングリコールモノメチルエーテル及びそのアセテート等が挙げられる。これらの溶剤は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
<Solvent>
The resin composition of the present embodiment may further contain a solvent from the viewpoint that the viscosity at the time of preparation of the resin composition can be easily adjusted as desired. The solvent is not particularly limited as long as it can dissolve part or all of the resin in the resin composition. Specific examples include, for example, ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, and methyl cellosolve; toluene, Aromatic hydrocarbons such as xylene; Amides such as dimethylformamide; Propylene glycol monomethyl ether and its acetate. These solvents can be used alone or in combination of two or more.

<その他の成分>
本実施形態の樹脂組成物は、所期の特性が損なわれない範囲において、これまでに挙げられていない熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂及びそのオリゴマー、エラストマー類等の種々の高分子化合物;これまでに挙げられていない難燃性の化合物;添加剤等を更に含有していてもよい。かかるその他の成分としては、一般に使用されているものであれば、特に限定されず、例えば、難燃性の化合物としては、メラミンやベンゾグアナミン等の窒素含有化合物、オキサジン環含有化合物、及びリン系化合物のホスフェート化合物、芳香族縮合リン酸エステル、含ハロゲン縮合リン酸エステル等が挙げられる。また、添加剤としては、紫外線吸収剤、酸化防止剤、蛍光増白剤、光増感剤、染料、顔料、増粘剤、滑剤、消泡剤、表面調整剤、光沢剤、重合禁止剤等が挙げられる。これらの他の成分は、1種を単独で又は2種以上を組み合わせて用いることができる。
<Other ingredients>
The resin composition of the present embodiment includes various polymer compounds such as a thermosetting resin, a thermoplastic resin and oligomers thereof, and elastomers that have not been mentioned so far as long as desired characteristics are not impaired; Flame retardant compounds not mentioned above; additives and the like may be further contained. Such other components are not particularly limited as long as they are generally used. Examples of the flame retardant compound include nitrogen-containing compounds such as melamine and benzoguanamine, oxazine ring-containing compounds, and phosphorus compounds. Phosphate compounds, aromatic condensed phosphate esters, halogen-containing condensed phosphate esters, and the like. Additives include UV absorbers, antioxidants, fluorescent brighteners, photosensitizers, dyes, pigments, thickeners, lubricants, antifoaming agents, surface conditioners, brighteners, polymerization inhibitors, etc. Is mentioned. These other components can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

<樹脂組成物の製造方法>
本実施形態の樹脂組成物の製造方法は、特に限定されず、例えば、上述した各成分を順次溶剤に配合し、十分に攪拌する方法が挙げられる。この際、各成分を均一に溶解又は分散させるため、攪拌、混合、混練処理等の公知の処理を行うことができる。具体的には、適切な攪拌能力を有する攪拌機を付設した攪拌槽を用いて攪拌分散処理を行うことにより、樹脂組成物に対する充填材(D)の分散性を向上させることができる。上記の攪拌、混合、混練処理は、例えば、超音波ホモジナイザー等の分散を目的とした攪拌装置、三本ロール、ボールミル、ビーズミル、サンドミル等の混合を目的とした装置、又は、公転又は自転型の混合装置等の公知の装置を用いて適宜行うことができる。また、本実施形態の樹脂組成物の調製時においては、必要に応じて有機溶剤を使用することができる。有機溶剤の種類は、樹脂組成物中の樹脂を溶解可能なものであれば、特に限定されず、その具体例は、上述したとおりである。
<Method for producing resin composition>
The manufacturing method of the resin composition of this embodiment is not specifically limited, For example, the method of mix | blending each component mentioned above in a solvent sequentially and fully stirring is mentioned. At this time, in order to uniformly dissolve or disperse each component, known processes such as stirring, mixing, and kneading can be performed. Specifically, the dispersibility of the filler (D) with respect to the resin composition can be improved by performing the stirring and dispersing treatment using a stirring tank provided with a stirrer having an appropriate stirring ability. The stirring, mixing, and kneading processes described above are, for example, a stirring device for dispersion such as an ultrasonic homogenizer, a device for mixing such as a three-roll, ball mill, bead mill, and sand mill, or a revolving or rotating type. It can carry out suitably using well-known apparatuses, such as a mixing apparatus. Moreover, when preparing the resin composition of this embodiment, an organic solvent can be used as needed. The type of the organic solvent is not particularly limited as long as it can dissolve the resin in the resin composition, and specific examples thereof are as described above.

<用途>
本実施形態の樹脂組成物は、絶縁性の樹脂組成物が必要とされる用途に使用することができ、その用途は特に限定されず、具体例としては、例えば、樹脂シート、プリント配線板、半導体装置等に好適に使用することができる。
<Application>
The resin composition of the present embodiment can be used for applications where an insulating resin composition is required, and the application is not particularly limited. Specific examples include, for example, a resin sheet, a printed wiring board, It can be suitably used for a semiconductor device or the like.

<樹脂シート>
本実施形態の樹脂シートは、本実施形態の樹脂組成物を含有する。ここで、樹脂シートとは、薄葉化の1つの手段として用いられるもので、例えば、樹脂組成物をシート状に成形してなるものを含む。樹脂シートとしては、支持体と、該支持体上に配された上記樹脂組成物とを有する樹脂シート(積層樹脂シート)や、上記支持体等を使用することなくシート状に成形された樹脂シート(単層樹脂シート)を含む。樹脂シートの製造方法は、常法にしたがって行うことができ、特に限定されない。
<Resin sheet>
The resin sheet of this embodiment contains the resin composition of this embodiment. Here, the resin sheet is used as one means for thinning, and includes, for example, a resin composition formed into a sheet shape. As a resin sheet, a resin sheet (laminated resin sheet) having a support and the resin composition disposed on the support, or a resin sheet molded into a sheet without using the support or the like (Single layer resin sheet). The manufacturing method of a resin sheet can be performed according to a conventional method, and is not specifically limited.

例えば、上記積層樹脂シートは、金属箔やフィルム等の支持体に、直接、本実施形態の樹脂組成物を塗布及び乾燥することにより得ることができる。塗布方法としては、例えば、本実施形態の樹脂組成物を溶剤に溶解させた溶液を、バーコーター、ダイコーター、ドクターブレード、ベーカーアプリケーター等で支持体上に塗布する方法が挙げられる。   For example, the laminated resin sheet can be obtained by directly applying and drying the resin composition of the present embodiment on a support such as a metal foil or a film. Examples of the coating method include a method in which a solution obtained by dissolving the resin composition of the present embodiment in a solvent is coated on a support with a bar coater, a die coater, a doctor blade, a baker applicator, or the like.

ここで用いる支持体としては、特に限定されず、各種プリント配線板材料に用いられている公知の物を使用することができ、例えば、ポリイミドフィルム、ポリアミドフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルム、ポリブチレンテレフタレート(PBT)フィルム、ポリプロピレン(PP)フィルム、ポリエチレン(PE)フィルム、ポリカーボネートフィルム、エチレンテトラフルオロエチレン共重合体フィルム、及びこれらのフィルムの表面に離型剤を塗布した離型フィルム等の有機系のフィルム基材、アルミニウム箔、銅箔、金箔等の導体箔、ガラス板、SUS板、FPR等の板状の無機系フィルムが挙げられる。これらのなかでも、圧延銅箔や電解銅箔等の銅箔、及びPETフィルムが好ましい。   The support used here is not particularly limited, and known materials used for various printed wiring board materials can be used. For example, polyimide film, polyamide film, polyester film, polyethylene terephthalate (PET) film , Polybutylene terephthalate (PBT) film, polypropylene (PP) film, polyethylene (PE) film, polycarbonate film, ethylene tetrafluoroethylene copolymer film, release film having a release agent applied to the surface of these films, etc. Organic film base materials, conductor foils such as aluminum foil, copper foil, and gold foil, and plate-like inorganic films such as glass plates, SUS plates, and FPRs. Among these, copper foil such as rolled copper foil and electrolytic copper foil, and PET film are preferable.

積層樹脂シートは、上記樹脂組成物を支持体に塗布後、半硬化(Bステージ化)させたものであることが好ましい。具体的には、例えば、上記樹脂組成物を銅箔等の支持体に塗布した後、20℃〜200℃の乾燥機中で、1分間〜90分間加熱する方法等により半硬化させ、積層樹脂シートを製造する方法等が挙げられる。支持体に対する樹脂組成物の付着量は、積層樹脂シートの樹脂厚で、例えば0.1μm〜500μmの範囲が好ましい。   The laminated resin sheet is preferably one obtained by applying the resin composition to a support and then semi-curing (B-stage). Specifically, for example, after the resin composition is applied to a support such as copper foil, it is semi-cured by a method of heating for 1 minute to 90 minutes in a dryer at 20 ° C. to 200 ° C. Examples include a method for producing a sheet. The adhesion amount of the resin composition to the support is preferably the range of 0.1 μm to 500 μm, for example, the resin thickness of the laminated resin sheet.

上記単層樹脂シートは、本実施形態の樹脂組成物を溶剤に溶解させた溶液を、シート状のキャビティを有する金型内に供給し乾燥する等してシート状に成形することで、支持体を用いることなく得ることができる。また、単層樹脂シートは、上記積層樹脂シートから、支持体を剥離又はエッチングすることにより得ることもできる。   The single-layer resin sheet is formed into a sheet by feeding a solution obtained by dissolving the resin composition of the present embodiment in a solvent into a mold having a sheet-like cavity and drying it. Can be obtained without using. Moreover, a single layer resin sheet can also be obtained by peeling or etching a support body from the said laminated resin sheet.

さらに、本実施形態における樹脂シートにおいて、樹脂組成物層は、保護フィルムで保護されていてもよい。樹脂組成物層側を保護フィルムで保護することにより、樹脂組成物層表面へのゴミ等の付着やキズを防止することができる。保護フィルムとしては上記の樹脂フィルムと同様の材料により構成されたフィルムを用いることができる。   Furthermore, in the resin sheet in the present embodiment, the resin composition layer may be protected with a protective film. By protecting the resin composition layer side with a protective film, it is possible to prevent adhesion or scratches of dust or the like to the surface of the resin composition layer. As the protective film, a film made of the same material as the above resin film can be used.

<プリント配線板>
本実施形態のプリント配線板は、本実施形態の樹脂組成物を含有する。具体的には、例えば、絶縁層と、該絶縁層の表面に形成された導体層とを含むプリント配線板であって、絶縁層が、本実施形態の樹脂組成物を含有する。かかるプリント配線板は、常法にしたがって製造することができ、その製造方法は特に限定されない。以下、本実施形態の樹脂シートを用いたプリント配線板の製造方法における手順の一例について説明する。本実施形態の樹脂シートは、プリント配線板の層間絶縁層として好適に使用することができ、本実施形態の樹脂シートを1枚以上重ねて硬化して得ることができる。
<Printed wiring board>
The printed wiring board of this embodiment contains the resin composition of this embodiment. Specifically, for example, the printed wiring board includes an insulating layer and a conductor layer formed on the surface of the insulating layer, and the insulating layer contains the resin composition of the present embodiment. Such a printed wiring board can be manufactured according to a conventional method, and the manufacturing method is not particularly limited. Hereinafter, an example of the procedure in the manufacturing method of the printed wiring board using the resin sheet of this embodiment is demonstrated. The resin sheet of this embodiment can be suitably used as an interlayer insulating layer of a printed wiring board, and can be obtained by stacking and curing one or more resin sheets of this embodiment.

(成形工程)
具体的には、まず、本実施形態の樹脂シートの樹脂組成物層側を回路基板の片面又は両面に成形する。成形条件としては、通常のプリント配線板用積層板及び多層板の手法が適用でき、真空ラミネートにより成形することもできる。回路基板としては、例えば、ガラスエポキシ基板、金属基板、セラミック基板、シリコン基板、半導体封止樹脂基板、ポリエステル基板、ポリイミド基板、BTレジン基板、熱硬化型ポリフェニレンエーテル基板等が挙げられる。なお、ここで回路基板とは、上記のような基板の片面又は両面にパターン加工された導体層(回路)が形成された基板をいう。また、導体層と絶縁層とを交互に積層してなる多層プリント配線板において、該多層プリント配線板の最外層の片面又は両面がパターン加工された導体層(回路)となっている基板も、ここでいう回路基板に含まれる。なお導体層表面には、黒化処理、銅エッチング等により予め粗化処理が施されていてもよい。
(Molding process)
Specifically, first, the resin composition layer side of the resin sheet of the present embodiment is formed on one side or both sides of a circuit board. As the molding conditions, a general laminate for printed wiring boards and multilayer boards can be applied, and molding can also be performed by vacuum lamination. Examples of the circuit board include a glass epoxy board, a metal board, a ceramic board, a silicon board, a semiconductor sealing resin board, a polyester board, a polyimide board, a BT resin board, and a thermosetting polyphenylene ether board. Here, the circuit board refers to a board on which a conductor layer (circuit) patterned on one or both sides of the board is formed. Further, in a multilayer printed wiring board in which conductor layers and insulating layers are alternately laminated, a substrate that is a conductor layer (circuit) in which one or both surfaces of the outermost layer of the multilayer printed wiring board are patterned, It is included in the circuit board here. The surface of the conductor layer may be previously roughened by blackening, copper etching, or the like.

(ラミネート工程)
次に、成形工程において、樹脂シートが保護フィルムを有している場合には該保護フィルムを剥離除去した後、必要に応じて樹脂シート及び回路基板をプレヒートし、樹脂組成物層を加圧及び加熱しながら回路基板に圧着する。本実施形態の樹脂シートにおいては、真空ラミネート法により減圧下で回路基板にラミネートする方法が好適に用いられる。
(Lamination process)
Next, in the molding step, when the resin sheet has a protective film, the protective film is peeled and removed, and then the resin sheet and the circuit board are preheated as necessary, and the resin composition layer is pressurized and Crimp to circuit board while heating. In the resin sheet of the present embodiment, a method of laminating on a circuit board under reduced pressure by a vacuum laminating method is suitably used.

ラミネート条件としては、特に限定されず、例えば、圧着温度(ラミネート温度)を好ましくは50℃〜140℃とし、圧着圧力を好ましくは1kgf/cm2〜15kgf/cm2、圧着時間を好ましくは5秒間〜300秒間とし、空気圧を20mmHg以下とする減圧下でラミネートするのが好ましい。また、ラミネート工程は、バッチ式であってもロールを用いる連続式であってもよい。真空ラミネート法は、市販の真空ラミネーターを使用して行うことができる。市販の真空ラミネーターとしては、例えば、ニッコー・マテリアルズ(株)製2ステージビルドアップラミネーター等を挙げることができる。 Lamination conditions are not particularly limited. For example, the pressure bonding temperature (laminating temperature) is preferably 50 ° C. to 140 ° C., the pressure bonding pressure is preferably 1 kgf / cm 2 to 15 kgf / cm 2 , and the pressure bonding time is preferably 5 seconds. Lamination is preferably performed under a reduced pressure of ˜300 seconds and an air pressure of 20 mmHg or less. The laminating step may be a batch type or a continuous type using a roll. The vacuum laminating method can be performed using a commercially available vacuum laminator. As a commercially available vacuum laminator, for example, a 2-stage build-up laminator manufactured by Nikko Materials Co., Ltd. can be exemplified.

(露光工程)
ラミネート工程により、回路基板上に樹脂シートが設けられた後、樹脂組成物層の所定部分に活性エネルギー線を照射し、照射部の樹脂組成物層を硬化させる露光工程を行う。活性エネルギー線の照射は、マスクパターンを通してもよいし、活性エネルギー線を直接照射する直接描画法を用いてもよい。活性エネルギー線としては、例えば、紫外線、可視光線、電子線、X線等が挙げられ、特に紫外線が好ましい。紫外線の照射量は概ね10mJ/cm2〜1000mJ/cm2である。マスクパターンを通す露光方法には、マスクパターンをプリント配線板に密着させて行う接触露光法と、密着させずに平行光線を使用して露光する非接触露光法とがあり、いずれの露光法を用いてもかまわない。また、樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、支持体上から露光してもよいし、支持体を剥離後に露光してもよい。
(Exposure process)
After the resin sheet is provided on the circuit board by the laminating process, an exposure process is performed in which a predetermined portion of the resin composition layer is irradiated with active energy rays to cure the resin composition layer of the irradiated portion. The active energy rays may be irradiated through a mask pattern or a direct drawing method in which the active energy rays are directly irradiated. Examples of active energy rays include ultraviolet rays, visible rays, electron beams, X-rays and the like, and ultraviolet rays are particularly preferable. The dose of ultraviolet rays is approximately 10mJ / cm 2 ~1000mJ / cm 2 . There are two methods for exposing the mask pattern: a contact exposure method in which the mask pattern is brought into close contact with the printed wiring board, and a non-contact exposure method in which exposure is carried out using parallel light rays without being brought into close contact. You can use it. Moreover, when the support body exists on the resin composition layer, you may expose from a support body and you may expose after a support body peels.

(現像工程)
露光工程後、樹脂組成物層上に支持体が存在している場合には、その支持体を除去した後、ウェット現像により、光硬化されていない部分(未露光部)を除去して現像することにより、絶縁層のパターンを形成することができる。
(Development process)
After the exposure step, if a support is present on the resin composition layer, the support is removed, and then the portion that has not been photocured (unexposed portion) is removed and developed by wet development. Thus, the pattern of the insulating layer can be formed.

上記ウェット現像の場合、現像液としては、未露光部分を選択的に溶出するものであれば、特に限定されず、例えば、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液が用いられる。本実施形態においては、特にアルカリ性水溶液を用いることが好ましい。これらの現像液は、1種を単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。また、現像方法も特に限定されず、例えば、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法で行うことができる。   In the case of the wet development, the developer is not particularly limited as long as it selectively elutes an unexposed portion, and for example, a developer such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, or an organic solvent is used. In the present embodiment, it is particularly preferable to use an alkaline aqueous solution. These developers can be used alone or in combination of two or more. Further, the developing method is not particularly limited, and for example, it can be performed by a known method such as spraying, rocking dipping, brushing, scraping or the like.

現像液として使用されるアルカリ水溶液としては、特に限定されず、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、リン酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、4−ホウ酸ナトリウム、アンモニア、アミン類等が挙げられる。   The alkaline aqueous solution used as the developer is not particularly limited, and examples thereof include potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, sodium phosphate, sodium silicate, sodium 4-borate, ammonia, and amines. Etc.

上記アルカリ水溶液の濃度は、現像液全量に対して0.1質量%〜60質量%であることが好ましい。また、アルカリ水溶液の温度は、現像性にあわせて調節することができる。さらに、これらのアルカリ水溶液は、1種を単独で又は2種類以上を組み合わせて用いることができる。   The concentration of the alkaline aqueous solution is preferably 0.1% by mass to 60% by mass with respect to the total amount of the developer. Moreover, the temperature of aqueous alkali solution can be adjusted according to developability. Furthermore, these alkaline aqueous solutions can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.

本実施形態のパターン形成においては、必要に応じて、上述した2種類以上の現像方法を併用してもよい。現像の方式には、ディップ方式、パドル方式、スプレー方式、高圧スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等があり、高圧スプレー方式が解像度向上のためには好適である。スプレー方式を採用する場合のスプレー圧としては、0.02MPa〜0.5MPaが好ましい。   In the pattern formation of this embodiment, two or more kinds of development methods described above may be used in combination as necessary. Development methods include a dip method, a paddle method, a spray method, a high-pressure spray method, brushing, and slapping, and the high-pressure spray method is suitable for improving the resolution. As a spray pressure in the case of adopting the spray method, 0.02 MPa to 0.5 MPa is preferable.

(ポストベーク工程)
上記現像工程終了後、ポストベーク工程を行い、絶縁層(硬化物)を形成する。ポストベーク工程としては、高圧水銀ランプによる紫外線照射工程やクリーンオーブンを用いた加熱工程等が挙げられ、これらを併用することも可能である。紫外線を照射させる場合には、必要に応じてその照射量を調整することができ、例えば0.05J/cm2〜10J/cm2程度の照射量で照射を行うことができる。また、加熱の条件は、樹脂組成物中の樹脂成分の種類、含有量等に応じて適宜選択することができ、好ましくは150℃〜220℃で20分間〜180分間の範囲、より好ましくは160℃〜200℃で30分間〜150分間の範囲で選択される。
(Post bake process)
After the development step, a post-bake step is performed to form an insulating layer (cured product). Examples of the post-bake process include an ultraviolet irradiation process using a high-pressure mercury lamp and a heating process using a clean oven, and these can be used in combination. In the case of irradiating ultraviolet rays, the irradiation amount can be adjusted as necessary. For example, irradiation can be performed at an irradiation amount of about 0.05 J / cm 2 to 10 J / cm 2 . The heating conditions can be appropriately selected according to the type, content, etc. of the resin component in the resin composition, preferably at 150 to 220 ° C. for 20 to 180 minutes, more preferably 160. It is selected in the range of 30 ° C. to 150 ° C. at 30 ° C. to 200 ° C.

絶縁層表面に導体層がある場合、穴の壁面に内層回路と外層回路用の金属箔とを導通させるめっき金属皮膜を形成し、さらに、外層回路用の金属箔にエッチング処理を施して外層回路を形成することにより、プリント配線板が製造される。   When there is a conductor layer on the surface of the insulating layer, a plated metal film is formed on the wall surface of the hole to connect the inner layer circuit and the metal foil for the outer layer circuit, and the outer layer circuit is etched by applying an etching treatment to the metal foil for the outer layer circuit. By forming the printed wiring board, a printed wiring board is manufactured.

絶縁層表面に導体層がない場合、次に、乾式めっき又は湿式めっきによりや絶縁層表面に導体層を形成する。乾式めっきとしては、蒸着法、スパッタリング法、イオンプレーティング法等の公知の方法を使用することができる。蒸着法(真空蒸着法)は、例えば、支持体を真空容器内に入れ、金属を加熱蒸発させることにより絶縁層上に金属膜形成を行うことができる。スパッタリング法も、例えば、支持体を真空容器内に入れ、アルゴン等の不活性ガスを導入し、直流電圧を印加して、イオン化した不活性ガスをターゲット金属に衝突させ、叩き出された金属により絶縁層上に金属膜形成を行うことができる。   If there is no conductor layer on the surface of the insulating layer, a conductor layer is then formed on the surface of the insulating layer by dry plating or wet plating. As the dry plating, known methods such as vapor deposition, sputtering, and ion plating can be used. In the vapor deposition method (vacuum vapor deposition method), for example, a metal film can be formed on the insulating layer by placing the support in a vacuum vessel and evaporating the metal by heating. In the sputtering method, for example, the support is placed in a vacuum vessel, an inert gas such as argon is introduced, a direct current voltage is applied, the ionized inert gas is made to collide with the target metal, and the struck metal is used. A metal film can be formed on the insulating layer.

湿式めっきの場合は、形成された絶縁層の表面に対して、膨潤液による膨潤処理、酸化剤による粗化処理及び中和液による中和処理をこの順に行うことによって絶縁層表面を粗化する。膨潤液による膨潤処理は、絶縁層を50℃〜80℃で1分間〜20分間膨潤液に浸漬させることで行われる。膨潤液としては、アルカリ溶液が挙げられ、該アルカリ溶液としては、水酸化ナトリウム溶液、水酸化カリウム溶液等が挙げられる。市販されている膨潤液としては、例えば、上村工業(株)製のアップデスMDS−37等を挙げることができる。   In the case of wet plating, the surface of the insulating layer is roughened by performing swelling treatment with a swelling liquid, roughening treatment with an oxidizing agent, and neutralization treatment with a neutralizing liquid in this order. . The swelling treatment with the swelling liquid is performed by immersing the insulating layer in the swelling liquid at 50 ° C. to 80 ° C. for 1 minute to 20 minutes. Examples of the swelling liquid include an alkaline solution, and examples of the alkaline solution include a sodium hydroxide solution and a potassium hydroxide solution. Examples of commercially available swelling liquids include Updes MDS-37 manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd.

酸化剤による粗化処理は、絶縁層を60℃〜80℃で5分間〜30分間酸化剤溶液に浸漬させることで行われる。酸化剤としては、例えば、水酸化ナトリウムの水溶液に過マンガン酸カリウムや過マンガン酸ナトリウムを溶解したアルカリ性過マンガン酸溶液、重クロム酸塩、オゾン、過酸化水素/硫酸、硝酸等を挙げることができる。また、アルカリ性過マンガン酸溶液における過マンガン酸塩の濃度は5質量%〜10質量%とするのが好ましい。市販されている酸化剤としては、例えば、上村工業(株)製アップデスMDE−40、アップデスELC−SH等のアルカリ性過マンガン酸溶液が挙げられる。中和液による中和処理は、30℃〜50℃で1分間〜10分間中和液に浸漬させることで行われる。中和液としては、酸性の水溶液が好ましく、市販品としては、上村工業(株)製のアップデスMDN−62が挙げられる。   The roughening treatment with the oxidizing agent is performed by immersing the insulating layer in the oxidizing agent solution at 60 ° C. to 80 ° C. for 5 to 30 minutes. Examples of the oxidizing agent include alkaline permanganate solution in which potassium permanganate and sodium permanganate are dissolved in an aqueous solution of sodium hydroxide, dichromate, ozone, hydrogen peroxide / sulfuric acid, nitric acid and the like. it can. Moreover, it is preferable that the density | concentration of the permanganate in an alkaline permanganic acid solution shall be 5 mass%-10 mass%. Examples of commercially available oxidizing agents include alkaline permanganate solutions such as Updes MDE-40 and Updes ELC-SH manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd. The neutralization treatment with the neutralizing solution is performed by immersing in the neutralizing solution at 30 ° C. to 50 ° C. for 1 minute to 10 minutes. As the neutralizing solution, an acidic aqueous solution is preferable, and as a commercial product, Updes MDN-62 manufactured by Uemura Kogyo Co., Ltd. may be mentioned.

次いで、無電解めっきと電解めっきとを組み合わせて導体層を形成する。また導体層とは逆パターンのメッキレジストを形成し、無電解めっきのみで導体層を形成することもできる。その後のパターン形成の方法として、例えば、サブトラクティブ法、セミアディティブ法等を用いることができる。   Next, a conductor layer is formed by combining electroless plating and electrolytic plating. Alternatively, a plating resist having a pattern opposite to that of the conductor layer can be formed, and the conductor layer can be formed only by electroless plating. As a pattern formation method thereafter, for example, a subtractive method, a semi-additive method, or the like can be used.

<半導体装置>
本実施形態の半導体装置は、本実施形態の樹脂組成物を含有する層間絶縁層を備え、具体的には、例えば、以下の方法により製造することができる。すなわち、本実施形態の多層プリント配線板の導通箇所に、半導体チップを実装することにより半導体装置を製造することができる。ここで、導通箇所とは、多層プリント配線板における電気信号を伝える箇所のことであって、その場所は表面であっても、埋め込まれた箇所であってもいずれでも構わない。また、半導体チップは半導体を材料とする電気回路素子であれば特に限定されない。
<Semiconductor device>
The semiconductor device of the present embodiment includes an interlayer insulating layer containing the resin composition of the present embodiment, and specifically can be manufactured by the following method, for example. That is, a semiconductor device can be manufactured by mounting a semiconductor chip at a conduction point of the multilayer printed wiring board of the present embodiment. Here, the conduction location is a location for transmitting an electrical signal in the multilayer printed wiring board, and the location may be the surface or an embedded location. The semiconductor chip is not particularly limited as long as it is an electric circuit element made of a semiconductor.

本実施形態の半導体装置を製造する際の半導体チップの実装方法は、半導体チップが有効に機能しさえすれば、特に限定されず、具体的には、ワイヤボンディング実装方法、フリップチップ実装方法、バンプなしビルドアップ層(BBUL)による実装方法、異方性導電フィルム(ACF)による実装方法、非導電性フィルム(NCF)による実装方法等が挙げられる。   The semiconductor chip mounting method for manufacturing the semiconductor device of the present embodiment is not particularly limited as long as the semiconductor chip functions effectively. Specifically, a wire bonding mounting method, a flip chip mounting method, a bump Examples include a mounting method using a none buildup layer (BBUL), a mounting method using an anisotropic conductive film (ACF), and a mounting method using a non-conductive film (NCF).

また、本実施形態の樹脂シートを半導体チップにラミネートすることによっても、半導体装置を製造することができる。ラミネート後は前述の多層プリント配線板と同様の方法を用いて製造することができる。   Moreover, a semiconductor device can also be manufactured by laminating the resin sheet of this embodiment on a semiconductor chip. After lamination, it can be produced by using the same method as the above multilayer printed wiring board.

以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例に何ら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

〔合成例1〕ナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(SNCN)の合成
1−ナフトールアラルキル樹脂(新日鉄住金化学株式会社製)300g(OH基換算1.28mol)及びトリエチルアミン194.6g(1.92mol)(ヒドロキシ基1molに対して1.5mol)をジクロロメタン1800gに溶解させ、これを溶液1とした。
[Synthesis Example 1] Synthesis of naphthol aralkyl-type cyanate ester compound (SNCN) 1-naphthol aralkyl resin (manufactured by Nippon Steel & Sumikin Chemical Co., Ltd.) 300 g (OH group equivalent 1.28 mol) and triethylamine 194.6 g (1.92 mol) ( 1.5 mol) with respect to 1 mol of a hydroxy group was dissolved in 1800 g of dichloromethane.

一方、塩化シアン125.9g(2.05mol)(ヒドロキシ基1molに対して1.6mol)、ジクロロメタン293.8g、36%塩酸194.5g(1.92mol)(ヒドロキシ基1molに対して1.5mol)、水1205.9gを、混合し、溶液2とした。溶液2を撹拌下、液温−2〜−0.5℃に保ちながら、溶液2に対して溶液1を30分かけて注下した。溶液1注下終了後、同温度にて30分撹拌した後、トリエチルアミン65g(0.64mol)(ヒドロキシ基1molに対して0.5mol)をジクロロメタン65gに溶解させた溶液(溶液3)を10分かけて溶液2に対して注下した。溶液3注下終了後、同温度にて30分撹拌して反応を完結させた。   On the other hand, 125.9 g (2.05 mol) of cyanogen chloride (1.6 mol with respect to 1 mol of hydroxy group), 293.8 g of dichloromethane, 194.5 g (1.92 mol) of 36% hydrochloric acid (1.5 mol with respect to 1 mol of hydroxy group) ) And 1205.9 g of water were mixed to prepare Solution 2. While maintaining the solution 2 at a liquid temperature of −2 to −0.5 ° C. with stirring, the solution 1 was poured into the solution 2 over 30 minutes. After the completion of pouring the solution 1, the solution was stirred at the same temperature for 30 minutes, and then a solution (solution 3) in which 65 g (0.64 mol) of triethylamine (0.5 mol with respect to 1 mol of hydroxy group) was dissolved in 65 g of dichloromethane was added for 10 minutes. Over time, it was poured into solution 2. After the completion of 3 solutions, the reaction was completed by stirring at the same temperature for 30 minutes.

その後、反応液を静置して有機相と水相を分離した。得られた有機相を水1300gで5回洗浄した。水洗5回目の廃水の電気伝導度は5μS/cmであり、水による洗浄により、除けるイオン性化合物は十分に除けられたことを確認した。   Thereafter, the reaction solution was allowed to stand to separate the organic phase and the aqueous phase. The organic phase obtained was washed 5 times with 1300 g of water. The electric conductivity of the waste water in the fifth washing with water was 5 μS / cm, and it was confirmed that the ionic compounds that could be removed were sufficiently removed by washing with water.

水洗後の有機相を減圧下で濃縮し、最終的に90℃で1時間濃縮乾固させて、目的とするナフトールアラルキル型のシアン酸エステル化合物(SNCN)(橙色粘性物)を331g得た。得られたSNCNの質量平均分子量Mwは600であった。また、SNCNのIRスペクトルは2250cm-1(シアン酸エステル基)の吸収を示し、かつ、ヒドロキシ基の吸収は示さなかった。 The organic phase after washing with water was concentrated under reduced pressure and finally dried at 90 ° C. for 1 hour to obtain 331 g of the desired naphthol aralkyl-type cyanate ester compound (SNCN) (orange viscous product). The obtained SNCN had a mass average molecular weight Mw of 600. Further, the IR spectrum of SNCN showed an absorption of 2250 cm −1 (cyanate ester group) and no absorption of a hydroxy group.

(実施例1)
エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)として、上記式(1)で表されるTrisP−PA型エポキシアクリレート化合物のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)を50.4質量部、光硬化開始剤であるホスフィンオキシド化合物(B)として、上記式(5)で表されるフェニルビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)ホスフィンオキシド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)6.5質量部、マレイミド化合物(C)として、マレイミド化合物(BMI−2300、大和化成工業(株)製、マレイミド当量:186g/eq.)3.3質量部、充填材(D)として、エポキシシラン処理シリカのMEKスラリー(SC2050MB、メジアン径0.5μm、不揮発分70質量%、(株)アドマテックス製)50質量部、エチレン性不飽和基を有する化合物(E)として、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA、日本化薬(株)製)17.4質量部、及び、化合物(F)であるエポキシ樹脂として、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂(XD−1000、日本化薬(株)製、エポキシ当量:240g/eq.〜260g/eq.)22.4質量部を配合し、超音波ホモジナイザーで攪拌してワニス(樹脂組成物の溶液)を得た。なお、KAYARAD(登録商標)ZCR−6007Hは、上記化合物(A1)及び上記化合物(A2)〜(A5)のいずれか一種以上を含む混合物である。
Example 1
As an epoxy (meth) acrylate compound (A), a TrisP-PA type epoxy acrylate compound represented by the above formula (1) in a propylene glycol monomethyl ether acetate (PGMEA) solution (KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H, non-volatile As a phosphine oxide compound (B) as a photocuring initiator, 50.4 parts by mass of 65% by mass, acid value: 70 mg KOH / g, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., and represented by the above formula (5) 6.5 parts by mass of phenylbis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phosphine oxide (Irgacure (registered trademark) 819, manufactured by BASF Japan Ltd.), maleimide compound (BMI-2300, Yamato) as maleimide compound (C) 2. Kasei Kogyo Co., Ltd., maleimide equivalent: 186 g / eq.) As a mass part and a filler (D), it has MEK slurry of epoxysilane-treated silica (SC2050MB, median diameter 0.5 μm, nonvolatile content 70% by mass, manufactured by Admatex Co., Ltd.) 50 parts by mass, and an ethylenically unsaturated group As compound (E), 17.4 parts by mass of dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and as epoxy resin as compound (F), dicyclopentadiene novolac type epoxy resin (XD- 1000, Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent: 240 g / eq. To 260 g / eq.) 22.4 parts by mass were mixed and stirred with an ultrasonic homogenizer to obtain a varnish (resin composition solution). . KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H is a mixture containing at least one of the above compound (A1) and the above compounds (A2) to (A5).

(実施例2)
化合物(F)であるエポキシ樹脂として、ジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂(XD−1000、日本化薬(株)製、エポキシ当量:240g/eq.〜260g/eq.)に代えて、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂(NC3000L、日本化薬(株)製、エポキシ当量:260g/eq.〜290g/eq.)22.4質量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にしてワニスを得た。
(Example 2)
As an epoxy resin which is a compound (F), it replaces with a dicyclopentadiene novolak-type epoxy resin (XD-1000, Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent: 240g / eq.-260g / eq.), And is a biphenyl aralkyl type. Varnish was obtained in the same manner as in Example 1 except that 22.4 parts by mass of epoxy resin (NC3000L, Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent: 260 g / eq. To 290 g / eq.) Was used.

(実施例3)
化合物(F)であるエポキシ樹脂としてのジシクロペンタジエンノボラック型エポキシ樹脂(XD−1000、日本化薬(株)製、エポキシ当量:240g/eq.〜260g/eq.)を21.9質量部とし、化合物(F)であるシアン酸エステル化合物として、合成例1のナフトールアラルキル型シアン酸エステル化合物(SNCN、シアネート当量:261g/eq.)0.5質量部を更に配合したこと以外は、実施例1と同様にしてワニスを得た。
(Example 3)
The dicyclopentadiene novolac type epoxy resin (XD-1000, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd., epoxy equivalent: 240 g / eq. To 260 g / eq.) As the epoxy resin which is the compound (F) is 21.9 parts by mass. Examples, except that 0.5 part by mass of the naphthol aralkyl cyanate ester compound (SNCN, cyanate equivalent: 261 g / eq.) Of Synthesis Example 1 was further blended as the cyanate ester compound which is compound (F). A varnish was obtained in the same manner as in 1.

(比較例1)
光硬化開始剤であるホスフィンオキシド化合物(B)としての上記式(5)で表されるフェニルビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)ホスフィンオキシド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)に代えて、光硬化開始剤として、下記式(9)で表される2−ベンジル−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1(Irgacure(登録商標)369、BASFジャパン(株)製)6.5質量部を配合したこと以外は、実施例1と同様にしてワニスを得た。
(Comparative Example 1)
Phenylbis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phosphine oxide represented by the above formula (5) as a phosphine oxide compound (B) which is a photocuring initiator (Irgacure (registered trademark) 819, BASF Japan Ltd.) Instead of 2-benzyl-2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1 (Irgacure (registered trademark) represented by the following formula (9): 369, manufactured by BASF Japan Ltd.) A varnish was obtained in the same manner as in Example 1 except that 6.5 parts by mass was blended.

(比較例2)
光硬化開始剤であるホスフィンオキシド化合物(B)としての上記式(5)で表されるフェニルビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)ホスフィンオキシド(Irgacure(登録商標)819、BASFジャパン(株)製)に代えて、光硬化開始剤として、上記式(9)で表される2−ベンジル−2−(ジメチルアミノ)−1−(4−モルフォリノフェニル)−1−ブタノン(Irgacure(登録商標)369、BASFジャパン(株)製)6.5質量部を配合したこと以外は、実施例2と同様にしてワニスを得た。
(Comparative Example 2)
Phenylbis (2,4,6-trimethylbenzoyl) phosphine oxide represented by the above formula (5) as a phosphine oxide compound (B) which is a photocuring initiator (Irgacure (registered trademark) 819, BASF Japan Ltd.) Instead of 2-benzyl-2- (dimethylamino) -1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone (Irgacure (registered trademark)) represented by the above formula (9) as a photocuring initiator. 369, manufactured by BASF Japan Ltd.) A varnish was obtained in the same manner as in Example 2 except that 6.5 parts by mass was blended.

(比較例3)
エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)としての上記式(1)で表されるTrisP−PA型エポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZCR−6007H、不揮発分65質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)に代えて、エチレン性不飽和基を有する化合物(E)として、酸変性ビスフェノールF型エポキシアクリレート化合物のPGMEA溶液(KAYARAD(登録商標)ZFR−1553H、不揮発分68質量%、酸価:70mgKOH/g、日本化薬(株)製)50.4質量部を配合したこと以外は、実施例1と同様にしてワニスを得た。
(Comparative Example 3)
PGMEA solution of the TrisP-PA type epoxy acrylate compound represented by the above formula (1) as the epoxy (meth) acrylic ester compound (A) (KAYARAD (registered trademark) ZCR-6007H, non-volatile content 65% by mass, acid value : 70 mg KOH / g, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) As a compound (E) having an ethylenically unsaturated group, a PGMEA solution of an acid-modified bisphenol F type epoxy acrylate compound (KAYARAD (registered trademark) ZFR-1553H) A varnish was obtained in the same manner as in Example 1 except that 50.4 parts by mass of non-volatile content 68% by mass, acid value: 70 mg KOH / g, manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.).

(樹脂シートの作製)
実施例1〜3及び比較例1〜3で得たワニスを、それぞれ、厚さ38μmのPETフィルム(ユニピールTR1−38、ユニチカ(株)製、商品名)上に塗布し、80℃で7分間加熱乾燥して、PETフィルムを支持体とし樹脂組成物層の厚さが40μmである樹脂シートを得た。
(Production of resin sheet)
The varnishes obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 were each applied onto a PET film (Unipeel TR1-38, manufactured by Unitika Ltd., product name) having a thickness of 38 μm for 7 minutes at 80 ° C. It heat-dried and obtained the resin sheet which uses PET film as a support body and the thickness of the resin composition layer is 40 micrometers.

(内層回路基板の作製)
内層回路を形成したガラス布基材BT樹脂両面銅張積層板(銅箔厚さ18μm、厚み0.2mm、三菱ガス化学(株)製CCL−HL832NS)の両面をメック(株)製CZ8100にて銅表面の粗化処理を行い、内層回路基板を得た。
(Production of inner layer circuit board)
Glass cloth base material BT resin double-sided copper-clad laminate (copper foil thickness 18 μm, thickness 0.2 mm, Mitsubishi Gas Chemical Co., Ltd. CCL-HL832NS) on which inner layer circuit is formed is CZ8100 manufactured by MEC Co., Ltd. A copper surface was roughened to obtain an inner layer circuit board.

(評価用積層体の作製)
上記樹脂シートの樹脂面を内層回路基板上に配置し、真空ラミネーター(ニッコー・マテリアルズ(株)製)を用いて、30秒間の真空引き(5.0MPa以下)を行った後、圧力10kgf/cm2、温度70℃で30秒間の積層成形を行った。さらに、圧力10kgf/cm2、温度70℃で60秒間の積層成形を行うことで内層回路基板と樹脂組成物層と支持体が積層された積層体を得た。得られた積層体に200mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、支持体を剥離して、1質量%の炭酸ナトリウム水溶液で現像し、さらに、1000mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、180℃、120分間加熱処理するポストベーク工程を施したものを評価用積層体とした。
(Preparation of evaluation laminate)
The resin surface of the resin sheet was placed on the inner layer circuit board, and after evacuating for 30 seconds (5.0 MPa or less) using a vacuum laminator (Nikko Materials Co., Ltd.), a pressure of 10 kgf / Lamination was performed at cm 2 and a temperature of 70 ° C. for 30 seconds. Furthermore, a laminate in which the inner circuit board, the resin composition layer, and the support were laminated was obtained by performing lamination molding at a pressure of 10 kgf / cm 2 and a temperature of 70 ° C. for 60 seconds. The obtained laminate is subjected to an exposure step of irradiating with 200 mJ / cm 2 of ultraviolet rays, the support is peeled off, developed with a 1% by mass aqueous sodium carbonate solution, and further exposed to 1000 mJ / cm 2 of ultraviolet rays. The laminated body for evaluation was subjected to the post-baking process in which the step was performed and the heat treatment was performed at 180 ° C. for 120 minutes.

(評価用硬化物の作製)
上記樹脂シートに200mJ/cm2の紫外線を照射し、さらに、1000mJ/cm2の紫外線を照射する露光工程を施し、180℃、120分間加熱処理するポストベーク工程を施した後、支持体を剥離して、評価用硬化物とした。
(Production of cured product for evaluation)
The resin sheet is irradiated with 200 mJ / cm 2 of ultraviolet light, further subjected to an exposure process of irradiating 1000 mJ / cm 2 of ultraviolet light, and subjected to a post-baking process of heat treatment at 180 ° C. for 120 minutes, and then the support is peeled off. Thus, a cured product for evaluation was obtained.

〔特性測定評価〕
実施例1〜3及び比較例1〜3で得たワニスを用いて作製した上記の各樹脂シート、各評価用積層体及び各評価用硬化物の諸特性を、以下の方法により測定評価した。結果をまとめて表1に示す。
[Characteristic measurement evaluation]
Various characteristics of each resin sheet, each evaluation laminate and each evaluation cured product prepared using the varnishes obtained in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 were measured and evaluated by the following methods. The results are summarized in Table 1.

<塗膜性>
各樹脂シートの樹脂表面に測定者の指を軽く押し付け、指に対する張り付き程度を以下の基準で評価した。
○:指に対する張り付きがほとんど認められない。
×:指に対する張り付きが認められる。
<Coating properties>
The measurer's finger was lightly pressed against the resin surface of each resin sheet, and the degree of sticking to the finger was evaluated according to the following criteria.
○: Sticking to the finger is hardly recognized.
X: Sticking to the finger is recognized.

<現像性>
各評価用積層体の現像面を目視で観察した後、SEMにて観察(倍率1000倍)し、残渣の有無を以下の基準で評価した。
○:30mm角の範囲に現像残渣はなく、現像性が優れている。
×:30mm角の範囲に現像残渣があり、現像性が劣っている。
<Developability>
After visually observing the development surface of each evaluation laminate, it was observed with a SEM (magnification 1000 times), and the presence or absence of a residue was evaluated according to the following criteria.
○: There is no development residue in the range of 30 mm square, and the developability is excellent.
X: There is a development residue in the range of 30 mm square, and the developability is inferior.

<耐熱性(ガラス転移温度(Tg))>
各評価用硬化物をDMA装置(TAインスツルメント社製動的粘弾性測定装置DMAQ800)を用いて10℃/分で昇温し、LossModulusのピーク位置をガラス転移温度(Tg)とした。
<Heat resistance (glass transition temperature (Tg))>
Each cured product for evaluation was heated at 10 ° C./min using a DMA device (Dynamic Viscoelasticity Measuring Device DMAQ800 manufactured by TA Instruments), and the peak position of Loss Modulus was defined as the glass transition temperature (Tg).

<めっき密着性>
各評価用硬化物に対し、以下の湿式粗化処理及び導体層めっき処理を行い、めっき密着性評価用試料を作製した。すなわち、まず、各評価用硬化物に、上村工業製の無電解銅めっきプロセス(使用薬液名:MCD−PL、MDP−2、MAT−SP、MAB−4−C、MEL−3−APEA ver.2)を用いて、約0.8μmの無電解銅めっきを施し、130℃で1時間の乾燥を行った。続いて、電解銅めっきをめっき銅の厚みが18μmになるように施し、180℃で1時間の乾燥を行った。こうして、絶縁層上に厚さ18μmの導体層(めっき銅)が形成されためっき密着性評価用試料を得た。次いで、各めっき密着性評価用試料について、めっき銅の接着力(銅箔引きはがし強さ)を、JIS C6481に準じて3回測定し、それらの平均値を求めた。なお、電解銅めっき後の乾燥において膨れためっき密着性評価用試料については、膨れていない部分を用いて測定を行った。
<Plating adhesion>
The cured product for evaluation was subjected to the following wet roughening treatment and conductor layer plating treatment to produce a plating adhesion evaluation sample. That is, first, an electroless copper plating process manufactured by Uemura Kogyo (names of chemical solutions used: MCD-PL, MDP-2, MAT-SP, MAB-4-C, MEL-3-APEA ver. 2), electroless copper plating of about 0.8 μm was applied and dried at 130 ° C. for 1 hour. Subsequently, electrolytic copper plating was performed so that the thickness of the plated copper was 18 μm, and drying was performed at 180 ° C. for 1 hour. Thus, a plating adhesion evaluation sample in which a conductor layer (plated copper) having a thickness of 18 μm was formed on the insulating layer was obtained. Next, for each of the plating adhesion evaluation samples, the adhesive strength (copper foil peeling strength) of the plated copper was measured three times according to JIS C6481, and the average value thereof was determined. In addition, about the sample for plating adhesion evaluation swollen in the drying after electrolytic copper plating, it measured using the part which is not swollen.

表1から明らかなとおり、実施例1〜3は、十分な塗膜性及び現像性を有し、かつ、耐熱性及びめっき密着性にも優れている。これに対し、比較例1〜3は、いずれも実施例1〜3に比して耐熱性に劣っており、さらに、比較例3は、めっき密着性が不十分であることが判明した。従って、本発明によれば、十分な塗膜性及び現像性を有しつつ、耐熱性及びめっき密着性を改善することができる樹脂組成物、それを用いた樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置を得ることができる。   As is clear from Table 1, Examples 1 to 3 have sufficient coating properties and developability, and are excellent in heat resistance and plating adhesion. On the other hand, Comparative Examples 1 to 3 were all inferior in heat resistance as compared to Examples 1 to 3, and Comparative Example 3 was found to have insufficient plating adhesion. Therefore, according to the present invention, a resin composition capable of improving heat resistance and plating adhesion while having sufficient coating properties and developability, a resin sheet using the same, a printed wiring board, and a semiconductor device Can be obtained.

本実施形態の樹脂組成物は、樹脂シート、プリント配線板及び半導体装置の材料として産業上の利用可能性を有する。   The resin composition of this embodiment has industrial applicability as a material for resin sheets, printed wiring boards, and semiconductor devices.

Claims (13)

下記式(1)で表されるエポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)と、
下記式(4)で表されるホスフィンオキシド化合物(B)と、
を含有する樹脂組成物。
(式(1)中、複数のR1は、各々独立に、水素原子又はメチル基を示し、複数のR2は、各々独立に、水素原子又はメチル基を示し、複数のR3は、各々独立に、下記式(2)で表される置換基、下記式(3)で表される置換基又はヒドロキシ基を示す。)
(式(3)中、R4は、水素原子又はメチル基を示す。)
(式(4)中、R5〜R10は、各々独立に、水素原子又は炭素数1〜4のアルキル基を示し、R11は、炭素数1〜20のアルキル基又は炭素数6〜20のアリール基を示す。)
An epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) represented by the following formula (1);
A phosphine oxide compound (B) represented by the following formula (4);
Containing a resin composition.
(In Formula (1), each of R 1 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, each of R 2 independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and each of R 3 represents Independently, a substituent represented by the following formula (2), a substituent represented by the following formula (3) or a hydroxy group is shown.
(In formula (3), R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group.)
(In Formula (4), R < 5 > -R < 10 > shows a hydrogen atom or a C1-C4 alkyl group each independently, and R < 11 > is a C1-C20 alkyl group or C6-C20. An aryl group of
前記ホスフィンオキシド化合物(B)が、下記式(5)で表される化合物である、
請求項1に記載の樹脂組成物。
The phosphine oxide compound (B) is a compound represented by the following formula (5).
The resin composition according to claim 1.
マレイミド化合物(C)を更に含有する、
請求項1又は2に記載の樹脂組成物。
Further containing a maleimide compound (C),
The resin composition according to claim 1 or 2.
充填材(D)を更に含有する、
請求項1〜3のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
Further containing a filler (D),
The resin composition as described in any one of Claims 1-3.
前記エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)以外のエチレン性不飽和基を有する化合物(E)を更に含有する、
請求項1〜4のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
Further containing a compound (E) having an ethylenically unsaturated group other than the epoxy (meth) acrylate compound (A),
The resin composition as described in any one of Claims 1-4.
エポキシ樹脂、シアン酸エステル化合物、フェノール樹脂、オキセタン樹脂、及びベンゾオキサジン化合物から選択される群のうち、いずれか1種以上の化合物(F)を更に含有する、
請求項1〜5のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
Further containing at least one compound (F) from the group selected from an epoxy resin, a cyanate ester compound, a phenol resin, an oxetane resin, and a benzoxazine compound,
The resin composition as described in any one of Claims 1-5.
前記エポキシ(メタ)アクリル酸エステル化合物(A)の酸価が、30〜120mgKOH/gである、
請求項1〜6のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
The acid value of the epoxy (meth) acrylic acid ester compound (A) is 30 to 120 mgKOH / g,
The resin composition as described in any one of Claims 1-6.
前記エチレン性不飽和基を有する化合物(E)が、(メタ)アクリロイル基を有する化合物及び/又はビニル基を有する化合物である、
請求項5〜7のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
The compound (E) having an ethylenically unsaturated group is a compound having a (meth) acryloyl group and / or a compound having a vinyl group.
The resin composition as described in any one of Claims 5-7.
前記充填材(D)が、シリカ、ベーマイト、硫酸バリウム、シリコーンパウダー、フッ素樹脂系充填材、ウレタン樹脂系充填材、アクリル樹脂系充填材、ポリエチレン系充填材、スチレン・ブタジエンゴム及びシリコーンゴムからなる群より選択されるいずれか1種以上である、
請求項4〜8のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
The filler (D) is made of silica, boehmite, barium sulfate, silicone powder, fluorine resin filler, urethane resin filler, acrylic resin filler, polyethylene filler, styrene / butadiene rubber and silicone rubber. Any one or more selected from the group,
The resin composition as described in any one of Claims 4-8.
熱硬化促進剤(G)を更に含有する、
請求項1〜9のいずれか一項に記載の樹脂組成物。
Further containing a thermosetting accelerator (G),
The resin composition as described in any one of Claims 1-9.
請求項1〜10のいずれか一項に記載の樹脂組成物を含有する樹脂シート。   The resin sheet containing the resin composition as described in any one of Claims 1-10. 請求項1〜10のいずれか一項に記載の樹脂組成物を含有するプリント配線板。   The printed wiring board containing the resin composition as described in any one of Claims 1-10. 請求項1〜10のいずれか一項に記載の樹脂組成物を含有する半導体装置。   The semiconductor device containing the resin composition as described in any one of Claims 1-10.
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