JP2018110266A - 基板上に材料を堆積させる材料堆積システムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2011年6月29日に出願され本発明の譲受人に譲渡された米国特許出願第13/135215号「Pulsed Air-Actuated Micro-Droplet on Demand Ink Jet」および2010年8月25日に出願され本発明の譲受人に譲渡された米国仮特許出願第61/376942号「Pulsed Air-Actuated Micro-Droplet on Demand Ink Jet」の関連出願であり、これらの米国特許出願および米国仮特許出願の優先権を主張する。これらの米国特許出願および米国仮特許出願は、本明細書に引用することにより、全ての目的において、その全体が本明細書の一部をなす。
ガントリによって可動な堆積ヘッドの下方に電子基板を位置決めし、前記堆積ヘッドのチャンバーに材料を供給し、前端にオリフィスを形成した前記堆積ヘッドのニードルを前記チャンバーから突出させ、前記堆積ヘッドのアクチュエーターによって前記チャンバーから材料を押し出し、前記ニードルオリフィスに所望体積の材料を形成し、前記ニードルオリフィスの向かい合う側に少なくとも2つのエアジェットを配置し、空気の調時パルスを生成して前記所望体積の材料から微小液滴を生成し、該微小液滴を高速に加速して、前記微小液滴を堆積させることとを含む。
12 電子基板
14 堆積ヘッド
18 コントローラー
20 フレーム
22 ベース
24 ガントリシステム
26 ディスプレイユニット
28 収集カップ
30 オリフィス出口
32 フレーム
34 キャビネット
36 堆積ヘッド
38 ガントリシステム
40 カバー
42 開口
44 周辺ステーション組立体
46 ビジョン検査システム
110 インクジェットシステム
120 ニードル
130 ニードルオリフィス出口
140 第1のエアジェット
150 第2のエアジェット
160 外側オリフィス
170 材料
170a 微小液滴
180 インク
1100 ピストンハウジング
1110 インクチャンバー
1120 ピストンハウジングオリフィス
1130 ピストン
2000 ニードル
2010 液体供給ニードル
2020 シート
2030 ノズル
2040 エアアシスト入口ポート
2050 面
2070 ポート
2080 流体入口ポート
2090 供給ニードル出口ポート
なお、本発明は以下の特徴を以って実施することができる。
[特徴1]
電子基板上に材料を堆積させる材料堆積システムにおいて、
フレームと、
前記フレームに結合され堆積作動中に電子基板を支持する支持体と、
前記フレームに結合されたガントリと、
前記ガントリに結合された堆積ヘッドとを具備し、
前記堆積ヘッドは前記ガントリの移動によって前記支持体上で移動可能で、かつ、
材料を保持するチャンバーと、
材料を前記チャンバーから押し出すように構成されているアクチュエーターと、
前記チャンバーから突出しているとともに、ニードルオリフィス内で終端するニードルと、
前記ニードルオリフィスの向かい合う側に配置されている少なくとも2つのエアジェットとを備え、
前記アクチュエーターに応答して、前記ニードルオリフィスに所望体積の材料が形成され、
前記少なくとも2つのエアジェットの各々が、空気の調時パルスを生成して、前記所望体積の材料から微小液滴を生成し、該微小液滴を高速に加速するようにした材料堆積システム。
[特徴2]
前記アクチュエーターによって前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成することに伴い、前記少なくとも2つのエアジェットからの前記空気の調時パルスを同期させる制御システムを更に備える特徴1に記載の材料堆積システム。
[特徴3]
前記制御システムは、前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成する前に、前記少なくとも2つのエアジェットを起動する特徴2に記載の材料堆積システム。
[特徴4]
前記制御システムは、前記微小液滴を生成した後に、前記少なくとも2つのエアジェットを停止する特徴3に記載の材料堆積システム。
[特徴5]
前記材料は低粘性材料および高粘性材料を含む特徴1に記載の材料堆積システム。
[特徴6]
前記微小液滴は、前記ニードルオリフィスに等しいか或いは前記ニードルオリフィスよりも小さい特徴5に記載の材料堆積システム。
[特徴7]
電子基板上に材料を堆積させる方法において、
ガントリによって可動な堆積ヘッドの下方に電子基板を位置決めし、
前記堆積ヘッドのチャンバーに材料を供給し、
先端にオリフィスを形成した前記堆積ヘッドのニードルを前記チャンバーから突出させ、
前記堆積ヘッドのアクチュエーターによって前記チャンバーから材料を押し出し、前記ニードルオリフィスに所望体積の材料を形成し、
前記ニードルオリフィスの向かい合う側に少なくとも2つのエアジェットを配置し、
空気の調時パルスを生成して前記所望体積の材料から微小液滴を生成し、該微小液滴を高速に加速して該微小液滴を堆積させることを含んで成る方法。
[特徴8]
前記アクチュエーターによって前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成することに伴い、前記少なくとも2つのエアジェットからの前記空気の調時パルスを制御システムで同期させることを更に含む特徴7に記載の方法。
[特徴9]
前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成する前に、前記少なくとも2つのエアジェットを起動することを更に含む特徴8に記載のシステム。
[特徴10]
前記微小液滴を生成した後に、前記少なくとも2つのエアジェットを停止することを更に含む特徴9に記載のシステム。
[特徴11]
前記材料は低粘性材料および高粘性材料を含む特徴7に記載の方法。
[特徴12]
前記微小液滴は前記ニードルオリフィスに等しいか或いは前記ニードルオリフィスよりも小さい特徴11に記載の方法。
[特徴13]
電子基板上に材料を堆積させる材料堆積システムにおいて、
フレームと、
前記フレームに結合され、堆積作動中に電子基板を支持する支持体と、
前記フレームに結合されたガントリと、
前記ガントリに結合された堆積ヘッドとを具備し、
前記堆積ヘッドは、前記ガントリの移動によって前記支持体上で可動で、かつ、
材料を保持するチャンバーと、
材料を前記チャンバーから押し出すように構成されているアクチュエーターと、
前記チャンバーから突出し先端にオリフィスが形成されたニードルであって、前記アクチュエーターに応答して、該ニードルのオリフィスに所望体積の材料が形成されるようにしたニードルと、
前記ニードルオリフィスの向かい合う側に配置され、空気の調時パルスを生成して、前記所望体積の材料から微小液滴を生成し、該微小液滴を高速に加速する手段とを含んで成る材料堆積システム。
[特徴14]
前記アクチュエーターによって前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成することに伴い、前記空気の調時パルスを同期させる制御システムを更に備える特徴13に記載の材料堆積システム。
[特徴15]
前記制御システムは、前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成する前に、少なくとも2つのエアジェットを起動する特徴14に記載の材料堆積システム。
[特徴16]
前記制御システムは、前記微小液滴を生成した後に、前記少なくとも2つのエアジェットを停止する特徴15に記載の材料堆積システム。
[特徴17]
前記材料は、低粘性材料および高粘性材料を含む特徴13の材料堆積システム。
[特徴18]
前記微小液滴は、前記ニードルオリフィスに等しいか或いは前記ニードルオリフィスよりも小さい特徴17に記載の材料堆積システム。
Claims (18)
- 電子基板上に材料を堆積させる材料堆積システムにおいて、
フレームと、
前記フレームに結合され堆積作動中に電子基板を支持する支持体と、
前記フレームに結合されたガントリと、
前記ガントリに結合された堆積ヘッドとを具備し、
前記堆積ヘッドは前記ガントリの移動によって前記支持体上で移動可能で、かつ、
材料を保持するチャンバーと、
材料を前記チャンバーから押し出すように構成されているアクチュエーターと、
前記チャンバーから突出しているとともに、ニードルオリフィス内で終端するニードルと、
前記ニードルオリフィスの向かい合う側に配置されている少なくとも2つのエアジェットとを備え、
前記アクチュエーターに応答して、前記ニードルオリフィスに所望体積の材料が形成され、
前記少なくとも2つのエアジェットの各々が、空気の調時パルスを生成して、前記所望体積の材料から微小液滴を生成し、該微小液滴を高速に加速するようにした材料堆積システム。 - 前記アクチュエーターによって前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成することに伴い、前記少なくとも2つのエアジェットからの前記空気の調時パルスを同期させる制御システムを更に備える請求項1に記載の材料堆積システム。
- 前記制御システムは、前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成する前に、前記少なくとも2つのエアジェットを起動する請求項2に記載の材料堆積システム。
- 前記制御システムは、前記微小液滴を生成した後に、前記少なくとも2つのエアジェットを停止する請求項3に記載の材料堆積システム。
- 前記材料は低粘性材料および高粘性材料を含む請求項1に記載の材料堆積システム。
- 前記微小液滴は、前記ニードルオリフィスに等しいか或いは前記ニードルオリフィスよりも小さい請求項5に記載の材料堆積システム。
- 電子基板上に材料を堆積させる方法において、
ガントリによって可動な堆積ヘッドの下方に電子基板を位置決めし、
前記堆積ヘッドのチャンバーに材料を供給し、
先端にオリフィスを形成した前記堆積ヘッドのニードルを前記チャンバーから突出させ、
前記堆積ヘッドのアクチュエーターによって前記チャンバーから材料を押し出し、前記ニードルオリフィスに所望体積の材料を形成し、
前記ニードルオリフィスの向かい合う側に少なくとも2つのエアジェットを配置し、
空気の調時パルスを生成して前記所望体積の材料から微小液滴を生成し、該微小液滴を高速に加速して該微小液滴を堆積させることを含んで成る方法。 - 前記アクチュエーターによって前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成することに伴い、前記少なくとも2つのエアジェットからの前記空気の調時パルスを制御システムで同期させることを更に含む請求項7に記載の方法。
- 前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成する前に、前記少なくとも2つのエアジェットを起動することを更に含む請求項8に記載のシステム。
- 前記微小液滴を生成した後に、前記少なくとも2つのエアジェットを停止することを更に含む請求項9に記載のシステム。
- 前記材料は低粘性材料および高粘性材料を含む請求項7に記載の方法。
- 前記微小液滴は前記ニードルオリフィスに等しいか或いは前記ニードルオリフィスよりも小さい請求項11に記載の方法。
- 電子基板上に材料を堆積させる材料堆積システムにおいて、
フレームと、
前記フレームに結合され、堆積作動中に電子基板を支持する支持体と、
前記フレームに結合されたガントリと、
前記ガントリに結合された堆積ヘッドとを具備し、
前記堆積ヘッドは、前記ガントリの移動によって前記支持体上で可動で、かつ、
材料を保持するチャンバーと、
材料を前記チャンバーから押し出すように構成されているアクチュエーターと、
前記チャンバーから突出し先端にオリフィスが形成されたニードルであって、前記アクチュエーターに応答して、該ニードルのオリフィスに所望体積の材料が形成されるようにしたニードルと、
前記ニードルオリフィスの向かい合う側に配置され、空気の調時パルスを生成して、前記所望体積の材料から微小液滴を生成し、該微小液滴を高速に加速する手段とを含んで成る材料堆積システム。 - 前記アクチュエーターによって前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成することに伴い、前記空気の調時パルスを同期させる制御システムを更に備える請求項13に記載の材料堆積システム。
- 前記制御システムは、前記ニードルオリフィスに前記所望体積の材料を形成する前に、少なくとも2つのエアジェットを起動する請求項14に記載の材料堆積システム。
- 前記制御システムは、前記微小液滴を生成した後に、前記少なくとも2つのエアジェットを停止する請求項15に記載の材料堆積システム。
- 前記材料は、低粘性材料および高粘性材料を含む請求項13の材料堆積システム。
- 前記微小液滴は、前記ニードルオリフィスに等しいか或いは前記ニードルオリフィスよりも小さい請求項17に記載の材料堆積システム。
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