JP2018106923A - Method of manufacturing heating member - Google Patents

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Isamu Maruyama
勇 丸山
淳洋 河野
Atsuhiro Kawano
淳洋 河野
高木 和典
Kazunori Takagi
和典 高木
可大 竹山
Yoshihiro Takeyama
可大 竹山
玲奈 飯沼
Reina Iinuma
玲奈 飯沼
祐子 松下
Yuko Matsushita
祐子 松下
真吾 仲市
Shingo Nakaichi
真吾 仲市
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a heating member, allowing for formation of a highly accurate metal pattern.SOLUTION: There is provide the method of manufacturing a heating member 10 for heating an object to be heated. The method includes the steps of (a1) forming a plating base pattern 14b on a base layer 12 or (a2) forming a mask pattern 26 on a plating base layer 24 formed on the base layer 12; and (b) performing plating after (a1) or (a2) thereby forming a metal pattern 14a on the plating base.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、加熱部材の製造方法に関し、さらに詳しくは、電子写真機器の定着工程において好適に用いられる加熱部材の製造方法に関するものである。   The present invention relates to a method for manufacturing a heating member, and more particularly to a method for manufacturing a heating member suitably used in a fixing process of an electrophotographic apparatus.

電子写真方式を採用する複写機、プリンター、ファクシミリなどの電子写真機器では、記録媒体(紙など)にトナー像を形成し、これを加熱部材(定着部材)で加熱・加圧して定着させることにより画像を形成している。この定着工程では、電子写真機器の消費電力の大半を占めている。このため、省エネルギーの観点から、加熱部材の改良が求められている。   In electrophotographic equipment such as copying machines, printers, and facsimiles that employ an electrophotographic system, a toner image is formed on a recording medium (such as paper), and this is heated and pressed by a heating member (fixing member) to be fixed. An image is formed. This fixing process accounts for most of the power consumption of electrophotographic equipment. For this reason, the improvement of a heating member is calculated | required from a viewpoint of energy saving.

例えば特許文献1では、従来、中空金属軸にヒーターを内蔵させこのヒーターを熱源として中空金属軸に周設された弾性材層の外周表面を昇温させていたのに対し、可撓性樹脂シートからなる筒状体の外周面あるいは内周面に通電発熱可能な金属パターンを形成したものを加熱用回転体として用いることで、定着装置のウォームアップ時間を短縮し、省エネルギー化を図ることを提案している。金属パターンは、金属を含む導電性ペーストを筒状体の外周面あるいは内周面に塗布することにより形成されている。   For example, in Patent Document 1, conventionally, a heater is incorporated in a hollow metal shaft and the outer peripheral surface of an elastic material layer provided around the hollow metal shaft is heated using this heater as a heat source. Proposal to shorten the warm-up time of the fixing device and save energy by using a rotating rotating body that has a metal pattern that can be heated and energized on the outer or inner surface of a cylindrical body made of doing. The metal pattern is formed by applying a conductive paste containing metal to the outer peripheral surface or inner peripheral surface of the cylindrical body.

特許第5544801号公報Japanese Patent No. 5544801

導電性ペーストを塗布して金属パターンを形成する方法では、細線部の精度に劣る。これにより、温度ムラが生じやすいという問題がある。   The method of applying a conductive paste to form a metal pattern is inferior in the precision of the thin line portion. As a result, there is a problem that temperature unevenness is likely to occur.

本発明が解決しようとする課題は、高精度の金属パターンを形成することが可能な加熱部材の製造方法を提供することにある。   The problem to be solved by the present invention is to provide a method for manufacturing a heating member capable of forming a highly accurate metal pattern.

上記課題を解決するため本発明に係る加熱部材の製造方法は、被加熱体を加熱するための加熱部材の製造方法であって、(a1)基層上にめっき下地パターンを形成する工程、または(a2)基層上に形成されためっき下地層上にマスクパターンを形成する工程と、(b)前記(a1)または(a2)の工程後にめっきを行って、めっき下地上に金属パターンを形成する工程と、を有することを要旨とするものである。   In order to solve the above-mentioned problems, a heating member manufacturing method according to the present invention is a heating member manufacturing method for heating an object to be heated, and (a1) a step of forming a plating base pattern on a base layer, or ( a2) a step of forming a mask pattern on the plating base layer formed on the base layer, and (b) a step of performing plating after the step (a1) or (a2) to form a metal pattern on the plating base. And having a gist.

前記めっき下地パターンは、基層上に形成されためっき下地層のレーザーマーキング加工、またはめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を用いたスクリーン印刷によって形成することが好ましい。前記めっき下地パターンは、基層上に形成されためっき下地層のレーザーマーキング加工によって形成することが好ましい。前記マスクパターンは、マスキング塗料の塗布によって形成することが好ましい。前記めっき下地は、めっき触媒およびバインダーを含む塗膜であることが好ましい。   The plating base pattern is preferably formed by laser marking of the plating base layer formed on the base layer, or screen printing using a plating base forming paint containing a plating catalyst and a binder. The plating base pattern is preferably formed by laser marking of the plating base layer formed on the base layer. The mask pattern is preferably formed by applying a masking paint. The plating base is preferably a coating film containing a plating catalyst and a binder.

本発明に係る加熱部材の製造方法によれば、基層上にめっき下地パターンを形成した後、あるいは、基層上に形成されためっき下地層上にマスクパターンを形成した後、めっきを行って、めっき下地上に金属パターンを形成することから、導電性ペーストの塗布により金属パターンを形成する従来よりもパターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。   According to the heating member manufacturing method of the present invention, after forming a plating base pattern on the base layer, or after forming a mask pattern on the plating base layer formed on the base layer, plating is performed. Since the metal pattern is formed on the ground, patterning accuracy is improved and temperature unevenness is improved as compared with the conventional method in which the metal pattern is formed by applying a conductive paste.

この際、基層上に形成されためっき下地層のレーザーマーキング加工によりめっき下地パターンを形成すると、より微細なパターニング形成を行うことができ、パターニング精度がより向上する。また、めっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を用いたスクリーン印刷によりめっき下地パターンを形成すると、より微細なパターニング形成を行うことができ、パターニング精度がより向上する。また、マスキング塗料の塗布によってマスクを形成すると、インクジェット塗工機を用いて行うことができるため、より微細なパターニング形成を行うことができ、パターニング精度がより向上する。   At this time, if the plating base pattern is formed by laser marking of the plating base layer formed on the base layer, finer patterning can be formed, and the patterning accuracy is further improved. In addition, when the plating base pattern is formed by screen printing using a plating base forming paint containing a plating catalyst and a binder, finer patterning can be formed, and the patterning accuracy is further improved. Further, when the mask is formed by applying a masking paint, it can be performed using an ink jet coating machine, so that finer patterning can be formed and patterning accuracy is further improved.

本発明の一実施形態に係る加熱部材の外観模式図(a)と、径方向断面の一部(b)である。It is the external appearance schematic diagram (a) of the heating member which concerns on one Embodiment of this invention, and a part (b) of radial direction cross section. 加熱部材の発熱層の展開図である。It is an expanded view of the heat generating layer of a heating member. 第一実施形態に係る加熱部材の製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method of the heating member which concerns on 1st embodiment. 第二実施形態に係る加熱部材の製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method of the heating member which concerns on 2nd embodiment. 第三実施形態に係る加熱部材の製造方法の工程図である。It is process drawing of the manufacturing method of the heating member which concerns on 3rd embodiment. 表面温度ムラの評価方法を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the evaluation method of surface temperature nonuniformity. 耐久性の評価方法を説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the evaluation method of durability.

本発明に係る加熱部材は、被加熱体を加熱するために用いられる。被加熱体を加熱するものであれば、被加熱体の種類は特に限定されるものではない。被加熱体としては、例えば、複写機、プリンター、ファクシミリなどの電子写真機器における、用紙等の記録媒体に転写された未定着のトナーなどが挙げられる。この場合、加熱部材は、電子写真機器の定着工程における加熱部材(定着部材)として用いられる。電子写真機器における加熱部材(定着部材)は、円筒状に形成された定着ベルトや、軸体の外周にロール状に形成された定着ロールなどが挙げられる。定着ベルトや定着ロールは、周方向において繋ぎ目のないシームレス構造を有することが耐久性の面で好ましい。   The heating member according to the present invention is used to heat the object to be heated. As long as the object to be heated is heated, the type of the object to be heated is not particularly limited. Examples of the object to be heated include unfixed toner transferred to a recording medium such as paper in an electrophotographic apparatus such as a copying machine, a printer, and a facsimile machine. In this case, the heating member is used as a heating member (fixing member) in the fixing process of the electrophotographic apparatus. Examples of the heating member (fixing member) in the electrophotographic apparatus include a fixing belt formed in a cylindrical shape, a fixing roll formed in a roll shape on the outer periphery of the shaft body, and the like. In terms of durability, the fixing belt and the fixing roll preferably have a seamless structure that is seamless in the circumferential direction.

図1(a)は、本発明の一実施形態に係る加熱部材の外観模式図である。図1(b)は、その加熱部材の径方向断面の一部である。図2は、加熱部材の発熱層の展開図である。   Fig.1 (a) is an external appearance schematic diagram of the heating member which concerns on one Embodiment of this invention. FIG.1 (b) is a part of radial cross section of the heating member. FIG. 2 is a development view of the heat generation layer of the heating member.

図1(a)に示すように、加熱部材10は、円筒状に形成されており、周方向において繋ぎ目のないシームレス構造を有する。図1(b)に示すように、加熱部材10は、基層12と、発熱層14とを有している。   As shown in FIG. 1A, the heating member 10 is formed in a cylindrical shape and has a seamless structure that is seamless in the circumferential direction. As shown in FIG. 1B, the heating member 10 has a base layer 12 and a heat generating layer 14.

基層12は、加熱部材10のベースとなるものである。基層12は、円筒状に形成されており、周方向において繋ぎ目のないシームレス構造を有する。基層12は、有機ポリマーなどで形成することができる。   The base layer 12 is a base of the heating member 10. The base layer 12 is formed in a cylindrical shape and has a seamless structure that is seamless in the circumferential direction. The base layer 12 can be formed of an organic polymer or the like.

発熱層14は、通電により発熱する部分である。図2に示すように、発熱層14は、発熱領域lに金属パターン14aを有する。金属パターン14aは抵抗発熱体であり、通電により発熱する。この種の加熱部材は熱伝達効率が高く、抵抗発熱体への通電開始後、速やかに加熱部材の表面温度を所定温度まで上昇することができ、立ち上がりが速い。   The heat generating layer 14 is a portion that generates heat when energized. As shown in FIG. 2, the heat generating layer 14 has a metal pattern 14a in the heat generating region l. The metal pattern 14a is a resistance heating element and generates heat when energized. This type of heating member has high heat transfer efficiency, and can quickly raise the surface temperature of the heating member to a predetermined temperature after the start of energization to the resistance heating element, so that the rise is quick.

金属パターン14aは、等幅等厚の金属線で構成されており、図2のように加熱部材10の軸方向に沿って延びていてもよいし、周方向にリング形状をなしていてもよい。また軸方向にスパイラル状になっていてもよい。この繰り返し構造により、金属パターン14aが形成されている。なお、金属パターン14aの形状は特に限定されるものではない。加熱部材10はその外周表面で均一に発熱するように構成され、温度ムラが生じないように構成されている。金属パターン14aの端部は、加熱部材10の軸方向における発熱領域の端部に配置される給電部(電極)18a,18bに接続されている。金属線は、後述するように、めっきによって形成される。   The metal pattern 14a is made of a metal wire having a uniform width and may extend along the axial direction of the heating member 10 as shown in FIG. 2 or may have a ring shape in the circumferential direction. . Further, it may be spiral in the axial direction. The metal pattern 14a is formed by this repeating structure. The shape of the metal pattern 14a is not particularly limited. The heating member 10 is configured to generate heat uniformly on its outer peripheral surface, and is configured to prevent temperature unevenness. The end portions of the metal pattern 14 a are connected to power supply portions (electrodes) 18 a and 18 b disposed at the end portions of the heat generating region in the axial direction of the heating member 10. The metal wire is formed by plating as will be described later.

金属パターン14aの下で基層12上には、めっき下地パターン14bを有する。めっき下地パターン14bは、めっきによって金属パターン14aを形成するための下地となるものである。めっき下地パターン14bは、めっきを行うために必要なめっき触媒を少なくとも含む。めっき下地パターン14bは、金属パターン14aおよび基層12にそれぞれ接している。めっき下地パターン14bは、金属パターン14aと等幅で、金属パターン14aと同じパターン形状に形成されている。   On the base layer 12 under the metal pattern 14a, there is a plating base pattern 14b. The plating base pattern 14b is a base for forming the metal pattern 14a by plating. The plating base pattern 14b includes at least a plating catalyst necessary for performing plating. The plating base pattern 14b is in contact with the metal pattern 14a and the base layer 12, respectively. The plating base pattern 14b is equal in width to the metal pattern 14a and is formed in the same pattern shape as the metal pattern 14a.

加熱部材10は、本発明に係る製造方法により製造することができる。以下に、本発明に係る製造方法の実施形態について説明する。   The heating member 10 can be manufactured by the manufacturing method according to the present invention. Below, embodiment of the manufacturing method which concerns on this invention is described.

(第一実施形態)
第一実施形態に係る製造方法は、以下の(a1)と(b)の工程を有する。
(a1)基層12上にめっき下地パターン14bを形成する工程
(b)(a1)の工程後にめっきを行って、めっき下地上に金属パターン14aを形成する工程
(First embodiment)
The manufacturing method according to the first embodiment includes the following steps (a1) and (b).
(A1) Step of forming plating base pattern 14b on base layer 12 (b) Step of forming metal pattern 14a on the plating base by performing plating after step (a1)

まず、図3(a)に示すように、基層12を準備する。基層12は、有機ポリマーを含む基層形成用材料を用いて形成することができる。基層12が筒状である(ベルト状である)場合、基層形成用材料(塗料)を、円筒状または円柱状の金型の外周面に塗工し、乾燥させる。必要に応じて、熱処理してもよい。塗工方法としては、例えば、ディップコート法、ディスペンサーコート法(ノズルコート法)、ロールコート法、リングコート法などが挙げられる。基層12がロール状である場合、基層形成用材料(混練物)をロール成形金型内に注入して熱処理する。あるいは、基層形成用材料(混練物)を押出成形する。   First, as shown in FIG. 3A, the base layer 12 is prepared. The base layer 12 can be formed using a base layer forming material containing an organic polymer. When the base layer 12 is cylindrical (belt-shaped), the base layer forming material (paint) is applied to the outer peripheral surface of a cylindrical or columnar mold and dried. You may heat-process as needed. Examples of the coating method include a dip coating method, a dispenser coating method (nozzle coating method), a roll coating method, and a ring coating method. When the base layer 12 is in a roll shape, the base layer forming material (kneaded material) is injected into a roll molding die and heat-treated. Alternatively, the base layer forming material (kneaded material) is extruded.

次に、図3(b)に示すように、基層12上にめっき下地層24を形成する。めっき下地層24は、まだパターニング形成されていないものである。めっき下地層24は、めっき触媒およびバインダーを含む下地形成用材料(塗料)を用いて塗布により形成することができる。必要に応じて、乾燥、熱処理してもよい。塗布方法としては、例えば、ディップコート法、ディスペンサーコート法(ノズルコート法)、ロールコート法、リングコート法などが挙げられる。めっき下地層24は、めっき触媒およびバインダーを含む塗膜となる。   Next, as shown in FIG. 3B, a plating base layer 24 is formed on the base layer 12. The plating base layer 24 is not yet formed by patterning. The plating base layer 24 can be formed by coating using a base forming material (paint) containing a plating catalyst and a binder. You may dry and heat-process as needed. Examples of the coating method include a dip coating method, a dispenser coating method (nozzle coating method), a roll coating method, and a ring coating method. The plating underlayer 24 is a coating film containing a plating catalyst and a binder.

めっき触媒は、めっき下地上にめっきを行うために必要な触媒能を有するものであればよい。このような触媒金属としては、Pd、PtなどのPt族金属、Ag、Au、これらの合金などが挙げられる。これらは、めっきを行うための触媒金属として1種単独で用いてもよいし、2種以上組み合わせて用いてもよい。これらのうちでは、触媒能により優れるなどの観点から、Pd、Pt、Ag、これらの合金がより好ましい。また、Pdが特に好ましい。   The plating catalyst only needs to have a catalytic ability necessary for plating on the plating base. Examples of such a catalyst metal include Pt group metals such as Pd and Pt, Ag, Au, and alloys thereof. These may be used individually by 1 type as a catalyst metal for plating, and may be used in combination of 2 or more types. Among these, Pd, Pt, Ag, and alloys thereof are more preferable from the viewpoint of superior catalytic ability. Pd is particularly preferable.

バインダーとしては、ポリイミド、ポリアミドイミド、変性ポリアミドイミド、変性ポリイミド、ポリエーテルスルホン、フッ素樹脂、ポリカーボネートなどが挙げられる。   Examples of the binder include polyimide, polyamideimide, modified polyamideimide, modified polyimide, polyethersulfone, fluororesin, and polycarbonate.

下地形成用材料(塗料)において、めっき触媒の固形分濃度は、めっき効率などの観点から、0.1質量%以上であることが好ましい。より好ましくは0.5質量%以上である。また、めっき触媒の分散性、金属パターン14aの密着性などの観点から、2.0質量%以下であることが好ましい。より好ましくは1.5質量%以下である。   In the base material (paint), the solid content concentration of the plating catalyst is preferably 0.1% by mass or more from the viewpoint of plating efficiency and the like. More preferably, it is 0.5 mass% or more. Moreover, it is preferable that it is 2.0 mass% or less from viewpoints, such as the dispersibility of a plating catalyst and the adhesiveness of the metal pattern 14a. More preferably, it is 1.5 mass% or less.

めっき下地層24の厚みは、特に限定されるものではないが、基層12や金属パターン14aとの密着性、均一性などの観点から、0.05μm以上であることが好ましい。より好ましくは0.1μm以上、さらに好ましくは0.3μm以上である。また、経済性などの観点から、10μm以下であることが好ましい。より好ましくは5.0μm以下、さらに好ましくは3.0μm以下である。   The thickness of the plating underlayer 24 is not particularly limited, but is preferably 0.05 μm or more from the viewpoint of adhesion to the base layer 12 and the metal pattern 14a, uniformity, and the like. More preferably, it is 0.1 micrometer or more, More preferably, it is 0.3 micrometer or more. Moreover, it is preferable that it is 10 micrometers or less from viewpoints, such as economical efficiency. More preferably, it is 5.0 micrometers or less, More preferably, it is 3.0 micrometers or less.

次に、図3(b)に示すように、めっき下地層24にレーザー照射を行い、レーザーマーキング加工によってめっき下地層24にパターニング形成する。図3(c)に示すように、レーザー照射された部分は消失し、レーザー照射されていない部分がめっき下地として残る。これにより、めっき下地パターン14bが形成される。必要に応じ、レーザーマーキング加工後に、脱脂処理・洗浄処理などを行ってもよい。   Next, as shown in FIG. 3B, the plating base layer 24 is irradiated with laser, and is patterned on the plating base layer 24 by laser marking. As shown in FIG. 3C, the portion irradiated with the laser disappears and the portion not irradiated with the laser remains as a plating base. Thereby, the plating base pattern 14b is formed. If necessary, you may perform a degreasing process, a washing process, etc. after a laser marking process.

次に、図3(d)に示すように、めっきを行って、めっき下地パターン14b上に金属パターン14aを形成する。金属パターン14aは、無電解金属めっきにより形成することができる。無電解金属めっきは、めっき液を用いて行う。必要に応じ、めっき後に、水などで洗浄を行ってもよい。   Next, as shown in FIG. 3D, plating is performed to form a metal pattern 14a on the plating base pattern 14b. The metal pattern 14a can be formed by electroless metal plating. Electroless metal plating is performed using a plating solution. If necessary, it may be washed with water after plating.

めっき液には、金属イオン、還元剤、錯化剤、pH緩衝剤などが含まれる。金属イオンは、めっき金属のイオンである。めっき金属としては、Cu、Ni、Ag、Pd、Sn、Au、これらの合金などが挙げられる。これらのうちでは、めっき下地との密着性に優れるなどの観点から、Cu、Ni、Ag、これらの合金がより好ましい。また、めっき下地の触媒金属に対する触媒活性、めっき下地との密着性などの観点から、特に好ましくはNi、Ni合金である。   The plating solution contains metal ions, reducing agents, complexing agents, pH buffering agents and the like. The metal ions are plating metal ions. Examples of the plating metal include Cu, Ni, Ag, Pd, Sn, Au, and alloys thereof. Among these, Cu, Ni, Ag, and alloys thereof are more preferable from the viewpoint of excellent adhesion to the plating base. Further, Ni and Ni alloys are particularly preferable from the viewpoints of catalytic activity with respect to the catalytic metal of the plating base and adhesion to the plating base.

還元剤としては、次亜リン酸、次亜リン酸塩、ジメチルアミンボラン、ヒドラジンなどが挙げられる。このうち、めっき液の安定性などの観点から、次亜リン酸、次亜リン酸塩が好ましい。pH緩衝剤としては、乳酸、酢酸、コハク酸などが挙げられる。   Examples of the reducing agent include hypophosphorous acid, hypophosphite, dimethylamine borane, hydrazine and the like. Among these, hypophosphorous acid and hypophosphite are preferable from the viewpoint of the stability of the plating solution. Examples of pH buffering agents include lactic acid, acetic acid, and succinic acid.

錯化剤としては、カルボン酸やアミン化合物が挙げられる。錯化剤としては、カルボン酸のみを用いても良いし、アミン化合物のみを用いても良いし、カルボン酸とアミン化合物とを併用しても良い。カルボン酸としては、クエン酸、リンゴ酸、酒石酸、エチレンジアミン四酢酸(EDTA)などが挙げられる。アミン化合物としては、グリシン、アラニン、エチレンジアミン、プロパンジアミンなどが挙げられる。   Examples of complexing agents include carboxylic acids and amine compounds. As a complexing agent, only carboxylic acid may be used, only an amine compound may be used, or carboxylic acid and an amine compound may be used in combination. Examples of the carboxylic acid include citric acid, malic acid, tartaric acid, ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA), and the like. Examples of the amine compound include glycine, alanine, ethylenediamine, propanediamine, and the like.

めっき液には、さらに、界面活性剤を配合することもできる。界面活性剤としては、カチオン性界面活性剤、両性界面活性剤などが挙げられる。   A surfactant can be further blended in the plating solution. Examples of the surfactant include a cationic surfactant and an amphoteric surfactant.

カチオン性界面活性剤としては、ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド、エチレンオキサイド付加型アンモニウムクロライドなどの4級アンモニウム塩型のものなどが挙げられる。これらは単独で用いても良いし、併用しても良い。また、両性界面活性剤としては、ラウリルベタイン、アミドプロピルベタイン、ジメチルアルキルベタイン等のベタイン型のものなどが挙げられる。これらは単独で用いても良いし、併用しても良い。カチオン性界面活性剤の配合量あるいは両性界面活性剤の配合量は、0.01〜10g/Lの範囲内であることが好ましい。   Examples of the cationic surfactant include quaternary ammonium salt types such as lauryltrimethylammonium chloride and ethylene oxide addition type ammonium chloride. These may be used alone or in combination. Examples of amphoteric surfactants include betaine types such as lauryl betaine, amidopropyl betaine, and dimethylalkylbetaine. These may be used alone or in combination. The compounding amount of the cationic surfactant or the amphoteric surfactant is preferably in the range of 0.01 to 10 g / L.

金属パターン14aの金属線の厚みは、特に限定されるものではないが、発熱効率などの観点から、0.1μm以上であることが好ましい。より好ましくは0.3μm以上、さらに好ましくは0.5μm以上である。また、柔軟性などの観点から、10μm以下が好ましい。より好ましくは5.0μm以下、さらに好ましくは3.0μm以下である。   The thickness of the metal wire of the metal pattern 14a is not particularly limited, but is preferably 0.1 μm or more from the viewpoint of heat generation efficiency. More preferably, it is 0.3 micrometer or more, More preferably, it is 0.5 micrometer or more. Moreover, 10 micrometers or less are preferable from viewpoints, such as a softness | flexibility. More preferably, it is 5.0 micrometers or less, More preferably, it is 3.0 micrometers or less.

金属パターン14aの金属線の幅は、製造性、発熱効率などの観点から、0.1mm以上であることが好ましい。より好ましくは0.3mm以上、さらに好ましくは0.5mm以上である。また、温度ムラを小さくしやすいなどの観点から、10mm以下が好ましい。より好ましくは5.0mm以下、さらに好ましくは3.0mm以下である。   The width of the metal line of the metal pattern 14a is preferably 0.1 mm or more from the viewpoints of manufacturability and heat generation efficiency. More preferably, it is 0.3 mm or more, More preferably, it is 0.5 mm or more. Moreover, 10 mm or less is preferable from the viewpoint of easily reducing temperature unevenness. More preferably, it is 5.0 mm or less, More preferably, it is 3.0 mm or less.

金属パターン14aの金属線の間隔は、製造性、発熱効率の向上などの観点から、0.01mm以上であることが好ましい。より好ましくは0.05mm以上、さらに好ましくは0.1mm以上である。また、温度ムラを小さくしやすいなどの観点から、1.0mm以下が好ましい。より好ましくは0.5mm以下、さらに好ましくは0.3mm以下である。   The distance between the metal lines of the metal pattern 14a is preferably 0.01 mm or more from the viewpoints of manufacturability and heat generation efficiency. More preferably, it is 0.05 mm or more, More preferably, it is 0.1 mm or more. Moreover, 1.0 mm or less is preferable from the viewpoint of easily reducing temperature unevenness. More preferably, it is 0.5 mm or less, More preferably, it is 0.3 mm or less.

以上の構成の第一実施形態に係る製造方法によれば、基層12上にめっき下地パターン14bを形成した後、めっきを行って、めっき下地上に金属パターン14aを形成することから、導電性ペーストの塗布により金属パターン14aを形成する従来よりもパターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。特に、基層12上に形成されためっき下地層24のレーザーマーキング加工によりめっき下地パターン14bを形成することから、より微細なパターニング形成を行うことができ、より一層、パターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。レーザーマーキング加工を行うと、照射された部分の周囲が盛り上がるため、レーザーマーキング加工を行ったものであることの推測は容易である。また、シームレスであることにより、耐久性も向上する。   According to the manufacturing method according to the first embodiment having the above configuration, after forming the plating base pattern 14b on the base layer 12, plating is performed to form the metal pattern 14a on the plating base. Patterning accuracy is improved as compared with the conventional method in which the metal pattern 14a is formed by coating, and temperature unevenness is improved. In particular, since the plating base pattern 14b is formed by laser marking of the plating base layer 24 formed on the base layer 12, finer patterning can be formed, patterning accuracy is further improved, and temperature unevenness is increased. Is improved. When the laser marking process is performed, the periphery of the irradiated part rises, so it is easy to guess that the laser marking process has been performed. Moreover, durability is also improved by being seamless.

(第二実施形態)
第二実施形態に係る製造方法は、以下の(a1)と(b)の工程を有する。
(a1)基層12上にめっき下地パターン14bを形成する工程
(b)(a1)の工程後にめっきを行って、めっき下地上に金属パターン14aを形成する工程
(Second embodiment)
The manufacturing method according to the second embodiment includes the following steps (a1) and (b).
(A1) Step of forming plating base pattern 14b on base layer 12 (b) Step of forming metal pattern 14a on the plating base by performing plating after step (a1)

まず、図4(a)に示すように、基層12を準備する。基層12は、第一実施形態と同様に形成することができる。   First, as shown in FIG. 4A, the base layer 12 is prepared. The base layer 12 can be formed similarly to the first embodiment.

次に、図4(b)に示すように、基層12上にめっき下地パターン14bを形成する。めっき下地パターン14bは、めっき触媒およびバインダーを含む下地形成用材料(塗料)を用いてスクリーン印刷により形成することができる。必要に応じ、乾燥、熱処理してもよい。また、スクリーン印刷後に、脱脂処理・洗浄処理などを行ってもよい。めっき下地パターン14bは、めっき触媒およびバインダーを含む塗膜となる。   Next, as shown in FIG. 4B, a plating base pattern 14 b is formed on the base layer 12. The plating base pattern 14b can be formed by screen printing using a base forming material (paint) containing a plating catalyst and a binder. You may dry and heat-process as needed. Moreover, you may perform a degreasing process, a washing process, etc. after screen printing. The plating base pattern 14b is a coating film containing a plating catalyst and a binder.

次に、図4(c)に示すように、めっきを行って、めっき下地パターン14b上に金属パターン14aを形成する。金属パターン14aは、無電解金属めっきにより形成することができる。無電解金属めっきは、めっき液を用いて行う。無電解金属めっき、めっき液は、第一実施形態と同様である。必要に応じ、めっき後に、水などで洗浄を行ってもよい。   Next, as shown in FIG. 4C, plating is performed to form a metal pattern 14a on the plating base pattern 14b. The metal pattern 14a can be formed by electroless metal plating. Electroless metal plating is performed using a plating solution. The electroless metal plating and the plating solution are the same as those in the first embodiment. If necessary, it may be washed with water after plating.

以上の構成の第二実施形態に係る製造方法によれば、基層12上にめっき下地パターン14bを形成した後、めっきを行って、めっき下地上に金属パターン14aを形成することから、導電性ペーストの塗布により金属パターン14aを形成する従来よりもパターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。特に、めっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を用いたスクリーン印刷によりめっき下地パターン14bを形成することから、より微細なパターニング形成を行うことができ、より一層、パターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。また、シームレスであることにより、耐久性も向上する。   According to the manufacturing method according to the second embodiment having the above configuration, after forming the plating base pattern 14b on the base layer 12, plating is performed to form the metal pattern 14a on the plating base. Patterning accuracy is improved as compared with the conventional method in which the metal pattern 14a is formed by coating, and temperature unevenness is improved. In particular, since the plating base pattern 14b is formed by screen printing using a plating base forming paint containing a plating catalyst and a binder, finer patterning can be formed, and the patterning accuracy is further improved. Unevenness is improved. Moreover, durability is also improved by being seamless.

(第三実施形態)
第三実施形態に係る製造方法は、以下の(a2)と(b)の工程を有する。
(a2)基層12上に形成されためっき下地層24上にマスクパターン26を形成する工程
(b)(a2)の工程後にめっきを行って、めっき下地上に金属パターン14aを形成する工程
(Third embodiment)
The manufacturing method according to the third embodiment includes the following steps (a2) and (b).
(A2) Step of forming mask pattern 26 on plating base layer 24 formed on base layer 12 (b) Step of forming metal pattern 14a on plating base by performing plating after step (a2)

まず、図5(a)に示すように、基層12を準備する。基層12は、第一実施形態と同様に形成することができる。   First, as shown in FIG. 5A, the base layer 12 is prepared. The base layer 12 can be formed similarly to the first embodiment.

次に、図5(b)に示すように、基層12上にめっき下地層24を形成する。めっき下地層24は、まだパターニング形成されていないものである。めっき下地層24は、第一実施形態と同様に形成することができる。めっき下地層24は、めっき触媒およびバインダーを含む塗膜となる。   Next, as shown in FIG. 5B, the plating base layer 24 is formed on the base layer 12. The plating base layer 24 is not yet formed by patterning. The plating underlayer 24 can be formed in the same manner as in the first embodiment. The plating underlayer 24 is a coating film containing a plating catalyst and a binder.

次に、図5(c)に示すように、めっき下地層24上にマスクパターン26を形成する。マスクパターン26は、めっきによりめっき下地層24上に金属パターン14aを形成するためのマスクである。マスクで覆われためっき下地上にはめっきは形成されない。マスクで覆われていないめっき下地上にめっきが形成される。マスクパターン26は、マスキング塗料の塗布によって形成する。マスキング塗料の塗布は、インクジェット塗工機を用いて行うことができる。必要に応じ、マスク形成後に、脱脂処理・洗浄処理などを行ってもよい。   Next, as shown in FIG. 5C, a mask pattern 26 is formed on the plating base layer 24. The mask pattern 26 is a mask for forming the metal pattern 14a on the plating base layer 24 by plating. Plating is not formed on the plating base covered with the mask. Plating is formed on a plating base not covered with a mask. The mask pattern 26 is formed by applying a masking paint. The masking paint can be applied using an inkjet coating machine. If necessary, a degreasing process, a cleaning process, or the like may be performed after the mask is formed.

マスク材料としては、特に限定されるものではないが、樹脂材料を挙げることができる。樹脂材料としては、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂、ノボラック系樹脂、アクリル系樹脂などが挙げられる。これらのうちでは、塗布によって形成しやすい、光照射によって硬化し、容易にマスクを形成しやすいなどの観点から、アクリル系光硬化性樹脂が好ましい。
Although it does not specifically limit as a mask material, A resin material can be mentioned. Examples of the resin material include an epoxy resin, a polyester resin, a novolac resin, an acrylic resin, and the like. Among these, acrylic photocurable resins are preferable from the viewpoints of being easy to form by coating, curing by light irradiation, and easily forming a mask.

次に、図5(d)に示すように、めっきを行って、めっき下地上に金属パターン14aを形成する。めっき下地層24上のマスクで覆われていない部分に金属パターン14aが形成される。金属パターン14aは、無電解金属めっきにより形成することができる。無電解金属めっきは、めっき液を用いて行う。無電解金属めっき、めっき液は、第一実施形態と同様である。必要に応じ、めっき後に、水などで洗浄を行ってもよい。   Next, as shown in FIG. 5D, plating is performed to form a metal pattern 14a on the plating base. A metal pattern 14a is formed on a portion of the plating base layer 24 that is not covered with a mask. The metal pattern 14a can be formed by electroless metal plating. Electroless metal plating is performed using a plating solution. The electroless metal plating and the plating solution are the same as those in the first embodiment. If necessary, it may be washed with water after plating.

次に、図5(e)に示すように、マスクを除去する。マスクの除去は、除去液を用いて除去することができる。除去液としては、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、エタノールアミンなどの有機溶剤、アルカリ溶液、エチレンカーボネートなどが挙げられる。 Next, as shown in FIG. 5E, the mask is removed. The mask can be removed using a removing liquid. Examples of the removing liquid include organic solvents such as N-methylpyrrolidone, dimethyl sulfoxide, and ethanolamine, alkaline solutions, and ethylene carbonate.

以上の構成の第三実施形態に係る製造方法によれば、基層12上に形成されためっき下地層24上にマスクパターン26を形成した後、めっきを行って、めっき下地上に金属パターン14aを形成することから、導電性ペーストの塗布により金属パターン14aを形成する従来よりもパターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。特に、マスキング塗料の塗布によってマスクを形成することから、インクジェット塗工機を用いて行うことができるため、より微細なパターン形状を形成することができ、より一層、パターニング精度が向上し、温度ムラが改善される。また、シームレスであることにより、耐久性も向上する。   According to the manufacturing method according to the third embodiment having the above configuration, after forming the mask pattern 26 on the plating base layer 24 formed on the base layer 12, plating is performed, and the metal pattern 14a is formed on the plating base. Since it is formed, the patterning accuracy is improved and temperature unevenness is improved as compared with the conventional method in which the metal pattern 14a is formed by applying a conductive paste. In particular, since the mask is formed by application of a masking paint, it can be performed using an inkjet coating machine, so that a finer pattern shape can be formed, patterning accuracy is further improved, and temperature unevenness is further improved. Is improved. Moreover, durability is also improved by being seamless.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変が可能である。   Although the embodiment of the present invention has been described above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

例えば上記実施形態において、無電解金属めっきにより形成する金属パターン14aの上に、電解めっきによってさらにめっきを形成してもよい。また、加熱部材10の軸方向における発熱領域に、全周にわたって金属パターン14aを覆うように被覆層が形成されていてもよい。被覆層は、例えば絶縁材料、ゴム弾性体材料、フッ素樹脂材料などにより形成することができる。   For example, in the above embodiment, plating may be further formed by electrolytic plating on the metal pattern 14a formed by electroless metal plating. In addition, a coating layer may be formed in the heat generation region in the axial direction of the heating member 10 so as to cover the metal pattern 14a over the entire circumference. The coating layer can be formed of, for example, an insulating material, a rubber elastic material, a fluororesin material, or the like.

また、金属パターン14aは上記実施形態の構成に限定されるものではなく、種々のパターン形状にすることができる。   Moreover, the metal pattern 14a is not limited to the structure of the said embodiment, It can be made into various pattern shapes.

また、第三実施形態においては、インクジェット塗工機を用い、マスキング塗料の塗布により、めっき下地層24上にマスクパターン26を形成することを示しているが、めっき下地層24上にマスク層を形成し、レーザーマーキング加工やフォトレジスト法などによりマスク層からマスクパターン26を形成してもよい。マスク層は、まだパターニング形成されていないものである。マスク層は、マスキング塗料の塗布によって形成することができる。   In the third embodiment, the mask pattern 26 is formed on the plating base layer 24 by applying a masking paint using an ink jet coating machine. However, the mask layer is formed on the plating base layer 24. Then, the mask pattern 26 may be formed from the mask layer by laser marking or a photoresist method. The mask layer is not yet formed by patterning. The mask layer can be formed by applying a masking paint.

また、上記実施形態において、めっき下地は、めっき触媒およびバインダーを含む塗膜であることを例示しているが、基層12上に触媒を付与する従来法によってめっき下地を形成してもよい。具体的には、無電解めっき用の触媒を基層12の表面に吸着させた後、還元処理を行い、基層12上に無電解めっき用の触媒金属を有するものとしてもよい。無電解めっき用の触媒を基層12の表面に吸着させるには、基層12の表面活性化を行うことが好ましい。例えば、基層12の表面に水酸基やカルボキシル基などの親水基を発生させ、基層12の表面に無電解めっき用の触媒を付与するとよい。基層12の親水基は、アルカリ処理による加水分解によって比較的容易に形成することができる。還元処理は、Pdなどの金属イオン−水溶性高分子錯体溶液を接触させた後、ジメチルアミンボラン、水素化ホウ素ナトリウムなどを含む還元剤により金属イオンを還元するとともに、水溶性高分子を除去し、金属を析出させる方法(アルカリキャタリスト法)などが挙げられる。他に、スズイオンの還元力を利用したセンシタイザー−アクチベーター法やキャタリスト−アクセラレーター法などを用いてもよい。   Moreover, in the said embodiment, although it has illustrated that the plating base is a coating film containing a plating catalyst and a binder, you may form a plating base by the conventional method which provides a catalyst on the base layer 12. FIG. Specifically, a catalyst for electroless plating may be adsorbed on the surface of the base layer 12 and then subjected to a reduction treatment to have a catalyst metal for electroless plating on the base layer 12. In order to adsorb the electroless plating catalyst on the surface of the base layer 12, it is preferable to activate the surface of the base layer 12. For example, a hydrophilic group such as a hydroxyl group or a carboxyl group may be generated on the surface of the base layer 12, and a catalyst for electroless plating may be applied to the surface of the base layer 12. The hydrophilic group of the base layer 12 can be formed relatively easily by hydrolysis by alkali treatment. In the reduction treatment, after contacting a metal ion-water soluble polymer complex solution such as Pd, the metal ion is reduced with a reducing agent containing dimethylamine borane, sodium borohydride, etc., and the water soluble polymer is removed. And a method of depositing a metal (alkali catalyst method). In addition, a sensitizer-activator method or a catalyst-accelerator method using the reducing power of tin ions may be used.

基層12の有機ポリマーは、耐熱性に優れる有機ポリマーが好ましい。基層12の有機ポリマーとしては、ポリアミドイミド、変性ポリアミドイミド、ポリイミド、変性ポリイミド、ポリエーテルスルホン、フッ素樹脂、ポリカーボネートなどが挙げられる。これらは、基層12の有機ポリマーとして1種単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。これらのうちでは、剛性に優れ、耐久性を向上することができるなどの観点から、ポリアミドイミド、変性ポリアミドイミド、ポリイミド、変性ポリイミドなどがより好ましい。   The organic polymer of the base layer 12 is preferably an organic polymer having excellent heat resistance. Examples of the organic polymer of the base layer 12 include polyamideimide, modified polyamideimide, polyimide, modified polyimide, polyethersulfone, fluororesin, and polycarbonate. These may be used individually by 1 type as an organic polymer of the base layer 12, and may be used in combination of 2 or more type. Of these, polyamideimide, modified polyamideimide, polyimide, modified polyimide, and the like are more preferable from the viewpoint of excellent rigidity and improved durability.

基層12中には、添加剤などが含まれていてもよい。添加剤としては、難燃剤、充填剤、レベリング剤、消泡剤などが挙げられる。   The base layer 12 may contain additives and the like. Examples of the additive include a flame retardant, a filler, a leveling agent, and an antifoaming agent.

基層12の厚みは、特に限定されるものではないが、耐久性や製造性などの観点から、20〜200μmの範囲内が好ましい。より好ましくは40〜150μmの範囲内、さらに好ましくは60〜100μmの範囲内である。   The thickness of the base layer 12 is not particularly limited, but is preferably in the range of 20 to 200 μm from the viewpoint of durability and manufacturability. More preferably, it exists in the range of 40-150 micrometers, More preferably, it exists in the range of 60-100 micrometers.

以下、実施例および比較例を用いて本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail using Examples and Comparative Examples.

<基層形成用材料>
東洋紡ポリアミドイミドワニス「バイロマックスHR−16NN(固形分14.0%)」を準備した。
<Base layer forming material>
Toyobo Polyamideimide Varnish “Vilomax HR-16NN (solid content: 14.0%)” was prepared.

<めっき下地形成用材料>
イオックス社製「メタロイド」をめっき下地形成用材料として準備した。
<Material for plating base formation>
“Metalloid” manufactured by Iox was prepared as a material for forming a plating base.

<脱脂液>
アルカリ性脱脂剤(奥野製薬社製、「OPC−190クリーナー」)200mlと、3質量%の苛性ソーダ1200mlと、イオン交換水600mlとを混合することにより、脱脂液を調製した。
<Degreasing liquid>
A degreasing solution was prepared by mixing 200 ml of an alkaline degreasing agent (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., “OPC-190 Cleaner”), 1200 ml of 3% by weight caustic soda, and 600 ml of ion-exchanged water.

<コンディショナー液>
コンディショナー液として、カチオン性表面調整剤(奥野製薬工業製、「コンディライザーFRコンク」)50ml/Lを用いた。
<Conditioner liquid>
As a conditioner solution, 50 ml / L of a cationic surface conditioner (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., “Condizer FR Conch”) was used.

<触媒付与材料>
触媒化液として、パラジウム触媒液(奥野製薬工業(株)製、「OPC−50インデューサー」)10ml/L(パラジウムイオン濃度0.04g/L)を用いた。
活性化液として、還元剤(奥野製薬工業(株)製、「OPC−150クリスター」)を用いた。
<Catalyst imparting material>
Palladium catalyst solution (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., “OPC-50 inducer”) 10 ml / L (palladium ion concentration 0.04 g / L) was used as the catalyst solution.
A reducing agent (Okuno Pharmaceutical Co., Ltd., “OPC-150 Cryster”) was used as the activation liquid.

<導電性ペースト材料>
導電性ペースト材料として、次の手順で調製した材料を用いた。ダイエルG555(ダイキン工業製)100質量部に対し、キョーワマグ♯30(協和化学工業製)5質量部、カルゼット(極東化成工業製)5質量部を、2本ロールで20分混練したゴム(A)を作製した。続いて、ゴム(A)の100質量部を2〜3mm角に裁断したものと、酢酸5質量部及びメチルエチルケトン245質量部とを事前に5分羽根撹拌した溶剤とを合わせ、エアー撹拌機にて30分撹拌し、溶液(B)を得た。更に、溶液(B)350質量部に対し、10%Agコート2L3(福田金属箔粉工業製)を500質量部、デュラネートSBN−70D(旭化成ケミカルズ製)26質量部、メチルエチルケトン510質量部とを、撹拌棒を用いて手撹拌にて2分撹拌することで、導電ペースト材料を調製した。
<Conductive paste material>
As the conductive paste material, a material prepared by the following procedure was used. Rubber (A) in which 5 parts by mass of Kyowamag # 30 (manufactured by Kyowa Chemical Industry) and 5 parts by mass of calzette (manufactured by Kyokuto Kasei Kogyo) are kneaded with two rolls for 20 minutes with 100 parts by mass of Daiel G555 (manufactured by Daikin Industries). Was made. Subsequently, 100 parts by weight of rubber (A) was cut into 2 to 3 mm squares, and 5 parts by weight of acetic acid and 245 parts by weight of methyl ethyl ketone were combined in advance with a 5-minute impeller, and mixed with an air stirrer. The mixture was stirred for 30 minutes to obtain a solution (B). Furthermore, 500 parts by mass of 10% Ag coat 2L3 (Fukuda Metal Foil Powder Industry), 26 parts by mass of Duranate SBN-70D (Asahi Kasei Chemicals), and 510 parts by mass of methyl ethyl ketone with respect to 350 parts by mass of the solution (B), The conductive paste material was prepared by stirring for 2 minutes by hand stirring using a stirring rod.

<無電解金属めっき液>
硫酸ニッケル六水和物:26g/L、次亜リン酸ナトリウム一水和物(還元剤):32g/L、クエン酸ナトリウム二水和物(錯化剤):30g/Lを混合することにより、無電解金属めっき液とした。
<Electroless metal plating solution>
By mixing nickel sulfate hexahydrate: 26 g / L, sodium hypophosphite monohydrate (reducing agent): 32 g / L, sodium citrate dihydrate (complexing agent): 30 g / L An electroless metal plating solution was obtained.

<実施例1〜4、比較例1の基層の作製>
直径40mm、軸方向長さ450mmのアルミニウム製の円筒パイプ表面に、ディップコート法により、基層形成用材料を塗工し、230℃で60分間乾燥させた。なお、上記塗工時の引上速度は100mm/秒とした。これにより、円筒パイプの外周面上に、ポリアミドイミド(PAI)よりなる筒状の基層(厚み80μm)を形成した。
<Preparation of base layers of Examples 1 to 4 and Comparative Example 1>
A base layer forming material was applied to the surface of an aluminum cylindrical pipe having a diameter of 40 mm and an axial length of 450 mm by a dip coating method and dried at 230 ° C. for 60 minutes. The pulling speed at the time of coating was 100 mm / second. Thereby, a cylindrical base layer (thickness 80 μm) made of polyamideimide (PAI) was formed on the outer peripheral surface of the cylindrical pipe.

<実施例1のめっき下地層作製及びパターニング形成>
基層の表面に、刷毛塗り法により、めっき下地形成用材料を塗工し、120℃で15分間熱処理した後、さらに、240℃で15分間熱処理した。これにより、基層上にめっき下地層(0.5μm)を形成した。その後、レーザーマーカー(パナソニックデバイスSUNX LP−420S9U)にて線状に幅0.2mm、間隔1mmのレーザーマーキングを行った。これにより、めっき下地パターンを形成した。その後、脱脂液に65℃で5分間浸漬し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。その後、無電解金属めっき液に浸漬(めっき液温度:84℃、めっき時間:2分間)し、その後純水をかけ流すことにより、水洗した。これにより、幅1mm、間隔0.2mmの線状にパターニングされた金属パターン(ニッケルめっき、厚み1μm)をめっき下地上に形成した。
<Preparation of plating underlayer and patterning formation of Example 1>
The surface of the base layer was coated with a plating base forming material by a brush coating method, heat-treated at 120 ° C. for 15 minutes, and further heat-treated at 240 ° C. for 15 minutes. As a result, a plating base layer (0.5 μm) was formed on the base layer. Thereafter, laser marking (width: 0.2 mm, interval: 1 mm) was performed linearly with a laser marker (Panasonic device SUNX LP-420S9U). Thereby, the plating base pattern was formed. Thereafter, it was immersed in a degreasing solution at 65 ° C. for 5 minutes and then washed with pure water. Thereafter, the substrate was immersed in an electroless metal plating solution (plating solution temperature: 84 ° C., plating time: 2 minutes), and then rinsed with pure water. As a result, a metal pattern (nickel plating, thickness 1 μm) patterned in a linear shape with a width of 1 mm and an interval of 0.2 mm was formed on the plating base.

<実施例2のめっき下地パターン作製及びパターニング形成>
基層の表面にスクリーン印刷によりめっき下地形成用材料を幅1mm、間隔0.2mmの線状にパターニング塗工し、120℃で15分間熱処理した後、さらに、240℃で15分間熱処理した。これにより、基層上にめっき下地パターン(厚み0.5μm)を形成した。その後、脱脂液に65℃で5分間浸漬し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。その後、無電解金属めっき液に浸漬(めっき液温度:84℃、めっき時間:2分間)し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。これにより、幅1mm、間隔0.2mmの線状にパターニングされた金属パターン(ニッケルめっき、厚み1μm)をめっき下地上に形成した。
<Preparation of plating base pattern and patterning formation of Example 2>
On the surface of the base layer, the material for forming a plating base was patterned and applied in a linear pattern having a width of 1 mm and an interval of 0.2 mm by screen printing, heat-treated at 120 ° C. for 15 minutes, and further heat-treated at 240 ° C. for 15 minutes. As a result, a plating base pattern (thickness 0.5 μm) was formed on the base layer. Thereafter, it was immersed in a degreasing solution at 65 ° C. for 5 minutes and then washed with pure water. Then, it was immersed in an electroless metal plating solution (plating solution temperature: 84 ° C., plating time: 2 minutes), and then rinsed with pure water. As a result, a metal pattern (nickel plating, thickness 1 μm) patterned in a linear shape with a width of 1 mm and an interval of 0.2 mm was formed on the plating base.

<実施例3のめっき下地層作製及びパターニング形成>
基層の表面に、刷毛塗り法により、めっき下地形成用材料を塗工し、120℃で15分間熱処理した後、さらに、240℃で15分間熱処理した。これにより、基層上にめっき下地層(0.5μm)を形成した。その後、インクジェット塗工機にて線状に幅0.2mm、間隔1mmのUV硬化型マスキング塗料を塗布、UVを照射し塗料を硬化させた。その後、脱脂液に65℃で5分間浸漬し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。これにより、めっき下地層上にマスクパターンを形成した。その後、無電解金属めっき液に浸漬(めっき液温度:84℃、めっき時間:2分間)し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。これにより、幅1mm、間隔0.2mmの線状にパターニングされた金属パターン(ニッケルめっき、厚み1μm)をめっき下地上に形成した。
<Preparation and Patterning Formation of Plating Underlayer of Example 3>
The surface of the base layer was coated with a plating base forming material by a brush coating method, heat-treated at 120 ° C. for 15 minutes, and further heat-treated at 240 ° C. for 15 minutes. As a result, a plating base layer (0.5 μm) was formed on the base layer. Thereafter, a UV curable masking paint having a width of 0.2 mm and an interval of 1 mm was applied linearly with an inkjet coating machine, and the paint was cured by irradiation with UV. Thereafter, it was immersed in a degreasing solution at 65 ° C. for 5 minutes and then washed with pure water. Thereby, a mask pattern was formed on the plating base layer. Then, it was immersed in an electroless metal plating solution (plating solution temperature: 84 ° C., plating time: 2 minutes), and then rinsed with pure water. As a result, a metal pattern (nickel plating, thickness 1 μm) patterned in a linear shape with a width of 1 mm and an interval of 0.2 mm was formed on the plating base.

<実施例4のめっき下地層作製及びパターニング形成>
基層を脱脂液に65℃で5分間、コンディショナーに50℃で2分間、触媒化液に50℃で2分間、活性化液に40℃で2分間浸漬し、基層の表面に触媒を付与した。これにより、基層上にめっき下地層を形成した。なお、各工程間は、純水をかけ流すことにより、水洗した。その後、レーザーマーカー(パナソニックデバイスSUNX LP−420S9U)にて線状に幅0.2mm、間隔1mmのレーザーマーキングを行った。これにより、基層上にめっき下地パターンを形成した。この際、実施例1に比べ下地表面が淡色であった為にレーザー光の吸収が悪く、レーザー出力は実施例1の際の2倍の強度を必要とした。その後、脱脂液に65℃で5分間浸漬し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。その後、無電解金属めっき液に浸漬(めっき液温度:84℃、めっき時間:2分間)し、その後、純水をかけ流すことにより、水洗した。これにより、幅1mm、間隔0.2mmの線状にパターニングされた金属パターン(ニッケルめっき、厚み1μm)をめっき下地上に形成した。
<Preparation and Patterning Formation of Plating Underlayer of Example 4>
The base layer was immersed in a degreasing solution at 65 ° C. for 5 minutes, in a conditioner at 50 ° C. for 2 minutes, in a catalyzing solution at 50 ° C. for 2 minutes, and in an activating solution at 40 ° C. for 2 minutes to give a catalyst to the surface of the base layer. As a result, a plating underlayer was formed on the base layer. In addition, between each process, it washed with water by pouring pure water. Thereafter, laser marking (width: 0.2 mm, interval: 1 mm) was performed linearly with a laser marker (Panasonic device SUNX LP-420S9U). As a result, a plating base pattern was formed on the base layer. At this time, since the base surface was lighter than that in Example 1, the absorption of the laser beam was poor, and the laser output required twice the intensity as in Example 1. Thereafter, it was immersed in a degreasing solution at 65 ° C. for 5 minutes and then washed with pure water. Then, it was immersed in an electroless metal plating solution (plating solution temperature: 84 ° C., plating time: 2 minutes), and then rinsed with pure water. As a result, a metal pattern (nickel plating, thickness 1 μm) patterned in a linear shape with a width of 1 mm and an interval of 0.2 mm was formed on the plating base.

<比較例1のパターニング形成>
導電性ペースト材料を基層上にデジタルディスペンサー(武蔵エンジニアリング MPP−1)にて幅1mm、間隔0.2mmの線状に塗工し、その後200℃×60分の熱入れを行った。基層上に20μmの線状に形成されたパターニング電極を作製した。
<Patterning of Comparative Example 1>
The conductive paste material was coated on the base layer in a linear shape with a width of 1 mm and an interval of 0.2 mm with a digital dispenser (Musashi Engineering MPP-1), and then heated at 200 ° C. for 60 minutes. A patterning electrode formed in a 20 μm line shape on the base layer was produced.

(表面温度ムラの測定)
図6に示すように、測定ワーク1、オシロスコープ3、AC電源4、サーモグラフィー5を有する簡易評価システムを作成した。測定ワーク1の表面に端部だけ露出させるよう黒体スプレー2(ジャパンセンサー(株)「JSC−3号」)を塗布した。測定ワーク1の両端部に銅テープを貼り付け電極部とし、周波数100Hz・印可電圧50Vを印加させて、測定ワーク1の表面をサーモグラフィー5にて測定した。測定ワーク1の表面からサーモグラフィー5までの距離を500mmとした。測定ワーク1の表面温度のムラが5℃以下であったものを特に良好「◎」、5℃超10℃以下であったものを良好「○」、10℃超20℃以下であったものをやや劣る「△」、20℃超であったものを不良「×」とした。
・AC電源:エヌエフ回路設計ブロックBP4610
・サーモグラフィー:日本アビオニクスS30
(Measurement of surface temperature unevenness)
As shown in FIG. 6, a simple evaluation system having a measurement work 1, an oscilloscope 3, an AC power supply 4, and a thermography 5 was created. Black body spray 2 (Japan Sensor Co., Ltd. “JSC-3”) was applied so that only the edge portion was exposed on the surface of measurement workpiece 1. Copper tape was attached to both ends of the measurement workpiece 1 to form electrode portions, a frequency of 100 Hz and an applied voltage of 50 V were applied, and the surface of the measurement workpiece 1 was measured with the thermography 5. The distance from the surface of the measurement workpiece 1 to the thermography 5 was 500 mm. Especially good when the surface temperature unevenness of the workpiece 1 is 5 ° C. or less “」 ”, when the workpiece temperature is more than 5 ° C. and 10 ° C. or less,“ Good ”, when the workpiece temperature is more than 10 ° C. and less than 20 ° C. Slightly inferior “Δ” and those exceeding 20 ° C. were regarded as defective “x”.
AC power supply: NF circuit design block BP4610
-Thermography: Nippon Avionics S30

(耐久性)
図7に示すように、サンプル1を2軸で荷重7(1kg)をかけながら引張り、回転軸(φ5)6a,6bを1800rpmにて回転させてサンプル1が破壊するまでの回転数を測定した。破壊までの回転数が50000回以上であったものを良好「○」、破壊までの回転数が10000回以上50000回未満であったものをやや劣る「△」、破壊までの回転数が10000回未満であったものを不良「×」とした。
(durability)
As shown in FIG. 7, the sample 1 was pulled with two axes while applying a load 7 (1 kg), and the rotating shafts (φ5) 6a and 6b were rotated at 1800 rpm to measure the number of rotations until the sample 1 was broken. . Good when the number of revolutions up to 50000 times or more is good, “Good”, what is over 10,000 times but less than 50000 times, “△”, about 10,000 times up to destruction What was less than was made into defect "x".

Figure 2018106923
Figure 2018106923

比較例1は、導電ペースト塗布により金属パターンを形成している。このため、パターニング精度に劣り、温度ムラが大きかった。これに対し、実施例1は、めっき下地層にレーザーマーキング加工を行うことによりめっき下地パターンを形成し、このめっき下地上に無電解めっきを施して金属パターンを形成している。このため、パターニング精度に優れ、温度ムラが小さく抑えられている。実施例2は、めっき下地層にマスキング塗料をパターニング塗布し、この上に無電解めっきを施して金属パターンを形成している。このため、パターニング精度に優れ、温度ムラが小さく抑えられている。実施例3は、めっき下地形成用材料をスクリーン印刷でパターニング塗布することによりめっき下地パターンを形成し、このめっき下地上に無電解めっきを施して金属パターンを形成している。このため、パターニング精度に優れ、温度ムラが小さく抑えられている。実施例4は、触媒付与によって形成されためっき下地層にレーザーマーキング加工を行うことによりめっき下地パターンを形成し、このめっき下地上に無電解めっきを施して金属パターンを形成している。このため、パターニング精度に優れ、温度ムラが小さく抑えられている。   In Comparative Example 1, a metal pattern is formed by applying a conductive paste. For this reason, the patterning accuracy was inferior and the temperature unevenness was large. On the other hand, in Example 1, a plating base pattern is formed by performing laser marking on the plating base layer, and electroless plating is performed on the plating base to form a metal pattern. For this reason, the patterning accuracy is excellent, and temperature unevenness is suppressed to a small level. In Example 2, a masking paint is applied by patterning to the plating base layer, and electroless plating is applied thereon to form a metal pattern. For this reason, the patterning accuracy is excellent, and temperature unevenness is suppressed to a small level. In Example 3, a plating base pattern is formed by patterning and applying a plating base forming material by screen printing, and electroless plating is performed on the plating base to form a metal pattern. For this reason, the patterning accuracy is excellent, and temperature unevenness is suppressed to a small level. In Example 4, a plating base pattern is formed by performing laser marking on a plating base layer formed by applying a catalyst, and electroless plating is performed on the plating base to form a metal pattern. For this reason, the patterning accuracy is excellent, and temperature unevenness is suppressed to a small level.

実施例1〜4のうちでは、実施例1が最も温度ムラが小さく、実施例2が次に温度ムラが小さく、実施例3,4は比較的温度ムラが大きいほうであった。レーザーマーキング加工による実施例1のほうがスクリーン印刷による実施例3よりもパターニング精度に優れている。また、レーザーマーキング加工による実施例1のほうがマスキング塗料の塗布による実施例2よりもパターニング精度に優れている。実施例4は、レーザー出力が強かった為にパターニング境界部の金属線に一部欠けが見られていた。このため、実施例1のほうがパターニング精度に優れている。そして、実施例1〜4はいずれもシームレスであり、耐久性を満足した。   Among Examples 1 to 4, Example 1 had the smallest temperature unevenness, Example 2 had the next smallest temperature unevenness, and Examples 3 and 4 had relatively large temperature unevenness. Example 1 by laser marking processing is superior in patterning accuracy to Example 3 by screen printing. Further, the patterning accuracy of Example 1 by laser marking is superior to that of Example 2 by applying a masking paint. In Example 4, since the laser output was strong, a part of the metal line at the patterning boundary was missing. For this reason, Example 1 is superior in patterning accuracy. And Examples 1-4 were all seamless and satisfied durability.

以上、本発明の実施例について説明したが、本発明は上記実施例に何ら限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で種々の改変が可能である。   As mentioned above, although the Example of this invention was described, this invention is not limited to the said Example at all, A various change is possible within the range which does not deviate from the meaning of this invention.

10 加熱部材
12 基層
14 発熱層
14a 金属パターン
14b めっき下地パターン
24 めっき下地層
26 マスクパターン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Heating member 12 Base layer 14 Heat generating layer 14a Metal pattern 14b Plating base pattern 24 Plating base layer 26 Mask pattern

Claims (5)

被加熱体を加熱するための加熱部材の製造方法であって、
(a1)基層上にめっき下地パターンを形成する工程、または(a2)基層上に形成されためっき下地層上にマスクパターンを形成する工程と、
(b)前記(a1)または(a2)の工程後にめっきを行って、めっき下地上に金属パターンを形成する工程と、を有することを特徴とする加熱部材の製造方法。
A method of manufacturing a heating member for heating an object to be heated,
(A1) a step of forming a plating base pattern on the base layer, or (a2) a step of forming a mask pattern on the plating base layer formed on the base layer;
(B) performing the plating after the step (a1) or (a2) to form a metal pattern on the plating base, and a method for manufacturing a heating member.
前記めっき下地パターンは、基層上に形成されためっき下地層のレーザーマーキング加工、またはめっき触媒およびバインダーを含むめっき下地形成用塗料を用いたスクリーン印刷によって形成することを特徴とする請求項1に記載の加熱部材の製造方法。   2. The plating base pattern is formed by laser marking of a plating base layer formed on a base layer or screen printing using a plating base forming paint containing a plating catalyst and a binder. The manufacturing method of the heating member. 前記めっき下地パターンは、基層上に形成されためっき下地層のレーザーマーキング加工によって形成することを特徴とする請求項1に記載の加熱部材の製造方法。   The method for manufacturing a heating member according to claim 1, wherein the plating base pattern is formed by laser marking of a plating base layer formed on a base layer. 前記マスクパターンは、マスキング塗料の塗布によって形成することを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の加熱部材の製造方法。   The said mask pattern is formed by application | coating of a masking coating material, The manufacturing method of the heating member of any one of Claim 1 to 3 characterized by the above-mentioned. 前記めっき下地は、めっき触媒およびバインダーを含む塗膜であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の加熱部材の製造方法。   The method for manufacturing a heating member according to any one of claims 1 to 4, wherein the plating base is a coating film containing a plating catalyst and a binder.
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