JP2018101536A - Oxide superconducting wire - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an oxide superconducting wire structured such that an oxide superconducting layer resists degrading when bent, and the oxide superconducting wire has improved bending strength.SOLUTION: The present invention provides an oxide superconducting wire that has at least one recess 11c on one side 21 of a tape-like substrate 11. In the recess 11c, provided are an intermediate layer 12, an oxide superconducting layer 13, a protective layer 14, and an a stabilized layer 15, in a stacking manner in the stated order.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、酸化物超電導線材に関する。   The present invention relates to an oxide superconducting wire.

REBaCu(RE123)等の一般式で表されるRE−Ba−Cu−O系超電導体(REは希土類元素)は、液体窒素温度(77K)を超える温度(〜90K)で超電導性を示す。この酸化物超電導体は、他の高温超電導体に比べて磁場中での臨界電流密度が高いことから、コイルや電力ケーブル等の応用が期待されている。 RE-Ba-Cu-O-based superconductors (RE is a rare earth element) represented by a general formula such as REBa 2 Cu 3 O y (RE123) are superconductive at a temperature (˜90 K) exceeding the liquid nitrogen temperature (77 K). Showing gender. Since this oxide superconductor has a higher critical current density in a magnetic field than other high-temperature superconductors, applications such as coils and power cables are expected.

特許文献1には、テープ状の基板上にイオンビームアシスト法(IBAD)等により中間層を形成し、中間層の表面に酸化物超電導層を成膜し、酸化物超電導層の表面にAg等の保護層を形成し、保護層の表面にCuの電気めっき層を形成した酸化物超電導線材が記載されている。   In Patent Document 1, an intermediate layer is formed on a tape-shaped substrate by an ion beam assist method (IBAD) or the like, an oxide superconducting layer is formed on the surface of the intermediate layer, and Ag or the like is formed on the surface of the oxide superconducting layer. An oxide superconducting wire in which a protective layer is formed and a Cu electroplating layer is formed on the surface of the protective layer is described.

また、特許文献2には、基板側の裏面上のめっき厚よりも、超電導層側の表面上のめっき厚を厚くすることにより、表面側の安定化層のみで十分に過電流をバイパスさせることができるとともに、超電導層が超電導線材の中立線の近くに位置し、超電導層の引張歪みが抑制されることが記載されている。   Patent Document 2 discloses that the overcurrent is sufficiently bypassed only by the stabilization layer on the surface side by increasing the plating thickness on the surface on the superconducting layer side rather than the plating thickness on the back surface on the substrate side. In addition, it is described that the superconducting layer is located near the neutral line of the superconducting wire, and the tensile strain of the superconducting layer is suppressed.

特開2007−80780号公報JP 2007-80780 A 特開2015−88414号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-88414

特許文献2に記載されたように、表面側のめっき厚を厚くしようとすると、角部のめっき厚が過剰に厚くなるドッグボーン現象などのため、表面上のめっき厚が不均一になりやすい。その場合、超電導線材の全体としての厚さが不均一になりやすく、超電導線材をコイル化またはケーブル化する際に支障となるおそれがある。また、特許文献2に記載されているように、表面側のみに電極を配置する方法、裏面側をめっき槽の壁面に近づける方法、裏面側をマスクする方法等を用いる場合には、装置が複雑となり、めっき工程のコストが増大する問題がある。   As described in Patent Document 2, when attempting to increase the plating thickness on the surface side, the plating thickness on the surface tends to be non-uniform due to the dog bone phenomenon in which the plating thickness at the corners becomes excessively thick. In that case, the thickness of the superconducting wire as a whole is likely to be non-uniform, which may hinder the superconducting wire from being coiled or cabled. In addition, as described in Patent Document 2, when using a method of arranging electrodes only on the front surface side, a method of bringing the back surface side closer to the wall surface of the plating tank, a method of masking the back surface side, etc., the apparatus is complicated. Thus, there is a problem that the cost of the plating process increases.

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、曲げに対して酸化物超電導層が劣化しにくく、酸化物超電導線材の曲げ強度が強くなる構造の酸化物超電導線材を提供することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is an object of the present invention to provide an oxide superconducting wire having a structure in which the oxide superconducting layer is hardly deteriorated by bending and the bending strength of the oxide superconducting wire is increased. And

前記課題を解決するため、本発明は、テープ状の基板の一方の面に少なくとも1箇所以上の凹部を有し、前記凹部内に、中間層と、酸化物超電導層と、保護層と、安定化層とが、この順に積層されてなることを特徴とする酸化物超電導線材を提供する。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention has at least one concave portion on one surface of a tape-shaped substrate, and an intermediate layer, an oxide superconducting layer, a protective layer, and a stable layer in the concave portion. Provided is an oxide superconducting wire characterized in that the oxide layer is laminated in this order.

前記凹部の深さが、前記基板の厚さの10〜60%の範囲内である構成を採用することも可能である。
前記安定化層が、金属めっき、導電ペースト、又は半田から構成されている構成を採用することも可能である。
前記安定化層が、1種類又は2種類以上の金属層から構成されている構成を採用することも可能である。
前記安定化層が、前記凹部内に加えて、前記基板の外周面の少なくとも一部に形成されている構成を採用することも可能である。
It is also possible to employ a configuration in which the depth of the concave portion is within a range of 10 to 60% of the thickness of the substrate.
It is also possible to adopt a configuration in which the stabilization layer is made of metal plating, conductive paste, or solder.
It is also possible to adopt a configuration in which the stabilization layer is composed of one type or two or more types of metal layers.
It is also possible to employ a configuration in which the stabilization layer is formed on at least a part of the outer peripheral surface of the substrate in addition to the recess.

本発明によれば、テープ状の基板の一方の面に形成された凹部内において、中間層と酸化物超電導層と保護層と安定化層が積層されているので、曲げによる酸化物超電導層の劣化が抑制され、酸化物超電導層の曲げ強度を向上することができる。   According to the present invention, since the intermediate layer, the oxide superconducting layer, the protective layer, and the stabilizing layer are laminated in the recess formed on one surface of the tape-shaped substrate, the oxide superconducting layer is bent. Deterioration is suppressed and the bending strength of the oxide superconducting layer can be improved.

第1実施形態の酸化物超電導線材を例示する断面図である。It is sectional drawing which illustrates the oxide superconducting wire of 1st Embodiment. 第2実施形態の酸化物超電導線材を例示する断面図である。It is sectional drawing which illustrates the oxide superconducting wire of 2nd Embodiment.

以下、好適な実施形態に基づき、図面を参照して本発明を説明する。   Hereinafter, based on a preferred embodiment, the present invention will be described with reference to the drawings.

図1に、第1実施形態の酸化物超電導線材の断面図を示す。この断面図は、酸化物超電導線材の長手方向に垂直な断面の構造を模式的に示している。本実施形態の酸化物超電導線材においては、テープ状の基板11の一方の面(表面)21に少なくとも1箇所以上の凹部11cを有する。基板11の凹部11c内には、中間層12と、酸化物超電導層13と、保護層14とが積層されて、酸化物超電導体10が構成されている。さらに、酸化物超電導体10の周囲において、少なくとも凹部11c内の保護層14上には、安定化層15が積層されている。   In FIG. 1, sectional drawing of the oxide superconducting wire of 1st Embodiment is shown. This sectional view schematically shows the structure of a cross section perpendicular to the longitudinal direction of the oxide superconducting wire. In the oxide superconducting wire of the present embodiment, at least one recess 11 c is provided on one surface (front surface) 21 of the tape-like substrate 11. In the recess 11 c of the substrate 11, the intermediate layer 12, the oxide superconducting layer 13, and the protective layer 14 are laminated to constitute the oxide superconductor 10. Further, a stabilization layer 15 is laminated at least on the protective layer 14 in the recess 11 c around the oxide superconductor 10.

本明細書において、長手方向は、酸化物超電導線材又はその基板11の長さ方向である。厚さ方向は、基板11、中間層12、酸化物超電導層13、保護層14等の各層が積層される方向である。また、幅方向は、長手方向及び厚さ方向に垂直な方向である。
基板11の外周面20とは、凹部11c内を除く面上であり、例えば、表面21、側面22、裏面23のいずれか1以上である。
In this specification, the longitudinal direction is the length direction of the oxide superconducting wire or its substrate 11. The thickness direction is a direction in which the layers such as the substrate 11, the intermediate layer 12, the oxide superconducting layer 13, and the protective layer 14 are laminated. The width direction is a direction perpendicular to the longitudinal direction and the thickness direction.
The outer peripheral surface 20 of the board | substrate 11 is on the surface except the inside of the recessed part 11c, for example, is one or more of the surface 21, the side surface 22, and the back surface 23.

基板11は、テープ状の金属基板である。厚さ方向の両側に、それぞれ主面(表面21及びこれに対向する裏面23)を有する。基板11を構成する金属の具体例として、ハステロイ(登録商標)に代表されるニッケル合金、ステンレス鋼、ニッケル合金に集合組織を導入した配向Ni−W合金などが挙げられる。基板11の厚さは、目的に応じて適宜調整すれば良く、例えば10〜500μmの範囲である。基板11の側面22、裏面23、又はその両方には、安定化層15に対する接合性を改善するため、Ag,Cu等の金属薄膜(図示せず)をスパッタ等により形成してもよい。また、この金属薄膜は、凹部11c内の酸化物超電導層13の表面に形成される保護層14と一体化してもよい。   The substrate 11 is a tape-shaped metal substrate. On both sides in the thickness direction, each has a main surface (a front surface 21 and a back surface 23 opposite thereto). Specific examples of the metal constituting the substrate 11 include a nickel alloy typified by Hastelloy (registered trademark), stainless steel, an oriented Ni—W alloy in which a texture is introduced into the nickel alloy, and the like. What is necessary is just to adjust the thickness of the board | substrate 11 suitably according to the objective, for example, it is the range of 10-500 micrometers. A metal thin film (not shown) such as Ag or Cu may be formed on the side surface 22, the back surface 23, or both of the substrate 11 by sputtering or the like in order to improve the bonding property to the stabilization layer 15. The metal thin film may be integrated with the protective layer 14 formed on the surface of the oxide superconducting layer 13 in the recess 11c.

本実施形態の基板11は、表面21から裏面23に向かって厚さ方向に凹部11cを有する。凹部11cは、押出成形、研削、ウェットエッチング、サンドブラスト、レーザ等の加工により形成することができる。凹部11cは、長手方向に連続して延びる溝状であることが好ましい。凹部11cを有する基板11の断面形状は、例えば平板状の基板本体11aと、基板本体11aの一方の面上で幅方向に間隔をあけて2箇所以上に突起部11bを有する形状でもよい。基板本体11aと突起部11bとが、一体の金属基板を構成することにより、曲げなどに対する基板11の強度を保持することができる。   The substrate 11 of the present embodiment has a concave portion 11 c in the thickness direction from the front surface 21 toward the back surface 23. The recess 11c can be formed by processing such as extrusion, grinding, wet etching, sand blasting, and laser. The recess 11c is preferably in the form of a groove that extends continuously in the longitudinal direction. The cross-sectional shape of the board | substrate 11 which has the recessed part 11c may be a shape which has the projection part 11b in two or more places at intervals in the width direction on one surface of the board | substrate main body 11a and the board | substrate body 11a, for example. The substrate body 11a and the protrusion 11b constitute an integrated metal substrate, whereby the strength of the substrate 11 against bending or the like can be maintained.

凹部11cの深さとしては、例えば基板11の厚さの10〜60%の範囲内が挙げられる。ここで基板11の厚さとは、表面21と裏面23との間隔である。また、凹部11cの深さとは、基板11の表面21から裏面23に向かう厚さ方向において、凹部11cが存在する最大の距離(例えば、表面21から基板本体11aの上面までの距離)である。
通常、中間層12、酸化物超電導層13、保護層14等の各層は、基板11の厚さに比べて薄いことから、酸化物超電導層13が厚さ方向で基板11の中立線に近づくように凹部11cの深さを設定することが好ましい。
Examples of the depth of the recess 11 c include a range of 10 to 60% of the thickness of the substrate 11. Here, the thickness of the substrate 11 is the distance between the front surface 21 and the back surface 23. The depth of the recess 11c is the maximum distance (for example, the distance from the front surface 21 to the upper surface of the substrate body 11a) where the recess 11c exists in the thickness direction from the front surface 21 to the back surface 23 of the substrate 11.
Usually, each layer such as the intermediate layer 12, the oxide superconducting layer 13, and the protective layer 14 is thinner than the thickness of the substrate 11, so that the oxide superconducting layer 13 approaches the neutral line of the substrate 11 in the thickness direction. It is preferable to set the depth of the recess 11c.

凹部11cの底面(基板本体11aの上面)は、湾曲面、傾斜面等でもよいが、表面21又は裏面23に略平行な平面が好ましい。これにより、凹部11c内に中間層12、酸化物超電導層13、保護層14等の各層を積層する際に、堆積条件の制御が容易になる。凹部11cの側面(突起部11bの幅方向内側の側面)及び基板11の側面22は、湾曲面、傾斜面等でもよく、表面21又は裏面23に略垂直な平面であってもよい。   The bottom surface of the recess 11c (the upper surface of the substrate body 11a) may be a curved surface, an inclined surface, or the like, but a plane substantially parallel to the front surface 21 or the back surface 23 is preferable. This facilitates control of the deposition conditions when the layers such as the intermediate layer 12, the oxide superconducting layer 13, and the protective layer 14 are stacked in the recess 11c. The side surface of the recess 11c (the side surface on the inner side in the width direction of the protrusion 11b) and the side surface 22 of the substrate 11 may be a curved surface, an inclined surface, or the like, or may be a plane that is substantially perpendicular to the front surface 21 or the back surface 23.

中間層12は、基板11と酸化物超電導層13との間に設けられる。中間層12は、多層構成でもよく、例えば基板11側から酸化物超電導層13側に向かう順で、拡散防止層、ベッド層、配向層、キャップ層等を有してもよい。これらの層は必ずしも1層ずつ設けられるとは限らず、一部の層を省略する場合や、同種の層を2以上繰り返し積層する場合もある。   The intermediate layer 12 is provided between the substrate 11 and the oxide superconducting layer 13. The intermediate layer 12 may have a multilayer structure, and may include a diffusion prevention layer, a bed layer, an alignment layer, a cap layer, and the like in order from the substrate 11 side to the oxide superconducting layer 13 side. These layers are not necessarily provided one by one, and some layers may be omitted, or two or more of the same kind of layers may be laminated repeatedly.

拡散防止層は、基板11の成分の一部が拡散し、不純物として酸化物超電導層13側に混入することを抑制する機能を有する。拡散防止層は、例えば、Si、Al、GZO(GdZr)等から構成される。拡散防止層の厚さは、例えば10〜400nmである。 The diffusion preventing layer has a function of suppressing a part of the components of the substrate 11 from diffusing and mixing as impurities into the oxide superconducting layer 13 side. The diffusion preventing layer is made of, for example, Si 3 N 4 , Al 2 O 3 , GZO (Gd 2 Zr 2 O 7 ) or the like. The thickness of the diffusion preventing layer is, for example, 10 to 400 nm.

拡散防止層の上には、基板11と酸化物超電導層13との界面における反応を低減し、その上に形成される層の配向性を向上するためにベッド層を形成しても良い。ベッド層の材質としては、例えばY、Er、CeO、Dy、Eu、Ho、La等が挙げられる。ベッド層の厚さは、例えば10〜100nmである。 A bed layer may be formed on the diffusion prevention layer in order to reduce the reaction at the interface between the substrate 11 and the oxide superconducting layer 13 and improve the orientation of the layer formed thereon. Examples of the material of the bed layer include Y 2 O 3 , Er 2 O 3 , CeO 2 , Dy 2 O 3 , Eu 2 O 3 , Ho 2 O 3 , and La 2 O 3 . The thickness of the bed layer is, for example, 10 to 100 nm.

配向層は、その上のキャップ層の結晶配向性を制御するために2軸配向する物質から形成される。配向層の材質としては、例えば、GdZr、MgO、ZrO−Y(YSZ)、SrTiO、CeO、Y、Al、Gd、Zr、Ho、Nd等の金属酸化物を例示することができる。この配向層はIBAD(Ion-Beam-Assisted Deposition)法で形成することが好ましい。 The orientation layer is formed from a biaxially oriented material in order to control the crystal orientation of the cap layer thereon. Examples of the material of the alignment layer include Gd 2 Zr 2 O 7 , MgO, ZrO 2 —Y 2 O 3 (YSZ), SrTiO 3 , CeO 2 , Y 2 O 3 , Al 2 O 3 , Gd 2 O 3 , Examples thereof include metal oxides such as Zr 2 O 3 , Ho 2 O 3 , and Nd 2 O 3 . This alignment layer is preferably formed by an IBAD (Ion-Beam-Assisted Deposition) method.

キャップ層は、上述の配向層の表面に成膜されて、結晶粒が面内方向に自己配向し得る材料からなる。キャップ層の材質としては、例えば、CeO、Y、Al、Gd、ZrO、YSZ、Ho、Nd、LaMnO等が挙げられる。キャップ層の厚さは、50〜5000nmの範囲が挙げられる。 The cap layer is formed on the surface of the above-described alignment layer, and is made of a material that allows crystal grains to self-align in the in-plane direction. The material of the cap layer, for example, CeO 2, Y 2 O 3 , Al 2 O 3, Gd 2 O 3, ZrO 2, YSZ, Ho 2 O 3, Nd 2 O 3, LaMnO 3 , and the like. Examples of the thickness of the cap layer include a range of 50 to 5000 nm.

酸化物超電導層13は、酸化物超電導体から構成される。酸化物超電導体としては、特に限定されないが、例えば一般式REBaCu(RE123)で表されるRE−Ba−Cu−O系酸化物超電導体が挙げられる。希土類元素REとしては、Y、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luのうちの1種又は2種以上が挙げられる。中でも、Y、Gd、Eu、Smの1種か、又はこれら元素の2種以上の組み合わせが好ましい。一般に、yは、7−x(酸素欠損量x:約0〜1程度)である。酸化物超電導層13の厚さは、例えば0.5〜5μm程度である。この厚さは、少なくとも凹部11c内(基板本体11a上)においては、長手方向に均一であることが好ましい。 The oxide superconducting layer 13 is composed of an oxide superconductor. As an oxide superconductor, particularly, but not limited to, for example, the general formula REBa 2 Cu 3 O y (RE123 ) with REBa-Cu-O based oxide superconductor represented the like. The rare earth element RE may be one or more of Y, La, Ce, Pr, Nd, Sm, Eu, Gd, Tb, Dy, Ho, Er, Tm, Yb, and Lu. Among these, one of Y, Gd, Eu, and Sm, or a combination of two or more of these elements is preferable. In general, y is 7-x (oxygen deficiency x: about 0 to about 1). The thickness of the oxide superconducting layer 13 is, for example, about 0.5 to 5 μm. This thickness is preferably uniform in the longitudinal direction at least in the recess 11c (on the substrate body 11a).

基板11が幅方向に間隔をあけて2箇所以上に凹部11cを有し、各凹部11cに設けられた酸化物超電導層13の間が突起部11bにより分断されると、各酸化物超電導層13が細線化(マルチフィラメント化)されるため、酸化物超電導線材の遮蔽電流及び磁化損失を低減することができる。
あるいは、2箇所以上に凹部11cを有する基板11の各凹部11cに各酸化物超電導層13等を成膜して酸化物超電導体10を作製した後、1箇所又は所定数の凹部11cごとに酸化物超電導体10を切断することにより、複数本の酸化物超電導線材を得ることもできる。
When the substrate 11 has recesses 11c at two or more positions with a gap in the width direction, and the oxide superconducting layer 13 provided in each recess 11c is divided by the protrusions 11b, each oxide superconducting layer 13 Is made thin (multifilament), the shielding current and the magnetization loss of the oxide superconducting wire can be reduced.
Alternatively, each oxide superconductor layer 13 or the like is formed in each recess 11c of the substrate 11 having the recesses 11c at two or more locations to produce the oxide superconductor 10, and then oxidized at one location or every predetermined number of recesses 11c. By cutting the superconductor 10, a plurality of oxide superconducting wires can be obtained.

保護層14は、事故時に発生する過電流をバイパスしたり、酸化物超電導層13と保護層14の上に設けられる層との間で起こる化学反応を抑制したりする等の機能を有する。保護層14の材質としては、例えば銀(Ag)、銅(Cu)、金(Au)、金と銀との合金、その他の銀合金、銅合金、金合金などが挙げられる。保護層14は、少なくとも酸化物超電導層13の表面(厚さ方向で、基板11側に対する反対側の面)を覆っている。さらに、保護層14が、基板11の外周面20の少なくとも一部を覆っていてもよい。保護層14は2種以上又は2層以上の金属層から構成されてもよい。保護層14の厚さは、例えば1〜30μm程度であり、保護層14を薄くする場合は、10μm以下でもよい。   The protective layer 14 has functions such as bypassing overcurrent generated at the time of an accident and suppressing a chemical reaction occurring between the oxide superconducting layer 13 and a layer provided on the protective layer 14. Examples of the material of the protective layer 14 include silver (Ag), copper (Cu), gold (Au), an alloy of gold and silver, other silver alloys, copper alloys, and gold alloys. The protective layer 14 covers at least the surface of the oxide superconducting layer 13 (the surface opposite to the substrate 11 side in the thickness direction). Further, the protective layer 14 may cover at least a part of the outer peripheral surface 20 of the substrate 11. The protective layer 14 may be composed of two or more metal layers or two or more metal layers. The thickness of the protective layer 14 is, for example, about 1 to 30 μm, and may be 10 μm or less when the protective layer 14 is thinned.

安定化層15は、酸化物超電導体10の周囲において、少なくとも凹部11c内の保護層14上に積層されている。凹部11c内のみに安定化層15が形成されていてもよい。安定化層15が、凹部11c内に加えて、基板11の外周面20の少なくとも一部に形成されていてもよい。安定化層15の厚みは、例えば15〜300μm程度である。   The stabilization layer 15 is laminated on the protective layer 14 in at least the recess 11 c around the oxide superconductor 10. The stabilization layer 15 may be formed only in the recess 11c. The stabilizing layer 15 may be formed on at least a part of the outer peripheral surface 20 of the substrate 11 in addition to the recess 11 c. The thickness of the stabilization layer 15 is, for example, about 15 to 300 μm.

安定化層15は、金属めっき、導電ペースト、半田等の導体層(金属層)から構成することが可能である。金属めっき、導電ペースト等に用いられる金属としては、Cu,Ag,Al,Sn,Ti等が挙げられる。半田としては、例えばSn−Pb系、Pb−Sn−Sb系、Sn−Pb−Bi系、Bi−Sn系、Sn−Cu系、Sn−Pb−Cu系、Sn−Ag系などの半田、Sn、Sn合金、In、In合金、Zn、Zn合金、Ga、Ga合金などの金属が挙げられる。   The stabilization layer 15 can be composed of a conductor layer (metal layer) such as metal plating, conductive paste, or solder. Examples of metals used for metal plating, conductive paste, and the like include Cu, Ag, Al, Sn, Ti, and the like. As the solder, for example, Sn-Pb-based, Pb-Sn-Sb-based, Sn-Pb-Bi-based, Bi-Sn-based, Sn-Cu-based, Sn-Pb-Cu-based, Sn-Ag-based solder, etc. , Sn alloys, In, In alloys, Zn, Zn alloys, Ga, Ga alloys and the like.

安定化層15は、1種類の金属層から構成されてもよく、又は2種類以上の金属層から構成されていてもよい。各金属層は、凹部11c又は外周面20上で重なるように積層されてもよい。異なる種類の金属層が、凹部11c又は外周面20の異なる箇所にそれぞれ形成されていてもよい。各金属層(導体層)は、1種類の金属元素から構成されてもよく、又は2種類以上の金属元素(合金、混合物等)を含んでもよい。   The stabilization layer 15 may be composed of one type of metal layer, or may be composed of two or more types of metal layers. Each metal layer may be laminated so as to overlap on the recess 11 c or the outer peripheral surface 20. Different types of metal layers may be formed in different portions of the recess 11c or the outer peripheral surface 20, respectively. Each metal layer (conductor layer) may be composed of one kind of metal element, or may contain two or more kinds of metal elements (alloy, mixture, etc.).

図1に示す第1実施形態は、安定化層15が凹部11c内を埋めている例である。例えば図2に示す第2実施形態のように酸化物超電導層13の上方の安定化層15が凹部11cで窪みを有してもよい。酸化物超電導層13の上方の安定化層15の厚さは、基板11の外周面20上の安定化層15の厚さと同程度であってもよい。   The first embodiment shown in FIG. 1 is an example in which the stabilization layer 15 fills the recess 11c. For example, as in the second embodiment shown in FIG. 2, the stabilization layer 15 above the oxide superconducting layer 13 may have a recess in the recess 11c. The thickness of the stabilization layer 15 above the oxide superconducting layer 13 may be approximately the same as the thickness of the stabilization layer 15 on the outer peripheral surface 20 of the substrate 11.

本実施形態の酸化物超電導線材によれば、厚さ方向における酸化物超電導層13の位置が酸化物超電導線材の中立線に近づくので、曲げに対する酸化物超電導層13の劣化、損傷が抑制され、曲げ強度が向上する。
また、特許文献2に記載されるように、平板状の基板の表面に厚い安定化層を成膜する場合に比べて、安定化層15の厚さを抑制することができる。これにより、コイル状に巻線したときの電流密度を向上することができる。
また、酸化物超電導層13の側面が基板11の突起部11bに覆われているため、線材を曲げたときに酸化物超電導層13のクラック、損傷等を抑制でき、酸化物超電導層13への水分の侵入を防止することができる。
According to the oxide superconducting wire of this embodiment, since the position of the oxide superconducting layer 13 in the thickness direction approaches the neutral line of the oxide superconducting wire, deterioration and damage of the oxide superconducting layer 13 against bending are suppressed, Bending strength is improved.
Further, as described in Patent Document 2, the thickness of the stabilization layer 15 can be suppressed as compared with the case where a thick stabilization layer is formed on the surface of the flat substrate. Thereby, the current density when wound in a coil shape can be improved.
Moreover, since the side surface of the oxide superconducting layer 13 is covered with the protrusion 11b of the substrate 11, cracks, damage, etc. of the oxide superconducting layer 13 can be suppressed when the wire is bent, Intrusion of moisture can be prevented.

テープ状の酸化物超電導線材を使用して超電導コイルを作製するには、超電導線材を巻き枠の外周面に沿って必要な層数巻き付けてコイル形状(多層巻きコイル)とした後、巻き付けた超電導線材を覆うようにエポキシ樹脂等の樹脂(絶縁性樹脂)を含浸させて、超電導線材を固定することができる。   To make a superconducting coil using a tape-shaped oxide superconducting wire, the superconducting wire is wound around the outer peripheral surface of the winding frame to form a coil shape (multi-layer winding coil) and then wound. The superconducting wire can be fixed by impregnating a resin (insulating resin) such as an epoxy resin so as to cover the wire.

以上、本発明を好適な実施形態に基づいて説明してきたが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の改変が可能である。   As mentioned above, although this invention has been demonstrated based on suitable embodiment, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, A various change is possible in the range which does not deviate from the summary of this invention.

超電導線材は、外部端子を有することができる。外部端子を有する箇所では、他の箇所と異なる断面構造を有してもよい。   The superconducting wire can have an external terminal. The portion having the external terminal may have a different cross-sectional structure from other portions.

以下、実施例をもって本発明を具体的に説明する。なお、本発明は、これらの実施例のみに限定されるものではない。   Hereinafter, the present invention will be specifically described with reference to examples. In addition, this invention is not limited only to these Examples.

<凹部を有する基板の作製>
(1)ハステロイ(登録商標)C−276(米国ヘインズ社商品名)の基板(幅12mm×長さ1000mm×厚み0.75mm)の表面に、幅方向に間隔をあけて三箇所の凹部を形成した。
(2)凹部を有する基板の外周面と凹部内を研磨した。
(3)アセトンで基板を脱脂・洗浄した。
<Preparation of substrate having recesses>
(1) Three recesses are formed on the surface of a substrate (width 12 mm × length 1000 mm × thickness 0.75 mm) of Hastelloy (registered trademark) C-276 (trade name of US Haynes Co., Ltd.) at intervals in the width direction. did.
(2) The outer peripheral surface of the substrate having a recess and the inside of the recess were polished.
(3) The substrate was degreased and washed with acetone.

<酸化物超電導体の作製>
(4)イオンビームスパッタにより、基板上にAlの拡散防止層を成膜した。
(5)イオンビームスパッタにより、拡散防止層上にYのベッド層を成膜した。
(6)イオンビームアシスト蒸着法により、ベッド層上にMgOの配向層を成膜した。
(7)パルスレーザー蒸着法により、配向層上にCeOのキャップ層を成膜した。
(8)パルスレーザー蒸着法により、キャップ層上にGdBaCu7−xの酸化物超電導層を成膜した。
(9)酸化物超電導層の上面側(表面方向)からのスパッタにより、主として酸化物超電導層上に、Agの保護層を成膜した。
(10)酸化物超電導体の酸素アニールを行った。
(11)酸化物超電導体を4mm幅にスリット加工した。
<Production of oxide superconductor>
(4) A diffusion prevention layer of Al 2 O 3 was formed on the substrate by ion beam sputtering.
(5) A bed layer of Y 2 O 3 was formed on the diffusion prevention layer by ion beam sputtering.
(6) An MgO alignment layer was formed on the bed layer by ion beam assisted deposition.
(7) A CeO 2 cap layer was formed on the alignment layer by pulsed laser deposition.
(8) An oxide superconducting layer of GdBa 2 Cu 3 O 7-x was formed on the cap layer by a pulse laser deposition method.
(9) A protective layer of Ag was formed mainly on the oxide superconducting layer by sputtering from the upper surface side (surface direction) of the oxide superconducting layer.
(10) Oxygen annealing of the oxide superconductor was performed.
(11) The oxide superconductor was slit to a width of 4 mm.

<安定化層の形成>
(12)酸化物超電導体の上面(基板表面側)及び下面(基板裏面側)にスパッタにより、Cuを成膜した。
(13)酸化物超電導体の全周にめっきによりCuを成膜し、凹部内をCuめっき層で埋めた。ここで、Cuめっきの代わりに、Agペースト、半田などを用いてもよい。
<Formation of stabilization layer>
(12) Cu was deposited on the upper surface (substrate surface side) and lower surface (substrate rear surface side) of the oxide superconductor by sputtering.
(13) Cu was deposited on the entire circumference of the oxide superconductor by plating, and the recess was filled with a Cu plating layer. Here, Ag paste, solder, or the like may be used instead of Cu plating.

これらの実施例によれば、酸化物超電導線材において、曲げによる酸化物超電導層の劣化が抑制され、酸化物超電導層の曲げ強度を向上することができる。   According to these examples, in the oxide superconducting wire, deterioration of the oxide superconducting layer due to bending can be suppressed, and the bending strength of the oxide superconducting layer can be improved.

10…酸化物超電導体、11…基板、11a…基板本体、11b…突起部、11c…凹部、12…中間層、13…酸化物超電導層、14…保護層、15…安定化層、20…基板の外周面、21…基板の表面(一方の面)、22…基板の側面、23…基板の裏面(他方の面)。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Oxide superconductor, 11 ... Board | substrate, 11a ... Board | substrate main body, 11b ... Projection part, 11c ... Recessed part, 12 ... Intermediate | middle layer, 13 ... Oxide superconducting layer, 14 ... Protective layer, 15 ... Stabilization layer, 20 ... The outer peripheral surface of the substrate, 21... The surface of the substrate (one surface), 22... The side surface of the substrate, 23.

Claims (5)

テープ状の基板の一方の面に少なくとも1箇所以上の凹部を有し、
前記凹部内に、中間層と、酸化物超電導層と、保護層と、安定化層とが、この順に積層されてなることを特徴とする酸化物超電導線材。
Having at least one recess on one surface of the tape-shaped substrate;
An oxide superconducting wire, wherein an intermediate layer, an oxide superconducting layer, a protective layer, and a stabilizing layer are laminated in this order in the recess.
前記凹部の深さが、前記基板の厚さの10〜60%の範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の酸化物超電導線材。   2. The oxide superconducting wire according to claim 1, wherein a depth of the recess is in a range of 10 to 60% of a thickness of the substrate. 前記安定化層が、金属めっき、導電ペースト、又は半田から構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の酸化物超電導線材。   The oxide superconducting wire according to claim 1 or 2, wherein the stabilizing layer is made of metal plating, conductive paste, or solder. 前記安定化層が、1種類又は2種類以上の金属層から構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の酸化物超電導線材。   The oxide superconducting wire according to claim 1 or 2, wherein the stabilization layer is composed of one or more metal layers. 前記安定化層が、前記凹部内に加えて、前記基板の外周面の少なくとも一部に形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の酸化物超電導線材。   5. The oxide superconducting wire according to claim 1, wherein the stabilization layer is formed on at least a part of an outer peripheral surface of the substrate in addition to the recess.
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