JP2018095940A - Deposition determination apparatus, deposition determination method and deposition determination system - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、容器に施された成膜の良否を判定する成膜判定装置、成膜判定方法、および成膜判定システムに関する。 The present invention relates to a film formation determination apparatus, a film formation determination method, and a film formation determination system that determine the quality of film formation applied to a container.
成膜を行った容器の成膜の良否の判定方法として、成膜前の容器の色と成膜後の容器の色とを色差センサを用いて比較することで判定を行うものが知られている(例えば、特許文献1参照)。この方法によれば成膜前後の容器の色差が所定範囲にある場合に成膜がなされていると判定することができる。つまり、特許文献1に記載の方法は、成膜により生成される被膜が有色である場合に有効である。 As a method for determining the quality of film formation in a container in which a film has been formed, a method is known in which the color of a container before film formation is compared with the color of a container after film formation using a color difference sensor. (For example, refer to Patent Document 1). According to this method, it can be determined that the film is formed when the color difference between the containers before and after the film formation is within a predetermined range. That is, the method described in Patent Document 1 is effective when the film generated by film formation is colored.
しかしながら、特許文献1の技術では、成膜により生成される被膜が無色である場合に、成膜前後で容器の色差が生じないため、成膜の良否判定を行うのが困難である。 However, in the technique of Patent Document 1, when the coating film generated by film formation is colorless, it is difficult to determine whether the film formation is good or not because there is no color difference between the containers before and after film formation.
本発明は、上記課題を解決するためになされたものであって、被膜の色にかかわらず成膜の良否を判定することが可能な成膜判定装置、成膜判定方法、および成膜判定システムを提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problem, and is a film formation determination apparatus, a film formation determination method, and a film formation determination system capable of determining the quality of film formation regardless of the color of the film. The purpose is to provide.
上記課題を解決するために、本発明は以下の手段を採用している。
すなわち、本発明の一態様に係る成膜判定装置は、ラディカル物質によって色調が変化する指標体が内面に形成された容器の内面に対して、成膜装置によって成膜を施した後の指標体の色調を取得する色調取得部と、色調取得部が取得した指標体の色調に基づいて、容器の成膜の良否を判定する判定部と、備えることを特徴とする。
In order to solve the above problems, the present invention employs the following means.
That is, the film formation determination apparatus according to one aspect of the present invention is an index body after film formation is performed by the film formation apparatus on the inner surface of the container in which the index body whose color tone is changed by the radical substance is formed on the inner surface. A color tone acquisition unit that acquires the color tone of the container, and a determination unit that determines the quality of the film formation of the container based on the color tone of the index body acquired by the color tone acquisition unit.
この構成によれば、ラディカル物質によって色調が変化する指標体を用いることにより、容器内面に成膜を施した際に、指標体の色調が変化する。この指標体の色調の変化を色調取得部で取得し、成膜の良否を判定することができる。 According to this configuration, by using the index body whose color tone changes depending on the radical substance, the color tone of the index body changes when film formation is performed on the inner surface of the container. The change in the color tone of the index body can be acquired by the color tone acquisition unit, and the quality of the film formation can be determined.
また、本発明の第二態様に係る成膜判定装置は、判定部は、あらかじめ判定部に入力された成膜前の指標体の色調と成膜を施した後の指標体の色調の差が所定の閾値以上である場合に容器の成膜を良と判定する成膜判定装置であってもよい。 Further, in the film formation determination apparatus according to the second aspect of the present invention, the determination unit has a difference between the color tone of the index body before film formation and the color tone of the index body after film formation input in advance to the determination unit. A film formation determination apparatus that determines that the film formation of the container is good when it is equal to or greater than a predetermined threshold may be used.
また、本発明の第三態様に係る成膜判定装置は、色調取得部は、成膜を施した後の指標体にさらに、成膜装置で使用した物質とは異なる物質に曝した指標体の色調を取得し、判定部は、あらかじめ判定部に入力された色調と成膜装置で使用した物質と異なる物質に曝した成膜後の指標体の色調の差が所定の閾値以下の場合には容器の成膜を良と判定する成膜判定装置であってもよい。 Further, in the film formation determination apparatus according to the third aspect of the present invention, the color tone acquisition unit further includes an index body exposed to a substance different from the substance used in the film formation apparatus in addition to the index body after film formation. When the difference between the color tone input in advance to the determination unit and the color tone of the index body after film exposure to a material different from the material used in the film formation apparatus is equal to or less than a predetermined threshold It may be a film formation determination apparatus that determines that the film formation of the container is good.
この構成によれば、先に施した成膜が指標体の色調を変化させない場合においても、指標体の色調から成膜の良否を判定することができる。具体的には、一度成膜が成功していれば、指標体がコーティングされているため、さらに異なる物質を用いて成膜を行っても指標体の色調は変化しない。このため、指標体の色調が変化しないことによって成膜の良否を判定することができる。 According to this configuration, it is possible to determine the quality of the film formation from the color tone of the index body even when the film formation performed previously does not change the color tone of the index body. Specifically, once the film formation is successful, the index body is coated, and therefore the color tone of the index body does not change even when film formation is performed using a different substance. For this reason, the quality of the film formation can be determined by the color tone of the index body not changing.
また、本発明の第四態様に係る成膜判定装置は、前記判定部は、前記容器の成膜時の物理量と色調に基づいて成膜の良否の判定を行う成膜判定装置であってもよい。 Further, in the film formation determination apparatus according to the fourth aspect of the present invention, the determination unit may be a film formation determination apparatus that determines the quality of film formation based on a physical quantity and a color tone at the time of film formation of the container. Good.
この構成によれば、容器内面への成膜時の物理量と色調に基づいてさらに精度よく成膜の良否を判定することができる。 According to this configuration, the quality of film formation can be determined with higher accuracy based on the physical quantity and color tone during film formation on the inner surface of the container.
また、本発明に係る第五態様に係る成膜判定方法は、ラディカル物質によって色調が変化する指標体が内面に形成された容器の内面に対して、成膜装置によって成膜を施した後の前指標体の色調を取得し、該色調取得部が取得した前記指標体の色調に基づいて、前記容器の成膜の良否を判定することを特徴とする。 In addition, in the film formation determination method according to the fifth aspect of the present invention, the film formation apparatus performs film formation on the inner surface of the container in which the indicator body whose color tone is changed by the radical substance is formed on the inner surface. The color tone of the front index body is acquired, and the film quality of the container is determined based on the color tone of the index body acquired by the color tone acquisition unit.
また、本発明に係る第六態様に係る成膜判定システムは、ラディカル物質によって色調が変化する指標体を容器に取り付ける装置と、容器内面に成膜を施す成膜装置と、成膜装置によって成膜を施された指標体の色調から成膜の良否を判定する判定部と、を備える成膜判定システムであってもよい。 In addition, the film forming determination system according to the sixth aspect of the present invention includes a device for attaching an index body whose color tone is changed by a radical substance to a container, a film forming device for forming a film on the inner surface of the container, and a film forming device. A film formation determination system including a determination unit that determines the quality of film formation from the color tone of the index body provided with a film.
また、本発明に係る第七態様に係る成膜判定システムは、指標体を認識する認識部と、指標体の接着された容器を製品ラインとは異なるラインに分岐させる分岐部とを備えた成膜判定システムであってもよい。 The film formation determination system according to the seventh aspect of the present invention includes a recognition unit that recognizes the index body and a branching unit that branches the container to which the index body is bonded to a line different from the product line. It may be a film determination system.
また、本発明に係る第八態様に係る成膜判定システムは、指標体を接着した容器をサンプルボトルとし、サンプルボトルに物理的または電子的に施した認識可能なマーキングを読み取る、読み取り部と、認識部によって認識されたサンプルボトルを製品ラインとは異なるラインに分岐させる分岐部とを備えた成膜判定システムであってもよい。 In addition, the film formation determination system according to the eighth aspect of the present invention is a reading unit that reads a recognizable marking physically or electronically applied to a sample bottle, using a container to which an index body is bonded as a sample bottle. The film forming determination system may include a branch unit that branches the sample bottle recognized by the recognition unit into a line different from the product line.
また、本発明に係る第九態様に係る成膜判定システムは、認識部は指標体の容器の位置情報として認識する成膜判定システムであってもよい。 Further, the film formation determination system according to the ninth aspect of the present invention may be a film formation determination system in which the recognition unit recognizes the position information of the container of the index body.
本発明の成膜判定装置、成膜判定方法および成膜判定システムによれば、成膜の色に関係なく成膜の良否を判定することができる。 According to the film formation determination apparatus, film formation determination method, and film formation determination system of the present invention, the quality of film formation can be determined regardless of the color of the film formation.
[第1の実施形態]
以下、図面を参照しながら実施形態について詳しく説明する。
[First embodiment]
Hereinafter, embodiments will be described in detail with reference to the drawings.
図1は、第1の実施形態に係る成膜判定システムの概略図である。
成膜判定システム10は、指標体貼り付け装置11と、移載装置12と、成膜装置13と、色調取得装置14と、成膜判定装置15を備える。
FIG. 1 is a schematic diagram of a film forming determination system according to the first embodiment.
The film
指標体貼り付け装置11は、成膜の良否を判定対象である容器Bの内面に、ラディカル物質に反応して変色する指標体21を貼りつける。指標体貼り付け装置11は例えば容器Bの開口部から指標体21を挿入し、容器Bの内面に指標体21を押し当てることにより、指標体21を貼りつける。指標体21は、ラディカル物質に反応して変色する有機染料(例えば、アントラキノン系色素、アゾ系色素、メチン系色素、ロイコ色素など)、またはラディカル物質に反応して変色する金属酸化物粒子(例えばMo、W、Sn、V、Ce、TeおよびBiからなる群から選択される少なくとも一種の元素を含む金属酸化物粒子)を有する。このような指標体21は通常、電子デバイスの製造工程におけるプラズマ処理や、医療器具等の滅菌のためのプラズマ処理の完了を確認するために用いられる。すなわち、指標体21は、容器Bの成膜の良否判定に係る技術分野での使用を想定されていない。指標体貼り付け装置11は、容器Bに指標体21を貼りつけた後に移載装置12へボトルを受け渡す。なお、他の実施形態においては指標体貼り付け装置11は移載装置12が容器Bを運搬しているときに、当該容器Bに指標体21を貼り付けてもよい。
The indicator
移載装置12は、容器Bを製造する装置から容器Bを受け取り、成膜装置13による成膜がなされた後外部装置(例えば充填装置)に受け渡す装置である。移載装置12は、例えば複数のスターホイールやコンベアの組み合わせにより構成される。
The
成膜装置13は、移載装置12に把持された容器Bの開口部に挿入可能に構成された装置である。成膜装置13は、真空にした容器Bの内部に目的のガス(例えばアセチレンガス)を封入し、そのガスにエネルギーを与えて発生したプラズマによって容器B内膜にコーティングを施す装置である。成膜装置13が発生させるプラズマには、ラディカル及びイオンが含まれる。
The
色調取得装置14は、成膜を施した容器Bに貼付された指標体21の色調を取得する装置である。色調取得装置14としては、カメラなどの撮像素子を用いることができる。色調取得装置14は、例えば色調をRGB値として取得する。
The color
成膜判定装置15は、色調取得装置14が取得した色調に基づいて、成膜装置13による容器の成膜の良否を判定する。
The film
図2は、第1の実施形態に係る成膜判定システム10の動作を表すフローチャートである。指標体貼り付け装置11は、容器Bの内面に指標体21を貼りつける(ステップS1)。指標体貼り付け装置11は、容器Bを移載装置12に受け渡す。移載装置12は、指標体貼り付け装置11から容器Bを受け取ると、当該容器Bを成膜装置13が設けられた場所へ運ぶ(ステップS2)。容器Bが、成膜装置13の設置箇所に到達すると成膜装置13が容器Bの開口部に挿入され、容器Bの成膜処置を実行する(ステップS3)。
具体的には、成膜装置13は、以下の手順で成膜処理を実行する。まず、成膜装置13は、容器Bの内部を真空引きする。次に成膜装置13は、真空引きされた容器Bの内部にガスを注入する。次に、成膜装置13は、容器Bの内部に挿入された電極に高周波電力を供給することで、容器Bの内面に放電プラズマを発生させる。これにより、容器Bの内面に被膜が形成される。そして、成膜装置13は、ガスを排気したのち、容器Bの開口部から取り外される。成膜装置13による成膜処理が完了すると移載装置12は、容器Bを外部に受け渡す。
次に色調取得装置14は、容器Bに貼り付けられた指標体21の色調を取得する(ステップS4)。色調取得装置14は、取得した色調を示す色調データを成膜判定装置15に入力する。成膜判定装置15は、入力された色調データに基づいて成膜の良否を判定し、その結果を表示する(ステップS5)。
FIG. 2 is a flowchart showing the operation of the film forming
Specifically, the
Next, the color
図3は、第1の実施形態に係る成膜判定装置15のソフトウエア構成を示す概略ブロック図である。成膜判定装置15は、色調入力部51、参照色調記憶部52、色差算出部53、成膜判定部54、出力部55を備える。
色調入力部51は、色調取得装置14で取得した色調の入力を受け付ける。
参照色調記憶部52は、成膜処理がなされる前の指標体21の色調を示す参照色調情報を記憶する。参照色調情報は、あらかじめ入力された色調情報であってもよく、指標体21の貼り付け前後に撮影された画像から抽出された色調情報を使用してもよい。
色差算出部53は、参照色調記憶部52が記憶する参照色調情報と色調入力部51に入力された色調の差を算出する。
成膜判定部54は、色差算出部53で算出した結果をもとに成膜の良否を判定する。成膜判定部54は、色差算出部53が算出した色調の差が閾値以上である場合に成膜が良好であると判定し、閾値未満であった場合には、成膜が不良であると判定する。
出力部55は、成膜判定部54の判定結果を出力する。例えば、出力部55は、成膜判定部54の判定結果をディスプレイに表示させる。
FIG. 3 is a schematic block diagram illustrating a software configuration of the film forming
The color
The reference color
The color
The film
The
図4は、第1の実施形態に係る成膜判定装置15の動作を示すフローチャートである。
色調取得装置14は、指標体21の色調を取得すると、当該色調を示す色調情報を成膜判定装置15に入力する。成膜判定装置15の色調入力部51は、色調取得装置14から色調情報の入力を受け付ける(ステップS51)。次に、色差算出部53は、参照色調記憶部52から比較対象となる参照色調情報を取得する(ステップS52)。次に、色差算出部53は、色調入力部51で入力された色調と読み出した参照色調情報との差を色差として算出する(ステップS3)。
FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the film forming
When the color
成膜判定部54は、色差算出部53が算出した色差が所定の閾値以上であるか否かを判定する(ステップS54)。色差が閾値以上である場合(ステップS54:YES)、成膜判定部54は、成膜が良好であると判定し、出力部55は、成膜が良好である旨の判定結果を出力する(ステップS55)。他方、色差が閾値未満である場合(ステップS54:NO)、成膜判定部54は、成膜が不良であると判定し、出力部55は、成膜が不良である旨の判定結果を出力する(ステップS56)。
The film
[第2の実施形態]
本発明の第2の実施形態について説明する。第1の実施形態に係る成膜判定システム10は、成膜装置13が製品の製造ラインを止めているときに、成膜の判定を行うものである。これに対し、第2の実施形態に係る成膜判定システム10は、製品の製造ラインの稼働中に、成膜の判定を行うことを可能とするものである。なお、上記第1の実施形態と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
[Second Embodiment]
A second embodiment of the present invention will be described. The film
図5は、第2の実施形態に係る成膜判定システム10の構成を示す概略図である。
本実施形態では、第1の実施形態の成膜判定システム10の構成に加え、指標体21が貼り付けられたサンプルボトルB2を製品ライン19とは異なるライン(リジェクトライン18)に排出する容器排出装置17をさらに備える。容器排出装置17は、成膜装置13の後段に設けられる。容器排出装置17は、たとえば負圧源と、負圧源に接続された吸盤と、負圧源と吸盤との間に設けられた電磁弁とを備える。容器排出装置17は、排出対象となる容器Bに吸盤を当て、電磁弁を開くことで、容器Bを移載装置12から受け取ることができる。容器排出装置17は、受け取った容器Bをリジェクトライン18に流す。
第2の実施形態に係る色調取得装置14は、リジェクトライン18に設けられ、リジェクトライン18に排出されたサンプルボトルB2に貼り付けられた指標体21の色調を取得する。リジェクトライン18に排出されなかった容器Bは移載装置12から充填装置など次のプロセスに係る装置に受け渡される。
第2の実施形態では、第1の実施形態に係る成膜判定装置15に代えて制御装置16を備える。
FIG. 5 is a schematic diagram showing the configuration of the film forming
In the present embodiment, in addition to the configuration of the film forming
The color
In the second embodiment, a
図6は、第2の実施形態に係る制御装置のソフトウエア構成を示す概略ブロック図である。
制御装置16は、製品として出荷される製品ボトルB1とサンプルボトルB2に対し同一のライン上で成膜を行い、サンプルボトルB2のみを製品ライン19とは異なるリジェクトライン18に排出する動作の制御を行う。制御装置16は、サンプルボトル判定部61、排出指示部62、色調入力部51、参照色調記憶部52、色差算出部53、成膜判定部54、停止指示部63を備える。
FIG. 6 is a schematic block diagram illustrating a software configuration of the control device according to the second embodiment.
The
図7は、サンプルボトルの例を示す外観図である。
サンプルボトル判定部61は、移載装置12が把持する各容器Bについて、サンプルボトルB2であるか否かを判定する。サンプルボトルB2とは、図7(A)に示すように指標体21が付された容器Bである。例えば、サンプルボトル判定部61は、移載装置12が把持する各容器Bを撮影する図示しないカメラが撮影した画像を解析し、指標体21が付された容器Bを検知することで、サンプルボトルB2か否かを判定してもよい。つまり、サンプルボトルB2を認識するためのマーキングの一例として指標体21が挙げられる。このとき、移載装置12は把持した容器Bがカメラの視野内を通過するときに当該容器Bを回転させることで、確実にカメラが指標体21を撮影できるようにすることができる。また、例えば、サンプルボトル判定部61は、あらかじめサンプルボトルB2に係るサンプルIDの入力を受け、各容器Bに付されたIDとサンプルIDが一致するか否かを判定することで、サンプルボトルB2を判定してもよい。つまり、サンプルボトルB2を認識するためのマーキングの一例としてIDが挙げられる。また、図7(B)に示すようにサンプルボトルB2には物理的に目視可能なマーキング22を付しておき、作業者が目視によりサンプルボトルB2を検出できるようにしてもよい。この場合、作業者は、マーキング22が付された容器Bを認識すると、制御装置16に当該容器BがサンプルボトルB2であることを示す情報を入力する。なお、サンプルボトル判定部61がカメラ等の解析により指標体21を検知する場合にも、マーキング22を付しておくことで、サンプルボトル判定部61が指標体21の検知に失敗したとしても、作業者がサンプルボトルB2を発見することができる。つまり、サンプルボトルB2にマーキング22を付しておくことで、サンプルボトルB2が製品ライン19へ移送されることをより確実に防ぐことができる。
FIG. 7 is an external view showing an example of a sample bottle.
The sample
排出指示部62は、サンプルボトル判定部61によってサンプルボトルB2であると判定された容器Bを指定して、容器Bをリジェクトライン18に排出させる排出指示を容器排出装置17に出力する。また、排出指示部62は、その他のチェックにおいて不良であると判定された容器Bを排出させる排出指示を容器排出装置17に出力してもよい。その他のチェックの例としては、真空引き時の容器Bの内圧や、容器Bの破損の有無のチェックなどが挙げられる。
The
停止指示部63は、成膜判定部54によって成膜が不良であると判定された場合に、移載装置12及び成膜装置13に停止指示を出力する。停止指示の出力により製造ラインが停止する。
色調入力部51、参照色調記憶部52、色差算出部53、成膜判定部54は、第1の実施形態と同様の機能を有する。
The
The color
図8は、第2の実施形態に係る成膜判定システム10の動作フロー図である。
指標体貼り付け装置11は、容器Bの内面に指標体21を貼りつける(ステップS101)。指標体貼り付け装置11は、容器Bを移載装置12に受け渡す。移載装置12は、指標体貼り付け装置11から容器Bを受け取ると、当該容器Bを成膜装置13が設けられた場所へ運ぶ(ステップS102)。容器Bが成膜装置13の設置個所に到達すると、成膜装置13が容器Bの開口部に挿入され、容器Bの成膜処理を実行する(ステップS103)。制御装置16は、成膜された容器BがサンプルボトルB2であるか否かを判定する(ステップS104)成膜された容器BがサンプルボトルB2でない場合(ステップS104:NO)、移載装置12は容器Bを次プロセスに係る装置に受け渡す(ステップS105)。他方、成膜された容器BがサンプルボトルB2である場合(ステップS104:YES)、成膜装置13は、当該容器Bを排出させる排出指示を容器排出装置17に出力する。これにより、容器排出装置17は容器Bをリジェクトライン18へ排出する(ステップS106)。
FIG. 8 is an operation flowchart of the film forming
The indicator
色調取得装置14は、リジェクトライン18に排出された容器Bに貼り付けられた指標体21の色調を取得する(ステップS107)。色調取得装置14は、取得した色調を示す色調データを制御装置16に入力する。制御装置16は、入力された色調データに基づいて成膜の良否を判定する(ステップS108)。制御装置16は、成膜が不良であると判定した場合(ステップS108:YES)、移載装置12及び成膜装置13に停止指示を出力する。これにより、移載装置12および成膜装置13は動作を停止する(ステップS109)。サンプルボトルB2の成膜が不良である場合、他の容器Bについても適切に成膜がなされていない可能性が高い。したがって、第2の実施形態に係る成膜判定システム10によれば、サンプルボトルB2の成膜が不良である場合に速やかに製造ラインを停止することができる。
一方、制御装置16は、成膜が良好であると判定した場合(ステップS108:NO)、停止指示を出力せずに処理を終了する。
The color
On the other hand, when it is determined that the film formation is good (step S108: NO), the
図9は、第2の実施形態に係る制御装置の動作を示すフローチャートである。制御装置16は、以下に示す処理を各容器Bについて実行する。
サンプルボトル判定部61は、対象の容器Bについて、サンプルボトルB2であるか否かを判定する(ステップS151)。対象の容器BがサンプルボトルB2でない場合、制御装置16は当該容器Bに係る処理を終了する。
他方、対象の容器BがサンプルボトルB2である場合、容器排出装置17に対象の容器Bを排出させる排出指示を出力する(ステップS152)。これにより対象の容器Bはリジェクトライン18に排出される。色調取得装置14は、リジェクトライン18に排出された指標体21の色調を取得すると、当該色調を示す色調情報を成膜判定装置15に入力する。成膜判定装置15の色調入力部51は、色調取得装置14からの色調情報の入力を受け付ける(ステップS153)。次に色差算出部53は、参照色調記憶部52から比較対象となった参照色調情報を取得する(ステップS154)。次に、色差算出部53は、色調入力部51に入力された色調情報の値と読み出した参照色調情報の値との差を、色差として算出する(ステップS155)。
FIG. 9 is a flowchart showing the operation of the control device according to the second embodiment. The
The sample
On the other hand, when the target container B is the sample bottle B2, a discharge instruction for discharging the target container B to the container discharge device 17 is output (step S152). As a result, the target container B is discharged to the
成膜判定部54は、色差算出部53が算出した色差が所定の閾値以上であるか否かを判定する(ステップS156)。成膜判定部54は、色差が閾値以上である場合(ステップS156:YES)、成膜が良好であると判定し、当該容器Bに係る処理を終了する。
他方、色差が閾値未満である場合(ステップS156:NO)、成膜判定部54は、成膜が不良であると判定し、停止指示部63は、移載装置12および成膜装置13に停止指示を出力する(ステップS157)。これにより製品の製造ラインの稼働中に、製品の製造を止めることなく成膜の良否と判定することができる。このため、任意のタイミングで成膜判定を行いロットごとなどで製品ボトルの評価を行い、成膜判定部54において成膜判定で不良と判定された場合には、容器Bの製造を停止することができる。
The film
On the other hand, when the color difference is less than the threshold (step S156: NO), the film
第2の実施形態に係る色調取得装置14は、リジェクトライン18に設けられるが、これに限られない。例えば、他の実施形態に係る色調取得装置14は、成膜装置13の後段かつ容器排出装置17の前段に設けられてもよい。つまり、サンプルボトルB2は、成膜の良否を判定された後に、リジェクトライン18に排出されてもよい。
The color
[第3の実施形態]
本発明の第3の実施形態について図9を用いて説明する。第1の実施形態に係る成膜判定システム10は、指標体21の色調が変化した場合に、成膜が良好であると判定するものである。一方で、生成される被膜がとても薄いものである場合、指標体21の色調の変化量が微小となる。そこで、第3の実施形態に係る成膜判定システム10は、成膜後に成膜に用いるガスと異なるガスのプラズマを容器B内に発生させ、指標体21の色調に変化が大きい場合に成膜が不良であると判定する。すなわち、第3の実施形態に係る成膜判定システム10は、図示しないプラズマ発生装置を備える。プラズマ発生装置は、ボトルの成膜後に成膜装置13と異なる種類のガス(例えば希ガス)に係るプラズマをボトル内に発生させる。このとき、指標体21の色調は、成膜装置13が用いるガスに反応したときと、プラズマ発生装置が発生させるプラズマに反応したときで異なる。なお、上記第1の実施形態と同様の構成については、同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
[Third embodiment]
A third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The film
図10は、第3の実施形態に係る成膜判定装置の動作を示すフローチャートである。
色調取得装置14は、プラズマ発生装置によるプラズマの発生後に、指標体21の色調を取得し、当該色調を示す色調情報を成膜判定装置15に入力する。成膜判定装置15の色調入力部51は、色調取得装置14からの色調情報の入力を受け付ける(ステップS251)。次に、色差算出部53は、参照色調記憶部52から比較対象となる参照色調情報を取得する(ステップS252)。第3の実施形態に係る参照色調記憶部52が記憶する参照色調情報は、指標体21が成膜装置13の用いるガスに反応したときの色調である。このとき取得する色調は、あらかじめ参照色調として記憶させておいた色調データでもよく、成膜後の指標体の色調を取得したものでもよい。色差算出部53は、色調入力部51に入力された色調情報の値と読み出した参照色調情報の値との差を色差として算出する(ステップS253)。
FIG. 10 is a flowchart showing the operation of the film forming determination apparatus according to the third embodiment.
The color
成膜判定部54は、色差算出部53が算出した色差が所定の閾値以上であるか否かを判定する(ステップS254)。色差が閾値以下である場合(ステップS254:YES)、成膜判定部54は、成膜が良好であると判定し、出力部55は、成膜が良好である旨の判定結果を出力する(ステップS255)。他方、色差が閾値より大きい場合(ステップS254:NO)、成膜判定部54は、成膜が不良であると判定し、出力部55は、成膜が不良である旨の判定結果を出力する(ステップS256)。
The film
このように、本実施形態に係る成膜判定装置15によれば、成膜を施した後の指標体21をさらに成膜装置13で使用した物質とは異なる物質に曝し、その指標体21の色調を取得し、判定を行う。このとき使用される指標体21には、成膜処理により被膜が生成されているため、さらにプラズマに曝されても当該プラズマが指標体21と直接触れないため、指標体21が変色しない。これにより、生成される被膜がとても薄く、指標体21の色調の変化量が微小である場合にも有効に成膜の判定を行うことができる。
As described above, according to the film
なお、第3の実施形態に係る成膜判定システム10は、参照色調情報として成膜後かつプラズマ発生装置によるプラズマ処理がなされる前の指標体21の色調を用いるが、これに限られない。例えば、他の実施形態に係る成膜判定システム10は、参照色調情報として指標体21をプラズマ発生装置が発生させたプラズマに曝した時の指標体21の色調を用いてもよい。この場合、成膜判定装置15は、色差算出部53が算出した色差が所定の色差以上である場合に成膜が良好であると判定し、色差が所定の閾値未満である場合に成膜が不良であると判定する。
The film
また、第3の実施形態に係る成膜判定システム10は、成膜後にプラズマ発生装置によるプラズマ処理を行うが、これに限られない。例えば、他の実施形態に係る容器Bの成膜に失敗した場合に、指標体21が何らかの変色を呈す場合、成膜処理後にプラズマ処理を行うことなく、図10に示すフローに従って成膜の良否を判定してもよい。
In addition, the film
以上本発明の実施形態について図面を参照して詳述したが、具体的な構成はこの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。 Although the embodiment of the present invention has been described in detail with reference to the drawings, the specific configuration is not limited to this embodiment, and includes design changes and the like within a scope not departing from the gist of the present invention.
上述した実施形態に係る指標体貼り付け装置11は、例えば容器Bの開口部から指標体21を挿入し容器Bの内面に指標体21を押し当てることにより、指標体21を貼りつける。このとき、指標体21の形状はパッチ状のものであってもよいし、テープ状のものであってもよい。指標体21がテープ状である場合、容器Bの内壁に指標体を巡らせることで、色調取得装置14は、容器Bの回転角度によらず容易に指標体21の色調を取得することができる。また指標体21として塗料そのものを用いてもよい。
The index
図11は、少なくとも1つの実施形態に係るコンピュータの構成を示す概略ブロック図である。
コンピュータ90は、CPU91、主記憶装置92、補助記憶装置93、インタフェース94を備える。
上述の成膜判定装置15および制御装置16は、それぞれコンピュータ90を備える。そして、上述した各処理部の動作は、プログラムの形式で補助記憶装置93に記憶されている。CPU91は、プログラムを補助記憶装置93から読み出して主記憶装置92に展開し、当該プログラムに従って上記処理を実行する。また、CPU91は、プログラムに従って、上述した記憶部に対応する記憶領域を主記憶装置92に確保する。
FIG. 11 is a schematic block diagram illustrating a configuration of a computer according to at least one embodiment.
The
Each of the film
補助記憶装置93の例としては、HDD(Hard Disk Drive)、SSD(Solid State Drive)、磁気ディスク、光磁気ディスク、CD−ROM(Compact Disc Read Only Memory)、DVD−ROM(Digital Versatile Disc Read Only Memory)、半導体メモリ等が挙げられる。補助記憶装置93は、コンピュータ90のバスに直接接続された内部メディアであってもよいし、インタフェース94または通信回線を介してコンピュータ90に接続される外部メディアであってもよい。また、このプログラムが通信回線によってコンピュータ90に配信される場合、配信を受けたコンピュータ90が当該プログラムを主記憶装置92に展開し、上記処理を実行してもよい。少なくとも1つの実施形態において、補助記憶装置93は、一時的でない有形の記憶媒体である。
Examples of the
また、当該プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであってもよい。さらに、当該プログラムは、前述した機能を補助記憶装置93に既に記憶されている他のプログラムとの組み合わせで実現するもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であってもよい。
Further, the program may be for realizing a part of the functions described above. Further, the program may be a so-called difference file (difference program) that realizes the above-described function in combination with another program already stored in the
10 成膜判定システム
11 指標体貼り付け装置
12 移載装置
13 成膜装置
14 色調取得装置
15 成膜判定装置
21 指標体
51 色調入力部
52 参照色調記憶部
53 色差算出部
54 成膜判定部
55 出力部
DESCRIPTION OF
Claims (10)
該色調入力部が取得した前記指標体の色調に基づいて、前記容器の成膜の良否を判定する判定部と、
を備える成膜判定装置。 A color tone input unit that acquires the color tone of the index body after film formation is performed by the film forming apparatus on the inner surface of the container in which the index body whose color tone is changed by the radical substance is formed;
A determination unit that determines the quality of film formation of the container based on the color tone of the index body acquired by the color tone input unit;
A film forming determination apparatus.
前記容器の内面に成膜する工程と、
成膜を施した後の前記指標体の色調を取得する工程と、
取得した前記指標体の色調に基づいて、前記容器の成膜の良否を判定する工程と、
を有する成膜判定方法。 Attaching an indicator body whose color tone changes depending on the radical substance on the inner surface of the container;
Forming a film on the inner surface of the container;
Obtaining a color tone of the indicator body after film formation;
Determining the quality of film formation of the container based on the acquired color tone of the indicator body;
A method for determining film formation.
前記容器の内面に成膜を施す成膜装置と、
前記成膜装置によって成膜を施された前記指標体の色調から成膜の良否を判定する判定部と、を備える成膜判定システム。 A device for attaching an indicator body whose color tone changes depending on the radical substance to the container;
A film forming apparatus for forming a film on the inner surface of the container;
And a determination unit that determines the quality of the film formation from the color tone of the index body formed by the film formation apparatus.
を備えた請求項8に記載の成膜判定システム。 The film forming determination system according to claim 8, further comprising: a branch portion that branches the container to which the index body is bonded to a line different from a product line.
を備え、
前記分岐部は、前記読み取り部によって認識された前記サンプルボトルを前記製品ラインとは異なるラインに分岐させる
請求項9に記載の成膜判定システム。 The container to which the indicator body is bonded is used as a sample bottle, and a recognizable marking that is physically or electronically applied to the sample bottle is read.
The film formation determination system according to claim 9, wherein the branching unit branches the sample bottle recognized by the reading unit into a line different from the product line.
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