JP2018081019A - Measurement device and measurement method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To shorten the time required for measuring a frequency characteristic with regard to a measured signal or a physical quantity of a measurement object.SOLUTION: In the first session of frequency characteristic measurement, the present invention executes an automatic range switching process for automatically finding out one appropriate measurement range RV and switching to this measurement range RV at each frequency fand storing the range information that indicates this measurement range RV in memory as candidate range information Din correlation to the frequency f. In the second and subsequent sessions of frequency characteristic measurement, the automatic range switching process is executed after being switched to the measurement range RV indicated by the candidate range information Dstored in correlation to each frequency f, and when one new appropriate measurement range RV is found out in this automatic range switching process, the range information that indicates this measurement range RV is stored in memory as new candidate range information Din correlation to each frequency f.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少(スイープ(掃引))させつつ、各周波数において、測定用交流信号の供給によって測定対象に発生する被測定信号についての周波数特性またはこの被測定信号に基づいて算出される測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定装置および測定方法に関するものである。   In the present invention, the frequency of the AC signal for measurement supplied to the measurement object is increased or decreased (sweep) stepwise within a predetermined frequency band, and the measurement object is supplied by supplying the AC signal for measurement at each frequency. The present invention relates to a measuring apparatus and a measuring method for measuring a frequency characteristic of a signal under measurement generated at a frequency or a frequency characteristic of a physical quantity of a measurement target calculated based on the signal under measurement.

この種の測定装置として、下記の特許文献1において出願人が開示した測定装置(検査装置)が知られている。この測定装置は、測定部、記憶部、処理部および表示部を備え、部品が搭載された基板について、この部品の実装状態(部品が実装状態であるか非実装状態であるか)を検査可能に構成されている。   As this type of measuring apparatus, a measuring apparatus (inspection apparatus) disclosed by the applicant in Patent Document 1 below is known. This measuring device is equipped with a measuring unit, storage unit, processing unit and display unit, and it is possible to inspect the mounting state of the component (whether the component is in a mounted state or a non-mounted state) on a board on which the component is mounted It is configured.

この測定装置では、実装状態の検査に際して、測定部が、部品が実装されているべき2つの導体パターン間に、周波数をスイープ(段階的に増加または減少)させつつ交流電流(測定用交流信号)を供給すると共に、これに伴って2つの導体パターン間に発生する交流電圧(被測定信号)を検出する。また、測定部は、この交流電流およびこの交流電圧に基づいて、2つの導体パターン間のインピーダンス(物理量の一例)を周波数毎に測定し(つまり、インピーダンスの周波数特性を測定し)、測定した周波数毎のインピーダンスを示す特性データ(インピーダンスの周波数特性を示すデータ)を処理部に出力する。処理部は、測定部から出力された特性データを取得して記憶部に記憶させると共に、この特性データに基づいて検査処理を実行して、2つの導体パターン間に実装されている部品で構成される電気回路でのこの部品の実装状態を検査する。一例として、この特性データ(インピーダンスの周波数特性)に表れる共振周波数の数は、部品がコンデンサのときにはコンデンサの数と同数となる。このため、処理部は、この共振周波数の数に基づいて、検査対象(測定対象)としての上記の電気回路について、部品としてのコンデンサがすべて正常に実装されているか、非実装のコンデンサがあるかを検査することが可能となっている。   In this measuring apparatus, when inspecting the mounting state, the measuring unit sweeps the frequency (increase or decrease stepwise) between the two conductor patterns on which the component is to be mounted, and the alternating current (measurement AC signal). And an AC voltage (signal to be measured) generated between the two conductor patterns is detected. The measurement unit measures the impedance (an example of a physical quantity) between the two conductor patterns for each frequency based on the alternating current and the alternating voltage (that is, measures the frequency characteristics of the impedance), and measures the measured frequency. Characteristic data (impedance frequency characteristic) indicating the impedance for each is output to the processing unit. The processing unit acquires characteristic data output from the measurement unit, stores the characteristic data in the storage unit, and executes inspection processing based on the characteristic data, and is configured by components mounted between two conductor patterns. Inspect the mounting state of this component in the electrical circuit. As an example, the number of resonant frequencies appearing in this characteristic data (impedance frequency characteristics) is the same as the number of capacitors when the component is a capacitor. Therefore, based on the number of resonance frequencies, the processing unit determines whether all capacitors as components are normally mounted or not in the electrical circuit as the inspection target (measurement target). Can be inspected.

ところで、測定部によって測定されるこの電気回路のインピーダンスは、特許文献1に開示されているように、共振周波数においては1Ω未満の極めて小さい値となる一方で、共振周波数から離れた周波数においては1kΩを超える大きな値となることがある。つまり、一般的な測定部では交流電流を交流定電流(振幅が一定の交流電流)として供給する構成を採用することから、測定部によって測定される2つの導体パターン間に発生する交流電圧は、その電圧値が大きく変化するものとなっている。このため、一般的な測定部では、このような交流電圧を正確に測定するために、複数の測定レンジ(例えば、1Ω以下のインピーダンスに対応する電圧値用の最も大きなゲインの測定レンジ、10Ω以下のインピーダンスに対応する電圧値用の次にゲインの大きな測定レンジ、100Ω以下のインピーダンスに対応する電圧値用のその次にゲインの大きな測定レンジ、1kΩ以下のインピーダンスに対応する電圧値用のその次にゲインの大きな測定レンジ、10kΩ以下のインピーダンスに対応する電圧値用の最もゲインの小さな測定レンジ)を備えると共に、交流電流の各周波数において、これらの測定レンジのうちの最適な測定レンジに切り替えて交流電圧を測定する構成を採用している。   By the way, as disclosed in Patent Document 1, the impedance of the electric circuit measured by the measuring unit is an extremely small value of less than 1Ω at the resonance frequency, while 1 kΩ at a frequency away from the resonance frequency. It may be a large value exceeding. That is, since a general measurement unit adopts a configuration in which an alternating current is supplied as an alternating constant current (an alternating current having a constant amplitude), an alternating voltage generated between two conductor patterns measured by the measuring unit is The voltage value changes greatly. Therefore, in a general measurement unit, in order to accurately measure such an AC voltage, a plurality of measurement ranges (for example, the measurement range of the largest gain for a voltage value corresponding to an impedance of 1Ω or less, 10Ω or less). Next, the measurement range with the next highest gain for the voltage value corresponding to the impedance of the current, the next measurement range for the voltage value corresponding to the impedance of 100 Ω or less, and the next for the voltage value corresponding to the impedance of 1 kΩ or less. The measurement range with the largest gain is the smallest measurement range for the voltage value corresponding to the impedance of 10 kΩ or less, and at each frequency of the alternating current, the measurement range is switched to the optimum measurement range. A configuration for measuring AC voltage is adopted.

特開2014−74672号公報(第6−8頁、第1−5図)JP 2014-74672 A (page 6-8, FIG. 1-5)

ところが、各周波数において複数の測定レンジを切り替えながら測定対象についての被測定信号を測定することで、この測定対象についての周波数特性を測定する上記の測定装置には、改善すべき以下の課題がある。具体的には、この測定装置では、各周波数において、複数の測定レンジのうちの例えば最もゲインの小さな測定レンジを最初の測定レンジとして、ゲインの大きな測定レンジに順次切り替えるレンジ切替動作(レンジ自動切替処理の実行)を繰り返すことにより、適切な測定レンジに切り替えている。このため、この測定装置には、測定対象に生じる被測定信号についての周波数特性や測定対象の物理量についての周波数特性を測定するのに要する時間が長くなるという改善すべき課題が存在している。   However, the measurement apparatus that measures the frequency characteristics of the measurement target by measuring the signal under measurement for the measurement target while switching a plurality of measurement ranges at each frequency has the following problems to be improved. . Specifically, in this measuring apparatus, for each frequency, for example, a range switching operation (automatic range switching) that sequentially switches to a measurement range with a large gain, using the measurement range with the smallest gain among a plurality of measurement ranges as the first measurement range. The process is switched to an appropriate measurement range by repeating the process. For this reason, this measuring apparatus has a problem to be improved in that it takes a long time to measure the frequency characteristics of the signal under measurement generated in the measurement object and the frequency characteristics of the physical quantity of the measurement object.

本発明は、かかる課題を解決すべくなされたものであり、測定対象の被測定信号や物理量についての周波数特性を測定するのに要する時間を短縮し得る測定装置および測定方法を提供することを主目的とする。   The present invention has been made to solve such a problem, and mainly provides a measuring apparatus and a measuring method capable of reducing the time required to measure the frequency characteristics of a signal under measurement and a physical quantity to be measured. Objective.

上記目的を達成すべく請求項1記載の測定装置は、測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少させつつ、各周波数において、当該測定用交流信号の供給によって当該測定対象に発生する被測定信号を複数の測定レンジのうちの適切な1つの測定レンジに切り替えて測定すると共に当該測定した被測定信号のレベルを当該測定用交流信号の周波数に対応させて記憶することにより、当該被測定信号についての周波数特性または当該被測定信号に基づいて算出される当該測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定装置であって、1回目の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記複数の測定レンジから前記適切な1つの測定レンジを自動的に探し出すと共に当該探し出した測定レンジに切り替えるレンジ自動切替処理を実行し、かつ当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を前記測定用交流信号の周波数に対応させて候補レンジ情報として記憶し、2回目以降の前記周波数特性の測定の際には、前記測定用交流信号の周波数に対応させて記憶した前記候補レンジ情報で示される前記測定レンジに切り替えた後に前記レンジ自動切替処理を実行すると共に当該レンジ自動切替処理において新たな前記適切な1つの測定レンジを探し出したときには当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を当該測定用交流信号の周波数に対応させて新たな候補レンジ情報として記憶する。   In order to achieve the above object, the measurement apparatus according to claim 1 is configured to increase or decrease the frequency of the measurement AC signal supplied to the measurement object in a stepwise manner within a predetermined frequency band, and at each frequency, the measurement AC signal. The signal to be measured generated in the measurement target by supplying the signal is switched to an appropriate one of the plurality of measurement ranges and measured, and the level of the measured signal to be measured is set to the frequency of the AC signal for measurement. A measuring device that measures the frequency characteristics of the signal under measurement or the frequency characteristics of the physical quantity of the measurement target calculated based on the signal under measurement by storing the signals in correspondence with each other. When measuring characteristics, the appropriate one measurement range is automatically searched from the plurality of measurement ranges at each frequency and A range automatic switching process for switching to the measured measurement range is executed, and range information indicating the found measurement range is stored as candidate range information in association with the frequency of the AC signal for measurement, and the frequency after the second time is stored. When measuring characteristics, the range automatic switching process is performed after switching to the measurement range indicated by the candidate range information stored in correspondence with the frequency of the AC signal for measurement, and in the range automatic switching process. When a new appropriate measurement range is found, range information indicating the found measurement range is stored as new candidate range information in association with the frequency of the measurement AC signal.

また、請求項2記載の測定装置は、測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少させつつ、各周波数において、当該測定用交流信号の供給によって当該測定対象に発生する被測定信号を複数の測定レンジのうちの適切な1つの測定レンジに切り替えて測定すると共に当該測定した被測定信号のレベルを当該測定用交流信号の周波数に対応させて記憶することにより、当該被測定信号についての周波数特性または当該被測定信号に基づいて算出される当該測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定装置であって、1回目の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記複数の測定レンジから前記適切な1つの測定レンジを自動的に探し出すと共に当該探し出した測定レンジに切り替えるレンジ自動切替処理を実行し、かつ当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を前記測定用交流信号の周波数に対応させて使用レンジ情報として記憶し、2回目以降の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記レンジ自動切替処理を実行することなく、前記測定用交流信号の周波数に対応させて記憶した前記使用レンジ情報で示される前記測定レンジに切り替える。   In addition, the measuring apparatus according to claim 2 is configured to increase or decrease the frequency of the measurement AC signal supplied to the measurement target in stages within a predetermined frequency band, while supplying the measurement AC signal at each frequency. The signal under measurement generated in the measurement object is measured by switching to an appropriate one of a plurality of measurement ranges, and the level of the signal under measurement is stored in correspondence with the frequency of the AC signal for measurement. By measuring the frequency characteristic of the signal under measurement or the frequency characteristic of the physical quantity of the measurement target calculated based on the signal under measurement, In this case, the appropriate one measurement range is automatically searched from the plurality of measurement ranges at each frequency, and the found measurement is performed. The range information indicating the found measurement range is stored as use range information corresponding to the frequency of the AC signal for measurement, and the frequency characteristics are measured for the second and subsequent times. At this time, at each frequency, the range is switched to the measurement range indicated by the use range information stored corresponding to the frequency of the AC signal for measurement without executing the range automatic switching process.

また、請求項3記載の測定方法は、測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少させつつ、各周波数において、当該測定用交流信号の供給によって当該測定対象に発生する被測定信号を複数の測定レンジのうちの適切な1つの測定レンジに切り替えて測定すると共に当該測定した被測定信号のレベルを当該測定用交流信号の周波数に対応させて記憶することにより、当該被測定信号についての周波数特性または当該被測定信号に基づいて算出される当該測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定方法であって、1回目の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記複数の測定レンジから前記適切な1つの測定レンジを自動的に探し出すと共に当該探し出した測定レンジに切り替えるレンジ自動切替処理を実行し、かつ当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を前記測定用交流信号の周波数に対応させて候補レンジ情報として記憶し、2回目以降の前記周波数特性の測定の際には、前記測定用交流信号の周波数に対応させて記憶した前記候補レンジ情報で示される前記測定レンジに切り替えた後に前記レンジ自動切替処理を実行すると共に当該レンジ自動切替処理において新たな前記適切な1つの測定レンジを探し出したときには当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を当該測定用交流信号の周波数に対応させて新たな候補レンジ情報として記憶する。   According to a third aspect of the present invention, the frequency of the measurement AC signal supplied to the measurement target is increased or decreased stepwise within a predetermined frequency band, and the measurement AC signal is supplied at each frequency. The signal under measurement generated in the measurement object is measured by switching to an appropriate one of a plurality of measurement ranges, and the level of the signal under measurement is stored in correspondence with the frequency of the AC signal for measurement. A measurement method for measuring the frequency characteristic of the signal under measurement or the frequency characteristic of the physical quantity of the measurement target calculated based on the signal under measurement. In this case, the appropriate one measurement range is automatically searched from the plurality of measurement ranges at each frequency, and the found measurement is performed. Range information indicating the found measurement range is stored as candidate range information corresponding to the frequency of the AC signal for measurement, and the frequency characteristics are measured for the second and subsequent times. In this case, the range automatic switching process is executed after switching to the measurement range indicated by the candidate range information stored in correspondence with the frequency of the measurement AC signal, and a new appropriate value is selected in the range automatic switching process. When a single measurement range is found, range information indicating the found measurement range is stored as new candidate range information in association with the frequency of the measurement AC signal.

また、請求項4記載の測定方法は、測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少させつつ、各周波数において、当該測定用交流信号の供給によって当該測定対象に発生する被測定信号を複数の測定レンジのうちの適切な1つの測定レンジに切り替えて測定すると共に当該測定した被測定信号のレベルを当該測定用交流信号の周波数に対応させて記憶することにより、当該被測定信号についての周波数特性または当該被測定信号に基づいて算出される当該測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定方法であって、1回目の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記複数の測定レンジから前記適切な1つの測定レンジを自動的に探し出すと共に当該探し出した測定レンジに切り替えるレンジ自動切替処理を実行し、かつ当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を前記測定用交流信号の周波数に対応させて使用レンジ情報として記憶し、2回目以降の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記レンジ自動切替処理を実行することなく、前記測定用交流信号の周波数に対応させて記憶した前記使用レンジ情報で示される前記測定レンジに切り替える。   According to a fourth aspect of the present invention, the frequency of the measurement AC signal supplied to the measurement object is increased or decreased stepwise within a predetermined frequency band, and the measurement AC signal is supplied at each frequency. The signal under measurement generated in the measurement object is measured by switching to an appropriate one of a plurality of measurement ranges, and the level of the signal under measurement is stored in correspondence with the frequency of the AC signal for measurement. A measurement method for measuring the frequency characteristic of the signal under measurement or the frequency characteristic of the physical quantity of the measurement target calculated based on the signal under measurement. In this case, the appropriate one measurement range is automatically searched from the plurality of measurement ranges at each frequency, and the found measurement is performed. The range information indicating the found measurement range is stored as use range information corresponding to the frequency of the AC signal for measurement, and the frequency characteristics are measured for the second and subsequent times. At this time, at each frequency, the range is switched to the measurement range indicated by the use range information stored corresponding to the frequency of the AC signal for measurement without executing the range automatic switching process.

請求項1記載の測定装置および請求項3記載の測定方法では、実行した周波数特性測定処理において、各周波数のときに探し出した適切な測定レンジ(最終的に使用された測定レンジ)を示すレンジ情報が候補レンジ情報として更新されながら記憶される。そして、次の周波数特性測定処理の実行時において、各周波数に対応させて記憶されている候補レンジ情報が、各周波数のときに最初に使用する測定レンジを示すレンジ情報として使用され、この後にレンジ自動切替処理が実行される。   In the measurement apparatus according to claim 1 and the measurement method according to claim 3, range information indicating an appropriate measurement range (finally used measurement range) found at each frequency in the executed frequency characteristic measurement processing. Are stored while being updated as candidate range information. Then, at the time of executing the next frequency characteristic measurement process, the candidate range information stored in association with each frequency is used as range information indicating the measurement range to be used first at each frequency. Automatic switching processing is executed.

したがって、この測定装置および測定方法によれば、各周波数特性測定処理の実行時における各周波数でのレンジ自動切替処理において、従来の測定装置のように複数の測定レンジのうちの例えば最もゲインの小さな測定レンジを常に最初の測定レンジとしてレンジ自動切替処理を開始する構成とは異なり、1回前の周波数特性測定処理における各周波数でのレンジ自動切替処理によって探し出した適切な測定レンジを最初の測定レンジとしてレンジ自動切替処理を開始することができる。これにより、特に、1つの測定対象に発生する被測定信号についての周波数特性やこの被測定信号に基づいて算出される測定対象の物理量についての周波数特性を予め規定された時間間隔で継続的に測定する測定形態(つまり、周波数特性測定処理で測定される被測定信号の周波数特性や物理量の周波数特性が一般的に大きくは変動しない測定形態)においては、各周波数特性測定処理の実行時における各周波数でのレンジ自動切替処理における測定レンジの変更回数(レンジ切替えの回数)を大幅に低減することができるため、1回の周波数特性測定処理の実行に要する時間を大幅に短縮することができる。この結果、周波数特性の測定のために上記の予め規定された時間間隔でスリープ状態から一時的に起動する構成の測定装置では、起動状態の時間(起動してから、周波数特性の測定を行って、再度スリープ状態に移行するまでの時間)を短縮できることから、電力消費量を低く抑えることができるため、バッテリ駆動方式であれば、測定対象の周波数特性の測定をより長期間に亘って継続することを可能にすることができる。   Therefore, according to this measurement apparatus and measurement method, in the range automatic switching process at each frequency at the time of execution of each frequency characteristic measurement process, for example, the smallest gain among a plurality of measurement ranges as in the conventional measurement apparatus. Unlike the configuration that always starts the automatic range switching process using the measurement range as the first measurement range, the first measurement range is the appropriate measurement range found by the automatic range switching process at each frequency in the previous frequency characteristic measurement process. The range automatic switching process can be started. As a result, in particular, the frequency characteristics of the signal under measurement generated in one measurement object and the frequency characteristics of the physical quantity of the measurement object calculated based on this signal under measurement are continuously measured at predetermined time intervals. Measurement mode (that is, a measurement mode in which the frequency characteristics of the signal under measurement measured in the frequency characteristic measurement process and the frequency characteristic of the physical quantity generally do not vary greatly), each frequency at the time of execution of each frequency characteristic measurement process Since the number of measurement range changes (range switching) in the automatic range switching process can be greatly reduced, the time required to execute one frequency characteristic measurement process can be greatly shortened. As a result, in the measurement apparatus configured to temporarily start from the sleep state at the above-mentioned predetermined time interval for the measurement of the frequency characteristic, the time of the start state (the frequency characteristic is measured after being started). Since the power consumption can be kept low, the measurement of the frequency characteristics of the measurement object can be continued for a longer period if the battery drive method is used. Can make it possible.

また、請求項2記載の測定装置および請求項4記載の測定方法では、1回目の周波数特性の測定を実行したときに各周波数でのレンジ自動切替処理において探し出した適切な測定レンジを示すレンジ情報を使用レンジ情報として各周波数に対応させて記憶させ、2回目以降の周波数特性の測定のための各周波数での測定の際には、周波数に対応させて記憶されている使用レンジ情報で示される測定レンジに直ちに切り替えてこの測定レンジをそのまま使用することができる。したがって、この測定装置および測定方法によれば、2回目以降の周波数特性の測定のための各周波数での測定の際におけるレンジ自動切替動作を省くことができる結果、上記の測定装置および測定方法と比較して、周波数特性の測定に要する時間をさらに短縮することができる。   Further, in the measurement apparatus according to claim 2 and the measurement method according to claim 4, range information indicating an appropriate measurement range found in the range automatic switching process at each frequency when the first frequency characteristic measurement is performed. Is stored in correspondence with each frequency as the use range information, and is indicated by the use range information stored in correspondence with the frequency at the time of measurement at each frequency for the measurement of frequency characteristics for the second and subsequent times. You can immediately switch to the measurement range and use this measurement range as it is. Therefore, according to this measurement apparatus and measurement method, the range automatic switching operation at the time of measurement at each frequency for the second and subsequent frequency characteristic measurements can be omitted. In comparison, the time required for measuring the frequency characteristics can be further shortened.

測定装置1の構成を示す構成図である。1 is a configuration diagram showing a configuration of a measuring device 1. FIG. 図1の測定部2が測定する測定対象11についての電圧値Vsvの周波数特性図である。It is a frequency characteristic figure of voltage value Vsv about measuring object 11 which measuring part 2 of Drawing 1 measures. 測定装置1の1回目の周波数特性測定処理100での動作を説明するためのフローチャートである。4 is a flowchart for explaining an operation in a first frequency characteristic measurement process 100 of the measurement apparatus 1. 測定装置1の2回目以降の周波数特性測定処理200での動作を説明するためのフローチャートである。6 is a flowchart for explaining the operation of the frequency characteristic measurement processing 200 for the second time and thereafter of the measuring apparatus 1. 周波数特性測定処理100のレンジ初期化処理(ステップ101)の完了後における各周波数f,f,・・・と、各周波数f,f,・・・に対応する候補レンジ情報DCRVとの関係を説明するための説明図である。Range initialization of the frequency characteristic measurement processing 100 each frequency f 1 after completion of the (step 101), f 2, and ..., the frequencies f 1, f 2, the candidate range information D CRV corresponding to ... It is explanatory drawing for demonstrating the relationship. 周波数特性測定処理100の完了後における各周波数f,f,・・・と、各周波数f,f,・・・に対応する候補レンジ情報DCRVとの関係を説明するための説明図である。Each frequency f 1 after the completion of the frequency characteristic measurement processing 100, f 2,..., And the description for explaining the relationship between the frequencies f 1, f 2, the candidate range information D CRV corresponding to ... FIG. 最初の周波数特性測定処理200の完了後(つまり、2回目の周波数特性測定処理の完了後)における各周波数f,f,・・・と、各周波数f,f,・・・に対応する候補レンジ情報DCRVとの関係を説明するための説明図である。After the completion of the first frequency characteristic measurement process 200 (that is, after the completion of the second frequency characteristic measurement process), the frequencies f 1 , f 2 ,... And the frequencies f 1 , f 2 ,. It is explanatory drawing for demonstrating the relationship with corresponding candidate range information DCRV . 1回目の周波数特性測定処理(周波数特性測定処理100)、2回目の周波数特性測定処理(周波数特性測定処理200)、および3回目の周波数特性測定処理(周波数特性測定処理200)の実行によって記憶部3に、各周波数f,f,・・・に対応させて記憶される測定値(電圧値Vsv,インピーダンスZ)の状況を説明するための説明図である。By executing the first frequency characteristic measurement process (frequency characteristic measurement process 100), the second frequency characteristic measurement process (frequency characteristic measurement process 200), and the third frequency characteristic measurement process (frequency characteristic measurement process 200), the storage unit is stored. 3 is an explanatory diagram for explaining the situation of the measured values (voltage value Vsv, impedance Z) stored in association with each frequency f 1 , f 2 ,...

以下、添付図面を参照して測定装置および測定方法の実施の形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of a measuring apparatus and a measuring method will be described with reference to the accompanying drawings.

最初に、測定装置および測定方法としての測定装置1および測定方法について図面を参照して説明する。   First, a measuring apparatus 1 and a measuring method as a measuring apparatus and a measuring method will be described with reference to the drawings.

測定装置1は、図1に示すように、測定部2、記憶部3、処理部4および出力部5を備え、1つの測定対象11に発生する被測定信号Vsについての周波数特性および被測定信号Vsに基づいて算出される測定対象11の物理量についての周波数特性を予め規定された時間間隔(例えば、数十分から数時間までの任意の時間間隔)で継続的に測定する。測定対象11としては、種々の電気機器や、これらの電気機器に搭載される種々の電子部品や電子部品が実装された回路基板、これらの電気機器に作動用電源を供給する電源装置(バッテリを含む)など種々のものとすることができるが、本例では一例として、電子部品が実装された不図示の回路基板を測定対象11とすると共に、この回路基板に形成されている電源供給ライン間(一例として、相互間に2つのバイパスコンデンサが並列に配設されて、所定の電圧(例えば+5V)が供給される正電圧共有ラインと、グランドラインとの間)のインピーダンスZ(本例では一例として、抵抗値)を測定対象11の物理量としてその周波数特性を測定するものとする。   As shown in FIG. 1, the measuring device 1 includes a measuring unit 2, a storage unit 3, a processing unit 4, and an output unit 5, and frequency characteristics and signals to be measured for a signal to be measured Vs generated in one measuring object 11. The frequency characteristic of the physical quantity of the measurement target 11 calculated based on Vs is continuously measured at a predetermined time interval (for example, an arbitrary time interval from several tens of minutes to several hours). The measurement object 11 includes various electric devices, various electronic components mounted on these electric devices and circuit boards on which the electronic components are mounted, and a power supply device (battery) that supplies operating power to these electric devices. In this example, as an example, a circuit board (not shown) on which electronic components are mounted is used as the measurement object 11 and between the power supply lines formed on the circuit board. (As an example, impedance Z (between a positive voltage sharing line to which a predetermined voltage (for example, + 5V) is supplied and two ground capacitors are arranged in parallel with each other) and a ground line) is an example in this example. The frequency characteristic is measured using the resistance value as a physical quantity of the measurement object 11.

測定部2は、一例として、予め規定された電流値Isv(例えば既知の実効値)の交流電流Is(測定用交流信号の一例である振幅が一定の交流定電流)を処理部4によって指示された周波数fで発生させて一対のプローブ6a,6b間に供給可能な電流供給部(不図示)と、一対のプローブ6a,6b間に発生する電圧信号Vs(被測定信号の一例である交流電圧)のレベル(本例では電圧値Vsv)を複数の測定レンジ(本例では一例として、電圧測定用の6つの測定レンジRV1〜RV6)のうちの処理部4によって指示された測定レンジRVに切り替えて測定すると共に、測定した電圧値Vsvを処理部4に出力する電圧測定部(不図示)とを備えて構成されている。   As an example, the measurement unit 2 is instructed by the processing unit 4 to have an alternating current Is (an AC constant current having a constant amplitude, which is an example of an AC signal for measurement) having a predetermined current value Isv (for example, a known effective value). A current supply unit (not shown) that can be generated between the pair of probes 6a and 6b and generated between the pair of probes 6a and 6b, and a voltage signal Vs that is generated between the pair of probes 6a and 6b (an AC voltage that is an example of a signal under measurement). ) (Voltage value Vsv in this example) is switched to the measurement range RV instructed by the processing unit 4 out of a plurality of measurement ranges (in this example, six measurement ranges RV1 to RV6 for voltage measurement). And a voltage measuring unit (not shown) that outputs the measured voltage value Vsv to the processing unit 4.

なお、6つの測定レンジRV1〜RV6は、物理量の一例として算出(測定)されるインピーダンスZの6つの測定レンジに一対一で対応したものとなっている。具体的には、測定レンジRV1は、インピーダンスZの1つの測定レンジ(一例として1Ω以下のインピーダンスを測定するための最も大きなゲインの測定レンジ)に対応するレンジであり、測定レンジRV2は、インピーダンスZの他の1つの測定レンジ(一例として10Ω以下のインピーダンスを測定するための2番目にゲインの大きな測定レンジ)に対応するレンジであり、測定レンジRV3は、インピーダンスZの他の1つの測定レンジ(一例として100Ω以下のインピーダンスを測定するための3番目にゲインの大きな測定レンジ)に対応するレンジであり、測定レンジRV4は、インピーダンスZの他の1つの測定レンジ(一例として1kΩ以下のインピーダンスを測定するための4番目にゲインの大きな測定レンジ)に対応するレンジであり、測定レンジRV5は、インピーダンスZの他の1つの測定レンジ(一例として10kΩ以下のインピーダンスを測定するための5番目にゲインの大きな測定レンジ)に対応するレンジであり、測定レンジRV6は、インピーダンスZの他の1つの測定レンジ(一例として100kΩ以下のインピーダンスを測定するための最も小さなゲインの測定レンジ)に対応するレンジである。これにより、各測定レンジRV1〜RV6は、インピーダンスZの6つの測定レンジのうちの上記のように対応する1つの測定レンジともなっている。   The six measurement ranges RV1 to RV6 correspond one-to-one to the six measurement ranges of the impedance Z calculated (measured) as an example of the physical quantity. Specifically, the measurement range RV1 is a range corresponding to one measurement range of the impedance Z (for example, the measurement range of the largest gain for measuring an impedance of 1Ω or less), and the measurement range RV2 is the impedance Z Is a range corresponding to another measurement range (for example, a measurement range having the second highest gain for measuring an impedance of 10Ω or less as an example). As an example, it is a range corresponding to the third largest gain measurement range for measuring an impedance of 100Ω or less, and the measurement range RV4 measures another measurement range of the impedance Z (an impedance of 1 kΩ or less as an example). 4th measurement range with the highest gain for The measurement range RV5 is a range corresponding to another measurement range of the impedance Z (for example, a measurement range having the fifth largest gain for measuring an impedance of 10 kΩ or less), and the measurement range RV6 is , A range corresponding to another measurement range of impedance Z (as an example, the measurement range of the smallest gain for measuring an impedance of 100 kΩ or less). Accordingly, each of the measurement ranges RV1 to RV6 is also one measurement range corresponding to the above among the six measurement ranges of the impedance Z.

記憶部3は一例としてROMやRAMなどの半導体メモリで構成されている。この記憶部3には、図示はしないが、処理部4のための動作プログラムが予め記憶されると共に、図5に示すように、記憶部3の周波数記憶領域3aには、周波数特性の測定の際に測定部2に指示する交流電流Isについての複数の周波数f(f<f<f<・・・<f<・・・fn−1<fのように予め規定されたn個の周波数。nは、例えば数十から数千程度の数であり、kは、1以上n以下の任意の数である)が昇順または降順に(本例では一例として昇順に)予め記憶されている。また、記憶部3には、各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,f(以下、各周波数fともいう)における測定レンジRVについての共通の初期値(測定装置1の起動直後やリセット直後において、各周波数fでの最初の測定レンジRVとする測定レンジRVを示すレンジ情報DRVである共通の初期レンジ情報DRV0)が予め記憶されている。本例では一例として、最も大きな電圧信号Vsを測定し得る測定レンジRV6を示すレンジ情報DRV6が初期レンジ情報DRV0として記憶されている。 As an example, the storage unit 3 includes a semiconductor memory such as a ROM or a RAM. Although not shown, the storage unit 3 stores an operation program for the processing unit 4 in advance, and as shown in FIG. 5, the frequency storage area 3a of the storage unit 3 stores frequency characteristics. A plurality of frequencies f (f 1 <f 2 <f 3 <... <F k <... F n−1 <f n are specified in advance for the alternating current Is instructed to the measurement unit 2. N is a number in the order of several tens to several thousand, for example, k is an arbitrary number between 1 and n in ascending or descending order (in this example, ascending order as an example) in advance. It is remembered. Further, the storage unit 3 stores information about the measurement ranges RV at the respective frequencies f 1 , f 2 ,..., F k ,..., F n−1 , f n (hereinafter also referred to as each frequency f k ). A common initial value (common initial range information D RV0, which is range information D RV indicating the measurement range RV as the first measurement range RV at each frequency f k immediately after the start-up or reset of the measuring apparatus 1) is previously stored. It is remembered. In this example, as an example, range information D RV6 indicating a measurement range RV6 in which the largest voltage signal Vs can be measured is stored as initial range information D RV0 .

また、記憶部3には、図5に示すように、各周波数fでの最初の測定レンジRVとする測定レンジRVを示す候補レンジ情報DCRVを、各周波数fに対応させて記憶するためのn個のレンジ記憶領域3bが設けられている。また、図8に示すように、記憶部3には、周波数特性測定処理(後述する周波数特性測定処理100,200)を実行する度に測定される測定値(各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fでの電圧値Vsv,Vsv,・・・,Vsv,・・・,Vsvn−1,VsvおよびインピーダンスZ,Z,・・・,Z,・・・,Zn−1,Z)を、実行した回数毎に記憶するための測定値記憶領域が設けられている。 Further, as shown in FIG. 5, candidate range information DCRV indicating the measurement range RV as the first measurement range RV at each frequency fk is stored in the storage unit 3 in association with each frequency fk. N range storage areas 3b are provided. As shown in FIG. 8, the storage unit 3 stores measured values (respective frequencies f 1 , f 2 ,...) That are measured each time a frequency characteristic measurement process (frequency characteristic measurement processes 100 and 200 described later) is executed. ··, f k, ···, f n-1, the voltage value Vsv 1, Vsv 2 at f n, ···, Vsv k, ···, Vsv n-1, Vsv n and impedance Z 1, Z 2 ,..., Z k ,..., Z n−1 , Z n ) are provided for each measured number of times.

処理部4は、一例としてコンピュータで構成されて、周波数特性測定処理100,200(図3,4参照)、および出力処理を実行する。この周波数特性測定処理100,200のうちの周波数特性測定処理100は、測定装置1の起動直後や、リセット直後において実行される1回目の周波数特性測定処理であり、他の周波数特性測定処理200は、周波数特性測定処理100の実施後から、測定装置1の停止やリセットが行われるまでの間において実行される周波数特性測定処理(2回目以降の周波数特性測定処理)である。各周波数特性測定処理100,200では、処理部4は、記憶部3に記憶されている周波数fを順番に(昇順に)読み出して測定部2に指示することで、測定対象11に供給する交流電流Isの周波数を段階的に周波数f,f,・・・,fn−1,fというように増加させつつ、各周波数fにおいて、交流電流Isの供給によって測定対象11に発生する電圧信号Vsの電圧値Vsvを測定すると共にこの測定した電圧値Vsvに基づいて測定対象11の物理量としてのインピーダンスZを算出し、かつこのときの交流電流Isの周波数fに対応させて電圧値VsvおよびインピーダンスZを記憶するという処理(電圧値Vsvの周波数特性、およびインピーダンスZの周波数特性を測定する処理)を実行する。 The processing unit 4 is configured by a computer as an example, and executes frequency characteristic measurement processing 100 and 200 (see FIGS. 3 and 4) and output processing. Of the frequency characteristic measurement processes 100 and 200, the frequency characteristic measurement process 100 is a first frequency characteristic measurement process performed immediately after the measurement apparatus 1 is started or immediately after resetting. This is a frequency characteristic measurement process (second and subsequent frequency characteristic measurement processes) executed after the frequency characteristic measurement process 100 is performed and before the measurement device 1 is stopped or reset. In each frequency characteristic measurement process 100, 200, the processing unit 4 reads the frequencies f k stored in the storage unit 3 in order (in ascending order) and instructs the measurement unit 2 to supply them to the measurement object 11. While the frequency of the alternating current Is is increased step by step to the frequencies f 1 , f 2 ,..., F n−1 , f n , the measurement object 11 is supplied to the measurement object 11 by supplying the alternating current Is at each frequency f k . A voltage value Vsv k of the generated voltage signal Vs is measured, and an impedance Z k as a physical quantity of the measurement object 11 is calculated based on the measured voltage value Vsv, and corresponds to the frequency f k of the alternating current Is at this time. perform processing (processing of measuring the frequency characteristic of the voltage value frequency characteristics of Vsv, and impedance Z) that are allowed to store the voltage value Vsv k and the impedance Z k by .

出力部5は、例えばメディアインターフェース回路で構成されて、処理部4によって測定された電圧値Vsvの周波数特性やインピーダンスZの周波数特性を、出力部5に着脱自在に装着されたリムーバブルメディアに記憶させる。なお、出力部5は、メディアインターフェース回路に代えて、ネットワークインターフェース回路で構成してネットワーク経由で外部装置に上記の周波数特性を伝送させたり、LCD(液晶ディスプレイ)などの表示装置で構成して、上記の周波数特性を画面に表示させたりすることも可能である。   The output unit 5 is composed of, for example, a media interface circuit, and stores the frequency characteristic of the voltage value Vsv and the frequency characteristic of the impedance Z measured by the processing unit 4 in a removable medium that is detachably attached to the output unit 5. . The output unit 5 is configured with a network interface circuit instead of the media interface circuit and transmits the above frequency characteristics to an external device via the network, or configured with a display device such as an LCD (liquid crystal display). It is also possible to display the above frequency characteristics on the screen.

次に、測定装置1の動作と共に測定方法について、具体的に説明する。なお、測定部2は、一対のプローブ6a,6bを介して回路基板に形成されている各電源供給ラインに接続されて、この電源供給ライン間に並列に配設される測定対象11としての2つのバイパスコンデンサに発生する電圧信号Vsの電圧値Vsvを測定可能な状態にあるものとする。   Next, the measurement method will be specifically described together with the operation of the measurement apparatus 1. The measurement unit 2 is connected to each power supply line formed on the circuit board via a pair of probes 6a and 6b, and 2 as a measurement object 11 arranged in parallel between the power supply lines. It is assumed that the voltage value Vsv of the voltage signal Vs generated in the two bypass capacitors can be measured.

測定装置1では、処理部4は、起動直後やリセット直後において、まず、図3に示す周波数特性測定処理100を実行する。この周波数特性測定処理100では、処理部4は、最初に、レンジ初期化処理を実行する(ステップ101)。このレンジ初期化処理では、処理部4は、記憶部3に記憶されている共通の初期レンジ情報DRV0(本例では、一例として測定レンジRV6を示すレンジ情報DRV6)を読み出すと共に、この読み出した初期レンジ情報DRV0(=DRV6)を、図5に示すように、各周波数fでの最初の測定レンジRVを示す候補レンジ情報DCRVとして各周波数fに対応させて記憶部3に記憶させる(具体的には、各周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに記憶させる)。 In the measurement apparatus 1, the processing unit 4 first executes a frequency characteristic measurement process 100 shown in FIG. 3 immediately after startup or immediately after reset. In the frequency characteristic measurement process 100, the processing unit 4 first executes a range initialization process (step 101). In this range initialization process, the processing unit 4 reads out the common initial range information D RV0 (in this example, range information D RV6 indicating the measurement range RV6 as an example) stored in the storage unit 3 and reads this out. initial range information D RV0 a (= D RV6), as shown in FIG. 5, the first measurement range candidate range information D storage unit 3 in association with each frequency f k as CRV indicating the RV at each frequency f k (Specifically, it is stored in the range storage area 3b corresponding to each frequency fk ).

次いで、処理部4は、記憶部3に記憶されている各周波数fのうちの1つの周波数を特定するための数値kを数値1とし(ステップ102)、後述するステップ103からステップ107までの各処理を、これらの各処理を1回実行する度に数値kをインクリメントしつつ(ステップ109)、この数値kが数値nに達したとステップ108において判別するまで繰り返す。 Next, the processing unit 4 sets a numerical value k for specifying one of the frequencies f k stored in the storage unit 3 to a numerical value 1 (step 102), and from step 103 to step 107 described later. Each process is repeated while incrementing the numerical value k each time each of these processes is executed (step 109), and is repeated until it is determined in step 108 that the numerical value k has reached the numerical value n.

具体的には、処理部4は、ステップ103において、数値kで示される周波数fと、この周波数fに対応する候補レンジ情報DCRV(このときには、初期レンジ情報DRV0としてのレンジ情報DRV6)とを、記憶部3の周波数記憶領域3aとレンジ記憶領域3bとから読み出すと共に、読み出した周波数fを交流電流Isの周波数fとして測定部2に対して指示(設定)し(周波数設定処理)、また読み出した候補レンジ情報DCRVで示される測定レンジRV(このときにはレンジ情報DRV6で示される測定レンジRV6)を測定部2に対して最初に使用する測定レンジRVとして指示(設定)する(開始レンジ設定処理)。 Specifically, in step 103, the processing unit 4 determines the frequency f k indicated by the numerical value k and candidate range information D CRV corresponding to the frequency f k (in this case, the range information D as the initial range information D RV0). RV6 ) is read from the frequency storage area 3a and the range storage area 3b of the storage unit 3, and the read frequency fk is instructed (set) to the measurement unit 2 as the frequency f of the alternating current Is (frequency setting). process), also read candidate range information D measurement range RV represented by CRV (denoted as measurement range RV to first use the measurement range RV6) represented by the range information D RV6 at this time to the measurement section 2 (set) (Start range setting process).

これにより、測定部2は、処理部4から指示された周波数fで交流電流Isを発生させると共に一対のプローブ6a,6bを介して測定対象11に供給する。また、測定部2は、この交流電流Isの供給に起因して測定対象11に発生する電圧信号Vsの電圧値Vsvを、一対のプローブ6a,6bを介して入力すると共に処理部4から指示された測定レンジRVを使用して測定を開始する。また、測定部2は、この測定した電圧値Vsvを処理部4に出力する。 As a result, the measurement unit 2 generates an alternating current Is at the frequency f k instructed by the processing unit 4 and supplies the alternating current Is to the measurement object 11 via the pair of probes 6a and 6b. Further, the measurement unit 2 inputs the voltage value Vsv of the voltage signal Vs generated in the measurement object 11 due to the supply of the alternating current Is through the pair of probes 6a and 6b and is instructed from the processing unit 4. Measurement is started using the measured range RV. In addition, the measurement unit 2 outputs the measured voltage value Vsv to the processing unit 4.

また、処理部4は、ステップ104〜106においてレンジ自動切替処理を実行することにより、各周波数fでの最終的な電圧値Vsvの測定に使用する適切な測定レンジRVを探し出す(適切な測定レンジRVに切り替える)。詳細には、処理部4は、まず、ステップ104において、測定部2から出力される電圧値Vsvを取得することで電圧値Vsvの測定を行い、次いで、ステップ105において、この測定した電圧値Vsvに基づき、測定部2に対して指示した測定レンジRV(この電圧値Vsvの測定に使用された測定レンジRV)を変更する必要があるか否かを判別する。 In addition, the processing unit 4 searches for an appropriate measurement range RV to be used for measuring the final voltage value Vsv at each frequency f k by executing range automatic switching processing in steps 104 to 106 (appropriate measurement). Switch to range RV). Specifically, the processing unit 4 first measures the voltage value Vsv by acquiring the voltage value Vsv output from the measurement unit 2 in step 104, and then measures the measured voltage value Vsv in step 105. Based on the above, it is determined whether or not it is necessary to change the measurement range RV instructed to the measurement unit 2 (the measurement range RV used for measuring the voltage value Vsv).

例えば、測定レンジRV1〜RV6のうちの最小の測定レンジRV1では、測定した電圧値Vsvがこの測定レンジRV1に対して予め規定された上限閾値(例えば、この測定レンジRV1のフルスケールに対する例えば95%の値)以下かこの上限閾値を上回るか否かに基づき、上限閾値以下のときには現在の測定レンジRV1は適切な測定レンジであって測定レンジRVの変更は不要と判別してステップ107に移行し、一方、上限閾値を上回るときには現在の測定レンジRV1は適切な測定レンジではないことから、測定レンジRVの変更が必要であると判別してステップ106に移行する。   For example, in the smallest measurement range RV1 among the measurement ranges RV1 to RV6, the measured voltage value Vsv is an upper limit threshold value defined in advance for the measurement range RV1 (for example, 95% of the full scale of the measurement range RV1, for example) The current measurement range RV1 is an appropriate measurement range, and it is determined that the change of the measurement range RV is unnecessary based on whether it is less than or equal to the upper limit threshold, and the process proceeds to step 107. On the other hand, when the value exceeds the upper threshold value, the current measurement range RV1 is not an appropriate measurement range, so that it is determined that the measurement range RV needs to be changed, and the routine proceeds to step 106.

また、測定レンジRV1〜RV6のうちの中間の測定レンジRV2〜RV5では、測定した電圧値Vsvがこれらの各測定レンジRVに対して予め規定された上限閾値(例えば、この測定レンジRVのフルスケールに対する例えば95%の値)以下かこの上限閾値を上回るか否かと、測定した電圧値Vsvがこれらの各測定レンジRVに対して予め規定された下限閾値(例えば、この測定レンジRVのフルスケールに対する例えば5%の値)を下回るかこの下限閾値以上である否かとに基づき、上限閾値以下で、かつ下限閾値以上のときには現在の測定レンジRVは適切な測定レンジであって測定レンジRVの変更は不要と判別してステップ107に移行し、一方、上限閾値を上回るときや下限閾値を下回るときには現在の測定レンジRVは適切な測定レンジではないことから、測定レンジRVの変更が必要であると判別してステップ106に移行する。   Further, in the intermediate measurement ranges RV2 to RV5 among the measurement ranges RV1 to RV6, the measured voltage value Vsv is an upper limit threshold value defined in advance for each of these measurement ranges RV (for example, the full scale of the measurement range RV). Whether the measured voltage value Vsv is less than or equal to the upper threshold value, and the measured voltage value Vsv is a predetermined lower threshold value for each of these measurement ranges RV (for example, for the full scale of the measurement range RV). For example, the current measurement range RV is an appropriate measurement range when the value is less than the upper threshold value and greater than or equal to the lower threshold value based on whether the value is less than the lower threshold value or less than the lower threshold value. When it is determined that it is unnecessary, the process proceeds to step 107. On the other hand, when the upper limit threshold is exceeded or the lower limit threshold is exceeded, the current measurement range RV is Since not a changeover of measurement range, the process proceeds to step 106 to determine that it is necessary to change the measurement range RV.

また、測定レンジRV1〜RV6のうちの最大の測定レンジRV6では、測定した電圧値Vsvがこの測定レンジRV6に対して予め規定された下限閾値(例えば、この測定レンジRV6のフルスケールに対する例えば5%の値)を下回るかこの下限閾値以上であるか否かに基づき、下限閾値以上のときには現在の測定レンジRV6は適切な測定レンジであって測定レンジRVの変更は不要と判別してステップ107に移行し、一方、下限閾値を下回るときには現在の測定レンジRV6は適切な測定レンジではないことから、測定レンジRVの変更が必要であると判別してステップ106に移行する。   Further, in the maximum measurement range RV6 among the measurement ranges RV1 to RV6, the measured voltage value Vsv is a lower limit threshold defined in advance for the measurement range RV6 (for example, 5% with respect to the full scale of the measurement range RV6, for example). The current measurement range RV6 is an appropriate measurement range, and it is determined that the measurement range RV does not need to be changed. On the other hand, when the value falls below the lower limit threshold, the current measurement range RV6 is not an appropriate measurement range. Therefore, it is determined that the measurement range RV needs to be changed, and the process proceeds to step 106.

処理部4は、ステップ106では、測定レンジRVの変更が必要であると判別した理由に応じて、現在の測定レンジRVを1つ上位の測定レンジRVに変更したり、1つ下位の測定レンジRVに変更したりする処理を実行する。具体的には、処理部4は、測定した電圧値Vsvが現在の測定レンジRVの上限閾値を上回ることに基づき、測定レンジRVの変更が必要と判別したときには、現在の測定レンジRVを1つ上位の測定レンジRVに変更する処理(つまり、この1つ上位の測定レンジRVを測定部2に対して使用する測定レンジRVとして指示(設定)する処理)を実行する。一方、処理部4は、測定した電圧値Vsvが現在の測定レンジRVの下限閾値を下回ることに基づき、測定レンジRVの変更が必要と判別したときには、現在の測定レンジRVを1つ下位の測定レンジRVに変更する処理(つまり、この1つ下位の測定レンジRVを測定部2に対して使用する測定レンジRVとして指示(設定)する処理)を実行する。   In step 106, the processing unit 4 changes the current measurement range RV to one higher measurement range RV or one lower measurement range depending on the reason that it is determined that the measurement range RV needs to be changed. A process of changing to RV is executed. Specifically, when the processing unit 4 determines that the measurement range RV needs to be changed based on the measured voltage value Vsv exceeding the upper limit threshold of the current measurement range RV, the processing unit 4 increases the current measurement range RV by one. A process of changing to the higher measurement range RV (that is, a process of instructing (setting) this higher measurement range RV as the measurement range RV to be used for the measurement unit 2) is executed. On the other hand, when the processing unit 4 determines that the measurement range RV needs to be changed based on the measured voltage value Vsv being lower than the lower limit threshold of the current measurement range RV, the processing unit 4 measures the current measurement range RV one level lower. A process of changing to the range RV (that is, a process of instructing (setting) the measurement range RV that is one lower level as the measurement range RV to be used for the measurement unit 2) is executed.

処理部4は、ステップ106において測定レンジRVを変更する処理を実行した後は、ステップ104に移行する。このようにして、処理部4は、ステップ105において、現在の測定レンジRVを変更する必要が無いと判別するまで(つまり、現在の測定レンジRVが適切な測定レンジRVであると判別するまで、言い換えれば、適切な測定レンジRVを探し出すまで)、ステップ104〜ステップ106を繰り返す(レンジ自動切替処理の実行)。   After executing the process of changing the measurement range RV in Step 106, the processing unit 4 proceeds to Step 104. In this way, the processing unit 4 determines in step 105 that it is not necessary to change the current measurement range RV (that is, until it is determined that the current measurement range RV is an appropriate measurement range RV). In other words, steps 104 to 106 are repeated (until the range automatic switching process is executed) until an appropriate measurement range RV is found).

処理部4は、ステップ105において現在の測定レンジRVを変更する必要が無い(つまり、現在の測定レンジRVが適切な測定レンジである)と判別して移行したステップ107では、図8に示すように、ステップ104で測定した電圧値Vsvを、ステップ103において測定部2に対して交流電流Isの周波数fとして指定した周波数fに対応させて記憶部3の測定値記憶領域に電圧値Vsvとして記憶させる。また、処理部4は、この電圧値Vsvと交流電流Isの既知の電流値Isvとに基づいて、測定対象11のインピーダンスZ(物理量)を算出すると共に、算出したインピーダンスZを、ステップ103において測定部2に対して交流電流Isの周波数fとして指定した周波数fに対応させて記憶部3の測定値記憶領域にインピーダンスZとして記憶させる。また、処理部4は、上記のレンジ自動切替処理において探し出した適切な測定レンジRVを示すレンジ情報DRVを、ステップ103において測定部2に対して交流電流Isの周波数fとして指定した周波数fに対応させて記憶部3に新たな候補レンジ情報DCRVとして記憶させる(具体的には、指定した周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに更新記憶させる)。 The processing unit 4 determines in step 105 that there is no need to change the current measurement range RV (that is, the current measurement range RV is an appropriate measurement range). to a voltage value Vsv measured in step 104, the voltage value Vsv k in the measurement value storage area of the storage unit 3 in association with a frequency f k that is specified as the frequency f of the AC current is to the measurement section 2 in step 103 Remember as. Further, the processing unit 4 calculates the impedance Z (physical quantity) of the measurement object 11 based on the voltage value Vsv k and the known current value Isv of the alternating current Is, and calculates the calculated impedance Z in step 103. The measurement unit 2 stores the impedance Z k in the measured value storage area of the storage unit 3 in association with the frequency f k designated as the frequency f of the alternating current Is. In addition, the processing unit 4 uses the frequency f k specified as the frequency f of the alternating current Is to the measurement unit 2 in step 103, as the range information D RV indicating the appropriate measurement range RV found in the above range automatic switching processing. And storing the new candidate range information DCRV in the storage unit 3 (specifically, updating and storing in the range storage area 3b corresponding to the designated frequency fk ).

処理部4は、上記したステップ107の実行の後、数値kが数値nに達したか否かを判別して(ステップ108)、達していないときには、数値kをインクリメントして(ステップ109)、ステップ103に移行する。このようにして、処理部4は、ステップ108において、数値kが数値nに達するまで(つまり、すべての周波数f〜fでの、電圧値Vsv〜Vsv、インピーダンスZ〜Zおよび新たな候補レンジ情報DCRVを記憶部3の測定値記憶領域およびレンジ記憶領域3bにそれぞれ記憶するまで、ステップ103〜ステップ107を繰り返す。これにより、ステップ108において、数値kが数値nに達したときには、測定対象11についての電圧値VsvおよびインピーダンスZのそれぞれについての1回目の周波数特性の測定結果が図8に示すように記憶部3に記憶される。これにより、1回目の周波数特性測定処理100が完了する。 After executing step 107 described above, the processing unit 4 determines whether or not the numerical value k has reached the numerical value n (step 108). If not, the processing unit 4 increments the numerical value k (step 109). Control goes to step 103. In this way, the processing unit 4 determines that the value k reaches the value n (that is, the voltage values Vsv 1 to Vsv n and impedances Z 1 to Z n at all frequencies f 1 to f n) in step 108. Step 103 to step 107 are repeated until the new candidate range information DCRV is stored in the measured value storage area and the range storage area 3b of the storage unit 3. Thereby, in step 108, the numerical value k reaches the numerical value n. When this is done, the first frequency characteristic measurement result for each of the voltage value Vsv and the impedance Z for the measurement object 11 is stored in the storage unit 3 as shown in Fig. 8. Thereby, the first frequency characteristic measurement is performed. Process 100 is complete.

例えば、交流電流Isの周波数fを周波数f,f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fというように段階的に変化(増加)させたときに、測定部2で測定される電圧値Vsvが図2において実線で示すように変化したときを例に挙げて、1回目の周波数特性測定処理100での処理部4の動作について具体的に説明する。 For example, the frequency f 1 to frequency f of the alternating current Is, f 2, f 3, ···, f k, ···, when the graduated (increase) and so f n-1, f n Further, the operation of the processing unit 4 in the first frequency characteristic measurement processing 100 will be specifically described by taking as an example the case where the voltage value Vsv measured by the measuring unit 2 changes as shown by a solid line in FIG. To do.

この場合、処理部4は、この周波数特性測定処理100において、測定部2に対して交流電流Isの周波数fを周波数fに設定したときには、上記したレンジ自動切替処理において、最初の測定レンジRV6で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV6を1つ下位の適切な測定レンジRV5に変更する。また、処理部4は、ステップ107において、この測定レンジRV5で測定された電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出する。また、処理部4は、図6に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV5を示すレンジ情報DRV5を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における1回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 In this case, when the frequency f of the alternating current Is is set to the frequency f 1 with respect to the measurement unit 2 in the frequency characteristic measurement process 100, the processing unit 4 performs the first measurement range RV6 in the range automatic switching process described above. Based on the voltage value Vsv measured in step (1), the measurement range RV6 is changed to an appropriate measurement range RV5 one level lower. The processing unit 4, in step 107, calculates the impedance Z 1 based on the voltage value Vsv 1 measured by this measurement range RV5. The processing unit 4, as shown in FIG. 6, is updated and stored range information D RV5 indicating the measurement range RV5 to the range storage region 3b corresponding to the frequency f 1 as the candidate range information D CRV. Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f 1 in a storage area for the measurement value in the first frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. Vsv 1 is stored as a voltage value Vsv, and impedance Z 1 is stored as impedance Z.

また、処理部4は、測定部2に対して交流電流Isの周波数fを周波数fに設定したときには、上記したレンジ自動切替処理において、最初の測定レンジRV6で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV6を1つ下位の適切な測定レンジRV5に変更する。また、処理部4は、ステップ107において、この測定レンジRV5で測定された電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出する。また、処理部4は、図6に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV5を示すレンジ情報DRV5を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における1回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 Further, when the frequency f of the alternating current Is is set to the frequency f 2 with respect to the measurement unit 2, the processing unit 4 is based on the voltage value Vsv measured in the first measurement range RV6 in the above-described range automatic switching process. The measurement range RV6 is changed to an appropriate measurement range RV5 that is one level lower. The processing unit 4, in step 107, calculates the impedance Z 2 based on the voltage value Vsv 2 measured by this measurement range RV5. The processing unit 4, as shown in FIG. 6, is updated and stored range information D RV5 indicating the measurement range RV5 to the range storage region 3b corresponding to the frequency f 2 as the candidate range information D CRV. Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f 2 in the storage region for the measurement value in the first frequency characteristic measurement process in the measurement value storage region of the storage unit 3. Vsv 2 is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z 2 is stored as the impedance Z.

また、処理部4は、測定部2に対して交流電流Isの周波数fを周波数fに設定したときには、上記したレンジ自動切替処理において、最初の測定レンジRV6で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV6を1つ下位の測定レンジRV5に変更し、さらにこの測定レンジRV5で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV5を1つ下位の適切な測定レンジRV4に変更する。また、処理部4は、ステップ107において、この測定レンジRV4で測定された電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出する。また、処理部4は、図6に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV4を示すレンジ情報DRV4を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における1回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 Further, when the frequency f of the alternating current Is is set to the frequency f 3 with respect to the measurement unit 2, the processing unit 4 is based on the voltage value Vsv measured in the first measurement range RV6 in the above-described range automatic switching process. The measurement range RV6 is changed to the next lower measurement range RV5, and the measurement range RV5 is changed to the next lower appropriate measurement range RV4 based on the voltage value Vsv measured in the measurement range RV5. The processing unit 4, in step 107, calculates the impedance Z 3 based on the voltage value Vsv 3 measured by the measurement range RV4. The processing unit 4, as shown in FIG. 6, is updated and stored range information D RV4 indicating the measurement range RV4 the range storage region 3b corresponding to the frequency f 3 as a candidate range information D CRV. Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f 3 in the storage region for the measurement value in the first frequency characteristic measurement process in the measurement value storage region of the storage unit 3. Vsv 3 is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z 3 is stored as the impedance Z.

その後、処理部4は、測定部2に対して交流電流Isの周波数fを周波数fに設定したときには、上記したレンジ自動切替処理において、最初の測定レンジRV6で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV6を1つ下位の測定レンジRV5に変更し、さらにこの測定レンジRV5で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV5を1つ下位の測定レンジRV4に変更するという測定レンジRVの変更を繰り返すことで、測定部2に指示する測定レンジRVを、測定レンジRV6→測定レンジRV5→測定レンジRV4→測定レンジRV3→測定レンジRV2→測定レンジRV1というように順次1つ下位側の測定レンジRVに変更する(これにより、適切な測定レンジRV1に変更される)。また、処理部4は、ステップ107において、この測定レンジRV1で測定された電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出する。また、処理部4は、図6に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV1を示すレンジ情報DRV1を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における1回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 Thereafter, when the frequency f of the alternating current Is is set to the frequency fk with respect to the measurement unit 2, the processing unit 4 is based on the voltage value Vsv measured in the first measurement range RV6 in the above-described range automatic switching processing. The measurement range RV6 is changed to the next lower measurement range RV5, and the measurement range RV5 is changed to the next lower measurement range RV4 based on the voltage value Vsv measured in the measurement range RV5. By repeating the change of RV, the measurement range RV to be instructed to the measurement unit 2 is sequentially lowered by one in the order of measurement range RV6 → measurement range RV5 → measurement range RV4 → measurement range RV3 → measurement range RV2 → measurement range RV1. To the appropriate measurement range RV1. The processing unit 4, in step 107, calculates the impedance Z k based on the voltage value Vsv k measured by this measurement range RV1. The processing unit 4, as shown in FIG. 6, is updated and stored range information D RV1 indicating the measurement range RV1 to the range storage region 3b corresponding to the frequency f k as the candidate range information D CRV. Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f k in a storage area for the measurement value in the first frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. Vsv k is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z k is stored as the impedance Z.

また、処理部4は、さらにその後に測定部2に対して周波数fn−1を設定したときには、上記したレンジ自動切替処理において、上記した周波数fを設定したときと同様にして、測定部2に指示する測定レンジRVを、測定レンジRV6→測定レンジRV5→測定レンジRV4→測定レンジRV3→測定レンジRV2というように順次1つ下位側の測定レンジRVに変更する(これにより、適切な測定レンジRV2に変更される)。また、処理部4は、ステップ107において、この測定レンジRV2で測定された電圧値Vsvn−1に基づいてインピーダンスZn−1を算出する。また、処理部4は、図6に示すように、周波数fn−1に対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV2を示すレンジ情報DRV2を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における1回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fn−1に対応させて電圧値Vsvn−1を電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZn−1をインピーダンスZとして記憶させる。 Further, when the processing unit 4 further sets the frequency f n-1 for the measurement unit 2 thereafter, the processing unit 4 performs the measurement unit in the same manner as when the frequency f k is set in the above-described range automatic switching process. The measurement range RV instructed to 2 is sequentially changed to the measurement range RV one level lower in the order of measurement range RV6 → measurement range RV5 → measurement range RV4 → measurement range RV3 → measurement range RV2 The range is changed to RV2.) In step 107, the processing unit 4 calculates an impedance Z n−1 based on the voltage value Vsv n−1 measured in the measurement range RV2. Further, as illustrated in FIG. 6, the processing unit 4 updates and stores the range information D RV2 indicating the measurement range RV2 as the candidate range information DCRV in the range storage area 3b corresponding to the frequency f n−1 . Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 corresponds to the frequency f n−1 in the storage area for the measurement value in the first frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. The voltage value Vsv n−1 is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z n−1 is stored as the impedance Z.

また、処理部4は、最後に、測定部2に対して周波数fを設定したときには、上記したレンジ自動切替処理において、上記した周波数fを設定したときと同様にして、測定部2に指示する測定レンジRVを、測定レンジRV6→測定レンジRV5→測定レンジRV4→測定レンジRV3→測定レンジRV2というように順次1つ下位側の測定レンジRVに変更する(これにより、適切な測定レンジRV2に変更される)。また、処理部4は、ステップ107において、この測定レンジRV2で測定された電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出する。また、処理部4は、図6に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV2を示すレンジ情報DRV2を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における1回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 In addition, when the processing unit 4 finally sets the frequency f n for the measuring unit 2, the processing unit 4 causes the measuring unit 2 to perform the same as when the above-described frequency f k is set in the automatic range switching process. The measurement range RV to be instructed is sequentially changed to the measurement range RV one level lower in the order of measurement range RV6 → measurement range RV5 → measurement range RV4 → measurement range RV3 → measurement range RV2 (in this way, an appropriate measurement range RV2 To be changed). The processing unit 4, in step 107, calculates the impedance Z n, based on the voltage value Vsv n measured by this measurement range RV2. The processing unit 4, as shown in FIG. 6, is updated and stored range information D RV2 indicating the measurement range RV2 to the range storage region 3b corresponding to the frequency f n as the candidate range information D CRV. Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f n in the storage area for the measurement value in the first frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. Vsv n is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z n is stored as the impedance Z.

1回目の周波数特性測定処理100の完了後において、処理部4は、予め規定された時間間隔が経過する都度、図4に示す周波数特性測定処理200を実行する。この周波数特性測定処理200は、周波数特性測定処理100におけるレンジ初期化処理101が省かれている以外は、周波数特性測定処理100と同じ内容となっている。このため、図4に示す周波数特性測定処理200では、周波数特性測定処理100と同じ内容の処理を実行するステップについては周波数特性測定処理100と同じステップ番号を付すものとする。また、後述する周波数特性測定処理200の説明において、周波数特性測定処理100と同じ処理については、重複する説明を省略する。   After completion of the first frequency characteristic measurement process 100, the processing unit 4 executes the frequency characteristic measurement process 200 shown in FIG. 4 every time a predetermined time interval elapses. This frequency characteristic measurement process 200 has the same contents as the frequency characteristic measurement process 100 except that the range initialization process 101 in the frequency characteristic measurement process 100 is omitted. For this reason, in the frequency characteristic measurement process 200 shown in FIG. 4, the steps having the same contents as the frequency characteristic measurement process 100 are denoted by the same step numbers as the frequency characteristic measurement process 100. Further, in the description of the frequency characteristic measurement process 200 described later, the same description as the frequency characteristic measurement process 100 is omitted.

この周波数特性測定処理200では、処理部4は、最初に、記憶部3に記憶されている各周波数fのうちの1つの周波数を特定するための数値kを数値1とし(ステップ102)、ステップ103からステップ107までの各処理を、これらの各処理を1回実行する度に数値kをインクリメントしつつ(ステップ109)、この数値kが数値nに達したとステップ108において判別するまで繰り返す。 In the frequency characteristic measurement process 200, the processing unit 4 first sets a numerical value k for specifying one of the frequencies f k stored in the storage unit 3 to a numerical value 1 (step 102). Each process from step 103 to step 107 is repeated while incrementing the numerical value k each time each of these processes is executed once (step 109), until it is determined in step 108 that the numerical value k has reached the numerical value n. .

具体的には、処理部4は、ステップ103において、数値kで示される周波数fと、この周波数fに対応する候補レンジ情報DCRVとを、記憶部3の周波数記憶領域3aとレンジ記憶領域3bとから読み出すと共に、読み出した周波数fを交流電流Isの周波数fとして測定部2に対して指示(設定)し(周波数設定処理)、また読み出した候補レンジ情報DCRVで示される測定レンジRVを測定部2に対して最初に使用する測定レンジRVとして指示(設定)する(開始レンジ設定処理)。 Specifically, in step 103, the processing unit 4 stores the frequency f k indicated by the numerical value k and the candidate range information D CRV corresponding to the frequency f k with the frequency storage area 3a of the storage unit 3 and the range storage. In addition to reading from the area 3b, the measurement unit 2 is instructed (set) to the read frequency fk as the frequency f of the alternating current Is (frequency setting process), and the measurement range indicated by the read candidate range information DCRV RV is instructed (set) as the measurement range RV to be used first for the measurement unit 2 (start range setting process).

これにより、測定部2は、処理部4から指示された周波数fで交流電流Isを発生させると共に一対のプローブ6a,6bを介して測定対象11に供給する。また、測定部2は、この交流電流Isの供給に起因して測定対象11に発生する電圧信号Vsの電圧値Vsvを、一対のプローブ6a,6bを介して入力すると共に処理部4から指示された測定レンジRVを使用して測定を開始する。また、測定部2は、この測定した電圧値Vsvを処理部4に出力する。 As a result, the measurement unit 2 generates an alternating current Is at the frequency f k instructed by the processing unit 4 and supplies the alternating current Is to the measurement object 11 via the pair of probes 6a and 6b. Further, the measurement unit 2 inputs the voltage value Vsv of the voltage signal Vs generated in the measurement object 11 due to the supply of the alternating current Is through the pair of probes 6a and 6b and is instructed from the processing unit 4. Measurement is started using the measured range RV. In addition, the measurement unit 2 outputs the measured voltage value Vsv to the processing unit 4.

また、処理部4は、ステップ104〜106においてレンジ自動切替処理を実行する。詳細には、処理部4は、まず、ステップ104において、測定部2から出力される電圧値Vsvを取得することで電圧値Vsvの測定を行い、次いで、ステップ105において、この測定した電圧値Vsvに基づき、測定部2に対して指示した測定レンジRV(この電圧値Vsvの測定に使用された測定レンジRV)を変更する必要があるか否かを判別する。   In addition, the processing unit 4 executes range automatic switching processing in steps 104 to 106. Specifically, the processing unit 4 first measures the voltage value Vsv by acquiring the voltage value Vsv output from the measurement unit 2 in step 104, and then measures the measured voltage value Vsv in step 105. Based on the above, it is determined whether or not it is necessary to change the measurement range RV instructed to the measurement unit 2 (the measurement range RV used for measuring the voltage value Vsv).

また、処理部4は、ステップ106では、測定した電圧値Vsvが現在の測定レンジRVの上限閾値を上回ることに基づき、測定レンジRVの変更が必要と判別したときには、現在の測定レンジRVを1つ上位の測定レンジRVに変更する処理(つまり、この1つ上位の測定レンジRVを測定部2に対して使用する測定レンジRVとして指示(設定)する処理)を実行する。一方、処理部4は、測定した電圧値Vsvが現在の測定レンジRVの下限閾値を下回ることに基づき、測定レンジRVの変更が必要と判別したときには、現在の測定レンジRVを1つ下位の測定レンジRVに変更する処理(つまり、この1つ下位の測定レンジRVを測定部2に対して使用する測定レンジRVとして指示(設定)する処理)を実行する。   In Step 106, when the processing unit 4 determines that the measurement range RV needs to be changed based on the measured voltage value Vsv exceeding the upper limit threshold of the current measurement range RV, the processing unit 4 sets the current measurement range RV to 1. A process of changing to the higher measurement range RV (that is, a process of instructing (setting) this higher measurement range RV as the measurement range RV to be used for the measurement unit 2) is executed. On the other hand, when the processing unit 4 determines that the measurement range RV needs to be changed based on the measured voltage value Vsv being lower than the lower limit threshold of the current measurement range RV, the processing unit 4 measures the current measurement range RV one level lower. A process of changing to the range RV (that is, a process of instructing (setting) the measurement range RV that is one lower level as the measurement range RV to be used for the measurement unit 2) is executed.

処理部4は、ステップ106において測定レンジRVを変更する処理を実行した後は、ステップ104に移行する。このようにして、処理部4は、ステップ105において、現在の測定レンジRVを変更する必要が無いと判別するまで(つまり、現在の測定レンジRVが適切な測定レンジRVであると判別するまで)、ステップ104〜ステップ106を繰り返す(レンジ自動切替処理の実行)。   After executing the process of changing the measurement range RV in Step 106, the processing unit 4 proceeds to Step 104. In this way, the processing unit 4 determines in step 105 that it is not necessary to change the current measurement range RV (that is, until it is determined that the current measurement range RV is an appropriate measurement range RV). Step 104 to Step 106 are repeated (execution of range automatic switching processing).

処理部4は、ステップ105において現在の測定レンジRVを変更する必要が無い(つまり、現在の測定レンジRVが適切な測定レンジである)と判別して移行したステップ107では、図8に示すように、ステップ104で測定した電圧値Vsvを、ステップ103において測定部2に対して交流電流Isの周波数fとして指定した周波数fに対応させて記憶部3の測定値記憶領域に電圧値Vsvとして記憶させる。また、処理部4は、この電圧値Vsvと交流電流Isの既知の電流値Isvとに基づいて、測定対象11のインピーダンスZを算出すると共に、算出したインピーダンスZを、ステップ103において測定部2に対して交流電流Isの周波数fとして指定した周波数fに対応させて記憶部3の測定値記憶領域にインピーダンスZとして記憶させる。また、処理部4は、上記のレンジ自動切替処理において探し出した適切な測定レンジRVを示すレンジ情報DRVを、ステップ103において測定部2に対して交流電流Isの周波数fとして指定した周波数fに対応させて記憶部3に新たな候補レンジ情報DCRVとして記憶させる(具体的には、指定した周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに更新記憶させる)。 The processing unit 4 determines in step 105 that there is no need to change the current measurement range RV (that is, the current measurement range RV is an appropriate measurement range). to a voltage value Vsv measured in step 104, the voltage value Vsv k in the measurement value storage area of the storage unit 3 in association with a frequency f k that is specified as the frequency f of the AC current is to the measurement section 2 in step 103 Remember as. Further, the processing unit 4 calculates the impedance Z of the measurement object 11 based on the voltage value Vsv k and the known current value Isv of the alternating current Is, and calculates the calculated impedance Z in step 103 in the measurement unit 2. Is stored in the measured value storage area of the storage unit 3 as the impedance Z k corresponding to the frequency f k designated as the frequency f of the alternating current Is. In addition, the processing unit 4 uses the frequency f k specified as the frequency f of the alternating current Is to the measurement unit 2 in step 103, as the range information D RV indicating the appropriate measurement range RV found in the above range automatic switching processing. And storing the new candidate range information DCRV in the storage unit 3 (specifically, updating and storing in the range storage area 3b corresponding to the designated frequency fk ).

処理部4は、上記したステップ107の実行の後、数値kが数値nに達したか否かを判別して(ステップ108)、達していないときには、数値kをインクリメントしてステップ103に移行する。このようにして、処理部4は、ステップ108において、数値kが数値nに達するまで(つまり、すべての周波数f〜fでの、電圧値Vsv〜Vsv、インピーダンスZ〜Zおよび新たな候補レンジ情報DCRVを記憶部3の測定値記憶領域およびレンジ記憶領域3bにそれぞれ記憶するまで、ステップ103〜ステップ107を繰り返す。これにより、ステップ108において、数値kが数値nに達したときには、測定対象11についての電圧値VsvおよびインピーダンスZのそれぞれについての2回目の周波数特性測定処理での測定結果が図8に示すように記憶部3に記憶される。これにより、最初の周波数特性測定処理200が完了する。 After executing step 107 described above, the processing unit 4 determines whether or not the numerical value k has reached the numerical value n (step 108). If not, the processing unit 4 increments the numerical value k and proceeds to step 103. . In this way, the processing unit 4 determines that the value k reaches the value n (that is, the voltage values Vsv 1 to Vsv n and impedances Z 1 to Z n at all frequencies f 1 to f n) in step 108. Step 103 to step 107 are repeated until the new candidate range information DCRV is stored in the measured value storage area and the range storage area 3b of the storage unit 3. Thereby, in step 108, the numerical value k reaches the numerical value n. When this is done, the measurement results in the second frequency characteristic measurement process for each of the voltage value Vsv and the impedance Z for the measurement object 11 are stored in the storage unit 3 as shown in Fig. 8. Thereby, the first frequency is stored. The characteristic measurement process 200 is completed.

例えば、2回目の周波数特性測定処理(最初の周波数特性測定処理200)の実行時において、交流電流Isの周波数fを周波数f,f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fというように段階的に変化(増加)させたときに、測定対象11の電気的特性が経時的に変化したことに起因して、測定部2で測定される電圧値Vsvが図2において破線で示すように変化したときを例に挙げて、周波数特性測定処理200での処理部4の動作について具体的に説明する。 For example, when the second frequency characteristic measurement process (first frequency characteristic measurement process 200) is executed, the frequency f of the alternating current Is is changed to frequencies f 1 , f 2 , f 3 ,..., F k ,. , F n−1 , f n, the voltage measured by the measurement unit 2 due to the change in electrical characteristics of the measurement object 11 over time when it is changed (increased) stepwise. The operation of the processing unit 4 in the frequency characteristic measurement process 200 will be specifically described by taking as an example a case where the value Vsv changes as indicated by a broken line in FIG.

この場合、処理部4は、この周波数特性測定処理200において、測定部2に対して交流電流Isの周波数fを周波数fに設定したときには、ステップ103における開始レンジ設定処理において、図6に示すように、この周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに記憶されている候補レンジ情報DCRVとしてのレンジ情報DRV5を読み出すと共に、このレンジ情報DRV5で示される測定レンジRV5を測定部2に対して指示し、次いで、上記したレンジ自動切替処理を実行する。 In this case, when the frequency f of the alternating current Is is set to the frequency f 1 with respect to the measuring unit 2 in the frequency characteristic measuring process 200, the processing unit 4 performs the start range setting process in step 103 as shown in FIG. as reads the range information D RV5 as a candidate range information D CRV stored in the range memory area 3b corresponding to the frequency f 1, the measurement range RV5 indicated by the range information D RV5 to the measurement section 2 Then, the above-described range automatic switching process is executed.

処理部4は、このレンジ自動切替処理でのステップ105において、最初の測定レンジRV5で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV5を変更する必要はないと判別する(この場合、測定レンジRV5が適切な測定レンジRVとなる)。これにより、処理部4は、ステップ107に移行して、この電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出し、図7に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV5を示すレンジ情報DRV5を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における2回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 In step 105 in the range automatic switching process, the processing unit 4 determines that it is not necessary to change the measurement range RV5 based on the voltage value Vsv 1 measured in the first measurement range RV5 (in this case, measurement Range RV5 is an appropriate measurement range RV). Thus, the processing unit 4, the process proceeds to step 107 to calculate the impedance Z 1 on the basis of the voltage value Vsv 1, as shown in FIG. 7, the measurement range in the range storage region 3b corresponding to the frequency f 1 Range information D RV5 indicating RV5 is updated and stored as candidate range information DCRV . Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f 1 in the storage area for the measurement value in the second frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. Vsv 1 is stored as a voltage value Vsv, and impedance Z 1 is stored as impedance Z.

また、処理部4は、測定部2に対して交流電流Isの周波数fを周波数fに設定したときには、ステップ103における開始レンジ設定処理において、図6に示すように、この周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに記憶されている候補レンジ情報DCRVとしてのレンジ情報DRV5を読み出すと共に、このレンジ情報DRV5で示される測定レンジRV5を測定部2に対して指示し、次いで、上記したレンジ自動切替処理を実行する。 The processing unit 4, upon setting the frequency f of the AC current Is to the frequency f 2 to the measurement section 2, at the start range setting process in step 103, as shown in FIG. 6, corresponding to the frequency f 2 The range information D RV5 as the candidate range information DCRV stored in the range storage area 3b is read, and the measurement range RV5 indicated by the range information D RV5 is instructed to the measurement unit 2, and then the above-described Executes automatic range switching processing.

処理部4は、このレンジ自動切替処理でのステップ105において、最初の測定レンジRV5で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV5を変更する必要があると判別して、ステップ106において、この測定レンジRV5を1つ下位の適切な測定レンジRV4に変更し、ステップ104において、この測定レンジRV4での電圧値Vsvを測定する。これにより、処理部4は、ステップ107に移行して、この最終的な電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出し、図7に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV4を示すレンジ情報DRV4を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における2回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 Processing unit 4, in step 105 in this range automatic switching process, based on the voltage value Vsv 2 measured in the first measurement range RV5, to determine that it is necessary to change the measurement range RV5, in step 106 to change the measurement range RV5 one subordinate suitable measurement range RV4, in step 104, it measures a voltage value Vsv 2 in this measurement range RV4. Thus, the processing unit 4, the process proceeds to step 107 to calculate the impedance Z 2 on the basis of the final voltage value Vsv 2, as shown in FIG. 7, the range storage region 3b corresponding to the frequency f 2 The range information D RV4 indicating the measurement range RV4 is updated and stored as candidate range information DCRV . Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f 2 in the storage area for the measurement value in the second frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. Vsv 2 is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z 2 is stored as the impedance Z.

また、処理部4は、測定部2に対して交流電流Isの周波数fを周波数fに設定したときには、ステップ103における開始レンジ設定処理において、図6に示すように、この周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに記憶されている候補レンジ情報DCRVとしてのレンジ情報DRV4を読み出すと共に、このレンジ情報DRV4で示される測定レンジRV4を測定部2に対して指示し、次いで、上記したレンジ自動切替処理を実行する。 The processing unit 4, when the frequency f of the AC current Is is set to the frequency f 3 to the measurement unit 2 at the start range setting process in step 103, as shown in FIG. 6, corresponding to the frequency f 3 reads the range information D RV4 as a candidate range information D CRV stored in the range storage area 3b for, instructs the measurement range RV4 indicated by the range information D RV4 to the measurement unit 2, and then the Executes automatic range switching processing.

処理部4は、このレンジ自動切替処理でのステップ105において、最初の測定レンジRV4で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV4を変更する必要はないと判別する(この場合、測定レンジRV4が適切な測定レンジRVとなる)。これにより、処理部4は、ステップ107に移行して、この電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出し、図7に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV4を示すレンジ情報DRV4を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における2回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 Processing unit 4, in step 105 in this range automatic switching process, based on the voltage value Vsv 3 measured by the first measurement range RV4, necessary to determine not to change the measurement range RV4 (in this case, the measurement Range RV4 is an appropriate measurement range RV). Thus, the processing unit 4, the process proceeds to step 107 to calculate the impedance Z 3 on the basis of the voltage value Vsv 3, as shown in FIG. 7, the measurement range in the range storage region 3b corresponding to the frequency f 3 Range information D RV4 indicating RV4 is updated and stored as candidate range information DCRV . Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f 3 in the storage area for the measurement value in the second frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. Vsv 3 is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z 3 is stored as the impedance Z.

その後、処理部4は、測定部2に対して交流電流Isの周波数fを周波数fに設定したときには、ステップ103における開始レンジ設定処理において、図6に示すように、この周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに記憶されている候補レンジ情報DCRVとしてのレンジ情報DRV1を読み出すと共に、このレンジ情報DRV1で示される測定レンジRV1を測定部2に対して指示し、次いで、上記したレンジ自動切替処理を実行する。 Thereafter, the processing unit 4, when the frequency f of the AC current Is is set to the frequency f k to the measurement section 2, at the start range setting process in step 103, as shown in FIG. 6, corresponding to this frequency f k The range information D RV1 as the candidate range information DCRV stored in the range storage area 3b is read out, the measurement range RV1 indicated by the range information D RV1 is instructed to the measurement unit 2, and then the above-described Executes automatic range switching processing.

処理部4は、このレンジ自動切替処理でのステップ105において、最初の測定レンジRV1で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV1を変更する必要はないと判別する。これにより、処理部4は、ステップ107に移行して、この電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出し、図7に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV1を示すレンジ情報DRV1を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における2回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 Processing unit 4, in step 105 in this range automatic switching process, based on the first voltage value Vsv k measured by the measurement range RV1, determines that there is no need to change the measurement range RV1. Thus, the processing unit 4, the process proceeds to step 107 to calculate the impedance Z k on the basis of the voltage value Vsv k, as shown in FIG. 7, the measurement range in the range storage region 3b corresponding to the frequency f k Range information D RV1 indicating RV1 is updated and stored as candidate range information DCRV . Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f k in a storage area for the measurement value in the second frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. Vsv k is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z k is stored as the impedance Z.

また、処理部4は、さらにその後に測定部2に対して周波数fn−1を設定したときには、ステップ103における開始レンジ設定処理において、図6に示すように、この周波数fn−1に対応するレンジ記憶領域3bに記憶されている候補レンジ情報DCRVとしてのレンジ情報DRV2を読み出すと共に、このレンジ情報DRV2で示される測定レンジRV2を測定部2に対して指示し、次いで、上記したレンジ自動切替処理を実行する。 The processing unit 4, when the further subsequently setting the frequency f n-1 with respect to the measurement unit 2 at the start range setting process in step 103, as shown in FIG. 6, corresponding to the frequency f n-1 with the range information D RV2 as a candidate range information D CRV stored in the range storage area 3b for reading, instruct the measurement range RV2 indicated by the range information D RV2 to the measurement unit 2, and then the Executes automatic range switching processing.

処理部4は、このレンジ自動切替処理でのステップ105において、最初の測定レンジRV2で測定された電圧値Vsvn−1に基づき、この測定レンジRV2を変更する必要はないと判別する。これにより、処理部4は、ステップ107に移行して、この電圧値Vsvn−1に基づいてインピーダンスZn−1を算出し、図7に示すように、周波数fn−1に対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV2を示すレンジ情報DRV2を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における2回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fn−1に対応させて電圧値Vsvn−1を電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZn−1をインピーダンスZとして記憶させる。 In step 105 in the range automatic switching process, the processing unit 4 determines that it is not necessary to change the measurement range RV2 based on the voltage value Vsv n−1 measured in the first measurement range RV2. As a result, the processing unit 4 proceeds to step 107 to calculate the impedance Z n−1 based on the voltage value Vsv n−1 , and as shown in FIG. 7, the range corresponding to the frequency f n−1. Range information D RV2 indicating the measurement range RV2 is updated and stored as candidate range information DCRV in the storage area 3b. Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 corresponds to the frequency f n−1 in the storage area for the measurement value in the second frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. The voltage value Vsv n−1 is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z n−1 is stored as the impedance Z.

また、処理部4は、最後に、測定部2に対して周波数fを設定したときには、ステップ103における開始レンジ設定処理において、図6に示すように、この周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに記憶されている候補レンジ情報DCRVとしてのレンジ情報DRV2を読み出すと共に、このレンジ情報DRV2で示される測定レンジRV2を測定部2に対して指示し、次いで、上記したレンジ自動切替処理を実行する。 Further, when the processing unit 4 finally sets the frequency f n for the measurement unit 2, in the start range setting process in step 103, as shown in FIG. 6, the range storage area corresponding to this frequency f n reads the range information D RV2 as a candidate range information D CRV stored in 3b, and the measurement range RV2 indicated by the range information D RV2 instructs the measurement section 2, then, range automatic switching process described above Execute.

処理部4は、このレンジ自動切替処理でのステップ105において、最初の測定レンジRV2で測定された電圧値Vsvに基づき、この測定レンジRV2を変更する必要はないと判別する。これにより、処理部4は、ステップ107に移行して、この電圧値Vsvに基づいてインピーダンスZを算出し、図7に示すように、周波数fに対応するレンジ記憶領域3bに測定レンジRV2を示すレンジ情報DRV2を候補レンジ情報DCRVとして更新記憶させる。また、処理部4は、図8に示すように、記憶部3の測定値記憶領域における2回目の周波数特性測定処理での測定値のための記憶領域に、周波数fに対応させて電圧値Vsvを電圧値Vsvとして記憶させると共に、インピーダンスZをインピーダンスZとして記憶させる。 Processing unit 4, in step 105 in this range automatic switching process, based on the first measurement range voltage value measured at the RV2 Vsv n, determines that there is no need to change the measurement range RV2. As a result, the processing unit 4 proceeds to Step 107, calculates the impedance Z n based on the voltage value Vsv n, and stores the measurement range in the range storage area 3b corresponding to the frequency f n as shown in FIG. Range information D RV2 indicating RV2 is updated and stored as candidate range information DCRV . Further, as shown in FIG. 8, the processing unit 4 stores a voltage value corresponding to the frequency f n in a storage area for the measurement value in the second frequency characteristic measurement process in the measurement value storage area of the storage unit 3. Vsv n is stored as the voltage value Vsv, and the impedance Z n is stored as the impedance Z.

最初の周波数特性測定処理200の完了後は、処理部4は、上記したように、予め規定された時間間隔が経過する都度、この周波数特性測定処理200を実行する。これにより、上記したように、記憶部3におけるレンジ記憶領域3bに記憶されている各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fに対応する候補レンジ情報DCRVが更新記憶されつつ、図8に示すように、記憶部3における測定値記憶領域に、周波数特性測定処理を実行した回数毎の測定値(各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fでの電圧値Vsv,Vsv,・・・,Vsv,・・・,Vsvn−1,VsvおよびインピーダンスZ,Z,・・・,Z,・・・,Zn−1,Z)が順次記憶される。 After completion of the first frequency characteristic measurement process 200, the processing unit 4 executes the frequency characteristic measurement process 200 every time a predetermined time interval elapses as described above. As a result, as described above, it corresponds to the frequencies f 1 , f 2 ,..., F k ,..., F n−1 , f n stored in the range storage area 3 b in the storage unit 3. While the candidate range information DCRV is updated and stored, as shown in FIG. 8, the measurement values are stored in the measurement value storage area in the storage unit 3 for each number of times the frequency characteristic measurement process is executed (the frequencies f 1 , f 2 ,. ··, f k, ···, f n-1, the voltage value Vsv 1, Vsv 2 at f n, ···, Vsv k, ···, Vsv n-1, Vsv n and impedance Z 1, Z 2 ,..., Z k ,..., Z n−1 , Z n ) are sequentially stored.

また、処理部4は、定期的に、または不図示の操作部から開始指示が入力されたときに出力処理を実行して、記憶部3の測定値記憶領域に記憶されている各回の周波数特性測定処理において測定された各周波数fでの電圧値VsvおよびインピーダンスZを、出力部5に装着されている不図示のリムーバブルメディアに記憶させる。これにより、測定装置1の使用者は、測定装置1自体を測定対象11から外して回収するか、またはリムーバブルメディアだけを測定装置1から取り外して回収することにより、予め規定された時間間隔で継続して測定された測定対象11についての電圧値Vsvの周波数特性およびインピーダンスZの周波数特性をそれぞれ測定することが可能となっている。 Further, the processing unit 4 executes output processing periodically or when a start instruction is input from an operation unit (not shown), and the frequency characteristics of each time stored in the measurement value storage area of the storage unit 3 The voltage value Vsv k and impedance Z k at each frequency f k measured in the measurement process are stored in a removable medium (not shown) attached to the output unit 5. As a result, the user of the measuring apparatus 1 can remove the measuring apparatus 1 itself from the measuring object 11 and collect it, or remove only the removable medium from the measuring apparatus 1 and collect it, and continue at predetermined time intervals. Thus, it is possible to measure the frequency characteristic of the voltage value Vsv and the frequency characteristic of the impedance Z for the measurement object 11 measured in this way.

このように、この測定装置1および測定方法では、記憶部3におけるレンジ記憶領域3bには、実行した周波数特性測定処理において、各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fのときに最終的に使用された測定レンジRVを示すレンジ情報DRVが候補レンジ情報DCRVとして更新されながら記憶される。そして、次の周波数特性測定処理の実行時において、このレンジ記憶領域3bに各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fに対応させて記憶されている候補レンジ情報DCRVが、各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fのときに測定部2が最初に使用する測定レンジRVを示すレンジ情報DRVとして使用され、この後にレンジ自動切替処理が実行される。 As described above, in the measurement apparatus 1 and the measurement method, the frequency storage unit 3b in the storage unit 3 includes the frequencies f 1 , f 2 ,..., F k ,. , F n−1 , f n , range information D RV indicating the measurement range RV finally used is stored as candidate range information DCRV while being updated. Then, at the time of executing the next frequency characteristic measurement process, the range storage area 3b stores each frequency f 1 , f 2 ,..., F k ,..., F n−1 , f n. candidate range information D CRV being found each frequency f 1, f 2, ···, f k, ···, f n-1, the measurement range RV measurement unit 2 when f n is the first use Is used as the range information DRV , and the automatic range switching process is performed thereafter.

したがって、この測定装置1および測定方法によれば、各周波数特性測定処理の実行時における各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fでのレンジ自動切替処理において、従来の測定装置のように複数の測定レンジのうちの例えば最もゲインの小さな測定レンジ(本例での測定レンジRV6)を常に最初の測定レンジとしてレンジ自動切替処理を開始する構成とは異なり、1回前の周波数特性測定処理における各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fでのレンジ自動切替処理によって最終的に探し出した測定レンジRV(最終的な電圧値Vsvの測定に使用した測定レンジ)を最初の測定レンジとしてレンジ自動切替処理を開始することができる。これにより、特に、本例のような1つの測定対象11に発生する被測定信号Vsの電圧値Vsvについての周波数特性やこの電圧値Vsvに基づいて算出される測定対象11のインピーダンスZ(物理量)についての周波数特性を予め規定された時間間隔で継続的に測定する測定形態(つまり、周波数特性測定処理で測定される電圧値Vsvの周波数特性やインピーダンスZの周波数特性が一般的に大きくは変動しない測定形態)においては、各周波数特性測定処理の実行時における各周波数f,f,・・・,f,・・・,fn−1,fでのレンジ自動切替処理における測定レンジRVの変更回数(レンジ切替えの回数)を大幅に低減することができるため、1回の周波数特性測定処理の実行に要する時間を大幅に短縮することができる。この結果、測定装置1が周波数特性の測定のために上記の予め規定された時間間隔でスリープ状態から一時的に起動する構成としたときには、起動状態の時間(起動してから、周波数特性の測定を行って、再度スリープ状態に移行するまでの時間)を短縮できることから、測定装置1での電力消費量を低く抑えることができるため、バッテリ駆動方式であれば、測定対象11の周波数特性の測定をより長期間に亘って継続することを可能にすることができる。 Therefore, according to the measuring device 1 and a measuring method, each frequency f 1, f 2 during the execution of the frequency characteristic measurement processing, · · ·, f k, · · ·, in f n-1, f n In the automatic range switching process, the automatic range switching process is started with the measurement range having the smallest gain (the measurement range RV6 in this example), for example, as the first measurement range, among a plurality of measurement ranges as in the conventional measurement apparatus. unlike a construction, the frequency f 1 in the frequency characteristic measurement processing of one time before, f 2, ···, f k , ···, eventually by range automatic switching process in the f n-1, f n The range automatic switching process can be started with the found measurement range RV (measurement range used for measuring the final voltage value Vsv) as the first measurement range. Thereby, in particular, the frequency characteristic of the voltage value Vsv of the signal to be measured Vs generated in one measurement object 11 as in this example, and the impedance Z (physical quantity) of the measurement object 11 calculated based on the voltage value Vsv. Is a measurement mode for continuously measuring the frequency characteristic at a predetermined time interval (that is, the frequency characteristic of the voltage value Vsv measured in the frequency characteristic measurement process and the frequency characteristic of the impedance Z generally do not vary greatly). in the measurement mode), the frequency f 1, f 2 during the execution of the frequency characteristic measurement processing, · · ·, f k, · · ·, measured in the range automatic switching process f n-1, f n ranges Since the number of RV changes (range switching) can be greatly reduced, the time required to execute one frequency characteristic measurement process can be greatly reduced. Can. As a result, when the measuring apparatus 1 is configured to temporarily start from the sleep state at the above-mentioned predetermined time interval for measuring the frequency characteristics, the time of the starting state (measurement of the frequency characteristics after starting) Since the power consumption in the measurement apparatus 1 can be kept low, the frequency characteristic of the measurement object 11 can be measured with a battery-driven system. Can be continued for a longer period of time.

なお、上記した測定装置1および測定方法では、1回目(最初)の周波数特性測定処理100の実行後の2回目以降に継続的に実行する周波数特性測定処理200における各周波数fでの測定においてレンジ自動切替処理(図4におけるステップ104〜ステップ106)を実行する構成を採用しているが、この構成に限定されるものではない。 In the measurement apparatus 1 and the measurement method described above, in the measurement at each frequency f k in the frequency characteristic measurement process 200 continuously executed after the second (first) frequency characteristic measurement process 100 and thereafter. Although the configuration for executing the range automatic switching processing (step 104 to step 106 in FIG. 4) is adopted, it is not limited to this configuration.

例えば、電圧値Vsvの周波数特性やインピーダンスZ(物理量)の周波数特性が大きく変動しないような測定対象11については、1回目の周波数特性測定処理100を実行したときに各周波数fでのレンジ自動切替処理において探し出した測定レンジRVを示すレンジ情報DRVを候補レンジ情報(この例では、使用レンジ情報である)DCRVとして記憶部3に各周波数fに対応させて記憶させ、2回目以降の周波数特性の各周波数fでの測定の際には、周波数fに対応させて記憶されている候補レンジ情報(この例では、使用レンジ情報である)DCRVで示される測定レンジRVに直ちに切り替えてこの測定レンジRVをそのまま使用することができる。したがって、このような測定対象11の周波数特性を測定するための測定装置および測定方法では、上記した周波数特性測定処理200における上記のレンジ自動切替処理(図4におけるステップ104〜ステップ106)を省く構成(つまり、ステップ103の実行後に、直ちにステップ107に移行する構成)を採用する。なお、この構成を採用した測定装置は、上記した測定装置1と同じ図1に示す構成を備えると共に、1回目(最初)の周波数特性測定処理では、測定装置1と同様にして周波数特性測定処理100を実行する。 For example, for the measurement object 11 in which the frequency characteristic of the voltage value Vsv and the frequency characteristic of the impedance Z (physical quantity) do not fluctuate greatly, when the first frequency characteristic measurement process 100 is executed, the range automatic at each frequency f k is automatically performed. (in this example, use range is information) candidate range information range information D RV indicating the measurement range RV searched out in the switching process D corresponding to each frequency f k in the storage unit 3 as a CRV and is stored, second and subsequent Is measured at each frequency f k , the candidate range information (corresponding to the use range information in this example) DCRV stored in association with the frequency f k is added to the measurement range RV. The measurement range RV can be used as it is by switching immediately. Therefore, in such a measuring apparatus and measuring method for measuring the frequency characteristic of the measurement object 11, the above-described automatic range switching process (steps 104 to 106 in FIG. 4) in the frequency characteristic measurement process 200 is omitted. (That is, a configuration in which the process proceeds to step 107 immediately after execution of step 103) is adopted. Note that a measuring apparatus employing this configuration has the same configuration as that of the measuring apparatus 1 shown in FIG. 1, and in the first (first) frequency characteristic measuring process, the frequency characteristic measuring process is performed in the same manner as the measuring apparatus 1. 100 is executed.

この構成を採用した測定装置および測定方法によれば、2回目以降の各周波数特性測定処理における各周波数fでの測定の際におけるレンジ自動切替動作を省くことができる結果、周波数特性測定処理の実行に要する時間をさらに短縮することができる。 According to the measuring apparatus and the measuring method adopting this configuration, it is possible to omit the automatic range switching operation at the time of measurement at each frequency f k in each frequency characteristic measurement process after the second time. The time required for execution can be further reduced.

また、上記の実施の形態では、測定対象11の物理量の一例としてのインピーダンスZの周波数特性を測定する一例を挙げて説明したが、測定する物理量はこれに限定されるものではなく、電圧値や電流値や容量値やインダクタンス値など種々のものであってもよい。   In the above embodiment, an example of measuring the frequency characteristic of the impedance Z as an example of the physical quantity of the measurement object 11 has been described. However, the physical quantity to be measured is not limited to this, and the voltage value or Various values such as a current value, a capacitance value, and an inductance value may be used.

1 測定装置
11 測定対象
CRV 候補レンジ情報
Is 交流電流
RV 測定レンジ
Vs 電圧信号
1 Measuring Device 11 Measurement Target D CRV Candidate Range Information Is AC Current RV Measurement Range Vs Voltage Signal

Claims (4)

測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少させつつ、各周波数において、当該測定用交流信号の供給によって当該測定対象に発生する被測定信号を複数の測定レンジのうちの適切な1つの測定レンジに切り替えて測定すると共に当該測定した被測定信号のレベルを当該測定用交流信号の周波数に対応させて記憶することにより、当該被測定信号についての周波数特性または当該被測定信号に基づいて算出される当該測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定装置であって、
1回目の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記複数の測定レンジから前記適切な1つの測定レンジを自動的に探し出すと共に当該探し出した測定レンジに切り替えるレンジ自動切替処理を実行し、かつ当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を前記測定用交流信号の周波数に対応させて候補レンジ情報として記憶し、2回目以降の前記周波数特性の測定の際には、前記測定用交流信号の周波数に対応させて記憶した前記候補レンジ情報で示される前記測定レンジに切り替えた後に前記レンジ自動切替処理を実行すると共に当該レンジ自動切替処理において新たな前記適切な1つの測定レンジを探し出したときには当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を当該測定用交流信号の周波数に対応させて新たな候補レンジ情報として記憶する測定装置。
While increasing or decreasing the frequency of the measurement AC signal to be supplied to the measurement target stepwise within a predetermined frequency band, a plurality of signals to be measured are generated at the measurement target by supplying the measurement AC signal at each frequency. The frequency of the signal under measurement is measured by switching to an appropriate one of the measurement ranges and storing the level of the signal under measurement corresponding to the frequency of the AC signal for measurement. A measuring device for measuring a frequency characteristic of a physical quantity of the measurement target calculated based on the characteristic or the signal under measurement,
When the frequency characteristics are measured for the first time, automatic range switching processing for automatically searching for the appropriate one measurement range from the plurality of measurement ranges and switching to the found measurement range is performed at each frequency. In addition, range information indicating the found measurement range is stored as candidate range information in association with the frequency of the measurement AC signal, and when the frequency characteristics are measured for the second and subsequent times, the measurement AC signal is stored. When the range automatic switching process is executed after switching to the measurement range indicated by the candidate range information stored in association with the frequency of the frequency and a new appropriate measurement range is found in the range automatic switching process Range information indicating the found measurement range corresponds to the frequency of the AC signal for measurement, and a new candidate Measuring device which stores as Nji information.
測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少させつつ、各周波数において、当該測定用交流信号の供給によって当該測定対象に発生する被測定信号を複数の測定レンジのうちの適切な1つの測定レンジに切り替えて測定すると共に当該測定した被測定信号のレベルを当該測定用交流信号の周波数に対応させて記憶することにより、当該被測定信号についての周波数特性または当該被測定信号に基づいて算出される当該測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定装置であって、
1回目の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記複数の測定レンジから前記適切な1つの測定レンジを自動的に探し出すと共に当該探し出した測定レンジに切り替えるレンジ自動切替処理を実行し、かつ当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を前記測定用交流信号の周波数に対応させて使用レンジ情報として記憶し、2回目以降の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記レンジ自動切替処理を実行することなく、前記測定用交流信号の周波数に対応させて記憶した前記使用レンジ情報で示される前記測定レンジに切り替える測定装置。
While increasing or decreasing the frequency of the measurement AC signal to be supplied to the measurement target stepwise within a predetermined frequency band, a plurality of signals to be measured are generated at the measurement target by supplying the measurement AC signal at each frequency. The frequency of the signal under measurement is measured by switching to an appropriate one of the measurement ranges and storing the level of the signal under measurement corresponding to the frequency of the AC signal for measurement. A measuring device for measuring a frequency characteristic of a physical quantity of the measurement target calculated based on the characteristic or the signal under measurement,
When the frequency characteristics are measured for the first time, automatic range switching processing for automatically searching for the appropriate one measurement range from the plurality of measurement ranges and switching to the found measurement range is performed at each frequency. And the range information indicating the searched measurement range is stored as use range information corresponding to the frequency of the AC signal for measurement, and at the time of measuring the frequency characteristic for the second time and thereafter, in each frequency, A measurement apparatus that switches to the measurement range indicated by the use range information stored in correspondence with the frequency of the measurement AC signal without executing the range automatic switching process.
測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少させつつ、各周波数において、当該測定用交流信号の供給によって当該測定対象に発生する被測定信号を複数の測定レンジのうちの適切な1つの測定レンジに切り替えて測定すると共に当該測定した被測定信号のレベルを当該測定用交流信号の周波数に対応させて記憶することにより、当該被測定信号についての周波数特性または当該被測定信号に基づいて算出される当該測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定方法であって、
1回目の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記複数の測定レンジから前記適切な1つの測定レンジを自動的に探し出すと共に当該探し出した測定レンジに切り替えるレンジ自動切替処理を実行し、かつ当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を前記測定用交流信号の周波数に対応させて候補レンジ情報として記憶し、2回目以降の前記周波数特性の測定の際には、前記測定用交流信号の周波数に対応させて記憶した前記候補レンジ情報で示される前記測定レンジに切り替えた後に前記レンジ自動切替処理を実行すると共に当該レンジ自動切替処理において新たな前記適切な1つの測定レンジを探し出したときには当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を当該測定用交流信号の周波数に対応させて新たな候補レンジ情報として記憶する測定方法。
While increasing or decreasing the frequency of the measurement AC signal to be supplied to the measurement target stepwise within a predetermined frequency band, a plurality of signals to be measured are generated at the measurement target by supplying the measurement AC signal at each frequency. The frequency of the signal under measurement is measured by switching to an appropriate one of the measurement ranges and storing the level of the signal under measurement corresponding to the frequency of the AC signal for measurement. A measurement method for measuring a frequency characteristic of a physical quantity of the measurement target calculated based on the characteristic or the signal under measurement,
When the frequency characteristics are measured for the first time, automatic range switching processing for automatically searching for the appropriate one measurement range from the plurality of measurement ranges and switching to the found measurement range is performed at each frequency. In addition, range information indicating the found measurement range is stored as candidate range information in association with the frequency of the measurement AC signal, and when the frequency characteristics are measured for the second and subsequent times, the measurement AC signal is stored. When the range automatic switching process is executed after switching to the measurement range indicated by the candidate range information stored in association with the frequency of the frequency and a new appropriate measurement range is found in the range automatic switching process Range information indicating the found measurement range corresponds to the frequency of the AC signal for measurement, and a new candidate Measurement method for storing as Nji information.
測定対象に供給する測定用交流信号の周波数を所定の周波数帯域内で段階的に増加または減少させつつ、各周波数において、当該測定用交流信号の供給によって当該測定対象に発生する被測定信号を複数の測定レンジのうちの適切な1つの測定レンジに切り替えて測定すると共に当該測定した被測定信号のレベルを当該測定用交流信号の周波数に対応させて記憶することにより、当該被測定信号についての周波数特性または当該被測定信号に基づいて算出される当該測定対象の物理量についての周波数特性を測定する測定方法であって、
1回目の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記複数の測定レンジから前記適切な1つの測定レンジを自動的に探し出すと共に当該探し出した測定レンジに切り替えるレンジ自動切替処理を実行し、かつ当該探し出した測定レンジを示すレンジ情報を前記測定用交流信号の周波数に対応させて使用レンジ情報として記憶し、2回目以降の前記周波数特性の測定の際には、前記各周波数において、前記レンジ自動切替処理を実行することなく、前記測定用交流信号の周波数に対応させて記憶した前記使用レンジ情報で示される前記測定レンジに切り替える測定方法。
While increasing or decreasing the frequency of the measurement AC signal to be supplied to the measurement target stepwise within a predetermined frequency band, a plurality of signals to be measured are generated at the measurement target by supplying the measurement AC signal at each frequency. The frequency of the signal under measurement is measured by switching to an appropriate one of the measurement ranges and storing the level of the signal under measurement corresponding to the frequency of the AC signal for measurement. A measurement method for measuring a frequency characteristic of a physical quantity of the measurement target calculated based on the characteristic or the signal under measurement,
When the frequency characteristics are measured for the first time, automatic range switching processing for automatically searching for the appropriate one measurement range from the plurality of measurement ranges and switching to the found measurement range is performed at each frequency. And the range information indicating the searched measurement range is stored as use range information corresponding to the frequency of the AC signal for measurement, and at the time of measuring the frequency characteristic for the second time and thereafter, in each frequency, A measurement method for switching to the measurement range indicated by the use range information stored in association with the frequency of the AC signal for measurement without executing the range automatic switching process.
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