JP2018070911A - Heat treatment type method of forming electroconductive film over light metal that can easily be passivated - Google Patents

Heat treatment type method of forming electroconductive film over light metal that can easily be passivated Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To strengthen the adhesion of an electroconductive film of silver, copper, stannum or the like to a specific light metal selected from aluminum, magnesium, and titanium that can easily be passivated.SOLUTION: There is provided a method of forming an electroconductive film of silver, copper, stannum or the like over a light metal via an undercoat film which is a nickel-phosphorous film formed by using an electrolytic plating bath comprising a specified complexing agent, surfactant, brightener, and the like, and is subsequently subjected to a heat treatment alone or together with the electroconductive film under a condition including a low temperature range of 30°C or higher, whereby the adhesion of the undercoat film to the light metal is made stronger than in the case of no heat treatment, and the electroconductive film can be formed over the light metal with stronger adhesion.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、不導態を形成し易いアルミニウム、マグネシウムなどの特定の軽金属上に導電性皮膜を形成する方法に関して、メッキ皮膜の形成が困難な上記軽金属上に、熱処理の適用により、銅、銀、スズなどの導電性皮膜を強固な密着力で形成できるものを提供する。   The present invention relates to a method for forming a conductive film on a specific light metal such as aluminum or magnesium which is easily formed into a nonconductive state, by applying heat treatment to the light metal on which the formation of a plating film is difficult. Provided is one capable of forming a conductive film such as tin with a strong adhesion.

アルミニウム、マグネシウム、チタンのような特定の軽金属は大気中で強固な酸化皮膜を容易に形成して不導態となるため、これらの軽金属の表面に銅、銀、スズなどの導電性皮膜を形成しようとしても、メッキなどによる表面処理は困難であり、たとえ、メッキ皮膜を形成できたとしても上記軽金属との間で良好な密着性を確保することは難しい。
そこで、従来では、ダブルジンケート法、陽極酸化法、反転電解活性化法などにより、上記軽金属を表面処理した後に電気メッキなどで導電性皮膜を形成していたが、特に、亜鉛とアルミニウムの置換反応を利用する上記ダブルジンケート法では、最初に形成した亜鉛皮膜の粒子が大きいために、これを一度剥離して再度亜鉛粒子により皮膜形成する必要から、処理が煩雑で生産性が良くないうえ、処理表面が相対的に粗く、続く電気メッキで平滑な皮膜を形成することが難しいという問題があった。
Certain light metals such as aluminum, magnesium, and titanium easily form a strong oxide film in the atmosphere and become non-conductive, so conductive films such as copper, silver, and tin are formed on the surface of these light metals. Even if it is going to be, the surface treatment by plating etc. is difficult, and even if it can form a plating film, it is difficult to ensure favorable adhesiveness with the said light metal.
Therefore, in the past, a conductive film was formed by electroplating after surface treatment of the light metal by the double zincate method, anodizing method, reverse electrolytic activation method, etc. Especially, the substitution reaction of zinc and aluminum In the double zincate method using the above, since the particles of the zinc film formed first are large, it is necessary to exfoliate it once and form a film with zinc particles again. There was a problem that the surface was relatively rough and it was difficult to form a smooth film by subsequent electroplating.

そこで、アルミニウム、マグネシウムなどの不導態を形成し易い軽金属に導電性皮膜を形成する場合、従来では、予め表面にアルカリ脱脂などを施し、ニッケル系皮膜を形成するか、或は、所定の前処理液を用いた表面処理をした後に、銅、銀、スズなどの導電性皮膜を形成することが行われていた。
その従来技術を挙げると次の通りである。但し、下記の特許文献6は、上記軽金属上にニッケル系皮膜を形成すること自体に焦点を当てたものである。
(1)特許文献1
アルミニウム又はアルミニウム合金に、リン酸と所定のニッケル塩(炭酸ニッケル、クエン酸ニッケルなど)を含む処理浴中で交流電解処理を施して、微細凹凸構造の酸化皮膜の形成と粒子状ニッケルの電解析出とを同時に行う第一工程と、その後に銅、ニッケルなどの無電解又は電解メッキを施す第二工程からなるアルミニウム材へのメッキ方法である(請求項1、[0014]〜[0015]、[0044])。
上記第一工程では、酸化皮膜内部までニッケル金属が入り込んで一定膜厚の陽極酸化皮膜が形成された後、その表面に粒子状ニッケル皮膜が均一に被覆する([0014])。
第一工程の処理液の実施例5([0031])ではニッケル塩と、リン酸と、マロン酸(ジカルボン酸)が含まれ、実施例8([0042])ではクエン酸ニッケルと、リン酸が含まれる。
Therefore, when forming a conductive film on a light metal that easily forms a non-conductive state such as aluminum or magnesium, conventionally, the surface is subjected to alkali degreasing and the like to form a nickel-based film, or a predetermined amount of After surface treatment using a treatment liquid, forming a conductive film of copper, silver, tin or the like has been performed.
The conventional technology is as follows. However, Patent Document 6 below focuses on forming a nickel-based film on the light metal itself.
(1) Patent Document 1
Aluminum or aluminum alloy is subjected to AC electrolytic treatment in a treatment bath containing phosphoric acid and a prescribed nickel salt (nickel carbonate, nickel citrate, etc.) to form an oxide film with a fine concavo-convex structure and electroanalysis of particulate nickel It is a method for plating an aluminum material comprising a first step of simultaneously carrying out and a second step of performing electroless or electrolytic plating of copper, nickel or the like thereafter (claims 1, [0014] to [0015], [0044]).
In the first step, nickel metal enters the inside of the oxide film to form an anodic oxide film having a constant film thickness, and then the surface is uniformly coated with the particulate nickel film ([0014]).
In Example 5 ([0031]) of the treatment liquid in the first step, a nickel salt, phosphoric acid, and malonic acid (dicarboxylic acid) are included. In Example 8 ([0042]), nickel citrate and phosphoric acid are included. Is included.

(2)特許文献2
メッキ皮膜に対するクラック発生の防止などを目的として([0008])、アルミニウム又はアルミニウム合金上の酸化皮膜を酸性又はアルカリ性除去した後([0009]〜[0026])、第1の無電解ニッケル−リンメッキ液で無電解メッキ皮膜を形成する工程と、第2の無電解ニッケル−リンメッキ液で無電解メッキ皮膜を形成する工程からなるアルミニウム材の表面処理方法(請求項1、[0009])であり、当該処理を経て導電性皮膜が形成される。
上記第1の無電解ニッケル−リンメッキ液はニッケル塩と、次亜リン酸又はその塩と、アミノカルボン酸以外のカルボン酸(クエン酸、酢酸、コハク酸、リンゴ酸、これらの塩、[0036])を含み、上記第2の無電解ニッケル−リンメッキ液はニッケル塩と、次亜リン酸又はその塩と、アミノカルボン酸(グリシン、アラニン、ロイシン、アスパラギン酸、グルタミン酸)又はその塩を含み、アミノカルボン酸以外のカルボン酸を含まない。
実施例1では、アルミニウム層を被覆したシリコン板に、2段階の無電解ニッケル−リンメッキをした後、無電解メッキにより金皮膜を被覆している(表1)。
(2) Patent Document 2
For the purpose of preventing cracks on the plating film ([0008]), the oxide film on the aluminum or aluminum alloy is removed acidic or alkaline ([0009] to [0026]), and then the first electroless nickel-phosphorous plating A surface treatment method of an aluminum material comprising a step of forming an electroless plating film with a liquid and a step of forming an electroless plating film with a second electroless nickel-phosphorous plating solution (claim 1, [0009]), Through this treatment, a conductive film is formed.
The first electroless nickel-phosphorous plating solution includes a nickel salt, hypophosphorous acid or a salt thereof, and a carboxylic acid other than aminocarboxylic acid (citric acid, acetic acid, succinic acid, malic acid, salts thereof, [0036] And the second electroless nickel-phosphorus plating solution contains a nickel salt, hypophosphorous acid or a salt thereof, and an aminocarboxylic acid (glycine, alanine, leucine, aspartic acid, glutamic acid) or a salt thereof, Does not contain carboxylic acids other than carboxylic acids.
In Example 1, a silicon plate coated with an aluminum layer was subjected to two-stage electroless nickel-phosphorus plating, and then a gold film was coated by electroless plating (Table 1).

(3)特許文献3
アルミニウムまたはアルミニウム合金成形品の少なくとも一方の表面上に、硫酸と、ニッケル塩(又は鉄塩、コバルト塩)を含む前処理液中でカソード活性化により前処理する工程と、前処理された基材に電気めっきにより金属層(ニッケル、鉄、コバルト及びこれらの合金)を施す工程からなる表面処理方法である(請求項1〜2)。
上記カソード活性処理では、アルミニウム材表面の薄い酸化アルミニウム皮膜を通してニッケル核が形成され、例えば、その後の電気メッキでニッケル皮膜を形成する場合、このニッケル核がアンカー点となり、アルミニウム材表面とニッケル皮膜を結ぶ薄い結合層の役割りを果たす([0012])。
また、上記カソード活性処理に用いる前処理液について、含有する緩衝剤の好ましい例としてホウ酸を挙げている(請求項3〜4、[0013])。
(3) Patent Document 3
A pretreatment by cathode activation in a pretreatment liquid containing sulfuric acid and a nickel salt (or iron salt or cobalt salt) on at least one surface of an aluminum or aluminum alloy molded article, and a pretreated substrate A surface treatment method comprising a step of applying a metal layer (nickel, iron, cobalt, and alloys thereof) to each other by electroplating (Claims 1 and 2).
In the cathode activation treatment, a nickel nucleus is formed through a thin aluminum oxide film on the surface of the aluminum material. For example, when a nickel film is formed by subsequent electroplating, the nickel nucleus serves as an anchor point, and the surface of the aluminum material and the nickel film are formed. Plays the role of a thin tie layer ([0012]).
Moreover, boric acid is mentioned as a preferable example of the buffering agent contained about the pre-processing liquid used for the said cathode activation process (Claims 3-4, [0013]).

(4)特許文献4
マグネシウム合金に電解めっきを利用して銅めっき層を形成する前に、マグネシウム合金の表面を硫酸亜鉛、ピロリン酸ナトリウム、フッ化カリウム、炭酸ナトリウムを含む前処理液で処理し、均一な電流分布を持たせる電解めっき用皮膜をマグネシウム合金の表面に形成させるのを特徴とし(請求項1〜2)、当該方法により、マグネシウム合金の表面に形成された電気めっき皮膜と銅めっき層との結合を容易にし、密着性のよい電気銅めっき層1を形成する([0017]、[0020]〜[0021])。
(4) Patent Document 4
Before forming a copper plating layer using electrolytic plating on a magnesium alloy, the surface of the magnesium alloy is treated with a pretreatment solution containing zinc sulfate, sodium pyrophosphate, potassium fluoride, and sodium carbonate to obtain a uniform current distribution. The electrolytic plating film to be provided is formed on the surface of the magnesium alloy (Claims 1 and 2), and the electroplating film formed on the surface of the magnesium alloy and the copper plating layer can be easily bonded by the method. Then, the copper electroplating layer 1 having good adhesion is formed ([0017], [0020] to [0021]).

(5)特許文献5
Al又はAl合金(Al合金など)にリン酸溶液中で陰極電解処理により表面処理する工程と、前記表面処理したAl合金などに電気メッキを行って、Al合金などの表面にニッケル皮膜、ニッケル−リン皮膜、或はニッケル−リン−炭化ケイ素合金皮膜から選ばれたメッキ皮膜を形成する工程とを含む、電気メッキ方法である(請求項1〜3)。
Al合金などにリン酸溶液中で陰極電解処理することで、Al及びシリコン以外のマグネシウム、鉄、ニッケルなどの金属成分を低減又は除去するとともに、Al合金などの表面がエッチングされて微細な凹凸が形成され、そのアンカー効果によりAl合金などの表面に上記メッキ皮膜を密着性良く被覆できる([0016]〜[0017]、[0029]〜[0032])。
(5) Patent Document 5
A surface treatment of Al or Al alloy (such as Al alloy) by cathodic electrolysis in a phosphoric acid solution, and electroplating the surface-treated Al alloy or the like to form a nickel film, nickel- Forming a plating film selected from a phosphorous film or a nickel-phosphorus-silicon carbide alloy film (claims 1 to 3).
Cathodic electrolytic treatment of Al alloy or the like in a phosphoric acid solution reduces or removes metal components such as magnesium, iron, and nickel other than Al and silicon, and etches the surface of Al alloy and the like to form fine irregularities. The plating film can be coated with good adhesion on the surface of an Al alloy or the like by the anchor effect ([0016] to [0017], [0029] to [0032]).

(6)特許文献6
複写機などの現像ローラにおいて、当該現像ローラを構成するアルミニウム合金製のスリーブに電気ニッケルメッキ層を形成するか、或は、無電解ニッケルメッキ層を介して電気ニッケルメッキ層を形成し、その後に加熱処理を行うことで、上記アルミニウム合金層に対するメッキ層の密着強度を改善する(請求項1〜4、[0010]、[0018]〜[0019])。
上記加熱処理の条件は100〜150℃、30分〜2時間である([0015])。
(6) Patent Document 6
In a developing roller such as a copying machine, an electro nickel plating layer is formed on an aluminum alloy sleeve constituting the developing roller, or an electro nickel plating layer is formed through an electroless nickel plating layer, and thereafter By performing the heat treatment, the adhesion strength of the plating layer to the aluminum alloy layer is improved (claims 1-4, [0010], [0018] to [0019]).
The conditions for the heat treatment are 100 to 150 ° C. and 30 minutes to 2 hours ([0015]).

特開平11−302854号公報JP-A-11-302854 特開2008−190034号公報JP 2008-190034 A 特表2008−527178号公報Special table 2008-527178 特開2009−019217号公報JP 2009-019217 A 特開2015−108169号公報JP2015-108169A 特開2001−125370号公報JP 2001-125370 A

しかしながら、上記特許文献1〜5に記載された処理、或はこれに準じた処理により、不導態を形成し易いアルミニウム、マグネシウムなどの軽金属上にニッケル系の下地皮膜を介して、又は前処理を介する方式で銀、銅、スズなどの導電性皮膜を形成する場合、例えば、上記特許文献2に準拠して、ニッケル−リン皮膜を無電解メッキにより形成しても、上記軽金属表面に対する無電解ニッケル−リン皮膜の密着力は弱い(後述の比較例参照)。
また、上記軽金属に電気メッキによりニッケル系の下地皮膜を介して導電性皮膜を形成する場合、例えば、特許文献1の交流電解処理や特許文献3のカソード活性処理のような特殊な操作を並行して行なえば密着性の改善はそれなりに期待できるとしても、このような特殊な操作を経ずに、公知のニッケル系メッキ浴(公知のニッケル−リンメッキ浴を含む)、或は、上記特許文献1〜3に記載されたニッケル系メッキ浴を用いた電気メッキを行っても、得られたニッケル系の下地皮膜は密着力に乏しい(後述の比較例参照)。
However, the treatment described in Patent Documents 1 to 5 or a treatment based on the treatment, a nickel-based undercoating is applied on a light metal such as aluminum or magnesium which easily forms a nonconductive state, or pretreatment. In the case of forming a conductive film of silver, copper, tin or the like by a method involving the use of, for example, even if a nickel-phosphorous film is formed by electroless plating in accordance with the above-mentioned Patent Document 2, it is electroless with respect to the light metal surface. The adhesion of the nickel-phosphorus film is weak (see comparative examples described later).
When a conductive film is formed on the light metal by electroplating through a nickel-based undercoat, for example, a special operation such as AC electrolytic treatment in Patent Document 1 and cathode activation process in Patent Document 3 is performed in parallel. Thus, even if improvement in adhesion can be expected as it is, a known nickel-based plating bath (including a known nickel-phosphorous plating bath) or the above-mentioned Patent Document 1 can be used without undergoing such a special operation. Even when electroplating using the nickel-based plating bath described in (3) to (3) is performed, the obtained nickel-based undercoat has poor adhesion (see Comparative Examples described later).

本発明は、不導態を形成し易いアルミニウム、マグネシウム、チタンより選ばれた特定の軽金属に対して、銀、銅、スズなどの導電性皮膜の密着力を強化することを技術的課題とする。   This invention makes it a technical subject to strengthen the adhesive force of electroconductive films, such as silver, copper, and tin, with respect to the specific light metal chosen from aluminum, magnesium, and titanium which are easy to form a non-conductive state. .

本発明者らは、不導態を形成し易いアルミニウム、マグネシウム、チタンの特定の軽金属上に導電性皮膜を形成する場合、上記軽金属と導電性皮膜の間にニッケル系の下地皮膜を介在させるとともに、このニッケル系皮膜としてニッケル−リン皮膜を選択し、且つ、当該下地皮膜を所定の錯化剤と界面活性剤などを併用添加した特定の電気ニッケル−リンメッキ浴で形成すると、下地皮膜をアルミニウム、マグネシウム、チタンの特定の軽金属上に良好に密着できることを見い出し、先に、特願2015−247207号で提案した(以下、先願発明という)。
本発明は上記先願発明を基本として、軽金属上にニッケル−リンの下地皮膜を形成してから当該下地皮膜を熱処理するか、或は、次工程の導電性皮膜を形成してから下地皮膜と導電性皮膜を熱処理すると、軽金属に対する下地皮膜の密着力をさらに強化でき、もって、軽金属上に導電性皮膜をより強固に密着形成できること、また、下地皮膜の密着力を強化するには、30℃以上の低温度域を含む温度条件で足りることを見い出し、本発明を完成した。
When forming a conductive film on a specific light metal such as aluminum, magnesium, or titanium that easily forms a non-conductive state, the present inventors interpose a nickel base film between the light metal and the conductive film. When the nickel-phosphorus film is selected as the nickel-based film and the base film is formed with a specific electric nickel-phosphorous plating bath to which a predetermined complexing agent and a surfactant are added in combination, the base film is made of aluminum, It has been found that it can be satisfactorily adhered onto specific light metals such as magnesium and titanium, and has been proposed in Japanese Patent Application No. 2015-247207 (hereinafter referred to as the prior application invention).
The present invention is based on the above-mentioned prior application, and after forming a nickel-phosphorus undercoat on a light metal, the undercoat is heat-treated, or after forming a conductive film in the next step, When the conductive film is heat-treated, the adhesion of the ground film to the light metal can be further strengthened, so that the conductive film can be more firmly formed on the light metal, and the adhesion of the ground film can be increased by 30 ° C. It was found that the temperature conditions including the above low temperature range are sufficient, and the present invention was completed.

即ち、本発明1は、(S1)アルミニウム、マグネシウム、チタンより選ばれた不導態形成性の軽金属上に電気ニッケル−リンメッキ浴を用いてニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を形成する工程と、
(S2)熱処理した下地皮膜上に導電性皮膜を形成する工程とからなる導電性皮膜形成方法において、
上記工程(S1)と工程(S2)の間に下地皮膜を30℃以上で熱処理する工程(S12)を介在させるか、又は、
上記工程(S2)の後に下地皮膜及び導電性皮膜を30℃以上で熱処理する工程(S3)を付加するとともに、
上記電気ニッケル−リンメッキ浴は、
(a)可溶性ニッケル塩と、
(b)リンを含む化合物と、
(c)アミノカルボン酸類、オキシカルボン酸類、糖質、アミノアルコール類、ポリカルボン酸類、ポリアミン類より選ばれた錯化剤と、
(d)ノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤より選ばれた界面活性剤と、
(e)緩衝剤と、
(f)光沢剤
とを含有することを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。
That is, the present invention 1 comprises (S1) a step of forming a base film composed of a nickel-phosphorus film on a non-conductive formable light metal selected from aluminum, magnesium, and titanium using an electric nickel-phosphorous plating bath;
(S2) In a conductive film forming method comprising a step of forming a conductive film on a heat-treated base film,
A step (S12) of heat-treating the base film at 30 ° C. or higher is interposed between the step (S1) and the step (S2), or
After adding the process (S3) which heat-processes a base film and an electroconductive film at 30 degreeC or more after the said process (S2),
The electric nickel-phosphorous plating bath is
(a) a soluble nickel salt;
(b) a compound containing phosphorus;
(c) a complexing agent selected from aminocarboxylic acids, oxycarboxylic acids, carbohydrates, aminoalcohols, polycarboxylic acids, polyamines;
(d) a surfactant selected from nonionic surfactants and amphoteric surfactants;
(e) a buffering agent;
(f) A method of forming a heat-treatable conductive film on a non-conductive formable light metal, comprising a brightener.

本発明2は、上記本発明1において、電気ニッケル−リンメッキ浴のリンを含む化合物(b)が亜リン酸、次亜リン酸、ピロリン酸、オルトリン酸、ヒドロキシエチレンジアミンジホスホン酸、ニトリロトリス(メチレンホスホン酸)、エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)又はこれらの塩の少なくとも一種であることを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。   Invention 2 is the same as Invention 1, wherein the compound (b) containing phosphorus in the electric nickel-phosphorous plating bath is phosphorous acid, hypophosphorous acid, pyrophosphoric acid, orthophosphoric acid, hydroxyethylenediamine diphosphonic acid, nitrilotris (methylene A method of forming a heat-treatable conductive film on a non-conductive light-forming metal, characterized in that it is at least one of phosphonic acid), ethylenediaminetetra (methylenephosphonic acid) or a salt thereof.

本発明3は、上記本発明1又は2において、電気ニッケル−リンメッキ浴の錯化剤(c)がクエン酸、酒石酸、リンゴ酸、グリコール酸、グルコン酸、コハク酸、ニトリロ三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸より選ばれたオキシカルボン酸、ポリカルボン酸、アミノカルボン酸又はその塩の少なくとも一種であることを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。   The present invention 3 is the invention 1 or 2, wherein the complexing agent (c) of the electric nickel-phosphorus plating bath is citric acid, tartaric acid, malic acid, glycolic acid, gluconic acid, succinic acid, nitrilotriacetic acid, ethylenediaminetetraacetic acid A method of forming a heat-treatable conductive film on a non-conductive non-forming light metal, characterized in that it is at least one of oxycarboxylic acid, polycarboxylic acid, aminocarboxylic acid or a salt thereof selected from diethylenetriaminepentaacetic acid is there.

本発明4は、上記本発明1〜3のいずれかにおいて、電気ニッケル−リンメッキ浴の緩衝剤(e)がホウ酸、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、酢酸ニッケル、アスコルビン酸又はその塩の少なくとも一種であることを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。   Invention 4 is the electro-nickel-phosphorous plating bath according to any one of Inventions 1 to 3, wherein the buffer (e) is at least one of boric acid, sodium carbonate, sodium bicarbonate, nickel acetate, ascorbic acid or a salt thereof. It is a method for forming a heat-treatable conductive film on a non-conductive-formable light metal.

本発明5は、上記本発明1〜4のいずれかにおいて、電気ニッケル−リンメッキ浴の光沢剤(f)がサッカリン及びその塩、ベンゼンスルホン酸又はその塩、トルエンスルホン酸又はその塩、ナフタレンスルホン酸又はその塩、アリルスルホン酸又はその塩、ブチンジオール、エチレンシアンヒドリン、クマリン、プロパギルアルコール、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、メルカプトプロパンスルホン酸、チオリンゴ酸より選ばれた少なくとも一種であることを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。   Invention 5 is the electro-nickel-phosphorous plating bath brightener (f) according to any one of Inventions 1 to 4, wherein the saccharin and its salt, benzenesulfonic acid or its salt, toluenesulfonic acid or its salt, naphthalenesulfonic acid Or at least one selected from salts thereof, allylsulfonic acid or salts thereof, butynediol, ethylene cyanohydrin, coumarin, propargyl alcohol, bis (3-sulfopropyl) disulfide, mercaptopropanesulfonic acid, and thiomalic acid. And a heat treatment type conductive film forming method on a non-conductive formable light metal.

本発明6は、上記本発明1〜5のいずれかにおいて、電気ニッケル−リンメッキ浴のpHが3.0〜8.0であることを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。   Invention 6 is the heat treatment formula on a non-conductive non-formable light metal according to any one of Inventions 1 to 5 above, wherein the pH of the electric nickel-phosphorous plating bath is 3.0 to 8.0. It is a conductive film forming method.

本発明7は、上記本発明1〜6のいずれかにおいて、上記下地皮膜の膜厚が0.01〜10.0μmであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。   Invention 7 is any one of Inventions 1 to 6, wherein the film thickness of the undercoat is 0.01 to 10.0 μm. This is a heat treatment type conductive film forming method on a non-conductive-forming light metal.

本発明8は、上記本発明1〜7のいずれかにおいて、上記導電性皮膜を電気メッキ、無電解メッキ、スパッタリング又は蒸着で形成し、
当該導電性皮膜が銅、スズ、銀、金、ニッケル、ビスマス、パラジウム、白金、アルミニウム、マグネシウム、コバルト、亜鉛、クロムより選ばれた金属又はこれらの金属の合金からなる皮膜であることを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。
Present invention 8 is any one of the present invention 1 to 7, wherein the conductive film is formed by electroplating, electroless plating, sputtering or vapor deposition,
The conductive film is a film made of a metal selected from copper, tin, silver, gold, nickel, bismuth, palladium, platinum, aluminum, magnesium, cobalt, zinc, and chromium, or an alloy of these metals. This is a heat treatment type conductive film forming method on a non-conductive formable light metal.

上記先願発明では、アルミニウム、マグネシウム、チタンから選ばれた不導態皮膜性の軽金属上に、銅、スズ、銀などの導電性皮膜を形成する場合、所定の錯化剤、界面活性剤、緩衝剤などを含有する電気ニッケル−リンメッキ浴を用いて形成したニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を上記軽金属上に形成した後、導電性皮膜を形成すると、下地皮膜を軽金属上に良好に密着でき、もって軽金属上に導電性皮膜を密着性良く形成できる。
本発明はこの先願発明を改良したもので、先願発明の処理工程を基礎として、軽金属上に形成した下地皮膜、或は、下地皮膜と導電性皮膜を30℃以上の低温度領域を含む温度条件で熱処理する工程を加入することで、軽金属上への下地皮膜の密着力を一層強化して、軽金属上に導電性皮膜をさらに密着性良く形成できる。
上記熱処理については、例えば、30〜100℃で湯煎するなどの低温度域での簡便な熱処理によっても、軽金属上への下地皮膜の密着力を充分に強化できる。しかも、低温度域で熱処理すれば、投下するエネルギーを軽減して生産性を向上できる。
In the above-mentioned prior application invention, when a conductive film such as copper, tin, silver or the like is formed on a non-conductive film-like light metal selected from aluminum, magnesium, and titanium, a predetermined complexing agent, a surfactant, After forming a base film consisting of a nickel-phosphorus film formed using an electric nickel-phosphorous plating bath containing a buffering agent on the light metal, and then forming a conductive film, the base film can be satisfactorily adhered onto the light metal. Thus, a conductive film can be formed on the light metal with good adhesion.
The present invention is an improvement of this prior invention, and based on the processing steps of the prior application invention, a base film formed on a light metal, or a temperature including a base film and a conductive film in a low temperature region of 30 ° C. or higher. By adding a heat treatment process under conditions, the adhesion of the base film on the light metal can be further enhanced, and the conductive film can be formed on the light metal with better adhesion.
About the said heat processing, the adhesive force of the base film on a light metal can fully be reinforce | strengthened also by simple heat processing in a low temperature range, such as bathing at 30-100 degreeC, for example. Moreover, if heat treatment is performed in a low temperature range, the energy to be dropped can be reduced and the productivity can be improved.

ちなみに、前記特許文献6には、アルミニウム合金製の母材に電気ニッケルメッキ層を被覆し、その後に熱処理することで、アルミニウム合金材に対するメッキ層の密着力を高めることが開示されているが、当該文献6は複写機などの現像ローラに関し、アルミニウム合金材を被覆するメッキ層には、電気抵抗を低下させる必要から、リン含有率を抑えたニッケルメッキ層を用いている([0019]参照)。
従って、特許文献6のアルミニウム合金材を被覆するメッキ層はニッケルメッキ層である点で、ニッケル−リン皮膜を下地皮膜に選択した本発明とは異なり、しかも、同文献6の請求項4では、加熱処理によりアルミニウム合金材に対するニッケル層の密着力を改善できることが開示されるが、これは、信頼性を担保するに足る密着力の確保には熱処理による改善が必要であるという意味なのか、或は、熱処理なしでも実用上の密着力は確保できるが加熱によって密着の信頼性をさらに高められるという意味なのか不明である。
また、ニッケル層を形成するための電気ニッケルメッキ浴の具体的な組成も不明である。
Incidentally, in Patent Document 6, it is disclosed that the adhesion of the plating layer to the aluminum alloy material is enhanced by covering the aluminum alloy base material with the electric nickel plating layer and then performing heat treatment. The document 6 relates to a developing roller for a copying machine or the like, and a nickel plating layer with a low phosphorus content is used for the plating layer covering the aluminum alloy material because it is necessary to reduce the electrical resistance (see [0019]). .
Accordingly, the plating layer covering the aluminum alloy material of Patent Document 6 is a nickel plating layer, which is different from the present invention in which the nickel-phosphorus film is selected as the undercoat, and in claim 4 of the same Document 6, Although it is disclosed that the adhesion of the nickel layer to the aluminum alloy material can be improved by heat treatment, this means that improvement by heat treatment is necessary to secure the adhesion sufficient to ensure reliability, or However, it is unclear whether this means that practical adhesion can be ensured without heat treatment, but the reliability of adhesion can be further enhanced by heating.
In addition, the specific composition of the electric nickel plating bath for forming the nickel layer is unknown.

本発明は、アルミニウム、マグネシウム、チタンより選ばれた不導態を形成し易い特定の軽金属上にニッケル−リン皮膜よりなる下地皮膜を介して、銀、銅、スズなどの導電性皮膜を形成する方法であって、下地皮膜を特定の錯化剤、界面活性剤、光沢剤などを含む所定組成の電気メッキ浴を用いたニッケル−リン皮膜で形成するとともに、下地皮膜の形成後に30℃以上の条件で熱処理をするか、次工程の導電性皮膜の形成後に下地皮膜と導電性皮膜を同様に熱処理する方法である。
上記アルミニウムは純アルミニウム、アルミニウム合金を包含し、上記マグネシウムは純マグネシウム、マグネシウム合金を包含し、上記チタンは純チタン、チタン合金を包含する概念である。
In the present invention, a conductive film such as silver, copper, or tin is formed on a specific light metal that easily forms a non-conductive state selected from aluminum, magnesium, and titanium via a base film made of a nickel-phosphorus film. In this method, a base film is formed with a nickel-phosphorus film using an electroplating bath having a predetermined composition containing a specific complexing agent, a surfactant, a brightener, and the like. In this method, heat treatment is performed under conditions, or the base film and the conductive film are similarly heat-treated after the formation of the conductive film in the next step.
The above aluminum includes pure aluminum and aluminum alloys, the above magnesium includes pure magnesium and magnesium alloys, and the above titanium includes pure titanium and titanium alloys.

本発明は、次の下地形成工程(S1)と、導電性皮膜形成工程(S2)と、工程(S1)の後又は工程(S2)の後に熱処理する工程とからなる(本発明1参照)。
(S1)シリコン基板上に電気ニッケル−リンメッキ浴を用いてニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を形成する工程
(S2)当該下地皮膜上に導電性皮膜を形成する工程
また、上記工程(S1)で用いる電気ニッケル−リンメッキ浴は、
(a)可溶性ニッケル塩と、
(b)リンを含む化合物と、
(c)アミノカルボン酸類、オキシカルボン酸類、糖質、アミノアルコール類、ポリカルボン酸類、ポリアミン類より選ばれた錯化剤と、
(d)ノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤より選ばれた界面活性剤と、
(e)緩衝剤と、
(f)光沢剤
とを必須成分とする。
The present invention includes the following underlayer forming step (S1), conductive film forming step (S2), and a step of performing heat treatment after step (S1) or after step (S2) (see the present invention 1).
(S1) A step of forming a base film composed of a nickel-phosphorous film on a silicon substrate using an electric nickel-phosphorous plating bath (S2) a step of forming a conductive film on the base film. In the step (S1), The electric nickel-phosphorous plating bath used is
(a) a soluble nickel salt;
(b) a compound containing phosphorus;
(c) a complexing agent selected from aminocarboxylic acids, oxycarboxylic acids, carbohydrates, aminoalcohols, polycarboxylic acids, polyamines;
(d) a surfactant selected from nonionic surfactants and amphoteric surfactants;
(e) a buffering agent;
(f) Brightener is an essential component.

上記可溶性ニッケル塩(a)はメッキ浴中にニッケルイオンを供給可能であれば良く、硫酸ニッケル、塩化ニッケル、硫酸ニッケルアンモニウム、酸化ニッケル、酢酸ニッケル、炭酸ニッケル、シュウ酸ニッケル、スルファミン酸ニッケル、有機スルホン酸のニッケル塩などが挙げられ、硫酸ニッケル、スルファミン酸ニッケル、酸化ニッケルなどが好ましい。
また、上記リンを含む化合物(b)としては、亜リン酸、次亜リン酸、ピロリン酸、オルトリン酸、ヒドロキシエチレンジアミンジホスホン酸、ニトリロトリス(メチレンホスホン酸)、エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)及びこれらの塩が挙げられる。
上記可溶性ニッケル塩(a)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.01〜3.0モル/L、好ましくは0.05〜2.0モル/L、より好ましくは0.1〜1.5モル/Lである。
上記リンを含む化合物(b)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.05〜2.0モル/L、好ましくは0.1〜1.0モル/L、より好ましくは0.1〜0.8モル/Lである。
The soluble nickel salt (a) is only required to be able to supply nickel ions in the plating bath. Nickel sulfate, nickel chloride, nickel ammonium sulfate, nickel oxide, nickel acetate, nickel carbonate, nickel oxalate, nickel sulfamate, organic Examples thereof include nickel salts of sulfonic acid, and nickel sulfate, nickel sulfamate, nickel oxide and the like are preferable.
In addition, the phosphorus-containing compound (b) includes phosphorous acid, hypophosphorous acid, pyrophosphoric acid, orthophosphoric acid, hydroxyethylenediamine diphosphonic acid, nitrilotris (methylenephosphonic acid), ethylenediaminetetra (methylenephosphonic acid) and These salts are mentioned.
The soluble nickel salt (a) can be used singly or in combination, and the content thereof relative to the plating bath is 0.01 to 3.0 mol / L, preferably 0.05 to 2.0 mol / L, more preferably 0.0. 1 to 1.5 mol / L.
The compound (b) containing phosphorus can be used singly or in combination, and its content with respect to the plating bath is 0.05 to 2.0 mol / L, preferably 0.1 to 1.0 mol / L, more preferably 0. 0.1 to 0.8 mol / L.

上記電気ニッケル−リンメッキ浴に含有する錯化剤(c)はメッキ浴中で主にニッケル錯体を形成する化合物であり、電極電位の変化に対する陰極電流密度の変化を緩やかにして、ニッケル系皮膜の析出を容易にする機能を果たすもので、アミノカルボン酸類、オキシカルボン酸類、糖質、アミノアルコール類、ポリカルボン酸類、ポリアミン類よりなる群から選ばれる。
上記アミノカルボン酸類には、エチレンジアミン四酢酸(EDTA)、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸(HEDTA)、ジエチレントリアミン五酢酸(DTPA)、トリエチレンテトラミン六酢酸(TTHA)、エチレンジアミンテトラプロピオン酸、ニトリロ三酢酸(NTA)、イミノジ酢酸(IDA)、イミノジプロピオン酸(IDP)、メタフェニレンジアミン四酢酸、1,2−ジアミノシクロヘキサン−N,N,N′,N′−四酢酸、ジアミノプロピオン酸及びこれらの塩などが挙げられ、NTA、EDTAが好ましい。
上記オキシカルボン酸類には、酒石酸、クエン酸、リンゴ酸、グルコン酸、グリコール酸、乳酸、グルコヘプトン酸及びこれらの塩などが挙げられ、クエン酸、酒石酸、グルコン酸及びこれらの塩が好ましい。
上記糖質には、グルコース(ブドウ糖)、フルクトース(果糖)、ラクトース(乳糖)、マルトース(麦芽糖)、イソマルツロース(パラチノース)、キシロース、ソルビトール、キシリトール、マンニトール、マルチトール、エリスリトール、還元水飴、ラクチトール、還元イソマルツロース、グルコノラクトンなどが挙げられ、ソルビトール、キシリトール、マンニトール、マルチトールなどの糖アルコールが好ましい。
上記アミノアルコール類には、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン、モノプロパノールアミン、ジプロパノールアミン、トリプロパノールアミンなどが挙げられ、トリエタノールアミン、トリプロパノールアミンが好ましい。
上記ポリカルボン酸類としては、コハク酸、シュウ酸、グルタル酸、アジピン酸、マロン酸及びこれらの塩などが挙げられ、コハク酸が好ましい。
上記ポリアミン類には、メチレンジアミン、エチレンジアミン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、ジエチレントリアミン、テトラエチレンペンタミン、ペンタエチレンヘキサミン、ヘキサエチレンヘプタミンなどが挙げられ、エチレンジアミンが好ましい。
上記錯化剤(c)としては、オキシカルボン酸類、アミノカルボン酸類、糖質が好ましく、クエン酸、酒石酸、リンゴ酸、グリコール酸、グルコン酸、コハク酸、ニトリロ三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸及びこれらの塩、ソルビトール、マンニトール、マルチトールなどが好適である。
上記錯化剤(c)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.001〜2モル/Lであり、好ましくは0.05〜0.8モル/L、より好ましくは0.1〜0.5モル/Lである。
The complexing agent (c) contained in the electro-nickel-phosphorous plating bath is a compound that mainly forms a nickel complex in the plating bath, and the change in the cathode current density with respect to the change in the electrode potential is moderated. It functions to facilitate precipitation, and is selected from the group consisting of aminocarboxylic acids, oxycarboxylic acids, carbohydrates, amino alcohols, polycarboxylic acids, and polyamines.
The aminocarboxylic acids include ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA), hydroxyethylethylenediaminetriacetic acid (HEDTA), diethylenetriaminepentaacetic acid (DTPA), triethylenetetraminehexaacetic acid (TTHA), ethylenediaminetetrapropionic acid, nitrilotriacetic acid (NTA). , Iminodiacetic acid (IDA), iminodipropionic acid (IDP), metaphenylenediaminetetraacetic acid, 1,2-diaminocyclohexane-N, N, N ', N'-tetraacetic acid, diaminopropionic acid and their salts. NTA and EDTA are preferable.
Examples of the oxycarboxylic acids include tartaric acid, citric acid, malic acid, gluconic acid, glycolic acid, lactic acid, glucoheptonic acid, and salts thereof, and citric acid, tartaric acid, gluconic acid, and salts thereof are preferable.
The sugars include glucose (glucose), fructose (fructose), lactose (lactose), maltose (maltose), isomaltulose (palatinose), xylose, sorbitol, xylitol, mannitol, maltitol, erythritol, reduced starch syrup, lactitol , Reduced isomaltulose, gluconolactone and the like, and sugar alcohols such as sorbitol, xylitol, mannitol, maltitol are preferred.
Examples of the amino alcohols include monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, monopropanolamine, dipropanolamine, and tripropanolamine, with triethanolamine and tripropanolamine being preferred.
Examples of the polycarboxylic acids include succinic acid, oxalic acid, glutaric acid, adipic acid, malonic acid, and salts thereof, and succinic acid is preferable.
Examples of the polyamines include methylenediamine, ethylenediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, hexamethylenediamine, diethylenetriamine, tetraethylenepentamine, pentaethylenehexamine, hexaethyleneheptamine, and ethylenediamine is preferred.
As the complexing agent (c), oxycarboxylic acids, aminocarboxylic acids, and saccharides are preferable, and citric acid, tartaric acid, malic acid, glycolic acid, gluconic acid, succinic acid, nitrilotriacetic acid, ethylenediaminetetraacetic acid, diethylenetriamine-5 Acetic acid and salts thereof, sorbitol, mannitol, maltitol and the like are preferable.
The complexing agent (c) can be used singly or in combination, and its content with respect to the plating bath is 0.001 to 2 mol / L, preferably 0.05 to 0.8 mol / L, more preferably 0.0. 1 to 0.5 mol / L.

上記電気ニッケル−リンメッキ浴に含有する界面活性剤(d)はノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤より選ばれ、シリコン基板と下地皮膜の密着性を増進する。
上記ノニオン系界面活性剤としては、一般的に、C1〜C20アルカノール、フェノール、ナフトール、ビスフェノール類、(ポリ)C1〜C25アルキルフェノール、(ポリ)アリールアルキルフェノール、C1〜C25アルキルナフトール、C1〜C25アルコキシル化リン酸(塩)、ソルビタンエステル、ポリアルキレングリコール、C1〜C22脂肪族アミン、C1〜C22脂肪族アミドなどにエチレンオキシド(EO)及び/又はプロピレンオキシド(PO)を2〜300モル付加縮合させたものや、C1〜C25アルコキシル化リン酸(塩)などが挙げられる。例えば、ポリオキシエチレンクミンフェノールエーテル、ポリオキシエチレンドデシルフェニルエーテル、ジブチル−β−ナフトールポリエトキシレート、ポリオキシエチレンスチレン化フェニルエーテル、エチレンジアミン・テトラポリオキシエチレン・ポリオキシプロピレン、ポリエチレングリコール、ラウリルアルコールポリエトキシレートなどが好適である。
上記両性界面活性剤としては、カルボキシベタイン、イミダゾリンベタイン、スルホベタイン、アミノカルボン酸などが挙げられる。例えば、ラウリルジメチルアミノ酢酸ベタイン、ステアリン酸アミドプロピルベタイン、ラウリル酸アミドプロピルジメチルアミンオキシドなどが好適である。また、エチレンオキシド及び/又はプロピレンオキシドとアルキルアミン又はジアミンとの縮合生成物の硫酸化、或はスルホン酸化付加物も使用できる。
上記界面活性剤(d)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.1〜50g/Lであり、好ましくは1〜40g/L、より好ましくは5〜35g/Lである。
上述のように、本発明のニッケル−リンメッキ浴では、密着性を増す見地からノニオン性、両性界面活性剤の添加を必須要件とするが、これらの界面活性剤に加えて、当該特定種以外の界面活性剤、即ち、カチオン性、アニオン性界面活性剤を併用的に添加することを排除するものではない。
但し、メッキ浴に本発明の所定の界面活性剤を添加することなく、カチオン性又はアニオン性界面活性剤を単独添加しても、メッキ浴の安定性や下地皮膜の密着性に寄与しない点は後述の試験例(比較例7参照)に示す通りである。
The surfactant (d) contained in the electric nickel-phosphorous plating bath is selected from nonionic surfactants and amphoteric surfactants, and promotes adhesion between the silicon substrate and the base film.
The nonionic surfactants are generally C1 to C20 alkanols, phenols, naphthols, bisphenols, (poly) C1 to C25 alkylphenols, (poly) arylalkylphenols, C1 to C25 alkylnaphthols, C1 to C25 alkoxylations. Phosphoric acid (salt), sorbitan ester, polyalkylene glycol, C1 to C22 aliphatic amine, C1 to C22 aliphatic amide and the like obtained by addition condensation of 2 to 300 moles of ethylene oxide (EO) and / or propylene oxide (PO) And C1-C25 alkoxylated phosphoric acid (salt). For example, polyoxyethylene cumin phenol ether, polyoxyethylene dodecyl phenyl ether, dibutyl-β-naphthol polyethoxylate, polyoxyethylene styrenated phenyl ether, ethylenediamine tetrapolyoxyethylene polyoxypropylene, polyethylene glycol, lauryl alcohol poly Ethoxylate is preferred.
Examples of the amphoteric surfactant include carboxybetaine, imidazoline betaine, sulfobetaine, and aminocarboxylic acid. For example, lauryldimethylaminoacetic acid betaine, stearic acid amidopropyl betaine, lauric acid amidopropyldimethylamine oxide, and the like are suitable. In addition, sulfation of a condensation product of ethylene oxide and / or propylene oxide and an alkylamine or diamine, or a sulfonated adduct can also be used.
The surfactant (d) can be used alone or in combination, and the content thereof relative to the plating bath is 0.1 to 50 g / L, preferably 1 to 40 g / L, and more preferably 5 to 35 g / L.
As described above, in the nickel-phosphorous plating bath of the present invention, addition of nonionic and amphoteric surfactants is essential from the viewpoint of increasing adhesion, but in addition to these surfactants, other than the specific species It is not excluded to add a surfactant, that is, a cationic or anionic surfactant in combination.
However, without adding the predetermined surfactant of the present invention to the plating bath, the addition of a cationic or anionic surfactant alone does not contribute to the stability of the plating bath or the adhesion of the underlying film. This is as shown in a test example described later (see Comparative Example 7).

上記電気ニッケル−リンメッキ浴に含有する緩衝剤(e)はシリコン基板に対する下地皮膜の密着性を向上するとともに、メッキ浴の安定剤としても作用する。
緩衝剤(e)としては、ホウ酸、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、酢酸ニッケル、コハク酸、アスコルビン酸などが挙げられ、ホウ酸、炭酸ナトリウムが好ましい。
上記緩衝剤(e)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.05〜1.5モル/Lであり、好ましくは0.05〜1.0モル/L、より好ましくは0.1〜0.6モル/Lである。
The buffer (e) contained in the electric nickel-phosphorous plating bath improves the adhesion of the base film to the silicon substrate and also acts as a stabilizer for the plating bath.
Examples of the buffer (e) include boric acid, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, nickel acetate, succinic acid, ascorbic acid and the like, and boric acid and sodium carbonate are preferable.
The buffer (e) can be used singly or in combination, and its content with respect to the plating bath is 0.05 to 1.5 mol / L, preferably 0.05 to 1.0 mol / L, more preferably 0. 0.1 to 0.6 mol / L.

上記電気ニッケル−リンメッキ浴に含有する光沢剤(f)はシリコン基板に対するニッケル−リン皮膜の密着性を向上する作用をする。
上記光沢剤(f)としては、サッカリン及びその塩、ベンゼンスルホン酸及びその塩、p−トルエンスルホン酸及びその塩、ナフタレンスルホン酸及びその塩、アリルスルホン酸及びその塩、ブチンジオール(具体的には、2−ブチン−1,4−ジオールなど)、エチレンシアンヒドリン、クマリン、プロパギルアルコール、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、メルカプトプロパンスルホン酸、チオリンゴ酸などが挙げられる。
当該光沢剤(f)は成分を単用しても有効であるが、成分を複合するのが適しており、特に、ベンゼンスルホン酸又はその塩とサッカリン、ナフタレンスルホン酸又はその塩とサッカリン、ブチンジオールとベンゼンスルホン酸又はその塩、ブチンジオールとナフタレンスルホン酸又はその塩、アリルスルホン酸又はその塩とサッカリン、チオリンゴ酸及びサッカリン、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド及びサッカリン、アリルスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコール、ベンゼンスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコール、ナフタレンスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコールなどのように2種、或はそれ以上を併用することが好ましい。
上述の通り、光沢剤(f)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.001〜0.15モル/Lであり、好ましくは0.005〜0.07モル/L、より好ましくは0.01〜0.05モル/Lである。
The brightener (f) contained in the electric nickel-phosphorous plating bath acts to improve the adhesion of the nickel-phosphorous film to the silicon substrate.
Examples of the brightener (f) include saccharin and its salt, benzenesulfonic acid and its salt, p-toluenesulfonic acid and its salt, naphthalenesulfonic acid and its salt, allylsulfonic acid and its salt, butynediol (specifically Are 2-butyne-1,4-diol), ethylene cyanohydrin, coumarin, propargyl alcohol, bis (3-sulfopropyl) disulfide, mercaptopropanesulfonic acid, thiomalic acid and the like.
The brightener (f) is effective even if the components are used alone, but it is suitable to combine the components, and in particular, benzenesulfonic acid or a salt thereof and saccharin, naphthalenesulfonic acid or a salt thereof and saccharin, butyne Diol and benzenesulfonic acid or salt thereof, butynediol and naphthalenesulfonic acid or salt thereof, allylsulfonic acid or salt thereof and saccharin, thiomalic acid and saccharin, bis (3-sulfopropyl) disulfide and saccharin, allylsulfonic acid or salt thereof It is preferable to use two or more in combination such as, propargyl alcohol, benzenesulfonic acid or a salt thereof, propargyl alcohol, naphthalenesulfonic acid or a salt thereof and propargyl alcohol.
As described above, the brightener (f) can be used singly or in combination, and its content with respect to the plating bath is 0.001 to 0.15 mol / L, preferably 0.005 to 0.07 mol / L. Preferably it is 0.01-0.05 mol / L.

本発明の電気ニッケル−リンメッキ浴はシリコン基板上にニッケル−リン皮膜を下地形成することを目的とするが、メッキ浴のpHは3.0〜8.0が適当であり、好ましくは4.0〜6.0である。
また、下地形成工程(S1)において、電気メッキの際の陰極電流密度は0.01〜5.0A/dm2、好ましい範囲0.05〜2.0A/dm2である。
上記下地皮膜の形成工程(S1)において、下地皮膜となるニッケル−リン皮膜は上層に導電性皮膜を形成するに足る導電性と密着力を付与できれば良いので、厚く形成する必要はない。従って、その膜厚は0.01〜10.0μm、好ましくは0.01〜8.0μm、より好ましくは0.01〜5.0μmである。
The electric nickel-phosphorus plating bath of the present invention is intended to form a nickel-phosphorus coating on a silicon substrate, but the pH of the plating bath is suitably from 3.0 to 8.0, preferably 4.0. ~ 6.0.
In the base formation step (S1), the cathode current density at the time of electroplating is 0.01 to 5.0 A / dm 2, and preferably 0.05 to 2.0 A / dm 2.
In the undercoat film forming step (S1), the nickel-phosphorus film as the undercoat film is not required to be formed thick because it only needs to provide conductivity and adhesion sufficient to form a conductive film on the upper layer. Accordingly, the film thickness is 0.01 to 10.0 μm, preferably 0.01 to 8.0 μm, more preferably 0.01 to 5.0 μm.

以上において、アルミニウムなどの不導態形成性の軽金属上にニッケル−リンの下地皮膜を形成する工程(S1)を詳述したが、次に、当該工程(S1)で形成したニッケル−リン皮膜の上に、上層皮膜として導電性皮膜を形成する工程(S2)を説明する。
上記導電性皮膜は導電性を有する公知の皮膜であれば特段の制約はないが、例えば、銅、スズ、銀、金、ニッケル、ビスマス、パラジウム、白金、アルミニウム、マグネシウム、コバルト、亜鉛、クロムより選ばれた金属又はこれらの金属の合金が挙げられる。
導電性金属を構成する金属としては、銀、銅、ニッケル、スズ、パラジウム、金、ビスマスが好適である。また、上記金属の合金としては、ニッケル−タングステン合金、ニッケル−モリブデン合金、ニッケル−スズ合金、スズ−銀合金、スズ−ビスマス合金、スズ−銅合金、スズ−亜鉛合金、金−スズ合金などが好適である。
上記導電性皮膜は電気メッキ、無電解メッキ、スパッタリング又は蒸着などにより形成することができ、この中では、生産性の見地からメッキ方式が好ましいが、スパッタリング又は蒸着を排除するものではない。
In the above, the step (S1) of forming a nickel-phosphorus undercoat on a non-conductive light metal such as aluminum has been described in detail. Next, the nickel-phosphorus coating formed in the step (S1) is described. The process (S2) for forming a conductive film as the upper film will be described above.
The conductive film is not particularly limited as long as it is a known conductive film, but, for example, from copper, tin, silver, gold, nickel, bismuth, palladium, platinum, aluminum, magnesium, cobalt, zinc, chromium Examples include selected metals or alloys of these metals.
As the metal constituting the conductive metal, silver, copper, nickel, tin, palladium, gold, and bismuth are suitable. Examples of the metal alloy include nickel-tungsten alloy, nickel-molybdenum alloy, nickel-tin alloy, tin-silver alloy, tin-bismuth alloy, tin-copper alloy, tin-zinc alloy, and gold-tin alloy. Is preferred.
The conductive film can be formed by electroplating, electroless plating, sputtering, or vapor deposition. Among these, a plating method is preferable from the viewpoint of productivity, but sputtering or vapor deposition is not excluded.

本発明は不導態形成性の軽金属上に下地皮膜を介して導電性皮膜を形成することを特徴とするが、導電性皮膜は単層で形成しても良いが、2層、3層などの複層で形成することもできる。
複層の導電性皮膜を例示すれば、ニッケル、銅、コバルト、ビスマス、亜鉛、クロム、鉄などから選ばれた金属、又はこれらの金属の合金を下層(つまり、下地皮膜に臨む側)とし、スズ、銅、金、銀などを上層とした2層の導電性皮膜を挙げることができる。
また、複層の導電性皮膜の最上層をスズ、ニッケル、コバルト、クロム、銀、パラジウム及びこれらの合金などで形成すると、最上層の表面に銀色の美麗な外観を付与できる。
The present invention is characterized in that a conductive film is formed on a non-conductive light-forming metal via a base film, but the conductive film may be formed as a single layer, but two layers, three layers, etc. It is also possible to form a multilayer.
As an example of a multi-layer conductive film, a metal selected from nickel, copper, cobalt, bismuth, zinc, chromium, iron, or an alloy of these metals is used as a lower layer (that is, the side facing the base film), A two-layered conductive film with tin, copper, gold, silver or the like as an upper layer can be exemplified.
Further, when the uppermost layer of the multi-layered conductive film is formed of tin, nickel, cobalt, chromium, silver, palladium, or an alloy thereof, a beautiful silver appearance can be imparted to the surface of the uppermost layer.

本発明は、前述したように、下地皮膜形成工程(S1)と導電性皮膜形成工程(S2)に、熱処理工程を必須構成要件として付加することに特徴がある。
そこで、この熱処理工程について詳述する。
先ず、熱処理の第一の方法は、下地皮膜形成工程(S1)と導電性皮膜形成工程(S2)の間に熱処理工程(S12)を介在させたもので、この中間熱処理方式は次の3工程からなる。
(S1)アルミニウムなどの不導態形成性の軽金属上に電気ニッケル−リンメッキ浴を用いてニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を形成する工程
(S12)下地皮膜を30℃以上で熱処理する工程
(S2)当該下地皮膜上に導電性皮膜を形成する工程
下地皮膜を形成した後、30℃以上で下地皮膜を熱処理すると、不導態形成性の軽金属に対する下地皮膜の密着力をより向上することができ、もって、導電性皮膜を不導態形成性の軽金属上にさらに強固に密着形成できる。
熱処理温度としては30〜300℃が適しており、30〜250℃が好ましく、より好ましくは30〜200℃、さらに好ましくは30〜150℃(特に、30〜100℃が好適)である。
熱処理温度を300℃より上げても、密着力を強化する効果はあまり変わらず、却って下地皮膜に熱歪みが生じて密着力に悪影響を及ぼし、或は、下地皮膜を酸化するリスクがあるうえ、無駄なエネルギーの投入により生産性も低下する。この点に鑑みると、熱処理温度の上限は200℃程度が好ましい。また、冒述の先願発明に示すように、下地皮膜形成工程(S1)の後、熱処理を行わなくても不導態形成性の軽金属への下地皮膜の実用的な密着性を担保できるとともに、30℃程度でもこの実用水準に対する更なる密着性の改善が見込めることから、熱処理の下限を30℃程度とした。
次いで、熱処理の第二の方法は、導電性皮膜形成工程(S2)の後に熱処理工程(S3)を付加したもので、この後段階熱処理方式は次の3工程からなる。
(S1)アルミニウムなどの不導態形成性の軽金属上に電気ニッケル−リンメッキ浴を用いてニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を形成する工程
(S2)下地皮膜上に導電性皮膜を形成する工程
(S3)当該下地皮膜及び導電性皮膜を30℃以上で熱処理する工程
第二の方法における熱処理の温度条件は第一の方法と同様で良い。
上記熱処理については、中間及び後段階の熱処理方式ともに共通であるが、オーブン加熱、ドライヤーによる熱風加熱、温水或いはオイルバスへの浸漬などの様々な態様を選択できる。また、例えば、30〜100℃の温水処理(温水に浸漬する湯煎)を選択すると、湯煎による低温度域での加熱処理なので、熱エネルギーの軽減化と処理の簡便化を図り、生産性を向上できる。
As described above, the present invention is characterized in that a heat treatment process is added as an essential constituent element to the base film forming process (S1) and the conductive film forming process (S2).
Therefore, this heat treatment step will be described in detail.
First, the first method of heat treatment is to interpose the heat treatment step (S12) between the base film formation step (S1) and the conductive film formation step (S2). Consists of.
(S1) A step of forming a base film made of a nickel-phosphorus film on a non-conductive formable light metal such as aluminum using an electric nickel-phosphorous plating bath (S12) a step of heat-treating the base film at 30 ° C. or higher (S2) ) The process of forming a conductive film on the base film After the base film is formed, if the base film is heat-treated at 30 ° C. or higher, the adhesion of the base film to a non-conductive light metal can be further improved. Thus, the conductive film can be formed more firmly on the non-conductive light metal.
30-300 degreeC is suitable as heat processing temperature, 30-250 degreeC is preferable, More preferably, it is 30-200 degreeC, More preferably, it is 30-150 degreeC (especially 30-100 degreeC is suitable).
Even if the heat treatment temperature is increased from 300 ° C., the effect of strengthening the adhesion is not changed so much. On the other hand, thermal distortion occurs in the undercoat, adversely affecting the adhesion, or there is a risk of oxidizing the undercoat. Productivity is also reduced by wasting energy. In view of this point, the upper limit of the heat treatment temperature is preferably about 200 ° C. In addition, as shown in the above-mentioned prior application invention, after the undercoat formation step (S1), practical adhesion of the undercoat to the non-conductive formable light metal can be ensured without performing heat treatment. The lower limit of the heat treatment was set to about 30 ° C., since further improvement in adhesion to this practical level can be expected even at about 30 ° C.
Next, the second method of heat treatment is a method in which a heat treatment step (S3) is added after the conductive film formation step (S2), and this subsequent heat treatment method includes the following three steps.
(S1) A step of forming a base film made of a nickel-phosphorous film on a non-conductive formable light metal such as aluminum using an electric nickel-phosphorous plating bath (S2) a step of forming a conductive film on the base film ( S3) Step of heat-treating the base film and the conductive film at 30 ° C. or higher The temperature condition of the heat treatment in the second method may be the same as in the first method.
About the said heat processing, although the heat processing system of an intermediate | middle and a back | latter stage is common, various aspects, such as oven heating, hot air heating with a dryer, immersion in warm water or an oil bath, can be selected. In addition, for example, when hot water treatment at 30 to 100 ° C (boiled water bathing in hot water) is selected, the heat treatment is performed in a low temperature range with hot water bath, so heat energy is reduced and processing is simplified, and productivity is improved. it can.

以下、アルミニウムなどの不導態形成性の軽金属上に下地皮膜(ニッケル−リン皮膜)を形成するための電気ニッケル−リンメッキ浴、導電性皮膜を形成するためのメッキ浴、並びに熱処理方式で上記軽金属上に当該下地皮膜を介して導電性皮膜を形成する方法の実施例を述べるとともに、上記軽金属に対するニッケル−リン皮膜の密着性の評価試験例を順次説明する。
尚、本発明は下記の実施例、試験例に拘束されるものではなく、本発明の技術的思想の範囲内で任意の変形をなし得ることは勿論である。
Hereinafter, an electric nickel-phosphorus plating bath for forming a base film (nickel-phosphorus film) on a non-conductive-formable light metal such as aluminum, a plating bath for forming a conductive film, and the light metal by a heat treatment method. An example of a method for forming a conductive film through the base film will be described above, and an evaluation test example of the adhesion of the nickel-phosphorus film to the light metal will be sequentially described.
The present invention is not limited to the following examples and test examples, and it is needless to say that arbitrary modifications can be made within the scope of the technical idea of the present invention.

《熱処理方式で不導態形成性の軽金属上に導電性皮膜を形成する方法の実施例》
下記の実施例1〜23のうち、実施例1〜7はニッケル−リン皮膜(下地皮膜)/スズ皮膜(導電性皮膜)、実施例8はニッケル−リン皮膜(下地皮膜)/銅皮膜(導電性皮膜)、実施例9はニッケル−リン皮膜(下地皮膜)/ニッケル皮膜(導電性皮膜)、実施例10と実施例13はニッケル−リン皮膜(下地皮膜)/銀皮膜(導電性皮膜)、実施例11はニッケル−リン皮膜(下地皮膜)/パラジウム皮膜(導電性皮膜)、実施例12はニッケル−リン皮膜(下地皮膜)/スズ−ビスマス合金皮膜(導電性皮膜)の各例である。実施例13の導電性皮膜(銀皮膜)は無電解メッキで形成し、他の実施例は電気メッキで形成した。
上記実施例1〜7は工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴の組成を変化させた例である。
熱処理を行う時期的条件において、実施例1〜13は下地皮膜形成工程(S1)と導電性皮膜形成工程(S2)の間に熱処理を介在させる中間熱処理方式の例、実施例14〜17は上記工程(S2)の後に熱処理する後段階熱処理方式の例である。この後段階熱処理方式において、実施例14の処理条件は時期的条件を除いて、実施例1を基本としたものであり、同じく実施例15は実施例3を基本とし、実施例16は実施例8を基本とし、実施例17は実施例9を夫々基本としたものである。
熱処理の付加条件において、実施例1〜17は70℃、5分の条件で湯煎した例、実施例18〜20は条件を変えて湯煎した例、実施例21は熱風加熱した例、実施例22〜23はオーブン加熱した例である。
また、基準例は冒述の先願発明の例で、いわば実施例1を基本として、工程(S1)の後に熱処理なしで直接的に工程(S2)に移行した例である。
<< Example of a method for forming a conductive film on a light metal that forms a nonconductive state by heat treatment >>
Of the following Examples 1 to 23, Examples 1 to 7 are nickel-phosphorus film (undercoat film) / tin film (conductive film), and Example 8 is nickel-phosphorus film (undercoat film) / copper film (conductive) Example 9 is a nickel-phosphorus film (undercoat) / nickel coat (conductive film), Examples 10 and 13 are a nickel-phosphorus film (undercoat) / silver film (conductive film), Example 11 is an example of nickel-phosphorus film (undercoat film) / palladium film (conductive film), and Example 12 is an example of nickel-phosphorus film (undercoat film) / tin-bismuth alloy film (conductive film). The conductive film (silver film) of Example 13 was formed by electroless plating, and the other examples were formed by electroplating.
Examples 1 to 7 are examples in which the composition of the nickel-phosphorous plating bath in step (S1) was changed.
In the timing conditions for performing the heat treatment, Examples 1 to 13 are examples of an intermediate heat treatment method in which heat treatment is interposed between the base film forming step (S1) and the conductive film forming step (S2). This is an example of a post-stage heat treatment method in which heat treatment is performed after the step (S2). In this post-stage heat treatment method, the processing conditions of Example 14 are based on Example 1 except for the timing conditions. Similarly, Example 15 is based on Example 3 and Example 16 is based on Example. Example 8 is based on Example 9, and Example 17 is based on Example 9, respectively.
In the additional conditions of heat treatment, Examples 1 to 17 are examples of hot water roasting at 70 ° C. for 5 minutes, Examples 18 to 20 are examples of hot water roasting under different conditions, Example 21 is an example of hot air heating, and Example 22 -23 are examples of oven heating.
The reference example is an example of the invention of the prior application described above. In other words, the example is based on Example 1 and directly moves to the step (S2) without the heat treatment after the step (S1).

一方、下記の比較例1〜9は実施例1を基本としたもので、比較例1はアルミニウム合金などの軽金属上に下地皮膜を形成せずに、電気メッキにより導電性皮膜を直接に形成したブランク例(熱処理なしの例)である。
比較例2〜3は軽金属上にニッケル−リン皮膜ではなく、ニッケルの下地皮膜を介して導電性皮膜を形成したもので、比較例2は熱処理を行った例、比較例3は熱処理なしの例である。
比較例4〜9は本発明の下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に必須成分の一部を含まないか、或は他の成分に代替した例であり、比較例4は当該メッキ浴に錯化剤(c)を含まない例である。
比較例5〜6は上記ニッケル−リンメッキ浴に本発明の界面活性剤(d)を含まないもので、比較例5は熱処理を行った例、比較例6は熱処理なしの例である。
比較例7は上記ニッケル−リンメッキ浴に本発明の界面活性剤(d)に代えてカチオン系界面活性剤を用いて、熱処理した例である。
比較例8〜9は上記ニッケル−リンメッキ浴に本発明の光沢剤(f)を含まないもので、比較例8は熱処理を行った例、比較例9は熱処理なしの例である。
On the other hand, the following Comparative Examples 1 to 9 are based on Example 1, and in Comparative Example 1, a conductive film was directly formed by electroplating without forming a base film on a light metal such as an aluminum alloy. It is a blank example (example without heat treatment).
Comparative Examples 2 to 3 were obtained by forming a conductive film on a light metal via a nickel base film instead of a nickel-phosphorus film, Comparative Example 2 was an example of heat treatment, and Comparative Example 3 was an example of no heat treatment. It is.
Comparative Examples 4 to 9 are examples in which the nickel-phosphorous plating bath in the undercoat film forming step (S1) of the present invention does not contain some of the essential components or are replaced with other components, and Comparative Example 4 is the plating. In this example, the bath does not contain the complexing agent (c).
Comparative Examples 5 to 6 do not contain the surfactant (d) of the present invention in the nickel-phosphorous plating bath, Comparative Example 5 is an example in which heat treatment was performed, and Comparative Example 6 is an example in which no heat treatment was performed.
In Comparative Example 7, the nickel-phosphorus plating bath was heat-treated using a cationic surfactant instead of the surfactant (d) of the present invention.
Comparative Examples 8-9 do not contain the brightener (f) of the present invention in the nickel-phosphorous plating bath, Comparative Example 8 is an example in which heat treatment was performed, and Comparative Example 9 is an example without heat treatment.

(1)実施例1
(S1)下地皮膜の形成工程
次の(i)〜(iv)に示すように、3種類の5cm×5cm角のアルミニウム合金板、並びに1種類の5cm×5cm角のマグネシウム合金板を用意し、不導態形成性軽金属の各試料とした(下記の実施例2〜22、比較例1〜9も同じ)。
特に、3種類のアルミニウム合金を選択したのは、当該合金の種類が多種に及ぶため、アルミニウム合金の種類が変わっても本発明の下地皮膜を密着性良く下張りできるか否かの汎用性を検証するためである。
(i) 試料1:アルミニウム合金/Al−Cu系(A2024P;JIS規格)
(ii) 試料2:アルミニウム合金/Al−Mg系(A5052P;JIS規格)
(iii)試料3:アルミニウム合金/Al−Mg−Si系(A6061P;JIS規格)
(iv) 試料4:マグネシウム合金/Mg−Al−Zn系(AZ31;JIS規格)
先ず、上記各試料を水酸化ナトリウム(3重量%)で25℃、3分の条件でアルカリ脱脂し、下記(A)のニッケル−リンメッキ浴と電気メッキ条件により試料上に下地皮膜を形成し、25℃、約30秒の条件で水洗した。
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
上記亜リン酸はリンを含む化合物、クエン酸は錯化剤、エチレンジアミンのアルキレンオキシド付加物はノニオン系界面活性剤、ホウ酸は緩衝剤、サッカリンとチオリンゴ酸は光沢剤である。
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S12)熱処理工程
次いで、ニッケル−リン皮膜を形成した各試料を下記条件で湯煎した。
[熱処理条件]
湯煎温度:70℃
湯煎時間:5分
(S2)導電性皮膜の形成工程
熱処理を施した各試料に下記(B)のスズメッキ浴と電気メッキ条件により導電性皮膜を形成し、水洗した後、乾燥処理した。
(B)導電性皮膜:スズ
次の組成で電気スズメッキ浴を建浴した。
メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 0.5モル/L
メタンスルホン酸 1.0モル/L
ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテル(EO10モル) 10g/L
[電気メッキ条件]
浴温:40℃
電流密度:2A/dm2
メッキ時間:5分
[メッキ皮膜]
膜厚:5μm
(1) Example 1
(S1) Step of forming undercoat As shown in the following (i) to (iv), three types of 5 cm × 5 cm square aluminum alloy plates and one type of 5 cm × 5 cm square magnesium alloy plates are prepared, Each sample of the non-conductive-forming light metal was used (the same applies to Examples 2 to 22 and Comparative Examples 1 to 9 below).
In particular, three types of aluminum alloys were selected because there are many types of such alloys, so the versatility of whether the undercoat of the present invention can be applied with good adhesion even if the type of aluminum alloy changes is verified. It is to do.
(I) Sample 1: Aluminum alloy / Al-Cu system (A2024P; JIS standard)
(Ii) Sample 2: Aluminum alloy / Al-Mg system (A5052P; JIS standard)
(Iii) Sample 3: Aluminum alloy / Al-Mg-Si system (A6061P; JIS standard)
(Iv) Sample 4: Magnesium alloy / Mg—Al—Zn system (AZ31; JIS standard)
First, each sample was alkali degreased with sodium hydroxide (3% by weight) at 25 ° C. for 3 minutes, and a base film was formed on the sample by the nickel-phosphorous plating bath and electroplating conditions of (A) below. Washed with water at 25 ° C. for about 30 seconds.
(A) Composition of nickel-phosphorous plating bath and electroplating conditions An electric nickel-phosphorous plating bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Citric acid 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
The phosphorous acid is a phosphorus-containing compound, citric acid is a complexing agent, ethylenediamine alkylene oxide adduct is a nonionic surfactant, boric acid is a buffering agent, and saccharin and thiomalic acid are brightening agents.
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S12) Heat treatment step Next, each sample on which the nickel-phosphorus film was formed was bathed under the following conditions.
[Heat treatment conditions]
Hot water temperature: 70 ° C
Bathing time: 5 minutes (S2) Step of forming conductive film A conductive film was formed on each heat-treated sample by the following tin plating bath and electroplating conditions (B), washed with water, and then dried.
(B) Conductive film: tin An electric tin plating bath was constructed with the following composition.
Stannous methanesulfonate (as Sn2 +) 0.5 mol / L
Methanesulfonic acid 1.0 mol / L
Polyoxyethylene cumylphenyl ether (EO10 mol) 10g / L
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 40 ° C
Current density: 2A / dm2
Plating time: 5 minutes [Plating film]
Film thickness: 5μm

(2)実施例2
(S1)下地皮膜の形成工程
実施例1を基本として、電気ニッケル−リンメッキ浴のニッケル塩を変更した。リンを含む化合物と錯化剤も若干変更した。
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
硫酸ニッケル6水和物(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸水素ナトリウム2.5水和物 0.4モル/L
クエン酸 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:40℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.3μm
リンの含有率:6.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。導電性皮膜はスズである。
(2) Example 2
(S1) Base film forming step Based on Example 1, the nickel salt of the electric nickel-phosphorus plating bath was changed. The compound containing phosphorus and the complexing agent were also slightly changed.
(A) Composition of nickel-phosphorous plating bath and electroplating conditions An electric nickel-phosphorous plating bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfate hexahydrate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Sodium hydrogen phosphite 2.5 hydrate 0.4 mol / L
Citric acid 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 40 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.3 μm
Phosphorus content: 6.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above. The conductive film is tin.

(3)実施例3
(S1)下地皮膜の形成工程
実施例1を基本として、電気ニッケル−リンメッキ浴のリン化合物を変更した。
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
次亜リン酸ナトリウム 0.4モル/L
クエン酸 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 5.0
[電気メッキ条件]
浴温:40℃
電流密度:0.1A/dm2
メッキ時間:2分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.01μm
リンの含有率:4.5%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。導電性皮膜はスズである。
(3) Example 3
(S1) Base film forming step Based on Example 1, the phosphorus compound of the electric nickel-phosphorous plating bath was changed.
(A) Composition of nickel-phosphorous plating bath and electroplating conditions An electric nickel-phosphorous plating bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Sodium hypophosphite 0.4 mol / L
Citric acid 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 5.0
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 40 ° C
Current density: 0.1 A / dm2
Plating time: 2 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.01 μm
Phosphorus content: 4.5%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above. The conductive film is tin.

(4)実施例4
(S1)下地皮膜の形成工程
実施例1を基本として、電気ニッケル−リンメッキ浴の錯化剤を変更した。
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
グルコン酸ナトリウム 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(24%水酸化ナトリウムで調整) 5.0
[電気メッキ条件]
浴温:40℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。導電性皮膜はスズである。
(4) Example 4
(S1) Base film forming step Based on Example 1, the complexing agent of the electric nickel-phosphorous plating bath was changed.
(A) Composition of nickel-phosphorous plating bath and electroplating conditions An electric nickel-phosphorous plating bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Sodium gluconate 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 24% sodium hydroxide) 5.0
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 40 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above. The conductive film is tin.

(5)実施例5
(S1)下地皮膜の形成工程
実施例1を基本として、電気ニッケル−リンメッキ浴のノニオン系界面活性剤を変更した。
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸水素ナトリウム2.5水和物 0.4モル/L
クエン酸 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
ポリオキシエチレンオクチルフェノールエーテル(EO10モル) 10g/L
pH(24%水酸化ナトリウムで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:40℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:3.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。導電性皮膜はスズである。
(5) Example 5
(S1) Base film forming step Based on Example 1, the nonionic surfactant of the electric nickel-phosphorus plating bath was changed.
(A) Composition of nickel-phosphorous plating bath and electroplating conditions An electric nickel-phosphorous plating bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Sodium hydrogen phosphite 2.5 hydrate 0.4 mol / L
Citric acid 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Polyoxyethylene octylphenol ether (EO10 mol) 10g / L
pH (adjusted with 24% sodium hydroxide) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 40 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 3.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above. The conductive film is tin.

(6)実施例6
(S1)下地皮膜の形成工程
実施例1を基本として、電気ニッケル−リンメッキ浴の緩衝剤を変更した。
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
炭酸ナトリウム 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。導電性皮膜はスズである。
(6) Example 6
(S1) Base film forming step Based on Example 1, the buffer for the electric nickel-phosphorous plating bath was changed.
(A) Composition of nickel-phosphorous plating bath and electroplating conditions An electric nickel-phosphorous plating bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Sodium carbonate 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above. The conductive film is tin.

(7)実施例7
(S1)下地皮膜の形成工程
実施例1を基本として、電気ニッケル−リンメッキ浴の光沢剤を変更した。
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
炭酸ナトリウム 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
2−ブチン−1,4−ジオール 0.02モル/L
ベンセンスルホン酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。導電性皮膜はスズである。
(7) Example 7
(S1) Base film forming step Based on Example 1, the brightening agent for the electric nickel-phosphorous plating bath was changed.
(A) Composition of nickel-phosphorous plating bath and electroplating conditions An electric nickel-phosphorous plating bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Sodium carbonate 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
2-butyne-1,4-diol 0.02 mol / L
Benzenesulfonic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above. The conductive film is tin.

(8)実施例8
上記実施例1を基本として、導電性皮膜を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
実施例1を基本として、導電性皮膜を銅皮膜に変更した。
(B)導電性皮膜:銅
次の組成で電気銅メッキ浴を建浴した。
硫酸銅5水和物(Cu2+として) 0.8モル/L
硫酸 1.0モル/L
塩酸 0.1ミリモル/L
ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド 1.0mg/L
ポリエチレングリコール(分子量4000) 1.0g/L
ポリエチレンイミン 3.0mg/L
[電気メッキ条件]
浴温:25℃
電流密度:1A/dm2
メッキ時間:5分
[メッキ皮膜]
膜厚:10μm
(8) Example 8
Based on Example 1 above, the conductive film was changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Formation process of conductive film Based on Example 1, the conductive film was changed to a copper film.
(B) Conductive film: copper An electrolytic copper plating bath was constructed with the following composition.
Copper sulfate pentahydrate (as Cu2 +) 0.8 mol / L
Sulfuric acid 1.0 mol / L
Hydrochloric acid 0.1 mmol / L
Bis (3-sulfopropyl) disulfide 1.0 mg / L
Polyethylene glycol (molecular weight 4000) 1.0g / L
Polyethyleneimine 3.0mg / L
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 25 ° C
Current density: 1A / dm2
Plating time: 5 minutes [Plating film]
Film thickness: 10μm

(9)実施例9
上記実施例1を基本として、導電性皮膜を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
実施例1を基本として、導電性皮膜をニッケル皮膜に変更した。
(B)導電性皮膜:ニッケル
次の組成で電気ニッケルメッキ浴を建浴した。
硫酸ニッケル6水和物(Ni2+として) 0.15モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.5モル/L
ホウ酸 0.7モル/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.0
[電気メッキ条件]
浴温:60℃
電流密度:1A/dm2
メッキ時間:5分
[メッキ皮膜]
膜厚:10μm
(9) Example 9
Based on Example 1 above, the conductive film was changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Formation process of conductive film Based on Example 1, the conductive film was changed to a nickel film.
(B) Conductive film: nickel An electric nickel plating bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfate hexahydrate (as Ni2 +) 0.15 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.5 mol / L
Boric acid 0.7 mol / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.0
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 60 ° C
Current density: 1A / dm2
Plating time: 5 minutes [Plating film]
Film thickness: 10μm

(10)実施例10
上記実施例1を基本として、導電性皮膜を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
実施例1を基本として、導電性皮膜を銀皮膜に変更した。
(B)導電性皮膜:銀
次の組成で電気銀メッキ浴を建浴した。
メタンスルホン酸銀(Ag+として) 0.45モル/L
コハク酸イミド 1.5モル/L
四ホウ酸ナトリウム 0.025モル/L
[電気メッキ条件]
浴温:25℃
電流密度:1A/dm2
メッキ時間:3分
[メッキ皮膜]
膜厚:2.0μm
(10) Example 10
Based on Example 1 above, the conductive film was changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Formation process of conductive film Based on Example 1, the conductive film was changed to a silver film.
(B) Conductive film: Silver An electrosilver plating bath was constructed with the following composition.
Silver methanesulfonate (as Ag +) 0.45 mol / L
Succinimide 1.5 mol / L
Sodium tetraborate 0.025 mol / L
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 25 ° C
Current density: 1A / dm2
Plating time: 3 minutes [Plating film]
Film thickness: 2.0 μm

(11)実施例11
上記実施例1を基本として、導電性皮膜を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
実施例1を基本として、導電性皮膜をパラジウム皮膜に変更した。
(B)導電性皮膜:パラジウム
次の組成で電気パラジウムメッキ浴を建浴した。
硫酸パラジウム(Pd2+として) 0.02モル/L
硫酸 0.4モル/L
リン酸 0.6モル/L
亜硫酸 0.006モル/L
[電気メッキ条件]
浴温:25℃
電流密度:0.6A/dm2
メッキ時間:20分
[メッキ皮膜]
膜厚:1.5μm
(11) Example 11
Based on Example 1 above, the conductive film was changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Formation process of conductive film Based on Example 1, the conductive film was changed to a palladium film.
(B) Conductive film: Palladium An electric palladium plating bath was constructed with the following composition.
Palladium sulfate (as Pd2 +) 0.02 mol / L
Sulfuric acid 0.4 mol / L
Phosphoric acid 0.6 mol / L
Sulfurous acid 0.006 mol / L
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 25 ° C
Current density: 0.6 A / dm2
Plating time: 20 minutes [Plating film]
Film thickness: 1.5μm

(12)実施例12
上記実施例1を基本として、導電性皮膜を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
実施例1を基本として、導電性皮膜をスズ−ビスマス合金皮膜に変更した。
(B)導電性皮膜:スズ−ビスマス合金
次の組成で電気スズ−ビスマス合金メッキ浴を建浴した。
メタンスルホン酸第一スズ(Sn2+として) 0.6モル/L
メタンスルホン酸ビスマス(Bi3+として) 0.02モル/L
メタンスルホン酸 1.0モル/L
ポリオキシエチレンクミルフェニルエーテル(EO10モル) 10g/L
[電気メッキ条件]
浴温:40℃
電流密度:2A/dm2
メッキ時間:5分
[メッキ皮膜]
膜厚:5.0μm
ビスマスの析出率:2%
(12) Example 12
Based on Example 1 above, the conductive film was changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Formation process of conductive film Based on Example 1, the conductive film was changed to a tin-bismuth alloy film.
(B) Conductive film: tin-bismuth alloy An electric tin-bismuth alloy plating bath was constructed with the following composition.
Stannous methanesulfonate (as Sn2 +) 0.6 mol / L
Bismuth methanesulfonate (as Bi3 +) 0.02 mol / L
Methanesulfonic acid 1.0 mol / L
Polyoxyethylene cumylphenyl ether (EO10 mol) 10g / L
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 40 ° C
Current density: 2A / dm2
Plating time: 5 minutes [Plating film]
Film thickness: 5.0 μm
Bismuth precipitation rate: 2%

(13)実施例13
上記実施例1を基本として、導電性皮膜を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
実施例1を基本として、導電性皮膜を銀皮膜に変更した。
(B)導電性皮膜:銀
次の組成で無電解銀メッキ浴を建浴した。
硝酸銀(Ag+として) 0.01モル/L
コハク酸イミド 0.05モル/L
イミダゾール 0.05モル/L
[電気メッキ条件]
浴温:50℃
メッキ時間:60分
[メッキ皮膜]
膜厚:1.0μm
(13) Example 13
Based on Example 1 above, the conductive film was changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Formation process of conductive film Based on Example 1, the conductive film was changed to a silver film.
(B) Conductive film: silver An electroless silver plating bath was constructed with the following composition.
Silver nitrate (as Ag +) 0.01 mol / L
Succinimide 0.05 mol / L
Imidazole 0.05 mol / L
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 50 ° C
Plating time: 60 minutes [Plating film]
Film thickness: 1.0μm

(14)実施例14
実施例1を基本として、工程(S1)と工程(S2)の間に熱処理する代わりに、当該工程(S2)の後に熱処理した(後段階熱処理の例である。以下、実施例15〜17も同じ)。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S3)熱処理工程
上記実施例1の工程(S12)と同じ。
(14) Example 14
Based on Example 1, instead of performing heat treatment between Step (S1) and Step (S2), heat treatment was performed after Step (S2) (this is an example of post-stage heat treatment. the same).
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S3) Heat treatment step The same as step (S12) in Example 1 above.

(15)実施例15
実施例3を基本として、工程(S1)と工程(S2)の間に熱処理する代わりに、当該工程(S2)の後に熱処理した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例3と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例3と処理条件は同じ。
(S3)熱処理工程
上記実施例3の工程(S12)と処理条件は同じ。
(15) Example 15
Based on Example 3, instead of performing heat treatment between step (S1) and step (S2), heat treatment was performed after step (S2).
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 3 above.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 3 above.
(S3) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in step (S12) of Example 3 above.

(16)実施例16
実施例8を基本として、工程(S1)と工程(S2)の間に熱処理する代わりに、当該工程(S2)の後に熱処理した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例8と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例8と処理条件は同じ。
(S3)熱処理工程
上記実施例8の工程(S12)と処理条件は同じ。
(16) Example 16
Based on Example 8, instead of performing heat treatment between the step (S1) and the step (S2), heat treatment was performed after the step (S2).
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 8 above.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 8 above.
(S3) Heat treatment step The treatment conditions are the same as those in the step (S12) of Example 8.

(17)実施例17
実施例9を基本として、工程(S1)と工程(S2)の間に熱処理する代わりに、当該工程(S2)の後に熱処理した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例9と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例9と処理条件は同じ。
(S3)熱処理工程
上記実施例9の工程(S12)と処理条件は同じ。
(17) Example 17
Based on Example 9, heat treatment was performed after the step (S2) instead of heat treatment between the step (S1) and the step (S2).
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 9 above.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 9 above.
(S3) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in step (S12) of Example 9 above.

(18)実施例18
実施例1を基本として、工程(S12)の熱処理の付加条件を変更した(以下、実施例19〜23も同じ)。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
次いで、ニッケル−リン皮膜を形成した各試料を下記条件で湯煎した。
[熱処理条件]
湯煎温度:35℃
湯煎時間:80分
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(18) Example 18
Based on Example 1, the additional conditions for the heat treatment in the step (S12) were changed (hereinafter, Examples 19 to 23 are the same).
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step Next, each sample on which the nickel-phosphorus film was formed was bathed under the following conditions.
[Heat treatment conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Bathing time: 80 minutes (S2) Conductive film formation process The treatment conditions are the same as in Example 1 above.

(19)実施例19
実施例1を基本として、工程(S12)の熱処理の付加条件を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
次いで、ニッケル−リン皮膜を形成した各試料を下記条件で湯煎した。
[熱処理条件]
湯煎温度:50℃
湯煎時間:30分
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(19) Example 19
Based on Example 1, the additional conditions for the heat treatment in step (S12) were changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step Next, each sample on which the nickel-phosphorus film was formed was bathed under the following conditions.
[Heat treatment conditions]
Bath temperature: 50 ° C
Bathing time: 30 minutes (S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(20)実施例20
実施例1を基本として、工程(S12)の熱処理の付加条件を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
次いで、ニッケル−リン皮膜を形成した各試料を下記条件で湯煎した。
[熱処理条件]
湯煎温度:90℃
湯煎時間:10分
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(20) Example 20
Based on Example 1, the additional conditions for the heat treatment in step (S12) were changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step Next, each sample on which the nickel-phosphorus film was formed was bathed under the following conditions.
[Heat treatment conditions]
Hot water temperature: 90 ° C
Bathing time: 10 minutes (S2) Step of forming conductive film The treatment conditions are the same as in Example 1 above.

(21)実施例21
実施例1を基本として、工程(S12)の熱処理の付加条件を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
次いで、ニッケル−リン皮膜を形成した各試料を下記条件でドライヤーで熱風加熱した。
[熱処理条件]
熱風加熱温度:150℃
加熱時間:5分
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(21) Example 21
Based on Example 1, the additional conditions for the heat treatment in step (S12) were changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step Next, each sample on which the nickel-phosphorus film was formed was heated with a dryer under the following conditions.
[Heat treatment conditions]
Hot air heating temperature: 150 ° C
Heating time: 5 minutes (S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(22)実施例22
実施例1を基本として、工程(S12)の熱処理の付加条件を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
次いで、ニッケル−リン皮膜を形成した各試料を下記条件でオーブン加熱した。
[熱処理条件]
オーブン加熱温度:150℃
加熱時間:10分
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(22) Example 22
Based on Example 1, the additional conditions for the heat treatment in step (S12) were changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step Next, each sample on which the nickel-phosphorus film was formed was oven-heated under the following conditions.
[Heat treatment conditions]
Oven heating temperature: 150 ° C
Heating time: 10 minutes (S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(23)実施例23
実施例1を基本として、工程(S12)の熱処理の付加条件を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
次いで、ニッケル−リン皮膜を形成した各試料を下記条件でオーブン加熱した。
[熱処理条件]
オーブン加熱温度:200℃
加熱時間:5分
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(23) Example 23
Based on Example 1, the additional conditions for the heat treatment in step (S12) were changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step Next, each sample on which the nickel-phosphorus film was formed was oven-heated under the following conditions.
[Heat treatment conditions]
Oven heating temperature: 200 ° C
Heating time: 5 minutes (S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(24)基準例
冒述の先願発明に基づき、上記実施例1を基本として、工程(S1)の後に熱処理しないで工程(S2)を行った。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(24) Reference Example Based on the above-mentioned prior application, the step (S2) was carried out after the step (S1) without heat treatment on the basis of the above-mentioned Example 1.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(25)比較例1
上記実施例1を基本として、各試料の上に下地皮膜を形成しないで、直接に導電性皮膜を形成したものである。従って、下地皮膜形成工程(S1)と熱処理工程(S12)は行わなかった。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
その結果、試料上への導電性皮膜(スズ皮膜)の形成を試みたが、粉状の析出物が生成しただけで、スズメッキ皮膜は形成されなかった。
(25) Comparative Example 1
Based on Example 1 described above, a conductive film was formed directly on each sample without forming a base film. Therefore, the base film forming step (S1) and the heat treatment step (S12) were not performed.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.
As a result, an attempt was made to form a conductive film (tin film) on the sample, but only a powdery precipitate was produced, and no tin plating film was formed.

(26)比較例2
上記実施例1を基本として、軽金属料上にニッケル−リン皮膜ではなく、ニッケルの下地皮膜を介して電気メッキにより導電性皮膜を形成した例である(熱処理あり)。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケルメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケルメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:1.0μm
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(26) Comparative Example 2
This is an example in which a conductive film is formed by electroplating on a light metal material through a nickel base film instead of a nickel-phosphorus film on the basis of Example 1 (with heat treatment).
(S1) Formation process of base film (A) Composition of nickel plating bath and electroplating conditions An electronicking bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 1.0μm
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(27)比較例3
上記比較例2を基本として、熱処理なしの例である。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記比較例2と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記比較例2と処理条件は同じ。
(27) Comparative Example 3
This is an example without heat treatment on the basis of the comparative example 2.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Comparative Example 2 above.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Comparative Example 2 above.

(28)比較例4
上記実施例1を基本として、下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に錯化剤(c)を含まない例である。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケルメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
上記メッキ浴が分解したため、下地皮膜の形成自体が実施できず、次の熱処理工程(S12)に至らなかった。
(28) Comparative Example 4
This is an example in which the complexing agent (c) is not contained in the nickel-phosphorus plating bath in the base film forming step (S1) on the basis of Example 1 described above.
(S1) Base film forming step (A) Composition of nickel-phosphorus plating bath and electroplating conditions An electronicking bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes Since the plating bath was decomposed, the formation of the base film itself could not be performed, and the next heat treatment step (S12) was not achieved.

(29)比較例5
上記実施例1を基本として、下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に本発明の界面活性剤(d)を含まない例である(熱処理あり)。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケルメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケルメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(29) Comparative Example 5
This is an example in which the surfactant (d) of the present invention is not contained in the nickel-phosphorus plating bath in the base film forming step (S1) based on the above Example 1 (with heat treatment).
(S1) Formation process of base film (A) Composition of nickel plating bath and electroplating conditions An electronicking bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(30)比較例6
上記比較例5を基本として、熱処理なしの例である。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記比較例5と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記比較例5と処理条件は同じ。
(30) Comparative Example 6
This is an example without heat treatment based on the comparative example 5.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Comparative Example 5 above.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Comparative Example 5 above.

(31)比較例7
上記実施例1を基本として、下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に本発明の界面活性剤(d)に代えてカチオン系界面活性剤を含む例である(熱処理なし)。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケルメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケルメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド 20g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(31) Comparative Example 7
On the basis of Example 1 described above, the nickel-phosphorous plating bath in the base film forming step (S1) includes a cationic surfactant instead of the surfactant (d) of the present invention (no heat treatment).
(S1) Formation process of base film (A) Composition of nickel plating bath and electroplating conditions An electronicking bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Lauryltrimethylammonium chloride 20g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(32)比較例8
上記実施例1を基本として、下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に本発明の光沢剤(f)を含まない例である(熱処理あり)。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケルメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケルメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(32) Comparative Example 8
This is an example in which the brightener (f) of the present invention is not included in the nickel-phosphorous plating bath in the base film forming step (S1) based on Example 1 (with heat treatment).
(S1) Formation process of base film (A) Composition of nickel plating bath and electroplating conditions An electronicking bath was constructed with the following composition.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(33)比較例9
上記比較例8を基本として、熱処理なしの例である。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記比較例8と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記比較例8と処理条件は同じ。
(33) Comparative Example 9
This is an example without heat treatment on the basis of the comparative example 8.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Comparative Example 8 above.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Comparative Example 8 above.

《不導態形成性の軽金属に対する下地皮膜の密着力の評価試験例》
不導態形成性の軽金属板に対する下地皮膜の密着力が増すと、当該軽金属板に対する上層の導電性皮膜の密着力は改善されるため、密着力の評価試験は軽金属板に対する(導電性皮膜と一体に密着形成された)下地皮膜の密着力の優劣により評価した。
尚、試験は下地皮膜の密着力によって評価しているが、一部の比較例を除き、各実施例、基準例及び比較例では、共に導電性皮膜の形成工程まで実施している点は上述の通りである。
<< Evaluation test example of adhesion of base coating to non-conductive forming light metal >>
As the adhesion of the undercoat to the non-conductive light metal plate increases, the adhesion of the upper conductive film to the light metal plate is improved. Evaluation was based on the superiority or inferiority of the adhesion of the underlying film (which was formed in close contact with one another).
In addition, although the test is evaluated by the adhesion strength of the ground film, except for some comparative examples, in each of the examples, the reference examples, and the comparative examples, the point that the conductive film is formed is also described above. It is as follows.

そこで、軽金属板(アルミニウム合金板、マグネシウム合金板)からなる各試料に適用・形成した上記実施例1〜23、基準例並びに比較例1〜9について、JIS K5600クロスカット法(25マス)に準拠して、上述のように、導電性皮膜と一体に密着形成された下地皮膜と軽金属板との境界に着目し、当該境界を起点として下地皮膜が軽金属板から剥離するか否かを観察し、不導態形成性の軽金属板に対する下地皮膜の密着力の優劣を下記の基準に基づいて評価した。
即ち、下地皮膜に切れ込みを入れた25マスのうち、剥離外力を付与した際に実際に剥離したマス目の数が少ないほど密着力に優れ、数が多いほど密着力に劣ると判断した。
◎:25マスのうち、全てが試料から剥離しなかった。
○:25マスのうち、1〜3マスが剥離した。
△:25マスのうち、4〜24マスが剥離した。
×:25マスの全てが剥離した。
Therefore, according to JIS K5600 cross-cut method (25 squares), the above Examples 1 to 23, Reference Examples and Comparative Examples 1 to 9 applied to and formed on each sample made of a light metal plate (aluminum alloy plate, magnesium alloy plate). Then, as described above, paying attention to the boundary between the base metal film and the light metal plate formed in close contact with the conductive film, and observe whether the base film peels off the light metal plate starting from the boundary, The superiority or inferiority of the adhesion of the undercoat to the non-conductive formable light metal plate was evaluated based on the following criteria.
That is, out of 25 squares in which a cut was made in the base film, it was judged that the smaller the number of squares actually peeled when the peeling external force was applied, the better the adhesion, and the larger the number, the poorer the adhesion.
A: All of the 25 squares did not peel from the sample.
○: 1 to 3 cells were peeled out of 25 cells.
(Triangle | delta): 4-24 squares peeled among 25 squares.
X: All of 25 squares peeled.

下表はその試験結果である。
但し、マグネシウム合金はアルミニウム合金にように多種多様ではないため、試料4のマグネシウム合金板については、実施例1〜2のみ評価試験を行い、その試験結果をもって、それ以外の実施例の評価を推定することにした(下表の実施例での「−−」参照)。
また、比較例1、4では軽金属上に下地皮膜を形成できなかったので、下表の比較例での「−−」は下地皮膜の剥離試験自体を行わなかったことを示す。
下表の「試n」(n=1〜4)は「試料n」を表す。
試1 試2 試3 試4 試1 試2 試3 試4
実施例1 ◎ ◎ ◎ ○ 実施例18 ◎ ◎ ◎ −−
実施例2 ◎ ◎ ◎ ○ 実施例19 ◎ ◎ ◎ −−
実施例3 ◎ ◎ ◎ −− 実施例20 ◎ ◎ ◎ −−
実施例4 ◎ ◎ ◎ −− 実施例21 ◎ ◎ ◎ −−
実施例5 ◎ ◎ ◎ −− 実施例22 ◎ ◎ ◎ −−
実施例6 ◎ ◎ ◎ −− 実施例23 ◎ ◎ ◎ −−
実施例7 ◎ ◎ ◎ −− 基準例 ○ ○ ○ ○
実施例8 ◎ ◎ ◎ −−
実施例9 ◎ ◎ ◎ −− 比較例1 −− −− −−
実施例10 ◎ ◎ ◎ −− 比較例2 △ △ △
実施例11 ◎ ◎ ◎ −− 比較例3 × × ×
実施例12 ◎ ◎ ◎ −− 比較例4 −− −− −−
実施例13 ◎ ◎ ◎ −− 比較例5 △ △ △
実施例14 ◎ ◎ ◎ −− 比較例6 × × ×
実施例15 ◎ ◎ ◎ −− 比較例7 △ △ △
実施例16 ◎ ◎ ◎ −− 比較例8 △ △ △
実施例17 ◎ ◎ ◎ −− 比較例9 × × ×
The table below shows the test results.
However, since magnesium alloys are not as diverse as aluminum alloys, the magnesium alloy plate of sample 4 is evaluated only in Examples 1 and 2, and the evaluation of other examples is estimated based on the test results. (See "-" in the examples in the table below).
Further, in Comparative Examples 1 and 4, since the base film could not be formed on the light metal, “-” in the comparative examples in the table below indicates that the base film peeling test itself was not performed.
“Trial n” (n = 1 to 4) in the table below represents “Sample n”.
Trial 1 Trial 2 Trial 3 Trial 4 Trial 1 Trial 2 Trial 3 Trial 4
Example 1 ◎ ◎ ◎ ○ Example 18 ◎ ◎ ◎ −−
Example 2 ◎ ◎ ◎ ○ Example 19 ◎ ◎ ◎ −−
Example 3 ◎ ◎ ◎ −− Example 20 ◎ ◎ ◎ −−
Example 4 ◎ ◎ ◎ −− Example 21 ◎ ◎ ◎ −−
Example 5 ◎ ◎ ◎ −− Example 22 ◎ ◎ ◎ −−
Example 6 ◎ ◎ ◎ −− Example 23 ◎ ◎ ◎ −−
Example 7 ◎ ◎ ◎-Reference example ○ ○ ○ ○
Example 8 ◎ ◎ ◎ −−
Example 9 ◎ ◎ ◎ −− Comparative Example 1 −− −− −−
Example 10 ◎ ◎ ◎ −− Comparative Example 2 △ △ △
Example 11 ◎ ◎ ◎ −− Comparative Example 3 × × ×
Example 12 ◎ ◎ ◎ −− Comparative Example 4 −− −− −−
Example 13 ◎ ◎ ◎--Comparative Example 5 △ △ △
Example 14 ◎ ◎ ◎ −− Comparative Example 6 × × ×
Example 15 ◎ ◎ ◎ −− Comparative Example 7 △ △ △
Example 16 ◎ ◎ ◎--Comparative Example 8 △ △ △
Example 17 ◎ ◎ ◎ −− Comparative Example 9 × × ×

《試験結果の評価》
上表によると、比較例1では下地皮膜を形成せずに直接に、軽金属板上に導電性皮膜(スズ皮膜)を形成しようとしたが、スズ皮膜は得られず、粉状の析出物が得られたのみであった。
これに対して、下地皮膜を介して導電性皮膜を形成した基準例(熱処理なし)では、下地皮膜は軽金属板に良好に密着しており、特に、前述したように、アルミニウム合金は多種多様であるが、3種類のアルミニウム合金の試料1〜3のいずれについても良好な密着性を示し、アルミニウム合金に対して本発明の電気メッキ浴で形成したニッケル−リン皮膜は汎用性があることが判断できる。また、当該下地皮膜は試料4のマグネシウム合金にも良好な密着性を示すことから、マグネシウム合金に対しても下地皮膜を介することで導電性皮膜を密着性良く形成できることが分かる。
一方、下地皮膜に熱処理を加えた実施例1〜23では、軽金属上への下地皮膜の密着力は上記基準例より一層改善され、いずれも下地皮膜は試料1〜3の軽金属板(3種類のアルミニウム合金板)にさらに強固に密着していることが分かる。
但し、マグネシウム合金板に対しては、実施例1〜23の密着力は基準例と変わらず、良好な密着力であった。
<< Evaluation of test results >>
According to the above table, in Comparative Example 1, an attempt was made to form a conductive film (tin film) directly on a light metal plate without forming a base film, but a tin film was not obtained, and a powdery precipitate was observed. It was only obtained.
On the other hand, in the reference example (without heat treatment) in which the conductive film is formed through the base film, the base film is well adhered to the light metal plate, and as described above, there are various types of aluminum alloys. However, it is judged that the nickel-phosphorus film formed by the electroplating bath of the present invention on the aluminum alloy is versatile, showing good adhesion for all three types of aluminum alloy samples 1 to 3. it can. Moreover, since the said base film shows favorable adhesiveness also to the magnesium alloy of the sample 4, it turns out that a conductive film can be formed with sufficient adhesiveness also through a base film also with respect to a magnesium alloy.
On the other hand, in Examples 1 to 23 in which heat treatment was applied to the undercoat, the adhesion of the undercoat onto the light metal was further improved as compared to the above reference example. It can be seen that the aluminum alloy plate is more firmly attached.
However, with respect to the magnesium alloy plate, the adhesion strength of Examples 1 to 23 was the same as that of the reference example, and was a good adhesion strength.

次いで、上記比較例3は軽金属上に電気メッキで形成する下地皮膜をニッケル−リン皮膜からニッケル皮膜に変更し、下地皮膜を熱処理しなかったものであるが、軽金属板(アルミニウム合金板)に対してニッケル皮膜の密着力はニッケル−リン皮膜に大きく劣り(×の評価であり)、従って、不導態形成性の軽金属上に導電性皮膜(スズ皮膜)を密着性良く形成することはできなかった。
ニッケルの下地皮膜を熱処理した比較例2では、熱処理なしの比較例3に比して密着力は改善されて△の評価であったが、それでも○の評価である基準例には及ばなかった。そして、この基準例に熱処理を加えた実施例1〜23では、アルミニウム合金板に対する下地皮膜の密着力はいずれも大幅に改善されて◎の評価であった。
この比較例2〜3を実施例1〜23に対比すると、アルミニウム合金のような不導態形成性の軽金属上にニッケル系の下地皮膜を形成する場合、ニッケルの電着皮膜では密着性に劣り、より実用的で強固な密着性を実現するには、ニッケルではなくニッケル−リンの下地皮膜を選択するとともに、当該下地皮膜を熱処理することが重要であると判断できる。
Next, in Comparative Example 3 above, the base film formed by electroplating on the light metal was changed from the nickel-phosphorus film to the nickel film, and the base film was not heat-treated, but for the light metal plate (aluminum alloy plate) Therefore, the adhesion of the nickel film is significantly inferior to that of the nickel-phosphorus film (it is evaluated as x), and therefore, it is not possible to form a conductive film (tin film) on the non-conductive light metal with good adhesion. It was.
In Comparative Example 2 in which the nickel undercoat was heat-treated, the adhesion was improved as compared with Comparative Example 3 without heat treatment, and the evaluation was Δ, but it still did not reach the reference example that was evaluated as ○. In Examples 1 to 23 in which heat treatment was applied to this reference example, the adhesion of the base film to the aluminum alloy plate was significantly improved, and the evaluation was ◎.
Comparing Comparative Examples 2 to 3 with Examples 1 to 23, when a nickel-based undercoat is formed on a non-conductive light-forming metal such as an aluminum alloy, the nickel electrodeposition coating is inferior in adhesion. In order to realize more practical and strong adhesion, it can be judged that it is important to select a nickel-phosphorus base coating instead of nickel and to heat-treat the base coating.

比較例4は本発明の所定の錯化剤を欠くニッケル−リンメッキ浴で軽金属上に下地皮膜を形成しようとしたものであるが、メッキ浴が不安定なために沈殿が発生して、電着皮膜を形成できなかった。
従って、比較例4を実施例1〜23に対比すると、軽金属上に強固なニッケル−リンの下地皮膜を形成するには、従来公知のニッケル−リンメッキ浴ではなく、所定の錯化剤を含有する本発明のニッケル−リンメッキ浴を選択することの重要性が明らかになった。
In Comparative Example 4, a nickel-phosphorus plating bath lacking the predetermined complexing agent of the present invention was intended to form an undercoat on a light metal. However, because the plating bath was unstable, precipitation occurred and electrodeposition was performed. A film could not be formed.
Therefore, when Comparative Example 4 is compared with Examples 1 to 23, in order to form a strong nickel-phosphorus undercoat on a light metal, a predetermined complexing agent is contained instead of a conventionally known nickel-phosphorous plating bath. The importance of selecting the nickel-phosphorous plating bath of the present invention has become apparent.

上記比較例6は本発明の所定の界面活性剤を欠くニッケル−リンメッキ浴で軽金属上に下地皮膜を形成し、下地皮膜を熱処理しなかったものであるが、軽金属板(アルミニウム合金板)に対する下地皮膜の密着性は大きく劣り(×の評価であり)、従って、不導態形成性の軽金属上に導電性皮膜(スズ皮膜)を密着性良く形成できなかった。
この比較例6の下地皮膜を熱処理した比較例5では、熱処理なしの比較例6より密着力は改善されて△の評価であったが、それでも○の評価である基準例には及ばず、基準例に熱処理を加えた実施例1〜23では、アルミニウム合金板に対する下地皮膜の密着力はいずれも大幅に改善されて◎の評価であった。
従って、この比較例5〜6を実施例1〜23に対比すると、下地皮膜形成用のニッケル−リンメッキ浴に所定の界面活性剤を欠く場合、下地皮膜の密着性に劣ることから、アルミニウム合金板に対して、より実用的で強固な密着性を実現するには、メッキ浴に本発明で特化した界面活性剤を含有するとともに、下地皮膜を熱処理することが重要であると判断できる。
In Comparative Example 6 described above, a base film was formed on a light metal in a nickel-phosphorus plating bath lacking the predetermined surfactant of the present invention, and the base film was not heat-treated. The adhesion of the film was greatly inferior (it was evaluated as x), and therefore, the conductive film (tin film) could not be formed with good adhesion on the light non-conductive metal.
In Comparative Example 5 in which the base film of Comparative Example 6 was heat-treated, the adhesion was improved as compared with Comparative Example 6 without heat treatment, and the evaluation was Δ. In Examples 1 to 23 in which heat treatment was applied to the examples, the adhesion of the base film to the aluminum alloy plate was significantly improved and was evaluated as ◎.
Therefore, in comparison with Examples 1 to 23, when Comparative Examples 5 to 6 are inferior in adhesion of the undercoat when the nickel-phosphorus plating bath for forming the undercoat lacks a predetermined surfactant, the aluminum alloy plate On the other hand, in order to realize more practical and strong adhesion, it can be determined that it is important to heat-treat the undercoat while containing the surfactant specialized in the present invention in the plating bath.

上記比較例7は本発明の界面活性剤に代えてカチオン系界面活性剤を含むニッケル−リンメッキ浴で軽金属上に下地皮膜を形成したものであるが(熱処理なし)、軽金属板(アルミニウム合金板)に対する下地皮膜の密着性は大きく劣り(×の評価であり)、従って、不導態形成性の軽金属上に導電性皮膜(スズ皮膜)を密着性良く形成できなかった。
従って、この比較例7を実施例1〜23に対比すると、より実用的で強固な密着性を実現するには、ニッケル−リンメッキ浴にカチオン系界面活性剤ではなく、本発明で特化した界面活性剤を含有し、且つ、下地皮膜を熱処理することが重要であると判断できる。
In Comparative Example 7 described above, a base film was formed on a light metal with a nickel-phosphorus plating bath containing a cationic surfactant instead of the surfactant of the present invention (no heat treatment), but a light metal plate (aluminum alloy plate). The adhesion of the base film to the film was greatly inferior (it was evaluated as x), and therefore, a conductive film (tin film) could not be formed with good adhesion on a non-conductive light-forming metal.
Therefore, when this Comparative Example 7 is compared with Examples 1 to 23, in order to realize more practical and strong adhesion, a nickel-phosphorous plating bath is not a cationic surfactant but an interface specialized in the present invention. It can be judged that it contains an activator and it is important to heat-treat the undercoat.

上記比較例9は本発明の所定の光沢剤を欠くニッケル−リンメッキ浴で軽金属上に下地皮膜を形成し、下地皮膜を熱処理しなかったものであるが、軽金属板(アルミニウム合金板)に対する下地皮膜の密着性は大きく劣り(×の評価であり)、従って、不導態形成性の軽金属上に導電性皮膜(スズ皮膜)を密着性良く形成できなかった。
この比較例9の下地皮膜を熱処理した比較例8では、熱処理なしの比較例9より密着力は改善されて△の評価であったが、それでも基準例(評価は○)には及ばず、基準例に熱処理を加えた実施例1〜23では、アルミニウム合金板に対する下地皮膜の密着力はいずれも大幅に改善されて◎の評価であった。
従って、この比較例8〜9を実施例1〜23に対比すると、下地皮膜形成用のニッケル−リンメッキ浴に所定の光沢剤を欠く場合、下地皮膜の密着性に劣ることから、アルミニウム合金板に対して、より実用的で強固な密着性を実現するには、メッキ浴に本発明で特化した光沢剤を含有し、且つ、下地皮膜を熱処理することが重要であると判断できる。
In Comparative Example 9 described above, a base film was formed on a light metal in a nickel-phosphorous plating bath lacking the predetermined brightener of the present invention, and the base film was not heat-treated, but the base film on a light metal plate (aluminum alloy plate). Therefore, the conductive film (tin film) could not be formed with good adhesion on the non-conductive light metal.
In Comparative Example 8 in which the base film of Comparative Example 9 was heat-treated, the adhesion was improved as compared with Comparative Example 9 without heat treatment, and the evaluation was Δ. In Examples 1 to 23 in which heat treatment was applied to the examples, the adhesion of the base film to the aluminum alloy plate was significantly improved and was evaluated as ◎.
Therefore, when this Comparative Example 8-9 is compared with Examples 1-23, when the predetermined brightener is lacking in the nickel-phosphorus plating bath for forming the undercoat, the adhesiveness of the undercoat is inferior. On the other hand, in order to realize more practical and strong adhesion, it can be judged that it is important to contain the brightener specialized in the present invention in the plating bath and to heat treat the undercoat.

そこで、熱処理に焦点を当てて実施例1〜23を詳細に説明する。
先ず、実施例1〜7は導電性皮膜がスズ皮膜、実施例8は同じく銅皮膜、実施例9は同じくニッケル皮膜、実施例10と13は同じく銀皮膜、実施例11は同じくパラジウム皮膜、実施例12は同じくスズ−ビスマス皮膜の各例である。基準例に対して熱処理を加えることで軽金属上へのニッケル−リンの下地皮膜の密着力を大幅に強化できるため、上述のように、導電性皮膜を様々に変化させても、基準例に比して各種の導電性皮膜を軽金属上に一層強固に密着形成できる。
この場合、実施例1〜7での上限膜厚は0.3μmであるため、熱処理により不導体形成性の軽金属上に下地皮膜を強固に形成するには、0.3μm以下のごく薄い下地皮膜を形成すれば足り、特に、実施例3を見ると0.01μmのような極めて薄い皮膜でも充分であることが分かる。この実施例1〜7は工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴の組成、即ち、錯化剤、界面活性剤、ニッケル塩、リン化合物、光沢剤などの種類を変化させた例であるが、本発明に適合する条件のニッケル−リンメッキ浴を用いて下地皮膜を形成し、且つ、これを熱処理すれば、下地皮膜の密着力は当該メッキ浴の組成が異なっても、(基準例に比して)大幅に改善できることが分かる。
Therefore, Examples 1 to 23 will be described in detail focusing on heat treatment.
First, in Examples 1 to 7, the conductive film is a tin film, Example 8 is also a copper film, Example 9 is also a nickel film, Examples 10 and 13 are also silver films, and Example 11 is also a palladium film. Example 12 is also each example of a tin-bismuth film. By applying heat treatment to the reference example, the adhesion strength of the nickel-phosphorus undercoat on the light metal can be greatly enhanced. Thus, various conductive films can be formed more firmly on the light metal.
In this case, since the upper limit film thickness in Examples 1 to 7 is 0.3 μm, an extremely thin base film of 0.3 μm or less is required to firmly form the base film on the non-conductor-forming light metal by heat treatment. In particular, it can be seen from Example 3 that an extremely thin film such as 0.01 μm is sufficient. Examples 1 to 7 are examples in which the composition of the nickel-phosphorous plating bath in step (S1), that is, the type of complexing agent, surfactant, nickel salt, phosphorus compound, brightening agent, etc., was changed. When a base film is formed using a nickel-phosphorous plating bath with conditions suitable for the invention and this is heat-treated, even if the composition of the plating bath is different (as compared to the reference example) ) It can be seen that it can be greatly improved.

次いで、この熱処理の経時的条件に着目すると、実施例1〜13は下地皮膜形成工程(S1)後に熱処理工程(S12)を行う中間熱処理方式であり、実施例14〜17は導電性皮膜形成工程(S2)後に熱処理工程(S3)を行う後段階熱処理方式であるが、いずれの方式でも下地皮膜の密着力を大幅に強化でき、基準例に比して導電性皮膜を軽金属上に一層強固に密着形成できるため、密着力強化は熱処理する時期的条件を問わないことが判断できる。
また、熱処理の付加条件に着目すると、実施例1〜17は70℃、20分で湯煎したものであり、実施例18は35℃、80分、実施例19は50℃、30分、実施例20は90℃、10分で夫々湯煎したものであるが、比較的簡便な加熱手段である湯煎により、且つ、100℃以下の低温度域での加熱により下地皮膜の密着力を(基準例に比して)大幅に改善できる。しかも、実施例18のように、ごく低温度域(35℃)でも時間をかけて熱処理を継続することで、当該密着力を強化できることが認められた。
湯煎に代えて、実施例21のようなドライヤー加熱、或は、実施例22〜23のようなオーブン加熱等の比較的高温度域の熱処理を選択すると、当然ながら加熱時間を短縮できる。
以上を総合すれば、熱処理条件として低温度域での湯煎を選択すると、熱エネルギーの投入を軽減して生産性を向上できる。
Next, focusing on the temporal conditions of this heat treatment, Examples 1 to 13 are intermediate heat treatment methods in which the heat treatment step (S12) is performed after the base film formation step (S1), and Examples 14 to 17 are conductive film formation steps. (S2) This is a post-stage heat treatment method in which the heat treatment step (S3) is performed later, but in any method, the adhesion of the undercoat can be greatly strengthened, and the conductive film is made stronger on the light metal than the reference example. Since adhesion can be formed, it can be determined that the strengthening of adhesion does not matter when the heat treatment is performed.
Further, focusing attention on the additional conditions for heat treatment, Examples 1 to 17 were roasted at 70 ° C. for 20 minutes, Example 18 was 35 ° C. for 80 minutes, Example 19 was 50 ° C. for 30 minutes, Example No. 20 was 90 ° C. and 10 minutes of hot water, respectively. The hot water bath, which is a relatively simple heating means, and heating in a low temperature range of 100 ° C. or lower (see Reference Example) Compared to). Moreover, as in Example 18, it was confirmed that the adhesion can be enhanced by continuing the heat treatment over a very low temperature range (35 ° C.).
If heat treatment in a relatively high temperature range such as dryer heating as in Example 21 or oven heating as in Examples 22 to 23 is selected instead of hot water bath, the heating time can be shortened.
In summary, if hot water bathing is selected as a heat treatment condition, the input of heat energy can be reduced and productivity can be improved.

即ち、本発明1は、(S1)アルミニウム、マグネシウム、チタンより選ばれた不導態形成性の軽金属上に電気ニッケル−リンメッキ浴を用いてニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を形成する工程と、
(S2)下地皮膜上に導電性皮膜を形成する工程とからなる導電性皮膜形成方法において、
上記工程(S1)と工程(S2)の間に下地皮膜を30℃以上で熱処理する工程(S12)を介在させるか、又は、
上記工程(S2)の後に下地皮膜及び導電性皮膜を30℃以上で熱処理する工程(S3)を付加するとともに、
上記電気ニッケル−リンメッキ浴は、
(a)可溶性ニッケル塩と、
(b)リンを含む化合物と、
(c)アミノカルボン酸類、オキシカルボン酸類、糖質、アミノアルコール類、ポリカルボン酸類、ポリアミン類より選ばれた錯化剤と、
(d)ノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤より選ばれた界面活性剤と、
(e)緩衝剤と、
(f)光沢剤
とを含有することを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。
That is, the present invention 1 comprises (S1) a step of forming a base film composed of a nickel-phosphorus film on a non-conductive formable light metal selected from aluminum, magnesium, and titanium using an electric nickel-phosphorous plating bath;
(S2) In a method for forming a conductive film comprising a step of forming a conductive film on a base film ,
A step (S12) of heat-treating the base film at 30 ° C. or higher is interposed between the step (S1) and the step (S2), or
After adding the process (S3) which heat-processes a base film and an electroconductive film at 30 degreeC or more after the said process (S2),
The electric nickel-phosphorous plating bath is
(a) a soluble nickel salt;
(b) a compound containing phosphorus;
(c) a complexing agent selected from aminocarboxylic acids, oxycarboxylic acids, carbohydrates, aminoalcohols, polycarboxylic acids, polyamines;
(d) a surfactant selected from nonionic surfactants and amphoteric surfactants;
(e) a buffering agent;
(f) A method of forming a heat-treatable conductive film on a non-conductive formable light metal, comprising a brightener.

本発明は、不導態を形成し易いアルミニウム、マグネシウムより選ばれた特定の軽金属上に導電性皮膜を形成する方法に関して、メッキ皮膜の形成が困難な上記軽金属上に、熱処理の適用により、銅、銀、スズなどの導電性皮膜を強固な密着力で形成できるものを提供する。 The present invention relates to a method for forming a conductive film on a specific light metal selected from aluminum and magnesium that are easily formed into a nonconductive state. Provided are those capable of forming a conductive film such as silver or tin with a strong adhesion.

本発明は、不導態を形成し易いアルミニウム、マグネシウムより選ばれた特定の軽金属に対して、銀、銅、スズなどの導電性皮膜の密着力を強化することを技術的課題とする。 This invention makes it a technical subject to strengthen the adhesive force of electroconductive films, such as silver, copper, and tin, with respect to the specific light metal chosen from aluminum and magnesium which are easy to form a non-conductive state.

即ち、本発明1は、(S1)アルミニウム、マグネシウムより選ばれた不導態形成性の軽金属上に電気ニッケル−リンメッキ浴を用いてニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を形成する工程と、
(S2)下地皮膜上に導電性皮膜を形成する工程とからなる導電性皮膜形成方法において、
上記工程(S1)と工程(S2)の間に下地皮膜を30℃以上で熱処理する工程(S12)を介在させるか、又は、
上記工程(S2)の後に下地皮膜及び導電性皮膜を30℃以上で熱処理する工程(S3)を付加するとともに、
上記電気ニッケル−リンメッキ浴は、
(a)可溶性ニッケル塩と、
(b)リンを含む化合物と、
(c)アミノカルボン酸類、オキシカルボン酸類、糖質、アミノアルコール類、ポリカルボン酸類、ポリアミン類より選ばれた錯化剤と、
(d)ノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤より選ばれた界面活性剤と、
(e)緩衝剤と、
(f)光沢剤
とを含有することを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。
That is, the present invention 1 includes (S1) a step of forming a base film composed of a nickel-phosphorus film on a non-conductive formable light metal selected from aluminum and magnesium using an electric nickel-phosphorous plating bath;
(S2) In a method for forming a conductive film comprising a step of forming a conductive film on a base film,
A step (S12) of heat-treating the base film at 30 ° C. or higher is interposed between the step (S1) and the step (S2), or
After adding the process (S3) which heat-processes a base film and an electroconductive film at 30 degreeC or more after the said process (S2),
The electric nickel-phosphorous plating bath is
(a) a soluble nickel salt;
(b) a compound containing phosphorus;
(c) a complexing agent selected from aminocarboxylic acids, oxycarboxylic acids, carbohydrates, aminoalcohols, polycarboxylic acids, polyamines;
(d) a surfactant selected from nonionic surfactants and amphoteric surfactants;
(e) a buffering agent;
(f) A method of forming a heat-treatable conductive film on a non-conductive formable light metal, comprising a brightener.

本発明3は、上記本発明1又は2において、電気ニッケル−リンメッキ浴の錯化剤(c)がクエン酸、酒石酸、リンゴ酸、グリコール酸、グルコン酸、コハク酸、ニトリロ三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸より選ばれたオキシカルボン酸、ポリカルボン酸、アミノカルボン酸又はその塩、アミノアルコール類、ポリアミン類、糖質の少なくとも一種であることを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。 The present invention 3 is the invention 1 or 2, wherein the complexing agent (c) of the electric nickel-phosphorus plating bath is citric acid, tartaric acid, malic acid, glycolic acid, gluconic acid, succinic acid, nitrilotriacetic acid, ethylenediaminetetraacetic acid Onto a non-formable light metal characterized by being at least one of oxycarboxylic acid selected from diethylenetriaminepentaacetic acid, polycarboxylic acid, aminocarboxylic acid or salt thereof , amino alcohols, polyamines, and carbohydrates This is a heat treatment type conductive film forming method.

本発明4は、上記本発明1〜3のいずれかにおいて、電気ニッケル−リンメッキ浴の緩衝剤(e)がホウ酸、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、アスコルビン酸又はその塩の少なくとも一種であることを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法である。 Invention 4 is that in any one of Inventions 1 to 3, the buffer (e) of the electro-nickel-phosphorous plating bath is at least one of boric acid, sodium carbonate, sodium bicarbonate, ascorbic acid or a salt thereof. This is a heat treatment type conductive film forming method on a non-conductive-formable light metal.

上記先願発明では、アルミニウム、マグネシウム、チタンから選ばれた不導態皮膜性の軽金属上に、銅、スズ、銀などの導電性皮膜を形成する場合、所定の錯化剤、界面活性剤、緩衝剤などを含有する電気ニッケル−リンメッキ浴を用いて形成したニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を上記軽金属上に形成した後、導電性皮膜を形成すると、下地皮膜を軽金属上に良好に密着でき、もって軽金属上に導電性皮膜を密着性良く形成できる。
本発明はこの先願発明を改良したもので、先願発明の処理工程を基礎として、アルミニウム、マグネシウムより選ばれた軽金属上に形成した下地皮膜、或は、下地皮膜と導電性皮膜を30℃以上の低温度領域を含む温度条件で熱処理する工程を加入することで、軽金属上への下地皮膜の密着力を一層強化して、軽金属上に導電性皮膜をさらに密着性良く形成できる。
上記熱処理については、例えば、30〜100℃で湯煎するなどの低温度域での簡便な熱処理によっても、軽金属上への下地皮膜の密着力を充分に強化できる。しかも、低温度域で熱処理すれば、投下するエネルギーを軽減して生産性を向上できる。
In the above-mentioned prior application invention, when a conductive film such as copper, tin, silver or the like is formed on a non-conductive film-like light metal selected from aluminum, magnesium, and titanium, a predetermined complexing agent, a surfactant, After forming a base film consisting of a nickel-phosphorus film formed using an electric nickel-phosphorous plating bath containing a buffering agent on the light metal, and then forming a conductive film, the base film can be satisfactorily adhered onto the light metal. Thus, a conductive film can be formed on the light metal with good adhesion.
The present invention is an improvement of this prior invention, and based on the treatment process of the prior application, an undercoat formed on a light metal selected from aluminum and magnesium , or an undercoat and a conductive film of 30 ° C. or higher. By adding the heat treatment step under the temperature condition including the low temperature region, the adhesion of the base film on the light metal can be further strengthened, and the conductive film can be formed on the light metal with better adhesion.
About the said heat processing, the adhesive force of the base film on a light metal can fully be reinforce | strengthened also by simple heat processing in a low temperature range, such as bathing at 30-100 degreeC, for example. Moreover, if heat treatment is performed in a low temperature range, the energy to be dropped can be reduced and the productivity can be improved.

本発明は、アルミニウム、マグネシウムより選ばれた不導態を形成し易い特定の軽金属上にニッケル−リン皮膜よりなる下地皮膜を介して、銀、銅、スズなどの導電性皮膜を形成する方法であって、下地皮膜を特定の錯化剤、界面活性剤、光沢剤などを含む所定組成の電気メッキ浴を用いたニッケル−リン皮膜で形成するとともに、下地皮膜の形成後に30℃以上の条件で熱処理をするか、次工程の導電性皮膜の形成後に下地皮膜と導電性皮膜を同様に熱処理する方法である。
上記アルミニウムは純アルミニウム、アルミニウム合金を包含し、上記マグネシウムは純マグネシウム、マグネシウム合金を包含する概念である。
The present invention is a method of forming a conductive film such as silver, copper, or tin on a specific light metal that easily forms a non-conductive state selected from aluminum and magnesium via a base film made of a nickel-phosphorus film. The undercoat is formed with a nickel-phosphorus film using an electroplating bath having a predetermined composition containing a specific complexing agent, a surfactant, a brightener, and the like. In this method, heat treatment is performed, or the base film and the conductive film are similarly heat-treated after the formation of the conductive film in the next step.
The above aluminum includes pure aluminum and aluminum alloys, and the above magnesium includes the concept of pure magnesium and magnesium alloys.

本発明は、次の下地皮膜形成工程(S1)と、導電性皮膜形成工程(S2)と、工程(S1)の後又は工程(S2)の後に熱処理する工程とからなる(本発明1参照)。
(S1)アルミニウム、マグネシウムより選ばれた不導態形成性の軽金属上に電気ニッケル−リンメッキ浴を用いてニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を形成する工程
(S2)当該下地皮膜上に導電性皮膜を形成する工程
また、上記工程(S1)で用いる電気ニッケル−リンメッキ浴は、
(a)可溶性ニッケル塩と、
(b)リンを含む化合物と、
(c)アミノカルボン酸類、オキシカルボン酸類、糖質、アミノアルコール類、ポリカルボン酸類、ポリアミン類より選ばれた錯化剤と、
(d)ノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤より選ばれた界面活性剤と、
(e)緩衝剤と、
(f)光沢剤
とを必須成分とする。
The present invention comprises the following undercoat film forming step (S1), conductive film forming step (S2), and a heat treatment step after step (S1) or after step (S2) (see the present invention 1). .
(S1) A step of forming a base film composed of a nickel-phosphorus film on a non-conductive- formable light metal selected from aluminum and magnesium using an electric nickel-phosphorous plating bath (S2) a conductive film on the base film In addition, the electric nickel-phosphorus plating bath used in the step (S1) is
(a) a soluble nickel salt;
(b) a compound containing phosphorus;
(c) a complexing agent selected from aminocarboxylic acids, oxycarboxylic acids, carbohydrates, aminoalcohols, polycarboxylic acids, polyamines;
(d) a surfactant selected from nonionic surfactants and amphoteric surfactants;
(e) a buffering agent;
(f) Brightener is an essential component.

上記電気ニッケル−リンメッキ浴に含有する緩衝剤(e)はアルミニウム、マグネシウムより選ばれた不導態形成性の軽金属に対する下地皮膜の密着性を向上するとともに、メッキ浴の安定剤としても作用する。
緩衝剤(e)としては、ホウ酸、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、アスコルビン酸などが挙げられ、ホウ酸、炭酸ナトリウムが好ましい。
上記緩衝剤(e)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.05〜1.5モル/Lであり、好ましくは0.05〜1.0モル/L、より好ましくは0.1〜0.6モル/Lである。
The buffer (e) contained in the electric nickel-phosphorous plating bath improves the adhesion of the undercoat to a non-conductive light metal selected from aluminum and magnesium, and also acts as a plating bath stabilizer.
Examples of the buffer (e) include boric acid, sodium carbonate, sodium bicarbonate, ascorbic acid and the like, and boric acid and sodium carbonate are preferable.
The buffer (e) can be used singly or in combination, and its content with respect to the plating bath is 0.05 to 1.5 mol / L, preferably 0.05 to 1.0 mol / L, more preferably 0. 0.1 to 0.6 mol / L.

上記電気ニッケル−リンメッキ浴に含有する光沢剤(f)はアルミニウム、マグネシウムより選ばれた不導態形成性の軽金属に対するニッケル−リン皮膜の密着性を向上する作用をする。
上記光沢剤(f)としては、サッカリン及びその塩、ベンゼンスルホン酸及びその塩、p−トルエンスルホン酸及びその塩、ナフタレンスルホン酸及びその塩、アリルスルホン酸及びその塩、ブチンジオール(具体的には、2−ブチン−1,4−ジオールなど)、エチレンシアンヒドリン、クマリン、プロパギルアルコール、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、メルカプトプロパンスルホン酸、チオリンゴ酸などが挙げられる。
当該光沢剤(f)は成分を単用しても有効であるが、成分を複合するのが適しており、特に、ベンゼンスルホン酸又はその塩とサッカリン、ナフタレンスルホン酸又はその塩とサッカリン、ブチンジオールとベンゼンスルホン酸又はその塩、ブチンジオールとナフタレンスルホン酸又はその塩、アリルスルホン酸又はその塩とサッカリン、チオリンゴ酸及びサッカリン、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド及びサッカリン、アリルスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコール、ベンゼンスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコール、ナフタレンスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコールなどのように2種、或はそれ以上を併用することが好ましい。
上述の通り、光沢剤(f)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.001〜0.15モル/Lであり、好ましくは0.005〜0.07モル/L、より好ましくは0.01〜0.05モル/Lである。
The brightening agent (f) contained in the electric nickel-phosphorus plating bath functions to improve the adhesion of the nickel-phosphorus film to a non-conductive light metal selected from aluminum and magnesium.
Examples of the brightener (f) include saccharin and its salt, benzenesulfonic acid and its salt, p-toluenesulfonic acid and its salt, naphthalenesulfonic acid and its salt, allylsulfonic acid and its salt, butynediol (specifically Are 2-butyne-1,4-diol), ethylene cyanohydrin, coumarin, propargyl alcohol, bis (3-sulfopropyl) disulfide, mercaptopropanesulfonic acid, thiomalic acid and the like.
The brightener (f) is effective even if the components are used alone, but it is suitable to combine the components, and in particular, benzenesulfonic acid or a salt thereof and saccharin, naphthalenesulfonic acid or a salt thereof and saccharin, butyne Diol and benzenesulfonic acid or salt thereof, butynediol and naphthalenesulfonic acid or salt thereof, allylsulfonic acid or salt thereof and saccharin, thiomalic acid and saccharin, bis (3-sulfopropyl) disulfide and saccharin, allylsulfonic acid or salt thereof It is preferable to use two or more in combination such as, propargyl alcohol, benzenesulfonic acid or a salt thereof, propargyl alcohol, naphthalenesulfonic acid or a salt thereof and propargyl alcohol.
As described above, the brightener (f) can be used singly or in combination, and its content with respect to the plating bath is 0.001 to 0.15 mol / L, preferably 0.005 to 0.07 mol / L. Preferably it is 0.01-0.05 mol / L.

本発明の電気ニッケル−リンメッキ浴はアルミニウム、マグネシウムより選ばれた不導態形成性の軽金属上にニッケル−リン皮膜を下地形成することを目的とするが、メッキ浴のpHは3.0〜8.0が適当であり、好ましくは4.0〜6.0である。
また、下地形成工程(S1)において、電気メッキの際の陰極電流密度は0.01〜5.0A/dm2、好ましい範囲0.05〜2.0A/dm2である。
上記下地皮膜の形成工程(S1)において、下地皮膜となるニッケル−リン皮膜は上層に導電性皮膜を形成するに足る導電性と密着力を付与できれば良いので、厚く形成する必要はない。従って、その膜厚は0.01〜10.0μm、好ましくは0.01〜8.0μm、より好ましくは0.01〜5.0μmである。
The electric nickel-phosphorus plating bath of the present invention is intended to form a nickel-phosphorus film on a non-conducting light metal selected from aluminum and magnesium, but the pH of the plating bath is 3.0-8. 0.0 is suitable, preferably 4.0 to 6.0.
In the base formation step (S1), the cathode current density at the time of electroplating is 0.01 to 5.0 A / dm 2, and preferably 0.05 to 2.0 A / dm 2.
In the undercoat film forming step (S1), the nickel-phosphorus film as the undercoat film is not required to be formed thick because it only needs to provide conductivity and adhesion sufficient to form a conductive film on the upper layer. Accordingly, the film thickness is 0.01 to 10.0 μm, preferably 0.01 to 8.0 μm, more preferably 0.01 to 5.0 μm.

一方、下記の比較例1〜9は実施例1を基本としたもので、比較例1はアルミニウム合金などの軽金属上に下地皮膜を形成せずに、電気メッキにより導電性皮膜を直接に形成したブランク例(熱処理なしの例)である。
比較例2〜3は軽金属上にニッケル−リン皮膜ではなく、ニッケルの下地皮膜を介して導電性皮膜を形成したもので、比較例2は熱処理を行った例、比較例3は熱処理なしの例である。
比較例4〜9は本発明の下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に必須成分の一部を含まないか、或は他の成分に代替した例であり、比較例4は当該メッキ浴に錯化剤(c)を含まない例である。
比較例5〜6は上記ニッケル−リンメッキ浴に本発明の界面活性剤(d)を含まないもので、比較例5は熱処理を行った例、比較例6は熱処理なしの例である。
比較例7は上記ニッケル−リンメッキ浴に本発明の界面活性剤(d)に代えてカチオン系界面活性剤を用いて、熱処理なしの例である。
比較例8〜9は上記ニッケル−リンメッキ浴に本発明の光沢剤(f)を含まないもので、比較例8は熱処理を行った例、比較例9は熱処理なしの例である。
On the other hand, the following Comparative Examples 1 to 9 are based on Example 1, and in Comparative Example 1, a conductive film was directly formed by electroplating without forming a base film on a light metal such as an aluminum alloy. It is a blank example (example without heat treatment).
Comparative Examples 2 to 3 were obtained by forming a conductive film on a light metal via a nickel base film instead of a nickel-phosphorus film, Comparative Example 2 was an example of heat treatment, and Comparative Example 3 was an example of no heat treatment. It is.
Comparative Examples 4 to 9 are examples in which the nickel-phosphorous plating bath in the undercoat film forming step (S1) of the present invention does not contain some of the essential components or are replaced with other components, and Comparative Example 4 is the plating. In this example, the bath does not contain the complexing agent (c).
Comparative Examples 5 to 6 do not contain the surfactant (d) of the present invention in the nickel-phosphorous plating bath, Comparative Example 5 is an example in which heat treatment was performed, and Comparative Example 6 is an example in which no heat treatment was performed.
In Comparative Example 7, a cationic surfactant was used in the nickel-phosphorous plating bath instead of the surfactant (d) of the present invention, and no heat treatment was performed.
Comparative Examples 8-9 do not contain the brightener (f) of the present invention in the nickel-phosphorous plating bath, Comparative Example 8 is an example in which heat treatment was performed, and Comparative Example 9 is an example without heat treatment.

(13)実施例13
上記実施例1を基本として、導電性皮膜を変更した。
(S1)下地皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
実施例1を基本として、導電性皮膜を銀皮膜に変更した。
(B)導電性皮膜:銀
次の組成で無電解銀メッキ浴を建浴した。
硝酸銀(Ag+として) 0.01モル/L
コハク酸イミド 0.05モル/L
イミダゾール 0.05モル/L
無電解メッキ条件]
浴温:50℃
メッキ時間:60分
[メッキ皮膜]
膜厚:1.0μm
(13) Example 13
Based on Example 1 above, the conductive film was changed.
(S1) Base film forming step The processing conditions are the same as in Example 1 above.
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Formation process of conductive film Based on Example 1, the conductive film was changed to a silver film.
(B) Conductive film: silver An electroless silver plating bath was constructed with the following composition.
Silver nitrate (as Ag +) 0.01 mol / L
Succinimide 0.05 mol / L
Imidazole 0.05 mol / L
[ Electroless plating conditions]
Bath temperature: 50 ° C
Plating time: 60 minutes [Plating film]
Film thickness: 1.0μm

(28)比較例4
上記実施例1を基本として、下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に錯化剤(c)を含まない例である。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
上記メッキ浴が分解したため、下地皮膜の形成自体が実施できず、次の熱処理工程(S12)に至らなかった。
(28) Comparative Example 4
This is an example in which the complexing agent (c) is not contained in the nickel-phosphorus plating bath in the base film forming step (S1) on the basis of Example 1 described above.
(S1) primer film forming step (A) a nickel - phosphorus plating bath composition and electroplating conditions The following electric nickel composition - was bath preparation phosphorus plating bath.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes Since the plating bath was decomposed, the formation of the base film itself could not be performed, and the next heat treatment step (S12) was not achieved.

(29)比較例5
上記実施例1を基本として、下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に本発明の界面活性剤(d)を含まない例である(熱処理あり)。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケルメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(29) Comparative Example 5
This is an example in which the surfactant (d) of the present invention is not contained in the nickel-phosphorus plating bath in the base film forming step (S1) based on the above Example 1 (with heat treatment).
(S1) primer film forming step (A) Electrical nickel composition and electroplating conditions The following composition of nickel plating bath - were bath preparation phosphorus plating bath.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(31)比較例7
上記実施例1を基本として、下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に本発明の界面活性剤(d)に代えてカチオン系界面活性剤を含む例である(熱処理なし)。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケルメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
サッカリン 0.02モル/L
チオリンゴ酸 0.01モル/L
ラウリルトリメチルアンモニウムクロライド 20g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(31) Comparative Example 7
On the basis of Example 1 described above, the nickel-phosphorous plating bath in the base film forming step (S1) includes a cationic surfactant instead of the surfactant (d) of the present invention (no heat treatment).
(S1) primer film forming step (A) Electrical nickel composition and electroplating conditions The following composition of nickel plating bath - were bath preparation phosphorus plating bath.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
Saccharin 0.02 mol / L
Thiomalic acid 0.01 mol / L
Lauryltrimethylammonium chloride 20g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

(32)比較例8
上記実施例1を基本として、下地皮膜形成工程(S1)のニッケル−リンメッキ浴に本発明の光沢剤(f)を含まない例である(熱処理あり)。
(S1)下地皮膜の形成工程
(A)ニッケル−リンメッキ浴の組成と電気メッキ条件
次の組成で電気ニッケル−リンメッキ浴を建浴した。
スルファミン酸ニッケル(Ni2+として) 0.45モル/L
塩化ニッケル(Ni2+として) 0.03モル/L
ホウ酸 0.2モル/L
亜リン酸 0.4モル/L
クエン酸3ナトリウム2水和物 0.3モル/L
エチレンジアミンテトラポリオキシエチレン(EO40モル)
−ポリオキシプロピレン(PO50モル) 10g/L
pH(28%アンモニアで調整) 4.5
[電気メッキ条件]
浴温:35℃
電流密度:0.5A/dm2
メッキ時間:10分
[メッキ皮膜]
膜厚:0.2μm
リンの含有率:5.0%
(S12)熱処理工程
上記実施例1と処理条件は同じ。
(S2)導電性皮膜の形成工程
上記実施例1と処理条件は同じ。

(32) Comparative Example 8
This is an example in which the brightener (f) of the present invention is not included in the nickel-phosphorous plating bath in the base film forming step (S1) based on Example 1 (with heat treatment).
(S1) step of forming the primer film (A) Nickel - phosphorus plating bath composition and electroplating conditions The following electric nickel composition - was bath preparation phosphorus plating bath.
Nickel sulfamate (as Ni2 +) 0.45 mol / L
Nickel chloride (as Ni2 +) 0.03 mol / L
Boric acid 0.2 mol / L
Phosphorous acid 0.4 mol / L
Trisodium citrate dihydrate 0.3 mol / L
Ethylenediaminetetrapolyoxyethylene (EO 40 mol)
-Polyoxypropylene (PO50 mol) 10g / L
pH (adjusted with 28% ammonia) 4.5
[Electroplating conditions]
Bath temperature: 35 ° C
Current density: 0.5 A / dm2
Plating time: 10 minutes [Plating film]
Film thickness: 0.2 μm
Phosphorus content: 5.0%
(S12) Heat treatment step The treatment conditions are the same as in the first embodiment.
(S2) Step of forming conductive film The processing conditions are the same as in Example 1 above.

上記電気ニッケル−リンメッキ浴に含有する光沢剤(f)はアルミニウム、マグネシウムより選ばれた不導態形成性の軽金属に対するニッケル−リン皮膜の密着性を向上する作用をする。
上記光沢剤(f)としては、サッカリン及びその塩、ベンゼンスルホン酸及びその塩、p−トルエンスルホン酸及びその塩、ナフタレンスルホン酸及びその塩、アリルスルホン酸及びその塩、ブチンジオール(具体的には、2−ブチン−1,4−ジオールなど)、エチレンシアンヒドリン、クマリン、プロパギルアルコール、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、メルカプトプロパンスルホン酸、チオリンゴ酸などが挙げられる。
当該光沢剤(f)は成分を単用しても有効であるが、成分を複合するのが適しており、特に、ベンゼンスルホン酸又はその塩とサッカリン、ナフタレンスルホン酸又はその塩とサッカリン、ブチンジオールとベンゼンスルホン酸又はその塩、ブチンジオールとナフタレンスルホン酸又はその塩、アリルスルホン酸又はその塩とサッカリン、チオリンゴ酸及びサッカリン、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド及びサッカリン、アリルスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコール、ベンゼンスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコール、ナフタレンスルホン酸又はその塩とプロパギルアルコールなどのように2種、或はそれ以上を併用することが好ましい。
上述の通り、光沢剤(f)は単用又は併用でき、そのメッキ浴に対する含有量は0.001〜0.15モル/Lであり、好ましくは0.005〜0.07モル/L、より好ましくは0.01〜0.05モル/Lである。
The brightening agent (f) contained in the electric nickel-phosphorus plating bath functions to improve the adhesion of the nickel-phosphorus film to a non-conductive light metal selected from aluminum and magnesium .
Examples of the brightener (f) include saccharin and its salt, benzenesulfonic acid and its salt, p-toluenesulfonic acid and its salt, naphthalenesulfonic acid and its salt, allylsulfonic acid and its salt, butynediol (specifically Are 2-butyne-1,4-diol), ethylene cyanohydrin, coumarin, propargyl alcohol, bis (3-sulfopropyl) disulfide, mercaptopropanesulfonic acid, thiomalic acid and the like.
The brightener (f) is effective even if the components are used alone, but it is suitable to combine the components, and in particular, benzenesulfonic acid or a salt thereof and saccharin, naphthalenesulfonic acid or a salt thereof and saccharin, butyne Diol and benzenesulfonic acid or salt thereof, butynediol and naphthalenesulfonic acid or salt thereof, allylsulfonic acid or salt thereof and saccharin, thiomalic acid and saccharin, bis (3-sulfopropyl) disulfide and saccharin, allylsulfonic acid or salt thereof It is preferable to use two or more in combination such as, propargyl alcohol, benzenesulfonic acid or a salt thereof, propargyl alcohol, naphthalenesulfonic acid or a salt thereof and propargyl alcohol.
As described above, the brightener (f) can be used singly or in combination, and its content with respect to the plating bath is 0.001 to 0.15 mol / L, preferably 0.005 to 0.07 mol / L. Preferably it is 0.01-0.05 mol / L.

本発明の電気ニッケル−リンメッキ浴はアルミニウム、マグネシウムより選ばれた不導態形成性の軽金属上にニッケル−リン皮膜を下地形成することを目的とするが、メッキ浴のpHは3.0〜8.0が適当であり、好ましくは4.0〜6.0である。
また、下地形成工程(S1)において、電気メッキの際の陰極電流密度は0.01〜5.0A/dm2、好ましい範囲0.05〜2.0A/dm2である。
上記下地皮膜の形成工程(S1)において、下地皮膜となるニッケル−リン皮膜は上層に導電性皮膜を形成するに足る導電性と密着力を付与できれば良いので、厚く形成する必要はない。従って、その膜厚は0.01〜10.0μm、好ましくは0.01〜8.0μm、より好ましくは0.01〜5.0μmである。


The electric nickel-phosphorus plating bath of the present invention is intended to form a nickel-phosphorus film on a non- conducting light metal selected from aluminum and magnesium, but the pH of the plating bath is 3.0-8. 0.0 is suitable, preferably 4.0 to 6.0.
In the base formation step (S1), the cathode current density at the time of electroplating is 0.01 to 5.0 A / dm 2, and preferably 0.05 to 2.0 A / dm 2.
In the undercoat film forming step (S1), the nickel-phosphorus film as the undercoat film is not required to be formed thick because it only needs to provide conductivity and adhesion sufficient to form a conductive film on the upper layer. Accordingly, the film thickness is 0.01 to 10.0 μm, preferably 0.01 to 8.0 μm, more preferably 0.01 to 5.0 μm.


Claims (8)

(S1)アルミニウム、マグネシウム、チタンより選ばれた不導態形成性の軽金属上に電気ニッケル−リンメッキ浴を用いてニッケル−リン皮膜からなる下地皮膜を形成する工程と、
(S2)熱処理した下地皮膜上に導電性皮膜を形成する工程とからなる導電性皮膜形成方法において、
上記工程(S1)と工程(S2)の間に下地皮膜を30℃以上で熱処理する工程(S12)を介在させるか、又は、
上記工程(S2)の後に下地皮膜及び導電性皮膜を30℃以上で熱処理する工程(S3)を付加するとともに、
上記電気ニッケル−リンメッキ浴は、
(a)可溶性ニッケル塩と、
(b)リンを含む化合物と、
(c)アミノカルボン酸類、オキシカルボン酸類、糖質、アミノアルコール類、ポリカルボン酸類、ポリアミン類より選ばれた錯化剤と、
(d)ノニオン性界面活性剤、両性界面活性剤より選ばれた界面活性剤と、
(e)緩衝剤と、
(f)光沢剤
とを含有することを特徴とする不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法。
(S1) forming a base film made of a nickel-phosphorus film on a non-conductive formable light metal selected from aluminum, magnesium and titanium using an electric nickel-phosphorous plating bath;
(S2) In a conductive film forming method comprising a step of forming a conductive film on a heat-treated base film,
A step (S12) of heat-treating the base film at 30 ° C. or higher is interposed between the step (S1) and the step (S2), or
After adding the process (S3) which heat-processes a base film and an electroconductive film at 30 degreeC or more after the said process (S2),
The electric nickel-phosphorous plating bath is
(a) a soluble nickel salt;
(b) a compound containing phosphorus;
(c) a complexing agent selected from aminocarboxylic acids, oxycarboxylic acids, carbohydrates, aminoalcohols, polycarboxylic acids, polyamines;
(d) a surfactant selected from nonionic surfactants and amphoteric surfactants;
(e) a buffering agent;
(f) A method of forming a heat-treatable conductive film on a non-conductive formable light metal, comprising a brightener.
電気ニッケル−リンメッキ浴のリンを含む化合物(b)が亜リン酸、次亜リン酸、ピロリン酸、オルトリン酸、ヒドロキシエチレンジアミンジホスホン酸、ニトリロトリス(メチレンホスホン酸)、エチレンジアミンテトラ(メチレンホスホン酸)又はこれらの塩の少なくとも一種であることを特徴とする請求項1に記載の不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法。   Phosphorous acid, hypophosphorous acid, pyrophosphoric acid, orthophosphoric acid, hydroxyethylenediamine diphosphonic acid, nitrilotris (methylenephosphonic acid), ethylenediaminetetra (methylenephosphonic acid) The method for forming a heat-treatable conductive film on a non-conductive-formable light metal according to claim 1, which is at least one of these salts. 電気ニッケル−リンメッキ浴の錯化剤(c)がクエン酸、酒石酸、リンゴ酸、グリコール酸、グルコン酸、コハク酸、ニトリロ三酢酸、エチレンジアミン四酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸より選ばれたオキシカルボン酸、ポリカルボン酸、アミノカルボン酸又はその塩の少なくとも一種であることを特徴とする請求項1又は2に記載の不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法。   The complexing agent (c) of the electric nickel-phosphorous plating bath is an oxycarboxylic acid selected from citric acid, tartaric acid, malic acid, glycolic acid, gluconic acid, succinic acid, nitrilotriacetic acid, ethylenediaminetetraacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, poly The method for forming a heat-treatable conductive film on a nonconductive non-formable light metal according to claim 1 or 2, which is at least one of carboxylic acid, aminocarboxylic acid or a salt thereof. 電気ニッケル−リンメッキ浴の緩衝剤(e)がホウ酸、炭酸ナトリウム、炭酸水素ナトリウム、酢酸ニッケル、アスコルビン酸又はその塩の少なくとも一種であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法。   The buffer (e) of the electric nickel-phosphorus plating bath is at least one of boric acid, sodium carbonate, sodium hydrogen carbonate, nickel acetate, ascorbic acid or a salt thereof. A method for forming a heat-treatable conductive film on the non-conductive formable light metal described in 1. 電気ニッケル−リンメッキ浴の光沢剤(f)がサッカリン及びその塩、ベンゼンスルホン酸及びその塩、トルエンスルホン酸及びその塩、ナフタレンスルホン酸及びその塩、アリルスルホン酸及びその塩、ブチンジオール、エチレンシアンヒドリン、クマリン、プロパギルアルコール、ビス(3−スルホプロピル)ジスルフィド、メルカプトプロパンスルホン酸、チオリンゴ酸より選ばれた化合物の少なくとも一種であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法。   The brightener (f) of the electro-nickel-phosphorous plating bath is saccharin and its salt, benzenesulfonic acid and its salt, toluenesulfonic acid and its salt, naphthalenesulfonic acid and its salt, allylsulfonic acid and its salt, butynediol, ethylene cyanide The hydrin, coumarin, propargyl alcohol, bis (3-sulfopropyl) disulfide, mercaptopropane sulfonic acid, or thiomalic acid is at least one compound selected from any one of claims 1-4. A method for forming a heat-treatable conductive film on the non-conductive formable light metal described in 1. 電気ニッケル−リンメッキ浴のpHが3.0〜8.0であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法。   6. A heat-treatable conductive film on a non-conductive non-forming light metal according to claim 1, wherein the pH of the electric nickel-phosphorous plating bath is 3.0 to 8.0. Forming method. 上記下地皮膜の膜厚が0.01〜10.0μmであることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法。   The film thickness of the undercoat is 0.01 to 10.0 µm, The heat-treatable conductive film formation on the non-conductive formable light metal according to any one of claims 1 to 6 Method. 上記導電性皮膜を電気メッキ、無電解メッキ、スパッタリング又は蒸着で形成し、
当該導電性皮膜が銅、スズ、銀、金、ニッケル、ビスマス、パラジウム、白金、アルミニウム、マグネシウム、コバルト、亜鉛、クロムより選ばれた金属又はこれらの金属の合金からなる皮膜であることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の不導態形成性軽金属上への熱処理式の導電性皮膜形成方法。
The conductive film is formed by electroplating, electroless plating, sputtering or vapor deposition,
The conductive film is a film made of a metal selected from copper, tin, silver, gold, nickel, bismuth, palladium, platinum, aluminum, magnesium, cobalt, zinc, and chromium, or an alloy of these metals. The method for forming a heat-treatable conductive film on the non-conductive formable light metal according to any one of claims 1 to 7.
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