JP2018063983A - 多層配線板の製造方法 - Google Patents
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Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
Abstract
Description
図2(a)は、実施形態に係る多層配線板の製造方法において、半焼結工程を例示した断面図であり、(b)は、半焼結工程におけるポストの金属組織を例示した拡大図である。図2(a)に示すように、半焼結工程においては、金属配線16上に形成されたポスト12を加熱して半焼結状態にする。加熱処理の温度は、例えば、140℃〜180℃であり、加熱時間は、30秒〜10分である。
図3は、実施形態に係る多層配線板の製造方法において、積層工程を例示した断面図である。図3に示すように、積層工程においては、第2基板22を第1基板11上に積層する。例えば、第1基板11上にプリプレグ18を積層させ、その上に第2基板22を積層する。プリプレグ18は、基板等を製造するための主原料となるものであり、樹脂19を含み、ガラスクロス20等の繊維で強化した半硬化の樹脂シートである。プリプレグ18には、一方の面18aから他方の面18bに貫通する開口部18cが形成されている。
図4(a)は、実施形態に係る多層配線板の製造方法において、高温プレス工程を例示した断面図であり、(b)は、高温プレス工程におけるポストの金属組織を例示した拡大図であり、(c)は、高温プレス工程におけるポストの金属組織を例示した模式図である。図4(a)に示すように、高温プレス工程においては、積層させた第1基板11及び第2基板22を加熱しながらプレスする。プレスする際には、第1基板11の他方の面11bと、第2基板22の一方の面22aとの間をプレスする。高温プレス工程により、ポスト12が焼結する。そして、ポスト12と、金属配線16及び26との境界で、合金を形成する。高温プレス工程における加熱温度は、例えば、160℃〜200℃であり、加熱時間は、15分〜90分である。圧力は、例えば、1MPa〜4MPaである。また、ボイドの発生を防止するために真空雰囲気中で実施することが好ましい。
次に、多層配線板の製造方法について、より具体的な実施例を説明する。
図5は、実施例1〜3における半焼結工程後の断面形状並びに積層・高温プレス工程後のペースト流れ、接続抵抗値及び冷熱信頼性を例示した図である。実施例1〜3において、高温プレス条件は、加熱温度を190℃、加熱時間を60分、圧力は3MPaで統一している。また、冷熱信頼性条件は、−40℃で30分おいた後に120℃で30分おくことを3000サイクル繰り返して抵抗変化率を測定することである。評価に用いる多層配線板1のサンプルについては、第1基板11及び第2基板22の厚さは、0.8mmであり、プリプレグ18の厚さは、0.1mmである。ポスト12の外径は、0.6mmであり、ポスト12の厚さは、0.1mmである。
図7に示すように、比較例1の工程は、PETフィルムが付着した半硬化状態のプリプレグに導電性ペーストを印刷する。そして、銅箔の間に積層し、熱圧着してパターニングする。これを繰り返すことにより、プリント基板を形成する。比較例1の課題及びリスクとしては、PETフィルムの廃棄の必要があること、ペースト流されが発生すること、プリプレグのハンドリング性に難点があること等が挙げられる。
本実施形態では、導電性ペースト10は、高融点金属13及び低融点合金14を含んでいる。そして、半焼結工程において、導電性ペースト10を加熱し、半焼結状態にしている。半焼結状態では、低融点合金が高融点金属を包み込み、高温プレス時に合金化しやすくしている。これにより、接続信頼性を向上させることができる
10 導電性ペースト
11 第1基板
11a 一方の面
11b 他方の面
12 ポスト
13 高融点金属
14 低融点合金
15 バインダ樹脂
16 金属配線
16a 上面
17 メタルマスク
17a 一方の面
17b 他方の面
17c 孔
18 プリプレグ
18a 一方の面
18b 他方の面
18c 開口部
19 樹脂
20 ガラスクロス
22 第2基板
22a 一方の面
22b 他方の面
23 合金
24 金属
25 バインダ樹脂
26 金属配線
Claims (1)
- 導電性ペーストによってポストを形成し、層間接続する多層配線板の製造方法であって、
高融点金属及び低融点合金を含む前記導電性ペーストを基板に印刷して前記ポストを形成する印刷工程と、
前記ポストを加熱して半焼結状態にする半焼結工程と、
前記基板を積層して加熱しながらプレスする高温プレス工程と、
を備えた多層配線板の製造方法。
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