JP2018063169A

JP2018063169A - Processor

Info

Publication number: JP2018063169A
Application number: JP2016201459A
Authority: JP
Inventors: 石井　徹; Toru Ishii; 徹石井
Original assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Current assignee: Yamaha Fine Technologies Co Ltd
Priority date: 2016-10-13
Filing date: 2016-10-13
Publication date: 2018-04-19
Anticipated expiration: 2036-10-13
Also published as: KR101973864B1; CN107949168B; CN107949168A; JP6726077B2; KR20180041075A

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a processor which can prevent a flexible workpiece from being damaged by an edge of a holding part.SOLUTION: A processor according to the present invention includes: a plurality of holding parts for holding an outer edge of a plate-like flexible work-piece as a target of inspection or a target of processing; and a supporting part supporting each of the holding parts, the supporting part having a parallel moving mechanism or an oscillating mechanism with one or more degrees of freedom to each holding part which the supporting part supports.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本発明は、処理装置に関する。 The present invention relates to a processing apparatus.

方形板状又は帯板状のフレキシブルワークの外縁を把持して検査又は加工する処理装置が用いられている。このような処理装置としては、例えばフレキシブルプリント基板の検査装置や穿孔装置等が挙げられる（例えば特開２０００−２０２７９９号公報、特開２００６−３３２４２２号公報）。 2. Description of the Related Art A processing device that grips and inspects or processes an outer edge of a rectangular plate-like or strip-like flexible work is used. Examples of such a processing apparatus include a flexible printed circuit board inspection apparatus and a perforation apparatus (for example, JP-A Nos. 2000-202799 and 2006-332422).

このような処理装置において、検査ヘッド又は加工ヘッドがフレキシブルワークに当接する位置が、フレキシブルワークの外縁を把持する位置からフレキシブルワークの表面の法線方向に位置ずれする場合がある。このような位置ずれが起きると、フレキシブルワークが把持部のエッジに強く押し当てられて損傷するおそれがある。 In such a processing apparatus, the position at which the inspection head or the processing head contacts the flexible work may be displaced in the normal direction of the surface of the flexible work from the position at which the outer edge of the flexible work is gripped. When such misalignment occurs, the flexible work may be strongly pressed against the edge of the gripping part and may be damaged.

特開２０００−２０２７９９号公報JP 2000-202799 A 特開２００６−３３２４２２号公報JP 2006-332422 A

前記不都合に鑑みて、本発明は、把持部のエッジでフレキシブルワークが損傷することを防止できる処理装置を提供することを課題とする。 In view of the above inconveniences, an object of the present invention is to provide a processing apparatus capable of preventing the flexible work from being damaged at the edge of the gripping portion.

前記課題を解決するためになされた発明は、検査対象又は加工対象である板状のフレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、前記各把持部を支持し、支持する把持部に対して１自由度以上の平行移動機構又は首振り機構を有する支持部とを備えていることを特徴とする処理装置である。 The invention made in order to solve the above-mentioned problems is based on a plurality of gripping portions that grip the outer edge of a plate-like flexible work that is an inspection target or a processing target, and the gripping portions that support and support the gripping portions. And a support unit having a parallel movement mechanism or a swing mechanism having one or more degrees of freedom.

前記支持部が前記フレキシブルワークを法線方向に平行移動させる平行移動機構を有するとよい。 The support portion may include a translation mechanism that translates the flexible work in a normal direction.

前記平行移動機構が１自由度の運動機構であるとよい。 The parallel movement mechanism may be a one-degree-of-freedom movement mechanism.

前記支持部が前記フレキシブルワークをその表面と平行な軸中心に旋回させる首振り機構を有するとよい。 The support part may have a swing mechanism for turning the flexible work about an axis parallel to the surface thereof.

前記首振り機構が２自由度の運動機構であるとよい。 The swing mechanism may be a two-degree-of-freedom motion mechanism.

前記支持部が支持する把持部を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有するとよい。 It is good to further have a restoration mechanism which automatically returns the grip part which the support part supports to the initial position.

前記フレキシブルワークの表面に当接するよう移動可能に構成される検査ヘッド又は加工ヘッドをさらに備えるとよい。 An inspection head or a processing head configured to be movable so as to contact the surface of the flexible work may be further provided.

本発明の処理装置は、前記フレキシブルワークの外縁を把持する複数の把持部と、前記各把持部を支持する支持部とを備えており、前記支持部が、支持する把持部に対して１自由度以上の平行移動機構又は首振り機構を有している。これによって、当該処理装置は、フレキシブルワークの検査又は加工の際に、検査ヘッド又は加工ヘッドのフレキシブルワークに対する当接位置と複数の把持部によるフレキシブルワークの把持位置とのフレキシブルワークの法線方向の位置ずれを吸収し、把持部のエッジでフレキシブルワークが損傷することを防止できる。 The processing apparatus of the present invention includes a plurality of gripping portions that grip the outer edge of the flexible work, and a support portion that supports the gripping portions, and the support portion has one freedom with respect to the gripping portion that is supported. It has a parallel movement mechanism or a swing mechanism of more than 1 degree. With this, the processing apparatus, in the inspection or processing of the flexible work, in the normal direction of the flexible work between the contact position of the inspection head or the processing head with respect to the flexible work and the gripping position of the flexible work by the plurality of gripping units. The misalignment can be absorbed and the flexible work can be prevented from being damaged at the edge of the gripping portion.

本発明の一実施形態の処理装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the processing apparatus of one Embodiment of this invention. 図１の処理装置における把持デバイスの模式的側面図である。It is a typical side view of the holding | grip device in the processing apparatus of FIG. 図１の処理装置による電気検査の一工程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows 1 process of the electrical test | inspection by the processing apparatus of FIG. 図１の処理装置による電気検査の図３の次の工程を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the next process of FIG. 3 of the electrical test | inspection by the processing apparatus of FIG. 本発明の図１とは異なる実施形態の処理装置を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the processing apparatus of embodiment different from FIG. 1 of this invention. 図５の処理装置における把持デバイスの模式的側面図である。It is a typical side view of the holding | grip device in the processing apparatus of FIG. 図２及び図６とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的側面図である。It is a typical side view of the holding | grip device which concerns on embodiment different from FIG.2 and FIG.6. 図２、図６及び図７とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的側面図である。FIG. 8 is a schematic side view of a gripping device according to an embodiment different from those of FIGS. 2, 6, and 7. 図２、図６、図７及び図８とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的平面図である。FIG. 9 is a schematic plan view of a gripping device according to an embodiment different from those in FIGS. 2, 6, 7, and 8. 図９の把持デバイスの模式的側面図（Ａ方向視図）である。It is a typical side view (A direction view) of the holding | gripping device of FIG. 図１０の把持デバイスの模式的正面図（Ｂ方向視図）である。It is a typical front view (B direction view) of the holding | gripping device of FIG. 図２、図６、図７、図８及び図９とは異なる実施形態に係る把持デバイスの模式的平面図である。FIG. 10 is a schematic plan view of a gripping device according to an embodiment different from FIGS. 2, 6, 7, 8, and 9.

以下、適宜図面を参照しつつ、本発明の実施の形態を詳説する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate.

［第一実施形態］
図１に本発明の一実施形態に係る処理装置の構成を示す。図１の処理装置は、薄い方形板状のフレキシブルワークであるフレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を検査する電気検査装置である。 [First embodiment]
FIG. 1 shows a configuration of a processing apparatus according to an embodiment of the present invention. The processing apparatus of FIG. 1 is an electrical inspection apparatus that inspects electrical characteristics of a flexible printed circuit board P, which is a thin rectangular plate-shaped flexible work.

当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐを挟んで対向して配設され、フレキシブルプリント基板Ｐの表面に当接するよう移動可能な第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と、この第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をそれぞれ駆動する第１駆動機構３及び第２駆動機構４と、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する複数の把持デバイス５と、フレキシブルプリント基板Ｐを撮影する第１カメラ６及び第２カメラ７と、第１駆動機構３及び第２駆動機構４を制御するコントローラー８とを備える。 The processing apparatus is arranged so as to face each other with the flexible printed circuit board P interposed therebetween, and the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2 that are movable so as to contact the surface of the flexible printed circuit board P, and the first electric inspection head 1. The first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4 that drive the electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2, respectively, a plurality of gripping devices 5 that grip the outer edge of the flexible printed circuit board P, and the flexible printed circuit board P are photographed. A first camera 6 and a second camera 7, and a controller 8 that controls the first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4.

また、当該処理装置は、各構成要素を支持する不図示のフレーム等をさらに備えることができる。 In addition, the processing apparatus can further include a frame (not shown) that supports each component.

＜フレキシブルプリント基板＞
当該処理装置により電気的特性を検査するフレキシブルプリント基板Ｐとしては、典型的には、平面視方形状の可撓性を有するシート状の基材の上に複数の機能部が形成され、最終的に各機能部を含む部分を切り出して複数の電子部品を得るものが想定される。 <Flexible printed circuit board>
As the flexible printed circuit board P whose electrical characteristics are inspected by the processing apparatus, typically, a plurality of functional parts are formed on a sheet-like base material having flexibility in a planar view shape, and finally It is assumed that a plurality of electronic parts are obtained by cutting out a portion including each functional part.

このようなフレキシブルプリント基板Ｐは、個々の機能部又は少数の機能部を含む比較的小さい領域が第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によって検査される検査対象部とされる。換言すると、フレキシブルプリント基板Ｐは、複数の検査対象部を有する。このため、フレキシブルプリント基板Ｐは、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によって場所を変えて繰り返し挟持されて、各検査対象部の電気的特性が順番に検査される。 Such a flexible printed circuit board P is an inspection target part in which a relatively small region including individual functional parts or a small number of functional parts is inspected by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. In other words, the flexible printed circuit board P has a plurality of inspection target parts. For this reason, the flexible printed circuit board P is repeatedly pinched by changing the location by the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2, and the electrical characteristics of each inspection object portion are inspected in order.

＜電気検査ヘッド＞
第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、フレキシブルプリント基板Ｐを挟んで対向するよう配設され、複数のプローブ９と、この複数のプローブ９がそれぞれ挿入される複数のガイド孔を有するガイドプレート１０とをそれぞれ有する <Electrical inspection head>
The first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2 are arranged so as to face each other with the flexible printed circuit board P therebetween, and have a plurality of probes 9 and a plurality of guide holes into which the plurality of probes 9 are respectively inserted. Each having a guide plate 10 having

（プローブ）
複数のプローブ９は、ガイドプレート１０に垂直、かつそれぞれの先端がガイドプレート１０から僅かに突出するよう保持される。また、複数のプローブ９は、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの所定の測定点に当接できるよう配置される。 (probe)
The plurality of probes 9 are held so as to be perpendicular to the guide plate 10 and slightly protrude from the guide plate 10. Further, the plurality of probes 9 are arranged so as to be in contact with predetermined measurement points of the conductive pattern of the flexible printed circuit board P.

（ガイドプレート）
ガイドプレート１０は、絶縁性を有する材料から形成され、フレキシブルプリント基板Ｐに対向し、電気検査の際にフレキシブルプリント基板Ｐと当接する平坦な当接面１１を有する。 (Guide plate)
The guide plate 10 is formed of an insulating material, has a flat contact surface 11 that faces the flexible printed circuit board P and contacts the flexible printed circuit board P during electrical inspection.

また、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、複数のプローブ９を介してフレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を測定するための回路を有するものとすることが好ましい。つまり、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２は、フレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を測定し、測定結果を比較的少数の配線を介してコントローラー８に出力することができるような測定回路を有するとよい。 Moreover, it is preferable that the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2 have a circuit for measuring the electrical characteristics of the flexible printed circuit board P via the plurality of probes 9. That is, the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2 can measure the electrical characteristics of the flexible printed circuit board P and output the measurement result to the controller 8 via a relatively small number of wires. It is preferable to have a measurement circuit.

さらに、後で詳しく説明するように先にフレキシブルプリント基板Ｐに圧接される第１電気検査ヘッド１は、フレキシブルプリント基板Ｐの表裏面のうち導電パターンの配線幅が相対的に大きい側の面に圧接されることが好ましい。逆に言うと、当該処理装置を使用するときは、フレキシブルプリント基板Ｐを導電パターンの配線幅が大きい側が第１電気検査ヘッド１に対向するよう配置することが好ましい。 Further, as will be described in detail later, the first electrical inspection head 1 that is first pressed against the flexible printed circuit board P is placed on the surface of the front and back surfaces of the flexible printed circuit board P where the wiring width of the conductive pattern is relatively large. It is preferable to press-contact. In other words, when the processing apparatus is used, it is preferable to arrange the flexible printed circuit board P so that the side with the larger wiring width of the conductive pattern faces the first electrical inspection head 1.

また、当該処理装置では、後述するように、第１電気検査ヘッド１によりフレキシブルプリント基板Ｐに張力を付与することでフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを除去する際に重力によってフレキシブルプリント基板Ｐが当接面１１に密着しやすいよう、第１電気検査ヘッド１が第２電気検査ヘッド２の下方に配置されることが好ましい。換言すると、当該処理装置では、フレキシブルプリント基板Ｐが略水平に保持され、第１電気検査ヘッド１がフレキシブルプリント基板Ｐに下方から圧接され、第２電気検査ヘッド２がフレキシブルプリント基板Ｐに対して上方から圧接されるものであることが好ましい。 Further, in the processing apparatus, as will be described later, when the flexible printed circuit board P is warped or undulated by applying tension to the flexible printed circuit board P by the first electrical inspection head 1, the flexible printed circuit board P is caused by gravity. It is preferable that the first electrical inspection head 1 is disposed below the second electrical inspection head 2 so as to be in close contact with the contact surface 11. In other words, in the processing apparatus, the flexible printed circuit board P is held substantially horizontally, the first electrical inspection head 1 is pressed against the flexible printed circuit board P from below, and the second electrical inspection head 2 is attached to the flexible printed circuit board P. It is preferable that the contact is from above.

＜駆動機構＞
第１駆動機構３及び第２駆動機構４は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２の３次元の位置決めを行うことができるものであればよく、さらにフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の軸を中心に第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２の回転位置決めを行うことができるものが好ましい。なお、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向とは、複数の把持デバイス５がフレキシブルプリント基板Ｐの表面が平面状となるよう把持する理想的な状態におけるフレキシブルプリント基板Ｐの表面の法線方向を意味するものとする。 <Drive mechanism>
The first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4 only need to be able to perform three-dimensional positioning of the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2, and are further normal to the flexible printed circuit board P. It is preferable that the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2 can be rotationally positioned around the direction axis. The normal direction of the flexible printed circuit board P means the normal direction of the surface of the flexible printed circuit board P in an ideal state in which the plurality of gripping devices 5 are gripped so that the surface of the flexible printed circuit board P is planar. It shall be.

第１駆動機構３及び第２駆動機構４としては、多関節ロボットを用いてもよいが、コスト及び占有スペースが比較的小さい直交座標型駆動システムを採用することが好ましい。この直交座標型駆動システムとしては、フレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に２軸の位置決めが可能な直交座標型ロボットと、この直交座標型ロボットの末端に配設される昇降デバイスと、この昇降デバイスにより昇降可能に保持され、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２をそれぞれ回転位置決め可能に保持する回転位置決めデバイスとを備える構成とすることができる。 As the first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4, an articulated robot may be used, but it is preferable to employ an orthogonal coordinate type drive system with relatively small cost and occupied space. As this Cartesian coordinate drive system, a Cartesian coordinate robot capable of positioning two axes in the plane direction of the flexible printed circuit board P, a lifting device disposed at the end of the Cartesian coordinate robot, and the lifting device It can be set as the structure provided with the rotation positioning device hold | maintained so that raising / lowering is possible and hold | maintaining the 1st electrical test head 1 and the 2nd electrical test head 2 so that rotation positioning is possible respectively.

また、第１駆動機構３及び第２駆動機構４は、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によりフレキシブルプリント基板Ｐを挟持する際、フレキシブルプリント基板Ｐに作用する圧接力を適正化できるよう、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に弾性変形する緩衝部を有してもよい。 The first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4 optimize the pressure contact force acting on the flexible printed circuit board P when the flexible printed circuit board P is sandwiched between the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2. You may have the buffer part elastically deformed to the normal line direction of the flexible printed circuit board P so that it can do.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５は、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of holding devices 5 hold the outer edge of the flexible printed circuit board P so that the position in the normal direction of the flexible printed circuit board P is roughly held at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

各把持デバイス５は、図２に示すように、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２と、把持部１２を支持する支持部１３とを備えている。把持デバイス５の支持部１３は、支持する把持部１２に対して１自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５において、把持部１２は、支持部１３によって首振り可能に支持されている。 As shown in FIG. 2, each gripping device 5 includes a grip portion 12 that grips the outer edge of the flexible printed circuit board P and a support portion 13 that supports the grip portion 12. The support part 13 of the gripping device 5 has a swing mechanism that is a passive motion mechanism with one degree of freedom with respect to the gripping part 12 to be supported. That is, in the grip device 5, the grip portion 12 is supported by the support portion 13 so as to be able to swing.

（把持部）
把持部１２は、支持部１３によって支持され、一方の端部の上面でフレキシブルプリント基板Ｐに当接するクランプベース１４と、このクランプベース１４の上に可動に配設され、クランプベース１４のフレキシブルプリント基板Ｐに当接する部分に対向する面がフレキシブルプリント基板Ｐに当接してクランプベース１４との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５の一方の端部とクランプベース１４とが当接又は離間するようクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。つまり、アクチュエーター１６の動作により、クランプベース１４の先端部とクランプアーム１５の先端部とが圧接又は離間することで、把持部１２はフレキシブルプリント基板Ｐを把持又は解放する。 (Gripping part)
The grip portion 12 is supported by the support portion 13 and is movably disposed on the clamp base 14 and is movably disposed on the clamp base 14. A clamp arm 15 that faces the flexible printed circuit board P with a surface facing a portion that contacts the printed circuit board P sandwiching the flexible printed circuit board P between the clamp arm 14, one end of the clamp arm 15, and the clamp base 14 And an actuator 16 that drives the clamp arm 15 so as to abut or separate from each other. That is, the gripper 12 grips or releases the flexible printed circuit board P when the distal end portion of the clamp base 14 and the distal end portion of the clamp arm 15 are pressed or separated by the operation of the actuator 16.

この把持部１２の構成、特にクランプアーム１５の駆動機構については、例えば特開２００６−２８１４３２号公報に開示されているように、アクチュエーター１６によって駆動されるカム機構等を用いて行うよう構成することができる。具体的には、クランプベース１４にカム溝が配設され、このカム溝に係合するピンがクランプアーム１５に配設されることによって、クランプベース１４に対するクランプアーム１５の相対移動が案内され、アクチュエーター１６によって駆動されるカムによってクランプアーム１５のクランプベース１４に対する相対移動が駆動される構成とすることができる。 The structure of the gripping portion 12, particularly the drive mechanism of the clamp arm 15, is configured to be performed using a cam mechanism or the like driven by the actuator 16 as disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2006-281432. Can do. Specifically, a cam groove is provided in the clamp base 14, and a pin that engages with the cam groove is provided in the clamp arm 15, whereby the relative movement of the clamp arm 15 with respect to the clamp base 14 is guided, The relative movement of the clamp arm 15 with respect to the clamp base 14 can be driven by a cam driven by the actuator 16.

（支持部）
支持部１３は、首振り機構として、支持軸１７を中心に回動可能に把持部１２のクランプベース１４を支持する構成を有する。支持軸１７は、把持部１２が把持する薄板状のフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。つまり、支持部１３の首振り機構による把持部１２の首振りは、フレキシブルプリント基板Ｐの表面と、より詳しくは把持する部分の側縁と平行な支持軸１７を中心とする旋回動作である。なお、支持軸１７は、把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と緩衝しない位置に配設すればよい。 (Support part)
The support part 13 has a structure that supports the clamp base 14 of the grip part 12 so as to be rotatable about a support shaft 17 as a swing mechanism. The support shaft 17 is disposed so as to be parallel to the side edge of the thin plate-like flexible printed circuit board P gripped by the grip portion 12. That is, the swinging of the grip portion 12 by the swing mechanism of the support portion 13 is a turning operation around the support shaft 17 that is parallel to the surface of the flexible printed circuit board P and more specifically to the side edge of the grip portion. The support shaft 17 may be disposed at a position that does not buffer the structure for gripping the flexible printed board P of the grip portion 12.

また、支持部１３は、把持部１２を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。支持部１３が復原機構を有することによって、把持するフレキシブルプリント基板Ｐの複数の把持デバイス５の把持部１２により把持される部分の表面を同一平面上に配置し、フレキシブルプリント基板Ｐに不必要な応力を作用させるような把持部１２の傾斜を抑制することができる。 The support unit 13 further includes a restoring mechanism that automatically returns the grip unit 12 to the initial position. Since the support portion 13 has the restoration mechanism, the surfaces of the portions of the flexible printed circuit board P to be gripped that are gripped by the gripping portions 12 of the plurality of gripping devices 5 are arranged on the same plane, which is unnecessary for the flexible printed circuit board P. It is possible to suppress the inclination of the grip portion 12 that causes stress to act.

この復原機構としては、図示するように、把持部１２のクランプベース１４を支持軸１７の周りに一方向に回動させるよう押圧するばね１８と、支持軸１７のばね１８と反対側に配置され、クランプベース１４に当接してばね１８の押圧力に対抗してクランプベース１４の回動を制止するストッパー１９とを有する構成とすることができる。このような復原機構は、把持部１２を初期位置から一方側にのみ移動可能とする。この把持部１２の初期位置からの移動可能方向としては、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向であって第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２によりフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込む位置の側とされ、典型的には上側とされる。 As shown in the figure, the restoring mechanism is arranged on a side opposite to the spring 18 of the support shaft 17 and a spring 18 that presses the clamp base 14 of the gripping portion 12 around the support shaft 17 in one direction. The stopper 19 can be configured to come into contact with the clamp base 14 and stop the rotation of the clamp base 14 against the pressing force of the spring 18. Such a restoring mechanism allows the gripping part 12 to move only from one position to the one side. The direction in which the grip portion 12 can move from the initial position is the normal direction of the flexible printed circuit board P and the side where the flexible printed circuit board P is sandwiched by the first electrical inspection head 1 and the second electrical inspection head 2. Typically, the upper side.

前記ばね１８としては、例えば圧縮ばね等を用いることができる。また、クランプベース１４のストッパー１９に当接する部分又はストッパー１９にクランプベース１４を係止する角度位置を調節可能な当接部材２０を設けてもよい。 For example, a compression spring or the like can be used as the spring 18. Moreover, you may provide the contact member 20 which can adjust the part which contact | abuts the stopper 19 of the clamp base 14, or the angular position which latches the clamp base 14 to the stopper 19. As shown in FIG.

＜カメラ＞
第１カメラ６及び第２カメラ７は、フレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するために、フレキシブルプリント基板Ｐの画像を撮影し、後述するコントローラー８に画像データを提供する。 <Camera>
The first camera 6 and the second camera 7 take an image of the flexible printed circuit board P and provide image data to the controller 8 described later in order to acquire position information of the flexible printed circuit board P.

第１カメラ６及び第２カメラ７は、当該処理装置の不図示のフレーム等に保持されてもよいが、第１駆動機構３及び第２駆動機構４によって第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と共に少なくともフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動可能に保持されるとよい。第１カメラ６及び第２カメラ７を第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２と共に移動させることにより画像処理の範囲を限定し、必要とされるカメラの画素数及びコントローラーの演算能力が比較的小さくなるので、当該処理装置を比較的安価にできると共に、フレキシブルプリント基板Ｐの検査サイクルを短縮することができる。 The first camera 6 and the second camera 7 may be held on a frame or the like (not shown) of the processing apparatus. However, the first electrical inspection head 1 and the second electrical mechanism 1 are driven by the first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4. It is preferable that the inspection head 2 is held so as to be movable at least in the plane direction of the flexible printed circuit board P. The range of image processing is limited by moving the first camera 6 and the second camera 7 together with the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2, and the required number of camera pixels and the calculation capability of the controller Since it becomes comparatively small, the processing apparatus can be made relatively inexpensive and the inspection cycle of the flexible printed circuit board P can be shortened.

第１カメラ６及び第２カメラ７が撮影した画像データは、コントローラー８において公知の画像処理技術によって解析され、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の特徴点の座標を特定するために用いられる。具体的には、第１カメラ６及び第２カメラ７が撮影した画像データから、第１カメラ６又は第２カメラ７とフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部との相対位置、ひいてはフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の絶対位置が特定される。 The image data captured by the first camera 6 and the second camera 7 is analyzed by a known image processing technique in the controller 8 and used to specify the coordinates of the feature points of the inspection target portion of the flexible printed circuit board P. Specifically, from the image data taken by the first camera 6 and the second camera 7, the relative position between the first camera 6 or the second camera 7 and the inspection target portion of the flexible printed circuit board P, and consequently the flexible printed circuit board P. The absolute position of the inspection target part is specified.

なお、第１カメラ６及び第２カメラ７によってフレキシブルプリント基板Ｐのディジタル画像を撮影する際、第１カメラ６及び第２カメラ７のフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置（フレキシブルプリント基板Ｐからの離間距離）を一定にすることによって、第１カメラ６及び第２カメラ７とフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部との平面方向の相対位置を比較的容易に算出することができる。 When a digital image of the flexible printed circuit board P is taken by the first camera 6 and the second camera 7, the position in the normal direction of the flexible printed circuit board P of the first camera 6 and the second camera 7 (from the flexible printed circuit board P). The distance between the first camera 6 and the second camera 7 and the inspection target portion of the flexible printed circuit board P can be relatively easily calculated.

画像処理において抽出する特徴点は、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの中で予め設定される特徴的な形状の部分であってもよく、フレキシブルプリント基板Ｐに画像処理専用に設けられるマーキングであってもよい。 The feature point extracted in the image processing may be a portion having a characteristic shape set in advance in the conductive pattern of the flexible printed circuit board P, and is a marking provided on the flexible printed circuit board P exclusively for image processing. Also good.

＜コントローラー＞
コントローラー８としては、例えばプログラマブルロジックコントローラー、パーソナルコンピューター等が用いられる。 <Controller>
As the controller 8, for example, a programmable logic controller or a personal computer is used.

コントローラー８は、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めしてから法線方向に圧接するよう第１駆動機構３を制御する第１圧接制御要素と、第１電気検査ヘッド１の位置決め及び圧接後に、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐに対して平面方向に位置決めしてから法線方向に圧接するよう第２駆動機構４を制御する第２圧接制御要素とを有する。 The controller 8 positions the first electric inspection head 1 in the plane direction with respect to the flexible printed circuit board P and then presses the first drive mechanism 3 so as to press in the normal direction. After positioning and press-contact of the inspection head 1, a second press-contact control element that controls the second drive mechanism 4 so that the second electric inspection head 2 is positioned in the plane direction with respect to the flexible printed circuit board P and then pressed in the normal direction. And have.

前記第１圧接制御要素及び第２圧接制御要素は、例えばパートプログラム、サブルーチン等のソフトウェアによって実現することができる。 The first press contact control element and the second press contact control element can be realized by software such as a part program or a subroutine.

（第１圧接制御要素）
第１圧接制御要素は、第１カメラ６を用いてフレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するステップ〔第１位置情報取得ステップ〕と、第１駆動機構３を用いて第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対するよう平面方向に位置決めするステップ〔第１平面方向位置決めステップ〕と、第１駆動機構３を用いて第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動させてフレキシブルプリント基板Ｐに圧接するステップ〔第１圧接ステップ〕とを順番に行うものである。 (First pressure control element)
The first pressure control element obtains the position information of the flexible printed circuit board P using the first camera 6 [first position information obtaining step] and the first electric inspection head 1 using the first drive mechanism 3. A step of positioning in the plane direction so as to face the inspection target portion of the flexible printed circuit board P [first plane direction positioning step], and the first drive mechanism 3 is used to connect the first electric inspection head 1 to the normal line of the flexible printed circuit board P. The step of moving in the direction and press-contacting the flexible printed circuit board P (first press-contacting step) is sequentially performed.

〔第１位置情報取得ステップ〕
第１圧接制御要素は、第１位置情報取得ステップにおいて、第１カメラ６によりフレキシブルプリント基板Ｐを撮影し、撮影した画像データを画像処理することにより、第１カメラ６に対するフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の平面方向の相対位置を特定する。これにより、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させるために必要な平面方向の移動量を算出する。 [First position information acquisition step]
The first pressure contact control element inspects the flexible printed circuit board P with respect to the first camera 6 by photographing the flexible printed circuit board P by the first camera 6 and performing image processing on the photographed image data in the first position information acquisition step. The relative position in the plane direction of the target part is specified. As a result, the amount of movement in the planar direction necessary for causing the first electrical inspection head 1 to face the inspection target portion of the flexible printed circuit board P is calculated.

〔第１平面方向位置決めステップ〕
第１圧接制御要素は、第１平面方向位置決めステップにおいて、第１駆動機構３により、第１位置情報取得ステップで算出した必要な移動量だけ第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動させることで、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させる。 [First plane direction positioning step]
In the first plane direction positioning step, the first pressure control element moves the first electrical inspection head 1 by the first drive mechanism 3 by the necessary amount of movement calculated in the first position information acquisition step in the plane direction of the flexible printed circuit board P. The first electrical inspection head 1 is directly opposed to the inspection target portion of the flexible printed circuit board P by moving the first electrical inspection head 1 to the inspection target portion.

〔第１圧接ステップ〕
第１圧接制御要素は、第１圧接ステップにおいて、第１電気検査ヘッド１の当接面１１をフレキシブルプリント基板Ｐに圧接することにより、第１電気検査ヘッド１の複数のプローブ９をフレキシブルプリント基板Ｐの一方の面の複数の測定点に圧接する。 [First pressure welding step]
In the first pressure contact step, the first pressure contact control element presses the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 against the flexible printed circuit board P, thereby connecting the plurality of probes 9 of the first electrical inspection head 1 to the flexible printed circuit board. Press contact with a plurality of measurement points on one surface of P.

また、第１圧接ステップでは、図３に示すように、把持デバイス５によるフレキシブルプリント基板Ｐの外縁の各把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド２側に第１電気検査ヘッド１の当接面１１を突出させる。 In the first pressure contact step, as shown in FIG. 3, the first electrical inspection head 2 side is closer to the reference plane including the thickness direction center of each gripping position of the outer edge of the flexible printed circuit board P by the gripping device 5. The contact surface 11 of the electrical inspection head 1 is protruded.

このように第１電気検査ヘッド１の当接面１１を基準平面よりも突出させることによって、フレキシブルプリント基板Ｐに張力が作用することで、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部が第１電気検査ヘッド１の当接面１１に密着する。つまり、第１圧接制御要素は、第１電気検査ヘッド１の当接面１１を基準平面よりも突出させることにより、フレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部を当接面１１に沿う平板状に引き延ばすことで反りやうねりを除去することができる。 Thus, by making the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 protrude from the reference plane, tension is applied to the flexible printed circuit board P, so that the inspection target portion of the flexible printed circuit board P becomes the first electrical inspection head. 1 is in close contact with the contact surface 11. That is, the first pressure contact control element extends the inspection target portion of the flexible printed circuit board P in a flat plate shape along the contact surface 11 by causing the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 to protrude from the reference plane. Can eliminate warping and swell.

この第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量の下限としては、フレキシブルプリント基板Ｐの対向する把持デバイス５による把持位置の平均間隔の０．１％が好ましく、０．２％がより好ましい。一方、第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量の上限としては、フレキシブルプリント基板Ｐの対向する把持デバイス５による把持位置の平均間隔の１％が好ましく、０．５％がより好ましい。第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量が前記下限に満たない場合、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを十分に除去できないおそれがある。逆に、第１電気検査ヘッド１の当接面１１の基準平面からの突出量が前記上限を超える場合、フレキシブルプリント基板Ｐに過剰な応力が作用してフレキシブルプリント基板Ｐを損傷するおそれがある。なお、「把持位置の平均間隔」とは、対向する把持デバイス５による把持領域の間隔の極小値の平均を意味し、把持デバイス５による把持領域の間隔が極小となる部分が連続する場合には間隔の極小値を間隔が極小となる部分の長さで加重平均した値（例えばフレキシブルプリント基板Ｐを複数対の把持デバイス５で挟み込んで保持する場合各対の把持デバイス５の間隔を、把持デバイス５の有効幅で重み付けした平均値）を意味するものとする。 The lower limit of the protrusion amount of the contact surface 11 of the first electric inspection head 1 from the reference plane is preferably 0.1% of the average interval of the gripping positions by the gripping devices 5 facing the flexible printed circuit board P. 2% is more preferable. On the other hand, the upper limit of the protrusion amount of the contact surface 11 of the first electric inspection head 1 from the reference plane is preferably 1% of the average interval of the gripping positions by the gripping devices 5 facing the flexible printed circuit board P, 0.5 % Is more preferable. When the protrusion amount of the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 from the reference plane is less than the lower limit, there is a possibility that warping and undulation of the flexible printed circuit board P cannot be sufficiently removed. On the contrary, when the protrusion amount of the contact surface 11 of the first electrical inspection head 1 from the reference plane exceeds the upper limit, there is a possibility that excessive stress acts on the flexible printed circuit board P to damage the flexible printed circuit board P. . Note that the “average interval between gripping positions” means the average of the minimum values of the gaps between the gripping regions by the gripping devices 5 facing each other. A value obtained by weighted and averaged the minimum value of the intervals by the length of the portion where the interval is minimized (for example, when holding the flexible printed board P sandwiched between a plurality of pairs of holding devices 5, the interval between each pair of holding devices 5 is determined by Mean value weighted by an effective width of 5).

また、この第１圧接ステップでは、第１電気検査ヘッド１の圧接によりフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりを除去する際に、フレキシブルプリント基板Ｐが僅かに位置ずれするおそれがある。このため、この第１圧接ステップにおいては、第１電気検査ヘッド１をフレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が大きい側に圧接することが好ましい。 Further, in this first pressure contact step, when the warp or undulation of the flexible printed circuit board P is removed by the pressure contact of the first electrical inspection head 1, the flexible printed circuit board P may be slightly displaced. For this reason, in this 1st press-contacting step, it is preferable to press-contact the 1st electrical inspection head 1 to the side with the large wiring width of the conductive pattern of the flexible printed circuit board P. FIG.

（第２圧接制御要素）
第２圧接制御要素は、第２カメラ７を用いてフレキシブルプリント基板Ｐの位置情報を取得するステップ〔第２位置情報取得ステップ〕と、第２駆動機構４を用いて第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対するよう平面方向に位置決めするステップ〔第２平面方向位置決めステップ〕と、第２駆動機構４を用いて第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動させてフレキシブルプリント基板Ｐに圧接することで、第１電気検査ヘッド１との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟持するステップ〔第２圧接ステップ〕とを順番に行うものである。 (Second pressure contact control element)
The second pressure contact control element acquires the position information of the flexible printed circuit board P using the second camera 7 [second position information acquisition step], and uses the second drive mechanism 4 to move the second electric inspection head 2. A step of positioning in the plane direction so as to face the inspection target portion of the flexible printed circuit board P [second plane direction positioning step], and the second drive mechanism 4 is used to connect the second electrical inspection head 2 to the normal line of the flexible printed circuit board P. By moving in the direction and press-contacting the flexible printed circuit board P, a step of sandwiching the flexible printed circuit board P between the first electrical inspection head 1 [second press-contacting step] is sequentially performed.

〔第２位置情報取得ステップ〕
第２圧接制御要素は、第２位置情報取得ステップにおいて、第２カメラ７によりフレキシブルプリント基板Ｐを撮影し、撮影した画像データを画像処理することにより、第２カメラ７に対するフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部の平面方向の相対位置を特定する。これにより、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させるために必要な平面方向の移動量を算出する。 [Second position information acquisition step]
The second pressure contact control element inspects the flexible printed circuit board P with respect to the second camera 7 by photographing the flexible printed circuit board P by the second camera 7 and performing image processing on the photographed image data in the second position information acquisition step. The relative position in the plane direction of the target part is specified. As a result, the amount of movement in the plane direction necessary for causing the second electrical inspection head 2 to face the inspection target portion of the flexible printed circuit board P is calculated.

〔第２平面方向位置決めステップ〕
第２圧接制御要素は、第２平面方向位置決めステップにおいて、第２駆動機構４により、第２位置情報取得ステップで算出した必要な移動量だけ第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの平面方向に移動させることで、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの検査対象部に正対させる。 [Second plane direction positioning step]
In the second plane direction positioning step, the second pressure contact control element moves the second electrical inspection head 2 in the plane direction of the flexible printed circuit board P by the second drive mechanism 4 by the necessary movement amount calculated in the second position information acquisition step. The second electrical inspection head 2 is directly opposed to the inspection target portion of the flexible printed circuit board P by moving the second electrical inspection head 2.

〔第２圧接ステップ〕
第２圧接制御要素は、第２圧接ステップにおいて、図４に示すように、第２駆動機構４により第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐに圧接し、第１電気検査ヘッド１の当接面１１と第２電気検査ヘッド２の当接面１１との間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟持する。 [Second pressure welding step]
As shown in FIG. 4, the second pressure contact control element presses the second electrical inspection head 2 against the flexible printed circuit board P by the second drive mechanism 4 to contact the first electrical inspection head 1 in the second pressure contact step. The flexible printed board P is sandwiched between the surface 11 and the contact surface 11 of the second electrical inspection head 2.

また、この第２圧接ステップは、第１圧接ステップにおいてフレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりが除去された後に行われるため、フレキシブルプリント基板Ｐが殆ど位置ずれしない。このため、この第２圧接ステップにおいては、第２電気検査ヘッド２をフレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が小さい側の面に圧接することが好ましい。 In addition, since the second press-contacting step is performed after the warp or undulation of the flexible printed circuit board P is removed in the first press-contacting step, the flexible printed circuit board P is hardly displaced. For this reason, in this 2nd press-contacting step, it is preferable to press-contact the 2nd electrical inspection head 2 to the surface at the side where the wiring width of the conductive pattern of the flexible printed circuit board P is small.

つまり、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりに起因してプローブ９の当接位置が僅かにずれるおそれがある第１圧接ステップでは、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が大きい側の面にプローブ９を当接させることで、プローブ９の当接位置のずれによる測定不良を抑制することができる。一方、フレキシブルプリント基板Ｐの反りやうねりに起因するプローブ９の当接位置のずれが生じ難い第２圧接ステップでは、フレキシブルプリント基板Ｐの導電パターンの配線幅が小さい側の面にプローブ９を当接させることで、測定不良を防止することができる。 That is, in the first pressure contact step in which the contact position of the probe 9 may slightly shift due to warping or waviness of the flexible printed circuit board P, the probe is placed on the surface of the flexible printed circuit board P where the wiring width of the conductive pattern is large. By bringing 9 into contact, measurement failure due to a shift in the contact position of the probe 9 can be suppressed. On the other hand, in the second pressure contact step in which the displacement of the contact position of the probe 9 due to warping or waviness of the flexible printed circuit board P is unlikely to occur, the probe 9 is applied to the surface of the flexible printed circuit board P where the wiring width of the conductive pattern is small. By making contact, measurement failure can be prevented.

＜利点＞
当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐを第１電気検査ヘッド１により法線方向に押圧しても、把持部１２が回動して、把持部１２のエッジによりフレキシブルプリント基板Ｐに不必要な曲げ応力や剪断応力が作用することを防止できる。つまり、当該処理装置は、把持部１２のエッジでフレキシブルプリント基板Ｐが損傷することを防止することができる。 <Advantages>
Even if the processing apparatus presses the flexible printed circuit board P in the normal direction by the first electrical inspection head 1, the gripping portion 12 rotates and the flexible printed circuit board P is bent unnecessary by the edge of the gripping portion 12. It is possible to prevent stress and shear stress from acting. That is, the processing apparatus can prevent the flexible printed circuit board P from being damaged at the edge of the grip portion 12.

このため、当該処理装置は、把持デバイス５の把持部１２によるフレキシブルプリント基板Ｐの外縁の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりも第２電気検査ヘッド２側に第１電気検査ヘッド１の当接面１１を突出させることにより、フレキシブルプリント基板Ｐを損傷することなく張力を作用させて反りやうねりを除去することができる。これにより、当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐに対して第２電気検査ヘッド２を精度よく圧接して、フレキシブルプリント基板Ｐの電気的特性を比較的正確に検査することができる。 For this reason, the processing apparatus includes the first electric inspection head 1 closer to the second electric inspection head 2 than the reference plane including the center in the thickness direction of the holding position of the outer edge of the flexible printed circuit board P by the holding portion 12 of the holding device 5. By projecting the contact surface 11, it is possible to remove warpage and undulation by applying tension without damaging the flexible printed circuit board P. Accordingly, the processing apparatus can press the second electrical inspection head 2 with high accuracy against the flexible printed circuit board P and inspect the electrical characteristics of the flexible printed circuit board P relatively accurately.

［第二実施形態］
図５に本発明の別の実施形態に係る処理装置の構成を示す。図５の処理装置は、長尺帯板状のフレキシブルワークであるフレキシブルプリント基板Ｐａに孔開け加工（穿孔）を行う加工装置である。 [Second Embodiment]
FIG. 5 shows a configuration of a processing apparatus according to another embodiment of the present invention. The processing apparatus shown in FIG. 5 is a processing apparatus that performs perforation processing (perforation) in a flexible printed circuit board Pa that is a long strip-shaped flexible work.

当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐａを挟んで対向して配設され、フレキシブルプリント基板Ｐａの表面に当接するよう移動可能な第１加工ヘッドであるダイ２１及び第２加工ヘッドであるパンチ２２と、このダイ２１及びパンチ２２をそれぞれ駆動する第１駆動機構３及び第２駆動機構４と、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁を把持する複数の把持デバイス５ａと、フレキシブルプリント基板Ｐａを撮影する第１カメラ６及び第２カメラ７と、第１駆動機構３及び第２駆動機構４を制御するコントローラー８とを備える。 The processing apparatus includes a die 21 as a first processing head and a punch 22 as a second processing head, which are arranged to face each other with the flexible printed circuit board Pa therebetween and are movable so as to contact the surface of the flexible printed circuit board Pa. The first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4 for driving the die 21 and the punch 22, respectively, a plurality of gripping devices 5a for gripping the outer edge of the flexible printed circuit board Pa, and a first camera for photographing the flexible printed circuit board Pa 6 and the second camera 7, and a controller 8 for controlling the first drive mechanism 3 and the second drive mechanism 4.

図５の処理装置における第１駆動機構３、第２駆動機構４、第１カメラ６、第２カメラ７及びコントローラー８は、図１の処理装置における第１駆動機構３、第２駆動機構４、第１カメラ６、第２カメラ７及びコントローラー８と同様とすることができる。このため、図５の処理装置について、図１の処理装置と重複する説明は省略する。 The first drive mechanism 3, the second drive mechanism 4, the first camera 6, the second camera 7 and the controller 8 in the processing apparatus of FIG. 5 are the first drive mechanism 3, the second drive mechanism 4, and the like in the processing apparatus of FIG. The first camera 6, the second camera 7, and the controller 8 can be the same. Therefore, the description of the processing apparatus in FIG. 5 that is the same as the processing apparatus in FIG. 1 is omitted.

＜フレキシブルプリント基板＞
当該処理装置により孔が開けられるフレキシブルプリント基板Ｐａは、リール状に巻き取られて提供され、巻き解かれて長手方向一端側から順に把持デバイス５ａに保持された状態でダイ２１及びパンチ２２により貫通孔が形成され、リール状に巻き取られる。 <Flexible printed circuit board>
The flexible printed circuit board Pa to be perforated by the processing apparatus is provided by being wound in a reel shape, unwound and sequentially penetrated by the die 21 and the punch 22 while being held by the gripping device 5a from one end in the longitudinal direction. A hole is formed and wound into a reel.

＜加工ヘッド＞
ダイ２１及びパンチ２２は、フレキシブルプリント基板Ｐａを挟んで対向するよう配設され、パンチ２２の断面形状がダイ２１に形成されるパンチ孔２３と合致するよう形成される。当該処理装置は、ダイ２１上にフレキシブルプリント基板Ｐａを配置した状態で、パンチ孔２３にパンチ２２を挿入するようにしてフレキシブルプリント基板Ｐａに孔を形成する。 <Processing head>
The die 21 and the punch 22 are disposed so as to face each other with the flexible printed board Pa interposed therebetween, and are formed so that the cross-sectional shape of the punch 22 matches the punch hole 23 formed in the die 21. The processing apparatus forms a hole in the flexible printed circuit board Pa by inserting the punch 22 into the punch hole 23 with the flexible printed circuit board Pa placed on the die 21.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ａは、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁（両側縁）を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向の位置を、ダイ２１及びパンチ２２による加工位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of gripping devices 5 a grip the outer edges (both side edges) of the flexible printed circuit board Pa, thereby roughly holding the position in the normal direction of the flexible printed circuit board Pa at the processing position by the die 21 and the punch 22.

各把持デバイス５ａは、図６に示すように、フレキシブルプリント基板Ｐａの外縁を把持する把持部１２ａと、把持部１２ａを支持する支持部１３ａとを備えている。把持デバイス５ａの支持部１３ａは、支持する把持部１２ａに対して１自由度の受動的な運動機構である平行移動機構を有している。つまり、把持デバイス５ａにおいて、把持部１２ａは、支持部１３ａによって平行移動可能に支持されている。 As shown in FIG. 6, each gripping device 5a includes a gripping portion 12a that grips the outer edge of the flexible printed circuit board Pa, and a support portion 13a that supports the gripping portion 12a. The support portion 13a of the gripping device 5a has a parallel movement mechanism that is a passive motion mechanism with one degree of freedom with respect to the gripping portion 12a to be supported. That is, in the grip device 5a, the grip portion 12a is supported by the support portion 13a so as to be movable in parallel.

（把持部）
把持部１２ａは、支持部１３ａによって支持されるクランプベース１４ａと、このクランプベース１４ａに可動に配設され、クランプベース１４ａとの間にフレキシブルプリント基板Ｐａを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図６の把持部１２ａのフレキシブルプリント基板Ｐａを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。 (Gripping part)
The grip portion 12a is supported by the support portion 13a, the clamp base 14a is movably disposed on the clamp base 14a, and the clamp arm 15 sandwiches the flexible printed circuit board Pa between the clamp base 14a. And an actuator 16 for driving the motor. The structure for gripping the flexible printed circuit board Pa of the gripping part 12a of FIG. 6 can be the same as the structure for gripping the flexible printed circuit board P of the gripping part 12 of FIG.

（支持部）
支持部１３ａは、平行移動機構として、図示するように、リニアガイド２４（ガイドレールとスライダーと組み合わせ）を有する構成とすることができる。リニアガイド２４は、把持部１２ａをフレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向（パンチ２２の動作方向）に移動可能に支持する。つまり、支持部１３ａの平行移動機構による把持部１２ａの平行移動は、フレキシブルプリント基板Ｐａの法線方向の平行移動である。 (Support part)
As shown in the figure, the support portion 13a can be configured to have a linear guide 24 (in combination with a guide rail and a slider) as a parallel movement mechanism. The linear guide 24 supports the grip portion 12a so as to be movable in the normal direction of the flexible printed circuit board Pa (the operation direction of the punch 22). That is, the parallel movement of the grip part 12a by the parallel movement mechanism of the support part 13a is a parallel movement in the normal direction of the flexible printed circuit board Pa.

また、支持部１３ａは、把持部１２ａを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。支持部１３ａが復原機構を有することによって、把持するフレキシブルプリント基板Ｐの複数の把持デバイス５ａの把持部１２ａにより把持される部分の表面を同一平面上に配置し、フレキシブルプリント基板Ｐに不必要な応力を作用させるような把持部１２ａ間の位置ずれを抑制することができる。 The support portion 13a further includes a restoring mechanism that automatically returns the grip portion 12a to the initial position. Since the support portion 13a has the restoration mechanism, the surface of the portion to be gripped by the gripping portions 12a of the plurality of gripping devices 5a of the flexible printed circuit board P to be gripped is arranged on the same plane, which is unnecessary for the flexible printed circuit board P. It is possible to suppress a positional shift between the gripping portions 12a that causes a stress to act.

この復原機構としては、図示するように、把持部１２ａのクランプベース１４ａをリニアガイド２４にそって一方向に平行移動させるよう押圧するばね１８ａと、クランプベース１４ａに当接してばね１８ａの押圧力に対抗してクランプベース１４ａの平行移動を制止するストッパー１９とを有する構成とすることができる。このような復原機構は、把持部１２ａを初期位置から一方側にのみ移動可能とする。この把持部１２ａの初期位置からの移動可能方向としては、パンチ２２側とされ、典型的には上側とされる。 As shown in the figure, the restoring mechanism includes a spring 18a that presses the clamp base 14a of the gripping portion 12a in parallel along the linear guide 24, and a pressing force of the spring 18a that contacts the clamp base 14a. And a stopper 19 for stopping the parallel movement of the clamp base 14a. Such a restoring mechanism enables the grip portion 12a to move only from one position to the one side. The direction in which the grip portion 12a can move from the initial position is the punch 22 side, typically the upper side.

＜利点＞
当該処理装置は、フレキシブルプリント基板Ｐａをダイ２１により法線方向に押圧しても、把持部１２ａが平行移動することによって、把持部１２ａのエッジでフレキシブルプリント基板Ｐａが損傷することを防止することができる。このため、当該処理装置は、ダイ２１の当接面を、把持部１２ａによるフレキシブルプリント基板Ｐａの外縁の把持位置の厚さ方向中心を含む基準平面よりもパンチ２２側に突出させるよう圧接することにより、フレキシブルプリント基板Ｐａに張力を作用させて反りやうねりを除去して、精度よく孔開け加工を行うことができる。 <Advantages>
The processing apparatus prevents the flexible printed circuit board Pa from being damaged at the edge of the gripping portion 12a by the parallel movement of the gripping portion 12a even when the flexible printed circuit board Pa is pressed in the normal direction by the die 21. Can do. For this reason, the said processing apparatus press-contacts so that the contact surface of die | dye 21 may protrude in the punch 22 side rather than the reference plane containing the thickness direction center of the holding position of the outer edge of flexible printed circuit board Pa by the holding part 12a. As a result, the tension can be applied to the flexible printed circuit board Pa to remove warpage and undulation, and the drilling can be performed with high accuracy.

［第三実施形態］
図７に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｂを示す。この把持デバイス５ｂは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。 [Third embodiment]
FIG. 7 shows a gripping device 5b according to a processing apparatus of still another embodiment of the present invention. The gripping device 5b is used in place of the gripping device 5 of the processing apparatus of FIG. 1 to constitute a processing apparatus of an embodiment different from that of FIG.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｂは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of holding devices 5b hold the outer edge of the flexible printed circuit board P, thereby roughly holding the position in the normal direction of the flexible printed circuit board P at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

把持デバイス５ｂは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｂと、把持部１２ｂを支持する支持部１３ｂとを備えている。把持デバイス５ｂの支持部１３ｂは、支持する把持部１２ｂに対して１自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｂにおいて、把持部１２ｂは、支持部１３ｂによって首振り可能に支持されている。 The gripping device 5b includes a gripping portion 12b that grips the outer edge of the flexible printed circuit board P, and a support portion 13b that supports the gripping portion 12b. The support portion 13b of the gripping device 5b has a swing mechanism that is a passive motion mechanism with one degree of freedom with respect to the gripping portion 12b to be supported. That is, in the grip device 5b, the grip portion 12b is supported by the support portion 13b so as to be able to swing.

（把持部）
把持部１２ｂは、支持部１３ｂによって支持されるクランプベース１４ｂと、このクランプベース１４ｂに可動に配設され、クランプベース１４ｂとの間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図７の把持部１２ｂのフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。 (Gripping part)
The grip 12b is supported by a support 13b, a clamp base 14b, a clamp arm 15 that is movably disposed on the clamp base 14b, and sandwiches the flexible printed board P between the clamp base 14b, and the clamp arm 15 And an actuator 16 for driving the motor. The structure for gripping the flexible printed circuit board P of the gripping part 12b in FIG. 7 can be the same as the structure for gripping the flexible printed circuit board P of the gripping part 12 in FIG.

（支持部）
支持部１３ｂは、首振り機構として、支持軸１７を中心に回動可能に把持部１２ｂのクランプベース１４ｂを支持する構成を有する。支持軸１７は、把持部１２ｂが把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう、クランプアーム１５の動作を阻害しない位置に配設される。従って、支持部１３ｂの首振り機構による把持部１２ｂの首振りは、フレキシブルプリント基板Ｐの表面と平行、より詳しくは把持する部分の側縁と平行な支持軸１７を中心とする旋回動作である。 (Support part)
The support portion 13b has a configuration that supports the clamp base 14b of the grip portion 12b so as to be rotatable about the support shaft 17 as a swing mechanism. The support shaft 17 is disposed at a position that does not hinder the operation of the clamp arm 15 so as to be parallel to the side edge of the flexible printed board P gripped by the grip portion 12b. Therefore, the swinging of the gripping portion 12b by the swinging mechanism of the support portion 13b is a turning operation around the support shaft 17 parallel to the surface of the flexible printed circuit board P, more specifically, to the side edge of the gripped portion. .

また、支持部１３ｂは、把持部１２ｂを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、把持部１２ｂのクランプベース１４ｂの支持軸１７に垂直な方向に開口するよう形成される凹部２５にばね２６によって係合片２７を押圧する構成とすることができる。 The support portion 13b further includes a restoring mechanism that automatically returns the grip portion 12b to the initial position. As shown in the figure, the restoring mechanism is configured such that the engagement piece 27 is pressed by a spring 26 into a recess 25 formed so as to open in a direction perpendicular to the support shaft 17 of the clamp base 14b of the grip portion 12b. Can do.

凹部２５は、支持軸１７から一定の距離を空けた位置に配設するとよい。係合片２７は、支持部１３ｂに、支持軸１７と垂直な方向（径方向）に移動可能に、つまり支持軸１７に向かって突出及び後退できるように配設されるとよい。また、ばね２６及び係合片２７は、支持部１３ｂに組み込むことができる。このような復原機構は、支持軸１７を中心として把持部１２ｂを初期位置からどちらの方向にも旋回可能とする。 The recess 25 may be disposed at a position spaced apart from the support shaft 17 by a certain distance. The engagement piece 27 may be disposed on the support portion 13b so as to be movable in a direction (radial direction) perpendicular to the support shaft 17, that is, to be able to protrude and retract toward the support shaft 17. Further, the spring 26 and the engagement piece 27 can be incorporated into the support portion 13b. Such a restoring mechanism enables the grip portion 12b to turn in either direction from the initial position around the support shaft 17.

凹部２５の形状としては、支持軸１７に垂直な断面形状が略Ｖ字状の溝が好ましい。このＶ字状の一対の斜面間の角度としては１２０°以上１６０°以下とすることができる。また、ばね２５としては、圧縮ばねを用いることができる。また、係合片２７は、支持軸１７に直交する方向に移動可能となるよう支持部１３ｂに配設され、凹部２５に当接する球面又は円筒面を有する部材とすることができる。 As the shape of the recess 25, a groove having a substantially V-shaped cross section perpendicular to the support shaft 17 is preferable. The angle between the pair of V-shaped slopes can be 120 ° or more and 160 ° or less. As the spring 25, a compression spring can be used. Further, the engagement piece 27 can be a member having a spherical surface or a cylindrical surface that is disposed on the support portion 13 b so as to be movable in a direction orthogonal to the support shaft 17 and abuts against the recess 25.

このような構成により、クランプベース１４ｂの旋回により凹部２５の斜面が係合片２７を支持軸１７から離間する方向に押し出してばね２６を圧縮して復元力を蓄積することができる。この状態で、クランプベース１４ｂを旋回させる力が除去された場合、ばね２６が伸長して係合片２７により凹部２５の斜面を押圧してクランプベース１４ｂを旋回させることで、係合片２７を凹部２５内の一対の斜面の両方に当接させる。これにより、クランプベース１４ｂひいては把持部１２ｂを初期位置に自動復帰させる。 With such a configuration, the inclined surface of the recess 25 pushes the engaging piece 27 away from the support shaft 17 by turning the clamp base 14b, compressing the spring 26, and accumulating restoring force. In this state, when the force for turning the clamp base 14b is removed, the spring 26 is extended, the slope of the recess 25 is pressed by the engagement piece 27, and the clamp base 14b is turned to turn the engagement piece 27. It is made to contact | abut to both of a pair of slope in the recessed part 25. FIG. As a result, the clamp base 14b and thus the gripping portion 12b are automatically returned to the initial position.

［第四実施形態］
図８に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｃを示す。この把持デバイス５ｃは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。 [Fourth embodiment]
FIG. 8 shows a gripping device 5c according to a processing apparatus of still another embodiment of the present invention. The gripping device 5c is used in place of the gripping device 5 of the processing apparatus in FIG. 1 to constitute a processing apparatus of an embodiment different from that in FIG.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｃは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of gripping devices 5c grip the outer edge of the flexible printed circuit board P, thereby roughly holding the position in the normal direction of the flexible printed circuit board P at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

各把持デバイス５ｃは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｃと、把持部１２ｃを支持する支持部１３ｃとを備えている。把持デバイス５ｃの支持部１３ｃは、支持する把持部１２ｃに対して１自由度の受動的な運動機構である平行移動機構を有している。つまり、把持デバイス５ｃにおいて、把持部１２ｃは、支持部１３ｃによって平行移動可能に支持されている。 Each gripping device 5c includes a gripping portion 12c that grips the outer edge of the flexible printed circuit board P, and a support portion 13c that supports the gripping portion 12c. The support portion 13c of the gripping device 5c has a parallel movement mechanism that is a passive motion mechanism with one degree of freedom with respect to the gripping portion 12c to be supported. That is, in the grip device 5c, the grip portion 12c is supported by the support portion 13c so as to be movable in parallel.

（把持部）
把持部１２ｃは、支持部１３ｃによって支持されるクランプベース１４ｃと、このクランプベース１４ｃに可動に配設され、クランプベース１４ｃとの間にフレキシブルプリント基板Ｐを挟み込むクランプアーム１５と、このクランプアーム１５を駆動するアクチュエーター１６とを備える構成とすることができる。図８の把持部１２ｃのフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造としては、図２の把持部１２のフレキシブルプリント基板Ｐを把持するための構造と同様とすることができる。 (Gripping part)
The grip 12c is supported by a support 13c, a clamp base 14c, a clamp arm 15 that is movably disposed on the clamp base 14c, and sandwiches the flexible printed circuit board P between the clamp base 14c, and the clamp arm 15 And an actuator 16 for driving the motor. The structure for holding the flexible printed circuit board P of the holding part 12c in FIG. 8 can be the same as the structure for holding the flexible printed circuit board P in the holding part 12 in FIG.

（支持部）
支持部１３ｃは、平行移動機構として、図示するように、リニアガイド２４を有する構成とすることができる。リニアガイド２４は、把持部１２ｃをフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向に移動可能に支持する。つまり、支持部１３ｃの平行移動機構による把持部１２ｃの平行移動は、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の平行移動である。 (Support part)
The support portion 13c can be configured to have a linear guide 24 as shown in the figure as a parallel movement mechanism. The linear guide 24 supports the grip portion 12c so as to be movable in the normal direction of the flexible printed circuit board P. That is, the parallel movement of the grip portion 12c by the parallel movement mechanism of the support portion 13c is a parallel movement in the normal direction of the flexible printed circuit board P.

また、支持部１３ｃは、把持部１２ｃの初期位置からフレキシブルプリント基板Ｐの法線方向両側への平行移動を許容すると共に、把持部１２ｃを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。このように、支持部１３ｃが復原機構を有することによって、把持部１２ｃのエッジでフレキシブルプリント基板Ｐにフレキシブルワークが損傷することを抑制できる。 In addition, the support portion 13c further includes a restoring mechanism that allows the parallel movement of the flexible printed circuit board P from the initial position of the grip portion 12c to both sides in the normal direction, and automatically returns the grip portion 12c to the initial position. As described above, since the support portion 13c has the restoration mechanism, it is possible to prevent the flexible work from being damaged by the flexible printed circuit board P at the edge of the grip portion 12c.

この復原機構としては、図示するように、把持部１２ｃのクランプベース１４ｃのリニアガイド２４の可動方向に垂直な方向に開口するよう形成される凹部２５にばね２６によって係合片２７を押圧する構成とすることができる。図８の把持デバイス５ｃにおける復原機構の凹部２５、ばね２６及び係合片２７の構成としては、図７の把持デバイス５ｂにおける復原機構の凹部２５、ばね２６及び係合片２７の構成と同様とすることができる。 As shown in the figure, the restoring mechanism has a configuration in which an engaging piece 27 is pressed by a spring 26 into a recess 25 formed so as to open in a direction perpendicular to the movable direction of the linear guide 24 of the clamp base 14c of the grip portion 12c. It can be. The configuration of the recess 25, the spring 26, and the engaging piece 27 of the restoring mechanism in the gripping device 5c in FIG. 8 is the same as the configuration of the recess 25, the spring 26, and the engaging piece 27 of the restoring mechanism in the gripping device 5b in FIG. can do.

［第五実施形態］
図９乃至図１１に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｄを示す。この把持デバイス５ｄは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。 [Fifth embodiment]
9 to 11 show a gripping device 5d according to a processing apparatus of still another embodiment of the present invention. The gripping device 5d is used in place of the gripping device 5 of the processing apparatus of FIG. 1 to constitute a processing apparatus of an embodiment different from that of FIG.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｄは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of holding devices 5d hold the outer edge of the flexible printed circuit board P, thereby roughly holding the position in the normal direction of the flexible printed circuit board P at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

把持デバイス５ｄは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２と、把持部１２を支持する支持部１３ｄとを備えている。把持デバイス５ｄの支持部１３ｄは、支持する把持部１２に対して２自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｄにおいて、把持部１２は、支持部１３ｄによって２方向に首振り可能に支持されている。なお、図９乃至図１１の把持デバイス５ｄの把持部１２の構成は、図２の把持デバイス５の把持部１２の構成と同様とすることができる。このため、図９乃至図１１の把持デバイス５ｄの把持部１２の構成要素には、図２の把持デバイス５の構成要素と同じ符号を付して重複する説明を省略する。 The grip device 5 d includes a grip portion 12 that grips the outer edge of the flexible printed circuit board P and a support portion 13 d that supports the grip portion 12. The support portion 13d of the gripping device 5d has a swing mechanism that is a passive motion mechanism with two degrees of freedom with respect to the gripping portion 12 to be supported. That is, in the gripping device 5d, the gripping part 12 is supported by the support part 13d so as to be able to swing in two directions. The configuration of the gripping unit 12 of the gripping device 5d in FIGS. 9 to 11 can be the same as the configuration of the gripping unit 12 of the gripping device 5 in FIG. For this reason, the same reference numerals as those of the gripping device 5 in FIG. 2 are assigned to the components of the gripping unit 12 of the gripping device 5d in FIGS.

（支持部）
支持部１３ｄは、首振り機構として、第１支持軸２８を中心に回動可能に把持部１２のクランプベース１４を支持する第１支持部材２９と、第２支持軸３０を中心に回動可能に前記第１支持部材２９を支持する第２支持部材３１とを有する。 (Support part)
The support portion 13d can be rotated about a second support shaft 30 and a first support member 29 that supports the clamp base 14 of the grip portion 12 so as to be rotatable about the first support shaft 28 as a swing mechanism. And a second support member 31 that supports the first support member 29.

第１支持軸２８は、把持部１２が把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。また、第２支持軸３０は、フレキシブルプリント基板Ｐと平行かつ第１支持軸２８と垂直になるよう配設される。つまり、支持部１３ｄの首振り機構による把持部１２の首振りは、互いに直交する２方向の首振り動作である。 The first support shaft 28 is disposed so as to be parallel to the side edge of the flexible printed board P gripped by the grip portion 12. The second support shaft 30 is disposed so as to be parallel to the flexible printed circuit board P and perpendicular to the first support shaft 28. That is, the swinging of the grip portion 12 by the swing mechanism of the support portion 13d is a swinging operation in two directions orthogonal to each other.

また、支持部１３ｄは、把持部１２を初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、把持部１２のクランプベース１４を第１支持軸２８の周りに一方向に回動させるよう押圧する第１ばね３２と、第１支持部材２９に設けられ、クランプベース１４に当接して第１ばね３２の押圧力に対抗してクランプベース１４の回動を制止する第１ストッパー３３と、第１支持部材２９を第２支持軸３０の周りに一方向に回動させるよう押圧する第２ばね３４と、第２支持部材３１に設けられ、第１支持部材２９に当接して第２ばね３４の押圧力に対抗して第１支持部材２９の回動を制止する第２ストッパー３５とを有する構成とすることができる。 The support portion 13d further includes a restoring mechanism that automatically returns the grip portion 12 to the initial position. As shown in the figure, the restoring mechanism is provided on the first support member 29 and the first spring 32 that presses the clamp base 14 of the grip portion 12 to rotate around the first support shaft 28 in one direction. The first stopper 33 that stops the rotation of the clamp base 14 against the pressing force of the first spring 32 by contacting the clamp base 14 and the first support member 29 around the second support shaft 30 in one direction. A second spring 34 that presses the first support member 29 and the second support member 31. The first support member 29 rotates against the pressing force of the second spring 34 by contacting the first support member 29. It can be set as the structure which has the 2nd stopper 35 which restrains.

また、把持部１２の初期位置を調節可能にするために、クランプベース１４の第１ストッパー３３に当接する部分又は第１ストッパー３３に第１当接部材３６を設け、第１支持部材２９の第２ストッパー３５に当接する部分又は第２ストッパー３５に第２当接部材３７を設けてもよい。 Further, in order to make the initial position of the gripping part 12 adjustable, a first contact member 36 is provided on a portion of the clamp base 14 that contacts the first stopper 33 or the first stopper 33, and the first support member 29 The second abutting member 37 may be provided on the part that abuts on the second stopper 35 or on the second stopper 35.

［第六実施形態］
図１２に、本発明のさらに別の実施形態の処理装置に係る把持デバイス５ｅを示す。この把持デバイス５ｅは、図１の処理装置の把持デバイス５に替えて使用することで、図１とは異なる実施形態の処理装置を構成する。 [Sixth embodiment]
FIG. 12 shows a gripping device 5e according to a processing apparatus of still another embodiment of the present invention. The gripping device 5e is used in place of the gripping device 5 of the processing apparatus of FIG. 1 to constitute a processing apparatus of an embodiment different from that of FIG.

＜把持デバイス＞
複数の把持デバイス５ｅは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持することにより、フレキシブルプリント基板Ｐの法線方向の位置を、第１電気検査ヘッド１及び第２電気検査ヘッド２による検査位置に概略保持する。 <Gripping device>
The plurality of holding devices 5e hold the outer edge of the flexible printed circuit board P, thereby roughly holding the position in the normal direction of the flexible printed circuit board P at the inspection position by the first electric inspection head 1 and the second electric inspection head 2. To do.

把持デバイス５ｅは、フレキシブルプリント基板Ｐの外縁を把持する把持部１２ｂと、把持部１２ｂを支持する支持部１３ｅとを備えている。把持デバイス５ｅの支持部１３ｅは、支持する把持部１２ｂに対して２自由度の受動的な運動機構である首振り機構を有している。つまり、把持デバイス５ｅにおいて、把持部１２ｂは、支持部１３ｅによって２方向に首振り可能に支持されている。なお、図１２の把持デバイス５ｅの把持部１２ｂの構成は、図７の把持デバイス５ｂの把持部１２ｂの構成と同様とすることができる。このため、図１２の把持デバイス５ｅの把持部１２ｂの構成要素には、図７の把持デバイス５ｂの構成要素と同じ符号を付して重複する説明を省略する。 The gripping device 5e includes a gripping portion 12b that grips the outer edge of the flexible printed circuit board P, and a support portion 13e that supports the gripping portion 12b. The support portion 13e of the gripping device 5e has a swing mechanism that is a passive motion mechanism with two degrees of freedom with respect to the gripping portion 12b to be supported. That is, in the grip device 5e, the grip portion 12b is supported by the support portion 13e so as to be able to swing in two directions. The configuration of the grip portion 12b of the grip device 5e in FIG. 12 can be the same as the configuration of the grip portion 12b of the grip device 5b in FIG. For this reason, the same reference numerals as those of the gripping device 5b in FIG. 7 are assigned to the components of the gripping part 12b of the gripping device 5e in FIG.

（支持部）
支持部１３ｅは、首振り機構として、第１支持軸２８を中心に回動可能に把持部１２ｂのクランプベース１４ｂを支持する第１支持部材２９ｅと、第２支持軸３０を中心に回動可能に前記第１支持部材２９ｅを支持する第２支持部材３１ｅとを有する。 (Support part)
As a swing mechanism, the support portion 13e is rotatable about a first support member 29e that supports the clamp base 14b of the holding portion 12b and a second support shaft 30 so as to be rotatable about the first support shaft 28. And a second support member 31e for supporting the first support member 29e.

第１支持軸２８は、把持部１２ｂが把持するフレキシブルプリント基板Ｐの側縁と平行になるよう配設される。また、第２支持軸３０は、フレキシブルプリント基板Ｐと平行かつ第１支持軸３０と垂直になるよう配設される。つまり、支持部１３ｅの首振り機構による把持部１２ｂの首振りは、互いに直交する２方向の首振り動作である。 The first support shaft 28 is disposed so as to be parallel to the side edge of the flexible printed circuit board P held by the holding portion 12b. The second support shaft 30 is disposed so as to be parallel to the flexible printed circuit board P and perpendicular to the first support shaft 30. That is, the swinging of the gripping part 12b by the swinging mechanism of the support part 13e is a swinging operation in two directions orthogonal to each other.

また、支持部１３ｅは、把持部１２ｂを初期位置に自動復帰する復原機構をさらに有する。この復原機構としては、図示するように、クランプベース１４ｂの第１支持軸２８に垂直な方向に開口するよう形成される第１凹部３８に第１ばね３９によって第１係合片４０を押圧すると共に、第１支持部材２９ｅの第２支持軸３０に垂直な方向に開口するよう形成される第２凹部４１に第２ばね４２によって第２係合片４３を押圧する構成とすることができる。 The support portion 13e further includes a restoring mechanism that automatically returns the grip portion 12b to the initial position. As shown in the figure, the restoring mechanism presses the first engagement piece 40 by a first spring 39 to a first recess 38 formed to open in a direction perpendicular to the first support shaft 28 of the clamp base 14b. In addition, the second engagement piece 43 can be configured to be pressed by the second spring 42 into the second recess 41 formed so as to open in a direction perpendicular to the second support shaft 30 of the first support member 29e.

［その他の実施形態］
前記実施形態は、本発明の構成を限定するものではない。従って、前記実施形態は、本明細書の記載及び技術常識に基づいて前記実施形態各部の構成要素の省略、置換又は追加が可能であり、それらは全て本発明の範囲に属するものと解釈されるべきである。 [Other Embodiments]
The said embodiment does not limit the structure of this invention. Therefore, in the above-described embodiment, components of each part of the above-described embodiment can be omitted, replaced, or added based on the description and common general knowledge of the present specification, and they are all interpreted as belonging to the scope of the present invention. Should.

当該処理装置の支持部は、把持部を３自由度以上の自由度で支持するよう構成されてもよい。 The support part of the processing apparatus may be configured to support the grip part with three or more degrees of freedom.

当該処理装置において、復原機構は省略してもよい。 In the processing apparatus, the restoration mechanism may be omitted.

当該処理装置は、電気検査ヘッドを用いる電気検査以外の例えば光学センサを用いる検査等を行う検査装置であってもよく、穿孔以外の例えばレーザー加工等を行う加工装置であってもよい。また、電気検査装置の実施形態の把持デバイスの構成を加工装置に適用してもよく、加工装置の実施形態の把持デバイスの構成を検査装置に適用してもよい。 The processing apparatus may be an inspection apparatus that performs, for example, an inspection that uses an optical sensor other than an electrical inspection that uses an electric inspection head, or may be a processing apparatus that performs, for example, laser processing other than drilling. In addition, the configuration of the gripping device according to the embodiment of the electrical inspection apparatus may be applied to the processing apparatus, and the configuration of the gripping device according to the embodiment of the processing apparatus may be applied to the inspection apparatus.

本発明に係る電気検査装置は、可撓性を有し、反りやうねりを生じ得るプリント基板の電気検査に好適に利用することができる。 The electrical inspection apparatus according to the present invention has flexibility and can be suitably used for electrical inspection of printed circuit boards that can be warped or swelled.

１第１電気検査ヘッド
２第２電気検査ヘッド
３第１駆動機構
４第２駆動機構
５，５ａ，５ｂ，５ｃ，５ｄ，５ｅ把持デバイス
６第１カメラ
７第２カメラ
８コントローラー
９プローブ
１０ガイドプレート
１１当接面
１２，１２ａ，１２ｂ，１２ｃ把持部
１３，１３ａ，１３ｂ，１３ｃ，１３ｄ，１３ｅ支持部
１４，１４ａ，１４ｂ，１４ｃクランプベース
１５クランプアーム
１６アクチュエーター
１７支持軸
１８，１８ａばね
１９ストッパー
２０当接部材
２１ダイ
２２パンチ
２３パンチ孔
２４リニアガイド
２５凹部
２６ばね
２７係合片
２８第１支持軸
２９，２９ｅ第１支持部材
３０第２支持軸
３１，３１ｅ第２支持部材
３２第１ばね
３３第１ストッパー
３４第２ばね
３５第２ストッパー
３６第１当接部材
３７第２当接部材
３８第１凹部
３９第１ばね
４０第１係合片
４１第２凹部
４２第２ばね
４３第２係合片
Ｐ，Ｐａフレキシブルプリント基板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 1st electrical test head 2 2nd electrical test head 3 1st drive mechanism 4 2nd drive mechanism 5, 5a, 5b, 5c, 5d, 5e Grasping device 6 1st camera 7 2nd camera 8 Controller 9 Probe 10 Guide plate 11 Contact surface 12, 12a, 12b, 12c Grasping part 13, 13a, 13b, 13c, 13d, 13e Support part 14, 14a, 14b, 14c Clamp base 15 Clamp arm 16 Actuator 17 Support shaft 18, 18a Spring 19 Stopper 20 Contact member 21 Die 22 Punch 23 Punch hole 24 Linear guide 25 Recess 26 Spring 27 Engagement piece 28 First support shaft 29, 29e First support member 30 Second support shaft 31, 31e Second support member 32 First spring 33 First stopper 34 Second spring 35 Second stopper 36 First contact member 37 Second contact Member 38 1st recessed part 39 1st spring 40 1st engaging piece 41 2nd recessed part 42 2nd spring 43 2nd engaging piece P, Pa flexible printed circuit board

Claims

A plurality of gripping parts for gripping the outer edge of a plate-like flexible work to be inspected or processed;
A processing apparatus comprising: a supporting unit that supports each of the gripping units and has a parallel movement mechanism or a swing mechanism having one or more degrees of freedom with respect to the supporting gripping unit.

The processing apparatus according to claim 1, wherein the support unit includes a translation mechanism that translates the flexible work in a normal direction.

The processing apparatus according to claim 2, wherein the translation mechanism is a one-degree-of-freedom motion mechanism.

The processing apparatus according to claim 1, wherein the support portion has a swing mechanism for turning the flexible work about an axis parallel to the surface thereof.

The processing apparatus according to claim 4, wherein the swing mechanism is a motion mechanism having two degrees of freedom.

The processing apparatus according to any one of claims 1 to 5, further comprising a restoration mechanism that automatically returns the gripping portion supported by the support portion to an initial position.

The processing apparatus according to any one of claims 1 to 6, further comprising an inspection head or a processing head configured to be movable so as to contact the surface of the flexible work.