JP2018056734A - 超音波トランスデューサ、その製造方法および超音波撮像装置 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本実施の形態に係るCMUTのセル1個分の領域を示す平面図、図2(a)は、図1のIIa−IIa線断面図、図2(b)は、図1のIIb−IIb線断面図である。なお、図1は、主として上下の電極とそれらの間に形成された空洞部の平面レイアウトを示しており、絶縁膜の図示は省略されている。
図21は、前記実施の形態1のCMUTを備えた超音波撮像装置の外観を示す斜視図、図22は、図21に示す超音波撮像装置の機能を示すブロック図である。
102 絶縁膜
103 下部電極
104 絶縁膜
105 犠牲層
106 絶縁膜
107 上部電極
108 絶縁膜
109 開口
110 空洞部
111 絶縁膜
112 絶縁膜
113 接続孔
114 接続孔
115 パッド
116 パッド
118 側壁部
120 メンブレン
205 犠牲層
210 空洞部
213 接続孔
214 接続孔
215 パッド
216 パッド
301 超音波撮像装置
302 超音波探触子
303 表示部
304 入力部
305 本体
306 超音波探触子接続部
307 超音波トランスデューサ
308 キャスタ
411 超音波送受信部
412 信号処理部
413 制御部
414 メモリ部
415 電源装置
416 補助装置
Claims (12)
- 基板と、
前記基板上に形成された下部電極と、
前記下部電極上に順次形成された第1および第2絶縁膜の間に設けられた空洞部と、
前記空洞部の上方の前記第2絶縁膜上に形成された上部電極と、
前記上部電極上に順次形成された第3および第4絶縁膜と、
前記空洞部上の前記第2絶縁膜、前記上部電極、前記第3および第4絶縁膜によって構成されるメンブレンと、
を有し、
前記空洞部は、中心部の厚さをh1とし、外周部の厚さをh2としたときに、h1>h2>0の関係が成り立つ断面形状を有する、超音波トランスデューサ。 - 請求項1記載の超音波トランスデューサにおいて、
前記空洞部の厚さは、前記中心部から前記外周部に向かって曲線的に単調減少している、超音波トランスデューサ。 - 請求項1記載の超音波トランスデューサにおいて、
前記空洞部の厚さは、前記中心部から前記外周部に向かって直線的に減少している、超音波トランスデューサ。 - 請求項1記載の超音波トランスデューサにおいて、
前記空洞部は、前記空洞部上の前記第2絶縁膜側に凹部または凸部を有し、
前記空洞部の厚さは、前記中心部から前記外周部に向かって曲線的に減少している、超音波トランスデューサ。 - 請求項1記載の超音波トランスデューサにおいて、
前記空洞部の底面は平坦である、超音波トランスデューサ。 - 請求項1記載の超音波トランスデューサにおいて、
前記中心部の厚さ(h1)は、前記外周部の厚さ(h2)の1.5倍以上である、超音波トランスデューサ。 - 請求項1記載の超音波トランスデューサにおいて、
平面視において前記空洞部と前記上部電極とが重なる領域の面積は、前記空洞部の面積の75%以上である、超音波トランスデューサ。 - 請求項1記載の超音波トランスデューサにおいて、
前記第4絶縁膜上に形成され、前記第2、第3および第4絶縁膜よりも残留応力が高い第5絶縁膜をさらに有する、超音波トランスデューサ。 - (a)基板上に下部電極および第1絶縁膜を順次形成する工程、
(b)前記第1絶縁膜上に犠牲層を形成する工程、
(c)前記第1絶縁膜および前記犠牲層を覆う第2絶縁膜を形成する工程、
(d)前記第2絶縁膜上に上部電極を形成する工程、
(e)前記第2絶縁膜および前記上部電極を覆う第3絶縁膜を形成する工程、
(f)前記第3および第2絶縁膜の各一部を除去して前記犠牲層の表面に達する開口を形成する工程、
(g)前記開口を通じて前記犠牲層を除去することにより、前記第1および第2絶縁膜の間に空洞部を形成する工程、
(h)前記第3絶縁膜上に第4絶縁膜を形成することによって、前記開口に前記第4絶縁膜を埋め込む工程、
(i)前記第4絶縁膜上に前記第2、第3および第4絶縁膜よりも残留応力が高い第5絶縁膜を堆積し、前記空洞部の上方の前記第2絶縁膜、前記上部電極、前記第3および第4絶縁膜を上方に引き上げることにより、前記空洞部の中心部の厚さを前記空洞部の外周部に沿った側壁部の厚さよりも大きくする工程、
を含む、超音波トランスデューサの製造方法。 - 請求項9記載の超音波トランスデューサの製造方法において、
前記(b)工程で前記第1絶縁膜上に形成される前記犠牲層は、前記犠牲層の中心部の厚さをh1とし、前記犠牲層の外周部の厚さをh2としたときに、h1>h2>0の関係が成り立つ断面形状を有する、超音波トランスデューサの製造方法。 - 請求項10記載の超音波トランスデューサの製造方法において、
前記(g)工程で、前記開口を通じて前記犠牲層にエッチング液を供給し、前記犠牲層を溶解して除去する、超音波トランスデューサの製造方法。 - 請求項1記載の超音波トランスデューサを有する超音波探触子を備えた、超音波撮像装置。
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JP6636516B2 (ja) * | 2015-06-04 | 2020-01-29 | 株式会社日立製作所 | 超音波トランスデューサ素子、及び超音波撮像装置 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009055474A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Olympus Medical Systems Corp | 超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 |
US20110068654A1 (en) * | 2009-09-21 | 2011-03-24 | Ching-Hsiang Cheng | Flexible capacitive micromachined ultrasonic transducer array with increased effective capacitance |
WO2013065365A1 (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-10 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波振動子エレメントおよび超音波内視鏡 |
JP2015142140A (ja) * | 2014-01-27 | 2015-08-03 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ |
JP2016072661A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波トランスデューサ、その製造方法、超音波トランスデューサアレイ及び超音波検査装置 |
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---|---|---|---|---|
JP2009055474A (ja) * | 2007-08-28 | 2009-03-12 | Olympus Medical Systems Corp | 超音波トランスデューサ、超音波診断装置及び超音波顕微鏡 |
US20110068654A1 (en) * | 2009-09-21 | 2011-03-24 | Ching-Hsiang Cheng | Flexible capacitive micromachined ultrasonic transducer array with increased effective capacitance |
WO2013065365A1 (ja) * | 2011-11-01 | 2013-05-10 | オリンパスメディカルシステムズ株式会社 | 超音波振動子エレメントおよび超音波内視鏡 |
JP2015142140A (ja) * | 2014-01-27 | 2015-08-03 | キヤノン株式会社 | 静電容量型トランスデューサ |
JP2016072661A (ja) * | 2014-09-26 | 2016-05-09 | 日立アロカメディカル株式会社 | 超音波トランスデューサ、その製造方法、超音波トランスデューサアレイ及び超音波検査装置 |
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