JP2018043890A - シリコン単結晶の製造方法及びこれに用いる黒鉛シート並びに石英ルツボ支持容器 - Google Patents
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Abstract
Description
2 シリコン融液
3 シリコン単結晶
10 チャンバー
10a メインチャンバー
10b プルチャンバー
10c ガス導入口
10d ガス排気口
10e 覗き窓
11 石英ルツボ
11a 石英ルツボの直胴部
11b 石英ルツボの底部
11c 石英ルツボのコーナー部
12 支持ルツボ
12a 支持ルツボの直胴部
12b 支持ルツボの底部
12c 支持ルツボのコーナー部
12h 支持ルツボの開口
13 回転シャフト
13a 回転シャフトの凸部
13b 回転シャフトの台座
14 シャフト駆動機構
15 ヒータ
16 断熱材
17 熱遮蔽体
17a 熱遮蔽体の開口
18 引き上げワイヤー
19 ワイヤー巻き取り機構
21 黒鉛シート
21a 第1のシート部材
21b 第2のシート部材
22a ベースシート
22b ベースシート
23 石英ルツボ支持容器
Claims (7)
- 支持ルツボ内に黒鉛シートを介して石英ルツボを収容すると共に、前記石英ルツボ内のシリコン融液からシリコン単結晶を引き上げるチョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造方法であって、
前記黒鉛シートは、前記石英ルツボの直胴部と接する第1の領域と、前記石英ルツボの底部と接する第2の領域とを有し、前記第2の領域の熱伝導率は前記第1の領域の熱伝導率よりも低いことを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記黒鉛シートの前記第2の領域の厚さは、前記黒鉛シートの前記第1の領域の厚さよりも厚い、請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。
- 前記黒鉛シートは、第1及び第2のシート部材を含み、
前記第1のシート部材は、前記石英ルツボの直胴部と接し、
前記第2のシート部材は、前記石英ルツボの底部と接している、請求項1又は2に記載のシリコン単結晶の製造方法。 - 前記第1及び第2のシート部材は、所定の厚さを有するベースシートを1枚又は2枚以上重ねてなるものであり、
前記第2のシート部材を構成する前記ベースシートの枚数は、前記第1のシート部材を構成する前記ベースシートの枚数よりも多い、請求項3に記載のシリコン単結晶の製造方法。 - 前記黒鉛シートは、第1及び第2のシート部材を含み、
前記第1のシート部材は、前記石英ルツボの直胴部と底部の両方と接しており、
前記第2のシート部材は、前記第1のシート部材を介して前記石英ルツボの底部と接している、請求項1又は2に記載のシリコン単結晶の製造方法。 - チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造においてシリコン融液を支持する石英ルツボと前記石英ルツボを収容する支持ルツボとの間に設けられる黒鉛シートであって、
前記石英ルツボの直胴部と接する第1の領域の熱伝導率が前記石英ルツボの底部と接する第2の領域の熱伝導率よりも低いことを特徴とする黒鉛シート。 - チョクラルスキー法によるシリコン単結晶の製造に用いられ、シリコン融液を支持する石英ルツボを収容する支持ルツボと、
前記石英ルツボと前記支持ルツボとの間に設けられる黒鉛シートとを備え、
前記黒鉛シートは、前記石英ルツボの直胴部と接する第1の領域と、前記石英ルツボの底部と接する第2の領域とを有し、前記第2の領域の熱伝導率は前記第1の領域の熱伝導率よりも低いことを特徴とする石英ルツボ支持容器。
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