JP2018040493A - Rotation mechanism and film thickness monitor comprising rotation mechanism - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、真空チャンバ内に配置されて、この真空チャンバ内に存する被回転体を回転駆動する回転機構及びこの回転機構を備えた膜厚モニターに関する。 The present invention relates to a rotation mechanism that is disposed in a vacuum chamber and rotationally drives a rotating body existing in the vacuum chamber, and to a film thickness monitor including the rotation mechanism.
例えば、基板表面に薄膜を成膜する真空蒸着装置においては、薄膜の膜厚を高精度で連続してモニターするために真空チャンバ内に膜厚モニターを設けることが一般であり、その中には、水晶振動子を用いるものがある。このような膜厚モニターは例えば特許文献1で知られている。このものは、水晶振動子を備えたモニター本体と、水晶振動子を局所的に露出させる被回転体としての円盤状部材とを備え、円盤状部材が真空チャンバ内に配置される、回転機構を構成するモータの駆動軸に直結されて回転駆動される。この場合、出力軸としての駆動軸は、通常、この駆動軸に外挿される転がり軸受で支承されている。
For example, in a vacuum deposition apparatus for forming a thin film on a substrate surface, it is common to provide a film thickness monitor in a vacuum chamber in order to continuously monitor the film thickness of the thin film with high accuracy. Some use a crystal resonator. Such a film thickness monitor is known from
ここで、水晶振動子は真空チャンバ内に設けた蒸発源に向けて配置されることから、円盤状部材もまた蒸発源に向けて配置されることになり、成膜中、蒸発源からの輻射熱で加熱されることになる。円盤状部材が加熱されると、円盤状部材の熱が駆動軸を介して転がり軸受の内輪へと伝わる。このため、内輪が優先して熱膨張して内輪と外輪との間のキャップが縮まることに起因して、転がり軸受自体が早期に疲労し易くなるという問題がある。 Here, since the crystal unit is disposed toward the evaporation source provided in the vacuum chamber, the disk-shaped member is also disposed toward the evaporation source, and radiant heat from the evaporation source is formed during film formation. Will be heated. When the disk-shaped member is heated, the heat of the disk-shaped member is transmitted to the inner ring of the rolling bearing via the drive shaft. For this reason, there is a problem that the rolling bearing itself is easily fatigued early because the inner ring is preferentially thermally expanded and the cap between the inner ring and the outer ring is contracted.
ところで、近年、例えば有機EL素子のように有機材料を用いた有機膜が広く利用されるようになっている。このような有機膜の真空蒸着に際して、水晶振動子を用いて膜厚をモニターする場合、有機膜は所謂弾性の膜であるため、金属膜や化合物膜と比較して水晶振動子の寿命が著しく短い。このため、例えば円盤状部材により局所的に露出される水晶振動子の面積を可及的に小さくしたりして水晶振動子の高寿命化を図っている。このような場合に、上記の如く、転がり軸受自体が早期に疲労し易くなったのでは、結局、長期に亘って膜厚をモニターすることができない。 By the way, in recent years, an organic film using an organic material such as an organic EL element has been widely used. When the film thickness is monitored using a crystal unit during vacuum deposition of such an organic film, the organic film is a so-called elastic film, so the life of the crystal unit is significantly longer than that of a metal film or a compound film. short. For this reason, for example, the area of the crystal resonator that is locally exposed by the disk-like member is made as small as possible to increase the life of the crystal resonator. In such a case, as described above, if the rolling bearing itself is easily fatigued at an early stage, the film thickness cannot be monitored over a long period of time.
本発明は、以上の点に鑑み、転がり軸受が疲労し難い構造を持ち、長寿命の回転機構及びこの回転機構を備えた膜厚モニターを提供することをその課題とするものである。 In view of the above points, an object of the present invention is to provide a long-life rotation mechanism having a structure in which a rolling bearing is not easily fatigued and a film thickness monitor provided with the rotation mechanism.
上記課題を解決するために、真空チャンバ内に配置されて被回転体を回転駆動する本発明の回転機構は、モータと、モータからの動力を受けて回転体を回転駆動する出力軸と、出力軸に外挿されてこの出力軸を支承する転がり軸受とを備えるものにおいて、回転体が回転力伝達手段を介して被回転体に連結されると共に、転がり軸受の外輪が回転力伝達手段に設けた溝部に嵌合されることを特徴とする。 In order to solve the above problems, a rotating mechanism of the present invention that is arranged in a vacuum chamber and rotationally drives a rotating body includes a motor, an output shaft that rotationally drives the rotating body by receiving power from the motor, and an output A rolling bearing that is extrapolated to a shaft and supports the output shaft, the rotating body is connected to the rotated body via the rotational force transmitting means, and the outer ring of the rolling bearing is provided in the rotational force transmitting means. It is characterized by being fitted into the groove portion.
本発明によれば、被回転体が加熱されたとき、被回転体からの熱が、回転力伝達手段を介して転がり軸受の外輪へと熱引きし、内輪より優先して外輪が熱膨張するようになる。このため、内輪と外輪との間のキャップが縮まることはなく、転がり軸受自体を疲労し難い構造にすることができる。 According to the present invention, when the rotating body is heated, the heat from the rotating body is drawn to the outer ring of the rolling bearing via the rotational force transmitting means, and the outer ring expands in preference to the inner ring. It becomes like this. For this reason, the cap between the inner ring and the outer ring is not shrunk, and the rolling bearing itself can be structured to be hard to be fatigued.
ところで、上記従来例のように、被回転体がモータの駆動軸(出力軸)に直結されていると、回転体が加熱されたときに、駆動軸にも熱引けし、モータ内の軸受が早期に疲労してモータ自体の寿命が短くなるおそれがある。このため、本発明においては、前記出力軸が前記モータの駆動軸に動力伝達手段を介して連結され、モータが冷却自在な枠体で保持されることが好ましい。これによれば、被回転体が加熱されたときのモータの駆動軸への熱引けを効果的に抑制でき、モータ自体を冷却できることと相俟って、モータを含む回転機構の長寿命化を達成することができ、有利である。 By the way, if the rotating body is directly connected to the drive shaft (output shaft) of the motor as in the above-described conventional example, when the rotating body is heated, the drive shaft is also attracted by heat, and the bearing in the motor is There is a risk that the life of the motor itself may be shortened by fatigue. For this reason, in the present invention, it is preferable that the output shaft is connected to the drive shaft of the motor via power transmission means, and the motor is held by a coolable frame. According to this, it is possible to effectively suppress the heat sink to the drive shaft of the motor when the rotated body is heated, and in combination with the ability to cool the motor itself, the life of the rotating mechanism including the motor can be extended. It can be achieved and is advantageous.
また、上記課題を解決するために、本発明の膜厚モニターは、請求項1または請求項2記載の回転機構と、水晶振動子を備えたモニター本体と、水晶振動子を局所的に露出させる被回転体としての円盤状部材とを備える。
In order to solve the above problems, a film thickness monitor according to the present invention exposes the crystal resonator locally, the rotating mechanism according to
以下、図面を参照して、被回転体を、水晶振動子を局所的に露出させる円盤状部材とし、この円盤状部材を真空チャンバ内で回転駆動する場合を例に本発明の回転機構及び膜厚モニターの実施形態を説明する。以下においては、「上」、「下」といった方向を示す用語は図1を基準とする。 Hereinafter, with reference to the drawings, the rotating member is a disk-shaped member that locally exposes the crystal resonator, and the rotating mechanism and the film of the present invention are exemplified in the case of rotating the disk-shaped member in a vacuum chamber. An embodiment of a thickness monitor will be described. In the following, terms indicating directions such as “up” and “down” are based on FIG.
図1を参照して、Cuは、図外の真空蒸着装置の真空チャンバ内に設けられて真空蒸着中に膜厚をモニターする、水晶振動子を備えた膜厚モニターのモニター本体である。なお、モニター本体自体は公知の構造のものが利用であるため、ここでは、詳細な説明を省略する。そして、膜厚モニターは、モニター本体Cuの上面に設けた水晶振動子を局所的に露出させる円盤状部材を回転駆動するために本実施形態の回転機構Muを備えている。 Referring to FIG. 1, Cu is a monitor main body of a film thickness monitor provided with a crystal resonator that is provided in a vacuum chamber of a vacuum vapor deposition apparatus (not shown) and monitors the film thickness during vacuum vapor deposition. Since the monitor body itself has a known structure, detailed description thereof is omitted here. The film thickness monitor includes the rotation mechanism Mu according to this embodiment in order to rotationally drive a disk-shaped member that locally exposes the crystal resonator provided on the upper surface of the monitor body Cu.
図2及び図3も参照して、回転機構Muは、ベース板11と、支持枠12と、支持枠12の上面を閉塞するキャップ板13とを有する、銅等の熱伝導のよい材料製の枠体1を備える。支持枠12内側でベース板11上にはフレーム14が立設され、フレーム14の外周には用途に応じて適宜選択されるモータ2が取り付けられている。枠体1には、冷媒用の通路15a,15b,15cが設けられ、冷媒(例えば、冷却水)を流通させて枠体1が、ひいては、モータ2が冷却できるようにしている。フレーム14内には、モータ2の駆動軸21の軸線に平行になるように出力軸3が挿設され、フレーム14内に設けた上下一対の転がり軸受31a,31bで支承されている。駆動軸21と出力軸3との上端には、互いに噛合うギア22,32が夫々設けられ、動力伝達手段としてのギア22,32によりモータ2の動力が出力軸3に伝達されて出力軸3が回転駆動される。キャップ板13から上方に突出した出力軸3の上端には、回転体としての回転板4が取り付けられると共に、出力軸3の上端部分には、この上端部分の外周面から間隔を存してスリーブ部材33が外挿されている。この場合、スリーブ部材33の上端と回転板4の下面との間には隙間が設けられ、スリーブ部材33の内周面と出力軸3の外周面との間にも隙間が設けられている。また、回転板4には周方向に所定間隔(120°)でその中心に向かって窪む凹状の切欠き41が設けられている。
Referring also to FIGS. 2 and 3, the rotation mechanism Mu is made of a material having good heat conductivity such as copper, which includes a
回転板4の下側には、所定の隙間を存して環状のブロック体5aが設けられている。ブロック体5aの内周面には、出力軸3を支承する転がり軸受6の外輪61の略上半分が嵌合する、径方向に窪む環状の溝(溝部)51aが凹設されている。そして、ブロック体5aに外輪61を嵌合させた状態で、下方から外輪61の略下半分が嵌合する、径方向に窪む環状の溝(溝部)51bが凹設された環状の押え具5bで挟持し、図示省略のねじにより固定されるようにしている。転がり軸受6の内輪62は、スリーブ部材33上端のフランジ部33aと、キャップ板13に設けた環状の突出部13aとで挟持し、スリーブ部材33がその下端に螺着されるナット部材8でキャップ体13に固定されるようにしている。
An
ブロック体5aには、回転板4の上面から間隔を存して配置され、水晶振動子を局所的に露出させる円盤状部材7がボルト9を介して固定される。この場合、ブロック体5aの上には、切欠き41の形成位置に一致させ、かつ、切欠き41の内縁から隙間を持って挿通する突出部52が設けられ、この隙間により熱膨張による金属製のブロック体5aの突出部52ののびを吸収するようにしている。また、突出部52を臨む円盤状部材7の位置には透孔71が形成されると共に、突出部52の上端部には透孔71に嵌合する嵌合突起部53が設けられている。そして、嵌合突起部53を透孔71に嵌合させた状態で、上方から各ボルト9がブロック体5に締結され、回転板4がブロック体5aを介して円盤状部材7に連結される。これにより、出力軸3が回転駆動されると、回転板4が回転されると共に、回転板4の切欠き41の内縁に突出部52が係合してブロック体5aが回転し、これに伴って、円盤状部材7が回転駆動される。この場合、突出部52及び嵌合突起部53を備えるブロック体5が本実施形態の回転力伝達手段としての役割を果たす。なお、円盤状部材7には、水晶振動子を局所的に露出するための透孔72が周方向に所定間隔で複数開設されている。
A disk-
以上の実施形態によれば、図外の真空蒸着装置の真空チャンバ内に設けた蒸発源からの輻射熱で円盤状部材7が加熱されると、先ず、ブロック体5aに伝熱し、ブロック体5aからの熱は、ブロック体5aの突出部52と比較してより接触面積が大きい転がり軸受6の外輪61への主として熱引きをし、外輪61が熱膨張するようになる。このとき、キャップ板13が水冷されていることでその内輪62は殆ど熱膨張しない。このため、内輪62と外輪61との間のキャップが縮まることはなく、転がり軸受6自体を疲労し難い構造にすることができる。しかも、出力軸3を、ギア22,32を介してモータ2の駆動軸21に連結して、円盤状部材7が加熱されたときのモータ2の駆動軸21への熱引けを効果的に抑制できると共にモータ2を冷却されるフレーム14に取り付けたことで、モータ2自体が加熱されることがなく、その結果、モータ2を含む回転機構Mu自体、ひいては膜厚モニター自体の長寿命化を図ることができる。
According to the above embodiment, when the disk-
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記のものに限定されるものではない。上記実施形態では、被回転体を、水晶振動子を局所的に露出させる円盤状部材7としたものを例に説明したが、これに限定されるものではなく、例えば、蒸発源を選択的に覆うシャッター板のように、真空チャンバ内でモータにより回転駆動される部品であり、真空中での処理時、入熱するものであれば、本発明の回転機構を適用できる。また、上記実施形態では、回転力伝達手段として、円盤状部材7の固定を兼用する、突出部52及び嵌合突起部53を備えるブロック体5aを例に説明したが、被回転体からの熱が、出力軸を支承する転がり軸受の内輪と比較してその外輪への伝わる構造であれば、これに限定されるものではない。更に、本発明では、出力軸3の先端に設けた回転板で回転体を構成したが、被回転体から直接伝熱しないように当該被回転体から間隔を存して配置され、出力軸の回転力を被回転体に伝達できるものであればその形態は問わない。
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to said thing. In the above embodiment, the rotating member has been described as an example of the disk-shaped
Cu…膜厚モニターのモニター本体、回転機構、Mu…回転機構、2…モータ、21…モータの駆動軸、3…出力軸、4…回転板(回転体)、5…ブロック(回転力伝達手段)、51a,51b…環状の溝(溝部)、52…突出部(回転力伝達手段)、53…嵌合突起部(回転力伝達手段)、6…転がり軸受、61…外輪、62…内輪、7…円盤状部材(被回転体)、22,32…ギア(動力伝達手段)。
Cu: Monitor body of film thickness monitor, rotating mechanism, Mu: rotating mechanism, 2 ... motor, 21 ... motor drive shaft, 3 ... output shaft, 4 ... rotating plate (rotating body), 5 ... block (rotational force transmitting means) ), 51a, 51b ... annular grooves (grooves), 52 ... projections (rotational force transmission means), 53 ... fitting protrusions (rotational force transmission means), 6 ... rolling bearings, 61 ... outer ring, 62 ... inner ring, 7: Disc-shaped member (rotated body), 22, 32: Gear (power transmission means).
Claims (6)
モータと、モータからの動力を受けて回転体を回転駆動する出力軸と、出力軸に外挿されてこの出力軸を支承する転がり軸受とを備えるものにおいて、回転体が回転力伝達手段を介して被回転体に連結されると共に、転がり軸受の外輪が回転力伝達手段に設けた溝部に嵌合されることを特徴とする回転機構。 A rotation mechanism that is disposed in a vacuum chamber and that rotates the driven body;
In a motor comprising a motor, an output shaft that rotationally drives the rotating body in response to power from the motor, and a rolling bearing that is externally attached to the output shaft and supports the output shaft, the rotating body passes through the rotational force transmitting means. And a rotating mechanism characterized in that the outer ring of the rolling bearing is fitted in a groove provided in the rotational force transmitting means.
前記転がり軸受の内輪が、前記スリーブ部材に設けたフランジ部と枠体のキャップ板とで挟持され、キャップ板を冷却する冷却手段を更に備えることを特徴とする回転機構。 The rotation mechanism according to claim 3, comprising a frame to which the motor is attached.
The rotation mechanism further comprising cooling means for cooling the cap plate, wherein the inner ring of the rolling bearing is sandwiched between a flange portion provided on the sleeve member and a cap plate of the frame body.
A rotation mechanism according to any one of claims 1 to 5, a monitor main body including a crystal resonator, and a disk-shaped member as a rotated body that locally exposes the crystal resonator. A film thickness monitor characterized by
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11222670A (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Ulvac Corp | Film thickness monitor and film forming device using this |
JP2004011801A (en) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Nsk Ltd | Deep groove ball bearing and fan coupling device |
JP2006316804A (en) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Ntn Corp | Bearing device for wheel |
JP2013167346A (en) * | 2012-02-17 | 2013-08-29 | Nsk Ltd | Rolling bearing |
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Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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CN1313637C (en) * | 2002-05-13 | 2007-05-02 | 哨船头薄膜科技有限公司 | Dynamic film thickness monitoring and controlling system and method |
CN2833515Y (en) * | 2004-11-19 | 2006-11-01 | 华南理工大学 | Real-time optical film thickness monitoring apparatus |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11222670A (en) * | 1998-02-06 | 1999-08-17 | Ulvac Corp | Film thickness monitor and film forming device using this |
JP2004011801A (en) * | 2002-06-07 | 2004-01-15 | Nsk Ltd | Deep groove ball bearing and fan coupling device |
JP2006316804A (en) * | 2005-05-10 | 2006-11-24 | Ntn Corp | Bearing device for wheel |
JP2013167346A (en) * | 2012-02-17 | 2013-08-29 | Nsk Ltd | Rolling bearing |
WO2016002122A1 (en) * | 2014-07-02 | 2016-01-07 | 株式会社アルバック | Rotation mechanism and film thickness monitor including same |
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