JP2018037206A - Apparatus for manufacturing electrode plate for battery and maintenance method of the same - Google Patents

Apparatus for manufacturing electrode plate for battery and maintenance method of the same Download PDF

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Masashi Motoi
昌司 元井
野村 和夫
Kazuo Nomura
和夫 野村
賢司 北島
Kenji Kitajima
賢司 北島
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To make a thickness of a coating film layer formed on a base material uniform even if discharging operation of a slurry is continued for a long time.SOLUTION: The apparatus includes: a first flow path 50 for pressure-feeding a slurry 3 flowing out from a plurality of adjustment sections 31, 32, 33, 34 arranged along a width direction by the pressure of supply means 20; and a second flow path 60 provided with a suction pump 68 for discharging the slurry 3 flowing out from the plurality of adjustment sections 31, 32, 33, 34 by suction.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、基材に活物質を含むスラリーを塗布して電池用極板を製造するための製造装置、及びその保守方法に関する。   The present invention relates to a manufacturing apparatus for manufacturing a battery electrode plate by applying a slurry containing an active material to a base material, and a maintenance method thereof.

例えば、特許文献1のように、電池用極板は、ロールツーロールで送られる基材に、活物質、バインダー、導電助剤及び溶媒を含むスラリーが塗布され、製造される。このようにして製造された電池用極板において、基材上に形成される活物質を含む層の厚さは、電池の充放電量に直接影響を与えることから、特に高容量型の電池(バッテリ)の場合、基材に塗布するスラリーの膜厚管理は非常に重要となる。つまり、スラリーは、基材の幅方向及び送り方向に沿って均一な厚さで塗布される必要がある。   For example, as in Patent Document 1, a battery electrode plate is manufactured by applying a slurry containing an active material, a binder, a conductive additive, and a solvent to a substrate that is fed in a roll-to-roll manner. In the battery electrode plate manufactured in this way, the thickness of the layer containing the active material formed on the substrate directly affects the charge / discharge amount of the battery. In the case of a battery), the film thickness control of the slurry applied to the substrate is very important. That is, the slurry needs to be applied with a uniform thickness along the width direction and the feeding direction of the substrate.

例えば、特許文献2または特許文献3のように、スラリーの基材の幅方向および送り方向に沿っての厚さをより均一に塗布する方法および装置がある。   For example, as in Patent Document 2 or Patent Document 3, there is a method and an apparatus for more uniformly applying the thickness along the width direction and the feeding direction of the base material of the slurry.

特開平11−233102号公報Japanese Patent Laid-Open No. 11-233102 特開2015−97198号公報JP-A-2015-97198 特開2015−176822号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-176822

スラリーには活物質等が含まれており、活物質等は混合され分散されているが、スラリーの処方の仕方や組成等により特性が異なり、長時間にわたって分散された状態が続くスラリーもあれば、短時間で固形成分が沈殿したり凝集したりする不安定なスラリーもある。   The slurry contains an active material, etc., and the active material is mixed and dispersed. However, there are some slurries that have different characteristics depending on the method and composition of the slurry and continue to be dispersed for a long time. There are also unstable slurries in which solid components precipitate or aggregate in a short time.

このようなスラリーを基材に長時間継続して塗布するためのダイには、特許文献2または特許文献3に開示されているように、幅方向に長い第1のマニホールド(液溜め部)と、この第1のマニホールドに繋がるスリットと、この第1のマニホールドと繋がりスラリーを基材に対して吐出する吐出口と、第1のマニホールドと吐出口との間にスラリーを流出させることにより基材に対して吐出口から吐出されるスラリーの量を調整するための当該幅方向にわたって複数設けられた調整部とが形成されているが、基材に対して吐出口から吐出されるスラリーの量を幅方向にわたって均一にするために、各調整部から流出させるスラリーの量を個別に調整することにより、各調整部ではスラリーの流量に差ができ、長時間の継続運転において、スラリーの流量の少ない調整部では、スラリーの固形成分の沈殿や凝集が発生し、固形成分が滞留することにより、その調整部のスラリーの流量制御の感度が悪くなり、ダイの幅方向にわたって吐出口から吐出されるスラリーの流量のばらつきが生じ、基材上に形成される塗膜層の厚みにばらつきが生じるようになる。   A die for continuously applying such a slurry to a substrate for a long time includes a first manifold (a liquid reservoir) that is long in the width direction, as disclosed in Patent Document 2 or Patent Document 3. The base material by flowing the slurry between the slit connected to the first manifold, the discharge port connected to the first manifold and discharging the slurry to the base material, and the first manifold and the discharge port. A plurality of adjusting portions are formed over the width direction for adjusting the amount of slurry discharged from the discharge port with respect to the substrate, but the amount of slurry discharged from the discharge port to the substrate is In order to make it uniform in the width direction, the amount of slurry flowing out from each adjustment unit is individually adjusted, so that the flow rate of the slurry can be changed in each adjustment unit. In the adjustment unit with a small flow rate of the slurry, precipitation and aggregation of the solid component of the slurry occurs, and the solid component stays, so that the sensitivity of the flow rate control of the slurry in the adjustment unit is deteriorated, and the discharge port extends in the width direction of the die. Variation in the flow rate of the slurry discharged from the substrate occurs, and variation occurs in the thickness of the coating layer formed on the substrate.

ここで、前記の通り、基材上に形成される活物質を含む層の厚さは、電池の充放電量に直接影響を与えることから、塗膜層の厚みにばらつきがある状態で電気用極板が製造されると、その極板を用いた電池の品質を低下させてしまう。そこで、従来はこのようにスラリーの吐出量にばらつきが生じた場合には、調整部を分解して清掃を行い再び吐出量が所定の量になるようにしていたが、作業に時間を要する問題があった。   Here, as described above, since the thickness of the layer containing the active material formed on the substrate directly affects the charge / discharge amount of the battery, the thickness of the coating layer varies in the electric state. If an electrode plate is manufactured, the quality of the battery using the electrode plate will be reduced. Therefore, in the past, when there was a variation in the discharge amount of the slurry as described above, the adjustment unit was disassembled and cleaned so that the discharge amount becomes a predetermined amount again. was there.

また、スラリーのダイへの供給手段として、ポンプ等の圧送装置を使用しているが、スラリーを基材に対して吐出する吐出口近傍に前記複数の調整部が設けられているため、前記複数の調整部で滞留しているスラリーの固形分を押し出せるような圧力をかけようとすると吐出口での圧力も高くなり、基材への均等な塗布に影響が出るため、前記調整部で滞留しているスラリーの固形分を圧送によって排出することが困難であり、分解して清掃する必要があった。   Further, a pumping device such as a pump is used as means for supplying the slurry to the die, but the plurality of adjusting portions are provided in the vicinity of the discharge port for discharging the slurry to the base material. Attempting to apply a pressure that can extrude the solid content of the slurry remaining in the adjustment section increases the pressure at the discharge port, which affects the uniform application to the substrate, so it remains in the adjustment section. It was difficult to discharge the solid content of the slurry by pumping, and it was necessary to disassemble and clean it.

本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであり、スラリーの吐出作業を長時間継続して行っていても、基材上に形成される塗膜層の厚さを均一にすることを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to make the thickness of the coating film layer formed on the substrate uniform even when the slurry is continuously discharged for a long time. Objective.

本発明の電池用極板の製造装置は、幅方向に長くスラリーを溜める空間からなる第1のマニホールドと、幅方向に広いスリットを経由して前記第1のマニホールドと繋がり、スラリーを基材に対して吐出する吐出口と、前記第1のマニホールドと前記吐出口との間にスラリーを流出させることにより前記吐出口からのスラリーの吐出量を調整するための幅方向にわたって設けられた複数の調整部とを有するダイと、前記第1のマニホールドに連通している流入部から前記第1のマニホールドにスラリーを供給する手段と、複数の前記調整部から流出させたスラリーの流路を第1の流路とスラリーの吸引手段が設けられた第2の流路の2つに分岐する流路と、を備えていることを特徴とする。   The battery electrode plate manufacturing apparatus of the present invention is connected to the first manifold having a space in which slurry is accumulated long in the width direction and the first manifold via a wide slit in the width direction, and the slurry is used as a base material. A plurality of adjustments provided across the width direction for adjusting the discharge amount of the slurry from the discharge port by discharging the slurry between the discharge port for discharging and the first manifold and the discharge port A die having a portion, means for supplying slurry to the first manifold from an inflow portion communicating with the first manifold, and a flow path for the slurry discharged from the plurality of adjustment portions to the first manifold A flow path and a flow path that branches into two of the second flow paths provided with slurry suction means.

本発明によれば、前記調整部から流出させたスラリーの流路は2つに分岐し、前記第2の流路には吸引手段が設けられていることから、基材交換時や、ロット変更時等の休止時あるいは休止後の再稼動時に、吸引手段にて前記調整部に滞留したスラリーを前記第2の流路へ排出することにより、前記調整部を分解して清掃することなく、前記吐出口から基材に対して吐出されるスラリーの吐出量を幅方向にわたって所定の量に維持して塗膜層の厚みを均一にすることができる。   According to the present invention, the flow path of the slurry that has flowed out of the adjustment section is branched into two, and the second flow path is provided with suction means. At the time of suspension such as time or at the time of re-operation after the suspension, the slurry staying in the adjustment unit by the suction means is discharged to the second flow path without disassembling and cleaning the adjustment unit. The discharge amount of the slurry discharged from the discharge port to the substrate can be maintained at a predetermined amount in the width direction, and the thickness of the coating layer can be made uniform.

本発明の電池用極板の製造装置は、前記複数の調整部から流出させたスラリーの流路には、スラリーの流れる流路を前記第1の流路と前記第2の流路に切り替える手段が設けられていることを特徴とする。   The apparatus for manufacturing a battery electrode plate according to the present invention includes a means for switching the flow path of the slurry to the first flow path and the second flow path for the flow path of the slurry that has flowed out from the plurality of adjusting sections. Is provided.

上記において、前記調整部から流出させたスラリーの流路を前記第1の流路から前記第2の流路に切り替えることにより、吸引手段にて第1の流路から吸引してしまうことを防ぎ、前記調整部に滞留したスラリーを効率良く、前記第2の流路へ排出することができる。   In the above, by switching the flow path of the slurry that has flowed out of the adjustment section from the first flow path to the second flow path, the suction means prevents the suction from being performed from the first flow path. The slurry staying in the adjusting section can be efficiently discharged to the second flow path.

また、前記複数の調整部には、前記調整部から流出させるスラリーの量の制御を行う制御装置が設けられている。   The plurality of adjusting units are provided with a control device that controls the amount of slurry flowing out of the adjusting unit.

この場合、前記複数の調整部から流出させるスラリーの量を個別に調整する制御を行うことにより、各調整部に滞留したスラリーを個別に重点的に排出することが可能となる。   In this case, by performing control to individually adjust the amount of slurry flowing out from the plurality of adjusting units, it is possible to discharge the slurry staying in each adjusting unit individually and intensively.

本発明の電池用極板の製造装置の保守方法は、ダイの保守時は前記第2の流路を使用してスラリーを吸引することを特徴とする。   The maintenance method for the battery electrode plate manufacturing apparatus of the present invention is characterized in that the slurry is sucked using the second flow path during maintenance of the die.

本発明によれば、基材交換時や、ロット変更時等の休止時あるいは休止後の再稼動時に、吸引手段にて前記調整部に滞留したスラリーを前記第2の流路へ排出することにより、前記調整部を分解して清掃することなく、ダイの保守ができる。   According to the present invention, the slurry retained in the adjusting section is discharged to the second flow path by the suction means when the base material is replaced, at the time of suspension such as when changing the lot, or at the time of re-operation after the suspension. The die can be maintained without disassembling and cleaning the adjusting portion.

本発明によれば、スラリーの吐出作業を長時間継続して行っていても、基材上に形成される塗膜層の厚さを均一にすることが可能となる。   According to the present invention, it is possible to make the thickness of the coating layer formed on the substrate uniform even when the slurry is continuously discharged for a long time.

本発明の電池用極板の製造装置の概略構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of the manufacturing apparatus of the electrode plate for batteries of this invention. (A)は、ダイ10の概略構成を示す断面図であり、(B)は図1のa矢視の断面図である。(A) is sectional drawing which shows schematic structure of the die | dye 10, (B) is sectional drawing of arrow a of FIG. (A)は、図1のb矢視の断面図であり、(B)は、図1のc矢視の断面図であり、(C)は、シム板15の平面図である。1A is a cross-sectional view taken along arrow b in FIG. 1, FIG. 1B is a cross-sectional view taken along arrow c in FIG. 1, and FIG. 図1のd矢視の断面図である。It is sectional drawing of d arrow of FIG. 本発明の電池用極板の製造装置の保守時の動作フローである。It is an operation | movement flow at the time of the maintenance of the manufacturing apparatus of the battery electrode plate of this invention. 本発明の電池用極板の製造装置の他の実施形態の概略構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of other embodiment of the manufacturing apparatus of the electrode plate for batteries of this invention. 本発明の電池用極板の製造装置の他の実施形態の概略構成を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows schematic structure of other embodiment of the manufacturing apparatus of the electrode plate for batteries of this invention. 本発明の電池用極板の製造装置の他の実施形態の説明図である。It is explanatory drawing of other embodiment of the manufacturing apparatus of the electrode plate for batteries of this invention. (A)、(B)は、本発明の電池用極板の製造装置のダイの他の実施形態の説明図である。(A), (B) is explanatory drawing of other embodiment of the die | dye of the manufacturing apparatus of the electrode plate for batteries of this invention.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図1は、電池用極板の製造装置の概略構成を示す説明図である。この製造装置1は、ロールツーロールで送られる金属箔からなる基材2に、活物質、バインダー、導電助剤及び溶媒を含むスラリー3を塗布するための装置である。この製造装置によれば、塗布したスラリー3を乾燥させることで基材2上に活物質を含む層が形成され、この基材2が所定形状に切断され電池用極板となる。基材2上に形成される活物質を含む層の厚さは、電池の充放電量に直接影響を与えることから、基材2に塗布するスラリー3によって形成される塗膜層の膜厚管理は非常に重要であり、この製造装置1によれば、以下の実施形態において説明するように、スラリー3は、基材2の送り方向に沿って均一な厚さ(均一な塗膜量)で塗布される。なお、基材2の幅方向は、基材2の送り方向に直交する方向であり、図1におけるY軸方向がこれに相当する。   FIG. 1 is an explanatory diagram showing a schematic configuration of a battery electrode plate manufacturing apparatus. The manufacturing apparatus 1 is an apparatus for applying a slurry 3 containing an active material, a binder, a conductive additive and a solvent to a base material 2 made of a metal foil fed by roll-to-roll. According to this manufacturing apparatus, the layer containing an active material is formed on the base material 2 by drying the applied slurry 3, and the base material 2 is cut into a predetermined shape to form a battery electrode plate. Since the thickness of the layer containing the active material formed on the substrate 2 directly affects the charge / discharge amount of the battery, the film thickness of the coating layer formed by the slurry 3 applied to the substrate 2 is controlled. Is very important. According to this manufacturing apparatus 1, the slurry 3 has a uniform thickness (uniform coating amount) along the feed direction of the base material 2, as described in the following embodiment. Applied. In addition, the width direction of the base material 2 is a direction orthogonal to the feed direction of the base material 2, and the Y-axis direction in FIG. 1 corresponds to this.

製造装置1は、基材2の幅方向に沿って長く構成されたダイ10と、このダイ10にスラリー3を供給する供給手段20と、を備え、供給手段20から供給されたスラリー3をダイに設けられた吐出口18から吐出することにより、基材2にスラリー3を塗布する。
ダイ10において、その長手方向(図1におけるY軸方向)を幅方向という。この製造装置1では、ダイ10に対向するローラ5が設置されており、ダイ10の幅方向とローラ5の回転中心線の方向とは平行である。基材2は、このローラ5に案内され、基材2とダイ10(後述のスリット12の先端)との間隔(隙間)が一定に保たれ、この状態でスラリー3の塗布が行われる。
The manufacturing apparatus 1 includes a die 10 that is long along the width direction of the base material 2, and a supply unit 20 that supplies the slurry 3 to the die 10, and the slurry 3 supplied from the supply unit 20 is a die. The slurry 3 is applied to the base material 2 by discharging from the discharge port 18 provided in the substrate.
In the die 10, the longitudinal direction (the Y-axis direction in FIG. 1) is referred to as the width direction. In this manufacturing apparatus 1, the roller 5 facing the die 10 is installed, and the width direction of the die 10 and the direction of the rotation center line of the roller 5 are parallel. The base material 2 is guided by this roller 5, and the space | interval (gap) between the base material 2 and die | dye 10 (tip of the slit 12 mentioned later) is kept constant, and application | coating of the slurry 3 is performed in this state.

また、このダイ10からスラリー3を基材2に対して吐出するのとは別にスラリー3を外部へ流出させる基材2の幅方向に沿って設けられた複数の調整部31,32,33,34を備え、複数の調整部31,32,33,34からスラリー3を流出させることにより、吐出口18から吐出するスラリー3の吐出量を調整する。   Aside from discharging the slurry 3 from the die 10 to the base material 2, a plurality of adjusting portions 31, 32, 33, provided along the width direction of the base material 2 for flowing the slurry 3 to the outside. 34, and the discharge amount of the slurry 3 discharged from the discharge port 18 is adjusted by causing the slurry 3 to flow out from the plurality of adjustment units 31, 32, 33, 34.

また、複数の調整部31,32,33,34から流出させたスラリー3を供給手段20の圧力で圧送する第1の流路50と、複数の調整部31,32,33,34から流出させたスラリー3を吸引により排出する吸引ポンプ68を備えた第2の流路60と、複数の調整部31,32,33,34から流出させたスラリー3の流れを第1の流路50と第2の流路60に切り替える切り替えバルブ55、65とを備え、保守時に第2の流路60に設けられた吸引ポンプ68にて複数の調整部31,32,33,34に滞留したスラリー3を排出する。   In addition, the slurry 3 that has flowed out from the plurality of adjustment units 31, 32, 33, and 34 is caused to flow out from the first flow path 50 that pumps the slurry 3 with the pressure of the supply unit 20 and the plurality of adjustment units 31, 32, 33, and 34. The second flow path 60 provided with the suction pump 68 for discharging the slurry 3 by suction, and the flow of the slurry 3 that has flowed out from the plurality of adjusting portions 31, 32, 33, 34 are the first flow path 50 and the first flow path. The switching valves 55 and 65 for switching to the second flow path 60 are provided, and the slurry 3 retained in the plurality of adjusting units 31, 32, 33, and 34 by the suction pump 68 provided in the second flow path 60 during maintenance is provided. Discharge.

本実施形態のダイ10の説明図を図2(A)、(B)に示す。図2(A)はダイ10の概略構成を示す断面図である。ダイ10は、先細り形状である第一リップ13aを有する第一分割体13と、先細り形状である第二リップ14aを有する第二分割体14とを、これらの間にシム板15を挟んで、組み合わせた構成からなる。図2(B)は、図1のa矢視の断面図である。図3(A)は、図1のb矢視の断面図であり、図3(B)は、図1のc矢視の断面図であり、シム板15を、図3(C)に示している。ダイ10は、その内部に、幅方向に長い空間からなる第1のマニホールド11と、この第1のマニホールド11と繋がるスリット12とが形成され、また、第一リップ13aと第二リップ14aとの間には、スリット12の解放端である吐出口18が形成されている。すなわち、第1のマニホールド11と吐出口18とは、スリット12を経由して繋がっている。   An explanatory view of the die 10 of this embodiment is shown in FIGS. FIG. 2A is a cross-sectional view showing a schematic configuration of the die 10. The die 10 includes a first divided body 13 having a first lip 13a having a tapered shape and a second divided body 14 having a second lip 14a having a tapered shape, with a shim plate 15 interposed therebetween, It consists of a combined configuration. FIG. 2B is a cross-sectional view taken along arrow a in FIG. 3A is a cross-sectional view taken along the arrow b in FIG. 1, FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the arrow c in FIG. 1, and the shim plate 15 is shown in FIG. ing. The die 10 is formed therein with a first manifold 11 having a long space in the width direction, and a slit 12 connected to the first manifold 11, and a first lip 13a and a second lip 14a. A discharge port 18 that is an open end of the slit 12 is formed therebetween. That is, the first manifold 11 and the discharge port 18 are connected via the slit 12.

この構成により、供給手段20により供給されたスラリー3は、先ず第1のマニホールド11に溜められ、次に、スリット12を経由して吐出口18から吐出される。   With this configuration, the slurry 3 supplied by the supply unit 20 is first stored in the first manifold 11 and then discharged from the discharge port 18 via the slit 12.

スリット12は、第1のマニホールド11と同様に幅方向に長く形成されており、スリット12の幅方向寸法は、後述するシム板15の内寸W(図3(C)参照)によって決定され、スリット12の幅方向寸法と略同一の幅方向寸法のスラリー3を、基材2上に塗布することができる。   The slit 12 is formed long in the width direction similarly to the first manifold 11, and the width direction dimension of the slit 12 is determined by an inner dimension W (see FIG. 3C) of a shim plate 15 to be described later. A slurry 3 having a width direction dimension substantially the same as the width direction dimension of the slit 12 can be applied onto the substrate 2.

ダイ10の幅方向の中央部には、流入部16が設けられており、この流入部16は、ダイ10の外部から第1のマニホールド11へ繋がる貫通孔(流入口)からなる。供給手段20は、この流入部16に一端部が接続されている流入パイプ21と、スラリー3を貯留しているタンク22と、このタンク22内のスラリー3を、パイプ21を通じてダイ10へ供給するためのポンプ23とを有している。以上より、供給手段20は、第1のマニホールド11に流入部16からスラリー3を供給することができる。なお、本実施形態では、図2(A)に示すように、流入部16は、第1のマニホールド11の底部17と繋がっており、この底部17からスラリー3を流入させる構成としている。   An inflow portion 16 is provided at the center in the width direction of the die 10, and the inflow portion 16 includes a through hole (inflow port) connected to the first manifold 11 from the outside of the die 10. The supply means 20 supplies the inflow pipe 21 having one end connected to the inflow section 16, the tank 22 storing the slurry 3, and the slurry 3 in the tank 22 to the die 10 through the pipe 21. And a pump 23 for the purpose. As described above, the supply unit 20 can supply the slurry 3 from the inflow portion 16 to the first manifold 11. In this embodiment, as shown in FIG. 2A, the inflow portion 16 is connected to the bottom portion 17 of the first manifold 11, and the slurry 3 flows from the bottom portion 17.

そして、第1のマニホールド11は、供給手段20から供給されたスラリー3を溜めることができ、第1のマニホールド11に溜められているスラリー3を、スリット12を通って吐出口18からロールツーロールで送られる基材2に対して吐出し、この基材2に対してスラリー3を連続的に塗布することができる。スリット12の隙間寸法はその幅方向に一定であり、基材2上に塗布されるスラリー3の厚さは幅方向に一定となる。   The first manifold 11 can store the slurry 3 supplied from the supply means 20, and the slurry 3 stored in the first manifold 11 passes through the slit 12 from the discharge port 18 to roll-to-roll. The slurry 3 can be discharged onto the base material 2 and the slurry 3 can be continuously applied to the base material 2. The gap dimension of the slit 12 is constant in the width direction, and the thickness of the slurry 3 applied on the substrate 2 is constant in the width direction.

また、ダイ10には圧力センサ(図示せず)が設けられており、この圧力センサは、第1のマニホールド11のスラリー3の内圧を計測する。そして、この計測結果に基づいて供給手段20によるスラリー3の供給が制御され、第1のマニホールド11のスラリー3の内圧を一定に保つ。第1のマニホールド11で内圧が一定とされるスラリー3は、スリット12から幅方向全長にわたって均等の量で吐出され、また前記圧力センサの計測結果に基づいて、スリット12から吐出されるスラリー3の量が変動しないように制御され、基材2上に塗布されるスラリー3の送り方向の厚さを一定とする。また、図示しないが、パイプ21の途中にはスラリー3用のフィルタが設けられている。   The die 10 is provided with a pressure sensor (not shown), and this pressure sensor measures the internal pressure of the slurry 3 in the first manifold 11. Then, based on the measurement result, the supply of the slurry 3 by the supply means 20 is controlled, and the internal pressure of the slurry 3 in the first manifold 11 is kept constant. The slurry 3 whose internal pressure is constant in the first manifold 11 is discharged from the slit 12 in an equal amount over the entire length in the width direction, and the slurry 3 discharged from the slit 12 based on the measurement result of the pressure sensor. The amount is controlled so as not to fluctuate, and the thickness of the slurry 3 applied on the substrate 2 in the feeding direction is made constant. Although not shown, a filter for the slurry 3 is provided in the middle of the pipe 21.

また、本実施形態では、図2(A)および図3(A)(B)に示すようにスリット12と吐出口18との間に、幅方向に長い空間からなる第2のマニホールド24が設けられており、第2のマニホールド24には、第1のマニホールド11のスラリー3を吐出口18以外からダイ10の外部へ流出させる複数の調整部31,32,33,34が設けられており、この複数の調整部31,32,33,34それぞれには、第2のマニホールド24から流出させるスラリー3の量の調整を行う制御装置が設けられている。ここで、第2のマニホールド24は、幅方向の長さは第1のマニホールド11およびスリット12と同等であり、幅方向の断面積は第1のマニホールド11よりも小さい。すなわち、第1のマニホールドよりも容積が小さい第2のマニホールド24に調整部31,32,33,34を設けることにより、各調整部から流出させるスラリー3の流量の調整を感度良く吐出口18からの吐出量に反映させることが可能である。   Further, in the present embodiment, as shown in FIGS. 2A and 3A and 3B, a second manifold 24 having a long space in the width direction is provided between the slit 12 and the discharge port 18. The second manifold 24 is provided with a plurality of adjusting portions 31, 32, 33, 34 that allow the slurry 3 of the first manifold 11 to flow out of the die 10 from other than the discharge port 18. Each of the plurality of adjustment units 31, 32, 33, and 34 is provided with a control device that adjusts the amount of the slurry 3 that flows out from the second manifold 24. Here, the second manifold 24 has the same length in the width direction as the first manifold 11 and the slit 12, and the cross-sectional area in the width direction is smaller than that of the first manifold 11. That is, by providing the adjustment units 31, 32, 33, and 34 in the second manifold 24 having a volume smaller than that of the first manifold, the flow rate of the slurry 3 flowing out from each adjustment unit can be adjusted from the discharge port 18 with high sensitivity. It is possible to reflect this in the discharge amount.

そして、図2(B)に示すように、ダイ10の調整部31,32,33,34に接続されているパイプ46,47,48,49にはバルブ41,42,43,44が設けられており、バルブ41,42,43,44の開度の制御を個別に行うことでバルブ41,42,43,44を通るスラリー3の流量比の調整が行われる。すなわち、バルブ41,42,43,44が設けられたパイプ46,47,48,49は調整部31,32,33,34におけるスラリー3の流量を調整する調整流路として機能している。なお、バルブ41,42,43,44それぞれは、調整部31,32,33,34それぞれから流出するスラリー3の圧力を調整してもよい。   As shown in FIG. 2B, valves 41, 42, 43, and 44 are provided on the pipes 46, 47, 48, and 49 connected to the adjusting portions 31, 32, 33, and 34 of the die 10. The flow rate ratio of the slurry 3 passing through the valves 41, 42, 43, 44 is adjusted by individually controlling the opening degree of the valves 41, 42, 43, 44. That is, the pipes 46, 47, 48, and 49 provided with the valves 41, 42, 43, and 44 function as adjustment flow paths that adjust the flow rate of the slurry 3 in the adjustment units 31, 32, 33, and 34. Each of the valves 41, 42, 43, 44 may adjust the pressure of the slurry 3 flowing out from each of the adjusting units 31, 32, 33, 34.

また、この製造装置1は、基材2上へ塗布したスラリー3の膜厚を測定するセンサ36を備えている(図1参照)。センサ36は、幅方向に沿って複数設けられていてもよい。センサ36は、非接触式であり、基材2上のスラリー3の膜厚を、幅方向に沿って複数カ所、又は、幅方向の全長にわたって計測可能であり、計測結果は、製造装置1が備えている制御装置(コンピュータ)37に出力される。制御装置37はセンサ36からの計測結果に基づくフィードバック制御を行い、バルブ41,42,43,44の開度を調整する。つまり、スラリー3の膜厚の計測結果に応じて、制御装置37は、バルブ41,42,43,44それぞれに対して制御信号を出力し、バルブ41,42,43,44それぞれの開度を調整する。これにより、スラリー3の膜厚を幅方向に一定に保つことが可能となる。   In addition, the manufacturing apparatus 1 includes a sensor 36 that measures the film thickness of the slurry 3 applied onto the substrate 2 (see FIG. 1). A plurality of sensors 36 may be provided along the width direction. The sensor 36 is a non-contact type, and can measure the film thickness of the slurry 3 on the base material 2 at a plurality of locations along the width direction or over the entire length in the width direction. It is output to the control device (computer) 37 provided. The control device 37 performs feedback control based on the measurement result from the sensor 36 and adjusts the opening degree of the valves 41, 42, 43, 44. That is, according to the measurement result of the film thickness of the slurry 3, the control device 37 outputs a control signal to each of the valves 41, 42, 43, and 44, and sets the opening degree of each of the valves 41, 42, 43, and 44. adjust. Thereby, the film thickness of the slurry 3 can be kept constant in the width direction.

例えば、基材2上へ塗布したスラリー3の膜厚を測定するセンサ36の計測結果から、基材2の幅方向の両端部においてスラリー3の膜厚が中央部より薄くなっていた場合、スリット12の両端部12a,12bに対応するバルブ41,42の開度を(徐々に)小さく変更すると共に、途中部12c,12dに対応するバルブ43,44の開度も(徐々に)大きく変更する制御が行われる。これにより、開度変更中のバルブ43,44の開度を、開度変更中のバルブ41,42の開度よりも大きくし、途中に設けられている調整部31,32からのスラリー3の流出量を、両端の調整部33,34からのスラリー3の流出量よりも少なくしている。さらに、この際、ダイ10に設けられた圧力センサの測定結果に基づき、第1のマニホールド11のスラリー3の内圧も一定となるように制御される。   For example, from the measurement result of the sensor 36 that measures the film thickness of the slurry 3 applied onto the base material 2, the slit 3 has a thickness smaller than that of the central part at both ends in the width direction of the base material 2. The opening degree of the valves 41 and 42 corresponding to the both end portions 12a and 12b of the twelve parts is changed gradually (gradually), and the opening degree of the valves 43 and 44 corresponding to the midway parts 12c and 12d is also changed (gradually) greatly. Control is performed. Thereby, the opening degree of the valves 43 and 44 during the opening degree change is made larger than the opening degree of the valves 41 and 42 during the opening degree change, and the slurry 3 from the adjusting units 31 and 32 provided in the middle is changed. The outflow amount is made smaller than the outflow amount of the slurry 3 from the adjusting portions 33 and 34 at both ends. Further, at this time, the internal pressure of the slurry 3 in the first manifold 11 is controlled to be constant based on the measurement result of the pressure sensor provided in the die 10.

以上の制御によれば、調整部31,32,33,34を通じてスリット12から流出させるスラリー3の流量を調整することにより、吐出口18から吐出させるスラリー3の量が変更される。このため、スラリー3を吐出口18から幅方向の全長にわたって均等に吐出させるためのより厳密な制御が可能となり、基材2上に形成されるスラリー3の膜厚を、幅方向及び送り方向について、均一にすることが可能となる。この結果、調整部31,32,33,34から流出するスラリー3の流量が比較的少ない調整部と比較的多い調整部ができ、スラリー3の流量が比較的少ない調整部では、スラリー3の固形分の沈殿や凝集(滞留)が多く発生し、スラリー3を吐出口18から幅方向の全長にわたって均等に吐出させるための厳密な制御の感度が悪くなる。   According to the above control, the amount of the slurry 3 discharged from the discharge port 18 is changed by adjusting the flow rate of the slurry 3 flowing out from the slit 12 through the adjusting units 31, 32, 33 and 34. For this reason, it becomes possible to perform stricter control for evenly discharging the slurry 3 from the discharge port 18 over the entire length in the width direction, and the film thickness of the slurry 3 formed on the substrate 2 can be set in the width direction and the feeding direction. Can be made uniform. As a result, there can be prepared an adjusting unit in which the flow rate of the slurry 3 flowing out from the adjusting units 31, 32, 33, and 34 is relatively small and an adjusting unit in which the flow rate of the slurry 3 is relatively small. Minute precipitation and aggregation (stagnation) occur, and the sensitivity of strict control for evenly discharging the slurry 3 from the discharge port 18 over the entire length in the width direction deteriorates.

本実施形態では、パイプ46,47,48,49の調整部31,32,33,34と接続されていない側の各調整流路の端部の配管は、図4に示すように統合流路40として1つに統合されている。図4は、図1のd矢視の断面図である。   In this embodiment, the pipes at the ends of the adjustment channels on the side not connected to the adjustment units 31, 32, 33, 34 of the pipes 46, 47, 48, 49 are integrated channels as shown in FIG. 40 is integrated into one. 4 is a cross-sectional view taken along arrow d in FIG.

この統合流路40には、バルブ41,42,43,44に加えてスラリー3の流量を制御する統合流量調整ユニット45が設けられている。この統合流量調整ユニット45はバルブ41,42,43,44と同様の構成の統合流路40の流量を調整するバルブであっても良いが、統合流路40の配管径、配管長などを変化させることによって流量を変化させるものでも良い。   The integrated flow path 40 is provided with an integrated flow rate adjusting unit 45 that controls the flow rate of the slurry 3 in addition to the valves 41, 42, 43, and 44. The integrated flow rate adjusting unit 45 may be a valve that adjusts the flow rate of the integrated flow path 40 having the same configuration as the valves 41, 42, 43, and 44, but changes the pipe diameter, the pipe length, and the like of the integrated flow path 40. It is also possible to change the flow rate by making them.

この統合流路40は、図1に示すように、タンク22に繋がる第1の流路50と吸引ポンプ68に繋がる第2の流路60に分岐している。第1の流路50には統合流路40とタンク22との間に開閉可能なバルブ55が設けられており、第2の流路60には統合流路40と吸引ポンプ68との間に開閉可能なバルブ65が設けられており、バルブ55とバルブ65の開閉を操作することにより、調整部31,32,33,34から流出させたスラリー3の流路を第1の流路50もしくは第2の流路60に切り替えることができる。   As shown in FIG. 1, the integrated flow path 40 is branched into a first flow path 50 connected to the tank 22 and a second flow path 60 connected to the suction pump 68. The first flow path 50 is provided with a valve 55 that can be opened and closed between the integrated flow path 40 and the tank 22, and the second flow path 60 is provided between the integrated flow path 40 and the suction pump 68. A valve 65 that can be opened and closed is provided, and by operating the opening and closing of the valve 55 and the valve 65, the flow path of the slurry 3 that has flowed out of the adjusting portions 31, 32, 33, 34 is changed to the first flow path 50 or Switching to the second flow path 60 is possible.

なお、統合流量調整ユニット45は、第1の流路50に設けられても良い。   The integrated flow rate adjustment unit 45 may be provided in the first flow path 50.

また、第1の流路50に設けられた開閉機能を持つバルブ55に統合流量調整機能を持たせても良い。   Further, an integrated flow rate adjusting function may be provided to the valve 55 provided in the first flow path 50 and having an opening / closing function.

基材2へのスラリー3の塗布を行う場合は、第1の流路50のみを選択する。具体的には、第1の流路50の切り替えバルブ55を開にし、第2の流路60の切り替えバルブ65を閉にする。この場合において、スラリー3は、供給手段20の供給ポンプ23によりスリット12を通って基材2に塗布されるのとは別に、スリット12を通って調整部31,32,33,34に圧送されるが、スリット12のスラリー3の内圧は、基材2へ塗布されるスラリー3の均等な厚みに影響を与えるため制限があり、また、調整部31,32,33,34は、スリット12より下流に位置するため、調整部31,32,33,34を流れるスラリー3の内圧は低く、調整部31,32,33,34でのスラリー3の滞留が生じやすくなる。   When applying the slurry 3 to the substrate 2, only the first flow path 50 is selected. Specifically, the switching valve 55 of the first channel 50 is opened, and the switching valve 65 of the second channel 60 is closed. In this case, the slurry 3 is pumped to the adjustment units 31, 32, 33, and 34 through the slit 12 separately from being applied to the base material 2 through the slit 12 by the supply pump 23 of the supply means 20. However, the internal pressure of the slurry 3 in the slit 12 is limited because it affects the uniform thickness of the slurry 3 applied to the base material 2, and the adjusting portions 31, 32, 33, and 34 are Since it is located downstream, the internal pressure of the slurry 3 flowing through the adjusting portions 31, 32, 33, and 34 is low, and the slurry 3 is likely to stay in the adjusting portions 31, 32, 33, and 34.

調整部31,32,33,34の保守を行う場合は、第2の流路60を選択する。具体的には、第1の流路50の切り替えバルブ55を閉にし、第2の流路60の切り替えバルブ65を開にする。この場合、吸引ポンプ68の吸引力により、供給ポンプ23の圧力で圧送する場合よりも強い流れで調整部31,32,33,34近郊のスラリー3を流すことができる。   When the maintenance of the adjustment units 31, 32, 33, and 34 is performed, the second flow path 60 is selected. Specifically, the switching valve 55 of the first channel 50 is closed and the switching valve 65 of the second channel 60 is opened. In this case, due to the suction force of the suction pump 68, the slurry 3 in the vicinity of the adjusting units 31, 32, 33, and 34 can be flowed with a stronger flow than when pumping with the pressure of the supply pump 23.

本実施形態では、第1の流路50を選択した場合は、調整部31,32,33,34から流出したスラリー3は、タンク22へ戻される。なお、第1の流路50の途中に、図示しないがフィルタが設けられているのが好ましい。第2の流路60を選択した場合は、調整部31,32,33,34から流出したスラリー3は、吸引ポンプ68により外部へ排出される。ここで吸引ポンプ68を出たスラリー3の流路は、廃液タンク67へつながっていても良い。   In the present embodiment, when the first flow path 50 is selected, the slurry 3 that has flowed out of the adjustment units 31, 32, 33, and 34 is returned to the tank 22. In addition, although not shown, it is preferable that a filter is provided in the middle of the first flow path 50. When the second flow path 60 is selected, the slurry 3 that has flowed out of the adjusting units 31, 32, 33, and 34 is discharged to the outside by the suction pump 68. Here, the flow path of the slurry 3 exiting the suction pump 68 may be connected to the waste liquid tank 67.

このように、調整部31,32,33,34には、供給手段20のポンプ23で与えられた圧力による圧送でスラリーを流出させる第1の流路50とは別に吸引手段を持つ第2の流路60が設けられていることから、例えば調整部31,32,33,34の一部でスラリー3が流れにくくなる(滞留する)ことによってマニホールド11からスリット12に流入するスラリー3の量が幅方向に不均一になっても、基材交換時やロット変更時等の休止時あるいは休止後の再稼動時に第2の流路60に切り替え、スラリー3が流れにくくなった調整部の一部で滞留したスラリーを吸引ポンプ68により排出させ、再び第1の流路50に切り替え、吐出口18から吐出されるスラリー3の量が幅方向に均一な状態に戻すことができる。   As described above, the adjustment units 31, 32, 33, and 34 have a second suction unit that is separate from the first flow path 50 that causes the slurry to flow out by pressure feeding by the pressure of the pump 23 of the supply unit 20. Since the flow path 60 is provided, for example, the amount of the slurry 3 flowing into the slit 12 from the manifold 11 is reduced by making the slurry 3 difficult to flow (stagnate) in a part of the adjustment units 31, 32, 33, and 34. Even if it becomes non-uniform in the width direction, it is switched to the second flow path 60 at the time of suspension such as when changing the base material or changing the lot, or at the time of re-operation after the suspension, and a part of the adjustment unit that makes it difficult for the slurry 3 to flow The slurry retained in step S1 can be discharged by the suction pump 68 and switched to the first flow path 50 again to return the amount of the slurry 3 discharged from the discharge port 18 to a uniform state in the width direction.

また、マニホールド11からスリット12に流入するスラリー3の量が幅方向に不均一にならなくても、基材交換時やロット変更時等の休止時あるいは休止後の再稼動時に前記の操作をすることにより、長期間継続して吐出口18から吐出されるスラリー3の量が幅方向に均一な状態を維持することが可能となる。   Further, even if the amount of the slurry 3 flowing from the manifold 11 to the slit 12 does not become uneven in the width direction, the above operation is performed at the time of suspension such as when changing the base material or changing the lot or at the time of re-operation after the suspension. Thus, the amount of the slurry 3 discharged from the discharge port 18 continuously for a long period can be maintained in a uniform state in the width direction.

この製造装置1の保守方法は、基材2へのスラリー3の塗布が行われている状態から、基材交換時やロット変更等の休止時あるは休止後の再稼動時に、スラリー3の供給ポンプ23を停止、あるいは供給ポンプ23の供給圧力を落とし、第2の流路60に設けられた吸引ポンプ68を稼動し、複数の調整部31,32,33,34に滞留したスラリー3を第2の流路60から排出する。この保守方法により、複数の調整部31,32,33,34を分解して清掃することなく、長時間継続して吐出口18から吐出されるスラリー3の量が幅方向に均一な状態を維持することが可能となる。   The maintenance method of the manufacturing apparatus 1 is to supply the slurry 3 from the state in which the slurry 3 is applied to the base material 2, when the base material is changed, when the lot is changed, or when it is restarted after the stoppage. The pump 23 is stopped, or the supply pressure of the supply pump 23 is lowered, the suction pump 68 provided in the second flow path 60 is operated, and the slurry 3 retained in the plurality of adjustment units 31, 32, 33, 34 is The second flow path 60 is discharged. By this maintenance method, the amount of the slurry 3 discharged from the discharge port 18 is maintained in a uniform state in the width direction continuously without disassembling and cleaning the plurality of adjusting portions 31, 32, 33, 34. It becomes possible to do.

また、上記において、第1の流路50に設けられた切り替えバルブ55を閉にし、第2の流路60に設けられた切り替えバルブ65を開にし、基材2へのスラリー3の塗布時に選択されている第1の流路50から、第2の流路60に切り替えるステップを加えると良い。これにより、吸引ポンプ68が、第1の流路50から吸引してしまうことを防ぐことができる。   Further, in the above, the switching valve 55 provided in the first flow path 50 is closed, the switching valve 65 provided in the second flow path 60 is opened, and the selection is performed when the slurry 3 is applied to the substrate 2. A step of switching from the first flow path 50 to the second flow path 60 may be added. Thereby, it is possible to prevent the suction pump 68 from sucking from the first flow path 50.

この製造装置1の保守時の動作フローの一例を図5に示す。   An example of the operation flow during maintenance of the manufacturing apparatus 1 is shown in FIG.

まず、停機状態において、スラリー3の供給ポンプ23を停機する(ステップS11)。この時、製造装置1の停機と同時に供給ポンプ23を停機しても良い。   First, in the stop state, the supply pump 23 for the slurry 3 is stopped (step S11). At this time, the supply pump 23 may be stopped simultaneously with the stop of the manufacturing apparatus 1.

次に、調整部31,32,33,34で滞留しているスラリー3を排出させたい調整部を選択し、バルブ41,42,43,44の中で対応するバルブを全開にし、その他を全閉にする(ステップS12)。例えば、基材2へスラリー3を塗布する運転時に調整部31,32を流れるスラリー3の流量を少なくしている場合、調整部31,32でスラリー3の滞留が生じやすいので、調整部31,32の流量を調整しているバルブ41,42を全開にし、調整部33,34の流量を調整しているバルブ43,44を全閉にすることで、吸引ポンプ68の吸引力を効率よく、調整部31,32に滞留しているスラリー3の排出に使える。このステップS12において、バルブ41,42,43,44全てを全開にしても良い。   Next, the adjustment unit to which the slurry 3 staying in the adjustment units 31, 32, 33, and 34 is to be discharged is selected, and the corresponding valve is fully opened among the valves 41, 42, 43, and 44, and the others are all opened. Close (step S12). For example, when the flow rate of the slurry 3 flowing through the adjusting units 31 and 32 is reduced during the operation of applying the slurry 3 to the base material 2, the adjusting unit 31 and 32 are likely to retain the slurry 3. By fully opening the valves 41 and 42 that adjust the flow rate of 32, and fully closing the valves 43 and 44 that adjust the flow rates of the adjusting units 33 and 34, the suction force of the suction pump 68 can be efficiently increased. It can be used for discharging the slurry 3 staying in the adjusting sections 31 and 32. In step S12, all of the valves 41, 42, 43, 44 may be fully opened.

次に、バルブ55を閉にし(ステップ13)、バルブ65を開にする(ステップ14)ことで、第1の流路50から第2の流路60に切り替える。   Next, the valve 55 is closed (step 13) and the valve 65 is opened (step 14), thereby switching from the first flow path 50 to the second flow path 60.

ここでステップ11、12,13,14は同時に行っても良い。   Here, steps 11, 12, 13, and 14 may be performed simultaneously.

次に吸引ポンプ68を起動し、調整部31,32,33,34の中でバルブ41,42,43,44を開にした前記各調整部31,32,33,34のスラリー3を吸引し、第2の流路60から排出する(ステップ15)。   Next, the suction pump 68 is started, and the slurry 3 of each of the adjusting units 31, 32, 33, 34 in which the valves 41, 42, 43, 44 are opened in the adjusting units 31, 32, 33, 34 is sucked. Then, the liquid is discharged from the second flow path 60 (step 15).

前記各調整部31,32,33,34からスラリー3を排出後、吸引ポンプ68を停機にする(ステップS16)。   After the slurry 3 is discharged from each of the adjusting sections 31, 32, 33, 34, the suction pump 68 is stopped (step S16).

次に、バルブ65を閉にし(ステップ17)、バルブ55を開にする(ステップ18)ことで、第2の流路60から第1の流路50に切り替え、前記各調整部31,32,33,34のバルブ41,42,43,44の開度を基材2へのスラリー3塗布時の開度に戻す(ステップ19)。   Next, the valve 65 is closed (step 17), and the valve 55 is opened (step 18), so that the second flow path 60 is switched to the first flow path 50, and the adjustment units 31, 32, The opening degree of the valves 41, 42, 43, 44 of 33, 34 is returned to the opening degree when the slurry 3 is applied to the substrate 2 (step 19).

ここでステップ16、17,18,19は同時に行っても良い。   Here, steps 16, 17, 18, and 19 may be performed simultaneously.

そして、供給ポンプ23をONにして基材2へのスラリー3の塗布を再開する(ステップ20)。   Then, the supply pump 23 is turned on to resume the application of the slurry 3 to the base material 2 (step 20).

ステップ11で供給ポンプ23をOFFにせず、吸引ポンプ68で吸引するスラリー3の量と同等、もしくは同等以下の量を供給する圧力に落としても良い。その場合、吸引ポンプ68で前記各調整部31,32,33,34に滞留したスラリー3を吸引しても、スラリー3が調整部31,32,33,34にスラリー3が補充されるので、ダイの吐出口18等からの空気の混入を防ぐことができる。   In step 11, the supply pump 23 may not be turned off, and the pressure may be reduced to supply an amount equal to or less than the amount of the slurry 3 sucked by the suction pump 68. In that case, even if the slurry 3 staying in the adjustment units 31, 32, 33, 34 is sucked by the suction pump 68, the slurry 3 is replenished to the adjustment units 31, 32, 33, 34. It is possible to prevent air from entering from the discharge port 18 of the die.

以上より、スラリー3の吐出作業を長時間継続して行っていても、基材2上に形成される塗膜層の厚さを均一にすることが可能となる。   As described above, even when the slurry 3 is continuously discharged for a long time, the thickness of the coating layer formed on the substrate 2 can be made uniform.

また、本発明の製造装置1は、図示する形態に限らず本発明の範囲内において他の形態のものであってもよい。例えば、図6に示すように第2の流路の吸引ポンプ68で排出したスラリーを供給タンク22に戻しても良い。   Moreover, the manufacturing apparatus 1 of this invention is not restricted to the form shown in figure, The thing of another form may be sufficient within the scope of the present invention. For example, as shown in FIG. 6, the slurry discharged by the suction pump 68 of the second flow path may be returned to the supply tank 22.

なお、図7に示すように、本実施形態以外の実施形態として、調整部31,32,33,34を出て統合される統合流路40から分岐する第1の流路50と第2の流路60の切り替えは第1の流路50に設けられたバルブ55と第2の流路60に設けられたバルブ65の代わりに三方弁を用いても良い。   In addition, as shown in FIG. 7, as an embodiment other than the present embodiment, the first flow path 50 and the second flow path branched from the integrated flow path 40 that exits the adjustment units 31, 32, 33, and 34 and is integrated. The flow path 60 may be switched by using a three-way valve instead of the valve 55 provided in the first flow path 50 and the valve 65 provided in the second flow path 60.

また、他の実施形態として、第1の流路50に切り替えバルブ55及び第2の流路60の切り替えバルブ65はなくても良い。ただし、切り替えバルブ55及び切り替えバルブ65がない場合、基材2へのスラリー3の塗布時に第2の流路60にもスラリー3が入り込むことから、第2の流路60でスラリー3の滞留が発生する。また、保守時に、第2の流路に設けられた吸引ポンプ68で各調整部31,32,33,34に滞留したスラリー3を吸引する際、第1の流路50も吸引してしまい、各調整部31,32,33,34の保守の効率が悪いので、切り替えバルブ55、65はあった方が良い。   In another embodiment, the switching valve 55 and the switching valve 65 of the second channel 60 may not be provided in the first channel 50. However, if the switching valve 55 and the switching valve 65 are not provided, the slurry 3 also enters the second flow path 60 when the slurry 3 is applied to the substrate 2, so that the slurry 3 stays in the second flow path 60. Occur. Further, when the slurry 3 staying in each of the adjustment units 31, 32, 33, 34 is sucked by the suction pump 68 provided in the second flow path during maintenance, the first flow path 50 is also sucked, Since the maintenance efficiency of each of the adjusting units 31, 32, 33, and 34 is poor, it is better to have the switching valves 55 and 65.

また、第1の流路50の切り替えバルブ55あるいは第2の流路60には切り替えバルブ65だけでも良い。ただし、切り替えバルブ55がない場合、保守時に、第2の流路に設けられた吸引ポンプ68で各調整部31,32,33,34に滞留したスラリー3を吸引する際、第1の流路50も吸引してしまい、各調整部31,32,33,34の保守の効率が悪いので、切り替えバルブ55はあった方が良い。また、切り替えバルブ65がない場合、基材2に塗布時に第2の流路60にもスラリー3が入り込むことから第2の流路60でスラリー3の滞留が発生するので、切り替えバルブ65はあった方が良い。   Further, only the switching valve 65 may be used for the switching valve 55 of the first flow path 50 or the second flow path 60. However, when the switching valve 55 is not provided, when the slurry 3 staying in each of the adjustment units 31, 32, 33, 34 is sucked by the suction pump 68 provided in the second flow path during maintenance, the first flow path is used. 50 is also sucked, and the maintenance efficiency of each of the adjustment units 31, 32, 33, 34 is poor. If the switching valve 65 is not provided, the slurry 3 also enters the second flow path 60 during application to the substrate 2, so that the retention of the slurry 3 occurs in the second flow path 60. Better.

また、統合流路40を設けず、各調整部31,32,33,34を出たスラリー3の流路が、それぞれ第1の流路50、第2の流路60を有していても良い。   In addition, the integrated flow path 40 is not provided, and the flow path of the slurry 3 that has exited the adjustment units 31, 32, 33, and 34 has the first flow path 50 and the second flow path 60, respectively. good.

また、図8に示すように、調整部調整部31,32,33,34に接続するバルブ41,42,43,44から出て統合流路40に接続するパイプ71,72,73,74の途中に開閉可能なバルブ76,77,78,79を設けても良い。この場合、前記の基材交換時や、ロット変更時等の休止時あるいは休止後の再稼動時の調整部31,32,33,34からのスラリーの排出作業時に、バルブ76,77,78,79の開閉を操作することにより、スラリーを排出する調整部を選択することが可能となる。   Further, as shown in FIG. 8, pipes 71, 72, 73, 74 that are connected to the integrated flow path 40 through the valves 41, 42, 43, 44 connected to the adjustment unit adjustment units 31, 32, 33, 34 are connected. Valves 76, 77, 78, 79 that can be opened and closed may be provided on the way. In this case, the valves 76, 77, 78, at the time of discharging the slurry from the adjusting units 31, 32, 33, 34 at the time of the above-mentioned replacement of the base material, at the time of suspension such as when changing the lot, or at the time of re-operation after the suspension. By operating the opening and closing of 79, it is possible to select the adjusting unit that discharges the slurry.

上記において、バルブ76,77,78,79を設けるかわりに、バルブ41,42,43,44に開閉機能を持たせても良い。   In the above, instead of providing the valves 76, 77, 78, 79, the valves 41, 42, 43, 44 may have an opening / closing function.

なお、本実施形態以外の他の実施形態として、図9(A)に示すように、第2のマニホールド24は、スリット12の途中であり、調整部31,32,33,34が設けられた部分と吐出口18との間に設けられていても良い。   As another embodiment other than the present embodiment, as shown in FIG. 9A, the second manifold 24 is in the middle of the slit 12 and provided with adjustment portions 31, 32, 33, and 34. It may be provided between the portion and the discharge port 18.

また、さらに他の実施形態として、図9(B)に示すように、第2のマニホールド24を設けず、スリット12の途中(第1のマニホールド11と吐出口18の間)に調整部31,32,33,34が設けられていても良い。   Furthermore, as yet another embodiment, as shown in FIG. 9B, the second manifold 24 is not provided, and the adjusting unit 31 is provided in the middle of the slit 12 (between the first manifold 11 and the discharge port 18). 32, 33, and 34 may be provided.

なお、本発明の製造装置1は、塗布する塗布液が粘度の高いスラリーである場合に有効であり、粘度の高いスラリーを塗布して製品(例えば、光学フィルム)を製造する場合に適用してもよい。   The manufacturing apparatus 1 of the present invention is effective when the coating liquid to be applied is a slurry having a high viscosity, and is applied when a product (for example, an optical film) is manufactured by applying a slurry having a high viscosity. Also good.

1 電池用極板の製造装置
2 基材
3 スラリー
10 ダイ
11 第1のマニホールド
12 スリット
16 流入部
17 底部
18 吐出口
20 供給手段
22 タンク
23 供給ポンプ
24 第2のマニホールド
31,32,33,34 調整部
40 統合流路
41,42,43,44 バルブ
50 第1の流路
55 切り替えバルブ
60 第2の流路
65 切り替えバルブ
68 吸引ポンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Battery electrode plate manufacturing apparatus 2 Base material 3 Slurry 10 Die 11 First manifold 12 Slit 16 Inflow portion 17 Bottom portion 18 Discharge port 20 Supply means 22 Tank 23 Supply pump 24 Second manifold 31, 32, 33, 34 Adjustment unit 40 Integrated flow path 41, 42, 43, 44 Valve 50 First flow path 55 Switching valve 60 Second flow path 65 Switching valve 68 Suction pump

Claims (4)

幅方向に長くスラリーを溜める空間からなる第1のマニホールドと、
幅方向に広いスリットを経由して前記第1のマニホールドと繋がり、スラリーを基材に対して吐出する吐出口と、
前記第1のマニホールドと前記吐出口との間からスラリーを流出させることにより前記吐出口からのスラリーの吐出量を調整するための幅方向にわたって設けられた複数の調整部と、
を有するダイと、
前記第1のマニホールドに連通している流入部から前記第1のマニホールドにスラリーを供給する手段と、
複数の前記調整部から流出させたスラリーの流路を第1の流路とスラリーの吸引手段が設けられた第2の流路の2つに分岐する流路と、
を備える電池用極板の製造装置。
A first manifold comprising a space for storing slurry long in the width direction;
A discharge port connected to the first manifold via a wide slit in the width direction and discharging slurry to the substrate;
A plurality of adjusting portions provided across the width direction for adjusting the discharge amount of the slurry from the discharge port by allowing the slurry to flow out from between the first manifold and the discharge port;
A die having
Means for supplying slurry to the first manifold from an inflow portion communicating with the first manifold;
A flow path that divides the flow path of the slurry that has flowed out from the plurality of adjusting sections into a first flow path and a second flow path that is provided with a slurry suction means;
An apparatus for manufacturing a battery electrode plate.
前記複数の調整部から流出させたスラリーの流路には、スラリーの流れる流路を前記第1の流路と前記第2の流路に切り替える手段が設けられている請求項1に記載の電池用極板の製造装置。   2. The battery according to claim 1, wherein means for switching the flow path of the slurry to the first flow path and the second flow path is provided in the flow path of the slurry discharged from the plurality of adjusting units. Production equipment for electrode plates. 前記複数の調整部には、流出させるスラリーの量の制御を個別に行う制御装置が設けられている請求項1または2に記載の電池用極板の製造装置。   The apparatus for manufacturing a battery electrode plate according to claim 1 or 2, wherein the plurality of adjusting units are provided with a control device for individually controlling the amount of slurry to be discharged. 請求項1に記載の電池用極板の製造装置の保守方法であって、前記ダイの保守時は前記第2の流路を使用してスラリーを吸引することを特徴とする電池用極板の製造装置の保守方法。

2. The maintenance method for a battery electrode manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the slurry is sucked using the second flow path during maintenance of the die. Maintenance method for manufacturing equipment.

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