JP2018036161A - Film inspection device, film inspection method, and film manufacturing method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately inspect a defect of a film.SOLUTION: A film inspection device 1 includes: a light reception device 12 that by receiving light having been radiated to a film 2 and then having returned through the film 2, generates a signal for detecting a defect contained in the film 2; and a reflection roller 13 that in a visual field V of the light reception device 12, transports the film 2 while supporting the same from the opposite side to the light reception device 12.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は、搬送中のフィルムの欠陥検査に関する。   The present invention relates to a defect inspection of a film being conveyed.

搬送中のフィルムの欠陥検査には、光学的な手法が用いられることが多い。特許文献1には、光源からフィルムなどの被検査物に対して可視光と不可視光とを照射し、被検査物が反射するこれらの光を受光することにより、被検査物の欠陥を検査する欠陥検査が開示されている。特許文献2には、フィルム両面に照射した光をカメラで撮像し、その画像を画像処理する欠陥検査を用いることが記載されている。光の反射を用いたフィルムの欠陥検査では、光源と受光装置とをフィルムに対して同じ側へ配置し、光源からフィルムへ照射されて異物などの欠陥によって反射された光を受光装置に集光している。   An optical technique is often used for defect inspection of a film being conveyed. In Patent Document 1, visible light and invisible light are irradiated from a light source to an inspection object such as a film, and the inspection object is inspected for defects by receiving these lights reflected by the inspection object. Defect inspection is disclosed. Patent Document 2 describes that a defect inspection is performed in which light applied to both surfaces of a film is captured by a camera and the image is processed. In film defect inspection using light reflection, the light source and the light receiving device are placed on the same side of the film, and the light that is irradiated from the light source to the film and reflected by defects such as foreign matter is collected on the light receiving device. doing.

日本国公開特許公報「特開2014−20910号公報(2014年2月3日公開)」Japanese Patent Publication “Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2014-20910 (published on February 3, 2014)” 日本国公開特許公報「特開2008−116437号公報(2008年5月22日公開)」Japanese Patent Publication “JP 2008-116437 A (published on May 22, 2008)”

搬送中のフィルムはフィルム面に垂直な方向へ変位する、いわゆる「バタつく」ことが多い。フィルムの長手方向に張力をかけることで、この変位をある程度抑制できる。しかし、この張力は、大きくなるほど搬送中のフィルムが伸びる、または破断する虞も大きくなるため、ある程度以下にとどめなければならない。そして、フィルムがバタつくと、受光装置に集光される反射光の強度がフィルム欠陥とは無関係に変動するため、正確な検査結果を得られなくなる。特に、フィルムが機械的強度の低い多孔質の二次電池用セパレータなどであるときには、この傾向は顕著である。特許文献1および2の従来技術では、この問題が考慮されていない。本発明は、以上の問題に鑑み、搬送中のフィルムの欠陥を正確に測定することを目的とする。   The film being transported often shifts in a direction perpendicular to the film surface, so-called “fluttering”. This displacement can be suppressed to some extent by applying tension in the longitudinal direction of the film. However, the greater the tension, the greater the possibility that the film being transported will stretch or break, so it must be kept below a certain level. If the film flutters, the intensity of the reflected light collected on the light receiving device fluctuates regardless of the film defect, so that an accurate inspection result cannot be obtained. This tendency is particularly noticeable when the film is a porous secondary battery separator having a low mechanical strength. In the prior arts of Patent Documents 1 and 2, this problem is not considered. In view of the above problems, an object of the present invention is to accurately measure defects in a film being conveyed.

上記の課題を解決するために、本発明のフィルム検査装置は、フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する受光装置と、上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する第1ローラーとを備える。   In order to solve the above-described problems, the film inspection apparatus of the present invention receives a light irradiated on the film and returned through the film, thereby detecting a defect included in the film. And a first roller that conveys the film while supporting the film from the side opposite to the light receiving device within the field of view of the light receiving device.

本発明のフィルム検査方法は、フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光装置によって受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する工程と、上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する工程とを含む。   The film inspection method of the present invention includes a step of generating a signal for detecting a defect included in the film by receiving the light irradiated to the film and returning through the film with a light receiving device, And transporting the film while supporting the film from the side opposite to the light receiving device within the field of view of the light receiving device.

本発明のフィルム製造方法は、上述のフィルム検査方法が含む各工程と、上記生成する工程において生成された信号に基づき検査した上記フィルムの欠陥部位を除去する工程とを含む。   The film manufacturing method of this invention includes each process which the above-mentioned film inspection method includes, and the process of removing the defect site | part of the said film examined based on the signal produced | generated in the said production | generation process.

本発明は、従来よりも正確にフィルムの欠陥を検査できるという効果を奏する。また、本発明は、従来よりも欠陥の少ないフィルムを製造できるという効果を奏する。   The present invention has an effect that a defect of a film can be inspected more accurately than before. Moreover, this invention has the effect that a film with few defects than before can be manufactured.

実施形態1のフィルム検査装置の構成を示す側面図・断面図である。It is a side view and sectional view showing the composition of the film inspection device of Embodiment 1. 図1に示されるフィルム検査装置の受光装置が出力する電気信号のグラフである。It is a graph of the electric signal which the light-receiving device of the film test | inspection apparatus shown by FIG. 1 outputs. 図1に示されるフィルム検査装置の受光装置と反射ローラーとがとり得る配置・姿勢を説明する側面図である。It is a side view explaining the arrangement | positioning and attitude | position which the light-receiving device and reflection roller of the film inspection apparatus shown by FIG. 1 can take. 実施形態2のフィルム検査装置の構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the film inspection apparatus of Embodiment 2. 実施形態3のフィルム検査装置の構成を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the structure of the film inspection apparatus of Embodiment 3. 図1に示されるフィルム検査装置の変形例を示す側面図である。It is a side view which shows the modification of the film test | inspection apparatus shown by FIG. 図1に示されるフィルム検査装置の他の変形例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other modification of the film inspection apparatus shown by FIG.

〔実施形態1〕
《フィルム検査装置1の構成》
図1は、本実施形態のフィルム検査装置1の構成を示す図であって、(a)は側面図であり、(b)は(a)の受光装置12と反射ローラー13(第1ローラー)とを含む面の断面図である。なお、図1に示されるXYZ軸は、他の図に示されるXYZ軸に対応している。
Embodiment 1
<< Configuration of Film Inspection Apparatus 1 >>
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration of a film inspection apparatus 1 according to the present embodiment, where (a) is a side view, and (b) is a light receiving device 12 and a reflection roller 13 (first roller) of (a). It is sectional drawing of the surface containing these. Note that the XYZ axes shown in FIG. 1 correspond to the XYZ axes shown in other drawings.

フィルム検査装置1は、Y軸正方向側に搬送中のフィルム2の欠陥を検査する装置である。図1の(a)(b)に示されるように、フィルム検査装置1は、光源11a・11bと、受光装置12と、反射ローラー13と、検査部14と、搬送ローラー3a・3b(第2ローラー)とを備える。なお、図1の(b)では、図を簡潔にするために、光源11a・11bは破線で示されており、搬送ローラー3a・3bは省略されている。   The film inspection apparatus 1 is an apparatus for inspecting a defect of the film 2 being conveyed in the Y axis positive direction side. As shown in FIGS. 1A and 1B, the film inspection apparatus 1 includes light sources 11a and 11b, a light receiving device 12, a reflection roller 13, an inspection unit 14, and transport rollers 3a and 3b (second). Roller). In FIG. 1B, for the sake of brevity, the light sources 11a and 11b are indicated by broken lines, and the transport rollers 3a and 3b are omitted.

(フィルム2)
フィルム2は、二次電池用セパレータに加工する前の無孔フィルムである。なお、二次電池用セパレータとは、例えばリチウムイオン二次電池の正極と負極との間を分離しつつ、これらの間におけるリチウムイオンの移動を可能にする多孔質フィルムである。
(Film 2)
The film 2 is a non-porous film before being processed into a secondary battery separator. The secondary battery separator is, for example, a porous film that allows lithium ions to move between the positive electrode and the negative electrode of a lithium ion secondary battery while separating them.

具体的には、フィルム2は、超高分子量ポリエチレンと、無機充填剤(フィラー:例えば、炭酸カルシウム、シリカ)または可塑剤(例えば、低分子量ポリオレフィン、流動パラフィン)とを混練して得たポリエチレン樹脂組成物を成形したフィルムである。このポリエチレン樹脂組成物は、例えば、超高分子量ポリエチレン100重量部と、無機充填剤100〜400重量部と、重量平均分子量1万以下の低分子量ポリオレフィン5〜200重量部とを混練して得る。   Specifically, the film 2 is a polyethylene resin obtained by kneading ultra high molecular weight polyethylene and an inorganic filler (filler: for example, calcium carbonate, silica) or a plasticizer (for example, low molecular weight polyolefin, liquid paraffin). It is the film which shape | molded the composition. This polyethylene resin composition is obtained, for example, by kneading 100 parts by weight of ultrahigh molecular weight polyethylene, 100 to 400 parts by weight of an inorganic filler, and 5 to 200 parts by weight of a low molecular weight polyolefin having a weight average molecular weight of 10,000 or less.

なお、フィルム検査装置1の検査対象は、上述のフィルム2に限定されず、以下に列挙するものであってもよい。検査対象は、光をある程度透過するものが望ましい。この場合、後述する「反射ローラー13の外周面の色・表面粗さの影響」の項において説明する反射ローラー13による効果(検査光に対応する電気信号において、フィルム2の正常部分と欠陥部分とのコントラストを高めたり、ノイズ成分を低減したりすることができる効果)が奏される。ただし、検査対象は、ある程度の厚みを有する金属フィルム等、全く光を透過しないフィルムであってもよい。この場合にも、フィルム2が検査領域において受光装置12に対する位置および姿勢の変化が抑制されるという効果は奏される。
・上述のポリエチレン樹脂組成物を成形したフィルムから無機充填剤または可塑剤を除去したフィルム
・このフィルムを一軸または二軸延伸した延伸フィルム
・延伸フィルムにアラミドを含む溶液を塗布したフィルム、および、当該溶液から溶媒を除くことによりアラミド耐熱層を片面または両面に形成した積層フィルム
・延伸フィルムにアルミナ/カルボキシメチルセルロースを含む溶液を塗布したフィルム、および、当該溶液から溶媒を除くことによりアルミナ耐熱層を片面または両面に形成した積層フィルム
・延伸フィルムにポリフッ化ビニリデンを含む溶液を塗布したフィルム、および、当該溶液から溶媒を除くことにより接着層を片面または両面に形成した積層フィルム
・光学フィルム
・布、紙、パルプ、セルロース
上記の延伸フィルムおよび積層フィルムは二次電池用セパレータとして使用される。近年、二次電池の高容量化に伴い、二次電池用セパレータには一層の薄膜化が求められている。具体的には、膜厚5〜10μmの二次電池用セパレータが求められている。このようなフィルムは特に強度が低いため、搬送中にバタつく、伸びる、または破断する虞が特に大きくなる。すなわち、このような二次電池用セパレータの検査において、本発明は特に後述する優れた効果を奏する。
In addition, the inspection object of the film inspection apparatus 1 is not limited to the above-mentioned film 2, and may be enumerated below. The inspection object is preferably one that transmits light to some extent. In this case, the effect of the reflection roller 13 described in the section “Effects of the color and surface roughness of the outer peripheral surface of the reflection roller 13” described later (in the electrical signal corresponding to the inspection light, Effect of increasing the contrast of the image and reducing the noise component). However, the inspection object may be a film that does not transmit light at all, such as a metal film having a certain thickness. Also in this case, the effect that the film 2 is prevented from being changed in position and posture with respect to the light receiving device 12 in the inspection region.
A film obtained by removing the inorganic filler or plasticizer from the film obtained by molding the above polyethylene resin composition. A stretched film obtained by uniaxially or biaxially stretching this film. A film obtained by applying a solution containing aramid to the stretched film, and A film in which a solution containing alumina / carboxymethylcellulose is applied to a laminated film or stretched film in which an aramid heat-resistant layer is formed on one or both sides by removing the solvent from the solution, and an alumina heat-resistant layer on one side by removing the solvent from the solution Alternatively, a film in which a solution containing polyvinylidene fluoride is applied to a laminated film / stretched film formed on both sides, and a laminated film / optical film / cloth, paper in which an adhesive layer is formed on one or both sides by removing the solvent from the solution , Pulp, cellulose Films and laminated films are used as secondary battery separators. In recent years, with the increase in capacity of secondary batteries, secondary battery separators are required to have a thinner film. Specifically, a separator for a secondary battery having a film thickness of 5 to 10 μm is required. Since such a film is particularly low in strength, there is a particular risk of fluttering, stretching or breaking during transportation. In other words, in the inspection of such a secondary battery separator, the present invention has particularly excellent effects described later.

(フィルム2の欠陥)
フィルム検査装置1が検査するフィルム2の欠陥は、例えばフィルム2に混入した以下に列挙する異物である。
・金属(鉄・ステンレス鋼・アルミニウム・銅・亜鉛・真鍮など)
・ゲル(超高分子量ポリエチレンなど)
・フィラー(炭酸カルシウムなど)凝集物
・油滴
・ローラー研磨材
・金属酸化物(酸化アルミ、酸化クロムなど)
・焼付き防止剤(金属塩)
以上のように、フィルム検査装置1が検査するフィルム2の異物は、フィルム2とは光学的特性が異なるものである。なお、フィルム2の穴・しわ・むらなども、フィルム検査装置1が検査するフィルム2の欠陥に含まれる。
(Defects in film 2)
The defect of the film 2 inspected by the film inspection apparatus 1 is, for example, the following foreign substances mixed in the film 2.
・ Metals (iron, stainless steel, aluminum, copper, zinc, brass, etc.)
・ Gel (ultra high molecular weight polyethylene, etc.)
・ Filler (calcium carbonate, etc.) agglomerates, oil droplets, roller abrasives, metal oxides (aluminum oxide, chromium oxide, etc.)
・ Anti-seizure agent (metal salt)
As described above, the foreign matter of the film 2 to be inspected by the film inspection apparatus 1 is different from the film 2 in optical characteristics. Note that holes, wrinkles, unevenness, etc. of the film 2 are also included in the defects of the film 2 that the film inspection apparatus 1 inspects.

(搬送ローラー3a・3b)
搬送ローラー3a・3bは、フィルム2に接しかつ回転することにより、フィルム2をY軸方向側に搬送するローラーである。図1の(a)に示されるように、搬送ローラー3a・3bは、円柱形状であり、回転可能に支持されている。外部の搬送装置がフィルム2を搬送しているときには、フィルム検査装置1は、搬送ローラー3a・3bを備えていなくてもよい。なお、搬送ローラー3aは、自身に嵌められた円筒形状のコアに巻きつけられたフィルム2を巻き出すための巻出ローラーであってもよい。また、搬送ローラー3bは、自身に嵌められた円筒形状のコアにフィルム2を巻き取るための巻取ローラーであってもよい。
(Conveyance rollers 3a and 3b)
The transport rollers 3a and 3b are rollers that transport the film 2 to the Y-axis direction side by contacting and rotating the film 2. As shown in FIG. 1A, the transport rollers 3a and 3b have a cylindrical shape and are rotatably supported. When the external transport apparatus is transporting the film 2, the film inspection apparatus 1 may not include the transport rollers 3a and 3b. In addition, the conveyance roller 3a may be an unwinding roller for unwinding the film 2 wound around a cylindrical core fitted to itself. Moreover, the conveyance roller 3b may be a winding roller for winding the film 2 around a cylindrical core fitted to itself.

(光源11a・11b)
光源11a・11bは、フィルム2へ光を照射するものである。光源11aが照射する光は、可視光である。光源11bが照射する光は、紫外光または赤外光である。
(Light sources 11a and 11b)
The light sources 11a and 11b irradiate the film 2 with light. The light emitted from the light source 11a is visible light. The light irradiated by the light source 11b is ultraviolet light or infrared light.

図1の(b)に示されるように、光源11a・11bは、フィルム2のX軸方向のおおむね全体に光を照射する。なお、X軸方向は、フィルム2の長手方向と厚み方向とに垂直な方向である。また、光源11a・11bは、フィルム2の同一箇所に光を照射する。以上のように光を照射するために、光源11a・11bは、例えば、X軸方向に並ぶ複数の発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)、他の発光素子、またはLEDもしくは他の発光素子と拡散板もしくは波長フィルタとを組み合わせたものを備える。   As shown in (b) of FIG. 1, the light sources 11 a and 11 b irradiate light over the entire X-axis direction of the film 2. Note that the X-axis direction is a direction perpendicular to the longitudinal direction and the thickness direction of the film 2. In addition, the light sources 11 a and 11 b irradiate the same portion of the film 2 with light. In order to irradiate light as described above, the light sources 11a and 11b are diffused with, for example, a plurality of light emitting diodes (LEDs) arranged in the X-axis direction, other light emitting elements, or LEDs or other light emitting elements. A combination of a plate or a wavelength filter is provided.

なお、フィルム2を照射する光として、フィルム検査装置1の外部からフィルム2へ照射される光を利用可能な場合は、フィルム検査装置1としては光源11a・11bを備える必要はない。   In addition, when the light irradiated to the film 2 from the outside of the film inspection apparatus 1 can be used as the light for irradiating the film 2, the film inspection apparatus 1 does not need to include the light sources 11a and 11b.

(受光装置12)
受光装置12は、光源11a・11bによってフィルム2に対して照射され、フィルム2を介してZ軸正方向側に戻ってきた光を受光することにより、フィルム2に含まれる欠陥を検出するための信号を生成する装置である。
(Light receiving device 12)
The light receiving device 12 detects a defect included in the film 2 by receiving light irradiated to the film 2 by the light sources 11a and 11b and returning to the Z axis positive direction side through the film 2. A device for generating a signal.

なお、フィルム2から戻ってきた光には、フィルム2の表面または内部において反射された光、フィルム2の表面または内部において散乱された光、フィルム2を透過し反射ローラー13によって反射または散乱され再度フィルム2を透過した光が含まれている。これらの光を、以下では「検査光」と称することとする。   The light returned from the film 2 includes light reflected on the surface or inside of the film 2, light scattered on the surface or inside of the film 2, and reflected or scattered by the reflection roller 13 through the film 2 and again. Light transmitted through the film 2 is included. Hereinafter, these lights are referred to as “inspection light”.

受光装置12は、検査光を集光するレンズを備えており、図1の(b)に示されるようにフィルム2のX軸方向のおおむね全体から検査光を集光する。このレンズの被写界深度は、反射ローラー13上のフィルム2の表面および裏面をおおむね含むように設定されている。   The light receiving device 12 includes a lens for condensing the inspection light, and condenses the inspection light from almost the entire X-axis direction of the film 2 as shown in FIG. The depth of field of this lens is set so as to roughly include the front and back surfaces of the film 2 on the reflection roller 13.

また、受光装置12は、2つの電荷結合素子(CCD:Charge Coupled Device)と、これらに対応する2つの光学フィルターとをさらに備える。2つのCCDは、それぞれ集光した検査光を電気信号に変換する。2つの光学フィルターは、上記2つのCCDごとに備えられており、一方のCCDが光源11aからの光成分を電気信号に変換でき、他方のCCDが光源11bからの光成分を電気信号に変換できるように、それぞれ特定の光のみを透過する。これにより、受光装置12は、集光した検査光を、光源11aからの光の成分と、光源11bからの光の成分とに分け、各成分を電気信号に変換できる。   The light receiving device 12 further includes two charge coupled devices (CCD) and two optical filters corresponding thereto. Each of the two CCDs converts the collected inspection light into an electrical signal. Two optical filters are provided for each of the two CCDs. One CCD can convert a light component from the light source 11a into an electric signal, and the other CCD can convert a light component from the light source 11b into an electric signal. Thus, each transmits only specific light. Thereby, the light receiving device 12 can divide the collected inspection light into a light component from the light source 11a and a light component from the light source 11b, and convert each component into an electric signal.

(反射ローラー13)
図1の(a)(b)に示されるように、反射ローラー13は、受光装置12に対してフィルム2を介して対向する位置に配置され、フィルム2のZ軸負方向側の一面に接してフィルム2を支持し、かつフィルム2を搬送する方向へ回転している。
(Reflection roller 13)
As shown in FIGS. 1A and 1B, the reflection roller 13 is disposed at a position facing the light receiving device 12 through the film 2 and is in contact with one surface of the film 2 on the Z-axis negative direction side. The film 2 is supported and rotated in the direction in which the film 2 is conveyed.

そのため、受光装置12が受光する検査光は、フィルム2のうち、反射ローラー13によって一面から支持された部分、すなわち、受光装置12に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分を介した検査光となる。   Therefore, the inspection light received by the light receiving device 12 is a portion of the film 2 that is supported from one surface by the reflecting roller 13, that is, the inspection light that passes through a portion in which the change in position and orientation relative to the light receiving device 12 is suppressed. Become.

なお、フィルム2を搬送する搬送ローラー3a・3bは、フィルム2に対して反射ローラー13と同じ側、かつフィルム2の搬送経路にそった反射ローラー13の直前および直後の位置にそれぞれ配置されている。   In addition, the conveyance rollers 3a and 3b for conveying the film 2 are respectively disposed on the same side as the reflection roller 13 with respect to the film 2 and immediately before and after the reflection roller 13 along the conveyance path of the film 2. .

反射ローラー13は、光源11a・11bによってフィルム2に照射された光のうち、フィルム2を透過した光を反射又は散乱するものである。この反射ローラー13におけるフィルム2に接する外周面は、つや消し処理されていない白色からアイボリーの塩化ビニルからなっている。   The reflection roller 13 reflects or scatters the light transmitted through the film 2 among the light irradiated on the film 2 by the light sources 11a and 11b. The outer peripheral surface in contact with the film 2 in the reflection roller 13 is made of white to ivory vinyl chloride that has not been matted.

本願における「つや消し処理されていない」とは、反射ローラー13におけるフィルム2に接する外周面の光沢度(表面状態)が、例えばHORIBA製GlossChecker IG-331を用いて測定した値について、日本工業規格JIS-Z8741における鏡面光沢度測定方法の種類である60度鏡面光沢において、反射率が10%であるときの光沢度を100としたときに、10以上76未満であることを意味する。   “Non-matte treatment” in the present application means that the glossiness (surface state) of the outer peripheral surface in contact with the film 2 in the reflection roller 13 is measured using, for example, GORI's GlossChecker IG-331 manufactured by HORIBA. In the case of 60-degree specular gloss, which is the type of specular gloss measurement method in -Z8741, this means that the gloss is 10 or more and less than 76 when the gloss is 100 when the reflectance is 10%.

一方「つや消し処理されている」とは、上記光沢度が、0以上10未満であることを意味する。上記光沢度が76以上であるとき、上記外周面は、鏡面であると定義される。例えば、塩化ビニルからなる上記外周面の光沢度は、60以上70以下である。   On the other hand, “matte processing” means that the glossiness is 0 or more and less than 10. When the glossiness is 76 or more, the outer peripheral surface is defined as a mirror surface. For example, the glossiness of the outer peripheral surface made of vinyl chloride is 60 or more and 70 or less.

なお、本実施形態における反射ローラー13の外周面の色は、いわゆる無彩色の白色である必要は無く、十分に光を反射または散乱させる色であればよい。具体的には、マンセル表色系で表したときに、色相に特に規定は無いが、明度は7.0以上9.5以下、彩度は0.5以上3以下であることが好ましい。例えば、実施形態1では、上記外周面の色相は5Yであり、明度は9であり、彩度は0.5である。後述する実施形態2では、上記外周面の色相は2.5Yであり、明度は7.5であり、彩度は2である。   In addition, the color of the outer peripheral surface of the reflection roller 13 in this embodiment does not need to be what is called achromatic white, and should just be a color which reflects or scatters light sufficiently. Specifically, when expressed in the Munsell color system, the hue is not particularly defined, but the lightness is preferably 7.0 or more and 9.5 or less, and the saturation is preferably 0.5 or more and 3 or less. For example, in the first embodiment, the hue of the outer peripheral surface is 5Y, the lightness is 9, and the saturation is 0.5. In Embodiment 2 described later, the hue of the outer peripheral surface is 2.5Y, the lightness is 7.5, and the saturation is 2.

(検査部14)
図1の(a)(b)に示されるように、検査部14は、受光装置12に接続されており、受光装置12が変換した電子信号を受けとる。この電気信号は、受光装置12がフィルム2のX軸方向のおおむね全体から受光した検査光の強度を反映している。検査部14は、この電気信号から、フィルム2の欠陥を検査する。なお、フィルム検査装置1は、検査部14と同等の機能をもつ外部の検査部に接続されてもよい。このとき、フィルム検査装置1は、検査部14を備えなくてもよい。
(Inspection unit 14)
As shown in FIGS. 1A and 1B, the inspection unit 14 is connected to the light receiving device 12 and receives an electronic signal converted by the light receiving device 12. This electric signal reflects the intensity of the inspection light received by the light receiving device 12 from almost the entire X-axis direction of the film 2. The inspection unit 14 inspects the film 2 for defects from this electrical signal. Note that the film inspection apparatus 1 may be connected to an external inspection unit having the same function as the inspection unit 14. At this time, the film inspection apparatus 1 may not include the inspection unit 14.

検査部14は、集積回路(ICチップ)などに形成された論理回路(ハードウェア)によって実現してもよいし、CPU(Central Processing Unit)を用いてソフトウェアによって実現してもよい。   The inspection unit 14 may be realized by a logic circuit (hardware) formed in an integrated circuit (IC chip) or the like, or may be realized by software using a CPU (Central Processing Unit).

後者の場合、検査部14は、その機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するCPU、上述のプログラムおよび各種データがコンピュータ(またはCPU)で読み取り可能に記録されたROM(Read Only Memory)または記憶装置(これらを「記録媒体」と称する)、上述のプログラムを展開するRAM(Random Access Memory)などを備えている。そして、コンピュータ(またはCPU)が上述のプログラムを上述の記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上述の記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上述のプログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体(通信ネットワークや放送波など)を介して上述のコンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上述のプログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。   In the latter case, the inspection unit 14 includes a CPU that executes instructions of a program that is software that realizes the function, and a ROM (Read Only Memory) in which the above-described program and various data are recorded so as to be readable by the computer (or CPU). Alternatively, a storage device (these are referred to as “recording media”), a RAM (Random Access Memory) that expands the above-described program, and the like are provided. And the objective of this invention is achieved when a computer (or CPU) reads and runs the above-mentioned program from the above-mentioned recording medium. As the above-described recording medium, a “non-temporary tangible medium” such as a tape, a disk, a card, a semiconductor memory, a programmable logic circuit, or the like can be used. Further, the above-described program may be supplied to the above-described computer via an arbitrary transmission medium (such as a communication network or a broadcast wave) that can transmit the program. The present invention can also be realized in the form of a data signal embedded in a carrier wave in which the above-described program is embodied by electronic transmission.

《フィルム検査装置1の動作》
(欠陥の有無の検査)
検査部14が受光装置12から受けとる電気信号の強度は、フィルム2からの検査光の強度に対応する。そして、フィルム2に欠陥があるときには、検査光の強度が変化する。よって、検査部14は、あらかじめ取得した欠陥のないフィルム2からの検査光の強度に対応する電気信号を基準値として保持しておき、この基準値と、欠陥の有無を検査したいフィルム2からの検査光の強度に対応する被検査電気信号とを比較することにより、フィルム2の欠陥の有無を検査できる。例えば、検査部14は、被検査電気信号を基準値で除算した値がある値よりも小さくなることをもって「欠陥が存在する」と欠陥の有無を検査できる。
<< Operation of Film Inspection Apparatus 1 >>
(Inspection for defects)
The intensity of the electrical signal that the inspection unit 14 receives from the light receiving device 12 corresponds to the intensity of the inspection light from the film 2. When the film 2 has a defect, the intensity of the inspection light changes. Therefore, the inspection unit 14 holds, as a reference value, an electrical signal corresponding to the intensity of inspection light from the film 2 having no defect acquired in advance, and the reference value and from the film 2 to be inspected for the presence or absence of a defect. By comparing with the electric signal to be inspected corresponding to the intensity of the inspection light, it is possible to inspect the film 2 for defects. For example, the inspection unit 14 can inspect for the presence or absence of a defect when a value obtained by dividing the electric signal to be inspected by a reference value becomes smaller than a certain value.

なお、検査部14は、受光装置12から複数回にわたって複数の電気信号を受けとり、これらの電気信号の平均を上述の基準値または被検査電気信号としてもよい。ここで、電気信号は、フィルム2に欠陥がないときにもフィルム2の表面状態を反映して変動する。検査部14は、複数の電気信号を平均することにより、この変動が抑制された電気信号を得ることができる。   Note that the inspection unit 14 may receive a plurality of electrical signals from the light receiving device 12 a plurality of times, and the average of these electrical signals may be the above-described reference value or the electrical signal to be inspected. Here, the electrical signal fluctuates reflecting the surface state of the film 2 even when the film 2 has no defect. The inspection unit 14 can obtain an electrical signal in which this variation is suppressed by averaging a plurality of electrical signals.

(欠陥の位置の検査)
図2は、図1に示されるフィルム検査装置1の受光装置12が出力する電気信号のグラフであって、(a)〜(d)は表面の色または処理方法が異なる反射ローラー13を用いたときのグラフである。これらのグラフの横軸「検査幅」は、フィルム2のX軸方向の位置に対応する。グラフの縦軸「信号強度」は、横軸に対応するフィルム2のX軸方向の位置において反射されて受光装置12によって受光された検査光の強度に対応する。縦軸の原点の値は、受光装置12が出力可能な電気信号の下限値である。
(Inspection of defect location)
FIG. 2 is a graph of an electrical signal output from the light receiving device 12 of the film inspection apparatus 1 shown in FIG. 1, and (a) to (d) use a reflection roller 13 having a different surface color or processing method. It is a graph of time. The horizontal axis “inspection width” of these graphs corresponds to the position of the film 2 in the X-axis direction. The vertical axis “signal intensity” of the graph corresponds to the intensity of the inspection light reflected at the position of the film 2 in the X-axis direction corresponding to the horizontal axis and received by the light receiving device 12. The value of the origin on the vertical axis is the lower limit value of the electrical signal that can be output by the light receiving device 12.

図2の(a)に示されるように、フィルム2のX軸方向の中央部からの検査光の強度は、フィルム2のX軸方向の端部からの検査光の強度よりも小さい。よって、検査部14は、図2の(a)のグラフに示される電気信号を受けとり「検査光の光量を減少させる欠陥が、フィルム2のX軸方向の中央部に存在する」と欠陥の位置を検査できる。   As shown in FIG. 2A, the intensity of the inspection light from the central portion of the film 2 in the X-axis direction is smaller than the intensity of the inspection light from the end portion of the film 2 in the X-axis direction. Therefore, the inspection unit 14 receives the electrical signal shown in the graph of FIG. 2A, and “the defect that reduces the amount of inspection light exists in the central portion of the film 2 in the X-axis direction” and the position of the defect. Can be inspected.

(欠陥の寸法の検査)
フィルム2の欠陥がX軸方向に大きくなるほど、図2の(a)のグラフに示される電気信号の強度が小さくなる範囲は広がる。ゆえに、検査部14は、図2の(a)のグラフに示される電気信号の波形に基づいて欠陥のX軸方向の寸法を検査できる。具体的には、検査部14は、電気信号の強度がある値よりも小さくなる検査幅の範囲を求め、受光装置12のレンズの倍率を乗算してフィルム2のX軸方向の長さに変換することにより、フィルム2のX軸方向の寸法を検査できる。
(Inspection of defect dimensions)
As the defect of the film 2 increases in the X-axis direction, the range in which the electric signal intensity shown in the graph of FIG. Therefore, the inspection unit 14 can inspect the dimension of the defect in the X-axis direction based on the waveform of the electric signal shown in the graph of FIG. Specifically, the inspection unit 14 obtains an inspection width range in which the intensity of the electric signal becomes smaller than a certain value, and multiplies the magnification of the lens of the light receiving device 12 to convert it into the length of the film 2 in the X-axis direction. By doing, the dimension of the X-axis direction of the film 2 can be test | inspected.

また、フィルム2の欠陥がY軸方向に大きくなるほど、図2の(a)のグラフに示される電気信号の強度が小さくなる期間は長くなる。ゆえに、検査部14は、連続的に受けとった図2の(a)のグラフに示される電気信号の波形に基づいて欠陥のY軸方向の寸法を検査できる。具体的には、検査部14は、電気信号の強度がある値よりも小さくなる期間を求め、フィルム2の搬送速度を乗算してフィルム2のY軸方向の長さに変換することにより、フィルム2のY軸方向の寸法を検査できる。   Further, as the defect of the film 2 increases in the Y-axis direction, the period during which the electric signal intensity shown in the graph of FIG. Therefore, the inspection unit 14 can inspect the dimension of the defect in the Y-axis direction based on the waveform of the electrical signal shown in the graph of FIG. Specifically, the inspection unit 14 obtains a period in which the intensity of the electric signal is smaller than a certain value, and multiplies the film 2 by the conveyance speed to convert the film 2 into the length in the Y-axis direction. 2 in the Y-axis direction can be inspected.

以上のように、検査部14は、フィルム2のX・Y軸方向の寸法を検査できる。   As described above, the inspection unit 14 can inspect the dimensions of the film 2 in the X and Y axis directions.

(欠陥の種類の検査)
フィルム2の欠陥の種類が異なれば、光源11aからの可視光に対応する検査光の強度(以下「第1強度」)と、光源11bからの赤外光または紫外光に対応する検査光の強度(以下「第2強度」)との間で、欠陥の有無による強度変化の度合に違いが生じる。フィルム2の欠陥が例えば金属であるときには、第1強度と第2強度とは同程度に変化することになる。一方、この欠陥が例えば油であるときには、第1強度に対して第2強度の方が変化の割合が大きくなる。よって、光源11aが照射する可視光の第1強度と、光源11bが照射する赤外光または紫外光の第2強度とを受光装置12が同時に測定し、検査部14がこれらを比較することにより、フィルム2の欠陥の種類を特定できる。
(Defect type inspection)
If the types of defects of the film 2 are different, the intensity of inspection light corresponding to visible light from the light source 11a (hereinafter referred to as “first intensity”) and the intensity of inspection light corresponding to infrared light or ultraviolet light from the light source 11b. (Hereinafter referred to as “second intensity”), a difference occurs in the degree of intensity change due to the presence or absence of defects. When the defect of the film 2 is, for example, a metal, the first strength and the second strength change to the same extent. On the other hand, when the defect is, for example, oil, the rate of change is greater for the second strength than for the first strength. Therefore, the light receiving device 12 simultaneously measures the first intensity of visible light emitted from the light source 11a and the second intensity of infrared light or ultraviolet light emitted from the light source 11b, and the inspection unit 14 compares them. The type of defect in the film 2 can be specified.

なお、この欠陥の種類の検査を行わないときには、フィルム検査装置1は、二つの光源を備えるのではなく、一つの光源を備えていればよい。   When the defect type inspection is not performed, the film inspection apparatus 1 may include one light source instead of two light sources.

《フィルム検査装置1の効果》
図1の(a)(b)に示されるように、フィルム検査装置1が反射ローラー13を備えることにより、フィルム2は、本フィルム検査装置1における検査領域において、受光装置12に対する位置および姿勢の変化が抑制される。よって、フィルム検査装置1では、反射ローラー13を備えない従来のフィルム検査装置と比較して、受光装置12は、より正確にフィルム2の欠陥を反映した電気信号を出力することができる。
<< Effect of film inspection apparatus 1 >>
As shown in FIGS. 1A and 1B, when the film inspection apparatus 1 includes the reflection roller 13, the film 2 has a position and posture with respect to the light receiving device 12 in the inspection area of the film inspection apparatus 1. Change is suppressed. Therefore, in the film inspection apparatus 1, the light receiving device 12 can output an electric signal reflecting the defect of the film 2 more accurately as compared with a conventional film inspection apparatus that does not include the reflection roller 13.

したがって、フィルム検査装置1は、従来よりも正確にフィルム2の欠陥を検査できるという効果を奏する。なお、この効果は、受光装置12と反射ローラー13とを、図1に示されるように配置したときにのみ奏されるわけではない。   Therefore, the film inspection apparatus 1 has an effect of being able to inspect defects of the film 2 more accurately than before. This effect is not achieved only when the light receiving device 12 and the reflection roller 13 are arranged as shown in FIG.

(受光装置12の視野と反射ローラー13の配置との関係)
図3は、図1の(a)に示されるフィルム検査装置1の受光装置12と反射ローラー13とがとり得る配置・姿勢を説明する側面図である。なお、図3では、図を簡潔にするために、光源11a・11bと検査部14と搬送ローラー3a・3bとは省略されている。
(Relationship between field of view of light receiving device 12 and arrangement of reflecting roller 13)
FIG. 3 is a side view for explaining the arrangement and posture that the light receiving device 12 and the reflection roller 13 of the film inspection apparatus 1 shown in FIG. In FIG. 3, the light sources 11a and 11b, the inspection unit 14, and the transport rollers 3a and 3b are omitted for the sake of brevity.

受光装置12は、図3において破線で示されるように、受光装置12のレンズがCCDに検査光を集光できる範囲である視野Vから検査光を集光する。この視野V内のフィルム2は、そのY軸方向中央部において、反射ローラー13によって受光装置12とは反対側から支持されつつ搬送されている。   As indicated by a broken line in FIG. 3, the light receiving device 12 collects the inspection light from the field of view V that is a range in which the lens of the light receiving device 12 can collect the inspection light on the CCD. The film 2 in the visual field V is conveyed while being supported from the side opposite to the light receiving device 12 by the reflection roller 13 at the center in the Y-axis direction.

ただし、受光装置12の視野Vと反射ローラー13の配置との関係は、上記に限定されるものではなく、受光装置12の視野内においてフィルム2が受光装置12とは反対側から支持されつつ搬送されるようになっておればよい。   However, the relationship between the visual field V of the light receiving device 12 and the arrangement of the reflection rollers 13 is not limited to the above, and the film 2 is supported while being supported from the opposite side of the light receiving device 12 within the visual field of the light receiving device 12. It only has to be done.

例えば、受光装置12を位置12aに移動させてもよい。この場合、視野Vは視野Vaに変化するが、視野Va内のフィルム2は、そのY軸方向端部において、反射ローラー13によって受光装置12とは反対側から支持されつつ搬送されている。なお、図3における位置12aは、受光装置12に対して、Y軸負方向側に移動しているが、Y軸正方向側に移動させてもよい。   For example, the light receiving device 12 may be moved to the position 12a. In this case, the visual field V changes to the visual field Va, but the film 2 in the visual field Va is conveyed while being supported from the side opposite to the light receiving device 12 by the reflection roller 13 at the end in the Y-axis direction. In addition, although the position 12a in FIG. 3 has moved to the Y-axis negative direction side with respect to the light receiving device 12, it may be moved to the Y-axis positive direction side.

また、受光装置12を位置12bに移動させるとともに姿勢を傾斜させてもよい。この場合も、視野Vは視野Vaに変化するが、上述のとおり、視野Va内のフィルム2は、そのY軸方向端部において、反射ローラー13によって受光装置12とは反対側から支持されつつ搬送されている。なお、図3における位置12bは、受光装置12に対して、Y軸正方向側に移動しているが、Y軸負方向側に移動させてもよい。   Further, the light receiving device 12 may be moved to the position 12b and the posture may be inclined. Also in this case, the visual field V changes to the visual field Va, but as described above, the film 2 in the visual field Va is transported while being supported from the opposite side to the light receiving device 12 by the reflection roller 13 at the end in the Y-axis direction. Has been. In addition, although the position 12b in FIG. 3 has moved to the Y axis positive direction side with respect to the light receiving device 12, it may be moved to the Y axis negative direction side.

これらの場合、受光装置12が受光する検査光には、フィルム2のうち、反射ローラー13によって支持された部分P、すなわち、受光装置12に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分Pを介して戻ってきた検査光が含まれることになる。その結果、反射ローラー13を備えない構成と比較して、受光装置12が受光する検査光において、フィルム2の欠陥とは無関係な光強度の変動が起こりにくくなる。よって、フィルム検査装置1では、反射ローラー13を備えない従来のフィルム検査装置と比較して、受光装置12が、より正確にフィルム2の欠陥を反映した信号を出力できる。   In these cases, the inspection light received by the light receiving device 12 is transmitted through the portion P of the film 2 supported by the reflecting roller 13, that is, the portion P in which the change in position and posture relative to the light receiving device 12 is suppressed. The returned inspection light will be included. As a result, compared to a configuration that does not include the reflection roller 13, in the inspection light received by the light receiving device 12, light intensity fluctuations that are unrelated to defects in the film 2 are less likely to occur. Therefore, in the film inspection apparatus 1, the light receiving device 12 can output a signal reflecting the defect of the film 2 more accurately as compared with a conventional film inspection apparatus that does not include the reflection roller 13.

したがって、フィルム検査装置1は、従来よりも正確にフィルム2の欠陥を検査できるという効果を奏する。   Therefore, the film inspection apparatus 1 has an effect of being able to inspect defects of the film 2 more accurately than before.

(受光装置12の光軸と反射ローラー13の配置との関係)
受光装置12は、図3において一点鎖線で示されるように、受光装置12のレンズの中心と焦点とを結んだ直線である光軸OAを中心軸として検査光を集光する。この光軸OAは、反射ローラー13によって支持されたフィルム2の部分Pを通っている。
(Relationship between optical axis of light receiving device 12 and arrangement of reflection roller 13)
The light receiving device 12 condenses the inspection light about the optical axis OA that is a straight line connecting the center of the lens of the light receiving device 12 and the focal point, as indicated by a one-dot chain line in FIG. The optical axis OA passes through the portion P of the film 2 supported by the reflection roller 13.

また、光軸OAは、反射ローラー13の回転軸と垂直に交差する位置関係にあるが、受光装置12を位置12cに移動させるとともに姿勢を傾斜させ、光軸OAが光軸OAaに変化してもよい。なお、図3における位置12cは、受光装置12に対して、Y軸正方向側に移動するとともにX軸を中心軸として右回転する方向に姿勢が傾斜しているが、Y軸負方向側に移動させるとともにX軸を中心軸として左回転する方向に姿勢を傾斜させてもよい。   Further, the optical axis OA is in a positional relationship perpendicularly intersecting the rotation axis of the reflection roller 13, but the light receiving device 12 is moved to the position 12c and the posture is inclined, so that the optical axis OA changes to the optical axis OAa. Also good. In addition, although the position 12c in FIG. 3 moves to the Y-axis positive direction side with respect to the light receiving device 12 and the posture is inclined in the right-rotating direction around the X-axis, the position 12c is on the Y-axis negative direction side. The posture may be tilted in the direction of left rotation about the X axis as the center axis.

これらの場合、受光装置12が受光する検査光において、フィルム2のうち、受光装置12に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分Pを介して戻ってきた検査光の割合が大きくなる。そのため、フィルム2の欠陥とは無関係な光強度の変動がより起こりにくくなる。   In these cases, in the inspection light received by the light receiving device 12, the ratio of the inspection light that has returned through the portion P of the film 2 in which the change in position and orientation relative to the light receiving device 12 is suppressed increases. Therefore, fluctuations in light intensity unrelated to defects in the film 2 are less likely to occur.

なお、光軸OAがフィルム2と反射ローラー13との接触位置を通り、かつ反射ローラー13の回転軸と垂直に交差する位置関係、すなわち、反射ローラー13が受光装置12に対してフィルム2を介して対向する位置関係にある場合、受光装置12が受光する検査光において、フィルム2の部分Pを介して戻ってきた検査光の割合がさらに大きくなる。そのため、フィルム2の欠陥とは無関係な光強度の変動がさらにより起こりにくくなる。   The optical axis OA passes through the contact position between the film 2 and the reflection roller 13 and is perpendicular to the rotation axis of the reflection roller 13, that is, the reflection roller 13 passes through the film 2 with respect to the light receiving device 12. In the inspection light received by the light receiving device 12, the ratio of the inspection light returned through the portion P of the film 2 is further increased. Therefore, the fluctuation of the light intensity that is unrelated to the defect of the film 2 is further less likely to occur.

(反射ローラー13の外周面の色・表面粗さの影響)
フィルム2が検査領域において受光装置12に対する位置および姿勢の変化が抑制されるという効果は、検査光に、フィルム2を透過し反射ローラー13によって反射または散乱され再度フィルム2を透過した光が含まれていない場合であっても、奏されるものである。
(Influence of the color and surface roughness of the outer peripheral surface of the reflection roller 13)
The effect that the change in the position and posture of the film 2 with respect to the light receiving device 12 in the inspection region is suppressed is that the inspection light includes light that is transmitted through the film 2 and reflected or scattered by the reflection roller 13 and transmitted through the film 2 again. Even if not, it is played.

一方、検査光に、フィルム2を透過し反射ローラー13によって反射または散乱され再度フィルム2を透過した光が含まれている場合には、反射ローラー13のフィルム2に接する外周面の特性(色、表面粗さ等)を調整することにより、図2の(a)のグラフに示されるように、検査光に対応する電気信号において、フィルム2の正常部分と欠陥部分とのコントラストを高めたり、ノイズ成分を低減したりすることができる。以下では、反射ローラー13のフィルム2に接する外周面の特性の影響について説明する。   On the other hand, when the inspection light includes light that is transmitted through the film 2 and reflected or scattered by the reflection roller 13 and then transmitted through the film 2 again, characteristics of the outer peripheral surface (color, By adjusting the surface roughness, etc., as shown in the graph of FIG. 2A, in the electrical signal corresponding to the inspection light, the contrast between the normal portion and the defective portion of the film 2 is increased, or noise is increased. Components can be reduced. Below, the influence of the characteristic of the outer peripheral surface which touches the film 2 of the reflection roller 13 is demonstrated.

上述のとおり、図2の(a)のグラフに示される電気信号は、フィルム2に接する外周面が白色であり、つや消し処理されていない(表面粗さの小さい)反射ローラー13を用いたときに、受光装置12が出力する電気信号である。フィルム2の異物は、暗い色であることが多い。上記構成によれば、反射ローラー13上で、このような異物とフィルム2とのコントラストが高まるため、フィルム検査装置は、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。   As described above, the electrical signal shown in the graph of FIG. 2A is obtained when the outer peripheral surface in contact with the film 2 is white and the reflective roller 13 that is not matted (small surface roughness) is used. , An electric signal output from the light receiving device 12. The foreign matter on the film 2 is often a dark color. According to the said structure, since the contrast with such a foreign material and the film 2 increases on the reflective roller 13, the film inspection apparatus can test | inspect the defect of a film more correctly.

図2の(b)のグラフに示される電気信号は、フィルム2に接する外周面が白色であり、つや消し処理されている反射ローラー13を用いたときに、受光装置12が出力する電気信号である。図2の(b)のグラフに示されるように、この電気信号の波形は、検査幅の中央部では図2の(a)のグラフに示される電気信号の波形と同様であるものの、検査幅の端部ではノイズ成分により比較的大きく変動している。このとき、検査部14は、上述の基準値と被検査電気信号とを比較しても、有意な差を検出できないことがある。よって、フィルム2の欠陥の検査においては、反射ローラー13のフィルム2に接する外周面は、つや消し処理されていないことが望ましい傾向にある。   The electric signal shown in the graph of FIG. 2B is an electric signal output from the light receiving device 12 when the reflection roller 13 that has a white outer peripheral surface in contact with the film 2 and has been matted is used. . As shown in the graph of FIG. 2B, the waveform of the electrical signal is the same as the waveform of the electrical signal shown in the graph of FIG. At the end of, there is a relatively large fluctuation due to noise components. At this time, the inspection unit 14 may not detect a significant difference even if the above-described reference value is compared with the electrical signal to be inspected. Therefore, in the inspection of the defect of the film 2, it is desirable that the outer peripheral surface in contact with the film 2 of the reflection roller 13 is not subjected to the matt treatment.

図2の(c)のグラフに示される電気信号は、フィルム2に接する外周面が灰色であり、つや消し処理されていない反射ローラー13を用いたときに、受光装置12が出力する電気信号である。図2の(c)のグラフに示されるように、この電気信号の波形は、検査幅の中央部では「信号強度」が下限値に達している。そして「信号強度」は、図2の(a)のグラフに示される電気信号の「信号強度」よりも、全体的に低い値である。このとき、検査部14は、上述の基準値と被検査電気信号とを比較しても、有意な差を検出できないことがある。よって、フィルム2の欠陥の検査においては、反射ローラー13のフィルム2に接する外周面は、白色であることが望ましい傾向にある。   The electric signal shown in the graph of FIG. 2C is an electric signal output from the light receiving device 12 when the outer peripheral surface in contact with the film 2 is gray and the reflection roller 13 that is not matted is used. . As shown in the graph of (c) of FIG. 2, the waveform of this electric signal has a “signal intensity” reaching a lower limit value at the center of the inspection width. The “signal strength” is generally lower than the “signal strength” of the electric signal shown in the graph of FIG. At this time, the inspection unit 14 may not detect a significant difference even if the above-described reference value is compared with the electrical signal to be inspected. Therefore, in the inspection of the defect of the film 2, the outer peripheral surface in contact with the film 2 of the reflection roller 13 tends to be desirably white.

図2の(d)のグラフに示される電気信号は、フィルム2に接する外周面が灰色であり、つや消し処理されている反射ローラー13を用いたときに、受光装置12が出力する電気信号である。図2の(d)のグラフに示されるように、この電気信号の波形は、検査幅の中央部では図2の(c)のグラフに示される電気信号の波形と同様であるものの、検査幅の端部では比較的大きく変動している。このとき、検査部14は、上述の基準値と被検査電気信号とを比較しても、有意な差を検出できないことがある。よって、フィルム2の欠陥の検査においては、反射ローラー13のフィルム2に接する外周面は、つや消し処理されていないとともに、白色であることが望ましい傾向にある。   The electric signal shown in the graph of FIG. 2D is an electric signal output from the light receiving device 12 when the reflection roller 13 that is matt and has a gray outer peripheral surface in contact with the film 2 is used. . As shown in the graph of FIG. 2D, the waveform of the electrical signal is the same as the waveform of the electrical signal shown in the graph of FIG. There is a relatively large fluctuation at the end of the. At this time, the inspection unit 14 may not detect a significant difference even if the above-described reference value is compared with the electrical signal to be inspected. Therefore, in the inspection of the defect of the film 2, the outer peripheral surface in contact with the film 2 of the reflection roller 13 has a tendency that it is desirable that the outer peripheral surface is not matted and is white.

(フィルム検査方法)
フィルム検査装置1が実行するフィルム検査方法も本発明に含まれる。このフィルム検査方法は、フィルム2に対して照射されフィルム2を介して戻ってきた検査光を受光装置12によって受光することにより、フィルム2に含まれる欠陥を検出するための信号を生成する工程と、受光装置12の視野VまたはVa内においてフィルム2を受光装置12とは反対側から支持しつつ搬送する工程とを含む。
(Film inspection method)
A film inspection method executed by the film inspection apparatus 1 is also included in the present invention. The film inspection method includes a step of generating a signal for detecting a defect included in the film 2 by receiving the inspection light irradiated to the film 2 and returned through the film 2 by the light receiving device 12. And the step of transporting the film 2 while supporting the film 2 from the side opposite to the light receiving device 12 in the field of view V or Va of the light receiving device 12.

生成する工程とは、図1の(a)(b)に示されるように光源11a・11bがフィルム2に照射した光を、受光装置12が受光し、図2の(a)のグラフに示される電気信号を生成する工程である。搬送する工程とは、図1の(a)に示されるように、搬送ローラー3a・3bが規定する軌道にそってフィルム2をY軸正方向側に搬送する工程である。   As shown in FIGS. 1 (a) and 1 (b), the generating step means that the light received by the light source 11a / 11b on the film 2 is received by the light receiving device 12, and is shown in the graph of FIG. 2 (a). Generating an electrical signal. The step of transporting is a step of transporting the film 2 to the Y axis positive direction side along the trajectory defined by the transport rollers 3a and 3b, as shown in FIG.

以上のフィルム検査方法により、従来よりも正確にフィルム2の欠陥を検査できる。   By the above film inspection method, the defect of the film 2 can be inspected more accurately than before.

(フィルム製造方法)
上述のフィルム検査方法を用いたフィルム製造方法も本発明に含まれる。このフィルム製造方法は、上述のフィルム検査方法が含む生成する工程・搬送する工程に加え、受光する工程の受光結果に基づきフィルムの欠陥部位を除去する工程を含む。
(Film production method)
A film manufacturing method using the above-described film inspection method is also included in the present invention. This film manufacturing method includes a step of removing defective portions of the film based on the light reception result of the light receiving step in addition to the generating step and the conveying step included in the above-described film inspection method.

除去する工程は、図1の(a)(b)に示されるフィルム検査装置1のY軸正方向側で実施される工程である。この除去する工程では、受光する工程の受光結果に基づき検査したフィルム2の欠陥部位を切断して除去する。切断されたフィルムは、例えば他のフィルムに繋ぎ合わされる。   The removing step is a step performed on the Y axis positive direction side of the film inspection apparatus 1 shown in FIGS. In this removing step, the defective part of the film 2 inspected based on the light reception result of the light receiving step is cut and removed. The cut film is connected to, for example, another film.

以上のフィルム製造方法により、従来よりも欠陥の少ないフィルム2を製造できる。   By the above film manufacturing method, the film 2 with fewer defects than before can be manufactured.

〔実施形態2〕
本実施形態では、上述の実施形態にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記しその説明を省略する。後述する他の実施形態についても同様である。
[Embodiment 2]
In the present embodiment, members having the same functions as those described in the above-described embodiments are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. The same applies to other embodiments described later.

《フィルム検査装置1Aの構成》
図4は、本実施形態のフィルム検査装置1Aの構成を示す側面図である。図4に示されるとおり、フィルム検査装置1Aは、フィルム検査装置1が備える部材と同一の部材を備える。しかし、フィルム検査装置1Aでは、フィルム検査装置1とは異なり、搬送ローラー3a・3bがフィルム2のZ軸正方向側に接している。なお、Z軸正方向側は、フィルム2に対して反射ローラー13とは反対側である。
<< Configuration of Film Inspection Apparatus 1A >>
FIG. 4 is a side view showing the configuration of the film inspection apparatus 1A of the present embodiment. As shown in FIG. 4, the film inspection apparatus 1 </ b> A includes the same members as the members included in the film inspection apparatus 1. However, in the film inspection apparatus 1 </ b> A, unlike the film inspection apparatus 1, the transport rollers 3 a and 3 b are in contact with the Z axis positive direction side of the film 2. In addition, the Z-axis positive direction side is the side opposite to the reflection roller 13 with respect to the film 2.

《フィルム検査装置1Aの動作および効果》
フィルム検査装置1Aは、フィルム検査装置1と同様に動作し、従来よりも正確にフィルム2の欠陥を検査できる。さらに、フィルム検査装置1Aでは、搬送ローラー3a・3bはフィルム2を反射ローラー13に押し付けるように作用するので、フィルム2の受光装置12に対する位置および姿勢の変化がより抑制される。よって、フィルム検査装置1Aは、より正確にフィルム2の欠陥を検査できる。
<< Operation and Effect of Film Inspection Apparatus 1A >>
The film inspection apparatus 1A operates in the same manner as the film inspection apparatus 1, and can inspect defects of the film 2 more accurately than before. Further, in the film inspection apparatus 1A, since the transport rollers 3a and 3b act so as to press the film 2 against the reflection roller 13, changes in the position and posture of the film 2 with respect to the light receiving device 12 are further suppressed. Therefore, 1 A of film inspection apparatuses can test | inspect the defect of the film 2 more correctly.

ただし、フィルム検査装置1では、搬送ローラー3a・3bと反射ローラー13とが、フィルム2に対して同じ側に配置される。このため、フィルム検査装置1では、光源11a・11bおよび受光装置12を設ける空間を、フィルム検査装置1Aよりも広く確保できる。よって、フィルム検査装置1では、光源11a・11bおよび受光装置12を設けるときの自由度が高まる。   However, in the film inspection apparatus 1, the transport rollers 3 a and 3 b and the reflection roller 13 are arranged on the same side with respect to the film 2. For this reason, in the film inspection apparatus 1, the space in which the light sources 11a and 11b and the light receiving device 12 are provided can be secured wider than the film inspection apparatus 1A. Therefore, in the film inspection apparatus 1, the freedom degree when providing the light sources 11a * 11b and the light-receiving device 12 increases.

なお、フィルム検査装置1Aを用いて実施する上述のフィルム検査方法と、このフィルム検査方法を用いた上述のフィルム製造方法とも、本発明に含まれる。   In addition, the above-mentioned film inspection method implemented using 1 A of film inspection apparatuses and the above-mentioned film manufacturing method using this film inspection method are also contained in this invention.

〔実施形態3〕
《フィルム検査装置1Bの構成》
図5は、本実施形態のフィルム検査装置1Bの構成を示す断面図である。図5は、図1の(b)に対応している。図5に示されるとおり、フィルム検査装置1Bは、凹型反射ローラー13A(第1ローラー)を除いてフィルム検査装置1が備える部材と同一の部材を備える。
[Embodiment 3]
<< Configuration of Film Inspection Apparatus 1B >>
FIG. 5 is a cross-sectional view showing the configuration of the film inspection apparatus 1B of the present embodiment. FIG. 5 corresponds to (b) of FIG. As FIG. 5 shows, the film inspection apparatus 1B is provided with the same member as the member with which the film inspection apparatus 1 is provided except the concave reflective roller 13A (1st roller).

凹型反射ローラー13Aは、反射ローラー13とは異なり、その回転軸方向における中央部の直径が、両端部の直径よりも徐々に小さくなっている。このような形状のローラーは「逆クラウンローラー」と呼ばれることもある。このように、凹型反射ローラー13Aは、フィルム2を凹型反射ローラー13Aの回転軸方向に伸ばす形状を有している。   Unlike the reflective roller 13, the concave reflective roller 13 </ b> A has a diameter at the center in the direction of the rotation axis that is gradually smaller than the diameter at both ends. The roller having such a shape is sometimes referred to as a “reverse crown roller”. Thus, the concave reflection roller 13A has a shape that extends the film 2 in the rotation axis direction of the concave reflection roller 13A.

凹型反射ローラー13Aの中央部の深さは、両端部の直径と中央部の直径との差を2で除算した値になる。そして、フィルム2の欠陥検査において最適なこの深さは、凹型反射ローラー13Aの回転軸方向の長さに依存する。例えば、この回転軸方向の長さが1000mmであれば、深さは1mm以下であることが望ましい。なお、凹型反射ローラー13Aのフィルム2に対向する外周面は、反射ローラー13と同様に、つや消し処理されていない白色の塩化ビニルからなる。   The depth of the central part of the concave reflection roller 13A is a value obtained by dividing the difference between the diameters of both ends and the central part by two. The optimum depth in the defect inspection of the film 2 depends on the length of the concave reflecting roller 13A in the rotation axis direction. For example, if the length in the rotation axis direction is 1000 mm, the depth is desirably 1 mm or less. In addition, the outer peripheral surface facing the film 2 of the concave reflection roller 13 </ b> A is made of white vinyl chloride that has not been matted, like the reflection roller 13.

《フィルム検査装置1Bの動作および効果》
フィルム2は、凹型反射ローラー13Aの回転軸方向の両端部側の外周面に接触しながら搬送される。これにより、両端部側の外周面において搬送されるフィルム2が外側に伸ばされ、搬送中にフィルム2に生じたしわなどを伸ばすことができる。その結果、フィルム2におけるしわなどの発生を抑制し、表面状態をより一定に近づけることができる。よって、フィルム検査装置1Bでは、フィルム2の欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルム2の欠陥を検査できる。
<< Operation and Effect of Film Inspection Apparatus 1B >>
The film 2 is conveyed while being in contact with the outer peripheral surfaces on both ends in the rotation axis direction of the concave reflection roller 13A. Thereby, the film 2 conveyed in the outer peripheral surface of a both end part side is extended outside, and the wrinkle etc. which arose in the film 2 during conveyance can be extended. As a result, generation of wrinkles and the like in the film 2 can be suppressed, and the surface state can be made more uniform. Therefore, in the film inspection apparatus 1B, the fluctuation of the surface state at the defect inspection position of the film 2 can be suppressed, and the defect of the film 2 can be inspected more accurately.

なお、フィルム検査装置1Bの反射ローラーが凸型反射ローラーであっても、フィルム2におけるしわなどの発生を抑制し、表面状態をより一定に近づけることができる。凸型反射ローラーとは、その回転軸方向における中央部の直径が、両端部の直径よりも徐々に大きくなっている反射ローラーである。フィルム検査装置1Bを用いて実施する上述のフィルム検査方法と、このフィルム検査方法を用いた上述のフィルム製造方法とも、本発明に含まれる。   In addition, even if the reflection roller of the film inspection apparatus 1B is a convex reflection roller, generation | occurrence | production of a wrinkle etc. in the film 2 can be suppressed and a surface state can be brought closer to constant. The convex reflection roller is a reflection roller in which the diameter of the central portion in the rotation axis direction is gradually larger than the diameter of both end portions. The above-described film inspection method implemented using the film inspection apparatus 1B and the above-described film manufacturing method using this film inspection method are also included in the present invention.

(搬送ローラー3aの凹型ローラーなどへの置換)
図1の(a)に示されるフィルム検査装置1の搬送ローラー3aを凹型ローラー、凸型ローラー(クラウンローラー)、またはエキスパンダーローラーに置換したフィルム検査装置も、本発明に含まれる。つまり、搬送ローラー3aは、フィルム2の搬送経路にそった反射ローラー13の直前の位置に配置されており、フィルム2を搬送ローラー3aの回転軸方向に伸ばす形状または機構を有していてもよい。このフィルム検査装置では、フィルム2が反射ローラー13まで搬送される前に、搬送ローラー3aによって確実にフィルム2のしわなどが伸ばされる。ゆえに、このフィルム検査装置では、確実に、フィルム2の欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルム2の欠陥を検査できる。
(Replacement of the transport roller 3a with a concave roller)
A film inspection apparatus in which the transport roller 3a of the film inspection apparatus 1 shown in FIG. 1A is replaced with a concave roller, a convex roller (crown roller), or an expander roller is also included in the present invention. That is, the transport roller 3a is disposed at a position immediately before the reflection roller 13 along the transport path of the film 2, and may have a shape or a mechanism for extending the film 2 in the direction of the rotation axis of the transport roller 3a. . In this film inspection apparatus, before the film 2 is transported to the reflection roller 13, wrinkles and the like of the film 2 are reliably stretched by the transport roller 3a. Therefore, in this film inspection apparatus, the fluctuation of the surface state at the defect inspection position of the film 2 can be reliably suppressed, and the defect of the film 2 can be inspected more accurately.

また、フィルム検査装置1Bの搬送ローラー3aを凹型ローラー、凸型ローラー、またはエキスパンダーローラーに置換したフィルム検査装置も、本発明に含まれる。このフィルム検査装置では、さらに確実に、フィルム2の欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルム2の欠陥を検査できる。   In addition, a film inspection device in which the transport roller 3a of the film inspection device 1B is replaced with a concave roller, a convex roller, or an expander roller is also included in the present invention. In this film inspection apparatus, the variation of the surface state at the defect inspection position of the film 2 can be more reliably suppressed, and the defect of the film 2 can be inspected more accurately.

ただし、搬送ローラー3aにおいてフィルム2のしわ伸ばし機能が十分に働く場合は、しわ伸ばし機能を有する凹型反射ローラー13Aではなく、通常の(外周面が円柱面状の)反射ローラー13を用いた方がよい場合もある。なぜなら、凹型反射ローラー13Aを用いた場合、そのしわ伸ばし機能により、検査領域内においてフィルム2のしわが伸ばされ、それに伴い検査領域内において欠陥が僅かながら変位してしまい、その結果、検査部14において計測される欠陥の位置や寸法に誤差が含まれる場合がある。一方、通常の反射ローラー13を用いた場合には、上記誤差は発生しにくいためである。   However, when the wrinkle-stretching function of the film 2 works sufficiently in the transport roller 3a, it is better to use the normal (outer peripheral surface cylindrical surface) reflecting roller 13 instead of the concave reflecting roller 13A having the wrinkle-stretching function. Sometimes it is good. This is because when the concave reflection roller 13A is used, the wrinkle stretching function causes the wrinkles of the film 2 to be stretched in the inspection region, and accordingly, the defects are slightly displaced in the inspection region. As a result, the inspection unit 14 In some cases, an error is included in the position and size of the defect measured in step (b). On the other hand, when the normal reflection roller 13 is used, the above error hardly occurs.

〔変形例1〕
図6は、図1に示されるフィルム検査装置1の変形例を示す側面図であって、(a)は搬送ローラー3bがフィルム2に対してZ軸正方向側に配置されたフィルム検査装置1Cを示し、(b)は搬送ローラー3aがフィルム2に対してZ軸正方向側に配置されたフィルム検査装置1Dを示す。図6の(a)(b)に示されるように、搬送ローラー3a・3bの一方をフィルム2に対して反射ローラー13側に配置し、他方をフィルム2に対して反射ローラー13とは反対側に配置したフィルム検査装置1C・1Dも本発明に含まれる。フィルム検査装置1C・1Dは、フィルム検査装置1が奏する効果と、フィルム検査装置1Aが奏する効果とを両立した効果を奏する。
[Modification 1]
FIG. 6 is a side view showing a modification of the film inspection apparatus 1 shown in FIG. 1, wherein (a) is a film inspection apparatus 1 </ b> C in which the transport roller 3 b is arranged on the Z-axis positive direction side with respect to the film 2. (B) shows film inspection apparatus 1D by which the conveyance roller 3a was arrange | positioned with respect to the film 2 at the Z-axis positive direction side. As shown in FIGS. 6A and 6B, one of the transport rollers 3 a and 3 b is arranged on the reflection roller 13 side with respect to the film 2, and the other side is opposite to the reflection roller 13 with respect to the film 2. The film inspection apparatuses 1C and 1D arranged in the above are also included in the present invention. The film inspection devices 1C and 1D have the effect of achieving both the effect exhibited by the film inspection device 1 and the effect exhibited by the film inspection device 1A.

〔変形例2〕
(複数の受光装置を備えたフィルム検査装置)
図7は、図1に示されるフィルム検査装置1の他の変形例を示す断面図であって、(a)は複数の受光装置12をX軸方向に並べた構成を示し、(b)は検出する検査光の波長が異なる一組の受光装置12A・12BをX軸方向に並べた構成を示し、(c)は複数の(b)に示される受光装置12A・12Bの組をX軸方向に並べた構成を示す。なお、図7は、図1の(b)に対応している。また、図7では、図を簡潔にするために、光源11a・11bと検査部14と搬送ローラー3a・3bとは省略されている。
[Modification 2]
(Film inspection device with multiple light receiving devices)
FIG. 7 is a cross-sectional view showing another modification of the film inspection apparatus 1 shown in FIG. 1, wherein (a) shows a configuration in which a plurality of light receiving devices 12 are arranged in the X-axis direction, and (b) shows FIG. 5C shows a configuration in which a pair of light receiving devices 12A and 12B having different wavelengths of inspection light to be detected are arranged in the X-axis direction, and FIG. 8C shows a plurality of light receiving devices 12A and 12B shown in FIG. The arrangement is shown in FIG. 7 corresponds to (b) of FIG. In FIG. 7, the light sources 11a and 11b, the inspection unit 14, and the transport rollers 3a and 3b are omitted for the sake of brevity.

図7の(a)に示されるように、フィルム検査装置1Eは、複数の受光装置12を備える。フィルム検査装置1Eは、受光装置12の個数が異なる点をのぞき、フィルム検査装置1と同一の構成を備える。個々の受光装置12は、フィルム2のX軸方向の一部分から検査光を集光する。複数の受光装置12は、X軸方向に並べられることにより、総体としてフィルム2のX軸方向のおおむね全体から検査光を集光する。なお、検査部14は、各受光装置12に接続されている(非図示)。   As shown in FIG. 7A, the film inspection apparatus 1E includes a plurality of light receiving devices 12. The film inspection apparatus 1E has the same configuration as the film inspection apparatus 1 except that the number of light receiving devices 12 is different. Each light receiving device 12 collects the inspection light from a part of the film 2 in the X-axis direction. The plurality of light receiving devices 12 are arranged in the X-axis direction, thereby collecting the inspection light from almost the entire X-axis direction of the film 2 as a whole. The inspection unit 14 is connected to each light receiving device 12 (not shown).

以上の構成により、個々の受光装置12が検査光を集光するフィルム2の範囲をせばめ、例えば受光装置12のレンズの直径を小さくすることができる。これにより、レンズの視野の歪みおよび色収差が抑制される。ゆえに、フィルム検査装置1Eは、一つの受光装置12のみを備えるフィルム検査装置1・1A〜1Dよりも、明瞭にフィルム2の欠陥を検査できる。   With the above configuration, the range of the film 2 on which the individual light receiving devices 12 collect the inspection light can be fitted, for example, the diameter of the lens of the light receiving device 12 can be reduced. Thereby, distortion of the field of view of the lens and chromatic aberration are suppressed. Therefore, the film inspection apparatus 1E can inspect defects of the film 2 more clearly than the film inspection apparatuses 1.1A to 1D including only one light receiving device 12.

図7の(b)に示されるように、フィルム検査装置1Fは、一組の受光装置12A・12Bを備える。また、フィルム検査装置1Fは、受光装置12をのぞき、フィルム検査装置1と同一の構成を備える。受光装置12A・12Bは、検査光を集光するレンズを備えており、フィルム2のX軸方向のおおむね全体から検査光を集光する。   As shown in FIG. 7B, the film inspection apparatus 1F includes a pair of light receiving devices 12A and 12B. The film inspection device 1F has the same configuration as the film inspection device 1 except for the light receiving device 12. The light receiving devices 12 </ b> A and 12 </ b> B include a lens that condenses the inspection light, and condenses the inspection light from almost the entire X-axis direction of the film 2.

受光装置12は、その内部に2組のCCDとこれらに対応する2組の光学フィルターを備えるものであったが、受光装置12A・12BはそれぞれがCCDと光学フィルターとのペアを1つずつ備えている。そして、受光装置12Aの光学フィルターは、光源11aからの検査光のみを透過する。このため、受光装置12Aは、光源11aからの検査光のみを検出できる。受光装置12Bの光学フィルターは、光源11bからの検査光のみを透過する。このため、受光装置12Bは、光源11bからの検査光のみを検出できる。以上のように、受光装置12A・12Bが受光する検査光の波長は、互いに異なる。なお、検査部14は、受光装置12A・12Bに接続されている(非図示)。   The light receiving device 12 includes two sets of CCDs and two sets of optical filters corresponding thereto, but each of the light receiving devices 12A and 12B includes one pair of a CCD and an optical filter. ing. Then, the optical filter of the light receiving device 12A transmits only the inspection light from the light source 11a. For this reason, the light receiving device 12A can detect only the inspection light from the light source 11a. The optical filter of the light receiving device 12B transmits only the inspection light from the light source 11b. For this reason, the light receiving device 12B can detect only the inspection light from the light source 11b. As described above, the wavelengths of the inspection light received by the light receiving devices 12A and 12B are different from each other. The inspection unit 14 is connected to the light receiving devices 12A and 12B (not shown).

図7の(c)に示されるように、フィルム検査装置1Gは、複数の、図7の(b)に示される受光装置12A・12Bの組を備える。また、フィルム検査装置1Gは、受光装置12をのぞきフィルム検査装置1と同一の構成を備える。個々の受光装置12A・12Bの組は、フィルム2のX軸方向の一部分から検査光を集光している。複数のこの組は、X軸方向に並べられることにより、総体としてフィルム2のX軸方向のおおむね全体から検査光を集光する。なお、検査部14は、各受光装置12A・12Bに接続されている(非図示)。   As shown in FIG. 7C, the film inspection apparatus 1G includes a plurality of sets of light receiving devices 12A and 12B shown in FIG. The film inspection apparatus 1G has the same configuration as the film inspection apparatus 1 except for the light receiving device 12. Each set of the light receiving devices 12 </ b> A and 12 </ b> B collects inspection light from a part of the film 2 in the X-axis direction. The plurality of sets are arranged in the X-axis direction, thereby collecting the inspection light from almost the entire X-axis direction of the film 2 as a whole. The inspection unit 14 is connected to each of the light receiving devices 12A and 12B (not shown).

以上の構成により、フィルム検査装置1Gは、一つの受光装置12のみを備える上述のフィルム検査装置1・1A〜1Dよりも、明瞭かつ精密にフィルム2の欠陥を検査できる。   With the above configuration, the film inspection apparatus 1G can inspect defects of the film 2 more clearly and more accurately than the above-described film inspection apparatuses 1 and 1A to 1D including only one light receiving device 12.

(他の受光装置)
受光装置12は、レンズを含む受光器と、受光器が集光した検査光を分光する分光器とを備えた構成であってもよい。この構成では、分光器は、検査光をスペクトルに分光し、光源11aからの光の成分と、光源11bからの光の成分とに分け、各成分を電気信号に変換する。
(Other light receiving devices)
The light receiving device 12 may be configured to include a light receiver including a lens and a spectroscope that separates the inspection light collected by the light receiver. In this configuration, the spectroscope splits the inspection light into a spectrum, divides it into light components from the light source 11a and light components from the light source 11b, and converts each component into an electrical signal.

また、受光装置12は、密着型センサ(CIS;Contact Image Sensor)モジュールであってもよい。CISモジュールは、一方向に並ぶ複数の撮像素子(例えばCCD)と、光学フィルターと、レンズアレイとを備える。光学フィルターは、撮像素子ごとに備えられており、特定の撮像素子が特定の光のみを電気信号に変換できるように、特定の光のみを透過する。レンズアレイは、上述の一方向へ小型のレンズを並べたものである。以上の構成により、CISモジュールは、は、集光した検査光を、光源11aからの光の成分と、光源11bからの光の成分とに分け、各成分を電気信号に変換できる。   The light receiving device 12 may be a contact sensor (CIS) module. The CIS module includes a plurality of imaging elements (for example, CCDs) arranged in one direction, an optical filter, and a lens array. The optical filter is provided for each image sensor, and transmits only specific light so that the specific image sensor can convert only specific light into an electric signal. The lens array is obtained by arranging small lenses in one direction described above. With the above configuration, the CIS module can divide the collected inspection light into the light component from the light source 11a and the light component from the light source 11b, and convert each component into an electrical signal.

〔まとめ〕
本発明のフィルム検査装置は、フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する受光装置と、上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する第1ローラーとを備える。
[Summary]
The film inspection apparatus according to the present invention includes a light receiving device that generates a signal for detecting a defect included in the film by receiving light irradiated to the film and returned through the film, and the light receiving device. A first roller for conveying the film while supporting the film from the side opposite to the light receiving device within the field of view of the device.

上記構成によれば、受光装置は、フィルムに対して照射され、フィルムを介して戻ってきた光を受光する。このフィルムは、受光装置の視野内において受光装置とは反対側から第1ローラーにより支持されつつ搬送されている。   According to the above configuration, the light receiving device receives the light irradiated to the film and returned through the film. This film is conveyed while being supported by the first roller from the side opposite to the light receiving device within the field of view of the light receiving device.

そのため、受光装置が受光する光には、フィルムのうち、第1ローラーによって支持された部分、すなわち、受光装置に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分を介して戻ってきた光が含まれることになる。その結果、上記構成によれば、第1ローラーを備えない構成と比較して、受光装置が受光する光において、フィルム欠陥とは無関係な光強度の変動が起こりにくくなる。よって、このフィルム検査装置では、第1ローラーを備えない従来のフィルム検査装置と比較して、受光装置が、より正確にフィルムの欠陥を反映した信号を出力できる。   Therefore, the light received by the light receiving device includes light returned through a portion of the film that is supported by the first roller, that is, a portion in which a change in position and posture with respect to the light receiving device is suppressed. become. As a result, according to the said structure, compared with the structure which is not equipped with a 1st roller, the fluctuation | variation of the light intensity unrelated to a film defect does not occur easily in the light which a light-receiving device receives. Therefore, in this film inspection apparatus, compared with the conventional film inspection apparatus which does not have a 1st roller, the light-receiving device can output the signal which reflected the defect of the film more correctly.

したがって、上記フィルム検査装置は、従来よりも正確にフィルムの欠陥を検査できる。   Therefore, the film inspection apparatus can inspect defects of the film more accurately than before.

なお、上記「フィルムを介して戻ってきた光」には、フィルムの表面または内部において反射されることにより戻ってきた光、フィルムの表面または内部において散乱されることにより戻ってきた光、フィルムを透過し第1ローラーによって反射または散乱され再度フィルムを透過して戻ってきた光などが該当する。   The “light returned through the film” includes the light returned by being reflected on the surface or inside of the film, the light returned by being scattered on the surface or inside of the film, and the film. For example, light that has been transmitted and reflected or scattered by the first roller and then transmitted again through the film is applicable.

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第1ローラーは、上記フィルムにおける、上記受光装置の光軸が通る部分を支持していることが望ましい。   Moreover, in the film inspection apparatus of this invention, it is desirable for the said 1st roller to support the part through which the optical axis of the said light-receiving device passes in the said film.

上記構成によれば、受光装置が受光する光において、フィルムのうち、受光装置に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分を介して戻ってきた光の割合が大きくなる。そのため、上記フィルム欠陥とは無関係な光強度の変動がより起こりにくくなる。また、上記変動が起こりにくくなることで、フィルムを高速搬送しながら検査することが可能となる。   According to the above configuration, in the light received by the light receiving device, the ratio of the light that has returned through the portion of the film in which the change in position and posture with respect to the light receiving device is suppressed increases. For this reason, fluctuations in light intensity that are unrelated to the film defects are less likely to occur. Moreover, it becomes possible to test | inspect, conveying a film at high speed because the said fluctuation | variation becomes difficult to occur.

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第1ローラーは、上記受光装置に対して上記フィルムを介して対向する位置に配置されていることが望ましい。   In the film inspection apparatus of the present invention, it is desirable that the first roller is disposed at a position facing the light receiving device via the film.

上記構成によれば、受光装置が受光する光において、フィルムのうち、受光装置に対する位置および姿勢の変化が抑制された部分を介して戻ってきた光の割合がさらに大きくなる。そのため、上記フィルム欠陥とは無関係な光強度の変動がさらにより起こりにくくなる。   According to the said structure, in the light which a light-receiving device receives, the ratio of the light which returned through the part by which the change of the position with respect to a light-receiving device and the attitude | position with respect to the light-receiving device was suppressed becomes still larger. Therefore, the fluctuation of the light intensity that is unrelated to the film defect is further less likely to occur.

また、本発明のフィルム検査装置では、上記受光装置が受光する光は、上記フィルムを透過し上記第1ローラーによって反射または散乱され再度上記フィルムを透過して戻ってきた光を含むことが望ましい。   In the film inspection apparatus of the present invention, it is preferable that the light received by the light receiving device includes light transmitted through the film, reflected or scattered by the first roller, and transmitted again through the film.

上記構成によれば、上記第1ローラーを反射ローラーとして機能させることができる。そのため、上記第1ローラーの上記フィルムに接する外周面の特性(色、表面粗さ等)を調整することにより、受光装置が受光する光において、フィルムの正常部分と欠陥部分とのコントラストを高めたり、当該光に含まれるノイズ成分を低減したりすることができる。その結果、上記フィルム検査装置は、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。   According to the said structure, a said 1st roller can be functioned as a reflection roller. Therefore, by adjusting the characteristics (color, surface roughness, etc.) of the outer peripheral surface of the first roller in contact with the film, the contrast between the normal part and the defective part of the film can be increased in the light received by the light receiving device. The noise component contained in the light can be reduced. As a result, the film inspection apparatus can inspect defects of the film more accurately.

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第1ローラーの上記フィルムに接する外周面のマンセル表色系における明度は、7以上9.5以下であり、上記外周面のマンセル表色系における彩度は、0.5以上3以下であることが望ましい。   Moreover, in the film inspection apparatus of this invention, the brightness in the Munsell color system of the outer peripheral surface which contact | connects the said film of the said 1st roller is 7 or more and 9.5 or less, and the saturation in the Munsell color system of the said outer peripheral surface Is preferably 0.5 or more and 3 or less.

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第1ローラーの上記フィルムに接する外周面の光沢度は、日本工業規格JIS-Z8741における鏡面光沢度測定方法の種類である60度鏡面光沢において、反射率が10%であるときの光沢度を100としたときに、10以上であることが望ましい。   In the film inspection apparatus of the present invention, the glossiness of the outer peripheral surface in contact with the film of the first roller is 60% specular gloss, which is a type of specular gloss measurement method in Japanese Industrial Standard JIS-Z8741, and the reflectivity. When the glossiness when 100% is 10% is 100, it is preferably 10 or more.

フィルムの異物は、暗い色であることが多い。上記構成によれば、上述したコントラストを高めることができるため、上記フィルム検査装置は、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。   Film foreign matter is often dark in color. According to the said structure, since the contrast mentioned above can be raised, the said film inspection apparatus can test | inspect the defect of a film more correctly.

また、本発明のフィルム検査装置は、上記フィルムの搬送経路にそった上記第1ローラーの直前または直後の位置、かつ上記フィルムに対して上記第1ローラーと同じ側に配置された第2ローラーをさらに備えることが望ましい。   Moreover, the film inspection apparatus of this invention has the 2nd roller arrange | positioned in the position immediately before or immediately after the said 1st roller along the conveyance path | route of the said film, and the said 1st roller with respect to the said film. It is desirable to further provide.

上記構成によれば、第1ローラーと第2ローラーとが、フィルムに対して同じ側に配置される。このため、受光装置を設ける空間を広く確保できる。よって、上記フィルム検査装置では、受光装置を設けるときの自由度が高まる。   According to the above configuration, the first roller and the second roller are arranged on the same side with respect to the film. For this reason, a wide space for providing the light receiving device can be secured. Therefore, in the said film inspection apparatus, the freedom degree when providing a light-receiving device increases.

また、本発明のフィルム検査装置は、上記フィルムの搬送経路にそった上記第1ローラーの直前または直後の位置、かつ上記フィルムに対して上記第1ローラーとは反対側に配置された第2ローラーをさらに備えることが望ましい。   Moreover, the film inspection apparatus of this invention is the 2nd roller arrange | positioned in the position just before or immediately after the said 1st roller along the conveyance path | route of the said film, and the said 1st roller with respect to the said film. It is desirable to provide further.

上記構成によれば、第2ローラーはフィルムを第1ローラーに押し付けるように作用するので、フィルムの受光装置に対する位置および姿勢の変化がより抑制される。よって、上記フィルム検査装置は、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。   According to the said structure, since a 2nd roller acts so that a film may be pressed on a 1st roller, the change of the position and attitude | position with respect to the light-receiving device of a film is suppressed more. Therefore, the film inspection apparatus can inspect defects of the film more accurately.

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第2ローラーは、上記フィルムの搬送経路にそった上記第1ローラーの直前の位置に配置されており、上記フィルムを上記第2ローラーの回転軸方向に伸ばす形状または機構を有することが望ましい。   Moreover, in the film inspection apparatus of this invention, the said 2nd roller is arrange | positioned in the position immediately before the said 1st roller along the conveyance path | route of the said film, The said film is made into the rotating shaft direction of the said 2nd roller. It is desirable to have an extending shape or mechanism.

上記構成によれば、フィルムが第1ローラーまで搬送される前に、第2ローラーによって確実にフィルムのしわなどが伸ばされる。ゆえに、このフィルム検査装置では、確実に、フィルムの欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。   According to the said structure, before a film is conveyed to a 1st roller, a wrinkle etc. of a film are reliably extended by a 2nd roller. Therefore, in this film inspection apparatus, the fluctuation of the surface state at the defect inspection position of the film can be surely suppressed, and the defect of the film can be inspected more accurately.

また、本発明のフィルム検査装置では、上記第1ローラーは、上記フィルムを上記第1ローラーの回転軸方向に伸ばす形状を有することが望ましい。   In the film inspection apparatus of the present invention, it is desirable that the first roller has a shape that extends the film in the rotation axis direction of the first roller.

上記構成によれば、第1ローラーは、搬送中にフィルムに生じたしわなどを伸ばすことができる。その結果、フィルムにおけるしわなどの発生を抑制し、表面状態をより一定に近づけることができる。よって、上記フィルム検査装置では、フィルムの欠陥検査位置における表面状態の変動を抑制し、より正確にフィルムの欠陥を検査できる。   According to the said structure, the 1st roller can extend the wrinkles etc. which arose in the film during conveyance. As a result, the generation of wrinkles and the like in the film can be suppressed, and the surface state can be made more uniform. Therefore, in the said film inspection apparatus, the fluctuation | variation of the surface state in the defect inspection position of a film is suppressed, and the defect of a film can be test | inspected more correctly.

本発明のフィルム検査方法は、フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光装置によって受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する工程と、上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する工程とを含む。   The film inspection method of the present invention includes a step of generating a signal for detecting a defect included in the film by receiving the light irradiated to the film and returning through the film with a light receiving device, And transporting the film while supporting the film from the side opposite to the light receiving device within the field of view of the light receiving device.

上記方法によれば、従来よりも正確にフィルムの欠陥を検査できる。   According to the above method, the defect of the film can be inspected more accurately than before.

本発明のフィルム製造方法は、上述のフィルム検査方法が含む各工程と、上記生成する工程において生成された信号に基づき検査した上記フィルムの欠陥部位を除去する工程とを含む。   The film manufacturing method of this invention includes each process which the above-mentioned film inspection method includes, and the process of removing the defect site | part of the said film examined based on the signal produced | generated in the said production | generation process.

上記製造方法によれば、従来よりも欠陥の少ないフィルムを製造できる。   According to the said manufacturing method, a film with few defects than before can be manufactured.

〔付記事項〕
本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。
[Additional Notes]
The present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications are possible within the scope shown in the claims, and embodiments obtained by appropriately combining technical means disclosed in different embodiments. Is also included in the technical scope of the present invention.

1・1A〜1G フィルム検査装置
2 フィルム
3a・3b 搬送ローラー(第2ローラー)
11a・11b 光源
12・12A・12B 受光装置
13 反射ローラー(第1ローラー)
13A 凹型反射ローラー(第1ローラー)
14 検査部
1.1A-1G Film inspection device 2 Film 3a / 3b Conveyance roller (second roller)
11a, 11b Light source 12, 12A, 12B Light receiving device 13 Reflection roller (first roller)
13A concave reflective roller (first roller)
14 Inspection Department

Claims (12)

フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する受光装置と、
上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する第1ローラーと、
を備えることを特徴とするフィルム検査装置。
A light receiving device that generates a signal for detecting a defect included in the film by receiving light irradiated to the film and returned through the film;
A first roller for conveying the film while supporting the film from the side opposite to the light receiving device in the field of view of the light receiving device;
A film inspection apparatus comprising:
上記第1ローラーは、上記フィルムにおける、上記受光装置の光軸が通る部分を支持していることを特徴とする請求項1に記載のフィルム検査装置。   The film inspection apparatus according to claim 1, wherein the first roller supports a portion of the film through which an optical axis of the light receiving device passes. 上記第1ローラーは、上記受光装置に対して上記フィルムを介して対向する位置に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載のフィルム検査装置。   The film inspection apparatus according to claim 1, wherein the first roller is disposed at a position facing the light receiving device via the film. 上記受光装置が受光する光は、上記フィルムを透過し上記第1ローラーによって反射または散乱され再度上記フィルムを透過して戻ってきた光を含むことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。   4. The light received by the light receiving device includes light that is transmitted through the film, reflected or scattered by the first roller, and transmitted again through the film. 5. The film inspection apparatus according to item. 上記第1ローラーの上記フィルムに接する外周面のマンセル表色系における明度は、7以上9.5以下であり、
上記外周面のマンセル表色系における彩度は、0.5以上3以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。
The brightness in the Munsell color system of the outer peripheral surface in contact with the film of the first roller is 7 or more and 9.5 or less,
5. The film inspection apparatus according to claim 1, wherein a saturation of the outer peripheral surface in the Munsell color system is 0.5 or more and 3 or less.
上記第1ローラーの上記フィルムに接する外周面の光沢度は、日本工業規格JIS-Z8741における鏡面光沢度測定方法の種類である60度鏡面光沢において、反射率が10%であるときの光沢度を100としたときに、10以上であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。   The glossiness of the outer peripheral surface in contact with the film of the first roller is the glossiness when the reflectivity is 10% in the 60 ° specular gloss which is a kind of the specular gloss measurement method in Japanese Industrial Standard JIS-Z8741. The film inspection apparatus according to claim 1, wherein the film inspection apparatus is 10 or more when 100 is set. 上記フィルムの搬送経路にそった上記第1ローラーの直前または直後の位置、かつ上記フィルムに対して上記第1ローラーと同じ側に配置された第2ローラーをさらに備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。   2. The apparatus according to claim 1, further comprising a second roller disposed immediately before or immediately after the first roller along the film conveyance path and on the same side as the first roller with respect to the film. To 6. The film inspection apparatus according to any one of claims 1 to 6. 上記フィルムの搬送経路にそった上記第1ローラーの直前または直後の位置、かつ上記フィルムに対して上記第1ローラーとは反対側に配置された第2ローラーをさらに備えることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。   The apparatus further comprises a second roller disposed immediately before or immediately after the first roller along the film conveyance path and on the opposite side of the film from the first roller. The film inspection apparatus according to any one of 1 to 6. 上記第2ローラーは、
上記フィルムの搬送経路にそった上記第1ローラーの直前の位置に配置されており、
上記フィルムを上記第2ローラーの回転軸方向に伸ばす形状または機構を有する、
ことを特徴とする請求項7または8に記載のフィルム検査装置。
The second roller is
It is arranged at a position just before the first roller along the film transport path,
Having a shape or mechanism for extending the film in the direction of the rotation axis of the second roller,
The film inspection apparatus according to claim 7 or 8, wherein
上記第1ローラーは、上記フィルムを上記第1ローラーの回転軸方向に伸ばす形状を有することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載のフィルム検査装置。   The said 1st roller has a shape which extends the said film to the rotating shaft direction of the said 1st roller, The film inspection apparatus as described in any one of Claim 1 to 9 characterized by the above-mentioned. フィルムに対して照射され上記フィルムを介して戻ってきた光を受光装置によって受光することにより、上記フィルムに含まれる欠陥を検出するための信号を生成する工程と、
上記受光装置の視野内において上記フィルムを上記受光装置とは反対側から支持しつつ搬送する工程と、
を含むことを特徴とするフィルム検査方法。
Receiving a light irradiated to the film and returned through the film by a light receiving device to generate a signal for detecting a defect included in the film;
Transporting the film while supporting the film from the opposite side of the light receiving device within the field of view of the light receiving device;
A film inspection method comprising:
請求項11に記載のフィルム検査方法が含む各工程と、
上記生成する工程において生成された信号に基づき検査した上記フィルムの欠陥部位を除去する工程と、
を含むことを特徴とするフィルム製造方法。
Each process included in the film inspection method according to claim 11;
Removing the defective portion of the film inspected based on the signal generated in the generating step;
The film manufacturing method characterized by including.
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