JP2018032835A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
特徴1:第2固定工程では、2個以上の半導体素子のそれぞれを、導電材を介して、第2放熱板に固定する。
特徴2:放熱板を平面視すると、各導電材の面積が、各導電材に固定されている各半導体素子の面積より小さい。
特徴3:第1放熱板における半導体素子が固定されている領域の面積は、第2放熱板における導電材が固定されている領域の面積より大きい。
特徴4:半導体素子が直接に固定されているとともにその固定面積が大きい第1放熱板の内側表面には下塗り剤を塗布して第1放熱板と樹脂体の剥離を防止する。半導体素子が導電材を介して固定されているとともにその固定面積が小さい第2放熱板の内側表面には下塗り剤を塗布しない。
図面を参照して、実施例の半導体装置20を説明する。本明細書が開示する技術は、電気自動車100に車載する半導体装置20に適用される。図1は、電気自動車100の電力系のブロック図である。電気自動車100は、バッテリ101と、システムメインリレー102と、電圧コンバータ103と、インバータ104と、走行用のモータ105を備えている。バッテリ101とモータ105は、システムメインリレー102と電圧コンバータ103とインバータ104を介して、接続されている。バッテリ101の電力が、電圧コンバータ103とインバータ104を介して、モータ105に供給される。これにより、モータ105が駆動して、電気自動車100が走行する。この場合、電圧コンバータ103は、バッテリ101からの直流電力を昇圧し、インバータ104は、電圧コンバータ103からの直流電力を交流電力に変換する。
21:ダイオード
22:IGBT
23:第1放熱板
24:第2放熱板
25,26:導電材
28:樹脂体
31a−31c、32a−32c:はんだ
33a,33b:下塗り剤
41,42:出力端子
43:ゲート端子
Claims (1)
- 第1放熱板の表面に、2個以上の半導体素子を、相互間に距離を隔てた位置関係で固定する第1固定工程と、
前記第1固定工程の後に、前記第1放熱板の内側表面に、下塗り剤を塗布する塗布工程と、
前記塗布工程の後に、前記第1放熱板との間で前記2個以上の半導体素子を挟んだ状態で前記第1放熱板と対面するように、第2放熱板を配置する配置工程と、
前記2個以上の半導体素子を、直接または導電材を介して、前記第2放熱板の内側表面に固定する第2固定工程と、
前記第1放熱板の前記内側表面と前記第2放熱板の前記内側表面の間に樹脂を充填し、前記2個以上の半導体素子を封止する樹脂体を成形する成形工程と、
を備えており、
前記2個以上の半導体素子の発熱部と前記第1放熱板の間の距離より前記2個以上の半導体素子の前記発熱部と前記第2放熱板の間の距離を長くすることを特徴とする半導体装置の製造方法。
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WO2020262097A1 (ja) * | 2019-06-28 | 2020-12-30 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 半導体装置およびその製造方法 |
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