JP2018023024A - プラズモニックアンテナ、プラズモニックアンテナの製造方法および検出装置 - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、誘電体層がシリコンの場合、屈折率nは3.41であるため、間隔dを波長λより3.41分の1倍小さくすることができ、プラズモニックアンテナ20を小型化できる。また、プラズモニックアンテナ20は、誘電体層が配置されることにより、同じ開口面積を有する場合でも、より多くの溝40、50を配置できるため、誘電体層が無い場合と比べてTHz帯の電磁波に対する感度を向上させることができる。
なお、λ’effは、共鳴ピーク波長の実行波長を示し、Δは、波長λ’effの定在波が存在できる最小の厚さを示し、Mは、0以上の正の整数を示す。
すなわち、溝40aの間隔daは、正のX軸方向からの角度θに応じて、d1からd2に連続的に変化する。また、図4に示したプラズモニックアンテナ20では、複数の溝40aは、穴部HLの中心を通るX軸方向に平行な破線で示した直線に対して軸対称に配置される。なお、複数の溝40aは、例えば、穴部HLの中心に対して点対称に配置されてもよい。
Claims (10)
- 電磁波が入射する平面を有する導体基板を備え、
前記導体基板は、前記平面上の所定の位置を基準にして前記平面を分割した複数の領域において、前記所定の位置を中心に同心円状に複数の溝がそれぞれ配置され、
前記領域に配置される溝の間隔は、前記電磁波のうち所望の受信波長に応じた間隔であって、前記領域に応じて異なる
ことを特徴とするプラズモニックアンテナ。 - 請求項1に記載のプラズモニックアンテナにおいて、
前記平面上において前記所定の位置を基準として対向する2つの前記領域では、前記複数の溝の間隔が同じであることを特徴とするプラズモニックアンテナ。 - 電磁波が入射する平面を有する導体基板を備え、
前記導体基板は、前記平面上の所定の位置を中心に同心円状に複数の溝が配置され、
前記溝の間隔は、前記電磁波のうち第1波長から第2波長の受信する所望の帯域と前記所定の位置を中心とする角度とに応じて前記第1波長の間隔から前記第2波長の間隔に変化する
ことを特徴とするプラズモニックアンテナ。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のプラズモニックアンテナにおいて、
前記平面上に誘電体層をさらに備えることを特徴とするプラズモニックアンテナ。 - 電磁波が入射する第1平面を有する誘電体基板を備え、
前記誘電体基板は、前記第1平面に対向する第2平面上に前記電磁波のうち所望の受信波長に応じた間隔で同心円状に複数の溝が配置されるとともに、前記第2平面および前記複数の溝に前記溝の幅の2分の1より薄い膜厚の導体層が配置される
ことを特徴とするプラズモニックアンテナ。 - 電磁波が入射する導体基板の平面上の所定の位置を基準にして前記平面を分割した複数の領域において、前記電磁波のうち前記領域に応じて異なる所望の受信波長に応じた間隔で、前記所定の位置を中心に同心円状に配置された複数の溝を金属の蒸着により形成する
ことを特徴とするプラズモニックアンテナの製造方法。 - 電磁波が入射する導体基板の平面において、前記電磁波のうち第1波長から第2波長の受信する所望の帯域と前記平面上の所定の位置を中心とする角度とに応じて前記第1波長の間隔から前記第2波長の間隔に変化する間隔で、前記平面上の所定の位置を中心に同心円状に配置される複数の溝を金属の蒸着により形成する
ことを特徴とするプラズモニックアンテナの製造方法。 - 電磁波が入射する第1平面を有する誘電体基板において、前記第1平面に対向する第2平面上に、前記電磁波のうち所望の受信波長に応じた間隔で同心円状に配置された複数の溝をエッチングにより形成し、
前記第2平面および前記複数の溝に、前記溝の幅の2分の1より薄い膜厚の導体層を蒸着により形成する
ことを特徴とするプラズモニックアンテナの製造方法。 - 検出対象の対象物に電磁波を射出する光源と、
前記対象物を透過した前記電磁波を集光する請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のプラズモニックアンテナと、
前記プラズモニックアンテナにより集光された前記電磁波を検出する検出部と
を備えることを特徴とする検出装置。 - 電磁波を射出する光源と、
前記光源より射出された前記電磁波を受信し、受信した前記電磁波を集光して検出対象の対象物に照射する請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のプラズモニックアンテナと、
前記対象物を透過した前記電磁波を検出する検出部と
を備えることを特徴とする検出装置。
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