JP2018010927A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2018010927A5
JP2018010927A5 JP2016137691A JP2016137691A JP2018010927A5 JP 2018010927 A5 JP2018010927 A5 JP 2018010927A5 JP 2016137691 A JP2016137691 A JP 2016137691A JP 2016137691 A JP2016137691 A JP 2016137691A JP 2018010927 A5 JP2018010927 A5 JP 2018010927A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
change
unit
pattern
reduces
forming
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016137691A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP6758967B2 (ja
JP2018010927A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2016137691A priority Critical patent/JP6758967B2/ja
Priority claimed from JP2016137691A external-priority patent/JP6758967B2/ja
Priority to KR1020170084605A priority patent/KR102172015B1/ko
Publication of JP2018010927A publication Critical patent/JP2018010927A/ja
Publication of JP2018010927A5 publication Critical patent/JP2018010927A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6758967B2 publication Critical patent/JP6758967B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2016137691A 2016-07-12 2016-07-12 インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法 Active JP6758967B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016137691A JP6758967B2 (ja) 2016-07-12 2016-07-12 インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法
KR1020170084605A KR102172015B1 (ko) 2016-07-12 2017-07-04 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품의 제조 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016137691A JP6758967B2 (ja) 2016-07-12 2016-07-12 インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2018010927A JP2018010927A (ja) 2018-01-18
JP2018010927A5 true JP2018010927A5 (cg-RX-API-DMAC7.html) 2019-08-22
JP6758967B2 JP6758967B2 (ja) 2020-09-23

Family

ID=60995780

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016137691A Active JP6758967B2 (ja) 2016-07-12 2016-07-12 インプリント装置、インプリント方法、及び物品の製造方法

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP6758967B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
KR (1) KR102172015B1 (cg-RX-API-DMAC7.html)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6821408B2 (ja) * 2016-11-28 2021-01-27 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
CN113314451B (zh) * 2021-06-10 2022-08-02 哈尔滨工业大学 一种基于莫尔条纹的晶圆键合对准系统及方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005116978A (ja) * 2003-10-10 2005-04-28 Sumitomo Heavy Ind Ltd ナノインプリント装置及び方法
JP4958614B2 (ja) * 2006-04-18 2012-06-20 キヤノン株式会社 パターン転写装置、インプリント装置、パターン転写方法および位置合わせ装置
JP4795300B2 (ja) * 2006-04-18 2011-10-19 キヤノン株式会社 位置合わせ方法、インプリント方法、位置合わせ装置、インプリント装置、及び位置計測方法
JP5261665B2 (ja) * 2008-05-27 2013-08-14 株式会社ブイ・テクノロジー 近接露光装置
NL2003347A (en) * 2008-09-11 2010-03-16 Asml Netherlands Bv Imprint lithography.
JP5308369B2 (ja) * 2010-02-09 2013-10-09 株式会社日立ハイテクノロジーズ 両面インプリント装置の被転写体位置決め方法および両面インプリント装置
JP5930622B2 (ja) 2010-10-08 2016-06-08 キヤノン株式会社 インプリント装置、及び、物品の製造方法
JP6304934B2 (ja) * 2012-05-08 2018-04-04 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品の製造方法
JP6120678B2 (ja) * 2013-05-27 2017-04-26 キヤノン株式会社 インプリント方法、インプリント装置及びデバイス製造方法
JP6304948B2 (ja) * 2013-06-19 2018-04-04 キヤノン株式会社 光源装置、およびリソグラフィ装置
JP6294680B2 (ja) * 2014-01-24 2018-03-14 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法
JP6549834B2 (ja) * 2014-11-14 2019-07-24 キヤノン株式会社 インプリント装置及び物品の製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2016530134A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2017507747A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
EP3532266A4 (en) THREE-DIMENSIONAL PRINTING METHOD
JP2016535100A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2017211493A5 (ja) 露光装置、および、物品の製造方法
JP2016150142A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2016508542A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2016027367A5 (ja) 投影システム
EP3346334A4 (en) MATERIAL FOR FORMING LITHOGRAPHY OF LAYERED LAYERED FILM, COMPOSITION FOR FORMING LITHOGRAPHY OF A LAYERED LAYERED FILM, LITHOGRAPHY LAYERING FILM AND METHOD OF FORMING A RESISTANCE STRUCTURE
JP2013181136A5 (ja) ポリイミド前駆体組成物、ポリイミド成形体、及び画像形成装置
JP2015143837A5 (ja) トナーおよびトナーの製造方法
EP3661730A4 (en) METHOD OF 3D PRINTING
JP2017191148A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2017528146A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2019041807A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2018010927A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2018019120A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2015130071A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
SG11201701196SA (en) Photocurable composition, and methods using the same for forming cured product pattern and for manufacturing optical component, circuit board and imprinting mold
JP2017011499A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2014225653A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2015198264A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
MA45083A (fr) Procédé de fabrication d'éléments structuraux métalliques par impression 3d
JP2017516883A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP2017058090A5 (cg-RX-API-DMAC7.html)