JP2018004896A - Method for assembling optical component - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for assembling an optical component, by which adjustment of the optical axis of an optical component to be disposed on an optical path corresponding to signal light of each polarized light component can be easily performed with high accuracy.SOLUTION: The method for assembling an optical component includes a step of adjusting the optical axis of an optical component disposed on an optical path corresponding to signal light of each polarized light component with respect to a polarized light beam splitter 21 that branches signal light including two polarized light components having polarization directions orthogonal to each other into one polarized light component and the other polarized light component, while introducing adjusting light, which is prepared by synthesizing a first beam and a second beam having polarization directions orthogonal to each other by use of a polarization synthesizer, and detecting the intensity of the adjusting light.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、光学部品の組立方法に関するものである。   The present invention relates to an optical component assembling method.

特許文献1には、コヒーレント光受信装置に関する技術が開示されている。コヒーレント通信用光受信デバイス等の光受信器では、偏波や位相が多重化された光信号が偏波保持ファイバを介して入力され、偏光ビームスプリッタ(PBS:Polarization Beam Splitter)により偏光に応じて分波される。分波された光信号は、例えば光90度ハイブリッド素子により位相に応じて分離される。分離された光信号は、受光素子により電気信号に変換される。   Patent Document 1 discloses a technique related to a coherent optical receiver. In an optical receiver such as an optical receiver for coherent communication, an optical signal in which polarization and phase are multiplexed is input via a polarization maintaining fiber, and the polarization beam splitter (PBS) is used according to the polarization. It is demultiplexed. The demultiplexed optical signal is separated according to the phase by, for example, an optical 90-degree hybrid element. The separated optical signal is converted into an electric signal by the light receiving element.

特開平5‐158096号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-158096

図16は、このコヒーレント光受信装置の構成を概略的に示す。図16に示されるコヒーレント光受信装置200は、偏光ビームスプリッタ202、ビームスプリッタ204、モニタ用受光素子206、2個の多モード干渉器(光90度ハイブリッド)211及び212、8個(4組)の信号光用受光素子234、4個のアンプ235、並びに8個(4組)のカップリングコンデンサ236を備えている。   FIG. 16 schematically shows the configuration of this coherent optical receiver. A coherent optical receiver 200 shown in FIG. 16 includes a polarizing beam splitter 202, a beam splitter 204, a monitor light receiving element 206, two multimode interferors (optical 90-degree hybrid) 211 and 212, and eight (four sets). Signal light receiving element 234, four amplifiers 235, and eight (four sets) coupling capacitors 236.

このコヒーレント光受信装置200には、偏光方向が互いに異なる2つの偏光成分を有する信号光N0と、局発光L0とが入力される。信号光N0の一部は、ビームスプリッタ208によって分岐されてモニタ用受光素子206に入力される。モニタ用受光素子206は、信号光N0の平均光強度を検出する。信号光N0の残部は、可変減衰器210を経て偏光ビームスプリッタ202に達し、偏光ビームスプリッタ202によって一方の偏光成分N1と他方の偏光成分N2とに分岐される。一方の偏光成分N1は一方の多モード干渉器211に入力され、他方の偏光成分N2は他方の多モード干渉器212に入力される。 The coherent light receiving apparatus 200 receives signal light N 0 having two polarization components having different polarization directions and local light L 0 . Part of the signal light N 0 is branched by the beam splitter 208 and input to the monitoring light receiving element 206. The monitoring light receiving element 206 detects the average light intensity of the signal light N 0 . The remainder of the signal light N 0 reaches the polarization beam splitter 202 via the variable attenuator 210 and is branched by the polarization beam splitter 202 into one polarization component N 1 and the other polarization component N 2 . One polarization component N 1 is input to one multimode interferometer 211, and the other polarization component N 2 is input to the other multimode interferometer 212.

局発光L0は、ビームスプリッタ204によって分岐される。分岐された一方の局発光L1は多モード干渉器212に入力され、他方の局発光L2は多モード干渉器211に入力される。多モード干渉器211は、局発光L2と偏光成分N1とを干渉させることにより、XI信号成分及びXQ信号成分をそれぞれ示す2対の干渉光を出力する。多モード干渉器212は、局発光L1と偏光成分N2とを干渉させることにより、YI信号成分及びYQ信号成分をそれぞれ示す2対の干渉光を出力する。これらの干渉光は、各信号光用受光素子234によって電流信号に変換される。各信号光用受光素子234から出力された電流信号は、アンプ235によって差動の電圧信号に変換されたのち、カップリングコンデンサ236を介して外部に出力される。 The local light L 0 is branched by the beam splitter 204. One branched local light L 1 is input to the multimode interferometer 212, and the other local light L 2 is input to the multimode interferometer 211. The multimode interferometer 211 outputs two pairs of interference light indicating the XI signal component and the XQ signal component by causing the local light L 2 and the polarization component N 1 to interfere with each other. The multimode interferometer 212 outputs two pairs of interference light indicating the YI signal component and the YQ signal component by causing the local light L 1 and the polarization component N 2 to interfere with each other. These interference lights are converted into current signals by the signal light receiving elements 234. The current signal output from each signal light receiving element 234 is converted into a differential voltage signal by the amplifier 235 and then output to the outside via the coupling capacitor 236.

図16に示される光受信装置200においては、信号光N0及び各偏光成分N1,N2の各光路上に様々な光学部品が配置される。例えば、多モード干渉器211,212の光導入口が小さい場合、各偏光成分N1,N2を光導入口に向けて集光するためのレンズが必要になる。また、各偏光成分N1,N2を多モード干渉器211,212に向けるためのミラーが必要に応じて配置される。 In the optical receiver 200 shown in FIG. 16, various optical components are arranged on the optical paths of the signal light N 0 and the polarization components N 1 and N 2 . For example, when the optical entrance of the multimode interferometers 211 and 212 is small, a lens for condensing the polarization components N 1 and N 2 toward the optical entrance is required. In addition, mirrors for directing the polarization components N 1 and N 2 to the multimode interferometers 211 and 212 are arranged as necessary.

図16に示される光受信装置200を組み立てる際には、これらの光学部品を、多モード干渉器211,212に対して光軸調整を行いつつ配置することが求められる。その為に、信号光N0を模擬する調整光を外部から入力し、その調整光と多モード干渉器211,212との光結合効率が高まるようにこれらの光学部品の光軸調整を行うことが考えられる。その際、偏光ビームスプリッタ202を介して多モード干渉器211,212に調整光を到達させることが求められる。図17は、偏光の概念について説明する図である。一般に光は、xy平面内に電場ベクトルEと磁場ベクトルHとを有する。そして、+z方向に進む光の電場ベクトルEは、x成分Exとy成分Eyとに分解されうる。すなわち、電場ベクトルEはx成分Exとy成分Eyとの和(Ex+Ey)として表される。従って、調整光を図18に示されるような直線偏光とすることにより、調整光は偏光ビームスプリッタ202においてx成分Exとy成分Eyとに分岐されるので、x成分Exを一方の多モード干渉器211に入力させ、y成分Eyを他方の多モード干渉器211に入力させることができる。 When assembling the optical receiver 200 shown in FIG. 16, it is required to arrange these optical components while performing optical axis adjustment with respect to the multimode interferometers 211 and 212. For this purpose, adjustment light simulating the signal light N 0 is input from the outside, and the optical axes of these optical components are adjusted so that the optical coupling efficiency between the adjustment light and the multimode interference devices 211 and 212 is increased. Can be considered. At that time, it is required to allow the adjustment light to reach the multimode interferometers 211 and 212 via the polarization beam splitter 202. FIG. 17 is a diagram for explaining the concept of polarization. In general, light has an electric field vector E and a magnetic field vector H in the xy plane. The electric field vector E of light traveling in the + z direction can be decomposed into an x component Ex and a y component Ey. That is, the electric field vector E is expressed as the sum (Ex + Ey) of the x component Ex and the y component Ey. Accordingly, when the adjustment light is linearly polarized as shown in FIG. 18, the adjustment light is branched into the x component Ex and the y component Ey in the polarization beam splitter 202, so that the x component Ex is converted into one multimode interference. The y component Ey can be input to the other multimode interferometer 211.

図19は、そのような光軸調整方式の一例を示す図である。同図に示されるように、光源221から直線偏光の試験光LDを出力させ、この試験光LDを、偏波コントローラ222を介して光受信装置200に入力する。そして、偏光ビームスプリッタ202によって分岐された試験光LDの一方の偏光成分LD1の光強度と他方の偏光成分LD2の光強度とがそれぞれ所望の大きさになるように、偏波コントローラ222によって試験光LDの偏光方向を調整する。その後、試験光LD及び各偏光成分LD1,LD2の各光路上に種々の光学部品を配置し、偏光成分LD1,LD2と多モード干渉器211,212との光結合効率が最大になるようにそれらの光学部品の光軸調整を行う。 FIG. 19 is a diagram showing an example of such an optical axis adjustment method. As shown in the figure, linearly polarized test light LD is output from the light source 221, and this test light LD is input to the optical receiver 200 via the polarization controller 222. Then, the polarization controller 222 adjusts the light intensity of one polarization component LD 1 and the light intensity of the other polarization component LD 2 of the test light LD branched by the polarization beam splitter 202 to a desired magnitude. The polarization direction of the test light LD is adjusted. Thereafter, various optical components are arranged on the optical paths of the test light LD and the polarization components LD 1 and LD 2 to maximize the optical coupling efficiency between the polarization components LD 1 and LD 2 and the multimode interferometers 211 and 212. The optical axes of these optical components are adjusted so that

しかしながら、上記の方法では、偏光ビームスプリッタ202と試験光LDの偏光方向との光軸周りの相対角度に誤差が生じると、x成分Exとy成分Eyとの強度比(分岐比)が所定の強度比から変動してしまい、各偏光成分LD1,LD2と多モード干渉器211,212との光結合効率を正確に測定することができない。すなわち、各偏光成分LD1,LD2を個別に測定すると、偏光成分LD1の測定と偏光成分LD2の測定は、それぞれの測定で偏波を調整して実施されるので、各偏光成分LD1とLD2を正確に測定できない。従って、偏光ビームスプリッタ202と試験光LDの偏光方向との相対角度を予め精度良く調整する必要があり、光受信装置200の組立作業に長時間を要するとともに、組立作業を難しくするという問題がある。 However, in the above method, if an error occurs in the relative angle around the optical axis between the polarization beam splitter 202 and the polarization direction of the test light LD, the intensity ratio (branch ratio) between the x component Ex and the y component Ey is a predetermined value. The optical coupling efficiency between the polarization components LD 1 and LD 2 and the multimode interferometers 211 and 212 cannot be accurately measured because the intensity ratio varies. That is, when each of the polarization components LD 1 and LD 2 is measured individually, the measurement of the polarization component LD 1 and the measurement of the polarization component LD 2 are performed by adjusting the polarization in each measurement. 1 and LD 2 cannot be measured accurately. Therefore, it is necessary to adjust the relative angle between the polarization beam splitter 202 and the polarization direction of the test light LD with high accuracy in advance, and it takes a long time to assemble the optical receiver 200 and makes it difficult to assemble. .

本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、各偏光成分の信号光に対応した光路上に配置される光学部品の光軸調整を容易に且つ精度良く行うことができる光学部品の組立方法を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and is an optical that can easily and accurately adjust the optical axis of an optical component arranged on an optical path corresponding to the signal light of each polarization component. An object is to provide a method for assembling parts.

上述した課題を解決するために、本発明の一実施形態に係る光学部品の組立方法は、偏光方向が互いに直交する二つの偏光成分を含む信号光を一方の偏光成分と他方の偏光成分とに分岐する偏光ビームスプリッタに対し、偏光方向が互いに直交する第1の光及び第2の光を偏波合成器を用いて合成した調整光を導入しつつ、調整光の光強度を検出しながら、各偏光成分の信号光に対応した光路上に配置される光学部品の光軸調整を行う工程を含む。   In order to solve the above-described problem, an optical component assembling method according to an embodiment of the present invention converts signal light including two polarization components whose polarization directions are orthogonal to each other into one polarization component and the other polarization component. While introducing the adjustment light obtained by combining the first light and the second light whose polarization directions are orthogonal to each other using a polarization beam combiner into the branched polarization beam splitter, while detecting the light intensity of the adjustment light, A step of adjusting an optical axis of an optical component arranged on an optical path corresponding to the signal light of each polarization component.

本発明による光学部品の組立方法によれば、各偏光成分の信号光に対応した光路上に配置される光学部品の光軸調整を容易に且つ精度良く行うことができる。   According to the method for assembling an optical component according to the present invention, it is possible to easily and accurately adjust the optical axis of the optical component arranged on the optical path corresponding to the signal light of each polarization component.

図1は、本発明の一実施形態に係る組立方法の対象であるコヒーレントレシーバを概略的に示す平面図である。FIG. 1 is a plan view schematically showing a coherent receiver that is an object of an assembling method according to an embodiment of the present invention. 図2は、図1に示すコヒーレントレシーバの内部を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing the inside of the coherent receiver shown in FIG. 図3(a)及び図3(b)は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図である。図3(a)は、互いに垂直な光反射面及び底面を有する標準ミラーを設置する様子を示している。図3(b)は、標準ミラーを、ベース及びVOAキャリアを搭載したパッケージに置き換える様子を示している。FIG. 3A and FIG. 3B are diagrams for explaining a method of manufacturing a coherent receiver. FIG. 3A shows a state in which a standard mirror having a light reflecting surface and a bottom surface perpendicular to each other is installed. FIG. 3B shows how the standard mirror is replaced with a package on which a base and a VOA carrier are mounted. 図4は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、モニタPDをVOAキャリア上に搭載する様子を示している。FIG. 4 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver, and shows a state in which a monitor PD is mounted on a VOA carrier. 図5は、模擬ポートを保持するためのマニピュレータの一部を示す斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a part of a manipulator for holding a simulated port. 図6(a)及び図6(b)は、調整光を生成するための構成を示すブロック図である。FIGS. 6A and 6B are block diagrams illustrating a configuration for generating the adjustment light. 図7は、偏波合成器の構成例を示す斜視図である。FIG. 7 is a perspective view showing a configuration example of a polarization beam combiner. 図8は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、反射器の調芯及び固定を行う様子を示している。FIG. 8 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver, and illustrates how the reflector is aligned and fixed. 図9は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、第1レンズの調芯及び固定を行う様子を示している。FIG. 9 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver, and illustrates how the first lens is aligned and fixed. 図10は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、第2レンズの調芯及び固定を行う様子を示している。FIG. 10 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver, and illustrates how the second lens is aligned and fixed. 図11は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、Sig光入力レンズの調芯及び固定を行う様子を示している。FIG. 11 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver, and illustrates how the Sig light input lens is aligned and fixed. 図12は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、VOAをVOAキャリア上に搭載する様子を示している。FIG. 12 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver, and shows a state where a VOA is mounted on a VOA carrier. 図13は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、減衰器を搭載する様子を示している。FIG. 13 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver and shows a state in which an attenuator is mounted. 図14は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、筐体を塞ぐリッドをシームシールにより取り付け、筐体の内部を気密封止する様子を示している。FIG. 14 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver, and shows a state in which a lid for closing the casing is attached with a seam seal, and the inside of the casing is hermetically sealed. 図15は、コヒーレントレシーバの製造方法を説明するための図であって、模擬ポートを本来のSig光入力ポート及びLo光ポートに置き換え、Sig光入力ポート及びLo光ポートの調芯及び固定を行う様子を示している。FIG. 15 is a diagram for explaining a method of manufacturing a coherent receiver, in which a simulated port is replaced with an original Sig optical input port and an Lo optical port, and alignment and fixing of the Sig optical input port and the Lo optical port are performed. It shows a state. 図16は、特許文献1に示されたコヒーレント光受信装置の構成を概略的に示す。FIG. 16 schematically shows the configuration of the coherent optical receiver shown in Patent Document 1. 図17は、偏光の概念について説明する図である。FIG. 17 is a diagram for explaining the concept of polarization. 図18は、偏光の概念について説明する図である。FIG. 18 is a diagram for explaining the concept of polarization. 図19は、光軸調整方式の一例を示す。FIG. 19 shows an example of the optical axis adjustment method.

[本願発明の実施形態の説明]
最初に、本発明の実施形態の内容を列記して説明する。本発明の一実施形態に係る光学部品の組立方法は、偏光方向が互いに直交する二つの偏光成分を含む信号光を一方の偏光成分と他方の偏光成分とに分岐する偏光ビームスプリッタに対し、偏光方向が互いに直交する第1の光及び第2の光を偏波合成器を用いて合成した調整光を導入しつつ、調整光の光強度を検出しながら、各偏光成分の信号光に対応した光路上に配置される光学部品の光軸調整を行う工程を含む。
[Description of Embodiment of Present Invention]
First, the contents of the embodiment of the present invention will be listed and described. An optical component assembling method according to an embodiment of the present invention includes a polarization beam splitter that splits signal light including two polarization components whose polarization directions are orthogonal to each other into one polarization component and the other polarization component. While introducing the adjustment light obtained by combining the first light and the second light whose directions are orthogonal to each other using a polarization beam combiner, the light intensity of the adjustment light is detected and the signal light of each polarization component is supported. A step of adjusting an optical axis of an optical component arranged on the optical path.

この組立方法では、光学部品の光軸調整を行うために、偏光方向が互いに直交する第1及び第2の光を偏波合成器によって合成し、信号光に代わる調整光として偏光ビームスプリッタに導入する。このとき、第1及び第2の光の偏光方向が互いに直交するので、調整光と偏光ビームスプリッタとの光軸周りの相対角度に誤差が生じても、分岐比への影響は殆ど生じない。すなわち、相対角度が或る一方向にずれた場合、第1の光については分岐後の一方の偏光成分の光強度が減り、他方の偏光成分の光強度が増すが、第2の光については分岐後の一方の偏光成分の光強度が増し、他方の偏光成分の光強度が減る。従って、分岐後の第1の光の偏光成分と第2の光の偏光成分とを合わせた光強度は常に一定であり、調整光と偏光ビームスプリッタとの光軸周りの相対角度の誤差の影響を殆ど受けない。従って、上記の組立方法によれば、図19に示された偏波コントローラ222による偏光方向の調整をしなくても、分岐後の調整光の光強度を精度良く所定の大きさにできるので、各偏光成分の光路上に配置される光学部品の光軸調整を容易に且つ精度良く行うことができる。   In this assembly method, in order to adjust the optical axis of the optical component, the first and second light beams whose polarization directions are orthogonal to each other are synthesized by the polarization beam combiner, and introduced into the polarization beam splitter as adjustment light instead of the signal light. To do. At this time, since the polarization directions of the first and second lights are orthogonal to each other, even if an error occurs in the relative angle between the adjustment light and the polarization beam splitter around the optical axis, the branching ratio is hardly affected. That is, when the relative angle deviates in one direction, the light intensity of one polarization component after branching decreases for the first light and the light intensity of the other polarization component increases, but the second light The light intensity of one polarization component after branching increases and the light intensity of the other polarization component decreases. Therefore, the light intensity of the polarization component of the first light after splitting and the polarization component of the second light is always constant, and the influence of the error of the relative angle around the optical axis between the adjustment light and the polarization beam splitter. Is hardly affected. Therefore, according to the above assembly method, the light intensity of the adjusted light after branching can be accurately set to a predetermined level without adjusting the polarization direction by the polarization controller 222 shown in FIG. It is possible to easily and accurately adjust the optical axis of the optical component arranged on the optical path of each polarization component.

また、上記の組立方法において、光軸調整は、第1の光及び第2の光の光強度を複数の光検知手段で同時に検知しつつなされてもよい。   In the above assembling method, the optical axis adjustment may be performed while simultaneously detecting the light intensities of the first light and the second light by a plurality of light detecting means.

[本願発明の実施形態の詳細]
本発明の実施形態に係る光学部品の組立方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。以下の説明では、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
[Details of the embodiment of the present invention]
A specific example of an optical component assembling method according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. In addition, this invention is not limited to these illustrations, is shown by the claim, and intends that all the changes within the meaning and range equivalent to the claim are included. In the following description, the same reference numerals are given to the same elements in the description of the drawings, and redundant descriptions are omitted.

図1は、本発明の一実施形態に係る組立方法の対象である光学部品としてのコヒーレントレシーバ1を概略的に示す平面図である。図2は、図1に示すコヒーレントレシーバ1の内部を示す斜視図である。コヒーレントレシーバ1は、局発光(Local Beam:Lo光)と信号光(Signal Beam:Sig光)とを干渉させ、位相変調された信号光に含まれる情報を復調する装置である。復調された情報は電気信号に変換されてコヒーレントレシーバ1の外部に出力される。コヒーレントレシーバ1は、局発光、信号光それぞれに対する光学系と、二つの多モード干渉器(Multi-Mode Interference:MMI)40,50とを備える。更に、コヒーレントレシーバ1は、これらの光学系とMMI40,50とを収容する筐体2を備える。光学系及びMMI40,50は、ベース4を介して筐体2の底面2E上に搭載されている。ベース4は、アルミナ(Al23)若しくは窒化アルミニウム(AlN)等の絶縁材料によって構成される。また、底面2E上には、復調された情報を処理する回路を搭載する回路基板46,56が搭載されている。二つのMMI40,50は半導体MMIであり、たとえばInP製である。MMI40は、Lo光導入口41及びSig光導入口42を有し、Lo光導入口41に入力された局発光と、Sig光導入口42に入力された信号光とを干渉させることにより、信号光の位相情報を復調する。同様に、MMI50は、Lo光導入口51及びSig光導入口52を有し、Lo光導入口51に入力された局発光と、Sig光導入口52に入力された信号光とを干渉させることにより、信号光の位相情報を復調する。なお、本実施形態では二つのMMI40,50が互いに独立して設けられているが、これらは一体に集積化されていてもよい。 FIG. 1 is a plan view schematically showing a coherent receiver 1 as an optical component that is an object of an assembling method according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a perspective view showing the inside of the coherent receiver 1 shown in FIG. The coherent receiver 1 is a device that demodulates information included in phase-modulated signal light by causing local light (Local Beam: Lo light) and signal light (Signal Beam: Sig light) to interfere with each other. The demodulated information is converted into an electric signal and output to the outside of the coherent receiver 1. The coherent receiver 1 includes an optical system for local light and signal light, and two multi-mode interference (MMI) 40 and 50. Further, the coherent receiver 1 includes a housing 2 that accommodates these optical systems and the MMIs 40 and 50. The optical system and the MMIs 40 and 50 are mounted on the bottom surface 2 </ b> E of the housing 2 through the base 4. The base 4 is made of an insulating material such as alumina (Al 2 O 3 ) or aluminum nitride (AlN). On the bottom surface 2E, circuit boards 46 and 56 for mounting circuits for processing demodulated information are mounted. The two MMIs 40 and 50 are semiconductor MMIs, for example, made of InP. The MMI 40 has a Lo light inlet 41 and a Sig light inlet 42. By causing local light input to the Lo light inlet 41 and signal light input to the Sig light inlet 42 to interfere with each other, the MMI 40 Demodulate light phase information. Similarly, the MMI 50 includes a Lo light inlet 51 and a Sig light inlet 52, and causes local light input to the Lo light inlet 51 to interfere with signal light input to the Sig light inlet 52. Thus, the phase information of the signal light is demodulated. In the present embodiment, the two MMIs 40 and 50 are provided independently of each other, but they may be integrated together.

筐体2は、前壁2Aを有する。以下の説明において、前壁2A側を前方、反対側を後方と呼ぶ。但し、これら前方/後方はあくまでも説明のためだけであり、本発明の範囲を制限するものではない。前壁2Aには、Lo光入力ポート5及びSig光入力ポート6が、たとえばレーザ溶接により固定されている。Lo光入力ポート5には偏波保持ファイバ35を介して局発光L0が提供され、Sig光入力ポート6には単一モードファイバ36を介して信号光N0が提供される。入力ポート5,6は、それぞれコリメートレンズを有しており、偏波保持ファイバ35、単一モードファイバ36から出射された局発光L0、信号光N0(それぞのファイバから出射された状態では発散光)をそれぞれコリメート光に変更して筐体2内に導く。 The housing 2 has a front wall 2A. In the following description, the front wall 2A side is referred to as the front, and the opposite side is referred to as the rear. However, these front / rear are only for description, and do not limit the scope of the present invention. The Lo light input port 5 and the Sig light input port 6 are fixed to the front wall 2A by, for example, laser welding. The Lo light input port 5 is provided with local light L 0 via a polarization maintaining fiber 35, and the Sig light input port 6 is provided with signal light N 0 via a single mode fiber 36. Each of the input ports 5 and 6 has a collimate lens, and the local light L 0 emitted from the polarization maintaining fiber 35 and the single mode fiber 36 and the signal light N 0 (states emitted from the respective fibers). Then, divergent light) is changed to collimated light and guided into the housing 2.

Lo光用光学系は、Lo光入力ポート5から提供されたLo光をMMI40,50のLo光導入口41,51に導く。具体的には、Lo光用光学系は、偏光子(polarizer)11、光分波器(Beam Splitter:BS)12、反射器13、二つのレンズ群14,15、スキュー調整素子16、及び減衰器71を含む。なお、スキュー調整素子16及び減衰器71は、必要でなければ省かれてもよい。   The Lo light optical system guides the Lo light provided from the Lo light input port 5 to Lo light inlets 41 and 51 of the MMIs 40 and 50. Specifically, the optical system for Lo light includes a polarizer 11, a beam splitter (BS) 12, a reflector 13, two lens groups 14 and 15, a skew adjusting element 16, and an attenuation. Device 71. Note that the skew adjustment element 16 and the attenuator 71 may be omitted if not necessary.

偏光子11はLo光入力ポート5に光結合し、Lo光入力ポート5から提供された局発光L0の偏波方向を整える。局発光L0の光源は、極めて扁平な楕円偏光を出力する。また、局発光L0の光源が直線偏光を出力したとしても、光源からこのコヒーレントレシーバ1に至る光経路に挿入された光部品の実装精度などにより、Lo光入力ポート5から入力される局発光L0が所望の方向に沿った直線偏光を有しているわけではない。偏光子11は、Lo光入力ポート5から入力された局発光L0を、所望の偏光方向(たとえば底面2Eに平行な方向)を有する直線偏光に変換する。 The polarizer 11 is optically coupled to the Lo light input port 5 and adjusts the polarization direction of the local light L 0 provided from the Lo light input port 5. The light source of local light L 0 outputs extremely flat elliptically polarized light. Even if the light source of the local light L 0 outputs linearly polarized light, the local light input from the Lo light input port 5 depends on the mounting accuracy of the optical components inserted in the optical path from the light source to the coherent receiver 1. L 0 does not have linear polarization along the desired direction. The polarizer 11 converts the local light L 0 input from the Lo light input port 5 into linearly polarized light having a desired polarization direction (for example, a direction parallel to the bottom surface 2E).

BS12は、偏光子11から出力される局発光L0を二分岐する。分岐比は50:50である。分岐された一方の局発光L1はBS12を直進してMMI40に向かう。他方の局発光L0は、BS12によりその光軸を90°変換され、さらに、反射器13により再度その光軸を90°変換されてMMI50に向かう。なお、図1及び図2に示されるBS12及び反射器13はプリズム型であり、互いに張り合わされた二つのプリズムの界面が光分岐面あるいは光反射面とされている。しかしながら、BS12及び反射器13はプリズム型に限定されず、いわゆる平板型のBS及び反射器であってもよい。 The BS 12 splits the local light L 0 output from the polarizer 11 into two branches. The branching ratio is 50:50. One of the branched local lights L 1 travels straight on the BS 12 toward the MMI 40. The other local light L 0 has its optical axis converted by 90 ° by the BS 12, and its optical axis is again converted by 90 ° by the reflector 13, and goes to the MMI 50. The BS 12 and the reflector 13 shown in FIGS. 1 and 2 are of a prism type, and an interface between two prisms bonded to each other is a light branching surface or a light reflecting surface. However, the BS 12 and the reflector 13 are not limited to the prism type, and may be a so-called flat plate type BS and reflector.

レンズ群14は、BS12とMMI40との間の光路上に配置され、BS12によって分岐された一方の局発光L1を、MMI40のLo光導入口41に集光する。レンズ群15は、反射器13とMMI50との間の光路上に配置され、BS12によって分岐され反射器13において反射した他方の局発光L2を、MMI50のLo光導入口51に集光する。レンズ群14,15は、それぞれMMI40,50に相対的に近接配置された第1レンズ14b,15b、及び相対的にMMI40,50から離間して配置された第2レンズ14a,15aを有する。このように、第1レンズ14b,15bと第2レンズ14a,15aとを組み合わせて集光レンズとすることによって、MMI40,50の小さなLo光導入口41,51に対する局発光L1,L2の光結合効率を高めることができる。 The lens group 14 is disposed on the optical path between the BS 12 and the MMI 40, and condenses one local light L 1 branched by the BS 12 at the Lo light inlet 41 of the MMI 40. The lens group 15 is disposed on the optical path between the reflector 13 and the MMI 50, and collects the other local light L 2 branched by the BS 12 and reflected by the reflector 13 at the Lo light inlet 51 of the MMI 50. The lens groups 14 and 15 include first lenses 14b and 15b disposed relatively close to the MMIs 40 and 50, respectively, and second lenses 14a and 15a disposed relatively apart from the MMIs 40 and 50. In this way, by combining the first lenses 14b and 15b and the second lenses 14a and 15a into a condensing lens, the local light emission L 1 and L 2 with respect to the small Lo light inlets 41 and 51 of the MMIs 40 and 50 can be reduced. The optical coupling efficiency can be increased.

スキュー調整素子16は、BS12とレンズ群14との間の光路上に配置され、BS12によって分岐された二つの局発光L1,L2の、BS12から各Lo光導入口41,51に至る光学長の差を補正する。すなわち、局発光L2の光路長は、BS12から反射器13に至る光路長の分だけ局発光L1の光路長よりも長い。スキュー調整素子16は、この光路長差、換言すると各Lo光導入口41,51に至るまでの局発光L1,L2の時間差を補償する。スキュー調整素子16はシリコン製であり、また、局発光L1,L2に対する透過率は99%程度と、局発光L1,L2の波長に対しては実質透明な材料で構成される。 The skew adjustment element 16 is disposed on the optical path between the BS 12 and the lens group 14, and is an optical component of the two local light beams L 1 and L 2 branched by the BS 12 from the BS 12 to the Lo light inlets 41 and 51. Correct the difference in length. That is, the optical path length of the local light L 2 is longer than the optical path length of the local light L 1 by the length of the optical path from the BS 12 to the reflector 13. The skew adjustment element 16 compensates for this optical path length difference, in other words, the time difference between the local lights L 1 and L 2 up to the Lo light entrances 41 and 51. Skew adjustment element 16 is made of silicon, also, and the transmittance of about 99% with respect to the local light L 1, L 2, the station consists of substantially transparent material to the wavelength of the light-emitting L 1, L 2.

Sig光用光学系は、偏光ビームスプリッタ(Polarization Beam Splitter:PBS)21、反射器22、二つのレンズ群23,24、半波長(λ/2)板25、スキュー調整素子26、及び減衰器81を含む。なお、スキュー調整素子26及び減衰器81は、必要でなければ省かれてもよい。   The optical system for Sig light includes a polarization beam splitter (PBS) 21, a reflector 22, two lens groups 23 and 24, a half-wave (λ / 2) plate 25, a skew adjusting element 26, and an attenuator 81. including. Note that the skew adjustment element 26 and the attenuator 81 may be omitted if not necessary.

PBS21は、Sig光入力ポート6に光結合し、単一モードファイバ36からSig光入力ポート6を介して提供された信号光N0の二つの偏光成分を分岐する。分岐比は例えば50:50である。単一モードファイバ36が提供する信号光N0の偏光方向は不定である。PBS21は、信号光N0の偏光方向に基づいてこれを二分する。たとえば、PBS21は、信号光N0のうち、筐体2の底面2Eに平行な偏光成分を透過して信号光N1とし、底面2Eに垂直な偏光成分を反射して信号光N2とする。 The PBS 21 is optically coupled to the Sig light input port 6 and branches the two polarization components of the signal light N 0 provided from the single mode fiber 36 via the Sig light input port 6. The branching ratio is, for example, 50:50. The polarization direction of the signal light N 0 provided by the single mode fiber 36 is indefinite. The PBS 21 bisects this based on the polarization direction of the signal light N 0 . For example, the PBS 21 transmits the polarized light component parallel to the bottom surface 2E of the housing 2 in the signal light N 0 to be the signal light N 1, and reflects the polarized light component perpendicular to the bottom surface 2E to be the signal light N 2 . .

PBS21を透過した信号光N1は、減衰器81及びスキュー調整素子26を透過した後、レンズ群23によりMMI50のSig光導入口52に光結合する。スキュー調整素子26は、PBS21とレンズ群23との間の光路上に配置され、PBS21によって分岐された二つの信号光N1,N2の、PBS21から各Sig光導入口42,52に至る光学長の差を補正する。すなわち、信号光N2の光路長は、PBS21から反射器22に至る光路長の分だけ信号光N1の光路長よりも長い。スキュー調整素子26は、この光路長差、換言すると各Sig光導入口42,52に至るまでの信号光N1,N2の時間差を補償する。スキュー調整素子26は、スキュー調整素子16と同様の材料により構成される。 The signal light N 1 that has passed through the PBS 21 passes through the attenuator 81 and the skew adjustment element 26 and is then optically coupled to the Sig light inlet 52 of the MMI 50 by the lens group 23. The skew adjusting element 26 is disposed on the optical path between the PBS 21 and the lens group 23, and optical signals of the two signal lights N 1 and N 2 branched by the PBS 21 from the PBS 21 to the Sig light inlets 42 and 52. Correct the difference in length. That is, the optical path length of the signal light N 2 is longer than the optical path length of the signal light N 1 by the optical path length from the PBS 21 to the reflector 22. The skew adjustment element 26 compensates for this optical path length difference, in other words, the time difference between the signal lights N 1 and N 2 up to the Sig light inlets 42 and 52. The skew adjustment element 26 is made of the same material as the skew adjustment element 16.

PBS21により反射された他方の信号光N2は、λ/2板25を通過する間にその偏光方向が90°回転される。分岐直後の信号光N1,N2の偏光は互いに直交している。信号光N2についてλ/2板25を通過させることで、信号光N2の偏光方向は90°回転され、他方の信号光N1と同様となる。そして、信号光N2は反射器22によりその光軸が90°変換され、MMI40のSig光導入口42にレンズ群24を介して光結合される。なお、図1及び図2に示されるPBS21及び反射器22はプリズム型であり、互いに張り合わされた二つのプリズムの界面が光分岐面あるいは光反射面とされている。しかしながら、PBS21及び反射器22はプリズム型に限定されず、透明平板部材の表面に光分岐機能或いは光反射機能を持たせた、いわゆる平板型のPBS及び反射器であってもよい。 The other signal light N 2 reflected by the PBS 21 is rotated by 90 ° in polarization direction while passing through the λ / 2 plate 25. The polarizations of the signal lights N 1 and N 2 immediately after branching are orthogonal to each other. By passing the lambda / 2 plate 25 for signal light N 2, the polarization direction of the signal light N 2 is rotated 90 °, the same as the other signal light N 1. The optical axis of the signal light N 2 is converted by 90 ° by the reflector 22, and is optically coupled to the SIG light inlet 42 of the MMI 40 via the lens group 24. The PBS 21 and the reflector 22 shown in FIGS. 1 and 2 are of a prism type, and an interface between two prisms bonded to each other is a light branching surface or a light reflecting surface. However, the PBS 21 and the reflector 22 are not limited to the prism type, and may be a so-called flat plate type PBS and reflector in which the surface of the transparent flat plate member has a light branching function or a light reflecting function.

レンズ群23は、PBS21とMMI50との間の光路上に配置され、PBS21によって分岐された一方の信号光N1を、MMI50のSig光導入口52に集光する。レンズ群24は、反射器22とMMI40との間の光路上に配置され、PBS21によって分岐され反射器22において反射した他方の信号光N2を、MMI40のSig光導入口42に集光する。レンズ群23,24は、それぞれMMI50,40に相対的に近接配置された第1レンズ23b,24b、及び相対的にMMI50,40から離間して配置された第2レンズ23a,24aを有する。このように、第1レンズ23b,24bと第2レンズ23a,24aとを組み合わせて集光レンズとすることによって、MMI50,40の小さなSig光導入口52,42に対する信号光N1,N2の光結合効率を高めることができる。 The lens group 23 is disposed on the optical path between the PBS 21 and the MMI 50, and condenses one signal light N 1 branched by the PBS 21 at the Sig light inlet 52 of the MMI 50. The lens group 24 is disposed on the optical path between the reflector 22 and the MMI 40, and collects the other signal light N 2 branched by the PBS 21 and reflected by the reflector 22 at the Sig light inlet 42 of the MMI 40. The lens groups 23 and 24 include first lenses 23b and 24b disposed relatively close to the MMIs 50 and 40, respectively, and second lenses 23a and 24a disposed relatively apart from the MMIs 50 and 40. In this way, by combining the first lenses 23b and 24b and the second lenses 23a and 24a into a condensing lens, the signal lights N 1 and N 2 for the small Sig light inlets 52 and 42 of the MMI 50 and 40 can be obtained. The optical coupling efficiency can be increased.

MMI40は、マルチモード干渉導波路(MMI導波路)と、この導波路に光結合したフォトダイオード(PD)とを含む。MMI導波路は、たとえばInP基板上に形成された導波路であり、Lo光導入口41に入力された局発光L1と、Sig光導入口42に入力された信号光N2とを干渉させて、信号光N2に含まれている情報を、局発光L1の位相に一致する位相成分と、局発光L1の位相と90°異なる位相成分とに分離して復調する。すなわち、MMI40は、信号光N2について二つの独立した情報を復調する。同様に、MMI50は、MMI導波路と、この導波路に光結合したPDとを含む。MMI導波路はInP基板上に形成された導波路であり、Lo光導入口51に入力された局発光L2と、Sig光導入口52に入力された信号光N1とを干渉させて、二つの互いに独立した情報を復調する。 The MMI 40 includes a multimode interference waveguide (MMI waveguide) and a photodiode (PD) optically coupled to the waveguide. The MMI waveguide is a waveguide formed on, for example, an InP substrate, and causes local light L 1 input to the Lo light inlet 41 and signal light N 2 input to the Sig light inlet 42 to interfere with each other. Te, the information contained in the signal light N 2, the station and the phase component matching emission L 1 phase, the station and separated into a phase and 90 ° out of phase components of the light-emitting L 1 demodulates. That is, the MMI 40 demodulates two pieces of independent information regarding the signal light N 2 . Similarly, the MMI 50 includes an MMI waveguide and a PD optically coupled to the waveguide. The MMI waveguide is a waveguide formed on an InP substrate, and causes local light L 2 input to the Lo light inlet 51 and signal light N 1 input to the Sig light inlet 52 to interfere with each other, Demodulate two pieces of independent information.

筐体2は、前壁2Aとは反対側に後壁2Bを有する。また、筐体2は、前壁2Aと後壁2Bとを接続する二つの側壁から後壁2Bにわたって連続して設けられたフィードスルー61を有する。後壁2Bのフィードスルー61には複数の信号出力端子65が設けられ、MMI40,50によって復調された4つの独立情報は、集積回路43,53において信号処理された後、これらの信号出力端子65を介してコヒーレントレシーバ1の外部に導かれる。また、二つの側壁には別の端子66,67が設けられている。端子66,67は、MMI40,50を駆動するための信号、各光部品を駆動するための信号といったDCあるいは低周波の信号を筐体2内部に提供する。集積回路43,53それぞれは、MMI40,50を取り囲む回路基板46,56それぞれの上に実装されている。さらに、これらの回路基板46,56上には、抵抗素子や容量素子、また必要に応じてDC/DC変換器が実装される。   The housing 2 has a rear wall 2B on the side opposite to the front wall 2A. Moreover, the housing | casing 2 has the feedthrough 61 provided continuously from the two side walls which connect the front wall 2A and the rear wall 2B to the rear wall 2B. The feedthrough 61 of the rear wall 2B is provided with a plurality of signal output terminals 65, and the four independent information demodulated by the MMIs 40 and 50 are subjected to signal processing in the integrated circuits 43 and 53, and then these signal output terminals 65 are provided. To the outside of the coherent receiver 1. Further, two terminals 66 and 67 are provided on the two side walls. Terminals 66 and 67 provide DC or low-frequency signals such as signals for driving the MMIs 40 and 50 and signals for driving the optical components inside the housing 2. The integrated circuits 43 and 53 are mounted on circuit boards 46 and 56 surrounding the MMIs 40 and 50, respectively. Further, on these circuit boards 46 and 56, a resistance element, a capacitance element, and a DC / DC converter as necessary are mounted.

なお、MMI40に対する局発光L1の光結合効率が、MMI40に対する信号光N2の光結合効率よりも大きいとき、減衰器71が配置される。同様に、MMI50に対する信号光N1の光結合効率が、MMI50に対する局発光L2の光結合効率よりも大きいとき、減衰器81が配置される。これらの減衰器71,81により、MMI40,50に対する局発光L2,L1の結合効率と、信号光N1,N2の結合効率とを同程度に設定することが可能となり、MMI40,50での情報復調精度の劣化を抑制することができる。 When the optical coupling efficiency of the local light L 1 with respect to the MMI 40 is larger than the optical coupling efficiency of the signal light N 2 with respect to the MMI 40, the attenuator 71 is disposed. Similarly, the attenuator 81 is disposed when the optical coupling efficiency of the signal light N 1 with respect to the MMI 50 is larger than the optical coupling efficiency of the local light L 2 with respect to the MMI 50. With these attenuators 71 and 81, it becomes possible to set the coupling efficiencies of the local lights L 2 and L 1 to the MMIs 40 and 50 and the coupling efficiencies of the signal lights N 1 and N 2 to the same extent. Degradation of the information demodulation accuracy at can be suppressed.

コヒーレントレシーバ1は、Sig光入力レンズ27、可変光減衰器(VOA)31、BS32、及びモニタ用PD33を、PBS21とSig光入力ポート6との間の信号光N0の光路上に更に備える。BS32は、Sig光入力ポート6から入力された信号光N0を分離する。分離された信号光N0の一部は、モニタ用PD33に入射する。モニタ用PD33は、信号光N0の強度に応じた電気信号を生成する。 The coherent receiver 1 further includes a Sig light input lens 27, a variable optical attenuator (VOA) 31, a BS 32, and a monitor PD 33 on the optical path of the signal light N 0 between the PBS 21 and the Sig light input port 6. The BS 32 separates the signal light N 0 input from the Sig light input port 6. Part of the separated signal light N 0 is incident on the monitor PD 33. The monitor PD 33 generates an electrical signal corresponding to the intensity of the signal light N 0 .

VOA31は、BS32を通過した信号光N0を必要に応じて減衰する。減衰度は、コヒーレントレシーバ1の外部からの電気信号によって制御される。例えば、上述したモニタ用PD33からの電気信号に基づいて過入力状態が検知された場合には、VOA31の減衰度を大きくして、MMI40,50に向かう信号光N1,N2の強度を小さくする。Sig光入力レンズ27は、VOA31を通過した信号光N0を平行化(コリメート)する。なお、VOA31は、Sig光入力ポート6の集光レンズとSig光入力レンズ27との間に形成されるビームウェストに位置することが望ましい。これにより、VOA31の開口に対して十分に絞られたビーム径を確保できる。また、Sig光入力レンズ27によって信号光N0がコリメート光となることにより、MMI40,50までの光路において高い結合効率を確保できる。BS32、VOA31、及びモニタ用PD33は、筐体2の底面2Eに搭載されたVOAキャリア30上に固定される。VOAキャリア30は、段差を形成する上下二つの面にこれらの光部品を搭載する。具体的には、一方の面にBS32及びモニタ用PD33を搭載し、他方の面にVOA31を搭載する。 The VOA 31 attenuates the signal light N 0 that has passed through the BS 32 as necessary. The degree of attenuation is controlled by an electrical signal from the outside of the coherent receiver 1. For example, when an over-input state is detected based on the electrical signal from the monitor PD 33 described above, the attenuation of the VOA 31 is increased and the intensity of the signal lights N 1 and N 2 toward the MMIs 40 and 50 is decreased. To do. The Sig light input lens 27 collimates the signal light N 0 that has passed through the VOA 31. Note that the VOA 31 is preferably located at the beam waist formed between the condenser lens of the Sig light input port 6 and the Sig light input lens 27. As a result, a sufficiently narrow beam diameter with respect to the opening of the VOA 31 can be secured. In addition, since the signal light N 0 becomes collimated light by the Sig light input lens 27, high coupling efficiency can be secured in the optical path to the MMIs 40 and 50. BS 32, VOA 31, and monitor PD 33 are fixed on VOA carrier 30 mounted on bottom surface 2 </ b> E of housing 2. The VOA carrier 30 mounts these optical components on two upper and lower surfaces forming a step. Specifically, the BS 32 and the monitor PD 33 are mounted on one surface, and the VOA 31 is mounted on the other surface.

以上の構成を備える本実施形態のコヒーレントレシーバ1の製造方法について説明する。まず、MMI40,50を、板状のキャリア上に配置する。このとき、MMI40,50のアライメントは、目印を基準とする目視によって行われる。次に、MMI40を囲むように回路基板46を該キャリア上に配置し、MMI50を囲むように回路基板56を該キャリア上に配置する。続いて、上記キャリアを筐体2の底面2E上に搭載することにより、底面2E上にMMI40,50等を配置する(第1実装工程)。また、キャリアとともにVOAキャリア30を筐体2の底面2E上に搭載する。底面2Eへのキャリア及びVOAキャリア30の固定は、例えば半田を用いて行われる。   A method for manufacturing the coherent receiver 1 of the present embodiment having the above configuration will be described. First, the MMIs 40 and 50 are arranged on a plate-like carrier. At this time, the alignment of the MMIs 40 and 50 is performed by visual observation with reference to the mark. Next, the circuit board 46 is arranged on the carrier so as to surround the MMI 40, and the circuit board 56 is arranged on the carrier so as to surround the MMI 50. Subsequently, by mounting the carrier on the bottom surface 2E of the housing 2, the MMI 40, 50, etc. are arranged on the bottom surface 2E (first mounting step). In addition, the VOA carrier 30 is mounted on the bottom surface 2E of the housing 2 together with the carrier. The carrier and the VOA carrier 30 are fixed to the bottom surface 2E using, for example, solder.

続いて、集積回路43,53を回路基板46,56上に実装する。集積回路43,53の実装は、たとえば銀ペースト等の導電性樹脂を使用して行う。集積回路43,53の搭載後、筐体2全体を昇温(〜180℃)することにより、導電性樹脂に含まれる溶剤を気化する。その後、集積回路43,53の上面の電極パッドと、筐体2の後方側の端子65とをワイヤリングにより電気的に接続する。なお、このワイヤリングにより、次工程以降における各光部品のアクティブ調芯、すなわちMMI40,50に調整光を入力し、MMI40,50に内蔵されているPDの出力信号強度が最大となる位置に各光部品を配置することが可能となる。   Subsequently, the integrated circuits 43 and 53 are mounted on the circuit boards 46 and 56. The integrated circuits 43 and 53 are mounted using a conductive resin such as silver paste. After the integrated circuits 43 and 53 are mounted, the solvent contained in the conductive resin is vaporized by raising the temperature of the entire housing 2 (˜180 ° C.). Thereafter, the electrode pads on the upper surfaces of the integrated circuits 43 and 53 and the terminals 65 on the rear side of the housing 2 are electrically connected by wiring. By this wiring, the active alignment of each optical component in the subsequent process, that is, the adjustment light is input to the MMI 40, 50, and each light is placed at a position where the output signal intensity of the PD built in the MMI 40, 50 becomes maximum. Parts can be arranged.

続いて、各光部品を筐体2内に搭載する。まず、光学調芯のためのLo光を生成する。図3(a)に示されるように、互いに垂直な光反射面94a及び底面94bを有する標準反射器94を用意する。光反射面94aは筐体2の前壁2Aを模擬し、底面94bは筐体2の底面を模擬する。標準反射器94は、例えば直方体状のガラスブロックにより構成される。そして、この標準反射器94を、調芯装置の支持台95上に固定されたステージ93上に設置する。このとき、底面94bとステージ93とを密に接触させる。   Subsequently, each optical component is mounted in the housing 2. First, Lo light for optical alignment is generated. As shown in FIG. 3A, a standard reflector 94 having a light reflecting surface 94a and a bottom surface 94b perpendicular to each other is prepared. The light reflecting surface 94a simulates the front wall 2A of the housing 2, and the bottom surface 94b simulates the bottom surface of the housing 2. The standard reflector 94 is composed of a rectangular parallelepiped glass block, for example. Then, the standard reflector 94 is installed on a stage 93 fixed on a support table 95 of the alignment device. At this time, the bottom surface 94b and the stage 93 are brought into close contact with each other.

標準反射器94の光軸方向にオートコリメータ125の光軸方向を合わせる。具体的には、オートコリメータ125から可視レーザ光Lを出力し、該レーザ光Lを光反射面94aに当てる。そして、光反射面94aが反射した可視レーザ光Lの光強度を、オートコリメータ125側で検出する。反射前の可視レーザ光Lと反射後の可視レーザ光Lとが互いに重なるとき、検出される光強度は最大となる。このことを利用して、光反射面94aの法線方向、すなわち標準反射器94の光軸方向にオートコリメータ125の光軸方向を合わせる。その後、標準反射器94をステージ93から取り外し、MMI40,50、回路基板46,56及びVOAキャリア30を搭載した筐体2に置き換える(図3(b))。このとき、筐体2の底面をステージ93に密に接触させる。オートコリメータ125の光軸は筐体2の上方空間を通過するので、可視レーザ光Lは筐体2の上方を通過し、筐体2内には導入されない。   The optical axis direction of the autocollimator 125 is aligned with the optical axis direction of the standard reflector 94. Specifically, the visible laser beam L is output from the autocollimator 125, and the laser beam L is applied to the light reflecting surface 94a. Then, the light intensity of the visible laser beam L reflected by the light reflecting surface 94a is detected on the autocollimator 125 side. When the visible laser light L before reflection and the visible laser light L after reflection overlap each other, the detected light intensity becomes maximum. By utilizing this, the optical axis direction of the autocollimator 125 is aligned with the normal direction of the light reflecting surface 94a, that is, the optical axis direction of the standard reflector 94. Thereafter, the standard reflector 94 is removed from the stage 93 and replaced with the housing 2 on which the MMIs 40 and 50, the circuit boards 46 and 56, and the VOA carrier 30 are mounted (FIG. 3B). At this time, the bottom surface of the housing 2 is brought into close contact with the stage 93. Since the optical axis of the autocollimator 125 passes through the space above the housing 2, the visible laser light L passes above the housing 2 and is not introduced into the housing 2.

続いて、図4に示すように、モニタ用PD33をVOAキャリア30上に搭載する。また、PBS21、スキュー調整素子16,26、λ/2板25、偏光子11、及びBS12を筐体2内の所定の位置にそれぞれ配置する(第2実装工程)。これらの光部品は、調芯作業を実施しない光部品であって、その光入射面の方向のみが調整されたのち固定される。具体的には、この工程では、すでにその調整が終了しているオートコリメータ125の光軸を利用して光部品の角度(光入射面の角度)を調整する。これらの光部品の一側面をオートコリメータ125の可視レーザ光Lに対する反射面とし、反射前の可視レーザ光Lと反射後の可視レーザ光Lとを互いに重ね合わせ、これらの光部品の角度(光軸方向)を調整する。なお、この作業はオートコリメータ125の光軸上すなわち筐体2の上方空間において行われる。そして、その向きを保持したまま(或いは必要に応じて所定角度だけ回転させ)、各搭載位置に設けられた接着樹脂上にこれらの光部品を移動させ、該接着樹脂を硬化させてこれらを固定する。   Subsequently, as shown in FIG. 4, the monitoring PD 33 is mounted on the VOA carrier 30. Further, the PBS 21, the skew adjustment elements 16, 26, the λ / 2 plate 25, the polarizer 11, and the BS 12 are respectively arranged at predetermined positions in the housing 2 (second mounting step). These optical components are optical components that do not perform alignment work, and are fixed after adjusting only the direction of the light incident surface thereof. Specifically, in this step, the angle of the optical component (the angle of the light incident surface) is adjusted using the optical axis of the autocollimator 125 that has already been adjusted. One side of these optical components is used as a reflection surface for the visible laser light L of the autocollimator 125, and the visible laser light L before reflection and the visible laser light L after reflection are overlapped with each other, and the angles (light Adjust the axial direction. This operation is performed on the optical axis of the autocollimator 125, that is, in the space above the housing 2. Then, while maintaining the orientation (or rotating by a predetermined angle as necessary), these optical components are moved onto the adhesive resin provided at each mounting position, and the adhesive resin is cured and fixed. To do.

PBS21、スキュー調整素子16,26、及び偏光子11については、筐体2に搭載された状態において光入射面が前壁2A側を向くので、該光入射面の法線方向とオートコリメータ125の光軸とを一致させて光軸方向を調整し、その向きを維持しつつ搭載するとよい。また、λ/2板25およびモニタ用PD33については、筐体2に搭載された状態において光入射面が側方を向くので、該光入射面の法線方向とオートコリメータ125の光軸とを一致させてそれらの光軸方向を調整したのち、底面2Eの法線周りに90°回転してから搭載する。BS12については、筐体2に搭載された状態において光入射面が側方を向くが、光出射面が後方を向くので、光出射面若しくはこの光出射面とは反対側の面の法線方向とオートコリメータ125の光軸とを一致させて光軸方向を調整したのち、その向きを維持しつつ筐体2内に搭載するとよい。   Regarding the PBS 21, the skew adjusting elements 16 and 26, and the polarizer 11, since the light incident surface faces the front wall 2 </ b> A side when mounted on the housing 2, the normal direction of the light incident surface and the autocollimator 125 The optical axis direction is adjusted by matching the optical axis, and the optical axis direction is maintained while maintaining the orientation. In addition, with respect to the λ / 2 plate 25 and the monitor PD 33, the light incident surface faces sideways when mounted on the housing 2, so that the normal direction of the light incident surface and the optical axis of the autocollimator 125 are After adjusting the optical axis direction by making them coincide with each other, it is mounted after rotating by 90 ° around the normal line of the bottom surface 2E. As for the BS 12, the light incident surface faces sideways when mounted on the housing 2, but the light exit surface faces rearward, so the normal direction of the light exit surface or the surface opposite to the light exit surface And the optical axis direction of the autocollimator 125 are made to coincide with each other, and then the optical axis direction is adjusted and then mounted in the housing 2 while maintaining the direction.

続いて、上述の各光部品とは別の光部品、すなわちMMI40,50に対する光結合トレランスが上記の各光部品よりも小さい故に調芯を必要とするSig光入力レンズ27、反射器13,22、及び各レンズ群14,15,23,24を筐体2内に搭載する。その準備として、二つの模擬ポートを筐体2の前壁2Aに配置する。これらの模擬ポートは、それぞれSig光入力ポート6及びLo光入力ポート5を模擬する。これらの模擬ポートからは、当該別の光部品の調芯に用いられる調整光が入力される。以下、調整光を準備する工程の詳細について説明する。   Subsequently, the Sig light input lens 27 and the reflectors 13 and 22 that require alignment because the optical coupling tolerance for the MMI 40 and 50 is smaller than that of the above-described optical components. , And the lens groups 14, 15, 23, 24 are mounted in the housing 2. As a preparation, two simulated ports are arranged on the front wall 2A of the housing 2. These simulated ports simulate the Sig optical input port 6 and the Lo optical input port 5, respectively. From these simulated ports, adjustment light used for alignment of the other optical component is input. Hereinafter, details of the process of preparing the adjustment light will be described.

図5は、模擬ポートを保持するためのマニピュレータ90の一部を示す斜視図である。マニピュレータ90は、位置及び角度(具体的には、互いに直交する3軸(X、Y、Z軸)の各方向の位置、及び模擬ポートの光軸方向に垂直な2軸周りの角度)を自在に変更可能なアーム91と、アーム91の先端に設けられたヘッド92とを有する。一の模擬ポートは、ヘッド92上に保持され、Sig光入力ポート6の取り付け予定位置に配置される。他の模擬ポートもまた、別のマニピュレータ90によって一の模擬ポートと同様に保持され、Lo光入力ポート5の取り付け予定位置に配置される。   FIG. 5 is a perspective view showing a part of the manipulator 90 for holding the simulated port. The manipulator 90 can freely adjust its position and angle (specifically, the position in each direction of three axes (X, Y, Z axes) orthogonal to each other and the angle around two axes perpendicular to the optical axis direction of the simulated port). And an arm 91 that can be changed to the above, and a head 92 provided at the tip of the arm 91. One simulated port is held on the head 92 and disposed at a position where the Sig optical input port 6 is to be attached. The other simulated ports are also held in the same manner as the one simulated port by another manipulator 90, and are arranged at a position where the Lo light input port 5 is to be attached.

図6(a)は、調整光を生成するための構成を示すブロック図である。この構成では、偏光方向が互いに異なる第1の光LS1及び第2の光LS2を偏波合成器(偏波ビームコンバイナ)113を用いて合成する。具体的には、バイアス電源111aが出力するバイアス電圧を光源112a(例えば半導体レーザ)に与えて、直線偏光の第1の光LS1を発生させる。また、バイアス電源111bが出力するバイアス電圧を光源112b(例えば半導体レーザ)に与えて、直線偏光の第2の光LS2を発生させる。そして、第1の光LS1,第2の光LS2を、互いの偏光方向が直交するように調整したのち、偏波合成器113に入力する。なお、光源112a,112bと偏波合成器113とは、偏波保持ファイバによって接続される。光LS1の波長と光LS2の波長とは、互いに等しくてもよく、異なってもよい。光LS1,LS2の波長が互いに等しい場合、一つのバイアス電源及び一つの単波長光源を用いて単一の調整光を生成し、その調整光を二分岐して一方を光LS1とし、他方の偏光方向を90°回転させて光LS2としてもよい。 FIG. 6A is a block diagram illustrating a configuration for generating adjustment light. In this configuration, the first light LS 1 and the second light LS 2 having different polarization directions are combined using the polarization beam combiner (polarization beam combiner) 113. Specifically, by applying a bias voltage to the bias power supply 111a is output to the light source 112a (for example, a semiconductor laser), to generate a first light LS 1 of the linearly polarized light. Further, given a bias voltage bias power supply 111b is outputted to the light source 112b (for example, a semiconductor laser), to generate a second light LS 2 linearly polarized light. Then, the first light LS 1 and the second light LS 2 are adjusted so that their polarization directions are orthogonal to each other, and then input to the polarization beam combiner 113. The light sources 112a and 112b and the polarization beam combiner 113 are connected by a polarization maintaining fiber. The wavelength of the light LS 1 and the wavelength of the light LS 2 may be the same or different. When the wavelengths of the light LS 1 and LS 2 are equal to each other, a single adjustment light is generated using one bias power source and one single wavelength light source, and the adjustment light is bifurcated into one light LS 1 . The other polarization direction may be rotated by 90 ° to obtain the light LS 2 .

ここで、図7は、偏波合成器113の構成例を示す斜視図である。図7に示すように、偏波合成器113は、2本の偏波保持ファイバが中央部において結合された構成を備え、2つの入力端113a,113bと、一つの出力端113cとを有する。2つの入力端113a,113bは2本の偏波保持ファイバの各一端面であり、一方の入力端113aには第1の光LS1が入力され、他方の入力端113bには第2の光LS2が入力される。これらの光LS1,LS2はその偏光方向を維持しつつ偏波合成器113の中央部に進み、該中央部において互いに合成される。合成された調整光LS3は、互いに異なる2つの偏光面を有する光となり、その偏光方向を維持しつつ出力端113cから出力される。なお、図7では一例として、第1の光LS1の偏光方向が偏波保持ファイバのスロー軸方向に沿っており、第2の光LS2の偏光方向が偏波保持ファイバのファスト軸方向に沿っている場合を示している。 Here, FIG. 7 is a perspective view showing a configuration example of the polarization beam combiner 113. As shown in FIG. 7, the polarization beam combiner 113 has a configuration in which two polarization maintaining fibers are coupled at the center, and has two input ends 113a and 113b and one output end 113c. The two input ends 113a and 113b are one end surfaces of the two polarization maintaining fibers, the first light LS 1 is input to one input end 113a, and the second light is input to the other input end 113b. LS 2 is input. These lights LS 1 and LS 2 proceed to the central portion of the polarization beam combiner 113 while maintaining their polarization directions, and are combined with each other at the central portion. The combined adjustment light LS 3 becomes light having two different polarization planes, and is output from the output end 113c while maintaining the polarization direction. In FIG. 7, as an example, the polarization direction of the first light LS 1 is along the slow axis direction of the polarization maintaining fiber, and the polarization direction of the second light LS 2 is in the fast axis direction of the polarization maintaining fiber. The case where it is along is shown.

その後、調整光LS3は光カプラ114を介してコネクタ116に達する。コネクタ116は、コネクタ117、118のいずれか一方と選択的に接続される。コネクタ117には、Sig光入力ポート6を模擬する模擬ポート123aが光結合しており、他方のコネクタ118には光パワーメータ119が光結合している。また、光カプラ114にはパワーメータ115が接続されている。図6(a)は二つのパワーメータ115、119を備える系を示しているが、一つのパワーメータを、パワーメータ115,119として併用してもよい。また、Lo光入力ポート5を模擬する模擬ポート123bに対しても、上記と同様の構成が用意される。 Thereafter, the adjustment light LS 3 reaches the connector 116 via the optical coupler 114. The connector 116 is selectively connected to one of the connectors 117 and 118. A simulated port 123a that simulates the Sig optical input port 6 is optically coupled to the connector 117, and an optical power meter 119 is optically coupled to the other connector 118. A power meter 115 is connected to the optical coupler 114. FIG. 6A shows a system including two power meters 115 and 119, but one power meter may be used as the power meters 115 and 119. The same configuration as described above is also prepared for the simulated port 123b that simulates the Lo light input port 5.

まず、光コネクタ116と光コネクタ118とを接続する。そして、調整光LS3の強度をパワーメータ119により検出し、バイアス電圧を調整することにより調整光LS3の強度、すなわち、筐体2に対する入射光強度を所定の値に設定する。次に、筐体2をステージ93から再び取り外し、標準反射器94に置き換える。そして、光コネクタ116と光コネクタ117を接続し、模擬ポート123a,123bを、標準反射器94の光反射面94aと対向させる。この状態で調整光LS3を出射すると、調整光LS3は模擬ポート123a,123bから出射されたのち光反射面94aにて反射し、再び模擬ポート123a,123bに入射する。この調整光LS3の強度は、光カプラ114を経由してパワーメータ115において検出される。模擬ポート123a,123bの光軸方向を調整してその光検出強度を最大とすることで、標準反射器94の光軸方向に模擬ポート123a,123bの光軸方向を合わせる。その後、図3(b)に示すように、標準反射器94をステージ93から取り外し、筐体2に置き換える。 First, the optical connector 116 and the optical connector 118 are connected. Then, the intensity of the adjustment light LS 3 is detected by the power meter 119, and the intensity of the adjustment light LS 3 , that is, the incident light intensity with respect to the housing 2 is set to a predetermined value by adjusting the bias voltage. Next, the housing 2 is removed from the stage 93 again and replaced with a standard reflector 94. Then, the optical connector 116 and the optical connector 117 are connected, and the simulated ports 123a and 123b are opposed to the light reflecting surface 94a of the standard reflector 94. When emitting the adjustment light LS 3 in this state, adjusting light LS 3 is reflected by the light reflecting surface 94a after being emitted from the simulated port 123a, 123b, and enters again simulated port 123a, to 123b. The intensity of the adjustment light LS 3 is detected by the power meter 115 via the optical coupler 114. By adjusting the optical axis direction of the simulated ports 123a and 123b to maximize the light detection intensity, the optical axis direction of the simulated ports 123a and 123b is matched with the optical axis direction of the standard reflector 94. Thereafter, as shown in FIG. 3B, the standard reflector 94 is removed from the stage 93 and replaced with the housing 2.

この工程では、更に、模擬ポート123a,123bの調芯を行う。まず、模擬ポート123aから筐体2内に入射した調整光LS3の強度を、MMI40に内蔵されたPDにより検出する。そして、検出される調整光LS3の強度が大きくなる方向に模擬ポート123aを筐体2の前壁2A上で移動させ、模擬ポート123aの光軸に垂直な面内での調芯を行う。同様に、模擬ポート123bから筐体2内に入射した調整光LS3の強度を、他方のMMI50に内蔵されたPDで検出し、その光強度が大きくなる方向に模擬ポート123bを移動する。これにより、模擬ポート123bの光軸に垂直な面内での調芯を行う。なお、調整光LS3のフィールド径は300μm程度もあり、一方、MMI40,50の光入力端は小さく、例えば幅数μm、厚さ1μm以下といった程度である。従って、MMI40,50に入力される調整光LS3の強度は微弱となるが、調整光LS3の光軸を決定する程度の検出信号を得ることは可能である。 In this step, the simulation ports 123a and 123b are further aligned. First, the intensity of the adjustment light LS 3 that has entered the housing 2 from the simulated port 123 a is detected by a PD built in the MMI 40. Then, the detected adjustment light LS 3 of intensity larger direction simulated port 123a is moved over the front wall 2A of the housing 2, performs alignment in the plane perpendicular to the optical axis of the simulation port 123a. Similarly, the intensity of the adjustment light LS 3 incident in the housing 2 from the simulated port 123b is detected by the PD built in the other MMI 50, and the simulated port 123b is moved in the direction in which the light intensity increases. As a result, alignment is performed in a plane perpendicular to the optical axis of the simulated port 123b. The field diameter of the adjustment light LS 3 is about 300 μm, while the light input ends of the MMIs 40 and 50 are small, for example, a width of several μm and a thickness of 1 μm or less. Therefore, although the intensity of the adjustment light LS 3 input to the MMIs 40 and 50 is weak, it is possible to obtain a detection signal that can determine the optical axis of the adjustment light LS 3 .

模擬ポート123a,123bの光軸方向の位置に関しては、模擬ポート123a,123bの端面を筐体2の前壁2Aに当接させることにより決定することができる。   The positions of the simulated ports 123a and 123b in the optical axis direction can be determined by bringing the end faces of the simulated ports 123a and 123b into contact with the front wall 2A of the housing 2.

続いて、調芯を要する各光部品を模擬ポート123a,123bとMMI40,50との間の光路上に配置し、MMI40,50に内蔵されるPDで検出される調整光LS3の強度を参照し、これらの光部品の調芯を行う(第3実装工程)。更に、これらの光部品を筐体2内に固定する。なお、これらの光部品の調芯及び固定の順序は以下の説明に限られるものではなく、任意の順序で行うことができる。 Subsequently, each optical component requiring alignment is arranged on the optical path between the simulated ports 123a and 123b and the MMI 40 and 50, and the intensity of the adjustment light LS 3 detected by the PD built in the MMI 40 and 50 is referred to. Then, these optical components are aligned (third mounting step). Further, these optical components are fixed in the housing 2. In addition, the order of alignment and fixing of these optical components is not restricted to the following description, It can carry out in arbitrary orders.

この工程では、図6(b)に示すように、VOAバイアス電源120、電圧モニタ121、122を筐体2と接続する。VOAバイアス電源120は、後述するVOA31をVOAキャリア30上に設置する際に、VOA31にバイアス電圧を与える。電圧モニタ121、122は、回路基板46,56からの電圧信号をそれぞれモニタする。   In this step, the VOA bias power source 120 and the voltage monitors 121 and 122 are connected to the housing 2 as shown in FIG. The VOA bias power supply 120 applies a bias voltage to the VOA 31 when a VOA 31 described later is installed on the VOA carrier 30. The voltage monitors 121 and 122 monitor voltage signals from the circuit boards 46 and 56, respectively.

まず、BS32(図1,図2を参照)の調芯及び固定を行う。すなわち、BS32の前面を反射面とし、筐体2の上方空間を通過しているオートコリメータ125の可視レーザ光Lを用いて、BS32の角度(光軸方向)を調整する。そして、BS32の向きを維持したまま、VOAキャリア30上にBS32を移動する。そして、VOAキャリア30上で、BS32を信号光の光軸に沿って移動させ、モニタ用PD33の受光強度が最大となるBS32の搭載位置を決定する。その後、接着樹脂を用いてBS32をVOAキャリア30に固定する。   First, BS 32 (see FIGS. 1 and 2) is aligned and fixed. That is, the angle (optical axis direction) of the BS 32 is adjusted using the visible laser light L of the autocollimator 125 passing through the upper space of the housing 2 with the front surface of the BS 32 as a reflection surface. Then, the BS 32 is moved onto the VOA carrier 30 while maintaining the direction of the BS 32. Then, on the VOA carrier 30, the BS 32 is moved along the optical axis of the signal light, and the mounting position of the BS 32 at which the received light intensity of the monitoring PD 33 is maximized is determined. Thereafter, the BS 32 is fixed to the VOA carrier 30 using an adhesive resin.

次に、図8に示されるように、反射器13,22の調芯及び固定を行う。まず、これらの反射器13,22の前面を反射面とし、筐体2の上方空間を通過しているオートコリメータ125の可視レーザ光を用いて、反射器13,22の角度(光軸方向)を調整する。そして、反射器13,22の角度を維持しつつ、模擬ポート123a,123bからの各調整光LS3をPBS21,BS12にそれぞれ入射させる。このとき、PBS21,BS12によって各調整光LS3が二分岐され、分岐された一方の調整光が反射器13,22により反射され、MMI40,50に入射するので、その光強度をMMI40,50の内蔵PDにより検出する。そして、反射器13,22を二つの模擬ポート123a,123bの光軸に垂直な方向に僅かに移動しながら、内蔵PDの検出強度が最大となる位置を決定する。留意すべきは、反射器13,22の調芯に際しては、オートコリメータ125が出射する可視レーザ光により決定された角度は、以後の調芯作業で維持される点にある。MMI40,50の筐体2に対する搭載角度、及び、光入力ポート5,6の光軸が既に決定されているため、光軸を90°変換する反射器13,22についてその搭載角度を変更することは、これら既に実施された調芯状態を狂わせてしまうからである。 Next, as shown in FIG. 8, the reflectors 13 and 22 are aligned and fixed. First, using the visible laser light of the autocollimator 125 passing through the upper space of the housing 2 with the front surfaces of the reflectors 13 and 22 as reflection surfaces, the angles (optical axis direction) of the reflectors 13 and 22 are used. Adjust. Then, while maintaining the angle of the reflector 13 and 22, the simulated port 123a, thereby respectively incident each adjustment light LS 3 from 123b to PBS21, BS12. At this time, each adjustment light LS 3 is bifurcated by the PBS 21 and BS 12, and one of the branched adjustment lights is reflected by the reflectors 13 and 22 and is incident on the MMI 40 and 50. Detect with built-in PD. Then, while slightly moving the reflectors 13 and 22 in the direction perpendicular to the optical axes of the two simulated ports 123a and 123b, the position where the detection intensity of the built-in PD is maximized is determined. It should be noted that when the reflectors 13 and 22 are aligned, the angle determined by the visible laser beam emitted from the autocollimator 125 is maintained in the subsequent alignment operation. Since the mounting angles of the MMIs 40 and 50 with respect to the housing 2 and the optical axes of the optical input ports 5 and 6 have already been determined, the mounting angles of the reflectors 13 and 22 that convert the optical axes by 90 ° are changed. This is because the alignment state that has already been performed is upset.

続いて、4つのレンズ群14,15,23,及び24の調芯、及び固定を行う。まず、図9に示すように、第1レンズ14b,15b,23b,24b(すなわちMMI40,50寄りのレンズ)の調芯及び固定を行う。これらのレンズ14b,15b,23b,24bを所定の搭載位置に配置し、各模擬ポート123a,123bからの各調整光LS3を入射する。模擬ポート123aからの調整光LS3は、PBS21によって二分岐され、それぞれレンズ23b,24bを通過してMMI50,40に入力される。模擬ポート123bからの調整光LS3は、BS12によって二分岐され、それぞれレンズ14b,15bを通過してMMI40,50に入力される。こうしてMMI40,50に入力された調整光の強度を、MMI40,50の内蔵PDにより検出する。そして、レンズ14b,15b,23b,24bの位置及び角度を僅かに変化させ、内蔵PDの受光強度が最大となる位置及び角度を決定する。位置及び角度の決定後、紫外線硬化樹脂を用いてレンズ14b,15b,23b,24bを固定する。続いて、図10に示すように、第2レンズ14a,15a,23a,24aの調芯及び固定を行う。これらの調芯及び固定の方法は、上述した第1レンズ14b,15b,23b,24bの調芯及び固定の方法と同様である。 Subsequently, the four lens groups 14, 15, 23, and 24 are aligned and fixed. First, as shown in FIG. 9, the first lenses 14b, 15b, 23b, and 24b (that is, lenses closer to the MMI 40 and 50) are aligned and fixed. These lenses 14b, 15b, 23b, arranged 24b on predetermined mounting position, incident each adjustment light LS 3 from the simulated ports 123a, 123b. The adjustment light LS 3 from the simulated port 123a is branched into two by the PBS 21, and is input to the MMI 50 and 40 through the lenses 23b and 24b, respectively. The adjustment light LS 3 from the simulated port 123b is bifurcated by the BS 12, passes through the lenses 14b and 15b, and is input to the MMIs 40 and 50, respectively. Thus, the intensity of the adjustment light input to the MMI 40, 50 is detected by the built-in PD of the MMI 40, 50. Then, the position and angle of the lenses 14b, 15b, 23b, and 24b are slightly changed to determine the position and angle at which the light reception intensity of the built-in PD is maximized. After determining the position and angle, the lenses 14b, 15b, 23b, and 24b are fixed using an ultraviolet curable resin. Subsequently, as shown in FIG. 10, the second lenses 14a, 15a, 23a, and 24a are aligned and fixed. These aligning and fixing methods are the same as the aligning and fixing methods of the first lenses 14b, 15b, 23b, and 24b described above.

続いて、図11に示すように、Sig光入力レンズ27の調芯及び固定を行う。Sig光入力ポート6には集光レンズが内蔵されており、この内蔵レンズの焦点とSig光入力レンズ27の焦点とは一致する。そして、内蔵レンズとSig光入力レンズ27の間に形成されるビームウェストの位置にVOA31を配置することにより、VOA31の限られた面積のシャッタに信号光を通過させることができ、VOA31の消光比を大きくすることができる。以上の理由により、Sig光入力レンズ27の調芯には、模擬ポート123aに代えて、Sig光入力ポート6に内蔵されているレンズと同じ焦点距離を有するレンズを内蔵する別の模擬ポート123cを用いるとよい。従って、本工程では、模擬ポート123bを模擬ポート123cに置き換える。   Subsequently, as shown in FIG. 11, the Sig light input lens 27 is aligned and fixed. The Sig light input port 6 has a built-in condenser lens, and the focal point of the built-in lens coincides with the focal point of the Sig light input lens 27. Then, by arranging the VOA 31 at the position of the beam waist formed between the built-in lens and the Sig light input lens 27, the signal light can be passed through the shutter having a limited area of the VOA 31, and the extinction ratio of the VOA 31. Can be increased. For the above reason, in place of the simulation port 123a, another simulation port 123c containing a lens having the same focal length as that of the lens built in the Sig light input port 6 is used for alignment of the Sig light input lens 27. Use it. Therefore, in this step, the simulated port 123b is replaced with the simulated port 123c.

具体的には、筐体2に代えて標準反射器94をステージ93上に再び設置し、図6(b)に示されたコネクタ116を模擬ポート123bから模擬ポート123cに付け替える。そして、模擬ポート123cを、図5に示されたマニピュレータ90を用いてSig光入力ポート6の取り付け予定位置に配置し、標準反射器94の光反射面94aと対向させる。この状態で模擬ポート123cから調整光LS3を出力し、模擬ポート123cの光軸位置を調整してパワーメータ115により検出される光強度を最大とし、標準反射器94の光軸方向に模擬ポート123cの光軸方向を合わせる。そして、模擬ポート123cから筐体2内に入射した調整光LS3の強度をMMI50に内蔵されたPDにより検出し、その受光強度が大きくなる方向に模擬ポート123cを移動させることにより、模擬ポート123cの光軸に垂直な面内での調芯を行う。なお、模擬ポート123cの光軸方向の位置に関しては、模擬ポート123cの端面を筐体2の前壁2Aに当接させることにより決定することができる。 Specifically, the standard reflector 94 is installed again on the stage 93 instead of the housing 2, and the connector 116 shown in FIG. 6B is replaced from the simulated port 123b to the simulated port 123c. Then, the simulated port 123c is disposed at a position where the Sig light input port 6 is to be attached using the manipulator 90 shown in FIG. 5 and is made to face the light reflecting surface 94a of the standard reflector 94. In this state, the adjustment light LS 3 is output from the simulation port 123c, the optical axis position of the simulation port 123c is adjusted to maximize the light intensity detected by the power meter 115, and the simulation port in the optical axis direction of the standard reflector 94 The optical axis direction of 123c is matched. Then, the intensity of the adjustment light LS 3 that has entered the housing 2 from the simulated port 123c is detected by the PD built in the MMI 50, and the simulated port 123c is moved in a direction in which the received light intensity increases, whereby the simulated port 123c. Alignment is performed in a plane perpendicular to the optical axis. The position of the simulated port 123c in the optical axis direction can be determined by bringing the end surface of the simulated port 123c into contact with the front wall 2A of the housing 2.

次に、Sig光入力レンズ27を搭載位置に移動し、Sig光入力レンズ27に模擬ポート123cが提供する調整光LS3を入射し、通過した調整光LS3の強度をMMI50に内蔵したPDにより検出する。そして、Sig光入力レンズ27の位置を僅かに変化させ、内蔵PDの受光強度が最大となる位置(前後方向、左右方向、及び上下方向)を決定する。決定後、接着樹脂を用いてSig光入力レンズ27を固定する。 Next, the Sig light input lens 27 is moved to the mounting position, the adjustment light LS 3 provided by the simulation port 123c is incident on the Sig light input lens 27, and the intensity of the adjustment light LS 3 that has passed through the PD is built in the MMI 50. To detect. Then, the position of the Sig light input lens 27 is slightly changed to determine the position (front-rear direction, left-right direction, and up-down direction) where the light receiving intensity of the built-in PD is maximized. After the determination, the Sig light input lens 27 is fixed using an adhesive resin.

続いて、図12に示すように、VOA31をVOAキャリア30上に搭載する。この工程では、VOA31を特殊マニピュレータ90Aにより把持し、VOA31を調整光LS3の光路上に配置する。マニピュレータ90Aは、位置及び角度(具体的には、互いに直交する3軸方向の位置、及びVOA31の光軸方向に垂直な2軸まわりの角度)を自在に変更可能な2本のアーム91Aと、これらのアーム91Aの先端に設けられたヘッド92Aとを有する。VOA31は、ヘッド92Aにより挟まれ、保持される。このとき、一方のヘッド92AはVOA31の一方の電極に電気的に接触している。また、他方のヘッド92AはVOA31の他方の電極に電気的に接触している。そして、図6(b)に示されたVOAバイアス電源120からアーム91A及びヘッド92Aを介して、VOA31にバイアス電圧を印加する。 Subsequently, as shown in FIG. 12, the VOA 31 is mounted on the VOA carrier 30. In this step, the VOA 31 is held by the special manipulator 90A, and the VOA 31 is disposed on the optical path of the adjustment light LS 3 . The manipulator 90A includes two arms 91A that can freely change positions and angles (specifically, positions in three axial directions orthogonal to each other and angles around two axes perpendicular to the optical axis direction of the VOA 31), A head 92A provided at the tip of these arms 91A. The VOA 31 is sandwiched and held by the head 92A. At this time, one head 92A is in electrical contact with one electrode of VOA 31. The other head 92A is in electrical contact with the other electrode of the VOA 31. Then, a bias voltage is applied to the VOA 31 from the VOA bias power source 120 shown in FIG. 6B via the arm 91A and the head 92A.

VOAキャリア30上に予め紫外線硬化樹脂を所定厚さ(例えば100μm以上)塗布しておき、VOA31をVOAキャリア30の表面から所定距離(例えば100μm)離れた状態で保持する。そして、VOAバイアス電源120から提供されるバイアスを、0〜5Vの間で繰り返し(例えば1秒程度の周期)VOA31に印加する。同時に、筐体2の底面2Eに平行で且つ光軸に垂直な方向にVOA31を移動させ、VOA31による減衰後の調整光LS3の分岐後の強度を、MMI40,50にある複数の内蔵PDにより検出する。 An ultraviolet curable resin is applied in advance to the VOA carrier 30 with a predetermined thickness (for example, 100 μm or more), and the VOA 31 is held at a predetermined distance (for example, 100 μm) from the surface of the VOA carrier 30. Then, the bias provided from the VOA bias power source 120 is repeatedly applied to the VOA 31 between 0 to 5 V (for example, a cycle of about 1 second). At the same time, the VOA 31 is moved in a direction parallel to the bottom surface 2E of the housing 2 and perpendicular to the optical axis, and the intensity after branching of the adjustment light LS 3 after attenuation by the VOA 31 is determined by a plurality of built-in PDs in the MMIs 40 To detect.

その後、調整光LS3の分岐後の減衰度の差が許容範囲内に収まる位置にてVOA31を固定する。このとき、複数の内蔵PDを同時に測定することができるため、MMI40,50の内蔵PDの出力差を、調整光LS3の分岐後の減衰度の差と見なしてもよい。第1の光LS1,第2のLS2を個別に測定すると、第1の光LS1,第2のLS2の互いの偏光方向に誤差が発生するので、互いの偏光方向の直交状態を維持したまま調整することは難しい。本実施形態では、第1の光LS1,第2のLS2を、互いの偏光方向が直交するように調整したのち偏波合成器113に入力するので、個別に偏光方向を調整した場合と異なり、互いの偏光方向の誤差が抑制される。なお、VOA31は、模擬ポート123c内の集光レンズと入力レンズ27とを結ぶ光軸に対して所定角度(例えば7°)傾けて搭載される。反射光をSig光入力ポート6に回帰させないためである。 Thereafter, the VOA 31 is fixed at a position where the difference in attenuation after the branching of the adjustment light LS 3 is within an allowable range. At this time, since a plurality of built-in PDs can be measured simultaneously, the output difference between the built-in PDs of the MMIs 40 and 50 may be regarded as a difference in attenuation after branching of the adjustment light LS 3 . When the first light LS 1 and the second LS 2 are individually measured, an error occurs in the polarization directions of the first light LS 1 and the second LS 2 , so that the orthogonal states of the polarization directions of each other are obtained. It is difficult to adjust while maintaining. In the present embodiment, the first light LS 1 and the second LS 2 are adjusted so that the polarization directions of the first light LS 1 and the second LS 2 are orthogonal to each other and then input to the polarization beam combiner 113. In contrast, errors in the polarization directions of each other are suppressed. The VOA 31 is mounted at a predetermined angle (for example, 7 °) with respect to the optical axis connecting the condenser lens in the simulation port 123c and the input lens 27. This is because the reflected light does not return to the Sig light input port 6.

続いて図13に示すように、減衰器71,81を搭載する。具体的には、BS12及びPBS21と同様に、筐体2の上方においてオートコリメータ125からの可視レーザ光により、減衰器71,81の角度を決定する。その後、当該角度を維持したまま、それぞれ所定の搭載領域上に載置し、固定用の樹脂を硬化させて減衰器71,81を固定する。   Subsequently, as shown in FIG. 13, attenuators 71 and 81 are mounted. Specifically, similarly to the BS 12 and the PBS 21, the angles of the attenuators 71 and 81 are determined by the visible laser light from the autocollimator 125 above the housing 2. After that, the attenuators 71 and 81 are fixed by placing them on predetermined mounting regions while maintaining the angles and curing the fixing resin.

続いて、図14に示すように、筐体2を塞ぐリッド2Cをシームシールにより取り付け、筐体2の内部を気密封止する。そして、図15に示すように、模擬ポート123a,123bを本来のSig光入力ポート6及びLo光入力ポート5に置き換え、Sig光入力ポート6及びLo光入力ポート5の調芯及び固定を行う。具体的には、Sig光入力ポート6から模擬信号光を導入し、該信号光の強度をMMI40の内蔵PDにより検出する。そして、検出される信号光の強度を参照しSig光入力ポート6の位置を変化させ、内蔵PDでの受光強度が最大となる位置を決定する。Lo光入力ポート5についても同様に、実際にLo光を導入し、該Lo光の強度をMMI40,50の内蔵PDにより検出する。検出されるLo光の強度を参照しつつLo光入力ポート5の位置を変化させ、内蔵PDでの受光強度が最大となる位置を決定する。決定後、Sig光入力ポート6及びLo光入力ポート5を筐体2に固定する。固定はYAG溶接を採用することができる。   Subsequently, as shown in FIG. 14, a lid 2 </ b> C that closes the housing 2 is attached by a seam seal, and the inside of the housing 2 is hermetically sealed. Then, as shown in FIG. 15, the simulated ports 123a and 123b are replaced with the original Sig light input port 6 and Lo light input port 5, and the Sig light input port 6 and Lo light input port 5 are aligned and fixed. Specifically, simulated signal light is introduced from the Sig light input port 6 and the intensity of the signal light is detected by the built-in PD of the MMI 40. Then, the position of the Sig light input port 6 is changed with reference to the intensity of the detected signal light, and the position where the light reception intensity at the built-in PD is maximized is determined. Similarly, for the Lo light input port 5, Lo light is actually introduced and the intensity of the Lo light is detected by the built-in PDs of the MMIs 40 and 50. The position of the Lo light input port 5 is changed while referring to the intensity of the detected Lo light, and the position where the received light intensity at the built-in PD is maximized is determined. After the determination, the Sig light input port 6 and the Lo light input port 5 are fixed to the housing 2. For fixing, YAG welding can be adopted.

以上に説明した、本実施形態による組立方法によって得られる効果は次のとおりである。この組立方法では、MMI40,50及びPBS21を配置したのち、光学部品の光軸調整を行うために、偏光方向が互いに直交する第1の光LS1及び第2の光LS2を偏波合成器113によって合成し、信号光N0に代わる調整光LS3としてPBS21に導入する。このとき、第1の光LS1及び第2の光LS2の偏光方向が互いに直交するので、調整光LS3とPBS21との光軸周りの相対角度に誤差が生じても、分岐比への影響は殆ど生じない。これは、第1の光LS1及び第2の光LS2の偏光方向を個別に設定せずに光学部品の光軸調整を行えるので、合成後の第1の光LS1及び第2の光LS2の偏光方向に誤差が生じることは少ないからである。よって、第1の光LS1及び第2の光LS2の光路において、同時に光軸調整を行うことができ、第1の光LS1及び第2の光LS2の偏光方向を個別に設定するときと比較して、第1の光LS1及び第2の光LS2の偏光方向の誤差を抑制できる。すなわち、相対角度が或る一方向にずれた場合、第1の光LS1については分岐後の一方の偏光成分の光強度が減り、他方の偏光成分の光強度が増すが、第2の光LS2については分岐後の一方の偏光成分の光強度が増し、他方の偏光成分の光強度が減る。従って、PBS21による分岐後の第1の光LS1の偏光成分と第2の光LS2の偏光成分とを合わせた光強度は常に一定であり、調整光LS3とPBS21との光軸周りの相対角度の誤差の影響を殆ど受けない。従って、本実施形態の組立方法によれば、図19に示された偏波コントローラ222による偏光方向の調整をしなくても、分岐後の調整光LS3の光強度を精度良く所定の大きさにできるので、信号光N0若しくは各偏光成分N1,N2の光路上に配置される光学部品の光軸調整を容易に且つ精度良く行うことができる。 The effects obtained by the assembly method according to the present embodiment described above are as follows. In this assembling method, after the MMIs 40 and 50 and the PBS 21 are arranged, the first light LS 1 and the second light LS 2 whose polarization directions are orthogonal to each other are adjusted in order to adjust the optical axes of the optical components. 113, and is introduced into the PBS 21 as the adjustment light LS 3 in place of the signal light N 0 . At this time, since the polarization directions of the first light LS 1 and the second light LS 2 are orthogonal to each other, even if an error occurs in the relative angle between the adjustment light LS 3 and the PBS 21 around the optical axis, There is almost no effect. This is because the optical axes of the optical components can be adjusted without individually setting the polarization directions of the first light LS 1 and the second light LS 2 , so that the first light LS 1 and the second light after synthesis are combined. the polarization direction of the LS 2 is because it is rare that an error occurs. Therefore, in the first optical path of the light LS 1 and the second light LS 2, at the same time it is possible to adjust the optical axis, to set the first light LS 1 and the second polarization direction of the light LS 2 individually Compared to times, errors in the polarization directions of the first light LS 1 and the second light LS 2 can be suppressed. That is, when the relative angle deviates in a certain direction, the light intensity of one polarization component after branching of the first light LS 1 decreases and the light intensity of the other polarization component increases, but the second light increases the light intensity of one of the polarization components after branching for LS 2, it decreases the light intensity of the other polarization component. Accordingly, the combined light intensity of the polarization component of the first light LS 1 and the polarization component of the second light LS 2 after branching by the PBS 21 is always constant, and the light intensity around the optical axis between the adjustment light LS 3 and the PBS 21 is constant. Little affected by relative angle errors. Therefore, according to the assembling method of this embodiment, the light intensity of the adjusted light LS 3 after branching is accurately set to a predetermined level without adjusting the polarization direction by the polarization controller 222 shown in FIG. Therefore, the optical axis adjustment of the optical component arranged on the optical path of the signal light N 0 or the polarization components N 1 and N 2 can be performed easily and accurately.

1…コヒーレントレシーバ、2…筐体、2A…前壁、2B…後壁、2C…リッド、2E…底面、4…ベース、5…Lo光入力ポート、6…Sig光入力ポート、11…偏光子、12…BS、13,22…反射器、14,15,23,24…レンズ群、14a,15a,23a,24a…第2レンズ、14b,15b,23b,24b…第1レンズ、16,26…スキュー調整素子、21…PBS、25…λ/2板、27…Sig光入力レンズ、30…VOAキャリア、31…VOA、32…BS、33…モニタ用PD、35…偏波保持ファイバ、36…単一モードファイバ、40,50…MMI、41,51…Lo光導入口、42,52…Sig光導入口、43,53…集積回路、46,56…回路基板、61…フィードスルー、71,81…減衰器、111a,111b…バイアス電源、112a,112b…光源、113…偏波合成器、113a,113b…入力端、113c…出力端、114…光カプラ、115,119…パワーメータ、116,117,118…光コネクタ、120…VOAバイアス電源、121…電圧モニタ、123a,123b,123c…模擬ポート、125…オートコリメータ、L0…局発光、LD…調整光、LS1…第1の光、LS2…第2の光、LS3…調整光、N0…信号光、N1,N2…偏光成分。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Coherent receiver, 2 ... Housing, 2A ... Front wall, 2B ... Rear wall, 2C ... Lid, 2E ... Bottom, 4 ... Base, 5 ... Lo light input port, 6 ... Sig light input port, 11 ... Polarizer , 12 ... BS, 13, 22 ... reflector, 14, 15, 23, 24 ... lens group, 14a, 15a, 23a, 24a ... second lens, 14b, 15b, 23b, 24b ... first lens, 16, 26 ... Skew adjustment element, 21 ... PBS, 25 ... λ / 2 plate, 27 ... Sig optical input lens, 30 ... VOA carrier, 31 ... VOA, 32 ... BS, 33 ... PD for monitoring, 35 ... Polarization maintaining fiber, 36 Single mode fiber, 40, 50 ... MMI, 41, 51 ... Lo light inlet, 42, 52 ... Sig light inlet, 43, 53 ... Integrated circuit, 46, 56 ... Circuit board, 61 ... Feedthrough, 71 , 81 Attenuator, 111a, 111b ... bias power supply, 112a, 112b ... light source, 113 ... polarization combiner, 113a, 113b ... input end, 113c ... output end, 114 ... optical coupler, 115,119 ... power meter, 116,117 , 118 ... optical connector, 120 ... VOA bias power supply, 121 ... voltage monitor, 123a, 123b, 123c ... simulated port, 125 ... autocollimator, L 0 ... local light, LD ... adjustment light, LS 1 ... first light, LS 2 ... second light, LS 3 ... adjustment light, N 0 ... signal light, N 1 , N 2 ... polarization components.

Claims (2)

偏光方向が互いに直交する二つの偏光成分を含む信号光を一方の前記偏光成分と他方の前記偏光成分とに分岐する偏光ビームスプリッタに対し、偏光方向が互いに直交する第1の光及び第2の光を偏波合成器を用いて合成した調整光を導入しつつ、前記調整光の光強度を検出しながら、各偏光成分の信号光に対応した光路上に配置される光学部品の光軸調整を行う工程を含む、光学部品の組立方法。   With respect to a polarization beam splitter that branches signal light including two polarization components whose polarization directions are orthogonal to each other into one polarization component and the other polarization component, the first light and the second light whose polarization directions are orthogonal to each other Optical axis adjustment of optical components arranged on the optical path corresponding to the signal light of each polarization component while detecting the light intensity of the adjustment light while introducing the adjustment light synthesized by using a polarization beam combiner A method for assembling an optical component, including the step of performing the steps. 前記光軸調整は、前記第1の光及び前記第2の光の光強度を複数の光検知手段で同時に検知しつつなされる、請求項1に記載の光学部品の組立方法。   The optical component assembling method according to claim 1, wherein the optical axis adjustment is performed while simultaneously detecting the light intensities of the first light and the second light by a plurality of light detection means.
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