JP2018001635A

JP2018001635A - Screen printing method

Info

Publication number: JP2018001635A
Application number: JP2016132984A
Authority: JP
Inventors: 哲矢田中; Tetsuya Tanaka; 矢澤　隆; Takashi Yazawa; 隆矢澤
Original assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Current assignee: Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Priority date: 2016-07-05
Filing date: 2016-07-05
Publication date: 2018-01-11
Anticipated expiration: 2036-07-05
Also published as: JP6748844B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent an increase in tact due to that useless mask cleaning is executed.SOLUTION: A screen printing method includes: executing a printing process of printing paste Pst on a base plate 2 via an opening 15H of a mask 15 by sliding a squeegee 43 on the mask 15 in contact with the base plate 2, and raking the paste Pst supplied onto the mask 15 with the squeegee 43, and executing a printing amount inspecting process of inspecting whether printing amount insufficiency of the paste Pst occurs or not on the base plate 2 printed with the paste Pst (step ST12); executing a clogging inspection process whether clogging occurs or not in the opening 15H of the mask 15 when inspecting that printing amount insufficiency of the paste Pst occurs on the base plate 2 in the printing amount inspecting process (step ST13); and performing cleaning the mask 15 for the first time when inspecting that clogging occurs in the opening 15H of the mask 15 by the inspection (step ST14).SELECTED DRAWING: Figure 9

Description

本発明は、マスク上でスキージを摺動させることにより、マスクの開口を通じて印刷対象物にペーストを印刷するスクリーン印刷方法に関するものである。 The present invention relates to a screen printing method for printing a paste on a print object through an opening of a mask by sliding a squeegee on the mask.

スクリーン印刷装置は、印刷対象物としての基板に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、マスク上に供給されたペーストをスキージで掻き寄せることにより、マスクの開口を通じて基板にペーストを印刷する。そして、このような印刷工程の後には、スクリーン印刷装置の下流工程側に設けられた検査装置によって基板の各電極にペーストが正常に印刷されているかどうかの検査がなされる。この基板の印刷状態の検査（印刷検査と称する）において、電極におけるペーストの「欠け」や「未転写」等の印刷量不足を検知した場合には、マスクの開口内のペーストが残って目詰まりを起こしている可能性が高い。このため下記の特許文献１には、印刷検査において印刷量不足を検知した場合に、マスク清掃装置によって、マスクの下面に付着したペーストを拭き取って清掃する技術が開示されている（例えば、下記の特許文献１）。 The screen printing apparatus prints the paste on the substrate through the opening of the mask by sliding the squeegee on the mask that is in contact with the substrate as the printing object and scraping the paste supplied on the mask with the squeegee. And after such a printing process, it is test | inspected whether the paste is normally printed on each electrode of a board | substrate by the test | inspection apparatus provided in the downstream process side of the screen printing apparatus. In the inspection of the printed state of the substrate (referred to as “print inspection”), when an insufficient print amount such as “chip” or “untransferred” paste on the electrode is detected, the paste in the mask opening remains and becomes clogged. Is likely to have caused. For this reason, the following Patent Document 1 discloses a technique in which when a printing amount shortage is detected in a print inspection, a mask cleaning device wipes away the paste adhered to the lower surface of the mask (for example, the following). Patent Document 1).

特開２００１−４７６００号公報JP 2001-47600 A

しかしながら、印刷後の基板に印刷量不足が生じていた場合、その原因としてはマスクの目詰まりのほか、印刷条件が適当でなかった場合等もあり得る。この点、上記従来のスクリーン印刷装置では、印刷量不足が検知された場合には必ずマスクのクリーニングを実行するようにしていため、結果として印刷不良の原因がマスクの目詰まりでなかった場合には時間のロスとなり、その分生産性が低下するおそれがあるという問題点があった。 However, when the printed substrate is deficient in printing amount, the cause may be clogging of the mask or the printing conditions may be inappropriate. In this regard, in the above conventional screen printing apparatus, the cleaning of the mask is always executed when the printing amount shortage is detected. As a result, when the cause of the printing failure is not the clogging of the mask, There was a problem that time was lost and productivity could be reduced accordingly.

そこで本発明は、無駄なマスククリーニングを実行することによる生産性の低下を防止できるスクリーン印刷方法を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a screen printing method capable of preventing a reduction in productivity due to performing unnecessary mask cleaning.

本発明のスクリーン印刷方法は、印刷対象物に接触させたマスク上でスキージを摺動させ、前記マスク上に供給されたペーストを前記スキージで掻き寄せることにより前記マスクの開口を通じて前記印刷対象物にペーストを印刷する印刷工程と、前記印刷工程でペーストが印刷された前記印刷対象物にペーストの印刷量不足が生じているか否かを検査する印刷量検査工程と、前記印刷量検査工程で前記印刷対象物にペーストの印刷量不足が生じていたことを検知した場合に前記マスクの開口に目詰まりが生じているか否かを検査する目詰まり検査工程と、前記目詰まり検査工程で前記マスクの開口に目詰まりが生じていることを検知した場合に前記マスクのクリーニングを行うマスククリーニング工程と含む。 In the screen printing method of the present invention, a squeegee is slid on a mask that is in contact with a printing object, and the paste supplied on the mask is scraped together by the squeegee, thereby opening the mask to the printing object through the opening of the mask. A printing step for printing a paste, a printing amount inspection step for inspecting whether or not the printing amount of the paste on which the paste is printed in the printing step is insufficient, and the printing in the printing amount inspection step. A clogging inspection step for inspecting whether or not clogging has occurred in the opening of the mask when it is detected that an insufficient amount of paste has been printed on the object, and the opening of the mask in the clogging inspection step And a mask cleaning step of cleaning the mask when it is detected that clogging has occurred.

本発明によれば、無駄なマスククリーニングを実行することによる生産性の低下を防止できる。 According to the present invention, it is possible to prevent a decrease in productivity due to performing unnecessary mask cleaning.

本発明の一実施の形態における印刷システムの構成図1 is a configuration diagram of a printing system according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置の斜視図The perspective view of the screen printing apparatus with which the printing system in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置の側面図The side view of the screen printing apparatus with which the printing system in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置の一部の斜視図The perspective view of a part of screen printing apparatus with which the printing system in one embodiment of the present invention is provided 本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the screen printing apparatus with which the printing system in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態における印刷システムが備える検査装置の斜視図The perspective view of the inspection apparatus with which the printing system in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態における印刷システムが備える検査装置の制御系統を示すブロック図The block diagram which shows the control system of the inspection apparatus with which the printing system in one embodiment of this invention is provided 本発明の一実施の形態における印刷システムが行うスクリーン印刷作業の手順を示すメインルーチンのフローチャートThe flowchart of the main routine which shows the procedure of the screen printing work which the printing system in one embodiment of this invention performs 本発明の一実施の形態における印刷システムが行うスクリーン印刷作業の手順を示すサブルーチンのフローチャートThe flowchart of the subroutine which shows the procedure of the screen printing operation which the printing system in one embodiment of this invention performs （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における印刷システムが備えるスクリーン印刷装置が行うスクリーン印刷作業の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of screen printing work which the screen printing apparatus with which the printing system in one embodiment of this invention is equipped performs （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における印刷システムのスクリーン印刷装置が行うマスククリーニング作業の動作説明図(A) (b) Operation | movement explanatory drawing of the mask cleaning operation | work which the screen printing apparatus of the printing system in one embodiment of this invention performs 本発明の一実施の形態における印刷システムが行うスクリーン印刷作業の手順を示すサブルーチンの変形例のフローチャートThe flowchart of the modification of the subroutine which shows the procedure of the screen printing operation | work which the printing system in one embodiment of this invention performs

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１は本発明の一実施の形態における印刷システム１を示している。この印刷システム１は、電子回路用形成のプリント基板（以下、基板２と称する）を印刷対象物としており、これを搬入してその電極２ｄに半田等のペーストＰｓｔを印刷するスクリーン印刷装置１Ａと、スクリーン印刷装置１Ａから基板２を受け取ってその基板２に印刷されたペーストＰｓｔの検査を行う検査装置１Ｂから構成されている。ここでは説明の便宜上、作業者ＯＰから見た左右方向をＸ軸方向とし、左方を上流工程側、右方を下流工程側とする。また、作業者ＯＰから見た前後方向をＹ軸方向とし、上下方向をＺ軸方向とする。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows a printing system 1 according to an embodiment of the present invention. The printing system 1 uses a printed circuit board (hereinafter referred to as a substrate 2) for forming an electronic circuit as a printing object, and a screen printing apparatus 1A that carries in and prints a paste Pst such as solder on the electrode 2d. The inspection apparatus 1B receives the substrate 2 from the screen printing apparatus 1A and inspects the paste Pst printed on the substrate 2. Here, for convenience of explanation, the left-right direction viewed from the operator OP is the X-axis direction, the left is the upstream process side, and the right is the downstream process side. Further, the front-rear direction viewed from the operator OP is the Y-axis direction, and the vertical direction is the Z-axis direction.

図２、図３及び図４において、スクリーン印刷装置１Ａは基台１１上に搬入コンベア１２、基板昇降機構１３及び搬出コンベア１４を備えており、基板昇降機構１３の上方にはマスク１５、カメラユニット１６、印刷ヘッド１７及びマスククリーナ１８を有している。基板昇降機構１３は基台１１の中央部に設けられており、搬入コンベア１２は基板昇降機構１３の左方に設けられている。搬出コンベア１４は基板昇降機構１３の右方に設けられている。 2, 3, and 4, the screen printing apparatus 1 A includes a carry-in conveyor 12, a substrate lifting mechanism 13, and a carry-out conveyor 14 on a base 11. A mask 15 and a camera unit are disposed above the substrate lifting mechanism 13. 16, a print head 17 and a mask cleaner 18 are provided. The substrate lifting mechanism 13 is provided at the center of the base 11, and the carry-in conveyor 12 is provided on the left side of the substrate lifting mechanism 13. The carry-out conveyor 14 is provided on the right side of the substrate lifting mechanism 13.

図３及び図４において、基板昇降機構１３は基板保持部２１と昇降機構部２２から成る。基板保持部２１は位置決めコンベア３１、下受け部３２及び前後一対のクランパ３３を備えている。位置決めコンベア３１は搬入コンベア１２から受け取った基板２を所定のクランプ位置に位置決めする。下受け部３２は、クランプ位置に位置決めされた基板２を下方から支持する。クランパ３３は下受け部３２が支持した基板２を側方（Ｙ軸方向）からクランプして保持する。昇降機構部２２は複数のテーブル部材が多段積みされて成るＸＹθテーブルから成り、基板保持部２１を水平面内方向及び上下方向に移動させる。 3 and 4, the substrate lifting mechanism 13 includes a substrate holding portion 21 and a lifting mechanism portion 22. The substrate holding part 21 includes a positioning conveyor 31, a lower receiving part 32, and a pair of front and rear clampers 33. The positioning conveyor 31 positions the substrate 2 received from the carry-in conveyor 12 at a predetermined clamp position. The lower receiving portion 32 supports the substrate 2 positioned at the clamp position from below. The clamper 33 clamps and holds the substrate 2 supported by the lower receiving portion 32 from the side (Y-axis direction). The elevating mechanism unit 22 is composed of an XYθ table in which a plurality of table members are stacked in multiple stages, and moves the substrate holding unit 21 in the horizontal plane direction and in the vertical direction.

図１、図２及び図３において、マスク１５はＸＹ平面に広がって延びた矩形平板形状の金属部材から成る。マスク１５の外周は、枠部材１５Ｗによって支持されている。マスク１５の中央部には多数の開口１５Ｈが設けられている（図１及び図４）。これら開口１５Ｈは基板２の電極２ｄに対応して設けられている。 In FIG. 1, FIG. 2 and FIG. 3, the mask 15 is made of a metal member having a rectangular flat plate shape extending in the XY plane. The outer periphery of the mask 15 is supported by a frame member 15W. A large number of openings 15H are provided in the central portion of the mask 15 (FIGS. 1 and 4). These openings 15H are provided corresponding to the electrodes 2d of the substrate 2.

図３において、カメラユニット１６は、撮像視野を上方に向けた上方撮像部１６ａと、撮像視野を下方に向けた下方撮像部１６ｂを備えている。カメラユニット１６はボール螺子機構をアクチュエータとするカメラユニット移動機構１６Ｋ（図２）に駆動されて基板昇降機構１３とマスク１５の間の空間をＸＹ面内で移動する。 In FIG. 3, the camera unit 16 includes an upper imaging unit 16a whose imaging field is directed upward and a lower imaging unit 16b whose imaging field is directed downward. The camera unit 16 is driven by a camera unit moving mechanism 16K (FIG. 2) using a ball screw mechanism as an actuator, and moves in the space between the substrate lifting mechanism 13 and the mask 15 in the XY plane.

図２及び図３において、印刷ヘッド１７は、移動ベース４１と、２つのスキージ昇降シリンダ４２と、２つのスキージ４３を備えている。移動ベース４１はＸ軸方向に延びており、ボール螺子機構を備える印刷ヘッド移動機構１７Ｋに駆動されて、マスク１５の上方をＹ軸方向に移動する。２つのスキージ昇降シリンダ４２は移動ベース４１の上面にＹ軸方向に並んで設けられている。各スキージ昇降シリンダ４２は、ピストンロッド４２Ｒを移動ベース４１の下方に突出させており、その下端にスキージ４３が取り付けられている（図３）。 2 and 3, the print head 17 includes a moving base 41, two squeegee lifting cylinders 42, and two squeegees 43. The moving base 41 extends in the X-axis direction, and is driven by a print head moving mechanism 17K including a ball screw mechanism to move above the mask 15 in the Y-axis direction. The two squeegee elevating cylinders 42 are provided on the upper surface of the moving base 41 side by side in the Y-axis direction. Each squeegee elevating cylinder 42 has a piston rod 42R protruding below the moving base 41, and a squeegee 43 is attached to the lower end thereof (FIG. 3).

スキージ４３はＸ軸方向に延びた「へら」状の部材から成る。２つのスキージ４３をＸ軸方向から見ると、２つのスキージ４３は下方に広がるように斜めに延びている（図２及び図３）。２つのスキージ４３は、互いに向き合う面がペーストＰｓｔを掻き寄せる面であり、以下の説明では掻寄せ面と称する。また、掻寄せ面とは反対側の面を背面と称する。スキージ昇降シリンダ４２がピストンロッド４２Ｒを上下方向に作動させると、スキージ４３が移動ベース４１の下方を移動ベース４１に対して昇降する。 The squeegee 43 is composed of a “spar” -like member extending in the X-axis direction. When the two squeegees 43 are viewed from the X-axis direction, the two squeegees 43 extend obliquely so as to spread downward (FIGS. 2 and 3). The two squeegees 43 are surfaces where the surfaces facing each other scrape the paste Pst and are referred to as scraping surfaces in the following description. A surface opposite to the scraping surface is referred to as a back surface. When the squeegee lifting cylinder 42 operates the piston rod 42 R in the vertical direction, the squeegee 43 moves up and down below the moving base 41 with respect to the moving base 41.

図３において、マスククリーナ１８は上面にペーパー部材１８Ｐを露出させており、カメラユニット移動機構１６Ｋによりカメラユニット１６と一体にＹ軸方向に移動される。マスククリーナ１８はマスク１５が基板２と接触していな状態において、マスク１５の下面にペーパー部材１８Ｐの露出面を接触させ、カメラユニット移動機構１６ＫによってＹ軸方向に移動されることで、マスク１５の下面に付着したペーストＰｓｔを拭き取ってクリーニングする。ペーパー部材１８Ｐは、マスククリーナ１８に内蔵されて図示しないモータによって巻き取られることで、露出面が更新される。 In FIG. 3, the mask cleaner 18 exposes the paper member 18P on the upper surface, and is moved in the Y-axis direction integrally with the camera unit 16 by the camera unit moving mechanism 16K. When the mask cleaner 18 is not in contact with the substrate 2, the exposed surface of the paper member 18P is brought into contact with the lower surface of the mask 15 and is moved in the Y-axis direction by the camera unit moving mechanism 16K. The paste Pst adhering to the lower surface of the substrate is wiped off for cleaning. The paper member 18P is incorporated in the mask cleaner 18 and wound by a motor (not shown), so that the exposed surface is updated.

図５において、スクリーン印刷装置１Ａが備える印刷装置制御部５０は、搬入コンベア１２による基板２の搬送（搬入）動作、基板昇降機構１３による基板２の保持及び移動動作、搬出コンベア１４による基板２の搬送（搬出）動作の各制御を行う。また印刷装置制御部５０は、カメラユニット移動機構１６Ｋによるカメラユニット１６の移動動作、カメラユニット１６の撮像動作、印刷ヘッド移動機構１７Ｋによる印刷ヘッド１７の移動動作、スキージ昇降シリンダ４２による各スキージ４３の昇降動作及びマスククリーナ１８におけるペーパー部材１８Ｐの巻取り動作等の各制御を行う。カメラユニット１６は撮像によって得られた画像データを印刷装置制御部５０に送信し、印刷装置制御部５０は受け取った画像データに基づいて画像認識を行う。 In FIG. 5, the printing apparatus control unit 50 included in the screen printing apparatus 1 A includes a transporting (loading) operation of the substrate 2 by the carry-in conveyor 12, a holding and moving operation of the substrate 2 by the substrate lifting mechanism 13, and the substrate 2 by the carry-out conveyor 14. Each control of conveyance (unloading) operation is performed. Further, the printing apparatus control unit 50 moves the camera unit 16 by the camera unit moving mechanism 16K, imaging operation of the camera unit 16, moving the print head 17 by the print head moving mechanism 17K, and moves each squeegee 43 by the squeegee lifting cylinder 42. Each control, such as a raising / lowering operation and a winding operation of the paper member 18P in the mask cleaner 18, is performed. The camera unit 16 transmits image data obtained by imaging to the printing apparatus control unit 50, and the printing apparatus control unit 50 performs image recognition based on the received image data.

図５において、印刷装置制御部５０には、入出力装置としてのタッチパネル５１が接続されている。タッチパネル５１は、作業者ＯＰが印刷装置制御部５０に所要の入力を行う入力装置として機能するほか、印刷装置制御部５０がスクリーン印刷装置１Ａの状態を作業者ＯＰに表示したり作業者ＯＰに作業指示を与えたりする出力装置として機能する。 In FIG. 5, a touch panel 51 as an input / output device is connected to the printing apparatus control unit 50. The touch panel 51 functions as an input device for the operator OP to make a necessary input to the printing apparatus control unit 50, and the printing apparatus control unit 50 displays the state of the screen printing apparatus 1A on the operator OP or indicates to the operator OP. It functions as an output device that gives work instructions.

図６において、検査装置１Ｂは検査台６１上に搬送コンベア６２を備えており、搬送コンベア６２の上方には検査カメラ６３を備えている。検査カメラ６３は検査台６１上に設けられた検査カメラ移動機構６４に取り付けられている。検査カメラ移動機構６４は直交座標テーブルから構成されており、検査カメラ６３を検査台６１の上方領域で水平面内方向に移動させる。 In FIG. 6, the inspection apparatus 1 B includes a conveyance conveyor 62 on an inspection table 61, and an inspection camera 63 above the conveyance conveyor 62. The inspection camera 63 is attached to an inspection camera moving mechanism 64 provided on the inspection table 61. The inspection camera moving mechanism 64 is composed of an orthogonal coordinate table, and moves the inspection camera 63 in the horizontal plane above the inspection table 61.

図７において、検査装置１Ｂが備える検査装置制御部７０は、搬送コンベア６２による基板２の搬送動作、検査カメラ移動機構６４による検査カメラ６３の移動動作及び検査カメラ６３の撮像動作等の各制御を行う。検査装置制御部７０は、印刷装置制御部５０との間で信号及びデータのやり取りが可能になっている（図５も参照）。 In FIG. 7, the inspection apparatus control unit 70 provided in the inspection apparatus 1 B performs various controls such as the conveyance operation of the substrate 2 by the conveyance conveyor 62, the movement operation of the inspection camera 63 by the inspection camera moving mechanism 64, and the imaging operation of the inspection camera 63. Do. The inspection device control unit 70 can exchange signals and data with the printing device control unit 50 (see also FIG. 5).

検査装置制御部７０は、印刷装置制御部５０からの指示を受けて検査カメラ移動機構６４を作動させ、検査カメラ６３に基板２に印刷されたペーストＰｓｔを撮像させる。検査装置制御部７０は、得られた画像データを印刷装置制御部５０に送信する。画像データを受け取った印刷装置制御部５０は画像認識を行い、各電極２ｄについてのペーストＰｓｔの印刷状態を検出する。 The inspection device control unit 70 operates the inspection camera moving mechanism 64 in response to an instruction from the printing device control unit 50, and causes the inspection camera 63 to image the paste Pst printed on the substrate 2. The inspection device control unit 70 transmits the obtained image data to the printing device control unit 50. The printing apparatus control unit 50 that has received the image data performs image recognition and detects the printing state of the paste Pst for each electrode 2d.

次に、図８及び図９に示すフローチャートを用いて、上記構成の印刷システム１により基板２にスクリーン印刷を施すスクリーン印刷作業（スクリーン印刷方法）の実行手順を説明する。印刷システム１によりスクリーン印刷作業を行うときは、作業者ＯＰはスクリーン印刷装置１Ａが備えるタッチパネル５１から作業開始操作を行う。作業者ＯＰがタッチパネル５１から作業開始操作を行うと、印刷装置制御部５０に制御されたスクリーン印刷装置１Ａの各部は、図８に示すメインルーチンのフローチャートにおけるステップＳＴ１〜ステップＳＴ６による印刷工程を実行する。 Next, an execution procedure of a screen printing operation (screen printing method) for performing screen printing on the substrate 2 by the printing system 1 having the above-described configuration will be described with reference to flowcharts shown in FIGS. When screen printing work is performed by the printing system 1, the worker OP performs a work start operation from the touch panel 51 provided in the screen printing apparatus 1A. When the operator OP performs a work start operation from the touch panel 51, each unit of the screen printing apparatus 1A controlled by the printing apparatus control unit 50 executes the printing process in steps ST1 to ST6 in the flowchart of the main routine shown in FIG. To do.

印刷工程では、先ず、搬入コンベア１２が作動して、外部から供給された基板２を受け取る。そして、その基板２を基板保持部２１に受け渡す。基板保持部２１は、位置決めコンベア３１によって基板２を受け取ったらその基板２を搬送させて所定のクランプ位置に位置決めし、下受け部３２によって基板２を下方から支持したうえで、クランパ３３によってクランプする（ステップＳＴ１の基板搬入工程）。 In the printing process, first, the carry-in conveyor 12 operates to receive the substrate 2 supplied from the outside. Then, the substrate 2 is transferred to the substrate holding unit 21. When the substrate holding unit 21 receives the substrate 2 by the positioning conveyor 31, the substrate holding unit 21 conveys the substrate 2 and positions the substrate 2 at a predetermined clamping position. The substrate holding unit 32 supports the substrate 2 from below and clamps it by the clamper 33. (Substrate carrying-in process of step ST1).

基板保持部２１が基板２を保持したらカメラユニット移動機構１６Ｋが作動し、カメラユニット１６を基板２とマスク１５の間で移動させる。これによりカメラユニット１６の上方撮像部１６ａはマスク１５に設けられたマスク側マーク１５ｍ（図２）を下方から撮像し、下方撮像部１６ｂは基板２の基板側マーク２ｍ（図４）を上方から撮像する。カメラユニット１６はマスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍを撮像したら、その画像データを印刷装置制御部５０に送信する。画像データを受け取った印刷装置制御部５０は画像認識を行い、マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍそれぞれの位置を算出する。マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍそれぞれの位置が算出されたら、基板昇降機構１３は基板保持部２１を（すなわち基板２を）移動させて、マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍを平面視において一致させる（ステップＳＴ２の位置合わせ工程）。 When the substrate holding unit 21 holds the substrate 2, the camera unit moving mechanism 16 K is activated to move the camera unit 16 between the substrate 2 and the mask 15. Thus, the upper imaging unit 16a of the camera unit 16 images the mask side mark 15m (FIG. 2) provided on the mask 15 from below, and the lower imaging unit 16b captures the substrate side mark 2m (FIG. 4) of the substrate 2 from above. Take an image. When the camera unit 16 images the mask side mark 15m and the substrate side mark 2m, the camera unit 16 transmits the image data to the printing apparatus control unit 50. The printing apparatus control unit 50 that has received the image data performs image recognition and calculates the positions of the mask side mark 15m and the substrate side mark 2m. When the respective positions of the mask side mark 15m and the substrate side mark 2m are calculated, the substrate lifting mechanism 13 moves the substrate holding portion 21 (that is, the substrate 2) so that the mask side mark 15m and the substrate side mark 2m are viewed in plan view. Match (positioning step of step ST2).

マスク側マーク１５ｍと基板側マーク２ｍが平面視において一致したら、基板昇降機構１３が基板保持部２１を（すなわち基板２を）上昇させて、基板２の上面をマスク１５の下面に接触させる（図１０（ａ）。図中に示す矢印Ａ）。これにより基板２の電極２ｄは対応する開口１５Ｈを通じてマスク１５の上面に露出した状態となる（ステップＳＴ３の接触工程）。 When the mask-side mark 15m and the substrate-side mark 2m coincide with each other in plan view, the substrate lifting mechanism 13 raises the substrate holding portion 21 (that is, the substrate 2) to bring the upper surface of the substrate 2 into contact with the lower surface of the mask 15 (FIG. 10 (a), arrow A) shown in the figure. As a result, the electrode 2d of the substrate 2 is exposed to the upper surface of the mask 15 through the corresponding opening 15H (contact process in step ST3).

基板２がマスク１５に接触したら、一方のスキージ昇降シリンダ４２がスキージ４３を下降させて、マスク１５に当接させる。スキージ４３がマスク１５に当接したら、印刷ヘッド移動機構１７Ｋが移動ベース４１をＹ軸方向に移動させる。スキージ４３の移動方向は、前方のスキージ４３については前方から後方に向かう方向であり（図１０（ｂ）中に示す矢印Ｂ）、後方のスキージ４３については、後方から前方に向かう方向である。マスク１５上を摺動するスキージ４３は掻寄せ面によってペーストＰｓｔを掻き寄せるので、スキージ４３が通過したマスク１５の各開口１５ＨにはペーストＰｓｔが充填される（ステップＳＴ４のスキージング工程）。 When the substrate 2 comes into contact with the mask 15, one squeegee lifting cylinder 42 lowers the squeegee 43 to contact the mask 15. When the squeegee 43 contacts the mask 15, the print head moving mechanism 17K moves the moving base 41 in the Y-axis direction. The moving direction of the squeegee 43 is the direction from the front to the rear for the front squeegee 43 (arrow B shown in FIG. 10B), and the direction for the rear squeegee 43 from the rear to the front. Since the squeegee 43 sliding on the mask 15 scrapes the paste Pst by the scraping surface, each opening 15H of the mask 15 through which the squeegee 43 has passed is filled with the paste Pst (step ST4 squeezing step).

上記のようにしてマスク１５の開口１５ＨへのペーストＰｓｔの充填が終了したら、基板昇降機構１３は昇降機構部２２により基板保持部２１を下降させ、基板２をマスク１５から分離させて版離れを行う。これによりマスク１５の開口１５Ｈに充填されたペーストＰｓｔが基板２の各電極２ｄ上に乗り移る（ステップＳＴ５の版離れ工程）。 When the filling of the paste Pst into the opening 15H of the mask 15 is completed as described above, the substrate elevating mechanism 13 lowers the substrate holding portion 21 by the elevating mechanism portion 22 to separate the substrate 2 from the mask 15 and release the plate. Do. As a result, the paste Pst filled in the opening 15H of the mask 15 is transferred onto each electrode 2d of the substrate 2 (the plate separation process in step ST5).

基板昇降機構１３は版離れを行ったら基板保持部２１のクランパ３３を開いて基板２の保持を解除し、位置決めコンベア３１を作動させて基板２を搬出コンベア１４に受け渡す。搬出コンベア１４は受け取った基板２を下流工程側の検査装置１Ｂに搬出する（ステップＳＴ６の基板搬出工程）。 When the substrate lifting mechanism 13 releases the plate, it opens the clamper 33 of the substrate holding unit 21 to release the holding of the substrate 2, operates the positioning conveyor 31, and transfers the substrate 2 to the carry-out conveyor 14. The unloading conveyor 14 unloads the received substrate 2 to the inspection apparatus 1B on the downstream process side (substrate unloading process in step ST6).

スクリーン印刷装置１Ａが基板２を検査装置１Ｂに搬出したら、検査装置１Ｂは搬送コンベア６２によって基板２を搬入し、所定の作業位置に位置させる。そして、検査カメラ移動機構６４は検査カメラ６３を基板２の上方で移動させ、検査カメラ６３は基板２の各電極２ｄに印刷されたペーストＰｓｔを撮像する。検査装置制御部７０は撮像によって得られた基板２の電極２ｄごとのペーストＰｓｔの画像データを印刷装置制御部５０に送信する。 When the screen printing apparatus 1A carries out the substrate 2 to the inspection apparatus 1B, the inspection apparatus 1B carries in the substrate 2 by the transport conveyor 62 and positions it at a predetermined work position. Then, the inspection camera moving mechanism 64 moves the inspection camera 63 above the substrate 2, and the inspection camera 63 images the paste Pst printed on each electrode 2d of the substrate 2. The inspection device control unit 70 transmits the image data of the paste Pst for each electrode 2d of the substrate 2 obtained by imaging to the printing device control unit 50.

スクリーン印刷装置１Ａは上記ステップＳＴ１〜ステップＳＴ６から成る印刷工程が終了したら、検査装置１Ｂから送られてくる上記データ（基板２の電極２ｄごとのペーストＰｓｔの画像データ）を受け取る（ステップＳＴ７のデータ受取り工程）。そして、以下に示す印刷検査対応処理工程を実行する（ステップＳＴ８。図９に示すサブルーチン）。 When the printing process consisting of steps ST1 to ST6 is completed, the screen printing apparatus 1A receives the data (image data of the paste Pst for each electrode 2d of the substrate 2) sent from the inspection apparatus 1B (data of step ST7). Receiving process). Then, the following print inspection handling process is executed (step ST8, a subroutine shown in FIG. 9).

ステップＳＴ８の印刷検査対応処理工程では、印刷装置制御部５０は先ず、検査装置１Ｂから送られてきた画像データに基づいて、基板２の各電極２ｄにおいてペーストＰｓｔの印刷状態に異常があるか否かを判断する（ステップＳＴ１１）。そして、その結果、異常がなかった場合にはメインルーチンに戻るが、異常があると判断した場合には、電極２ｄにおける「欠け」や「未転写」等の印刷量不足が生じているか否かを判断する（ステップＳＴ１２の印刷量検査工程）。そして、印刷量が不足していると判断した場合には、目詰まり検査を実行する（ステップＳＴ１３の目詰まり検査工程）。 In the printing inspection handling process in step ST8, the printing apparatus control unit 50 first determines whether there is an abnormality in the printing state of the paste Pst on each electrode 2d of the substrate 2 based on the image data sent from the inspection apparatus 1B. Is determined (step ST11). As a result, if there is no abnormality, the process returns to the main routine. If it is determined that there is an abnormality, whether or not there is an insufficient printing amount such as “missing” or “untransferred” in the electrode 2d. (Printing amount inspection step of step ST12). If it is determined that the printing amount is insufficient, a clogging inspection is executed (clogging inspection process in step ST13).

印刷装置制御部５０は、ステップＳＴ１１でペーストＰｓｔの印刷状態に異常があると判断した場合には、検査装置１Ｂに基板廃棄指令を出力し、検査装置１Ｂがその下流工程側に基板２を搬出しないようにさせるとともに、作業者ＯＰに対し、検査装置１Ｂが検査した基板２は廃棄対象である旨の報知を行う。この報知は例えば、タッチパネル５１等を通じて行う。検査装置１Ｂが廃棄基板を排出する排出コンベアを備えている場合には、印刷装置制御部５０から基板廃棄指令を受けた検査装置１Ｂが、廃棄対象とされた基板２を排出コンベアに搬出するようになっていてもよい。 If the printing apparatus control unit 50 determines in step ST11 that the printing state of the paste Pst is abnormal, it outputs a substrate discard command to the inspection apparatus 1B, and the inspection apparatus 1B carries out the substrate 2 to the downstream process side. In addition, the operator OP is notified that the substrate 2 inspected by the inspection apparatus 1B is a target for disposal. This notification is performed through the touch panel 51 or the like, for example. When the inspection apparatus 1B is provided with a discharge conveyor that discharges the discarded substrate, the inspection apparatus 1B that has received the substrate discard command from the printing apparatus control unit 50 carries out the substrate 2 to be discarded to the discharge conveyor. It may be.

ステップＳＴ１３の目詰まり検査工程では、印刷装置制御部５０は、カメラユニット移動機構１６Ｋによってカメラユニット１６をマスク１５の下方で移動させ、カメラユニット１６の上方撮像部１６ａによって、マスク１５が備える各開口１５Ｈを撮像することによって行う。そして、例えば、マスク１５の各開口１５Ｈが有する本来の開口面積と、撮像によって得られる画像から算出される印刷後の開口面積とを比較し、本来の開口面積に対する算出される印刷後の開口面積の割合が予め定めた処置の割合を下回る場合に、その開口１５Ｈは目詰まりを起こしていると判定する。そして、このような判定をマスク１５の全域の各開口１５Ｈについて実行し、すくなくとも一部の開口において目詰まりをおこしていると判断したときには、そのマスク１５は目詰まりを生じていると判断する。 In the clogging inspection process in step ST13, the printing apparatus control unit 50 moves the camera unit 16 below the mask 15 by the camera unit moving mechanism 16K, and each opening provided in the mask 15 by the upper imaging unit 16a of the camera unit 16. This is done by imaging 15H. Then, for example, the original opening area of each opening 15H of the mask 15 is compared with the opening area after printing calculated from the image obtained by imaging, and the opening area after printing calculated with respect to the original opening area. Is less than a predetermined treatment rate, it is determined that the opening 15H is clogged. Then, when such a determination is performed for each opening 15H in the entire area of the mask 15 and it is determined that at least some of the openings are clogged, it is determined that the mask 15 is clogged.

ステップＳＴ１３において目詰まり検査を実行した結果、マスク１５の開口に目詰まりが生じていると判断した場合には、印刷装置制御部５０はカメラユニット移動機構１６Ｋを作動させてマスククリーナ１８をＹ軸方向に移動させ（図１１（ａ）→図１１（ｂ））、マスク１５の下面に付着したペーストＰｓｔを拭き取ってマスク１５の裏面のクリーニングを行う（ステップＳＴ１４のマスククリーニング工程）。 As a result of performing the clogging inspection in step ST13, if it is determined that the opening of the mask 15 is clogged, the printing apparatus control unit 50 operates the camera unit moving mechanism 16K to move the mask cleaner 18 to the Y axis. 11 (b), the paste Pst adhering to the lower surface of the mask 15 is wiped off, and the back surface of the mask 15 is cleaned (mask cleaning process in step ST14).

ステップＳＴ１４でマスク１５のクリーニングを行ったら、再び目詰まり検査を実行する（ステップＳＴ１５）。その結果、マスク１５の目詰まりが解消していた場合にはメインルーチンに戻り、マスク１５の目詰まりが解消していなかった場合には、スクリーン印刷装置１Ａの印刷動作を停止させたうえで、タッチパネル５１等に、異常停止の旨の報知を行って作業者ＯＰに対策を促し（ステップＳＴ１６）、メインルーチンに戻る。また、前述のステップＳＴ１２の印刷量検査工程で印刷量が不足していないと判断した場合にも、ステップＳＴ１６において異常停止の旨の報知を行い、作業者ＯＰに対策を促す。ステップＳＴ１６で対策を促された作業者ＯＰは、例えば、スキージ４３がマスク１５に当接する圧力（印圧）を変更する等の印刷条件の設定の変更を試みたり、マスク１５の開口１５Ｈからマスク１５の裏面にペーストＰｓｔが回り込んでマスク１５の裏面を汚す「にじみ」が生じていないかどうかを確認したりする。 After the mask 15 is cleaned in step ST14, the clogging inspection is performed again (step ST15). As a result, when the clogging of the mask 15 has been eliminated, the process returns to the main routine. When the clogging of the mask 15 has not been eliminated, the printing operation of the screen printing apparatus 1A is stopped, The touch panel 51 or the like is notified of an abnormal stop to prompt the operator OP to take measures (step ST16), and the process returns to the main routine. Even when it is determined that the printing amount is not insufficient in the printing amount inspection process in step ST12 described above, in step ST16, a notification that an abnormal stop has occurred is made to prompt the operator OP to take measures. For example, the operator OP who has been urged to take countermeasures in step ST16 attempts to change the setting of printing conditions such as changing the pressure (printing pressure) at which the squeegee 43 contacts the mask 15, or from the opening 15H of the mask 15 to the mask. It is confirmed whether the paste Pst wraps around the back surface of 15 and “bleeding” that stains the back surface of the mask 15 does not occur.

一方、ステップＳＴ１３において目詰まり検査を実行した結果、マスク１５に目詰まりが生じていないと判断した場合には、印刷装置制御部５０は、直前に行ったスキージ４３によるペーストＰｓｔの掻寄せ動作と、そのペーストＰｓｔの掻寄せ動作の更にひとつ前のペーストＰｓｔの掻寄せ動作との間の時間間隔（休止継続時間）を印刷ヘッド移動機構１７Ｋの移動履歴等を参照して算出する（ステップＳＴ１７）。そして、その算出した休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていたか否かを判断し（ステップＳＴ１８）、その判断結果に応じて印刷条件を変更する。ここで、上記基準時間はペーストＰｓｔを放置することによってスキージ４３によるマスク１５上での摺動（スキージング）に伴うマスク１５の開口１５Ｈへの充填性が低下する時間に基づいて定められ、例えば、２０分〜３０分程度の時間が設定される。 On the other hand, as a result of executing the clogging inspection in step ST13, if it is determined that the mask 15 is not clogged, the printing apparatus control unit 50 performs the immediately preceding scraping operation of the paste Pst by the squeegee 43. Then, a time interval (pause continuation time) between the scraping operation of the paste Pst immediately before the scraping operation of the paste Pst is calculated with reference to the movement history of the print head moving mechanism 17K (step ST17). . Then, it is determined whether or not the calculated pause duration has exceeded a preset reference time (step ST18), and the printing conditions are changed according to the determination result. Here, the reference time is determined on the basis of the time when the filling property to the opening 15H of the mask 15 decreases due to sliding (squeezing) on the mask 15 by the squeegee 43 by leaving the paste Pst, for example, A time of about 20 to 30 minutes is set.

ここでは、印刷条件をマスク１５上でのスキージ４３の摺動速度であるとしており、ステップＳＴ１８で、休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていた場合には、マスク１５上でのスキージ４３の摺動速度を上げるように変更する（ステップＳＴ１９）。スキージ４３の摺動速度を上げるのは、ペーストＰｓｔの放置による粘度上昇に伴う流動性低下を防ぎ、基板２に、より転写し易くするためである。一方、ステップＳＴ１８で、休止継続時間が上記基準時間を超えていなかった場合には、マスク１５上でのスキージ４３の摺動速度を下げるように変更する（ステップＳＴ２０）。スキージ４３の摺動速度を上げるのは、マスク１５の開口１５ＨをペーストＰｓｔが通過する時間を十分確保するためである。なお、休止継続時間が基準時間とちょうど同じであった場合には、スキージ４３の摺動速度の上げ下げのどちらを採用しても構わないし、現状の摺動速度を維持するのであっても構わない。 Here, it is assumed that the printing condition is the sliding speed of the squeegee 43 on the mask 15, and if the pause duration time exceeds a preset reference time in step ST18, the squeegee on the mask 15 is set. It changes so that the sliding speed of 43 may be raised (step ST19). The reason why the sliding speed of the squeegee 43 is increased is to prevent a decrease in fluidity due to an increase in viscosity caused by leaving the paste Pst, and to facilitate transfer to the substrate 2. On the other hand, if the pause duration does not exceed the reference time in step ST18, the sliding speed of the squeegee 43 on the mask 15 is changed to be lowered (step ST20). The reason why the sliding speed of the squeegee 43 is increased is to ensure a sufficient time for the paste Pst to pass through the opening 15H of the mask 15. If the pause duration is exactly the same as the reference time, either increase or decrease of the sliding speed of the squeegee 43 may be employed, or the current sliding speed may be maintained. .

印刷装置制御部５０は、サブルーチンが終了してメインルーチンに戻ると、ペーストＰｓｔを印刷すべき全ての基板２についてスクリーン印刷作業を施したか否か等に基づいて、一連の作業を終了すべきか否かを判断する（図８のステップＳＴ９）。そして、作業を終了すべきでないと判断した場合にはステップＳＴ１に戻る。ここで、ステップＳＴ１に戻るときであって、ステップＳＴ８でマスク１５上でのスキージ４３の摺動速度を変更する設定を行った場合には、その後に行われる印刷工程では、変更された摺動速度でスキージ４３が摺動されるので、ペーストＰｓｔの印刷状態が改善される蓋然性は高くなる。一方、印刷装置制御部５０は、作業を終了すべきと判断した場合には作業を終了する。 When the subroutine ends and returns to the main routine, the printing apparatus control unit 50 determines whether or not to end a series of operations based on whether or not the screen printing operation has been performed on all the substrates 2 on which the paste Pst is to be printed. Is determined (step ST9 in FIG. 8). If it is determined that the work should not be terminated, the process returns to step ST1. Here, when returning to step ST1 and setting for changing the sliding speed of the squeegee 43 on the mask 15 in step ST8, the changed sliding is performed in the subsequent printing process. Since the squeegee 43 is slid at a speed, the probability that the printing state of the paste Pst is improved is increased. On the other hand, if the printing apparatus control unit 50 determines that the work should be finished, the work is finished.

図１２は上記スクリーン印刷作業のサブルーチンの変形例を示している。この変形例が図９の例と異なるところは、ステップＳＴ１２の印刷量検査工程で印刷量が不足していないと判断した場合において、マスク１５の開口１５Ｈからマスク１５の裏面にペーストＰｓｔが回り込む「にじみ」が生じている場合を想定し、マスククリーナ１８によってマスク１５の裏面をクリーニングする（ステップＳＴ２１）。そして、マスク１５のクリーニングが終了したら、にじみ検査を実行する（ステップＳＴ２２）。 FIG. 12 shows a modification of the subroutine for the screen printing operation. 9 is different from the example of FIG. 9 in that, when it is determined that the printing amount is not insufficient in the printing amount inspection step of step ST12, the paste Pst wraps around the back surface of the mask 15 from the opening 15H of the mask 15. Assuming that “bleeding” has occurred, the back surface of the mask 15 is cleaned by the mask cleaner 18 (step ST21). When the cleaning of the mask 15 is completed, a bleed inspection is executed (step ST22).

ステップＳＴ２２のにじみ検査は、カメラユニット移動機構１６Ｋによってカメラユニット１６をマスク１５の下方で移動させ、カメラユニット１６の上方撮像部１６ａによって、マスク１５が備える各開口１５Ｈの近傍領域を撮像することによって行う。そして、開口１５Ｈの近傍に予め定めた基準の範囲を超えてペーストＰｓｔが広がっていたような場合にはにじみが解消していないとして、スクリーン印刷装置１Ａの印刷動作を停止させたうえで、タッチパネル５１等に、異常停止の旨の報知を行って作業者ＯＰに対策を促し（ステップＳＴ１６）、メインルーチンに戻る。一方、ステップＳＴ２２で、ペーストＰｓｔの広がりが上記基準の範囲を超えない程度に収まっていた場合には、にじみが解消したとして、メインルーチンに戻る。 In the blur inspection in step ST22, the camera unit 16 is moved below the mask 15 by the camera unit moving mechanism 16K, and the upper imaging unit 16a of the camera unit 16 images the vicinity region of each opening 15H included in the mask 15. Do. If the paste Pst spreads beyond the predetermined reference range in the vicinity of the opening 15H, it is determined that bleeding has not been eliminated, and the printing operation of the screen printing apparatus 1A is stopped, and then the touch panel 51 or the like is notified of the abnormal stop to prompt the operator OP to take measures (step ST16), and the process returns to the main routine. On the other hand, in step ST22, if the spread of the paste Pst does not exceed the above reference range, it is determined that the bleeding has been eliminated and the process returns to the main routine.

この変形例では、ステップＳＴ１２の印刷量検査工程で印刷量の不足が検知されなかった場合であって、マスク１５ににじみが生じていたときに、自動でその解消が図られる。このため、作業者ＯＰの負担が軽減されるとともに、スクリーン印刷装置１Ａの印刷動作を停止させる必要がなくなるので、生産性が向上する。 In this modified example, when a shortage of printing amount is not detected in the printing amount inspection process in step ST12, and blurring has occurred in the mask 15, this is automatically resolved. This reduces the burden on the operator OP and eliminates the need to stop the printing operation of the screen printing apparatus 1A, thereby improving productivity.

以上説明したように、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、印刷工程（ステップＳＴ１〜ステップＳＴ６）でペーストＰｓｔが印刷された印刷対象物である基板２にペーストＰｓｔの印刷量不足が生じているか否かを検査する印刷量検査工程（ステップＳＴ１２）を実行した結果、基板２にペーストＰｓｔの印刷量不足が生じていたことを検知した場合には、更に、マスク１５の開口１５Ｈに目詰まりが生じているか否かを検査する目詰まり検査工程を実行する（ステップＳＴ１３）。そして、この目詰まり検査工程でマスクの開口に目詰まりが生じていることを検知した場合にはじめて、マスク１５のクリーニングを行うようになっている（ステップＳＴ１４）。このため、ペーストＰｓｔの印刷量不足が生じていた場合であってもマスク１５に目詰まりが生じていなければマスク１５のクリーニングは行わず、無駄なマスククリーニングを実行することによる生産性の低下を防止できる。 As described above, in the screen printing method according to the present embodiment, is the printed amount of the paste Pst insufficient on the substrate 2 that is the printing object on which the paste Pst is printed in the printing process (steps ST1 to ST6)? As a result of executing the printing amount inspection step (step ST12) for inspecting whether or not the substrate 2 has detected that the printing amount of the paste Pst is insufficient, the opening 15H of the mask 15 is further clogged. A clogging inspection process for inspecting whether or not it has occurred is executed (step ST13). The mask 15 is cleaned only when it is detected in the clogging inspection process that the opening of the mask is clogged (step ST14). For this reason, even if the printing amount of the paste Pst is insufficient, if the mask 15 is not clogged, the mask 15 is not cleaned, and the productivity is reduced by performing unnecessary mask cleaning. Can be prevented.

また、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法では、目詰まり検査工程でマスク１５の開口１５Ｈに目詰まりが生じていないことを検知した場合に、印刷工程の休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていたか否かを判断し、その判断結果に応じて印刷条件（マスク１５上でのスキージ４３の摺動速度）を変更するようになっている。印刷量不足が生じた場合、その原因としてはマスク１５の目詰まりのほか、印刷条件が適当でなかった場合等もあり得るところである。この点、本実施の形態におけるスクリーン印刷方法によれば、印刷量不足が検知された場合にマスクのクリーニング以外の対処法を自動で実行するようになっており、作業者ＯＰの手を介さない分、生産性の向上を図ることができる。 Further, in the screen printing method according to the present embodiment, when it is detected in the clogging inspection process that no clogging has occurred in the opening 15H of the mask 15, the pause duration of the printing process is set to a preset reference time. It is determined whether or not it has been exceeded, and the printing conditions (the sliding speed of the squeegee 43 on the mask 15) are changed according to the determination result. When the printing amount is insufficient, it may be caused by clogging of the mask 15 or inappropriate printing conditions. In this regard, according to the screen printing method of the present embodiment, when a print amount shortage is detected, a countermeasure other than cleaning of the mask is automatically performed, and the operator OP does not need to be involved. Therefore, productivity can be improved.

これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に記載したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、印刷工程の休止継続時間が予め設定された基準時間を超えていたか否かに応じて変更する印刷条件はマスク１５上でのスキージ４３の摺動速度であったが、これは一例であり、スキージ４３の摺動速度に限らず、他の印刷条件であってもよい。例えば、休止継続時間が基準時間を超えて、ペーストＰｓｔの放置による粘度上昇が想定される場合、スキージ４３の摺動速度は変化せず、ペーストＰｓｔの掻き寄せ性を向上させる目的で印圧を上げることもできる。また、休止継続時間が基準時間を超えていない場合、ペーストＰｓｔの量が不足してきたと想定でき、ペーストＰｓｔの追加補充指示を行うこともできる。 Although the embodiments of the present invention have been described so far, the present invention is not limited to those described in the above embodiments. For example, in the above-described embodiment, the printing condition to be changed depending on whether or not the pause duration of the printing process exceeds a preset reference time is the sliding speed of the squeegee 43 on the mask 15. However, this is only an example, and the printing speed is not limited to the sliding speed of the squeegee 43. For example, when the pause duration exceeds the reference time and a viscosity increase due to the paste Pst being left is assumed, the sliding speed of the squeegee 43 does not change, and the printing pressure is increased for the purpose of improving the scraping property of the paste Pst. It can also be raised. Further, when the suspension duration time does not exceed the reference time, it can be assumed that the amount of the paste Pst has become insufficient, and an additional replenishment instruction for the paste Pst can be issued.

また、変更する印刷条件としてマスク１５上でのスキージ４３の摺動速度を設定している場合に、上述の実施の形態では、休止継続時間が基準時間を超えていた場合にはスキージ４３の摺動速度を上げ、休止継続時間が基準時間を超えていなかった場合には、スキージ４３の摺動速度を下げるようにしており、休止継続時間によって必ずスキージ４３の摺動速度を上げるか下げるかどちらかをするようになっていたが、「休止継続時間が基準時間を超えていた場合にはスキージ４３の摺動速度を上げる」と「休止継続時間が基準時間を超えていなかった場合には、スキージ４３の摺動速度を下げる」のどちらか一方のみを採用し、他の場合にはスキージ４３の摺動速度をそのままにする等、柔軟な設定をすることも可能である。 Further, when the sliding speed of the squeegee 43 on the mask 15 is set as the printing condition to be changed, in the above-described embodiment, the sliding of the squeegee 43 is performed when the pause duration exceeds the reference time. When the dynamic speed is increased and the pause duration does not exceed the reference time, the sliding speed of the squeegee 43 is reduced, and the sliding speed of the squeegee 43 is always increased or decreased depending on the pause duration. However, "If the pause duration exceeds the reference time, increase the sliding speed of the squeegee 43" and "If the pause duration does not exceed the reference time, Only one of “reducing the sliding speed of the squeegee 43” may be adopted, and in other cases, the sliding speed of the squeegee 43 may be left as it is.

また、上述の実施の形態では、ペーストＰｓｔが印刷される対象としての印刷対象物が電子回路形成用のプリント基板であるとして説明したが、これは一例であり、必ずしも基板２でなくてもよい。 In the above-described embodiment, the print target as the target on which the paste Pst is printed is described as the printed circuit board for forming an electronic circuit. However, this is an example, and the substrate 2 is not necessarily required. .

無駄なマスククリーニングが実行されることによるタクトの増大を防止できる。 It is possible to prevent an increase in tact due to unnecessary mask cleaning.

２基板（印刷対象物）
１５マスク
１５Ｈ開口
４３スキージ
Ｐｓｔペースト 2 Substrate (printing object)
15 Mask 15H Opening 43 Squeegee Pst Paste

Claims

A printing step of sliding the squeegee on a mask brought into contact with the printing object and printing the paste on the printing object through the opening of the mask by scraping the paste supplied on the mask with the squeegee;
A printing amount inspection step for inspecting whether or not a printing amount shortage of the paste has occurred on the printing object on which the paste is printed in the printing step;
A clogging inspection step for inspecting whether or not clogging has occurred in the opening of the mask when it is detected in the printing amount inspection step that an insufficient printing amount of paste has occurred on the print object;
A screen printing method comprising: a mask cleaning step of cleaning the mask when it is detected in the clogging inspection step that the opening of the mask is clogged.

When it is detected in the clogging inspection process that no clogging has occurred in the opening of the mask, it is determined whether or not the pause duration of the printing process has exceeded a preset reference time, and the determination The screen printing method according to claim 1, wherein printing conditions are changed according to a result.

The printing condition is a sliding speed of the squeegee on the mask, and is changed so as to increase the sliding speed of the squeegee on the mask when the pause duration exceeds the reference time. The screen printing method according to claim 2.

The printing condition is a sliding speed of the squeegee on the mask, and is changed so as to reduce the sliding speed of the squeegee on the mask when the pause duration does not exceed the reference time. The screen printing method according to claim 2, wherein the screen printing method is performed.