JP2017208448A - 放射線撮像装置及び放射線撮像システム - Google Patents
放射線撮像装置及び放射線撮像システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017208448A JP2017208448A JP2016099818A JP2016099818A JP2017208448A JP 2017208448 A JP2017208448 A JP 2017208448A JP 2016099818 A JP2016099818 A JP 2016099818A JP 2016099818 A JP2016099818 A JP 2016099818A JP 2017208448 A JP2017208448 A JP 2017208448A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- radiation imaging
- imaging apparatus
- trench
- scintillator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims abstract description 57
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 47
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 54
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 25
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 14
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 3
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 22
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 thallium activated cesium iodide Chemical class 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
- Apparatus For Radiation Diagnosis (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
Abstract
【課題】光検知部の側面に斜入射光が入射することに起因するノイズ成分を低減するのに有利な技術を提供する。【解決手段】基板と、前記基板の上方に配されたシンチレータと、前記基板と前記シンチレータとの間に配され、前記シンチレータからの光を検知するための2つの光検知部と、前記シンチレータと前記2つの光検知部との間に配された遮光部材と、を備え、前記2つの光検知部は、前記基板の上面と平行な第1方向に沿って形成されたトレンチによって互いに分離されており、前記遮光部材は、前記基板の上面に対する平面視において、前記トレンチより大きい幅を有しており、且つ、前記トレンチと重なりながら各光検知部の前記トレンチの近傍の一部とも重なるように前記第1方向に沿って配されており、前記第1方向と直交する第2方向における各光検知部の前記一部と前記遮光部材とが重なっている領域の幅は、前記シンチレータからの光が前記トレンチに入射しないように設計された。【選択図】図1
Description
本発明は、放射線撮像装置及び放射線撮像システムに関する。
放射線撮像装置は、アレイ状に配列された複数の画素を有し、各画素において放射線を検出することにより画像データを生成する。放射線撮像装置のなかには、放射線を光に変換するシンチレータと、該シンチレータからの光(シンチレーション光)を検知する光検知部と、該光検知部からの信号を読み出すためのスイッチ素子が形成された基板とを備えるものがある。
特許文献1には、隣接画素間において光検知部がトレンチにより分離された構造が開示されている。トレンチにより分離された光検知部の側面には結晶欠陥が多く、該側面にシンチレーション光が入射すると、この結晶欠陥に起因して電荷が発生する。このことは、画像データにおけるノイズ成分の増大の原因となりうる。
本発明の目的は、光検知部の側面にシンチレーション光が入射することに起因するノイズ成分を低減するのに有利な技術を提供することにある。
本発明の一つの側面は放射線撮像装置にかかり、前記放射線撮像装置は、基板と、前記基板の上方に配されたシンチレータと、前記基板と前記シンチレータとの間に配され、前記シンチレータからの光を検知するための2つの光検知部と、前記シンチレータと前記2つの光検知部との間に配された遮光部材と、を備え、前記2つの光検知部は、前記基板の上面と平行な第1方向に沿って形成されたトレンチによって互いに分離されており、前記遮光部材は、前記基板の上面に対する平面視において、前記トレンチより大きい幅を有しており、且つ、前記トレンチと重なりながら各光検知部の前記トレンチの近傍の一部とも重なるように前記第1方向に沿って配されており、前記第1方向と直交する第2方向における各光検知部の前記一部と前記遮光部材とが重なっている領域の幅は、前記シンチレータからの光が前記トレンチに入射しないように設計されたことを特徴とする。
本発明によれば、光検知部の側面にシンチレーション光が入射することに起因するノイズ成分を低減することができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明する。なお、各図は、構造ないし構成を説明する目的で記載されたものに過ぎず、図示された各部材の寸法は必ずしも現実のものを反映するものではない。また、各図において、同一の部材または同一の構成要素には同一の参照番号を付しており、以下、重複する内容については説明を省略する。
(第1の実施形態)
図1(a)〜(c)を参照しながら、第1実施形態に係る放射線撮像装置100の構造を述べる。放射線撮像装置100は、複数の画素(「画素PX1」とする。)を有する。複数の画素PX1は、アレイ状に(具体的には、複数の行かつ複数の列を形成するように)配列される。放射線撮像装置100は、放射線を検出した複数の画素PX1の個々からの信号(画素信号)を用いて、放射線画像を示す画像データを生成する。
図1(a)〜(c)を参照しながら、第1実施形態に係る放射線撮像装置100の構造を述べる。放射線撮像装置100は、複数の画素(「画素PX1」とする。)を有する。複数の画素PX1は、アレイ状に(具体的には、複数の行かつ複数の列を形成するように)配列される。放射線撮像装置100は、放射線を検出した複数の画素PX1の個々からの信号(画素信号)を用いて、放射線画像を示す画像データを生成する。
図1(a)は、放射線撮像装置100の構造を説明するための上面図であり、1画素分相当の領域およびその周辺の領域(隣接画素の領域の一部)を示している。図1(b)は、図1(a)におけるカットラインX1−X2での断面構造を示している。図中には、本構造の理解を容易にするため、互いに交差するX方向、Y方向およびZ方向を示す。X方向及びY方向は、上記複数の画素PX1の配列方向に対応し(即ち、撮像面と平行であり)、X方向とY方向とは互いに直交している。Z方向は、X方向及びY方向により形成される平面(水平面)に対して垂直な方向である。
なお、以下、本明細書においてZ方向を「上」方向として、各構成要素の「上」、「上方」、「上面」等と表現する場合があるが、これらの表現は、他の構成要素との相対的な位置関係を示し、本構造の説明を容易にするために用いられるものである。他の方向についても同様である。
放射線撮像装置100は、基板160と、基板160の上方に配されたシンチレータ180と、基板160とシンチレータ180との間に配された光検知部110と、を備える。
基板160は、ガラス等で構成された絶縁性の基板161と、その上に形成されたスイッチ素子120とを含む。スイッチ素子120は、本実施形態では、アモルファスシリコンを用いて構成された薄膜トランジスタ(TFT)である。スイッチ素子120は、Nチャネル型のTFTでもよいし、Pチャネル型のTFTでもよい。スイッチ素子120は、ゲート電極121、ソース電極122、ドレイン電極124、並びに、半導体領域125及び126を含む。
ゲート電極121は、スイッチ素子120を制御するための信号を伝搬する信号線130と接続されており、本実施形態では、ゲート電極121と信号線130とは一体に形成されている。ソース電極122は、詳細は後述とするが、コンタクトホール123を介して、光検知部110に電気的に接続されている。ドレイン電極124は、画素信号を伝搬するための列信号線140に接続されており、本実施形態では、ドレイン電極124と列信号線140とは一体に形成されている。半導体領域125は、チャネル領域に対応し、不純物濃度が比較的低い領域である。半導体領域126は、ソース電極122/ドレイン電極124とのオーミック接触を形成するための領域であり、不純物濃度が比較的高い領域である。なお、本実施形態では、スイッチ素子120として、逆スタガ型(いわゆるボトムゲート型)の構造を例示したが、スタガ型(いわゆるトップゲート型)の構造が採用されてもよい。
シンチレータ180は、上方から照射された放射線を光に変換する。シンチレータ180には、公知の蛍光体が用いられればよく、例えば、タリウム活性化ヨウ化セシウム、ケイ酸ガドリニウム等が用いられうる。
光検知部110は、シンチレータ180からの光(シンチレーション光)を検知するための光電変換素子であり、例えばアモルファスシリコンを用いて構成されうる。光検知部110は、基板160の上に層間絶縁層164(或いは、単に絶縁部材と表現されてもよい。)を介して配される。ゲート電極121に活性化電圧が供給されることにより、スイッチ素子120は導通状態となり、光検知部110で生じた電荷の量に応じた値の信号が、画素信号として、列信号線140を介して出力される。
本実施形態では、光検知部110はPIN型フォトダイオードであり、光検知部110は、下側(基板160側)から上側(シンチレータ180側)に向かって順に配された下部電極111、半導体領域112〜114および上部電極115を含む。半導体領域112は、例えば、第1導電型(例えばN型)の高濃度不純物領域であり、半導体領域114は、例えば、第2導電型(例えばP型)の高濃度不純物領域であり、半導体領域113は、不純物濃度が比較的低い領域である。このような構成によりPIN型フォトダイオードが形成される。
PIN型フォトダイオードの下側の電極である下部電極111は、コンタクトホール123を介して、スイッチ素子120に電気的に接続される。放射線撮像装置100は、光検知部110の上方に、光検知部110に電圧(例えば接地電圧/グランド電圧)を供給するためのバイアス線150をさらに備えている。そして、PIN型フォトダイオードの上側の電極である上部電極115は、コンタクトホール151を介してバイアス線150に電気的に接続される。上部電極115は、シンチレーション光が透過するように、インジウムスズ酸化物(ITO)等、光透過性の導電材料で構成される。光検知部110の上には、光透過性および絶縁性を有する保護膜171が配されうる。
保護膜171の上には、平坦化膜として作用する光透過部材172が配されうる。バイアス線150は、光透過部材172の上に配され、その上には、バイアス線150および光透過部材172を覆うように保護膜173が配されうる。シンチレータ180は、保護膜173の上に、付随的に不図示の平坦化膜を介して配されればよい。
図1(b)から分かるように、光検知部110は、隣接画素間においてトレンチTRによって分離されている。トレンチTRによる分離は、光検知部110を構成する単一の部材に、例えばドライエッチング等によって開口を形成し、該開口を保護膜171及び光透過部材172で埋めることによって実現されうる。そのため、隣り合う2つの光検知部110の間において、トレンチTRの底部には、例えば絶縁性の無機材料からなるエッチングストッパ170が配されうる。光検知部110の隣接画素間での電気的分離を実現するため、光検知部110の側面(「側面110S」とする。)は上部電極115により覆われていない。なお、本明細書では、トレンチTRにより分離された2つの光検知部110のうちの一方(第1光検知部)に着目して説明するが、他方についても同様である。
上述のバイアス線150は、例えばアルミニウム、銅等の導電材料で構成され得、遮光部材としても機能しうる。バイアス線150は、平面視において(基板160の上面に対する平面視。以下、単に「平面視」。)、トレンチTRと重なる位置に配されている。
図1(c)は、図1(b)におけるバイアス線150、トレンチTR及びそれらの周辺の領域の拡大図を示している。図1(c)から分かるように、バイアス線150(遮光部材)は、平面視において、トレンチTRより大きい幅を有する。そして、バイアス線150は、トレンチTRと重なりながら光検知部110のトレンチTRの近傍の一部とも重なるようにY方向に沿って配されている。図中の距離Dは、光検知部110の該一部とバイアス線150とが重なっている領域の幅(X方向での幅)を示しており、以下、「突出長D」という。即ち、突出長Dは、光検知部110の上面と側面110Sとの接続点から、バイアス線150の外縁までの平面視における距離(即ち、水平方向での距離)である。
ここで、突出長Dは、シンチレーション光LがトレンチTRに入射しないように設計(決定)されている。より具体的には、突出長Dは、シンチレーション光Lが光透過部材172に対して臨界角以下の入射角で入射した場合に、光透過部材172を通過する光LがトレンチTRに入射しないように設計されている。
例えば、光透過部材172と保護膜173(第2光透過部材)との界面に着目した場合、保護膜173から光透過部材172に入射する光Lの屈折角θ1及び入射角θ2の関係は、スネルの法則により、
n1×sinθ1=n2×sinθ2
と表せる(式1)。なお、
n1:光透過部材172の屈折率
n2:保護膜173の屈折率
である。
n1×sinθ1=n2×sinθ2
と表せる(式1)。なお、
n1:光透過部材172の屈折率
n2:保護膜173の屈折率
である。
光透過部材172に入射した光Lは、水平方向(ここではX方向と逆の方向)に、距離d1だけ進む。ここで、光透過部材172のうち平面視において光検知部110と重なる部分の厚さをT1としたとき、距離d1は、
d1=T1×tanθ1
と表せる(式2)。
d1=T1×tanθ1
と表せる(式2)。
ここで、光透過部材172の厚さT1が保護膜171の膜厚よりも十分に大きいとすると、突出長DがD>d1を満たすことは、シンチレーション光LがトレンチTRに入射しない条件を満たすことと等価である。
よって、シンチレーション光LがトレンチTRに入射しないようにするためには、実質的に臨界角で入射した斜入射光L(θ2=90°)がトレンチTRに入射しない条件を考えればよい。
ここで、「臨界角」とは、一方の部材から他方の部材に進む入射光がそれらの界面で全反射するか否かの境界となる入射角である。つまり、入射角が臨界角より大きいと入射光は該界面において全反射し、入射角が臨界角より小さいと入射光は屈折しながら該他方の部材に入射する。本明細書では単に「臨界角」と表現するが、ここでは、入射角が臨界角の入射光は屈折しながら該他方の部材に入射するものとして、本明細書に記載の式を考慮する。
上記(式1)及び(式2)によると、入射角が臨界角の入射光LがトレンチTRに入射しないためには、
D≧T1×n2/(n12−n22)1/2
が成立すればよい、と言える(式3)。即ち、この(式3)を満たせば、シンチレーション光LはトレンチTRに実質的に入射しない、と言える。なお、以上のことは、光透過部材172を複数の層で構成した場合においても同様に考えられればよく、即ち、突出長Dは、臨界角で入射した光Lの水平方向に進みうる距離を考慮して、設計されればよい。
D≧T1×n2/(n12−n22)1/2
が成立すればよい、と言える(式3)。即ち、この(式3)を満たせば、シンチレーション光LはトレンチTRに実質的に入射しない、と言える。なお、以上のことは、光透過部材172を複数の層で構成した場合においても同様に考えられればよく、即ち、突出長Dは、臨界角で入射した光Lの水平方向に進みうる距離を考慮して、設計されればよい。
前述のとおり、トレンチTRはドライエッチング等を用いて形成され得、そのため、側面110Sは典型的には傾斜している(Z方向に対して傾いている。)。ここで、側面110Sの傾斜角θ3(側面110SとZ方向とが成す角)は、屈折角θ2と同じ又はそれよりも小さいとよい。これにより、側面110Sは、光透過部材172を通過する光Lを実質的に受けない。
以上では、光透過部材172と保護膜173との界面に着目しながら光LがトレンチTRに入射しない条件を述べたが、保護膜173より上に配された他の光透過部材との関係に着目した場合でも、スネルの法則は成立するため、同様のことが言える。
本実施形態によると、トレンチTRにより形成された光検知部110の側面110Sへのシンチレーション光Lの入射を防ぐことができる。光検知部110の側面110Sには結晶欠陥が多いため、シンチレーション光Lの側面110Sへの入射を防ぐことにより、画素信号におけるノイズ成分であって該結晶欠陥に起因するノイズ成分を低減することができる。
なお、本実施形態では、複数の画素PX1のそれぞれがトレンチTRによって区画された構造を示したが、複数の画素PX1の一部のみが区画された構造においても同様であり、必ずしも全ての隣接画素間において区画される必要はない。
(第2の実施形態)
前述の第1実施形態では、バイアス線150を遮光部材として用いた態様を例示したが、これらは個別に配置されてもよい。図2(a)〜(b)は、第2実施形態に係る放射線撮像装置200の構造を、第1実施形態で参照した図1(a)〜(b)同様に示している。図中では、本実施形態の単位画素を、第1実施形態の画素PX1との区別のため、画素PX2と示し、図2(b)は、図2(a)におけるカットラインY1−Y2での断面構造を示している。本実施形態では、主に、バイアス線150に代わって、遮光部材250及びバイアス線260が配されている、という点で第1実施形態と異なる。本実施形態によっても、第1実施形態と同様の効果が得られる。
前述の第1実施形態では、バイアス線150を遮光部材として用いた態様を例示したが、これらは個別に配置されてもよい。図2(a)〜(b)は、第2実施形態に係る放射線撮像装置200の構造を、第1実施形態で参照した図1(a)〜(b)同様に示している。図中では、本実施形態の単位画素を、第1実施形態の画素PX1との区別のため、画素PX2と示し、図2(b)は、図2(a)におけるカットラインY1−Y2での断面構造を示している。本実施形態では、主に、バイアス線150に代わって、遮光部材250及びバイアス線260が配されている、という点で第1実施形態と異なる。本実施形態によっても、第1実施形態と同様の効果が得られる。
図2(b)から分かるように、バイアス線260は、上部電極115と保護膜171との間に配されており、遮光部材250は、保護膜171の上に、保護膜171と共にトレンチTRを埋めるように配されている。本実施形態によると、遮光部材250が保護膜171と共にトレンチTRを埋めているため、第1実施形態に比べて、光検知部110の側面110Sは斜入射光Lを更に受けにくい。
また、本実施形態によると、光検知部110と遮光部材250との距離が第1実施形態に比べて小さいため、前述の突出長Dに対応する遮光部材250のX方向への突出長を小さくすることができる。或いは、この突出長を、光検知部110のセンサとしての感度(例えば、電荷蓄積容量の値)が所望の範囲内になるように、設計することも可能である。
なお、シンチレータ180は、遮光部材250および保護膜171の上に、例えば、平坦化膜および付随的に保護膜を介して、配されればよい。
本実施形態では、バイアス線260が上部電極115の上に直接的に形成されてバイアス線260と上部電極115とを接触させたため、遮光部材250とバイアス線260とは互いに異なる層に配されている。この場合、遮光部材250には、例えばブラックマトリクスや有機材料からなるカラーフィルタが用いられてもよく、即ち、遮光部材250の材料は、シンチレーション光の波長(即ち、シンチレータ180の材料)に基づいて選択されればよい。他の例では、遮光部材250には金属材料が用いられてもよいし、その場合、遮光部材250とバイアス線260とは、必要な変更が加えられると共に同一の導電層に配されてもよい。
(放射線撮像システム)
図3に例示されるように、上述の各実施形態で述べた放射線撮像装置は、放射線検査装置等に代表される放射線撮像システムに適用されうる。放射線は、X線、α線、β線、γ線等を含む。ここでは、代表例としてX線を用いる場合を述べる。
図3に例示されるように、上述の各実施形態で述べた放射線撮像装置は、放射線検査装置等に代表される放射線撮像システムに適用されうる。放射線は、X線、α線、β線、γ線等を含む。ここでは、代表例としてX線を用いる場合を述べる。
X線チューブ610(放射線源)で発生したX線611は、被検者620の胸部621を透過し、放射線撮像装置630に入射する。該入射したX線611には患者620の体内の情報が含まれており、装置630により該X線611に応じた電気的情報が得られる。この電気的情報は、ディジタル信号に変換された後、例えばイメージプロセッサ640(信号処理部)によって所定の信号処理が為される。医師等のユーザは、該電気的情報に応じた放射線画像を、例えばコントロールルームのディスプレイ650(表示部)で観察することができる。ユーザは、放射線画像又はそのデータを、所定の通信手段660により遠隔地へ転送することができ、該放射線画像を、例えばドクタールーム等の他の場所のディスプレイ651で観察することもできる。また、ユーザは、該放射線画像又はそのデータを所定の記録媒体に記録することもでき、例えば、フィルムプロセッサ670によってフィルム671に記録することができる。
(その他)
以上では本発明の好適な態様およびその幾つかの変形例を示したが、本発明はこれらの例に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で一部が変更されてもよい。また、本明細書に記載された個々の用語は、本発明を説明する目的で用いられたものに過ぎず、本発明は、その用語の厳密な意味に限定されるものでないことは言うまでもなく、その均等物をも含みうる。
以上では本発明の好適な態様およびその幾つかの変形例を示したが、本発明はこれらの例に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で一部が変更されてもよい。また、本明細書に記載された個々の用語は、本発明を説明する目的で用いられたものに過ぎず、本発明は、その用語の厳密な意味に限定されるものでないことは言うまでもなく、その均等物をも含みうる。
100:放射線撮像装置、PX1:画素、110:光検知部、150:遮光部材。
Claims (14)
- 基板と、
前記基板の上方に配されたシンチレータと、
前記基板と前記シンチレータとの間に配され、前記シンチレータからの光を検知するための2つの光検知部と、
前記シンチレータと前記2つの光検知部との間に配された遮光部材と、を備え、
前記2つの光検知部は、前記基板の上面と平行な第1方向に沿って形成されたトレンチによって互いに分離されており、
前記遮光部材は、前記基板の上面に対する平面視において、前記トレンチより大きい幅を有しており、且つ、前記トレンチと重なりながら各光検知部の前記トレンチの近傍の一部とも重なるように前記第1方向に沿って配されており、
前記第1方向と直交する第2方向における各光検知部の前記一部と前記遮光部材とが重なっている領域の幅は、前記シンチレータからの光が前記トレンチに入射しないように設計された
ことを特徴とする放射線撮像装置。 - 前記2つの光検知部のそれぞれは、アモルファスシリコンで構成された光電変換素子を含む
ことを特徴とする請求項1に記載の放射線撮像装置。 - 前記光電変換素子は、PIN型フォトダイオードである
ことを特徴とする請求項2に記載の放射線撮像装置。 - 前記2つの光検知部と前記遮光部材との間に配された光透過部材を更に備え、
前記第2方向における前記幅は、前記シンチレータからの光が前記光透過部材に対して臨界角以下の入射角で入射した場合に前記光透過部材を通過した光が前記トレンチに入射しないように設計された
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記光透過部材は、前記トレンチを埋めるように配されている
ことを特徴とする請求項4に記載の放射線撮像装置。 - 前記遮光部材は、前記光透過部材と共に前記トレンチを埋めるように配されている
ことを特徴とする請求項5に記載の放射線撮像装置。 - 前記光透過部材は、絶縁性の材料で構成されている
ことを特徴とする請求項4から請求項6のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記光透過部材は第1光透過部材であり、
前記2つの光検知部の一方は第1光検知部であり、
前記放射線撮像装置は、前記シンチレータと前記第1光透過部材との間に配された第2光透過部材を更に備えており、
前記第1光透過部材のうち前記平面視において前記第1光検知部と重なる部分の厚さをT1とし、
前記第1光透過部材の屈折率をn1とし、
前記第2光透過部材の屈折率をn2とし、
前記第1光検知部の上面と前記トレンチにより形成された前記第1光検知部の側面との接続点から、前記遮光部材の外縁までの前記第2方向の距離をDとしたときに、
D≧T1×n2/(n12−n22)1/2
が成立する
ことを特徴とする請求項4から請求項7のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 前記第1光検知部の前記側面は、前記基板の上面に対して垂直な第3方向に対して傾斜しており、
前記側面と前記第3方向とが成す角は、前記シンチレータからの光が前記第1光透過部材に対して前記臨界角の入射角で入射した場合の前記第1光透過部材を通過する光の進む方向と、前記第3方向とが成す角よりも小さい
ことを特徴とする請求項8に記載の放射線撮像装置。 - 前記第1光検知部は、前記上面において電極により覆われており、前記側面においては該電極により覆われていない
ことを特徴とする請求項8又は請求項9に記載の放射線撮像装置。 - 前記電極は、光透過性の導電材料で構成されている
ことを特徴とする請求項10に記載の放射線撮像装置。 - 前記遮光部材は、前記2つの光検知部に電圧を供給するためのバイアス線である
ことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 複数の画素を有しており、
前記トレンチおよび前記遮光部材は、前記平面視において前記複数の画素のそれぞれを区画するように配されている
ことを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の放射線撮像装置。 - 請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の放射線撮像装置と、
前記放射線撮像装置に対して放射線を照射する放射線源と、
前記放射線撮像装置からの信号を処理するプロセッサと、を具備する
ことを特徴とする放射線撮像システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016099818A JP2017208448A (ja) | 2016-05-18 | 2016-05-18 | 放射線撮像装置及び放射線撮像システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016099818A JP2017208448A (ja) | 2016-05-18 | 2016-05-18 | 放射線撮像装置及び放射線撮像システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017208448A true JP2017208448A (ja) | 2017-11-24 |
Family
ID=60416545
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016099818A Pending JP2017208448A (ja) | 2016-05-18 | 2016-05-18 | 放射線撮像装置及び放射線撮像システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2017208448A (ja) |
-
2016
- 2016-05-18 JP JP2016099818A patent/JP2017208448A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5207583B2 (ja) | 放射線検出装置および放射線検出システム | |
CN108140125B (zh) | 光学指纹成像系统和面阵传感器 | |
JP5448877B2 (ja) | 放射線検出器 | |
JP5693174B2 (ja) | 放射線検出装置及び放射線検出システム | |
US8829447B2 (en) | Photoelectric conversion substrate, radiation detector, radiographic image capture device, and manufacturing method of radiation detector | |
US8916833B2 (en) | Imaging device and imaging display system | |
JP2010034520A (ja) | 放射線検出装置及び放射線撮像システム | |
US20130048861A1 (en) | Radiation detector, radiation detector fabrication method, and radiographic image capture device | |
JP2013219067A (ja) | 放射線検出装置の製造方法、放射線検出装置、及び放射線撮像システム | |
JP2007103578A (ja) | 光電変換装置及び放射線検出装置 | |
US20130048960A1 (en) | Photoelectric conversion substrate, radiation detector, and radiographic image capture device | |
CN110890392A (zh) | 有源矩阵式影像感测装置 | |
JP2020004935A (ja) | イメージセンサ | |
JP2017220616A (ja) | 撮像装置および放射線撮像システム | |
CN110797365B (zh) | 一种探测面板、其制作方法及光电检测装置 | |
US20130048860A1 (en) | Photoelectric conversion substrate, radiation detector, and radiographic image capture device | |
JP2014122903A (ja) | 放射線検出器および放射線画像撮影装置 | |
JP2007324470A (ja) | 放射線画像検出器 | |
JP2017208448A (ja) | 放射線撮像装置及び放射線撮像システム | |
JP5442087B2 (ja) | 放射線検出装置および放射線撮像システム | |
WO2016031599A1 (ja) | 放射線検出器、撮像装置、および撮像システム | |
KR20180044680A (ko) | 디지털 엑스레이 검출장치 및 그 제조방법 | |
WO2016027611A1 (ja) | 放射線検出器、撮像装置、および撮像システム | |
JPH10221456A (ja) | 放射線検出器 | |
JP2014192394A (ja) | 撮像装置及び撮像表示システム |