JP2017195264A - Component mounting device, component mounting method, component mounting device control program and storage medium - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To stably perform a component mounting operation in a short tact time by adjusting a performance interval of correction processing for correcting movement of a head unit with high accuracy.SOLUTION: A component mounting device comprises: a head unit for mounting a component on a substrate; a head drive mechanism for driving the head unit; an imaging part for imaging a reference mark fixed on a preset position; and a control unit for controlling the head drive mechanism to control mounting of the component on the substrate by the head unit. The control unit includes: a correction processing part which intermittently executes correction processing for correcting movement of the head unit by the head drive mechanism based on temporal change of positional information of the reference mark imaged by the imaging part while performing mounting of the component; and an interval adjustment part for adjusting a performance interval of the correction processing depending on variation of the temporal change.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

この発明は、ヘッドユニットにより部品を基板に実装する部品実装技術に関するものである。   The present invention relates to a component mounting technique for mounting a component on a substrate by a head unit.

部品実装装置では、実装プログラムにしたがって制御ユニットがヘッドユニットの移動を制御して当該ヘッドユニットによる基板への部品の実装を実行している。このようにヘッドユニットを移動させることによって部品実装作業を継続して実行する過程においては、部品実装装置内の温度が上昇して部品の実装精度の低下を招くことがあった。その理由は以下のとおりである。部品実装装置では、ヘッドユニットを駆動するためにヘッド駆動機構が設けられているが、ヘッドユニットの移動に伴って発生する摩擦熱などによって温度が上昇する。これにより、ヘッド駆動機構の構成部材が熱膨張することによる熱変位が生じ、その結果、ヘッドユニットの位置精度に誤差が生じ、これが実装精度の低下要因の一つとなる。これを解消するため、部品実装装置では、部品実装作業を繰り返している間に、このような熱変位による位置精度の誤差を補正する補正処理を実行している。ただし、上記温度上昇は部品実装作業を行っている間に飽和して熱変位が飽和するため、上記補正処理を常に一定の間隔で実行することは不合理である。   In the component mounting apparatus, the control unit controls the movement of the head unit according to the mounting program, and the component is mounted on the board by the head unit. In the process of continuously executing the component mounting operation by moving the head unit in this manner, the temperature in the component mounting apparatus may increase, leading to a decrease in component mounting accuracy. The reason is as follows. In the component mounting apparatus, a head driving mechanism is provided to drive the head unit. However, the temperature rises due to frictional heat generated as the head unit moves. As a result, thermal displacement occurs due to thermal expansion of the constituent members of the head drive mechanism, resulting in an error in the positional accuracy of the head unit, which is one of the causes of a decrease in mounting accuracy. In order to solve this problem, the component mounting apparatus executes a correction process for correcting an error in position accuracy due to such thermal displacement while repeating the component mounting operation. However, since the temperature rise is saturated during the component mounting operation and the thermal displacement is saturated, it is unreasonable to always execute the correction process at a constant interval.

そこで、例えば特許文献1に記載の装置では、運転開始初期においては第1の所定間隔毎で補正処理を行う一方、運転開始後予定の時間が経過した後に第1の所定間隔よりも長い第2の所定間隔にて補正処理を行うことが提案されている。当該特許文献1では、第1の所定間隔を1〜2回の実装操作のために要する時間に設定する一方、第2の所定間隔を10〜20回の実装操作のために要する時間に設定することが例示されている。   Therefore, for example, in the device described in Patent Document 1, correction processing is performed at each first predetermined interval in the initial stage of operation, while the second longer than the first predetermined interval after a predetermined time after operation has started. It has been proposed to perform correction processing at predetermined intervals. In Patent Document 1, the first predetermined interval is set to a time required for one or two mounting operations, while the second predetermined interval is set to a time required for 10 to 20 mounting operations. It is exemplified.

特開2013−175557号公報JP 2013-175557 A

上記従来装置では、時間あるいは実装操作回数に基づいて部品実装装置内で発生している誤差を推測しているに過ぎないため、補正処理の実行間隔が必ずしも適切であるとは言えず、補正処理を過剰に実行してタクトタイムの長時間化を招くことがあった。   In the above-described conventional apparatus, since the error occurring in the component mounting apparatus is only estimated based on time or the number of mounting operations, the execution interval of the correction process is not necessarily appropriate. May cause excessive tact time.

この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、ヘッドユニットの移動を補正する補正処理の実行間隔を高精度に調整することによって、短いタクトタイムで部品実装作業を安定して行うことができる部品実装技術を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and by adjusting the execution interval of the correction processing for correcting the movement of the head unit with high accuracy, the component mounting operation can be stably performed in a short tact time. The purpose is to provide component mounting technology.

この発明の第1態様は、部品実装装置であって、基板に部品を実装するヘッドユニットと、 ヘッドユニットを駆動するヘッド駆動機構と、予め設定された位置に固定された基準マークを撮像する撮像部と、ヘッド駆動機構を制御してヘッドユニットによる基板への部品の実装を制御する制御ユニットと、を備え、制御ユニットは、部品の実装を行っている間に、撮像部により撮像された基準マークの位置情報の経時変化に基づいてヘッド駆動機構によるヘッドユニットの移動を補正する補正処理を断続的に実行する補正処理部と、経時変化の変動量に応じて補正処理の実行間隔を調整する間隔調整部と、を有することを特徴としている。   1st aspect of this invention is a component mounting apparatus, Comprising: The head unit which mounts components on a board | substrate, the head drive mechanism which drives a head unit, and the imaging which images the reference mark fixed to the preset position And a control unit that controls the head drive mechanism to control the mounting of the component on the board by the head unit, and the control unit is configured to perform the reference imaging performed by the imaging unit while mounting the component. A correction processing unit that intermittently executes correction processing for correcting the movement of the head unit by the head driving mechanism based on a change with time in the mark position information, and an adjustment processing execution interval that is adjusted according to the amount of change with time. And an interval adjusting unit.

また、この発明の第2態様は、ヘッドユニットを移動させてヘッドユニットにより基板に部品を実装する部品実装方法であって、部品の実装を繰り返して行っている間に、予め設定された位置に固定された基準マークを撮像して得られる基準マークの画像から基準マークの位置情報の経時変化を求め、当該経時変化に基づいてヘッドユニットの移動を補正する補正処理を断続的に実行する工程と、経時変化の変動量に応じて補正処理の実行間隔を調整する工程と、を有することを特徴としている。   According to a second aspect of the present invention, there is provided a component mounting method in which a head unit is moved and a component is mounted on a substrate by the head unit, and the component is placed at a preset position while the component is repeatedly mounted. A step of intermittently executing a correction process for obtaining a time-dependent change in the position information of the reference mark from an image of the reference mark obtained by imaging the fixed reference mark and correcting the movement of the head unit based on the time-dependent change; And a step of adjusting the execution interval of the correction process in accordance with the amount of change with time.

また、この発明の第3態様は、ヘッドユニットを移動させてヘッドユニットにより基板に部品を実装する部品実装装置の制御用プログラムであって、部品の実装を繰り返して行っている間に、予め設定された位置に固定された基準マークを撮像して得られる基準マークの画像から基準マークの位置情報の経時変化を求め、当該経時変化に基づいてヘッドユニットの移動を補正する補正処理を断続的に実行する補正機能と、経時変化の変動量に応じて補正処理の実行間隔を調整する間隔調整機能と、をコンピュータに実現させることを特徴としている。   According to a third aspect of the present invention, there is provided a control program for a component mounting apparatus that moves a head unit and mounts a component on a board by the head unit, and is set in advance while repeatedly mounting the component. The correction process for obtaining the time-dependent change of the position information of the reference mark from the image of the reference mark obtained by imaging the reference mark fixed at the fixed position and correcting the movement of the head unit based on the change over time is intermittently performed. The present invention is characterized in that a computer realizes a correction function to be executed and an interval adjustment function for adjusting an execution interval of correction processing in accordance with a variation amount with time.

また、この発明の第4態様は、上記制御用プログラムが記録されたことを特徴としている。   The fourth aspect of the present invention is characterized in that the control program is recorded.

このように構成された発明では、部品の実装を行っている間に、熱変位によりヘッドユニットの位置精度に誤差が生じることがあるが、補正処理を断続的に行っているため、ヘッドユニットを適正な位置に移動させることができ、部品実装作業を高精度に、しかも安定して実行することができる。   In the invention configured as described above, an error may occur in the positional accuracy of the head unit due to thermal displacement while the components are being mounted, but since the correction processing is intermittently performed, the head unit is It can be moved to an appropriate position, and the component mounting operation can be executed with high accuracy and stability.

また、上記補正処理を行うために経時変化を取得しているが、この経時変化は、熱変位が比較的大きい間、大きく変動する一方、熱変位が飽和すると、その変動量は小さくなる。このように熱変位の特性は経時変化の変動量と密接に関連している。そこで、本発明では、経時変化の変動量に基づいて補正処理の実行間隔を調整することで、熱変位の特性に応じた補正処理を行い、補正処理の実行間隔を適正化している。このため、過剰な補正処理の実行が排除されてタクトタイムが短縮される。   In addition, a change with time is acquired in order to perform the correction process. The change with time varies greatly while the thermal displacement is relatively large, while the amount of change decreases when the thermal displacement is saturated. Thus, the characteristics of thermal displacement are closely related to the amount of change over time. Therefore, in the present invention, the correction processing execution interval is adjusted based on the variation amount with time, thereby performing correction processing according to the characteristics of the thermal displacement and optimizing the correction processing execution interval. For this reason, the execution of excessive correction processing is eliminated, and the tact time is shortened.

ここで、上記した熱変位の特性と経時変化の変動量との関連性を考慮すると、変動量が小さくなるのに伴って実行間隔を広げるのが望ましく、これによってタクトタイムを効果的に短縮することができる。   Here, in consideration of the relationship between the above-described characteristics of thermal displacement and the amount of change over time, it is desirable to increase the execution interval as the amount of change decreases, thereby effectively reducing the tact time. be able to.

また、変動量に応じて実行間隔を多段階で広げる、つまり変動量が小さくなるにしたがって実行間隔を広げるため、熱変位の特性にきめ細かく対応して補正処理の実行間隔を調整することができる。その結果、タクトタイムをさらに効果的に短縮することができる。   In addition, since the execution interval is extended in multiple stages according to the fluctuation amount, that is, the execution interval is increased as the fluctuation amount becomes smaller, it is possible to adjust the execution interval of the correction process finely corresponding to the characteristics of the thermal displacement. As a result, the tact time can be further effectively shortened.

また、部品実装作業を停止すると、部品実装装置の内部は、時間経過に伴って温間状態(熱変位が飽和あるいはほぼ飽和している状態)から冷間状態(熱変位が不飽和となっている状態)に移行する。したがって、部品の実装を停止している停止時間を計測する停止時間計測部を設け、停止時間計測部により計測された停止時間が一定値を超えると、冷間状態に移行したと判断し、補正処理の実行間隔を狭めるように構成してもよい。これにより、部品の実装を再開した直後の補正処理を冷間状態に対応した間隔で実行することができ、再開直後であっても部品実装作業を高精度に行うことができる。   When the component mounting operation is stopped, the interior of the component mounting apparatus changes from a warm state (a state where the thermal displacement is saturated or almost saturated) to a cold state (a state where the thermal displacement becomes unsaturated) over time. State). Therefore, a stop time measurement unit that measures the stop time when component mounting is stopped is provided, and if the stop time measured by the stop time measurement unit exceeds a certain value, it is determined that the state has shifted to the cold state, and correction is made. You may comprise so that the execution interval of a process may be narrowed. Thereby, the correction process immediately after restarting the mounting of components can be executed at intervals corresponding to the cold state, and the component mounting work can be performed with high accuracy even immediately after the restart.

さらに、基準マークの設置個数は任意であるが、互いに異なる位置に複数個設けることで部品実装装置内の各部での熱変位を詳細にモニターすることができ、これらの基準マークの全てに基づいて経時変化の変動量を求め、補正処理の実行間隔を調整してもよい。ただし、この場合、各基準マークを撮像部によって撮像する必要があり、タクトタイムの短縮化には不利となる。そこで、複数の基準マークのうち最初に撮像部により撮像された最先基準マークに関する変動量が所定値よりも小さいときには、残りの基準マークの撮像部による撮像を省略するように構成してもよく、これによってタクトタイムの長期化を抑制することができる。   Furthermore, the number of fiducial marks can be set arbitrarily, but by providing a plurality of fiducial marks at different positions, the thermal displacement at each part in the component mounting apparatus can be monitored in detail. Based on all of these fiducial marks, The amount of change over time may be obtained to adjust the execution interval of the correction process. However, in this case, each reference mark needs to be imaged by the imaging unit, which is disadvantageous for shortening the tact time. Therefore, when the variation amount regarding the earliest reference mark first picked up by the image pickup unit among the plurality of reference marks is smaller than a predetermined value, the image pickup of the remaining reference marks by the image pickup unit may be omitted. As a result, an increase in tact time can be suppressed.

以上のように構成された発明では、予め設定された位置に固定された基準マークの位置情報の経時変化について変動量を求め、当該変動量に応じて補正処理の実行間隔を調整している。このため、補正処理を適正な実行間隔で実行して部品実装作業を安定して行いながら、その一方で過剰な補正処理の実行を排除してタクトタイムを短縮することが可能となっている。   In the invention configured as described above, a fluctuation amount is obtained with respect to the temporal change of the position information of the reference mark fixed at a preset position, and the execution interval of the correction process is adjusted according to the fluctuation amount. For this reason, it is possible to perform the correction process at an appropriate execution interval and perform the component mounting work stably, while at the same time eliminating the excessive correction process and reducing the tact time.

本発明にかかる部品実装装置の第1実施形態を示す平面図である。It is a top view which shows 1st Embodiment of the component mounting apparatus concerning this invention. 図1に示す部品実装装置の部分正面図である。It is a partial front view of the component mounting apparatus shown in FIG. 図1に示す部品実装装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the main electrical structures of the component mounting apparatus shown in FIG. 部品実装作業中におけるヘッドユニットの誤差の変化例を示すグラフである。It is a graph which shows the example of a change of the error of a head unit in a component mounting operation. 第1実施形態における補正処理の内容を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the content of the correction process in 1st Embodiment. 第1実施形態における間隔調整処理の内容を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the content of the space | interval adjustment process in 1st Embodiment. 図1に示す部品実装装置で実行された補正処理および補正間隔の調整処理の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the correction process performed by the component mounting apparatus shown in FIG. 1, and the adjustment process of a correction | amendment interval. 第1実施形態における補正間隔の一例である。It is an example of the correction | amendment space | interval in 1st Embodiment. 本発明にかかる部品実装装置の第2実施形態で実行される補正処理の内容を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the content of the correction process performed in 2nd Embodiment of the component mounting apparatus concerning this invention. 第2実施形態における間隔調整処理の内容を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the content of the space | interval adjustment process in 2nd Embodiment.

図1は本発明にかかる部品実装装置の第1実施形態を示す平面図である。また、図2は図1に示す部品実装装置の部分正面図である。また、図3は図1に示す部品実装装置の主要な電気的構成を示すブロック図である。なお、図1および図2では、各図の方向関係を明確にするために、XYZ直角座標軸が示されている。   FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of a component mounting apparatus according to the present invention. FIG. 2 is a partial front view of the component mounting apparatus shown in FIG. FIG. 3 is a block diagram showing the main electrical configuration of the component mounting apparatus shown in FIG. In FIGS. 1 and 2, XYZ rectangular coordinate axes are shown in order to clarify the directional relationship between the drawings.

この部品実装装置1では、基台11上に基板搬送機構2が配置されており、基板Sを所定の搬送方向Xに搬送可能となっている。より詳しくは、基板搬送機構2は、基台11上において基板Sを図1の右側から左側へ搬送する一対のコンベア21、21を有している。そして、コンベア21、21は制御ユニット8の駆動制御部82からの動作指令に応じて作動することで、基板Sを搬入し、所定の実装作業位置(同図に示す基板Sの位置)で停止させ、図略の保持装置で基板Sを固定し保持する。そして、部品供給部4から供給される電子部品P(図2参照)がヘッドユニット6に具備された実装ヘッド61により基板Sに移載される。また、基板Sに搭載すべき電子部品Pの全部を基板Sに搭載し終えると、基板搬送機構2は基板Sを搬出する。なお、基台11上には、部品認識カメラ7が配設されている。この部品認識カメラ7は、照明部およびCCD(Charge Coupled Device)カメラなどから構成されており、ヘッドユニット6の各実装ヘッド61の吸着ノズル62に保持された電子部品Pをその下側から撮像するようになっている。   In the component mounting apparatus 1, the board transport mechanism 2 is disposed on the base 11, and the board S can be transported in a predetermined transport direction X. More specifically, the substrate transport mechanism 2 has a pair of conveyors 21 and 21 that transport the substrate S from the right side to the left side of FIG. And the conveyors 21 and 21 operate | move according to the operation command from the drive control part 82 of the control unit 8, carry in the board | substrate S, and stop at a predetermined mounting work position (position of the board | substrate S shown in the figure). The substrate S is fixed and held by a holding device (not shown). Then, the electronic component P (see FIG. 2) supplied from the component supply unit 4 is transferred to the substrate S by the mounting head 61 provided in the head unit 6. When all the electronic components P to be mounted on the substrate S have been mounted on the substrate S, the substrate transport mechanism 2 unloads the substrate S. A component recognition camera 7 is disposed on the base 11. The component recognition camera 7 includes an illumination unit, a CCD (Charge Coupled Device) camera, and the like, and images the electronic component P held by the suction nozzle 62 of each mounting head 61 of the head unit 6 from below. It is like that.

このように構成された基板搬送機構2の前方側(+Y軸方向側)および後方側(−Y軸方向側)には、部品供給部4が配置されている。これらの部品供給部4は多数のテープフィーダ41を備えている。また、各テープフィーダ41には、電子部品Pを収納・保持したテープを巻回したリール(図示省略)が配置されており、電子部品Pをヘッドユニット6に供給可能となっている。すなわち、各テープには、集積回路(IC)、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ電子部品Pが所定間隔おきに収納、保持されている。そして、テープフィーダ41がリールからテープをヘッドユニット6側に送り出すことによって該テープ内の電子部品Pが間欠的に部品吸着位置に繰り出され、その結果、ヘッドユニット6の実装ヘッド61に装着された吸着ノズル62によって電子部品Pのピックアップが可能となる。   The component supply unit 4 is arranged on the front side (+ Y axis direction side) and the rear side (−Y axis direction side) of the substrate transport mechanism 2 configured as described above. These component supply units 4 include a number of tape feeders 41. Each tape feeder 41 is provided with a reel (not shown) around which a tape storing and holding the electronic component P is wound, so that the electronic component P can be supplied to the head unit 6. That is, each tape stores and holds small chip electronic components P such as an integrated circuit (IC), a transistor, and a capacitor at predetermined intervals. Then, the tape feeder 41 feeds the tape from the reel toward the head unit 6, whereby the electronic component P in the tape is intermittently fed to the component suction position, and as a result, is mounted on the mounting head 61 of the head unit 6. The pickup nozzle 62 can pick up the electronic component P.

このヘッドユニット6は電子部品Pを実装ヘッド61の吸着ノズル62により吸着保持したまま基板Sに搬送するとともに、ユーザより指示された部品搭載位置に移載するものである。そして、前方側でX軸方向に一列に配列された6個の実装ヘッド61Fと、後方側でX軸方向に一列に配列された6個の実装ヘッド61Rとの合計12個の実装ヘッド61を有している。すなわち、図1および図2に示すように、ヘッドユニット6では、鉛直方向Zに延設された実装ヘッド61Fが6本、X軸方向(基板搬送機構2による基板Sの搬送方向)に等ピッチで列状に設けられている。また、実装ヘッド61Fに対して後方側(−Y軸方向側)にも、前列と同様に構成された後列が設けられている。つまり、鉛直方向Zに延設された実装ヘッド61Rが6本、X軸方向に等ピッチで列状に設けられている。なお、本実施形態では、実装ヘッド61Fと実装ヘッド61RとはX軸方向に半ピッチずれて配置されており、図1に示すように平面視でジグザグ状に配置されている。このため、Y軸方向から見ると、図2に示すように12本の実装ヘッド61は互いに重なり合うことなくX軸方向に一列に並んでいる。   The head unit 6 transports the electronic component P to the substrate S while being sucked and held by the suction nozzle 62 of the mounting head 61 and transfers the electronic component P to the component mounting position designated by the user. Then, a total of twelve mounting heads 61 including six mounting heads 61F arranged in a line in the X-axis direction on the front side and six mounting heads 61R arranged in a line in the X-axis direction on the rear side are arranged. Have. That is, as shown in FIGS. 1 and 2, in the head unit 6, six mounting heads 61F extending in the vertical direction Z are arranged at an equal pitch in the X-axis direction (the direction in which the substrate S is transported by the substrate transport mechanism 2). It is provided in a row. Further, a rear row configured in the same manner as the front row is provided on the rear side (−Y-axis direction side) with respect to the mounting head 61F. That is, six mounting heads 61 </ b> R extending in the vertical direction Z are provided in a row at an equal pitch in the X-axis direction. In the present embodiment, the mounting head 61F and the mounting head 61R are arranged with a half pitch shift in the X-axis direction, and are arranged in a zigzag shape in plan view as shown in FIG. Therefore, when viewed from the Y-axis direction, as shown in FIG. 2, the twelve mounting heads 61 are arranged in a line in the X-axis direction without overlapping each other.

また、各実装ヘッド61の先端部に装着された吸着ノズル62は図略の圧力切換機構を介して負圧発生装置、正圧発生装置、及び大気のいずれかに連通可能とされており、制御ユニット8が圧力切換機構をコントロールすることで吸着ノズル62に与える圧力を切り換え可能となっている。すなわち、圧力切換によって負圧発生装置からの負圧吸着力を吸着ノズル62に与えることで、該吸着ノズル62の下方端部(先端部)が電子部品Pの上面を吸着して部品保持が可能となっている。逆に、吸着ノズル62へ正圧発生装置からの正圧を供給すると、実装ヘッド61による電子部品Pの吸着保持が解除されるとともに、正圧により電子部品Pを瞬時に基板Sに搭載する。そして、電子部品の搭載後、吸着ノズル62は大気開放とされる。このようにヘッドユニット6では制御ユニット8による負圧吸着力及び正圧供給の制御により電子部品Pの着脱が可能となっている。   Further, the suction nozzle 62 mounted at the tip of each mounting head 61 can communicate with any one of a negative pressure generator, a positive pressure generator, and the atmosphere via a pressure switching mechanism (not shown). The pressure applied to the suction nozzle 62 can be switched by the unit 8 controlling the pressure switching mechanism. That is, by applying a negative pressure suction force from the negative pressure generator to the suction nozzle 62 by switching the pressure, the lower end portion (tip portion) of the suction nozzle 62 sucks the upper surface of the electronic component P and can hold the component. It has become. Conversely, when a positive pressure from the positive pressure generator is supplied to the suction nozzle 62, the suction holding of the electronic component P by the mounting head 61 is released, and the electronic component P is instantaneously mounted on the substrate S by the positive pressure. Then, after mounting the electronic components, the suction nozzle 62 is opened to the atmosphere. Thus, in the head unit 6, the electronic component P can be attached and detached by controlling the negative pressure adsorption force and the positive pressure supply by the control unit 8.

ちなみに、実装ヘッド61は、複数種類の吸着ノズル62のうちから部品実装に使用する使用ノズルを切り換えることが可能に構成されている。つまり、部品実装装置1において後方側の部品供給部4と実装作業位置の間には、オートノズルチェンジャ5が設けられており、このオートノズルチェンジャ5において実装ヘッド61に取り付ける吸着ノズル62が切り換えられる(ノズルチェンジ)。こうして、実装ヘッド61に取り付けられた吸着ノズル62が使用ノズルとして以後の部品実装で用いられる。   Incidentally, the mounting head 61 is configured to be able to switch the nozzle used for component mounting from among a plurality of types of suction nozzles 62. That is, the auto nozzle changer 5 is provided between the component supply unit 4 on the rear side and the mounting work position in the component mounting apparatus 1, and the suction nozzle 62 attached to the mounting head 61 is switched in the auto nozzle changer 5. (Nozzle change). Thus, the suction nozzle 62 attached to the mounting head 61 is used as a use nozzle in the subsequent component mounting.

また、各実装ヘッド61はヘッドユニット6に対して図略のノズル昇降駆動機構により昇降(Z軸方向の移動)可能に、かつ図略のノズル回転駆動機構によりノズル中心軸回りに回転(図2のR方向の回転)可能となっている。これらの駆動機構のうちノズル昇降駆動機構は吸着もしくは装着を行う時の下降位置(下降端)と、搬送を行う時の上昇位置(上昇端)との間で実装ヘッド61を昇降させるものである。一方、ノズル回転駆動機構は吸着ノズル62を必要に応じて回転させるための機構であり、回転駆動により電子部品Pを搭載時における所定のR軸方向に位置させることが可能となっている。なお、これらの駆動機構については、それぞれZ軸サーボモータ72、R軸サーボモータ73および所定の動力伝達機構で構成されており、制御ユニット8の駆動制御部82によりZ軸サーボモータ72およびR軸サーボモータ73を駆動制御することで各実装ヘッド61がZ方向およびR方向に移動させられる。   Each mounting head 61 can be moved up and down (moved in the Z-axis direction) with respect to the head unit 6 by a nozzle lifting / lowering drive mechanism (not shown) and rotated about the nozzle center axis by a nozzle rotation driving mechanism (not shown) (FIG. 2). In the R direction). Among these drive mechanisms, the nozzle raising / lowering drive mechanism raises and lowers the mounting head 61 between a lowered position (falling end) when sucking or mounting and a rising position (raising end) when carrying. . On the other hand, the nozzle rotation driving mechanism is a mechanism for rotating the suction nozzle 62 as required, and can position the electronic component P in a predetermined R-axis direction during mounting by rotation driving. These drive mechanisms are each composed of a Z-axis servo motor 72, an R-axis servo motor 73, and a predetermined power transmission mechanism. The drive control unit 82 of the control unit 8 controls the Z-axis servo motor 72 and the R-axis. By controlling the servo motor 73, each mounting head 61 is moved in the Z direction and the R direction.

また、ヘッドユニット6は、これらの実装ヘッド61で吸着された電子部品Pを部品供給部4と基板Sとの間で搬送して基板Sに実装するため、基台11の所定範囲にわたりX軸方向及びY軸方向(X軸及びZ軸方向と直交する方向)に移動可能となっている。すなわち、ヘッドユニット6は、X軸方向に延びる実装ヘッド支持部材63に対してX軸に沿って移動可能に支持されている。また、実装ヘッド支持部材63は、両端部がY軸方向の固定レール64に支持され、この固定レール64に沿ってY軸方向に移動可能になっている。そして、このヘッドユニット6は、X軸サーボモータ65によりボールねじ66を介してX軸方向に駆動され、実装ヘッド支持部材63はY軸サーボモータ67によりボールねじ68を介してY軸方向へ駆動される。このようにヘッドユニット6は実装ヘッド61に吸着された電子部品Pを部品供給部4から目的位置まで搬送可能となっている。   Further, since the head unit 6 transports the electronic component P sucked by these mounting heads 61 between the component supply unit 4 and the substrate S and mounts it on the substrate S, the X-axis is extended over a predetermined range of the base 11. It can move in the direction and the Y-axis direction (direction orthogonal to the X-axis and Z-axis directions). That is, the head unit 6 is supported so as to be movable along the X axis with respect to the mounting head support member 63 extending in the X axis direction. Further, both ends of the mounting head support member 63 are supported by a fixed rail 64 in the Y-axis direction, and are movable along the fixed rail 64 in the Y-axis direction. The head unit 6 is driven in the X-axis direction by the X-axis servomotor 65 via the ball screw 66, and the mounting head support member 63 is driven in the Y-axis direction by the Y-axis servomotor 67 via the ball screw 68. Is done. In this way, the head unit 6 can transport the electronic component P attracted by the mounting head 61 from the component supply unit 4 to the target position.

さらに、ヘッドユニット6は、部品検査カメラ91を具備する。この部品検査カメラ91は、照明部およびCCDカメラなどから構成されており、基板Sに搭載された各電子部品の搭載状態を検査するために用いられる。具体的には、駆動制御部82がヘッドユニット6を適宜移動させることで、電子部品Pの搭載位置の上方に部品検査カメラ91を移動させる。そして、この状態で部品検査カメラ91の撮像した電子部品Pの画像が画像処理部84に転送される。画像処理部84は、転送されてきた電子部品Pの画像から、電子部品Pの搭載状態の良否を判定する。また、本実施形態では、部品検査カメラ91は、部品を撮像する以外に、部品実装装置1の各部や基板Sに対して予め設定された位置に設けられた基準マークM1〜M6を撮像する機能も兼ね備えている。より具体的には、基準マークM1〜M3は、熱膨張により変形することのないコンベア21、21のフレーム(図示省略)上の3箇所に一定の間隔を隔てて設けられており、上方からの平面視で略直角三角形の頂点に位置するように配置されている。また、基準マークM4、M5は基板Sの表面上の2箇所に一定の間隔を隔てて設けられたフィデューシャルマークである。さらに、基準マークM6はオートノズルチェンジャ5に設けられている。   Furthermore, the head unit 6 includes a component inspection camera 91. The component inspection camera 91 includes an illumination unit and a CCD camera, and is used for inspecting the mounting state of each electronic component mounted on the substrate S. Specifically, the drive control unit 82 moves the head unit 6 as appropriate, thereby moving the component inspection camera 91 above the mounting position of the electronic component P. In this state, the image of the electronic component P captured by the component inspection camera 91 is transferred to the image processing unit 84. The image processing unit 84 determines the quality of the mounted state of the electronic component P from the transferred image of the electronic component P. In the present embodiment, the component inspection camera 91 functions to image reference marks M1 to M6 provided at positions set in advance with respect to each part of the component mounting apparatus 1 and the substrate S in addition to imaging the component. Also has. More specifically, the reference marks M1 to M3 are provided at three intervals on the frame (not shown) of the conveyors 21 and 21 that are not deformed due to thermal expansion with a certain interval therebetween. It arrange | positions so that it may be located in the vertex of a substantially right-angled triangle by planar view. The reference marks M4 and M5 are fiducial marks provided at a predetermined interval at two locations on the surface of the substrate S. Further, the reference mark M6 is provided on the auto nozzle changer 5.

また、部品実装装置1には、作業者とのインターフェースとして機能するディスプレイ92を備えている。ディスプレイ92は、部品実装装置1の動作状態を表示する機能のほか、タッチパネルで構成されて作業者からの入力を受け付ける入力端末としての機能も有する。なお、ディスプレイ92に対する入出力の制御は、制御ユニット8の入出力制御部88によって実行される。   The component mounting apparatus 1 includes a display 92 that functions as an interface with the worker. In addition to the function of displaying the operation state of the component mounting apparatus 1, the display 92 includes a touch panel and has a function as an input terminal that receives input from an operator. The input / output control for the display 92 is executed by the input / output control unit 88 of the control unit 8.

このように構成された部品実装装置1全体の動作は、制御ユニット8の主制御部85によって統括的にコントロールされる。つまり、この主制御部85は、記憶部86に記憶されているプログラムやデータに基づいてバス87を介して制御ユニット8の各部と互いに信号のやり取りを行って、装置1全体を制御する。なお、このプログラム861は、CD(compact disk)、DVD(digital versatile disk)あるいはUSB(Universal Serial Bus)メモリーといった記録媒体862に記憶されていたものが、記憶部86に記憶されている。   The overall operation of the component mounting apparatus 1 configured as described above is controlled centrally by the main control unit 85 of the control unit 8. That is, the main control unit 85 controls the entire apparatus 1 by exchanging signals with each unit of the control unit 8 via the bus 87 based on programs and data stored in the storage unit 86. The program 861 stored in the recording medium 862 such as a CD (compact disk), a DVD (digital versatile disk), or a USB (Universal Serial Bus) memory is stored in the storage unit 86.

そして、例えば、複数の実装基板を生産する際には、記憶部86に記憶された生産用のプログラム861(生産プログラム)が主制御部85によって読み出される。そして、主制御部85がこのプログラム861に従って制御ユニット8の各部を制御することで、搬入されてくる複数の基板Sに対して順番に部品実装が実行されて、複数の実装基板が生産される。   For example, when producing a plurality of mounting boards, the main control unit 85 reads out a production program 861 (production program) stored in the storage unit 86. The main control unit 85 controls each part of the control unit 8 according to the program 861 so that component mounting is sequentially performed on the plurality of boards S that are carried in, and a plurality of mounting boards are produced. .

具体的には、実装作業位置に搬入・固定された一の基板Sの各搭載位置に対して所定の電子部品Pを搭載する部品実装が実行される。そして、一の基板Sにおける全ての搭載位置に電子部品Pが搭載されると(つまり、部品実装が完了すると)、一の基板Sが実装作業位置から搬出されるとともに次の基板Sが実装作業位置に搬入・固定され(基板搬送)、この次の基板Sに対して新たな部品実装が実行される。そして、このような動作が繰り返し実行されて、複数の実装基板が生産される。   Specifically, component mounting is performed in which a predetermined electronic component P is mounted on each mounting position of one substrate S carried in and fixed at the mounting work position. When electronic components P are mounted on all mounting positions on one substrate S (that is, when component mounting is completed), one substrate S is unloaded from the mounting work position and the next substrate S is mounted. It is carried in and fixed at the position (board transfer), and a new component mounting is executed on the next board S. Such an operation is repeatedly executed to produce a plurality of mounting boards.

また、プログラム861は、搬入される基板Sに対して部品実装を繰り返し行う動作以外に、補正処理を断続的に実行する。これは、「背景技術」の項で説明したと同様の理由からである。すなわち、図1に示す部品実装装置1において、補正処理を行うことなく部品実装を繰り返して行うと、その経過時間に伴い部品実装装置1の内部温度の上昇に伴う装置各部の熱変位によりヘッドユニット6の移動量に誤差が生じる。例えば図4に示すように、時間経過に伴ってX軸方向およびY軸方向における誤差は変化する。したがって、部品を基板Sに正確に実装するためには、当該誤差を考慮してヘッドユニット6の移動を補正する必要があり、本実施形態においても、部品実装を繰り返している間に上記プログラム861にしたがって主制御部85が補正処理を断続的に行う。この補正処理は、基準マークを部品検査カメラ91により撮像して得られるマーク画像に基づいて当該基準マークの位置情報を取得して記憶する動作を基準マークM1〜M6の全部あるいは一部について行った後で、複数の位置情報を読み出し、それらから誤差を算出してヘッドユニット6の移動を補正するものであり、これによって熱変位に起因する移動量の誤差が補正される。なお、処理内容自体は周知であるため、本明細書においては補正処理の内容については説明を省略する。   Further, the program 861 intermittently executes the correction process in addition to the operation of repeatedly mounting components on the board S to be carried in. This is for the same reason as explained in the section “Background Art”. That is, in the component mounting apparatus 1 shown in FIG. 1, when the component mounting is repeatedly performed without performing the correction process, the head unit is caused by the thermal displacement of each part of the apparatus as the internal temperature of the component mounting apparatus 1 increases with the elapsed time. An error occurs in the movement amount of 6. For example, as shown in FIG. 4, the errors in the X-axis direction and the Y-axis direction change with time. Therefore, in order to accurately mount the component on the board S, it is necessary to correct the movement of the head unit 6 in consideration of the error. In the present embodiment as well, the program 861 is performed while the component mounting is repeated. Accordingly, the main control unit 85 performs the correction process intermittently. In this correction processing, the operation of acquiring and storing the position information of the reference mark based on the mark image obtained by imaging the reference mark with the component inspection camera 91 is performed for all or a part of the reference marks M1 to M6. Later, a plurality of pieces of position information are read out, and an error is calculated therefrom to correct the movement of the head unit 6, thereby correcting the movement amount error caused by the thermal displacement. Since the processing content itself is well known, the description of the content of the correction processing is omitted in this specification.

ここで、図4から明らかなように、X軸方向およびY軸方向のいずれにおいても誤差は時間経過に伴って飽和する、つまり部品実装の開始直後および初期段階では熱変位は比較的大きいのに対し、部品実装の繰り返し時間が長くなるのに伴って熱変位は小さくなる。このような熱変位の特性を考慮すると、当該特性に応じて補正処理の実行間隔を調整するのが望ましく、主制御部85が装置各部を次に説明するように制御して間隔調整を実行する。このように、本実施形態では、主制御部85が実装処理を実行する実装処理部851、補正処理を実行する補正処理部852および補正処理の実行間隔を調整する間隔調整部853として機能する。   As is apparent from FIG. 4, the error saturates with time in both the X-axis direction and the Y-axis direction. That is, the thermal displacement is relatively large immediately after the start of component mounting and in the initial stage. On the other hand, the thermal displacement becomes smaller as the repetition time of component mounting becomes longer. Considering such thermal displacement characteristics, it is desirable to adjust the execution interval of the correction process according to the characteristics, and the main control unit 85 controls each part of the apparatus as described below to execute the interval adjustment. . As described above, in this embodiment, the main control unit 85 functions as the mounting processing unit 851 that executes the mounting process, the correction processing unit 852 that executes the correction process, and the interval adjustment unit 853 that adjusts the execution interval of the correction process.

図5は第1実施形態における補正処理の内容を示すフローチャートである。また、図6は第1実施形態における間隔調整処理の内容を示すフローチャートである。以下、図5および図6を参照しつつ図1の部品実装装置における補正処理の実行について説明した後で、補正処理の実行間隔(以下「補正間隔」という)の一例について説明する。   FIG. 5 is a flowchart showing the content of the correction process in the first embodiment. FIG. 6 is a flowchart showing the contents of the interval adjustment process in the first embodiment. Hereinafter, after the execution of the correction process in the component mounting apparatus of FIG. 1 will be described with reference to FIGS. 5 and 6, an example of the execution interval of the correction process (hereinafter referred to as “correction interval”) will be described.

部品実装装置1では、部品実装を開始すると、主制御部85は補正処理の実行回数を示すカウント値Nをゼロにリセットする(ステップS1)とともに補正間隔を比較的短い初期間隔ΔT1(例えば1分)に設定する(ステップS2)。また、部品実装の開始直後は図4に示すようにX軸方向およびY軸方向のいずれにおいても誤差が比較的大きく変動することから、補正間隔を初期間隔ΔT1に維持したまま所定カウント値Nx(例えば3回)だけ実行する。すなわち、主制御部85はカウント値Nを「1」だけインクリメントし(ステップS3)、さらに補正間隔が経過するのを待った(ステップS4)後で補正処理を実行する(ステップS5)。このような処理(ステップS3〜S5)を主制御部85はカウント値Nが所定カウント値Nx未満の間、繰り返す(ステップS6)。例えば上記したように所定カウント値Nxを「3」に設定した場合、最初の3回の補正処理は常に短い補正間隔ΔT1で断続的に実行される。なお、当該3回の補正処理を行っている間に得られる基準マークの位置情報は順次記憶部86に記憶され、次に説明するように補正間隔の調整(ステップS7)に利用される。   In the component mounting apparatus 1, when component mounting is started, the main control unit 85 resets a count value N indicating the number of executions of correction processing to zero (step S1) and a relatively short initial interval ΔT1 (for example, 1 minute) ) (Step S2). Further, immediately after the start of component mounting, as shown in FIG. 4, the error fluctuates relatively greatly in both the X-axis direction and the Y-axis direction, so that the predetermined count value Nx ( For example, 3 times). That is, the main control unit 85 increments the count value N by “1” (step S3), waits for the correction interval to elapse (step S4), and executes the correction process (step S5). The main controller 85 repeats such processing (steps S3 to S5) while the count value N is less than the predetermined count value Nx (step S6). For example, when the predetermined count value Nx is set to “3” as described above, the first three correction processes are always executed intermittently with a short correction interval ΔT1. Note that the reference mark position information obtained during the three correction processes is sequentially stored in the storage unit 86 and used for adjustment of the correction interval (step S7) as described below.

一方、ステップS6でカウント値Nが所定カウント値Nx以上である、つまり部品実装の開始から一定時間以上経過したと判断すると、主制御部85は補正間隔の調整(ステップS7)を実行する。ここでは、上記補正処理(ステップS5)において少なくとも第1基準マークM1の位置情報が記憶され、図6に説明するように当該位置情報に基づいて補正間隔を調整するが、第1基準マークM1以外の基準マークM2〜M6の位置情報を用いる、あるいは複数の基準マークの位置情報に基づいて補正間隔の調整を行うことも可能である。   On the other hand, when it is determined in step S6 that the count value N is equal to or greater than the predetermined count value Nx, that is, a predetermined time or more has elapsed since the start of component mounting, the main control unit 85 adjusts the correction interval (step S7). Here, at least the position information of the first reference mark M1 is stored in the correction process (step S5), and the correction interval is adjusted based on the position information as described with reference to FIG. 6, except for the first reference mark M1. It is also possible to use the position information of the reference marks M2 to M6, or to adjust the correction interval based on the position information of a plurality of reference marks.

この補正間隔の調整(ステップS7)では、図6に示すように、主制御部85は記憶部86に記憶されている第1基準マークM1の位置情報のうち直近Nx回の位置情報を読み出し、第1基準マークM1の移動平均(Xave、Yave)を求める(ステップS71)。例えば、現時点でのカウント値Nが「4」であり、所定カウント値Nxが「3」の場合、1回目の補正処理で取得した第1基準マークM1のX軸方向の位置情報Xcur1(1)およびY軸方向の位置情報Ycur1(1)と、2回目の補正処理で取得した第1基準マークM1のX軸方向の位置情報Xcur1(2)およびY軸方向の位置情報Ycur1(2)と、3回目の補正処理で取得した第1基準マークM1のX軸方向の位置情報Xcur1(3)およびY軸方向の位置情報Ycur1(3)とに基づき、次式、
Xave=Xave(1-3)=(Xcur1(1)+Xcur1(2)+Xcur1(3))/3
Yave=Yave(1-3)=(Ycur1(1)+Ycur1(2)+Ycur1(3))/3
にしたがって移動平均(Xave、Yave)が算出される。
In the adjustment of the correction interval (step S7), as shown in FIG. 6, the main control unit 85 reads the position information of the latest Nx times from the position information of the first reference mark M1 stored in the storage unit 86, A moving average (Xave, Yave) of the first reference mark M1 is obtained (step S71). For example, when the current count value N is “4” and the predetermined count value Nx is “3”, the position information Xcur1 (1) in the X-axis direction of the first reference mark M1 acquired in the first correction process. Position information Ycur1 (1) in the Y axis direction, position information Xcur1 (2) in the X axis direction of the first reference mark M1 acquired in the second correction process, and position information Ycur1 (2) in the Y axis direction, Based on the position information Xcur1 (3) in the X-axis direction and the position information Ycur1 (3) in the Y-axis direction of the first reference mark M1 acquired in the third correction process,
Xave = Xave (1-3) = (Xcur1 (1) + Xcur1 (2) + Xcur1 (3)) / 3
Yave = Yave (1-3) = (Ycur1 (1) + Ycur1 (2) + Ycur1 (3)) / 3
The moving average (Xave, Yave) is calculated according to

この移動平均の算出(ステップS71)と同時あるいは前後して、主制御部85はヘッドユニット6を第1基準マークM1に向けて移動させ、部品検査カメラ91により第1基準マークM1を撮像する(ステップS72)。そして、主制御部85は撮像されたマーク画像に基づいて現時点での第1基準マークM1の位置情報(Xcur、Ycur)を取得した(ステップS73)後、X軸方向およびY軸方向における第1基準マークM1の誤差ΔX、ΔYを次式
ΔX=|Xcur−Xave|
ΔY=|Ycur−Yave|
で算出する(ステップS74)。さらに、主制御部85は第1基準マークM1の最大誤差Max(ΔX、ΔY)を求め、その値に応じて補正間隔を調整する(ステップS75〜S79)。より具体的には、図6に示すように、最大誤差Max(ΔX、ΔY)が比較的大きな値D1(例えば5μm)以上である(ステップS75で「YES」)場合には、補正間隔を初期間隔ΔT1に設定する(ステップS76)。また、最大誤差Max(ΔX、ΔY)が値D1よりも小さいものの、誤差許容値D2(例えば3μm)を超えている(ステップS77で「YES」)場合には、補正間隔を初期間隔ΔT1よりも長い間隔ΔT2(例えば5分)に設定する(ステップS78)。さらに、最大誤差Max(ΔX、ΔY)が誤差許容値D2以下となっている(ステップS77で「NO」)場合には、補正間隔をさらに長い間隔ΔT3(例えば30分)に設定する(ステップS79)。
At the same time as or before or after the calculation of the moving average (step S71), the main controller 85 moves the head unit 6 toward the first reference mark M1, and images the first reference mark M1 by the component inspection camera 91 ( Step S72). Then, the main control unit 85 acquires the current position information (Xcur, Ycur) of the first reference mark M1 based on the captured mark image (step S73), and then the first control in the X-axis direction and the Y-axis direction. The error ΔX, ΔY of the reference mark M1 is expressed by the following equation: ΔX = | Xcur−Xave |
ΔY = | Ycur−Yave |
(Step S74). Further, the main control unit 85 obtains the maximum error Max (ΔX, ΔY) of the first reference mark M1, and adjusts the correction interval according to the value (steps S75 to S79). More specifically, as shown in FIG. 6, when the maximum error Max (ΔX, ΔY) is not less than a relatively large value D1 (eg, 5 μm) (“YES” in step S75), the correction interval is set to the initial value. The interval ΔT1 is set (step S76). If the maximum error Max (ΔX, ΔY) is smaller than the value D1, but exceeds the error tolerance D2 (eg, 3 μm) (“YES” in step S77), the correction interval is set to be greater than the initial interval ΔT1. A long interval ΔT2 (for example, 5 minutes) is set (step S78). Further, when the maximum error Max (ΔX, ΔY) is equal to or smaller than the allowable error value D2 (“NO” in step S77), the correction interval is set to a longer interval ΔT3 (for example, 30 minutes) (step S79). ).

こうして補正間隔の調整が完了すると、図5に示すように、ステップS3に戻って次の補正処理を実行する。   When the adjustment of the correction interval is completed in this way, as shown in FIG. 5, the process returns to step S3 to execute the next correction process.

以上のように、本実施形態では、部品の実装を行っている間に、補正処理(ステップS5)を断続的に行っているため、ヘッドユニット6を常に適正な位置に移動させることができ、部品実装作業を高精度に、しかも安定して実行することができる。   As described above, in the present embodiment, since the correction process (step S5) is intermittently performed while the components are being mounted, the head unit 6 can always be moved to an appropriate position. The component mounting operation can be executed with high accuracy and stability.

また、第1基準マークM1の位置情報(Xcur、Ycur)を経時的に求め、さらに最大誤差(本発明の「位置情報の経時変化の変動量」に相当)を求めている。そして、最大誤差に応じて補正間隔(補正処理の実行間隔)を調整し、上述したように熱変位の特性に応じた補正処理を行っている。このように補正処理の実行間隔を適正化することができ、過剰な補正処理の実行を排除してタクトタイムを短縮することができる。   Further, the position information (Xcur, Ycur) of the first reference mark M1 is obtained over time, and the maximum error (corresponding to “a variation amount of position information with time” of the present invention) is obtained. Then, the correction interval (correction processing execution interval) is adjusted according to the maximum error, and the correction processing according to the thermal displacement characteristics is performed as described above. Thus, the execution interval of the correction process can be optimized, and the tact time can be shortened by eliminating the excessive correction process.

さらに、最大誤差の大きさに応じて補正間隔の延長を2段階に設定しているため、最大誤差が小さくなる、つまり熱変位が小さくなるのに伴って補正間隔を多段階に広げている。このように熱変位の特性にきめ細かく対応して補正処理の実行間隔を調整しているため、タクトタイムをさらに効果的に短縮することができる。   Further, since the extension of the correction interval is set in two steps according to the magnitude of the maximum error, the correction interval is extended in multiple steps as the maximum error becomes smaller, that is, as the thermal displacement becomes smaller. As described above, since the execution interval of the correction process is adjusted correspondingly to the thermal displacement characteristic, the tact time can be further effectively shortened.

図7は図1に示す部品実装装置で実行された補正処理および補正間隔の調整処理の一例を示す図である。また、図8は第1実施形態における補正間隔の一例である。なお、図7の縦方向が時間経過を示している。また、この具体例では、所定カウント値Nxは「3」に設定され、間隔ΔT1、ΔT2、ΔT3は
ΔT1<ΔT2<ΔT3
に設定されている。また、補正処理は基準マークM1〜M3に基づいて実行される。さらに、値D1、D2はそれぞれ「5μm」、「3μm」に設定されている。
FIG. 7 is a diagram illustrating an example of correction processing and correction interval adjustment processing executed in the component mounting apparatus shown in FIG. FIG. 8 is an example of a correction interval in the first embodiment. In addition, the vertical direction of FIG. 7 has shown time passage. In this specific example, the predetermined count value Nx is set to “3”, and the intervals ΔT1, ΔT2, and ΔT3 are ΔT1 <ΔT2 <ΔT3.
Is set to The correction process is executed based on the reference marks M1 to M3. Further, the values D1 and D2 are set to “5 μm” and “3 μm”, respectively.

この具体例では、部品実装の開始から補正間隔として時間ΔT1経過すると、各基準マークM1〜M3の位置情報((Xcur1(1)、Ycur1(1))、(Xcur2(1)、Ycur2(1))、(Xcur3(1)、Ycur3(1)))が取得され、それらに基づいて補正演算が実行され、ヘッドユニット6の移動が補正される。その後、1回目と同様に、補正間隔ΔT1の経過後に補正処理が実行される。   In this specific example, when the time ΔT1 elapses as the correction interval from the start of component mounting, the position information ((Xcur1 (1), Ycur1 (1)), (Xcur2 (1), Ycur2 (1)) of the reference marks M1 to M3. ), (Xcur3 (1), Ycur3 (1))) are acquired, and based on these, a correction calculation is executed, and the movement of the head unit 6 is corrected. Thereafter, as in the first time, correction processing is executed after the correction interval ΔT1 has elapsed.

そして、3回目の補正処理が完了すると、それ以降においては補正処理が実行される毎に補正間隔の調整が実行される。この時点でのX軸方向での誤差ΔXは、図8に示すように、「0μm」程度であるが、Y軸方向での誤差ΔYは「11μm」程度もあり、補正間隔は間隔ΔT1に維持されている。そして、3回目の補正処理から補正間隔として時間ΔT1経過すると、各基準マークM1〜M3の位置情報((Xcur1(4)、Ycur1(4))、(Xcur2(4)、Ycur2(4))、(Xcur3(4)、Ycur3(4)))が取得され、それらに基づいて補正演算が実行され、ヘッドユニット6の移動が補正される(4回目の補正処理)。   When the third correction process is completed, the correction interval is adjusted each time the correction process is executed. The error ΔX in the X-axis direction at this point is about “0 μm” as shown in FIG. 8, but the error ΔY in the Y-axis direction is about “11 μm”, and the correction interval is maintained at the interval ΔT1. Has been. Then, when the time ΔT1 has elapsed as the correction interval from the third correction process, the position information ((Xcur1 (4), Ycur1 (4)), (Xcur2 (4), Ycur2 (4)) of the reference marks M1 to M3), (Xcur3 (4), Ycur3 (4))) is acquired, and based on these, a correction calculation is performed, and the movement of the head unit 6 is corrected (fourth correction process).

また、4回目の補正処理が完了すると、再び補正間隔の調整が実行される。そして、先と同様にして補正間隔の調整処理が実行されるが、ここでは、誤差ΔX、ΔYはともに値D1と値D2との間に収まっているため、補正間隔は間隔ΔT1から間隔ΔT2に広げられる。したがって、次の6回目の補正処理は前回までよりも長い間隔ΔT2だけ待った上で実行される。なお、それ以降も補正処理が完了する毎に補正間隔の調整処理が実行され、図8に示すように部品実装の開始からの時間経過に伴って補正間隔を広げることが多くなり、補正処理の回数が削減されてタクトタイムを大幅に短縮することができる。   When the fourth correction process is completed, the correction interval is adjusted again. Then, the correction interval adjustment process is executed in the same manner as described above. Here, since the errors ΔX and ΔY are both within the values D1 and D2, the correction interval is changed from the interval ΔT1 to the interval ΔT2. Can be spread. Accordingly, the next sixth correction process is executed after waiting for a longer interval ΔT2 than before. After that, every time the correction process is completed, a correction interval adjustment process is performed, and as shown in FIG. 8, the correction interval is often increased with the lapse of time from the start of component mounting. The number of times can be reduced and the tact time can be greatly reduced.

図9は本発明にかかる部品実装装置の第2実施形態で実行される補正処理の内容を示すフローチャートである。また、図10は第2実施形態における間隔調整処理の内容を示すフローチャートである。この第2実施形態が第1実施形態と大きく相違するのは次の点である。つまり、第1実施形態では、最初のNx回については補正間隔の調整を行うことなく補正処理を行うものの、それ以降においては補正間隔の調整(=基準マークM1の移動平均の所得+基準マークM1の撮像による位置情報の取得+補正間隔の決定)を行った後で補正処理を実行している。これに対し、第2実施形態では、図9に示すように、補正処理(ステップS5)後に補正処理の回数(カウント値N)が所定回数Nxを超えているか否かを判定しており(ステップS8)、Nが超えていない間はステップS3に戻って補正処理を行うように構成している。つまり、最初の(Nx+1)回については補正間隔の調整を行うことなく補正処理を行っている。   FIG. 9 is a flowchart showing the contents of the correction processing executed in the second embodiment of the component mounting apparatus according to the present invention. FIG. 10 is a flowchart showing the contents of the interval adjustment process in the second embodiment. The second embodiment is greatly different from the first embodiment in the following points. That is, in the first embodiment, the correction process is performed without adjusting the correction interval for the first Nx times, but after that, the correction interval is adjusted (= moving average income of the reference mark M1 + reference mark M1). The correction processing is executed after the acquisition of the position information by the imaging of the above and the determination of the correction interval. On the other hand, in the second embodiment, as shown in FIG. 9, it is determined whether the number of correction processes (count value N) exceeds a predetermined number Nx after the correction process (step S5) (step S5). S8) As long as N does not exceed, the process returns to step S3 and correction processing is performed. That is, the correction process is performed without adjusting the correction interval for the first (Nx + 1) times.

また、上記ステップS8で「YES」と判定する、つまり(Nx+1)回目以降の補正処理が完了した時点で図10に示す補正間隔の調整を行っている(ステップS9)。すなわち、主制御部85は第1実施形態と同様にして第1基準マークM1の移動平均を求める(ステップS91)のと同時あるいは前後して、最新の補正処理(N回目の補正処理)中に得られた第1基準マークM1の位置情報を記憶部86から読み出す(ステップS92)。そして、それ以降、主制御部85は、第1実施形態と同様に、誤差ΔX、ΔYを算出し(ステップS93)、第1基準マークM1の最大誤差Max(ΔX、ΔY)を求め(ステップS94)、その値に応じて補正間隔を調整する(ステップS94〜S98)。   In addition, when “YES” is determined in Step S8, that is, when the (Nx + 1) th and subsequent correction processes are completed, the correction interval shown in FIG. 10 is adjusted (Step S9). That is, the main control unit 85 performs the latest correction process (Nth correction process) at the same time as or after the moving average of the first reference mark M1 (step S91) in the same manner as in the first embodiment. The position information of the obtained first reference mark M1 is read from the storage unit 86 (step S92). Thereafter, as in the first embodiment, the main control unit 85 calculates the errors ΔX and ΔY (step S93) and obtains the maximum error Max (ΔX, ΔY) of the first reference mark M1 (step S94). ), The correction interval is adjusted according to the value (steps S94 to S98).

以上のように、第2実施形態では、第1実施形態と同様に、部品の実装を行っている間に、補正処理(ステップS75)を断続的に行うとともに、第1基準マークM1の最大誤差に応じて補正間隔(補正処理の実行間隔)を調整しているため、第1実施形態と同様の作用効果が得られる。さらに、補正間隔の調整を行う直前に実行された補正処理で取得された第1基準マークM1の位置情報をそのまま用いて第1基準マークM1の最大誤差を求めているため、第1基準マークM1の撮像動作(ステップS72)が不要となり、タクトタイムをさらに短縮することができる。   As described above, in the second embodiment, as in the first embodiment, the correction process (step S75) is intermittently performed while the components are being mounted, and the maximum error of the first reference mark M1 is performed. Since the correction interval (correction processing execution interval) is adjusted according to the above, the same effect as the first embodiment can be obtained. Furthermore, since the maximum error of the first reference mark M1 is obtained by using the position information of the first reference mark M1 obtained in the correction process executed immediately before the adjustment of the correction interval as it is, the first reference mark M1 is obtained. Imaging operation (step S72) is not required, and the tact time can be further shortened.

上述のように、上記した実施形態では、X軸サーボモータ65およびY軸サーボモータ67が本発明の「ヘッド駆動機構」の一例に相当している。また、部品検査カメラ91が本発明の「撮像部」の一例に相当している。また、主制御部85が本発明の「補正処理部」、「間隔調整部」、「コンピュータ」の一例に相当し、プログラム861が本発明の「部品実装装置の制御用プログラム」に相当している。また、第1基準マークM1が本発明の「基準マーク」の一例に相当している。   As described above, in the above-described embodiment, the X-axis servo motor 65 and the Y-axis servo motor 67 correspond to an example of the “head drive mechanism” of the present invention. The component inspection camera 91 corresponds to an example of the “imaging unit” of the present invention. The main control unit 85 corresponds to an example of “correction processing unit”, “interval adjustment unit”, and “computer” of the present invention, and the program 861 corresponds to “control program for component mounting apparatus” of the present invention. Yes. The first reference mark M1 corresponds to an example of the “reference mark” in the present invention.

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、上記実施形態では、部品実装作業を繰り返している間に補正間隔を調整しているが、部品実行作業を停止した際には次に説明するように適宜、補正間隔を広げるように構成するのが望ましい。というのも、部品実装作業を停止すると、部品実装装置1の内部温度は時間経過に伴って低下するからである。停止時点で部品実装装置1の内部が例えば温間状態(熱変位が飽和あるいはほぼ飽和している状態)になっていたとしても、停止時間が長くなると、冷間状態(熱変位が不飽和となっている状態)に移行する。そこで、主制御部85が部品の実装を停止している停止時間を計測し、一定値を超えると、冷間状態に移行したと判断し、補正間隔を狭める、例えば初期間隔ΔT1に戻すように構成してもよい。これにより、部品の実装を再開した直後の補正処理を冷間状態に対応した間隔で実行することができ、再開直後であっても部品実装作業を高精度に行うことができる。この実施形態では、主制御部85が本発明の「停止時間計測部」として機能する。   The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made to the above-described one without departing from the spirit of the present invention. For example, in the above embodiment, the correction interval is adjusted while the component mounting operation is repeated. However, when the component execution operation is stopped, the correction interval is appropriately increased as described below. Is desirable. This is because when the component mounting operation is stopped, the internal temperature of the component mounting apparatus 1 decreases with time. Even if the inside of the component mounting apparatus 1 is in a warm state (a state where the thermal displacement is saturated or almost saturated) at the time of the stop, if the stop time becomes long, the cold state (the thermal displacement becomes unsaturated). Shift to the state). Therefore, the main control unit 85 measures the stop time during which the mounting of the components is stopped, and if it exceeds a certain value, it is determined that it has shifted to the cold state, and the correction interval is narrowed, for example, returned to the initial interval ΔT1. It may be configured. Thereby, the correction process immediately after restarting the mounting of components can be executed at intervals corresponding to the cold state, and the component mounting work can be performed with high accuracy even immediately after the restart. In this embodiment, the main control unit 85 functions as the “stop time measuring unit” of the present invention.

また、上記実施形態では、第1基準マークM1に基づいて最大誤差(本発明の「変動量」に相当)を求めているが、その他の基準マークM2〜M6に基づいて最大誤差を求めてもよい。また、複数の基準マークの位置情報を用いて最大誤差を求めるようにしてもよく、部品実装装置1内の各部での熱変位を詳細にモニターすることができ、補正間隔の調整精度を高めることができる。ただし、その一方で各基準マークを部品検査カメラ91によって撮像する必要があり、タクトタイムの短縮化には不利となる。そこで、複数の基準マークのうち最初に部品検査カメラ91により撮像された最先基準マークに関する誤差(変動量)が所定値よりも小さいときには、残りの基準マークの部品検査カメラ91による撮像を省略してもよい。   In the above embodiment, the maximum error (corresponding to the “variation amount” of the present invention) is obtained based on the first reference mark M1, but the maximum error may be obtained based on the other reference marks M2 to M6. Good. In addition, the maximum error may be obtained by using the position information of a plurality of reference marks, the thermal displacement in each part in the component mounting apparatus 1 can be monitored in detail, and the adjustment accuracy of the correction interval can be improved. Can do. However, on the other hand, each reference mark needs to be imaged by the component inspection camera 91, which is disadvantageous for shortening the tact time. Therefore, when the error (variation amount) regarding the earliest reference mark first captured by the component inspection camera 91 among the plurality of reference marks is smaller than a predetermined value, the remaining reference marks are not captured by the component inspection camera 91. May be.

また、上記実施形態では、部品検査カメラ91を基準マークM1〜M6の撮像用して兼用しているが、基準マークM1〜M6を撮像する専用の撮像部を設けてもよい。   In the above embodiment, the component inspection camera 91 is also used for imaging the reference marks M1 to M6. However, a dedicated imaging unit that images the reference marks M1 to M6 may be provided.

また、上記実施形態では、最大誤差の大きさに応じた補正間隔の広がりを2段階としているが、1段階に設定したり、逆に3段階以上に設定してもよい。   In the above embodiment, the correction interval spread according to the magnitude of the maximum error is set to two stages, but may be set to one stage, or conversely, may be set to three or more stages.

この発明は、ヘッドユニットにより部品を基板に実装する部品実装技術全般に適用可能である。   The present invention can be applied to all component mounting techniques for mounting components on a substrate using a head unit.

1…部品実装装置
6…ヘッドユニット
8…制御ユニット
65…X軸サーボモータ(ヘッド駆動機構)
67…Y軸サーボモータ(ヘッド駆動機構)
85…主制御部(補正処理部、間隔調整部、停止時間計測部、コンピュータ)
91…部品検査カメラ(撮像部)
852…補正処理部
853…間隔調整部
861…プログラム
862…記録媒体
M1〜M6…基準マーク
P…電子部品
S…基板
Xcur1〜Xcur3、Ycur1〜Ycur3…位置情報
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Component mounting apparatus 6 ... Head unit 8 ... Control unit 65 ... X-axis servomotor (head drive mechanism)
67 ... Y-axis servo motor (head drive mechanism)
85 ... Main control unit (correction processing unit, interval adjustment unit, stop time measurement unit, computer)
91 ... Parts inspection camera (imaging part)
852 ... Correction processing unit 853 ... Interval adjustment unit 861 ... Program 862 ... Recording medium M1-M6 ... Reference mark P ... Electronic component S ... Substrate Xcur1-Xcur3, Ycur1-Ycur3 ... Position information

Claims (8)

基板に部品を実装するヘッドユニットと、
前記ヘッドユニットを駆動するヘッド駆動機構と、
予め設定された位置に固定された基準マークを撮像する撮像部と、
前記ヘッド駆動機構を制御して前記ヘッドユニットによる前記基板への前記部品の実装を制御する制御ユニットと、を備え、
前記制御ユニットは、
前記部品の実装を行っている間に、前記撮像部により撮像された前記基準マークの位置情報の経時変化に基づいて前記ヘッド駆動機構による前記ヘッドユニットの移動を補正する補正処理を断続的に実行する補正処理部と、
前記経時変化の変動量に応じて前記補正処理の実行間隔を調整する間隔調整部と、
を有することを特徴とする部品実装装置。
A head unit for mounting components on the board;
A head driving mechanism for driving the head unit;
An imaging unit for imaging a reference mark fixed at a preset position;
A control unit for controlling the head driving mechanism to control the mounting of the component on the substrate by the head unit, and
The control unit is
While the component is being mounted, a correction process for correcting the movement of the head unit by the head driving mechanism is intermittently executed based on the change over time of the position information of the reference mark imaged by the imaging unit. A correction processing unit to
An interval adjustment unit that adjusts an execution interval of the correction process according to a variation amount of the temporal change;
A component mounting apparatus comprising:
請求項1に記載の部品実装装置であって、
前記間隔調整部は、前記変動量が小さくなるのに伴って前記実行間隔を広げる部品実装装置。
The component mounting apparatus according to claim 1,
The interval adjusting unit is a component mounting apparatus that expands the execution interval as the variation amount decreases.
請求項2に記載の部品実装装置であって、
前記間隔調整部は、前記変動量に応じて前記実行間隔を多段階で広げる部品実装装置。
The component mounting apparatus according to claim 2,
The said space | interval adjustment part is a component mounting apparatus which extends the said execution space | interval in multiple steps according to the said variation | change_quantity.
請求項2または3に記載の部品実装装置であって、
前記制御ユニットは、前記部品の実装を停止している停止時間を計測する停止時間計測部を有しており、
前記間隔調整部は、前記停止時間計測部により計測された停止時間が一定値を超えると、前記実行間隔を狭める部品実装装置。
The component mounting apparatus according to claim 2 or 3,
The control unit has a stop time measuring unit that measures a stop time during which the mounting of the component is stopped,
The interval adjusting unit is a component mounting apparatus that narrows the execution interval when the stop time measured by the stop time measuring unit exceeds a certain value.
請求項1ないし4のいずれか一項に記載の部品実装装置であって、
前記基準マークは、互いに異なる位置に複数個設けられ、
前記制御ユニットは、前記複数の基準マークのうち最初に前記撮像部により撮像された最先基準マークに関する前記変動量が所定値よりも小さいときには、残りの基準マークの前記撮像部による撮像を省略する部品実装装置。
The component mounting apparatus according to any one of claims 1 to 4,
A plurality of the reference marks are provided at different positions,
The control unit omits imaging of the remaining reference marks by the imaging unit when the variation amount related to the earliest reference mark first captured by the imaging unit among the plurality of reference marks is smaller than a predetermined value. Component mounting equipment.
ヘッドユニットを移動させて前記ヘッドユニットにより基板に部品を実装する部品実装方法であって、
前記部品の実装を繰り返して行っている間に、予め設定された位置に固定された基準マークを撮像して得られる前記基準マークの画像から前記基準マークの位置情報の経時変化を求め、当該経時変化に基づいて前記ヘッドユニットの移動を補正する補正処理を断続的に実行する工程と、
前記経時変化の変動量に応じて前記補正処理の実行間隔を調整する工程と、
を有することを特徴とする部品実装方法。
A component mounting method for moving a head unit and mounting a component on a substrate by the head unit,
While the mounting of the component is repeatedly performed, a change with time of the position information of the reference mark is obtained from an image of the reference mark obtained by imaging a reference mark fixed at a preset position. A step of intermittently performing a correction process for correcting the movement of the head unit based on a change;
Adjusting the execution interval of the correction process according to the variation amount of the change over time;
A component mounting method characterized by comprising:
ヘッドユニットを移動させて前記ヘッドユニットにより基板に部品を実装する部品実装装置の制御用プログラムであって、
前記部品の実装を繰り返して行っている間に、予め設定された位置に固定された基準マークを撮像して得られる前記基準マークの画像から前記基準マークの位置情報の経時変化を求め、当該経時変化に基づいて前記ヘッドユニットの移動を補正する補正処理を断続的に実行する補正機能と、
前記経時変化の変動量に応じて前記補正処理の実行間隔を調整する間隔調整機能と、をコンピュータに実現させることを特徴とする部品実装装置の制御用プログラム。
A program for controlling a component mounting apparatus that moves a head unit and mounts a component on a board by the head unit,
While the mounting of the component is repeatedly performed, a change with time of the position information of the reference mark is obtained from an image of the reference mark obtained by imaging a reference mark fixed at a preset position. A correction function that intermittently executes correction processing for correcting movement of the head unit based on a change;
A program for controlling a component mounting apparatus, which causes a computer to realize an interval adjustment function for adjusting an execution interval of the correction processing in accordance with a variation amount of the temporal change.
請求項7に記載の部品実装装置の制御用プログラムが記録されたことを特徴とする記録媒体。   8. A recording medium on which the control program for the component mounting apparatus according to claim 7 is recorded.
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