JP2017181625A - 電気光学装置、電気光学ユニットおよび電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本発明を適用した投射型表示装置に設けられた光学系の一例を模式的に示す説明図である。図1に示す投射型表示装置1000(電子機器)は、光源部1002と、光源部1002から照射された光源光を画像情報に応じて変調する電気光学装置100と、電気光学装置100で変調された光を投射画像としてスクリーン等の被投射物1100に投射する投射光学系1004とを有している。光源部1002は、光源1020と、カラーフィルター1030とを備えている。光源1020は、光源光として白色光を出射し、カラーフィルター1030は、回転に伴って各色の光を出射し、電気光学装置100は、カラーフィルター1030の回転に同期したタイミングで、入射した光を変調する。なお、カラーフィルター1030に代えて、光源1020から出射された光を各色の光に変換する蛍光体基板を用いてもよい。また、各色の光毎に光源部1002および電気光学装置100を設けてもよい。
図2は、本発明を適用した電気光学装置100の基本構成の一例を模式的に示す説明図であり、図2には、その一部を分解した様子も示してある。図3は、本発明を適用した電気光学装置100のミラー50周辺の断面を模式的に示す説明図であり、図3には、ミラー50が一方側に傾いた状態、およびミラー50が他方側に傾いた状態を示してある。
図4は、本発明を適用した電気光学装置100の平面構成を模式的に示す説明図である。図5は、本発明を適用した電気光学装置100全体の断面を模式的に示すX1−X1′断面図である。図6は、本発明を適用した電気光学装置100全体の断面を模式的に示すY1−Y1′断面図である。
本形態の電気光学装置100において、配線基板90の底板部91には、第1面901と第2面902との間に柱状の金属部材98が設けられており、金属部材98は、第1面901および第2面902で露出している。金属部材98は、アルミニウムや銅等の熱伝導率の高い金属からなる。かかる金属部材98は、例えば、配線基板90の配線部95の多層配線を形成する工程を利用して形成される。この場合、金属部材98と配線部95の多層配線とは同一の金属からなる。
図7は、本発明を適用した電気光学ユニット180の平面構成を示す説明図である。図8は、本発明を適用した電気光学ユニット180の断面を示す説明図である。
図9、図10および図11を参照して、本発明を適用した電気光学装置100の製造方法を説明する。図9は、本発明を適用した電気光学装置100の製造方法を示す工程断面図である。図10は、本発明を適用した電気光学装置100の製造に用いた第2ウエハー20等の製造方法を示す工程図であり、図10には、各工程におけるウエハーの平面図を示すとともに、平面図の下段には切断端面図を示してある。図11は、本発明を適用した電気光学装置100の製造工程において配線基板90および封止材88によって素子基板1を封止する工程を示す工程断面図である。図10ではミラー50等の図示を省略し、図9では、図4と比べてミラー50の数を減らして3つのミラー50が1枚の素子基板1に形成されるものとして示してある。
以上説明したように、本形態の電気光学装置100において、配線基板90には、第1面901および第2面902で露出する金属部材98と、第3面903から第4面904まで延在して金属部材98と接する貫通穴99(第1貫通穴991および第2貫通穴992)とが設けられている。このため、チップ2の温度が上昇しても、チップ2の熱を金属部材98に効率よく逃がすことができる。また、金属部材98の熱を、貫通穴99(第1貫通穴991および第2貫通穴992)を流れる空気によって逃がすことができる。また、貫通穴99は、第1貫通穴991および第2貫通穴992として、金属部材98の両側に2列設けられているため、金属部材98の熱を、貫通穴99を流れる空気によって、より効率よく逃がすことができる。従って、チップ2の温度上昇を抑制することができるので、電気光学装置100の信頼性の低下を抑制することができる。
上記実施の形態では、チップ2が金属部材98と接着層97を介して接している構成であったが、チップ2が金属部材98と直接、接している構成であってもよい。
Claims (8)
- 第1端子が設けられた第1面、前記第1面とは反対側の第2面、前記第2面に接続する第3面、および前記第3面とは反対側の第4面を備えた配線基板と、
前記第1面に搭載され、ミラー、前記ミラーを駆動する駆動素子、および前記駆動素子と電気的に接続された第2端子を備えたチップと、
前記第1端子と前記第2端子とを接続する導電部材と、
を有し、
前記配線基板には、前記第1面と前記第2面との間に設けられて前記第1面および前記第2面で露出する金属部材と、前記第3面から前記第4面まで延在して前記金属部材と接する第1貫通穴と、が設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1に記載の電気光学装置において、
前記配線基板には、前記第3面から前記第4面まで延在して前記金属部材に対して前記第1貫通穴とは反対側から接する第2貫通穴が設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1または2に記載の電気光学装置において、
前記チップは、前記金属部材と重なる位置に設けられていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項3に記載の電気光学装置において、
前記チップは、前記金属部材と直接、または接着層を介して接していることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1乃至4の何れか一項に記載の電気光学装置において、
前記配線基板には、前記第2面に設けられた第3端子と、前記第1面と前記第2面との間で前記第1端子と前記第3端子とを接続する配線部と、を有することを特徴とする電気光学装置。 - 請求項5に記載の電気光学装置において、
前記第1端子および前記第3端子は、前記第3面から前記第4面に向けて複数配列されていることを特徴とする電気光学装置。 - 請求項1乃至6の何れか一項に記載の電気光学装置を有する電気光学ユニットであって、
前記第3面に向けて送風する送風器を有することを特徴とする電気光学ユニット。 - 請求項1乃至6の何れか一項に記載の電気光学装置を備えた電子機器であって、
前記ミラーに光源光を照射する光源部を有することを特徴とする電子機器。
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