JP2017181323A - 走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】走査型白色干渉顕微鏡により得られた計測信号のデータを有効に活用し、信号中のピークを可能な限り正確に検出する三次元形状計測方法を提供する。【解決手段】走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法において、走査型白色干渉顕微鏡が取得した、計測対象である試料の全ての計測信号のデータを保持する。【選択図】図3
Description
本発明は、白色光源を用いた干渉計測により三次元形状計測を行う方法に関する。
走査型白色干渉顕微鏡は干渉信号から高さ情報に変換することで三次元計測を行う装置であり、得られる干渉信号から各種計算をして表面形状、高さ、段差、膜厚、表面粗さ、同種材・異種材等の判定をする。
例えば特許文献1では、得られた干渉信号から包絡線のピーク位置と位相0の位置との関係から材料の異種・同種を判定して表面形状を測定する方法が述べられている。特許文献2では、薄膜が存在する場合に干渉パターンが重なり合って歪め合う場合に、テンプレートを用いることでピーク分離する方法が記載されている。特許文献3では、干渉信号のS/N比(信号ノイズ比)を向上させるために光源のLEDを点滅させる手法を採用している。
従来より光線光学の分野では、走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元計測において、使用する対物レンズのNA(numerical aperture;開口数)以上の光は戻ってこない、または検出できないと考えられてきた。このため対物レンズのNAを越えた傾斜面の計測は難しいと考えられてきた。しかしながら波動光学の観点からは、NAを越えた部分の光も散乱光として戻ってきて干渉信号を生成する。
また、現実の物体の表面には小さな凹凸があるため、NAを越えていても局所的には角度としては光が戻ってくる。
しかしながら、上述したような散乱光はNAより小さい部分に比べて弱いため、バックグラウンドノイズからこの弱い散乱光をいかにして取り出すかが、重要なポイントとなる。
光と物体の干渉信号が大きい時には位相を用いて精密にnmのオーダで高さを求めることができるが、高傾斜面において得られる信号は小さいため、位相情報にもノイズがのりやすい。そして、得られた干渉信号を高さに変換して生の干渉信号を捨ててしまうと、強度が小さく、誤検出しやすい干渉信号の部分について、後工程で再処理を行うことが困難となる。
また、現在は100万画素以上のカメラが主流であり、得られるデータ数が非常に多いため(100μmスキャンデータに対して約1GBのデータ量となる)、リアルタイムに計算を行うことは難しい。
従来の計測においては処理の負荷を考慮し、干渉信号が所定の強度を示した部分のデータのみをもっぱら処理し、他の部分のデータは破棄していた。しかしながら、本来は検出しなくてはいけないがノイズに埋もれがちな弱い信号を破棄するおそれもあり、計測の精度が低下する可能性がある。特に装置の解像度が大きくなればなるほどこの問題は深刻となる。
本発明は、走査型白色干渉顕微鏡により得られた計測信号のデータを有効に活用し、試料の特性をより正確に検出する技術を提供することにある。
本発明の走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法は、走査型白色干渉顕微鏡により取得した、試料の全ての計測信号のデータを保持するものである。
本発明によれば、得られた計測信号をより有効に活用することができ、試料の特性をより正しく検出することができるようになる。
以下、本発明に係る走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法の好適な実施形態を、図1〜図6に基づいて詳述する。
(走査型白色干渉顕微鏡の概要説明)
図1は、本発明の実施の形態に係る走査型白色干渉顕微鏡の全体構成図である。走査型白色干渉顕微鏡100は、装置本体10と、計測対象の試料Sが載置されたステージ20と、得られたデータを処理するコンピュータ(プロセッサ)30とを含む。装置本体10は、白色光源11と、フィルタ12と、ビームスプリッタ13と、二光束干渉対物レンズ14と、カメラ15と、ピエゾアクチュエータ16と、を含む。
図1は、本発明の実施の形態に係る走査型白色干渉顕微鏡の全体構成図である。走査型白色干渉顕微鏡100は、装置本体10と、計測対象の試料Sが載置されたステージ20と、得られたデータを処理するコンピュータ(プロセッサ)30とを含む。装置本体10は、白色光源11と、フィルタ12と、ビームスプリッタ13と、二光束干渉対物レンズ14と、カメラ15と、ピエゾアクチュエータ16と、を含む。
矢印Aで示すように白色光源11から出射された光(白色光)は、フィルタ(例えば波長フィルタ、偏光フィルタなど)12を通過した後、ビームスプリッタ13で二光束干渉対物レンズ14へ導かれる(矢印B)。光は二光束干渉対物レンズ14内のビームスプリッタで、計測対象物(試料Sおよびその内部の物質)側へ向かう第2の光と、図示せぬ参照ミラー側へ向かう第2の光の2つに分割される。二光束干渉対物レンズ14内のビームスプリッタから計測対象物までの光学距離と、当該ビームスプリッタから参照ミラーまでの光学距離が等しくなった時に、計測信号が2つの光の干渉信号の形態で観測可能となり、カメラ15がこの干渉信号を干渉縞(干渉パターン)として撮像し、干渉信号がコンピュータ30に保持、格納される。また、図1の実施形態では、ビームスプリッタ13から図示せぬ参照ミラーまでの距離が固定されているため、ピエゾアクチュエータ16を用いて掃引させることにより(矢印Cの動き)、計測対象物との距離を変化させている。走査型白色干渉顕微鏡100はコヒーレンス長の短い白色光源を用いるため(コヒーレンス長〜1μm)、干渉信号が得られた位置が、計測対象物が存在するZ位置(深さ位置)となる。
図2は、ピエゾアクチュエータ16で掃引しながら、フレームレートに従って取得したカメラ15にて撮像された干渉信号を示す概念図である。フレームレートに従って得られる各フレームH1,H2,・・・Hn,Hn+1,・・・(Hnはフレーム番号であって、所定の深さ(深度)に相当)中のX座標、Y座標における輝度情報Gがそれぞれのフレームごとに保持され、コンピュータ30に保持される。すなわち、各座標(xi,yi)に輝度情報G(xi,yi)が対応付けられた[xi,yi,G(xi,yi)]の形式で、各フレームのデータ(フレームデータ)は構成される。[xi,yi,G(xi,yi)]の形式であるフレームデータは、干渉縞(干渉パターン)に対応した各座標の輝度によって構成される干渉信号のデータである。
そして本発明の実施形態では、走査型白色干渉顕微鏡100が計測において取得した計測対象である試料の全ての計測信号のデータが、コンピュータ30の図示せぬメモリなどの記憶装置により保持される。言い換えると、全てのフレームの各々における、全フレームデータがコンピュータ30に保持される。
本実施形態では、コンピュータ30が、走査型白色干渉顕微鏡100が取得した全ての計測信号のデータを保持する。よって、操作者は、計測時にまたは計測の後に、全データを利用することができ、干渉信号から試料中の種々の材料の存在に応じたピークを精度よく検出することが可能となる。以下、保持した全データを有効に活用する方法の具体例について説明する。
(深さ方向の干渉信号に基づくノイズ幅の算出)
図3は、試料Sの低傾斜部S1および高傾斜部S2(図1参照)で取得される干渉信号の代表波形であり、図3(a)が低傾斜部S1の干渉信号の代表波形、図3(b)が高傾斜部S2の干渉信号の代表波形をそれぞれ示す。低傾斜部S1は試料Sにおいて相対的に傾斜の小さい部分のことであり、高傾斜部S2は試料Sにおいて相対的に傾斜の大きい部分のことである。図3は、図2とは異なり、計測信号における、試料の深さ(深度)方向の干渉信号を表している。そして、特定の物質が存在する場合、当該物質は輝度のピークhmaxになって表されることになる。
図3は、試料Sの低傾斜部S1および高傾斜部S2(図1参照)で取得される干渉信号の代表波形であり、図3(a)が低傾斜部S1の干渉信号の代表波形、図3(b)が高傾斜部S2の干渉信号の代表波形をそれぞれ示す。低傾斜部S1は試料Sにおいて相対的に傾斜の小さい部分のことであり、高傾斜部S2は試料Sにおいて相対的に傾斜の大きい部分のことである。図3は、図2とは異なり、計測信号における、試料の深さ(深度)方向の干渉信号を表している。そして、特定の物質が存在する場合、当該物質は輝度のピークhmaxになって表されることになる。
図3(a)に示すように、低傾斜部S1では戻り光が多く、干渉信号の強度が大きい反面、バックグラウンド光による重畳したノイズも大きい。一方、図3(b)に示すように、高傾斜部S2では戻り光が少なくなるため、干渉信号の強度が小さくなるが、バックグラウンド光による重畳したノイズも小さくなる。ピークhmaxの有無を判定するため、コンピュータ30は所定の閾値を用いてこのようなノイズ(バックグラウンドノイズ)を除去するが、本図で示すように低傾斜部と高傾斜部ではノイズの値が大きく異なっているため、一定の閾値を用いてノイズを除去しても、ピークhmaxの有無がうまく実行できないことが予想される。例えば図3(a)で一定の閾値を用いてノイズを除去した場合、依然としてノイズが残存しているため、ピークhmaxが存在しても、コンピュータ30がその存在を判定できない可能性がある。また、図3(b)で一定の閾値を用いてノイズを除去した場合、本来必要なピークhmaxが除去されてしまう可能性がある。
そこでコンピュータ30は、図3(a)、図3(b)の干渉信号から重畳したノイズの値であるノイズ幅σnを算出する。そしてコンピュータ30は、干渉信号中のピークhmaxの有無を判定するために、ノイズを除去する閾値をノイズ幅σnに基づいて決定する。コンピュータ30は、図3(a)に示すように低傾斜部S1ではノイズ幅σn1に対応して閾値(第1の閾値)を大きくするともに、図3(b)に示すように高傾斜部S2ではノイズ幅σn2に対応して閾値(第2の閾値)を小さくする(σn1>σn2、第1の閾値>第2の閾値)。このような閾値の設定により、コンピュータ30は、ピークhmaxをノイズと混同することなく、検出できるようになる。
(傾斜部の空間周波数に基づくノイズ幅の算出)
図4は、図2に示した所定の深さ(深度)におけるフレームHnの干渉縞と、コンピュータ30がこの干渉縞の干渉パターンをフーリエ変換することにより得られる空間周波数fのスペクトルの概念図を示す。空間周波数fのスペクトルを取得することにより、特定の深さにおける傾き具合を判定することが可能である。すなわち、図4(a1)は低傾斜部S1の干渉縞であり、図4(a2)が当該干渉縞をフーリエ変換して得られる低傾斜部S1の空間周波数fのスペクトルである。図4(b1)は高傾斜部S2の干渉縞であり、図4(b2)が当該干渉縞をフーリエ変換して得られる高傾斜部S2の空間周波数fのスペクトルである。
図4は、図2に示した所定の深さ(深度)におけるフレームHnの干渉縞と、コンピュータ30がこの干渉縞の干渉パターンをフーリエ変換することにより得られる空間周波数fのスペクトルの概念図を示す。空間周波数fのスペクトルを取得することにより、特定の深さにおける傾き具合を判定することが可能である。すなわち、図4(a1)は低傾斜部S1の干渉縞であり、図4(a2)が当該干渉縞をフーリエ変換して得られる低傾斜部S1の空間周波数fのスペクトルである。図4(b1)は高傾斜部S2の干渉縞であり、図4(b2)が当該干渉縞をフーリエ変換して得られる高傾斜部S2の空間周波数fのスペクトルである。
図4からわかるように、空間周波数fが低い場合は、低傾斜面での計測であると判定できるため、コンピュータ30は、ピークhmaxの有無を判定するための大きな閾値(第1の閾値)を算出する。一方、空間周波数fが高くなる場合は、高傾斜面での計測であると判定できるため、コンピュータ30は、ピークhmaxの有無を判定するための小さな閾値(第2の閾値)を算出する(第1の閾値>第2の閾値)。このように空間周波数fに対応してピークの有無を判定する閾値を変化させることにより、誤検出や検出漏れを防ぎ、正しい位置でのピークの検出が可能となる。
(カメラの特性に基づくノイズ幅の算出)
図5は異なる2台のカメラAおよびカメラBの輝度値に対するノイズ幅の測定結果のデータである。カメラへの入射光量が増えるとポアソン分布にもとづき光はゆらいでノイズが増える。すなわち輝度値が増えるにつれノイズ幅も大きくなる。
図5は異なる2台のカメラAおよびカメラBの輝度値に対するノイズ幅の測定結果のデータである。カメラへの入射光量が増えるとポアソン分布にもとづき光はゆらいでノイズが増える。すなわち輝度値が増えるにつれノイズ幅も大きくなる。
また、この時、カメラの特性により輝度値に対するノイズ幅の傾きは異なる。そこで図5のように、あらかじめ計測信号の輝度値に対するノイズ幅のデータを取得しておくことで、図3のσnに相当するノイズ幅をあらかじめ決めておき、コンピュータ30の記憶装置などに保持しておくことができる。コンピュータ30は、このノイズ幅に基づき、 干渉信号中のピークの有無を判定する閾値を算出する。このように輝度値に応じてノイズ除去をすることでピーク検出が可能となる。
(異なる深さにおける干渉縞を用いた高さの検出)
図6は、図2と同様に、試料の第1の深さにおけるXY面内での干渉信号である干渉縞Hn、深さ方向においてこの第1の深さに隣接した第2の深さにおけるXY面内での干渉信号である干渉縞Hn+1を示す。比較する干渉縞の深さは特に隣接している必要はない。さらにコンピュータ30が算出したそれぞれの干渉縞に応じた干渉パターンの包絡線Hn、Hn+1を示す(点線のHn:第1の包絡線、破線のHn+1:第2の包絡線)。さらにコンピュータ30は、第1の包絡線Hnおよび第2の包絡線Hn+1の比較による差分である差分曲線Dをも算出する。
図6は、図2と同様に、試料の第1の深さにおけるXY面内での干渉信号である干渉縞Hn、深さ方向においてこの第1の深さに隣接した第2の深さにおけるXY面内での干渉信号である干渉縞Hn+1を示す。比較する干渉縞の深さは特に隣接している必要はない。さらにコンピュータ30が算出したそれぞれの干渉縞に応じた干渉パターンの包絡線Hn、Hn+1を示す(点線のHn:第1の包絡線、破線のHn+1:第2の包絡線)。さらにコンピュータ30は、第1の包絡線Hnおよび第2の包絡線Hn+1の比較による差分である差分曲線Dをも算出する。
この差分曲線Dは、XY面内の所定の座標点におけるHnとHn+1の高さ関係を示している。すなわち、Z方向(深さ方向)のみならず、XおよびY方向(面内方向)のみでも高さ情報の演算を行うことにより、ピークの誤検出をより効果的に防止することが可能となる。
例えば干渉縞Hnにおける座標[Xi,Yi]と座標[Xi+n,Yi+n]の高さの大小関係を把握する必要がある場合、干渉縞Hnのみによる単独の包絡線Hnを用いてこの大小関係を導くことは可能である。しかしながら、干渉縞Hnのみによる単独の包絡線Hnの信号のみを使用する場合、包絡線Hnに含まれるノイズに影響を受けやすく、ピークの誤検出が生ずるおそれがある。しかしながら、第1の包絡線Hnと第2の包絡線Hn+1の2つの包絡線の差分をとることでノイズ成分は打ち消されるため、単独の包絡線Hnを使用する場合に比べて、例えば1.4倍程度であるがノイズ成分は小さくなる。また、単独の包絡線Hnを用いた場合における座標[Xi,Yi]と座標[Xi+n,Yi+n]の位置の信号の差分量に比べて、二つの包絡線HnとHn+1を用いた場合における差分量による方が信号が大きくなるため、ピークの検出が容易となる。
包絡線の形状が同じと仮定した場合、2つの包絡線HnとHn+1の差分をとることで、2つの座標[Xi,Yi]と[Xi+n,Yi+n]の高さ信号の差分量は、単独の包絡線を使用する場合(図6のα)と比べ2倍となり(図6のβ)、またノイズ成分も打ち消し合う。よって、座標[Xi,Yi]と座標[Xi+n,Yi+n]の高さの大小関係を把握することが容易となる。
従来の手法では、任意の座標[Xi,Yi]について、図3のようなZ方向のみの干渉縞から高さ情報を算出していたが、XY面でも干渉縞の差分をとって比較することでXY面からの干渉縞の解析による高さの大小関係の把握結果とのクロスチェックが可能となる。
本発明によれば、計測により得られた干渉信号のデータの全て(生データ)を保持することで、例えば計測後、試料の傾斜面に応じて変化するノイズ幅に応じて閾値を柔軟に設定したり、高さの変化を正確に把握することができる。このように、本発明によれば、状況に応じて最適なアルゴリズムを採用することができ、各種解析を行うことが可能となる。よって、散乱光による弱い干渉信号からも正しい位置のピーク検出や高さ変化の検出を行うことができるようになり、試料の特性をより正確に把握することが可能となる。
また、本発明は、NAを越えた部分の傾斜面計測にも適用可能で、原理的には90°の特異点未満までの計測に対応可能である。
尚、本発明は、上述した実施形態に限定されるものではなく、適宜、変形、改良、等が可能である。その他、上述した実施形態における各構成要素の材質、形状、寸法、数値、形態、数、配置箇所、等は本発明を達成できるものであれば任意であり、限定されない。
本発明は、走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法にあたって、より正確な試料の特性の把握を可能とするアルゴリズムを提供するため、種々の材料の計測に適用可能である。
10 装置本体
11 白色光源
12 フィルタ
13 ビームスプリッタ
14 二光束干渉対物レンズ
15 カメラ
16 ピエゾアクチュエータ
20 ステージ
30 コンピュータ
100 走査型白色干渉顕微鏡
S 試料
11 白色光源
12 フィルタ
13 ビームスプリッタ
14 二光束干渉対物レンズ
15 カメラ
16 ピエゾアクチュエータ
20 ステージ
30 コンピュータ
100 走査型白色干渉顕微鏡
S 試料
Claims (5)
- 走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法であって、
走査型白色干渉顕微鏡が取得した、計測対象である試料の全ての計測信号のデータを保持する三次元形状計測方法。 - 請求項1に記載の三次元形状計測方法であって、
前記計測信号における、試料の深さ方向の干渉信号に重畳したノイズの値であるノイズ幅を算出し、
前記ノイズ幅に基づき、前記干渉信号中のピークの有無を判定する閾値を算出する三次元形状計測方法。 - 請求項1に記載の三次元形状計測方法であって、
前記計測信号における、試料の所定の深さにおける面内での干渉信号から得られる干渉パターンをフーリエ変換して空間周波数のスペクトルを取得し、
前記空間周波数のスペクトルに応じて、前記干渉信号中のピークの有無を判定する閾値を算出する三次元形状計測方法。 - 請求項1に記載の三次元形状計測方法であって、
前記計測信号における、カメラの輝度値に対するノイズ幅をあらかじめ保持しておき、
前記ノイズ幅に基づき、前記干渉信号中のピークの有無を判定する閾値を算出する三次元形状計測方法。 - 請求項1に記載の三次元形状計測方法であって、
前記計測信号における、試料の第1の深さにおける面内での干渉信号から得られる干渉パターンの第1の包絡線を算出し、
前記計測信号における、前記第1の深さに対して少なくとも1つ以上離れた第2の深さにおける面内での干渉信号から得られる干渉パターンの第2の包絡線を算出し、
前記第1の包絡線および前記第2の包絡線との差分を算出し、
前記差分に基づき、前記第1の深さおよび前記第2の深さにおける所定の座標点における高さ位置を比較してXY面内における大小関係を判定する三次元形状計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016069591A JP2017181323A (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法 |
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JP2016069591A Pending JP2017181323A (ja) | 2016-03-30 | 2016-03-30 | 走査型白色干渉顕微鏡を用いた三次元形状計測方法 |
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- 2016-03-30 JP JP2016069591A patent/JP2017181323A/ja active Pending
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