JP2017181286A - 試料積載プレート - Google Patents
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Abstract
Description
MALDI法の質量分析に使用され、基板上に試料を積載する試料積載スポットを少なくとも一つ以上備える試料積載プレートであって、試料積載スポットの外側周辺部は疎水性表面であり、試料積載スポットの内側領域であるアイランドは親水性表面であって、試料積載スポットの外側周辺部とアイランドの色が異なることを特徴とする。
はじめに、本発明に係る実施形態である試料積載プレートの構成について図3を用いて説明する。図3は、試料積載プレートを試料を積載する面側から見た平面図である。
次に試料積載スポット10の断面構成について2つの実施例を説明する。
実施例1との相違点は、実施例2では、試料積載スポット10のアイランド21は、光学多層膜2Aの一部である2a層と2b層を剥離して2c層が表出している点である。他の点は実施例1と同じ構成となっている。
次に、試料積載プレートの着色に関して図5を用いて説明する。図5は、基板に光学多層膜形成した場合の光の干渉を説明する模式図である。
次に、試料の質量分析を行う動作について図6、図7を用いて説明する。ここでは主に試料積載プレート及び試料のイオン化に係る部分を説明し、他は原理的な説明にとどめ詳細は省略する。図6は、前述した試料積載プレート100に試料200を積載した状態を示し、図7は、質量分析装置300に試料200が積載された試料積載プレートを載置した状態を示す模式図である。
以上説明したように、本発明によれば、試料積載スポットにおける試料の視認性が良く導電性に優れる試料積載プレート及びその製造方法を提供することができる。
次に、本実施形態の試料積載プレート100の製造方法について、図8を用いて説明する。図8は、試料積載プレート100の製造方法を示す工程図である。
図8において、試料積載プレート100の製造方法について310〜370の主要な工程を図示し説明する。尚、各工程において特定の記載がない限りそれぞれの工程に必要な一般的な例えば、移送、検査、洗浄、乾燥、アニール等の作業を行うことは当然のこととし、それらの説明は省略する。
まず、基板受け入れ工程310では、基板1の平面度及び表面粗さの検査を行い、所定の平坦度、表面粗さであることを確認する。
次に、基板表面加工工程320では、基板1にラッピング加工やポリッシング加工を施し、所定の基板厚や表面粗さ、平坦度に仕上げる。尚、本工程での主要な検査項目は基板の表面粗さ及び平坦度である。
次に、第1の金属膜形成工程330では、第1の金属膜2Mを形成する。例えば、真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法を用い、例えば、Niを厚さ300nmに形成する。このとき、できるだけ均一な膜とするために成膜粒子の照射方向は垂直方向が望ましい(破線矢印参照)。
次に、光学多層膜形成工程340では光学多層膜2Aを積層形成する。例えば、真空蒸着やスパッタリング等の成膜方法によって、図4にある2d層、2c層、2b層、2a層を順番に形成する。
次に、疎水膜形成工程350では、前工程で形成された光学多層膜2Aの表面に疎水膜12を積層形成する。例えば、真空蒸着等の成膜方法によって、例えば、C(炭素)またはF(フッ素)またはSi(シリコン)を含む撥水材またはそれらの複合された撥水材を、例えば、2nmの厚さに形成する。
最後に、疎水膜除去工程370では、試料積載スポット10のアイランド21に形成された疎水膜12を剥離する。例えば、プラズマエッチング等の加工方法により、試料積載スポット10の外側にはマスク15(詳しい説明は省略する)を形成し疎水膜12を剥離する。マスク15は、アイランド21を開口し、それ以外の外側周辺部22をプラズマから保護する働きがある。
2A 光学多層膜
2M 第1の金属膜
10 試料積載スポット
12 疎水膜
15 マスク
20 試料積載プレートの辺縁部
21 (試料積載スポットの)アイランド
22 (試料積載スポットの)外側周辺部
30 列アドレスマーク
40 行アドレスマーク
50 シリアルナンバー
60 バーコード
100 試料積載プレート
200 試料
200a、200b、200c イオン化した被分析物
220 レーザ光源
220a レーザ光
230 イオン加速部
231 イオントラップ部
232 質量分離部(飛行空間)
240 イオン検出部
300 MALDI質量分析装置
Claims (5)
- MALDI法の質量分析に使用され、基板上に試料を積載する試料積載スポットを少なくとも一つ以上備える試料積載プレートであって、
試料積載スポットの外側周辺部は疎水性表面であり、試料積載スポットの内側領域であるアイランドは親水性表面であって、試料積載スポットの外側周辺部とアイランドの色が異なることを特徴とする試料積載プレート。 - 前記外側周辺部と前記アイランドは、異なる膜構成で形成されることを特徴とする請求項1記載の試料積載プレート。
- 前記外側周辺部と前記アイランドがそれぞれ形成される膜構成のうち、少なくとも一つの金属膜が連続しており、導通していることを特徴とする請求項2に記載の試料積載プレート。
- 前記基板はセラミックスによって構成されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の試料積載プレート。
- 前記親水層は、前記基板上に形成した金属膜または、前記金属膜の上に形成した 光学多層膜によって構成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の試料積載プレート。
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2016
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