JP2017180610A

JP2017180610A - Sensor holding tool and fluid controller including the same

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Publication number: JP2017180610A
Application number: JP2016066715A
Authority: JP
Inventors: 一中川; Hajime Nakagawa; 篠原　努; Tsutomu Shinohara; 努篠原; 隆博松田; Takahiro Matsuda
Original assignee: Fujikin Inc
Current assignee: Fujikin Inc
Priority date: 2016-03-29
Filing date: 2016-03-29
Publication date: 2017-10-05

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a sensor holding tool capable of being easily and surely attached to a gas line even in a case of specification change and the like, and a fluid controller including the sensor holding tool.SOLUTION: A sensor holding tool 1 is configured to be mounted to a pair of hexagon socket head cap screws 18 for fixing a flow rate control instrument 10 to a joint 24. The sensor holding tool 1 includes: a base block 2 arranged on the pair of screws 18; a pair of hexagon pins 3 and a pair of screw 4 supporting the base block 2, inserted and fixed to a hexagon hole 18c of the pair of screws 18, and configured to fix the base block 2 to the screw 18; and a fixation screw 5 and a holding plate 6 fixed to the base block 2, and holding a thermocouple 16.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置で用いられるセンサ保持具およびそれを備えた流体制御装置に関する。 The present invention relates to a sensor holder used in a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like and a fluid control device including the sensor holder.

従来より、複数のガスラインを備える流体制御装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。各ガスラインは、複数の流体制御機器と、複数の継手とを有し、複数の継手の上面に複数の流体制御機器を装着することにより、複数の流体制御機器同士が接続され、流体が供給される。 Conventionally, a fluid control device including a plurality of gas lines has been proposed (see, for example, Patent Document 1). Each gas line has a plurality of fluid control devices and a plurality of joints, and a plurality of fluid control devices are connected to each other by attaching a plurality of fluid control devices to the upper surface of the plurality of joints, thereby supplying fluid. Is done.

特開２００２−３４９７９７号公報JP 2002-349797 A

ところで、半導体の製造プロセスにおいて、常温で液化するガスを使用する場合には、ガスラインに対しヒーターを装着する。ガスラインがヒーターにより適切に加温されているかを確認するために、熱電対等の温度センサおよび温度センサを保持するセンサ保持具もガスラインに対し装着される。そして、設置する場所に応じてセンサ保持具を設計している。 By the way, when a gas that liquefies at room temperature is used in a semiconductor manufacturing process, a heater is attached to the gas line. In order to check whether the gas line is appropriately heated by the heater, a temperature sensor such as a thermocouple and a sensor holder for holding the temperature sensor are also attached to the gas line. And the sensor holder is designed according to the place to install.

しかし、流体制御装置の製作中に仕様変更等が発生した場合には、センサ保持具を再度設計しなければならず、多くの時間と労力を要していた。 However, when a specification change or the like occurs during the manufacture of the fluid control device, the sensor holder must be designed again, which requires a lot of time and labor.

そこで本発明は、仕様変更等があったとしても、ガスラインに対し、容易かつ確実に取り付け可能なセンサ保持具およびそれを備えた流体制御装置を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a sensor holder that can be easily and surely attached to a gas line even if there is a specification change or the like, and a fluid control device including the sensor holder.

上記目的を解決するために、本発明の一態様であるセンサ保持具は、流量制御機器を継手に固定するための六角穴付きボルトに装着されるセンサ保持具であって、前記六角穴付きボルト上に配置されるベースブロックと、前記ベースブロックを支持し、前記六角穴付きボルトの六角穴に挿入されて固定され、前記ベースブロックを前記六角穴付きボルトに固定するための固定部と、前記ベースブロックに固定され、前記温度センサを保持するセンサ保持部とを備える。 In order to solve the above-described object, a sensor holder according to one aspect of the present invention is a sensor holder attached to a hexagon socket head bolt for fixing a flow control device to a joint, and the hexagon socket head bolt A base block disposed on the base block, and a fixing portion for supporting the base block and being inserted into and fixed to a hexagon socket of the hexagon socket head cap screw, and fixing the base block to the hexagon socket head cap bolt; A sensor holding unit that is fixed to the base block and holds the temperature sensor.

また、固定部は、ヘッドと雄ねじが形成されたシャンクとを有するねじと、内周に雌ねじが設けられた貫通孔を有し、内方に突出する突出部を有して前記六角穴付きボルトの六角穴に挿入される端部を有する筒状部材と、から構成され、前記ねじの前記シャンクを、前記筒状部材の前記貫通孔に挿入し、前記ねじの前記雌ねじを前記筒状部材の前記雌ねじにねじ込むことにより、前記筒状部材の前記突出部が前記シャンクの先端部に押されて、前記筒状部材の前記端部が押し広げられてもよい。 The fixing portion has a screw having a head and a shank in which a male screw is formed, a through-hole having a female screw provided on the inner periphery, and a projecting portion protruding inward, so that the hexagon socket head bolt A cylindrical member having an end portion inserted into the hexagonal hole, the shank of the screw is inserted into the through hole of the cylindrical member, and the female screw of the screw is inserted into the cylindrical member. By screwing into the female screw, the projecting portion of the tubular member may be pushed by the tip of the shank, and the end portion of the tubular member may be expanded.

また、前記筒状部材は、外形が六角筒状をなしていてもよい。 The cylindrical member may have a hexagonal outer shape.

また、前記センサ保持部は、前記ベースブロックに対し螺合される固定ボルトと、前記温度センサである熱電対が挿入され溶接される溶接孔と、前記固定ボルトのシャンクを抜き差し可能な切欠きと、が形成された保持板と、を備えてもよい。 The sensor holding portion includes a fixing bolt screwed to the base block, a welding hole into which a thermocouple as the temperature sensor is inserted and welded, and a notch in which a shank of the fixing bolt can be inserted and removed. And a holding plate on which are formed.

また、ベースブロックには、前記ねじおよび前記筒状部材が挿入される装着孔と、前記固定ボルトがねじ込まれる螺合孔と、前記熱電対が挿入される前記挿入孔と、が形成されていてもよい。 The base block is formed with a mounting hole into which the screw and the cylindrical member are inserted, a screwing hole into which the fixing bolt is screwed, and the insertion hole into which the thermocouple is inserted. Also good.

また、流体制御機器を継手に固定するための六角穴付きボルトに装着される上記に記載のセンサ保持具を備えてもよい。 Moreover, you may provide the sensor holding tool as described in the above attached to the hexagon socket head cap screw for fixing the fluid control device to the joint.

また、前記流体制御機器は、ガスの流量を制御する本体部と、前記継手に接続される１次側継手および２次側継手と、前記六角穴付きボルトと、を備える流量制御機器であり、前記六角穴付きボルトは、前記２次側継手を前記継手に固定するために用いられてもよい。 Further, the fluid control device is a flow control device comprising a main body part for controlling the flow rate of gas, a primary side joint and a secondary side joint connected to the joint, and the hexagon socket head cap bolt, The hexagon socket head cap screw may be used to fix the secondary side joint to the joint.

また、前記２次側継手には、ガスの漏れを検知するためのリークポートが形成され、前記温度センサである熱電対の先端は、前記リークポートに挿入される In addition, a leak port for detecting a gas leak is formed in the secondary side joint, and a tip of a thermocouple that is the temperature sensor is inserted into the leak port.

本発明によれば、仕様変更等があったとしても、ガスラインに対し、容易かつ確実に取り付け可能なセンサ保持具およびそれを備えた流体制御装置を提供することができる。 According to the present invention, it is possible to provide a sensor holder that can be easily and surely attached to a gas line and a fluid control device including the sensor holder even if there is a specification change or the like.

本実施形態に係るセンサ保持具が装着された流体制御装置の側面図を示す。The side view of the fluid control apparatus with which the sensor holder concerning this embodiment was equipped is shown. 本実施形態に係るセンサ保持具が装着された流量制御機器の側面図を示す。The side view of the flow control apparatus with which the sensor holder which concerns on this embodiment was mounted | worn is shown. センサ保持具が装着された流量制御機器の平面図を示す。The top view of the flow control apparatus with which the sensor holder was mounted | worn is shown. 図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った流量制御機器の断面図を示す。Sectional drawing of the flow control apparatus along the IV-IV line | wire of FIG. 2 is shown. （ａ）は、センサ保持具の平面図を示し、（ｂ）は、センサ保持具の装着方法の説明図を示す。(A) shows the top view of a sensor holder, (b) shows explanatory drawing of the mounting method of a sensor holder. （ａ）は、ベースブロックの平面図を示し、（ｂ）は、ベースブロックの側面図を示す。(A) shows the top view of a base block, (b) shows the side view of a base block. （ａ）は、六角ピンの平面図を示し、（ｂ）は、六角ピンの側面図を示し、（ｃ）は、六角ピンの底面図を示し、（ｄ）は、（ａ）のＶＩＩｄ−ＶＩＩｄ線に沿った六角ピンの断面図を示す。(A) shows a plan view of the hexagonal pin, (b) shows a side view of the hexagonal pin, (c) shows a bottom view of the hexagonal pin, and (d) shows VIId- of (a). Sectional drawing of the hexagonal pin along the VIId line is shown. 保持板の平面図を示す。The top view of a holding plate is shown.

本発明の実施形態に係るセンサ保持具１を備える流体制御装置２０について、図面を参照して説明する。以下の説明における上下は、図１の上下とする。 A fluid control device 20 including a sensor holder 1 according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the top and bottom are the top and bottom of FIG.

図１は、センサ保持具１を備える流体制御装置２０の側面図を示している。 FIG. 1 shows a side view of a fluid control device 20 including a sensor holder 1.

流体制御装置２０は、基盤２１と、複数（図１では一つのみ表示）のガスライン２２と、ガスアウトマニホールド２３とを備える。各ガスライン２２は、複数の継手２４と、複数の流体制御機器１０、２５〜３０とを備える。複数の継手２４は、基盤２１上に一列に並ぶように設けられ、図示せぬボルトにより基盤２１に固定されている。 The fluid control device 20 includes a base 21, a plurality (only one is shown in FIG. 1) of gas lines 22, and a gas out manifold 23. Each gas line 22 includes a plurality of joints 24 and a plurality of fluid control devices 10, 25 to 30. The plurality of joints 24 are arranged in a line on the base 21 and are fixed to the base 21 with bolts (not shown).

複数の流体制御機器１０、２５〜３０は、流量制御機器（例えば、マスフローコントローラ）１０と、自動弁（例えば流体駆動式の自動弁）２５〜２８と、手動式のレギュレータ（減圧弁）２９と、フィルタ３０とにより構成されている。流体制御機器２５〜３０は、ボルト３１（図の簡略化のため一つのボルト３１にのみ参照番号を付している。）により、継手２４、ガスアウトマニホールド２３に対しそれぞれ連結されている。 The plurality of fluid control devices 10, 25 to 30 include a flow control device (for example, a mass flow controller) 10, an automatic valve (for example, a fluid-driven automatic valve) 25 to 28, and a manual regulator (pressure reducing valve) 29. , And a filter 30. The fluid control devices 25 to 30 are respectively connected to the joint 24 and the gas out manifold 23 by bolts 31 (only one bolt 31 is provided with a reference number for simplification of the drawing).

そして、プロセスガスは、流体制御機器１０、２５〜３０、複数の継手２４、およびガスアウトマニホールド２３を通過して、図示せぬチャンバへ供給される。 Then, the process gas passes through the fluid control devices 10, 25 to 30, the plurality of joints 24, and the gas out manifold 23, and is supplied to a chamber (not shown).

次に、センサ保持具１が装着される流量制御機器１０について説明する。 Next, the flow control device 10 to which the sensor holder 1 is attached will be described.

図２は、本実施形態に係るセンサ保持具１が装着された流量制御機器１０の側面図を示している。図３は、センサ保持具１が装着された流量制御機器１０の平面図を示している。図４は、図２のＩＶ−ＩＶ線に沿った流量制御機器１０の断面図を示している。 FIG. 2 shows a side view of the flow control device 10 to which the sensor holder 1 according to this embodiment is mounted. FIG. 3 shows a plan view of the flow control device 10 to which the sensor holder 1 is mounted. FIG. 4 shows a cross-sectional view of the flow control device 10 taken along line IV-IV in FIG.

図２に示すように、流量制御機器１０は、ボディ１１、カバー１２、図示せぬ流量センサ、図示せぬ制御部、および図示せぬ流量制御機構を主に有する本体部１３と、ボディ１１に接続された１次側継手１４および２次側継手１５とを備える。ここで、ボディ１１に対する流体の流れの上流側を一次側とし、下流側を二次側とする。 As shown in FIG. 2, the flow control device 10 includes a body 11, a cover 12, a flow sensor (not shown), a control unit (not shown), a main body 13 mainly including a flow control mechanism (not shown), and the body 11. The primary side joint 14 and the secondary side joint 15 which were connected are provided. Here, the upstream side of the fluid flow with respect to the body 11 is a primary side, and the downstream side is a secondary side.

ボディ１１には、流体が通過する流路が形成されている。カバー１２は、ボディ１１、図示せぬ流量センサ、図示せぬ制御部、および図示せぬ流量制御機構を覆っている。 The body 11 is formed with a flow path through which a fluid passes. The cover 12 covers the body 11, a flow rate sensor (not shown), a control unit (not shown), and a flow rate control mechanism (not shown).

１次側継手１４は、ボディ１１に対する１次側に設けられ、２次側継手１５は、ボディ１１に対する２次側に設けられている。１次側継手１４および２次側継手１５は、本願実施例の場合、同一の形状をなしているので、２次側継手１５についてのみ説明し、１次側継手１４の詳細な説明は省略する。 The primary side joint 14 is provided on the primary side with respect to the body 11, and the secondary side joint 15 is provided on the secondary side with respect to the body 11. Since the primary side joint 14 and the secondary side joint 15 have the same shape in the case of the present embodiment, only the secondary side joint 15 will be described, and detailed description of the primary side joint 14 will be omitted. .

２次側継手１５は、段差部１５ａを有して略直方体状をなし、図２における左右方向に貫通する４つの第１ボルト貫通孔１５ｂと、図２における上下方向に貫通する２つの第２ボルト貫通孔１５ｃと、流体の漏れを検知するためのリークポート１５ｄと、流体の流路１５ｅと、環状凹部１５ｆとが形成されている。環状凹部１５ｆに図示せぬガスケットが挿入され、２次側継手１５と継手２４との連結部分がシールされる。リークポート１５ｄの下端は、環状凹部１５ｆに開口している。図示せぬガスケットにより、２次側継手１５と継手２４との連結部分がきちんとシールされていない場合、流体がリークポート１５ｄへ流入し、流体検知器により流体のリークが検知される。 The secondary side joint 15 has a stepped portion 15a and has a substantially rectangular parallelepiped shape, and includes four first bolt through holes 15b penetrating in the left-right direction in FIG. 2 and two second penetrating holes in the up-down direction in FIG. A bolt through hole 15c, a leak port 15d for detecting fluid leakage, a fluid flow path 15e, and an annular recess 15f are formed. A gasket (not shown) is inserted into the annular recess 15f, and the connecting portion between the secondary side joint 15 and the joint 24 is sealed. The lower end of the leak port 15d opens to the annular recess 15f. When the connecting portion between the secondary side joint 15 and the joint 24 is not properly sealed by a gasket (not shown), the fluid flows into the leak port 15d, and the fluid detector detects the fluid leak.

各第１ボルト貫通孔１５ｂには、六角穴付きの第１ボルト１７が貫通され、各第１ボルト１７がボディ１１に螺合されることにより、２次側継手１５がボディ１１に対し固定されている。各第２ボルト貫通孔１５ｃに対し、六角穴付きの第２ボルト１８が貫通されている。 The first bolts 17 with hexagonal holes are passed through the first bolt through holes 15b, and the secondary joints 15 are fixed to the body 11 by screwing the first bolts 17 into the body 11. ing. A second bolt 18 with a hexagonal hole is passed through each second bolt through hole 15c.

第２ボルト１８は、ヘッド１８Ａとシャンク１８Ｂとを備え、ヘッド１８Ａには六角穴１８ｃが形成されている。第２ボルト１８のシャンク１８Ｂは、基盤２１上に設けられた継手２４に螺合される。この一対の第２ボルト１８に対し、センサ保持具１が装着されている。 The second bolt 18 includes a head 18A and a shank 18B, and a hexagonal hole 18c is formed in the head 18A. The shank 18 B of the second bolt 18 is screwed into a joint 24 provided on the base 21. The sensor holder 1 is attached to the pair of second bolts 18.

また、１次側継手１４は、六角穴付きの一対の第３ボルト１９により、基盤２１上に設けられた継手２４に固定されている。このように、１次側継手１４および２次側継手１５が、継手２４に固定されることにより、流量制御機器１０は基盤２１に固定される。 The primary side joint 14 is fixed to a joint 24 provided on the base 21 by a pair of third bolts 19 with hexagonal holes. In this manner, the primary side joint 14 and the secondary side joint 15 are fixed to the joint 24, whereby the flow control device 10 is fixed to the base 21.

次に、センサ保持具１について図５〜図６を参照して説明する。 Next, the sensor holder 1 will be described with reference to FIGS.

図５（ａ）は、センサ保持具１の平面図を示し、図５（ｂ）は、センサ保持具１の装着方法の説明図を示している。 FIG. 5A shows a plan view of the sensor holder 1, and FIG. 5B shows an explanatory view of a mounting method of the sensor holder 1.

図５に示すように、センサ保持具１は、ベースブロック２と、一対の六角ピン３と、一対のねじ４と、固定ボルト５と、保持板６とを備える。一対の六角ピン３および一対のねじ４は固定部に相当し、六角ピン３は筒状部材に相当し、固定ボルト５および保持板６はセンサ保持部に相当する。 As shown in FIG. 5, the sensor holder 1 includes a base block 2, a pair of hexagon pins 3, a pair of screws 4, a fixing bolt 5, and a holding plate 6. The pair of hexagonal pins 3 and the pair of screws 4 correspond to fixing portions, the hexagonal pins 3 correspond to cylindrical members, and the fixing bolts 5 and the holding plate 6 correspond to sensor holding portions.

図６（ａ）は、ベースブロック２の平面図を示し、図６（ｂ）は、ベースブロック２の側面図を示している。 FIG. 6A shows a plan view of the base block 2, and FIG. 6B shows a side view of the base block 2.

ベースブロック２は、略直方体状をなし、図２〜図４に示すように、その寸法は第２ボルト１８に装着された状態で第２継手１５の段差部１５ａ内に納まるように構成されている。図６に示すように、ベースブロック２には、一対の装着孔２ａ、螺合孔２ｂ、および挿入孔２ｃが形成されている。一対の装着孔２ａは、第２ボルト１８の六角穴１８ｃに対応するように形成されている。挿入孔２ｃは、リークポート１５ｄに対応するように形成されている。 The base block 2 has a substantially rectangular parallelepiped shape, and as shown in FIGS. 2 to 4, the dimensions of the base block 2 are configured to fit within the step portion 15 a of the second joint 15 in a state where the base block 2 is attached to the second bolt 18. Yes. As shown in FIG. 6, the base block 2 is formed with a pair of mounting holes 2a, a screw hole 2b, and an insertion hole 2c. The pair of mounting holes 2 a are formed so as to correspond to the hexagonal holes 18 c of the second bolt 18. The insertion hole 2c is formed so as to correspond to the leak port 15d.

図７（ａ）は、六角ピン３の平面図を示し、図７（ｂ）は、六角ピン３の側面図を示し、図７（ｃ）は、六角ピン３の底面図を示し、図７（ｄ）は、図７（ａ）のＶＩＩｄ−ＶＩＩｄ線に沿った六角ピン３の断面図を示している。 7A shows a plan view of the hexagonal pin 3, FIG. 7B shows a side view of the hexagonal pin 3, FIG. 7C shows a bottom view of the hexagonal pin 3, and FIG. (D) has shown sectional drawing of the hexagonal pin 3 along the VIId-VIId line | wire of Fig.7 (a).

六角ピン３は、外形が六角筒状をなし、上下方向に貫通する貫通孔３ａが形成されている。六角ピン３は、ベースブロック２の装着孔２ａに挿入される。六角ピン３の水平断面の外形のサイズは、第２ボルト１８の六角穴１８ｃの水平断面のサイズよりも少し小さく構成されている。六角ピン３の上下方向の中央部３Ｂには、内方に突出する環状突起３Ｃが設けられ、環状突起３Ｃの内周には雌ねじ３Ｄが形成されている。六角ピン３の上下方向の下側部３Ｅには、六角の頂点に対応する位置にスリット３ｆが形成されている。当該スリット３ｆにより、下側部３Ｅは拡径可能である。また、下側部３Ｅには、環状突起３Ｃよりも内方に突出する突出部３Ｇが設けられている。 The outer shape of the hexagonal pin 3 is a hexagonal cylindrical shape, and a through hole 3a penetrating in the vertical direction is formed. The hexagonal pin 3 is inserted into the mounting hole 2 a of the base block 2. The size of the outer shape of the horizontal section of the hexagonal pin 3 is configured to be slightly smaller than the size of the horizontal section of the hexagonal hole 18 c of the second bolt 18. An annular protrusion 3C that protrudes inward is provided at the center portion 3B in the vertical direction of the hexagonal pin 3, and an internal thread 3D is formed on the inner periphery of the annular protrusion 3C. A slit 3f is formed at a position corresponding to the vertex of the hexagon in the lower side portion 3E in the vertical direction of the hexagon pin 3. The diameter of the lower side portion 3E can be increased by the slit 3f. Further, the lower portion 3E is provided with a protruding portion 3G that protrudes inward from the annular protrusion 3C.

図５に示すように、ねじ４は、プラスねじであり、ヘッド４Ａとシャンク４Ｂとを有する。シャンク４Ｂには、雄ねじ４Ｃが形成されている。ねじ４のシャンク４Ｂを六角ピン３の貫通孔３ａに挿入し、ねじ４の雄ねじ４Ｃを六角ピン３の雌ねじ３Ｄにねじ込むことにより、六角ピン３の突出部３Ｇがシャンク４Ｂの先端部４Ｄにより押されて、六角ピン３の下側部３Ｅが押し広げられる。 As shown in FIG. 5, the screw 4 is a plus screw and has a head 4A and a shank 4B. An external thread 4C is formed on the shank 4B. By inserting the shank 4B of the screw 4 into the through hole 3a of the hexagonal pin 3 and screwing the male screw 4C of the screw 4 into the female screw 3D of the hexagonal pin 3, the protruding portion 3G of the hexagonal pin 3 is pushed by the tip 4D of the shank 4B. As a result, the lower side 3E of the hexagonal pin 3 is expanded.

図５に示すように、固定ボルト５は、六角穴付きボルトであり、ヘッド５Ａとシャンク５Ｂとを備える。固定ボルト５のシャンク５Ｂは、ベースブロック２の螺合孔２ｂに螺合される As shown in FIG. 5, the fixing bolt 5 is a hexagon socket head cap screw and includes a head 5 A and a shank 5 B. The shank 5 B of the fixing bolt 5 is screwed into the screwing hole 2 b of the base block 2.

図８は、保持板６の平面図を示している。 FIG. 8 shows a plan view of the holding plate 6.

保持板６は、金属製の平板であり、平面視略矩形状をなしている。保持板６には、溶接孔６ａが形成されている。溶接孔６ａには、熱電対１６が挿入されて、熱電対１６が保持板６に対し溶接され、保持板６と熱電対１６とが一体化される。また、保持板６には、固定ボルト５のヘッド５Ａの外径より小さく、固定ボルト５のシャンク５Ｂの外径より大きな幅を有する切欠き６ｂが形成されている。切欠き６ｂには、固定ボルト５のシャンク５Ｂが相対的に抜き差し可能である。切欠き６ｂは、図８における上側に開口し、上側にいくにつれて溶接孔６ａに近づくように湾曲している。また、保持板６の溶接孔６ａおよび切欠き６ｂは、ベースブロック２の挿入孔２ｃおよび螺合孔２ｂに対応するように形成されている。 The holding plate 6 is a metal flat plate and has a substantially rectangular shape in plan view. A welding hole 6 a is formed in the holding plate 6. The thermocouple 16 is inserted into the welding hole 6a, the thermocouple 16 is welded to the holding plate 6, and the holding plate 6 and the thermocouple 16 are integrated. The holding plate 6 is formed with a notch 6b having a width smaller than the outer diameter of the head 5A of the fixing bolt 5 and larger than the outer diameter of the shank 5B of the fixing bolt 5. The shank 5B of the fixing bolt 5 can be relatively inserted into and removed from the notch 6b. The notch 6b opens to the upper side in FIG. 8, and is curved so as to approach the weld hole 6a as it goes upward. Further, the welding hole 6 a and the notch 6 b of the holding plate 6 are formed so as to correspond to the insertion hole 2 c and the screwing hole 2 b of the base block 2.

次に、流量制御機器１０に対するセンサ保持具１の装着方法について図５を参照して説明する。なお、熱電対１６を保持板６の溶接孔６ａに貫通させて、熱電対１６を保持板６に対し溶接することにより、予め保持板６と熱電対１６とは一体化されている。 Next, a method of mounting the sensor holder 1 on the flow control device 10 will be described with reference to FIG. The holding plate 6 and the thermocouple 16 are integrated in advance by passing the thermocouple 16 through the welding hole 6 a of the holding plate 6 and welding the thermocouple 16 to the holding plate 6.

ベースブロック２を、２次側継手１５を継手２４に固定するための一対の第２ボルト１８のヘッド１８Ａ上に載置する。この時、ベースブロック２の一対の装着孔２ａが、一対の第２ボルト１８のヘッド１８Ａの六角穴１８ｃ上に位置するようにする。 The base block 2 is placed on the head 18 A of a pair of second bolts 18 for fixing the secondary side joint 15 to the joint 24. At this time, the pair of mounting holes 2 a of the base block 2 are positioned on the hexagonal holes 18 c of the head 18 A of the pair of second bolts 18.

各六角ピン３を各装着孔２ａに貫通させ、各六角ピン３の下側部３Ｅを、各第２ボルト１８のヘッド１８Ａの六角穴１８ｃに挿入する。ねじ４のシャンク４Ｂを六角ピン３の貫通孔３ａに挿入し、雄ねじ４Ｃを六角ピン３の雌ねじ３Ｄにねじ込むことにより、六角ピン３の下側部３Ｅをシャンク４Ｂの先端部４Ｄにより押し広げ、下側部３Ｅの外面３Ｈを、六角穴１８ｃを形成する内面１８ｄに押し付ける。これにより、六角ピン３が第２ボルト１８に固定される。そして、第２ボルト１８に固定された六角ピン３に対し、ねじ４のシャンク４Ｂが螺合し、ねじ４のヘッド４Ａがベースブロック２に当接することにより、ベースブロック２は、一対の第２ボルト１８に固定される。 Each hexagonal pin 3 is passed through each mounting hole 2a, and the lower side 3E of each hexagonal pin 3 is inserted into the hexagonal hole 18c of the head 18A of each second bolt 18. By inserting the shank 4B of the screw 4 into the through hole 3a of the hexagonal pin 3 and screwing the male screw 4C into the female screw 3D of the hexagonal pin 3, the lower side 3E of the hexagonal pin 3 is pushed and expanded by the tip 4D of the shank 4B. The outer surface 3H of the lower side portion 3E is pressed against the inner surface 18d that forms the hexagonal hole 18c. As a result, the hexagonal pin 3 is fixed to the second bolt 18. Then, the shank 4B of the screw 4 is screwed into the hexagonal pin 3 fixed to the second bolt 18, and the head 4A of the screw 4 comes into contact with the base block 2, so that the base block 2 becomes a pair of second It is fixed to the bolt 18.

熱電対１６の先端部を、固定されたベースブロック２の挿入孔２ｃに貫通させ、２次側継手１５のリークポート１５ｄに挿入させる。固定ボルト５を、保持板６の切欠き６ｂを介して、ベースブロック２の螺合孔２ｂにねじ込んで、保持板６を固定ボルト５のヘッド５Ａとベースブロック２とにより狭圧することにより、熱電対１６をベースブロック２に対し固定する。 The tip of the thermocouple 16 is inserted into the insertion hole 2 c of the fixed base block 2 and inserted into the leak port 15 d of the secondary side joint 15. The fixing bolt 5 is screwed into the screwing hole 2b of the base block 2 through the notch 6b of the holding plate 6, and the holding plate 6 is tightly pressed by the head 5A of the fixing bolt 5 and the base block 2, so that the thermoelectric The pair 16 is fixed to the base block 2.

なお、固定ボルト５を少し緩めて、保持板６を溶接孔６ａを中心に回転させ、保持板６の切欠き６ｂから固定ボルト５のシャンク５Ｂを相対的に抜き出すことにより、保持板６および熱電対１６をベースブロック２から取り外すことができる。 The fixing bolt 5 is slightly loosened, the holding plate 6 is rotated around the weld hole 6a, and the shank 5B of the fixing bolt 5 is relatively extracted from the notch 6b of the holding plate 6, thereby causing the holding plate 6 and the thermoelectric The pair 16 can be removed from the base block 2.

上記のセンサ保持具１によれば、流量制御機器１０を基盤２１に設けられた継手２４に固定するための一対の第２ボルト１８上に配置されるベースブロック２と、ベースブロック２を支持し、一対の第２ボルト１８の六角穴１８ｃに挿入されて固定され、ベースブロック２を第２ボルト１８に固定するための一対の六角ピン３および一対のねじ４と、ベースブロック２に固定され、熱電対１６を保持する固定ボルト５および保持板６とを備える。 According to the sensor holder 1 described above, the base block 2 disposed on the pair of second bolts 18 for fixing the flow control device 10 to the joint 24 provided on the base 21, and the base block 2 are supported. A pair of hexagonal pins 3 and a pair of screws 4 for fixing the base block 2 to the second bolt 18, and a base block 2. A fixing bolt 5 for holding the thermocouple 16 and a holding plate 6 are provided.

かかる構成によれば、センサ保持具１は、流量制御機器１０を継手２４に固定するための第２ボルト１８に装着可能であるので、流体制御装置２０に仕様変更等があったとしても、ガスライン２２に対し容易かつ確実にセンサ保持具１を装着することができる。 According to such a configuration, the sensor holder 1 can be attached to the second bolt 18 for fixing the flow rate control device 10 to the joint 24. Therefore, even if the specification of the fluid control device 20 is changed, the gas The sensor holder 1 can be attached to the line 22 easily and reliably.

また、ねじ４のシャンク４Ｂを、六角ピン３の貫通孔３ａに挿入し、ねじ４の雄ねじ４Ｃを六角ピン３の雌ねじ３Ｄにねじ込むことにより、六角ピン３の突出部３Ｇがシャンク４Ｂの先端部４Ｄに押されて、六角ピン３の下側部３Ｅが押し広げられる。かかる構成によれば、六角ピン３の下側部３Ｅの外面３Ｈが、第２ボルト１８の六角穴１８ｃを形成する内面１８ｄに押し付けられることにより、六角ピン３を第２ボルト１８に対し固定することができる。 Further, by inserting the shank 4B of the screw 4 into the through hole 3a of the hexagonal pin 3 and screwing the male screw 4C of the screw 4 into the female screw 3D of the hexagonal pin 3, the protruding portion 3G of the hexagonal pin 3 is the tip of the shank 4B. The lower part 3E of the hexagon pin 3 is pushed and expanded by being pushed by 4D. According to this configuration, the outer surface 3H of the lower portion 3E of the hexagonal pin 3 is pressed against the inner surface 18d that forms the hexagonal hole 18c of the second bolt 18, thereby fixing the hexagonal pin 3 to the second bolt 18. be able to.

また、六角ピン３は外形が六角筒状をなし、第２ボルト１８は六角穴１８ｃ付き第２ボルト１８であるので、六角ピン３と第２ボルト１８との接触面積を大きくすることができ、六角ピン３を第２ボルト１８に対し強固に固定することができる。 Further, since the outer shape of the hexagonal pin 3 is a hexagonal cylinder and the second bolt 18 is the second bolt 18 with the hexagonal hole 18c, the contact area between the hexagonal pin 3 and the second bolt 18 can be increased. The hexagonal pin 3 can be firmly fixed to the second bolt 18.

また、センサ保持部は、ベースブロック２に対し螺合される固定ボルト５と、熱電対１６が挿入され溶接される溶接孔６ａと固定ボルト５のシャンク５Ｂを抜き差し可能な切欠き６ｂとが形成された保持板６とを備える。かかる構成によれば、ベースブロック２を一対の第２ボルト１８に固定し、保持板６を固定ボルト５によりベースブロック２に対し装着した後、固定ボルト５を少し緩めて、保持板６の切欠き６ｂから固定ボルト５のシャンク５Ｂを相対的に抜き出すことにより、保持板６および熱電対１６をベースブロック２から取り外すことができる。 Further, the sensor holding part is formed with a fixing bolt 5 screwed to the base block 2, a welding hole 6a into which the thermocouple 16 is inserted and welded, and a notch 6b into which the shank 5B of the fixing bolt 5 can be inserted and removed. The holding plate 6 is provided. According to this configuration, the base block 2 is fixed to the pair of second bolts 18, and the holding plate 6 is attached to the base block 2 by the fixing bolt 5, and then the fixing bolt 5 is loosened slightly to cut the holding plate 6. The retaining plate 6 and the thermocouple 16 can be removed from the base block 2 by relatively extracting the shank 5B of the fixing bolt 5 from the notch 6b.

ベースブロック２には、ねじ４および六角ピン３が挿入される一対の装着孔２ａと、固定ボルト５がねじ込まれる螺合孔２ｂと、熱電対１６が挿入される挿入孔２ｃとが形成されている。かかる構成によれば、一対の第２ボルト１８の位置に対応させて、一対の装着孔２ａを形成するだけで、センサ保持具１を流量制御機器１０に装着することができる。 The base block 2 is formed with a pair of mounting holes 2a into which the screws 4 and the hexagonal pins 3 are inserted, a screwing hole 2b into which the fixing bolt 5 is screwed, and an insertion hole 2c into which the thermocouple 16 is inserted. Yes. According to such a configuration, the sensor holder 1 can be mounted on the flow control device 10 simply by forming the pair of mounting holes 2 a corresponding to the positions of the pair of second bolts 18.

また、一対の六角穴付き第２ボルト１８は、２次側継手１５を継手２４に固定するために用いられ、センサ保持具１は当該第２ボルト１８に装着される。かかる構成によれば、沸点が低い流体（ガス）の場合に、図示せぬ流量制御機構における断熱膨張により温度が低下し易い箇所における流体の温度を検出することができる。 Further, the pair of second hexagon socket head bolts 18 are used to fix the secondary side joint 15 to the joint 24, and the sensor holder 1 is attached to the second bolt 18. According to such a configuration, in the case of a fluid (gas) having a low boiling point, it is possible to detect the temperature of the fluid at a location where the temperature tends to decrease due to adiabatic expansion in a flow rate control mechanism (not shown).

また、２次側継手１５には、ガスの漏れを検知するためのリークポート１５ｄが形成され、熱電対１６の先端は、リークポート１５ｄに挿入されるので、あらためて熱電対１６を挿入する孔を形成することなく流体の温度を検出することができる。 Further, the secondary joint 15 is formed with a leak port 15d for detecting gas leakage, and the tip of the thermocouple 16 is inserted into the leak port 15d, so that a hole for inserting the thermocouple 16 is newly formed. The temperature of the fluid can be detected without forming.

なお、本発明は、上述した実施例に限定されない。当業者であれば、本発明の範囲内で、種々の追加や変更等を行うことができる。 In addition, this invention is not limited to the Example mentioned above. A person skilled in the art can make various additions and changes within the scope of the present invention.

例えば、上記の実施形態では、センサ保持具１は、２次側継手１５を固定するための一対の六角穴付きの第２ボルト１８に装着されたが１次側継手１４を固定するための一対の六角穴付きの第３ボルト１９に装着してもよい。 For example, in the above-described embodiment, the sensor holder 1 is mounted on the pair of second bolts 18 with hexagonal holes for fixing the secondary side joint 15, but the pair for fixing the primary side joint 14. You may attach to the 3rd volt | bolt 19 with a hexagon socket.

また、筒状部材として、外形が六角筒状をなす六角ピン３を用いたが、外形が三角筒状形であってもよいし、円筒状であってもよい。また、保持板６の切欠き６ｂを形成したが、単に貫通孔であってもよい。また、温度センサは熱電対１６であったが、測温抵抗体等であってもよい。 Further, although the hexagonal pin 3 whose outer shape is a hexagonal cylindrical shape is used as the cylindrical member, the outer shape may be a triangular cylindrical shape or a cylindrical shape. Moreover, although the notch 6b of the holding plate 6 is formed, it may be simply a through hole. Moreover, although the temperature sensor was the thermocouple 16, a temperature measuring resistor etc. may be sufficient.

また、１次側継手１４および２次側継手１５は、それぞれ一対の第１、２ボルト１８、１９により、継手２４に固定されるように構成されていたが、一本のボルトにより継手２４に固定される構成であってもよい。この場合、ベースブロック２には、装着孔２ａは、一つのみ形成され、一つの装着孔２ａに六角ピン３とねじ４が挿入されることにより、ベースブロック２がボルトに固定される。 Moreover, although the primary side coupling 14 and the secondary side coupling 15 were comprised so that it might be fixed to the coupling 24 by a pair of 1st, 2nd bolts 18 and 19, respectively, It may be a fixed configuration. In this case, only one mounting hole 2a is formed in the base block 2, and the base block 2 is fixed to the bolt by inserting the hexagonal pin 3 and the screw 4 into one mounting hole 2a.

１：センサ保持具
２：ベースブロック、２ａ：装着孔、２ｂ：螺合孔、２ｃ：挿入孔
３：六角ピン、３ａ：貫通孔、３Ｄ：雌ねじ、３Ｅ：下側部、３Ｇ：突出部
４：ねじ、４Ａ：ヘッド、４Ｂ：シャンク、４Ｃ：雄ねじ、
５：固定ボルト
６：保持板、６ａ：溶接孔、６ｂ：切欠き
１０：流量制御機器
１３：本体部
１４：１次側継手
１５：２次側継手、１５ｄ：リークポート
１６：熱電対
１８：第２ボルト、１８ｃ：六角穴
２０：流体制御装置
２１：基盤
２４：継手
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Sensor holder 2: Base block, 2a: Mounting hole, 2b: Screwing hole, 2c: Insertion hole 3: Hex pin, 3a: Through hole, 3D: Female screw, 3E: Lower side part, 3G: Protrusion part 4 : Screw, 4A: Head, 4B: Shank, 4C: Male screw,
5: Fixing bolt 6: Holding plate, 6a: Weld hole, 6b: Notch 10: Flow control device 13: Main body part 14: Primary side joint 15: Secondary side joint, 15d: Leak port 16: Thermocouple 18: Second bolt, 18c: Hexagon socket
20: Fluid control device 21: Base 24: Joint

Claims

A sensor holder mounted on a hexagon socket head cap screw for fixing a flow control device to a joint,
A base block disposed on the hexagon socket head cap screw;
A fixing portion for supporting the base block, being inserted and fixed in a hexagon socket of the hexagon socket head bolt, and fixing the base block to the hexagon socket socket bolt;
A sensor holding part fixed to the base block and holding the temperature sensor.

The fixed part is
A screw having a head and a shank formed with a male screw;
A cylindrical member having a through hole provided with an internal thread on the inner periphery, having a protruding portion protruding inward and having an end inserted into the hexagonal hole of the hexagonal socket bolt,
By inserting the shank of the screw into the through-hole of the cylindrical member and screwing the female screw of the screw into the female screw of the cylindrical member, the protruding portion of the cylindrical member becomes the tip of the shank. The sensor holder according to claim 1, wherein the end portion of the cylindrical member is pushed and spread by being pushed by a portion.

The sensor holder according to claim 2, wherein the cylindrical member has a hexagonal cylindrical shape.

The sensor holding unit is
A fixing bolt screwed to the base block;
The holding plate in which the welding hole in which the thermocouple which is the said temperature sensor is inserted and welded, and the notch which can insert / remove the shank of the said fixing bolt is provided. The sensor holder according to claim 1.

The base block is formed with a mounting hole into which the screw and the cylindrical member are inserted, a screwing hole into which the fixing bolt is screwed, and the insertion hole into which the thermocouple is inserted. Item 6. The sensor holder according to Item 5.

A fluid control apparatus comprising the sensor holder according to any one of claims 1 to 5, which is attached to a hexagon socket head bolt for fixing a fluid control device to a joint.

The fluid control device is a flow control device comprising a main body part for controlling the flow rate of gas, a primary side joint and a secondary side joint connected to the joint, and the hexagon socket head cap screw,
The fluid control device according to claim 6, wherein the hexagon socket head cap screw is used to fix the secondary side joint to the joint.

The fluid control device according to claim 7, wherein a leak port for detecting a gas leak is formed in the secondary side joint, and a tip of a thermocouple that is the temperature sensor is inserted into the leak port. .