JP2017170716A - Mask for paste embed-printing and printing apparatus - Google Patents

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将 中川
Susumu Nakagawa
将 中川
浩規 宇野
Hironori Uno
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve, when embed-printing a paste in a hole part formed in a dry film, the yield by leaving the paste as little as possible on the surface other than the hole part.SOLUTION: Provided is a mask 25 having an opening for exposing a plurality of hole parts on the surface of a dry film and to be overlaid on the surface of the dry film for embed-printing a paste in the hole parts, and in which there are formed an outer peripheral frame 23, and an annular thin wall 24 formed thinner than the outer peripheral frame 23 on the inner peripheral part of the outer peripheral frame 23 and an opening 22 is formed by the inner peripheral edge of the thin wall 24.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、基板の表面の複数の孔部にペーストを埋め込んだ状態に印刷するペースト埋め込み印刷用マスク及び印刷装置に関する。   The present invention relates to a paste embedding printing mask and a printing apparatus for printing in a state in which a paste is embedded in a plurality of holes on the surface of a substrate.

電子部品が表面実装される回路基板には、表面の電極の上にはんだバンプが設けられている。このはんだバンプを形成する方法として、絶縁基板表面に形成した回路層の上に、ドライフィルム(感光性樹脂層)を形成し、このドライフィルムを感光して回路層の各電極に通じる孔部をそれぞれ形成し、これら孔部にはんだペーストを埋め込み、各電極上のはんだペーストをリフロー処理することが行なわれる。
この場合、ドライフィルムの孔部へのはんだペーストの埋め込みは、スクリーン印刷によって行われる。
A circuit board on which electronic components are surface-mounted is provided with solder bumps on the surface electrodes. As a method of forming this solder bump, a dry film (photosensitive resin layer) is formed on the circuit layer formed on the surface of the insulating substrate, and the hole that leads to each electrode of the circuit layer is formed by exposing the dry film. Each of these holes is formed, a solder paste is embedded in these holes, and the solder paste on each electrode is reflowed.
In this case, the solder paste is embedded in the hole of the dry film by screen printing.

このスクリーン印刷では、マスクに、ドライフィルムに開口している複数の孔部を露出させるように、一つの開口を形成しておき、ドライフィルムの上にマスクを重ねて、そのマスクの上にスキージを移動しながら、開口内のドライフィルムの上にはんだペーストを塗布することが行なわれる。
このようなマスクを用いて回路基板にはんだペースト等の導電性ペーストを印刷する方法として、例えば特許文献1、特許文献2に記載の技術がある。
特許文献1には、ソルダーペーストを印刷するためのメタルマスクとして、メタルマスクの印刷材充填部となる孔部において、その孔部の塗布側開口部よりも印刷側開口部の開口面積が小さく形成されたものが開示されている。
特許文献2にも、マスクの孔部を塗布側開口の方を大きくするようにテーパ状に形成したものが開示されている。
In this screen printing, a single opening is formed in the mask so as to expose a plurality of openings in the dry film, the mask is overlaid on the dry film, and a squeegee is placed on the mask. The solder paste is applied onto the dry film in the opening while moving.
As a method for printing a conductive paste such as a solder paste on a circuit board using such a mask, there are techniques described in Patent Document 1 and Patent Document 2, for example.
In Patent Document 1, as a metal mask for printing a solder paste, in a hole serving as a printing material filling portion of a metal mask, an opening area of a printing side opening is formed smaller than an application side opening of the hole. Has been disclosed.
Patent Document 2 also discloses a mask having a hole formed in a tapered shape so that the opening on the application side is larger.

特開2006‐187955公報JP 2006-187955 A 特表2010‐541208号公報Special table 2010-541208

ところで、前述したドライフィルムの孔部にはんだペーストを埋め込み印刷する場合、マスク部がドライフィルムの孔部形成領域の全体を囲むことができる大きさに形成されているので、その開口部の内周縁とドライフィルムの上面との間に形成される隅部にはんだペーストが溜まり易く、ドライフィルム上にはんだペーストが残ってしまい、はんだペーストの歩留まりが悪いという問題がある。
この場合、特許文献1や特許文献2記載のように、開口の内周縁をテーパ状に形成することは、はんだペーストの残存量を低減することができると考えられるが、その効果はわずかなものでしかない。
By the way, when the solder paste is embedded and printed in the hole portion of the dry film described above, the mask portion is formed in a size that can surround the whole hole formation region of the dry film, so the inner peripheral edge of the opening portion. There is a problem that the solder paste tends to accumulate in the corner formed between the upper surface of the dry film and the dry film, and the solder paste remains on the dry film, resulting in poor yield of the solder paste.
In this case, as described in Patent Document 1 and Patent Document 2, it is considered that forming the inner peripheral edge of the opening in a tapered shape can reduce the remaining amount of solder paste, but the effect is slight. Only it is.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ドライフィルムの孔部等により基板表面に形成される孔部内にペーストを埋め込み印刷する際に、孔部以外の表面にペーストを極力残さないようにして、ペーストの歩留まりを向上させることを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and when the paste is embedded and printed in the hole formed on the substrate surface by the hole or the like of the dry film, the paste is left as much as possible on the surface other than the hole. The purpose is to improve the yield of paste.

本発明は、その課題解決のために、ペースト埋め込み印刷用マスク及び印刷装置を提案する。
本発明のペースト埋め込み印刷用マスクは、基板表面におけるドライフィルムの複数の孔部を露出させる開口部を有し、前記ドライフィルム表面に重ねられて、前記孔部にペーストを埋め込み印刷するためのマスクであり、外周枠部と、該外周枠部の内周部に前記外周枠部より薄肉に形成された環状の薄肉部とが形成されており、前記薄肉部の内周縁により前記開口部が形成されている。
In order to solve the problem, the present invention proposes a paste embedding printing mask and a printing apparatus.
The mask for paste embedding printing of the present invention has an opening for exposing a plurality of holes of a dry film on a substrate surface, and is a mask for embedding and printing a paste in the hole overlaid on the surface of the dry film. And an outer peripheral frame part and an annular thin part formed thinner than the outer peripheral frame part on the inner peripheral part of the outer peripheral frame part, and the opening is formed by the inner peripheral edge of the thin part. Has been.

外周枠部の内側に単純に開口部を形成しただけの従来のマスクでは、その開口部の上をまたぐように配置したスキージの両端部を外周枠部上に支持しながら、スキージを移動して、開口部内にペーストを押し込むように塗布すると、開口部の内周縁の高さの分、ペーストが掻き取られずに残ってしまう。
これに対して、本発明のマスクでは、開口部の上をまたぐように配置したスキージの両端部を薄肉部の上に支持した状態で移動させることができ、薄肉としたことにより、その内周縁に残るペーストの量を少なくすることができる。
一方、外周枠部は薄肉部よりも厚いので、この厚い外周枠部により全体の剛性を確保することができ、変形や伸びの発生を抑制することができる。
In a conventional mask in which an opening is simply formed inside the outer peripheral frame, the squeegee is moved while supporting both ends of the squeegee arranged over the opening on the outer peripheral frame. When the paste is applied so as to be pushed into the opening, the paste remains without being scraped off by the height of the inner peripheral edge of the opening.
On the other hand, in the mask of the present invention, both ends of the squeegee arranged so as to straddle the opening can be moved in a state where the squeegee is supported on the thin part. It is possible to reduce the amount of paste remaining on the surface.
On the other hand, since the outer peripheral frame portion is thicker than the thin-walled portion, the thick outer peripheral frame portion can ensure the overall rigidity and suppress the occurrence of deformation and elongation.

本発明のマスクにおいて、前記薄肉部は、前記外周枠部側から前記開口部側に向かって漸次肉厚が小さくなるように形成されているとよい。   In the mask of the present invention, the thin portion may be formed so that the thickness gradually decreases from the outer peripheral frame portion side toward the opening portion side.

薄肉部の内周縁部は可能な限り薄くすることでペーストの残存量を少なくすることができるが、薄肉部の全体を薄くするにはマスクとしての強度が損なわれる。そこで、薄肉部の内周縁部を最も薄くし、外側に向かうにしたがって徐々に厚くすることで、全体としての剛性は確保しながら、さらにペーストの残存量を少なくすることができる。この場合、スキージはゴム材等からなり、弾性を有しているので、薄肉部のうちの厚い部分に両端部が支持される場合でも、マスクに押圧されることにより、厚さの薄い部分の表面をも摺動させることができ、薄肉部上でのペーストの残存を防止することができる。   Although the remaining amount of paste can be reduced by making the inner peripheral edge of the thin part as thin as possible, the strength as a mask is impaired to make the whole thin part thin. Therefore, by making the inner peripheral edge of the thin-walled portion the thinnest and gradually increasing the thickness toward the outside, the remaining amount of paste can be further reduced while ensuring the rigidity as a whole. In this case, since the squeegee is made of a rubber material and has elasticity, even when both ends are supported by the thick part of the thin part, the squeegee is pressed against the mask to reduce the thickness of the thin part. The surface can also be slid, and the remaining paste on the thin portion can be prevented.

本発明のペースト埋め込み印刷装置は、前記ペースト埋め込み印刷用マスクと、前記埋め込み印刷用マスクを介して前記ドライフィルム表面に前記ペーストを塗布するスキージとを有し、前記スキージは、前記外周枠部よりも内側で、前記開口部上を横断して前記薄肉部に両端部が支持される長さに形成されている。   The paste embedding printing apparatus of the present invention includes the paste embedding printing mask, and a squeegee for applying the paste to the dry film surface through the embedding printing mask, the squeegee from the outer peripheral frame portion. Also, it is formed in such a length that both ends are supported by the thin portion across the opening.

本発明によれば、ドライフィルムの孔部以外の表面にペーストを極力残すことなく埋め込み印刷することができ、ペーストの歩留まりを向上することができる。   According to the present invention, embedding printing can be performed without leaving the paste as much as possible on the surface other than the hole portion of the dry film, and the yield of the paste can be improved.

本発明の埋め込み印刷装置の一実施形態におけるマスク装置を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the mask apparatus in one Embodiment of the embedding printing apparatus of this invention. 一実施形態の埋め込み印刷装置の要部の断面図である。It is sectional drawing of the principal part of the embedding printing apparatus of one Embodiment. 一実施形態におけるにおける印刷用マスクの端部の断面図である。It is sectional drawing of the edge part of the mask for printing in one Embodiment. 第2実施形態における印刷用マスクの端部の断面図である。It is sectional drawing of the edge part of the mask for printing in 2nd Embodiment.

以下、本発明の実施形態について説明する。
実施形態の印刷装置によって埋め込み印刷される基板について説明しておくと、この基板1は印刷回路基板であり、図2に示すように、エポキシ樹脂等の絶縁材からなる絶縁基板2の上に、銅などの電気良導体からなる回路パターン3が形成されている。そして、この回路パターン3の上に、アクリル系感光材等からなるドライフィルム4が積層されており、そのドライフィルム4に、回路パターン3の各電極部を露出させる孔部が形成されている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described.
The substrate that is embedded and printed by the printing apparatus of the embodiment will be described. This substrate 1 is a printed circuit board, and as shown in FIG. 2, on the insulating substrate 2 made of an insulating material such as an epoxy resin, A circuit pattern 3 made of a good electrical conductor such as copper is formed. A dry film 4 made of an acrylic photosensitive material or the like is laminated on the circuit pattern 3, and holes for exposing the electrode portions of the circuit pattern 3 are formed in the dry film 4.

本実施形態の印刷装置は、このドライフィルム4の各孔部5にペーストとしてはんだペーストを埋め込み印刷する装置である。はんだペーストとしては、Sn‐Cu合金、Sn‐Ag合金、Pb‐Sn合金等のSn系合金を含むはんだペーストが好適である。
この印刷装置11は、印刷回路基板1表面におけるドライフィルム4の上に重ねられるマスク装置21と、そのマスク装置21の上を移動してペーストを塗布するスキージヘッド31とを備えており、マスク装置21に、ドライフィルム4の複数の孔部5が形成されている領域(孔部形成領域)の全体を露出させる大きさの開口部22が形成され、1回のスキージング操作で開口部22に露出した各孔部5にペーストを埋め込み印刷するものである。
The printing apparatus of this embodiment is an apparatus that embeds and prints a solder paste as a paste in each hole 5 of the dry film 4. As the solder paste, a solder paste containing a Sn-based alloy such as a Sn—Cu alloy, a Sn—Ag alloy, or a Pb—Sn alloy is suitable.
The printing apparatus 11 includes a mask device 21 that is overlaid on the dry film 4 on the surface of the printed circuit board 1, and a squeegee head 31 that moves on the mask device 21 and applies paste. 21 is formed with an opening 22 having a size that exposes the entire area (hole forming area) in which the plurality of holes 5 of the dry film 4 are formed. The opening 22 is formed by one squeezing operation. A paste is embedded and printed in each exposed hole 5.

マスク装置21は、図1にも示すように、矩形枠状のフレーム23と、そのフレーム23の内側に取り付けられたスクリーン紗24と、スクリーン紗24の内側に張られた印刷用マスク(本発明のマスク)25とを備えている。
フレーム23は、ステンレス鋼やアルミニウム等の金属製でマスク装置21全体の形状を保持し得る強度を有している。印刷用マスク25は、ステンレス鋼やニッケル等の金属製のステンシルマスクであり、薄肉の平板状に形成されている。スクリーン紗24は、フレーム23の内周縁と印刷用マスク25の外周縁との間に張られた伸縮性を有するメッシュ状のものであり、ポリエステル等の樹脂やステンレス鋼等の金属により形成され、フレーム23の内側で印刷用マスク25を平板状に保持している。
As shown in FIG. 1, the mask device 21 includes a rectangular frame 23, a screen ridge 24 attached to the inside of the frame 23, and a printing mask stretched on the inside of the screen ridge 24 (the present invention). ) Mask 25).
The frame 23 is made of a metal such as stainless steel or aluminum and has a strength capable of maintaining the shape of the mask device 21 as a whole. The printing mask 25 is a stencil mask made of metal such as stainless steel or nickel, and is formed in a thin flat plate shape. The screen cage 24 is a mesh-like thing having stretchability stretched between the inner periphery of the frame 23 and the outer periphery of the printing mask 25, and is formed of a resin such as polyester or a metal such as stainless steel, The printing mask 25 is held in a flat plate shape inside the frame 23.

また、印刷用マスク25は、厚肉の外周枠部26と、外周枠部26の内周部に外周枠部26より薄肉に形成された環状の薄肉部27とが一体に形成されており、薄肉部27の内周縁により開口部22が形成されている。この印刷用マスク25の開口部22の一辺の長さL2が50mm〜450mmの大きさである場合、図1及び図3に示すように、外周枠部26の厚さHが0.05mm〜2mmで、薄肉部27は、高さ(厚さ)hが0.01mm〜0.03mm、その長さ(外周枠部26の内周縁から薄肉部27の内周縁までの距離)Lが5mm〜10mmに形成される。例えば、印刷用マスク25の開口部22の一辺の長さL2が240mmの場合、外周枠部26の高さHが1mm、薄肉部27の高さhが0.02mm、薄肉部27の長さLが5mmに形成される。   The printing mask 25 is integrally formed with a thick outer peripheral frame portion 26 and an annular thin portion 27 formed thinner on the inner peripheral portion of the outer peripheral frame portion 26 than the outer peripheral frame portion 26. An opening 22 is formed by the inner peripheral edge of the thin portion 27. When the length L2 of one side of the opening 22 of the printing mask 25 is 50 mm to 450 mm, as shown in FIGS. 1 and 3, the thickness H of the outer peripheral frame 26 is 0.05 mm to 2 mm. The thin portion 27 has a height (thickness) h of 0.01 mm to 0.03 mm, and its length (distance from the inner periphery of the outer peripheral frame portion 26 to the inner periphery of the thin portion 27) L is 5 mm to 10 mm. Formed. For example, when the length L2 of one side of the opening portion 22 of the printing mask 25 is 240 mm, the height H of the outer peripheral frame portion 26 is 1 mm, the height h of the thin portion 27 is 0.02 mm, and the length of the thin portion 27. L is formed to 5 mm.

そして、この印刷用マスク25において、スキージ34は、開口部22の上を横断してまたぐように配置され、スキージ34の両端部が薄肉部27の上を摺動する。したがって、スキージ34の長さL3は、図1に示すように、その摺動方向(スキージング方向)と直交する方向に沿う開口部22の幅L2より大きく、外周枠部26と薄肉部27との間の段差部28間の幅(スキージング方向と直交する方向の外周枠部26の内周縁間の距離)L1より小さく設定される。例えば、周枠部26と薄肉部27との間の段差部28間の幅L1が240mmの場合、スキージ34の長さL3はL1より小さく、235mm〜238mmに形成される。   In the printing mask 25, the squeegee 34 is arranged so as to cross over the opening 22, and both ends of the squeegee 34 slide on the thin portion 27. Therefore, the length L3 of the squeegee 34 is larger than the width L2 of the opening 22 along the direction orthogonal to the sliding direction (squeezing direction), as shown in FIG. Is set to be smaller than the width L1 (the distance between the inner peripheral edges of the outer peripheral frame portion 26 in the direction orthogonal to the squeezing direction) L1. For example, when the width L1 between the step portions 28 between the peripheral frame portion 26 and the thin portion 27 is 240 mm, the length L3 of the squeegee 34 is smaller than L1 and is formed to be 235 mm to 238 mm.

このように構成した印刷装置11により、ドライフィルム4の孔部5内にペーストを埋め込み印刷する方法について説明する。
印刷回路基板1表面におけるドライフィルム4の上にマスク装置21を重ね、印刷用マスク25の開口部22にドライフィルム4の孔部形成領域の全体を臨ませる。そして、スキージヘッド31のスキージ34を印刷用マスク25の開口部22よりもスキージング方向の手前の薄肉部27上に接触させ、所定の押圧力で印刷用マスク25を押圧した状態とする。
この状態からスキージ34に所定の押圧力を作用させたまま、スキージ34の間からペーストPを押し出しながらスキージヘッド31を移動してスキージングする。この操作により、スキージ34の間から押し出されたペーストPがドライフィルム4の孔部5内に充填される。スキージヘッド31を印刷用マスク25の端部まで移動し、スキージ34を開口部22上から薄肉部27の上に配置することにより、スキージング操作は終了する。
A method for embedding and printing a paste in the hole 5 of the dry film 4 using the printing apparatus 11 configured as described above will be described.
The mask device 21 is stacked on the dry film 4 on the surface of the printed circuit board 1, and the entire hole forming region of the dry film 4 is exposed to the opening 22 of the printing mask 25. Then, the squeegee 34 of the squeegee head 31 is brought into contact with the thin portion 27 in front of the opening portion 22 of the printing mask 25 in the squeegeeing direction, and the printing mask 25 is pressed with a predetermined pressing force.
In this state, the squeegee head 31 is moved and squeezed while the paste P is pushed out from between the squeegees 34 while a predetermined pressing force is applied to the squeegee 34. By this operation, the paste P pushed out from between the squeegees 34 is filled in the hole 5 of the dry film 4. The squeegee operation is completed by moving the squeegee head 31 to the end of the printing mask 25 and disposing the squeegee 34 on the thin portion 27 from the opening 22.

このスキージング操作の最終段階で、スキージ34が開口部22の周縁を乗り上げる際に開口部22内にペーストPの残留が生じるおそれがあるが、開口部22を形成している薄肉部27の内周縁は、その高さhが小さい(例えば0.02mm)ので、ペーストPの残留が生じたとしてもその量は極めて少ないものとなる。したがって、この印刷用マスク25を用いることにより、ペーストPの歩留まりを高めることができる。
また、印刷用マスク25としては、外周枠部26により全体の剛性は保持されているので、繰り返しの印刷に対する耐久性も良好である。
In the final stage of this squeezing operation, when the squeegee 34 rides on the periphery of the opening 22, the paste P may remain in the opening 22. Since the height h of the peripheral edge is small (for example, 0.02 mm), even if the paste P remains, the amount thereof is extremely small. Therefore, the yield of paste P can be increased by using this printing mask 25.
Further, since the overall rigidity of the printing mask 25 is maintained by the outer peripheral frame portion 26, the durability against repeated printing is also good.

図4は本発明の印刷装置における印刷用マスクの他の実施形態を示している。この印刷用マスク41においては、外周枠部26の内側の薄肉部42の厚さが、外周枠部26の内周縁側から開口部22側に向かうにしたがって漸次肉厚が薄くなるように形成されており、薄肉部42の上面42aが開口部22に向けて下り勾配の傾斜面に形成されている。
この印刷用マスク41は、薄肉部42で最も薄い内周縁の厚さh1は0.01mm〜0.03mmに形成され、薄肉部42の上面42aの傾斜角度θは10°〜45°に形成される。例えば、薄肉部42の内周縁の厚さh1が0.01mmで上面42aの傾斜角度θが10°に形成される。
この第2実施形態の印刷用マスク41においては、薄肉部42の厚さを開口部22に向けて漸次小さく形成したので、比較的厚い外側部分により薄肉部42の強度を確保できるので、薄肉部42の内周縁を可能な限り薄肉に形成することができ、これを薄肉にする分、第1実施形態のものよりさらにペーストの残留量を少なくすることができる。
FIG. 4 shows another embodiment of the printing mask in the printing apparatus of the present invention. In the printing mask 41, the thickness of the thin portion 42 inside the outer peripheral frame portion 26 is formed so that the thickness gradually decreases from the inner peripheral edge side of the outer peripheral frame portion 26 toward the opening portion 22 side. The upper surface 42 a of the thin wall portion 42 is formed in an inclined surface with a downward slope toward the opening 22.
The printing mask 41 is formed such that the thinnest inner peripheral thickness h1 of the thin portion 42 is 0.01 mm to 0.03 mm, and the inclination angle θ of the upper surface 42a of the thin portion 42 is 10 ° to 45 °. The For example, the thickness h1 of the inner peripheral edge of the thin portion 42 is 0.01 mm and the inclination angle θ of the upper surface 42a is 10 °.
In the printing mask 41 according to the second embodiment, since the thickness of the thin portion 42 is gradually reduced toward the opening portion 22, the strength of the thin portion 42 can be secured by the relatively thick outer portion. The inner peripheral edge of 42 can be formed as thin as possible, and the amount of residual paste can be further reduced as compared with that of the first embodiment as much as it is thinned.

なお、本発明は、上記実施形態の構成のものに限定されるものではなく、細部構成においては、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
前述の実施形態ではカートリッジ式スキージヘッドによってペーストを印刷することとしたが、カートリッジ式スキージヘッド以外のスキージを用いてもよい。
また、はんだペーストを印刷する実施形態を説明したが、はんだペーストに限らず、配線形成用の導電性ペースト、着色インク等にも、本発明を適用することができる。
In addition, this invention is not limited to the thing of the structure of the said embodiment, In a detailed structure, it is possible to add a various change in the range which does not deviate from the meaning of this invention.
In the above-described embodiment, the paste is printed by the cartridge type squeegee head. However, a squeegee other than the cartridge type squeegee head may be used.
Moreover, although embodiment which prints a solder paste was demonstrated, this invention is applicable not only to a solder paste but the electrically conductive paste for wiring formation, coloring ink, etc.

1…印刷回路基板(基板)
2…絶縁基板
3…回路パターン
4…ドライフィルム
5…孔部
11…印刷装置
21…マスク装置、
22…開口部
23…フレーム
24…スクリーン紗
25…印刷用マスク(マスク)
26…外周枠部
27…薄肉部
28…段差部
31…スキージヘッド
34…スキージ
41…印刷用マスク(マスク)
42…薄肉部
P…ペースト
1 ... Printed circuit board (board)
2 ... Insulating substrate 3 ... Circuit pattern 4 ... Dry film 5 ... Hole 11 ... Printing device 21 ... Mask device,
22 ... Opening 23 ... Frame 24 ... Screen 25 ... Printing mask (mask)
26 ... outer peripheral frame portion 27 ... thin portion 28 ... step portion 31 ... squeegee head 34 ... squeegee 41 ... mask for printing (mask)
42 ... Thin part P ... Paste

Claims (3)

基板表面におけるドライフィルムの複数の孔部を露出させる開口部を有し、前記ドライフィルム表面に重ねられて、前記孔部にペーストを埋め込み印刷するためのマスクであり、外周枠部と、該外周枠部の内周部に前記外周枠部より薄肉に形成された環状の薄肉部とが形成されており、前記薄肉部の内周縁により前記開口部が形成されていることを特徴とするペースト埋め込み印刷用マスク。   A mask having an opening that exposes a plurality of holes of a dry film on a substrate surface, being superimposed on the surface of the dry film, and for embedding and printing a paste in the hole, an outer peripheral frame, and the outer periphery The paste embedding is characterized in that an annular thin part formed thinner than the outer peripheral frame part is formed on an inner peripheral part of the frame part, and the opening is formed by an inner peripheral edge of the thin part. Mask for printing. 前記薄肉部は、前記外周枠部側から前記開口部側に向かって漸次肉厚が小さくなるように形成されていることを特徴とする請求項1記載のペースト埋め込み印刷用マスク。   2. The paste embedding printing mask according to claim 1, wherein the thin portion is formed so that the thickness gradually decreases from the outer peripheral frame portion side toward the opening portion side. 請求項1又は2記載のペースト埋め込み印刷用マスクと、前記埋め込み印刷用マスクを介して前記ドライフィルム表面に前記ペーストを塗布するスキージとを有し、前記スキージは、前記外周枠部よりも内側で、前記開口部上を横断して前記薄肉部に両端部が支持される長さに形成されていることを特徴とするペースト埋め込み印刷装置。   The paste embedded printing mask according to claim 1 or 2, and a squeegee for applying the paste to the dry film surface through the embedded printing mask, wherein the squeegee is located inside the outer peripheral frame portion. The paste embedding printing apparatus, wherein the paste embedding printing apparatus is formed to have such a length that both ends are supported by the thin portion across the opening.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7539083B2 (en) 2020-11-09 2024-08-23 パナソニックIpマネジメント株式会社 Printing device

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