JP2017163104A - Optical semiconductor element with coating layer and manufacturing method thereof - Google Patents

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Ryohei Kakiuchi
良平 垣内
弘司 野呂
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弘司 野呂
悠紀 江部
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悠紀 江部
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隆 近藤
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of an optical semiconductor element with a coating layer capable of suppressing breakage of the coating layer while ensuring excellent handling, and capable of adhering the coating layer reliably to the optical semiconductor element, and to provide an optical semiconductor element with a coating layer thus obtained.SOLUTION: A manufacturing method of an optical semiconductor element 15 with a coating layer includes the steps of: (1) installing an optical semiconductor element coating sheet 1 including a coating layer 3 formed of hot melt resin and capable of covering an optical semiconductor element 2, and a cushion layer 4 placed thereon, and the optical semiconductor element 2, on a press machine 10 so that the coating layer 3 faces the optical semiconductor element 2; (2) hot-pressing the optical semiconductor element coating sheet 1 and the optical semiconductor element 2 so as to be compressed by the press machine 10 following to the step (1); and (3) removing the cushion layer from the coating layer after the step (2). International rubber hardness of the cushion layer 4, measured at 25°C by means of a hardness meter based on a method conforming to JIS K 6253-2 (2012), is 10 or more 50 or less.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、被覆層付光半導体素子およびその製造方法、詳しくは、被覆層付光半導体素子の製造方法、および、それにより得られる被覆層付光半導体素子に関する。   The present invention relates to an optical semiconductor element with a coating layer and a method for producing the same, and more particularly to a method for producing an optical semiconductor element with a coating layer, and an optical semiconductor element with a coating layer obtained thereby.

従来、蛍光層と、封止層とを順に備える蛍光封止シートによって、発光ダイオード素子を封止することが知られている(例えば、特許文献1参照。)。   Conventionally, it is known that a light-emitting diode element is sealed with a fluorescent sealing sheet including a fluorescent layer and a sealing layer in order (see, for example, Patent Document 1).

特許文献1では、かかる蛍光封止シートによって発光ダイオード素子を封止する際には、封止層が発光ダイオード素子を埋設するように変形する一方、蛍光層が板形状を維持している。   In Patent Document 1, when a light emitting diode element is sealed with such a fluorescent sealing sheet, the sealing layer is deformed so as to embed the light emitting diode element, while the fluorescent layer maintains a plate shape.

特開2013−214716号公報JP 2013-214716 A

しかし、特許文献1に記載の蛍光封止シートによって、発光ダイオード素子を封止するときには、発光ダイオード素子の発光面(電極面と反対側の面)の周端縁を被覆する蛍光層が千切れたり、あるいは、極度に薄くなる場合がある。その場合には、蛍光層が有する波長変換機能を十分に奏することができず、ひいては、発光効率が低下するという不具合がある。   However, when the light emitting diode element is sealed with the fluorescent sealing sheet described in Patent Document 1, the fluorescent layer covering the peripheral edge of the light emitting surface (surface opposite to the electrode surface) of the light emitting diode element is cut off. Or it may become extremely thin. In that case, there is a problem that the wavelength conversion function of the fluorescent layer cannot be sufficiently achieved, and as a result, the light emission efficiency is lowered.

また、特許文献1に記載の蛍光封止シートによれば、蛍光層が発光ダイオード素子の周側面を完全に被覆することができない場合がある。その場合には、蛍光封止シートの発光ダイオード素子に対する密着性が低下し、ひいては、発光ダイオード素子の信頼性が低下するという不具合がある。   Moreover, according to the fluorescent sealing sheet described in Patent Document 1, the fluorescent layer may not be able to completely cover the peripheral side surface of the light emitting diode element. In that case, there is a problem that the adhesion of the fluorescent encapsulating sheet to the light emitting diode element is lowered, and as a result, the reliability of the light emitting diode element is lowered.

また、蛍光封止シートには、優れた取扱性が求められている。   Moreover, the excellent handling property is calculated | required by the fluorescent sealing sheet.

本発明の目的は、クッション層の取扱性に優れながら、被覆層の破損を抑制できるとともに、被覆層が光半導体素子に対して確実に密着することのできる、被覆層付光半導体素子の製造方法、および、それにより得られる被覆層付光半導体素子を提供することにある。   SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a method for producing an optical semiconductor element with a cover layer, which is excellent in handleability of the cushion layer, can suppress damage to the cover layer, and can reliably adhere the cover layer to the optical semiconductor element. And providing an optical semiconductor element with a coating layer obtained thereby.

[1]本発明は、ホットメルト樹脂から形成され、光半導体素子を被覆可能な被覆層、および、前記被覆層の厚み方向一方側に配置されるクッション層を備える被覆部材と、前記光半導体素子とを、前記被覆層が前記光半導体素子に臨むように、プレス機に設置する工程(1)と、前記工程(1)の後に、前記プレス機により、前記被覆部材および前記光半導体素子を、それらが互いに圧縮されるように、熱プレスする工程(2)と、前記工程(2)の後に、前記クッション層を前記被覆層から除去する工程(3)とを備え、前記クッション層は、JIS K 6253−2(2012年)に準拠した方法に基づく硬度計により25℃で測定される前記クッション層の国際ゴム硬さが、10以上、50以下であることを特徴とする、被覆層付光半導体素子の製造方法である。   [1] The present invention provides a coating member formed of a hot melt resin and capable of coating an optical semiconductor element, a coating member provided with a cushion layer disposed on one side in the thickness direction of the coating layer, and the optical semiconductor element And after the step (1), the coating member and the optical semiconductor element are placed by the press after the step (1) so that the coating layer faces the optical semiconductor element. The step (2) of hot pressing so that they are compressed together, and the step (3) of removing the cushion layer from the coating layer after the step (2), Light with a coating layer, wherein the international rubber hardness of the cushion layer measured at 25 ° C. by a hardness meter based on a method based on K 6253-2 (2012) is 10 or more and 50 or less It is a manufacturing method of a semiconductor element.

この方法によれば、クッション層は、特定の国際ゴム硬さを有するので、取扱性に優れながら、被覆層の破損を抑制できるとともに、被覆層が光半導体素子に対して確実に密着することができる。   According to this method, since the cushion layer has a specific international rubber hardness, it is possible to prevent damage to the coating layer while being excellent in handleability, and to ensure that the coating layer is in close contact with the optical semiconductor element. it can.

[2]本発明は、前記クッション層の厚みが、150μm以上、5,000μm未満であることを特徴とする、上記[1]に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法である。   [2] The present invention provides the method for producing an optical semiconductor element with a cover layer according to the above [1], wherein the cushion layer has a thickness of 150 μm or more and less than 5,000 μm.

この方法によれば、クッション層の厚みが、上記した下限以上であるので、被覆層の破損をより一層抑制することができる。また、クッション層の厚みが、上記した上限以下であるので、被覆層が光半導体素子に対してより一層確実に密着することができる。   According to this method, since the thickness of the cushion layer is equal to or more than the lower limit described above, damage to the coating layer can be further suppressed. Moreover, since the thickness of a cushion layer is below an upper limit mentioned above, a coating layer can adhere | attach more reliably with respect to an optical semiconductor element.

[3]本発明は、前記工程(2)における圧力が、20kPa以上、120kPa以下であることを特徴とする、上記[1]または[2]に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法である。   [3] The method according to [1] or [2], wherein the pressure in the step (2) is 20 kPa or more and 120 kPa or less. is there.

この方法によれば、工程(2)における圧力が、特定の下限以上であるので、被覆層が光半導体素子に対してより一層確実に密着することができる。また、工程(2)における圧力が、特定の上限以下であるので、被覆層の破損をより一層抑制することができる。   According to this method, since the pressure in the step (2) is not less than a specific lower limit, the coating layer can be more reliably adhered to the optical semiconductor element. Moreover, since the pressure in a process (2) is below a specific upper limit, damage to a coating layer can be suppressed further.

[4]本発明は、前記被覆部材は、剥離層をさらに備えており、前記剥離層の上に、前記クッション層と、前記被覆層とを順に備えることを特徴とする、上記[1]〜[3]のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法である。   [4] In the present invention, the covering member further includes a release layer, and the cushion layer and the cover layer are sequentially provided on the release layer. It is a manufacturing method of the optical semiconductor element with a coating layer as described in any one of [3].

この方法によれば、被覆部材は、剥離層をさらに備えるので、被覆部材の取扱性に優れる。そのため、被覆部材を簡易かつ確実に取り扱って、被覆層付光半導体素子を製造することができる。   According to this method, since the covering member further includes the release layer, the handling property of the covering member is excellent. Therefore, it is possible to manufacture the optical semiconductor element with a cover layer by simply and reliably handling the cover member.

[5]本発明は、前記被覆層は、剪断モード、周波数1Hz、および、昇温速度10℃/分の測定条件にて動的粘弾性測定することにより得られ、60℃以上90℃以下の測定範囲のうちいずれかの測定温度において、2.0×10以下の貯蔵剪断弾性率G’を有し、かつ、0.9以上、1.0以下のtanδを有することを特徴とする、上記[1]〜[4]のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法である。 [5] In the present invention, the coating layer is obtained by performing dynamic viscoelasticity measurement under a shear mode, a frequency of 1 Hz, and a temperature rising rate of 10 ° C./min. It has a storage shear modulus G ′ of 2.0 × 10 5 or less and a tan δ of 0.9 or more and 1.0 or less at any measurement temperature in the measurement range. It is a manufacturing method of the optical semiconductor element with a coating layer as described in any one of said [1]-[4].

この方法によれば、被覆層は、特定範囲の貯蔵剪断弾性率G’およびtanδを有するので、被覆層の破損をより一層抑制でき、および/または、被覆層が光半導体素子に対してより一層確実に密着することができる。   According to this method, since the coating layer has a specific range of storage shear modulus G ′ and tan δ, damage to the coating layer can be further suppressed, and / or the coating layer can be further reduced with respect to the optical semiconductor element. Adherence can be ensured.

[6]本発明は、前記被覆層の厚みが、30μm以上であることを特徴とする、上記[1]〜[5]のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法である。   [6] The method for producing an optical semiconductor element with a cover layer according to any one of [1] to [5], wherein the cover layer has a thickness of 30 μm or more. is there.

この方法によれば、被覆層の厚みが、上記した下限以上であるので、被覆層の破損をより一層抑制することができる。   According to this method, since the thickness of the coating layer is equal to or greater than the above-described lower limit, damage to the coating layer can be further suppressed.

[7]本発明は、前記被覆層は、シリコーン樹脂組成物から形成されていることを特徴とする、上記[1]〜[6]のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法である。   [7] The optical semiconductor element with a cover layer according to any one of [1] to [6], wherein the cover layer is formed of a silicone resin composition. It is a manufacturing method.

この方法によれば、被覆層は、シリコーン樹脂組成物から形成されているので、プレス機により、被覆部材を熱プレスしても、被覆層の破損をより一層抑制することができる。また、被覆層は、シリコーン樹脂組成物から形成されているので、被覆層の優れた透明性を得ることができる。   According to this method, since the coating layer is formed from the silicone resin composition, damage to the coating layer can be further suppressed even if the coating member is hot-pressed by a press. Moreover, since the coating layer is formed from the silicone resin composition, excellent transparency of the coating layer can be obtained.

[8]本発明は、前記被覆層は、蛍光体を含有することを特徴とする、上記[1]〜[7]のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法である。   [8] The present invention is the method for manufacturing an optical semiconductor element with a cover layer according to any one of the above [1] to [7], wherein the cover layer contains a phosphor. .

この方法によれば、被覆層は、蛍光体を含有するので、被覆層が蛍光体層として機能することができる。そのため、発光効率に優れる被覆層付光半導体素子を得ることができる。   According to this method, since the coating layer contains the phosphor, the coating layer can function as the phosphor layer. Therefore, an optical semiconductor element with a coating layer having excellent luminous efficiency can be obtained.

[9]本発明は、光半導体素子と、前記光半導体素子を被覆する被覆層とを備え、前記光半導体素子は、発光層が設けられる発光面、前記発光面に対向し、電極が設けられる電極面、および、前記発光面と前記電極面との周端縁を連結する連結面を有し、前記被覆層は、前記発光面を被覆する第1部分と、前記連結面を被覆し、前記第1部分の周端縁に連続する第2部分と、前記第2部分における、前記第1部分の前記周端縁に連続する一端部と反対側に位置する他端部から、前記電極面に沿って、前記光半導体素子から離れる方向に向かって突出する突出部分とを有することを特徴とする、被覆層付光半導体素子である。   [9] The present invention includes an optical semiconductor element and a coating layer that covers the optical semiconductor element. The optical semiconductor element is provided with a light emitting surface on which a light emitting layer is provided, an electrode facing the light emitting surface. An electrode surface, and a connecting surface that connects peripheral edges of the light emitting surface and the electrode surface, the coating layer covers the first surface that covers the light emitting surface, and the connecting surface; A second portion that is continuous with the peripheral edge of the first portion; and a second portion of the second portion that is located on the opposite side of the one end continuous with the peripheral edge of the first portion. And a protruding portion protruding in a direction away from the optical semiconductor element.

この被覆層付光半導体素子では、被覆層が、突出部分を備えるので、被覆層付光半導体素子を基板に実装するときに、突出部分が基板に対して密着することができる。そのため、突出部がない被覆層付光半導体素子に比べて、信頼性に優れる発光装置を得ることができる。   In this optical semiconductor element with a cover layer, since the cover layer includes a protruding portion, the protruding portion can be in close contact with the substrate when the optical semiconductor element with a cover layer is mounted on the substrate. Therefore, it is possible to obtain a light-emitting device that is superior in reliability as compared to an optical semiconductor element with a coating layer that does not have a protruding portion.

[10]本発明は、前記光半導体素子が、前記離れる方向に互いに間隔を隔てて複数配置されており、互いに隣接する前記光半導体素子に対応する前記突出部分が、連続していることを特徴とする、請求項9に記載の被覆層付光半導体素子である。   [10] The present invention is characterized in that a plurality of the optical semiconductor elements are spaced apart from each other in the separating direction, and the protruding portions corresponding to the adjacent optical semiconductor elements are continuous. It is an optical semiconductor element with a coating layer of Claim 9.

この被覆層付光半導体素子では、互いに隣接する光半導体素子に対応する突出部分が、連続しているので、複数の被覆層付光半導体素子からなる被覆層付光半導体素子集合体を容易に構成することができる。   In this optical semiconductor element with a coating layer, the protruding portions corresponding to the optical semiconductor elements adjacent to each other are continuous, so that an optical semiconductor element assembly with a coating layer composed of a plurality of optical semiconductor elements with a coating layer can be easily configured. can do.

本発明の被覆層付光半導体素子の製造方法によれば、クッション層の取扱性に優れながら、被覆層の破損を抑制できるとともに、被覆層が光半導体素子に対して確実に密着することができる。   According to the method for manufacturing an optical semiconductor element with a cover layer of the present invention, the damage of the cover layer can be suppressed while the handleability of the cushion layer is excellent, and the cover layer can be securely adhered to the optical semiconductor element. .

本発明の被覆層付光半導体素子では、突出部がない被覆層付光半導体素子に比べて、信頼性に優れる発光装置を得ることができる。   In the optical semiconductor element with a coating layer of the present invention, a light emitting device with excellent reliability can be obtained as compared with the optical semiconductor element with a coating layer having no protrusion.

図1A〜図1Cは、本発明の被覆層付光半導体素子の製造方法の一実施形態の工程図であり、図1Aが、光半導体素子被覆シートをおよび素子部材を用意する工程(1)、図1Bが、光半導体素子被覆シートおよび被覆層をプレスする工程(2)、図1Cが、被覆層付光半導体素子集合体および封止治具をプレス機から取り出す工程を示す。1A to 1C are process diagrams of an embodiment of a method for producing an optical semiconductor element with a coating layer of the present invention. FIG. 1A is a process (1) in which an optical semiconductor element covering sheet and an element member are prepared. FIG. 1B shows a step (2) of pressing the optical semiconductor element covering sheet and the covering layer, and FIG. 1C shows a step of taking out the optical semiconductor element assembly with a covering layer and the sealing jig from the press. 図2D〜図2Gは、図1Cに引き続き、本発明の被覆層付光半導体素子の製造方法の一実施形態の工程図であり、図2Dが、剥離層を被覆層付光半導体素子集合体から剥離する工程、図2Eが、被覆層付光半導体素子集合体をダイシングする工程、図2Fが、被覆層付光半導体素子を仮固定シートから剥離する工程図2Gが、被覆層付光半導体素子を基板に実装する工程を示す。2D to 2G are process diagrams of an embodiment of the method for producing an optical semiconductor element with a coating layer of the present invention, following FIG. 1C, and FIG. 2D shows a release layer from the optical semiconductor element assembly with a coating layer. Step of peeling, FIG. 2E is a step of dicing the optical semiconductor element assembly with cover layer, FIG. 2F is a step of peeling the optical semiconductor element with cover layer from the temporary fixing sheet, and FIG. 2G is an optical semiconductor element with cover layer. The process of mounting on a board | substrate is shown. 図3A〜図3Eは、図1A〜図2Gに示す一実施形態の変形例(突出部分が不連続である態様)の工程図であり、図3Aが、光半導体素子被覆シートをおよび素子部材を用意する工程(1)、図3Bが、光半導体素子被覆シートおよび被覆層をプレスする工程(2)、図3Cが、剥離層を被覆層付光半導体素子集合体から剥離する工程、図3Dが、被覆層付光半導体素子を仮固定シートから剥離する工程、図3Eが、被覆層付光半導体素子を基板に実装する工程を示す。3A to 3E are process diagrams of a modification of the embodiment shown in FIGS. 1A to 2G (an aspect in which the protruding portion is discontinuous), and FIG. 3A illustrates an optical semiconductor element covering sheet and an element member. Step (1) to be prepared, FIG. 3B is a step (2) in which the optical semiconductor element covering sheet and the covering layer are pressed, FIG. 3C is a step in which the peeling layer is peeled from the optical semiconductor element assembly with a covering layer, and FIG. FIG. 3E shows a step of mounting the optical semiconductor element with a coating layer on a substrate. 図4A〜図4Eは、図1A〜図2Gに示す一実施形態の変形例(被覆層付光半導体素子が突出部分を有しない態様)の工程図であり、図4Aが、光半導体素子被覆シートをおよび素子部材を用意する工程(1)、図4Bが、光半導体素子被覆シートおよび被覆層をプレスする工程(2)、図4Cが、剥離層を被覆層付光半導体素子集合体から剥離する工程、図4Dが、被覆層付光半導体素子を仮固定シートから剥離する工程図4Eが、被覆層付光半導体素子を基板に実装する工程を示す。4A to 4E are process diagrams of a modification of the embodiment shown in FIGS. 1A to 2G (an embodiment in which the optical semiconductor element with a coating layer does not have a protruding portion), and FIG. 4A is an optical semiconductor element covering sheet. And the step (1) of preparing an element member, FIG. 4B is a step (2) of pressing the optical semiconductor element covering sheet and the covering layer, and FIG. 4C is peeling the release layer from the optical semiconductor element assembly with the covering layer. Process, FIG. 4D is a process of peeling the optical semiconductor element with a coating layer from the temporary fixing sheet. FIG. 4E shows a process of mounting the optical semiconductor element with a coating layer on a substrate. 図5A〜図5Cは、図1A〜図2Gに示す一実施形態の変形例(光半導体素子被覆シートによって、基板に予め実装された光半導体素子を被覆する態様)の工程図であり、図5Aが、光半導体素子被覆シートおよび基板に予め実装された光半導体素子を用意する工程(1)、図5Bが、光半導体素子被覆シート、光半導体素子および基板を熱プレスする工程(3)、図5Cが、剥離層を被覆層から剥離する工程、図5Dが、スペーサを引き上げる工程を示す。5A to 5C are process diagrams of a modification of the embodiment shown in FIGS. 1A to 2G (a mode in which an optical semiconductor element pre-mounted on a substrate is covered with an optical semiconductor element covering sheet), and FIG. Is a step (1) of preparing an optical semiconductor element pre-mounted on the optical semiconductor element covering sheet and the substrate, FIG. 5B is a step of hot pressing the optical semiconductor element covering sheet, the optical semiconductor element and the substrate (3), FIG. 5C shows a step of peeling the release layer from the coating layer, and FIG. 5D shows a step of lifting the spacer. 図6は、比較例2および3の密着層−被覆層付光半導体素子において、千切れ部を有する密着層の拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged cross-sectional view of an adhesion layer having a torn portion in the optical semiconductor element with an adhesion layer-covering layer of Comparative Examples 2 and 3. 図7は、比較例2および3の密着層−被覆層付光半導体素子において、薄肉部を有する密着層の拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged cross-sectional view of an adhesion layer having a thin-walled portion in the optical semiconductor element with an adhesion layer-covering layer of Comparative Examples 2 and 3. 図8は、比較例1の密着層−被覆層付光半導体素子において、第2部分において周側面の全部を被覆しない非被覆部を有する密着層の拡大断面図である。FIG. 8 is an enlarged cross-sectional view of an adhesion layer having an uncovered portion that does not cover the entire peripheral side surface in the second portion in the optical semiconductor element with an adhesion layer-covering layer of Comparative Example 1. 図9は、実施例3の密着層−被覆層付光半導体素子において、第2部分において周側面の下端部分を被覆しない非被覆部を有する密着層の拡大断面図である。FIG. 9 is an enlarged cross-sectional view of an adhesion layer having an uncovered portion that does not cover the lower end portion of the peripheral side surface in the second portion in the optical semiconductor element with the adhesion layer-covering layer of Example 3.

図1A〜図1Cにおいて、紙面上下方向は、上下方向(第1方向、厚み方向の一例)であり、紙面上側が上側(第1方向一方側、厚み方向一方側の一例)、紙面下側が下側(第1方向他方側、厚み方向他方側)である。紙面左右方向は、左右方向(第1方向に直交する第2方向、光半導体素子から離れる方向の一例)であり、紙面左側が左側(第2方向一方側)、紙面右側が右側(第2方向他方側)である。紙厚方向は、前後方向(第1方向および第2方向に直交する第3方向、光半導体素子から離れる方向のさらなる一例)であり、紙面手前側が前側(第3方向一方側)、紙面奥側が後側(第3方向他方側)である。具体的には、各図の方向矢印に準拠する。   1A to 1C, the vertical direction of the paper is the vertical direction (an example of the first direction and the thickness direction), the upper side of the paper is the upper side (an example of one side of the first direction and the thickness direction), and the lower side of the paper is the lower side. This is the side (the other side in the first direction, the other side in the thickness direction). The left-right direction on the paper is the left-right direction (second direction orthogonal to the first direction, an example of the direction away from the optical semiconductor element), the left side on the paper is the left side (one side in the second direction), and the right side on the paper is the right side (second direction). The other side). The paper thickness direction is the front-rear direction (a third example orthogonal to the first direction and the second direction, a further example of the direction away from the optical semiconductor element), the front side of the paper is the front side (one side in the third direction), and the back side of the paper is This is the rear side (the other side in the third direction). Specifically, it conforms to the direction arrow in each figure.

被覆層付光半導体素子15の製造方法は、被覆層3およびクッション層4を備える被覆部材としての光半導体素子被覆シート1と、光半導体素子2とをプレス機10に設置する工程(1)(図1A参照)と、光半導体素子被覆シート1および光半導体素子2を、プレス機10により、熱プレスする工程(2)(図1B参照)と、クッション層4を除去する工程(3)(図2D参照)とを備える。以下、各工程について説明する。   The manufacturing method of the optical semiconductor element 15 with a covering layer is a step (1) of installing the optical semiconductor element covering sheet 1 as a covering member including the covering layer 3 and the cushion layer 4 and the optical semiconductor element 2 in the press 10 ( 1A), a step (2) (see FIG. 1B) of hot pressing the optical semiconductor element covering sheet 1 and the optical semiconductor element 2 with a press 10, and a step (3) of removing the cushion layer 4 (FIG. 1). 2D). Hereinafter, each step will be described.

1.工程(1)
工程(1)では、図1Aに示すように、光半導体素子被覆シート1と、光半導体素子2とを用意する。
1. Process (1)
In step (1), an optical semiconductor element covering sheet 1 and an optical semiconductor element 2 are prepared as shown in FIG. 1A.

1−1.光半導体素子被覆シート
光半導体素子被覆シート1は、図1Bに示すように、後で詳述する被覆層3が光半導体素子2(後述)を直接被覆するために用いられる。光半導体素子被覆シート1は、図1Aに示すように、左右方向および前後方向に延びる略平板形状を有している。光半導体素子被覆シート1は、被覆層3と、被覆層3の上側(厚み方向一方側の一例)に配置されるクッション層4とを備える。
1-1. Optical Semiconductor Element Covering Sheet As shown in FIG. 1B, the optical semiconductor element covering sheet 1 is used for directly covering an optical semiconductor element 2 (described later) with a coating layer 3 described in detail later. As shown in FIG. 1A, the optical semiconductor element covering sheet 1 has a substantially flat plate shape extending in the left-right direction and the front-rear direction. The optical semiconductor element covering sheet 1 includes a covering layer 3 and a cushion layer 4 disposed on the upper side (an example of one side in the thickness direction) of the covering layer 3.

1−2.被覆層
被覆層3は、光半導体素子2を直接被覆して密着することができる密着層である。被覆層3は、光半導体素子被覆シート1の下部に配置されている。被覆層3は、左右方向および前後方向に延びる略平板形状を有している。
1-2. Coating Layer The coating layer 3 is an adhesion layer that can directly cover and adhere to the optical semiconductor element 2. The covering layer 3 is disposed below the optical semiconductor element covering sheet 1. The covering layer 3 has a substantially flat plate shape extending in the left-right direction and the front-rear direction.

被覆層3は、ホットメルト樹脂組成物から形成されている。ホットメルト樹脂組成物は、ホットメルト樹脂を含有している。   The coating layer 3 is formed from a hot melt resin composition. The hot melt resin composition contains a hot melt resin.

ホットメルト樹脂としては、例えば、熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂などが挙げられ、好ましくは、熱硬化性樹脂が挙げられる。   Examples of the hot melt resin include a thermosetting resin and a thermoplastic resin, and preferably a thermosetting resin.

具体的には、ホットメルト樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、好ましくは、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂が挙げられ、より好ましくは、シリコーン樹脂が挙げられる。   Specifically, examples of the hot melt resin include silicone resin, epoxy resin, urethane resin, polyimide resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, and unsaturated polyester resin. As a thermosetting resin, Preferably, a silicone resin and an epoxy resin are mentioned, More preferably, a silicone resin is mentioned.

そのようなシリコーン樹脂としては、例えば、特表2015−510257号公報、特表2015−513328公報、国際公開第2013/101674号などに記載のシリコーン樹脂が挙げられる。   Examples of such silicone resins include silicone resins described in JP-T-2015-510257, JP-T-2015-513328, and International Publication No. 2013/101654.

シリコーン樹脂は、市販品を用いることができ、例えば、LF−1020(東レ・ダウコーニング社製)などが挙げられる。   A commercially available product can be used as the silicone resin, and examples thereof include LF-1020 (manufactured by Toray Dow Corning).

また、ホットメルト樹脂組成物は、蛍光体を含有することができる。   Moreover, the hot melt resin composition can contain a phosphor.

蛍光体としては、例えば、黄色蛍光体、赤色蛍光体などが挙げられる。黄色蛍光体としては、例えば、YAG:Ceなどのガーネット型結晶構造を有するガーネット型蛍光体、例えば、Ca−α−SiAlONなどの酸窒化物蛍光体などが挙げられる。赤色蛍光体としては、例えば、CaAlSiN:Eu、CaSiN:Euなどの窒化物蛍光体などが挙げられる。蛍光体として、好ましくは、黄色蛍光体、より好ましくは、ガーネット型蛍光体が挙げられる。 Examples of the phosphor include a yellow phosphor and a red phosphor. Examples of yellow phosphors include garnet phosphors having a garnet crystal structure such as YAG: Ce, and oxynitride phosphors such as Ca-α-SiAlON. Examples of the red phosphor include nitride phosphors such as CaAlSiN 3 : Eu and CaSiN 2 : Eu. The phosphor is preferably a yellow phosphor, and more preferably a garnet phosphor.

蛍光体の形状としては、例えば、球状、板状、針状などが挙げられる。蛍光体の最大長さの平均値(球状である場合には、平均粒子径)は、例えば、0.1μm以上、好ましくは、1μm以上であり、また、例えば、200μm以下、好ましくは、100μm以下でもある。   Examples of the shape of the phosphor include a spherical shape, a plate shape, and a needle shape. The average value of the maximum length of the phosphor (in the case of a sphere, the average particle diameter) is, for example, 0.1 μm or more, preferably 1 μm or more, and for example, 200 μm or less, preferably 100 μm or less. But there is.

蛍光体は、単独使用または併用することができる。   The phosphors can be used alone or in combination.

蛍光体の配合割合は、ホットメルト樹脂成物に対して、例えば、5質量%以上、好ましくは、10質量%以上であり、また、例えば、80質量%以下、好ましくは、70質量%以下である。なお、ホットメルト樹脂の配合割合は、上記した蛍光体の配合割合の残部である。また、蛍光体の配合割合は、ホットメルト樹脂100質量部に対して、例えば、0.1質量部以上、好ましくは、0.5質量部以上であり、例えば、90質量部以下、好ましくは、80質量部以下である。   The blending ratio of the phosphor is, for example, 5% by mass or more, preferably 10% by mass or more, and, for example, 80% by mass or less, preferably 70% by mass or less with respect to the hot-melt resin composition. is there. The blending ratio of the hot melt resin is the remainder of the blending ratio of the phosphor described above. Further, the blending ratio of the phosphor is, for example, 0.1 parts by mass or more, preferably 0.5 parts by mass or more, for example, 90 parts by mass or less, preferably 100 parts by mass of the hot melt resin. 80 parts by mass or less.

なお、ホットメルト樹脂組成物は、必要により、さらに、フィラー(後述)を含有することもできる。フィラーの含有割合は、用途および目的により、適宜設定される。   The hot melt resin composition may further contain a filler (described later) as necessary. The content ratio of the filler is appropriately set depending on the use and purpose.

被覆層3を調製するには、ホットメルト樹脂と、必要により、蛍光体(およびフィラー)とを配合して、ホットメルト樹脂組成物のワニスを調製し、続いて、それを、図示しない剥離シートの表面に塗布する。   In order to prepare the coating layer 3, a hot melt resin and, if necessary, a phosphor (and a filler) are blended to prepare a varnish of the hot melt resin composition. Apply to the surface.

その後、必要により、ホットメルト樹脂組成物を、加熱する。   Thereafter, the hot melt resin composition is heated as necessary.

被覆層3の厚みT1は、例えば、10μm以上、好ましくは、30μm以上、より好ましくは、50μm以上であり、また、例えば、500μm以下である。   The thickness T1 of the coating layer 3 is, for example, 10 μm or more, preferably 30 μm or more, more preferably 50 μm or more, and for example, 500 μm or less.

被覆層3の厚みT1が上記した下限以上であれば、被覆層3の欠損部分(図6における符号101)などの破損をより一層抑制することができる。   If the thickness T1 of the coating layer 3 is equal to or greater than the lower limit described above, it is possible to further suppress breakage of the missing portion (reference numeral 101 in FIG. 6) of the coating layer 3 and the like.

1−3.クッション層
クッション層4は、図1Bに示すように、後述する工程(2)において、光半導体素子2を被覆層3を介して被覆することができる層であり、かつ、図2Dに示すように、後述する工程(3)において、被覆層3から剥離される剥離層である。
1-3. Cushion layer As shown in FIG. 1B, the cushion layer 4 is a layer that can cover the optical semiconductor element 2 via the covering layer 3 in the step (2) described later, and as shown in FIG. 2D. In the step (3) to be described later, it is a release layer that is peeled off from the coating layer 3.

そして、クッション層4は、工程(2)の熱プレス(図1B参照)において、プレス機10のプレスによって被覆層3が受け得る不均一な圧力を均一にすることができる層である。具体的には、クッション層4は、光半導体素子2の発光面8(後述)の周端縁にかかる圧力を分散できる層である。   And the cushion layer 4 is a layer which can make the nonuniform pressure which the coating layer 3 can receive by the press of the press 10 in the hot press (refer FIG. 1B) of a process (2) uniform. Specifically, the cushion layer 4 is a layer that can disperse the pressure applied to the peripheral edge of the light emitting surface 8 (described later) of the optical semiconductor element 2.

クッション層4は、図1Aに示すように、被覆層3の上、具体的には、被覆層3の上面全面に配置されている。クッション層4は、左右方向および前後方向に延びる略平板形状を有している。   As shown in FIG. 1A, the cushion layer 4 is disposed on the covering layer 3, specifically, on the entire upper surface of the covering layer 3. The cushion layer 4 has a substantially flat plate shape extending in the left-right direction and the front-rear direction.

クッション層4は、クッション材から形成されている。   The cushion layer 4 is formed from a cushion material.

クッション材は、例えば、弾性材から形成されている。弾性材としては、例えば、ゲル、スポンジなどが挙げられる。好ましくは、ゲルが挙げられる。ゲルは、例えば、樹脂から形成されている。樹脂としては、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂などが挙げられる。   The cushion material is made of an elastic material, for example. Examples of the elastic material include gel and sponge. Preferably, a gel is used. The gel is formed from, for example, a resin. Examples of the resin include a thermoplastic resin and a thermosetting resin.

熱可塑性樹脂としては、例えば、ポリオレフィン(例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−プロピレン共重合体など)、アクリル樹脂(例えば、ポリメタクリル酸メチルなど)、ポリ酢酸ビニル、エチレン−酢酸ビニル共重合体、ポリ塩化ビニル、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリアミド、ポリカーボネート、ポリアセタール、ポリエチレンテレフタレート、ポリフェニレンオキシド、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリエーテルエーテルケトン、ポリアリルスルホン、熱可塑性ポリイミド、熱可塑性ウレタン樹脂、ポリアミノビスマレイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド、ビスマレイミドトリアジン樹脂、ポリメチルペンテン、フッ化樹脂、液晶ポリマー、オレフィン−ビニルアルコール共重合体、アイオノマー、ポリアリレート、アクリロニトリル−エチレン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレン共重合体、アクリロニトリル−スチレン共重合体などが挙げられる。   Examples of the thermoplastic resin include polyolefin (for example, polyethylene, polypropylene, ethylene-propylene copolymer), acrylic resin (for example, polymethyl methacrylate), polyvinyl acetate, ethylene-vinyl acetate copolymer, poly Vinyl chloride, polystyrene, polyacrylonitrile, polyamide, polycarbonate, polyacetal, polyethylene terephthalate, polyphenylene oxide, polyphenylene sulfide, polysulfone, polyethersulfone, polyetheretherketone, polyallylsulfone, thermoplastic polyimide, thermoplastic urethane resin, polyaminobismaleimide , Polyamideimide, polyetherimide, bismaleimide triazine resin, polymethylpentene, fluororesin, liquid crystal polymer, olefin Down - vinyl alcohol copolymer, ionomer, polyarylate, acrylonitrile - ethylene - styrene copolymers, acrylonitrile - butadiene - styrene copolymer, acrylonitrile - styrene copolymer.

熱硬化性樹脂は、例えば、Bステージ状態となることができる熱硬化性樹脂であって、具体的には、2段反応硬化性樹脂、1段反応硬化性樹脂が挙げられる。   The thermosetting resin is, for example, a thermosetting resin that can be in a B-stage state, and specifically includes a two-stage reaction curable resin and a one-stage reaction curable resin.

熱硬化性樹脂としては、例えば、2段反応硬化性樹脂、1段反応硬化性樹脂が挙げられる。   Examples of the thermosetting resin include a two-stage reaction curable resin and a one-stage reaction curable resin.

2段反応硬化性樹脂は、2つの反応機構を有しており、第1段の反応で、Aステージ状態からBステージ化(半硬化)し、次いで、第2段の反応で、Bステージ状態からCステージ化(完全硬化)することができる。つまり、2段反応硬化性樹脂は、適度の加熱条件によりBステージ状態となることができる熱硬化性樹脂である。Bステージ状態は、熱硬化性樹脂が、液状であるAステージ状態と、完全硬化したCステージ状態との間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、圧縮弾性率がCステージ状態の弾性率よりも小さい半固体状態または固体状態である。   The two-stage reaction curable resin has two reaction mechanisms. In the first stage reaction, the A stage state is changed to the B stage (semi-cured), and then in the second stage reaction, the B stage state is obtained. To C-stage (complete curing). That is, the two-stage reaction curable resin is a thermosetting resin that can be in a B-stage state under appropriate heating conditions. The B stage state is a state between the A stage state where the thermosetting resin is in a liquid state and the fully cured C stage state, and curing and gelation proceed slightly, and the compression elastic modulus is C stage. A semi-solid state or a solid state smaller than the elastic modulus of the state.

1段反応硬化性樹脂は、1つの反応機構を有しており、第1段の反応で、Aステージ状態からCステージ化(完全硬化)することができる。このような1段反応硬化性樹脂は、第1段の反応の途中で、その反応が停止して、Aステージ状態からBステージ状態となることができ、その後のさらなる加熱によって、第1段の反応が再開されて、Bステージ状態からCステージ化(完全硬化)することができる熱硬化性樹脂である。つまり、かかる熱硬化性樹脂は、Bステージ状態となることができる熱硬化性樹脂である。さらに、1段反応硬化性樹脂は、1段の反応の途中で停止するように制御できず、つまり、Bステージ状態となることができず、一度に、Aステージ状態からCステージ化(完全硬化)する熱硬化性樹脂も含む。   The one-stage reaction curable resin has one reaction mechanism, and can be changed from the A-stage state to the C-stage (completely cured) by the first-stage reaction. Such a one-stage reaction curable resin can stop the reaction in the middle of the first-stage reaction and change from the A-stage state to the B-stage state. It is a thermosetting resin that can be C-staged (completely cured) from the B-stage state when the reaction is resumed. That is, such a thermosetting resin is a thermosetting resin that can be in a B-stage state. Further, the one-stage reaction curable resin cannot be controlled to stop in the middle of the one-stage reaction, that is, cannot enter the B stage state, and is changed from the A stage state to the C stage (completely cured). A) thermosetting resin.

熱硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。熱硬化性樹脂としては、好ましくは、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂が挙げられ、より好ましくは、シリコーン樹脂が挙げられる。   Examples of the thermosetting resin include silicone resin, epoxy resin, urethane resin, polyimide resin, phenol resin, urea resin, melamine resin, and unsaturated polyester resin. As a thermosetting resin, Preferably, a silicone resin and an epoxy resin are mentioned, More preferably, a silicone resin is mentioned.

上記した熱硬化性樹脂は、同一種類または複数種類のいずれでもよい。   The above-mentioned thermosetting resin may be the same type or a plurality of types.

シリコーン樹脂としては、耐熱性の観点から、例えば、付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物、縮合・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物などのシリコーン樹脂組成物が挙げられ、好ましくは、付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物が挙げられる。シリコーン樹脂は、単独で使用してもよく、あるいは、併用することもできる。   Examples of the silicone resin include silicone resin compositions such as an addition reaction curable silicone resin composition and a condensation / addition reaction curable silicone resin composition from the viewpoint of heat resistance. Preferably, an addition reaction curable silicone is used. A resin composition is mentioned. Silicone resins may be used alone or in combination.

付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物は、1段反応硬化性樹脂であって、例えば、アルケニル基含有ポリシロキサンと、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンと、ヒドロシリル化触媒とを含有する。   The addition reaction curable silicone resin composition is a one-stage reaction curable resin and contains, for example, an alkenyl group-containing polysiloxane, a hydrosilyl group-containing polysiloxane, and a hydrosilylation catalyst.

アルケニル基含有ポリシロキサンは、分子内に2個以上のアルケニル基および/またはシクロアルケニル基を含有する。アルケニル基含有ポリシロキサンは、具体的には、下記平均組成式(1)で示される。   The alkenyl group-containing polysiloxane contains two or more alkenyl groups and / or cycloalkenyl groups in the molecule. The alkenyl group-containing polysiloxane is specifically represented by the following average composition formula (1).

平均組成式(1):
SiO(4−a−b)/2
(式中、Rは、炭素数2〜10のアルケニル基および/または炭素数3〜10のシクロアルケニル基を示す。Rは、非置換または置換の炭素数1〜10の1価の炭化水素基(ただし、アルケニル基およびシクロアルケニル基を除く。)を示す。aは、0.05以上、0.50以下であり、bは、0.80以上、1.80以下である。)
式(1)中、Rで示されるアルケニル基としては、例えば、ビニル基、アリル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基、ヘキセニル基、ヘプテニル基、オクテニル基などの炭素数2〜10のアルケニル基が挙げられる。Rで示されるシクロアルケニル基としては、例えば、シクロヘキセニル基、ノルボルネニル基などの炭素数3〜10のシクロアルケニル基が挙げられる。
Average composition formula (1):
R 1 a R 2 b SiO (4-ab) / 2
(In the formula, R 1 represents an alkenyl group having 2 to 10 carbon atoms and / or a cycloalkenyl group having 3 to 10 carbon atoms. R 2 represents an unsubstituted or substituted monovalent carbon atom having 1 to 10 carbon atoms. A hydrogen group (excluding an alkenyl group and a cycloalkenyl group); a is from 0.05 to 0.50, and b is from 0.80 to 1.80.
In formula (1), examples of the alkenyl group represented by R 1 include alkenyl having 2 to 10 carbon atoms such as vinyl group, allyl group, propenyl group, butenyl group, pentenyl group, hexenyl group, heptenyl group, and octenyl group. Groups. Examples of the cycloalkenyl group represented by R 1 include cycloalkenyl groups having 3 to 10 carbon atoms such as a cyclohexenyl group and a norbornenyl group.

として、好ましくは、アルケニル基、より好ましくは、炭素数2〜4のアルケニル基、さらに好ましくは、ビニル基が挙げられる。 R 1 is preferably an alkenyl group, more preferably an alkenyl group having 2 to 4 carbon atoms, and still more preferably a vinyl group.

で示されるアルケニル基は、同一種類または複数種類のいずれでもよい。 The alkenyl groups represented by R 1 may be the same type or a plurality of types.

で示される1価の炭化水素基は、アルケニル基およびシクロアルケニル基以外の非置換または置換の炭素原子数1〜10の1価の炭化水素基である。 The monovalent hydrocarbon group represented by R 2 is an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms other than an alkenyl group and a cycloalkenyl group.

非置換の1価の炭化水素基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、tert−ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ペンチル基、ヘプチル基、オクチル基、2−エチルヘキシル基、ノニル基、デシル基などの炭素数1〜10のアルキル基、例えば、シクロプロピル、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基などの炭素数3〜6のシクロアルキル基、例えば、フェニル基、トリル基、ナフチル基などの炭素数6〜10のアリール基、例えば、ベンジル基、ベンジルエチル基などの炭素数7〜8のアラルキル基が挙げられる。好ましくは、炭素数1〜3のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基が挙げられ、より好ましくは、メチル基および/またはフェニル基が挙げられる。   Examples of the unsubstituted monovalent hydrocarbon group include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, a butyl group, an isobutyl group, a sec-butyl group, a tert-butyl group, a pentyl group, a hexyl group, and a pentyl group. , Heptyl group, octyl group, 2-ethylhexyl group, nonyl group, decyl group and other alkyl groups having 1 to 10 carbon atoms such as cyclopropyl, cyclobutyl group, cyclopentyl group and cyclohexyl group. Examples include alkyl groups such as aryl groups having 6 to 10 carbon atoms such as phenyl, tolyl and naphthyl groups, and aralkyl groups having 7 to 8 carbon atoms such as benzyl and benzylethyl groups. Preferably, a C1-C3 alkyl group and a C6-C10 aryl group are mentioned, More preferably, a methyl group and / or a phenyl group are mentioned.

一方、置換の1価の炭化水素基は、上記した非置換の1価の炭化水素基における水素原子を置換基で置換したものが挙げられる。   On the other hand, examples of the substituted monovalent hydrocarbon group include those in which the hydrogen atom in the above-described unsubstituted monovalent hydrocarbon group is substituted with a substituent.

置換基としては、例えば、塩素原子などのハロゲン原子、例えば、グリシジルエーテル基などが挙げられる。   Examples of the substituent include a halogen atom such as a chlorine atom, for example, a glycidyl ether group.

置換の1価の炭化水素基としては、具体的には、3−クロロプロピル基、グリシドキシプロピル基などが挙げられる。   Specific examples of the substituted monovalent hydrocarbon group include a 3-chloropropyl group and a glycidoxypropyl group.

1価の炭化水素基は、非置換および置換のいずれであってもよく、好ましくは、非置換である。   The monovalent hydrocarbon group may be unsubstituted or substituted, and is preferably unsubstituted.

で示される1価の炭化水素基は、同一種類または複数種類であってもよい。好ましくは、メチル基および/またはフェニル基が挙げられ、より好ましくは、メチル基およびフェニル基の併用が挙げられる。 The monovalent hydrocarbon groups represented by R 2 may be of the same type or a plurality of types. Preferably, a methyl group and / or a phenyl group are mentioned, More preferably, combined use of a methyl group and a phenyl group is mentioned.

aは、好ましくは、0.10以上、0.40以下である。   a is preferably 0.10 or more and 0.40 or less.

bは、好ましくは、1.5以上、1.75以下である。   b is preferably 1.5 or more and 1.75 or less.

アルケニル基含有ポリシロキサンの重量平均分子量は、例えば、100以上、好ましくは、500以上であり、また、例えば、10,000以下、好ましくは、5,000以下である。アルケニル基含有ポリシロキサンの重量平均分子量は、ゲル透過クロマトグラフィーによって測定される標準ポリスチレンによる換算値である。   The weight average molecular weight of the alkenyl group-containing polysiloxane is, for example, 100 or more, preferably 500 or more, and for example, 10,000 or less, preferably 5,000 or less. The weight average molecular weight of the alkenyl group-containing polysiloxane is a conversion value based on standard polystyrene measured by gel permeation chromatography.

アルケニル基含有ポリシロキサンは、適宜の方法によって調製され、また、市販品を用いることもできる。   The alkenyl group-containing polysiloxane is prepared by an appropriate method, and a commercially available product can also be used.

また、アルケニル基含有ポリシロキサンは、同一種類または複数種類であってもよい。   The alkenyl group-containing polysiloxanes may be of the same type or a plurality of types.

ヒドロシリル基含有ポリシロキサンは、例えば、分子内に2個以上のヒドロシリル基(SiH基)を含有する。ヒドロシリル基含有ポリシロキサンは、具体的には、下記平均組成式(2)で示される。   The hydrosilyl group-containing polysiloxane contains, for example, two or more hydrosilyl groups (SiH groups) in the molecule. Specifically, the hydrosilyl group-containing polysiloxane is represented by the following average composition formula (2).

平均組成式(2):
SiO(4−c−d)/2
(式中、Rは、非置換または置換の炭素数1〜10の1価の炭化水素基(ただし、アルケニル基および/またはシクロアルケニル基を除く。)を示す。cは、0.30以上、1.0以下であり、dは、0.90以上、2.0以下である。)
式(2)中、Rで示される非置換または置換の炭素数1〜10の1価の炭化水素基は、式(1)のRで示される非置換または置換の炭素数1〜10の1価の炭化水素基と同一のものが例示される。好ましくは、非置換の炭素数1〜10の1価の炭化水素基、より好ましくは、炭素数1〜10のアルキル基、炭素数6〜10のアリール基が挙げられ、さらに好ましくは、メチル基および/またはフェニル基が挙げられる。
Average composition formula (2):
H c R 3 d SiO (4 -c-d) / 2
(In the formula, R 3 represents an unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms (excluding an alkenyl group and / or a cycloalkenyl group). C is 0.30 or more. 1.0, and d is 0.90 or more and 2.0 or less.)
In formula (2), the unsubstituted or substituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms represented by R 3 is an unsubstituted or substituted carbon group having 1 to 10 carbon atoms represented by R 2 in formula (1). The same thing as the monovalent hydrocarbon group of is illustrated. Preferably, an unsubstituted monovalent hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms, more preferably an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, or an aryl group having 6 to 10 carbon atoms, and more preferably a methyl group. And / or a phenyl group.

cは、好ましくは、0.5以下である。   c is preferably 0.5 or less.

dは、好ましくは、1.3以上、1.7以下である。   d is preferably 1.3 or more and 1.7 or less.

ヒドロシリル基含有ポリシロキサンの重量平均分子量は、例えば、100以上、好ましくは、500以上であり、また、例えば、10,000以下、好ましくは、5,000以下である。ヒドロシリル基含有ポリシロキサンの重量平均分子量は、ゲル透過クロマトグラフィーによって測定される標準ポリスチレンによる換算値である。   The weight average molecular weight of the hydrosilyl group-containing polysiloxane is, for example, 100 or more, preferably 500 or more, and for example, 10,000 or less, preferably 5,000 or less. The weight average molecular weight of the hydrosilyl group-containing polysiloxane is a conversion value based on standard polystyrene measured by gel permeation chromatography.

ヒドロシリル基含有ポリシロキサンは、適宜の方法によって調製され、また、市販品を用いることもできる。   The hydrosilyl group-containing polysiloxane is prepared by an appropriate method, and a commercially available product can also be used.

また、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンは、同一種類または複数種類であってもよい。   Further, the hydrosilyl group-containing polysiloxane may be of the same type or a plurality of types.

上記した平均組成式(1)および平均組成式(2)中、RおよびRの少なくともいずれか一方の炭化水素基は、好ましくは、フェニル基を含み、より好ましくは、RおよびRの両方の炭化水素が、フェニル基を含む。なお、RおよびRの少なくともいずれか一方の炭化水素基がフェニル基を含む場合には、付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物は、フェニル系シリコーン樹脂組成物とされる。 Average composition formula described above (1) and the average compositional formula (2), at least one of the hydrocarbon groups R 2 and R 3 preferably includes a phenyl group, more preferably, R 2 and R 3 Both hydrocarbons contain a phenyl group. When at least one of the hydrocarbon groups of R 2 and R 3 contains a phenyl group, the addition reaction curable silicone resin composition is a phenyl silicone resin composition.

ヒドロシリル基含有ポリシロキサンの配合割合は、アルケニル基含有ポリシロキサンのアルケニル基およびシクロアルケニル基のモル数の、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンのヒドロシリル基のモル数に対する割合(アルケニル基およびシクロアルケニル基のモル数/ヒドロシリル基のモル数)が、例えば、1/30以上、好ましくは、1/3以上、また、例えば、30/1以下、好ましくは、3/1以下となるように、調整される。   The blending ratio of the hydrosilyl group-containing polysiloxane is the ratio of the number of moles of alkenyl groups and cycloalkenyl groups of the alkenyl group-containing polysiloxane to the number of moles of hydrosilyl groups of the hydrosilyl group-containing polysiloxane (number of moles of alkenyl groups and cycloalkenyl groups). / Number of moles of hydrosilyl group) is adjusted to be, for example, 1/30 or more, preferably 1/3 or more, and for example, 30/1 or less, preferably 3/1 or less.

ヒドロシリル化触媒は、アルケニル基含有ポリシロキサンのアルケニル基および/またはシクロアルケニル基と、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンのヒドロシリル基とのヒドロシリル化反応(ヒドロシリル付加)の反応速度を向上させる物質(付加触媒)であれば、特に限定されず、例えば、金属触媒が挙げられる。金属触媒としては、例えば、白金黒、塩化白金、塩化白金酸、白金−オレフィン錯体、白金−カルボニル錯体、白金−アセチルアセテートなどの白金触媒、例えば、パラジウム触媒、例えば、ロジウム触媒などが挙げられる。   The hydrosilylation catalyst is a substance (addition catalyst) that improves the reaction rate of the hydrosilylation reaction (hydrosilyl addition) between the alkenyl group and / or cycloalkenyl group of the alkenyl group-containing polysiloxane and the hydrosilyl group of the hydrosilyl group-containing polysiloxane. If it exists, it will not specifically limit, For example, a metal catalyst is mentioned. Examples of the metal catalyst include platinum catalysts such as platinum black, platinum chloride, chloroplatinic acid, platinum-olefin complexes, platinum-carbonyl complexes, and platinum-acetyl acetate, for example, palladium catalysts such as rhodium catalyst.

ヒドロシリル化触媒の配合割合は、金属触媒の金属量(具体的には、金属原子)として、アルケニル基含有ポリシロキサンおよびヒドロシリル基含有ポリシロキサンに対して、質量基準で、例えば、1.0ppm以上であり、また、例えば、10,000ppm以下、好ましくは、1,000ppm以下、より好ましくは、500ppm以下である。   The blending ratio of the hydrosilylation catalyst is, for example, 1.0 ppm or more on a mass basis with respect to the alkenyl group-containing polysiloxane and the hydrosilyl group-containing polysiloxane as the metal amount of the metal catalyst (specifically, metal atom). In addition, for example, it is 10,000 ppm or less, preferably 1,000 ppm or less, and more preferably 500 ppm or less.

付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物は、アルケニル基含有ポリシロキサン、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンおよびヒドロシリル化触媒を、上記した割合で配合することにより、調製される。   The addition reaction curable silicone resin composition is prepared by blending an alkenyl group-containing polysiloxane, a hydrosilyl group-containing polysiloxane, and a hydrosilylation catalyst in the above proportions.

上記した付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物は、まず、アルケニル基含有ポリシロキサン、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンおよびヒドロシリル化触媒を配合することによって、Aステージ(液体)状態として調製されて使用される。その後、反応が途中で停止することにより、Bステージ(半固体または固体)状態とされる。   The above-described addition reaction curable silicone resin composition is prepared and used in an A stage (liquid) state by first blending an alkenyl group-containing polysiloxane, a hydrosilyl group-containing polysiloxane, and a hydrosilylation catalyst. Thereafter, the reaction is stopped halfway, so that a B stage (semi-solid or solid) state is obtained.

上記したように、フェニル系シリコーン樹脂組成物は、所望条件の加熱により、アルケニル基含有ポリシロキサンのアルケニル基および/またはシクロアルケニル基と、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンのヒドロシリル基とのヒドロシリル化付加反応を生じ、その後、ヒドロシリル化付加反応が、一旦、停止する。これによって、Aステージ状態からBステージ(半硬化)状態となることができる。   As described above, the phenyl silicone resin composition undergoes a hydrosilylation addition reaction between the alkenyl group and / or cycloalkenyl group of the alkenyl group-containing polysiloxane and the hydrosilyl group of the hydrosilyl group-containing polysiloxane by heating under desired conditions. After that, the hydrosilylation addition reaction is once stopped. As a result, the A stage state can be changed to the B stage (semi-cured) state.

その後、フェニル系シリコーン樹脂組成物は、さらなる所望条件の加熱により、上記したヒドロシリル化付加反応が再開されて、完結する。これによって、Bステージ状態からCステージ(完全硬化)状態となることができる。   After that, the phenyl-based silicone resin composition is completed by restarting the above-described hydrosilylation addition reaction by heating under further desired conditions. As a result, the B stage state can be changed to the C stage (fully cured) state.

この際の加熱では、一旦、軟化して、再度、硬化する。   In the heating at this time, the resin is once softened and hardened again.

縮合・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物は、2段反応硬化性樹脂であって、具体的には、例えば、特開2010−265436号公報、特開2013−187227号公報などに記載される第1〜第8の縮合・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物、例えば、特開2013−091705号公報、特開2013−001815号公報、特開2013−001814号公報、特開2013−001813号公報、特開2012−102167号公報などに記載されるかご型オクタシルセスキオキサン含有シリコーン樹脂組成物などが挙げられる。なお、縮合・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物は、固体状であって、熱可塑性および熱硬化性を併有する。縮合・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物として、好ましくは、第1〜第8の縮合・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物が挙げられ、より好ましくは、特開2010−265436号公報に開示されるメチル系シリコーン樹脂組成物が挙げられる。   The condensation / addition reaction curable silicone resin composition is a two-stage reaction curable resin, and specifically described in, for example, JP 2010-265436 A, JP 2013-187227 A, and the like. 1 to 8 condensation / addition reaction curable silicone resin compositions, for example, JP2013-091705A, JP2013-001815A, JP2013-001814A, JP2013-001813A, Examples thereof include a cage-type octasilsesquioxane-containing silicone resin composition described in JP2012-102167A. The condensation / addition reaction curable silicone resin composition is solid and has both thermoplasticity and thermosetting properties. Preferred examples of the condensation / addition reaction curable silicone resin composition include first to eighth condensation / addition reaction curable silicone resin compositions, and more preferably disclosed in JP 2010-265436 A. A methyl type silicone resin composition is mentioned.

樹脂としては、好ましくは、熱硬化性樹脂が挙げられる。   The resin is preferably a thermosetting resin.

クッション材は、必要により、添加剤を適宜の割合で含有することができる。   The cushion material can contain an additive in an appropriate ratio, if necessary.

クッション層4を作製するには、例えば、剥離層5の表面にクッション材を層状に積層する。   In order to produce the cushion layer 4, for example, a cushion material is laminated on the surface of the release layer 5 in layers.

剥離層5は、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム(PETなど)などのポリマーまたは金属から、シート状に形成されている。剥離層5の厚みは、例えば、1μm以上、好ましくは、10μm以上であり、また、例えば、2,000μm以下、好ましくは、1,000μm以下である。   The release layer 5 is formed into a sheet shape from, for example, a polymer such as a polyethylene film or a polyester film (such as PET) or a metal. The thickness of the release layer 5 is, for example, 1 μm or more, preferably 10 μm or more, and for example, 2,000 μm or less, preferably 1,000 μm or less.

そして、クッション層4をゲルから調製する場合には、予めシート形状に形成されたクッション層4を剥離層5に転写するか、あるいは、クッション層4を剥離層5に直接積層する。クッション層4を樹脂から調製する場合には、まず、上記した樹脂のワニスを調製し、続いて、それを、剥離層5の表面に塗布する。   When the cushion layer 4 is prepared from a gel, the cushion layer 4 formed in a sheet shape in advance is transferred to the release layer 5 or the cushion layer 4 is directly laminated on the release layer 5. When the cushion layer 4 is prepared from a resin, first, the above-described resin varnish is prepared, and then applied to the surface of the release layer 5.

また、弾性材としては、例えば、FFGシーズ(ポリマテックジャパン社製)などの、シリコーンゲルも挙げられる。   Examples of the elastic material include silicone gels such as FFG seeds (manufactured by Polymertech Japan).

クッション層4の厚みT2は、例えば、10μm以上、好ましくは、150μm以上、より好ましくは、200μm以上であり、また、例えば、10,000μm以下、好ましくは、5,000μm未満、好ましくは、2,000μm以下である。   The thickness T2 of the cushion layer 4 is, for example, 10 μm or more, preferably 150 μm or more, more preferably 200 μm or more, and for example, 10,000 μm or less, preferably less than 5,000 μm, preferably 2, 000 μm or less.

クッション層4の厚みT2が上記した下限以上であれば、光半導体素子被覆シート1によって光半導体素子2を被覆するときに、被覆層3の欠損部分などの破損(図6における符号101)をより一層抑制することができる。   If the thickness T2 of the cushion layer 4 is equal to or more than the lower limit described above, when the optical semiconductor element 2 is covered with the optical semiconductor element covering sheet 1, damage (such as reference numeral 101 in FIG. Further suppression can be achieved.

クッション層4の厚みT2が上記した上限以下であれば、光半導体素子被覆シート1によって光半導体素子2を被覆するときに、非接触部(図8および図9における符号103)の形成を抑制することができる。   If the thickness T2 of the cushion layer 4 is equal to or less than the above upper limit, formation of a non-contact portion (reference numeral 103 in FIGS. 8 and 9) is suppressed when the optical semiconductor element 2 is covered with the optical semiconductor element covering sheet 1. be able to.

クッション層4の厚みT2の、被覆層3の厚みT1に対する比(T2/T1)は、例えば、0.5以上、好ましくは、1.5以上、より好ましくは、3以上、さらに好ましくは、10以上であり、また、例えば、200以下、好ましくは、100未満、より好ましくは、75以下である。   The ratio (T2 / T1) of the thickness T2 of the cushion layer 4 to the thickness T1 of the covering layer 3 is, for example, 0.5 or more, preferably 1.5 or more, more preferably 3 or more, and further preferably 10 For example, it is 200 or less, preferably less than 100, and more preferably 75 or less.

1−4.被覆層およびクッション層の物性
JIS K 6253−2(2012年)に準拠した方法に基づく硬度計により25℃で測定されるクッション層4の国際ゴム硬さが、10以上、好ましくは、20以上であり、50以下、好ましくは、45以下である。
1-4. Physical properties of the coating layer and the cushion layer The international rubber hardness of the cushion layer 4 measured at 25 ° C. by a hardness meter based on a method according to JIS K 6253-2 (2012) is 10 or more, preferably 20 or more. Yes, 50 or less, preferably 45 or less.

クッション層4の国際ゴム硬さが上記した上限を超えれば、光半導体素子被覆シート1によって光半導体素子2を被覆するときに、被覆層3の欠損部分などの破損(図6における符号101)を有効に抑制することができない。   If the international rubber hardness of the cushion layer 4 exceeds the above-mentioned upper limit, when the optical semiconductor element 2 is covered with the optical semiconductor element covering sheet 1, damage such as a missing portion of the covering layer 3 (reference numeral 101 in FIG. 6). It cannot be effectively suppressed.

一方、クッション層4の国際ゴム硬さが上記した下限に満たなければ、クッション層4の取扱性が低下する。つまり、図8または図9に示されるような被覆層3が周側面9に対して接触しない非接触部103の形成を抑制することができない。   On the other hand, if the international rubber hardness of the cushion layer 4 is less than the lower limit described above, the handleability of the cushion layer 4 is lowered. That is, the formation of the non-contact part 103 in which the coating layer 3 as shown in FIG. 8 or 9 does not contact the peripheral side surface 9 cannot be suppressed.

クッション層4は、とりわけ、シリコーンゲルからなる場合には、以下の物性を有する。すなわち、クッション層4の、針入度で規定される硬さが、例えば、50以上、好ましくは、70以上、より好ましくは、90以上、例えば、100以下である。クッション層4の引張強度が、例えば、0.01MPa以上、好ましくは、0.05MPa以上、例えば、0.20MPa以下、好ましくは、0.10MPa未満である。クッション層4の伸びが、例えば、100%以上、好ましくは、200%以上、例えば、400%以下、好ましくは、250%以下である。クッション層4の引裂強さが、例えば、0.1N/mm以上、好ましくは、0.5N/mm以上、例えば、1.0N/mm以下である。   In particular, when the cushion layer 4 is made of a silicone gel, the cushion layer 4 has the following physical properties. That is, the hardness defined by the penetration of the cushion layer 4 is, for example, 50 or more, preferably 70 or more, more preferably 90 or more, for example 100 or less. The tensile strength of the cushion layer 4 is, for example, 0.01 MPa or more, preferably 0.05 MPa or more, for example, 0.20 MPa or less, preferably less than 0.10 MPa. The elongation of the cushion layer 4 is, for example, 100% or more, preferably 200% or more, for example, 400% or less, preferably 250% or less. The tear strength of the cushion layer 4 is, for example, 0.1 N / mm or more, preferably 0.5 N / mm or more, for example, 1.0 N / mm or less.

被覆層3は、60℃以上90℃以下の測定範囲のうち、いずれかの測定温度、具体的には、90℃において、被覆層3の貯蔵剪断弾性率G’は、例えば、1.0×10Pa以上、好ましくは、9.0×10Pa以上であり、また、例えば、1.0×10Pa以下、好ましくは、2.0×10Pa以下である。 The covering layer 3 has a storage shear elastic modulus G ′ of, for example, 1.0 × at a measurement temperature of 60 ° C. or more and 90 ° C. or less, specifically, 90 ° C. 10 4 Pa or more, preferably 9.0 × 10 4 Pa or more, and for example, 1.0 × 10 6 Pa or less, preferably 2.0 × 10 5 Pa or less.

被覆層3の動的粘弾性測定において上記した温度におけるtanδは、例えば、0.8以上、好ましくは、0.9以上であり、例えば、1.0以下である。   In the dynamic viscoelasticity measurement of the coating layer 3, tan δ at the above-described temperature is, for example, 0.8 or more, preferably 0.9 or more, for example 1.0 or less.

被覆層3において、貯蔵剪断弾性率G’が上記した範囲内にあり、かつ、tanδが上記した範囲内であれば、光半導体素子被覆シート1によって光半導体素子2を上記した温度で熱プレスにより被覆するときに、被覆層3の破損をより一層抑制でき、および/または、被覆層3が光半導体素子2に対してより一層確実に密着することができる。   In the coating layer 3, if the storage shear modulus G ′ is in the above range and tan δ is in the above range, the optical semiconductor element 2 is heated by the optical semiconductor element coating sheet 1 at the above temperature by hot pressing. When coating, damage to the coating layer 3 can be further suppressed, and / or the coating layer 3 can be more reliably adhered to the optical semiconductor element 2.

1−5.剥離層
光半導体素子被覆シート1は、図1Aに示すように、さらに、剥離層5を備える。
1-5. Release Layer The optical semiconductor element-covered sheet 1 further includes a release layer 5 as shown in FIG. 1A.

剥離層5は、光半導体素子被覆シート1の使用前および使用中、クッション層4を保護する保護層である。剥離層5は、光半導体素子被覆シート1の上部(最上部)に配置されている。剥離層5は、光半導体素子被覆シート1の上面を形成している。剥離層5は、左右方向および前後方向に延びる略平板形状を有している。剥離層5は、クッション層4の上、具体的には、クッション層4の上面全面、および、その面から外方(前後方向外側および左右方向外側)にはみ出た位置に配置されている。つまり、剥離層5は、厚み方向に投影したときに、クッション層4を含んでおり、すなわち、剥離層5の周端部の下面が、クッション層4から下方に露出している。   The release layer 5 is a protective layer that protects the cushion layer 4 before and during use of the optical semiconductor element covering sheet 1. The release layer 5 is disposed on the upper part (uppermost part) of the optical semiconductor element covering sheet 1. The release layer 5 forms the upper surface of the optical semiconductor element covering sheet 1. The release layer 5 has a substantially flat plate shape extending in the left-right direction and the front-rear direction. The release layer 5 is disposed on the cushion layer 4, specifically, the entire upper surface of the cushion layer 4 and a position protruding from the surface outward (outward in the front-rear direction and outward in the left-right direction). That is, the release layer 5 includes the cushion layer 4 when projected in the thickness direction, that is, the lower surface of the peripheral end portion of the release layer 5 is exposed downward from the cushion layer 4.

剥離層5は、図1Bに示されるように、後述する工程(2)の熱プレスにおいて、実質的に変形しない層である。また、剥離層5は、その上面の周端部にスペーサ53(後述)が設置される層である。   As shown in FIG. 1B, the release layer 5 is a layer that does not substantially deform in the hot pressing in the step (2) described later. The release layer 5 is a layer in which a spacer 53 (described later) is installed at the peripheral end portion of the upper surface.

剥離層5は、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム(PETなど)などのポリマーまたは金属から、シート状に形成されている。剥離層5の厚みは、例えば、1μm以上、好ましくは、10μm以上であり、また、例えば、2,000μm以下、好ましくは、1,000μm以下である。   The release layer 5 is formed into a sheet shape from, for example, a polymer such as a polyethylene film or a polyester film (such as PET) or a metal. The thickness of the release layer 5 is, for example, 1 μm or more, preferably 10 μm or more, and for example, 2,000 μm or less, preferably 1,000 μm or less.

1−6.光半導体素子被覆シートの製造
光半導体素子被覆シート1を製造するには、図1Aが参照されるように、まず、剥離層5に積層されたクッション層4を用意する。
1-6. Manufacture of Optical Semiconductor Element Covering Sheet To manufacture the optical semiconductor element covering sheet 1, first, as shown in FIG. 1A, a cushion layer 4 laminated on the release layer 5 is prepared.

別途、ホットメルト樹脂組成物のワニスを調製し、続いて、これを、図示しない剥離シートの表面に塗布し、乾燥することにより、被覆層3を得る。   Separately, a varnish of the hot-melt resin composition is prepared, and subsequently, this is applied to the surface of a release sheet (not shown) and dried to obtain the coating layer 3.

その後、被覆層3をクッション層4の表面に積層する。具体的には、被覆層3をクッション層4に貼り合わせる。その後、図示しない剥離シートをクッション層4から剥離する。   Thereafter, the coating layer 3 is laminated on the surface of the cushion layer 4. Specifically, the covering layer 3 is bonded to the cushion layer 4. Thereafter, a release sheet (not shown) is released from the cushion layer 4.

これによって、剥離層5と、クッション層4と、被覆層3とを順次備える光半導体素子被覆シート1を製造する。   Thereby, the optical semiconductor element covering sheet 1 including the release layer 5, the cushion layer 4, and the covering layer 3 in order is manufactured.

この光半導体素子被覆シート1は、好ましくは、剥離層5と、クッション層4と、被覆層3とのみからなる。このような光半導体素子被覆シート1は、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。   This optical semiconductor element covering sheet 1 preferably comprises only a release layer 5, a cushion layer 4, and a covering layer 3. Such an optical semiconductor element covering sheet 1 is a device that can be distributed industrially and used industrially.

1−7.光半導体素子
光半導体素子2は、素子部材18に備えられている。
1-7. Optical Semiconductor Element The optical semiconductor element 2 is provided in the element member 18.

素子部材18は、光半導体素子2と、光半導体素子2を仮固定する仮固定シート17と、仮固定シート17を介して複数の光半導体素子2を支持するキャリア6とを備える。   The element member 18 includes the optical semiconductor element 2, a temporary fixing sheet 17 that temporarily fixes the optical semiconductor element 2, and a carrier 6 that supports the plurality of optical semiconductor elements 2 via the temporary fixing sheet 17.

光半導体素子2は、例えば、電気エネルギーを光エネルギーに変換するLEDやLDである。好ましくは、光半導体素子2は、青色光を発光する青色LED(発光ダイオード素子)である。一方、光半導体素子2は、光半導体素子とは技術分野が異なるトランジスタなどの整流器を含まない。   The optical semiconductor element 2 is, for example, an LED or LD that converts electrical energy into light energy. Preferably, the optical semiconductor element 2 is a blue LED (light emitting diode element) that emits blue light. On the other hand, the optical semiconductor element 2 does not include a rectifier such as a transistor having a technical field different from that of the optical semiconductor element.

光半導体素子2は、仮固定シート17の上において、前後方向および左右方向に互いに間隔を隔てて複数整列配置されている。複数の光半導体素子2のそれぞれは、前後方向および左右方向に沿う略平板形状を有している。また、光半導体素子2は、電極面7と、発光面8と、連結面の一例としての周側面9とを有している。   A plurality of optical semiconductor elements 2 are arranged on the temporary fixing sheet 17 in the front-rear direction and the left-right direction at intervals from each other. Each of the plurality of optical semiconductor elements 2 has a substantially flat plate shape along the front-rear direction and the left-right direction. Moreover, the optical semiconductor element 2 has the electrode surface 7, the light emission surface 8, and the surrounding side surface 9 as an example of a connection surface.

電極面7は、光半導体素子2における下面であって、図示しない電極が設けられる面である。   The electrode surface 7 is a lower surface of the optical semiconductor element 2 and is a surface on which an electrode (not shown) is provided.

発光面8は、光半導体素子2における上面であって、電極面7に対して上側に間隔を隔てて対向配置されている。発光面8には、図示しない発光層が設けられている。   The light emitting surface 8 is the upper surface of the optical semiconductor element 2, and is disposed so as to face the electrode surface 7 with an interval on the upper side. A light emitting layer (not shown) is provided on the light emitting surface 8.

周側面9は、電極面7の周端縁と、発光面8の周端縁とを連結している。   The peripheral side surface 9 connects the peripheral end edge of the electrode surface 7 and the peripheral end edge of the light emitting surface 8.

光半導体素子2の寸法は、適宜設定されており、具体的には、厚み(高さ)が、例えば、0.1μm以上、好ましくは、0.2μm以上であり、また、例えば、500μm以下、好ましくは、200μm以下である。光半導体素子2の左右方向長さおよび/または前後方向長さは、例えば、0.05mm以上、好ましくは、0.1mm以上であり、また、例えば、1.0mm以下、好ましくは、0.8mm以下である。隣接する光半導体素子2の間の間隔(前後方向および/または左右方向における間隔)は、例えば、0.05mm以上、好ましくは、0.1mm以上であり、また、例えば、1.0mm以下、好ましくは、0.8mm以下である。   The dimensions of the optical semiconductor element 2 are appropriately set. Specifically, the thickness (height) is, for example, 0.1 μm or more, preferably 0.2 μm or more, and, for example, 500 μm or less, Preferably, it is 200 micrometers or less. The length in the left-right direction and / or the length in the front-rear direction of the optical semiconductor element 2 is, for example, 0.05 mm or more, preferably 0.1 mm or more, and, for example, 1.0 mm or less, preferably 0.8 mm. It is as follows. An interval between adjacent optical semiconductor elements 2 (an interval in the front-rear direction and / or the left-right direction) is, for example, 0.05 mm or more, preferably 0.1 mm or more, and, for example, 1.0 mm or less, preferably Is 0.8 mm or less.

仮固定シート17は、処理(例えば、活性エネルギー線の照射など)によって感圧接着力が低減するように構成される感圧接着剤組成物から、シート形状に形成されている。仮固定シート17は、キャリア6の上面全面に配置されており、前後方向および左右方向に延びる略平板形状を有している。仮固定シート17の厚みは、例えば、100μm以上、好ましくは、300μm以上であり、また、例えば、2,000μm以下、好ましくは、1,000μm以下である。   The temporary fixing sheet 17 is formed into a sheet shape from a pressure-sensitive adhesive composition configured to reduce the pressure-sensitive adhesive force by treatment (for example, irradiation with active energy rays). The temporary fixing sheet 17 is disposed on the entire upper surface of the carrier 6 and has a substantially flat plate shape extending in the front-rear direction and the left-right direction. The thickness of the temporary fixing sheet 17 is, for example, 100 μm or more, preferably 300 μm or more, and for example, 2,000 μm or less, preferably 1,000 μm or less.

キャリア6は、仮固定シート17の下部に配置されている。キャリア6は、前後方向および左右方向に延びる略平板形状を有している。キャリア6の上面の中央部は、仮固定シート17に感圧接着され、キャリア6の上面の周端部は、仮固定シート17から露出している。キャリア6としては、例えば、ステンレス箔などの金属箔、例えば、ガラスシート、例えば、ポリマーフィルムなどが挙げられる。キャリア6の厚みは、例えば、100μm以上、好ましくは、300μm以上であり、また、例えば、2,000μm以下、好ましくは、1,000μm以下である。   The carrier 6 is disposed below the temporarily fixing sheet 17. The carrier 6 has a substantially flat plate shape extending in the front-rear direction and the left-right direction. The center portion of the upper surface of the carrier 6 is pressure-sensitively bonded to the temporarily fixing sheet 17, and the peripheral end portion of the upper surface of the carrier 6 is exposed from the temporarily fixing sheet 17. Examples of the carrier 6 include a metal foil such as a stainless steel foil, for example, a glass sheet, for example, a polymer film. The thickness of the carrier 6 is, for example, 100 μm or more, preferably 300 μm or more, and for example, 2,000 μm or less, preferably 1,000 μm or less.

そして、素子部材18を用意するには、仮固定シート17をキャリア6の上面の中央部に積層し、複数の光半導体素子2の電極面7をキャリア6の上面に、左右方向および前後方向に互いに間隔を隔てて整列するように、載置(感圧接着)する。これにより、複数の光半導体素子2を、仮固定シート17を介して、キャリア6に仮固定する。   And in order to prepare the element member 18, the temporary fixing sheet 17 is laminated | stacked on the center part of the upper surface of the carrier 6, and the electrode surface 7 of the some optical semiconductor element 2 is on the upper surface of the carrier 6, and the left-right direction and the front-back direction It mounts (pressure-sensitive adhesion) so that it may mutually arrange at intervals. Thus, the plurality of optical semiconductor elements 2 are temporarily fixed to the carrier 6 via the temporary fixing sheet 17.

2.工程(2)
工程(2)を、工程(1)の後に実施する。工程(2)では、図1Aに示すように、まず、光半導体素子被覆シート1と、素子部材18とをプレス機10に設置する。
2. Process (2)
Step (2) is performed after step (1). In step (2), as shown in FIG. 1A, first, the optical semiconductor element covering sheet 1 and the element member 18 are installed in the press 10.

プレス機10は、熱源(図示せず)を備える熱プレス機である。プレス機10は、下板11と、下板11の上側に配置され、下板11に対して熱プレス可能に構成される上板12とを備える。   The press machine 10 is a hot press machine provided with a heat source (not shown). The press machine 10 includes a lower plate 11 and an upper plate 12 that is disposed on the upper side of the lower plate 11 and configured to be capable of hot pressing with respect to the lower plate 11.

光半導体素子被覆シート1および素子部材18をプレス機10に設置するには、まず、光半導体素子被覆シート1および素子部材18を封止治具50に配置し、かかる封止治具50をプレス機10に設置する。   In order to install the optical semiconductor element covering sheet 1 and the element member 18 in the press 10, first, the optical semiconductor element covering sheet 1 and the element member 18 are arranged on the sealing jig 50, and the sealing jig 50 is pressed. Installed in machine 10.

封止治具50は、金属からなっており、下部材51と、上部材52と、スペーサ53とを備える。   The sealing jig 50 is made of metal and includes a lower member 51, an upper member 52, and a spacer 53.

下部材51は、左右方向および前後方向に延びる略平板形状を有している。下部材51は、キャリア6より大きいサイズを有している。   The lower member 51 has a substantially flat plate shape extending in the left-right direction and the front-rear direction. The lower member 51 has a size larger than that of the carrier 6.

上部材52は、左右方向および前後方向に延びる略平板形状を有している。上部材52は、剥離層5より大きいサイズを有している。   The upper member 52 has a substantially flat plate shape extending in the left-right direction and the front-rear direction. The upper member 52 has a size larger than that of the release layer 5.

スペーサ53は、工程(2)において、図1Bに示す熱プレスにおいて、下部材51および上部材52の間の間隔を所望値に設定できる厚みを有する部材である。図1Aにおいて図示されないが、スペーサ53は、平面視において、例えば、略矩形枠形状を有している。あるいは、スペーサ53は、前後方向に延び、左右方向に互いに間隔を隔てて配置される2つの棒状部材であってもよい。   In step (2), the spacer 53 is a member having a thickness that can set the distance between the lower member 51 and the upper member 52 to a desired value in the hot press shown in FIG. 1B. Although not shown in FIG. 1A, the spacer 53 has, for example, a substantially rectangular frame shape in plan view. Alternatively, the spacer 53 may be two rod-shaped members that extend in the front-rear direction and are spaced apart from each other in the left-right direction.

光半導体素子被覆シート1および素子部材18を封止治具50に配置するには、素子部材18のキャリア6を下部材51の上面に載置し、続いて、スペーサ53を、キャリア6の上面の周端部に載置する。別途、光半導体素子被覆シート1の剥離層5を上部材52の下面に載置する。   In order to arrange the optical semiconductor element covering sheet 1 and the element member 18 on the sealing jig 50, the carrier 6 of the element member 18 is placed on the upper surface of the lower member 51, and then the spacer 53 is placed on the upper surface of the carrier 6. It is placed on the peripheral edge of the. Separately, the release layer 5 of the optical semiconductor element covering sheet 1 is placed on the lower surface of the upper member 52.

その後、素子部材18およびスペーサ53が設けられた下部材51をプレス機10の下板11に設置する。一方、光半導体素子被覆シート1が設けられた上部材52をプレス機10の上板12に設置する。このとき、被覆層3およびクッション層4は、上下方向に投影したときに、複数の光半導体素子2を含むとともに、スペーサ53の内側に位置するように、配置される。また、被覆層3は、複数の光半導体素子2に臨む(あるいは面する)。これにより、封止治具50をプレス機10に設置する。   Thereafter, the lower member 51 provided with the element member 18 and the spacer 53 is installed on the lower plate 11 of the press 10. On the other hand, the upper member 52 provided with the optical semiconductor element covering sheet 1 is installed on the upper plate 12 of the press 10. At this time, the covering layer 3 and the cushion layer 4 are disposed so as to include the plurality of optical semiconductor elements 2 and to be positioned inside the spacer 53 when projected in the vertical direction. The covering layer 3 faces (or faces) the plurality of optical semiconductor elements 2. Thereby, the sealing jig 50 is installed in the press 10.

次に、プレス機10を用いて、光半導体素子被覆シート1および素子部材18を熱プレスする。具体的には、上板12に備えられる熱源(図示せず)によって光半導体素子被覆シート1を加熱しながら、上板12を下板11に向けてプレスする。   Next, the optical semiconductor element covering sheet 1 and the element member 18 are hot-pressed using the press machine 10. Specifically, the upper plate 12 is pressed toward the lower plate 11 while heating the optical semiconductor element covering sheet 1 with a heat source (not shown) provided on the upper plate 12.

熱プレスにおける温度(プレス温度)は、例えば、50℃以上、好ましくは、80℃以上であり、また、例えば、120℃以下、好ましくは、100℃以下である。   The temperature (press temperature) in the hot press is, for example, 50 ° C. or more, preferably 80 ° C. or more, and for example, 120 ° C. or less, preferably 100 ° C. or less.

熱プレスの温度が上記した範囲内であれば、被覆層3を構成するホットメルト樹脂を、熱溶融前の状態であって、塑性変形可能な状態(軟化状態)とすることができ、そのため、被覆層3が、損傷することを抑制しながら、光半導体素子2の発光面8および周側面9を、確実に密着(直接被覆)することができる。   If the temperature of the hot press is within the above-mentioned range, the hot melt resin constituting the coating layer 3 can be in a state before soft melting and in a plastically deformable state (softened state). The light emitting surface 8 and the peripheral side surface 9 of the optical semiconductor element 2 can be reliably adhered (directly covered) while suppressing the covering layer 3 from being damaged.

熱プレスにおける圧力Pは、例えば、5kPa以上、好ましくは、20kPa以上、200kPa以下、好ましくは、120kPa以下である。   The pressure P in the hot press is, for example, 5 kPa or more, preferably 20 kPa or more and 200 kPa or less, preferably 120 kPa or less.

熱プレスにおける圧力Pが上記した下限以上であれば、被覆層3の光半導体素子2に対する密着性を向上させることができる。一方、熱プレスにおける圧力Pが上記した上限以下であれば、被覆層3の破損をより一層抑制することができる。   When the pressure P in the hot press is equal to or higher than the lower limit described above, the adhesion of the coating layer 3 to the optical semiconductor element 2 can be improved. On the other hand, if the pressure P in the hot press is equal to or less than the above upper limit, damage to the coating layer 3 can be further suppressed.

上記のプレスによって、光半導体素子被覆シート1および複数の光半導体素子2が互いに圧縮される。   By the above pressing, the optical semiconductor element covering sheet 1 and the plurality of optical semiconductor elements 2 are compressed together.

そして、プレス機10の熱プレスによって、図1Bに示すように、光半導体素子被覆シート1において、被覆層3がホットメルト樹脂組成物から形成されているので、クッション層4が、熱溶融前の状態であって、塑性変形可能な状態(軟化状態)となる。そのため、略平板形状であった被覆層3の形状は、光半導体素子2の発光面8および周側面9に沿う形状に変化する。これとともに、略平坦面を有する、クッション層4の下面は、上記の被覆層3の表面形状に対応して追従するように、変化する。つまり、クッション層4は、複数の光半導体素子2に対応する、下面が上方に向かって凹む凹部を有している。   And as shown in FIG. 1B, since the coating layer 3 is formed from the hot melt resin composition in the optical semiconductor element coating sheet 1 by the hot press of the press 10, the cushion layer 4 is not heated and melted. This is a state that is plastically deformable (softened state). Therefore, the shape of the cover layer 3 that is substantially flat is changed to a shape along the light emitting surface 8 and the peripheral side surface 9 of the optical semiconductor element 2. At the same time, the lower surface of the cushion layer 4 having a substantially flat surface changes so as to follow the surface shape of the covering layer 3. That is, the cushion layer 4 has a recess corresponding to the plurality of optical semiconductor elements 2 and whose lower surface is recessed upward.

具体的には、被覆層3は、第1部分31と、第2部分32と、突出部分33とを一体的に有する形状となる。   Specifically, the coating layer 3 has a shape that integrally includes a first portion 31, a second portion 32, and a protruding portion 33.

第1部分31は、複数の発光面8のそれぞれを被覆している。また、第1部分31は、好ましくは、複数の発光面8にわたって、均一な厚みを有している。   The first portion 31 covers each of the plurality of light emitting surfaces 8. The first portion 31 preferably has a uniform thickness over the plurality of light emitting surfaces 8.

第2部分32は、複数の周側面9を被覆し、複数の第1部分31の周端縁に連続している。また、第2部分32は、周側面9を、上下方向全体にわたって、被覆している。第2部分32の厚みは、例えば、第1部分31の厚みと同一である。   The second portion 32 covers the plurality of peripheral side surfaces 9 and is continuous with the peripheral end edges of the plurality of first portions 31. The second portion 32 covers the peripheral side surface 9 over the entire vertical direction. The thickness of the second portion 32 is, for example, the same as the thickness of the first portion 31.

突出部分33は、第2部分32における、第1部分31の周端縁に連続する一端部の一例としての上端部34と反対側(下方)位置する他端部としての下端部35から、光半導体素子2の前後左右方向外側(光半導体素子2から離れる方向の一例)に向かって突出している。また、互いに隣接する複数の光半導体素子2に対応する突出部分33は、連続している。つまり、被覆層3は、前後方向および左右方向(面方向)に連続するシート部分(ベース部分)(突出部分33を含む部分)と、シート部分において、複数の光半導体素子2に対応して、面方向に互いに等間隔を隔てて整列配置され、上側に向かって出っ張る(あるいは凹む)複数の突部(第1部分31および第2部分32に対応する凸部)とを有する形状となる。突出部分33の厚みは、例えば、第2部分32の厚みと同一である。   The projecting portion 33 is light-transmitted from the lower end portion 35 as the other end portion on the opposite side (downward) from the upper end portion 34 as an example of one end portion that is continuous with the peripheral edge of the first portion 31 in the second portion 32. It protrudes outward in the front-rear and left-right direction of the semiconductor element 2 (an example of a direction away from the optical semiconductor element 2). Further, the protruding portions 33 corresponding to the plurality of optical semiconductor elements 2 adjacent to each other are continuous. That is, the covering layer 3 corresponds to the plurality of optical semiconductor elements 2 in the sheet portion (base portion) (a portion including the protruding portion 33) continuous in the front-rear direction and the left-right direction (surface direction), and the sheet portion. It is in a shape having a plurality of protrusions (convex portions corresponding to the first portion 31 and the second portion 32) that are aligned and arranged at equal intervals in the surface direction and project (or dent) upward. The thickness of the protruding portion 33 is the same as the thickness of the second portion 32, for example.

第1部分31の厚みT3、第2部分32の厚み、および、突出部分33の厚みは、それぞれ、熱プレス前の被覆層3の厚みT1と実質的に同一であり、具体的には、例えば、10μm以上、好ましくは、30μm以上であり、また、例えば、500μm以下、好ましくは、250μm以下である。   The thickness T3 of the first portion 31, the thickness of the second portion 32, and the thickness of the protruding portion 33 are substantially the same as the thickness T1 of the coating layer 3 before hot pressing. It is 10 μm or more, preferably 30 μm or more, and is, for example, 500 μm or less, preferably 250 μm or less.

クッション層4は、被覆層3に追従しており、第3部分43と、第4部分44とを一体的に有する形状となる。   The cushion layer 4 follows the coating layer 3 and has a shape integrally including a third portion 43 and a fourth portion 44.

第3部分43は、被覆層3の第1部分31を被覆している。第3部分43は、第1部分31の上面に位置している。   The third portion 43 covers the first portion 31 of the coating layer 3. The third portion 43 is located on the upper surface of the first portion 31.

第4部分44は、複数の第3部分43に連続し、被覆層3における第2部分32および突出部分33の両方を被覆している。第4部分44は、互いに隣接する第2部分32の間において、突出部分33の上に位置している。   The fourth portion 44 is continuous with the plurality of third portions 43 and covers both the second portion 32 and the protruding portion 33 in the coating layer 3. The fourth portion 44 is located on the protruding portion 33 between the second portions 32 adjacent to each other.

第3部分43の厚みT4は、例えば、50μm以上、好ましくは、100μm以上であり、また、例えば、4500μm以下、好ましくは、2000μm以下である。第4部分44の厚みは、例えば、300μm以上、好ましくは、350μm以上であり、また、例えば、4750μm以下、好ましくは、2250μm以下である。   The thickness T4 of the third portion 43 is, for example, 50 μm or more, preferably 100 μm or more, and for example, 4500 μm or less, preferably 2000 μm or less. The thickness of the 4th part 44 is 300 micrometers or more, for example, Preferably, it is 350 micrometers or more, for example, is 4750 micrometers or less, Preferably, it is 2250 micrometers or less.

また、第1部分31の厚みT3と、第3部分43の厚みT4との総厚み(T3+T4、光半導体素子2の直上に位置する被覆層3およびクッション層4の総厚み)は、例えば、20μm以上、好ましくは、100μm以上であり、また、例えば、5,000μm以下、好ましくは、1,000μm以下である。   The total thickness (T3 + T4, the total thickness of the covering layer 3 and the cushion layer 4 positioned immediately above the optical semiconductor element 2) of the thickness T3 of the first portion 31 and the thickness T4 of the third portion 43 is, for example, 20 μm. As mentioned above, Preferably, it is 100 micrometers or more, for example, is 5000 micrometers or less, Preferably, it is 1,000 micrometers or less.

一方、剥離層5は、上記した熱プレスにおいて、実質的に変形しない。   On the other hand, the release layer 5 is not substantially deformed in the above-described hot pressing.

これによって、被覆層3と、複数の光半導体素子2とを備える被覆層付光半導体素子集合体16を、クッション層4に接触され、かつ、仮固定シート17に仮固定された状態で得る。被覆層付光半導体素子集合体16は、次に説明する複数の被覆層付光半導体素子15が集合した集合体であって、複数の被覆層付光半導体素子15に共通して備えられる1つの被覆層3を備える。また、被覆層付光半導体素子集合体16は、封止治具50の下部材51および上部材52に挟持されている。   As a result, the optical semiconductor element assembly 16 with the coating layer including the coating layer 3 and the plurality of optical semiconductor elements 2 is obtained in a state of being in contact with the cushion layer 4 and temporarily fixed to the temporary fixing sheet 17. The optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer is an assembly of a plurality of optical semiconductor elements 15 with a coating layer described below, and is provided in common with the plurality of optical semiconductor elements 15 with a coating layer. A coating layer 3 is provided. Further, the optical semiconductor element assembly 16 with the covering layer is sandwiched between the lower member 51 and the upper member 52 of the sealing jig 50.

3.工程(3)
工程(3)を、工程(2)の後に実施する。工程(2)では、図2Dに示すように、クッション層4を被覆層3から除去する。
3. Step (3)
Step (3) is performed after step (2). In step (2), the cushion layer 4 is removed from the covering layer 3 as shown in FIG. 2D.

具体的には、まず、図1Cに示すように、被覆層付光半導体素子集合体16、仮固定シート17、キャリア6および封止治具50をプレス機10から取り出す。   Specifically, first, as shown in FIG. 1C, the covering layer-attached optical semiconductor element assembly 16, the temporary fixing sheet 17, the carrier 6, and the sealing jig 50 are taken out from the press 10.

続いて、図1Cの矢印で示すように、上部材52を引き上げる。   Subsequently, the upper member 52 is pulled up as indicated by an arrow in FIG. 1C.

その後、図2Dに示すように、クッション層4および剥離層5を引き上げる。具体的には、剥離層5を、被覆層付光半導体素子集合体16から剥離する。   Then, as shown to FIG. 2D, the cushion layer 4 and the peeling layer 5 are pulled up. Specifically, the release layer 5 is peeled from the optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer.

次いで、スペーサ53を引き上げる。   Next, the spacer 53 is pulled up.

これにより、図2Eに示すように、被覆層付光半導体素子集合体16が、仮固定シート17に仮固定された状態で、得られる。   Thereby, as shown to FIG. 2E, the optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer is obtained in the state temporarily fixed to the temporary fixing sheet 17. FIG.

被覆層付光半導体素子集合体16は、好ましくは、複数の光半導体素子2と、それらを被覆する1つの被覆層3とのみからなる。被覆層付光半導体素子集合体16は、発光装置20(図2G参照)の一部品、すなわち、発光装置20を作製するための部品であり、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。   The covering layer-attached optical semiconductor element assembly 16 preferably includes only a plurality of optical semiconductor elements 2 and one covering layer 3 that covers them. The optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer is a part of the light emitting device 20 (see FIG. 2G), that is, a part for producing the light emitting device 20, and is a device that is distributed alone and can be used industrially. is there.

その後、図2Eの太1点破線で示すように、被覆層付光半導体素子集合体16を個片化する。   Thereafter, as shown by a thick dashed line in FIG. 2E, the optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer is singulated.

具体的には、複数の光半導体素子2に対応する被覆層3の突出部分33をダイシングソー37によって切断(ダイシング)する。これにより、複数の被覆層付光半導体素子15を得る。   Specifically, the protruding portions 33 of the coating layer 3 corresponding to the plurality of optical semiconductor elements 2 are cut (diced) by a dicing saw 37. Thereby, the some optical semiconductor element 15 with a coating layer is obtained.

これにより、被覆層付光半導体素子15は、1つの光半導体素子2と、1つの被覆層3とを備えており、好ましくは、光半導体素子2と、被覆層3とのみからなる。被覆層付光半導体素子15は、仮固定シート17に仮固定された状態で、複数製造される。   Thereby, the optical semiconductor element 15 with a coating layer includes one optical semiconductor element 2 and one coating layer 3, and preferably includes only the optical semiconductor element 2 and the coating layer 3. A plurality of the optical semiconductor elements 15 with coating layers are manufactured in a state of being temporarily fixed to the temporary fixing sheet 17.

複数の封止光半導体素子11のそれぞれの寸法は、適宜設定されており、前後方向および/または左右方向における長さ(被覆層3の長さ)は、例えば、0.25mm以上、好ましくは、0.6mm以上であり、また、例えば、2.5mm以下、好ましくは、2mm以下である。   Each dimension of the plurality of sealed optical semiconductor elements 11 is appropriately set, and the length in the front-rear direction and / or the left-right direction (the length of the coating layer 3) is, for example, 0.25 mm or more, preferably It is 0.6 mm or more, for example, 2.5 mm or less, preferably 2 mm or less.

その後、図2Fの矢印で示すように、図示しないピックアップ装置などを用いて、1つの被覆層付光半導体素子15を仮固定シート17から剥離する。具体的には、仮固定シート17に処理(例えば、活性エネルギー線の照射など)を施した後、光半導体素子2の電極面7および突出部分33の下面を、仮固定シート17の上面から引き剥がす。   Thereafter, as shown by an arrow in FIG. 2F, one optical semiconductor element 15 with a coating layer is peeled off from the temporary fixing sheet 17 using a pickup device (not shown). Specifically, after the temporary fixing sheet 17 is treated (for example, irradiation of active energy rays), the electrode surface 7 of the optical semiconductor element 2 and the lower surface of the protruding portion 33 are pulled from the upper surface of the temporary fixing sheet 17. Remove.

この被覆層付光半導体素子15は、後述する発光装置20(図2G参照)ではなく、つまり、発光装置20に備えられる基板29(図2G参照)を含んでいない。つまり、被覆層付光半導体素子15は、発光装置20の基板29に備えられる端子(図示せず)とまだ電気的に接続されないように、構成されている。   This optical semiconductor element 15 with a coating layer is not a light emitting device 20 (see FIG. 2G) described later, that is, does not include a substrate 29 (see FIG. 2G) provided in the light emitting device 20. That is, the optical semiconductor element 15 with a coating layer is configured so as not to be electrically connected to a terminal (not shown) provided on the substrate 29 of the light emitting device 20.

つまり、電極面7と、突出部分33の下面とは、下方に露出している。すなわち、電極面7と、突出部分33の下面とは、面一であって、被覆層付光半導体素子15の下面を形成している。   That is, the electrode surface 7 and the lower surface of the protruding portion 33 are exposed downward. That is, the electrode surface 7 and the lower surface of the protruding portion 33 are flush with each other and form the lower surface of the optical semiconductor element 15 with the coating layer.

また、被覆層付光半導体素子15は、発光装置20(図2G参照)の一部品、すなわち、発光装置20を作製するための部品であり、部品単独で流通し、産業上利用可能なデバイスである。   Moreover, the optical semiconductor element 15 with a coating layer is a part of the light-emitting device 20 (see FIG. 2G), that is, a part for producing the light-emitting device 20, and is a device that can be distributed and used industrially. is there.

その後、図2Gに示すように、被覆層付光半導体素子15を基板29に実装(フリップチップ実装)して、発光装置20を製造する。   Thereafter, as shown in FIG. 2G, the optical semiconductor element 15 with the coating layer is mounted on the substrate 29 (flip chip mounting) to manufacture the light emitting device 20.

基板29は、左右方向および前後方向に延びる略平板形状を有している。基板29は、その上面に、被覆層付光半導体素子15の電極(図示せず)に対応する端子(図示せず)を備える。   The board | substrate 29 has a substantially flat plate shape extended in the left-right direction and the front-back direction. The board | substrate 29 is equipped with the terminal (not shown) corresponding to the electrode (not shown) of the optical semiconductor element 15 with a coating layer on the upper surface.

これによって、基板29と、それに実装される被覆層付光半導体素子15とを備える発光装置20を得る。発光装置20は、好ましくは、基板29と、被覆層付光半導体素子15とのみからなる。突出部分33は、基板29の上面に密着している。   As a result, the light emitting device 20 including the substrate 29 and the optical semiconductor element 15 with the coating layer mounted thereon is obtained. The light emitting device 20 preferably includes only the substrate 29 and the optical semiconductor element 15 with the coating layer. The protruding portion 33 is in close contact with the upper surface of the substrate 29.

4.作用効果
そして、この方法によれば、クッション層4は、上記した国際ゴム硬さを有するので、工程(2)において、クッション層4が取扱性に優れるとともに、上記した温度で、光半導体素子2および素子部材18を熱プレスしても、被覆層3の破損を抑制できるとともに、被覆層3が光半導体素子2に対して確実に密着することができる。
4). Action and Effect According to this method, the cushion layer 4 has the above-described international rubber hardness. Therefore, in the step (2), the cushion layer 4 is excellent in handleability, and at the above-described temperature, the optical semiconductor element 2 is provided. Even if the element member 18 is hot-pressed, damage to the coating layer 3 can be suppressed, and the coating layer 3 can be securely adhered to the optical semiconductor element 2.

つまり、図6に示すような被覆層3の千切れ部101や、図7に示すような被覆層3における薄肉部102の形成を抑制できる。これとともに、図8および図9に示すように、非接触部103の形成を抑制して、被覆層3が光半導体素子2に対して確実に密着することができる。   That is, the formation of the cut portion 101 of the coating layer 3 as shown in FIG. 6 and the thin portion 102 in the coating layer 3 as shown in FIG. 7 can be suppressed. At the same time, as shown in FIGS. 8 and 9, the formation of the non-contact portion 103 can be suppressed, and the coating layer 3 can be securely adhered to the optical semiconductor element 2.

また、この方法によれば、クッション層4の厚みT2が、上記した下限以上であるので、被覆層3の破損をより一層抑制することができる。また、クッション層4の厚みT2が、上記した上限以下であるので、被覆層3が光半導体素子2に対してより一層確実に密着することができる。   Moreover, according to this method, since the thickness T2 of the cushion layer 4 is equal to or greater than the above-described lower limit, damage to the coating layer 3 can be further suppressed. Moreover, since the thickness T <b> 2 of the cushion layer 4 is equal to or less than the above upper limit, the coating layer 3 can be more securely adhered to the optical semiconductor element 2.

また、この方法によれば、工程(2)における圧力Pは、上記した下限以上であるので、被覆層3が光半導体素子2に対してより一層確実に密着することができる。また、工程(2)における圧力Pが、上記した上限以下であるので、被覆層3の破損をより一層抑制することができる。   Moreover, according to this method, since the pressure P in the step (2) is equal to or higher than the lower limit described above, the coating layer 3 can be more firmly adhered to the optical semiconductor element 2. Moreover, since the pressure P in process (2) is below the above-mentioned upper limit, the damage of the coating layer 3 can be suppressed further.

また、この方法によれば、被覆層3は、上記した範囲の貯蔵剪断弾性率G’およびtanδを有すれば、被覆層3の破損をより一層抑制でき、または、被覆層3が光半導体素子2に対してより一層確実に密着することができる。   Moreover, according to this method, if the coating layer 3 has the storage shear elastic modulus G ′ and tan δ within the above-described range, the coating layer 3 can be further prevented from being damaged, or the coating layer 3 can be an optical semiconductor element. 2 can be more reliably adhered to.

また、この方法によれば、被覆層3の厚みT1が、上記した下限以上であるので、被覆層3の破損をより一層抑制することができる。   Moreover, according to this method, since the thickness T1 of the coating layer 3 is not less than the above lower limit, the damage of the coating layer 3 can be further suppressed.

また、この方法によれば、被覆層3は、シリコーン樹脂組成物から形成されていれば、プレス機10により、光半導体素子被覆シート1を熱プレスしても、被覆層3の破損をより一層抑制することができる。また、被覆層3は、シリコーン樹脂組成物から形成されていれば、被覆層3の優れた透明性を得ることができる。   Further, according to this method, if the coating layer 3 is formed of a silicone resin composition, the coating layer 3 is further damaged even if the optical semiconductor element coating sheet 1 is hot-pressed by the press 10. Can be suppressed. Moreover, if the coating layer 3 is formed from the silicone resin composition, the excellent transparency of the coating layer 3 can be obtained.

また、この方法によれば、被覆層3は、蛍光体を含有すれば、被覆層3が蛍光体層として機能することができる。そのため、発光効率に優れる被覆層付光半導体素子15を得ることができる。   Moreover, according to this method, if the coating layer 3 contains a phosphor, the coating layer 3 can function as a phosphor layer. Therefore, the optical semiconductor element 15 with a coating layer having excellent luminous efficiency can be obtained.

5.変形例
以下の記載において、上記した一実施形態と同様の部材および工程については、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。
5. Modifications In the following description, members and processes similar to those in the above-described embodiment are given the same reference numerals, and detailed descriptions thereof are omitted.

(1)不連続な突出部分(図3A〜図3E)
一実施形態では、図2Eに示すように、互いに隣接する複数の光半導体素子2に対応する突出部分33は、連続している。しかし、互いに隣接する複数の光半導体素子2に対応する突出部分33は、上記に限定されず、例えば、図3Bおよび図3Cに示すように、不連続であってもよい。
(1) Discontinuous protrusion (FIGS. 3A to 3E)
In one embodiment, as shown in FIG. 2E, protruding portions 33 corresponding to a plurality of adjacent optical semiconductor elements 2 are continuous. However, the protruding portions 33 corresponding to the plurality of optical semiconductor elements 2 adjacent to each other are not limited to the above, and may be discontinuous as shown in FIGS. 3B and 3C, for example.

具体的には、突出部分33は、複数の光半導体素子2に対応して、複数設けられている。より具体的には、複数の突出部分33のそれぞれは、複数の光半導体素子2のそれぞれに対して、1対1対応となるように、設けられている。   Specifically, a plurality of protruding portions 33 are provided corresponding to the plurality of optical semiconductor elements 2. More specifically, each of the plurality of protruding portions 33 is provided so as to have a one-to-one correspondence with each of the plurality of optical semiconductor elements 2.

この方法では、工程(1)において、図3Aに示すように、被覆層3は、複数の光半導体素子2に対応するように、前後方向および左右方向に互いに間隔を隔てて、クッション層4の下面に複数整列配置されている。   In this method, in step (1), as shown in FIG. 3A, the covering layer 3 is spaced apart from each other in the front-rear direction and the left-right direction so as to correspond to the plurality of optical semiconductor elements 2. A plurality of lines are arranged on the lower surface.

複数の被覆層3のそれぞれは、素子部材18と対向し、かつ、上下方向に投影したときに、複数の光半導体素子2のそれぞれを包含するように、配置されている。被覆層3は、光半導体素子2の平面視におけるサイズに比べて、大きいサイズを有している。   Each of the plurality of coating layers 3 is disposed so as to face the element member 18 and include each of the plurality of optical semiconductor elements 2 when projected in the vertical direction. The covering layer 3 has a size larger than the size of the optical semiconductor element 2 in plan view.

被覆層3を形成するには、ホットメルト樹脂のワニスを、図示しない剥離シートの表面、あるいは、クッション層4の表面に、例えば、スクリーン印刷などによって、塗布する。   In order to form the coating layer 3, a hot melt resin varnish is applied to the surface of a release sheet (not shown) or the surface of the cushion layer 4 by, for example, screen printing.

工程(2)では、図3Bに示すように、互いに隣接する複数の光半導体素子2に対応する突出部分33が不連続となるように、被覆層3が光半導体素子2の発光面8および周側面9を被覆している。互いに隣接する複数の光半導体素子2に対応する突出部分33間には、第4部分44の下端部が充填されており、これにより、かかる下端部が、互いに隣接する複数の光半導体素子2に対応する突出部分33を隔てている。第4部分44の下端部は、仮固定シート17の上面に直接接触している。   In step (2), as shown in FIG. 3B, the covering layer 3 is formed on the light emitting surface 8 and the peripheral surface of the optical semiconductor element 2 so that the protruding portions 33 corresponding to the plurality of adjacent optical semiconductor elements 2 are discontinuous. The side surface 9 is covered. Between the protruding portions 33 corresponding to the plurality of optical semiconductor elements 2 adjacent to each other, the lower end portion of the fourth portion 44 is filled, so that the lower end portions are formed on the plurality of optical semiconductor elements 2 adjacent to each other. A corresponding protruding portion 33 is separated. The lower end portion of the fourth portion 44 is in direct contact with the upper surface of the temporary fixing sheet 17.

工程(3)において、図3Cに示すように、クッション層4を複数の被覆層付光半導体素子15から剥離する。これにより、複数の被覆層付光半導体素子15が、仮固定シート17に仮固定された状態で、得られる。   In the step (3), as shown in FIG. 3C, the cushion layer 4 is peeled from the plurality of optical semiconductor elements 15 with a coating layer. Thereby, the some optical semiconductor element 15 with a coating layer is obtained in the state temporarily fixed to the temporary fixing sheet 17. FIG.

この方法によれば、一実施形態における図2Eに示すように、ダイシングすることなく、つまり、図2Eに示されるような被覆層付光半導体素子集合体16を個片化する工程が不要となるので、簡易に、被覆層付光半導体素子15を得ることができる。   According to this method, as shown in FIG. 2E in one embodiment, the step of separating the optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer as shown in FIG. 2E without dicing is unnecessary. Therefore, the optical semiconductor element 15 with a coating layer can be obtained easily.

一方、一実施形態によれば、図3A〜図3Dで示される変形例と異なり、図2Eに示すように、複数の被覆層付光半導体素子15からなる被覆層付光半導体素子集合体16を構成することができる。ひいては、被覆層付光半導体素子集合体16を実装した発光装置20(図示せず)を製造することができる。   On the other hand, according to one embodiment, unlike the modification example shown in FIGS. 3A to 3D, as shown in FIG. 2E, an optical semiconductor element assembly 16 with a covering layer comprising a plurality of optical semiconductor elements 15 with a covering layer is provided. Can be configured. As a result, the light-emitting device 20 (not shown) which mounted the optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer can be manufactured.

(2)突出部分のない被覆層付光半導体素子(図4A〜図4E)
一実施形態では、図2Fに示すように、被覆層付光半導体素子15において、被覆層3が突出部分33を有している。しかし、図4Dに示すように、被覆層3が突出部分33を有さず、第1部分31および第2部分32のみを備えることもできる。つまり、被覆層付光半導体素子15において、被覆層3は、好ましくは、第1部分31および第2部分32のみからなる。
(2) Optical semiconductor element with coating layer having no protruding portion (FIGS. 4A to 4E)
In one embodiment, as shown in FIG. 2F, in the optical semiconductor element 15 with a coating layer, the coating layer 3 has a protruding portion 33. However, as shown in FIG. 4D, the covering layer 3 does not have the protruding portion 33 and can include only the first portion 31 and the second portion 32. That is, in the optical semiconductor element 15 with the coating layer, the coating layer 3 preferably includes only the first portion 31 and the second portion 32.

工程(1)における被覆層3は、図4Aに示すように、工程(3)において、発光面8および周側面9のみを被覆できるサイズおよび形状に形成されている。   As shown in FIG. 4A, the coating layer 3 in the step (1) is formed in a size and shape that can cover only the light emitting surface 8 and the peripheral side surface 9 in the step (3).

工程(2)において、図4Bに示すように、複数の被覆層付光半導体素子15のそれぞれの下面は、光半導体素子2の電極面7と、被覆層3における第2部分32の下端面39と、隣接する第2部分32間に充填される外側部分38の下面とを有する。工程(2)において、電極面7と、下端面39と、外側部分38の下面とは、前後方向および左右方向に面一に形成されている。   In step (2), as shown in FIG. 4B, the lower surfaces of the plurality of optical semiconductor elements 15 with a coating layer are formed on the electrode surface 7 of the optical semiconductor element 2 and the lower end surface 39 of the second portion 32 in the coating layer 3. And a lower surface of the outer portion 38 filled between the adjacent second portions 32. In step (2), the electrode surface 7, the lower end surface 39, and the lower surface of the outer portion 38 are formed flush with each other in the front-rear direction and the left-right direction.

図4A〜図4Eの変形例によれば、図1A〜図2Gの一実施形態と同様の作用効果を奏することができる。   According to the modification of FIG. 4A to FIG. 4E, the same operational effects as those of the embodiment of FIG. 1A to FIG. 2G can be obtained.

一方、図1A〜図2Gの一実施形態は、図4A〜図4Eの変形例に比べて、好ましい。   On the other hand, the embodiment of FIGS. 1A to 2G is preferable as compared with the modified examples of FIGS. 4A to 4E.

つまり、一実施形態の被覆層付光半導体素子15では、被覆層3が、突出部分33を備えるので、図2Gに示すように、被覆層付光半導体素子15を基板29に実装するときに、被覆層3は、突出部分33を基板29に対しても密着することができる。そのため、信頼性に優れる発光装置20を得ることができる。   That is, in the optical semiconductor element 15 with a coating layer according to one embodiment, the coating layer 3 includes the protruding portion 33. Therefore, when the optical semiconductor element 15 with a coating layer is mounted on the substrate 29 as shown in FIG. The covering layer 3 can bring the protruding portion 33 into close contact with the substrate 29. Therefore, the light emitting device 20 having excellent reliability can be obtained.

(3)その他の変形例
一実施形態では、剥離層5を光半導体素子被覆シート1に備えているが、例えば、図示しないが、剥離層5を備えずに、被覆層3およびクッション層4のみを光半導体素子被覆シート1に備えることもできる。
(3) Other Modifications In one embodiment, the release layer 5 is provided in the optical semiconductor element cover sheet 1. For example, although not illustrated, only the cover layer 3 and the cushion layer 4 are provided without the release layer 5. Can also be provided in the optical semiconductor element covering sheet 1.

好ましくは、光半導体素子被覆シート1は、剥離層5をさらに備える。   Preferably, the optical semiconductor element covering sheet 1 further includes a release layer 5.

このような方法によれば、光半導体素子被覆シート1の取扱性に優れる。そのため、光半導体素子被覆シート1を簡易かつ確実に取り扱って、被覆層付光半導体素子15を製造することができる。   According to such a method, the handling property of the optical semiconductor element covering sheet 1 is excellent. Therefore, the optical semiconductor element-covered sheet 1 can be easily and reliably handled to manufacture the optical semiconductor element 15 with a coating layer.

また、上記した複数の変形例を適宜組み合わせることができる。   In addition, the above-described plurality of modifications can be combined as appropriate.

以下の記載において用いられる配合割合(含有割合)、物性値、パラメータなどの具体的数値は、上記の「発明を実施するための形態」において記載されている、それらに対応する配合割合(含有割合)、物性値、パラメータなど該当記載の上限値(「以下」、「未満」として定義されている数値)または下限値(「以上」、「超過」として定義されている数値)に代替することができる。   Specific numerical values such as blending ratio (content ratio), physical property values, and parameters used in the following description are described in the above-mentioned “Mode for Carrying Out the Invention”, and the corresponding blending ratio (content ratio) ), Physical property values, parameters, etc. may be replaced with the upper limit values (numerical values defined as “less than” or “less than”) or lower limit values (numbers defined as “greater than” or “exceeded”). it can.

作製例1
厚み2,000μmのシリコーンゲル(商品名「FFG−40100」、ポリマテック社製)を60mm×60mmのサイズの矩形平板形状にカットして、これを、厚み50μmの剥離層5(PTEシート、商品名「SS4C」、ニッパ社製)の表面に積層した。これにより、シリコーンゲルからなるクッション層4を剥離層5の表面に形成した。
Production Example 1
A silicone gel having a thickness of 2,000 μm (trade name “FFG-40100”, manufactured by Polymertec) was cut into a rectangular flat plate having a size of 60 mm × 60 mm, and this was separated into a release layer 5 (PTE sheet, product name) having a thickness of 50 μm. It was laminated on the surface of “SS4C” (Nippa). Thereby, the cushion layer 4 made of silicone gel was formed on the surface of the release layer 5.

このクッション層4は、JIS K 6253−2(2012年)に準拠した方法に基づく硬度計により25℃で測定される国際ゴム硬さ(以下、同様)40であり、針入度で規定される硬さが100、引張強度が0.07MPa、伸びが225%、引裂強さが0.3N/mmであった。   This cushion layer 4 has an international rubber hardness (hereinafter the same) 40 measured at 25 ° C. by a hardness meter based on a method according to JIS K 6253-2 (2012), and is defined by the penetration. The hardness was 100, the tensile strength was 0.07 MPa, the elongation was 225%, and the tear strength was 0.3 N / mm.

作製例2
特開2010−265436公報に記載の実施例1の記載に従って、メチル系シリコーン樹脂組成物Aを調製した。
Production Example 2
A methyl silicone resin composition A was prepared according to the description in Example 1 described in JP 2010-265436 A.

これを剥離層5の上に塗布して、厚み50μmの剥離層5(PTEシート、商品名「SS4C」、ニッパ社製)の表面に、加熱後の厚みが500μmとなるように塗布し、その後、135℃で7分、加熱することにより、メチル系シリコーン樹脂組成物AをBステージ化(半硬化)させた。これにより、Bステージのメチル系シリコーン樹脂組成物Aのゲルからなるクッション層4を剥離層5の表面に形成した。   This is applied onto the release layer 5 and applied to the surface of the release layer 5 (PTE sheet, trade name “SS4C”, manufactured by Nipper Co., Ltd.) having a thickness of 50 μm so that the thickness after heating becomes 500 μm. The methyl silicone resin composition A was B-staged (semi-cured) by heating at 135 ° C. for 7 minutes. Thereby, the cushion layer 4 made of the gel of the B-stage methyl silicone resin composition A was formed on the surface of the release layer 5.

クッション層4は、国際ゴム硬さが40、針入度で規定される硬さが100、引張強度が0.07MPa、伸びが225%、引裂強さが0.3N/mmであった。   The cushion layer 4 had an international rubber hardness of 40, a hardness defined by penetration of 100, a tensile strength of 0.07 MPa, an elongation of 225%, and a tear strength of 0.3 N / mm.

合成例1
撹拌機、還流冷却管、投入口および温度計が装備された四ツ口フラスコに、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン93.2g、水140g、トリフルオロメタンスルホン酸0.38gおよびトルエン500gを投入して混合し、撹拌しつつメチルフェニルジメトキシシラン729.2gとフェニルトリメトキシシラン330.5gの混合物1時間かけて滴下し、その後、1時間加熱還流した。その後、冷却し、下層(水層)を分離して除去し、上層(トルエン溶液)を3回水洗した。水洗したトルエン溶液に水酸化カリウム0.40gを加え、水分離管から水を除去しながら還流した。水の除去完了後、さらに5時間還流し、冷却した。その後、酢酸0.6gを投入して中和した後、ろ過して得られたトルエン溶液を3回水洗した。その後、減圧濃縮することにより、液体状のアルケニル基含有ポリシロキサンAを得た。アルケニル基含有ポリシロキサンAの平均単位式および平均組成式は、以下の通りである。
Synthesis example 1
In a four-necked flask equipped with a stirrer, reflux condenser, charging port and thermometer, 93.2 g of 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 140 g of water, trifluoromethanesulfone 0.38 g of acid and 500 g of toluene were added and mixed. While stirring, a mixture of 729.2 g of methylphenyldimethoxysilane and 330.5 g of phenyltrimethoxysilane was added dropwise over 1 hour, and then heated under reflux for 1 hour. Then, it cooled, the lower layer (water layer) was isolate | separated and removed, and the upper layer (toluene solution) was washed with water 3 times. 0.40 g of potassium hydroxide was added to the toluene solution washed with water, and the mixture was refluxed while removing water from the water separation tube. After completion of water removal, the mixture was further refluxed for 5 hours and cooled. Thereafter, 0.6 g of acetic acid was added for neutralization, and then the toluene solution obtained by filtration was washed with water three times. Then, liquid alkenyl group containing polysiloxane A was obtained by concentrating under reduced pressure. The average unit formula and average composition formula of the alkenyl group-containing polysiloxane A are as follows.

平均単位式:
((CH=CH)(CHSiO1/20.15(CHSiO2/20.60(CSiO3/20.25
平均組成式:
(CH=CH)0.15(CH0.90(C0.85SiO1.05
つまり、アルケニル基含有ポリシロキサンAは、Rがビニル基、Rがメチル基およびフェニル基であり、a=0.15、b=1.75である上記平均組成式(1)で示される。
Average unit formula:
((CH 2 = CH) (CH 3 ) 2 SiO 1/2 ) 0.15 (CH 3 C 6 H 5 SiO 2/2 ) 0.60 (C 6 H 5 SiO 3/2 ) 0.25
Average composition formula:
(CH 2 = CH) 0.15 (CH 3 ) 0.90 (C 6 H 5 ) 0.85 SiO 1.05
That is, the alkenyl group-containing polysiloxane A is represented by the above average composition formula (1) in which R 1 is a vinyl group, R 2 is a methyl group and a phenyl group, and a = 0.15 and b = 1.75. .

また、ゲル透過クロマトグラフィーによって、アルケニル基含有ポリシロキサンAのポリスチレン換算の重量平均分子量を測定したところ、2300であった。   Moreover, it was 2300 when the weight average molecular weight of polystyrene conversion of the alkenyl group containing polysiloxane A was measured by the gel permeation chromatography.

合成例2
撹拌機、還流冷却管、投入口および温度計が装備された四ツ口フラスコに、1,3−ジビニル−1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン93.2g、水140g、トリフルオロメタンスルホン酸0.38gおよびトルエン500gを投入して混合し、撹拌しつつジフェニルジメトキシシラン173.4gとフェニルトリメトキシシラン300.6gの混合物1時間かけて滴下し、滴下終了後、1時間加熱還流した。その後、冷却し、下層(水層)を分離して除去し、上層(トルエン溶液)を3回水洗した。水洗したトルエン溶液に水酸化カリウム0.40gを加え、水分離管から水を除去しながら還流した。水の除去完了後、さらに5時間還流し、冷却した。酢酸0.6gを投入して中和した後、ろ過して得られたトルエン溶液を3回水洗した。その後、減圧濃縮することにより、液体状のアルケニル基含有ポリシロキサンBを得た。アルケニル基含有ポリシロキサンBの平均単位式および平均組成式は、以下の通りである。
Synthesis example 2
In a four-necked flask equipped with a stirrer, reflux condenser, charging port and thermometer, 93.2 g of 1,3-divinyl-1,1,3,3-tetramethyldisiloxane, 140 g of water, trifluoromethanesulfone 0.38 g of acid and 500 g of toluene were added and mixed. While stirring, a mixture of 173.4 g of diphenyldimethoxysilane and 300.6 g of phenyltrimethoxysilane was added dropwise over 1 hour. After completion of the addition, the mixture was heated to reflux for 1 hour. Then, it cooled, the lower layer (water layer) was isolate | separated and removed, and the upper layer (toluene solution) was washed with water 3 times. 0.40 g of potassium hydroxide was added to the toluene solution washed with water, and the mixture was refluxed while removing water from the water separation tube. After completion of water removal, the mixture was further refluxed for 5 hours and cooled. After neutralizing by adding 0.6 g of acetic acid, the toluene solution obtained by filtration was washed with water three times. Then, liquid alkenyl group containing polysiloxane B was obtained by concentrating under reduced pressure. The average unit formula and average composition formula of the alkenyl group-containing polysiloxane B are as follows.

平均単位式:
(CH=CH(CHSiO1/20.31((CSiO2/20.22(CSiO3/20.47
平均組成式:
(CH=CH)0.31(CH0.62(C0.91SiO1.08
つまり、アルケニル基含有ポリシロキサンBは、Rがビニル基、Rがメチル基およびフェニル基であり、a=0.31、b=1.53である上記平均組成式(1)で示される。
Average unit formula:
(CH 2 = CH (CH 3 ) 2 SiO 1/2 ) 0.31 ((C 6 H 5 ) 2 SiO 2/2 ) 0.22 (C 6 H 5 SiO 3/2 ) 0.47
Average composition formula:
(CH 2 = CH) 0.31 (CH 3 ) 0.62 (C 6 H 5 ) 0.91 SiO 1.08
That is, the alkenyl group-containing polysiloxane B is represented by the above average composition formula (1) in which R 1 is a vinyl group, R 2 is a methyl group and a phenyl group, and a = 0.31 and b = 1.53. .

また、ゲル透過クロマトグラフィーによって、アルケニル基含有ポリシロキサンBのポリスチレン換算の重量平均分子量を測定したところ、1,000であった。   Moreover, it was 1,000 when the polystyrene conversion weight average molecular weight of the alkenyl group containing polysiloxane B was measured by gel permeation chromatography.

合成例3
撹拌機、還流冷却管、投入口および温度計が装備された四ツ口フラスコに、ジフェニルジメトキシシラン325.9g、フェニルトリメトキシシラン564.9g、およびトリフルオロメタンスルホン酸2.36gを投入して混合し、1,1,3,3−テトラメチルジシロキサン134.3gを加え、撹拌しつつ酢酸432gを30分かけて滴下した。滴下終了後、混合物を撹拌しつつ50℃に昇温して3時間反応させた。室温まで冷却した後、トルエンと水を加え、良く混合して静置し、下層(水層)を分離して除去した。その後、上層(トルエン溶液)を3回水洗した後、減圧濃縮することにより、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンC(架橋剤C)を得た。
Synthesis example 3
Diphenyldimethoxysilane (325.9 g), phenyltrimethoxysilane (564.9 g), and trifluoromethanesulfonic acid (2.36 g) were added to a four-necked flask equipped with a stirrer, reflux condenser, inlet, and thermometer. Then, 134.3 g of 1,1,3,3-tetramethyldisiloxane was added, and 432 g of acetic acid was added dropwise over 30 minutes while stirring. After completion of dropping, the mixture was heated to 50 ° C. with stirring and reacted for 3 hours. After cooling to room temperature, toluene and water were added, mixed well and allowed to stand, and the lower layer (aqueous layer) was separated and removed. Thereafter, the upper layer (toluene solution) was washed with water three times and then concentrated under reduced pressure to obtain hydrosilyl group-containing polysiloxane C (crosslinking agent C).

ヒドロシリル基含有ポリシロキサンCの平均単位式および平均組成式は、以下の通りである。   The average unit formula and average composition formula of the hydrosilyl group-containing polysiloxane C are as follows.

平均単位式:
(H(CHSiO1/20.33((CSiO2/20.22(CPhSiO3/20.45
平均組成式:
0.33(CH0.66(C0.89SiO1.06
つまり、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンCは、Rがメチル基およびフェニル基であり、c=0.33、d=1.55である上記平均組成式(2)で示される。
Average unit formula:
(H (CH 3 ) 2 SiO 1/2 ) 0.33 ((C 6 H 5 ) 2 SiO 2/2 ) 0.22 (C 6 H 5 PhSiO 3/2 ) 0.45
Average composition formula:
H 0.33 (CH 3 ) 0.66 (C 6 H 5 ) 0.89 SiO 1.06
That is, the hydrosilyl group-containing polysiloxane C is represented by the above average composition formula (2) in which R 3 is a methyl group and a phenyl group, and c = 0.33 and d = 1.55.

また、ゲル透過クロマトグラフィーによって、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンCのポリスチレン換算の重量平均分子量を測定したところ、1,000であった。   Moreover, it was 1,000 when the weight average molecular weight of polystyrene conversion of hydrosilyl group containing polysiloxane C was measured by the gel permeation chromatography.

調製例1
アルケニル基含有ポリシロキサンA(合成例1)20g、アルケニル基含有ポリシロキサンB(合成例2)25g、ヒドロシリル基含有ポリシロキサンC(合成例3、架橋剤C)25g、および、白金カルボニル錯体(商品名「SIP6829.2」、Gelest社製、白金濃度2.0質量%)5mgを混合して、フェニル系シリコーン樹脂組成物Bからなるゲルを調製した。
Preparation Example 1
20 g of alkenyl group-containing polysiloxane A (Synthesis Example 1), 25 g of alkenyl group-containing polysiloxane B (Synthesis Example 2), 25 g of hydrosilyl group-containing polysiloxane C (Synthesis Example 3, cross-linking agent C), and platinum carbonyl complex (product) The name “SIP6829.2” (manufactured by Gelest, platinum concentration: 2.0 mass%) 5 mg was mixed to prepare a gel composed of phenyl-based silicone resin composition B.

作製例3
調製例1のBステージのフェニル系シリコーン樹脂組成物Bのゲルを剥離層5の上に塗布して、厚み50μmの剥離層5(PTEシート、商品名「SS4C」、ニッパ社製)の表面に、加熱後の厚みが500μmとなるように塗布し、その後、80℃で10分、加熱することにより、フェニル系シリコーン樹脂組成物BをBステージ化(半硬化)させた。これにより、Bステージのフェニル系シリコーン樹脂組成物Bのゲルからなるクッション層4を剥離層5の表面に形成した。
Production Example 3
The gel of the B-stage phenyl-based silicone resin composition B of Preparation Example 1 was applied onto the release layer 5 and applied to the surface of the release layer 5 (PTE sheet, trade name “SS4C”, manufactured by Nipper Co., Ltd.) having a thickness of 50 μm. The film was applied so that the thickness after heating was 500 μm, and then heated at 80 ° C. for 10 minutes, whereby the phenyl silicone resin composition B was B-staged (semi-cured). Thereby, the cushion layer 4 made of the gel of the B-stage phenyl-based silicone resin composition B was formed on the surface of the release layer 5.

クッション層4は、国際ゴム硬さが50であり、針入度で規定される硬さが80、引張強度が0.09MPa、伸びが180%、引裂強さが0.4N/mmであった。   The cushion layer 4 had an international rubber hardness of 50, a hardness defined by penetration of 80, a tensile strength of 0.09 MPa, an elongation of 180%, and a tear strength of 0.4 N / mm. .

実施例1
ホットメルト樹脂(商品名LF−1020、シリコーン樹脂、東レ・ダウコーニング社製)および蛍光体70部を配合して混合することにより、ホットメルト樹脂組成物のワニスを調製し、これを図示しない剥離シートの表面に塗布し、加熱することにより、被覆層3を形成した。
Example 1
A hot melt resin (trade name: LF-1020, silicone resin, manufactured by Toray Dow Corning) and 70 parts of phosphor were blended and mixed to prepare a varnish of the hot melt resin composition, which is not shown in the figure. The coating layer 3 was formed by applying on the surface of the sheet and heating.

その後、被覆層3を、作製例1のクッション層4に貼り合わせた。その後、剥離シートを被覆層3から引き剥がした。これにより、図1Aに示すように、剥離層5と、クッション層4と、被覆層3とを備える光半導体素子被覆シート1を製造した。   Thereafter, the coating layer 3 was bonded to the cushion layer 4 of Production Example 1. Thereafter, the release sheet was peeled off from the coating layer 3. Thereby, as shown to FIG. 1A, the optical semiconductor element coating sheet 1 provided with the peeling layer 5, the cushion layer 4, and the coating layer 3 was manufactured.

別途、キャリア6の上面に積層された仮固定シート17に、光半導体素子2(1μm×1μm、厚み150μm、商品名「EDI−FA4545A」、Epistar社製)を100個(10個×10個)、互いに等間隔を隔てて感圧接着した。これにより、図1Aに示すように、複数の光半導体素子2と、仮固定シート17と、キャリア6とを備える素子部材18を用意した。   Separately, 100 (10 × 10) optical semiconductor elements 2 (1 μm × 1 μm, thickness 150 μm, trade name “EDI-FA4545A”, manufactured by Epistar) are temporarily fixed on the upper surface of the carrier 6. The pressure-sensitive adhesives were equidistantly spaced from each other. Thereby, as shown to FIG. 1A, the element member 18 provided with the some optical semiconductor element 2, the temporary fixing sheet 17, and the carrier 6 was prepared.

次いで、光半導体素子被覆シート1と素子部材18とを、封止治具50に配置した。具体的には、素子部材18のキャリア6を下部材51の上面に載置し、続いて、スペーサ53を、キャリア6の上面の周端部に載置した。別途、光半導体素子被覆シート1の剥離層5を上部材52の下面に載置した。なお、封止治具50のスペーサ53の厚みは、500μmであった。   Next, the optical semiconductor element covering sheet 1 and the element member 18 were placed in the sealing jig 50. Specifically, the carrier 6 of the element member 18 was placed on the upper surface of the lower member 51, and then the spacer 53 was placed on the peripheral end portion of the upper surface of the carrier 6. Separately, the release layer 5 of the optical semiconductor element covering sheet 1 was placed on the lower surface of the upper member 52. The thickness of the spacer 53 of the sealing jig 50 was 500 μm.

続いて、図1Aに示すように、素子部材18およびスペーサ53が設けられた下部材51をプレス機10の下板11に設置した。また、光半導体素子被覆シート1が設けられた上部材52をプレス機10の上板12に設置した(工程(1))。   Subsequently, as shown in FIG. 1A, the lower member 51 provided with the element member 18 and the spacer 53 was installed on the lower plate 11 of the press 10. Moreover, the upper member 52 provided with the optical semiconductor element covering sheet 1 was placed on the upper plate 12 of the press 10 (step (1)).

その後、図1Bに示すように、プレス機10を用いて、光半導体素子2および素子部材18を、プレス圧40kPa、90℃で、600秒間、熱プレスした(工程(2))。   Thereafter, as shown in FIG. 1B, the optical semiconductor element 2 and the element member 18 were hot-pressed at a press pressure of 40 kPa and 90 ° C. for 600 seconds using the press 10 (step (2)).

これにより、1つの被覆層3と、複数の光半導体素子2とを備える被覆層付光半導体素子集合体16を、クッション層4に接触され、かつ、素子部材18に仮固定された状態で得た。   As a result, an optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer including one coating layer 3 and a plurality of optical semiconductor elements 2 is obtained in a state of being in contact with the cushion layer 4 and temporarily fixed to the element member 18. It was.

その後、図1Cに示すように、被覆層付光半導体素子集合体16、仮固定シート17、キャリア6および封止治具50をプレス機10から取り出した。続いて、図1Cの矢印で示すように、上部材52を引き上げた。   Thereafter, as shown in FIG. 1C, the covering layer-attached optical semiconductor element assembly 16, the temporary fixing sheet 17, the carrier 6, and the sealing jig 50 were taken out from the press 10. Subsequently, the upper member 52 was pulled up as indicated by the arrow in FIG. 1C.

その後、図2Dに示すように、クッション層4を被覆層付光半導体素子集合体16から剥離した。これにより、被覆層付光半導体素子集合体16が、仮固定シート17に仮固定された状態で、得られた。   Then, as shown to FIG. 2D, the cushion layer 4 was peeled from the optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer. Thereby, the optical semiconductor element assembly 16 with the coating layer was obtained in a state of being temporarily fixed to the temporary fixing sheet 17.

その後、図2Eに示すように、被覆層付光半導体素子集合体16を個片化した。具体的には、複数の光半導体素子2に対応する被覆層3の突出部分33をダイシングソー37によってダイシングした。これにより、複数の被覆層付光半導体素子15を得た。   Thereafter, as shown in FIG. 2E, the optical semiconductor element assembly 16 with a coating layer was separated into pieces. Specifically, the protruding portions 33 of the coating layer 3 corresponding to the plurality of optical semiconductor elements 2 were diced with a dicing saw 37. Thereby, the some optical semiconductor element 15 with a coating layer was obtained.

その後、図2Fに示すように、仮固定シート17に紫外線を照射し、続いて、図示しないピックアップ装置などを用いて、1つの被覆層付光半導体素子15を仮固定シート17から剥離した。   After that, as shown in FIG. 2F, the temporarily fixing sheet 17 was irradiated with ultraviolet rays, and then one optical semiconductor element 15 with a coating layer was peeled from the temporarily fixing sheet 17 using a pickup device (not shown).

実施例2〜実施例11および比較例1、2
表1に記載の処方に基づいて、被覆層3の厚み、被覆層3の物性、クッション層4の処方、クッション層4の厚み、プレス圧、プレス温度等を変更した以外は、実施例1と同様に処理して、被覆層付光半導体素子15を製造した。
Examples 2 to 11 and Comparative Examples 1 and 2
Example 1 except that the thickness of the coating layer 3, the physical properties of the coating layer 3, the formulation of the cushion layer 4, the thickness of the cushion layer 4, the pressing pressure, the pressing temperature, etc. were changed based on the formulation described in Table 1. The same processing was performed to manufacture an optical semiconductor element 15 with a coating layer.

具体的には、実施例2では、プレス温度を85℃に変更した。   Specifically, in Example 2, the press temperature was changed to 85 ° C.

実施例3では、クッション層4の厚みT2を変更するとともに、プレス温度を85℃に変更した。   In Example 3, the thickness T2 of the cushion layer 4 was changed, and the press temperature was changed to 85 ° C.

実施例4では、プレス温度を60℃に変更した。   In Example 4, the press temperature was changed to 60 ° C.

実施例5では、作製例2のクッション層4を用い、クッション層4の厚みT2を変更し、さらに、プレス温度を60℃に変更した。   In Example 5, the cushion layer 4 of Production Example 2 was used, the thickness T2 of the cushion layer 4 was changed, and the press temperature was changed to 60 ° C.

実施例6では、作製例2のクッション層4を用い、被覆層3の厚みT1を変更し、さらに、プレス温度を60℃に変更した。   In Example 6, the cushion layer 4 of Production Example 2 was used, the thickness T1 of the covering layer 3 was changed, and the press temperature was changed to 60 ° C.

実施例7では、作製例2のクッション層4を用い、プレス圧Pを変更し、さらに、プレス温度を100℃に変更し、被覆層3のプレス温度(100℃)における貯蔵剪断弾性率G’を8.8×10Paに調整した。 In Example 7, the cushion layer 4 of Production Example 2 was used, the press pressure P was changed, the press temperature was changed to 100 ° C., and the storage shear modulus G ′ at the press temperature (100 ° C.) of the coating layer 3. Was adjusted to 8.8 × 10 4 Pa.

実施例8では、作製例2のクッション層4を用い、プレス圧Pを変更し、さらに、プレス温度を100℃に変更し、被覆層3のプレス温度(100℃)における貯蔵剪断弾性率G’を8.8×10Paに調整した。 In Example 8, the cushion layer 4 of Production Example 2 was used, the press pressure P was changed, the press temperature was changed to 100 ° C., and the storage shear modulus G ′ at the press temperature (100 ° C.) of the coating layer 3. Was adjusted to 8.8 × 10 4 Pa.

実施例9では、作製例3のクッション層4を用い、クッション層4の硬度を変更し、さらに、プレス温度を100℃に変更し、被覆層3のプレス温度(100℃)における貯蔵剪断弾性率G’を8.8×10Paに調整した。 In Example 9, the cushion layer 4 of Production Example 3 was used, the hardness of the cushion layer 4 was changed, the press temperature was changed to 100 ° C., and the storage shear elastic modulus at the press temperature (100 ° C.) of the coating layer 3. G ′ was adjusted to 8.8 × 10 4 Pa.

比較例1では、クッション層4の国際ゴム硬さを変更した。   In Comparative Example 1, the international rubber hardness of the cushion layer 4 was changed.

比較例2では、クッション層4の国際ゴム硬さを変更した。   In Comparative Example 2, the international rubber hardness of the cushion layer 4 was changed.

比較例3では、クッション層4の国際ゴム硬さを変更し、クッション層4としてスポンジを用いた。このクッション層4は、針入度で規定される硬さが80、引張強度が0.03MPa、伸びが110%、引裂強さが0.01N/mmであった。   In Comparative Example 3, the international rubber hardness of the cushion layer 4 was changed, and a sponge was used as the cushion layer 4. The cushion layer 4 had a hardness defined by penetration of 80, a tensile strength of 0.03 MPa, an elongation of 110%, and a tear strength of 0.01 N / mm.

<光半導体素子被覆シートおよび被覆層付光半導体素子の評価>
(被覆層の動的粘弾性)
光半導体素子に対して密着する前の被覆層3のプレス温度における貯蔵剪断弾性率G’およびtanδを求めた。
<Evaluation of optical semiconductor element covering sheet and optical semiconductor element with covering layer>
(Dynamic viscoelasticity of coating layer)
The storage shear modulus G ′ and tan δ at the press temperature of the coating layer 3 before adhering to the optical semiconductor element were determined.

すなわち、上下方向に対向配置される2枚の直径8mmの円板を備えるレオメータを用いて、90℃における被覆層3の貯蔵剪断弾性率G’およびtanδを測定した。   That is, the storage shear modulus G ′ and tan δ of the coating layer 3 at 90 ° C. were measured using a rheometer provided with two disks having a diameter of 8 mm opposed to each other in the vertical direction.

具体的には、2枚の円板によって被覆層3を挟み込んだ。   Specifically, the coating layer 3 was sandwiched between two disks.

そして、剪断モード、周波数1Hz、歪み1%、および、昇温速度10℃/分、測定範囲60〜100℃の測定条件にて動的粘弾性を測定して、プレス温度における被覆層3の貯蔵剪断弾性率G’およびtanδを求めた。   Then, the dynamic viscoelasticity is measured under measurement conditions of a shear mode, a frequency of 1 Hz, a strain of 1%, a heating rate of 10 ° C./min, and a measurement range of 60 to 100 ° C., and storage of the coating layer 3 at the press temperature. The shear modulus G ′ and tan δ were determined.

(クッション層4の取扱性)
クッション層4の取扱性を以下の基準に従って評価した。
×:クッション層4の流動性が高く、形状を保持できておらず、クッション層4としての取扱い性が低かった。
○:クッション層4の形状が保たれており、クッション層4としての取扱い性が良好であった。
(Handling of cushion layer 4)
The handleability of the cushion layer 4 was evaluated according to the following criteria.
X: The fluidity of the cushion layer 4 was high, the shape was not maintained, and the handleability as the cushion layer 4 was low.
○: The shape of the cushion layer 4 was maintained, and the handleability as the cushion layer 4 was good.

(被覆層の密着性)
被覆層付光半導体素子15における被覆層3の断面を観察し、以下の基準に従って、被覆層3の密着性を評価した。
×:図8に示すように、被覆層3の第2部分32は、光半導体素子2の周側面9の全部に密着していなかった。つまり、非接触部103を形成していた。
△:図9に示すように、第2部分32の上端部34が、光半導体素子2の周側面9に密着していたが、第2部分32の下端部35が、光半導体素子2の周側面9に密着していなかった。つまり、非接触部103を形成していた。
○:被覆層3は、上端部34から下端部35にわたって、光半導体素子2の周側面9を連続して密着していた。しかし、非接触部103をわずかに形成した。
◎:被覆層3は、上端部34から下端部35にわたって、光半導体素子2の周側面9を連続して密着していた。
(Coating layer adhesion)
The cross section of the coating layer 3 in the optical semiconductor element 15 with a coating layer was observed, and the adhesion of the coating layer 3 was evaluated according to the following criteria.
×: As shown in FIG. 8, the second portion 32 of the coating layer 3 was not in close contact with the entire peripheral side surface 9 of the optical semiconductor element 2. That is, the non-contact part 103 was formed.
Δ: As shown in FIG. 9, the upper end portion 34 of the second portion 32 was in close contact with the peripheral side surface 9 of the optical semiconductor element 2, but the lower end portion 35 of the second portion 32 was around the periphery of the optical semiconductor element 2. It was not in close contact with the side surface 9. That is, the non-contact part 103 was formed.
O: The covering layer 3 was in close contact with the peripheral side surface 9 of the optical semiconductor element 2 from the upper end 34 to the lower end 35. However, the non-contact part 103 was slightly formed.
A: The covering layer 3 was in close contact with the peripheral side surface 9 of the optical semiconductor element 2 from the upper end 34 to the lower end 35.

(被覆層の破損)
被覆層付光半導体素子15における被覆層3の断面を観察し、以下の基準に従って、被覆層3の破損などを評価した。
×:図6に示すように、被覆層3における第1部分31と第2部分32との間に千切れ部101が形成され、あるいは、図7に示すように、被覆層3における第1部分31の周端縁において、薄肉部102が形成されていた。なお、薄肉部102の厚みは、5μm以下であった。
△:被覆層3には、図7に示すように、被覆層3における第1部分31の周端縁において、薄肉部102が形成されていたが、その厚みは、5μm超過、10μm以下であった。
○:被覆層3には、図7に示すように、被覆層3における第1部分31の周端縁において、薄肉部102が形成されていたが、その厚みは、10μm超過、30μm以下であった。
◎:被覆層3には、図6に示すような千切れ部101、または、図7に示すような薄肉部102が観察されなかった。
(Damage of coating layer)
The cross section of the coating layer 3 in the optical semiconductor element 15 with the coating layer was observed, and breakage of the coating layer 3 was evaluated according to the following criteria.
X: As shown in FIG. 6, the torn part 101 is formed between the 1st part 31 and the 2nd part 32 in the coating layer 3, or the 1st part in the coating layer 3 as shown in FIG. A thin portion 102 was formed at the peripheral edge of 31. In addition, the thickness of the thin part 102 was 5 micrometers or less.
(Triangle | delta): As shown in FIG. 7, although the thin part 102 was formed in the coating layer 3 in the peripheral edge of the 1st part 31 in the coating layer 3, the thickness exceeded 5 micrometers and was 10 micrometers or less. It was.
◯: As shown in FIG. 7, the thin portion 102 was formed in the coating layer 3 at the peripheral edge of the first portion 31 in the coating layer 3, but the thickness was more than 10 μm and 30 μm or less. It was.
A: In the coating layer 3, a torn portion 101 as shown in FIG. 6 or a thin portion 102 as shown in FIG. 7 was not observed.

Figure 2017163104
Figure 2017163104

1 光半導体素子被覆シート
2 光半導体素子
3 被覆層
4 クッション層
5 剥離層
7 電極面
8 発光面
9 周側面
10 プレス機
15 被覆層付光半導体素子
31 第1部分
32 第2部分
33 突出部分
34 上端部(一端部の一例)
35 下端部(他端部の一例)
P プレス圧
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical semiconductor element coating sheet 2 Optical semiconductor element 3 Covering layer 4 Cushion layer 5 Peeling layer 7 Electrode surface 8 Light emission surface 9 Peripheral side surface 10 Press 15 Covering layer-equipped optical semiconductor element 31 1st part 32 2nd part 33 Protruding part 34 Upper end (an example of one end)
35 Lower end (an example of the other end)
P Press pressure

Claims (10)

ホットメルト樹脂から形成され、光半導体素子を被覆可能な被覆層、および、前記被覆層の厚み方向一方側に配置されるクッション層を備える被覆部材と、前記光半導体素子とを、前記被覆層が前記光半導体素子に臨むように、プレス機に設置する工程(1)と、
前記工程(1)の後に、前記プレス機により、前記被覆部材および前記光半導体素子を、それらが互いに圧縮されるように、熱プレスする工程(2)と、
前記工程(2)の後に、前記クッション層を前記被覆層から除去する工程(3)と
を備え、
JIS K 6253−2(2012年)に準拠した方法に基づく硬度計により25℃で測定される前記クッション層の国際ゴム硬さが、10以上、50以下であることを特徴とする、被覆層付光半導体素子の製造方法。
A coating layer formed of a hot melt resin and capable of covering an optical semiconductor element, a covering member including a cushion layer disposed on one side in the thickness direction of the coating layer, and the optical semiconductor element, A step (1) of installing in a press so as to face the optical semiconductor element;
After the step (1), the step (2) of hot pressing the covering member and the optical semiconductor element so that they are mutually compressed by the pressing machine;
And (3) removing the cushion layer from the covering layer after the step (2),
With a coating layer, the international rubber hardness of the cushion layer measured at 25 ° C. by a hardness meter based on a method according to JIS K 6253-2 (2012) is 10 or more and 50 or less Manufacturing method of optical semiconductor element.
前記クッション層の厚みが、150μm以上、5,000μm未満であることを特徴とする、請求項1に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法。   The method for manufacturing an optical semiconductor element with a cover layer according to claim 1, wherein the thickness of the cushion layer is 150 µm or more and less than 5,000 µm. 前記工程(2)における圧力が、20kPa以上、120kPa以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法。   The method for producing an optical semiconductor element with a cover layer according to claim 1 or 2, wherein the pressure in the step (2) is 20 kPa or more and 120 kPa or less. 前記被覆部材は、剥離層をさらに備えており、
前記剥離層の上に、前記クッション層と、前記被覆層とを順に備えることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法。
The covering member further includes a release layer,
The method for producing an optical semiconductor element with a cover layer according to any one of claims 1 to 3, wherein the cushion layer and the cover layer are sequentially provided on the release layer.
前記被覆層は、剪断モード、周波数1Hz、および、昇温速度10℃/分の測定条件にて動的粘弾性測定することにより得られ、60℃以上90℃以下の測定範囲のうちいずれかの測定温度において、2.0×10以下の貯蔵剪断弾性率G’を有し、かつ、0.9以上、1.0以下のtanδを有することを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法。 The coating layer is obtained by dynamic viscoelasticity measurement under measurement conditions of a shear mode, a frequency of 1 Hz, and a heating rate of 10 ° C./min, and is any one of measurement ranges of 60 ° C. or more and 90 ° C. or less. It has a storage shear elastic modulus G ′ of 2.0 × 10 5 or less and a tan δ of 0.9 or more and 1.0 or less at the measurement temperature. A method for producing an optical semiconductor element with a cover layer according to claim 1. 前記被覆層の厚みが、30μm以上であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法。   The thickness of the said coating layer is 30 micrometers or more, The manufacturing method of the optical semiconductor element with a coating layer as described in any one of Claims 1-5 characterized by the above-mentioned. 前記被覆層は、シリコーン樹脂組成物から形成されていることを特徴とする、請求項1〜6のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法。   The said coating layer is formed from the silicone resin composition, The manufacturing method of the optical semiconductor element with a coating layer as described in any one of Claims 1-6 characterized by the above-mentioned. 前記被覆層は、蛍光体を含有することを特徴とする、請求項1〜7のいずれか一項に記載の被覆層付光半導体素子の製造方法。   The said coating layer contains fluorescent substance, The manufacturing method of the optical semiconductor element with a coating layer as described in any one of Claims 1-7 characterized by the above-mentioned. 光半導体素子と、前記光半導体素子を被覆する被覆層とを備え、
前記光半導体素子は、
発光層が設けられる発光面、前記発光面に対向し、電極が設けられる電極面、および、前記発光面と前記電極面との周端縁を連結する連結面を有し、
前記被覆層は、
前記発光面を被覆する第1部分と、
前記連結面を被覆し、前記第1部分の周端縁に連続する第2部分と、
前記第2部分における、前記第1部分の前記周端縁に連続する一端部と反対側に位置する他端部から、前記電極面に沿って、前記光半導体素子から離れる方向に向かって突出する突出部分と
を有することを特徴とする、被覆層付光半導体素子。
An optical semiconductor element, and a coating layer covering the optical semiconductor element,
The optical semiconductor element is:
A light-emitting surface provided with a light-emitting layer, an electrode surface facing the light-emitting surface and provided with an electrode, and a connecting surface that connects peripheral edges of the light-emitting surface and the electrode surface;
The coating layer is
A first portion covering the light emitting surface;
A second portion covering the connecting surface and continuing to a peripheral edge of the first portion;
The second portion protrudes from the other end located on the side opposite to the one end continuous with the peripheral edge of the first portion in a direction away from the optical semiconductor element along the electrode surface. An optical semiconductor element with a cover layer, characterized by having a protruding portion.
前記光半導体素子が、前記離れる方向に互いに間隔を隔てて複数配置されており、
互いに隣接する前記光半導体素子に対応する前記突出部分が、連続していることを特徴とする、請求項9に記載の被覆層付光半導体素子。
A plurality of the optical semiconductor elements are spaced apart from each other in the separating direction;
The optical semiconductor element with a cover layer according to claim 9, wherein the protruding portions corresponding to the optical semiconductor elements adjacent to each other are continuous.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2019124574A1 (en) * 2017-12-19 2019-06-27 한국기계연구원 Hardness variable carrier film
CN113130459A (en) * 2020-01-15 2021-07-16 东贝光电科技股份有限公司 Miniature LED light-emitting device and manufacturing method thereof

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