JP2017162380A - Checking processing system of gas checking device - Google Patents
Checking processing system of gas checking device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017162380A JP2017162380A JP2016048520A JP2016048520A JP2017162380A JP 2017162380 A JP2017162380 A JP 2017162380A JP 2016048520 A JP2016048520 A JP 2016048520A JP 2016048520 A JP2016048520 A JP 2016048520A JP 2017162380 A JP2017162380 A JP 2017162380A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- inspection
- flow rate
- inspection machine
- alarm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims abstract description 104
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims abstract description 479
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 claims abstract description 125
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims abstract description 53
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 214
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 35
- 238000003113 dilution method Methods 0.000 claims description 27
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 7
- 238000007865 diluting Methods 0.000 claims description 3
- 238000002309 gasification Methods 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 621
- 230000006870 function Effects 0.000 description 38
- 239000003570 air Substances 0.000 description 35
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 27
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 19
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 19
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 14
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 10
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 9
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 9
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 9
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 9
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 7
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 4
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 2
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000001294 propane Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
Images
Abstract
Description
本発明は、ガス導入部から吸引した導入ガス中の特定成分の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有する吸引式のガス検査機の状態を点検する点検処理を実行する点検処理手段を備え、当該点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記ガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムに関する。 The present invention performs an inspection process for inspecting the state of a suction-type gas inspection machine having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas sucked from the gas introduction unit Processing means, and the inspection processing means supplies the inspection gas to the gas introduction part of the gas inspection machine via the gas supply part as the inspection process, and the abnormality of the gas alarm function of the gas inspection machine. The present invention relates to an inspection processing system of a gas inspection machine that executes a gas alarm confirmation process for confirming presence or absence.
空気中の一酸化炭素や可燃性ガスなどの特定成分の状態に応じて警報を出力するガス警報機能を有するガス検査機を使用するにあたり、当該ガス検査機の状態が正常であるか否かを定期的に点検する必要がある。そこで、このようなガス検査機の点検を自動的に行うための点検処理システムが知られている（例えば特許文献１参照）。 When using a gas inspection machine having a gas alarm function that outputs an alarm according to the state of a specific component such as carbon monoxide or flammable gas in the air, whether or not the state of the gas inspection machine is normal It is necessary to check regularly. Thus, an inspection processing system for automatically inspecting such a gas inspection machine is known (see, for example, Patent Document 1).
特許文献１のガス検査機の点検処理システムでは、上記点検処理として、ガス検査機のガス導入部に点検用ガスを供給して、ガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するバンプテストとも呼ばれるガス警報確認処理（確認試験処理）を実行する。具体的に、このガス警報確認処理では、収容部（装着部５０，５５）に収容されたガス検査機（ガス検知器１０Ａ，１０Ｂ）に対し、ガス供給部（ガス供給用チューブ接続部７５）を介して点検用ガス（特定ガス）を供給して、ガス検査機の濃度指示値が適正なものであるか否かを確認する。
In the inspection processing system for a gas inspection machine disclosed in
吸引式のガス検査機では、ガス導入部の閉塞や吸引ポンプの故障等により、ガス検査機のガス導入部からのガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常が生じる場合がある。そして、従来の点検処理システムでは、点検対象のガス検査機に対し、吸引流量異常の有無に関係なく、上記ガス警報確認処理を実行するため、点検用ガスが適切にガス検査機に吸引されず、正確な点検結果を得ることができない場合があった。
更に、吸引流量異常ではあるが吸引流量が完全にはゼロではないガス検査機に対してガス警報確認処理を実行すると、点検用ガスが小流量ではあるがガス検査機に吸引されることで、ガス検査機から警報が出力され、結果、この警報の出力により正常状態であると誤判定してしまう恐れがあった。
In a suction type gas inspection machine, there may be a suction flow abnormality where the gas suction flow rate from the gas introduction part of the gas tester deviates from the appropriate flow rate range due to blockage of the gas introduction part or failure of the suction pump. . In the conventional inspection processing system, the gas alarm check process is executed for the gas inspection machine to be inspected regardless of whether there is an abnormality in the suction flow rate, so that the inspection gas is not properly drawn into the gas inspection machine. In some cases, accurate inspection results could not be obtained.
Furthermore, when the gas alarm check process is executed for a gas inspection machine in which the suction flow rate is abnormal but the suction flow rate is not completely zero, the inspection gas is sucked into the gas inspection machine although the flow rate is small, An alarm is output from the gas inspection machine, and as a result, there is a risk of erroneously determining that the state is normal by the output of the alarm.
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、吸引式のガス検査機の状態を点検する点検処理として、当該ガス検査機に対して点検用ガスを供給してガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムにおいて、点検対象のガス検査機において適正な吸引流量を確保できない吸引流量異常の有無を合理的に把握して、ガス警報確認処理において正確な点検結果を得ることができる技術を提供する点にある。 In view of this situation, the main problem of the present invention is to check whether there is an abnormality in the gas alarm function by supplying inspection gas to the gas inspection machine as an inspection process for checking the state of the suction type gas inspection machine In a gas inspection machine inspection processing system that performs gas alarm confirmation processing, it is possible to reasonably grasp whether there is an abnormal suction flow rate that cannot ensure an appropriate suction flow rate in the gas inspection machine to be inspected. It is to provide a technique that can obtain a proper inspection result.
本発明の第１特徴構成は、ガス導入部から吸引した導入ガス中の特定成分の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有する吸引式のガス検査機の状態を点検する点検処理を実行する点検処理手段を備え、
当該点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記ガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムであって、
前記点検処理手段が、前記点検処理として、当該ガス警報確認処理の実行前に、
前記ガス検査機において前記ガス導入部の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能の異常の有無を確認する閉塞警報確認処理と、前記ガス検査機のガス導入部からのガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常の有無を確認する吸引流量確認処理とを順に実行する点にある。
The first characteristic configuration of the present invention is an inspection for checking the state of a suction-type gas inspection machine having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas sucked from the gas introduction unit. Provided with inspection processing means for executing processing,
The inspection processing means supplies, as the inspection processing, a gas for inspection via a gas supply unit to a gas introduction unit of the gas inspection machine, and checks whether there is an abnormality in the gas alarm function of the gas inspection machine An inspection processing system for a gas inspection machine that executes alarm confirmation processing,
The inspection processing means, as the inspection processing, before execution of the gas alarm confirmation processing,
In the gas tester, a blockage alarm check process for checking whether there is an abnormality in the blockage alarm function that outputs a predetermined blockage alarm when the gas introduction unit is blocked, and the gas suction flow rate from the gas introduction unit of the gas tester is appropriate A suction flow rate confirmation process for confirming whether there is an abnormality in the suction flow rate deviating from the flow rate range is performed in order.
本構成によれば、上記ガス警報確認処理の実行前の段階では上記吸引流量確認処理が実行されることにより、ガス検査機において適正なガス吸引流量を確保できない吸引流量異常の有無が把握される。このことで、吸引流量異常を有さないガス検査機に対しては、適切に上記ガス警報確認処理を実行して正確な点検結果を得ることができ、一方、吸引流量異常を有するガス検査機に対しては、上記ガス警報確認処理の無駄な実施を回避して、上記ガス確認処理の合理化を図ることができる。 According to this configuration, by performing the suction flow rate confirmation process before the execution of the gas alarm confirmation process, it is possible to grasp whether there is an abnormality in the suction flow rate in which a proper gas suction flow rate cannot be secured in the gas inspection machine. . As a result, for a gas inspection machine that does not have a suction flow rate abnormality, it is possible to appropriately execute the gas alarm check process to obtain an accurate inspection result, while a gas inspection machine having a suction flow rate abnormality. Therefore, it is possible to avoid the wasteful implementation of the gas alarm confirmation process and rationalize the gas confirmation process.
更に、上記吸引流量確認処理の実行前の段階では、上記閉塞警報確認処理が実行されることにより、ガス検査機における閉塞警報機能の異常の有無が把握される。このことで、閉塞警報機能に異常を有して使用不可となるガス検査機に対しては、上記吸引流量確認処理の無駄な実施を回避して、上記吸引流量確認処理の合理化を図ることができる。また、閉塞警報機能に異常がある場合には、吸引流量異常である以前に、そもそも吸引流量が略ゼロになる閉塞異常である可能性もあり、この観点からも、閉塞警報機能に異常を有するガス検査機に対して、吸引流量確認処理の実施を回避するのが合理的である。 Furthermore, in the stage before execution of the suction flow rate confirmation processing, the presence or absence of an abnormality of the blockage alarm function in the gas tester is grasped by executing the blockage alarm confirmation processing. As a result, it is possible to avoid wasteful implementation of the suction flow rate confirmation process and rationalize the suction flow rate confirmation process for a gas inspection machine that is disabled due to an abnormality in the blockage alarm function. it can. Also, if there is an abnormality in the obstruction alarm function, there may be an obstruction abnormality in which the suction flow rate becomes substantially zero before the suction flow abnormality, and from this point of view, there is an abnormality in the obstruction alarm function. It is reasonable to avoid the suction flow rate confirmation process for the gas inspection machine.
従って、本発明により、点検対象のガス検査機において適正な吸引流量を確保できない吸引流量異常の有無を合理的に把握して、ガス警報確認処理において正確な点検結果を得ることができるガス検査機の点検処理システムを提供することができる。 Therefore, according to the present invention, it is possible to reasonably grasp the presence or absence of an abnormal suction flow rate in the gas inspection machine subject to inspection, and to obtain an accurate inspection result in the gas alarm confirmation process. An inspection processing system can be provided.
本発明の第２特徴構成は、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を介して大気を供給可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記点検処理の終了時に、前記ガス検査機のガス導入部に大気を供給して当該ガス検査機のクリーニングを行うクリーニング処理を実行する点にある。
The second characteristic configuration of the present invention is configured such that the atmosphere can be supplied to the gas introduction unit of the gas inspection machine via the gas supply unit,
The inspection processing means executes a cleaning process for supplying the atmosphere to the gas introduction part of the gas inspection machine and cleaning the gas inspection machine at the end of the inspection process.
本構成によれば、上記点検処理の終了時に上記クリーニング処理を実行するので、ガス検査機のガス導入部等に残留する点検用ガスを当該ガス導入部に供給される大気に置換する形態で、当該ガス検査機をクリーニングすることができる。このことにより、点検処理直後のガス検査機の使用にあたり、ガス導入部等に残留する点検用ガスに起因する誤検知を回避することができる。 According to this configuration, since the cleaning process is performed at the end of the inspection process, the inspection gas remaining in the gas introduction part of the gas inspection machine is replaced with the atmosphere supplied to the gas introduction part. The gas inspection machine can be cleaned. Thereby, in using the gas inspection machine immediately after the inspection process, it is possible to avoid erroneous detection due to the inspection gas remaining in the gas introduction section or the like.
本発明の第３特徴構成は、前記ガス検査機が、前記ガス導入部の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能を有し、
前記ガス供給部からのガス流出を遮断可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記閉塞警報確認処理において、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を接続した状態で、当該ガス供給部からのガス流出を遮断させて、当該遮断に伴う前記ガス検査機の閉塞警報機能による前記閉塞警報の出力の有無を確認する点にある。
The third characteristic configuration of the present invention, the gas inspection machine has a blockage alarm function for outputting a predetermined blockage alarm when the gas introduction unit is blocked,
It is configured to be able to block gas outflow from the gas supply unit,
In the blockage alarm confirmation process, the inspection processing means is configured to block gas outflow from the gas supply unit in a state where the gas supply unit is connected to a gas introduction unit of the gas inspection machine, and The point is to check whether or not the blockage alarm is output by the blockage alarm function of the gas inspection machine.
本構成によれば、上記閉塞警報確認処理において、合理的に、ガス検査機において前記ガス導入部の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能の異常の有無を確認することができる。
即ち、ガス検査機の閉塞警報機能では、例えば吸引ポンプの負荷の異常上昇を検知することにより、ガス導入部の状態がゴミ等により閉塞している閉塞状態であると判定し、そのことを閉塞異常として、所定の閉塞警報を出力する。このことを利用して、上記閉塞警報確認処理では、ガス検査機の導入部に接続されたガス供給部からのガス流出を遮断することで、ガス導入部の状態を擬似的な閉塞状態にして、ガス検査機の閉塞警報機能が正常に作動しているか否かを簡易に確認することができる。
According to this configuration, in the blockage alarm confirmation process, it is possible to reasonably confirm whether there is an abnormality in the blockage alarm function that outputs a predetermined blockage alarm when the gas introduction unit is blocked in the gas inspection machine.
That is, the blockage alarm function of the gas tester determines that the state of the gas introduction unit is blocked by dust or the like, for example, by detecting an abnormal increase in the load of the suction pump. A predetermined blockage alarm is output as an abnormality. By utilizing this fact, in the blockage alarm confirmation process, the gas introduction unit is put in a pseudo blockage state by blocking the gas outflow from the gas supply unit connected to the introduction unit of the gas inspection machine. It is possible to easily confirm whether or not the blockage alarm function of the gas inspection machine is operating normally.
本発明の第４特徴構成は、前記ガス供給部を大気開放可能な大気開放経路と、当該大気開放経路におけるガス流量を計測可能な開放流量計測部とを備え、
前記点検処理手段が、前記吸引流量確認処理において、前記ガス供給部への前記点検用ガスの供給を停止すると共に、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を接続した状態で、前記大気開放経路を介して当該ガス供給部を大気開放させて、当該大気開放時に前記開放流量計測部で計測されたガス流量を前記ガス検査機のガス吸引流量として取得して、前記吸引流量異常の有無を確認する点にある。
The fourth characteristic configuration of the present invention includes an air release path capable of opening the gas supply unit to the atmosphere, and an open flow rate measurement unit capable of measuring a gas flow rate in the atmosphere open path,
In the state where the inspection processing means stops the supply of the inspection gas to the gas supply unit in the suction flow rate confirmation processing, and the gas supply unit is connected to a gas introduction unit of the gas inspection machine, The gas supply unit is opened to the atmosphere via the atmosphere release path, and the gas flow rate measured by the open flow rate measurement unit when the atmosphere is released is acquired as the gas suction flow rate of the gas inspection machine. The point is to check the presence or absence.
本構成によれば、上記吸引流量確認処理において、合理的に、ガス検査機のガス導入部からのガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常の有無を確認することができる。
即ち、上記吸引流量確認処理において、ガス検査機の導入部に接続されたガス供給部を、大気開放経路を介して、大気開放させる。すると、ガス検査機は当該大気開放経路を通じて大気を吸引する状態となるので、大気開放経路に設けられた開放流量計測部の計測結果を、ガス検査機のガス導入部からのガス吸引流量として取得し、その取得したガス吸引流量を適正流量範囲と比較して、吸引流量異常の有無を判定することができる。更に、この吸引流量確認処理では、大気を利用してガス検査機のガス吸引流量を取得するので、点検用ガスの浪費を抑制することができる。
According to this configuration, in the suction flow rate confirmation process, it is possible to reasonably confirm whether there is an abnormality in the suction flow rate in which the gas suction flow rate from the gas introduction unit of the gas inspection machine deviates from the appropriate flow rate range.
That is, in the suction flow rate confirmation process, the gas supply unit connected to the introduction unit of the gas inspection machine is opened to the atmosphere via the atmosphere release path. Then, since the gas inspection machine is in a state of sucking the atmosphere through the atmosphere release path, the measurement result of the open flow measurement unit provided in the atmosphere release path is acquired as the gas suction flow rate from the gas introduction part of the gas inspection machine. Then, the obtained gas suction flow rate can be compared with an appropriate flow rate range to determine whether there is an abnormality in the suction flow rate. Further, in this suction flow rate confirmation process, since the gas suction flow rate of the gas inspection machine is acquired using the atmosphere, waste of the inspection gas can be suppressed.
本発明の第５特徴構成は、ガス容器から取り出した原料ガスを大気で希釈して前記点検用ガスを生成する希釈処理を実行可能に構成され、
当該点検用ガスの供給先を前記ガス供給部から外部に切り替えて当該点検用ガスを排気可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記閉塞警報確認処理又は前記吸引流量確認処理の実行時に、前記希釈処理で生成された点検用ガスを外部に排気して、前記点検用ガスの濃度を安定化させる濃度安定化処理を実行する点にある。
The fifth characteristic configuration of the present invention is configured to be capable of performing a dilution process for generating the inspection gas by diluting the raw material gas taken out from the gas container in the atmosphere,
The inspection gas supply destination is switched from the gas supply unit to the outside so that the inspection gas can be exhausted.
When the check processing means performs the blockage alarm check process or the suction flow rate check process, the check gas generated in the dilution process is exhausted to the outside to stabilize the concentration of the check gas. The point is to execute the digitization process.
本構成によれば、ガス容器に点検用ガスをそのまま封入して貯留するのではなく、ガス容器には高濃度の原料ガスを密封しておき、上記希釈処理により、その原料ガスを大気で希釈して点検用ガスを生成するので、当該ガス容器を、点検用ガスの必要量よりも小容量のものとして、当該ガス容器の設置スペースの縮小を図ることができる。
また、このような希釈処理の初期段階では、上記濃度安定化処理が実行されて、流量や濃度が未だ安定していない点検用ガスが外部に排気されるので、後のガス警報確認処理の実行当初から流量や濃度が安定した点検用ガスをガス検査機のガス導入部に供給して正確な点検結果を得ることができる。
更に、この濃度安定化処理は、上記ガス警報確認処理に実行前の上記閉塞警報確認処理又は上記吸引流量確認処理と同時に実行されるので、当該濃度安定化処理の追加による点検処理時間の延長を抑制することができる。
According to this configuration, rather than enclosing and storing the inspection gas in the gas container as it is, the gas container is sealed with a high-concentration source gas, and the source gas is diluted in the atmosphere by the above dilution process. Thus, the inspection gas is generated, so that the gas container can have a smaller capacity than the required amount of the inspection gas, and the installation space of the gas container can be reduced.
In the initial stage of such dilution processing, the concentration stabilization processing is executed, and the inspection gas whose flow rate or concentration is not yet stable is exhausted to the outside. It is possible to supply an inspection gas having a stable flow rate and concentration from the beginning to the gas introduction part of the gas inspection machine and obtain an accurate inspection result.
Further, since the concentration stabilization process is performed simultaneously with the clogging alarm confirmation process or the suction flow rate confirmation process before the gas alarm confirmation process, the inspection process time can be extended by adding the concentration stabilization process. Can be suppressed.
本発明の第６特徴構成は、前記点検処理手段が、
前記ガス検査機の複数を点検対象として、当該点検対象とした複数のガス検査機に対して、直列的に前記点検処理を順次実行すると共に、当該点検処理において異常が確認された場合には、その異常が確認されたガス検査機に対する点検処理を終了して、次のガス検査機に対する点検処理に移行する点にある。
According to a sixth characteristic configuration of the present invention, the inspection processing means includes:
When a plurality of the gas inspection machines are to be inspected, the inspection processes are sequentially performed in series on the plurality of gas inspection machines as the inspection objects, and when an abnormality is confirmed in the inspection processes, The inspection process for the gas inspection machine in which the abnormality is confirmed is terminated, and the process proceeds to the inspection process for the next gas inspection machine.
本構成によれば、複数のガス検査機に対して直列的に順次実行される点検処理として、少なくとも閉塞警報確認処理、吸引流量確認処理、及びガス警報確認処理の３段階の点検処理が実行される。そして、これら点検処理を実行するにあたり、あるガス検査機の点検処理で異常が確認された場合には、未実施の点検処理が残っている場合でも、その点検処理を継続して実行しても正確な点検結果を得ることができないことから、当該異常が確認されたガス検査機に対する点検処理を途中で終了する。そして、次のガス検査機に対する点検処理に移行して、無駄な点検処理を回避し、複数のガス検査機に対する点検処理の合理化を図ることができる。 According to the present configuration, at least three stages of inspection processes including a blockage alarm confirmation process, a suction flow rate confirmation process, and a gas alarm confirmation process are performed as inspection processes sequentially performed in series for a plurality of gas inspection machines. The And when performing these inspection processes, if an abnormality is confirmed in the inspection process of a certain gas inspection machine, even if there is an unexecuted inspection process, the inspection process may be continued. Since an accurate inspection result cannot be obtained, the inspection process for the gas inspection machine in which the abnormality is confirmed is terminated halfway. And it shifts to the inspection process with respect to the next gas inspection machine, can avoid a useless inspection process, and can aim at rationalization of the inspection process with respect to several gas inspection machines.
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１に示す点検処理システム１００は、ガス検査機７０の状態を点検するための点検処理方法を実施するシステムとして構成されており、ガス検査機７０を収容するための収容部５が正面に設けられたシステム本体１と、当該収容部５に着脱自在に装着されて、ガス検査機７０の収容部５への収容を可能とするアダプタ５０とを備える。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
The
尚、本願において、システム本体１において収容部５やディスプレイ３が設けられる面（図１の手前側の面、図２の左側の面、図３の左手前側の面）を「正面」と呼び、その正面が向かう方向を「手前方向」と呼ぶ。これに対し、正面の反対側の面を「背面」と呼び、その背面が向かう方向を「奥行き方向」と呼ぶ。また、正面視における左側を単に「左側方側」と呼び、正面視における右側を単に「右側方側」と呼ぶ。
In addition, in this application, the surface (surface on the near side in FIG. 1, surface on the left side in FIG. 2, surface on the left front side in FIG. 3) on which the
［ガス検査機］
先ず、ガス検査機７０の構成について、図１、及び図２を参照して説明する。
ガス検査機７０は、詳細については後述するが、ガス導入部７２から導入した導入ガス中の特定成分としての例えば可燃性ガス（水素、メタン、プロパン等）や一酸化炭素の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有すると共に、ガス導入部７２の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能を有する。
[Gas inspection machine]
First, the configuration of the
Although details will be described later, the
具体的に、かかるガス検査機７０は、検査機本体７１と、当該検査機本体７１内にガスを導入するためのガス導入部７２とを備える。
ガス導入部７２は、検査機本体７１から突出形成された略筒状の筒状部７４、及び、当該筒状部７４の先端側に連接する尖状の吸引ノズル７３で構成されている。一方、検査機本体７１内には、ガス導入部７２を介して外部のガスを吸引するための吸引ポンプ７５が設けられており、このことで、ガス検査機７０は、吸引ノズル７３から積極的にガスを吸引する吸引式に構成されている。
更に、検査機本体７１内には、吸引ポンプ７５で吸引した導入ガスが供給されて当該導入ガス中の特定成分に感応するセンサ素子等で構成されたセンサ部７６、及び、コンピュータからなる制御部７８等が設けられている。
Specifically, the
The
Further, the inspection machine
ガス検査機７０の前面には所定の表示や入力操作を行うための表示操作部８０が設けられており、制御部７８は、センサ部７６の出力信号から導入ガス中の特定成分濃度を求め、検査機本体７１に設けられた表示操作部８０に表示すると共に、その可燃性ガス濃度が許容範囲を超えた場合には、それを作業者に通知するべく、同表示操作部８０に所定のガス警報表示（ガス警報の一例）を表示し、更には、検査機本体７１に設けられたスピーカ８２が所定のガス警報音（ガス警報の一例）を発生するように構成されている。そして、このような機能をガス警報機能と呼ぶ。
A
更に、このガス検査機７０の制御部７８は、吸引ポンプ７５の作動時において、吸引ポンプ７５の負荷（以下「ポンプ負荷」と呼ぶ。）を当該吸引ポンプ７５の駆動電力の電流値等で監視し、吸引ポンプ７５の作動時においてポンプ負荷が異常に高い場合には、ガス導入部７２の状態がゴミ等により閉塞している閉塞状態であると判定する。そして、この閉塞状態を閉塞異常として、作業者に通知するべく、表示操作部８０に所定の閉塞警報表示（閉塞警報の一例）を表示し、更には、スピーカ８２が所定の閉塞警報音（閉塞警報の一例）を発生するように構成されている。そして、このような機能を閉塞警報機能と呼ぶ。
Further, the
検査機本体７１の側面側には、センサ部７６を通流したガスを排出する排気部７７と、制御部７８が外部との間で赤外線通信（無線通信の一例）を行うための通信部７９とが配置されている。
On the side surface side of the inspection machine
［点検処理システム］
次に、点検処理システム１００の詳細構成、即ち点検処理システム１００が備えるシステム本体１及びアダプタ５０の詳細構成について、順に説明する。
尚、以下の説明では、点検処理システム１００の点検対象を吸引式のガス検査機７０とする例を説明するが、吸引式のガス検査機７０以外にも、ガスが自然にセンサ部に導入される拡散式のガス検査機を点検対象としても構わない。また、この場合、必要な処理を適宜追加又は不要な処理を適宜割愛しても構わない。
[Inspection processing system]
Next, a detailed configuration of the
In the following description, an example in which the inspection object of the
〔システム本体〕
次に、点検処理システム１００が備えるシステム本体１の構成について、図１、図２、及び図７〜図１３を参照して説明する。
図１に示すように、システム本体１の前面には、ガス検査機７０を収容するための４つの収容部５が設けられており、このことでガス検査機７０の複数を点検対象とすることが可能となる。システム本体１の前面には、このような収容部５の他に、ディスプレイ３やその他操作スイッチ及びスピーカなどの機器が配置されており、更には、点検対象となるガス検査機７０のセンサ部７６が感応する特定成分を含む原料ガスを貯留する２つのガス容器Ｃ１，Ｃ２が着脱自在に装着されている。尚、詳細は後述するが、このガス容器Ｃ１，Ｃ２に貯留される原料ガスは、適宜大気で希釈されて点検用ガスとして利用される。
[System unit]
Next, the configuration of the system
As shown in FIG. 1, the front surface of the system
４つの収容部５は何れも、正面側に開口する共通の矩形断面凹部として形成されている。
図１及び図２に示すように、この収容部５の内部奥面側には、ガス検査機７０のガス導入部７２に点検用ガス等のガスを供給するためのガス供給部である給気用継手５ａと、ガス検査機７０から排出された排気を吸引して外部に排出するための排気吸引部である排気用継手５ｂと、アダプタ５０に設けられた基盤５２のコネクタ５５に接続されるコネクタ５ｃとが配置されている。
尚、図１において、アダプタ５０が装着されていない収容部５には、ガス検査機７０の誤挿入等を防止するために、その前面にカバー５ｄが設けられている。
All four
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, an air supply that is a gas supply unit for supplying gas such as inspection gas to the
In FIG. 1, a
コネクタ５ｃは、同じくシステム本体１に設けられたコンピュータからなる制御部２に接続されている。よって、アダプタ５０側の基盤５２のコネクタ５５とシステム本体１側のコネクタ５ｃとが接続されることで、システム本体１側の制御部２はアダプタ５０側の制御部５４との間で有線通信が可能となる。また、詳細は後述するが、アダプタ５０側の制御部５４は、当該アダプタ５０のガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の制御部７８との間で無線通信が可能に構成されている。従って、システム本体１側の制御部２は、アダプタ５０側の制御部５４との間で通信可能となる上に、当該制御部５４を介して、収容部５にアダプタ５０を介在させて収容されたガス検査機７０側の制御部７８との間でも通信可能となる。
The
このシステム本体１側の制御部２は、図７等に示すように、所定のプログラムを実行することにより、詳細については後述するが、所定の点検処理を実行する点検処理手段２ａとして機能する。
更に、制御部２は、上記点検処理手段２ａに加えて、収容部５に装着されたアダプタ５０の識別情報であるアダプタ識別情報を取得可能なアダプタ識別情報取得手段２ｂ、及び、収容部５に収容されたガス検査機７０の識別情報であるガス検査機識別情報を取得可能なガス検査機識別情報取得手段２ｃとしても機能する。
As shown in FIG. 7 and the like, the
Further, in addition to the
即ち、アダプタ識別情報取得手段２ｂは、収容部５に装着されたアダプタ５０側の制御部５４との間で通信を行うことで、当該制御部５４から、アダプタ５０の型式等のアダプタ識別情報を当該アダプタ５０が装着された収容部５に関連付けて取得する。
一方、ガス検査機識別情報取得手段２ｃは、収容部５にアダプタ５０を介在させて収容されたガス検査機７０側の制御部７８との間で通信を行うことで、当該制御部７８から、ガス検査機７０の型式等のガス検査機識別情報を当該ガス検査機７０が収容された収容部５に関連付けて取得する。
That is, the adapter identification
On the other hand, the gas inspection machine identification
また、制御部２は、これら取得した各種識別情報をメモリ等からなる記憶部４に記憶させ、適時記憶部４から必要な情報を取り出すことができる。
尚、アダプタ識別情報の取得タイミングについては、ガス検査機情報の取得タイミングと同様に、ガス検査機７０の収容部５への収容時とすることができるが、ガス検査機７０の収容時における情報処理量の削減等を目的として、収容部５へのアダプタ５０の装着時とされている。
In addition, the
The acquisition timing of the adapter identification information can be the same as the acquisition timing of the gas inspection machine information when it is accommodated in the
図７〜図１３に示すように、システム本体１には、外部に開放して大気ＯＡの取り込み又は外部への排気ＥＡの排出を行うための開放部Ｏ１〜Ｏ４が設けられており、図示は省略するが、この開放部Ｏ１〜Ｏ４は、システム本体１の背面側に設けられている。更に、システム本体１の内部には、収容部５に設けられた給気用継手５ａ及び排気用継手５ｂと、開放部Ｏ１〜Ｏ４及びガス容器Ｃ１，Ｃ２とを接続する各種経路が設けられており、これら経路には、圧力計Ｍｐ１〜Ｍｐ５、流量計Ｍｆ１〜Ｍｆ３、弁Ｖ１〜Ｖ１３、ポンプＰ１，Ｐ２、圧力レギュレータＲ１，Ｒ２、及びフィルタＦ１〜Ｆ３等が配置されている。尚、圧力計Ｍｐ１〜Ｍｐ３で計測された圧力値、及び流量計Ｍｆ１〜Ｍｆ３で計測された流量値は、制御部２に入力され、また、制御部２は、それら入力信号等に基づいて、弁Ｖ１〜Ｖ１３、ポンプＰ１，Ｐ２、及び圧力レギュレータＲ１〜Ｒ３の作動制御を実行する。
尚、図７〜図１３では、弁Ｖ１〜Ｖ１３において、閉状態のポートを黒塗り三角で示し、開状態のポートを白抜き三角で示している。
As shown in FIGS. 7 to 13, the system
7 to 13, in the valves V <b> 1 to V <b> 13, the closed ports are indicated by black triangles, and the open ports are indicated by white triangles.
例えば、後述する希釈処理においてガス容器Ｃ１，Ｃ２から取り込んだ原料ガスＧ０が通流する原料ガス経路６ｂは、夫々のガス容器Ｃ１，Ｃ２から、夫々の圧力計Ｍｐ４，Ｍｐ５、夫々の圧力レギュレータＲ１，Ｒ２、夫々の流量調整弁Ｖ９，Ｖ１０、三方弁Ｖ８、二方弁Ｖ７、及び流量計Ｍｆ２を経由して、合流部Ｂ１までの経路として設けられている。
点検用ガスＧ１が通流する点検用ガス経路６ｃは、合流部Ｂ１から、三方弁Ｖ４、三方弁Ｖ３、分岐部Ｂ２、及び三方弁Ｖ１を経由して、給気用継手５ａまでの経路として設けられている。
そして、この原料ガス経路６ｂや点検用ガス経路６ｃのように、点検用ガスＧ１又はその原料となる原料ガスＧ０が通流する経路をガス経路と呼ぶ。
For example, the raw
The
A path through which the inspection gas G1 or the raw material gas G0 as the raw material flows is called a gas path, such as the raw
また、後述する希釈処理において原料ガスＧ０を希釈するための大気ＯＡが通流する大気供給経路６ａは、開放部Ｏ３から、フィルタＦ３、ポンプＰ１、三方弁Ｖ１３、三方弁Ｖ１２、二方弁Ｖ１１、及び流量計Ｍｆ３を経由して、合流部Ｂ１までの経路として設けられている。
また、給気用継手５ａを大気開放可能な大気開放経路は、給気用継手５ａから、三方弁Ｖ１、三方弁Ｖ３、流量計Ｍｆ１、及びフィルタＦ２を経由して、開放部Ｏ２までの経路として設けられている。
In addition, an
The air release path through which the air supply joint 5a can be opened to the atmosphere is a path from the air supply joint 5a to the open portion O2 via the three-way valve V1, the three-way valve V3, the flow meter Mf1, and the filter F2. It is provided as.
上記原料ガス経路６ｂと上記大気供給経路６ａとは、ガス容器Ｃ１，Ｃ２から取り出した原料ガスＧ０を大気ＯＡで希釈して点検用ガスＧ１を生成する希釈処理を実行可能な希釈処理手段６として機能する。
The
〔アダプタ〕
次に、アダプタ５０の構成について、図１、図２、及び図３に基づいて説明する。
アダプタ５０は、図１に示すように、システム本体１の正面に設けられた収容部５に対して着脱自在に装着されて、ガス検査機７０の収容部５への収容を可能とするものとして構成されている。即ち、アダプタ５０の外形はその収容部５の内部に正面側から挿入されて内嵌するよう共通の矩形断面を有し、アダプタ５０の正面側の上下には、システム本体１に対してアダプタ５０をネジにて固定するための取付用爪６４が上下方向に突出形成されている。
そして、このアダプタ５０は、収容部５に対して正面側から奥行き方向に挿入し、当該アダプタ５０の取付用爪６４を収容部５の縁部にネジにて固定する形態で、収容部５に装着される。
〔adapter〕
Next, the configuration of the
As shown in FIG. 1, the
The
尚、システム本体１へのアダプタ５０の装着は、ガス検査機７０の点検に先立って行えばよいが、誤装着等を防止するために、使用者側で行うのではなく、納入元（メーカー等）側で行うことが望ましい。即ち、納入元は、点検システム１００の受注時において、予め使用者が使用しているガス検査機７０の仕様を把握し、それに基づいて適切なアダプタ５０を予めシステム本体１へ装着した点検システム１００を使用者に納入する。また、納入元は、メンテナンスやオーバーホール等の時点において、使用者が使用しているアダプタ５０の変更等に基づいてアダプタ５０を変更することができる。
The
アダプタ５０には、正面側の開口からガス検査機７０を挿入して収容する矩形断面凹部であるガス検査機収容部６０が設けられている。このガス検査機収容部６０は、その形状やそれに設けられた各種部位の配置等が、ガス検査機７０の所定の型式に適合したものとして構成されており、複数の型式のガス検査機７０の夫々に適合した複数種のアダプタ５０が用意されている。このことで、共通の収容部５に対してアダプタ５０を介在させる形態で複数種の型式のガス検査機７０を収容することができ、収容部５には、使用者が所有するガス検査機７０の型式に応じたアダプタ５０が選定されて装着されることになる。
尚、このようなアダプタ５０の選定及び装着は、使用者が自ら行っても構わないが、誤った選定や装着等を防止するために、点検処理システム１００の販売者側で行うことが望ましい。
The
It should be noted that such selection and mounting of the
アダプタ５０は、図３に示すように、上側ケーシング５０ａ及び下側ケーシング５０ｂからなる上下２分割構造で構成されており、上述したガス検査機収容部６０が、上側ケーシング５０ａの下面側の凹部と下側ケーシング５０ｂの上面側の凹部とを組み合わせる形態で形成されている。
このアダプタ５０の上側ケーシング５０ａの下面側や下側ケーシング５０ｂの上面側には、上記ガス検査機収容部６０以外に、詳細については後述するが、排気用チューブ５７やフィルタ５８が設けられる排気案内路５６、給気用チューブ６２が設けられる給気案内路６１、通信部５３や制御部５４等が設けられた基盤５２が収容される基盤収容部５１、及び、通信用通路６３などを形成するための各種凹部が設けられている。
As shown in FIG. 3, the
An exhaust guide provided with an
排気案内路５６は、収容部５へ収容されたガス検査機７０からの排気を排気用継手５ｂに案内する通路として、ガス検査機収容部６０の左側に隣接して設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この排気案内路５６には、ガス検査機収容部６０に対し側方から開口する開口部５９を有しており、この開口部５９は、ガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の排気部７７に対し、所定の間隔をあけて対向配置されている。更に、排気用継手５ｂのガス吸引流量（即ちシステム本体１側のポンプＰ２（図７〜図１３参照）の吸引流量）が、ガス検査機７０の排気流量（即ちガス検査機７０側の吸引ポンプ７５の吸引流量）よりも多く設定されている。これにより、ガス検査機７０の排気部７７から排出された排気を確実に開口部５９から排気案内路５６に吸引することができる。更に、この開口部５９には、ガス検査機７０からの排気に加えて、ガス検査機収容部６０の周辺空気が取り込まれることになる。即ち、ガス検査機７０からの排気を周辺空気で希釈して開口部５９から排気案内路５６に吸引することができ、その希釈された排気をシステム本体１側から外部に安全な状態で外部に排出することができる。
The
排気案内路５６において、開口部５９に面する空間にはフィルタ５８が設けられており、その奥側には排気用チューブ５７が内嵌されている。この排気用チューブ５７の奥側端部が、収容部５の内部奥面側に設けられた排気用継手５ｂに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、排気用継手５ｂに対する排気用チューブ５７の接続を簡単に行うことができる。
In the
給気案内路６１は、給気用継手５ａに供給された点検用ガスをガス検査機７０のガス導入部７２に案内する通路として、ガス検査機収容部６０の奥側に設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この給気案内路６１には、給気用チューブ６２が内嵌されている。この給気用チューブ６２の手前側端部が、ガス検査機収容部６０に収容されるガス検査機７０の吸引ノズル７３に嵌合接続され、その接続方向が、ガス検査機収容部６０へのガス検査機７０の挿入方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、ガス検査機収容部６０へのガス検査機７０の挿入時において、給気用チューブ６２に対する吸引ノズル７３の接続を簡単に行うことができる。
The air
更に、この給気用チューブ６２の奥側端部が、収容部５の内部奥面側に設けられた給気用継手５ａに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、給気用継手５ａに対する給気用チューブ６２の接続を簡単に行うことができる。
Further, the back end portion of the
基盤収容部５１は、排気案内路５６の左側に隣接して設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この基盤収容部５１には、板状の基盤５２が板面を左右方向に対して垂直となる姿勢で収容されている。そして、この基盤５２の奥側端部に設けられたコネクタ５５が、収容部５の内部奥面側に設けられたコネクタ５ｃに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、システム本体１側のコネクタ５ｃに対するアダプタ５０側のコネクタ５５の接続を簡単に行うことができる。
The
更に、この基盤５２には、ＣＰＵ等からなる制御部５４が配置されており、更にガス検査機収容部６０側の面には、当該ガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の通信部７９との間で赤外線通信を行うための通信部５３が配置されている。
そして、アダプタ５０には、これら通信部７９，５３間で送受信される通信用赤外線を通過させるための通信用通路６３が左右方向に延出する姿勢でアダプタ５０に形成されている。このことで、ガス検査機７０をアダプタ５０のガス検査機収容部６０に収容する際に、完全に収容された時点でこれら通信部７９，５３間の赤外線通信が可能となる。そこで、このような赤外線通信が可能となった状態を検出することで、ガス検査機７０の収容完了を判定することができる。
尚、アダプタ５０において、通信部５３を設ける基盤５２については、多種のアダプタに採用可能なように、複数種の通信部５３のパターンを準備しておき、製造時にどの通信部を実装するかを決定することで、当該基盤５２の共通化が図られている。
Further, a
And the
In the
［点検処理方法］
次に、上述した点検処理システム１００で実行される点検処理方法について、図４〜図１３を参照して、説明する。
先ず、作業者は、点検対象となるガス検査機７０を作動させた状態で、収容部５に装着されたアダプタ５０のガス検査機収容部６０に挿入する。すると、前述したように、ガス検査機７０側の吸引ノズル７３がアダプタ５０側の給気用チューブ６２に接続されると共に、ガス検査機７０側の通信部７９とアダプタ５０側の通信部５３との間の赤外線通信が可能な状態となる。そして、システム本体１側の制御部２は、その赤外線通信が可能となった状態を、ガス検査機７０の収容完了として判定する。
[Inspection processing method]
Next, an inspection processing method executed by the above-described
First, the operator inserts the
そして、制御部２は、ガス検査機７０が収容部５に収容された状態で、ディスプレイ３に初期画面（図６（ａ）参照）を表示し、その初期画面上の「バンプテスト」ボタンが使用者によって操作された際に、点検処理方法の実行を開始する。
そして、点検処理方法では、図４に示すように、整合性確認処理（＃Ｓ１）及び所定のグルーピング処理（＃Ｓ２）を順に実行して、点検対象のガス検査機７０を決定（＃Ｓ３）した上で、当該決定したガス検査機７０に対して点検処理（＃Ｓ４）を実行する。また、この点検処理（＃Ｓ４）の実行後には、クリーニング処理（＃Ｓ６）を実行する。また、４つの収容部５に対してガス検査機７０が複数収容されている場合には、そのガス検査機の複数を点検対象として、当該点検対象とした複数のガス検査機７０に対して、直列的に点検処理（＃Ｓ４）を順次実行する。尚、本実施形態では、点検処理方法を構成する各種処理は直列的に順次実行するものとするが、それの処理順序を変更したり、複数の処理の少なくとも一部を重複させたり、別の処理を間に介在させるなどのように、適宜可能な範囲内で実行手順を変更しても構わない。
以下、これら点検処理方法を構成する各処理の詳細について順に説明を加える。
Then, the
Then, in the inspection processing method, as shown in FIG. 4, the consistency check processing (# S1) and the predetermined grouping processing (# S2) are sequentially executed to determine the
Hereinafter, the details of each process constituting these inspection processing methods will be described in order.
〔整合性確認処理〕
図４に示す整合性確認処理（＃Ｓ１）では、点検処理（＃Ｓ４）の実行前に、アダプタ識別情報取得手段２ｂで取得したアダプタ識別情報とガス検査機識別情報取得手段２ｃで取得したガス検査機識別情報との整合性を確認する。
即ち、この整合性確認処理（＃Ｓ１）では、アダプタ５０の装着時に予め記憶部４に記憶した各収容部５のアダプタ識別情報を参照し、収容部５に収容されたガス検査機７０のガス検査機識別情報が、同じ収容部５に関連付けられたアダプタ識別情報に適合するか否かを比較する形態で、点検対象となるガス検査機７０に対して適合したアダプタ５０が使用されているか否かを確認する。そして、適合していない場合には、点検処理（＃Ｓ４）を停止して使用者にその旨を通知し、逆に、適合している場合には、次のグルーピング処理（＃Ｓ２）に進む。
そして、このような整合性確認処理（＃Ｓ１）を実行することで、例えばアダプタ５０に対しそれに適合しないガス検査機７０がセットされた状態で後の点検処理（＃Ｓ４）が実行されることが防止される。よって、このようなガス検査機７０とアダプタ５０との組み合わせが不適合であることに起因する点検用ガスの漏洩や誤った点検結果を得るという問題が回避される。
[Consistency check process]
In the consistency confirmation process (# S1) shown in FIG. 4, the adapter identification information acquired by the adapter identification information acquisition means 2b and the gas acquired by the gas inspection machine identification information acquisition means 2c before the execution of the inspection process (# S4). Check consistency with inspection machine identification information.
That is, in the consistency confirmation process (# S1), the adapter identification information of each
Then, by executing such consistency check processing (# S1), for example, the subsequent inspection processing (# S4) is executed in a state where the
〔グルーピング処理〕
図４に示すグルーピング処理（＃Ｓ２）では、４つの収容部５に収容されたガス検査機７０の複数を点検対象として、当該点検対象とした複数のガス検査機７０の夫々に対して、当該ガス検査機７０に供給する点検用ガスに応じてグループ分けを行う。更に、このグルーピング処理（＃Ｓ２）では、点検用ガスに関する種々の情報をグループ分けの指標とすることができるが、本実施形態では、ガス検査機７０に供給する点検用ガスの組成や濃度をグループ分けの指標としている。
[Grouping process]
In the grouping process (# S2) shown in FIG. 4, a plurality of
このようなグルーピング処理（＃Ｓ２）を実行し、後の点検処理（＃Ｓ４）の実行後に、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在するか否かを確認する（＃Ｓ５）。そして、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在する場合には、そのガス検査機７０に対する点検処理（＃Ｓ４）を優先して実行し、一方、存在しない場合には、後述するクリーニング処理（＃Ｓ６）を実行した上で、別のグループに属する点検対象のガス検査機７０が存在するか否かを確認し（＃Ｓ７）、その別のグループに属するガス検査機７０に対する点検処理（＃Ｓ４）に移行する。
そして、このようにグルーピング処理（＃Ｓ２）を実行して、当該グループ毎に順次点検処理（＃Ｓ４）を実行することで、点検対象の切り替えに伴う点検用ガスの組成や濃度の変更が簡素化されている。
Such a grouping process (# S2) is executed, and after the subsequent inspection process (# S4), it is confirmed whether or not there is a next inspection target
Then, by executing the grouping process (# S2) in this way and sequentially executing the inspection process (# S4) for each group, the change in the composition and concentration of the inspection gas associated with the switching of the inspection object is simplified. It has become.
〔点検処理〕
図４に示す点検処理（＃Ｓ４）の詳細な処理フローを図５に示す。図５に示すように、この点検処理では、点検対象のガス検査機７０に対して、作業者確認処理（＃Ｓ１０）、初期確認処理（＃Ｓ１２）、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）、及びガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を順に実行する。また、ガス警報確認処理の実行前、具体的には初期確認処理（＃Ｓ１２）〜吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行に並行して、濃度安定化処理（＃Ｓ１１）を実行する。
以下、これら点検処理を構成する各種処理の詳細について説明を加える。
[Inspection process]
FIG. 5 shows a detailed processing flow of the inspection process (# S4) shown in FIG. As shown in FIG. 5, in this inspection process, an operator confirmation process (# S10), an initial confirmation process (# S12), a blockage alarm confirmation process (# S13), and a suction are performed on the
Hereinafter, the details of various processes constituting these inspection processes will be described.
（作業者確認処理）
作業者確認処理（＃Ｓ１０）では、ディスプレイ３に作業者確認画面（図６（ｂ）参照）を表示する。この作業者確認画面には、作業者が目視等で確認すべき点検項目が表示されており、作業者は、この表示に沿ってガス検査機７０の目視等による点検を行い、問題がない場合には、同画面に表示されている「確認完了」ボタンを操作する。その「確認完了」ボタンが操作されると、この作業者確認処理（＃Ｓ１０）を終了し、ディスプレイ３の作業者確認画面（図６（ｂ）参照）をバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）に遷移させると共に、次の初期確認処理（＃Ｓ１２）の実行を開始する。
(Worker confirmation process)
In the worker confirmation process (# S10), a worker confirmation screen (see FIG. 6B) is displayed on the display 3. On this operator confirmation screen, inspection items that the operator should confirm visually are displayed, and when the operator performs an inspection by visually confirming the
（初期確認処理）
初期確認処理（＃Ｓ１２）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図７に示す。この初期確認処理（＃Ｓ１２）では、オートゼロ設定と電池残量確認を行う。
オートゼロ設定では、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを、開放部Ｏ１に開放させるよう、三方弁Ｖ１の切替状態を設定する。すると、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から開放部Ｏ１を介して大気ＯＡを吸引し、当該吸引した大気ＯＡをセンサ部７６に供給する状態となる。この状態で、ガス検査機７０側の制御部７８に対してゼロ設定指示を送信し、それを受信したガス検査機７０側の制御部７８は、センサ部７６の出力をゼロに設定する。一方、電池残量確認では、ガス検査機７０側の電池残量を、同ガス検査機７０の制御部７８から受信する。
そして、オートゼロ設定と電池残量確認とが完了すると、上記ゼロ設定を行った旨と電池残量とをディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この初期確認処理（＃Ｓ１２）を終了する。
(Initial confirmation process)
FIG. 7 shows operating states of various auxiliary machines and gas flow states in the initial confirmation process (# S12). In the initial confirmation process (# S12), auto zero setting and battery remaining amount confirmation are performed.
In the auto-zero setting, the switching state of the three-way valve V1 is set so that the supply joint 5a to which the
When the auto zero setting and the battery remaining amount confirmation are completed, the fact that the zero setting has been performed and the remaining battery amount are displayed on the bump test screen (see FIG. 6C) displayed on the display 3, The initial confirmation process (# S12) is terminated.
（閉塞警報確認処理）
閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図８に示す。この閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）では、ガス検査機７０においてガス導入部７２の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能の異常の有無を確認する。
即ち、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に給気用継手５ａが接続された状態で、給気用継手５ａからのガスの流出を遮断するように、給気用継手５ａに通じる三方弁Ｖ１，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定する。すると、ガス検査機７０のガス導入部７２の状態は擬似的な閉塞状態となり、その際のガス検査機７０の閉塞警報機能による閉塞警報の出力の有無をガス検査機７０側の制御部７８との通信により確認する。
(Blockage alarm confirmation processing)
FIG. 8 shows the operating state and gas flow state of various auxiliary machines in the blockage alarm confirmation process (# S13). In this blockage alarm confirmation process (# S13), the
That is, in the blockage alarm confirmation process (# S13), in a state where the supply joint 5a is connected to the
そして、給気用継手５ａからのガス流出の遮断に伴って閉塞警報が出力された場合には、ガス検査機７０の閉塞警報機能が正常に作動していると判断する。一方、給気用継手５ａからのガス流出の遮断に伴って閉塞警報が出力されなかった場合には、ガス検査機７０の閉塞警報機能が正常に作動していないと判断する。また、このように閉塞警報機能に異常があるガス検査機７０については、ガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常を有する以前に、そもそも吸引流量が略ゼロになる閉塞異常を有する可能性もあると判断できる。
そして、ガス検査機７０の閉塞警報機能の異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）を終了する。
And when the blockage alarm is output with the interruption | blocking of the gas outflow from the supply joint 5a, it is judged that the blockage alarm function of the gas test |
Then, the presence / absence of abnormality of the clogging alarm function of the
また、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）を終了するにあたり、閉塞警報機能に異常を有さないガス検査機７０に対してのみ、次の吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）を実行する。一方、閉塞警報機能に異常を有すると判断した場合には、そのガス検査機７０に対するガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を含む以降の処理の無駄な実施を回避するべく、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了することで、当該点検処理の合理化を図る。
Further, when ending the blockage alarm confirmation process (# S13), the next suction flow rate confirmation process (# S14) is executed only for the
（吸引流量確認処理）
吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図９に示す。この吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）では、ガス検査機７０のガス導入部７２からのガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常の有無を確認する。
即ち、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に給気用継手５ａを接続した状態で、三方弁Ｖ１、及び三方弁Ｖ３の切替状態を設定して、開放部Ｏ２に通じる大気開放経路を介して当該給気用継手５ａを大気開放させる。すると、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から当該大気開放経路を通じて大気ＯＡを吸引することになるので、この大気開放経路に設けられた流量計Ｍｆ１（開放流量計測部の一例）で計測されたガス流量を、ガス検査機７０のガス吸引量として取得して、ガス検査機７０において適正なガス吸引流量を確保できない吸引流量異常の有無を把握する。
そして、ガス検査機７０の吸引流量異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）を終了する。
(Suction flow confirmation process)
FIG. 9 shows operating states of various auxiliary machines and gas flow states in the suction flow rate confirmation processing (# S14). In this suction flow rate confirmation process (# S14), it is confirmed whether there is an abnormality in the suction flow rate in which the gas suction flow rate from the
That is, in the suction flow rate confirmation process (# S14), the switching state of the three-way valve V1 and the three-way valve V3 is set and opened in a state where the gas supply joint 5a is connected to the
Then, the presence / absence of an abnormality in the suction flow rate of the
また、この吸引流量異常確認処理（＃Ｓ１４）を終了するにあたり、吸引流量異常を有さないガス検査機７０に対してのみ、次のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を実行する。一方、吸引流量異常を有すると判断した場合には、そのガス検査機７０に対するガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を含む以降の処理の無駄な実施を回避するべく、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了することで、当該点検処理の合理化を図る。
Further, when ending the suction flow rate abnormality confirmation process (# S14), the next gas alarm confirmation process (# S15) is executed only for the
（濃度安定化処理）
濃度安定化処理（＃Ｓ１１）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図８〜１０に示す。この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）は、後のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行当初から流量や濃度が安定した点検用ガスＧ１をガス検査機７０のガス導入部７２に供給して正確な点検結果を得るために、当該警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行前の閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）又は吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行時に実行する処理であり、具体的には初期確認処理（＃Ｓ１２）〜吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行に並行して実行し（図８，９参照）、更には、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行後においても、点検用ガスＧ１の流量及び濃度が安定するまでは、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態で実行する（図１０参照）。
(Concentration stabilization treatment)
FIGS. 8 to 10 show the operating states and gas flow states of various auxiliary machines in the concentration stabilization process (# S11). This concentration stabilization process (# S11) is performed by supplying the inspection gas G1 having a stable flow rate and concentration from the beginning of the subsequent gas alarm confirmation process (# S15) to the
即ち、濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、前述した希釈処理手段６による希釈処理で生成された点検用ガスＧ１を外部に排気して、点検用ガスＧ１の濃度を安定化させる。
具体的には、二方弁Ｖ７及び流量調整弁Ｖ１０を開弁すると共に三方弁Ｖ８の切替状態を設定することで、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０（本実施形態ではガス容器Ｃ１に貯留された原料ガスＧ０を利用するものとするが、別のガス容器Ｃ２のものを利用しても構わない。）を、圧力レギュレータＲ２で圧力を安定化させた上で流量計Ｍｆ２に通流させて、合流部Ｂ１に供給する。同時に、ポンプＰ１を作動させ、二方弁Ｖ１１を開弁させると共に三方弁Ｖ１２，Ｖ１３の切替状態を設定することで、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、フィルタＦ３及び流量計Ｍｆ３に通流させて合流部Ｂ１に供給する。このことで、合流部Ｂ１では、流量計Ｍｆ２が設けられた原料ガス経路６ｂに通流された原料ガスＧ０が、流量計Ｍｆ３が設けられた大気供給経路６ａに通流された大気ＯＡにより希釈される所謂希釈処理が実行されて、点検用ガスＧ１が生成される。
That is, in the concentration stabilization processing (# S11), the inspection gas G1 generated by the dilution processing by the dilution processing means 6 described above is exhausted to the outside to stabilize the concentration of the inspection gas G1.
Specifically, by opening the two-way valve V7 and the flow rate adjusting valve V10 and setting the switching state of the three-way valve V8, the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 (in this embodiment, stored in the gas container C1). The raw material gas G0 is used, but another gas container C2 may be used.) After the pressure is stabilized by the pressure regulator R2, the flow is passed through the flow meter Mf2. And then supplied to the junction B1. At the same time, by operating the pump P1, opening the two-way valve V11 and setting the switching state of the three-way valves V12, V13, the atmosphere OA taken from the open portion O3 is passed through the filter F3 and the flow meter Mf3. And supply to the junction B1. As a result, in the junction B1, the source gas G0 passed through the
また、合流部Ｂ１に供給される原料ガスＧ０の流量は流量調整弁Ｖ１０の開度調整により制御されており、一方、合流部Ｂ１に供給される大気ＯＡの流量はポンプＰ１の出力調整により制御されている。そして、これら制御により、点検用ガスＧ１の流量及び濃度が所望の流量及び濃度に調整される。
そして、このような希釈処理において、ガス容器Ｃ１，Ｃ２の容量をできるだけ小さいもので済むように、原料ガスＧ０の希釈割合に応じて設定される原料ガスＧ０の設定流量は、同希釈割合に応じて設定される大気ＯＡの設定流量よりも小さいものとされている。
そして、この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、三方弁Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定することで、合流部Ｂ１で生成された点検用ガスＧ１は、三方弁Ｖ４，Ｖ５を介して開放部Ｏ４に供給され、当該開放部Ｏ４から外部に排気される。即ち、点検用ガスＧ１の供給先は、ガス検査機７０側の給気用継手５ａから外部の開放部Ｏ４に切り替えて当該点検用ガスＧ１を排気可能に構成されている。
The flow rate of the raw material gas G0 supplied to the junction B1 is controlled by adjusting the opening of the flow rate adjustment valve V10, while the flow rate of the atmosphere OA supplied to the junction B1 is controlled by adjusting the output of the pump P1. Has been. By these controls, the flow rate and concentration of the inspection gas G1 are adjusted to the desired flow rate and concentration.
In such a dilution process, the set flow rate of the source gas G0 set according to the dilution ratio of the source gas G0 is set according to the dilution ratio so that the capacity of the gas containers C1 and C2 is as small as possible. Is set to be smaller than the set flow rate of the atmospheric OA.
In this concentration stabilization process (# S11), by setting the switching state of the three-way valves V4 and V5, the inspection gas G1 generated in the junction B1 is opened through the three-way valves V4 and V5. Supplied to O4 and exhausted to the outside from the open portion O4. That is, the supply destination of the inspection gas G1 is configured to be able to exhaust the inspection gas G1 by switching from the supply joint 5a on the
この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、ポンプＰ２を作動させながら、二方弁Ｖ２及びＶ６を開弁することで、アダプタ５０の開口部５９から取り込んだ周辺空気を排気ＥＡとして開放部Ｏ４から外部に排出する状態とされる。即ち、開放部Ｏ４を介して外部に排気される点検用ガスＧ１は、アダプタ５０の開口部５９から取り込んだ周辺空気により希釈されたものとなり、点検用ガスＧ１を高濃度のまま外部に排気することが回避されている。
In this concentration stabilization process (# S11), by opening the two-way valves V2 and V6 while operating the pump P2, the ambient air taken in from the
更に、前述した希釈処理の実行開始時、即ちこの濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の実行開始時において、一時的に、流量調整弁Ｖ１０の開度が増加されて、原料ガスＧ０の流量を、同原料ガスＧ０の希釈割合に応じた設定流量よりも多く設定する。このことで、合流部Ｂ１で生成される点検用ガスＧ１の濃度が早期に上昇して適切な濃度に到達することになり、結果、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態での濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の実行時間をできるだけ短いものとすることができる。 Further, at the start of execution of the above-described dilution process, that is, at the start of execution of the concentration stabilization process (# S11), the opening degree of the flow rate adjustment valve V10 is temporarily increased, and the flow rate of the raw material gas G0 is increased. More than the set flow rate according to the dilution ratio of the source gas G0. As a result, the concentration of the inspection gas G1 generated in the merging section B1 rises early and reaches an appropriate concentration, and as a result, in a state of waiting for the start of the alarm confirmation process (# S15). The execution time of the density stabilization process (# S11) can be made as short as possible.
更に、図９に示すように、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態での濃度安定化処理（＃Ｓ１１）を実行する間は、前述した初期確認処理（＃Ｓ１２）と同様に、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを開放部Ｏ１に開放させることで、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から開放部Ｏ１を介して大気ＯＡを吸引するようにする。
Further, as shown in FIG. 9, while the concentration stabilization process (# S11) is executed while waiting for the start of the alarm confirmation process (# S15), the same as the initial confirmation process (# S12) described above. Further, by opening the air supply joint 5a to which the
（ガス警報確認処理（希釈処理））
希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図１１に示す。このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に対して、ガス供給部である分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して希釈処理により生成された点検用ガスＧ１を供給して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
尚、このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、希釈処理により乾燥処理が施されていない大気ＯＡで希釈された点検用ガスＧ１がガス検査機７０に供給されるため、ガス検査機７０のセンサ部７６は、過剰に乾燥することなく、適度に湿気を含んだ通常の大気ＯＡと同程度の状態に維持されて、通常使用時と同条件下で作動することになる。
(Gas alarm confirmation process (dilution process))
FIG. 11 shows operating states of various auxiliary machines and gas flow states in the gas alarm confirmation process (# S15) when the dilution process is performed. In this gas alarm confirmation process (# S15), the inspection gas generated by the dilution process with respect to the
In this gas alarm confirmation process (# S15), since the inspection gas G1 diluted with the atmosphere OA that has not been subjected to the drying process by the dilution process is supplied to the
即ち、図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、図１０の濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の状態から、三方弁Ｖ１，Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定することで、三方弁Ｖ４に供給された点検用ガスＧ１を、ガス供給部としての分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して、ガス検査機７０のガス導入部７２に供給し、ガス検査機７０に当該点検用ガスＧ１を吸引させる。すると、ガス検査機７０は特定成分を含む点検用ガスＧ１がガス導入部７２から導入されることになり、その際にガス検査機７０のガス警報機能が正常に作動してガス警報を出力するか否かをガス検査機７０側の制御部７８との通信により確認して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
そして、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この警報確認処理（＃Ｓ１５）を終了する。
That is, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11, the switching state of the three-way valves V1, V4, V5 is set from the state of the concentration stabilization process (# S11) in FIG. The inspection gas G1 supplied to the
Then, the presence / absence of abnormality of the gas alarm function of the
更に、この図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス吸引流量、即ちガス検査機７０側の吸引ポンプ７５の吸引流量よりも多い点検用ガスＧ１がガス検査機７０のガス導入部７２に通じるガス供給部である分岐部Ｂ２に供給する。すると、ガス検査機７０のガス導入部７２に吸引されなかった点検用ガスＧ１が存在することになるが、その点検用ガスＧ１を、三方弁Ｖ５を介して開放部Ｏ４から外部に排出する。このことで、ガス検査機７０は、不足することなく点検用ガスＧ１を吸引し、更にはその吸引流量をシステム本体１側の点検用ガスＧ１の供給流量に関係なく適正な吸引流量に維持して、通常使用時と同条件下で作動することになる。
Further, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11, the
また、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を終了するにあたり、ガス警報異常を有さないガス検査機７０に対しては、前の閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）及び吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）においても正常であったことから、総合判断として正常である旨を表示した上で（＃Ｓ１６）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了する。一方、ガス警報異常を有すると判断した場合には、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了する。
Further, in ending the gas alarm confirmation process (# S15), the previous blockage alarm confirmation process (# S13) and the suction flow rate confirmation process (# S14) are performed for the
（ガス警報確認処理（非希釈処理））
上述した図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を大気ＯＡで希釈して点検用ガスＧ１を生成する希釈処理を実行する場合のものであるが、この希釈処理に代えて、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０をそのまま希釈することなく点検用ガスとする非希釈処理を実行する場合のガス警報確認処理を行うことができ、以下に、その詳細について説明を加える。
尚、このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、原料ガスＧ０をそのまま点検用ガスとして利用するため、前述した濃度安定化処理（＃Ｓ１１）は省略されることになる。
(Gas alarm confirmation process (undiluted process))
In the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11 described above, a dilution process is performed in which the source gas G0 taken out from the gas container C1 is diluted with the atmosphere OA to generate the inspection gas G1. Instead of this dilution process, a gas alarm confirmation process can be performed in the case of executing the non-dilution process in which the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 is used as a check gas without being diluted as it is. Add details.
In this gas alarm confirmation process (# S15), the raw material gas G0 is used as it is as an inspection gas, and thus the above-described concentration stabilization process (# S11) is omitted.
非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図１３に示す。このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に対して、ガス供給部である分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して非希釈処理により点検用ガスとしてガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を供給して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
FIG. 13 shows the operating states and gas flow states of various auxiliary machines in the gas alarm confirmation process (# S15) when performing the non-dilution process. In this gas alarm confirmation process (# S15), the
即ち、図１３に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ポンプＰ１の作動を停止すると共に三方弁Ｖ１３を閉弁して開放部Ｏ３から大気ＯＡの取り込みを停止する。同時に、流量調整弁Ｖ１０を開弁すると共に三方弁Ｖ８の切替状態を設定することで、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を、圧力レギュレータＲ２で圧力を安定化させた上で、上述した希釈処理において大気ＯＡが通流する流量計Ｍｆ３側の大気供給経路６ａに通流させて、点検用ガスとして合流部Ｂ１に供給する。すると、その原料ガスＧ０が、ガス検査機７０のガス導入部７２に点検用ガスを供給するガス供給部としての分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａに供給されることになる。
このことで、原料ガスＧ０をそのまま点検用ガスとして利用する場合において、当該原料ガスＧ０の流量が点検用ガスの必要流量に相当する比較的大流量になる場合でも、その原料ガスＧ０を、上記希釈処理において比較的大流量の大気ＯＡが通流する比較的大流量に対応した大気供給経路６ａに通流させ、例えばその原料ガスＧ０の流量を比較的大流量に対応する流量計Ｍｆ３で計測することができる。一方、上記希釈処理において比較的小流量の原料ガスＧ０が通流する流量計Ｍｆ２側の原料ガス供給経路は、小流量のみに対応する比較的簡単且つ小型なものとして構成されており、例えば流量計Ｍｆ２としても比較的小流量に対応するものが利用されている。
That is, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 13, the operation of the pump P1 is stopped and the three-way valve V13 is closed to stop the intake of the atmosphere OA from the open portion O3. At the same time, the flow rate adjusting valve V10 is opened and the switching state of the three-way valve V8 is set, so that the pressure of the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 is stabilized by the pressure regulator R2 and then diluted as described above. In the process, the air is passed through the
Thus, when the raw material gas G0 is used as it is as an inspection gas, even if the flow rate of the raw material gas G0 is a relatively large flow rate corresponding to the required flow rate of the inspection gas, the raw material gas G0 In the dilution process, the air is supplied to the
以上が、図４に示す点検処理方法における点検処理（＃Ｓ４）の詳細な処理フローであり、当該点検処理（＃Ｓ４）の実行後において、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在する場合には（＃Ｓ５）、その同じグループ内で点検対象とするガス検査機７０を変更し、変更後のガス検査機７０に対して点検処理（＃Ｓ４）を実行する。その際、希釈処理で生成した点検用ガスＧ１を利用している場合には、同じグループ内での点検対象の変更時において、生成した点検用ガスＧ１を一時的に三方弁Ｖ４，Ｖ５を介して開放部Ｏ４に供給して排気する形態で、希釈処理を継続する。このことで、点検対象の変更時の濃度安定化処理などが割愛され、当該変更に必要な時間が短縮される。
The above is the detailed processing flow of the inspection process (# S4) in the inspection processing method shown in FIG. 4, and after the execution of the inspection process (# S4), the next
同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０の点検処理に移行する際には、所定の第１クリーニング処理（＃Ｓ８）を実行し、また、同じグループ内のガス検査機７０の点検処理が全て終了した際には、所定の第２クリーニング処理（＃Ｓ９）を実行する。
When shifting to the inspection process of the next
〔クリーニング処理〕
同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０の点検処理に移行する際に実行する第１クリーニング処理（＃Ｓ８）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に大気ＯＡを導入させて当該ガス検査機７０のクリーニング（以下「ガス検査機クリーニング」と呼ぶ。）を行う。
一方、同じグループ内のガス検査機７０の点検処理が全て終了した際に実行する第２クリーニング処理（＃Ｓ６）では、ガス検査機クリーニングに加えて、点検用ガスＧ１又はその原料となる原料ガスＧ０が通流するガス経路に大気ＯＡを通流させて当該ガス経路のクリーニング（以下「ガス経路クリーニング」と呼ぶ。）を行う。
尚、図１２には、ガス経路クリーニングとガス検査機クリーニングとを同時に行う際の各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を示す。
[Cleaning process]
In the first cleaning process (# S8) executed when the inspection process of the next inspection target
On the other hand, in the second cleaning process (# S6) executed when all the inspection processes of the
FIG. 12 shows the operating states and gas flow states of various auxiliary machines when performing gas path cleaning and gas inspection machine cleaning at the same time.
（ガス経路クリーニング）
具体的に、ガス経路クリーニングでは、図１１のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の状態から、流量調整弁Ｖ１０を閉弁することで、ガス容器Ｃ１からの原料ガスＧ０の供給を停止すると共に、三方弁Ｖ８，Ｖ１３の切替状態を設定して、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）等で原料ガスＧ０が通流していた流量計Ｍｆ２側の原料ガス経路６ｂに通流させる。このことで、当該原料ガス経路６ｂに残留する原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該原料ガス経路６ｂがクリーニングされることになる。
(Gas path cleaning)
Specifically, in the gas path cleaning, the supply of the source gas G0 from the gas container C1 is stopped by closing the flow rate adjustment valve V10 from the state of the gas alarm confirmation process (# S15) in FIG. The switching state of the three-way valves V8 and V13 is set, and the
更に、原料ガス経路６ｂを通流した後の大気ＯＡは、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）等で点検用ガスＧ１が通流していた合流部Ｂ１から分岐部Ｂ２までの点検用ガス経路６ｃを通流する。このことで、当該点検用ガス経路６ｃに残留する点検用ガスＧ１が大気にＯＡに置換されて、当該点検用ガス経路６ｃがクリーニングされることになる。
そして、このようなガス経路クリーニングを実行することにより、次の点検対象のガス検査機７０に対する点検処理において、ガス経路に残留する点検用ガスＧ１や原料ガスＧ０に起因する誤点検が回避される。
このガス経路クリーニングにおいて、原料ガス経路６ｂ及び点検用ガス経路６ｃを通流後に分岐部Ｂ２に供給された大気ＯＡは、三方弁Ｖ１，Ｖ５の切替状態を設定することで、開放部Ｏ４を介して外部に排気される。
Further, the atmosphere OA after flowing through the
Then, by performing such gas path cleaning, in the inspection process for the next inspection target
In this gas path cleaning, the atmosphere OA supplied to the branch section B2 after flowing through the
尚、図１１に示す非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の後に実行されるガス経路クリーニングでは、当該ガスガス警報確認処理（＃Ｓ１５）で原料ガスＧ０が通流した経路に大気ＯＡを通流させることが望ましい。即ち、三方弁Ｖ１３，Ｖ８，Ｖ１２の切替状態を設定することで、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、三方弁Ｖ１３からガス経路６ｂ側に供給すると共に、その大気ＯＡを三方弁Ｖ８から三方弁１２側に戻して、当該三方弁１２の下流側の大気供給経路６ａに通流させる。このことで、非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）で原料ガスＧ０が通流した経路に残留する原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該経路がクリーニングされることになる。
In the gas path cleaning performed after the gas alarm confirmation process (# S15) in the case of performing the non-dilution process shown in FIG. 11, the gas gas alarm confirmation process (# S15) passes through the path through which the raw material gas G0 flows. It is desirable to let air OA flow. That is, by setting the switching state of the three-way valves V13, V8, V12, the atmosphere OA taken in from the open portion O3 is supplied to the
更に、ガス経路クリーニングにおいて、同時に実行されるガス検査機クリーニングが終了すると、三方弁Ｖ１の切り替え状態を設定して、分岐部Ｂ２にある大気ＯＡを、三方弁Ｖ１側に供給する。すると、分岐部Ｂ２から三方弁Ｖ１までの経路に残留する点検ガスＧ１や原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該経路がクリーニングされることになる。 Further, in the gas path cleaning, when the gas inspection machine cleaning performed at the same time is completed, the switching state of the three-way valve V1 is set, and the atmosphere OA in the branch portion B2 is supplied to the three-way valve V1 side. Then, the inspection gas G1 and the raw material gas G0 remaining in the path from the branch part B2 to the three-way valve V1 are replaced with the atmosphere OA, and the path is cleaned.
（ガス検査機クリーニング）
一方、ガス検査機クリーニングでは、前述した初期確認処理（＃Ｓ１２）と同様に、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを開放部Ｏ１に開放させることで、ガス検査機７０のガス導入部７２には、開放部Ｏ１から取り込んだ大気ＯＡ、即ち上記ガス経路を通流したものとは別の新鮮な大気ＯＡが導入される。そして、その大気ＯＡがガス導入部７２を介してガス検査機７０に導入され、センサ部７６を通流する。このことで、ガス検査機７０側のガス導入部７２やセンサ部７６に残留する点検用ガスＧ１が大気ＯＡに置換されて、当該ガス検査機７０がクリーニングされることになる。
尚、このガス検査機クリーニングは、ガス検査機７０のセンサ部７６の出力信号から導入ガス中の特定成分濃度が略ゼロになったと判断したときに終了する。
(Gas inspection machine cleaning)
On the other hand, in the gas inspection machine cleaning, the gas supply joint 5a to which the
The gas inspection machine cleaning ends when it is determined from the output signal of the
そして、このようなガス検査機クリーニングを実行することにより、かかる点検処理直後のガス検査機７０の使用にあたり、ガス導入部７２等に残留する点検用ガスＧ１に起因する誤検知が回避される。
尚、このガス検査機クリーニングにおいて、ガス検査機７０の排気部７７から排出された排気ＥＡは、開口部５９から周辺空気と共に取り込まれ、排気用継手５ｂを介して開放部Ｏ４から外部に排出される。このことで、この排気ＥＡが収容部５側の前面から放出されることが防止されている。更に、この開口部５９から吸引した排気ＥＡは、ガス経路クリーニングで原料ガス経路６ｂ及び点検用ガス経路６ｃを通流後の大気ＯＡとまとめて排出される。このことで、ガス検査機クリーニング及びガス経路クリーニングのための排気経路が簡素化されている。
尚、これら排気ＥＡと大気ＯＡとは別々に外部に排出しても構わない。
By performing such gas inspection machine cleaning, erroneous detection due to the inspection gas G1 remaining in the
In this gas inspection machine cleaning, the exhaust EA discharged from the
Note that the exhaust EA and the atmosphere OA may be separately discharged to the outside.
尚、本実施形態では、ガス経路クリーニング及びガス検査機クリーニングを各別の大気ＯＡで行うように構成したが、例えばガス経路を通流した大気をガス検査機７０に導入するなどして、夫々のクリーニングを同じ大気で行うように構成しても構わない。
In this embodiment, the gas path cleaning and the gas inspection machine cleaning are performed in different atmospheres OA. However, for example, the atmosphere flowing through the gas path is introduced into the
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、点検処理（＃Ｓ４）及びその前後において、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）、及びガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の他に、種々の処理を実行するように構成したが、これら他の処理については、適宜省略又は改変しても構わない。
また、これら閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）、及びガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の詳細についても、上記実施形態の構成が本発明の権利範囲を実質的に何ら限定するものではなく、適宜改変しても構わない。
[Another embodiment]
(1) In the above embodiment, in addition to the check process (# S4) and before and after the check process, the blockage alarm check process (# S13), the suction flow rate check process (# S14), and the gas alarm check process (# S15), Although various processes are configured to be executed, these other processes may be omitted or modified as appropriate.
In addition, regarding the details of the blockage alarm confirmation process (# S13), the suction flow rate confirmation process (# S14), and the gas alarm confirmation process (# S15), the configuration of the above embodiment substantially limits the scope of rights of the present invention. It is not limited at all, and may be modified as appropriate.
（２）上記実施形態では、収容部５に着脱自在に装着されるアダプタ５０を介在させて、ガス検査機７０を収容部５に収容するように構成したが、アダプタ５０を省略し、収容部５をガス検査機７０の型式に適応したものとすることで、ガス検査機７０を直接収容部５に収容するように構成しても構わない。
(2) In the above embodiment, the
２ａ 点検処理手段
２ｂ アダプタ識別情報取得手段
２ｃ ガス検査機識別情報取得手段
５ 収容部
５ａ 給気用継手（ガス供給部）
５ｂ 排気用継手（排気吸引部）
６ 希釈処理手段
５０ アダプタ
５３ 通信部
５６ 排気案内路
５９ 開口部
６０ ガス検査機収容部
６１ 給気案内路
７０ ガス検査機
７２ ガス導入部
７７ 排気部
７９ 通信部
１００ 点検処理システム
Ｂ２ 分岐部（ガス供給部）
Ｃ１，Ｃ２ ガス容器
Ｍｆ１ 流量計（開放流量計測部）
2a Inspection processing means 2b Adapter identification information acquisition means 2c Gas inspection machine identification information acquisition means 5
5b Exhaust joint (exhaust suction part)
6 Dilution processing means 50
C1, C2 gas container Mf1 flow meter (open flow measurement unit)
Claims (6)
当該点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記ガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムであって、
前記点検処理手段が、前記点検処理として、当該ガス警報確認処理の実行前に、
前記ガス検査機において前記ガス導入部の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能の異常の有無を確認する閉塞警報確認処理と、前記ガス検査機のガス導入部からのガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常の有無を確認する吸引流量確認処理とを順に実行するガス検査機の点検処理システム。 Provided with an inspection processing means for performing an inspection process for inspecting the state of a suction type gas inspection machine having a gas alarm function for outputting a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas sucked from the gas introduction unit ,
The inspection processing means supplies, as the inspection processing, a gas for inspection via a gas supply unit to a gas introduction unit of the gas inspection machine, and checks whether there is an abnormality in the gas alarm function of the gas inspection machine An inspection processing system for a gas inspection machine that executes alarm confirmation processing,
The inspection processing means, as the inspection processing, before execution of the gas alarm confirmation processing,
In the gas tester, a blockage alarm check process for checking whether there is an abnormality in the blockage alarm function that outputs a predetermined blockage alarm when the gas introduction unit is blocked, and the gas suction flow rate from the gas introduction unit of the gas tester is appropriate An inspection processing system for a gas inspection machine that sequentially performs suction flow rate confirmation processing for confirming whether there is an abnormality in suction flow rate that deviates from the flow rate range.
前記点検処理手段が、前記点検処理の終了時に、前記ガス検査機のガス導入部に大気を供給して当該ガス検査機のクリーニングを行うクリーニング処理を実行する請求項１に記載のガス検査機の点検処理システム。 The atmosphere can be supplied to the gas introduction part of the gas inspection machine via the gas supply part,
2. The gas inspection machine according to claim 1, wherein at the end of the inspection process, the inspection processing unit performs a cleaning process of supplying air to a gas introduction unit of the gas inspection machine to clean the gas inspection machine. Inspection processing system.
前記ガス供給部からのガス流出を遮断可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記閉塞警報確認処理において、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を接続した状態で、当該ガス供給部からのガス流出を遮断させて、当該遮断に伴う前記ガス検査機の閉塞警報機能による前記閉塞警報の出力の有無を確認する請求項１又は２に記載のガス検査機の点検処理システム。 The gas inspection machine has a blockage alarm function for outputting a predetermined blockage alarm when the gas introduction unit is blocked,
It is configured to be able to block gas outflow from the gas supply unit,
In the blockage alarm confirmation process, the inspection processing means is configured to block gas outflow from the gas supply unit in a state where the gas supply unit is connected to a gas introduction unit of the gas inspection machine, and The inspection processing system for a gas inspection machine according to claim 1 or 2, wherein the presence or absence of an output of the blockage alarm by a blockage alarm function of the gas inspection machine is confirmed.
前記点検処理手段が、前記吸引流量確認処理において、前記ガス供給部への前記点検用ガスの供給を停止すると共に、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を接続した状態で、前記大気開放経路を介して当該ガス供給部を大気開放させて、当該大気開放時に前記開放流量計測部で計測されたガス流量を前記ガス検査機のガス吸引流量として取得して、前記吸引流量異常の有無を確認する請求項１〜３の何れか１項に記載のガス検査機の点検処理システム。 An open air flow path capable of opening the gas supply unit to the open air, and an open flow rate measuring unit capable of measuring a gas flow rate in the open air path,
In the state where the inspection processing means stops the supply of the inspection gas to the gas supply unit in the suction flow rate confirmation processing, and the gas supply unit is connected to a gas introduction unit of the gas inspection machine, The gas supply unit is opened to the atmosphere via the atmosphere release path, and the gas flow rate measured by the open flow rate measurement unit when the atmosphere is released is acquired as the gas suction flow rate of the gas inspection machine. The inspection processing system for a gas inspection machine according to any one of claims 1 to 3, wherein presence or absence is confirmed.
当該点検用ガスの供給先を前記ガス供給部から外部に切り替えて当該点検用ガスを排気可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記閉塞警報確認処理又は前記吸引流量確認処理の実行時に、前記希釈処理で生成された点検用ガスを外部に排気して、前記点検用ガスの濃度を安定化させる濃度安定化処理を実行する請求項１〜４の何れか１項に記載のガス検査機の点検処理システム。 A dilution process for generating the inspection gas by diluting the raw material gas taken out from the gas container with the atmosphere is configured to be executable,
The inspection gas supply destination is switched from the gas supply unit to the outside so that the inspection gas can be exhausted.
When the check processing means performs the blockage alarm check process or the suction flow rate check process, the check gas generated in the dilution process is exhausted to the outside to stabilize the concentration of the check gas. The inspection processing system for a gas inspection machine according to any one of claims 1 to 4, wherein the gasification processing is executed.
前記ガス検査機の複数を点検対象として、当該点検対象とした複数のガス検査機に対して、直列的に前記点検処理を順次実行すると共に、当該点検処理において異常が確認された場合には、その異常が確認されたガス検査機に対する点検処理を終了して、次のガス検査機に対する点検処理に移行する請求項１〜５の何れか１項に記載のガス検査機の点検処理システム。 The inspection processing means
When a plurality of the gas inspection machines are to be inspected, the inspection processes are sequentially performed in series on the plurality of gas inspection machines as the inspection objects, and when an abnormality is confirmed in the inspection processes, The inspection processing system for a gas inspection device according to any one of claims 1 to 5, wherein the inspection processing for the gas inspection device in which the abnormality has been confirmed is terminated, and the processing proceeds to inspection processing for the next gas inspection device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016048520A JP6663756B2 (en) | 2016-03-11 | 2016-03-11 | Gas inspection machine inspection processing system |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2016048520A JP6663756B2 (en) | 2016-03-11 | 2016-03-11 | Gas inspection machine inspection processing system |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2017162380A true JP2017162380A (en) | 2017-09-14 |
| JP6663756B2 JP6663756B2 (en) | 2020-03-13 |
Family
ID=59857973
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2016048520A Active JP6663756B2 (en) | 2016-03-11 | 2016-03-11 | Gas inspection machine inspection processing system |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP6663756B2 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112577912A (en) * | 2019-09-27 | 2021-03-30 | 深圳市理邦精密仪器股份有限公司 | Zero calibration abnormity detection method and breathing gas monitoring equipment |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03122362U (en) * | 1990-03-23 | 1991-12-13 | ||
| JPH0996591A (en) * | 1995-09-30 | 1997-04-08 | Horiba Ltd | Abnormality detection method for sampling system and gas analyzer having abnormality detecting function |
| JP2000171358A (en) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Shimadzu Corp | Gas analyzer |
| JP2004283725A (en) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | New Cosmos Electric Corp | Gas generator and gas detector |
| JP2006078434A (en) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Riken Keiki Co Ltd | Sample gas supply device and inflammable gas detection system |
| JP2009524824A (en) * | 2006-01-25 | 2009-07-02 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | Self-calibrating gas detector and method |
-
2016
- 2016-03-11 JP JP2016048520A patent/JP6663756B2/en active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03122362U (en) * | 1990-03-23 | 1991-12-13 | ||
| JPH0996591A (en) * | 1995-09-30 | 1997-04-08 | Horiba Ltd | Abnormality detection method for sampling system and gas analyzer having abnormality detecting function |
| JP2000171358A (en) * | 1998-12-02 | 2000-06-23 | Shimadzu Corp | Gas analyzer |
| JP2004283725A (en) * | 2003-03-20 | 2004-10-14 | New Cosmos Electric Corp | Gas generator and gas detector |
| JP2006078434A (en) * | 2004-09-13 | 2006-03-23 | Riken Keiki Co Ltd | Sample gas supply device and inflammable gas detection system |
| JP2009524824A (en) * | 2006-01-25 | 2009-07-02 | ハネウェル・インターナショナル・インコーポレーテッド | Self-calibrating gas detector and method |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112577912A (en) * | 2019-09-27 | 2021-03-30 | 深圳市理邦精密仪器股份有限公司 | Zero calibration abnormity detection method and breathing gas monitoring equipment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP6663756B2 (en) | 2020-03-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5337802B2 (en) | Suction type leak detector | |
| CN102500026B (en) | Air passage system of respirator | |
| KR20150047097A (en) | Multi sampling port monitoring apparatus for air pollution measuring and monitoring method for using the same | |
| JP5050139B1 (en) | Airtightness inspection device | |
| CN110300701A (en) | Pressure inside the tank transmitter with integrated haldane-Henderson gas analysis apparatus | |
| KR20200091937A (en) | Gas detection device | |
| CN110006599A (en) | The self-checking unit and self checking method of helium mass-spectrometer leak detector signal | |
| KR102661720B1 (en) | respirator | |
| JP6663756B2 (en) | Gas inspection machine inspection processing system | |
| JP6773426B2 (en) | Inspection processing system of gas inspection machine | |
| JP6739952B2 (en) | Inspection processing method and inspection processing system for gas inspection machine | |
| JP6668118B2 (en) | Gas inspection machine inspection processing system | |
| JP6784497B2 (en) | Inspection processing method of gas inspection machine | |
| JP6808558B2 (en) | Gas detector inspection processing system | |
| JP6813413B2 (en) | Gas detector inspection processing system | |
| EP2778651A2 (en) | Exhaust gas analyzing apparatus | |
| JP6804368B2 (en) | Gas detector inspection processing system | |
| CN215066459U (en) | Pipeline methane sensor accuracy testing arrangement | |
| US11808744B2 (en) | Liquid sample injection mechanism for an instrument for elemental analysis | |
| CN104215404A (en) | Gas leakage measuring instrument | |
| CN115248097A (en) | Inspection system | |
| JP6778502B2 (en) | Gas inspection machine inspection method and gas inspection machine inspection system | |
| KR101517033B1 (en) | Chamical supply | |
| TW201915381A (en) | Concentration control apparatus and material gas supply system | |
| JP6778503B2 (en) | Inspection accommodation structure |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20190307 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20200129 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200205 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200217 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6663756 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |