JP6773426B2 - Inspection processing system of gas inspection machine - Google Patents
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Description
本発明は、ガス導入部から導入した導入ガス中の特定成分の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有するガス検査機の状態を点検する点検処理を実行する点検処理手段を備え、当該点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記点検対象のガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムに関する。 The present invention provides an inspection processing means for executing an inspection process for inspecting the state of a gas inspection machine having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas introduced from the gas introduction unit. As the inspection process, the inspection processing means supplies the inspection gas to the gas introduction unit of the gas inspection machine via the gas supply unit, and the gas alarm function of the gas inspection machine to be inspected is abnormal. Regarding the inspection processing system of the gas inspection machine that executes the gas alarm confirmation processing to confirm the presence or absence.
空気中の一酸化炭素や可燃性ガスなどの特定成分の状態に応じて警報を出力するガス警報機能を有するガス検査機を使用するにあたり、当該ガス検査機の状態が正常であるか否かを定期的に点検する必要がある。そこで、このようなガス検査機の点検を自動的に行うための点検処理システムが知られている（例えば特許文献１参照）。 When using a gas inspection machine that has a gas alarm function that outputs an alarm according to the state of a specific component such as carbon monoxide or flammable gas in the air, whether or not the state of the gas inspection machine is normal It needs to be inspected regularly. Therefore, an inspection processing system for automatically inspecting such a gas inspection machine is known (see, for example, Patent Document 1).
特許文献１のガス検査機の点検処理システムでは、上記点検処理として、ガス検査機のガス導入部に点検用ガスを供給して、ガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するバンプテストとも呼ばれるガス警報確認処理（確認試験処理）を実行する。具体的に、このガス警報確認処理では、収容部（装着部５０，５５）に収容されたガス検査機（ガス検知器１０Ａ，１０Ｂ）に対し、ガス供給部（ガス供給用チューブ接続部７５）を介して点検用ガス（特定ガス）を供給して、ガス検査機の濃度指示値が適正なものであるか否かを確認する。
In the inspection processing system of the gas inspection machine of
従来の点検処理システムにてガス警報確認処理を実行すると、その直後には、ガス検査機のガス導入部やシステム本体のガス経路に点検用ガス又は当該点検用ガスの原料となる原料ガスが残留する場合がある。このように、ガス検査機のガス導入部に点検用ガス等が残留すると、ガス検査機の誤検知を招く場合があった。一方、システム本体のガス経路に点検用ガス等が残留すると、次のガス警報確認処理において正確な点検結果を得ることができない場合があった。 Immediately after executing the gas alarm confirmation process in the conventional inspection processing system, the inspection gas or the raw material gas that is the raw material of the inspection gas remains in the gas introduction part of the gas inspection machine or the gas path of the system body. May be done. In this way, if the inspection gas or the like remains in the gas introduction portion of the gas inspection machine, erroneous detection of the gas inspection machine may occur. On the other hand, if the inspection gas or the like remains in the gas path of the system main body, it may not be possible to obtain an accurate inspection result in the next gas alarm confirmation process.
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、ガス検査機の状態を点検する点検処理として、当該ガス検査機に対して点検用ガスを供給してガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムにおいて、点検用ガス等の残留に起因するガス検査機の誤検知や点検処理システムの誤点検を回避する技術を提供する点にある。 In view of this situation, the main subject of the present invention is a gas alarm for inspecting the state of the gas inspection machine by supplying inspection gas to the gas inspection machine and confirming whether or not there is an abnormality in the gas alarm function. In the inspection processing system of the gas inspection machine that executes the confirmation processing, the point is to provide a technique for avoiding erroneous detection of the gas inspection machine and erroneous inspection of the inspection processing system due to residual inspection gas or the like.
本発明の第１特徴構成は、ガス導入部から導入した導入ガス中の特定成分の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有するガス検査機の状態を点検する点検処理を実行する点検処理手段を備え、
当該点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記点検対象のガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムであって、
前記点検用ガス又は当該点検用ガスの原料となる原料ガスが通流するガス経路に大気を通流可能、且つ、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を介して大気を導入可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記点検処理の終了時に、前記ガス経路に大気を通流させる当該ガス経路のクリーニングを行うガス経路クリーニングと、前記ガス検査機のガス導入部に大気を導入させるガス検査機クリーニングとをクリーニング処理として実行可能に構成され、
前記点検用ガス又は当該点検用ガスの原料となる原料ガスが通流するガス経路に大気を通流させて当該通流後の大気を外部へ排気可能、且つ、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を介して前記ガス経路を通流した大気とは別の大気を導入可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記クリーニング処理において、前記ガス検査機クリーニングと前記ガス経路クリーニングとの夫々を各別の大気にて行う点にある。
The first characteristic configuration of the present invention executes an inspection process for inspecting the state of a gas inspection machine having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas introduced from the gas introduction unit. Equipped with inspection processing means to
As the inspection process, the inspection processing means supplies inspection gas to the gas introduction unit of the gas inspection machine via the gas supply unit, and checks whether or not there is an abnormality in the gas alarm function of the gas inspection machine to be inspected. It is an inspection processing system of a gas inspection machine that executes the gas alarm confirmation processing to be confirmed.
The atmosphere can be passed through the gas path through which the inspection gas or the raw material gas that is the raw material of the inspection gas passes, and the atmosphere can be introduced into the gas introduction section of the gas inspection machine via the gas supply section. Consists of
The inspection processing means, at the end of the inspection process, a gas path cleaning for cleaning of the gas path Ru flowed through the air to the gas path, Ru is introduced air into the gas inlet portion of said gas inspection machine Gas Inspector cleaning and is configured to be feasible as a cleaning process ,
The gas introduction unit of the gas inspection machine can allow the atmosphere to pass through the gas path through which the inspection gas or the raw material gas that is the raw material of the inspection gas passes, and the air after the passage can be exhausted to the outside. It is configured so that an atmosphere different from the atmosphere that has passed through the gas path can be introduced through the gas supply unit.
The point is that the inspection processing means performs the gas inspection machine cleaning and the gas path cleaning in different atmospheres in the cleaning process .
本構成によれば、上記点検処理の終了時に上記クリーニング処理としてガス経路クリーニングを実行してガス経路に大気を通流させれば、当該ガス経路に残留する点検用ガス等を当該ガス経路に供給される大気に置換する形態で、当該ガス経路をクリーニングすることができる。このことにより、次の点検対象のガス検査機に対する点検処理において、ガス経路に残留する点検用ガス等に起因する誤点検を回避することができる。更に、ガス検査機側のガス導入部等に残留する点検用ガスを当該ガス導入部に導入される大気に置換する形態で、当該ガス検査機をクリーニングするガス検査機クリーニングを実行することができる。このことにより、点検処理直後のガス検査機の使用にあたり、ガス導入部等に残留する点検用ガスに起因する誤検知を回避することができる。
従って、本発明により、点検用ガス等の残留に起因するガス検査機の誤検知や点検処理システムの誤点検を回避するガス検査機の点検処理システムを提供することができる。
更に、本構成によれば、クリーニング処理において、ガス経路を通流後の大気をガス検査機のガス導入部に導入することなく外部へ排気すると共に、ガス経路を通流した大気とは別の大気をガス検査機側のガス導入部に導入する形態で、ガス検査機クリーニングとガス経路クリーニングとの夫々を各別の大気にて行うことができる。これにより、ガス検査機とガス経路との夫々を新鮮な空気でクリーニングして、点検用ガス等の残留を一層防止することができる。
According to this configuration, if the gas path cleaning is executed as the cleaning process at the end of the inspection process and the air is passed through the gas path, the inspection gas or the like remaining in the gas path is supplied to the gas path. The gas path can be cleaned in a form that replaces the atmosphere. As a result, in the inspection process for the next inspection target gas inspection machine, it is possible to avoid erroneous inspection due to the inspection gas or the like remaining in the gas path. Further, the gas inspection machine cleaning for cleaning the gas inspection machine can be executed in the form of replacing the inspection gas remaining in the gas introduction part on the gas inspection machine side with the atmosphere introduced into the gas introduction part. .. As a result, when using the gas inspection machine immediately after the inspection process, it is possible to avoid erroneous detection due to the inspection gas remaining in the gas introduction portion or the like.
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide an inspection processing system for a gas inspection machine that avoids erroneous detection of a gas inspection machine or erroneous inspection of an inspection processing system due to residual inspection gas or the like.
Further, according to this configuration, in the cleaning process, the atmosphere after passing through the gas path is exhausted to the outside without being introduced into the gas introduction part of the gas inspection machine, and is different from the atmosphere passing through the gas path. In the form of introducing the atmosphere into the gas introduction section on the gas inspection machine side, the gas inspection machine cleaning and the gas path cleaning can be performed in different atmospheres. As a result, each of the gas inspection machine and the gas path can be cleaned with fresh air, and the residual inspection gas or the like can be further prevented.
本発明の第２特徴構成は、ガス導入部から導入した導入ガス中の特定成分の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有するガス検査機の状態を点検する点検処理を実行する点検処理手段を備え、
当該点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記点検対象のガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムであって、
前記点検用ガス又は当該点検用ガスの原料となる原料ガスが通流するガス経路に大気を通流可能、且つ、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を介して大気を導入可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記点検処理の終了時に、前記ガス経路に大気を通流させるガス経路クリーニングと、前記ガス検査機のガス導入部に大気を導入させるガス検査機クリーニングとをクリーニング処理として実行可能に構成され、
前記ガス検査機を収容する収容部を備えると共に、前記収容部に、前記ガス検査機から排出された排気を吸引して外部に排出する排気吸引部を備え、
前記点検処理手段が、前記クリーニング処理において、前記排気吸引部で吸引した排気と前記ガス経路からの排気とをまとめて外部に排出する点にある。
The second characteristic configuration of the present invention executes an inspection process for checking the state of a gas inspection machine having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas introduced from the gas introduction unit. Equipped with inspection processing means to
As the inspection process, the inspection processing means supplies inspection gas to the gas introduction unit of the gas inspection machine via the gas supply unit, and checks whether or not there is an abnormality in the gas alarm function of the gas inspection machine to be inspected. It is an inspection processing system of a gas inspection machine that executes the gas alarm confirmation processing to be confirmed.
The atmosphere can be passed through the gas path through which the inspection gas or the raw material gas that is the raw material of the inspection gas passes, and the atmosphere can be introduced into the gas introduction section of the gas inspection machine via the gas supply section. Consists of
At the end of the inspection process, the inspection processing means executes gas path cleaning that allows air to flow through the gas path and gas inspection machine cleaning that introduces air into the gas introduction portion of the gas inspection machine as cleaning processing. Possible to be configured
A housing unit for accommodating the gas inspection machine is provided, and the storage unit is provided with an exhaust suction unit for sucking exhaust gas discharged from the gas inspection machine and discharging it to the outside.
The point is that the inspection processing means collectively discharges the exhaust sucked by the exhaust suction unit and the exhaust from the gas path to the outside in the cleaning process.
本構成によれば、上記点検処理の終了時に上記クリーニング処理としてガス経路クリーニングを実行してガス経路に大気を通流させれば、当該ガス経路に残留する点検用ガス等を当該ガス経路に供給される大気に置換する形態で、当該ガス経路をクリーニングすることができる。このことにより、次の点検対象のガス検査機に対する点検処理において、ガス経路に残留する点検用ガス等に起因する誤点検を回避することができる。更に、ガス検査機側のガス導入部等に残留する点検用ガスを当該ガス導入部に導入される大気に置換する形態で、当該ガス検査機をクリーニングするガス検査機クリーニングを実行することができる。このことにより、点検処理直後のガス検査機の使用にあたり、ガス導入部等に残留する点検用ガスに起因する誤検知を回避することができる。
従って、本発明により、点検用ガス等の残留に起因するガス検査機の誤検知や点検処理システムの誤点検を回避するガス検査機の点検処理システムを提供することができる。
更に、本構成によれば、上記収容部を備えることで、上記ガス警報確認処理において、当該収容部に収容されたガス検査機のガス導入部に対し、当該収容部への収容に伴って接続されたガス供給部を介して、点検用ガスを供給することができる。このような収容部に上記排気吸引部を設けることで、上記ガス検査機クリーニングにおいて、大気導入に伴うガス検査機からの排気を上記排気吸引部から吸引して外部に排出するので、当該ガス検査機からの排気が収容部側から放出されることを防止することができる。更に、この排気吸引部から吸引した排気を上記ガス経路からの排気とまとめてシステム本体側から外部に排出することができるので、排気経路を簡素化することができる。
According to this configuration, if the gas path cleaning is executed as the cleaning process at the end of the inspection process and the air is passed through the gas path, the inspection gas or the like remaining in the gas path is supplied to the gas path. The gas path can be cleaned in a form that replaces the atmosphere. As a result, in the inspection process for the next inspection target gas inspection machine, it is possible to avoid erroneous inspection due to the inspection gas or the like remaining in the gas path. Further, the gas inspection machine cleaning for cleaning the gas inspection machine can be executed in the form of replacing the inspection gas remaining in the gas introduction part on the gas inspection machine side with the atmosphere introduced into the gas introduction part. .. As a result, when using the gas inspection machine immediately after the inspection process, it is possible to avoid erroneous detection due to the inspection gas remaining in the gas introduction portion or the like.
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide an inspection processing system for a gas inspection machine that avoids erroneous detection of a gas inspection machine or erroneous inspection of an inspection processing system due to residual inspection gas or the like.
Further, according to the present configuration, by providing the accommodating portion, in the gas alarm confirmation process, the gas introduction portion of the gas inspection machine accommodating in the accommodating portion is connected to the gas introduction portion in the accommodating portion. The inspection gas can be supplied through the gas supply unit. By providing the exhaust suction unit in such an accommodating portion, in the gas inspection machine cleaning, the exhaust gas from the gas inspection machine accompanying the introduction of the atmosphere is sucked from the exhaust suction unit and discharged to the outside, so that the gas inspection It is possible to prevent the exhaust gas from the machine from being discharged from the accommodating portion side. Further, since the exhaust gas sucked from the exhaust suction unit can be discharged to the outside from the system main body side together with the exhaust gas from the gas path, the exhaust path can be simplified.
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１に示す点検処理システム１００は、ガス検査機７０の状態を点検するための点検処理方法を実施するシステムとして構成されており、ガス検査機７０を収容するための収容部５が正面に設けられたシステム本体１と、当該収容部５に着脱自在に装着されて、ガス検査機７０の収容部５への収容を可能とするアダプタ５０とを備える。
An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
The
尚、本願において、システム本体１において収容部５やディスプレイ３が設けられる面（図１の手前側の面、図２の左側の面、図３の左手前側の面）を「正面」と呼び、その正面が向かう方向を「手前方向」と呼ぶ。これに対し、正面の反対側の面を「背面」と呼び、その背面が向かう方向を「奥行き方向」と呼ぶ。また、正面視における左側を単に「左側方側」と呼び、正面視における右側を単に「右側方側」と呼ぶ。
In the present application, the surface of the system
［ガス検査機］
先ず、ガス検査機７０の構成について、図１、及び図２を参照して説明する。
ガス検査機７０は、詳細については後述するが、ガス導入部７２から導入した導入ガス中の特定成分としての例えば可燃性ガス（水素、メタン、プロパン等）や一酸化炭素の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有すると共に、ガス導入部７２の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能を有する。
[Gas inspection machine]
First, the configuration of the
The
具体的に、かかるガス検査機７０は、検査機本体７１と、当該検査機本体７１内にガスを導入するためのガス導入部７２とを備える。
ガス導入部７２は、検査機本体７１から突出形成された略筒状の筒状部７４、及び、当該筒状部７４の先端側に連接する尖状の吸引ノズル７３で構成されている。一方、検査機本体７１内には、ガス導入部７２を介して外部のガスを吸引するための吸引ポンプ７５が設けられており、このことで、ガス検査機７０は、吸引ノズル７３から積極的にガスを吸引する吸引式に構成されている。
更に、検査機本体７１内には、吸引ポンプ７５で吸引した導入ガスが供給されて当該導入ガス中の特定成分に感応するセンサ素子等で構成されたセンサ部７６、及び、コンピュータからなる制御部７８等が設けられている。
Specifically, the
The
Further, inside the inspection machine
ガス検査機７０の前面には所定の表示や入力操作を行うための表示操作部８０が設けられており、制御部７８は、センサ部７６の出力信号から導入ガス中の特定成分濃度を求め、検査機本体７１に設けられた表示操作部８０に表示すると共に、その可燃性ガス濃度が許容範囲を超えた場合には、それを作業者に通知するべく、同表示操作部８０に所定のガス警報表示（ガス警報の一例）を表示し、更には、検査機本体７１に設けられたスピーカ８２が所定のガス警報音（ガス警報の一例）を発生するように構成されている。そして、このような機能をガス警報機能と呼ぶ。
A
更に、このガス検査機７０の制御部７８は、吸引ポンプ７５の作動時において、吸引ポンプ７５の負荷（以下「ポンプ負荷」と呼ぶ。）を当該吸引ポンプ７５の駆動電力の電流値等で監視し、吸引ポンプ７５の作動時においてポンプ負荷が異常に高い場合には、ガス導入部７２の状態がゴミ等により閉塞している閉塞状態であると判定する。そして、この閉塞状態を閉塞異常として、作業者に通知するべく、表示操作部８０に所定の閉塞警報表示（閉塞警報の一例）を表示し、更には、スピーカ８２が所定の閉塞警報音（閉塞警報の一例）を発生するように構成されている。そして、このような機能を閉塞警報機能と呼ぶ。
Further, the
検査機本体７１の側面側には、センサ部７６を通流したガスを排出する排気部７７と、制御部７８が外部との間で赤外線通信（無線通信の一例）を行うための通信部７９とが配置されている。
On the side surface side of the inspection machine
［点検処理システム］
次に、点検処理システム１００の詳細構成、即ち点検処理システム１００が備えるシステム本体１及びアダプタ５０の詳細構成について、順に説明する。
尚、以下の説明では、点検処理システム１００の点検対象を吸引式のガス検査機７０とする例を説明するが、吸引式のガス検査機７０以外にも、ガスが自然にセンサ部に導入される拡散式のガス検査機を点検対象としても構わない。また、この場合、必要な処理を適宜追加又は不要な処理を適宜割愛しても構わない。
[Inspection processing system]
Next, the detailed configuration of the
In the following description, an example in which the inspection target of the
〔システム本体〕
次に、点検処理システム１００が備えるシステム本体１の構成について、図１、図２、及び図７〜図１３を参照して説明する。
図１に示すように、システム本体１の前面には、ガス検査機７０を収容するための４つの収容部５が設けられており、このことでガス検査機７０の複数を点検対象とすることが可能となる。システム本体１の前面には、このような収容部５の他に、ディスプレイ３やその他操作スイッチ及びスピーカなどの機器が配置されており、更には、点検対象となるガス検査機７０のセンサ部７６が感応する特定成分を含む原料ガスを貯留する２つのガス容器Ｃ１，Ｃ２が着脱自在に装着されている。尚、詳細は後述するが、このガス容器Ｃ１，Ｃ２に貯留される原料ガスは、適宜大気で希釈されて点検用ガスとして利用される。
[System body]
Next, the configuration of the system
As shown in FIG. 1, four
４つの収容部５は何れも、正面側に開口する共通の矩形断面凹部として形成されている。
図１及び図２に示すように、この収容部５の内部奥面側には、ガス検査機７０のガス導入部７２に点検用ガス等のガスを供給するためのガス供給部である給気用継手５ａと、ガス検査機７０から排出された排気を吸引して外部に排出するための排気吸引部である排気用継手５ｂと、アダプタ５０に設けられた基盤５２のコネクタ５５に接続されるコネクタ５ｃとが配置されている。
尚、図１において、アダプタ５０が装着されていない収容部５には、ガス検査機７０の誤挿入等を防止するために、その前面にカバー５ｄが設けられている。
Each of the four
As shown in FIGS. 1 and 2, on the inner inner surface side of the
In FIG. 1, the
コネクタ５ｃは、同じくシステム本体１に設けられたコンピュータからなる制御部２に接続されている。よって、アダプタ５０側の基盤５２のコネクタ５５とシステム本体１側のコネクタ５ｃとが接続されることで、システム本体１側の制御部２はアダプタ５０側の制御部５４との間で有線通信が可能となる。また、詳細は後述するが、アダプタ５０側の制御部５４は、当該アダプタ５０のガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の制御部７８との間で無線通信が可能に構成されている。従って、システム本体１側の制御部２は、アダプタ５０側の制御部５４との間で通信可能となる上に、当該制御部５４を介して、収容部５にアダプタ５０を介在させて収容されたガス検査機７０側の制御部７８との間でも通信可能となる。
The
このシステム本体１側の制御部２は、図７等に示すように、所定のプログラムを実行することにより、詳細については後述するが、所定の点検処理を実行する点検処理手段２ａとして機能する。
更に、制御部２は、上記点検処理手段２ａに加えて、収容部５に装着されたアダプタ５０の識別情報であるアダプタ識別情報を取得可能なアダプタ識別情報取得手段２ｂ、及び、収容部５に収容されたガス検査機７０の識別情報であるガス検査機識別情報を取得可能なガス検査機識別情報取得手段２ｃとしても機能する。
As shown in FIG. 7 and the like, the
Further, in addition to the above-mentioned inspection processing means 2a, the
即ち、アダプタ識別情報取得手段２ｂは、収容部５に装着されたアダプタ５０側の制御部５４との間で通信を行うことで、当該制御部５４から、アダプタ５０の型式等のアダプタ識別情報を当該アダプタ５０が装着された収容部５に関連付けて取得する。
一方、ガス検査機識別情報取得手段２ｃは、収容部５にアダプタ５０を介在させて収容されたガス検査機７０側の制御部７８との間で通信を行うことで、当該制御部７８から、ガス検査機７０の型式等のガス検査機識別情報を当該ガス検査機７０が収容された収容部５に関連付けて取得する。
That is, the adapter identification information acquisition means 2b communicates with the
On the other hand, the gas inspection machine identification information acquisition means 2c communicates with the
また、制御部２は、これら取得した各種識別情報をメモリ等からなる記憶部４に記憶させ、適時記憶部４から必要な情報を取り出すことができる。
尚、アダプタ識別情報の取得タイミングについては、ガス検査機情報の取得タイミングと同様に、ガス検査機７０の収容部５への収容時とすることができるが、ガス検査機７０の収容時における情報処理量の削減等を目的として、収容部５へのアダプタ５０の装着時とされている。
Further, the
The timing of acquiring the adapter identification information can be the same as the timing of acquiring the gas inspection machine information at the time of accommodating the
図７〜図１３に示すように、システム本体１には、外部に開放して大気ＯＡの取り込み又は外部への排気ＥＡの排出を行うための開放部Ｏ１〜Ｏ４が設けられており、図示は省略するが、この開放部Ｏ１〜Ｏ４は、システム本体１の背面側に設けられている。更に、システム本体１の内部には、収容部５に設けられた給気用継手５ａ及び排気用継手５ｂと、開放部Ｏ１〜Ｏ４及びガス容器Ｃ１，Ｃ２とを接続する各種経路が設けられており、これら経路には、圧力計Ｍｐ１〜Ｍｐ５、流量計Ｍｆ１〜Ｍｆ３、弁Ｖ１〜Ｖ１３、ポンプＰ１，Ｐ２、圧力レギュレータＲ１，Ｒ２、及びフィルタＦ１〜Ｆ３等が配置されている。尚、圧力計Ｍｐ１〜Ｍｐ３で計測された圧力値、及び流量計Ｍｆ１〜Ｍｆ３で計測された流量値は、制御部２に入力され、また、制御部２は、それら入力信号等に基づいて、弁Ｖ１〜Ｖ１３、ポンプＰ１，Ｐ２、及び圧力レギュレータＲ１〜Ｒ３の作動制御を実行する。
尚、図７〜図１３では、弁Ｖ１〜Ｖ１３において、閉状態のポートを黒塗り三角で示し、開状態のポートを白抜き三角で示している。
As shown in FIGS. 7 to 13, the system
In FIGS. 7 to 13, in the valves V1 to V13, the closed port is indicated by a black triangle, and the open port is indicated by a white triangle.
例えば、後述する希釈処理においてガス容器Ｃ１，Ｃ２から取り込んだ原料ガスＧ０が通流する原料ガス経路６ｂは、夫々のガス容器Ｃ１，Ｃ２から、夫々の圧力計Ｍｐ４，Ｍｐ５、夫々の圧力レギュレータＲ１，Ｒ２、夫々の流量調整弁Ｖ９，Ｖ１０、三方弁Ｖ８、二方弁Ｖ７、及び流量計Ｍｆ２を経由して、合流部Ｂ１までの経路として設けられている。
点検用ガスＧ１が通流する点検用ガス経路６ｃは、合流部Ｂ１から、三方弁Ｖ４、三方弁Ｖ３、分岐部Ｂ２、及び三方弁Ｖ１を経由して、給気用継手５ａまでの経路として設けられている。
そして、この原料ガス経路６ｂや点検用ガス経路６ｃのように、点検用ガスＧ１又はその原料となる原料ガスＧ０が通流する経路をガス経路と呼ぶ。
For example, the raw
The
Then, a path through which the inspection gas G1 or the raw material gas G0 as a raw material thereof flows, such as the raw
また、後述する希釈処理において原料ガスＧ０を希釈するための大気ＯＡが通流する大気供給経路６ａは、開放部Ｏ３から、フィルタＦ３、ポンプＰ１、三方弁Ｖ１３、三方弁Ｖ１２、二方弁Ｖ１１、及び流量計Ｍｆ３を経由して、合流部Ｂ１までの経路として設けられている。
また、給気用継手５ａを大気開放可能な大気開放経路は、給気用継手５ａから、三方弁Ｖ１、三方弁Ｖ３、流量計Ｍｆ１、及びフィルタＦ２を経由して、開放部Ｏ２までの経路として設けられている。
Further, in the dilution process described later, the
The path for opening the air supply joint 5a to the atmosphere is a route from the air supply joint 5a to the opening portion O2 via the three-way valve V1, the three-way valve V3, the flow meter Mf1, and the filter F2. It is provided as.
上記原料ガス経路６ｂと上記大気供給経路６ａとは、ガス容器Ｃ１，Ｃ２から取り出した原料ガスＧ０を大気ＯＡで希釈して点検用ガスＧ１を生成する希釈処理を実行可能な希釈処理手段６として機能する。
The raw
〔アダプタ〕
次に、アダプタ５０の構成について、図１、図２、及び図３に基づいて説明する。
アダプタ５０は、図１に示すように、システム本体１の正面に設けられた収容部５に対して着脱自在に装着されて、ガス検査機７０の収容部５への収容を可能とするものとして構成されている。即ち、アダプタ５０の外形はその収容部５の内部に正面側から挿入されて内嵌するよう共通の矩形断面を有し、アダプタ５０の正面側の上下には、システム本体１に対してアダプタ５０をネジにて固定するための取付用爪６４が上下方向に突出形成されている。
そして、このアダプタ５０は、収容部５に対して正面側から奥行き方向に挿入し、当該アダプタ５０の取付用爪６４を収容部５の縁部にネジにて固定する形態で、収容部５に装着される。
〔adapter〕
Next, the configuration of the
As shown in FIG. 1, the
Then, the
尚、システム本体１へのアダプタ５０の装着は、ガス検査機７０の点検に先立って行えばよいが、誤装着等を防止するために、使用者側で行うのではなく、納入元（メーカー等）側で行うことが望ましい。即ち、納入元は、点検システム１００の受注時において、予め使用者が使用しているガス検査機７０の仕様を把握し、それに基づいて適切なアダプタ５０を予めシステム本体１へ装着した点検システム１００を使用者に納入する。また、納入元は、メンテナンスやオーバーホール等の時点において、使用者が使用しているアダプタ５０の変更等に基づいてアダプタ５０を変更することができる。
The
アダプタ５０には、正面側の開口からガス検査機７０を挿入して収容する矩形断面凹部であるガス検査機収容部６０が設けられている。このガス検査機収容部６０は、その形状やそれに設けられた各種部位の配置等が、ガス検査機７０の所定の型式に適合したものとして構成されており、複数の型式のガス検査機７０の夫々に適合した複数種のアダプタ５０が用意されている。このことで、共通の収容部５に対してアダプタ５０を介在させる形態で複数種の型式のガス検査機７０を収容することができ、収容部５には、使用者が所有するガス検査機７０の型式に応じたアダプタ５０が選定されて装着されることになる。
尚、このようなアダプタ５０の選定及び装着は、使用者が自ら行っても構わないが、誤った選定や装着等を防止するために、点検処理システム１００の販売者側で行うことが望ましい。
The
The user may select and install the
アダプタ５０は、図３に示すように、上側ケーシング５０ａ及び下側ケーシング５０ｂからなる上下２分割構造で構成されており、上述したガス検査機収容部６０が、上側ケーシング５０ａの下面側の凹部と下側ケーシング５０ｂの上面側の凹部とを組み合わせる形態で形成されている。
このアダプタ５０の上側ケーシング５０ａの下面側や下側ケーシング５０ｂの上面側には、上記ガス検査機収容部６０以外に、詳細については後述するが、排気用チューブ５７やフィルタ５８が設けられる排気案内路５６、給気用チューブ６２が設けられる給気案内路６１、通信部５３や制御部５４等が設けられた基盤５２が収容される基盤収容部５１、及び、通信用通路６３などを形成するための各種凹部が設けられている。
As shown in FIG. 3, the
Exhaust guides provided with an
排気案内路５６は、収容部５へ収容されたガス検査機７０からの排気を排気用継手５ｂに案内する通路として、ガス検査機収容部６０の左側に隣接して設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この排気案内路５６には、ガス検査機収容部６０に対し側方から開口する開口部５９を有しており、この開口部５９は、ガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の排気部７７に対し、所定の間隔をあけて対向配置されている。更に、排気用継手５ｂのガス吸引流量（即ちシステム本体１側のポンプＰ２（図７〜図１３参照）の吸引流量）が、ガス検査機７０の排気流量（即ちガス検査機７０側の吸引ポンプ７５の吸引流量）よりも多く設定されている。これにより、ガス検査機７０の排気部７７から排出された排気を確実に開口部５９から排気案内路５６に吸引することができる。更に、この開口部５９には、ガス検査機７０からの排気に加えて、ガス検査機収容部６０の周辺空気が取り込まれることになる。即ち、ガス検査機７０からの排気を周辺空気で希釈して開口部５９から排気案内路５６に吸引することができ、その希釈された排気をシステム本体１側から外部に安全な状態で外部に排出することができる。
The
排気案内路５６において、開口部５９に面する空間にはフィルタ５８が設けられており、その奥側には排気用チューブ５７が内嵌されている。この排気用チューブ５７の奥側端部が、収容部５の内部奥面側に設けられた排気用継手５ｂに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、排気用継手５ｂに対する排気用チューブ５７の接続を簡単に行うことができる。
In the
給気案内路６１は、給気用継手５ａに供給された点検用ガスをガス検査機７０のガス導入部７２に案内する通路として、ガス検査機収容部６０の奥側に設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この給気案内路６１には、給気用チューブ６２が内嵌されている。この給気用チューブ６２の手前側端部が、ガス検査機収容部６０に収容されるガス検査機７０の吸引ノズル７３に嵌合接続され、その接続方向が、ガス検査機収容部６０へのガス検査機７０の挿入方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、ガス検査機収容部６０へのガス検査機７０の挿入時において、給気用チューブ６２に対する吸引ノズル７３の接続を簡単に行うことができる。
The air
更に、この給気用チューブ６２の奥側端部が、収容部５の内部奥面側に設けられた給気用継手５ａに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、給気用継手５ａに対する給気用チューブ６２の接続を簡単に行うことができる。
Further, the back end portion of the
基盤収容部５１は、排気案内路５６の左側に隣接して設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この基盤収容部５１には、板状の基盤５２が板面を左右方向に対して垂直となる姿勢で収容されている。そして、この基盤５２の奥側端部に設けられたコネクタ５５が、収容部５の内部奥面側に設けられたコネクタ５ｃに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、システム本体１側のコネクタ５ｃに対するアダプタ５０側のコネクタ５５の接続を簡単に行うことができる。
The
更に、この基盤５２には、ＣＰＵ等からなる制御部５４が配置されており、更にガス検査機収容部６０側の面には、当該ガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の通信部７９との間で赤外線通信を行うための通信部５３が配置されている。
そして、アダプタ５０には、これら通信部７９，５３間で送受信される通信用赤外線を通過させるための通信用通路６３が左右方向に延出する姿勢でアダプタ５０に形成されている。このことで、ガス検査機７０をアダプタ５０のガス検査機収容部６０に収容する際に、完全に収容された時点でこれら通信部７９，５３間の赤外線通信が可能となる。そこで、このような赤外線通信が可能となった状態を検出することで、ガス検査機７０の収容完了を判定することができる。
尚、アダプタ５０において、通信部５３を設ける基盤５２については、多種のアダプタに採用可能なように、複数種の通信部５３のパターンを準備しておき、製造時にどの通信部を実装するかを決定することで、当該基盤５２の共通化が図られている。
Further, a
The
In the
［点検処理方法］
次に、上述した点検処理システム１００で実行される点検処理方法について、図４〜図１３を参照して、説明する。
先ず、作業者は、点検対象となるガス検査機７０を作動させた状態で、収容部５に装着されたアダプタ５０のガス検査機収容部６０に挿入する。すると、前述したように、ガス検査機７０側の吸引ノズル７３がアダプタ５０側の給気用チューブ６２に接続されると共に、ガス検査機７０側の通信部７９とアダプタ５０側の通信部５３との間の赤外線通信が可能な状態となる。そして、システム本体１側の制御部２は、その赤外線通信が可能となった状態を、ガス検査機７０の収容完了として判定する。
[Inspection processing method]
Next, the inspection processing method executed by the
First, the operator inserts the
そして、制御部２は、ガス検査機７０が収容部５に収容された状態で、ディスプレイ３に初期画面（図６（ａ）参照）を表示し、その初期画面上の「バンプテスト」ボタンが使用者によって操作された際に、点検処理方法の実行を開始する。
そして、点検処理方法では、図４に示すように、整合性確認処理（＃Ｓ１）及び所定のグルーピング処理（＃Ｓ２）を順に実行して、点検対象のガス検査機７０を決定（＃Ｓ３）した上で、当該決定したガス検査機７０に対して点検処理（＃Ｓ４）を実行する。また、この点検処理（＃Ｓ４）の実行後には、クリーニング処理（＃Ｓ６）を実行する。また、４つの収容部５に対してガス検査機７０が複数収容されている場合には、そのガス検査機の複数を点検対象として、当該点検対象とした複数のガス検査機７０に対して、直列的に点検処理（＃Ｓ４）を順次実行する。尚、本実施形態では、点検処理方法を構成する各種処理は直列的に順次実行するものとするが、それの処理順序を変更したり、複数の処理の少なくとも一部を重複させたり、別の処理を間に介在させるなどのように、適宜可能な範囲内で実行手順を変更しても構わない。
以下、これら点検処理方法を構成する各処理の詳細について順に説明を加える。
Then, the
Then, in the inspection processing method, as shown in FIG. 4, the consistency confirmation processing (# S1) and the predetermined grouping processing (# S2) are sequentially executed to determine the
Hereinafter, details of each process constituting these inspection process methods will be described in order.
〔整合性確認処理〕
図４に示す整合性確認処理（＃Ｓ１）では、点検処理（＃Ｓ４）の実行前に、アダプタ識別情報取得手段２ｂで取得したアダプタ識別情報とガス検査機識別情報取得手段２ｃで取得したガス検査機識別情報との整合性を確認する。
即ち、この整合性確認処理（＃Ｓ１）では、アダプタ５０の装着時に予め記憶部４に記憶した各収容部５のアダプタ識別情報を参照し、収容部５に収容されたガス検査機７０のガス検査機識別情報が、同じ収容部５に関連付けられたアダプタ識別情報に適合するか否かを比較する形態で、点検対象となるガス検査機７０に対して適合したアダプタ５０が使用されているか否かを確認する。そして、適合していない場合には、点検処理（＃Ｓ４）を停止して使用者にその旨を通知し、逆に、適合している場合には、次のグルーピング処理（＃Ｓ２）に進む。
そして、このような整合性確認処理（＃Ｓ１）を実行することで、例えばアダプタ５０に対しそれに適合しないガス検査機７０がセットされた状態で後の点検処理（＃Ｓ４）が実行されることが防止される。よって、このようなガス検査機７０とアダプタ５０との組み合わせが不適合であることに起因する点検用ガスの漏洩や誤った点検結果を得るという問題が回避される。
[Consistency check processing]
In the consistency confirmation process (# S1) shown in FIG. 4, the adapter identification information acquired by the adapter identification information acquisition means 2b and the gas acquired by the gas inspection machine identification information acquisition means 2c before the inspection process (# S4) is executed. Check the consistency with the inspection machine identification information.
That is, in this consistency confirmation process (# S1), the adapter identification information of each
Then, by executing such a consistency confirmation process (# S1), for example, a subsequent inspection process (# S4) is executed with a
〔グルーピング処理〕
図４に示すグルーピング処理（＃Ｓ２）では、４つの収容部５に収容されたガス検査機７０の複数を点検対象として、当該点検対象とした複数のガス検査機７０の夫々に対して、当該ガス検査機７０に供給する点検用ガスに応じてグループ分けを行う。更に、このグルーピング処理（＃Ｓ２）では、点検用ガスに関する種々の情報をグループ分けの指標とすることができるが、本実施形態では、ガス検査機７０に供給する点検用ガスの組成や濃度をグループ分けの指標としている。
[Grouping process]
In the grouping process (# S2) shown in FIG. 4, a plurality of
このようなグルーピング処理（＃Ｓ２）を実行し、後の点検処理（＃Ｓ４）の実行後に、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在するか否かを確認する（＃Ｓ５）。そして、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在する場合には、そのガス検査機７０に対する点検処理（＃Ｓ４）を優先して実行し、一方、存在しない場合には、後述するクリーニング処理（＃Ｓ６）を実行した上で、別のグループに属する点検対象のガス検査機７０が存在するか否かを確認し（＃Ｓ７）、その別のグループに属するガス検査機７０に対する点検処理（＃Ｓ４）に移行する。
そして、このようにグルーピング処理（＃Ｓ２）を実行して、当該グループ毎に順次点検処理（＃Ｓ４）を実行することで、点検対象の切り替えに伴う点検用ガスの組成や濃度の変更が簡素化されている。
Such a grouping process (# S2) is executed, and after the subsequent inspection process (# S4) is executed, it is confirmed whether or not the next
Then, by executing the grouping process (# S2) in this way and sequentially executing the inspection process (# S4) for each group, it is easy to change the composition and concentration of the inspection gas when the inspection target is switched. Has been transformed.
〔点検処理〕
図４に示す点検処理（＃Ｓ４）の詳細な処理フローを図５に示す。図５に示すように、この点検処理では、点検対象のガス検査機７０に対して、作業者確認処理（＃Ｓ１０）、初期確認処理（＃Ｓ１２）、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）、及びガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を順に実行する。また、ガス警報確認処理の実行前、具体的には初期確認処理（＃Ｓ１２）〜吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行に並行して、濃度安定化処理（＃Ｓ１１）を実行する。
以下、これら点検処理を構成する各種処理の詳細について説明を加える。
[Inspection process]
The detailed processing flow of the inspection processing (# S4) shown in FIG. 4 is shown in FIG. As shown in FIG. 5, in this inspection process, the operator confirmation process (# S10), the initial confirmation process (# S12), the blockage alarm confirmation process (# S13), and suction are applied to the
Hereinafter, details of various processes constituting these inspection processes will be described.
（作業者確認処理）
作業者確認処理（＃Ｓ１０）では、ディスプレイ３に作業者確認画面（図６（ｂ）参照）を表示する。この作業者確認画面には、作業者が目視等で確認すべき点検項目が表示されており、作業者は、この表示に沿ってガス検査機７０の目視等による点検を行い、問題がない場合には、同画面に表示されている「確認完了」ボタンを操作する。その「確認完了」ボタンが操作されると、この作業者確認処理（＃Ｓ１０）を終了し、ディスプレイ３の作業者確認画面（図６（ｂ）参照）をバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）に遷移させると共に、次の初期確認処理（＃Ｓ１２）の実行を開始する。
(Worker confirmation process)
In the worker confirmation process (# S10), the worker confirmation screen (see FIG. 6B) is displayed on the display 3. On this worker confirmation screen, inspection items that the worker should visually check are displayed, and the worker visually inspects the
（初期確認処理）
初期確認処理（＃Ｓ１２）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図７に示す。この初期確認処理（＃Ｓ１２）では、オートゼロ設定と電池残量確認を行う。
オートゼロ設定では、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを、開放部Ｏ１に開放させるよう、三方弁Ｖ１の切替状態を設定する。すると、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から開放部Ｏ１を介して大気ＯＡを吸引し、当該吸引した大気ＯＡをセンサ部７６に供給する状態となる。この状態で、ガス検査機７０側の制御部７８に対してゼロ設定指示を送信し、それを受信したガス検査機７０側の制御部７８は、センサ部７６の出力をゼロに設定する。一方、電池残量確認では、ガス検査機７０側の電池残量を、同ガス検査機７０の制御部７８から受信する。
そして、オートゼロ設定と電池残量確認とが完了すると、上記ゼロ設定を行った旨と電池残量とをディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この初期確認処理（＃Ｓ１２）を終了する。
(Initial confirmation process)
FIG. 7 shows the operating state and gas flow state of various auxiliary machines in the initial confirmation process (# S12). In this initial confirmation process (# S12), auto-zero setting and battery level confirmation are performed.
In the auto zero setting, the switching state of the three-way valve V1 is set so that the air supply joint 5a to which the
Then, when the auto-zero setting and the battery remaining amount confirmation are completed, the fact that the above zero setting has been made and the battery remaining amount are displayed on the bump test screen (see FIG. 6C) displayed on the display 3, and then. This initial confirmation process (# S12) is terminated.
（閉塞警報確認処理）
閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図８に示す。この閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）では、ガス検査機７０においてガス導入部７２の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能の異常の有無を確認する。
即ち、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に給気用継手５ａが接続された状態で、給気用継手５ａからのガスの流出を遮断するように、給気用継手５ａに通じる三方弁Ｖ１，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定する。すると、ガス検査機７０のガス導入部７２の状態は擬似的な閉塞状態となり、その際のガス検査機７０の閉塞警報機能による閉塞警報の出力の有無をガス検査機７０側の制御部７８との通信により確認する。
(Blockage alarm confirmation process)
FIG. 8 shows the operating state and gas flow state of various auxiliary machines in the blockage alarm confirmation process (# S13). In this blockage alarm confirmation process (# S13), the
That is, in the blockage alarm confirmation process (# S13), the outflow of gas from the air supply joint 5a is blocked while the air supply joint 5a is connected to the
そして、給気用継手５ａからのガス流出の遮断に伴って閉塞警報が出力された場合には、ガス検査機７０の閉塞警報機能が正常に作動していると判断する。一方、給気用継手５ａからのガス流出の遮断に伴って閉塞警報が出力されなかった場合には、ガス検査機７０の閉塞警報機能が正常に作動していないと判断する。また、このように閉塞警報機能に異常があるガス検査機７０については、ガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常を有する以前に、そもそも吸引流量が略ゼロになる閉塞異常を有する可能性もあると判断できる。
そして、ガス検査機７０の閉塞警報機能の異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）を終了する。
Then, when a blockage alarm is output as the gas outflow from the air supply joint 5a is shut off, it is determined that the blockage alarm function of the
Then, after displaying the presence or absence of abnormality in the blockage alarm function of the
また、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）を終了するにあたり、閉塞警報機能に異常を有さないガス検査機７０に対してのみ、次の吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）を実行する。一方、閉塞警報機能に異常を有すると判断した場合には、そのガス検査機７０に対するガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を含む以降の処理の無駄な実施を回避するべく、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了することで、当該点検処理の合理化を図る。
Further, when the blockage alarm confirmation process (# S13) is completed, the next suction flow rate confirmation process (# S14) is executed only for the
（吸引流量確認処理）
吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図９に示す。この吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）では、ガス検査機７０のガス導入部７２からのガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常の有無を確認する。
即ち、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に給気用継手５ａを接続した状態で、三方弁Ｖ１、及び三方弁Ｖ３の切替状態を設定して、開放部Ｏ２に通じる大気開放経路を介して当該給気用継手５ａを大気開放させる。すると、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から当該大気開放経路を通じて大気ＯＡを吸引することになるので、この大気開放経路に設けられた流量計Ｍｆ１（開放流量計測部の一例）で計測されたガス流量を、ガス検査機７０のガス吸引量として取得して、ガス検査機７０において適正なガス吸引流量を確保できない吸引流量異常の有無を把握する。
そして、ガス検査機７０の吸引流量異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）を終了する。
(Suction flow rate confirmation process)
FIG. 9 shows the operating state and the gas flow state of various auxiliary machines in the suction flow rate confirmation process (# S14). In this suction flow rate confirmation process (# S14), it is confirmed whether or not there is a suction flow rate abnormality in which the gas suction flow rate from the
That is, in the suction flow rate confirmation process (# S14), the switching state of the three-way valve V1 and the three-way valve V3 is set and opened with the air supply joint 5a connected to the
Then, after displaying the presence or absence of the suction flow rate abnormality of the
また、この吸引流量異常確認処理（＃Ｓ１４）を終了するにあたり、吸引流量異常を有さないガス検査機７０に対してのみ、次のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を実行する。一方、吸引流量異常を有すると判断した場合には、そのガス検査機７０に対するガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を含む以降の処理の無駄な実施を回避するべく、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了することで、当該点検処理の合理化を図る。
Further, when the suction flow rate abnormality confirmation process (# S14) is completed, the next gas alarm confirmation process (# S15) is executed only for the
（濃度安定化処理）
濃度安定化処理（＃Ｓ１１）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図８〜１０に示す。この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）は、後のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行当初から流量や濃度が安定した点検用ガスＧ１をガス検査機７０のガス導入部７２に供給して正確な点検結果を得るために、当該警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行前の閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）又は吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行時に実行する処理であり、具体的には初期確認処理（＃Ｓ１２）〜吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行に並行して実行し（図８，９参照）、更には、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行後においても、点検用ガスＧ１の流量及び濃度が安定するまでは、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態で実行する（図１０参照）。
(Concentration stabilization treatment)
The operating state and gas flow state of various auxiliary machines in the concentration stabilization process (# S11) are shown in FIGS. 8 to 10. This concentration stabilization process (# S11) is accurate by supplying the inspection gas G1 whose flow rate and concentration are stable from the beginning of the subsequent gas alarm confirmation process (# S15) to the
即ち、濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、前述した希釈処理手段６による希釈処理で生成された点検用ガスＧ１を外部に排気して、点検用ガスＧ１の濃度を安定化させる。
具体的には、二方弁Ｖ７及び流量調整弁Ｖ１０を開弁すると共に三方弁Ｖ８の切替状態を設定することで、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０（本実施形態ではガス容器Ｃ１に貯留された原料ガスＧ０を利用するものとするが、別のガス容器Ｃ２のものを利用しても構わない。）を、圧力レギュレータＲ２で圧力を安定化させた上で流量計Ｍｆ２に通流させて、合流部Ｂ１に供給する。同時に、ポンプＰ１を作動させ、二方弁Ｖ１１を開弁させると共に三方弁Ｖ１２，Ｖ１３の切替状態を設定することで、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、フィルタＦ３及び流量計Ｍｆ３に通流させて合流部Ｂ１に供給する。このことで、合流部Ｂ１では、流量計Ｍｆ２が設けられた原料ガス経路６ｂに通流された原料ガスＧ０が、流量計Ｍｆ３が設けられた大気供給経路６ａに通流された大気ＯＡにより希釈される所謂希釈処理が実行されて、点検用ガスＧ１が生成される。
That is, in the concentration stabilization treatment (# S11), the inspection gas G1 generated by the dilution treatment by the dilution treatment means 6 described above is exhausted to the outside to stabilize the concentration of the inspection gas G1.
Specifically, by opening the two-way valve V7 and the flow rate adjusting valve V10 and setting the switching state of the three-way valve V8, the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 (in this embodiment, stored in the gas container C1). The raw material gas G0 is used, but another gas container C2 may be used), and the pressure is stabilized by the pressure regulator R2 and then passed through the flow meter Mf2. And supplies it to the confluence B1. At the same time, by operating the pump P1 to open the two-way valve V11 and setting the switching state of the three-way valves V12 and V13, the atmospheric OA taken in from the open portion O3 is passed through the filter F3 and the flow meter Mf3. And supply it to the merging portion B1. As a result, in the confluence portion B1, the raw material gas G0 passed through the raw
また、合流部Ｂ１に供給される原料ガスＧ０の流量は流量調整弁Ｖ１０の開度調整により制御されており、一方、合流部Ｂ１に供給される大気ＯＡの流量はポンプＰ１の出力調整により制御されている。そして、これら制御により、点検用ガスＧ１の流量及び濃度が所望の流量及び濃度に調整される。
そして、このような希釈処理において、ガス容器Ｃ１，Ｃ２の容量をできるだけ小さいもので済むように、原料ガスＧ０の希釈割合に応じて設定される原料ガスＧ０の設定流量は、同希釈割合に応じて設定される大気ＯＡの設定流量よりも小さいものとされている。
そして、この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、三方弁Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定することで、合流部Ｂ１で生成された点検用ガスＧ１は、三方弁Ｖ４，Ｖ５を介して開放部Ｏ４に供給され、当該開放部Ｏ４から外部に排気される。即ち、点検用ガスＧ１の供給先は、ガス検査機７０側の給気用継手５ａから外部の開放部Ｏ４に切り替えて当該点検用ガスＧ１を排気可能に構成されている。
Further, the flow rate of the raw material gas G0 supplied to the merging portion B1 is controlled by adjusting the opening degree of the flow rate adjusting valve V10, while the flow rate of the atmospheric OA supplied to the merging portion B1 is controlled by adjusting the output of the pump P1. Has been done. Then, by these controls, the flow rate and concentration of the inspection gas G1 are adjusted to a desired flow rate and concentration.
Then, in such a dilution process, the set flow rate of the raw material gas G0 set according to the dilution ratio of the raw material gas G0 corresponds to the dilution ratio so that the capacities of the gas containers C1 and C2 can be as small as possible. It is said that it is smaller than the set flow rate of the atmospheric OA set.
Then, in this concentration stabilization process (# S11), by setting the switching state of the three-way valves V4 and V5, the inspection gas G1 generated at the merging portion B1 is opened via the three-way valves V4 and V5. It is supplied to O4 and exhausted to the outside from the open portion O4. That is, the supply destination of the inspection gas G1 is configured so that the inspection gas G1 can be exhausted by switching from the air supply joint 5a on the
この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、ポンプＰ２を作動させながら、二方弁Ｖ２及びＶ６を開弁することで、アダプタ５０の開口部５９から取り込んだ周辺空気を排気ＥＡとして開放部Ｏ４から外部に排出する状態とされる。即ち、開放部Ｏ４を介して外部に排気される点検用ガスＧ１は、アダプタ５０の開口部５９から取り込んだ周辺空気により希釈されたものとなり、点検用ガスＧ１を高濃度のまま外部に排気することが回避されている。
In this concentration stabilization process (# S11), by opening the two-way valves V2 and V6 while operating the pump P2, the ambient air taken in from the
更に、前述した希釈処理の実行開始時、即ちこの濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の実行開始時において、一時的に、流量調整弁Ｖ１０の開度が増加されて、原料ガスＧ０の流量を、同原料ガスＧ０の希釈割合に応じた設定流量よりも多く設定する。このことで、合流部Ｂ１で生成される点検用ガスＧ１の濃度が早期に上昇して適切な濃度に到達することになり、結果、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態での濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の実行時間をできるだけ短いものとすることができる。 Further, at the start of execution of the above-mentioned dilution treatment, that is, at the start of execution of this concentration stabilization treatment (# S11), the opening degree of the flow rate adjusting valve V10 is temporarily increased to increase the flow rate of the raw material gas G0. Set more than the set flow rate according to the dilution ratio of the raw material gas G0. As a result, the concentration of the inspection gas G1 generated at the confluence B1 rises early and reaches an appropriate concentration, and as a result, the alarm confirmation process (# S15) is waiting to be started. The execution time of the concentration stabilization process (# S11) can be made as short as possible.
更に、図９に示すように、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態での濃度安定化処理（＃Ｓ１１）を実行する間は、前述した初期確認処理（＃Ｓ１２）と同様に、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを開放部Ｏ１に開放させることで、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から開放部Ｏ１を介して大気ＯＡを吸引するようにする。
Further, as shown in FIG. 9, while the concentration stabilization process (# S11) is executed while waiting for the start of execution of the alarm confirmation process (# S15), the same as the initial confirmation process (# S12) described above. By opening the air supply joint 5a to which the
（ガス警報確認処理（希釈処理））
希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図１１に示す。このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に対して、ガス供給部である分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して希釈処理により生成された点検用ガスＧ１を供給して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
尚、このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、希釈処理により乾燥処理が施されていない大気ＯＡで希釈された点検用ガスＧ１がガス検査機７０に供給されるため、ガス検査機７０のセンサ部７６は、過剰に乾燥することなく、適度に湿気を含んだ通常の大気ＯＡと同程度の状態に維持されて、通常使用時と同条件下で作動することになる。
(Gas alarm confirmation process (dilution process))
FIG. 11 shows the operating state and the gas flow state of various auxiliary machines in the gas alarm confirmation process (# S15) when the dilution process is performed. In this gas alarm confirmation process (# S15), the inspection gas generated by the
In this gas alarm confirmation process (# S15), the inspection gas G1 diluted in the atmospheric OA that has not been dried by the dilution process is supplied to the
即ち、図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、図１０の濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の状態から、三方弁Ｖ１，Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定することで、三方弁Ｖ４に供給された点検用ガスＧ１を、ガス供給部としての分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して、ガス検査機７０のガス導入部７２に供給し、ガス検査機７０に当該点検用ガスＧ１を吸引させる。すると、ガス検査機７０は特定成分を含む点検用ガスＧ１がガス導入部７２から導入されることになり、その際にガス検査機７０のガス警報機能が正常に作動してガス警報を出力するか否かをガス検査機７０側の制御部７８との通信により確認して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
そして、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この警報確認処理（＃Ｓ１５）を終了する。
That is, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11, the three-way valve V4 is set by setting the switching state of the three-way valves V1, V4, V5 from the state of the concentration stabilization process (# S11) in FIG. The inspection gas G1 supplied to the
Then, after displaying the presence or absence of abnormality in the gas alarm function of the
更に、この図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス吸引流量、即ちガス検査機７０側の吸引ポンプ７５の吸引流量よりも多い点検用ガスＧ１がガス検査機７０のガス導入部７２に通じるガス供給部である分岐部Ｂ２に供給する。すると、ガス検査機７０のガス導入部７２に吸引されなかった点検用ガスＧ１が存在することになるが、その点検用ガスＧ１を、三方弁Ｖ５を介して開放部Ｏ４から外部に排出する。このことで、ガス検査機７０は、不足することなく点検用ガスＧ１を吸引し、更にはその吸引流量をシステム本体１側の点検用ガスＧ１の供給流量に関係なく適正な吸引流量に維持して、通常使用時と同条件下で作動することになる。
Further, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11, the inspection gas G1 that is larger than the gas suction flow rate of the
また、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を終了するにあたり、ガス警報異常を有さないガス検査機７０に対しては、前の閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）及び吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）においても正常であったことから、総合判断として正常である旨を表示した上で（＃Ｓ１６）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了する。一方、ガス警報異常を有すると判断した場合には、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了する。
Further, when the gas alarm confirmation process (# S15) is completed, for the
（ガス警報確認処理（非希釈処理））
上述した図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を大気ＯＡで希釈して点検用ガスＧ１を生成する希釈処理を実行する場合のものであるが、この希釈処理に代えて、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０をそのまま希釈することなく点検用ガスとする非希釈処理を実行する場合のガス警報確認処理を行うことができ、以下に、その詳細について説明を加える。
尚、このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、原料ガスＧ０をそのまま点検用ガスとして利用するため、前述した濃度安定化処理（＃Ｓ１１）は省略されることになる。
(Gas alarm confirmation process (non-dilution process))
The gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11 described above is a case where the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 is diluted with atmospheric OA to generate the inspection gas G1. Instead of this diluting process, a gas alarm confirmation process can be performed when a non-diluted process of using the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 as an inspection gas without diluting it as it is is performed. Add a detailed explanation.
In this gas alarm confirmation process (# S15), since the raw material gas G0 is used as it is as the inspection gas, the above-mentioned concentration stabilization process (# S11) is omitted.
非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図１３に示す。このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に対して、ガス供給部である分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して非希釈処理により点検用ガスとしてガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を供給して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
FIG. 13 shows the operating state and the gas flow state of various auxiliary machines in the gas alarm confirmation process (# S15) when the non-dilution process is performed. In this gas alarm confirmation process (# S15), the
即ち、図１３に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ポンプＰ１の作動を停止すると共に三方弁Ｖ１３を閉弁して開放部Ｏ３から大気ＯＡの取り込みを停止する。同時に、流量調整弁Ｖ１０を開弁すると共に三方弁Ｖ８の切替状態を設定することで、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を、圧力レギュレータＲ２で圧力を安定化させた上で、上述した希釈処理において大気ＯＡが通流する流量計Ｍｆ３側の大気供給経路６ａに通流させて、点検用ガスとして合流部Ｂ１に供給する。すると、その原料ガスＧ０が、ガス検査機７０のガス導入部７２に点検用ガスを供給するガス供給部としての分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａに供給されることになる。
このことで、原料ガスＧ０をそのまま点検用ガスとして利用する場合において、当該原料ガスＧ０の流量が点検用ガスの必要流量に相当する比較的大流量になる場合でも、その原料ガスＧ０を、上記希釈処理において比較的大流量の大気ＯＡが通流する比較的大流量に対応した大気供給経路６ａに通流させ、例えばその原料ガスＧ０の流量を比較的大流量に対応する流量計Ｍｆ３で計測することができる。一方、上記希釈処理において比較的小流量の原料ガスＧ０が通流する流量計Ｍｆ２側の原料ガス供給経路は、小流量のみに対応する比較的簡単且つ小型なものとして構成されており、例えば流量計Ｍｆ２としても比較的小流量に対応するものが利用されている。
That is, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 13, the operation of the pump P1 is stopped and the three-way valve V13 is closed to stop the intake of atmospheric OA from the opening portion O3. At the same time, by opening the flow rate adjusting valve V10 and setting the switching state of the three-way valve V8, the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 is diluted by the pressure regulator R2 after stabilizing the pressure. In the process, the gas is passed through the
As a result, when the raw material gas G0 is used as it is as the inspection gas, even if the flow rate of the raw material gas G0 becomes a relatively large flow rate corresponding to the required flow rate of the inspection gas, the raw material gas G0 can be used as described above. In the dilution process, a relatively large flow rate of the atmospheric OA is passed through the
以上が、図４に示す点検処理方法における点検処理（＃Ｓ４）の詳細な処理フローであり、当該点検処理（＃Ｓ４）の実行後において、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在する場合には（＃Ｓ５）、その同じグループ内で点検対象とするガス検査機７０を変更し、変更後のガス検査機７０に対して点検処理（＃Ｓ４）を実行する。その際、希釈処理で生成した点検用ガスＧ１を利用している場合には、同じグループ内での点検対象の変更時において、生成した点検用ガスＧ１を一時的に三方弁Ｖ４，Ｖ５を介して開放部Ｏ４に供給して排気する形態で、希釈処理を継続する。このことで、点検対象の変更時の濃度安定化処理などが割愛され、当該変更に必要な時間が短縮される。
The above is the detailed processing flow of the inspection process (# S4) in the inspection process method shown in FIG. 4, and after the execution of the inspection process (# S4), the next inspection target
同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０の点検処理に移行する際には、所定の第１クリーニング処理（＃Ｓ８）を実行し、また、同じグループ内のガス検査機７０の点検処理が全て終了した際には、所定の第２クリーニング処理（＃Ｓ９）を実行する。
When shifting to the inspection process of the next
〔クリーニング処理〕
同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０の点検処理に移行する際に実行する第１クリーニング処理（＃Ｓ８）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に大気ＯＡを導入させて当該ガス検査機７０のクリーニング（以下「ガス検査機クリーニング」と呼ぶ。）を行う。
一方、同じグループ内のガス検査機７０の点検処理が全て終了した際に実行する第２クリーニング処理（＃Ｓ６）では、ガス検査機クリーニングに加えて、点検用ガスＧ１又はその原料となる原料ガスＧ０が通流するガス経路に大気ＯＡを通流させて当該ガス経路のクリーニング（以下「ガス経路クリーニング」と呼ぶ。）を行う。
尚、図１２には、ガス経路クリーニングとガス検査機クリーニングとを同時に行う際の各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を示す。
[Cleaning process]
In the first cleaning process (# S8) to be executed when shifting to the inspection process of the next
On the other hand, in the second cleaning process (# S6), which is executed when all the inspection processes of the
Note that FIG. 12 shows the operating state and the gas flow state of various auxiliary machines when the gas path cleaning and the gas inspection machine cleaning are performed at the same time.
（ガス経路クリーニング）
具体的に、ガス経路クリーニングでは、図１１のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の状態から、流量調整弁Ｖ１０を閉弁することで、ガス容器Ｃ１からの原料ガスＧ０の供給を停止すると共に、三方弁Ｖ８，Ｖ１３の切替状態を設定して、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）等で原料ガスＧ０が通流していた流量計Ｍｆ２側の原料ガス経路６ｂに通流させる。このことで、当該原料ガス経路６ｂに残留する原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該原料ガス経路６ｂがクリーニングされることになる。
(Gas path cleaning)
Specifically, in the gas path cleaning, the supply of the raw material gas G0 from the gas container C1 is stopped by closing the flow rate adjusting valve V10 from the state of the gas alarm confirmation process (# S15) in FIG. By setting the switching state of the three-way valves V8 and V13, the raw
更に、原料ガス経路６ｂを通流した後の大気ＯＡは、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）等で点検用ガスＧ１が通流していた合流部Ｂ１から分岐部Ｂ２までの点検用ガス経路６ｃを通流する。このことで、当該点検用ガス経路６ｃに残留する点検用ガスＧ１が大気にＯＡに置換されて、当該点検用ガス経路６ｃがクリーニングされることになる。
そして、このようなガス経路クリーニングを実行することにより、次の点検対象のガス検査機７０に対する点検処理において、ガス経路に残留する点検用ガスＧ１や原料ガスＧ０に起因する誤点検が回避される。
このガス経路クリーニングにおいて、原料ガス経路６ｂ及び点検用ガス経路６ｃを通流後に分岐部Ｂ２に供給された大気ＯＡは、三方弁Ｖ１，Ｖ５の切替状態を設定することで、開放部Ｏ４を介して外部に排気される。
Further, the atmospheric OA after passing through the raw
Then, by executing such gas path cleaning, in the inspection process for the next inspection target
In this gas path cleaning, the atmospheric OA supplied to the branch portion B2 after passing through the raw
尚、図１１に示す非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の後に実行されるガス経路クリーニングでは、当該ガスガス警報確認処理（＃Ｓ１５）で原料ガスＧ０が通流した経路に大気ＯＡを通流させることが望ましい。即ち、三方弁Ｖ１３，Ｖ８，Ｖ１２の切替状態を設定することで、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、三方弁Ｖ１３からガス経路６ｂ側に供給すると共に、その大気ＯＡを三方弁Ｖ８から三方弁１２側に戻して、当該三方弁１２の下流側の大気供給経路６ａに通流させる。このことで、非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）で原料ガスＧ０が通流した経路に残留する原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該経路がクリーニングされることになる。
In the gas path cleaning executed after the gas alarm confirmation process (# S15) in the case of performing the non-dilution treatment shown in FIG. 11, the path through which the raw material gas G0 flows in the gas gas alarm confirmation process (# S15) It is desirable to allow atmospheric OA to pass through. That is, by setting the switching state of the three-way valves V13, V8, and V12, the atmospheric OA taken in from the open portion O3 is supplied from the three-way valve V13 to the
更に、ガス経路クリーニングにおいて、同時に実行されるガス検査機クリーニングが終了すると、三方弁Ｖ１の切り替え状態を設定して、分岐部Ｂ２にある大気ＯＡを、三方弁Ｖ１側に供給する。すると、分岐部Ｂ２から三方弁Ｖ１までの経路に残留する点検ガスＧ１や原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該経路がクリーニングされることになる。 Further, in the gas path cleaning, when the gas inspection machine cleaning executed at the same time is completed, the switching state of the three-way valve V1 is set, and the atmospheric OA in the branch portion B2 is supplied to the three-way valve V1 side. Then, the inspection gas G1 and the raw material gas G0 remaining in the path from the branch portion B2 to the three-way valve V1 are replaced with the atmospheric OA, and the path is cleaned.
（ガス検査機クリーニング）
一方、ガス検査機クリーニングでは、前述した初期確認処理（＃Ｓ１２）と同様に、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを開放部Ｏ１に開放させることで、ガス検査機７０のガス導入部７２には、開放部Ｏ１から取り込んだ大気ＯＡ、即ち上記ガス経路を通流したものとは別の新鮮な大気ＯＡが導入される。そして、その大気ＯＡがガス導入部７２を介してガス検査機７０に導入され、センサ部７６を通流する。このことで、ガス検査機７０側のガス導入部７２やセンサ部７６に残留する点検用ガスＧ１が大気ＯＡに置換されて、当該ガス検査機７０がクリーニングされることになる。
尚、このガス検査機クリーニングは、ガス検査機７０のセンサ部７６の出力信号から導入ガス中の特定成分濃度が略ゼロになったと判断したときに終了する。
(Gas inspection machine cleaning)
On the other hand, in the gas inspection machine cleaning, as in the initial confirmation process (# S12) described above, the gas is opened to the opening portion O1 by opening the air supply joint 5a to which the
The cleaning of the gas inspection machine ends when it is determined from the output signal of the
そして、このようなガス検査機クリーニングを実行することにより、かかる点検処理直後のガス検査機７０の使用にあたり、ガス導入部７２等に残留する点検用ガスＧ１に起因する誤検知が回避される。
尚、このガス検査機クリーニングにおいて、ガス検査機７０の排気部７７から排出された排気ＥＡは、開口部５９から周辺空気と共に取り込まれ、排気用継手５ｂを介して開放部Ｏ４から外部に排出される。このことで、この排気ＥＡが収容部５側の前面から放出されることが防止されている。更に、この開口部５９から吸引した排気ＥＡは、ガス経路クリーニングで原料ガス経路６ｂ及び点検用ガス経路６ｃを通流後の大気ＯＡとまとめて排出される。このことで、ガス検査機クリーニング及びガス経路クリーニングのための排気経路が簡素化されている。
尚、これら排気ＥＡと大気ＯＡとは別々に外部に排出しても構わない。
Then, by executing such cleaning of the gas inspection machine, when the
In this gas inspection machine cleaning, the exhaust EA discharged from the
It should be noted that these exhaust EA and atmospheric OA may be discharged to the outside separately.
尚、本実施形態では、ガス経路クリーニング及びガス検査機クリーニングを各別の大気ＯＡで行うように構成したが、例えばガス経路を通流した大気をガス検査機７０に導入するなどして、夫々のクリーニングを同じ大気で行うように構成しても構わない。
In the present embodiment, the gas path cleaning and the gas inspection machine cleaning are configured to be performed in different atmospheric OA, but for example, the atmosphere passing through the gas path is introduced into the
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、点検処理（＃Ｓ４）及びその前後において、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）及びクリーニング処理（＃Ｓ６）の他に、種々の処理を実行するように構成したが、これら他の処理については、適宜省略又は改変しても構わない。
また、これらガス警報確認処理（＃Ｓ１５）及びクリーニング処理（＃Ｓ６）の詳細についても、上記実施形態の構成が本発明の権利範囲を実質的に何ら限定するものではなく、適宜改変しても構わない。
[Another Embodiment]
(1) In the above embodiment, in addition to the gas alarm confirmation process (# S15) and the cleaning process (# S6), various processes are executed before and after the inspection process (# S4). These other processes may be omitted or modified as appropriate.
Further, regarding the details of the gas alarm confirmation process (# S15) and the cleaning process (# S6), the configuration of the above-described embodiment does not substantially limit the scope of rights of the present invention, and may be appropriately modified. I do not care.
（２）上記実施形態では、収容部５に着脱自在に装着されるアダプタ５０を介在させて、ガス検査機７０を収容部５に収容するように構成したが、アダプタ５０を省略し、収容部５をガス検査機７０の型式に適応したものとすることで、ガス検査機７０を直接収容部５に収容するように構成しても構わない。
(2) In the above embodiment, the
２ａ 点検処理手段
２ｂ アダプタ識別情報取得手段
２ｃ ガス検査機識別情報取得手段
５ 収容部
５ａ 給気用継手（ガス供給部）
５ｂ 排気用継手（排気吸引部）
６ 希釈処理手段
５０ アダプタ
５３ 通信部
５６ 排気案内路
５９ 開口部
６０ ガス検査機収容部
６１ 給気案内路
７０ ガス検査機
７２ ガス導入部
７７ 排気部
７９ 通信部
１００ 点検処理システム
Ｂ２ 分岐部（ガス供給部）
Ｃ１，Ｃ２ ガス容器
Ｍｆ１ 流量計（開放流量計測部）
2a Inspection processing means 2b Adapter identification information acquisition means 2c Gas inspection machine identification information acquisition means 5
5b Exhaust fitting (exhaust suction part)
6 Dilution processing means 50
C1, C2 gas container Mf1 flow meter (open flow rate measuring unit)
Claims (2)
当該点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記点検対象のガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムであって、
前記点検用ガス又は当該点検用ガスの原料となる原料ガスが通流するガス経路に大気を通流可能、且つ、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を介して大気を導入可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記点検処理の終了時に、前記ガス経路に大気を通流させるガス経路クリーニングと、前記ガス検査機のガス導入部に大気を導入させるガス検査機クリーニングとをクリーニング処理として実行可能に構成され、
前記点検用ガス又は当該点検用ガスの原料となる原料ガスが通流するガス経路に大気を通流させて当該通流後の大気を外部へ排気可能、且つ、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を介して前記ガス経路を通流した大気とは別の大気を導入可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記クリーニング処理において、前記ガス検査機クリーニングと前記ガス経路クリーニングとの夫々を各別の大気にて行うガス検査機の点検処理システム。 It is equipped with an inspection processing means for executing an inspection process for inspecting the state of a gas inspection machine having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas introduced from the gas introduction unit.
As the inspection process, the inspection processing means supplies inspection gas to the gas introduction unit of the gas inspection machine via the gas supply unit, and checks whether or not there is an abnormality in the gas alarm function of the gas inspection machine to be inspected. It is an inspection processing system of a gas inspection machine that executes the gas alarm confirmation processing to be confirmed.
The atmosphere can be passed through the gas path through which the inspection gas or the raw material gas that is the raw material of the inspection gas passes, and the atmosphere can be introduced into the gas introduction section of the gas inspection machine via the gas supply section. Consists of
The inspection processing means, wherein when the inspection process is completed, the gas path cleaning Ru flowed through the atmosphere gas path, the gas inspector cleaning a gas inspection machine cleaning Ru is introduced air into the gas inlet portion of the can execute is configured as,
The gas introduction unit of the gas inspection machine can allow the atmosphere to pass through the gas path through which the inspection gas or the raw material gas that is the raw material of the inspection gas passes, and the air after the passage can be exhausted to the outside. It is configured so that an atmosphere different from the atmosphere that has passed through the gas path can be introduced through the gas supply unit.
An inspection processing system for a gas inspection machine in which the inspection processing means performs cleaning of the gas inspection machine and cleaning of the gas path in different atmospheres in the cleaning processing.
当該点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記点検対象のガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行するガス検査機の点検処理システムであって、
前記点検用ガス又は当該点検用ガスの原料となる原料ガスが通流するガス経路に大気を通流可能、且つ、前記ガス検査機のガス導入部に前記ガス供給部を介して大気を導入可能に構成され、
前記点検処理手段が、前記点検処理の終了時に、前記ガス経路に大気を通流させるガス経路クリーニングと、前記ガス検査機のガス導入部に大気を導入させるガス検査機クリーニングとをクリーニング処理として実行可能に構成され、
前記ガス検査機を収容する収容部を備えると共に、前記収容部に、前記ガス検査機から排出された排気を吸引して外部に排出する排気吸引部を備え、
前記点検処理手段が、前記クリーニング処理において、前記排気吸引部で吸引した排気と前記ガス経路からの排気とをまとめて外部に排出する点検処理システム。 It is equipped with an inspection processing means for executing an inspection process for inspecting the state of a gas inspection machine having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas introduced from the gas introduction unit.
As the inspection process, the inspection processing means supplies inspection gas to the gas introduction unit of the gas inspection machine via the gas supply unit, and checks whether or not there is an abnormality in the gas alarm function of the gas inspection machine to be inspected. It is an inspection processing system of a gas inspection machine that executes the gas alarm confirmation processing to be confirmed.
The atmosphere can be passed through the gas path through which the inspection gas or the raw material gas that is the raw material of the inspection gas passes, and the atmosphere can be introduced into the gas introduction section of the gas inspection machine via the gas supply section. Consists of
At the end of the inspection process, the inspection processing means executes gas path cleaning that allows air to flow through the gas path and gas inspection machine cleaning that introduces air into the gas introduction portion of the gas inspection machine as cleaning processing. Possible to be configured
A housing unit for accommodating the gas inspection machine is provided, and the storage unit is provided with an exhaust suction unit for sucking exhaust gas discharged from the gas inspection machine and discharging it to the outside.
The inspection processing means, wherein in the cleaning process, the exhaust and suction exhaust suction unit and the analyzer processing system point you discharged to the outside together with the exhaust from the gas path.
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