JP2017162143A - 移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】効率的な移動経路を作成する。【解決手段】回路基板100を分割する分割処理と、各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、各分割領域の各々に設けられている全てのポイントPを1回ずつ経由する分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、分割領域毎の移動経路を巡回順序で連結する連結処理とを実行して処理対象の全体の移動経路Rを作成する処理部を備え、処理部は、4個の分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に処理対象を分割する第1段階の分割処理を実行すると共に、ポイントPが複数設けられている分割領域をマトリクス状にさらに分割する第2段階以降の分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、予め規定した第1から第4の巡回順序を用いて各分割領域を巡回する巡回順序S0を決定し、分割領域毎の移動経路を巡回順序S0で連結して回路基板100の全体の移動経路Rを作成する。【選択図】図8
Description
本発明は、処理対象に設けられた複数の移動ポイントを経由する移動経路を作成する移動経路作成装置、その移動経路作成装置を備えた基板検査装置、および処理対象に設けられた複数の移動ポイントを経由する移動経路を作成する移動経路作成方法に関するものである。
この種の移動経路作成装置として、下記特許文献1に開示されたレーザドリリング加工装置が知られている。このレーザドリリング加工装置では、CPUが、すべてのドリリング地点のX座標およびY座標に基づいて、工程処理時間が短縮される穴あけの順序(ドリリング地点の移動経路)を特定する。具体的には、CPUは、まず、加工領域を複数のバケットに分割し、次いで、各バケットを廻る順序として、「サーペンタイン順」を採用することを決定する。続いて、各バケット内に規定されている各ドリリング地点の中から、始点および終点とするドリリング地点を決定する。次いで、巡回セールスマン問題の解法(ニアリストネイバー法等)を用いて、各バケットにおける始点と終点との間における各ドリリング点を経由する移動経路を決定する。続いて、バケットの移動経路における終点と、次に巡回するバケットの移動経路における始点とを繋ぐことで、加工領域全体の移動経路を決定する。
ところが、上記したレーザドリリング加工装置には、改善すべき以下の課題がある。すなわち、このレーザドリリング加工装置では、加工領域を複数に分割した各バケット内に規定されているドリリング地点を経由する移動経路を、各バケットを廻る順序としてのサーペンタイン順で繋ぐことで加工領域全体の移動経路を決定している。この場合、各バケットのすべてにドリリング点が規定されているときには、各バケットの各移動経路をサーペンタイン順で繋ぐことで、加工領域全体の効率的な移動経路を決定することができる。しかしながら、ドリリング点が規定されていないバケット(以下、「非規定バケット」ともいう)が存在し、非規定バケットが加工領域の一部分(例えば中央部)に集中しているときには、各バケットの各移動経路をサーペンタイン順で繋ぐことで、加工領域全体の移動経路が非効率的な移動経路となることがある。具体的には、図10に示すように、非規定バケットが加工領域の中央部に集中し、ドリリング点が規定されているバケットが加工領域の端部(同図では、上端部および下端部)に集中しているときには、各移動経路をサーペンタイン順で繋ぐことで、非規定バケット上を通過する無駄な動きが多く含まれることとなり、この結果、加工領域全体の移動経路が非効率的な移動経路となる。このように、このレーザドリリング加工装置には、ドリリング点が規定されていないバケットやドリリング点が規定されている各バケットの集中の仕方、言い換えると、ドリリング点の配置形態によっては、加工領域全体の効率的な移動経路を決定することができないおそれがあり、この点の改善が望まれている。
本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、効率的な移動経路を作成し得る移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載の移動経路作成装置は、複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを1回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する処理部を備えた移動経路作成装置であって、前記処理部は、4個の前記分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第1段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第2段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記4個の分割領域を左上、左下、右下および右上の順に巡回する第1の巡回順序、当該4個の分割領域を左上、右上、右下および左下の順に巡回する第2の巡回順序、当該4個の分割領域を右下、左下、左上および右上の順に巡回する第3の巡回順序、並びに当該4個の分割領域を右下、右上、左上および左下の順に巡回する第4の巡回順序が規定されると共に、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第1の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第2の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第3の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第4の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用するように規定され、前記処理部は、前記決定処理において、前記第1の巡回順序から前記第4の巡回順序までの各巡回順序の中から第1段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第2段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する。
また、請求項2記載の移動経路作成装置は、複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを1回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する処理部を備えた移動経路作成装置であって、前記処理部は、4個の前記分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第1段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第2段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記4個の分割領域を右上、右下、左下および左上の順に巡回する第Aの巡回順序、当該4個の分割領域を右上、左上、左下および右下の順に巡回する第Bの巡回順序、当該4個の分割領域を左下、右下、右上および左上の順に巡回する第Cの巡回順序、並びに当該4個の分割領域を左下、左上、右上および右下の順に巡回する第Dの巡回順序が規定されると共に、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用するように規定され、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用するように規定され、前記処理部は、前記決定処理において、前記第Aの巡回順序から前記第Dの巡回順序までの各巡回順序の中から第1段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第2段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する。
また、請求項3記載の移動経路作成装置は、請求項1または2記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記予め決められた条件としての、前記分割領域に設けられている前記移動ポイントが1個以下となるとの条件を満たすまで前記第2段階以降の分割処理を繰り返して実行する。
また、請求項4記載の移動経路作成装置は、請求項1または2記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記予め決められた条件としての、予め決められた回数となるとの条件を満たすまで前記第2段階以降の分割処理を繰り返して実行する。
また、請求項5記載の移動経路作成装置は、請求項1から4のいずれかに記載の移動経路作成装置において、前記処理部は、前記分割処理において、前記処理対象における移動ポイントの密度が高い領域ほど前記分割領域の面積が小さくなるように当該処理対象を分割する。
また、請求項6記載の基板検査装置は、請求項1から5のいずれかに記載の移動経路作成装置と、前記処理対象としての基板に設けられた前記移動ポイントにプローブを移動させて当該移動ポイントに対してプロービングを行う移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記処理対象を検査する検査部とを備え、前記制御部は、前記移動経路作成装置によって作成された前記移動経路に沿って前記プローブを移動させる。
また、請求項7記載の移動経路作成方法は、複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを1回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、4個の前記分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第1段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第2段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記4個の分割領域を左上、左下、右下および右上の順に巡回する第1の巡回順序、当該4個の分割領域を左上、右上、右下および左下の順に巡回する第2の巡回順序、当該4個の分割領域を右下、左下、左上および右上の順に巡回する第3の巡回順序、並びに当該4個の分割領域を右下、右上、左上および左下の順に巡回する第4の巡回順序を規定すると共に、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第1の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第2の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第3の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第4の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用するように規定し、前記決定処理において、前記第1の巡回順序から前記第4の巡回順序までの各巡回順序の中から第1段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第2段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する。
また、請求項8記載の移動経路作成方法は、複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを1回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、4個の前記分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第1段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第2段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記4個の分割領域を右上、右下、左下および左上の順に巡回する第Aの巡回順序、当該4個の分割領域を右上、左上、左下および右下の順に巡回する第Bの巡回順序、当該4個の分割領域を左下、右下、右上および左上の順に巡回する第Cの巡回順序、並びに当該4個の分割領域を左下、左上、右上および右下の順に巡回する第Dの巡回順序が規定すると共に、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用するように規定し、直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用するように規定し、前記決定処理において、前記第Aの巡回順序から前記第Dの巡回順序までの各巡回順序の中から第1段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第2段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する。
請求項1記載の移動経路作成装置、請求項6記載の基板検査装置、および請求項7記載の移動経路作成方法によれば、処理対象を4個の分割領域に分割すると共に移動ポイントが複数設けられている処理対象をさらに分割し、予め規定した第1の巡回順序から第4の巡回順序を用いて各処理対象を巡回する巡回順序を決定し、処理対象毎の移動経路を決定した巡回順序で連結して処理対象の全体の移動経路を作成することにより、各処理対象をサーペンタイン順に巡回する従来の構成と比較して、移動ポイントが設けられていない領域を通過する無駄な動きを十分に少なく抑えることができる。このため、この移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法によれば、十分に効率的な移動経路を確実に作成することができる。
また、請求項2記載の移動経路作成装置、請求項6記載の基板検査装置、および請求項8記載の移動経路作成方法では、処理対象を4個の分割領域に分割すると共に移動ポイントが複数設けられている処理対象をさらに分割し、予め規定した第Aの巡回順序から第Dの巡回順序を用いて各処理対象を巡回する巡回順序を決定し、処理対象毎の移動経路を決定した巡回順序で連結して処理対象の全体の移動経路を作成することにより、各処理対象をサーペンタイン順に巡回する従来の構成と比較して、移動ポイントが設けられていない領域を通過する無駄な動きを十分に少なく抑えることができる。このため、この移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法によれば、十分に効率的な移動経路を確実に作成することができる。
また、請求項3記載の移動経路作成装置、および請求項6記載の基板検査装置によれば、処理対象に設けられている移動ポイントが1個以下となるとの条件(予め決められた条件)を満たすまで第2段階以降の分割処理を繰り返して実行することにより、処理対象に複数の移動ポイントが設けられているときに必要となる分割領域毎の移動経路を特定する特定処理を簡略化することができるため、処理対象の全体の移動経路を作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。
また、請求項4記載の移動経路作成装置、および請求項6記載の基板検査装置によれば、予め決められた回数となるとの条件(予め決められた条件)を満たすまで第2段階以降の分割処理を繰り返して実行することにより、分割領域に設けられている移動ポイントが1個以下となるまで第2段階以降の分割処理を繰り返そうとすると、その分割処理の回数が膨大な回数となるような処理対象についての移動経路を作成する際に、分割処理の回数を予め決められた回数に制限することができるため、このような処理対象についての移動経路を作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。
また、請求項5記載の移動経路作成装置、および請求項6記載の基板検査装置によれば、分割処理において、処理対象における移動ポイントの密度が高い領域ほど分割領域の面積が小さくなるように処理対象を分割することにより、このようにして分割領域の面積を調整しつつ分割処理を繰り返すことで、少ない回数の分割処理で各分割領域に設けられる移動ポイントの数の最大数を減少させることができるため、移動経路を作成する処理の処理効率をさらに高めることができる。
以下、移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。
最初に、基板検査装置の一例としての図1に示す基板検査装置1の構成について説明する。基板検査装置1は、同図に示すように、基板保持部2、移動機構3、測定部4、記憶部5および処理部6を備えて、処理対象としての回路基板100を検査可能に構成されている。この場合、回路基板100には、検査の際にプローブ31をプロービングさせるべき移動ポイントとしての複数のプロービングポイント(以下、「ポイントP」ともいう:図3参照)が設けられている。なお、記憶部5および処理部6によって移動経路作成装置が構成される。
基板保持部2は、図1に示すように、載置台2aと、板状の電極2bと、載置台2aに載置された電極2bおよび電極2bの上に載置された回路基板100を載置台2aに固定する固定具2cとを備えて、回路基板100を保持可能に構成されている。
移動機構3は、処理部6の制御に従い、基板保持部2における載置台2aの上面(載置台2aに載置された回路基板100)に平行な平面に沿った方向、および載置台2aの上面に垂直な方向(上下方向)にプローブ31を移動させて、基板保持部2によって保持されている回路基板100の各ポイントPにプローブ31をプロービングさせる。
測定部4は、プローブ31がプロービングさせられている回路基板100のポイントP、および基板保持部2の電極2bの間に測定用信号を供給すると共に、その測定用信号の供給によって生じる信号に基づいてポイントPと基板保持部2の電極2bとの間の静電容量を測定する。
記憶部5は、測定部4によって測定された静電容量の測定値、および処理部6によって実行される検査処理において用いられる基準データDsを記憶する。また、記憶部5は、処理部6によって作成される後述する移動経路R(図8参照)を示す移動経路データDrを記憶する。また、記憶部5は、移動経路Rの作成に用いられる基板データDbを記憶する。この場合、基板データDbには、一例として、ポイントPが設けられている回路基板100の形状を示す情報、および各ポイントPの位置を示す情報が含まれている。
処理部6は、制御部として機能し、移動機構3および測定部4を制御する。また、処理部6は、測定部4と共に検査部として機能し、測定部4によって測定される静電容量の測定値と基準データDsによって示される基準範囲とを比較して、回路基板100の良否を検査する検査処理を実行する。また、処理部6は、回路基板100に設けられている全てのポイントPにプローブ31を1回ずつ経由させて、各ポイントPにプローブ31をプロービングさせる際のプローブ31の移動経路Rを作成する移動経路作成処理50(図2参照)を実行する。
次に、基板検査装置1を用いた移動経路作成方法および検査方法について、図面を参照して説明する。
この基板検査装置1では、プローブ31をプロービングさせるべきポイントPが数多く設けられている回路基板100の検査を行う際の検査効率を向上させるために、プローブ31を効率的に移動させる(無駄な動きが少ない)移動経路Rを作成する機能を備えている。この機能を用いて基板検査装置1に移動経路Rを作成させる際には、図外の操作部を操作して移動経路Rの作成を指示する。これに応じて、処理部6が図2に示す移動経路作成処理50を実行する。
この移動経路作成処理50では、処理部6は、記憶部5から基板データDb読み出し、次いで、基板データDbに基づいて回路基板100の形状を特定する(ステップ51)。続いて、処理部6は、図3に示すように、回路基板100を4個の分割領域T(同図における分割領域Ta1〜Ta4)が上下および左右に2個ずつ並ぶ状態(以下、この状態を「マトリクス状」ともいう)に回路基板100を分割する分割処理(第1段階の分割処理)を実行する(ステップ52)。この場合、処理部6は、分割処理において、一例として、各分割領域Tが同じ大きさで同じ形状(この例では、矩形(長方形または正方形))となるように回路基板100を分割する。
次いで、処理部6は、第1段階の分割処理で分割した分割領域Ta1〜Ta4の中に、ポイントPが複数(2個以上)設けられている分割領域Tが存在するか否かを判別する(ステップ53)。この場合、図3に示すように、複数のポイントPが設けられている分割領域T(同図に示す分割領域Ta1〜Ta4)が存在するときには、処理部6は、その旨を判別し、図4に示すように、それらの各分割領域Tをそれぞれ4個の分割領域T(同図に示す分割領域Tb1〜Tb16)にマトリクス状にさらに分割する分割処理(第2段階の分割処理)を実行する(ステップ52)。
続いて、処理部6は、第2段階の分割処理で分割した分割領域Tb1〜Tb16の中に、ポイントPが複数設けられている分割領域Tが存在するか否かを判別する(ステップ53)。この場合、図4に示すように、複数のポイントPが設けられている分割領域T(同図に示す分割領域Tb1,Tb2,Tb6,Tb7,Tb10,Tb11,Tb15,Tb16)が存在するときには、処理部6は、その旨を判別し、図5に示すように、それらの各分割領域Tをそれぞれ4個の分割領域T(同図に示す分割領域Tc1〜Tc32)にマトリクス状にさらに分割する分割処理(第3段階の分割処理)を実行する(ステップ52)。
次いで、処理部6は、第3段階の分割処理で分割した分割領域Tc1〜Tc32の中に、ポイントPが複数設けられている分割領域Tが存在するか否かを判別する(ステップ53)。この場合、図5に示すように、複数のポイントPが設けられている分割領域T(同図に示す分割領域Tc1,Tc3,Tc5,Tc7,Tc9,Tc11,Tc13,Tc15,Tc17,Tc19,Tc21,Tc23,Tc25,Tc27,Tc29,Tc31)が存在するときには、処理部6は、その旨を判別し、図6に示すように、それらの各分割領域Tをそれぞれ4個の分割領域T(同図に示す分割領域Td1〜Td64)にマトリクス状にさらに分割する分割処理(第4段階の分割処理)を実行する(ステップ52)。
続いて、処理部6は、第4段階の分割処理で分割した分割領域Td1〜Td64の中に、ポイントPが複数設けられている分割領域Tが存在するか否かを判別する(ステップ53)。この場合、図6に示すように、複数のポイントPが設けられている分割領域Tが存在しないときには、処理部6は、分割処理を終了する。上記したように、処理部6は、複数のポイントPが設けられている分割領域Tが存在しなくなるまで、つまり分割領域Tに設けられているポイントPが1個以下となるとの条件(予め決められた条件の一例)を満たすまで第2段階以降の分割処理を繰り返して実行する。
次いで、処理部6は、決定処理を実行する(ステップ54)。この決定処理では、処理部6は、分割処理によって分割した分割領域Tを巡回する巡回順序を決定する。ここで、この基板検査装置1では、分割領域Tを巡回する巡回順序を決定する際に、次に説明するアルゴリズム(以下「フラクタルソートアルゴリズム」ともいう)を用いる。
このフラクタルソートアルゴリズムでは、マトリクス状に分割した4個の分割領域Tの巡回順序として4種類の巡回順序を規定する。具体的には、図7の(7a)図に示すように、各分割領域Tを左上、左下、右下および右上の順に巡回する巡回順序を第1の巡回順序S1として規定する。また、図7の(7b)図に示すように、4個の分割領域Tを左上、右上、右下および左下の順に巡回する巡回順序を第2の巡回順序S2として規定する。また、図7の(7c)図に示すように、4個の分割領域Tを右下、左下、左上および右上の順に巡回する巡回順序を第3の巡回順序S3として規定する。さらに、図7の(7d)図に示すように、4個の分割領域Tを右下、右上、左上および左下の順に巡回する巡回順序を第4の巡回順序S4として規定する。
また、このフラクタルソートアルゴリズムでは、図7の(7a)図および(7e)図に示すように、直前の段階の分割処理(例えば、第1段階の分割処理)において分割した各分割領域Tについて第1の巡回順序S1を適用している場合において、左上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理(例えば、第2段階の分割処理)を実行して分割した各分割領域Tについて第2の巡回順序S2を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第1の巡回順序S1を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第1の巡回順序S1を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第3の巡回順序S3を適用するように規定する。
また、図7の(7b)図および(7f)図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Tについて第2の巡回順序S2を適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第1の巡回順序S1を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第2の巡回順序S2を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第2の巡回順序S2を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第4の巡回順序S4を適用するように規定する。
また、図7の(7c)図および(7g)図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Tについて第3の巡回順序S3を適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第4の巡回順序S4を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第3の巡回順序S3を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第3の巡回順序S3を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第1の巡回順序S1を適用するように規定する。
さらに、図7の(7d)図および(7h)図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Tについて第4の巡回順序S4を適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第3の巡回順序S3を適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第4の巡回順序S4を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第4の巡回順序S4を適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第2の巡回順序S2を適用するように規定する。
一方、処理部6は、決定処理(ステップ54)において、第1の巡回順序S1から第4の巡回順序S4までの各巡回順序の中から第1段階の分割処理で分割した各分割領域T(図3に示す分割領域Ta1〜Ta4)について適用する巡回順序を選択し、続いて、第2段階以降の分割処理で分割した各分割領域Tについての巡回順序を上記したフラクタルソートアルゴリズムに従って決定する。
一例として、図3に示すように、処理部6が、第1段階の分割処理で分割した分割領域Ta1〜Ta4について適用する巡回順序(以下、「第1段階の巡回順序」ともいう)として第1の巡回順序S1を選択したときには、フラクタルソートアルゴリズムに従い、次のようにして、第2段階の分割処理で分割した分割領域Tb1〜Tb16についての巡回順序(以下、「第2段階の巡回順序」ともいう)を決定する。まず、第1段階(直前の段階)の分割処理において分割した分割領域Ta1(左上の分割領域T:図3参照)を第2段階(次の段階)の分割処理でさらに分割した分割領域Tb1〜Tb4について第2の巡回順序S2を適用する(図4参照)。また、第1段階の分割処理において分割した分割領域Ta2(左下の分割領域T:図3参照)を第2段階の分割処理でさらに分割した分割領域Tb5〜Tb8について第1の巡回順序S1を適用する(図4参照)。また、第1段階の分割処理において分割した分割領域Ta3(右下の分割領域T:図3参照)を第2段階の分割処理でさらに分割した分割領域Tb9〜Tb12について第1の巡回順序S1を適用する(図4参照)。また、第1段階の分割処理において分割した分割領域Ta4(右上の分割領域T:図3参照)を第2段階の分割処理でさらに分割した分割領域Tb13〜Tb16について第1の巡回順序S3を適用する(図4参照)。これにより、第2段階の巡回順序が決定される。
次いで、処理部6は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、次のようにして、第3段階の分割処理で分割した分割領域Tc1〜Tc32(図5参照)についての巡回順序(以下、「第3段階の巡回順序」ともいう)を決定する。まず、処理部6は、分割領域Tc1〜Tc4(同図参照)の巡回順序を決定する。この場合、分割領域Tc1〜Tc4は、第2段階(直前の段階)の分割処理で分割した分割領域Tb1〜Tb4(図4参照)における左上の分割領域Tb1を第3段階(次の段階)の分割処理でさらに分割した分割領域Tであり、分割領域Tb1〜Tb4については、第2の巡回順序S2を適用している(同図参照)。このため、処理部6は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、分割領域Tc1〜Tc4について第1の巡回順序S1を適用する(図5参照)。
続いて、処理部6は、分割領域Tc5〜Tc8(図5参照)の巡回順序を決定する。この場合、分割領域Tc5〜Tc8は、第2段階(直前の段階)の分割処理で分割した分割領域Tb1〜Tb4(図4参照)における右上の分割領域Tb2を第3段階(次の段階)の分割処理でさらに分割した分割領域Tであり、分割領域Tb1〜Tb4については、第2の巡回順序S2を適用している(同図参照)。このため、処理部6は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、分割領域Tc5〜Tc8について第2の巡回順序S2を適用する(図5参照)。次いで、処理部6は、同様の手順で、フラクタルソートアルゴリズムに従って分割領域Tc9〜Tc32の巡回順序を決定する(図5参照)。これにより、第3段階の巡回順序が決定される。
続いて、処理部6は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、次のようにして、第4段階の分割処理で分割した分割領域Td1〜Td64(図6参照)についての巡回順序(以下「第4段階の巡回順序」ともいう)を決定する。まず、処理部6は、分割領域Td1〜Td4(同図参照)の巡回順序を決定する。この場合、分割領域Td1〜Td4は、第3段階(直前の段階)の分割処理で分割した分割領域Tc1〜Tc4(図5参照)における左上の分割領域Tc1を第4段階(次の段階)の分割処理でさらに分割した分割領域Tであり、分割領域Tc1〜Tc4については、第1の巡回順序S1を適用している(同図参照)。このため、処理部6は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、分割領域Td1〜Td4について第2の巡回順序S2を適用する(図6参照)。
次いで、処理部6は、分割領域Td5〜Td8(図6参照)の巡回順序を決定する。この場合、分割領域Td5〜Td8は、第3段階(直前の段階)の分割処理で分割した分割領域Tc1〜Tc4(図5参照)における右下の分割領域Tc3を第4段階(次の段階)の分割処理でさらに分割した分割領域Tであり、分割領域Tc1〜Tc4については、第1の巡回順序S1を適用している(同図参照)。このため、処理部6は、フラクタルソートアルゴリズムに従い、分割領域Td5〜Td8について第1の巡回順序S1を適用する(図6参照)。続いて、処理部6は、同様の手順で、フラクタルソートアルゴリズムに従って分割領域Td9〜Td64の巡回順序を決定する(図6参照)。これにより、第4段階の巡回順序が決定される。
次いで、処理部6は、図8に示すように、下位の段階の巡回順序を上位の巡回順序に従って直線で順次繋ぐことにより、回路基板100の全体の巡回順序S0を決定する。以上により、決定処理が終了する。
続いて、処理部6は、特定処理を実行する(ステップ55)。この特定処理では、処理部6は、巡回順序S0における直近上位(上流)の分割領域T側に位置する1つのポイントPを始点とすると共に巡回順序S0における直近下位(下流)の分割領域T側に位置する1つのポイントPを終点として分割領域T内の全てのポイントPを1回ずつ経由する移動経路Rを分割領域T毎に特定する。この場合、ポイントPが設けられていない分割領域Tについては、移動経路Rの特定を省略し、ポイントPが1個だけ設けられている分割領域Tについては、その1個のポイントPを始点および終点とする移動経路Rを特定する。
次いで、処理部6は、連結処理を実行する(ステップ56)。この連結処理では、図8に示すように、処理部6は、分割領域T毎の移動経路Rを巡回順序S0に従って連結して、回路基板100の全体の移動経路Rを作成する。具体的には、処理部6は、各移動経路Rの終点と巡回順序S0の直近下位の分割領域Tにおける移動経路Rの始点とを直線で順次繋ぐことにより、各移動経路Rを連結する。次いで、処理部6は、移動経路Rを示す移動経路データDrを生成して(ステップ57)、記憶部5に記憶させて、移動経路作成処理50を終了する。
この場合、図8に示すように、この基板検査装置1によって作成した移動経路Rでは、上記したフラクタルソートアルゴリズムに従って各分割領域Tの巡回順序を決定するため、図10に示すように各分割領域T(従来の構成における「バケット」)を巡回する巡回順序としてのサーペンタイン順を採用する従来の構成と比較して、ポイントPが設けられていない領域(図8,10における上下方向の中間領域)を通過する無駄な動きが十分に少なく抑えられている。このため、この基板検査装置1では、効率的な移動経路Rを作成することが可能となっている。
次に、回路基板100の検査を行うときには、基板保持部2に回路基板100を保持させ、続いて、図外の操作部を操作して検査の開始を指示する。これに応じて、処理部6は、検査処理を開始する。
この検査処理では、処理部6は、記憶部5から移動経路データDrを読み出す。次いで、処理部6は、移動経路データDrに基づいて最初のポイントP(最初にプロービングさせるべきポイントP)を特定する。続いて、処理部6は、移動機構3を制御して最初のポイントPにプローブ31をプロービングさせる。
次いで、処理部6は、測定部4を制御して測定処理を実行させる。この測定処理では、測定部4は、プローブ31および電極2bに供給した電気信号、およびその電気信号の供給によって発生する電気信号を検出して両電気信号に基づいてプローブ31がプロービングさせられているポイントPと電極2bとの間の静電容量を測定する。続いて、処理部6は、基準データDsを記憶部5から読み出し、次いで、測定部4によって測定された静電容量と基準データDsによって特定される基準範囲とを比較する。この場合、処理部6は、一例として、測定値が基準範囲内のときには、そのポイントPにおいて欠陥が無いと判別する。一方、測定値が基準範囲(基準範囲の下限値)よりも小さいときには、ポイントPが設けられている導体パターンに断線が生じている可能性がある。また、測定値が基準範囲(基準範囲の上限値)よりも大きいときには、ポイントPが設けられている導体パターンと他の導体パターンとが短絡している可能性がある。このため、これらのとき(測定値が基準範囲外のとき)には処理部6は、そのポイントPにおいて欠陥があると判別する。
続いて、処理部6は、移動経路データDrに基づいて次のポイントPを特定し、次いで、移動機構3を制御して、そのポイントPにプローブ31をプロービングさせる。続いて、処理部6は、測定部4を制御して測定処理を実行させると共に、測定部4によって測定された静電容量の測定値と基準値とを比較してそのポイントPにおける欠陥の有無を判別する。以下、処理部6は、移動機構3を制御して、移動経路データDrによって特定される新たなポイントPにプローブ31を順次移動させ(つまり、回路基板100の全体の移動経路Rに沿ってプローブ31を移動させ)、各ポイントPにおける欠陥の有無を判別する。次いで、処理部6は、回路基板100の全てのポイントPにおける欠陥の有無の判別を終了したときには、その欠陥の有無に基づいて回路基板100の良否を判定する。具体的には、欠陥が存在しないときには、回路基板100を良好と判定し、欠陥が存在するときには回路基板100を不良と判定する。
この場合、この基板検査装置1では、上記した移動経路作成処理によって作成した移動経路Rに沿ってプローブ31を移動させているため、プローブ31の移動を効率的に行うことが可能となっている。このため、この基板検査装置1によれば、検査効率を十分に向上させることが可能となっている。
このように、この移動経路作成装置、基板検査装置1および移動経路作成方法によれば、回路基板100を4個の分割領域Tに分割すると共にポイントPが複数設けられている分割領域Tを4個の分割領域Tにさらに分割し、予め規定した第1の巡回順序S1から第4の巡回順序S4を用いて各分割領域Tを巡回する巡回順序S0を決定し、分割領域T毎の移動経路Rを巡回順序S0で連結して回路基板100の全体の移動経路Rを作成することにより、各分割領域Tをサーペンタイン順に巡回する従来の構成と比較して、ポイントPが設けられていない領域を通過する無駄な動きを十分に少なく抑えることができる。このため、移動経路作成装置、基板検査装置1および移動経路作成方法によれば、十分に効率的な移動経路Rを確実に作成することができる。
また、この移動経路作成装置、基板検査装置1および移動経路作成方法によれば、分割領域Tに設けられているポイントPが1個以下となるとの条件(予め決められた条件)を満たすまで第2段階以降の分割処理を繰り返して実行することにより、分割領域Tに複数のポイントPが設けられているときに必要となる分割領域T毎の移動経路Rを特定する特定処理を簡略化することができるため、移動経路Rを作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。
なお、移動経路作成装置、基板検査装置および移動経路作成方法は、上記の構成および方法に限定されない。例えば、上記したフラクタルソートアルゴリズム(以下、「第1のフラクタルソートアルゴリズム」ともいう)に代えて、次に説明する第2のフラクタルソートアルゴリズムを採用することもできる。なお、なお、以下の説明において、上記した第1のフラクタルソートアルゴリズムの説明と同様の構成要素については、同じ符号を付して、重複する説明を省略する。
この第2のフラクタルソートアルゴリズムでは、マトリクス状に分割した4個の分割領域Tの巡回順序として4種類の巡回順序を規定する。具体的には、図9の(9a)図に示すように、各分割領域Tを右上、右下、左下および左上の順に巡回する巡回順序を第Aの巡回順序SAとして規定する。また、図9の(9b)図に示すように、4個の分割領域Tを右上、左上、左下および右下の順に巡回する巡回順序を第Bの巡回順序SBとして規定する。また、図9の(9c)図に示すように、4個の分割領域Tを左下、右下、右上および左上の順に巡回する巡回順序を第Cの巡回順序SCとして規定する。さらに、図9の(9d)図に示すように、4個の分割領域Tを左下、左上、右上および右下の順に巡回する巡回順序を第Dの巡回順序SDとして規定する。
また、この第2のフラクタルソートアルゴリズムでは、図9の(9a)図および(9e)図に示すように、直前の段階の分割処理において分割した各分割領域Tについて第Aの巡回順序SAを適用している場合において、右上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Bの巡回順序SBを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Aの巡回順序SAを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Aの巡回順序SAを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Cの巡回順序SCを適用するように規定する。
また、図9の(9b)図および(9f)図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Tについて第Bの巡回順序SBを適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Aの巡回順序SAを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Bの巡回順序SBを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Bの巡回順序SBを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Dの巡回順序SDを適用するように規定する。
また、図9の(9c)図および(9g)図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Tについて第Cの巡回順序SCを適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Dの巡回順序SDを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Cの巡回順序SCを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Cの巡回順序SCを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Aの巡回順序SAを適用するように規定する。
さらに、図9の(9d)図および(9h)図に示すように、直前の段階の分割処理で分割した各分割領域Tについて第Dの巡回順序SDを適用している場合において、直前の段階の分割処理で分割した左下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Cの巡回順序SCを適用し、直前の段階の分割処理で分割した左上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Dの巡回順序SDを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右上の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Dの巡回順序SDを適用し、直前の段階の分割処理で分割した右下の分割領域Tに対して次の段階の分割処理を実行して分割した各分割領域Tについて第Bの巡回順序SBを適用するように規定する。
この第2のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序S0を決定する構成および方法においても、上記した第1のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序S0を決定する構成および方法と同様の効果を実現することができる。
また、予め決められた条件として、分割領域Tに設けられているポイントPが1個以下となるとの条件を満たすまで第2段階以降の分割処理を繰り返して実行する例について上記したが、第1および第2のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序S0を決定する構成および方法において、予め決められた条件として、予め決められた回数となるとの条件を満たすまで第2段階以降の分割処理を繰り返して実行する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法によれば、分割領域Tに設けられている移動ポイントが1個以下となるまで第2段階以降の分割処理を繰り返そうとすると、その分割処理の回数が膨大な回数となるような回路基板100についての移動経路Rを作成する際に、分割処理の回数を予め決められた回数に制限することができるため、このような回路基板100についての移動経路Rを作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。なお、この構成および方法を採用したときには、第2段階以降の分割処理を予め決められた回数だけ実行した時点で分割領域Tに2個以上のポイントPが設けられていることがある。この場合、上記した移動経路作成処理50の特定処理(ステップ55)において、数多くのポイントPが設けられている分割領域Tについての移動経路Rを特定する際には、巡回セールスマン問題の解法等の公知の方法を用いることで、各分割領域Tについての効率的な移動経路Rを特定することができる。
また、第1および第2のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序S0を決定する構成および方法での分割処理において、各分割領域Tが矩形となるように分割する例について上記したが、分割領域Tの形状は、矩形に限定されず、円形、楕円形および矩形以外の多角形等の任意の形状に規定することができる。また、4個の分割領域Tを互いに異なる形状に規定することもできる。さらに、分割処理において、4個分割領域Tが同じ大きさとなるように分割する例について上記したが、4個分割領域Tが互いに異なっていてもよい。この場合、回路基板100におけるポイントPの密度が高い領域ほど分割領域Tの面積(大きさ)が小さくなるように分割する構成および方法を採用することもできる。この構成および方法によれば、このように分割領域Tの面積を調整しつつ分割処理を繰り返すことにより、少ない回数の分割処理で各分割領域Tに設けられるポイントPの数の最大数を減少させることができるため、移動経路Rを作成する処理の処理効率を十分に高めることができる。
また、第1および第2のフラクタルソートアルゴリズムに従って巡回順序S0を決定して1個のプローブ31を移動させる構成および方法において用いる移動経路Rを作成する例について上記したが、複数のプローブ31を移動させる構成および方法において、プローブ31毎の移動経路Rを作成する際に適用できるのは勿論である。また、プローブ31を用いて測定した静電容量に基づいて回路基板100の良否を検査する基板検査装置1に適用した例について上記したが、プローブ31を用いてポイントP間の抵抗値を測定し、その抵抗値に基づいて回路基板100の検査を行う基板検査装置に適用することもできる。
また、移動経路作成装置および移動経路作成方法を用いて作成された移動経路Rに沿って移動させる移動対象は、上記したプローブ31に限定されず、各種の移動対象を移動経路Rで移動させることができ、この場合においても、上記した各効果を実現することができる。つまり、複数の移動ポイントを1回ずつ経由するように各移動ポイントに移動対象を移動させる各種の装置(基板検査装置1以外の装置)にこの移動経路作成装置および移動経路作成方法を適用することができる。
1 基板検査装置
3 移動機構
4 測定部
6 処理部
31 プローブ
100 回路基板
T 分割領域
Ta1〜Ta4,Tb1〜Tb16,Tc1〜Tc32,Td1〜Td64 分割領域
P ポイント
R 移動経路
S0 巡回順序
S1 第1の巡回順序
S2 第2の巡回順序
S3 第3の巡回順序
S4 第4の巡回順序
SA 第Aの巡回順序
SB 第Bの巡回順序
SC 第Cの巡回順序
SD 第Dの巡回順序
3 移動機構
4 測定部
6 処理部
31 プローブ
100 回路基板
T 分割領域
Ta1〜Ta4,Tb1〜Tb16,Tc1〜Tc32,Td1〜Td64 分割領域
P ポイント
R 移動経路
S0 巡回順序
S1 第1の巡回順序
S2 第2の巡回順序
S3 第3の巡回順序
S4 第4の巡回順序
SA 第Aの巡回順序
SB 第Bの巡回順序
SC 第Cの巡回順序
SD 第Dの巡回順序
Claims (8)
- 複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを1回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する処理部を備えた移動経路作成装置であって、
前記処理部は、4個の前記分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第1段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第2段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、
前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記4個の分割領域を左上、左下、右下および右上の順に巡回する第1の巡回順序、当該4個の分割領域を左上、右上、右下および左下の順に巡回する第2の巡回順序、当該4個の分割領域を右下、左下、左上および右上の順に巡回する第3の巡回順序、並びに当該4個の分割領域を右下、右上、左上および左下の順に巡回する第4の巡回順序が規定されると共に、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第1の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第2の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第3の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第4の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用するように規定され、
前記処理部は、前記決定処理において、前記第1の巡回順序から前記第4の巡回順序までの各巡回順序の中から第1段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第2段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する移動経路作成装置。 - 複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを1回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する処理部を備えた移動経路作成装置であって、
前記処理部は、4個の前記分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第1段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第2段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、
前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記4個の分割領域を右上、右下、左下および左上の順に巡回する第Aの巡回順序、当該4個の分割領域を右上、左上、左下および右下の順に巡回する第Bの巡回順序、当該4個の分割領域を左下、右下、右上および左上の順に巡回する第Cの巡回順序、並びに当該4個の分割領域を左下、左上、右上および右下の順に巡回する第Dの巡回順序が規定されると共に、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用するように規定され、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用するように規定され、
前記処理部は、前記決定処理において、前記第Aの巡回順序から前記第Dの巡回順序までの各巡回順序の中から第1段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第2段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する移動経路作成装置。 - 前記処理部は、前記予め決められた条件としての、前記分割領域に設けられている前記移動ポイントが1個以下となるとの条件を満たすまで前記第2段階以降の分割処理を繰り返して実行する請求項1または2記載の移動経路作成装置。
- 前記処理部は、前記予め決められた条件としての、予め決められた回数となるとの条件を満たすまで前記第2段階以降の分割処理を繰り返して実行する請求項1または2記載の移動経路作成装置。
- 前記処理部は、前記分割処理において、前記処理対象における移動ポイントの密度が高い領域ほど前記分割領域の面積が小さくなるように当該処理対象を分割する請求項1から4のいずれかに記載の移動経路作成装置。
- 請求項1から5のいずれかに記載の移動経路作成装置と、前記処理対象としての基板に設けられた前記移動ポイントにプローブを移動させて当該移動ポイントに対してプロービングを行う移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて前記処理対象を検査する検査部とを備え、
前記制御部は、前記移動経路作成装置によって作成された前記移動経路に沿って前記プローブを移動させる基板検査装置。 - 複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを1回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、
4個の前記分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第1段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第2段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、
前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記4個の分割領域を左上、左下、右下および右上の順に巡回する第1の巡回順序、当該4個の分割領域を左上、右上、右下および左下の順に巡回する第2の巡回順序、当該4個の分割領域を右下、左下、左上および右上の順に巡回する第3の巡回順序、並びに当該4個の分割領域を右下、右上、左上および左下の順に巡回する第4の巡回順序を規定すると共に、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第1の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第2の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第3の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第1の巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第4の巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第3の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第4の巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第2の巡回順序を適用するように規定し、
前記決定処理において、前記第1の巡回順序から前記第4の巡回順序までの各巡回順序の中から第1段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第2段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する移動経路作成方法。 - 複数の移動ポイントが設けられた処理対象を複数の分割領域に分割する分割処理と、前記各分割領域を巡回する巡回順序を決定する決定処理と、前記各分割領域の各々に設けられている全ての前記移動ポイントを1回ずつ経由する当該分割領域毎の移動経路を特定する特定処理と、前記分割領域毎の移動経路を前記巡回順序で連結する連結処理とを実行して前記処理対象の全体の前記移動経路を作成する移動経路作成方法であって、
4個の前記分割領域が上下および左右に2個ずつ並ぶマトリクス状に前記処理対象を分割する第1段階の前記分割処理を実行すると共に、前記移動ポイントが複数設けられている当該分割領域を当該マトリクス状にさらに分割する第2段階以降の前記分割処理を予め決められた条件を満たすまで繰り返して実行し、
前記巡回順序として、前記分割処理で分割した前記4個の分割領域を右上、右下、左下および左上の順に巡回する第Aの巡回順序、当該4個の分割領域を右上、左上、左下および右下の順に巡回する第Bの巡回順序、当該4個の分割領域を左下、右下、右上および左上の順に巡回する第Cの巡回順序、並びに当該4個の分割領域を左下、左上、右上および右下の順に巡回する第Dの巡回順序が規定すると共に、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Aの巡回順序を適用するように規定し、
直前の段階の前記分割処理で分割した各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用している場合において、当該直前の段階の分割処理で分割した左下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Cの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した左上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右上の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Dの巡回順序を適用し、当該直前の段階の分割処理で分割した右下の前記分割領域に対して次の段階の前記分割処理を実行して分割した前記各分割領域について前記第Bの巡回順序を適用するように規定し、
前記決定処理において、前記第Aの巡回順序から前記第Dの巡回順序までの各巡回順序の中から第1段階の前記分割処理で分割した前記各分割領域について適用する巡回順序を選択すると共に、第2段階以降の前記分割処理を実行したときに、当該分割処理で分割した各分割領域について適用する前記各巡回順序を繋いで前記処理対象の全体の前記巡回順序を決定する移動経路作成方法。
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JP2018124173A (ja) * | 2017-02-01 | 2018-08-09 | マイクロクラフト株式会社 | プリント配線板の検査方法及び装置 |
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