JP2017161463A - Inspection processing system of gas inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガス導入部から導入した導入ガス中の特定成分の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有するガス検査機を収容する収容部を備え、前記収容部に収容されたガス検査機の状態を点検する点検処理を実行する点検処理手段を備えたガス検査機の点検処理システムに関する。 The present invention includes an accommodating portion that accommodates a gas inspection machine having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas introduced from the gas introducing portion, and is accommodated in the accommodating portion. The present invention relates to an inspection processing system for a gas inspection machine provided with inspection processing means for executing inspection processing for checking the state of the gas inspection machine.
空気中の一酸化炭素や可燃性ガスなどの特定成分の状態に応じて警報を出力するガス警報機能を有するガス検査機を使用するにあたり、当該ガス検査機の状態が正常であるか否かを定期的に点検する必要がある。そこで、このようなガス検査機の点検を自動的に行うための点検処理システムが知られている（例えば特許文献１参照）。 When using a gas inspection machine having a gas alarm function that outputs an alarm according to the state of a specific component such as carbon monoxide or flammable gas in the air, whether or not the state of the gas inspection machine is normal It is necessary to check regularly. Thus, an inspection processing system for automatically inspecting such a gas inspection machine is known (see, for example, Patent Document 1).
特許文献１のガス検査機の点検処理システムでは、上記点検処理として、ガス検査機のガス導入部に点検用ガスを供給して、ガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するバンプテストとも呼ばれるガス警報確認処理（確認試験処理）を実行する。具体的に、このガス警報確認処理では、収容部（装着部５０，５５）に収容されたガス検査機（ガス検知器１０Ａ，１０Ｂ）に対し、ガス供給部（ガス供給用チューブ接続部７５）を介して点検用ガス（特定ガス）を供給して、ガス検査機の濃度指示値が適正なものであるか否かを確認する。
In the inspection processing system for a gas inspection machine disclosed in
ガス検査機としては、大きさやガス導入部等の配置などが異なる複数種のものが存在しているが、従来の点検処理システムでは、収容部に対してガス検査機を直接収容させるように構成されていることから、その収容部に適合しない型式のガス検査機に対しては点検処理を実行できない。よって、収容部に誤って不適合のガス検査機をセットした場合には、点検用ガスの漏洩や誤った点検結果を得るという問題が生じる。 There are several types of gas inspection machines with different sizes and arrangements of gas introduction parts, etc., but the conventional inspection processing system is configured to accommodate the gas inspection machine directly in the storage part. Therefore, the inspection process cannot be executed for a gas inspection machine of a type that does not fit in the accommodating portion. Therefore, when an incompatible gas inspection machine is set in the storage unit by mistake, there arises a problem that the inspection gas leaks and an erroneous inspection result is obtained.
また、特許文献１の点検処理システムでは、複数種の型式（充電池仕様、乾電池仕様）のガス検査機に対応するべく、夫々のガス検査機に適合する複数種の収容部を設けている。しかしながら、この構成では、利用者が使用してない場合であっても存在する型式の数だけ収容部を設ける必要があり、システム構成の大型化を招くことになる。
In addition, in the inspection processing system of
この実情に鑑み、本発明の主たる課題は、ガス検査機を収容部に収容して、当該収容されたガス検査機の状態を点検する点検処理を実行するガス検査機の点検処理システムにおいて、複数種の型式のガス検査機に対応可能としながら、当該ガス検査機に対して適切な点検処理を実行する技術提供する点にある。 In view of this situation, the main problem of the present invention is that an inspection processing system for a gas inspection machine that performs an inspection process in which a gas inspection machine is accommodated in an accommodation portion and the state of the accommodated gas inspection machine is inspected. The present invention is to provide a technique for executing an appropriate inspection process for the gas inspection machine while being compatible with various types of gas inspection machines.
本発明の第１特徴構成は、ガス導入部から導入した導入ガス中の特定成分の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有するガス検査機を収容する収容部を備え、前記収容部に収容されたガス検査機の状態を点検する点検処理を実行する点検処理手段を備えたガス検査機の点検処理システムであって、
前記収容部に着脱自在に装着されて、前記ガス検査機の前記収容部への収容を可能とするアダプタを備え、
前記収容部に装着されたアダプタの識別情報であるアダプタ識別情報を取得可能なアダプタ識別情報取得手段と、
前記収容部に収容されたガス検査機の識別情報であるガス検査機識別情報を取得可能なガス検査機識別情報取得手段とを備え、
前記点検処理手段が、前記点検処理の実行前に、前記アダプタ識別情報取得手段で取得したアダプタ識別情報と前記ガス検査機識別情報取得手段で取得したガス検査機識別情報との整合性を確認する整合性確認処理を実行し、当該整合性確認処理で整合を確認した場合に、前記点検処理の実行を許容する点にある。
The first characteristic configuration of the present invention includes an accommodating portion that accommodates a gas inspection device having a gas alarm function that outputs a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas introduced from the gas introducing portion, An inspection processing system for a gas inspection machine provided with inspection processing means for executing an inspection process for inspecting the state of the gas inspection machine accommodated in the accommodating portion,
An adapter that is detachably attached to the housing portion and allows the gas inspection machine to be housed in the housing portion;
Adapter identification information acquisition means capable of acquiring adapter identification information which is identification information of an adapter mounted in the housing unit;
Gas inspection machine identification information acquisition means capable of acquiring gas inspection machine identification information that is identification information of a gas inspection machine stored in the storage unit,
The inspection processing means confirms the consistency between the adapter identification information acquired by the adapter identification information acquisition means and the gas inspection machine identification information acquired by the gas inspection machine identification information acquisition means before execution of the inspection processing. When the consistency check process is executed and the consistency is confirmed by the consistency check process, the check process is allowed to be executed.
本構成によれば、収容部に対してアダプタを介在させる形態で複数種の型式のガス検査機を収容することができる。更に、上記点検処理に先立って上記整合性確認処理を実行するので、点検対象のガス検査機に対して適合したアダプタが使用されているか否かを確認した上で、上記点検処理を実行することができる。このことで、上記点検処理において、例えばアダプタに対しそれに適合しないガス検査機がセットされた状態で後の点検処理が実行されることが防止され、このようなガス検査機とアダプタとの組み合わせが不適合であることに起因する点検用ガスの漏洩や誤った点検結果を得るという問題を回避することができる。
従って、本発明により、複数の型式のガス検査機に対応可能としながら、当該ガス検査機に対して適切な点検処理を実行可能なガス検査機の点検処理システムを提供することができる。
According to this configuration, it is possible to accommodate a plurality of types of gas inspection machines in a form in which an adapter is interposed in the accommodating portion. Further, since the consistency check process is executed prior to the check process, the check process is executed after confirming whether an adapter suitable for the gas inspection machine to be checked is used. Can do. Thus, in the above inspection process, for example, a subsequent inspection process is prevented from being executed in a state where a gas inspection machine that does not conform to the adapter is set, and a combination of such a gas inspection machine and an adapter is prevented. It is possible to avoid problems such as leakage of inspection gas and incorrect inspection results due to non-conformity.
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide an inspection processing system for a gas inspection machine capable of performing an appropriate inspection process for the gas inspection machine while being able to cope with a plurality of types of gas inspection machines.
本発明の第２特徴構成は、前記アダプタに、当該アダプタと当該アダプタを介して前記収容部に収容されたガス検査機との間で、無線通信可能な通信部を備えた点にある。 The second characteristic configuration of the present invention is that the adapter is provided with a communication unit capable of wireless communication between the adapter and the gas tester accommodated in the accommodation unit via the adapter.
本構成によれば、ガス検査機の型式に適合するアダプタ側に無線通信用の上記通信部を設けることで、ガス検査機側の通信部の配置や種別などの状態がガス検査機の型式により異なる場合であっても、そのガス検査機の型式に合った状態で通信部を備えたアダプタを収容部に装着すれば、問題なくガス検査機との間で無線通信を行なうことができる。 According to this configuration, by providing the communication unit for wireless communication on the adapter side that matches the model of the gas tester, the state of the arrangement and type of the communication unit on the gas tester side depends on the model of the gas tester. Even if they are different, wireless communication can be performed with the gas inspection machine without any problem if an adapter equipped with a communication unit is attached to the housing in a state suitable for the type of the gas inspection machine.
本発明の第３特徴構成は、前記点検処理手段が、前記整合性確認処理において、前記収容部への前記アダプタの装着時に、前記アダプタ識別情報取得手段で取得した前記アダプタ識別情報を当該収容部に関連付けて記憶し、前記収容部への前記ガス検査機の収容時に、当該収容部に関連付けた前記アダプタ識別情報に対して、前記ガス検査機識別情報取得手段で取得した前記ガス検査機識別情報の整合性を確認する点にある。 According to a third characteristic configuration of the present invention, the accommodation processing unit is configured to store the adapter identification information acquired by the adapter identification information acquisition unit when the adapter is attached to the accommodation unit in the consistency confirmation process. The gas inspection machine identification information acquired by the gas inspection machine identification information acquisition unit with respect to the adapter identification information associated with the storage unit when the gas inspection machine is stored in the storage unit. The point is to confirm the consistency of
本構成によれば、収容部へのアダプタの装着時に予めアダプタ識別情報を当該収容部に関連付けて記憶しておくことができる。これにより、収容部へのガス検査機の収容時では、当該収容部に関連付けて予め記憶したアダプタ識別情報を用いて、迅速に、当該収容部に収容されたガス検査機から取得したガス検査機識別情報の整合性を確認することができる。 According to this configuration, adapter identification information can be stored in advance in association with the accommodation unit when the adapter is mounted in the accommodation unit. Thereby, at the time of accommodation of the gas tester in the storage unit, the gas tester quickly acquired from the gas tester stored in the storage unit using the adapter identification information stored in advance in association with the storage unit The consistency of identification information can be confirmed.
本発明の第４特徴構成は、前記点検処理手段が、前記点検処理として、前記ガス検査機のガス導入部にガス供給部を介して点検用ガスを供給して、前記点検対象のガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認するガス警報確認処理を実行し、
前記収容部に、ガスを吸引して外部に排出する排気吸引部を備え、
前記アダプタに、前記収容部へ収容されたガス検査機からの排気を前記排気吸引部に案内する排気案内路が設けられている点にある。
According to a fourth characteristic configuration of the present invention, the inspection processing means supplies, as the inspection processing, an inspection gas to a gas introduction unit of the gas inspection device via a gas supply unit, and the inspection target gas inspection device. Execute the gas alarm check process to check whether there is an abnormality in the gas alarm function of
The storage section includes an exhaust suction section that sucks gas and discharges it to the outside.
The adapter is provided with an exhaust guide path for guiding the exhaust from the gas inspection machine accommodated in the accommodating portion to the exhaust suction portion.
本構成によれば、上記ガス警報確認処理において、収容部に収容された点検対象のガス検査機のガス導入部に対して点検用ガスを供給して、当該ガス検査機のガス警報機能の異常の有無を確認することができる。そして、このガス警報確認処理におけるガス点検用ガス供給に伴うガス検査機からの排気を、アダプタに設けられた排気案内路を介して収容部に設けられた排気吸引部から吸引して、システム本体側から外部に排出することができるので、当該ガス検査機からの排気が収容部側から放出されることを防止することができる。 According to this configuration, in the gas alarm confirmation process, the inspection gas is supplied to the gas introduction part of the inspection target gas inspection machine accommodated in the accommodation part, and the gas alarm function abnormality of the gas inspection machine is detected. Can be confirmed. And the exhaust from the gas inspection machine accompanying the gas supply for gas inspection in this gas alarm confirmation processing is sucked from the exhaust suction part provided in the accommodating part through the exhaust guide path provided in the adapter, and the system main body Since it can discharge | emit outside from the side, it can prevent that the exhaust_gas | exhaustion from the said gas test | inspection machine is discharge | released from the accommodating part side.
本発明の第５特徴構成は、前記排気吸引部のガス吸引流量が、前記ガス検査機の排気流量よりも多く設定され、
前記排気案内路の前記ガス検査機側の開口部が、前記ガス検査機からの排気に加えて、周辺空気を取り込み可能に配置されている点にある。
In the fifth feature configuration of the present invention, the gas suction flow rate of the exhaust suction unit is set to be larger than the exhaust flow rate of the gas inspection machine,
The opening on the gas inspection machine side of the exhaust guide path is arranged so that ambient air can be taken in addition to the exhaust from the gas inspection machine.
本構成によれば、ガス警報確認処理において、ガス検査機から点検用ガスが排出された場合でも、それを確実にアダプタ側の排気案内路の開口部から吸引し、システム本体側から外部に安全に排出することができる。更に、アダプタ側の開口部は、周辺空気を取り込んでガス検査機から排出された点検用ガスを吸引するので、当該点検用ガスを周辺空気で希釈した状態で安全な状態で外部に排出することができる。 According to this configuration, even when inspection gas is discharged from the gas inspection machine in the gas alarm check process, it is reliably sucked from the opening of the exhaust guide path on the adapter side and safely externally from the system body side. Can be discharged. Furthermore, since the opening on the adapter side takes in the ambient air and sucks the inspection gas discharged from the gas inspection machine, the inspection gas should be discharged outside in a safe state in a state diluted with the ambient air. Can do.
本発明の第６特徴構成は、前記アダプタに、前記ガス供給部に供給された点検用ガスを前記ガス検査機のガス導入部に案内する給気案内路が設けられており、
前記アダプタ側の給気案内路と前記収容部側のガス供給部との接続方向、及び、前記アダプタ側の排気案内路と前記収容部側の排気吸引部との接続方向が、前記収容部への前記アダプタの装着方向に沿う方向に設定されている点にある。
According to a sixth characteristic configuration of the present invention, the adapter is provided with an air supply guide path for guiding the inspection gas supplied to the gas supply unit to the gas introduction unit of the gas inspection machine,
The connection direction between the air supply guide path on the adapter side and the gas supply part on the accommodating part side, and the connection direction between the exhaust guide path on the adapter side and the exhaust suction part on the accommodating part side are directed to the accommodating part. It is in the point set in the direction along the mounting direction of the said adapter.
本構成によれば、収容部側のガス供給部に対するアダプタ側の給気案内路の接続方向、及び、収容部側の排気吸引部に対するアダプタ側の排気案内路の接続方向が、収容部に対するアダプタの装着方向に沿う方向に設定されているので、収容部に対するアダプタの装着時において、収容部側の夫々の接続部に対するアダプタ側の夫々の案内路の接続を簡単に行うことができる。 According to this configuration, the connection direction of the air supply guide path on the adapter side to the gas supply part on the housing part side and the connection direction of the exhaust side guide path on the adapter side to the exhaust suction part on the housing part side are the adapters to the housing part. Therefore, when the adapter is mounted on the housing portion, each guide path on the adapter side can be easily connected to each connection portion on the housing portion side.
本発明の第７特徴構成は、前記アダプタに、前記ガス供給部に供給された点検用ガスを前記ガス検査機のガス導入部に案内する給気案内路が設けられており、
前記アダプタ側において、前記排気案内路の延出方向、及び、前記給気案内路の延出方向の少なくとも一方が、前記収容部への前記アダプタの装着方向に沿う方向に設定されている点にある。
In the seventh characteristic configuration of the present invention, the adapter is provided with an air supply guide path for guiding the inspection gas supplied to the gas supply unit to the gas introduction unit of the gas inspection machine,
On the adapter side, at least one of the extending direction of the exhaust guide path and the extending direction of the air supply guide path is set in a direction along the mounting direction of the adapter to the housing portion. is there.
本構成によれば、アダプタ側の給気案内路の延出方向、又は、アダプタ側の排気案内路の延出方法が、収容部に対するアダプタの装着方向に沿う方向に設定されているので、これら案内路の収容部側の接続部に対する接続方向を簡単な構成で、収容部に対するアダプタの装着方向に沿う方向に設定することができる。よって、収容部側の夫々の接続部に対するアダプタ側の夫々の案内路の接続を簡単に行うことができる。 According to this configuration, the extension direction of the air supply guide path on the adapter side or the extension method of the exhaust guide path on the adapter side is set in the direction along the mounting direction of the adapter with respect to the housing portion. The connection direction of the guide path to the connection portion on the housing portion side can be set in a direction along the mounting direction of the adapter with respect to the housing portion with a simple configuration. Therefore, it is possible to easily connect each guide path on the adapter side to each connection portion on the accommodation unit side.
本発明の実施形態について図面に基づいて説明する。
図１に示す点検処理システム１００は、ガス検査機７０の状態を点検するための点検処理方法を実施するシステムとして構成されており、ガス検査機７０を収容するための収容部５が正面に設けられたシステム本体１と、当該収容部５に着脱自在に装着されて、ガス検査機７０の収容部５への収容を可能とするアダプタ５０とを備える。
Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
The
尚、本願において、システム本体１において収容部５やディスプレイ３が設けられる面（図１の手前側の面、図２の左側の面、図３の左手前側の面）を「正面」と呼び、その正面が向かう方向を「手前方向」と呼ぶ。これに対し、正面の反対側の面を「背面」と呼び、その背面が向かう方向を「奥行き方向」と呼ぶ。また、正面視における左側を単に「左側方側」と呼び、正面視における右側を単に「右側方側」と呼ぶ。
In addition, in this application, the surface (surface on the near side in FIG. 1, surface on the left side in FIG. 2, surface on the left front side in FIG. 3) on which the
［ガス検査機］
先ず、ガス検査機７０の構成について、図１、及び図２を参照して説明する。
ガス検査機７０は、詳細については後述するが、ガス導入部７２から導入した導入ガス中の特定成分としての例えば可燃性ガス（水素、メタン、プロパン等）や一酸化炭素の状態に応じて所定のガス警報を出力するガス警報機能を有すると共に、ガス導入部７２の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能を有する。
[Gas inspection machine]
First, the configuration of the
Although details will be described later, the
具体的に、かかるガス検査機７０は、検査機本体７１と、当該検査機本体７１内にガスを導入するためのガス導入部７２とを備える。
ガス導入部７２は、検査機本体７１から突出形成された略筒状の筒状部７４、及び、当該筒状部７４の先端側に連接する尖状の吸引ノズル７３で構成されている。一方、検査機本体７１内には、ガス導入部７２を介して外部のガスを吸引するための吸引ポンプ７５が設けられており、このことで、ガス検査機７０は、吸引ノズル７３から積極的にガスを吸引する吸引式に構成されている。
更に、検査機本体７１内には、吸引ポンプ７５で吸引した導入ガスが供給されて当該導入ガス中の特定成分に感応するセンサ素子等で構成されたセンサ部７６、及び、コンピュータからなる制御部７８等が設けられている。
Specifically, the
The
Further, the inspection machine
ガス検査機７０の前面には所定の表示や入力操作を行うための表示操作部８０が設けられており、制御部７８は、センサ部７６の出力信号から導入ガス中の特定成分濃度を求め、検査機本体７１に設けられた表示操作部８０に表示すると共に、その可燃性ガス濃度が許容範囲を超えた場合には、それを作業者に通知するべく、同表示操作部８０に所定のガス警報表示（ガス警報の一例）を表示し、更には、検査機本体７１に設けられたスピーカ８２が所定のガス警報音（ガス警報の一例）を発生するように構成されている。そして、このような機能をガス警報機能と呼ぶ。
A
更に、このガス検査機７０の制御部７８は、吸引ポンプ７５の作動時において、吸引ポンプ７５の負荷（以下「ポンプ負荷」と呼ぶ。）を当該吸引ポンプ７５の駆動電力の電流値等で監視し、吸引ポンプ７５の作動時においてポンプ負荷が異常に高い場合には、ガス導入部７２の状態がゴミ等により閉塞している閉塞状態であると判定する。そして、この閉塞状態を閉塞異常として、作業者に通知するべく、表示操作部８０に所定の閉塞警報表示（閉塞警報の一例）を表示し、更には、スピーカ８２が所定の閉塞警報音（閉塞警報の一例）を発生するように構成されている。そして、このような機能を閉塞警報機能と呼ぶ。
Further, the
検査機本体７１の側面側には、センサ部７６を通流したガスを排出する排気部７７と、制御部７８が外部との間で赤外線通信（無線通信の一例）を行うための通信部７９とが配置されている。
On the side surface side of the inspection machine
［点検処理システム］
次に、点検処理システム１００の詳細構成、即ち点検処理システム１００が備えるシステム本体１及びアダプタ５０の詳細構成について、順に説明する。
尚、以下の説明では、点検処理システム１００の点検対象を吸引式のガス検査機７０とする例を説明するが、吸引式のガス検査機７０以外にも、ガスが自然にセンサ部に導入される拡散式のガス検査機を点検対象としても構わない。また、この場合、必要な処理を適宜追加又は不要な処理を適宜割愛しても構わない。
[Inspection processing system]
Next, a detailed configuration of the
In the following description, an example in which the inspection object of the
〔システム本体〕
次に、点検処理システム１００が備えるシステム本体１の構成について、図１、図２、及び図７〜図１３を参照して説明する。
図１に示すように、システム本体１の前面には、ガス検査機７０を収容するための４つの収容部５が設けられており、このことでガス検査機７０の複数を点検対象とすることが可能となる。システム本体１の前面には、このような収容部５の他に、ディスプレイ３やその他操作スイッチ及びスピーカなどの機器が配置されており、更には、点検対象となるガス検査機７０のセンサ部７６が感応する特定成分を含む原料ガスを貯留する２つのガス容器Ｃ１，Ｃ２が着脱自在に装着されている。尚、詳細は後述するが、このガス容器Ｃ１，Ｃ２に貯留される原料ガスは、適宜大気で希釈されて点検用ガスとして利用される。
[System unit]
Next, the configuration of the system
As shown in FIG. 1, the front surface of the system
４つの収容部５は何れも、正面側に開口する共通の矩形断面凹部として形成されている。
図１及び図２に示すように、この収容部５の内部奥面側には、ガス検査機７０のガス導入部７２に点検用ガス等のガスを供給するためのガス供給部である給気用継手５ａと、ガス検査機７０から排出された排気を吸引して外部に排出するための排気吸引部である排気用継手５ｂと、アダプタ５０に設けられた基盤５２のコネクタ５５に接続されるコネクタ５ｃとが配置されている。
尚、図１において、アダプタ５０が装着されていない収容部５には、ガス検査機７０の誤挿入等を防止するために、その前面にカバー５ｄが設けられている。
All four
As shown in FIG. 1 and FIG. 2, an air supply that is a gas supply unit for supplying gas such as inspection gas to the
In FIG. 1, a
コネクタ５ｃは、同じくシステム本体１に設けられたコンピュータからなる制御部２に接続されている。よって、アダプタ５０側の基盤５２のコネクタ５５とシステム本体１側のコネクタ５ｃとが接続されることで、システム本体１側の制御部２はアダプタ５０側の制御部５４との間で有線通信が可能となる。また、詳細は後述するが、アダプタ５０側の制御部５４は、当該アダプタ５０のガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の制御部７８との間で無線通信が可能に構成されている。従って、システム本体１側の制御部２は、アダプタ５０側の制御部５４との間で通信可能となる上に、当該制御部５４を介して、収容部５にアダプタ５０を介在させて収容されたガス検査機７０側の制御部７８との間でも通信可能となる。
The
このシステム本体１側の制御部２は、図７等に示すように、所定のプログラムを実行することにより、詳細については後述するが、所定の点検処理を実行する点検処理手段２ａとして機能する。
更に、制御部２は、上記点検処理手段２ａに加えて、収容部５に装着されたアダプタ５０の識別情報であるアダプタ識別情報を取得可能なアダプタ識別情報取得手段２ｂ、及び、収容部５に収容されたガス検査機７０の識別情報であるガス検査機識別情報を取得可能なガス検査機識別情報取得手段２ｃとしても機能する。
As shown in FIG. 7 and the like, the
Further, in addition to the
即ち、アダプタ識別情報取得手段２ｂは、収容部５に装着されたアダプタ５０側の制御部５４との間で通信を行うことで、当該制御部５４から、アダプタ５０の型式等のアダプタ識別情報を当該アダプタ５０が装着された収容部５に関連付けて取得する。
一方、ガス検査機識別情報取得手段２ｃは、収容部５にアダプタ５０を介在させて収容されたガス検査機７０側の制御部７８との間で通信を行うことで、当該制御部７８から、ガス検査機７０の型式等のガス検査機識別情報を当該ガス検査機７０が収容された収容部５に関連付けて取得する。
That is, the adapter identification
On the other hand, the gas inspection machine identification
また、制御部２は、これら取得した各種識別情報をメモリ等からなる記憶部４に記憶させ、適時記憶部４から必要な情報を取り出すことができる。
尚、アダプタ識別情報の取得タイミングについては、ガス検査機情報の取得タイミングと同様に、ガス検査機７０の収容部５への収容時とすることができるが、ガス検査機７０の収容時における情報処理量の削減等を目的として、収容部５へのアダプタ５０の装着時とされている。
In addition, the
The acquisition timing of the adapter identification information can be the same as the acquisition timing of the gas inspection machine information when it is accommodated in the
図７〜図１３に示すように、システム本体１には、外部に開放して大気ＯＡの取り込み又は外部への排気ＥＡの排出を行うための開放部Ｏ１〜Ｏ４が設けられており、図示は省略するが、この開放部Ｏ１〜Ｏ４は、システム本体１の背面側に設けられている。更に、システム本体１の内部には、収容部５に設けられた給気用継手５ａ及び排気用継手５ｂと、開放部Ｏ１〜Ｏ４及びガス容器Ｃ１，Ｃ２とを接続する各種経路が設けられており、これら経路には、圧力計Ｍｐ１〜Ｍｐ５、流量計Ｍｆ１〜Ｍｆ３、弁Ｖ１〜Ｖ１３、ポンプＰ１，Ｐ２、圧力レギュレータＲ１，Ｒ２、及びフィルタＦ１〜Ｆ３等が配置されている。尚、圧力計Ｍｐ１〜Ｍｐ３で計測された圧力値、及び流量計Ｍｆ１〜Ｍｆ３で計測された流量値は、制御部２に入力され、また、制御部２は、それら入力信号等に基づいて、弁Ｖ１〜Ｖ１３、ポンプＰ１，Ｐ２、及び圧力レギュレータＲ１〜Ｒ３の作動制御を実行する。
尚、図７〜図１３では、弁Ｖ１〜Ｖ１３において、閉状態のポートを黒塗り三角で示し、開状態のポートを白抜き三角で示している。
As shown in FIGS. 7 to 13, the system
7 to 13, in the valves V <b> 1 to V <b> 13, the closed ports are indicated by black triangles, and the open ports are indicated by white triangles.
例えば、後述する希釈処理においてガス容器Ｃ１，Ｃ２から取り込んだ原料ガスＧ０が通流する原料ガス経路６ｂは、夫々のガス容器Ｃ１，Ｃ２から、夫々の圧力計Ｍｐ４，Ｍｐ５、夫々の圧力レギュレータＲ１，Ｒ２、夫々の流量調整弁Ｖ９，Ｖ１０、三方弁Ｖ８、二方弁Ｖ７、及び流量計Ｍｆ２を経由して、合流部Ｂ１までの経路として設けられている。
点検用ガスＧ１が通流する点検用ガス経路６ｃは、合流部Ｂ１から、三方弁Ｖ４、三方弁Ｖ３、分岐部Ｂ２、及び三方弁Ｖ１を経由して、給気用継手５ａまでの経路として設けられている。
そして、この原料ガス経路６ｂや点検用ガス経路６ｃのように、点検用ガスＧ１又はその原料となる原料ガスＧ０が通流する経路をガス経路と呼ぶ。
For example, the raw
The
A path through which the inspection gas G1 or the raw material gas G0 as the raw material flows is called a gas path, such as the raw
また、後述する希釈処理において原料ガスＧ０を希釈するための大気ＯＡが通流する大気供給経路６ａは、開放部Ｏ３から、フィルタＦ３、ポンプＰ１、三方弁Ｖ１３、三方弁Ｖ１２、二方弁Ｖ１１、及び流量計Ｍｆ３を経由して、合流部Ｂ１までの経路として設けられている。
また、給気用継手５ａを大気開放可能な大気開放経路は、給気用継手５ａから、三方弁Ｖ１、三方弁Ｖ３、流量計Ｍｆ１、及びフィルタＦ２を経由して、開放部Ｏ２までの経路として設けられている。
In addition, an
The air release path through which the air supply joint 5a can be opened to the atmosphere is a path from the air supply joint 5a to the open portion O2 via the three-way valve V1, the three-way valve V3, the flow meter Mf1, and the filter F2. It is provided as.
上記原料ガス経路６ｂと上記大気供給経路６ａとは、ガス容器Ｃ１，Ｃ２から取り出した原料ガスＧ０を大気ＯＡで希釈して点検用ガスＧ１を生成する希釈処理を実行可能な希釈処理手段６として機能する。
The
〔アダプタ〕
次に、アダプタ５０の構成について、図１、図２、及び図３に基づいて説明する。
アダプタ５０は、図１に示すように、システム本体１の正面に設けられた収容部５に対して着脱自在に装着されて、ガス検査機７０の収容部５への収容を可能とするものとして構成されている。即ち、アダプタ５０の外形はその収容部５の内部に正面側から挿入されて内嵌するよう共通の矩形断面を有し、アダプタ５０の正面側の上下には、システム本体１に対してアダプタ５０をネジにて固定するための取付用爪６４が上下方向に突出形成されている。
そして、このアダプタ５０は、収容部５に対して正面側から奥行き方向に挿入し、当該アダプタ５０の取付用爪６４を収容部５の縁部にネジにて固定する形態で、収容部５に装着される。
〔adapter〕
Next, the configuration of the
As shown in FIG. 1, the
The
尚、システム本体１へのアダプタ５０の装着は、ガス検査機７０の点検に先立って行えばよいが、誤装着等を防止するために、使用者側で行うのではなく、納入元（メーカー等）側で行うことが望ましい。即ち、納入元は、点検システム１００の受注時において、予め使用者が使用しているガス検査機７０の仕様を把握し、それに基づいて適切なアダプタ５０を予めシステム本体１へ装着した点検システム１００を使用者に納入する。また、納入元は、メンテナンスやオーバーホール等の時点において、使用者が使用しているアダプタ５０の変更等に基づいてアダプタ５０を変更することができる。
The
アダプタ５０には、正面側の開口からガス検査機７０を挿入して収容する矩形断面凹部であるガス検査機収容部６０が設けられている。このガス検査機収容部６０は、その形状やそれに設けられた各種部位の配置等が、ガス検査機７０の所定の型式に適合したものとして構成されており、複数の型式のガス検査機７０の夫々に適合した複数種のアダプタ５０が用意されている。このことで、共通の収容部５に対してアダプタ５０を介在させる形態で複数種の型式のガス検査機７０を収容することができ、収容部５には、使用者が所有するガス検査機７０の型式に応じたアダプタ５０が選定されて装着されることになる。
尚、このようなアダプタ５０の選定及び装着は、使用者が自ら行っても構わないが、誤った選定や装着等を防止するために、点検処理システム１００の販売者側で行うことが望ましい。
The
It should be noted that such selection and mounting of the
アダプタ５０は、図３に示すように、上側ケーシング５０ａ及び下側ケーシング５０ｂからなる上下２分割構造で構成されており、上述したガス検査機収容部６０が、上側ケーシング５０ａの下面側の凹部と下側ケーシング５０ｂの上面側の凹部とを組み合わせる形態で形成されている。
このアダプタ５０の上側ケーシング５０ａの下面側や下側ケーシング５０ｂの上面側には、上記ガス検査機収容部６０以外に、詳細については後述するが、排気用チューブ５７やフィルタ５８が設けられる排気案内路５６、給気用チューブ６２が設けられる給気案内路６１、通信部５３や制御部５４等が設けられた基盤５２が収容される基盤収容部５１、及び、通信用通路６３などを形成するための各種凹部が設けられている。
As shown in FIG. 3, the
An exhaust guide provided with an
排気案内路５６は、収容部５へ収容されたガス検査機７０からの排気を排気用継手５ｂに案内する通路として、ガス検査機収容部６０の左側に隣接して設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この排気案内路５６には、ガス検査機収容部６０に対し側方から開口する開口部５９を有しており、この開口部５９は、ガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の排気部７７に対し、所定の間隔をあけて対向配置されている。更に、排気用継手５ｂのガス吸引流量（即ちシステム本体１側のポンプＰ２（図７〜図１３参照）の吸引流量）が、ガス検査機７０の排気流量（即ちガス検査機７０側の吸引ポンプ７５の吸引流量）よりも多く設定されている。これにより、ガス検査機７０の排気部７７から排出された排気を確実に開口部５９から排気案内路５６に吸引することができる。更に、この開口部５９には、ガス検査機７０からの排気に加えて、ガス検査機収容部６０の周辺空気が取り込まれることになる。即ち、ガス検査機７０からの排気を周辺空気で希釈して開口部５９から排気案内路５６に吸引することができ、その希釈された排気をシステム本体１側から外部に安全な状態で外部に排出することができる。
The
排気案内路５６において、開口部５９に面する空間にはフィルタ５８が設けられており、その奥側には排気用チューブ５７が内嵌されている。この排気用チューブ５７の奥側端部が、収容部５の内部奥面側に設けられた排気用継手５ｂに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、排気用継手５ｂに対する排気用チューブ５７の接続を簡単に行うことができる。
In the
給気案内路６１は、給気用継手５ａに供給された点検用ガスをガス検査機７０のガス導入部７２に案内する通路として、ガス検査機収容部６０の奥側に設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この給気案内路６１には、給気用チューブ６２が内嵌されている。この給気用チューブ６２の手前側端部が、ガス検査機収容部６０に収容されるガス検査機７０の吸引ノズル７３に嵌合接続され、その接続方向が、ガス検査機収容部６０へのガス検査機７０の挿入方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、ガス検査機収容部６０へのガス検査機７０の挿入時において、給気用チューブ６２に対する吸引ノズル７３の接続を簡単に行うことができる。
The air
更に、この給気用チューブ６２の奥側端部が、収容部５の内部奥面側に設けられた給気用継手５ａに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、給気用継手５ａに対する給気用チューブ６２の接続を簡単に行うことができる。
Further, the back end portion of the
基盤収容部５１は、排気案内路５６の左側に隣接して設けられており、その延出方向が収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向とされている。この基盤収容部５１には、板状の基盤５２が板面を左右方向に対して垂直となる姿勢で収容されている。そして、この基盤５２の奥側端部に設けられたコネクタ５５が、収容部５の内部奥面側に設けられたコネクタ５ｃに嵌合接続され、その接続方向が、収容部５へのアダプタ５０の装着方向（即ち奥行方向）に沿う方向に設定されている。このことで、収容部５に対するアダプタ５０の装着時において、システム本体１側のコネクタ５ｃに対するアダプタ５０側のコネクタ５５の接続を簡単に行うことができる。
The
更に、この基盤５２には、ＣＰＵ等からなる制御部５４が配置されており、更にガス検査機収容部６０側の面には、当該ガス検査機収容部６０に収容されたガス検査機７０の通信部７９との間で赤外線通信を行うための通信部５３が配置されている。
そして、アダプタ５０には、これら通信部７９，５３間で送受信される通信用赤外線を通過させるための通信用通路６３が左右方向に延出する姿勢でアダプタ５０に形成されている。このことで、ガス検査機７０をアダプタ５０のガス検査機収容部６０に収容する際に、完全に収容された時点でこれら通信部７９，５３間の赤外線通信が可能となる。そこで、このような赤外線通信が可能となった状態を検出することで、ガス検査機７０の収容完了を判定することができる。
尚、アダプタ５０において、通信部５３を設ける基盤５２については、多種のアダプタに採用可能なように、複数種の通信部５３のパターンを準備しておき、製造時にどの通信部を実装するかを決定することで、当該基盤５２の共通化が図られている。
Further, a
And the
In the
［点検処理方法］
次に、上述した点検処理システム１００で実行される点検処理方法について、図４〜図１３を参照して、説明する。
先ず、作業者は、点検対象となるガス検査機７０を作動させた状態で、収容部５に装着されたアダプタ５０のガス検査機収容部６０に挿入する。すると、前述したように、ガス検査機７０側の吸引ノズル７３がアダプタ５０側の給気用チューブ６２に接続されると共に、ガス検査機７０側の通信部７９とアダプタ５０側の通信部５３との間の赤外線通信が可能な状態となる。そして、システム本体１側の制御部２は、その赤外線通信が可能となった状態を、ガス検査機７０の収容完了として判定する。
[Inspection processing method]
Next, an inspection processing method executed by the above-described
First, the operator inserts the
そして、制御部２は、ガス検査機７０が収容部５に収容された状態で、ディスプレイ３に初期画面（図６（ａ）参照）を表示し、その初期画面上の「バンプテスト」ボタンが使用者によって操作された際に、点検処理方法の実行を開始する。
そして、点検処理方法では、図４に示すように、整合性確認処理（＃Ｓ１）及び所定のグルーピング処理（＃Ｓ２）を順に実行して、点検対象のガス検査機７０を決定（＃Ｓ３）した上で、当該決定したガス検査機７０に対して点検処理（＃Ｓ４）を実行する。また、この点検処理（＃Ｓ４）の実行後には、クリーニング処理（＃Ｓ６）を実行する。また、４つの収容部５に対してガス検査機７０が複数収容されている場合には、そのガス検査機の複数を点検対象として、当該点検対象とした複数のガス検査機７０に対して、直列的に点検処理（＃Ｓ４）を順次実行する。尚、本実施形態では、点検処理方法を構成する各種処理は直列的に順次実行するものとするが、それの処理順序を変更したり、複数の処理の少なくとも一部を重複させたり、別の処理を間に介在させるなどのように、適宜可能な範囲内で実行手順を変更しても構わない。
以下、これら点検処理方法を構成する各処理の詳細について順に説明を加える。
Then, the
Then, in the inspection processing method, as shown in FIG. 4, the consistency check processing (# S1) and the predetermined grouping processing (# S2) are sequentially executed to determine the
Hereinafter, the details of each process constituting these inspection processing methods will be described in order.
〔整合性確認処理〕
図４に示す整合性確認処理（＃Ｓ１）では、点検処理（＃Ｓ４）の実行前に、アダプタ識別情報取得手段２ｂで取得したアダプタ識別情報とガス検査機識別情報取得手段２ｃで取得したガス検査機識別情報との整合性を確認する。
即ち、この整合性確認処理（＃Ｓ１）では、アダプタ５０の装着時に予め記憶部４に記憶した各収容部５のアダプタ識別情報を参照し、収容部５に収容されたガス検査機７０のガス検査機識別情報が、同じ収容部５に関連付けられたアダプタ識別情報に適合するか否かを比較する形態で、点検対象となるガス検査機７０に対して適合したアダプタ５０が使用されているか否かを確認する。そして、適合していない場合には、点検処理（＃Ｓ４）を停止して使用者にその旨を通知し、逆に、適合している場合には、次のグルーピング処理（＃Ｓ２）に進む。
そして、このような整合性確認処理（＃Ｓ１）を実行することで、例えばアダプタ５０に対しそれに適合しないガス検査機７０がセットされた状態で後の点検処理（＃Ｓ４）が実行されることが防止される。よって、このようなガス検査機７０とアダプタ５０との組み合わせが不適合であることに起因する点検用ガスの漏洩や誤った点検結果を得るという問題が回避される。
[Consistency check process]
In the consistency confirmation process (# S1) shown in FIG. 4, the adapter identification information acquired by the adapter identification information acquisition means 2b and the gas acquired by the gas inspection machine identification information acquisition means 2c before the execution of the inspection process (# S4). Check consistency with inspection machine identification information.
That is, in the consistency confirmation process (# S1), the adapter identification information of each
Then, by executing such consistency check processing (# S1), for example, the subsequent inspection processing (# S4) is executed in a state where the
〔グルーピング処理〕
図４に示すグルーピング処理（＃Ｓ２）では、４つの収容部５に収容されたガス検査機７０の複数を点検対象として、当該点検対象とした複数のガス検査機７０の夫々に対して、当該ガス検査機７０に供給する点検用ガスに応じてグループ分けを行う。更に、このグルーピング処理（＃Ｓ２）では、点検用ガスに関する種々の情報をグループ分けの指標とすることができるが、本実施形態では、ガス検査機７０に供給する点検用ガスの組成や濃度をグループ分けの指標としている。
[Grouping process]
In the grouping process (# S2) shown in FIG. 4, a plurality of
このようなグルーピング処理（＃Ｓ２）を実行し、後の点検処理（＃Ｓ４）の実行後に、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在するか否かを確認する（＃Ｓ５）。そして、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在する場合には、そのガス検査機７０に対する点検処理（＃Ｓ４）を優先して実行し、一方、存在しない場合には、後述するクリーニング処理（＃Ｓ６）を実行した上で、別のグループに属する点検対象のガス検査機７０が存在するか否かを確認し（＃Ｓ７）、その別のグループに属するガス検査機７０に対する点検処理（＃Ｓ４）に移行する。
そして、このようにグルーピング処理（＃Ｓ２）を実行して、当該グループ毎に順次点検処理（＃Ｓ４）を実行することで、点検対象の切り替えに伴う点検用ガスの組成や濃度の変更が簡素化されている。
Such a grouping process (# S2) is executed, and after the subsequent inspection process (# S4), it is confirmed whether or not there is a next inspection target
Then, by executing the grouping process (# S2) in this way and sequentially executing the inspection process (# S4) for each group, the change in the composition and concentration of the inspection gas associated with the switching of the inspection object is simplified. It has become.
〔点検処理〕
図４に示す点検処理（＃Ｓ４）の詳細な処理フローを図５に示す。図５に示すように、この点検処理では、点検対象のガス検査機７０に対して、作業者確認処理（＃Ｓ１０）、初期確認処理（＃Ｓ１２）、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）、及びガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を順に実行する。また、ガス警報確認処理の実行前、具体的には初期確認処理（＃Ｓ１２）〜吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行に並行して、濃度安定化処理（＃Ｓ１１）を実行する。
以下、これら点検処理を構成する各種処理の詳細について説明を加える。
[Inspection process]
FIG. 5 shows a detailed processing flow of the inspection process (# S4) shown in FIG. As shown in FIG. 5, in this inspection process, an operator confirmation process (# S10), an initial confirmation process (# S12), a blockage alarm confirmation process (# S13), and a suction are performed on the
Hereinafter, the details of various processes constituting these inspection processes will be described.
（作業者確認処理）
作業者確認処理（＃Ｓ１０）では、ディスプレイ３に作業者確認画面（図６（ｂ）参照）を表示する。この作業者確認画面には、作業者が目視等で確認すべき点検項目が表示されており、作業者は、この表示に沿ってガス検査機７０の目視等による点検を行い、問題がない場合には、同画面に表示されている「確認完了」ボタンを操作する。その「確認完了」ボタンが操作されると、この作業者確認処理（＃Ｓ１０）を終了し、ディスプレイ３の作業者確認画面（図６（ｂ）参照）をバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）に遷移させると共に、次の初期確認処理（＃Ｓ１２）の実行を開始する。
(Worker confirmation process)
In the worker confirmation process (# S10), a worker confirmation screen (see FIG. 6B) is displayed on the display 3. On this operator confirmation screen, inspection items that the operator should confirm visually are displayed, and when the operator performs an inspection by visually confirming the
（初期確認処理）
初期確認処理（＃Ｓ１２）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図７に示す。この初期確認処理（＃Ｓ１２）では、オートゼロ設定と電池残量確認を行う。
オートゼロ設定では、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを、開放部Ｏ１に開放させるよう、三方弁Ｖ１の切替状態を設定する。すると、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から開放部Ｏ１を介して大気ＯＡを吸引し、当該吸引した大気ＯＡをセンサ部７６に供給する状態となる。この状態で、ガス検査機７０側の制御部７８に対してゼロ設定指示を送信し、それを受信したガス検査機７０側の制御部７８は、センサ部７６の出力をゼロに設定する。一方、電池残量確認では、ガス検査機７０側の電池残量を、同ガス検査機７０の制御部７８から受信する。
そして、オートゼロ設定と電池残量確認とが完了すると、上記ゼロ設定を行った旨と電池残量とをディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この初期確認処理（＃Ｓ１２）を終了する。
(Initial confirmation process)
FIG. 7 shows operating states of various auxiliary machines and gas flow states in the initial confirmation process (# S12). In the initial confirmation process (# S12), auto zero setting and battery remaining amount confirmation are performed.
In the auto-zero setting, the switching state of the three-way valve V1 is set so that the supply joint 5a to which the
When the auto zero setting and the battery remaining amount confirmation are completed, the fact that the zero setting has been performed and the remaining battery amount are displayed on the bump test screen (see FIG. 6C) displayed on the display 3, The initial confirmation process (# S12) is terminated.
（閉塞警報確認処理）
閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図８に示す。この閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）では、ガス検査機７０においてガス導入部７２の閉塞時に所定の閉塞警報を出力する閉塞警報機能の異常の有無を確認する。
即ち、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に給気用継手５ａが接続された状態で、給気用継手５ａからのガスの流出を遮断するように、給気用継手５ａに通じる三方弁Ｖ１，Ｖ３，Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定する。すると、ガス検査機７０のガス導入部７２の状態は擬似的な閉塞状態となり、その際のガス検査機７０の閉塞警報機能による閉塞警報の出力の有無をガス検査機７０側の制御部７８との通信により確認する。
(Blockage alarm confirmation processing)
FIG. 8 shows the operating state and gas flow state of various auxiliary machines in the blockage alarm confirmation process (# S13). In this blockage alarm confirmation process (# S13), the
That is, in the blockage alarm confirmation process (# S13), in a state where the supply joint 5a is connected to the
そして、給気用継手５ａからのガス流出の遮断に伴って閉塞警報が出力された場合には、ガス検査機７０の閉塞警報機能が正常に作動していると判断する。一方、給気用継手５ａからのガス流出の遮断に伴って閉塞警報が出力されなかった場合には、ガス検査機７０の閉塞警報機能が正常に作動していないと判断する。また、このように閉塞警報機能に異常があるガス検査機７０については、ガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常を有する以前に、そもそも吸引流量が略ゼロになる閉塞異常を有する可能性もあると判断できる。
そして、ガス検査機７０の閉塞警報機能の異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）を終了する。
And when the blockage alarm is output with the interruption | blocking of the gas outflow from the supply joint 5a, it is judged that the blockage alarm function of the gas test |
Then, the presence / absence of abnormality of the clogging alarm function of the
また、閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）を終了するにあたり、閉塞警報機能に異常を有さないガス検査機７０に対してのみ、次の吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）を実行する。一方、閉塞警報機能に異常を有すると判断した場合には、そのガス検査機７０に対するガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を含む以降の処理の無駄な実施を回避するべく、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了することで、当該点検処理の合理化を図る。
Further, when ending the blockage alarm confirmation process (# S13), the next suction flow rate confirmation process (# S14) is executed only for the
（吸引流量確認処理）
吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図９に示す。この吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）では、ガス検査機７０のガス導入部７２からのガス吸引流量が適正流量範囲から乖離している吸引流量異常の有無を確認する。
即ち、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に給気用継手５ａを接続した状態で、三方弁Ｖ１、及び三方弁Ｖ３の切替状態を設定して、開放部Ｏ２に通じる大気開放経路を介して当該給気用継手５ａを大気開放させる。すると、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から当該大気開放経路を通じて大気ＯＡを吸引することになるので、この大気開放経路に設けられた流量計Ｍｆ１（開放流量計測部の一例）で計測されたガス流量を、ガス検査機７０のガス吸引量として取得して、ガス検査機７０において適正なガス吸引流量を確保できない吸引流量異常の有無を把握する。
そして、ガス検査機７０の吸引流量異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）を終了する。
(Suction flow confirmation process)
FIG. 9 shows operating states of various auxiliary machines and gas flow states in the suction flow rate confirmation processing (# S14). In this suction flow rate confirmation process (# S14), it is confirmed whether there is an abnormality in the suction flow rate in which the gas suction flow rate from the
That is, in the suction flow rate confirmation process (# S14), the switching state of the three-way valve V1 and the three-way valve V3 is set and opened in a state where the gas supply joint 5a is connected to the
Then, the presence / absence of an abnormality in the suction flow rate of the
また、この吸引流量異常確認処理（＃Ｓ１４）を終了するにあたり、吸引流量異常を有さないガス検査機７０に対してのみ、次のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を実行する。一方、吸引流量異常を有すると判断した場合には、そのガス検査機７０に対するガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を含む以降の処理の無駄な実施を回避するべく、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了することで、当該点検処理の合理化を図る。
Further, when ending the suction flow rate abnormality confirmation process (# S14), the next gas alarm confirmation process (# S15) is executed only for the
（濃度安定化処理）
濃度安定化処理（＃Ｓ１１）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図８〜１０に示す。この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）は、後のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行当初から流量や濃度が安定した点検用ガスＧ１をガス検査機７０のガス導入部７２に供給して正確な点検結果を得るために、当該警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行前の閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）又は吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行時に実行する処理であり、具体的には初期確認処理（＃Ｓ１２）〜吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行に並行して実行し（図８，９参照）、更には、吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）の実行後においても、点検用ガスＧ１の流量及び濃度が安定するまでは、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態で実行する（図１０参照）。
(Concentration stabilization treatment)
FIGS. 8 to 10 show the operating states and gas flow states of various auxiliary machines in the concentration stabilization process (# S11). This concentration stabilization process (# S11) is performed by supplying the inspection gas G1 having a stable flow rate and concentration from the beginning of the subsequent gas alarm confirmation process (# S15) to the
即ち、濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、前述した希釈処理手段６による希釈処理で生成された点検用ガスＧ１を外部に排気して、点検用ガスＧ１の濃度を安定化させる。
具体的には、二方弁Ｖ７及び流量調整弁Ｖ１０を開弁すると共に三方弁Ｖ８の切替状態を設定することで、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０（本実施形態ではガス容器Ｃ１に貯留された原料ガスＧ０を利用するものとするが、別のガス容器Ｃ２のものを利用しても構わない。）を、圧力レギュレータＲ２で圧力を安定化させた上で流量計Ｍｆ２に通流させて、合流部Ｂ１に供給する。同時に、ポンプＰ１を作動させ、二方弁Ｖ１１を開弁させると共に三方弁Ｖ１２，Ｖ１３の切替状態を設定することで、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、フィルタＦ３及び流量計Ｍｆ３に通流させて合流部Ｂ１に供給する。このことで、合流部Ｂ１では、流量計Ｍｆ２が設けられた原料ガス経路６ｂに通流された原料ガスＧ０が、流量計Ｍｆ３が設けられた大気供給経路６ａに通流された大気ＯＡにより希釈される所謂希釈処理が実行されて、点検用ガスＧ１が生成される。
That is, in the concentration stabilization processing (# S11), the inspection gas G1 generated by the dilution processing by the dilution processing means 6 described above is exhausted to the outside to stabilize the concentration of the inspection gas G1.
Specifically, by opening the two-way valve V7 and the flow rate adjusting valve V10 and setting the switching state of the three-way valve V8, the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 (in this embodiment, stored in the gas container C1). The raw material gas G0 is used, but another gas container C2 may be used.) After the pressure is stabilized by the pressure regulator R2, the flow is passed through the flow meter Mf2. And then supplied to the junction B1. At the same time, by operating the pump P1, opening the two-way valve V11 and setting the switching state of the three-way valves V12, V13, the atmosphere OA taken from the open portion O3 is passed through the filter F3 and the flow meter Mf3. And supply to the junction B1. As a result, in the junction B1, the source gas G0 passed through the
また、合流部Ｂ１に供給される原料ガスＧ０の流量は流量調整弁Ｖ１０の開度調整により制御されており、一方、合流部Ｂ１に供給される大気ＯＡの流量はポンプＰ１の出力調整により制御されている。そして、これら制御により、点検用ガスＧ１の流量及び濃度が所望の流量及び濃度に調整される。
そして、このような希釈処理において、ガス容器Ｃ１，Ｃ２の容量をできるだけ小さいもので済むように、原料ガスＧ０の希釈割合に応じて設定される原料ガスＧ０の設定流量は、同希釈割合に応じて設定される大気ＯＡの設定流量よりも小さいものとされている。
そして、この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、三方弁Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定することで、合流部Ｂ１で生成された点検用ガスＧ１は、三方弁Ｖ４，Ｖ５を介して開放部Ｏ４に供給され、当該開放部Ｏ４から外部に排気される。即ち、点検用ガスＧ１の供給先は、ガス検査機７０側の給気用継手５ａから外部の開放部Ｏ４に切り替えて当該点検用ガスＧ１を排気可能に構成されている。
The flow rate of the raw material gas G0 supplied to the junction B1 is controlled by adjusting the opening of the flow rate adjustment valve V10, while the flow rate of the atmosphere OA supplied to the junction B1 is controlled by adjusting the output of the pump P1. Has been. By these controls, the flow rate and concentration of the inspection gas G1 are adjusted to the desired flow rate and concentration.
In such a dilution process, the set flow rate of the source gas G0 set according to the dilution ratio of the source gas G0 is set according to the dilution ratio so that the capacity of the gas containers C1 and C2 is as small as possible. Is set to be smaller than the set flow rate of the atmospheric OA.
In this concentration stabilization process (# S11), by setting the switching state of the three-way valves V4 and V5, the inspection gas G1 generated in the junction B1 is opened through the three-way valves V4 and V5. Supplied to O4 and exhausted to the outside from the open portion O4. That is, the supply destination of the inspection gas G1 is configured to be able to exhaust the inspection gas G1 by switching from the supply joint 5a on the
この濃度安定化処理（＃Ｓ１１）では、ポンプＰ２を作動させながら、二方弁Ｖ２及びＶ６を開弁することで、アダプタ５０の開口部５９から取り込んだ周辺空気を排気ＥＡとして開放部Ｏ４から外部に排出する状態とされる。即ち、開放部Ｏ４を介して外部に排気される点検用ガスＧ１は、アダプタ５０の開口部５９から取り込んだ周辺空気により希釈されたものとなり、点検用ガスＧ１を高濃度のまま外部に排気することが回避されている。
In this concentration stabilization process (# S11), by opening the two-way valves V2 and V6 while operating the pump P2, the ambient air taken in from the
更に、前述した希釈処理の実行開始時、即ちこの濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の実行開始時において、一時的に、流量調整弁Ｖ１０の開度が増加されて、原料ガスＧ０の流量を、同原料ガスＧ０の希釈割合に応じた設定流量よりも多く設定する。このことで、合流部Ｂ１で生成される点検用ガスＧ１の濃度が早期に上昇して適切な濃度に到達することになり、結果、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態での濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の実行時間をできるだけ短いものとすることができる。 Further, at the start of execution of the above-described dilution process, that is, at the start of execution of the concentration stabilization process (# S11), the opening degree of the flow rate adjustment valve V10 is temporarily increased, and the flow rate of the raw material gas G0 is increased. More than the set flow rate according to the dilution ratio of the source gas G0. As a result, the concentration of the inspection gas G1 generated in the merging section B1 rises early and reaches an appropriate concentration, and as a result, in a state of waiting for the start of the alarm confirmation process (# S15). The execution time of the density stabilization process (# S11) can be made as short as possible.
更に、図９に示すように、警報確認処理（＃Ｓ１５）の実行開始を待機した状態での濃度安定化処理（＃Ｓ１１）を実行する間は、前述した初期確認処理（＃Ｓ１２）と同様に、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを開放部Ｏ１に開放させることで、ガス検査機７０は、ガス導入部７２から開放部Ｏ１を介して大気ＯＡを吸引するようにする。
Further, as shown in FIG. 9, while the concentration stabilization process (# S11) is executed while waiting for the start of the alarm confirmation process (# S15), the same as the initial confirmation process (# S12) described above. Further, by opening the air supply joint 5a to which the
（ガス警報確認処理（希釈処理））
希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図１１に示す。このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に対して、ガス供給部である分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して希釈処理により生成された点検用ガスＧ１を供給して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
尚、このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、希釈処理により乾燥処理が施されていない大気ＯＡで希釈された点検用ガスＧ１がガス検査機７０に供給されるため、ガス検査機７０のセンサ部７６は、過剰に乾燥することなく、適度に湿気を含んだ通常の大気ＯＡと同程度の状態に維持されて、通常使用時と同条件下で作動することになる。
(Gas alarm confirmation process (dilution process))
FIG. 11 shows operating states of various auxiliary machines and gas flow states in the gas alarm confirmation process (# S15) when the dilution process is performed. In this gas alarm confirmation process (# S15), the inspection gas generated by the dilution process with respect to the
In this gas alarm confirmation process (# S15), since the inspection gas G1 diluted with the atmosphere OA that has not been subjected to the drying process by the dilution process is supplied to the
即ち、図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、図１０の濃度安定化処理（＃Ｓ１１）の状態から、三方弁Ｖ１，Ｖ４，Ｖ５の切替状態を設定することで、三方弁Ｖ４に供給された点検用ガスＧ１を、ガス供給部としての分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して、ガス検査機７０のガス導入部７２に供給し、ガス検査機７０に当該点検用ガスＧ１を吸引させる。すると、ガス検査機７０は特定成分を含む点検用ガスＧ１がガス導入部７２から導入されることになり、その際にガス検査機７０のガス警報機能が正常に作動してガス警報を出力するか否かをガス検査機７０側の制御部７８との通信により確認して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
そして、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無をディスプレイ３に表示したバンプテスト画面（図６（ｃ）参照）上に表示した上で、この警報確認処理（＃Ｓ１５）を終了する。
That is, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11, the switching state of the three-way valves V1, V4, V5 is set from the state of the concentration stabilization process (# S11) in FIG. The inspection gas G1 supplied to the
Then, the presence / absence of abnormality of the gas alarm function of the
更に、この図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス吸引流量、即ちガス検査機７０側の吸引ポンプ７５の吸引流量よりも多い点検用ガスＧ１がガス検査機７０のガス導入部７２に通じるガス供給部である分岐部Ｂ２に供給する。すると、ガス検査機７０のガス導入部７２に吸引されなかった点検用ガスＧ１が存在することになるが、その点検用ガスＧ１を、三方弁Ｖ５を介して開放部Ｏ４から外部に排出する。このことで、ガス検査機７０は、不足することなく点検用ガスＧ１を吸引し、更にはその吸引流量をシステム本体１側の点検用ガスＧ１の供給流量に関係なく適正な吸引流量に維持して、通常使用時と同条件下で作動することになる。
Further, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11, the
また、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）を終了するにあたり、ガス警報異常を有さないガス検査機７０に対しては、前の閉塞警報確認処理（＃Ｓ１３）及び吸引流量確認処理（＃Ｓ１４）においても正常であったことから、総合判断として正常である旨を表示した上で（＃Ｓ１６）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了する。一方、ガス警報異常を有すると判断した場合には、総合判断として異常である旨を表示した上で（＃Ｓ１７）、点検処理（図４の＃Ｓ４）を終了する。
Further, in ending the gas alarm confirmation process (# S15), the previous blockage alarm confirmation process (# S13) and the suction flow rate confirmation process (# S14) are performed for the
（ガス警報確認処理（非希釈処理））
上述した図１１に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を大気ＯＡで希釈して点検用ガスＧ１を生成する希釈処理を実行する場合のものであるが、この希釈処理に代えて、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０をそのまま希釈することなく点検用ガスとする非希釈処理を実行する場合のガス警報確認処理を行うことができ、以下に、その詳細について説明を加える。
尚、このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、原料ガスＧ０をそのまま点検用ガスとして利用するため、前述した濃度安定化処理（＃Ｓ１１）は省略されることになる。
(Gas alarm confirmation process (undiluted process))
In the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 11 described above, a dilution process is performed in which the source gas G0 taken out from the gas container C1 is diluted with the atmosphere OA to generate the inspection gas G1. Instead of this dilution process, a gas alarm confirmation process can be performed in the case of executing the non-dilution process in which the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 is used as a check gas without being diluted as it is. Add details.
In this gas alarm confirmation process (# S15), the raw material gas G0 is used as it is as an inspection gas, and thus the above-described concentration stabilization process (# S11) is omitted.
非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）での各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を図１３に示す。このガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に対して、ガス供給部である分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａを介して非希釈処理により点検用ガスとしてガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を供給して、ガス検査機７０のガス警報機能の異常の有無を確認する。
FIG. 13 shows the operating states and gas flow states of various auxiliary machines in the gas alarm confirmation process (# S15) when performing the non-dilution process. In this gas alarm confirmation process (# S15), the
即ち、図１３に示すガス警報確認処理（＃Ｓ１５）では、ポンプＰ１の作動を停止すると共に三方弁Ｖ１３を閉弁して開放部Ｏ３から大気ＯＡの取り込みを停止する。同時に、流量調整弁Ｖ１０を開弁すると共に三方弁Ｖ８の切替状態を設定することで、ガス容器Ｃ１から取り出した原料ガスＧ０を、圧力レギュレータＲ２で圧力を安定化させた上で、上述した希釈処理において大気ＯＡが通流する流量計Ｍｆ３側の大気供給経路６ａに通流させて、点検用ガスとして合流部Ｂ１に供給する。すると、その原料ガスＧ０が、ガス検査機７０のガス導入部７２に点検用ガスを供給するガス供給部としての分岐部Ｂ２及び給気用継手５ａに供給されることになる。
このことで、原料ガスＧ０をそのまま点検用ガスとして利用する場合において、当該原料ガスＧ０の流量が点検用ガスの必要流量に相当する比較的大流量になる場合でも、その原料ガスＧ０を、上記希釈処理において比較的大流量の大気ＯＡが通流する比較的大流量に対応した大気供給経路６ａに通流させ、例えばその原料ガスＧ０の流量を比較的大流量に対応する流量計Ｍｆ３で計測することができる。一方、上記希釈処理において比較的小流量の原料ガスＧ０が通流する流量計Ｍｆ２側の原料ガス供給経路は、小流量のみに対応する比較的簡単且つ小型なものとして構成されており、例えば流量計Ｍｆ２としても比較的小流量に対応するものが利用されている。
That is, in the gas alarm confirmation process (# S15) shown in FIG. 13, the operation of the pump P1 is stopped and the three-way valve V13 is closed to stop the intake of the atmosphere OA from the open portion O3. At the same time, the flow rate adjusting valve V10 is opened and the switching state of the three-way valve V8 is set, so that the pressure of the raw material gas G0 taken out from the gas container C1 is stabilized by the pressure regulator R2 and then diluted as described above. In the process, the air is passed through the
Thus, when the raw material gas G0 is used as it is as an inspection gas, even if the flow rate of the raw material gas G0 is a relatively large flow rate corresponding to the required flow rate of the inspection gas, the raw material gas G0 In the dilution process, the air is supplied to the
以上が、図４に示す点検処理方法における点検処理（＃Ｓ４）の詳細な処理フローであり、当該点検処理（＃Ｓ４）の実行後において、同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０が存在する場合には（＃Ｓ５）、その同じグループ内で点検対象とするガス検査機７０を変更し、変更後のガス検査機７０に対して点検処理（＃Ｓ４）を実行する。その際、希釈処理で生成した点検用ガスＧ１を利用している場合には、同じグループ内での点検対象の変更時において、生成した点検用ガスＧ１を一時的に三方弁Ｖ４，Ｖ５を介して開放部Ｏ４に供給して排気する形態で、希釈処理を継続する。このことで、点検対象の変更時の濃度安定化処理などが割愛され、当該変更に必要な時間が短縮される。
The above is the detailed processing flow of the inspection process (# S4) in the inspection processing method shown in FIG. 4, and after the execution of the inspection process (# S4), the next
同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０の点検処理に移行する際には、所定の第１クリーニング処理（＃Ｓ８）を実行し、また、同じグループ内のガス検査機７０の点検処理が全て終了した際には、所定の第２クリーニング処理（＃Ｓ９）を実行する。
When shifting to the inspection process of the next
〔クリーニング処理〕
同じグループに属する次の点検対象のガス検査機７０の点検処理に移行する際に実行する第１クリーニング処理（＃Ｓ８）では、ガス検査機７０のガス導入部７２に大気ＯＡを導入させて当該ガス検査機７０のクリーニング（以下「ガス検査機クリーニング」と呼ぶ。）を行う。
一方、同じグループ内のガス検査機７０の点検処理が全て終了した際に実行する第２クリーニング処理（＃Ｓ６）では、ガス検査機クリーニングに加えて、点検用ガスＧ１又はその原料となる原料ガスＧ０が通流するガス経路に大気ＯＡを通流させて当該ガス経路のクリーニング（以下「ガス経路クリーニング」と呼ぶ。）を行う。
尚、図１２には、ガス経路クリーニングとガス検査機クリーニングとを同時に行う際の各種補機の作動状態及びガスの流れ状態を示す。
[Cleaning process]
In the first cleaning process (# S8) executed when the inspection process of the next inspection target
On the other hand, in the second cleaning process (# S6) executed when all the inspection processes of the
FIG. 12 shows the operating states and gas flow states of various auxiliary machines when performing gas path cleaning and gas inspection machine cleaning at the same time.
（ガス経路クリーニング）
具体的に、ガス経路クリーニングでは、図１１のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の状態から、流量調整弁Ｖ１０を閉弁することで、ガス容器Ｃ１からの原料ガスＧ０の供給を停止すると共に、三方弁Ｖ８，Ｖ１３の切替状態を設定して、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）等で原料ガスＧ０が通流していた流量計Ｍｆ２側の原料ガス経路６ｂに通流させる。このことで、当該原料ガス経路６ｂに残留する原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該原料ガス経路６ｂがクリーニングされることになる。
(Gas path cleaning)
Specifically, in the gas path cleaning, the supply of the source gas G0 from the gas container C1 is stopped by closing the flow rate adjustment valve V10 from the state of the gas alarm confirmation process (# S15) in FIG. The switching state of the three-way valves V8 and V13 is set, and the
更に、原料ガス経路６ｂを通流した後の大気ＯＡは、ガス警報確認処理（＃Ｓ１５）等で点検用ガスＧ１が通流していた合流部Ｂ１から分岐部Ｂ２までの点検用ガス経路６ｃを通流する。このことで、当該点検用ガス経路６ｃに残留する点検用ガスＧ１が大気にＯＡに置換されて、当該点検用ガス経路６ｃがクリーニングされることになる。
そして、このようなガス経路クリーニングを実行することにより、次の点検対象のガス検査機７０に対する点検処理において、ガス経路に残留する点検用ガスＧ１や原料ガスＧ０に起因する誤点検が回避される。
このガス経路クリーニングにおいて、原料ガス経路６ｂ及び点検用ガス経路６ｃを通流後に分岐部Ｂ２に供給された大気ＯＡは、三方弁Ｖ１，Ｖ５の切替状態を設定することで、開放部Ｏ４を介して外部に排気される。
Further, the atmosphere OA after flowing through the
Then, by performing such gas path cleaning, in the inspection process for the next inspection target
In this gas path cleaning, the atmosphere OA supplied to the branch section B2 after flowing through the
尚、図１１に示す非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）の後に実行されるガス経路クリーニングでは、当該ガスガス警報確認処理（＃Ｓ１５）で原料ガスＧ０が通流した経路に大気ＯＡを通流させることが望ましい。即ち、三方弁Ｖ１３，Ｖ８，Ｖ１２の切替状態を設定することで、開放部Ｏ３から取り込んだ大気ＯＡを、三方弁Ｖ１３からガス経路６ｂ側に供給すると共に、その大気ＯＡを三方弁Ｖ８から三方弁１２側に戻して、当該三方弁１２の下流側の大気供給経路６ａに通流させる。このことで、非希釈処理を行う場合のガス警報確認処理（＃Ｓ１５）で原料ガスＧ０が通流した経路に残留する原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該経路がクリーニングされることになる。
In the gas path cleaning performed after the gas alarm confirmation process (# S15) in the case of performing the non-dilution process shown in FIG. 11, the gas gas alarm confirmation process (# S15) passes through the path through which the raw material gas G0 flows. It is desirable to let air OA flow. That is, by setting the switching state of the three-way valves V13, V8, V12, the atmosphere OA taken in from the open portion O3 is supplied to the
更に、ガス経路クリーニングにおいて、同時に実行されるガス検査機クリーニングが終了すると、三方弁Ｖ１の切り替え状態を設定して、分岐部Ｂ２にある大気ＯＡを、三方弁Ｖ１側に供給する。すると、分岐部Ｂ２から三方弁Ｖ１までの経路に残留する点検ガスＧ１や原料ガスＧ０が大気ＯＡに置換されて、当該経路がクリーニングされることになる。 Further, in the gas path cleaning, when the gas inspection machine cleaning performed at the same time is completed, the switching state of the three-way valve V1 is set, and the atmosphere OA in the branch portion B2 is supplied to the three-way valve V1 side. Then, the inspection gas G1 and the raw material gas G0 remaining in the path from the branch part B2 to the three-way valve V1 are replaced with the atmosphere OA, and the path is cleaned.
（ガス検査機クリーニング）
一方、ガス検査機クリーニングでは、前述した初期確認処理（＃Ｓ１２）と同様に、ガス検査機７０のガス導入部７２が接続された給気用継手５ａを開放部Ｏ１に開放させることで、ガス検査機７０のガス導入部７２には、開放部Ｏ１から取り込んだ大気ＯＡ、即ち上記ガス経路を通流したものとは別の新鮮な大気ＯＡが導入される。そして、その大気ＯＡがガス導入部７２を介してガス検査機７０に導入され、センサ部７６を通流する。このことで、ガス検査機７０側のガス導入部７２やセンサ部７６に残留する点検用ガスＧ１が大気ＯＡに置換されて、当該ガス検査機７０がクリーニングされることになる。
尚、このガス検査機クリーニングは、ガス検査機７０のセンサ部７６の出力信号から導入ガス中の特定成分濃度が略ゼロになったと判断したときに終了する。
(Gas inspection machine cleaning)
On the other hand, in the gas inspection machine cleaning, the gas supply joint 5a to which the
The gas inspection machine cleaning ends when it is determined from the output signal of the
そして、このようなガス検査機クリーニングを実行することにより、かかる点検処理直後のガス検査機７０の使用にあたり、ガス導入部７２等に残留する点検用ガスＧ１に起因する誤検知が回避される。
尚、このガス検査機クリーニングにおいて、ガス検査機７０の排気部７７から排出された排気ＥＡは、開口部５９から周辺空気と共に取り込まれ、排気用継手５ｂを介して開放部Ｏ４から外部に排出される。このことで、この排気ＥＡが収容部５側の前面から放出されることが防止されている。更に、この開口部５９から吸引した排気ＥＡは、ガス経路クリーニングで原料ガス経路６ｂ及び点検用ガス経路６ｃを通流後の大気ＯＡとまとめて排出される。このことで、ガス検査機クリーニング及びガス経路クリーニングのための排気経路が簡素化されている。
尚、これら排気ＥＡと大気ＯＡとは別々に外部に排出しても構わない。
By performing such gas inspection machine cleaning, erroneous detection due to the inspection gas G1 remaining in the
In this gas inspection machine cleaning, the exhaust EA discharged from the
Note that the exhaust EA and the atmosphere OA may be separately discharged to the outside.
尚、本実施形態では、ガス経路クリーニング及びガス検査機クリーニングを各別の大気ＯＡで行うように構成したが、例えばガス経路を通流した大気をガス検査機７０に導入するなどして、夫々のクリーニングを同じ大気で行うように構成しても構わない。
In this embodiment, the gas path cleaning and the gas inspection machine cleaning are performed in different atmospheres OA. However, for example, the atmosphere flowing through the gas path is introduced into the
〔別実施形態〕
（１）上記実施形態では、ガス検査機の状態を点検する点検処理（＃Ｓ４）として、種々の処理を実行するように構成したが、これらの処理については、適宜省略又は改変しても構わない。
[Another embodiment]
(1) In the above embodiment, various processes are performed as the inspection process (# S4) for inspecting the state of the gas inspection machine. However, these processes may be omitted or modified as appropriate. Absent.
２ａ 点検処理手段
２ｂ アダプタ識別情報取得手段
２ｃ ガス検査機識別情報取得手段
５ 収容部
５ａ 給気用継手（ガス供給部）
５ｂ 排気用継手（排気吸引部）
６ 希釈処理手段
５０ アダプタ
５３ 通信部
５６ 排気案内路
５９ 開口部
６０ ガス検査機収容部
６１ 給気案内路
７０ ガス検査機
７２ ガス導入部
７７ 排気部
７９ 通信部
１００ 点検処理システム
Ｂ２ 分岐部（ガス供給部）
Ｃ１，Ｃ２ ガス容器
Ｍｆ１ 流量計（開放流量計測部）
2a Inspection processing means 2b Adapter identification information acquisition means 2c Gas inspection machine identification information acquisition means 5
5b Exhaust joint (exhaust suction part)
6 Dilution processing means 50
C1, C2 gas container Mf1 flow meter (open flow measurement unit)
Claims (7)
前記収容部に着脱自在に装着されて、前記ガス検査機の前記収容部への収容を可能とするアダプタを備え、
前記収容部に装着されたアダプタの識別情報であるアダプタ識別情報を取得可能なアダプタ識別情報取得手段と、
前記収容部に収容されたガス検査機の識別情報であるガス検査機識別情報を取得可能なガス検査機識別情報取得手段とを備え、
前記点検処理手段が、前記点検処理の実行前に、前記アダプタ識別情報取得手段で取得したアダプタ識別情報と前記ガス検査機識別情報取得手段で取得したガス検査機識別情報との整合性を確認する整合性確認処理を実行し、当該整合性確認処理で整合を確認した場合に、前記点検処理の実行を許容するガス検査機の点検処理システム。 A gas inspection machine which is provided with a storage part for storing a gas inspection machine having a gas alarm function for outputting a predetermined gas alarm according to the state of a specific component in the introduced gas introduced from the gas introduction part, and is stored in the storage part An inspection processing system for a gas inspection machine provided with inspection processing means for executing an inspection processing for inspecting the state of
An adapter that is detachably attached to the housing portion and allows the gas inspection machine to be housed in the housing portion;
Adapter identification information acquisition means capable of acquiring adapter identification information which is identification information of an adapter mounted in the housing unit;
Gas inspection machine identification information acquisition means capable of acquiring gas inspection machine identification information that is identification information of a gas inspection machine stored in the storage unit,
The inspection processing means confirms the consistency between the adapter identification information acquired by the adapter identification information acquisition means and the gas inspection machine identification information acquired by the gas inspection machine identification information acquisition means before execution of the inspection processing. An inspection processing system for a gas inspection machine that allows execution of the inspection process when the consistency confirmation process is executed and the consistency is confirmed by the consistency confirmation process.
前記収容部に、ガスを吸引して外部に排出する排気吸引部を備え、
前記アダプタに、前記収容部へ収容されたガス検査機からの排気を前記排気吸引部に案内する排気案内路が設けられている請求項１〜３の何れか１項に記載のガス検査機の点検処理システム。 The inspection processing means supplies, as the inspection processing, a gas for inspection via a gas supply unit to a gas introduction unit of the gas inspection machine, and whether there is an abnormality in a gas alarm function of the gas inspection machine to be inspected. Execute the gas alarm confirmation process to confirm,
The storage section includes an exhaust suction section that sucks gas and discharges it to the outside.
The exhaust gas guide path which guides the exhaust_gas | exhaustion from the gas tester accommodated in the said accommodating part to the said exhaust_gas | exhaustion suction part in the said adapter is provided. Inspection processing system.
前記排気案内路の前記ガス検査機側の開口部が、前記ガス検査機からの排気に加えて、周辺空気を取り込み可能に配置されている請求項４に記載のガス検査機の点検処理システム。 The gas suction flow rate of the exhaust suction unit is set larger than the exhaust flow rate of the gas inspection machine,
The inspection processing system for a gas inspection machine according to claim 4, wherein an opening on the gas inspection machine side of the exhaust guide path is arranged so as to be able to take in ambient air in addition to the exhaust from the gas inspection machine.
前記アダプタ側の給気案内路と前記収容部側のガス供給部との接続方向、及び、前記アダプタ側の排気案内路と前記収容部側の排気吸引部との接続方向が、前記収容部への前記アダプタの装着方向に沿う方向に設定されている請求項４又は５に記載のガス検査機の点検処理システム。 The adapter is provided with an air supply guide path for guiding the inspection gas supplied to the gas supply unit to the gas introduction unit of the gas inspection machine,
The connection direction between the air supply guide path on the adapter side and the gas supply part on the accommodating part side, and the connection direction between the exhaust guide path on the adapter side and the exhaust suction part on the accommodating part side are directed to the accommodating part. The inspection processing system for a gas inspection machine according to claim 4 or 5, wherein the inspection processing system is set in a direction along a mounting direction of the adapter.
前記アダプタ側において、前記排気案内路の延出方向、及び、前記給気案内路の延出方向の少なくとも一方が、前記収容部への前記アダプタの装着方向に沿う方向に設定されている請求項４又は５に記載のガス検査機の点検処理システム。
The adapter is provided with an air supply guide path for guiding the inspection gas supplied to the gas supply unit to the gas introduction unit of the gas inspection machine,
The at least one of the extending direction of the exhaust guide path and the extending direction of the air supply guide path is set in a direction along the mounting direction of the adapter to the housing portion on the adapter side. An inspection processing system for a gas inspection machine according to 4 or 5.
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