JP2017157596A - 活性層の製造方法、および光電変換素子 - Google Patents
活性層の製造方法、および光電変換素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017157596A JP2017157596A JP2016036990A JP2016036990A JP2017157596A JP 2017157596 A JP2017157596 A JP 2017157596A JP 2016036990 A JP2016036990 A JP 2016036990A JP 2016036990 A JP2016036990 A JP 2016036990A JP 2017157596 A JP2017157596 A JP 2017157596A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- type
- cuprous oxide
- semiconductor substrate
- active layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/547—Monocrystalline silicon PV cells
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
Description
本発明者らは、Cu(銅)シートを高温で熱酸化して作製するp形多結晶Cu2O(亜酸化銅)シートを活性層に用いる太陽電池を研究している。Cu2O結晶は天然にも産し、多くの結晶成長法を用いて容易に作成できるが、導入されるCuの空孔がアクセプタとして働き、いずれの方法で作製してもp形伝導を呈し、n系Cu2O結晶の作成が困難であった。
図1は、第1の実施の形態に係る光電変換素子の構成を示す概略断面図である。光電変換素子10は、金属元素としてNa(ナトリウム)が添加された多結晶のCu2O(亜酸化銅)からなるシート状のp形半導体基板12と、p形半導体基板12に一方の面上にエピタキシャル層として形成されたp形Cu2O薄膜14と、p形Cu2O薄膜14の上に形成された、透明導電層16と、p形半導体基板12の、p形Cu2O薄膜14が形成された面と反対側の面上に形成されているAu(金)からなる電極18と、を備える。
次に、本実施の形態に係るp形半導体基板の製造方法について説明する。はじめに、銅板(純度99.96[%])を洗浄後、約1025[℃]で酸化処理することで、基板および活性層を兼ねる多結晶のp形Cu2Oシート(厚さ200μm)を作製する。
図2は、ECD法による成膜装置の概略図である。図2に示す成膜装置20は、浴槽22に溶液24が満たされている。溶液24は、硫酸銅(CuSO4:濃度0.20mol/L)と乳酸(CH3CH(OH)COOH:濃度3.00mol/L)の水溶液に、水酸化ナトリウムを加えて全体のpHを12に調整してある。溶液24中には、陽極としてPtシート26、陰極としてp形半導体基板12またはFTO透明導電膜28が浸されている。
第1の実施の形態では、高品質なp形Cu2Oシート基板上に、低温成膜技術である電気化学溶液堆積(ECD)法を用いてCu2O薄膜をホモエピタキシャル成長することで、高品質な活性層およびその活性層を備えた光電変換素子(太陽電池)を実現できることを示した。しかしながら、ECD法は原理上導電性基板の使用が必須のため、その上に成長したCu2O薄膜の電気的特性を評価することが困難である。そこで、第2の実施の形態では、ホモエピタキシャル成長によって形成されたCu2O薄膜を太陽電池の活性層として使用するヘテロ接合太陽電池を作製し、光起電力特性を始めとする太陽電池の特性を評価することにより、Cu2O薄膜の品質を評価した。すなわち、第1の実施の形態で説明したCu2Oホモエピタキシャル薄膜を使用した太陽電池を作製して評価した。本実施の形態に係る太陽電池(光電変換素子)は、Al添加ZnO(AZO)透明導電膜/Cu2Oホモエピタキシャル薄膜/p+形Cu2Oシートの積層構造を有するヘテロ接合太陽電池である。
p形半導体基板12としては、正孔密度が1019[cm−3]のオーダーで縮退したNa添加のp+Cu2O:Naシートを用いている。p+Cu2O:Naシートは、熱酸化して作製したp形Cu2OシートをNa2CO3とともにArガス雰囲気中で、800[℃]、30[h]の熱処理により作製された。次に、第1の実施の形態で説明した成膜装置20の浴槽22に、濃度0.20[mol/l]のCuSO4と、濃度3.00[mol/l]のCH3CH(OH)COOHとを含み、pHを約7.0〜12に調整した水溶液を満たす。そこに、作製されたp形Cu2O:Naシートを陰極として浸漬し、第1の実施の形態と同様に、電気化学溶液堆積法(ECD)法によって、p+Cu2O:Na基板上にCu2O薄膜を成膜した。成膜条件は、溶液温度が40〜80[℃]、電流密度が0.25〜4.0[mA/cm2]であり、Cu2O薄膜の膜厚は800[nm]である。
上述の実施の形態では、高品質p形Cu2Oシート基板上に電気化学溶液堆積(ECD)法を用いてCu2O薄膜のホモエピタキシャル成長技術を検討した。上述のように、結晶学的に高品質なCu2Oホモエピタキシャル薄膜を活性層に用いて作製したヘテロ接合太陽電池の光起電力特性を評価した結果、エピタキシャル成長Cu2O薄膜は、正孔密度が1015[cm−3]のオーダーのp形であると推察される。この結果は、ECD法では70℃程度の成膜温度でCu2Oが容易に形成でき、かつCu空孔(VCu)すなわち正孔密度を低く抑えることができることを示唆する。すなわち、通常の熱平衡状態での結晶成長技術では、約500℃以上の高温でなければ1価の銅(Cu+)からなるCu2Oを作製できない(2価のCu2+からなるCuOが形成される)ことに加えて、酸素(O)空孔(VO)と比較してCu空孔(VCu)の形成エネルギーが非常に低いことが、高品質のCu2O結晶成長が困難であり、かつn型Cu2O生成をも難しくしている。
Claims (12)
- 金属元素が添加された多結晶の亜酸化銅からなる半導体基板を準備する工程と、
少なくとも銅イオンを含む100℃未満のアルカリ水溶液に前記半導体基板を浸漬し、該半導体基板の上に亜酸化銅をエピタキシャル成長させて亜酸化銅薄膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする活性層の製造方法。 - 前記亜酸化銅薄膜を形成する工程は、前記半導体基板を一方の電極とし、該一方の電極と他方の電極との間に電圧を印加することを特徴とする請求項1に記載の活性層の製造方法。
- 前記該一方の電極と他方の電極との間の電流密度が4.0[mA/cm2]未満となるように電圧を印加することを特徴とする請求項2に記載の活性層の製造方法。
- 前記アルカリ水溶液は、硫酸銅と乳酸と水酸化ナトリウムとを混合したものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の活性層の製造方法。
- 前記アルカリ水溶液は、pHが9以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の活性層の製造方法。
- 前記金属元素は、ナトリウムであることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の活性層の製造方法。
- 金属元素が添加された多結晶の亜酸化銅からなるp形の半導体基板を準備する工程と、
少なくとも銅イオンを含む100℃未満の酸性水溶液に前記半導体基板を浸漬し、該半導体基板の上にn形の亜酸化銅薄膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする活性層の製造方法。 - 前記酸性水溶液は、酢酸銅と酢酸と水酸化カリウムとを混合したものであることを特徴とする請求項7に記載の活性層の製造方法。
- 金属元素が添加された多結晶の亜酸化銅からなるp形半導体基板と、
前記p形半導体基板上にエピタキシャル層として形成されたp形亜酸化銅薄膜と、
前記p形亜酸化銅薄膜の上に形成された、アルミニウムをドープされた酸化亜鉛からなる透明導電層と、
を備える光電変換素子。 - 前記p形半導体基板は、亜酸化銅の(110)面に優先配向した多結晶基板であり、
前記p形亜酸化銅薄膜は、前記p形半導体基板における亜酸化銅の(110)面に優先配向していることを特徴とする請求項9に記載の光電変換素子。 - 前記p形亜酸化銅薄膜の、前記p形半導体基板と接する側と反対側の面上に形成されたn形半導体層を更に備えることを特徴とする請求項9または10に記載の光電変換素子。
- 金属元素が添加された多結晶の亜酸化銅からなるp形半導体基板と、
前記p形半導体基板上にエピタキシャル層として形成されたn形亜酸化銅薄膜と、
前記n形亜酸化銅薄膜の上に形成された、アルミニウムをドープされた酸化亜鉛からなる透明導電層と、を備え、
前記n形亜酸化銅薄膜は、80nm〜800nmの厚みであることを特徴とする光電変換素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016036990A JP6650640B2 (ja) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | 活性層の製造方法、および光電変換素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016036990A JP6650640B2 (ja) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | 活性層の製造方法、および光電変換素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017157596A true JP2017157596A (ja) | 2017-09-07 |
JP6650640B2 JP6650640B2 (ja) | 2020-02-19 |
Family
ID=59810387
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016036990A Expired - Fee Related JP6650640B2 (ja) | 2016-02-29 | 2016-02-29 | 活性層の製造方法、および光電変換素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6650640B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005239526A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Kanazawa Inst Of Technology | 亜酸化銅板の製造方法及び光起電力素子 |
JP2006124754A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Bridgestone Corp | Cu2O膜、その成膜方法及び太陽電池 |
US20090072231A1 (en) * | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Formation of p-n homogeneous junctions |
JP2015162650A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | 学校法人金沢工業大学 | 光電変換素子の製造方法、p型半導体層の製造方法およびp型半導体層 |
-
2016
- 2016-02-29 JP JP2016036990A patent/JP6650640B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005239526A (ja) * | 2004-02-27 | 2005-09-08 | Kanazawa Inst Of Technology | 亜酸化銅板の製造方法及び光起電力素子 |
JP2006124754A (ja) * | 2004-10-27 | 2006-05-18 | Bridgestone Corp | Cu2O膜、その成膜方法及び太陽電池 |
US20090072231A1 (en) * | 2007-09-14 | 2009-03-19 | Board Of Regents, The University Of Texas System | Formation of p-n homogeneous junctions |
JP2015162650A (ja) * | 2014-02-28 | 2015-09-07 | 学校法人金沢工業大学 | 光電変換素子の製造方法、p型半導体層の製造方法およびp型半導体層 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
YU LUO ET AL.: "Cu2O Homojunction Solar Cells: F-Doped N-type Thin Film and Highly Improved Efficiency", JOURNAL OF PHYSICAL CHEMISTRY, vol. 119, JPN6019042690, 11 September 2015 (2015-09-11), pages 22803 - 22811, ISSN: 0004147903 * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6650640B2 (ja) | 2020-02-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6764187B2 (ja) | 光電変換素子および光電変換素子の製造方法 | |
Kondrotas et al. | Sb2S3 solar cells | |
Tran et al. | Cu2O/ZnO heterojunction thin-film solar cells: the effect of electrodeposition condition and thickness of Cu2O | |
JP4803548B2 (ja) | 酸化物薄膜太陽電池 | |
Bai et al. | Controlled growth of Cu3Se2 nanosheets array counter electrode for quantum dots sensitized solar cell through ion exchange | |
Dimopoulos | All-oxide solar cells | |
Yussuf et al. | Photovoltaic efficiencies of microwave and Cu2ZnSnS4 (CZTS) superstrate solar cells | |
Xiong et al. | Fabrication and electrical characterization of ZnO rod arrays/CuSCN heterojunctions | |
Saha | A status review on Cu2ZnSn (S, Se) 4-based thin-film solar cells | |
Ho et al. | Preparation of CuInSe2 thin films by using various methods (a short review) | |
Palve et al. | Chemically deposited CuInSe2 thin films and their photovoltaic properties: a review | |
Salah et al. | Effect of Al doped ZnO on optical and photovoltaic properties of the p-Cu2O/n-AZO solar cells | |
Lakshmanan et al. | Recent advances in cuprous oxide thin film based photovoltaics | |
Wang et al. | Sodium citrate complexing agent-dependent growth of n-and p-type CdTe thin films for applications in CdTe/CdS based photovoltaic devices | |
JP2003258278A (ja) | 光電変換装置及びその製造方法 | |
Ray | Electrodeposition of thin films for low-cost solar cells | |
Chander et al. | Nontoxic and earth-abundant Cu2ZnSnS4 (CZTS) thin film solar cells: A review on high throughput processed methods | |
JP6650640B2 (ja) | 活性層の製造方法、および光電変換素子 | |
JP2014512684A (ja) | 導電性プラスチック基板へのZnOの一体化をベースにした2D結晶質被膜 | |
Tanushevski et al. | Structural and optical properties of CdTe thin films obtained by electrodeposition | |
Morris et al. | Chemical bath deposition of thin film CdSe layers for use in Se alloyed CdTe solar cells | |
Madugu et al. | Synthesis and characterisation of CdTe thin films | |
Musa et al. | Fabrication of p-Cu2O/n-Cu2O for photovoltaic applications | |
Chander et al. | Efficient Metal Oxide-Based Flexible Perovskite Solar Cells | |
Xu et al. | Heterojunction interface regulation to realize high-performance flexible Kesterite solar cells |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A80 | Written request to apply exceptions to lack of novelty of invention |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A80 Effective date: 20160329 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20191031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20191112 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20191216 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20200107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20200114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6650640 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |